JP2019530948A - 誘電体バリアプラズマ放電を形成するための電極構造 - Google Patents
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Abstract
Description
以下に、本願の出願当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[C1]
制御装置(20)により交流高圧の供給を受ける電極(1)と、アース電極としての役目を果たす導電性の物体(22)の処理されるべき表面(21)との間に誘電体バリアプラズマ放電を形成するための電極構造であって、処理されるべき表面(21)に向かって前記誘電体(8)が前記電極(1)を全面的に覆い、前記表面(21)のための当接面を形成する、そのような電極構造において、
前記電極(1)が、前記当接面に対して同じ間隔(6)で相並んで配置されて前記誘電体(8)により互いに絶縁された少なくとも2つの部分電極(2,3)からなり、隣接する前記部分電極は前記制御装置により波形電圧レベルに関して反転した互いに補い合う部分交流高圧の供給を受けることを特徴とする電極構造。
[C2]
隣接する前記部分電極(2,3)に供給される部分交流高圧の合計はアース電極の電位に相当する時間的に一定の値を形成することを特徴とする、C1に記載の電極構造。
[C3]
前記部分電極(2,3)とこれを覆う前記誘電体(8)は平面状の表面(21)を有することを特徴とする、C1および2に記載の電極構造。
[C4]
前記部分電極(2,3)と前記誘電体(8)は柔軟であることを特徴とする、C1から3のいずれか1項に記載の電極構造。
[C5]
処理されるべき表面(21)のほうを向く前記誘電体(8)の当接面は、前記電極構造が処理されるべき表面(21)に当接したときに中間スペースを構成する構造を有することを特徴とする、C1から4のいずれか1項に記載の電極構造。
[C6]
前記誘電体(8)と前記部分電極(2,3)は、高さ方向に前記電極構造を通って延びる、前記部分電極(2,3)を取り囲む前記誘電体(8)により連続して区切られる貫通孔(14)を有することを特徴とする、C1から5のいずれか1項に記載の電極構造。
[C7]
前記部分電極(2,3)は同じ大きさを有することを特徴とする、C1から6のいずれか1項に記載の電極構造。
Claims (7)
- 制御装置(20)により交流高圧の供給を受ける電極(1)と、アース電極としての役目を果たす導電性の物体(22)の処理されるべき表面(21)との間に誘電体バリアプラズマ放電を形成するための電極構造であって、処理されるべき表面(21)に向かって前記誘電体(8)が前記電極(1)を全面的に覆い、前記表面(21)のための当接面を形成する、そのような電極構造において、
前記電極(1)が、前記当接面に対して同じ間隔(6)で相並んで配置されて前記誘電体(8)により互いに絶縁された少なくとも2つの部分電極(2,3)からなり、隣接する前記部分電極は前記制御装置により波形電圧レベルに関して反転した互いに補い合う部分交流高圧の供給を受けることを特徴とする電極構造。 - 隣接する前記部分電極(2,3)に供給される部分交流高圧の合計はアース電極の電位に相当する時間的に一定の値を形成することを特徴とする、請求項1に記載の電極構造。
- 前記部分電極(2,3)とこれを覆う前記誘電体(8)は平面状の表面(21)を有することを特徴とする、請求項1および2に記載の電極構造。
- 前記部分電極(2,3)と前記誘電体(8)は柔軟であることを特徴とする、請求項1から3のいずれか1項に記載の電極構造。
- 処理されるべき表面(21)のほうを向く前記誘電体(8)の当接面は、前記電極構造が処理されるべき表面(21)に当接したときに中間スペースを構成する構造を有することを特徴とする、請求項1から4のいずれか1項に記載の電極構造。
- 前記誘電体(8)と前記部分電極(2,3)は、高さ方向に前記電極構造を通って延びる、前記部分電極(2,3)を取り囲む前記誘電体(8)により連続して区切られる貫通孔(14)を有することを特徴とする、請求項1から5のいずれか1項に記載の電極構造。
- 前記部分電極(2,3)は同じ大きさを有することを特徴とする、請求項1から6のいずれか1項に記載の電極構造。
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