JP2019528464A - 高速微細線幅露光のためのデジタルマイクロミラーデバイス制御器の露光イメージ出力制御方法 - Google Patents
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Abstract
Description
DMDがチルトしているか、または、ステージが高速化したメカニズムを持って傾いて移動されるとき、露光イメージ解像度によるメモリセルでモデリングして仮想化したステージ又はマスクフィルムにDMDとステージ移動方向間の角度で露光イメージを回転させた仮想フレームから出力することを特徴とする。
[式]
セルのアドレス=((Sdx/Scx)×X+(Sdy/Scy)×y)×(Sdx/Scx)W
ここで、SdxはDMDピクセルX軸ピッチ、SdyはDMDピクセルY軸ピッチ、Scxは仮想フレームセルX軸ピッチ、Scyは仮想フレームセルY軸ピッチ、xはDMDピクセルx軸位置、yはDMDピクセルy軸位置、wは仮想フレーム幅である。
[式1]
Sc.y=A×Dtrg
Sc.y=B×Sc.y
ここで、Sc.xは仮想フレームのx軸ピッチ、Aはトリガーディバイダーである。また、Sc.yは仮想フレームのy軸ピッチ、BはSc.yのディバイダーである。
xadj=x−Ex
Ex=−(m/k)×Sc.x
ここで、Exはラスター化誤差、mはライン番号を傾きで分けた余り、Kは傾き、SC.xは仮想フレームのx軸ピッチ
Claims (5)
- ステージを同期化して移動させて露光イメージの光変調DMD出力を制御するデジタルマイクロミラーデバイス制御器の露光イメージ出力制御方法であって、
露光イメージの解像度によるメモリセルでステージ又はマスクフィルムをモデリングしてメモリに仮想化した後、DMDとステージ移動方向間の角度によって露光イメージを回転させて仮想フレームを生成する第1段階と、
前記ステージの露光位置への移動によってシンクコントローラーから対応してステージトリガー信号を受信する第2段階と、
前記ステージトリガー信号の入力時、前記生成された仮想フレームから露光イメージを出力する第3段階とを含む、高速微細線幅露光のためのデジタルマイクロミラーデバイス制御器の露光イメージ出力制御方法。 - 前記第1段階は、
前記露光イメージの解像度によるディスプレイ装置ピクセルパターンと露光イメージのピクセルパターン間の割合による個数分のステージ上の固有位置を有するメモリセルでステージ又はマスクフィルムをモデリングしてメモリに仮想化する第1−1段階と、
前記露光イメージの回転時、DMD原点位置を露光イメージの解像度による傾きで移動させ、DMD原点位置と露光イメージ原点位置間の角度を前記移動に相応する同一値で露光イメージを回転させて仮想フレームを生成する第1−2段階とを含むことを特徴とする、請求項1に記載の高速微細線幅露光のためのデジタルマイクロミラーデバイス制御器の露光イメージ出力制御方法。 - 前記第1−1段階は、
前記仮想フレームセルのピッチをステージと同期化したトリガー間隔に従属して指定する第1−1−1段階と、
前記仮想フレームのグループサイズを傾きの正方行列に相応する行列で設定する第1−1−2段階と、
前記傾きの逆方向に露光イメージをベクターイメージに回転させる第1−1−3段階と、
前記露光イメージのベクターイメージを仮想フレームでラスター化変換し、DMD原点のピクセル移動経路の位置誤差を下記の[式]によって補正する第1−1−3段階と、
[式]
xadj=x−Ex
Ex=−(m/k)×Sc.x
ここで、Exはラスター化誤差、mはライン番号を傾きで分けた余り、Kは傾き、SC.xは仮想フレームのx軸ピッチ、
前記仮想フレーム基準データアドレスはDMD原点ピクセル初期メモリアドレスに指定する第1−1−4段階と、
前記露光開始点はトリガー開始カウントに設定する第1−1−5段階とを含むことを特徴とする、請求項2に記載の高速微細線幅露光のためのデジタルマイクロミラーデバイス制御器の露光イメージ出力制御方法。 - 前記第1段階は、
前記露光イメージの解像度によってステージトリガーを分割し、前記ステージトリガーによる露光イメージの解像度で前記仮想フレームのメモリセルをラスター化して仮想フレームを生成し、
前記第3段階は、
前記露光イメージの解像度によって分割されたステージトリガー信号の入力時、露光イメージの解像度による傾きに対応するチャネルによって、前記生成された仮想フレームから露光イメージを出力することを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の高速微細線幅露光のためのデジタルマイクロミラーデバイス制御器の露光イメージ出力制御方法。 - 前記第3段階は、
傾き基準量に対する露光イメージの解像度による傾き量分の個数単位と露光イメージの解像度による傾き方向による手順で、前記チャネルによって、前記生成された仮想フレームから露光イメージを出力することを特徴とする、請求項4に記載の高速微細線幅露光のためのデジタルマイクロミラーデバイス制御器の露光イメージ出力制御方法。
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