JP2019527942A - 超伝導デバイスの配線構造 - Google Patents
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Abstract
Description
以下に、上記実施形態から把握できる技術思想を付記として記載する。
[付記1]
超伝導デバイスの配線構造を形成する方法であって、
基板を覆う第1の誘電体層を形成するステップと、
前記第1の誘電体層内にベース電極を形成するステップと、前記ベース電極は、前記第1の誘電体層の上面に整列された上面を有し、
前記ベース電極上にジョセフソン接合(JJ)を形成するステップと、
前記JJ、前記ベース電極および前記第1の誘電体層上に第2の誘電体層を堆積するステップと、
前記第2の誘電体層を貫通して前記ベース電極に達する第1のコンタクトを形成して前記第1のコンタクトを前記JJの第1の端部に電気的に結合するようにし、前記第2の誘電体層を貫通して前記JJの第2の端部に達する第2のコンタクトを形成するステップとを含み、
前記JJが、前記ベース電極とニオブ層との間に配置されたアルミニウム/酸化アルミニウム層から形成され、
前記ベース電極がニオブから形成される、方法。
[付記2]
超伝導デバイスの配線構造を形成する方法であって、
基板を覆う第1の誘電体層を形成するステップと、
前記第1の誘電体層内にベース電極を形成するステップと、前記ベース電極は、前記第1の誘電体層の上面に整列された上面を有し、
前記ベース電極上にジョセフソン接合(JJ)を形成するステップと、
前記JJ、前記ベース電極および前記第1の誘電体層上に第2の誘電体層を堆積するステップと、
前記第2の誘電体層を貫通して前記ベース電極に達する第1のコンタクトを形成して前記第1のコンタクトを前記JJの第1の端部に電気的に結合するようにし、前記第2の誘電体層を貫通して前記JJの第2の端部に達する第2のコンタクトを形成するステップとを含み、
前記第1の誘電体層および前記第2の誘電体層に用いられる誘電体材料は、約摂氏160℃の温度で誘電体からなる第1および第2の材料層を形成することができる材料である、方法。
[付記3]
超伝導デバイスの配線構造を形成する方法であって、
基板を覆う第1の誘電体層を形成するステップと、
前記第1の誘電体層内にベース電極を形成するステップと、前記ベース電極は、前記第1の誘電体層の上面に整列された上面を有し、
前記ベース電極上にジョセフソン接合(JJ)を形成するステップと、
前記JJ、前記ベース電極および前記第1の誘電体層上に第2の誘電体層を堆積するステップと、
前記第2の誘電体層を貫通して前記ベース電極に達する第1のコンタクトを形成して前記第1のコンタクトを前記JJの第1の端部に電気的に結合するようにし、前記第2の誘電体層を貫通して前記JJの第2の端部に達する第2のコンタクトを形成するステップとを含み、
前記ベース電極がシングルダマシンプロセスによって形成される、方法。
Claims (20)
- 超伝導デバイスの配線構造を形成する方法であって、
基板を覆う第1の誘電体層を形成するステップと、
前記第1の誘電体層内にベース電極を形成するステップと、前記ベース電極は、前記第1の誘電体層の上面に整列された上面を有し、
前記ベース電極上にジョセフソン接合(JJ)を形成するステップと、
前記JJ、前記ベース電極および前記第1の誘電体層上に第2の誘電体層を堆積するステップと、
前記第2の誘電体層を貫通して前記ベース電極に達する第1のコンタクトを形成して前記第1のコンタクトを前記JJの第1の端部に電気的に結合するようにし、前記第2の誘電体層を貫通して前記JJの第2の端部に達する第2のコンタクトを形成するステップとを含む方法。 - 前記JJが、前記ベース電極とニオブ層との間に配置されたアルミニウム/酸化アルミニウム層から形成される、請求項1に記載の方法。
- 前記ベース電極がニオブから形成される、請求項2に記載の方法。
- 前記第2のコンタクトが、前記JJの直径よりも小さい直径を有する、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の誘電体層および前記第2の誘電体層に用いられる誘電体材料は、約摂氏160℃の温度で誘電体からなる第1および第2の材料層を形成することができる材料である、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のコンタクトの上にある第1の導電線と、前記第2のコンタクトの上にある第2の導電線とを形成するステップをさらに含み、前記第1および第2の導電線は前記第2の誘電体層の上面に整列された上面を有する、請求項1に記載の方法。
- 前記第1および第2のコンタクトならびに前記第1および第2の導電線は、デュアルダマシンプロセスによって形成される、請求項6に記載の方法。
- 前記ベース電極がシングルダマシンプロセスによって形成される、請求項1に記載の方法。
- 前記JJの形成が、
前記ベース電極および前記第1の誘電体層の上にアルミニウム層を堆積するステップと、
前記アルミニウム層を酸化して前記アルミニウム層の前記上面に酸化アルミニウム層を形成するステップと、
前記酸化アルミニウム層の上にニオブ層を形成するステップと、
前記ニオブ層の上にフォトレジスト材料層を堆積しパターンニングしてジョセフソン接合の面積を画定するステップと、
前記ニオブ層、前記酸化アルミニウム層および前記アルミニウム層をエッチングしてJJを形成し、かつ前記ニオブ層、前記酸化アルミニウム層、および前記アルミニウム層の残りの部分を除去するステップと、
前記フォトレジスト材料層を剥離するステップとを含む、請求項1に記載の方法。 - 前記基板と前記第1の誘電体層との間に1つまたは複数の層を形成することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 超伝導デバイスの配線構造を形成する方法であって、
基板を覆う第1の誘電体層を形成するステップと、
前記第1の誘電体層内にニオブベース電極を形成するステップと、前記ニオブベース電極は、前記第1の誘電体層の上面に整列された上面を有し、
ベース電極および前記第1の誘電体層の上にアルミニウム層を堆積するステップと、
前記アルミニウム層を酸化して前記アルミニウム層の上面に酸化アルミニウム層を形成するステップと、
前記酸化アルミニウム層上にニオブ層を形成するステップと、
前記ニオブ層の上にフォトレジスト材料層を堆積しパターンニングしてジョセフソン接合(JJ)の面積を画定するステップと、
画定された面積に基づいて前記ニオブ層、前記酸化アルミニウム層および前記アルミニウム層をエッチングしてJJを形成し、前記ニオブ層、前記酸化アルミニウム層および前記アルミニウム層の残りの部分を除去するステップと、
前記フォトレジスト材料層を剥離するステップと、
前記JJ、前記ベース電極および前記第1の誘電体層の上に第2の誘電体層を堆積するステップと、
前記第2の誘電体層を貫通して前記ベース電極に達する第1のコンタクトを形成して前記第1のコンタクトを前記JJの第1の端部に電気的に結合するようにし、前記第2の誘電体層を貫通して前記JJの第2の端部に達する第2のコンタクトを形成するステップと、
前記第1のコンタクトの上にある第1の導電線と、前記第2のコンタクトの上にある第2の導電線とを形成するステップとを含み、前記第1および第2の導電線は、前記第2の誘電体層の上面と整列された上面を有する、方法。 - 前記第2のコンタクトは、前記JJの直径よりも小さい直径を有する、請求項11に記載の方法。
- 前記第1の誘電体層および前記第2の誘電体層に使用される誘電体材料は、約摂氏160℃の温度で誘電体の第1および第2の材料層を形成することができる材料である、請求項11に記載の方法。
- 前記第1および第2のコンタクトならびに前記第1および第2の導電線は、デュアルダマシンプロセスによって形成される、請求項14に記載の方法。
- 前記ベース電極はシングルダマシンプロセスによって形成される、請求項11に記載の方法。
- 超伝導デバイスの配線構造であって、
基板を覆う第1の誘電体層と、
前記第1の誘電体層内に配置され、前記第1の誘電体層の前記上面と整列された上面を有するニオブベース電極と、
ベース電極の上に接触して配置されたジョセフソン接合(JJ)と、
前記JJ、前記ベース電極および前記第1の誘電体層を覆う第2の誘電体層と、
前記第2の誘電体層の上面から前記ベース電極にまで前記第2の誘電体層を貫通して延在する第1のコンタクトであって、前記第1のコンタクトを前記JJの第1の端部に電気的に結合するための前記第1のコンタクトと、
前記第2の誘電体層を貫通して前記JJの第2の端部にまで延在する第2のコンタクトとを備える配線構造。 - 前記JJが、前記ベース電極とニオブ層との間に配置されたアルミニウム/酸化アルミニウム層から形成される、請求項16に記載の配線構造。
- 前記第2のコンタクトが、前記JJの直径よりも小さい直径を有する、請求項16に記載の配線構造。
- 前記第1の誘電体層および前記第2の誘電体層に用いられる誘電体材料は、約摂氏160℃の温度で誘電体の第1および第2の層を形成することができる材料である、請求項16に記載の配線構造。
- 前記第1のコンタクトを覆う第1の導電線と、前記第2のコンタクトを覆う第2の導電線とをさらに備え、前記第1および第2の導電線は、前記第2の誘電体層の上面と整列された上面を有する、請求項16に記載の配線構造。
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US10608159B2 (en) * | 2016-11-15 | 2020-03-31 | Northrop Grumman Systems Corporation | Method of making a superconductor device |
US10276504B2 (en) | 2017-05-17 | 2019-04-30 | Northrop Grumman Systems Corporation | Preclean and deposition methodology for superconductor interconnects |
US11522118B2 (en) * | 2020-01-09 | 2022-12-06 | Northrop Grumman Systems Corporation | Superconductor structure with normal metal connection to a resistor and method of making the same |
FR3114444B1 (fr) * | 2020-09-21 | 2022-09-30 | Commissariat Energie Atomique | Puce à routage bifonctionnel et procédé de fabrication associé |
US10998486B1 (en) * | 2020-11-10 | 2021-05-04 | Quantala LLC | Reducing qubit energy decay and correlated errors from cosmic rays in quantum processors |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03190289A (ja) * | 1989-12-20 | 1991-08-20 | Fujitsu Ltd | ジョセフソン接合素子及びその製造方法 |
JPH10135527A (ja) * | 1996-11-05 | 1998-05-22 | Agency Of Ind Science & Technol | 超伝導回路構造とその作製方法 |
JP2002299705A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-11 | Yamaguchi Technology Licensing Organization Ltd | 微小面積トンネル接合の作製方法 |
JP2009111306A (ja) * | 2007-11-01 | 2009-05-21 | Hitachi Ltd | ジョセフソン接合を備えた電子デバイスとその製造方法 |
JP2012519379A (ja) * | 2009-02-27 | 2012-08-23 | ディー−ウェイブ システムズ,インコーポレイテッド | 超伝導集積回路を製造するためのシステムおよび方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6281075A (ja) * | 1985-10-04 | 1987-04-14 | Fujitsu Ltd | ジヨセフソン集積回路の製造方法 |
US5338934A (en) * | 1992-07-17 | 1994-08-16 | Fujitsu Limited | Radiation detecting device and method for fabricating the same |
US5962865A (en) * | 1997-04-11 | 1999-10-05 | Trw Inc. | Low inductance superconductive integrated circuit and method of fabricating the same |
KR100283858B1 (ko) * | 1998-10-22 | 2001-04-02 | 정명세 | 초전도 소자 제조방법 |
US7060508B2 (en) * | 2003-02-12 | 2006-06-13 | Northrop Grumman Corporation | Self-aligned junction passivation for superconductor integrated circuit |
JP4810074B2 (ja) * | 2003-06-27 | 2011-11-09 | 株式会社日立製作所 | 超電導デバイス用多層配線の製造方法 |
US7977668B2 (en) * | 2007-05-23 | 2011-07-12 | Northwestern University | Multilayer structure with zirconium-oxide tunnel barriers and applications of same |
JP5103493B2 (ja) * | 2010-02-25 | 2012-12-19 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置およびその製造方法 |
US9780764B2 (en) * | 2010-04-05 | 2017-10-03 | Northrop Grumman Systems Corporation | Phase quantum bit |
WO2012005957A2 (en) * | 2010-07-07 | 2012-01-12 | Advanced Technology Materials, Inc. | Doping of zro2 for dram applications |
WO2013180780A2 (en) * | 2012-03-08 | 2013-12-05 | D-Wave Systems Inc. | Systems and methods for fabrication of superconducting integrated circuits |
US9634224B2 (en) * | 2014-02-14 | 2017-04-25 | D-Wave Systems Inc. | Systems and methods for fabrication of superconducting circuits |
US9929334B2 (en) * | 2015-01-15 | 2018-03-27 | International Business Machines Corporation | Josephson junction with spacer |
US9455391B1 (en) * | 2015-05-19 | 2016-09-27 | The United States Of America As Represented By Secretary Of The Navy | Advanced process flow for quantum memory devices and josephson junctions with heterogeneous integration |
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JPH10135527A (ja) * | 1996-11-05 | 1998-05-22 | Agency Of Ind Science & Technol | 超伝導回路構造とその作製方法 |
JP2002299705A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-11 | Yamaguchi Technology Licensing Organization Ltd | 微小面積トンネル接合の作製方法 |
JP2009111306A (ja) * | 2007-11-01 | 2009-05-21 | Hitachi Ltd | ジョセフソン接合を備えた電子デバイスとその製造方法 |
JP2012519379A (ja) * | 2009-02-27 | 2012-08-23 | ディー−ウェイブ システムズ,インコーポレイテッド | 超伝導集積回路を製造するためのシステムおよび方法 |
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