JP2019203813A - Data processing device, measurement system, and program for data processing - Google Patents

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Abstract

To enable the acceptability of an object to be exactly determined without being affected by a difference in size of a noise component superimposed on a measurement result or ringing.SOLUTION: A processing unit 23 for executing a determination process of determining, on the basis of waveform data D0, whether or not a discharge waveform component is included in its signal waveform, executes, in the determination process, a value conversion process of converting each measured value in accordance with a predefined conversion method and assuming the values after value conversion as new measured values multiple times, determines on the basis of each measured value after the process, whether or not the discharge waveform component is included, as well as executes a first conversion process Na times and a second conversion process Nb times as multiple instances of value conversion process in a predefined sequence, and, in the Nb times second conversion process, converts each measured value of the processing target using M kinds of filter differing in a change rate before and after the second conversion process of measured values.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、波形データの信号波形におけるノイズ成分のなかに放電波形成分が含まれているか否かの判定処理を実行するデータ処理装置およびデータ処理用プログラム、並びにそのようなデータ処理装置と波形データを生成する測定装置とを備えて構成された測定システムに関するものである。   The present invention relates to a data processing device and a data processing program for performing a process for determining whether or not a discharge waveform component is included in a noise component in a signal waveform of waveform data, and such a data processing device and waveform data. It is related with the measuring system comprised with the measuring apparatus which produces | generates.

例えば、下記の特許文献には、被測定コイルの良否を検査するコイル試験装置およびコイル試験方法（以下、単に「試験装置」および「試験方法」ともいう）が開示されている。この試験装置および試験方法では、被測定コイルに高圧インパルス電圧を印加して減衰振動電圧波形を発生させて諸特性（減衰振動時間、実効値、および測定値の絶対値の積分値等）を測定し、測定結果に基づいて被測定コイルの良否を判定する構成・方法が採用されている。具体的には、この試験装置および試験方法では、複数回の測定において測定結果がどの程度変動するかに基づいて「レアーショート」が生じているか否かを判定したり、測定結果と判定用閾値（基準値）とを比較して「コロナ放電」が生じているか否かを判定したりする構成・方法が採用されている。   For example, the following patent documents disclose a coil test apparatus and a coil test method (hereinafter also simply referred to as “test apparatus” and “test method”) for inspecting the quality of a coil to be measured. In this test apparatus and test method, a high-voltage impulse voltage is applied to the coil under measurement to generate a damped oscillating voltage waveform, and various characteristics (such as damped oscillating time, effective value, and integral value of the absolute value of the measured value) are measured. However, a configuration / method for determining the quality of the coil under measurement based on the measurement result is adopted. Specifically, with this test apparatus and test method, it is determined whether or not a “rare short” has occurred based on how much the measurement result fluctuates in multiple measurements, and the measurement result and the threshold for determination A configuration / method is used in which a “corona discharge” is determined by comparing with (reference value).

特開平６−８８８４９号公報（第５−８頁、第１−５図）JP-A-6-88849 (page 5-8, FIG. 1-5)

ところが、上記の特許文献に開示の試験装置および試験方法には、以下のような問題点が存在する。具体的には、上記したように、上記特許文献に開示の試験装置および試験方法では、測定結果と判定用閾値とを比較して被測定コイルに「コロナ放電」が生じているか否かを判定する構成・方法が採用されている。   However, the test apparatus and the test method disclosed in the above patent document have the following problems. Specifically, as described above, in the test apparatus and test method disclosed in the above-mentioned patent document, it is determined whether or not “corona discharge” has occurred in the coil under measurement by comparing the measurement result with the threshold for determination. The configuration / method to be used is adopted.

この場合、この種の装置および方法によって各種の試験対象についての試験を実施する際に取得される測定結果は、「コロナ放電」の発生に起因する「ノイズ成分」（以下、「放電波形成分」ともいう）だけでなく、「放電波形成分」以外の各種の「ノイズ成分」（以下、「非放電波形成分」ともいう）が重畳した状態となる。この「非放電波形成分」のなかには、周波数が「放電波形成分」と同様の「ノイズ成分」も存在する。また、「非放電波形成分」は、試験対象や使用する測定装置によって大きさ（測定値の振幅量）が相違する。   In this case, measurement results obtained when performing tests on various test objects using this type of apparatus and method are “noise components” (hereinafter referred to as “discharge waveform components”) resulting from the occurrence of “corona discharge”. Not only “discharge waveform component” but also various “noise components” (hereinafter also referred to as “non-discharge waveform component”). Among the “non-discharge waveform components”, there is also a “noise component” whose frequency is the same as the “discharge waveform component”. Further, the “non-discharge waveform component” differs in magnitude (amplitude amount of the measurement value) depending on the test object and the measurement device used.

したがって、測定結果に「放電波形成分」が含まれているか否かを判定するための判定用閾値については、大きさが異なる各種の「非放電波形成分」を誤って「放電波形成分」であると判定することのないように十分に大きな値に規定する必要がある。このため、発生した「コロナ放電」の放電量が少ないとき（測定結果に重畳する「放電波形成分」の大きさが小さいとき）には、判定用閾値を大きな値に規定していることで、測定結果に「放電波形成分」が含まれているか否か（「コロナ放電」が発生したか否か）を正確に判定するのが困難となっている現状がある。   Therefore, regarding the determination threshold for determining whether or not “discharge waveform component” is included in the measurement result, various “non-discharge waveform components” having different sizes are erroneously “discharge waveform components”. It is necessary to stipulate a sufficiently large value so that it is not determined. For this reason, when the discharge amount of the generated “corona discharge” is small (when the “discharge waveform component” superimposed on the measurement result is small), the determination threshold is defined as a large value. There is a current situation where it is difficult to accurately determine whether or not “discharge waveform component” is included in the measurement result (whether or not “corona discharge” has occurred).

また、この種の装置および方法によって各種の試験対象についての試験を実施するときに、試験対象の電気的特性や、試験装置における測定回路の回路特性によっては、高圧インパルス電圧の印加時にリンギングが発生し、リンギングの発生時に測定される測定値が大きな値となることがある。また、測定結果を取得する際に使用するデジタルフィルタの特性（測定値をＡ／Ｄ変換する際に使用するフィルタの特性）によっても、高圧インパルス電圧の印加時の測定値が、リンギングの発生時と同様に値が周期的に増減した状態（以下、このような状態についても「リンギングが発生した状態」という）で出力されることがある。しかしながら、高圧インパルス電圧の印加時における信号波形の局所的な値の変動が、リンギングの発生によるものか、「放電波形成分」であるか（「コロナ放電」の発生によるものか）、或いは、その両方によるものかを判別するのが困難となっている。   Also, when performing tests on various test objects using this type of device and method, ringing may occur when a high-voltage impulse voltage is applied, depending on the electrical characteristics of the test object and the circuit characteristics of the measurement circuit in the test apparatus. In addition, the measurement value measured when ringing occurs may be a large value. Also, depending on the characteristics of the digital filter used when obtaining the measurement results (the characteristics of the filter used when A / D converting the measured values), the measured value when the high voltage impulse voltage is applied is Similarly, the value may be output in a state where the value is periodically increased or decreased (hereinafter, such a state is also referred to as “ringing occurs”). However, the fluctuation of the local value of the signal waveform at the time of applying the high voltage impulse voltage is due to the occurrence of ringing, “discharge waveform component” (whether due to the occurrence of “corona discharge”), or It is difficult to determine whether it is due to both.

このため、実際には「コロナ放電」が生じていないにもかかわらず、リンギングの発生に起因して大きな値となった測定値の存在に基づいて「コロナ放電」が生じていると誤判定されるおそれがある。また、「コロナ放電」が生じていた場合にも、「コロナ放電」の発生に起因して大きな値となった「放電波形成分」だけでなく、リンギングの発生に起因して大きな値となった「非放電波形成分」が「コロナ放電」の発生に起因するものとしてカウントされ、結果として、実際に発生した「コロナ放電」の発生数よりも多くの「コロナ放電」が発生したと誤判定されるおそれがある。   For this reason, it is erroneously determined that “corona discharge” has occurred based on the presence of a large measured value due to the occurrence of ringing even though “corona discharge” has not actually occurred. There is a risk. In addition, even when “corona discharge” occurred, not only “discharge waveform component” which became large due to the occurrence of “corona discharge” but also large value due to the occurrence of ringing. “Non-discharge waveform components” are counted as being caused by the occurrence of “corona discharge”, and as a result, it is erroneously determined that more “corona discharges” have occurred than the number of “corona discharges” that have actually occurred. There is a risk.

この場合、「周期的なノイズ成分」である「リンギング」については、測定結果に対する的確なフィルタリング処理によってその影響を低減できる可能性がある。しかしながら、測定結果に含まれている「リンギング」の影響を除去するには、測定処理に際して「リンギング」が発生したか否か（「周期的なノイズ成分」が測定結果に含まれているか否か）や、どのような周期でどのようなレベルの「リンギング」が発生したか（どのような周期のどのようなレベルの「周期的なノイズ成分」が測定結果に含まれているか）を正しく分析する必要があり、この分析処理は決して容易ではない。また、上記のように「リンギング」の発生要因が複数存在することから、測定処理に際して複数種類の「リンギング」が発生する（周期やレベルが異なる複数種類の「周期的なノイズ成分」が測定結果に含まれた状態となる）こともあり、単純なフィルタリング処理ではそれらの「リンギング」の影響を十分に低減するのは困難となっている。   In this case, there is a possibility that the influence of “ringing”, which is a “periodic noise component”, can be reduced by an accurate filtering process on the measurement result. However, in order to eliminate the influence of “ringing” included in the measurement result, whether or not “ringing” has occurred during the measurement process (whether or not “periodic noise component” is included in the measurement result). ) And what level of “ringing” occurred in what period (what level of “periodic noise component” is included in the measurement result) This analysis process is never easy. In addition, there are multiple causes of “ringing” as described above, so multiple types of “ringing” occur during the measurement process (measurement results of multiple types of “periodic noise components” with different periods and levels). In other words, it is difficult to sufficiently reduce the influence of the “ringing” by a simple filtering process.

一方、この種の装置・方法による前述のような試験（測定）においては、たとえ同種の試験対象（同一型式の電子機器等）であっても、各個体毎に測定結果が僅かに相違することがある。このため、これらのばらつきを考慮した判定用閾値を規定するには、試験対象と同種の複数個の良品の個体について複数回の測定処理を実行して最適値を特定する必要がある。しかしながら、複数個の良品の個体の個体差に起因する測定結果のばらつきの大きさが、試験対象の個体に不良が生じているか否かによって生じる測定結果の相違量と同程度、或いはそれ以上となることがある。このため、正確な良否判定が可能な判定用閾値の規定自体が困難となっている。   On the other hand, in the test (measurement) as described above using this type of apparatus / method, the measurement results differ slightly for each individual even if the test target is the same type (such as the same type of electronic equipment). There is. For this reason, in order to define a threshold value for determination in consideration of these variations, it is necessary to specify an optimum value by performing measurement processing a plurality of times for a plurality of non-defective products of the same type as the test object. However, the magnitude of the variation in measurement results due to individual differences among multiple non-defective individuals is similar to or greater than the amount of difference in measurement results caused by whether or not the test subject is defective. May be. For this reason, it is difficult to define a determination threshold value that can accurately determine pass / fail.

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、測定結果に重畳するノイズ成分の大きさの相違やリンギングの影響を受けることなく、対象物の良否を正確に判定し得るデータ処理装置およびデータ処理用プログラム、並びにそのようなデータ処理装置を備えて構成された測定システムを提供することを主目的とする。また、判定用閾値の取得を目的とする複数回の測定処理を行うことなく対象物の良否を正確に判定し得るデータ処理装置およびデータ処理用プログラム、並びにそのようなデータ処理装置を備えて構成された測定システムを提供することを他の目的とする。   The present invention has been made in view of such problems, and is a data processing apparatus that can accurately determine the quality of an object without being affected by the difference in the size of noise components superimposed on measurement results or the influence of ringing. And a data processing program, and a measurement system configured to include such a data processing device. A data processing apparatus and a data processing program that can accurately determine the quality of an object without performing multiple measurement processes for the purpose of obtaining a determination threshold value, and such a data processing apparatus. Another object is to provide an improved measurement system.

上記目的を達成すべく、請求項１記載のデータ処理装置は、予め規定されたサンプリング周期で測定された複数の測定値が記録されている波形データを取得して当該波形データの信号波形におけるノイズ成分のなかに放電波形成分が含まれているか否かを判定する判定処理を実行する処理部を備えたデータ処理装置であって、前記処理部は、前記判定処理において、前記各測定値を予め規定された変換方法に従って値変換して変換後の値を新たな当該各測定値とする値変換処理を複数回実行して処理後の当該各測定値に基づいて前記放電波形成分が含まれているか否かを判定すると共に、複数回の前記値変換処理として、取得した前記波形データの前記信号波形における最大振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第１の絶対値が、当該取得した波形データの当該信号波形における前記ノイズ成分の振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第２の絶対値よりも小さくなるように処理対象の当該各測定値を値変換するＮａ回（Ｎａは、予め規定された自然数）の第１の変換処理と、前記取得した波形データの前記信号波形における周期的な前記ノイズ成分の振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第３の絶対値が、当該取得した波形データの当該信号波形における非周期的な前記ノイズ成分の振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第４の絶対値よりも小さくなるように処理対象の前記各測定値を値変換するＮｂ回（Ｎｂは、予め規定された２以上の自然数）の第２の変換処理とを予め規定された順序で実行し、前記Ｎｂ回の第２の変換処理において、前記第３の絶対値の当該第２の変換処理の前後における変化率が異なるＭ種類（Ｍは、２以上Ｎｂ以下の予め規定された自然数）のフィルタを使用して前記処理対象の各測定値を値変換する。   In order to achieve the above object, the data processing device according to claim 1 acquires waveform data in which a plurality of measurement values measured at a predetermined sampling period are recorded, and noise in a signal waveform of the waveform data. A data processing apparatus including a processing unit that executes a determination process for determining whether or not a discharge waveform component is included in a component, wherein the processing unit previously stores each measurement value in the determination process. The discharge waveform component is included based on each measured value after the value conversion processing is performed a plurality of times by converting the value according to the specified conversion method and using the converted value as each new measured value. Conversion target corresponding to the maximum value of the absolute values of the respective measured values of the maximum amplitude portion in the signal waveform of the acquired waveform data as a plurality of the value conversion processes The first absolute value that is the absolute value of the measured value is the conversion target corresponding to the maximum value of the absolute values of the measured values of the amplitude part of the noise component in the signal waveform of the acquired waveform data. A first conversion process of Na times (Na is a pre-defined natural number) for converting each measurement value to be processed so as to be smaller than a second absolute value that is an absolute value of the measurement value; A third absolute value that is the absolute value of the measurement value to be converted corresponding to the maximum value of the absolute values of the respective measurement values of the amplitude part of the periodic noise component in the signal waveform of the acquired waveform data The value is the absolute value of the measured value of the conversion target corresponding to the maximum value of the absolute values of the measured values of the amplitude part of the non-periodic noise component in the signal waveform of the acquired waveform data Less than the fourth absolute value Nb times (Nb is a predetermined natural number equal to or greater than 2) of the second conversion processing for performing the value conversion on each measurement value to be processed in the order specified in the above, In the second conversion process, using the M types of filters (M is a predetermined natural number of 2 or more and Nb or less) having different rates of change before and after the second conversion process of the third absolute value, Convert each measured value to be processed.

請求項２記載のデータ処理装置は、請求項１記載のデータ処理装置において、前記処理部は、前記判定処理において、前記放電波形成分が含まれているか否かを判定する前記各測定値を絶対値化して判定用データを生成し、当該判定用データの前記各測定値における最大値の１／Ｌａの値（Ｌａは、１よりも大きい予め規定された正の実数）を第１の暫定閾値とする第１の処理と、前記判定用データの前記各測定値のうちの前記第１の暫定閾値を下回る当該測定値の数が標準偏差σに対する予め規定された範囲内の数であるか否かを判別する第２の処理とを実行し、前記第２の処理において、前記第１の暫定閾値を下回る前記測定値の数が前記予め規定された範囲を外れて少ないと判別したきに当該第１の暫定閾値の１／Ｌｂの値（Ｌｂは、１よりも大きい予め規定された正の実数）を当該第１の暫定閾値に加算した値を新たな前記第１の暫定閾値として前記第２の処理を再び実行し、前記第１の暫定閾値を下回る前記測定値の数が前記予め規定された範囲を外れて多いと判別したときに当該第１の暫定閾値の１／Ｌｃの値（Ｌｃは、１よりも大きい予め規定された正の実数）を当該第１の暫定閾値から減算した値を新たな前記第１の暫定閾値として前記第２の処理を再び実行し、かつ前記第１の暫定閾値を下回る前記測定値の数が前記予め規定された範囲内であると判別したときに前記第１の暫定閾値を第２の暫定閾値とすると共に、標準偏差ｎσ（ｎは、予め規定された正の実数）に対応する判定用閾値を前記第２の暫定閾値に基づいて特定する第３の処理を実行し、前記判定用閾値を超える前記測定値が前記判定用データに含まれているときに前記取得した波形データの前記信号波形に前記放電波形成分が含まれていると判定し、前記判定用閾値を超える前記測定値が前記判定用データに含まれていないときに前記取得した波形データの前記信号波形に前記放電波形成分が含まれていないと判定する。   The data processing device according to claim 2 is the data processing device according to claim 1, wherein the processing unit is configured to absolutely calculate each measurement value for determining whether or not the discharge waveform component is included in the determination processing. The data for determination is generated to generate determination data, and a value of 1 / La (La is a positive real number defined in advance greater than 1) of the maximum value of each measurement value of the determination data is set as the first provisional threshold. And whether the number of the measurement values below the first provisional threshold among the measurement values of the determination data is a number within a predetermined range with respect to the standard deviation σ. A second process for determining whether or not in the second process, it is determined that the number of the measured values that are below the first provisional threshold is less than the predetermined range. The value of 1 / Lb of the first provisional threshold (Lb is A value obtained by adding a predetermined positive real number larger than the first provisional threshold to the new provisional threshold, the second process is executed again, and the value falls below the first provisional threshold. When it is determined that the number of measured values is larger than the predetermined range, 1 / Lc of the first provisional threshold (Lc is a predetermined positive real number greater than 1). The second process is performed again using the value subtracted from the first provisional threshold as the new first provisional threshold, and the number of the measurement values below the first provisional threshold is defined in advance. When it is determined that the value is within the range, the first provisional threshold is set as the second provisional threshold, and the determination threshold corresponding to the standard deviation nσ (n is a positive real number defined in advance) is set as the second provisional threshold. A third process that is identified based on the provisional threshold of When the measurement data exceeding the value is included in the determination data, the signal waveform of the acquired waveform data is determined to include the discharge waveform component, and the measurement value exceeds the determination threshold Is not included in the determination data, it is determined that the discharge waveform component is not included in the signal waveform of the acquired waveform data.

請求項３記載のデータ処理装置は、請求項１または２記載のデータ処理装置において、前記処理部は、前記判定処理において、前記取得した波形データの前記各測定値における前記連続するＫサンプリング内の変化量をそれぞれ特定する変化量特定処理と、前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が少量の前記Ｍ種類の前記フィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ａと、前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が前記処理Ａ時に使用する前記各フィルタよりも多い前記Ｍ種類のフィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ｂと、前記変化量特定処理によって特定した前記変化量が予め規定された量を下回る前記測定値を前記処理Ａによって変換された前記測定値に置き換えると共に、前記変化量特定処理によって特定した前記変化量が前記予め規定された量以上の前記測定値を前記処理Ｂによって変換された前記測定値に置き換える第１の置換処理とを実行し、前記第１の置換処理によって置き換えた前記各測定値に基づいて前記放電波形成分が含まれているか否かを判定する。   The data processing device according to claim 3 is the data processing device according to claim 1 or 2, wherein, in the determination process, the processing unit includes the successive K samplings in the measured values of the acquired waveform data. A change amount specifying process for specifying each change amount, and each of the value conversion processes using the M types of filters in which the amount of decrease in the third absolute value is small in the Nb second conversion processes. The process A to be executed and the respective values using the M types of filters in which the amount of decrease in the third absolute value is larger than the filters used in the process A in the Nb second conversion processes. The measurement value converted by the process A is replaced with the process B that executes the conversion process and the measurement value in which the change amount specified by the change amount specifying process is less than a predetermined amount. And a first replacement process that replaces the measured value that is greater than or equal to the predetermined amount by the measured value converted by the process B with the change amount specified by the change amount specifying process, It is determined whether or not the discharge waveform component is included based on the measured values replaced by the first replacement process.

請求項４記載のデータ処理装置は、請求項１または２記載のデータ処理装置において、前記処理部は、前記判定処理において、前記取得した波形データの前記各測定値における前記連続するＫサンプリング内の変化量をそれぞれ特定する変化量特定処理と、前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が少量の前記Ｍ種類の前記フィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ａと、前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が前記処理Ａ時に使用する前記各フィルタよりも多い前記Ｍ種類のフィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ｂと、前記変化量特定処理によって特定した前記変化量が最も小さい前記測定値が前記処理Ａによって変換された前記測定値に置き換わり、かつ当該変化量が最も大きい前記測定値が前記処理Ｂによって変換された前記測定値に置き換わるように、前記各測定値を当該変化量の大きさに応じて当該処理Ａによって変換された当該測定値から当該処理Ｂによって変換された当該測定値までの範囲内の値に置き換える第２の置換処理とを実行し、前記第２の置換処理によって置き換えた前記各測定値に基づいて前記放電波形成分が含まれているか否かを判定する。   The data processing device according to claim 4 is the data processing device according to claim 1 or 2, wherein, in the determination processing, the processing unit includes the continuous K sampling in the measured values of the acquired waveform data. A change amount specifying process for specifying each change amount, and each of the value conversion processes using the M types of filters in which the amount of decrease in the third absolute value is small in the Nb second conversion processes. The process A to be executed and the respective values using the M types of filters in which the amount of decrease in the third absolute value is larger than the filters used in the process A in the Nb second conversion processes. The process B for executing the conversion process, the measurement value having the smallest change amount specified by the change amount specifying process is replaced with the measurement value converted by the process A, and Each measurement value is changed from the measurement value converted by the process A according to the magnitude of the change amount so that the measurement value having the largest conversion amount is replaced with the measurement value converted by the process B. A second replacement process that replaces the value within the range up to the measurement value converted by the process B, and the discharge waveform component is included based on the respective measurement values replaced by the second replacement process. It is determined whether or not.

請求項５記載の測定システムは、請求項１から４のいずれかに記載のデータ処理装置と、測定対象についての前記予め規定されたサンプリング周期での測定を実行して前記波形データを出力する測定装置とを備えて構成されている。   A measurement system according to a fifth aspect of the present invention is the measurement system according to any one of the first to fourth aspects, wherein the measurement data is output at the predetermined sampling period of the measurement target and the waveform data is output. And a device.

請求項６記載のデータ処理用プログラムは、予め規定されたサンプリング周期で測定された複数の測定値が記録されている波形データを取得して当該波形データの信号波形におけるノイズ成分のなかに放電波形成分が含まれているか否かを判定する判定処理をデータ処理装置の処理部に実行させるデータ処理用プログラムであって、前記判定処理において、前記各測定値を予め規定された変換方法に従って値変換して変換後の値を新たな当該各測定値とする値変換処理を複数回実行して処理後の当該各測定値に基づいて前記放電波形成分が含まれているか否かを判定すると共に、複数回の前記値変換処理として、取得した前記波形データの前記信号波形における最大振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第１の絶対値が、当該取得した波形データの当該信号波形における前記ノイズ成分の振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第２の絶対値よりも小さくなるように処理対象の当該各測定値を値変換するＮａ回（Ｎａは、予め規定された自然数）の第１の変換処理と、前記取得した波形データの前記信号波形における周期的な前記ノイズ成分の振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第３の絶対値が、当該取得した波形データの当該信号波形における非周期的な前記ノイズ成分の振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第４の絶対値よりも小さくなるように処理対象の前記各測定値を値変換するＮｂ回（Ｎｂは、予め規定された２以上の自然数）の第２の変換処理とを予め規定された順序で実行し、前記Ｎｂ回の第２の変換処理において、前記第３の絶対値の当該第２の変換処理の前後における変化率が異なるＭ種類（Ｍは、２以上Ｎｂ以下の予め規定された自然数）のフィルタを使用して前記処理対象の各測定値を値変換する処理を前記処理部に実行させる。   The data processing program according to claim 6 acquires waveform data in which a plurality of measurement values measured at a predetermined sampling period are recorded, and a discharge waveform in a noise component in a signal waveform of the waveform data. A data processing program for causing a processing unit of a data processing device to execute a determination process for determining whether or not a component is included, wherein in the determination process, the measured values are converted according to a predetermined conversion method. Then, it is determined whether or not the discharge waveform component is included based on each measured value after performing the value conversion process with the converted value as each new measured value multiple times. As the value conversion processing of a plurality of times, the measurement of the conversion target corresponding to the maximum value among the absolute values of the measured values of the maximum amplitude portion in the signal waveform of the acquired waveform data. The first absolute value that is the absolute value of the value is the measurement of the conversion target corresponding to the maximum value among the absolute values of the measured values of the amplitude part of the noise component in the signal waveform of the acquired waveform data. A first conversion process of Na times (Na is a pre-defined natural number) for converting each of the measurement values to be processed so as to be smaller than a second absolute value that is an absolute value of the value, and the acquisition A third absolute value that is the absolute value of the measurement value to be converted corresponding to the maximum value of the absolute values of the measurement values of the amplitude part of the periodic noise component in the signal waveform of the waveform data obtained is The absolute value of the measurement value to be converted corresponding to the maximum value of the absolute values of the measurement values of the amplitude part of the non-periodic noise component in the signal waveform of the acquired waveform data is fourth. To be smaller than the absolute value of Nb times (Nb is a predetermined natural number equal to or greater than 2) of the second conversion processing for performing value conversion on each measurement value to be processed in a predetermined order, and the Nb second values are converted. In the conversion process, the processing target is obtained using M types of filters (M is a predetermined natural number of 2 or more and Nb or less) having different rates of change before and after the second conversion process of the third absolute value. The processing unit is caused to execute a process for converting each measured value.

請求項７記載のデータ処理用プログラムは、請求項６記載のデータ処理用プログラムにおいて、前記判定処理において、前記放電波形成分が含まれているか否かを判定する前記各測定値を絶対値化して判定用データを生成し、当該判定用データの前記各測定値における最大値の１／Ｌａの値（Ｌａは、１よりも大きい予め規定された正の実数）を第１の暫定閾値とする第１の処理と、前記判定用データの前記各測定値のうちの前記第１の暫定閾値を下回る当該測定値の数が標準偏差σに対する予め規定された範囲内の数であるか否かを判別する第２の処理とを実行し、前記第２の処理において、前記第１の暫定閾値を下回る前記測定値の数が前記予め規定された範囲を外れて少ないと判別したきに当該第１の暫定閾値の１／Ｌｂの値（Ｌｂは、１よりも大きい予め規定された正の実数）を当該第１の暫定閾値に加算した値を新たな前記第１の暫定閾値として前記第２の処理を再び実行し、前記第１の暫定閾値を下回る前記測定値の数が前記予め規定された範囲を外れて多いと判別したときに当該第１の暫定閾値の１／Ｌｃの値（Ｌｃは、１よりも大きい予め規定された正の実数）を当該第１の暫定閾値から減算した値を新たな前記第１の暫定閾値として前記第２の処理を再び実行し、かつ前記第１の暫定閾値を下回る前記測定値の数が前記予め規定された範囲内であると判別したときに前記第１の暫定閾値を第２の暫定閾値とすると共に、標準偏差ｎσ（ｎは、予め規定された正の実数）に対応する判定用閾値を前記第２の暫定閾値に基づいて特定する第３の処理を実行し、前記判定用閾値を超える前記測定値が前記判定用データに含まれているときに前記取得した波形データの前記信号波形に前記放電波形成分が含まれていると判定し、前記判定用閾値を超える前記測定値が前記判定用データに含まれていないときに前記取得した波形データの前記信号波形に前記放電波形成分が含まれていないと判定する処理を前記処理部に実行させる。   A data processing program according to a seventh aspect is the data processing program according to the sixth aspect, wherein in the determination processing, the measurement values for determining whether or not the discharge waveform component is included are converted into absolute values. The determination data is generated, and a value of 1 / La of the maximum value of each measurement value of the determination data (La is a positive real number defined in advance greater than 1) is used as a first provisional threshold. 1, and whether or not the number of the measured values below the first provisional threshold among the measured values of the determination data is a number within a predetermined range with respect to the standard deviation σ The second process is performed, and in the second process, the first value is determined when it is determined that the number of measured values that are less than the first provisional threshold is less than the predetermined range. The value of 1 / Lb of the provisional threshold (Lb is The second process is performed again using the value obtained by adding a predetermined positive real number greater than 1 to the first provisional threshold as the new first provisional threshold, and the first provisional threshold is set to The value of 1 / Lc of the first provisional threshold when it is determined that the number of measured values below is outside the predefined range (Lc is a predefined positive real number greater than 1) The second process is executed again using the value obtained by subtracting the value from the first provisional threshold as the new first provisional threshold, and the number of measurement values below the first provisional threshold is defined in advance. The first provisional threshold is set as the second provisional threshold when it is determined to be within the range, and the determination threshold corresponding to the standard deviation nσ (n is a positive real number defined in advance) is set as the first provisional threshold. Performing the third process to be identified based on the provisional threshold of 2, and When the measurement data that exceeds a threshold is included in the determination data, it is determined that the discharge waveform component is included in the signal waveform of the acquired waveform data, and the measurement value that exceeds the determination threshold When the signal is not included in the determination data, the processing unit is caused to execute a process of determining that the signal waveform of the acquired waveform data does not include the discharge waveform component.

請求項８記載のデータ処理用プログラムは、請求項６または７記載のデータ処理用プログラムにおいて、前記判定処理において、前記取得した波形データの前記各測定値における前記連続するＫサンプリング内の変化量をそれぞれ特定する変化量特定処理と、前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が少量の前記Ｍ種類の前記フィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ａと、前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が前記処理Ａ時に使用する前記各フィルタよりも多い前記Ｍ種類のフィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ｂと、前記変化量特定処理によって特定した前記変化量が予め規定された量を下回る前記測定値を前記処理Ａによって変換された前記測定値に置き換えると共に、前記変化量特定処理によって特定した前記変化量が前記予め規定された量以上の前記測定値を前記処理Ｂによって変換された前記測定値に置き換える第１の置換処理とを実行し、前記第１の置換処理によって置き換えた前記各測定値に基づいて前記放電波形成分が含まれているか否かを判定する処理を前記処理部に実行させる。   The data processing program according to claim 8 is the data processing program according to claim 6 or 7, wherein, in the determination process, the amount of change in the continuous K sampling in each measurement value of the acquired waveform data is calculated. A change amount specifying process for specifying each of the values, and a process for executing each value conversion process using the M types of filters with a small amount of decrease in the third absolute value in the Nb second conversion processes. A and the Nb number of filters in the Nb second conversion process are used to perform the value conversion processes using the M types of filters that are greater than the filters used in the process A. A process B to be executed and the measurement value in which the change amount specified by the change amount specifying process is less than a predetermined amount are placed in the measurement value converted by the process A. And a first replacement process for replacing the measurement value that is specified by the change amount specifying process with the measurement value converted by the process B with the measurement value that is greater than or equal to the predetermined amount, The processing unit is caused to execute a process of determining whether or not the discharge waveform component is included based on the measured values replaced by the first replacement process.

請求項９記載のデータ処理用プログラムは、請求項６または７記載のデータ処理用プログラムにおいて、前記判定処理において、前記取得した波形データの前記各測定値における前記連続するＫサンプリング内の変化量をそれぞれ特定する変化量特定処理と、前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が少量の前記Ｍ種類の前記フィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ａと、前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が前記処理Ａ時に使用する前記各フィルタよりも多い前記Ｍ種類のフィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ｂと、前記変化量特定処理によって特定した前記変化量が最も小さい前記測定値が前記処理Ａによって変換された前記測定値に置き換わり、かつ当該変化量が最も大きい前記測定値が前記処理Ｂによって変換された前記測定値に置き換わるように、前記各測定値を当該変化量の大きさに応じて当該処理Ａによって変換された当該測定値から当該処理Ｂによって変換された当該測定値までの範囲内の値に置き換える第２の置換処理とを実行し、前記第２の置換処理によって置き換えた前記各測定値に基づいて前記放電波形成分が含まれているか否かを判定する処理を前記処理部に実行させる。   The data processing program according to claim 9 is the data processing program according to claim 6 or 7, wherein, in the determination process, the amount of change in the continuous K sampling in each measurement value of the acquired waveform data is calculated. A change amount specifying process for specifying each of the values, and a process for executing each value conversion process using the M types of filters with a small amount of decrease in the third absolute value in the Nb second conversion processes. A and the Nb number of filters in the Nb second conversion process are used to perform the value conversion processes using the M types of filters that are greater than the filters used in the process A. The measured value having the smallest change amount specified by the process B to be executed and the change amount specifying process is replaced with the measured value converted by the process A, and Each measurement value is changed from the measurement value converted by the process A according to the magnitude of the change amount so that the measurement value having the largest change amount is replaced with the measurement value converted by the process B. A second replacement process that replaces the value within the range up to the measurement value converted by the process B, and the discharge waveform component is included based on the respective measurement values replaced by the second replacement process. The processing unit is caused to execute a process of determining whether or not the

請求項１記載のデータ処理装置では、予め規定されたサンプリング周期で測定された複数の測定値が記録されている波形データに基づいて波形データの信号波形におけるノイズ成分のなかに放電波形成分が含まれているか否かを判定する判定処理において、処理部が、各測定値を予め規定された変換方法に従って値変換して変換後の値を新たな各測定値とする値変換処理を複数回実行して処理後の各測定値に基づいて放電波形成分が含まれているか否かを判定すると共に、複数回の値変換処理として、取得した波形データの信号波形における最大振幅部の各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である第１の絶対値が、取得した波形データの信号波形におけるノイズ成分の振幅部の各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である第２の絶対値よりも小さくなるように処理対象の各測定値を値変換するＮａ回の第１の変換処理と、取得した波形データの信号波形における周期的なノイズ成分の振幅部の各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である第３の絶対値が、取得した波形データの信号波形における非周期的なノイズ成分の振幅部の各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である第４の絶対値よりも小さくなるように処理対象の各測定値を値変換するＮｂ回の第２の変換処理とを予め規定された順序で実行し、Ｎｂ回の第２の変換処理において、第３の絶対値の第２の変換処理の前後における変化率が異なるＭ種類のフィルタを使用して処理対象の各測定値を値変換する。また、請求項６記載のデータ処理用プログラムでは、上記の各処理をデータ処理装置の処理部に実行させる。   The data processing apparatus according to claim 1, wherein a discharge waveform component is included in a noise component in a signal waveform of waveform data based on waveform data in which a plurality of measurement values measured at a predetermined sampling period are recorded. In the determination process for determining whether or not the measured value has been converted, the processing unit converts the measured values according to a predetermined conversion method, and executes a value conversion process using the converted values as new measured values a plurality of times. In addition, it is determined whether or not the discharge waveform component is included based on each measured value after processing, and as a plurality of value conversion processing, each measured value of the maximum amplitude portion in the signal waveform of the acquired waveform data is determined. The first absolute value, which is the absolute value of the measurement value to be converted, corresponding to the maximum value of the absolute values is the absolute value of each measurement value of the amplitude component of the noise component in the signal waveform of the acquired waveform data. Most A first conversion process of Na times for converting each measurement value to be processed so as to be smaller than a second absolute value that is an absolute value of the measurement value to be converted corresponding to the value, and the acquired waveform data The third absolute value that is the absolute value of the measurement value to be converted corresponding to the maximum value among the absolute values of the measurement values of the amplitude part of the periodic noise component in the signal waveform is the signal waveform of the acquired waveform data. Each of the processing objects so as to be smaller than the fourth absolute value that is the absolute value of the measurement value of the conversion target corresponding to the maximum value among the absolute values of the measurement values of the amplitude part of the non-periodic noise component Nb second conversion processing for converting the measured value into values is executed in a predetermined order, and the Nb second conversion processing changes the third absolute value before and after the second conversion processing. Each measurement subject to processing using M types of filters with different rates The value to value conversion. According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a data processing program for causing the processing section of the data processing apparatus to execute each of the above processes.

したがって、請求項１記載のデータ処理装置、および請求項６記載のデータ処理用プログラムによれば、Ｎａ回の第１の変換処理によって、測定結果に重畳するノイズ成分の大きさの相違や、測定値の本来的な変化（取得した波形データの信号波形における大まかな変化）の影響を受けることなくノイズ成分が抽出されるため、不定期に発生する放電に対応する測定値を選択的に大きな値とすることができ、周期やレベルが異なる複数種類のリンギングが発生したとしても、Ｍ種類のフィルタを使用したＮｂ回の第２の変換処理によって、その影響を十分に軽減することができるため、波形データの信号波形に放電波形成分が含まれているか否かを正確に判定することができる。   Therefore, according to the data processing device according to claim 1 and the data processing program according to claim 6, the difference in the magnitude of the noise component superimposed on the measurement result or the measurement by the first conversion processing Na times. The noise component is extracted without being affected by the original change in value (rough change in the signal waveform of the acquired waveform data), so the measured value corresponding to the discharge that occurs irregularly can be selected as a large value. Even if multiple types of ringing with different periods and levels occur, the influence can be sufficiently reduced by the Nb second conversion processing using M types of filters, Whether or not a discharge waveform component is included in the signal waveform of the waveform data can be accurately determined.

請求項２記載のデータ処理装置では、処理部が、判定処理において、放電波形成分が含まれているか否かを判定する各測定値を絶対値化した判定用データの各測定値における最大値の１／Ｌａの値を第１の暫定閾値とする第１の処理と、判定用データの各測定値のうちの第１の暫定閾値を下回る測定値の数が標準偏差σに対する予め規定された範囲内の数であるか否かを判別する第２の処理とを実行し、第２の処理において、第１の暫定閾値を下回る測定値の数が予め規定された範囲を外れて少ないと判別したきに第１の暫定閾値の１／Ｌｂの値を第１の暫定閾値に加算した値を新たな第１の暫定閾値として第２の処理を再び実行し、第２の処理において第１の暫定閾値を下回る測定値の数が予め規定された範囲を外れて多いと判別したときに第１の暫定閾値の１／Ｌｃの値を第１の暫定閾値から減算した値を新たな第１の暫定閾値として第２の処理を再び実行し、かつ第２の処理において第１の暫定閾値を下回る測定値の数が予め規定された範囲内であると判別したときに第１の暫定閾値を第２の暫定閾値とすると共に、標準偏差ｎσに対応する判定用閾値を第２の暫定閾値に基づいて特定する第３の処理を実行し、判定用閾値を超える測定値が判定用データに含まれているときに波形データの信号波形に放電波形成分が含まれていると判定し、判定用閾値を超える測定値が判定用データに含まれていないときに波形データの信号波形に放電波形成分が含まれていないと判定する。また、請求項７記載のデータ処理用プログラムでは、上記の各処理をデータ処理装置の処理部に実行させる。   In the data processing device according to claim 2, the processing unit determines the maximum value in each measurement value of the determination data obtained by converting each measurement value for determining whether or not the discharge waveform component is included in the determination process into an absolute value. A first range in which the value of 1 / La is used as a first provisional threshold, and the number of measurement values that are less than the first provisional threshold among the measurement values of the determination data are defined in advance with respect to the standard deviation σ. And determining whether or not the number of measured values that fall below the first provisional threshold is less than a predetermined range in the second process. The second process is executed again using a value obtained by adding 1 / Lb of the first provisional threshold to the first provisional threshold as a new first provisional threshold, and the first provisional threshold is obtained in the second process. When it is determined that the number of measured values that fall below the threshold is outside the pre-defined range The second process is executed again using a value obtained by subtracting the value of 1 / Lc of the first temporary threshold from the first temporary threshold as a new first temporary threshold, and the first temporary threshold is set in the second process. The first provisional threshold is set as the second provisional threshold when it is determined that the number of measurement values below the predetermined range, and the determination threshold corresponding to the standard deviation nσ is set as the second provisional threshold. And determining that the waveform waveform signal waveform includes a discharge waveform component when a measurement value exceeding the determination threshold value is included in the determination data. It is determined that the discharge waveform component is not included in the signal waveform of the waveform data when the measurement value exceeding the threshold for use is not included in the determination data. According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a data processing program for causing a processing unit of a data processing apparatus to execute each of the above processes.

したがって、請求項２記載のデータ処理装置、および請求項７記載のデータ処理用プログラムによれば、判定用閾値の規定に際して、複数個の良品の測定対象についての測定処理を実行する必要がないだけでなく、各測定対象の個体差が大きい場合であっても、測定対象についての測定処理を１回実行して波形データ生成することで、その測定対象の状態に即し、かつ測定装置の回路特性や測定環境の影響を受けることがない測定対象用の判定用閾値を規定することができる。   Therefore, according to the data processing device according to claim 2 and the data processing program according to claim 7, it is not necessary to execute measurement processing for a plurality of non-defective measurement objects when defining the threshold for determination. In addition, even when there is a large individual difference between the measurement targets, the measurement process for the measurement target is executed once to generate waveform data, which matches the state of the measurement target and the circuit of the measurement device. It is possible to define a determination threshold for a measurement object that is not affected by characteristics or measurement environment.

請求項３記載のデータ処理装置では、処理部が、判定処理において、取得した波形データの各測定値における連続するＫサンプリング内の変化量をそれぞれ特定する変化量特定処理と、Ｎｂ回の第２の変換処理において第３の絶対値の低下量が少量のＭ種類のフィルタを使用して各値変換処理を実行する処理Ａと、Ｎｂ回の第２の変換処理において第３の絶対値の低下量が処理Ａ時に使用する各フィルタよりも多いＭ種類のフィルタを使用して各値変換処理を実行する処理Ｂと、変化量特定処理によって特定した変化量が予め規定された量を下回る測定値を処理Ａによって変換された測定値に置き換えると共に、変化量特定処理によって特定した変化量が予め規定された量以上の測定値を処理Ｂによって変換された測定値に置き換える第１の置換処理とを実行し、第１の置換処理によって置き換えた各測定値に基づいて放電波形成分が含まれているか否かを判定する。また、請求項８記載のデータ処理用プログラムでは、上記の各処理をデータ処理装置の処理部に実行させる。   In the data processing device according to claim 3, in the determination process, a change amount specifying process for specifying a change amount in continuous K sampling in each measurement value of the acquired waveform data, and Nb second times. In the conversion process, the process A for executing each value conversion process using M kinds of filters whose amount of decrease in the third absolute value is small, and the decrease in the third absolute value in the Nb second conversion processes A process B that executes each value conversion process using M types of filters whose amount is larger than each filter used in the process A, and a measured value whose change amount specified by the change amount specifying process is less than a predetermined amount Is replaced with the measurement value converted by the process A, and the change value specified by the change amount specifying process is replaced with the measurement value converted by the process B with the measurement value equal to or greater than the predetermined amount. Run the conversion process, determines whether or contains discharge waveform component based on the measured values obtained by replacing the first replacement processing. The data processing program according to claim 8 causes the processing unit of the data processing apparatus to execute each of the above processes.

さらに、請求項４記載のデータ処理装置では、処理部が、判定処理において、取得した波形データの各測定値における連続するＫサンプリング内の変化量をそれぞれ特定する変化量特定処理と、Ｎｂ回の第２の変換処理において第３の絶対値の低下量が少量のＭ種類のフィルタを使用して各値変換処理を実行する処理Ａと、Ｎｂ回の第２の変換処理において第３の絶対値の低下量が処理Ａ時に使用する各フィルタよりも多いＭ種類のフィルタを使用して各値変換処理を実行する処理Ｂと、変化量特定処理によって特定した変化量が最も小さい測定値が処理Ａによって変換された測定値に置き換わり、かつ変化量が最も大きい測定値が処理Ｂによって変換された測定値に置き換わるように、各測定値を変化量の大きさに応じて処理Ａによって変換された測定値から処理Ｂによって変換された測定値までの範囲内の値に置き換える第２の置換処理とを実行し、第２の置換処理によって置き換えた各測定値に基づいて放電波形成分が含まれているか否かを判定する。また、請求項９記載のデータ処理用プログラムでは、上記の各処理をデータ処理装置の処理部に実行させる。   Furthermore, in the data processing device according to claim 4, in the determination process, the determination unit specifies a change amount specifying process for specifying a change amount in continuous K sampling in each measured value of the acquired waveform data, and Nb times In the second conversion process, the process A for executing each value conversion process using M kinds of filters whose amount of decrease in the third absolute value is small, and the third absolute value in the Nb second conversion processes A process B that executes each value conversion process using M types of filters that have a larger amount of decrease than each filter used in process A, and a measurement value that has the smallest change amount specified by the change amount specifying process is the process A. Each measurement value is changed by the process A according to the magnitude of the change amount so that the measurement value having the largest change amount is replaced by the measurement value converted by the process B. And a second replacement process that replaces the measured value with a value within the range from the measured value converted by the process B, and a discharge waveform component is included based on each measured value replaced by the second replacement process. It is determined whether or not. The data processing program according to claim 9 causes the processing unit of the data processing apparatus to execute each of the above processes.

したがって、請求項３，４記載のデータ処理装置、および請求項８，９記載のデータ処理用プログラムによれば、波形データの各測定値の変化量が小さい部位については、過剰に小さな値に値変換されないため、放電に対応する測定値が過剰に小さな値となる事態が好適に回避され、波形データの各測定値の変化量が大きい部位については、十分に値変換された測定値に置換されて各測定値の変化の影響が十分に軽減されるため、置換処理後の測定値に基づく判定を行うことで、波形データの信号波形に放電波形成分が含まれているか否かを一層正確に判定することができる。   Therefore, according to the data processing device according to claims 3 and 4 and the data processing program according to claims 8 and 9, the portion where the change amount of each measured value of the waveform data is small is excessively small. Since it is not converted, the situation where the measurement value corresponding to the discharge becomes excessively small is preferably avoided, and the portion where the change amount of each measurement value of the waveform data is large is replaced with a sufficiently converted value. Therefore, it is possible to more accurately determine whether or not the discharge waveform component is included in the signal waveform of the waveform data by making a determination based on the measurement value after the replacement process. Can be determined.

請求項５記載の測定システムによれば、上記のデータ処理装置と、測定対象についての予め規定されたサンプリング周期での測定を実行して波形データを出力する測定装置とを備えたことにより、波形データの取得（生成）から放電波形成分が含まれているか否かの判定までの一連の処理を１つのシステムで実行することができる。   According to the measurement system of claim 5, the waveform processing apparatus includes the data processing apparatus and a measurement apparatus that executes measurement at a predetermined sampling period for the measurement target and outputs waveform data. A series of processing from acquisition (generation) of data to determination of whether or not a discharge waveform component is included can be executed by one system.

測定システム１（測定装置２およびデータ処理装置３）の構成を示す構成図である。It is a block diagram which shows the structure of the measurement system 1 (the measuring apparatus 2 and the data processor 3). （ａ）は、放電波形成分が含まれていない波形データＤ０ａの波形Ｗ０ａの波形図であり、（ｂ）は、放電波形成分が含まれている波形データＤ０ｂの波形Ｗ０ｂの波形図である。(A) is a waveform diagram of the waveform W0a of the waveform data D0a that does not include the discharge waveform component, and (b) is a waveform diagram of the waveform W0b of the waveform data D0b that includes the discharge waveform component. （ａ）は、波形データＤ０ａの各測定値を微分した波形データＤ１ａの波形Ｗ１ａの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ０ｂの各測定値を微分した波形データＤ１ｂの波形Ｗ１ｂの波形図である。(A) is a waveform diagram of waveform W1a of waveform data D1a obtained by differentiating each measured value of waveform data D0a, and (b) is a waveform of waveform W1b of waveform data D1b obtained by differentiating each measured value of waveform data D0b. FIG. （ａ）は、波形データＤ１ａの各測定値を微分した波形データＤ２ａの波形Ｗ２ａの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ１ｂの各測定値を微分した波形データＤ２ｂの波形Ｗ２ｂの波形図である。(A) is a waveform diagram of the waveform W2a of the waveform data D2a obtained by differentiating each measured value of the waveform data D1a, and (b) is a waveform of the waveform W2b of the waveform data D2b obtained by differentiating each measured value of the waveform data D1b. FIG. （ａ）は、波形データＤ２ａの各測定値を微分した波形データＤ３ａの波形Ｗ３ａの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ２ｂの各測定値を微分した波形データＤ３ｂの波形Ｗ３ｂの波形図である。(A) is a waveform diagram of the waveform W3a of the waveform data D3a obtained by differentiating each measured value of the waveform data D2a, and (b) is a waveform of the waveform W3b of the waveform data D3b obtained by differentiating each measured value of the waveform data D2b. FIG. （ａ）は、波形データＤ３ａの各測定値を微分した波形データＤ４ａの波形Ｗ４ａの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ３ｂの各測定値を微分した波形データＤ４ｂの波形Ｗ４ｂの波形図である。(A) is a waveform diagram of waveform W4a of waveform data D4a obtained by differentiating each measured value of waveform data D3a, and (b) is a waveform of waveform W4b of waveform data D4b obtained by differentiating each measured value of waveform data D3b. FIG. （ａ）は、波形データＤ４ａの各測定値を微分した波形データＤ５ａの波形Ｗ５ａの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ４ｂの各測定値を微分した波形データＤ５ｂの波形Ｗ５ｂの波形図である。(A) is a waveform diagram of the waveform W5a of the waveform data D5a obtained by differentiating each measured value of the waveform data D4a, and (b) is a waveform of the waveform W5b of the waveform data D5b obtained by differentiating each measured value of the waveform data D4b. FIG. 放電波形成分が含まれていないものの、リンギングによる変動成分が含まれている波形データＤ０ｃの波形Ｗ０ｃの波形図である。It is a waveform diagram of a waveform W0c of waveform data D0c that does not include a discharge waveform component but includes a fluctuation component due to ringing. （ａ）は、波形データＤ０ｃの各測定値を微分した波形データＤ１ｃの波形Ｗ１ｃの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ０ｃの各測定値を対象とするフィルタリング処理後の各測定値を微分した波形データＤ１ｄの波形Ｗ１ｄの波形図である。(A) is a waveform diagram of the waveform W1c of the waveform data D1c obtained by differentiating each measurement value of the waveform data D0c, and (b) is each measurement value after filtering processing for each measurement value of the waveform data D0c. It is a wave form diagram of waveform W1d of waveform data D1d which differentiated. （ａ）は、波形データＤ１ｃの各測定値を微分した波形データＤ２ｃの波形Ｗ２ｃの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ１ｄの各測定値を対象とするフィルタリング処理後の各測定値を微分した波形データＤ２ｄの波形Ｗ２ｄの波形図である。(A) is a waveform diagram of the waveform W2c of the waveform data D2c obtained by differentiating each measurement value of the waveform data D1c, and (b) is each measurement value after filtering processing for each measurement value of the waveform data D1d. Is a waveform diagram of a waveform W2d of the waveform data D2d obtained by differentiating. （ａ）は、波形データＤ２ｃの各測定値を微分した波形データＤ３ｃの波形Ｗ３ｃの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ２ｄの各測定値を対象とするフィルタリング処理後の各測定値を微分した波形データＤ３ｄの波形Ｗ３ｄの波形図である。(A) is a waveform diagram of the waveform W3c of the waveform data D3c obtained by differentiating each measurement value of the waveform data D2c, and (b) is each measurement value after filtering processing for each measurement value of the waveform data D2d. It is a wave form diagram of waveform W3d of waveform data D3d which differentiated. （ａ）は、波形データＤ３ｃの各測定値を微分した波形データＤ４ｃの波形Ｗ４ｃの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ３ｄの各測定値を対象とするフィルタリング処理後の各測定値を微分した波形データＤ４ｄの波形Ｗ４ｄの波形図である。(A) is a waveform diagram of the waveform W4c of the waveform data D4c obtained by differentiating each measurement value of the waveform data D3c, and (b) is each measurement value after filtering processing for each measurement value of the waveform data D3d. Is a waveform diagram of a waveform W4d of the waveform data D4d obtained by differentiating. （ａ）は、波形データＤ４ｃの各測定値を微分した波形データＤ５ｃの波形Ｗ５ｃの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ４ｄの各測定値を対象とするフィルタリング処理後の各測定値を微分した波形データＤ５ｄの波形Ｗ５ｄの波形図である。(A) is a waveform diagram of the waveform W5c of the waveform data D5c obtained by differentiating each measured value of the waveform data D4c, and (b) is each measured value after filtering processing for each measured value of the waveform data D4d. Is a waveform diagram of a waveform W5d of the waveform data D5d obtained by differentiating. 放電波形成分が含まれている波形データＤ０ｅの波形Ｗ０ｅの波形図である。It is a waveform diagram of the waveform W0e of the waveform data D0e including the discharge waveform component. （ａ）は、波形データＤ０ｅの各測定値を微分した波形データＤ１ｅの波形Ｗ１ｅの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ０ｅの各測定値を対象とするフィルタリング処理後の各測定値を微分した波形データＤ１ｆの波形Ｗ１ｆの波形図である。(A) is a waveform diagram of the waveform W1e of the waveform data D1e obtained by differentiating each measured value of the waveform data D0e, and (b) is each measured value after filtering processing for each measured value of the waveform data D0e. Is a waveform diagram of a waveform W1f of waveform data D1f obtained by differentiating. （ａ）は、波形データＤ１ｅの各測定値を微分した波形データＤ２ｅの波形Ｗ２ｅの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ１ｆの各測定値を対象とするフィルタリング処理後の各測定値を微分した波形データＤ２ｆの波形Ｗ２ｆの波形図である。(A) is a waveform diagram of the waveform W2e of the waveform data D2e obtained by differentiating each measured value of the waveform data D1e, and (b) is each measured value after filtering processing for each measured value of the waveform data D1f. Is a waveform diagram of a waveform W2f of the waveform data D2f obtained by differentiating. （ａ）は、波形データＤ２ｅの各測定値を微分した波形データＤ３ｅの波形Ｗ３ｅの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ２ｆの各測定値を対象とするフィルタリング処理後の各測定値を微分した波形データＤ３ｆの波形Ｗ３ｆの波形図である。(A) is a waveform diagram of the waveform W3e of the waveform data D3e obtained by differentiating each measured value of the waveform data D2e, and (b) is each measured value after filtering processing for each measured value of the waveform data D2f. It is a wave form diagram of waveform W3f of waveform data D3f which differentiated. （ａ）は、波形データＤ３ｅの各測定値を微分した波形データＤ４ｅの波形Ｗ４ｅの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ３ｆの各測定値を対象とするフィルタリング処理後の各測定値を微分した波形データＤ４ｆの波形Ｗ４ｆの波形図である。(A) is a waveform diagram of the waveform W4e of the waveform data D4e obtained by differentiating each measured value of the waveform data D3e, and (b) is each measured value after filtering processing for each measured value of the waveform data D3f. Is a waveform diagram of a waveform W4f of waveform data D4f obtained by differentiating. （ａ）は、波形データＤ４ｅの各測定値を微分した波形データＤ５ｅの波形Ｗ５ｅの波形図であり、（ｂ）は、波形データＤ４ｆの各測定値を対象とするフィルタリング処理後の各測定値を微分した波形データＤ５ｆの波形Ｗ５ｆの波形図である。(A) is a waveform diagram of the waveform W5e of the waveform data D5e obtained by differentiating each measured value of the waveform data D4e, and (b) is each measured value after filtering processing for each measured value of the waveform data D4f. Is a waveform diagram of a waveform W5f of waveform data D5f obtained by differentiating 放電波形成分が含まれていない波形データＤ０ｇを対象とする「値変換処理」によって生成した波形データＤ６ｇの波形Ｗ６ｇと標準偏差ｎσとの関係について説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the relationship between the waveform W6g of the waveform data D6g produced | generated by the "value conversion process" for the waveform data D0g which does not contain the discharge waveform component, and standard deviation n (sigma). 放電波形成分が含まれている波形データＤ０ｈを対象とする「値変換処理」によって生成した波形データＤ６ｈの波形Ｗ６ｈと標準偏差ｎσとの関係について説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the relationship between the waveform W6h of the waveform data D6h produced | generated by the "value conversion process" for the waveform data D0h containing the discharge waveform component, and standard deviation n (sigma). 放電波形成分が含まれず、かつ対応する波形の歪みが小さい波形データＤ０ｉの波形Ｗ０ｉの波形図である。It is a waveform diagram of the waveform W0i of the waveform data D0i that does not include the discharge waveform component and has a small distortion of the corresponding waveform. 波形データＤ０ｉの各測定値を２階微分し、かつ絶対値化した波形データＤ１０ｉの波形Ｗ１０ｉの波形図である。It is a waveform diagram of the waveform W10i of the waveform data D10i obtained by second-order differentiation of each measurement value of the waveform data D0i and making it an absolute value. 波形データＤ１０ｉの各測定値を対象とする重み付け移動平均による値変換をした波形データＤ１１ｉの波形Ｗ１１ｉの波形図である。It is a waveform diagram of the waveform W11i of the waveform data D11i that has undergone value conversion by weighted moving average for each measurement value of the waveform data D10i. 波形データＤ１１ｉの各測定値を正規化した波形データＤ１２ｉの波形Ｗ１２ｉの波形図である。It is a wave form diagram of waveform W12i of waveform data D12i which normalized each measured value of waveform data D11i. 波形データＤ０ｉの各測定値を、値の変化量が小さいフィルタリング処理の後に４階微分した波形データＤ２１ｉの波形Ｗ２１ｉの波形図である。It is a waveform diagram of the waveform W21i of the waveform data D21i obtained by performing fourth-order differentiation on each measured value of the waveform data D0i after filtering processing with a small amount of change in value. 波形データＤ２１ｉの各測定値を絶対値化した波形データＤ２２ｉの波形Ｗ２２ｉの波形図である。It is a wave form diagram of waveform W22i of waveform data D22i which made each measured value of waveform data D21i into an absolute value. 波形データＤ２２ｉの各測定値を標準偏差σに対応する値で除した波形データＤ２３ｉの波形Ｗ２３ｉの波形図である。It is a waveform diagram of the waveform W23i of the waveform data D23i obtained by dividing each measured value of the waveform data D22i by a value corresponding to the standard deviation σ. 波形データＤ０ｉの各測定値を、値の変化量が大きいフィルタリング処理の後に４階微分した波形データＤ３１ｉの波形Ｗ３１ｉの波形図である。It is a waveform diagram of the waveform W31i of the waveform data D31i obtained by performing the fourth-order differentiation on each measured value of the waveform data D0i after the filtering process in which the value change amount is large. 波形データＤ３１ｉの各測定値を絶対値化した波形データＤ３２ｉの波形Ｗ３２ｉの波形図である。It is a wave form diagram of waveform W32i of waveform data D32i which made each measured value of waveform data D31i absolute value. 波形データＤ３２ｉの各測定値を標準偏差σに対応する値で除した波形データＤ３３ｉの波形Ｗ３３ｉの波形図である。It is a waveform diagram of the waveform W33i of the waveform data D33i obtained by dividing each measurement value of the waveform data D32i by a value corresponding to the standard deviation σ. 波形データＤ１２ｉに基づいて特定される各測定値の「変化量」に基づいて波形データＤ２３ｉの各測定値と波形データＤ３３ｉの測定値とを合成した波形データＤ４１ｉの波形Ｗ４１ｉの波形図である。It is a waveform diagram of the waveform W41i of the waveform data D41i obtained by synthesizing each measurement value of the waveform data D23i and the measurement value of the waveform data D33i based on the “change amount” of each measurement value specified based on the waveform data D12i. 放電波形成分が含まれ、かつ対応する波形の歪みが小さい波形データＤ０ｊの波形Ｗ０ｊの波形図である。It is a waveform diagram of a waveform W0j of waveform data D0j that includes a discharge waveform component and has a small distortion of the corresponding waveform. 波形Ｗ０ｊにおける放電発生部位を拡大した波形図である。It is the wave form diagram which expanded the discharge generating part in waveform W0j. 波形データＤ０ｊの各測定値を２階微分し、かつ絶対値化した波形データＤ１０ｊの波形Ｗ１０ｊの波形図である。It is a waveform diagram of a waveform W10j of waveform data D10j obtained by second-order differentiation of each measurement value of waveform data D0j and making it an absolute value. 波形データＤ１０ｊの各測定値を対象とする重み付け移動平均による値変換をした波形データＤ１１ｊの波形Ｗ１１ｊの波形図である。It is a waveform diagram of the waveform W11j of the waveform data D11j that has been subjected to value conversion by weighted moving average for each measurement value of the waveform data D10j. 波形データＤ１１ｊの各測定値を正規化した波形データＤ１２ｊの波形Ｗ１２ｊの波形図である。It is a wave form diagram of waveform W12j of waveform data D12j which normalized each measured value of waveform data D11j. 波形データＤ０ｊの各測定値を、値の変化量が小さいフィルタリング処理の後に４階微分した波形データＤ２１ｊの波形Ｗ２１ｊの波形図である。It is a waveform diagram of the waveform W21j of the waveform data D21j obtained by performing fourth-order differentiation on each measured value of the waveform data D0j after filtering processing with a small amount of change in value. 波形データＤ２１ｊの各測定値を絶対値化した波形データＤ２２ｊの波形Ｗ２２ｊの波形図である。It is a waveform diagram of the waveform W22j of the waveform data D22j obtained by converting each measured value of the waveform data D21j into an absolute value. 波形データＤ２２ｊの各測定値を標準偏差σに対応する値で除した波形データＤ２３ｊの波形Ｗ２３ｊの波形図である。It is a waveform diagram of the waveform W23j of the waveform data D23j obtained by dividing each measured value of the waveform data D22j by a value corresponding to the standard deviation σ. 波形データＤ０ｊの各測定値を、値の変化量が大きいフィルタリング処理の後に４階微分した波形データＤ３１ｊの波形Ｗ３１ｊの波形図である。It is a waveform diagram of the waveform W31j of the waveform data D31j obtained by performing the fourth-order differentiation on each measured value of the waveform data D0j after the filtering process in which the value change amount is large. 波形データＤ３１ｊの各測定値を絶対値化した波形データＤ３２ｊの波形Ｗ３２ｊの波形図である。It is a waveform diagram of the waveform W32j of the waveform data D32j obtained by converting each measured value of the waveform data D31j into an absolute value. 波形データＤ３２ｊの各測定値を標準偏差σに対応する値で除した波形データＤ３３ｊの波形Ｗ３３ｊの波形図である。It is a waveform diagram of the waveform W33j of the waveform data D33j obtained by dividing each measurement value of the waveform data D32j by a value corresponding to the standard deviation σ. 波形データＤ１２ｊに基づいて特定される各測定値の「変化量」に基づいて波形データＤ２３ｊの各測定値と波形データＤ３３ｊの測定値とを合成した波形データＤ４１ｊの波形Ｗ４１ｊの波形図である。It is a waveform diagram of the waveform W41j of the waveform data D41j obtained by synthesizing each measurement value of the waveform data D23j and the measurement value of the waveform data D33j based on the “change amount” of each measurement value specified based on the waveform data D12j. 放電波形成分が含まれず、かつ対応する波形の歪みが大きい部位が存在する波形データＤ０ｋの波形Ｗ０ｋの波形図である。It is a waveform diagram of the waveform W0k of the waveform data D0k in which there is a portion where the discharge waveform component is not included and the corresponding waveform has a large distortion. 波形Ｗ０ｋにおいて歪みが大きくなっている部位を拡大した波形図である。It is the wave form diagram which expanded the part where distortion is large in waveform W0k. 波形データＤ０ｋの各測定値を２階微分し、かつ絶対値化した波形データＤ１０ｋの波形Ｗ１０ｋの波形図である。It is a waveform diagram of the waveform W10k of the waveform data D10k obtained by second-order differentiation of each measurement value of the waveform data D0k and making it an absolute value. 波形データＤ１０ｋの各測定値を対象とする重み付け移動平均による値変換をした波形データＤ１１ｋの波形Ｗ１１ｋの波形図である。It is a wave form diagram of waveform W11k of waveform data D11k which carried out value conversion by the weighting moving average which makes each measurement value object waveform data D10k. 波形データＤ１１ｋの各測定値を正規化した波形データＤ１２ｋの波形Ｗ１２ｋの波形図である。It is a wave form diagram of waveform W12k of waveform data D12k which normalized each measured value of waveform data D11k. 波形データＤ０ｋの各測定値を、値の変化量が小さいフィルタリング処理の後に４階微分した波形データＤ２１ｋの波形Ｗ２１ｋの波形図である。It is a waveform diagram of the waveform W21k of the waveform data D21k obtained by performing fourth-order differentiation on each measured value of the waveform data D0k after filtering processing with a small amount of change in value. 波形データＤ２１ｋの各測定値を絶対値化した波形データＤ２２ｋの波形Ｗ２２ｋの波形図である。It is a wave form diagram of waveform W22k of waveform data D22k which made each measured value of waveform data D21k into an absolute value. 波形データＤ２２ｋの各測定値を標準偏差σに対応する値で除した波形データＤ２３ｋの波形Ｗ２３ｋの波形図である。It is a waveform diagram of the waveform W23k of the waveform data D23k obtained by dividing each measured value of the waveform data D22k by a value corresponding to the standard deviation σ. 波形データＤ０ｋの各測定値を、値の変化量が大きいフィルタリング処理の後に４階微分した波形データＤ３１ｋの波形Ｗ３１ｋの波形図である。It is a waveform diagram of the waveform W31k of the waveform data D31k obtained by performing fourth-order differentiation on each measured value of the waveform data D0k after the filtering process with a large amount of change in value. 波形データＤ３１ｋの各測定値を絶対値化した波形データＤ３２ｋの波形Ｗ３２ｋの波形図である。It is a waveform diagram of the waveform W32k of the waveform data D32k obtained by converting each measured value of the waveform data D31k into an absolute value. 波形データＤ３２ｋの各測定値を標準偏差σに対応する値で除した波形データＤ３３ｋの波形Ｗ３３ｋの波形図である。It is a waveform diagram of the waveform W33k of the waveform data D33k obtained by dividing each measurement value of the waveform data D32k by a value corresponding to the standard deviation σ. 波形データＤ１２ｋに基づいて特定される各測定値の「変化量」に基づいて波形データＤ２３ｋの各測定値と波形データＤ３３ｋの測定値とを合成した波形データＤ４１ｋの波形Ｗ４１ｋの波形図である。It is a waveform diagram of the waveform W41k of the waveform data D41k obtained by synthesizing each measurement value of the waveform data D23k and the measurement value of the waveform data D33k based on the “change amount” of each measurement value specified based on the waveform data D12k.

以下、データ処理装置、測定システムおよびデータ処理用プログラムの実施の形態について、添付図面を参照して説明する。   Hereinafter, embodiments of a data processing device, a measurement system, and a data processing program will be described with reference to the accompanying drawings.

最初に、測定システム１の構成について説明する。図１に示す測定システム１は、「測定システム（検査システム）」の一例である「インパルス試験システム」であって、検査対象Ｘの良否を検査可能に構成されている。この測定システム１は、「測定装置」の一例である測定装置２と、「データ処理装置」の一例であるデータ処理装置３とを備えて構成されている。なお、検査対象Ｘは、「測定対象」の一例であって、本例では、一例として巻線部品（コイル）を検査対象Ｘとして各種の処理を実行する例について説明する。   First, the configuration of the measurement system 1 will be described. The measurement system 1 shown in FIG. 1 is an “impulse test system” which is an example of a “measurement system (inspection system)”, and is configured to be able to inspect the quality of an inspection target X. The measurement system 1 includes a measurement device 2 that is an example of a “measurement device” and a data processing device 3 that is an example of a “data processing device”. Note that the inspection target X is an example of a “measurement target”, and in this example, an example in which various processes are performed using a winding component (coil) as the inspection target X will be described.

測定装置２は、一例として、データ処理装置３の制御に従い、検査対象Ｘを対象とする各種の測定処理を実行可能に構成されている。この測定装置２は、測定信号発生部１１、Ａ／Ｄ変換部１２、処理部１３および記憶部１４などを備えている。測定信号発生部１１は、処理部１３の制御に従って検査対象Ｘの両端間に測定信号としてのインパルス電圧を印加する。Ａ／Ｄ変換部１２は、一例として、処理部１３の制御に従い、指定された周期（「予め規定されたサンプリング周期：測定周期）で測定対象の両端間の電圧の電圧値をＡ／Ｄ変換（サンプリング：測定）して測定値Ｄｓ（サンプリング値：「測定値」の一例）を処理部１３に順次出力する。なお、電圧値のサンプリングに代えて、測定対象を流れる電流の電流値を指定された周期でＡ／Ｄ変換（サンプリング：測定）して測定値Ｄｓを出力する構成を採用することもできる。   As an example, the measurement device 2 is configured to be able to execute various measurement processes for the inspection target X under the control of the data processing device 3. The measuring apparatus 2 includes a measurement signal generator 11, an A / D converter 12, a processing unit 13, a storage unit 14, and the like. The measurement signal generator 11 applies an impulse voltage as a measurement signal between both ends of the inspection target X according to the control of the processing unit 13. As an example, the A / D conversion unit 12 performs A / D conversion on the voltage value of the voltage between both ends of the measurement target at a designated cycle (“predetermined sampling cycle: measurement cycle) according to the control of the processing unit 13. (Sampling: measurement) and the measurement value Ds (sampling value: an example of “measurement value”) is sequentially output to the processing unit 13. Instead of sampling the voltage value, it is possible to adopt a configuration in which the current value of the current flowing through the measurement target is A / D converted (sampling: measured) at a specified period and the measured value Ds is output.

処理部１３は、測定装置２を総括的に制御する。具体的には、処理部１３は、測定信号発生部１１を制御して測定対象にインパルス電圧を印加させると共に、Ａ／Ｄ変換部１２を制御して任意の周期で電圧値のＡ／Ｄ変換処理（サンプリング処理）を実行させる。また、処理部１３は、Ａ／Ｄ変換部１２から出力される測定値Ｄｓを記憶部１４に記憶させ、かつ測定値Ｄｓに基づいて波形データＤ０（「波形データ」の一例）を生成して記憶部１４に記憶させると共に、生成した波形データＤ０をデータ処理装置３に出力する。記憶部１４は、処理部１３の動作プログラムや、上記の測定値Ｄｓ（波形データＤ０）などを記憶する。なお、実際の測定装置２には、測定装置２の動作条件を指示するための各種の操作スイッチや、測定条件の設定画面および測定値の表示画面などを表示する表示部を備えて構成されているが、これらについての図示および説明を省略する。   The processing unit 13 controls the measuring device 2 overall. Specifically, the processing unit 13 controls the measurement signal generation unit 11 to apply an impulse voltage to the measurement target, and also controls the A / D conversion unit 12 to perform A / D conversion of the voltage value at an arbitrary cycle. Processing (sampling processing) is executed. Further, the processing unit 13 stores the measurement value Ds output from the A / D conversion unit 12 in the storage unit 14 and generates waveform data D0 (an example of “waveform data”) based on the measurement value Ds. While being stored in the storage unit 14, the generated waveform data D 0 is output to the data processing device 3. The storage unit 14 stores the operation program of the processing unit 13, the measurement value Ds (waveform data D0), and the like. The actual measuring device 2 includes various operation switches for instructing the operating conditions of the measuring device 2 and a display unit for displaying a measurement condition setting screen, a measured value display screen, and the like. However, illustration and explanation thereof are omitted.

一方、データ処理装置３は、後述するように測定装置２から取得した波形データＤ０（「取得した波形データ」の一例）に基づいて検査対象Ｘの良否を検査する。この場合、本例の測定システム１では、一例として、「データ処理用プログラム」に相当するデータ処理用プログラムＤｐが既存のパーソナルコンピュータにインストールされてデータ処理装置３が構成されている。具体的には、このデータ処理装置３は、操作部２１、表示部２２、処理部２３および記憶部２４を備えている。操作部２１は、キーボード、およびマウスやタッチパネルなどのポインティングデバイスを備え（図示せず）、これらに対する操作に応じた操作信号を処理部２３に出力する。表示部２２は、処理部２３の制御に従い、測定結果や検査結果（良否判定の結果）などを示す各種の表示画面を表示する。   On the other hand, the data processing device 3 inspects the quality of the inspection target X based on the waveform data D0 (an example of “acquired waveform data”) acquired from the measuring device 2 as described later. In this case, in the measurement system 1 of this example, as an example, a data processing program Dp corresponding to a “data processing program” is installed in an existing personal computer to configure the data processing apparatus 3. Specifically, the data processing device 3 includes an operation unit 21, a display unit 22, a processing unit 23, and a storage unit 24. The operation unit 21 includes a keyboard and a pointing device such as a mouse or a touch panel (not shown), and outputs an operation signal corresponding to an operation on these to the processing unit 23. The display unit 22 displays various display screens indicating measurement results, inspection results (pass / fail judgment results), and the like according to the control of the processing unit 23.

処理部２３は、「処理部」の一例であって、データ処理装置３を総括的に制御する。具体的には、処理部２３は、後述するようにデータ処理用プログラムＤｐに従い、測定装置２を制御して検査対象Ｘを対象とする測定処理を実行させる。また、処理部２３は、測定装置２から出力される波形データＤ０に基づき、その「信号波形」における各種の「ノイズ成分」のなかに「放電波形成分」が含まれているか否かを判定する判定処理を実行する。また、処理部２３は、判定結果に基づいて検査対象Ｘの良否を検査する検査処理を実行して検査結果データＤｒを生成する。なお、処理部２３による「検査処理（判定処理）」については、後に詳細に説明する。記憶部２４は、データ処理用プログラムＤｐ、測定システム１から出力される波形データＤ０、および処理部２３によって生成される上記の検査結果データＤｒを含む各種のデータを記憶する。   The processing unit 23 is an example of a “processing unit” and comprehensively controls the data processing device 3. Specifically, the processing unit 23 controls the measurement apparatus 2 to execute the measurement process for the inspection target X according to the data processing program Dp as described later. Further, the processing unit 23 determines whether or not “discharge waveform component” is included in various “noise components” in the “signal waveform” based on the waveform data D0 output from the measuring device 2. Execute the judgment process. Further, the processing unit 23 generates inspection result data Dr by executing inspection processing for inspecting the quality of the inspection target X based on the determination result. The “inspection process (determination process)” by the processing unit 23 will be described in detail later. The storage unit 24 stores various data including the data processing program Dp, the waveform data D0 output from the measurement system 1, and the inspection result data Dr generated by the processing unit 23.

次に、測定システム１による検査対象Ｘの検査方法について、添付図面を参照して説明する。なお、データ処理装置３にデータ処理用プログラムＤｐをインストールする作業や、測定装置２とデータ処理装置３とを接続する作業については既に完了しているものとする。   Next, an inspection method of the inspection object X by the measurement system 1 will be described with reference to the attached drawings. It is assumed that the operation of installing the data processing program Dp in the data processing device 3 and the operation of connecting the measuring device 2 and the data processing device 3 have already been completed.

検査対象Ｘの検査に際しては、まず、検査対象Ｘについての測定装置２による測定処理を実行する。具体的には、図１に示すように、検査対象Ｘを測定装置２に接続すると共に、データ処理装置３の操作部２１を操作して測定処理の開始を指示する。これに応じて、処理部２３は、データ処理用プログラムＤｐに従って測定装置２を制御して測定処理を開始させる。   When inspecting the inspection target X, first, measurement processing by the measuring device 2 for the inspection target X is executed. Specifically, as shown in FIG. 1, the inspection object X is connected to the measuring device 2 and the operation unit 21 of the data processing device 3 is operated to instruct the start of the measuring process. In response to this, the processing unit 23 controls the measurement apparatus 2 according to the data processing program Dp to start the measurement process.

この際に、測定装置２では、処理部１３が、まず、Ａ／Ｄ変換部１２を制御してデータ処理装置３（処理部２３）から指示されたサンプリング周期での電圧値のサンプリング（測定）を開始させる。これにより、Ａ／Ｄ変換部１２から検査対象Ｘについての測定値Ｄｓが順次出力されて記憶部１４に記憶される。また、処理部１３は、測定信号発生部１１を制御して検査対象Ｘにインパルス電圧を印加させる。   At this time, in the measuring apparatus 2, the processing unit 13 first controls the A / D conversion unit 12 to sample (measure) the voltage value at the sampling period instructed from the data processing apparatus 3 (processing unit 23). To start. As a result, the measurement value Ds for the inspection target X is sequentially output from the A / D conversion unit 12 and stored in the storage unit 14. The processing unit 13 controls the measurement signal generation unit 11 to apply an impulse voltage to the inspection target X.

この際には、検査対象Ｘの両端間の電圧についての測定値Ｄｓが、検査対象Ｘの電気的特性および良否の状態や、測定装置２の特性（測定装置２の測定回路自体の電気的特性、およびＡ／Ｄ変換部１２において使用されるデジタルフィルタの特性）などに応じて、例えば、図２に示す波形Ｗ０ａ，Ｗ０ｂ、図８に示す波形Ｗ０ｃ、図１４に示す波形Ｗ０ｅ、図２２に示す波形Ｗ０ｉ、図３３に示す波形Ｗ０ｊ、および図４５に示す波形Ｗ０ｋ（「波形データの信号波形」の一例：以下、これらを区別しないときには「波形Ｗ０」ともいう）のように変化する。   At this time, the measured value Ds of the voltage across the inspection target X is determined based on the electrical characteristics and quality of the inspection target X, the characteristics of the measuring apparatus 2 (the electrical characteristics of the measuring circuit itself of the measuring apparatus 2). 2 and the characteristics of the digital filter used in the A / D converter 12), for example, the waveforms W0a and W0b shown in FIG. 2, the waveform W0c shown in FIG. 8, the waveform W0e shown in FIG. Waveform W0i shown in FIG. 33, waveform W0j shown in FIG. 33, and waveform W0k shown in FIG. 45 (an example of “signal waveform of waveform data”: hereinafter, also referred to as “waveform W0” when they are not distinguished).

次いで、処理部１３は、一例として、検査対象Ｘに対するインパルス電圧の印加を開始させる直前の時点から、処理部２３によって指示された時間が経過した時点までの間にＡ／Ｄ変換部１２から出力された複数の測定値Ｄｓ，Ｄｓ・・を記録して波形データＤ０を生成し、生成した波形データＤ０を記憶部１４に記憶させる。また、処理部１３は、生成した波形データＤ０をデータ処理装置３に出力する。また、データ処理装置３では、処理部２３が、測定装置２から出力された波形データＤ０を検査対象Ｘに関連付けて記憶部２４に記憶させる。これにより、検査対象Ｘについての測定処理が完了する。   Next, as an example, the processing unit 13 outputs from the A / D conversion unit 12 between the time immediately before starting the application of the impulse voltage to the inspection target X and the time when the time instructed by the processing unit 23 has elapsed. The plurality of measured values Ds, Ds,... Are recorded to generate waveform data D0, and the generated waveform data D0 is stored in the storage unit 14. Further, the processing unit 13 outputs the generated waveform data D0 to the data processing device 3. In the data processing device 3, the processing unit 23 stores the waveform data D0 output from the measurement device 2 in the storage unit 24 in association with the inspection target X. Thereby, the measurement process about the test object X is completed.

一方、データ処理装置３では、波形データＤ０の取得が完了したときに、処理部２３が、データ処理用プログラムＤｐに従い、検査対象Ｘが良品か不良品かを検査する検査処理を開始する。この検査処理において、処理部２３は、まず、波形データＤ０の波形Ｗ０における各種の「ノイズ成分」のなかに「放電波形成分」が含まれているか否かを判定するための「判定用閾値（基準値）」を波形データＤ０に基づいて規定する処理と、「判定用閾値」との比較によって「放電波形成分」が含まれているか否かを判定するための「判定用の波形データ」を波形データＤ０に基づいて生成する処理とを実行する。   On the other hand, in the data processing device 3, when the acquisition of the waveform data D0 is completed, the processing unit 23 starts an inspection process for inspecting whether the inspection target X is a non-defective product or a defective product according to the data processing program Dp. In this inspection process, first, the processing unit 23 determines whether or not “discharge waveform component” is included in various “noise components” in the waveform W0 of the waveform data D0. “Determining waveform data” for determining whether or not the “discharge waveform component” is included by comparing the “reference value)” based on the waveform data D0 and the “determination threshold”. A process of generating based on the waveform data D0 is executed.

具体的には、「判定用の波形データ」を生成する処理では、処理部２３は、波形データＤ０の各測定値Ｄｓを、後述の変換方法（「予め規定された変換方法」の一例）に従って値変換すると共に変換後の値を新たな「測定値」とする「値変換処理」を複数回実行する。より具体的には、処理部２３は、複数回の「値変換処理」の一例として、５回の「微分処理」（「Ｎａ＝５回」の「第１の変換処理」の一例）と、５回の「フィルタリング処理」（「Ｎｂ＝５回」の「第２の変換処理」の一例）とを組み合わせて合計１０回の「値変換処理」を実行する。なお、後述するが、この「微分処理」および「フィルタリング処理」については、その実行順序を任意に規定することができる。   Specifically, in the process of generating “determination waveform data”, the processing unit 23 converts each measured value Ds of the waveform data D0 according to a conversion method (an example of “predefined conversion method”) described later. A “value conversion process” is performed a plurality of times while converting the value and setting the converted value as a new “measurement value”. More specifically, the processing unit 23, as an example of multiple “value conversion processes”, includes five “differential processes” (an example of “first conversion process” of “Na = 5 times”), A total of 10 “value conversion processes” are executed in combination with 5 “filtering processes” (an example of “second conversion process” with “Nb = 5 times”). As will be described later, the execution order of the “differentiation process” and the “filtering process” can be arbitrarily defined.

この場合、複数回の「微分処理（第１の変換処理）」は、主として、「波形データＤ０の波形Ｗ０における［インパルス電圧の印加に伴う測定値Ｄｓの本来的な変化（大まかな変化）］」に対応する「処理対象の波形データにおける各測定値の変化」の度合いが、「波形データＤ０の波形Ｗ０における［ノイズ成分］」に対応する「処理対象の波形データにおける各測定値の変化」の度合いよりも小さくなるように値変換をすることで「ノイズ成分」を抽出する（「ノイズ成分」の存在を明確にする）ことを目的とする「値変換処理」である。   In this case, a plurality of “differentiation processing (first conversion processing)” is mainly performed by “in the waveform W0 of the waveform data D0 [original change of the measured value Ds accompanying the application of the impulse voltage (rough change)]. "The change in each measured value in the waveform data to be processed" corresponds to "[Noise component] in the waveform W0 of the waveform data D0". This is a “value conversion process” for the purpose of extracting a “noise component” by performing value conversion so as to be smaller than the degree of (i.e., clarifying the existence of the “noise component”).

具体的には、この「微分処理」では、測定装置２から取得した波形データＤ０の波形Ｗ０における最大振幅部（値が最も大きく増減している部位：図２に示す波形Ｗ０ａ，Ｗ０ｂの例では、矢印Ａ０ａ，Ａ０ｂの部位）の各測定値Ｄｓ，Ｄｓ・・の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である「第１の絶対値」が、波形データＤ０の波形Ｗ０における「ノイズ成分」の振幅部の各測定値Ｄｓの絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である「第２の絶対値」よりも小さくなるように、処理対象の波形データにおける各測定値をそれぞれ値変換する。   Specifically, in this “differentiation process”, the maximum amplitude part (the part where the value is greatly increased or decreased in the waveform W0 of the waveform data D0 acquired from the measuring device 2: in the example of the waveforms W0a and W0b shown in FIG. The first absolute value that is the absolute value of the measurement value to be converted corresponding to the maximum value among the absolute values of the respective measurement values Ds, Ds... Of the arrows A0a and A0b) is the waveform data D0. In the waveform W0, the amplitude of the “noise component” is smaller than the “second absolute value” that is the absolute value of the measurement value to be converted corresponding to the maximum value of the absolute values of the measurement values Ds. Then, each measured value in the waveform data to be processed is converted.

なお、「微分処理」および「フィルタリング処理」の実行順序を任意に規定可能な本例では、測定装置２から取得した波形データＤ０を対象とする「微分処理」においては、波形データＤ０が「処理対象の波形データ」に相当し、かつ波形データＤ０の測定値Ｄｓが上記の「変換対象の測定値」に相当する。また、「微分処理」や「フィルタリング処理」を行った後の「波形データ」を対象とする「微分処理」においては、その「波形データ」が上記の「処理対象の波形データ」に相当し、かつその「波形データ」の「測定値」が「変換対象の測定値」に相当する。   In this example in which the execution order of the “differentiation process” and the “filtering process” can be arbitrarily defined, in the “differentiation process” for the waveform data D0 acquired from the measurement apparatus 2, the waveform data D0 is “processed”. The measured value Ds of the waveform data D0 corresponds to the “measured value to be converted”. In addition, in “differentiation processing” for “waveform data” after performing “differentiation processing” and “filtering processing”, the “waveform data” corresponds to the above “waveform data to be processed”, The “measured value” of the “waveform data” corresponds to the “measured value to be converted”.

この場合、上記の「［第１の絶対値］が［第２の絶対値］よりも小さくなるように各測定値をそれぞれ値変換する［第１の変換処理（微分処理）］」とは、「第１の変換処理（微分処理）」の処理結果において「［第１の絶対値］が［第２の絶対値］よりも小さくなる」との条件が満たされていることを要件とする処理を意図しており、そのような条件が満たされる「測定値」に変換できれば、「変換対象の測定値」を絶対値化する演算（「第１の絶対値」や「第２の絶対値」などの演算）を要件とするものではない。   In this case, the above-mentioned “first conversion process (differential process)” that converts each measured value so that the [first absolute value] becomes smaller than the [second absolute value] Processing that requires that the condition that “[first absolute value] is smaller than [second absolute value]” is satisfied in the processing result of “first conversion processing (differentiation processing)” If it can be converted into a “measurement value” that satisfies such a condition, an operation for converting the “measurement value to be converted” into an absolute value (“first absolute value” or “second absolute value”) Is not a requirement.

この「微分処理」に関し、発明者は、一例としてＮａ＝３回からＮａ＝５回程度実行することで、「信号波形の大まかな変化の度合い」を十分に小さくすることができ、「放電波形成分」を含む「ノイズ成分」を好適に抽出できる（「ノイズ成分」の存在を好適に把握し得る「波形データ」を生成できる）ことを確認している。なお、複数回の「微分処理」の実行によって「ノイズ成分」を抽出できることに関しては、後に具体的な例を挙げて説明する。   With regard to this “differentiation processing”, the inventor, for example, can execute “Na = 3 times to Na = 5 times” to sufficiently reduce the “rough degree of change in signal waveform”. It has been confirmed that “noise components” including “components” can be preferably extracted (“waveform data” that can appropriately grasp the presence of “noise components” can be generated). Note that the “noise component” can be extracted by executing “differentiation processing” a plurality of times will be described later with a specific example.

また、複数回の「フィルタリング処理（第２の変換処理）」は、主として、「波形データＤ０の波形Ｗ０における［リンギング］などの［周期的なノイズ成分］」に対応する「処理対象の波形データにおける各測定値の変化」の度合いが、「波形データＤ０の波形Ｗ０における［放電波形成分］などの［非周期的なノイズ成分］」に対応する「処理対象の波形データにおける各測定値の変化」の度合いよりも小さくなるように値変換をすることで「非周期的なノイズ成分」を抽出する（リンギング」の影響の度合いを小さくする）ことを目的とする「値変換処理」である。   In addition, the “filtering process (second conversion process)” performed a plurality of times mainly includes “waveform data to be processed” corresponding to “[periodic noise component] such as [ringing] in the waveform W0 of the waveform data D0”. The change of each measured value in the waveform data to be processed corresponds to the “aperiodic noise component such as [discharge waveform component] in the waveform W0 of the waveform data D0”. “Value conversion processing” for the purpose of extracting “aperiodic noise components” by performing value conversion so as to be smaller than the degree of “(reducing the degree of influence of ringing)”.

具体的には、この「フィルタリング処理」では、測定装置２から取得した波形データＤ０の波形Ｗ０における「周期的なノイズ成分」の振幅部の各測定値Ｄｓ，Ｄｓ・・の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である「第３の絶対値」が、波形データＤ０の波形Ｗ０における「非周期的なノイズ成分」の振幅部の各測定値Ｄｓ，Ｄｓ・・の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である「第４の絶対値」よりも小さくなるように、処理対象の波形データにおける各測定値をそれぞれ値変換する。   Specifically, in this “filtering process”, of the absolute values of the measured values Ds, Ds... Of the amplitude part of the “periodic noise component” in the waveform W0 of the waveform data D0 acquired from the measuring device 2 The “third absolute value” that is the absolute value of the measurement value to be converted corresponding to the maximum value is the measured value Ds, Ds · of the amplitude portion of the “aperiodic noise component” in the waveform W0 of the waveform data D0. Each of the measured values in the waveform data to be processed is converted so as to be smaller than the “fourth absolute value” that is the absolute value of the measured value to be converted corresponding to the maximum value among the absolute values of .

なお、「微分処理」および「フィルタリング処理」の実行順序を任意に規定可能な本例では、測定装置２から取得した波形データＤ０を対象とする「フィルタリング処理」においては、波形データＤ０が「処理対象の波形データ」に相当し、かつ波形データＤ０の測定値Ｄｓが上記の「変換対象の測定値」に相当する。また、「微分処理」や「フィルタリング処理」を行った後の「波形データ」を対象とする「フィルタリング処理」においては、その「波形データ」が上記の「処理対象の波形データ」に相当し、かつその「波形データ」の「測定値」が「変換対象の測定値」に相当する。   In this example in which the execution order of the “differentiation process” and the “filtering process” can be arbitrarily defined, in the “filtering process” for the waveform data D0 acquired from the measuring device 2, the waveform data D0 is “processed”. The measured value Ds of the waveform data D0 corresponds to the “measured value to be converted”. In the “filtering process” for “waveform data” after “differentiation process” and “filtering process”, the “waveform data” corresponds to the above “waveform data to be processed”. The “measured value” of the “waveform data” corresponds to the “measured value to be converted”.

この場合、上記の「［第３の絶対値］が［第４の絶対値］よりも小さくなるように各測定値をそれぞれ値変換する［第２の変換処理（フィルタリング処理）］」とは、「第２の変換処理（フィルタリング処理）」の処理結果において「［第３の絶対値］が［第４の絶対値］よりも小さくなる」との条件が満たされていることを要件とする処理を意図しており、そのような条件が満たされる「測定値」に変換できれば、「変換対象の測定値」を絶対値化する演算（「第３の絶対値」や「第４の絶対値」などの演算）を要件とするものではない。   In this case, the above-described “second conversion process (filtering process)” that converts each measurement value so that the [third absolute value] is smaller than the [fourth absolute value] Processing that requires that the condition “[third absolute value] is smaller than [fourth absolute value]” in the processing result of “second conversion processing (filtering processing)” is satisfied If it can be converted into a “measurement value” that satisfies such a condition, an operation for converting the “measurement value to be converted” into an absolute value (“third absolute value” or “fourth absolute value”) Is not a requirement.

この「フィルタリング処理」に関し、発明者は、一例としてＮｂ＝３回からＮｂ＝５回程度実行することで、「リンギング」等の「周期的なノイズ成分」の大きさを十分に小さくして「放電波形成分」等の「非周期的なノイズ成分」を好適に抽出できる（「放電波形成分」の存在を好適に把握し得る「波形データ」を生成できる）ことを確認している。   With regard to this “filtering process”, the inventor executes the Nb = 3 times to Nb = 5 times as an example to sufficiently reduce the size of “periodic noise components” such as “ringing”. It has been confirmed that “non-periodic noise components” such as “discharge waveform components” can be preferably extracted (“waveform data” that can appropriately grasp the existence of “discharge waveform components” can be generated).

一方、測定処理時に「リンギング」が発生するか否かや、どのような特性の「リンギング」がどのように発生するかについては、検査対象Ｘの電気的特性や、測定環境によって相違する。しかしながら、前述したように、波形データＤ０の波形Ｗ０について「リンギング」の影響を低減するための的確なフィルタイリング処理を行うための分析処理が容易ではなく、単純なフィルタリング処理では、「リンギング」の影響を十分に低減するのが困難となっている。   On the other hand, whether or not “ringing” occurs during the measurement process and what kind of “ringing” occurs depends on the electrical characteristics of the inspection object X and the measurement environment. However, as described above, the analysis process for performing an accurate filtering process for reducing the influence of “ringing” on the waveform W0 of the waveform data D0 is not easy. In a simple filtering process, “ringing” is not possible. It is difficult to sufficiently reduce the influence of the above.

したがって、本例のデータ処理装置３（データ処理用プログラムＤｐ）では、上記のＮｂ＝５回の「フィルタリング処理」において、上記の「第３の絶対値」の「フィルタリング処理（第２の変換処理）」の前後における変化率が異なる「Ｍ＝Ｎｂ＝５種類」のフィルタを使用して処理対象の各測定値を値変換する構成が採用されている。この場合、本例では、一例として、発生が予測される「リンギング」の種類に応じた（検査対象Ｘの特性やデータ処理装置３の特性に応じた）「Ｍ＝５種類のフィルタ」がデータ処理装置３の記憶部２４に記憶されているものとする。なお、この「Ｍ種類のフィルタ」については、測定システム１の提供者（測定装置２の製造者およびデータ処理用プログラムＤｐの制作者等）が、いずれの「フィルタ」を使用するかを予め定める構成・方法に限定されず、データ処理装置３を使用した「判定処理」を実行する使用者が、いずれの「フィルタ」を使用するかを予め定める構成・方法を採用することもできる。なお、複数回の「フィルタリング処理」の具体的な手順や、「フィルタリング処理」の実行によって誤検出を回避できることに関しては、後に具体的な例を挙げて説明する。   Therefore, in the data processing device 3 (data processing program Dp) of this example, in the “filtering process” of Nb = 5 times, the “filtering process (second conversion process) of the“ third absolute value ”is performed. A configuration is adopted in which each measurement value to be processed is converted using a filter of “M = Nb = 5 types” having different rates of change before and after “)”. In this case, as an example, in this example, “M = 5 types of filters” corresponding to the type of “ringing” that is predicted to occur (depending on the characteristics of the inspection target X and the characteristics of the data processing device 3) are data. It is assumed that it is stored in the storage unit 24 of the processing device 3. As for the “M types of filters”, the provider of the measurement system 1 (manufacturer of the measurement apparatus 2, producer of the data processing program Dp, etc.) determines in advance which “filter” is to be used. The configuration / method is not limited, and a configuration / method in which a user who executes “determination processing” using the data processing device 3 determines which “filter” to use may be employed. It should be noted that a specific procedure for performing “filtering processing” a plurality of times and that erroneous detection can be avoided by executing “filtering processing” will be described later with a specific example.

また、前述したように、発明者は、上記のＮａ回の「微分処理」、およびＮｂ回の「フィルタリング処理」については、どのような順序で実行したとしても、「ノイズ成分」の大きさの相違や「リンギング」の影響による「放電波形成分の誤検出」を好適に回避できることを確認している。つまり、Ｎａ回の「微分処理」を実行した後にＮｂ回の「フィルタリング処理」を実行したとき、Ｎｂ回の「フィルタリング処理」を実行した後にＮａ回の「微分処理」を実行したとき、および「微分処理」と「フィルタリング処理」とを任意の順序で組み合わせてそれぞれＮａ回、Ｎｂ回ずつ実行したときのいずれの場合においても、「放電波形成分」の有無を好適に判定し得る波形データを生成できることを確認している。   Further, as described above, the inventor has the magnitude of the “noise component” regardless of the order of the Na “differentiation process” and the Nb “filtering process”. It has been confirmed that “error detection of discharge waveform components” due to the difference and the influence of “ringing” can be suitably avoided. That is, when Nb times “filtering process” is executed after Na times of “differentiation process”, Na times of “differentiation process” is executed after Nb times of “filtering process”, and “ Generates waveform data that can suitably determine the presence or absence of a “discharge waveform component” in any case where the “differentiation process” and “filtering process” are combined in any order and executed Na times and Nb times respectively. I have confirmed that I can do it.

なお、本例のデータ処理装置３（データ処理用プログラムＤｐ）では、一例として、「フィルタリング処理」によって値変換した測定値を「微分処理」によって値変換する合計２回の「値変換処理」を５回連続して実行する（「予め規定された順序」の一例）ことにより、波形データＤ０の「各測定値」を１０回の「値変換処理」によって値変換する構成・方法が採用されている。これにより、「ノイズ成分」の大きさの相違や「リンギング」の影響による「放電波形成分の誤検出」を好適に回避して、「放電波形成分」の有無を好適に判定し得る「判定用の波形データ」が生成されて記憶部２４に記憶される。   In the data processing device 3 (data processing program Dp) of this example, as an example, a total of two “value conversion processes” are performed in which the measured values converted by the “filtering process” are converted by the “differential process”. A configuration / method is adopted in which “each measured value” of the waveform data D0 is converted into a value by 10 “value conversion processing” by executing it five times in succession (an example of “predefined order”). Yes. As a result, it is possible to preferably avoid the “false detection of the discharge waveform component” due to the difference in the size of the “noise component” or the influence of “ringing” and to appropriately determine the presence or absence of the “discharge waveform component”. Waveform data ”is generated and stored in the storage unit 24.

一方、「判定用閾値（基準値）」を特定する処理に際して、処理部２３は、波形データＤ０の各測定値Ｄｓを絶対値化した「判定用データ」を生成し、生成した「判定用データ」に基づいて「第１の暫定閾値」を規定する「第１の処理」と、「判定用データ」の「各測定値」のうちの「第１の暫定閾値」を下回る「測定値」の数が標準偏差σに対する予め規定された範囲内の数であるか否かを判別する「第２の処理」とを実行し、「第２の処理」の判定結果に応じて、「第１の暫定閾値」を「第２の暫定閾値」とし、「第２の暫定閾値」に基づいて「判定用閾値（基準値）」を規定する「第３の処理」を実行する。なお、上記の「第１の処理」、「第２の処理」および「第３の処理」の具体的な手順については、後に、具体的例を示して詳細に説明する。   On the other hand, in the process of specifying the “determination threshold (reference value)”, the processing unit 23 generates “determination data” in which each measurement value Ds of the waveform data D0 is converted into an absolute value, and the generated “determination data” “First processing threshold” that defines “first provisional threshold” and “measurement value” that is less than “first provisional threshold” among “measurement values” of “determination data” The “second process” is performed to determine whether the number is a number within a predetermined range with respect to the standard deviation σ, and the “first process” is performed according to the determination result of the “second process”. “Temporary threshold” is set to “second temporary threshold”, and “third processing” is performed that defines “determination threshold (reference value)” based on “second temporary threshold”. The specific procedures of the “first process”, the “second process”, and the “third process” will be described in detail later with a specific example.

続いて、処理部２３は、上記の各処理によって特定した「波形データ」の「各測定値（「処理後の各測定値」の一例）」、および「判定用閾値（基準値）」に基づき、波形データＤ０の波形Ｗ０に「放電波形成分」が含まれているか否かを判定する。   Subsequently, the processing unit 23 is based on “each measured value (an example of“ each measured value after processing ”)” and “threshold value for determination (reference value)” of the “waveform data” specified by each of the above processes. Then, it is determined whether or not “discharge waveform component” is included in the waveform W0 of the waveform data D0.

この際に、処理部２３は、上記の各処理によって特定した「波形データ」の「各測定値」に「判定用閾値（基準値）」以上の「測定値」が存在しないときに、波形データＤ０の波形Ｗ０に「放電波形成分」が含まれていないと判定する。また、処理部２３は、上記の各処理によって特定した「波形データ」の「各測定値」に「判定用閾値（基準値）」以上の「測定値」が存在するときに、波形データＤ０の波形Ｗ０に「放電波形成分」が含まれていると判定する。   At this time, when the “measurement value” equal to or greater than the “determination threshold (reference value)” does not exist in the “each measurement value” of the “waveform data” identified by each of the above processes, the processing unit 23 It is determined that the “discharge waveform component” is not included in the waveform W0 of D0. In addition, the processing unit 23 stores the waveform data D0 when the “measurement value” equal to or greater than the “determination threshold (reference value)” is present in the “each measurement value” of the “waveform data” identified by the above-described processes. It is determined that the “discharge waveform component” is included in the waveform W0.

この後、処理部２３は、上記の放電波形成分の有無の判定処理とは別個に行う他の検査項目に関する判定処理の結果と共に、放電波形成分の有無の判定処理の判定結果を検査対象Ｘに関連付けて記録して検査結果データＤｒを生成する。また、すべての検査項目において不良なしと判定したときには、検査対象Ｘが良品であるとの事項を検査結果データＤｒに記録すると共に、いずれかの検査項目において不良ありと判定したときには、検査対象Ｘが不良品であるとの事項を検査結果データＤｒに記録する。以上により、検査対象Ｘについての一連の検査処理が完了する。   Thereafter, the processing unit 23 sets the determination result of the determination process of the presence / absence of the discharge waveform component to the inspection target X together with the result of the determination process regarding the other inspection items performed separately from the determination process of the presence / absence of the discharge waveform component. Inspection result data Dr is generated by associating and recording. Further, when it is determined that there is no defect in all the inspection items, a matter that the inspection object X is a non-defective product is recorded in the inspection result data Dr, and when it is determined that any inspection item is defective, the inspection object X Is recorded in the inspection result data Dr. Thus, a series of inspection processes for the inspection object X is completed.

続いて、上記の検査処理における各処理の具体的な手順およびその効果の一例について、添付図面を参照して説明する。   Next, a specific procedure of each process in the above inspection process and an example of the effect will be described with reference to the accompanying drawings.

前述したように、検査処理（判定処理）に際して「判定用の波形データ」を生成するために行った複数回の「値変換処理」のうちの複数回の「微分処理（第１の変換処理）」は、主として波形データＤ０に含まれている「ノイズ成分」を抽出する（「ノイズ成分」の存在を明確にする）「値変換処理」である。一例として、対応する測定値Ｄｓの波形Ｗ０ａ（図２の（ａ）参照）に「放電波形成分」が含まれていない波形データＤ０（以下、「波形データＤ０ａ」という）についての「値変換処理」時における複数回の「微分処理」、および対応する測定値Ｄｓの波形Ｗ０ｂ（図２の（ｂ）参照）に「放電波形成分」が含まれている波形データＤ０（以下、「波形データＤ０ｂ」という）についての「値変換処理」時における複数回の「微分処理」の例について説明する。   As described above, a plurality of “differentiation processing (first conversion processing) among a plurality of“ value conversion processing ”performed to generate“ determination waveform data ”in the inspection processing (determination processing). "Is a" value conversion process "that mainly extracts" noise components "included in the waveform data D0 (clarifies the existence of" noise components "). As an example, “value conversion processing” for waveform data D0 (hereinafter referred to as “waveform data D0a”) in which the waveform W0a (see FIG. 2A) of the corresponding measurement value Ds does not include the “discharge waveform component”. Waveform data D0 (hereinafter referred to as “waveform data D0b”) including “discharge waveform component” in the waveform W0b (see FIG. 2B) of the corresponding measurement value Ds. An example of “differential processing” multiple times at the time of “value conversion processing” is described.

上記の波形Ｗ０ａの波形データＤ０ａ、および波形Ｗ０ｂの波形データＤ０ｂには、いずれも、測定処理時に発生していた同程度のレベルのノイズの影響によって値が増減した測定値Ｄｓ（「ノイズ成分」の測定値Ｄｓ）が含まれている。この場合、波形Ｗ０ａ，Ｗ０ｂでは、「ノイズ成分」の存在に起因する測定値Ｄｓの変化量（振幅量）が、波形Ｗ０ａ，Ｗ０ｂにおけるインパルス電圧の印加に伴う測定値Ｄｓの本来的な変化（波形Ｗ０ａ，Ｗ０ｂの大まかな変化）の変化量（振幅量）に対して非常に小さいため、「ノイズ成分」の存在自体を確認することが困難となっている。また、波形Ｗ０ｂには、上記のように「放電波形成分」が含まれているが、この波形Ｗ０ｂでは、「放電波形成分」に対応する測定値Ｄｓの変化量（振幅量）が、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値Ｄｓの変化量よりも小さいため、測定値Ｄｓの変化量に基づいて「放電波形成分」が存在するか否かを判別することも困難となっている。   In the waveform data D0a of the waveform W0a and the waveform data D0b of the waveform W0b, the measured value Ds (“noise component”) whose value is increased or decreased due to the influence of noise of the same level generated during the measurement process. Measurement value Ds). In this case, in the waveforms W0a and W0b, the change amount (amplitude amount) of the measurement value Ds due to the presence of the “noise component” is the original change in the measurement value Ds accompanying the application of the impulse voltage in the waveforms W0a and W0b ( Since the amount of change (amplitude amount) of the waveforms W0a and W0b is very small, it is difficult to confirm the presence of the “noise component”. The waveform W0b includes the “discharge waveform component” as described above. In the waveform W0b, the change amount (amplitude amount) of the measured value Ds corresponding to the “discharge waveform component” is the impulse voltage. Therefore, it is difficult to determine whether or not the “discharge waveform component” exists based on the change amount of the measurement value Ds.

また、上記の波形データＤ０ａの各測定値Ｄｓを「微分処理」した波形データＤ１ａにおける各測定値（測定値Ｄｓの一階微分値）の波形Ｗ１ａ、および波形データＤ０ｂの各測定値Ｄｓを「微分処理」した波形データＤ１ｂにおける各測定値（測定値Ｄｓの一階微分値）の波形Ｗ１ｂは、図３（ａ），（ｂ）のようになる。この場合、波形Ｗ１ｂにおいて矢印ＡＢ１ｂ，ＡＣ１ｂで示す部位には、測定処理時に発生した放電に起因して値が増減した「放電波形成分」が存在しているが、この波形Ｗ１ｂでは、「放電波形成分」の変化量が、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化量（例えば矢印ＡＡ１ｂで示す部位）よりも小さいため、測定値の変化量に基づいて「放電波形成分」が存在するか否かを判別することができない。   Further, the waveform W1a of each measured value (first-order differential value of the measured value Ds) in the waveform data D1a obtained by “differentiating” each measured value Ds of the waveform data D0a and each measured value Ds of the waveform data D0b are expressed as “ The waveform W1b of each measured value (first-order differential value of the measured value Ds) in the waveform data D1b subjected to “differentiation processing” is as shown in FIGS. In this case, there is a “discharge waveform component” whose value increases or decreases due to the discharge generated during the measurement process in the part indicated by arrows AB1b and AC1b in the waveform W1b. In this waveform W1b, the “discharge waveform” Since the change amount of the “component” is smaller than the original change amount of the measured value accompanying application of the impulse voltage (for example, the portion indicated by the arrow AA1b), the “discharge waveform component” exists based on the change amount of the measured value. It cannot be determined whether or not.

また、上記の波形データＤ１ａの各測定値を「微分処理」した波形データＤ２ａにおける各測定値（測定値Ｄｓの二階微分値）の波形Ｗ２ａ、および波形データＤ１ｂの各測定値を「微分処理」した波形データＤ２ｂにおける各測定値（測定値Ｄｓの二階微分値）の波形Ｗ２ｂは、図４（ａ），（ｂ）のようになる。この場合、波形Ｗ２ｂにおいて矢印ＡＢ２ｂ，ＡＣ２ｂで示す部位には、測定処理時に発生した放電に起因して値が増減した「放電波形成分」が存在しているが、この波形Ｗ２ｂにおいても、「放電波形成分」の変化量が、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化量（例えば矢印ＡＡ２ｂで示す部位）に対して十分に大きくなっていないため、測定値の変化量に基づいて「放電波形成分」が存在するか否かを判別することができない。   Further, the waveform W2a of each measurement value (second-order differential value of the measurement value Ds) in the waveform data D2a obtained by “differentiating” each measurement value of the waveform data D1a and the “differentiation process” of each measurement value of the waveform data D1b. The waveform W2b of each measured value (second-order differential value of the measured value Ds) in the waveform data D2b thus obtained is as shown in FIGS. In this case, there is a “discharge waveform component” whose value increases or decreases due to the discharge generated during the measurement process in the portion indicated by arrows AB2b and AC2b in the waveform W2b. Since the change amount of the “waveform component” is not sufficiently large with respect to the original change amount of the measured value (for example, the part indicated by the arrow AA2b) due to the application of the impulse voltage, It cannot be determined whether or not “discharge waveform component” exists.

さらに、上記の波形データＤ２ａの各測定値を「微分処理」した波形データＤ３ａにおける各測定値（測定値Ｄｓの三階微分値）の波形Ｗ３ａ、および波形データＤ２ｂの各測定値を「微分処理」した波形データＤ３ｂにおける各測定値（測定値Ｄｓの三階微分値）の波形Ｗ３ｂは、図５（ａ），（ｂ）のようになる。この場合、波形Ｗ３ｂにおいて矢印ＡＢ３ｂ，ＡＣ３ｂで示す部位には、測定処理時に発生した放電に起因して値が増減した「放電波形成分」が存在しており、これを確認することができるのに対し、上記の波形Ｗ１ｂ，Ｗ２ｂにおいてインパルス電圧の印加に伴って変化量が大きくなっていた部位（図３（ｂ）における矢印ＡＡ１ｂの部位、および図４（ｂ）における矢印ＡＡ２ｂの部位など）の変化量は十分に小さくなっている。   Furthermore, the waveform W3a of each measurement value (third-order differential value of the measurement value Ds) in the waveform data D3a obtained by “differentiating” each measurement value of the waveform data D2a and each measurement value of the waveform data D2b are “differentiated”. The waveform W3b of each measured value (third-order differential value of the measured value Ds) in the waveform data D3b is as shown in FIGS. 5 (a) and 5 (b). In this case, in the part indicated by arrows AB3b and AC3b in the waveform W3b, there is a “discharge waveform component” whose value has increased or decreased due to the discharge generated during the measurement process, and this can be confirmed. On the other hand, in the waveforms W1b and W2b, the portions where the amount of change increases with the application of the impulse voltage (the portion indicated by the arrow AA1b in FIG. 3B and the portion indicated by the arrow AA2b in FIG. 4B). The amount of change is small enough.

また、上記の波形データＤ３ａの各測定値を「微分処理」した波形データＤ４ａにおける各測定値（測定値Ｄｓの四階微分値）の波形Ｗ４ａ、および波形データＤ３ｂの各測定値を「微分処理」した波形データＤ４ｂにおける各測定値（測定値Ｄｓの四階微分値）の波形Ｗ４ｂは、図６（ａ），（ｂ）のようになる。この場合、波形Ｗ４ｂにおいても、矢印ＡＢ４ｂ，ＡＣ４ｂで示す部位には、測定処理時に発生した放電に起因して値が増減した「放電波形成分」が存在しており、これを確認することができるのに対し、上記の波形Ｗ１ｂ，Ｗ２ｂにおいてインパルス電圧の印加に伴って変化量が大きくなっていた部位の変化量は十分に小さくなっている。   Further, the waveform W4a of each measurement value (fourth-order differential value of the measurement value Ds) in the waveform data D4a obtained by “differentiating” each measurement value of the waveform data D3a and each measurement value of the waveform data D3b are “differentiated”. The waveform W4b of each measured value (fourth-order differential value of the measured value Ds) in the waveform data D4b is as shown in FIGS. 6 (a) and 6 (b). In this case, also in the waveform W4b, the “discharge waveform component” whose value has increased or decreased due to the discharge generated during the measurement process exists at the portions indicated by the arrows AB4b and AC4b, and this can be confirmed. On the other hand, in the waveforms W1b and W2b, the change amount of the portion where the change amount has increased with the application of the impulse voltage is sufficiently small.

さらに、上記の波形データＤ４ａの各測定値を「微分処理」した波形データＤ５ａにおける各測定値（測定値Ｄｓの五階微分値）の波形Ｗ５ａ、および波形データＤ４ｂの各測定値を「微分処理」した波形データＤ５ｂにおける各測定値（測定値Ｄｓの五階微分値）の波形Ｗ５ｂは、図７（ａ），（ｂ）のようになる。この場合、波形Ｗ５ｂにおいても、矢印ＡＢ５ｂ，ＡＣ５ｂで示す部位には、測定処理時に発生した放電に起因して値が増減した「放電波形成分」が存在しており、これを確認することができるのに対し、上記の波形Ｗ１ｂ，Ｗ２ｂにおいてインパルス電圧の印加に伴って変化量が大きくなっていた部位の変化量は十分に小さくなっている。   Further, the waveform W5a of each measurement value (fifth-order differential value of the measurement value Ds) in the waveform data D5a obtained by “differentiating” each measurement value of the waveform data D4a, and each measurement value of the waveform data D4b are “differentiated”. The waveform W5b of each measurement value (the fifth-order differential value of the measurement value Ds) in the waveform data D5b is as shown in FIGS. 7 (a) and 7 (b). In this case, also in the waveform W5b, the “discharge waveform component” whose value has increased or decreased due to the discharge generated during the measurement process exists in the portions indicated by the arrows AB5b and AC5b, and this can be confirmed. On the other hand, in the waveforms W1b and W2b, the change amount of the portion where the change amount has increased with the application of the impulse voltage is sufficiently small.

このように、「放電波形成分」が含まれている波形データＤ０ｂについては、「微分処理」を繰り返して行った上記の波形Ｗ３ｂ〜Ｗ５ｂの波形データＤ３ｂ〜Ｄ５ｂにおいて、波形データＤ０ｂの波形Ｗ０ｂにおける「最大振幅部」の各測定値Ｄｓの絶対値のうちの最大値に対応する波形データＤ３ｂ〜Ｄ５ｂにおける測定値Ｄｓの絶対値である「第１の絶対値」が、波形データＤ０ｂの波形Ｗ０ｂにおける「ノイズ成分の振幅部」の測定値Ｄｓの絶対値のうちの最大値に対応する波形データＤ３ｂ〜Ｄ５ｂにおける測定値Ｄｓの絶対値である「第２の絶対値」よりも小さくなっている。   As described above, with respect to the waveform data D0b including the “discharge waveform component”, the waveform data D3b to D5b of the waveforms W3b to W5b, which are obtained by repeating the “differentiation process”, in the waveform W0b of the waveform data D0b. The “first absolute value” that is the absolute value of the measured value Ds in the waveform data D3b to D5b corresponding to the maximum value among the absolute values of the measured values Ds of the “maximum amplitude portion” is the waveform W0b of the waveform data D0b. Is smaller than the “second absolute value” that is the absolute value of the measured value Ds in the waveform data D3b to D5b corresponding to the maximum value among the absolute values of the measured value Ds of the “amplitude part of the noise component”. .

この結果、波形データＤ３ｂ〜Ｄ５ｂの波形Ｗ３ｂ〜Ｗ５ｂでは、「放電波形成分」（ノイズ成分）に対応する測定値の変化量（振幅量）が、インパルス電圧の印加に伴う測定値の変化量（振幅量）よりも十分に大きくなっている。したがって、波形データＤ０ｂについての「微分処理（第１の変換処理）」を複数回（本例では、３回以上）行うことにより、「放電波形成分」を含む「ノイズ成分」だけを好適に抽出できるのが理解できる。   As a result, in the waveforms W3b to W5b of the waveform data D3b to D5b, the amount of change (amplitude amount) of the measured value corresponding to the “discharge waveform component” (noise component) is the amount of change of the measured value accompanying application of the impulse voltage ( Is sufficiently larger than the amplitude). Therefore, by performing “differentiation processing (first conversion processing)” on the waveform data D0b a plurality of times (in this example, three times or more), only “noise components” including “discharge waveform components” are preferably extracted. I understand what I can do.

また、「放電波形成分」が含まれていない波形データＤ０ａについては、「微分処理」を繰り返して行った上記の波形Ｗ２ａ〜Ｗ５ａにおいて、「ノイズ成分」であると判定される大きさの測定値が確認できない。したがって、これらの測定値の大きさに基づき、「放電波形成分」が存在しないと判定できることが理解できる。   Further, for the waveform data D0a that does not include the “discharge waveform component”, the measured value of the magnitude determined to be the “noise component” in the waveforms W2a to W5a that are obtained by repeatedly performing the “differentiation process”. Cannot be confirmed. Therefore, it can be understood that it can be determined that there is no “discharge waveform component” based on the magnitudes of these measured values.

なお、上記の例では、波形データＤ０ｂの測定値Ｄｓに対してＮａ＝３回の「微分処理」を行うことで「放電波形成分」の有無を好適に判定可能な「判定用の波形データ」が生成されるが、判定対象の波形データＤ０の波形Ｗ０における「最大振幅部」の大きさ（波形Ｗ０の大まかな変化の大きさ：波形データＤ０に含まれる低周波成分の大きさ）によっては、Ｎａ＝４回以上の「微分処理」を行う必要が生じることもある。また、上記の例では、Ｎａ＝４回以上の「微分処理」を行った波形Ｗ４ｂ，Ｗ５ｂにおいても、「放電波形成分」の有無を好適に判定可能な状態が好適に維持されている。   In the above example, “determined waveform data” that can suitably determine the presence or absence of “discharge waveform component” by performing “differential processing” Na = 3 times on the measured value Ds of the waveform data D0b. However, depending on the magnitude of the “maximum amplitude portion” in the waveform W0 of the waveform data D0 to be determined (the magnitude of the rough change in the waveform W0: the magnitude of the low-frequency component included in the waveform data D0). , Na = 4 or more “differentiation processing” may need to be performed. In the above example, the state in which the presence / absence of the “discharge waveform component” can be suitably determined is suitably maintained even in the waveforms W4b and W5b that have been subjected to “differentiation processing” Na = 4 times or more.

したがって、本例のデータ処理装置３（データ処理用プログラムＤｐ）では、波形データＤ０に各種大きさ（振幅量）の「放電波形成分」が含まれる可能性を考慮し、「値変換処理」のうちの「微分処理（第１の変換処理）」については、一例として、Ｎａ＝５回の処理を行って「判定用の波形データ」を生成する構成が採用されている。   Therefore, in the data processing apparatus 3 (data processing program Dp) of this example, the “value conversion process” is performed in consideration of the possibility that the waveform data D0 includes “discharge waveform components” of various sizes (amplitude amounts). Of these, for “differentiation processing (first conversion processing)”, for example, a configuration in which Na = 5 processing is performed to generate “determination waveform data” is employed.

一方、前述したように、検査処理（判定処理）に際して「判定用の波形データ」を生成するために行った複数回の「値変換処理」のうちの複数回の「フィルタリング処理（第２の変換処理）」は、主として波形データＤ０に含まれている「ノイズ成分」における「リンギング」等の「周期的なノイズ成分」の影響を小さくして、「放電波形成分」等の「非周期的なノイズ成分」を抽出する（「非周期的なノイズ成分」の存在を明確にする）「値変換処理」である。   On the other hand, as described above, a plurality of “filtering processes (second conversion) out of a plurality of“ value conversion processes ”performed to generate“ determination waveform data ”in the inspection process (determination process). "Process)" mainly reduces the influence of "periodic noise components" such as "ringing" on the "noise components" included in the waveform data D0, and "aperiodic" such as "discharge waveform components". The “value conversion process” is to extract “noise components” (to clarify the existence of “non-periodic noise components”).

この場合、「リンギング」の発生時には、検査対象Ｘの電気的特性、測定装置２の回路特性、および測定処理時の環境（周囲温度等）に応じて測定値Ｄｓが周期的に増減する。また、Ａ／Ｄ変換部１２における測定値Ｄｓの生成に使用するデジタルフィルタの特性によっても、生成される測定値Ｄｓがリンギングの発生時と同様に周期的に増減した状態となることがある。したがって、波形データＤ０の各測定値Ｄｓに関し、一例として「任意のｍポイントの重み付け移動平均フィルタ」を使用した「フィルタリング処理」を行うことで、「リンギング」に起因して値が周期的に増減している状態を軽減して（「リンギング」等の「周期的なノイズ成分」の影響を小さくして）、「放電波形成分」等の「非周期的なノイズ成分」の存在を好適に特定可能な状態とすることが可能となる。   In this case, when “ringing” occurs, the measured value Ds periodically increases or decreases according to the electrical characteristics of the inspection target X, the circuit characteristics of the measuring apparatus 2, and the environment (ambient temperature, etc.) during the measurement process. Also, depending on the characteristics of the digital filter used to generate the measurement value Ds in the A / D conversion unit 12, the generated measurement value Ds may periodically increase or decrease in the same manner as when ringing occurs. Therefore, for each measured value Ds of the waveform data D0, by performing “filtering processing” using “an arbitrary m-point weighted moving average filter” as an example, the value is periodically increased or decreased due to “ringing”. The presence of “non-periodic noise components” such as “discharge waveform components” is preferably identified by reducing the state of noise (reducing the influence of “periodic noise components” such as “ringing”) It becomes possible to make it possible.

また、波形データＤ０に含まれる可能性がある「リンギング」は、検査対象Ｘの電気的特性、測定装置２の回路特性、測定処理時の環境（周囲温度等）、および測定値Ｄｓの生成時に使用するデジタルフィルタの特性等に応じて周期や信号レベルが相違し、しかも、周期や信号レベルが相違する複数種類の「リンギング」が波形データＤ０に含まれた状態となることもある。したがって、上記の「重み付け移動平均フィルタ」のポイント数が異なる複数種類のフィルタを使用して複数回の「フィルタリング処理」を行うことで、各種の「リンギング」の影響を軽減できる可能性が高まる。   In addition, “ringing” that may be included in the waveform data D0 includes the electrical characteristics of the inspection target X, the circuit characteristics of the measuring device 2, the environment during measurement processing (such as the ambient temperature), and the generation of the measurement value Ds. Depending on the characteristics of the digital filter to be used, etc., the period and signal level may differ, and a plurality of types of “ringing” having different periods and signal levels may be included in the waveform data D0. Therefore, by performing a plurality of “filtering processes” using a plurality of types of filters having different points in the “weighted moving average filter” described above, the possibility of reducing the effects of various “ringing” increases.

一例として、測定値Ｄｓの波形Ｗ０ｃ（図８参照）に「放電波形成分」が含まれず、かつ「リンギング」の影響が含まれている波形データＤ０（「リンギング」を模した信号を重畳させた状態で生成した波形データＤ０：以下、「波形データＤ０ｃ」という）についての「値変換処理」時における複数回の「フィルタリング処理」の例について説明する。この場合、波形Ｗ０ｃでは、「リンギング」の存在に起因する測定値Ｄｓの変化量が、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化量に対して非常に小さいため、「リンギング」の存在自体を確認することが困難となっている。   As an example, the waveform W0c (see FIG. 8) of the measurement value Ds is superimposed with a waveform data D0 (“ringing”) that does not include the “discharge waveform component” and includes the influence of “ringing”. An example of multiple “filtering processes” at the time of “value conversion process” for waveform data D0 generated in a state (hereinafter referred to as “waveform data D0c”) will be described. In this case, in the waveform W0c, the amount of change in the measured value Ds due to the presence of “ringing” is very small with respect to the amount of change in the original measured value due to the application of the impulse voltage. It is difficult to confirm itself.

また、上記の波形データＤ０ｃの各測定値Ｄｓを対象として「フィルタリング処理」を行うことなく「微分処理」した波形データＤ１ｃにおける各測定値の波形Ｗ１ｃは、図９（ａ）のようになる。また、波形データＤ０ｃの各測定値Ｄｓを対象として、「ｍ１ポイント（ｍ１は、予め規定された任意の自然数）の重み付け移動平均フィルタ」を使用した「フィルタリング処理」を行った後に「微分処理」した波形データＤ１ｄにおける各測定値の波形Ｗ１ｄは、図９（ｂ）のようになる。   Further, the waveform W1c of each measurement value in the waveform data D1c that has been “differentiated” without performing the “filtering process” on each measurement value Ds of the waveform data D0c is as shown in FIG. In addition, after performing “filtering processing” using “weighted moving average filter of m1 points (m1 is an arbitrary natural number defined in advance)” for each measurement value Ds of the waveform data D0c, “differentiation processing” The waveform W1d of each measurement value in the waveform data D1d thus obtained is as shown in FIG.

さらに、上記の波形データＤ１ｃの各測定値を対象として「フィルタリング処理」を行うことなく「微分処理」した波形データＤ２ｃにおける各測定値の波形Ｗ２ｃは、図１０（ａ）のようになる。また、波形データＤ１ｄの各測定値を対象として、「ｍ２ポイント（ｍ２は、ｍ１とは異なる予め規定された任意の自然数）の重み付け移動平均フィルタ」を使用した「フィルタリング処理」を行った後に「微分処理」した波形データＤ２ｄにおける各測定値の波形Ｗ２ｄは、図１０（ｂ）のようになる。   Furthermore, the waveform W2c of each measurement value in the waveform data D2c subjected to the “differentiation process” without performing the “filtering process” on each measurement value of the waveform data D1c is as shown in FIG. In addition, after performing “filtering processing” using “weighted moving average filter of m2 points (m2 is an arbitrary natural number defined in advance different from m1)” for each measurement value of the waveform data D1d, The waveform W2d of each measurement value in the waveform data D2d subjected to “differentiation processing” is as shown in FIG.

この場合、波形Ｗ２ｃにおいて矢印ＡＡ２ｃ〜ＡＤ２ｃで示す部位の測定値は、「リンギング」によって値が増減した測定値Ｄｓに対応して大きな値となっており、波形Ｗ２ｄにおいて矢印ＡＡ２ｄ〜ＡＤ２ｄで示す部位の測定値も、「リンギング」によって値が増減して測定値Ｄｓに対応した大きな値となっている。これらの波形Ｗ２ｃ，Ｗ２ｄにおいて「リンギング」の発生時における測定値Ｄｓに対応する測定値は、その他の測定値（インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値Ｄｓや、「リンギング」以外の「ノイズ成分」に対応する測定値Ｄｓに対応する測定値）よりも大きな値となっている。このため、波形データＤ２ｃ，Ｄ２ｄにおける各測定値の大きさに基づいて「放電波形成分」が存在するか否かを判別することは困難となっている。   In this case, the measured values of the part indicated by the arrows AA2c to AD2c in the waveform W2c are large values corresponding to the measured value Ds that is increased or decreased by “ringing”, and the part indicated by the arrows AA2d to AD2d in the waveform W2d. Also, the measured value is increased or decreased by “ringing” and becomes a large value corresponding to the measured value Ds. In these waveforms W2c and W2d, the measurement value corresponding to the measurement value Ds at the time of occurrence of “ringing” is the other measurement value (the original measurement value Ds accompanying application of the impulse voltage or “noise” other than “ringing”. The measured value corresponds to the measured value Ds corresponding to “component”). For this reason, it is difficult to determine whether or not a “discharge waveform component” exists based on the magnitude of each measurement value in the waveform data D2c and D2d.

さらに、上記の波形データＤ２ｃの各測定値を対象として「フィルタリング処理」を行うことなく「微分処理」した波形データＤ３ｃにおける各測定値の波形Ｗ３ｃは、図１１（ａ）のようになる。また、波形データＤ２ｄの各測定値を対象として、「ｍ３ポイント（ｍ３は、ｍ１およびｍ２とは異なる予め規定された任意の自然数）の重み付け移動平均フィルタ」を使用した「フィルタリング処理」を行った後に「微分処理」した波形データＤ３ｄにおける各測定値の波形Ｗ３ｄは、図１１（ｂ）のようになる。   Furthermore, the waveform W3c of each measurement value in the waveform data D3c subjected to the “differentiation process” without performing the “filtering process” on each measurement value of the waveform data D2c is as shown in FIG. In addition, “filtering processing” using “weighted moving average filter of m3 points (m3 is an arbitrary natural number defined in advance different from m1 and m2)” was performed on each measurement value of the waveform data D2d. The waveform W3d of each measured value in the waveform data D3d that has been “differentiated” later is as shown in FIG.

さらに、上記の波形データＤ３ｃの各測定値を対象として「フィルタリング処理」を行うことなく「微分処理」した波形データＤ４ｃにおける各測定値の波形Ｗ４ｃは、図１２（ａ）のようになる。また、波形データＤ３ｄの各測定値を対象として、「ｍ４ポイント（ｍ４は、ｍ１〜ｍ３とは異なる予め規定された任意の自然数）の重み付け移動平均フィルタ」を使用した「フィルタリング処理」を行った後に「微分処理」した波形データＤ４ｄにおける各測定値の波形Ｗ４ｄは、図１２（ｂ）のようになる。   Furthermore, the waveform W4c of each measurement value in the waveform data D4c subjected to “differentiation processing” without performing “filtering processing” on each measurement value of the waveform data D3c is as shown in FIG. In addition, “filtering process” using “weighted moving average filter of m4 points (m4 is an arbitrary natural number defined in advance different from m1 to m3)” was performed on each measurement value of the waveform data D3d. The waveform W4d of each measured value in the waveform data D4d that has been “differentiated” later is as shown in FIG.

さらに、上記の波形データＤ４ｃの各測定値を対象として「フィルタリング処理」を行うことなく「微分処理」した波形データＤ５ｃにおける各測定値の波形Ｗ５ｃは、図１３（ａ）のようになる。また、波形データＤ４ｄの各測定値を対象として、「ｍ５ポイント（ｍ５は、ｍ１〜ｍ４とは異なる予め規定された任意の自然数）の重み付け移動平均フィルタ」を使用した「フィルタリング処理」を行った後に「微分処理」した波形データＤ５ｄにおける各測定値の波形Ｗ５ｄは、図１３（ｂ）のようになる。   Furthermore, the waveform W5c of each measurement value in the waveform data D5c subjected to the “differentiation process” without performing the “filtering process” on each measurement value of the waveform data D4c is as shown in FIG. Further, “filtering processing” using “m5 points (m5 is an arbitrary natural number defined in advance different from m1 to m4) weighted moving average filter” was performed on each measurement value of the waveform data D4d. The waveform W5d of each measurement value in the waveform data D5d that has been “differentiated” later is as shown in FIG.

この場合、３回に亘る「フィルタリング処理」を行った波形データＤ３ｄの波形Ｗ３ｄにおいて矢印ＡＡ３ｄ〜ＡＤ３ｄで示す部位の測定値、４回に亘る「フィルタリング処理」を行った波形データＤ４ｄの波形Ｗ４ｄにおいて矢印ＡＡ４ｄ〜ＡＤ４ｄで示す部位の測定値、および５回に亘る「フィルタリング処理」を行った波形データＤ５ｄの波形Ｗ５ｄにおいて矢印ＡＡ５ｄ〜ＡＤ５ｄで示す部位の測定値は、「リンギング」の発生に伴って大きな値となっている。   In this case, in the waveform W3d of the waveform data D3d that has been subjected to the “filtering process” three times, the measured values of the parts indicated by arrows AA3d to AD3d in the waveform W4d of the waveform data D4d that has been subjected to the “filtering process” four times. The measured values of the parts indicated by the arrows AA4d to AD4d and the measured values of the parts indicated by the arrows AA5d to AD5d in the waveform W5d of the waveform data D5d subjected to the “filtering process” five times are accompanied by the occurrence of “ringing”. It is a big value.

しかしながら、「フィルタリング処理」を繰り返して行った波形Ｗ３ｄ〜Ｗ５ｄの波形データＤ３ｄ〜Ｄ５ｄにおいては、波形データＤ０ｃの波形Ｗ０ｃにおける「周期的なノイズ成分」の振幅部の各測定値Ｄｓの絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である「第３の絶対値」が、波形データＤ０ｃの当該取得した波形データの波形Ｗ０ｃにおける「非周期的なノイズ成分」の振幅部の各測定値Ｄｓの絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である「第４の絶対値」よりも小さくなっている。   However, in the waveform data D3d to D5d of the waveforms W3d to W5d obtained by repeatedly performing the “filtering process”, the absolute value of each measurement value Ds of the amplitude portion of the “periodic noise component” in the waveform W0c of the waveform data D0c is obtained. The “third absolute value” that is the absolute value of the measurement value to be converted corresponding to the maximum value is the amplitude portion of the “aperiodic noise component” in the waveform W0c of the acquired waveform data of the waveform data D0c. Is smaller than the “fourth absolute value” which is the absolute value of the measurement value to be converted corresponding to the maximum value among the absolute values of the respective measurement values Ds.

この結果、波形Ｗ３ｄにおいて矢印ＡＡ３ｄ〜ＡＤ３ｄで示す部位の測定値、波形Ｗ４ｄにおいて矢印ＡＡ４ｄ〜ＡＤ４ｄで示す部位の測定値、および波形Ｗ５ｄにおいて矢印ＡＡ５ｄ〜ＡＤ５ｄで示す部位の測定値は、複数回の「フィルタリング処理」により、その他の測定値（インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値Ｄｓや「リンギング」以外の「ノイズ成分」に対応する測定値Ｄｓに対応する測定値）との大きさの差が十分に小さくなっている。つまり、本例では、加重移動平均時の重み付けやポイント数が異なるＭ＝３種類以上の「フィルタ」を使用したＮｂ＝３回以上の「フィルタリング処理」によって「リンギング」の影響が十分に軽減されていることが理解できる。   As a result, the measured values of the parts indicated by arrows AA3d to AD3d in waveform W3d, the measured values of parts indicated by arrows AA4d to AD4d in waveform W4d, and the measured values of parts indicated by arrows AA5d to AD5d in waveform W5d Due to the “filtering process”, the magnitude of other measured values (measured values corresponding to measured values Ds corresponding to “noise components” other than the original measured value Ds accompanying “impulse voltage application”) The difference is small enough. In other words, in this example, the influence of “ringing” is sufficiently reduced by “filtering processing” of Nb = 3 times or more using M = 3 or more “filters” having different weights and the number of points at the time of weighted moving average. I can understand that.

これに対して、「フィルタリング処理」を行わなかった波形データＤ３ｃの波形Ｗ３ｃにおいて矢印ＡＡ３ｃ〜ＡＤ３ｃで示す部位の測定値、「フィルタリング処理」を行わなかった波形データＤ４ｃの波形Ｗ４ｃにおいて矢印ＡＡ４ｃ〜ＡＤ４ｃで示す部位の測定値、および「フィルタリング処理」を行わなかった波形データＤ５ｃの波形Ｗ５ｃにおいて矢印ＡＡ５ｃ〜ＡＤ５ｃで示す部位の測定値も、「リンギング」の発生に伴って大きな値となっている。しかも、これらの測定値は、その他の測定値（インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値Ｄｓや「リンギング」以外の「ノイズ成分」に対応する測定値Ｄｓに対応する測定値）との大きさの差が非常に大きな状態となっている。つまり、本例では、「フィルタリング処理」を行うことなく「微分処理」だけを複数回実行したときに「リンギング」の影響を軽減することができず、「リンギング」の発生に対応して大きな値となっている測定値の存在によって「放電波形成分」が含まれていると誤って判定されるおそれがあることが理解できる。   On the other hand, the measured values of the parts indicated by arrows AA3c to AD3c in the waveform W3c of the waveform data D3c not subjected to the “filtering process”, and the arrows AA4c to AD4c in the waveform W4c of the waveform data D4c not subjected to the “filtering process”. And the measured values of the parts indicated by arrows AA5c to AD5c in the waveform W5c of the waveform data D5c that has not been subjected to the “filtering process” are also increased with the occurrence of “ringing”. Moreover, these measured values are larger than other measured values (measured values corresponding to the measured value Ds corresponding to the “noise component” other than the original measured value Ds or “ringing” associated with the application of the impulse voltage). The difference is very large. In other words, in this example, the effect of “ringing” cannot be reduced when only “differentiation processing” is executed multiple times without performing “filtering processing”, and a large value corresponding to the occurrence of “ringing”. It can be understood that there is a risk of erroneous determination that the “discharge waveform component” is included due to the presence of the measured value.

なお、上記の例では、波形データＤ０ｃの測定値Ｄｓに対してＭ＝３種類の「フィルタ」を使用したＮｂ＝３回の「フィルタリング処理」を行うことで「リンギング」の影響を十分に軽減した「判定用の波形データ」が生成されるが、判定対象の波形データＤ０に含まれる「リンギング」に対応する測定値Ｄｓの大きさ（「リンギング」の程度）や発生周期によっては、Ｍ＝４種類以上の「フィルタ」を使用したＮｂ＝４回以上の「フィルタリング処理」を行う必要が生じることもある。また、上記の例では、Ｍ＝４種類以上の「フィルタ」を使用したＮｂ＝４回以上の「フィルタリング処理」を行った波形Ｗ４ｃ，Ｗ５ｃにおいても、「リンギング」の影響が軽減された状態が好適に維持されている。   In the above example, the influence of “ringing” is sufficiently reduced by performing “filtering processing” Nb = 3 times using M = 3 types of “filters” on the measured value Ds of the waveform data D0c. “Waveform data for determination” is generated, but depending on the magnitude (degree of “ringing”) of the measurement value Ds corresponding to “ringing” included in the waveform data D0 to be determined and the generation cycle, M = It may be necessary to perform “filtering processing” of Nb = 4 times or more using four or more types of “filters”. In the above example, the influence of “ringing” is also reduced in the waveforms W4c and W5c that have been subjected to “filtering processing” Nb = 4 times or more using M = 4 or more “filters”. It is suitably maintained.

したがって、本例のデータ処理装置３（データ処理用プログラムＤｐ）では、波形データＤ０に各種大きさや周期の「リンギングに対応して大きな値となる測定値Ｄｓ（周期的な「ノイズ成分」）」が含まれる可能性を考慮し、「値変換処理」のうちの「フィルタリング処理」については、一例として、Ｍ＝５種類の「フィルタ」を使用したＮｂ＝５回の処理を行って「判定用の波形データ」を生成する構成が採用されている。   Therefore, in the data processing apparatus 3 (data processing program Dp) of the present example, “measured value Ds (periodic“ noise component ”) having a large value corresponding to ringing” of various sizes and periods is added to the waveform data D0. As an example, the “filtering process” of the “value conversion process” is performed by performing Nb = 5 times using “= filters” of M = 5 as an example. For generating “waveform data”.

この場合、図８〜１３を参照しつつ説明した例では、Ｍ種類の「フィルタ」を使用したＮｂ回の「フィルタリング処理」によって「リンギング」の影響が軽減されることを示すために、「放電波形成分」が含まれていない波形データＤ０ｃを対象とする「値変換処理」を実行したが、「放電波形成分」が含まれている波形データＤ０を対象とする「値変換処理」としてＭ種類の「フィルタ」を使用したＮｂ回の「フィルタリング処理」を実行した場合においても、「放電波形成分」に対応する大きな値の測定値（「非周期的なノイズ成分」の測定値）が「リンギング」に対応する測定値（「周期的なノイズ成分」の測定値）と共に小さな値に変換されてしまうことはない。   In this case, in the example described with reference to FIGS. 8 to 13, in order to show that the influence of “ringing” is reduced by Nb “filtering processing” using M types of “filters”, The “value conversion process” for the waveform data D0c that does not include the “waveform component” is executed, but there are M types of “value conversion processes” for the waveform data D0 that includes the “discharge waveform component”. Even when Nb times “filtering” using “filter” is performed, a large measured value (measured value of “non-periodic noise component”) corresponding to “discharge waveform component” is “ringing” ”(Measured value of“ periodic noise component ”) is not converted into a small value.

具体的には、一例として、対応する測定値Ｄｓの波形Ｗ０ｅ（図１４参照）に「放電波形成分」が含まれている波形データＤ０（以下、「波形データＤ０ｅ」という）を対象として、「値変換処理」時における複数回の「フィルタリング処理」を実行しない例、および「値変換処理」時における複数回の「フィルタリング処理」を実行する例について説明する。この場合、この波形Ｗ０ｅでは、「放電波形成分」の測定値の変化量（振幅量）が、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化量（振幅量）よりも小さいため、測定値Ｄｓの変化量に基づいて「放電波形成分」が存在するか否かを判別するのが困難となっている。   Specifically, as an example, for waveform data D0 (hereinafter referred to as “waveform data D0e”) in which “discharge waveform component” is included in the waveform W0e (see FIG. 14) of the corresponding measurement value Ds, An example in which a plurality of “filtering processes” at the time of “value conversion processing” are not executed and an example in which a plurality of “filtering processes” at the time of “value conversion processing” are executed will be described. In this case, in this waveform W0e, the change amount (amplitude amount) of the measurement value of the “discharge waveform component” is smaller than the original change amount (amplitude amount) of the measurement value accompanying application of the impulse voltage. It is difficult to determine whether or not a “discharge waveform component” exists based on the amount of change in Ds.

また、上記の波形データＤ０ｅの各測定値Ｄｓを対象として「フィルタリング処理」を行うことなく「微分処理」した波形データＤ１ｅにおける各測定値の波形Ｗ１ｅは、図１５（ａ）のようになる。また、波形データＤ０ｅの各測定値Ｄｓを対象として、「ｍ１ポイント（ｍ１は、予め規定された任意の自然数）の重み付け移動平均フィルタ」を使用した「フィルタリング処理」を行った後に「微分処理」した波形データＤ１ｆにおける各測定値の波形Ｗ１ｆは、図１５（ｂ）のようになる。この場合、波形Ｗ１ｅにおいて矢印ＡＡ１ｅで示す部位、および波形Ｗ１ｆにおいて矢印ＡＡ１ｆで示す部位には、測定処理時に発生した放電に起因して値が増減した「放電波形成分」が存在しているが、これらの波形Ｗ１ｅ，Ｗ１ｆでは、「放電波形成分」の変化量（振幅量）が、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化量（振幅量）よりも小さいため、測定値の変化量に基づいて「放電波形成分」が存在するか否かを判別するのが困難となっている。   Further, the waveform W1e of each measurement value in the waveform data D1e that has been “differentiated” without performing the “filtering process” on each measurement value Ds of the waveform data D0e is as shown in FIG. In addition, after performing “filtering processing” using “weighted moving average filter of m1 points (m1 is an arbitrary natural number defined in advance)” for each measured value Ds of the waveform data D0e, “differentiation processing” The waveform W1f of each measured value in the waveform data D1f thus obtained is as shown in FIG. In this case, there is a “discharge waveform component” whose value increases or decreases due to the discharge generated during the measurement process in the part indicated by the arrow AA1e in the waveform W1e and the part indicated by the arrow AA1f in the waveform W1f. In these waveforms W1e and W1f, the change amount (amplitude amount) of the “discharge waveform component” is smaller than the original change amount (amplitude amount) of the measured value accompanying application of the impulse voltage. It is difficult to determine whether or not “discharge waveform component” exists based on the above.

さらに、上記の波形データＤ１ｅの各測定値を対象として「フィルタリング処理」を行うことなく「微分処理」した波形データＤ２ｅにおける各測定値の波形Ｗ２ｅは、図１６（ａ）のようになる。また、波形データＤ１ｆの各測定値を対象として、「ｍ２ポイント（ｍ２は、ｍ１とは異なる予め規定された任意の自然数）の重み付け移動平均フィルタ」を使用した「フィルタリング処理」を行った後に「微分処理」した波形データＤ２ｆにおける各測定値の波形Ｗ２ｆは、図１６（ｂ）のようになる。   Furthermore, the waveform W2e of each measured value in the waveform data D2e that has been “differentiated” without performing the “filtering process” on each measured value of the waveform data D1e is as shown in FIG. In addition, after performing “filtering processing” using “weighted moving average filter of m2 points (m2 is an arbitrary natural number defined in advance different from m1)” for each measurement value of the waveform data D1f, The waveform W2f of each measurement value in the waveform data D2f subjected to the “differentiation process” is as shown in FIG.

さらに、上記の波形データＤ２ｅの各測定値を対象として「フィルタリング処理」を行うことなく「微分処理」した波形データＤ３ｅにおける各測定値の波形Ｗ３ｅは、図１７（ａ）のようになる。また、波形データＤ２ｆの各測定値を対象として、「ｍ３ポイント（ｍ３は、ｍ１およびｍ２とは異なる予め規定された任意の自然数）の重み付け移動平均フィルタ」を使用した「フィルタリング処理」を行った後に「微分処理」した波形データＤ３ｆにおける各測定値の波形Ｗ３ｆは、図１７（ｂ）のようになる。   Furthermore, the waveform W3e of each measurement value in the waveform data D3e subjected to the “differentiation process” without performing the “filtering process” on each measurement value of the waveform data D2e is as shown in FIG. Further, “filtering processing” using “weighted moving average filter of m3 points (m3 is an arbitrary natural number defined in advance different from m1 and m2)” was performed on each measurement value of the waveform data D2f. The waveform W3f of each measured value in the waveform data D3f that has been “differentiated” later is as shown in FIG.

さらに、上記の波形データＤ３ｅの各測定値を対象として「フィルタリング処理」を行うことなく「微分処理」した波形データＤ４ｅにおける各測定値の波形Ｗ４ｅは、図１８（ａ）のようになる。また、波形データＤ３ｆの各測定値を対象として、「ｍ４ポイント（ｍ４は、ｍ１〜ｍ３とは異なる予め規定された任意の自然数）の重み付け移動平均フィルタ」を使用した「フィルタリング処理」を行った後に「微分処理」した波形データＤ４ｆにおける各測定値の波形Ｗ４ｆは、図１８（ｂ）のようになる。   Furthermore, the waveform W4e of each measurement value in the waveform data D4e subjected to the “differentiation process” without performing the “filtering process” on each measurement value of the waveform data D3e is as shown in FIG. Further, “filtering processing” using “weighted moving average filter of m4 points (m4 is an arbitrary natural number defined in advance different from m1 to m3)” was performed on each measurement value of the waveform data D3f. The waveform W4f of each measurement value in the waveform data D4f that has been “differentiated” later is as shown in FIG.

さらに、上記の波形データＤ４ｅの各測定値を対象として「フィルタリング処理」を行うことなく「微分処理」した波形データＤ５ｅにおける各測定値の波形Ｗ５ｅは、図１９（ａ）のようになる。また、波形データＤ４ｆの各測定値を対象として、「ｍ５ポイント（ｍ５は、ｍ１〜ｍ４とは異なる予め規定された任意の自然数）の重み付け移動平均フィルタ」を使用した「フィルタリング処理」を行った後に「微分処理」した波形データＤ５ｆにおける各測定値の波形Ｗ５ｆは、図１９（ｂ）のようになる。   Further, the waveform W5e of each measurement value in the waveform data D5e subjected to the “differentiation process” without performing the “filtering process” on each measurement value of the waveform data D4e is as shown in FIG. Further, “filtering processing” using “m5 points (m5 is an arbitrary natural number defined in advance different from m1 to m4) weighted moving average filter” was performed on each measurement value of the waveform data D4f. The waveform W5f of each measured value in the waveform data D5f that has been “differentiated” later is as shown in FIG.

この場合、波形Ｗ２ｅにおいて矢印ＡＡ２ｅで示す部位、波形Ｗ３ｅにおいて矢印ＡＡ３ｅで示す部位、波形Ｗ４ｅにおいて矢印ＡＡ４ｅで示す部位、および波形Ｗ５ｅにおいて矢印ＡＡ５ｅで示す部位や、波形Ｗ２ｆにおいて矢印ＡＡ２ｆで示す部位、波形Ｗ３ｆにおいて矢印ＡＡ３ｆで示す部位、波形Ｗ４ｆにおいて矢印ＡＡ４ｆで示す部位、および波形Ｗ５ｆにおいて矢印ＡＡ５ｆ示す部位の測定値は、いずれも「放電波形成分」の測定値Ｄｓに対応する測定値であり、その他の測定値よりも大きな値となっている。   In this case, the part indicated by arrow AA2e in waveform W2e, the part indicated by arrow AA3e in waveform W3e, the part indicated by arrow AA4e in waveform W4e, the part indicated by arrow AA5e in waveform W5e, the part indicated by arrow AA2f in waveform W2f, The measured values of the part indicated by the arrow AA3f in the waveform W3f, the part indicated by the arrow AA4f in the waveform W4f, and the part indicated by the arrow AA5f in the waveform W5f are all measured values corresponding to the measured value Ds of the “discharge waveform component”. The value is larger than other measured values.

このため、図１４〜１９を参照しつつ説明した処理手順の例により、波形データＤ０ｅの各測定値Ｄｓを対象とする複数回の「値変化処理」に際して複数回の「フィルタリング処理」を行ったとき（波形Ｗ１ｆ〜波形Ｗ５ｆの例）に、波形データＤ０ｅの各測定値Ｄｓを対象とする複数回の「値変化処理」に際して複数回の「フィルタリング処理」を行わなかったとき（波形Ｗ１ｅ〜波形Ｗ５ｅの例）と同様に「放電波形成分」が存在するか否かを好適に判定可能な状態が維持されることが理解できる。したがって、「リンギング」等の「周期的なノイズ成分」の影響を十分に低減し得る回数、例えば、前述の例では、Ｍ＝３種類以上の「フィルタ」を用いたＮｂ＝３回以上の「フィルタリング処理」を実行することで、「リンギング」の影響を受けることなく、「放電波形成分」が含まれているか否かを好適に判定可能な「判定用の波形データ」を得ることが可能となる。   Therefore, according to the example of the processing procedure described with reference to FIGS. 14 to 19, multiple “filtering processes” are performed in multiple “value change processes” for each measurement value Ds of the waveform data D0e. When (a waveform W1f to a waveform W5f), when a plurality of “filtering processes” are not performed during a plurality of “value change processes” for each measurement value Ds of the waveform data D0e (a waveform W1e to a waveform W5f) It can be understood that the state in which it is possible to suitably determine whether or not the “discharge waveform component” exists is maintained as in the example of W5e. Therefore, the number of times that the influence of “periodic noise components” such as “ringing” can be sufficiently reduced, for example, in the above example, Nb = 3 or more “Mb” using three or more “filters”. By executing the “filtering process”, it is possible to obtain “determination waveform data” that can suitably determine whether or not the “discharge waveform component” is included without being affected by “ringing”. Become.

一方、本例のデータ処理装置３（データ処理用プログラムＤｐ）では、前述したように、「第２の暫定閾値（基準値）」との比較によって「放電波形成分」が含まれているか否かを判定するための「判定用の波形データ」、および「第２の暫定閾値（基準値）」の双方を波形データＤ０に基づいて生成・規定し、生成した「判定用の波形データ」および規定した「第２の暫定閾値（基準値）」を使用して波形データＤ０の波形Ｗ０に「放電波形成分」が含まれているか否かを判定する構成・方法が採用されている。   On the other hand, in the data processing device 3 (data processing program Dp) of this example, as described above, whether or not the “discharge waveform component” is included by comparison with the “second provisional threshold (reference value)”. The “determination waveform data” and the “second provisional threshold value (reference value)” for determining are generated and specified based on the waveform data D0, and the generated “determination waveform data” and specification are generated. The configuration / method for determining whether or not the “discharge waveform component” is included in the waveform W0 of the waveform data D0 using the “second provisional threshold (reference value)” is adopted.

具体的には、本例のデータ処理装置３（データ処理用プログラムＤｐ）では、前述した例のように、一例として、測定装置２から取得した波形データＤ０の各測定値Ｄｓを対象として、Ｎａ＝５回の「微分処理」と、Ｍ＝５種類の「フィルタ」を使用したＮｂ＝５回の「フィルタリング処理」とを「値変換処理」として実行することによって波形データＤ５を生成する。次いで、波形データＤ５の各測定値（「放電波形成分が含まれているか否かを判定する各測定値」の一例）を絶対値化して波形データＤ６（「判定用データ」の一例）を生成する。   Specifically, in the data processing device 3 (data processing program Dp) of the present example, as in the example described above, for each measured value Ds of the waveform data D0 acquired from the measuring device 2, as an example, Na The waveform data D5 is generated by executing “differential processing” = 5 times and “filtering processing” of Nb = 5 times using M = 5 types of “filters” as “value conversion processing”. Next, each measured value of waveform data D5 (an example of “each measured value for determining whether or not a discharge waveform component is included”) is converted into an absolute value to generate waveform data D6 (an example of “determination data”). To do.

一例として、図２０に示す波形Ｗ６ｇは、「リンギング」の影響を含み、かつ「放電波形成分」が含まれていない波形データＤ０を対象とする１０回の「値変換処理」（５回の「微分処理」、および５回の「フィルタリング処理」）によって生成された波形データＤ５の各測定値を絶対値化した波形データＤ６（以下、「波形データＤ６ｇ」という）の「信号波形」である。また、他の一例として、図２１に示す波形Ｗ６ｈは、「リンギング」の影響を含み、かつ「放電波形成分」が含まれている波形データＤ０を対象とする１０回の「値変換処理」によって生成された波形データＤ５の各測定値を絶対値化した波形データＤ６（以下、「波形データＤ６ｈ」という）の「信号波形」である。   As an example, the waveform W6g shown in FIG. 20 includes ten “value conversion processes” (five times “of“ ringing ”) and the waveform data D0 including the“ discharge waveform component ”. And “signal waveform” of waveform data D6 (hereinafter referred to as “waveform data D6g”) obtained by converting each measurement value of the waveform data D5 generated by the “differentiation process” and the five “filtering processes”) into absolute values. As another example, the waveform W6h shown in FIG. 21 is obtained by performing “value conversion processing” 10 times on the waveform data D0 that includes the influence of “ringing” and includes the “discharge waveform component”. This is a “signal waveform” of waveform data D6 (hereinafter referred to as “waveform data D6h”) obtained by converting each measurement value of the generated waveform data D5 into an absolute value.

両図の比較により理解できるように、複数回の「微分処理」および複数回の「フィルタリング処理」の実行によって「リンギング」の影響が十分に低減されると共に、「放電波形成分」が含まれている波形データＤ０に対応する波形データＤ６ｈの波形Ｗ６ｈでは、矢印ＡＡ６ｈで示す部位の「放電波形成分」に対応する測定値がその他の測定値よりも十分に大きな値となっているのに対し、「放電波形成分」が含まれていない波形データＤ０に対応する波形データＤ６ｇの波形Ｗ６ｇは、そのような大きな値が存在しない状態となっている。   As can be understood from the comparison of both figures, the effect of “ringing” is sufficiently reduced by executing “differential processing” multiple times and “filtering processing” multiple times, and “discharge waveform component” is included. In the waveform W6h of the waveform data D6h corresponding to the waveform data D0, the measured value corresponding to the “discharge waveform component” at the portion indicated by the arrow AA6h is sufficiently larger than the other measured values. The waveform W6g of the waveform data D6g corresponding to the waveform data D0 not including the “discharge waveform component” is in a state where such a large value does not exist.

続いて、上記の波形データＤ６（波形データＤ６ｇや波形データＤ６ｈ等）に基づいて「判定用閾値（基準値）」を規定する。具体的には、まず、一例として、波形データＤ６の各測定値における最大値の１／２の値（Ｌａ＝２の例）を「第１の暫定閾値」とする（「第１の処理」の一例）。   Subsequently, a “determination threshold (reference value)” is defined based on the waveform data D6 (waveform data D6g, waveform data D6h, etc.). Specifically, as an example, a value that is ½ of the maximum value of each measurement value of the waveform data D6 (an example of La = 2) is set as a “first provisional threshold” (“first process”). Example).

この場合、「値変換処理」によって「ノイズ成分」が抽出された状態となっている波形データＤ６における測定値の分布状態が正規分布であるとしたときに、波形データＤ６の各測定値のうちの標準偏差σの範囲に含まれる測定値の数は、測定値の総数の６８％程度となる。したがって、規定した「第１の暫定閾値」が、標準偏差σの範囲に含まれない測定値を特定可能な値に規定されているか否か（「第１の暫定閾値」を下回る測定値の数が標準偏差σに十分に近づいたか）を判断するために、波形データＤ６の各測定値のうちの「第１の暫定閾値」を下回る測定値の数が標準偏差σに対する予め規定された範囲内（一例として、標準偏差σ≒６８％の±１％の範囲内：すなわち、６７％以上６９％以下の範囲内）の数であるか否かを判別する（「第２の処理」の一例）。   In this case, when the distribution state of the measurement value in the waveform data D6 in which the “noise component” is extracted by the “value conversion process” is a normal distribution, of the measurement values of the waveform data D6, The number of measured values included in the range of the standard deviation σ is about 68% of the total number of measured values. Therefore, whether or not the defined “first provisional threshold value” is defined as a value that can specify a measurement value not included in the range of the standard deviation σ (the number of measurement values below the “first provisional threshold value”) In order to determine whether the measured value of the waveform data D6 is less than the “first provisional threshold”, the number of measured values within the predetermined range with respect to the standard deviation σ is within a predetermined range. As an example, it is determined whether the number is within a range of ± 1% of standard deviation σ≈68% (that is, within a range of 67% to 69%) (an example of “second processing”) .

この際に、「第１の暫定閾値」を下回る測定値の数が上記の予め規定された範囲を外れて少ないときには、一例として、「第１の暫定閾値」の１／２（Ｌｂ＝２の例）の値を「第１の暫定閾値」に加算した値を新たな「第１の暫定閾値」として、上記の「第２の処理」を再び実行する。また、「第１の暫定閾値」を下回る測定値の数が上記の予め規定された範囲を外れて多いときには、「第１の暫定閾値」の１／２（Ｌｃ＝２の例）を「第１の暫定閾値」から減算した値を新たな「第１の暫定閾値」として上記の「第２の処理」を再び実行する。   At this time, when the number of measurement values below the “first provisional threshold” is small outside the above-mentioned predetermined range, as an example, 1/2 of the “first provisional threshold” (Lb = 2) The above “second process” is executed again with the value obtained by adding the value of the example) to the “first provisional threshold” as the new “first provisional threshold”. Further, when the number of measurement values below the “first provisional threshold” is large outside the above-mentioned predetermined range, 1/2 of the “first provisional threshold” (example of Lc = 2) is set to “first The above-mentioned “second processing” is executed again with the value subtracted from “1 provisional threshold” as the new “first provisional threshold”.

一方、「第１の暫定閾値」を下回る測定値の数が上記の予め規定された範囲内であるときには、「第１の暫定閾値」を「第２の暫定閾値（「ノイズ成分」の測定値の大きさの分布における標準偏差σに対応する閾値と推定した値）」として規定する。なお、上記の各処理時におけるＬａの値、Ｌｂの値およびＬｃの値は、例示のように「２」が好ましいが、「２」以外の任意の正の実数とすることができ、また、Ｌａの値、Ｌｂの値およびＬｃの値をそれぞれ別個の値とすることもできる。   On the other hand, when the number of measurement values below the “first provisional threshold value” is within the above-defined range, the “first provisional threshold value” is changed to the “second provisional threshold value (measurement value of“ noise component ”). The threshold value corresponding to the standard deviation σ in the distribution of the magnitude of In addition, although the value of La, the value of Lb, and the value of Lc at the time of each of the above processes is preferably “2” as illustrated, it can be any positive real number other than “2”. The value of La, the value of Lb, and the value of Lc can also be set as separate values.

次いで、規定した「第２の暫定閾値」を標準偏差σに対応する値（「放電波形成分」以外の通常の「ノイズ成分」のレベル）とし、この「第２の暫定閾値」以上の測定値の数に対して存在可能性が十分に低い標準偏差６σ（「標準偏差ｎσ」が「６σ」の例）に対応する値を「判定用閾値（基準値）」として規定する（「第３の処理」の一例）。この場合、図２０における波形Ｗ６ｇの波形データＤ６ｇの例、および図２１の波形Ｗ６ｈの波形データＤ６ｈの例では、実線Ｌで示す値が「判定用閾値（基準値）」として規定される。   Next, the specified “second provisional threshold” is set to a value corresponding to the standard deviation σ (a level of a normal “noise component” other than the “discharge waveform component”), and a measured value equal to or greater than the “second provisional threshold”. A value corresponding to a standard deviation 6σ that is sufficiently low to exist for the number (an example in which “standard deviation nσ” is “6σ”) is defined as “determination threshold (reference value)” (“third threshold value”) An example of “processing”). In this case, in the example of the waveform data D6g of the waveform W6g in FIG. 20 and the example of the waveform data D6h of the waveform W6h in FIG. 21, the value indicated by the solid line L is defined as “determination threshold (reference value)”.

続いて、規定した「判定用閾値（基準値）」、および前述の波形データＤ６に基づき、波形データＤ０の波形Ｗ０に「放電波形成分」が含まれているか否かを判定する。この際に、「放電波形成分」が含まれていない波形データＤ０に基づいて生成された波形データＤ６ｇの波形Ｗ６ｇでは、実線Ｌで示す「判定用閾値（基準値）」以上の測定値が存在していない。このため、この波形データＤ６ｇを使用した判定時には、対応する波形データＤ０に「放電波形成分」が含まれていないと判定される。   Subsequently, based on the defined “determination threshold (reference value)” and the waveform data D6 described above, it is determined whether or not the waveform W0 of the waveform data D0 includes a “discharge waveform component”. At this time, in the waveform W6g of the waveform data D6g generated based on the waveform data D0 not including the “discharge waveform component”, there is a measured value equal to or greater than the “determination threshold (reference value)” indicated by the solid line L. Not done. Therefore, at the time of determination using the waveform data D6g, it is determined that the “discharge waveform component” is not included in the corresponding waveform data D0.

これに対して、「放電波形成分」が含まれている波形データＤ０に基づいて生成された波形データＤ６ｈの波形Ｗ６ｈでは、矢印ＡＡ６ｈの部位に、実線Ｌで示す「判定用閾値（基準値）」以上の測定値が存在している。このため、この波形データＤ６ｈを使用した判定時には、対応する波形データＤ０に「放電波形成分」が含まれていると判定される。   On the other hand, in the waveform W6h of the waveform data D6h generated based on the waveform data D0 including the “discharge waveform component”, the “determination threshold value (reference value) indicated by the solid line L at the portion indicated by the arrow AA6h. There are more measurements. Therefore, at the time of determination using the waveform data D6h, it is determined that the “discharge waveform component” is included in the corresponding waveform data D0.

このように、このデータ処理装置３では、予め規定されたサンプリング周期で測定された複数の測定値Ｄｓが記録されている波形データＤ０に基づいてその波形Ｗ０における「ノイズ成分」のなかに「放電波形成分」が含まれているか否かを判定する「判定処理」において、処理部２３が、各測定値を予め規定された変換方法に従って値変換して変換後の値を新たな各測定値とする「値変換処理」を複数回実行して処理後の各測定値に基づいて「放電波形成分」が含まれているか否かを判定すると共に、複数回の「値変換処理」として、波形データＤ０の波形Ｗ０における最大振幅部の各測定値Ｄｓの絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である「第１の絶対値」が、波形データＤ０の波形Ｗ０における「ノイズ成分」の振幅部の各測定値Ｄｓの絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である「第２の絶対値」よりも小さくなるように処理対象の各測定値を値変換するＮａ回（一例として、Ｎａ＝５回）の「第１の変換処理（上記の例では「微分処理」）」と、波形データＤ０の波形Ｗ０における「周期的なノイズ成分」の振幅部の各測定値Ｄｓの絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である「第３の絶対値」が、波形データＤ０の波形Ｗ０における「非周期的なノイズ成分」の振幅部の各測定値Ｄｓの絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である「第４の絶対値」よりも小さくなるように処理対象の各測定値を値変換するＮｂ回（一例として、Ｎｂ＝５回）の「第２の変換処理（上記の例では「フィルタリング処理」）」とを予め規定された順序で実行し、Ｎｂ回の「第２の変換処理」において、「［第３の絶対値］の［第２の変換処理］の前後における［変化率］」が異なるＭ種類の「フィルタ」を使用して各測定値を値変換する。また、このデータ処理用プログラムＤｐでは、上記の各処理をデータ処理装置３の処理部２３に実行させる。   As described above, in the data processing device 3, “discharge” is included in the “noise component” in the waveform W 0 based on the waveform data D 0 in which a plurality of measurement values Ds measured at a predetermined sampling period are recorded. In the “determination process” for determining whether or not the “waveform component” is included, the processing unit 23 converts each measured value according to a predetermined conversion method, and converts the converted value to a new measured value. The “value conversion process” is executed multiple times to determine whether or not the “discharge waveform component” is included based on each measured value after the process, and the waveform data is The “first absolute value” that is the absolute value of the measurement value to be converted corresponding to the maximum value among the absolute values of the measurement values Ds of the maximum amplitude portion in the waveform W0 of D0 is the waveform W0 of the waveform data D0. "Noise component" Each measured value to be processed is converted so that it is smaller than the “second absolute value” that is the absolute value of the measured value corresponding to the maximum value among the absolute values of the measured values Ds of the amplitude part. The “first conversion process (“ differential process ”in the above example”) ”performed Na times (as an example, Na = 5 times) and the amplitude portion of the“ periodic noise component ”in the waveform W0 of the waveform data D0. The “third absolute value” that is the absolute value of the measurement value to be converted corresponding to the maximum value among the absolute values of each measurement value Ds is the “aperiodic noise component” in the waveform W0 of the waveform data D0. Each measurement value to be processed is converted so that it becomes smaller than the “fourth absolute value” that is the absolute value of the measurement value to be converted corresponding to the maximum value among the absolute values of the measurement values Ds of the amplitude part. Nb times (for example, Nb = 5 times) “second conversion process (in the above example, Filtering process ")" is executed in a predetermined order. In the "second conversion process" Nb times, the [change rate before and after the [second conversion process] of the [third absolute value] ], “M” different “filters” are used to convert the measured values. Further, the data processing program Dp causes the processing unit 23 of the data processing device 3 to execute each of the processes described above.

したがって、このデータ処理装置３およびデータ処理用プログラムＤｐによれば、Ｎａ回の「微分処理（第１の変換処理）」によって、波形データＤ０の各測定値Ｄｓに重畳する「ノイズ成分」の大きさの相違や、各測定値Ｄｓの本来的な変化（波形データＤ０の波形Ｗ０における大まかな変化）の影響を受けることなく「ノイズ成分」が抽出されるため、不定期に発生する放電に対応する測定値を選択的に大きな値とすることができ、周期やレベルが異なる複数種類の「リンギング」が発生したとしても、Ｍ種類の「フィルタ」を使用したＮｂ回の「フィルタリング処理（第２の変換処理）」によって、その影響を十分に軽減することができるため、波形データＤ０の波形Ｗ０に「放電波形成分」が含まれているか否かを正確に判定することができる。   Therefore, according to the data processing device 3 and the data processing program Dp, the magnitude of the “noise component” superimposed on each measured value Ds of the waveform data D0 by Na “differentiation processing (first conversion processing)”. Because the “noise component” is extracted without being affected by the difference in size or the original change of each measured value Ds (rough change in the waveform W0 of the waveform data D0), it corresponds to the discharge that occurs irregularly. The measurement value to be selected can be selectively set to a large value, and even if a plurality of types of “ringing” having different periods and levels occur, Nb “filtering processing (second) using M types of“ filters ”is performed. Therefore, it is possible to reduce the influence sufficiently, so that it is possible to accurately determine whether or not the “discharge waveform component” is included in the waveform W0 of the waveform data D0. Can.

また、このデータ処理装置３では、処理部２３が、「判定処理」において、「放電波形成分」が含まれているか否かを判定する各測定値を絶対値化した「判定用データ」の各測定値における最大値の１／Ｌａ（一例として、１／２）の値を「第１の暫定閾値」とする「第１の処理」と、「判定用データ」の各測定値のうちの「第１の暫定閾値」を下回る測定値の数が標準偏差σに対する予め規定された範囲内の数であるか否かを判別する「第２の処理」とを実行し、「第２の処理」において「第１の暫定閾値」を下回る測定値の数が予め規定された範囲を外れて少ないと判別したきに「第１の暫定閾値」の１／Ｌｂ（一例として、１／２）の値を「第１の暫定閾値」に加算した値を新たな「第１の暫定閾値」として「第２の処理」を再び実行し、「第２の処理」において「第１の暫定閾値」を下回る測定値の数が予め規定された範囲を外れて多いと判別したときに「第１の暫定閾値」の１／Ｌｃ（一例として、１／２）の値を「第１の暫定閾値」から減算した値を新たな「第１の暫定閾値」として「第２の処理」を再び実行し、かつ「第２の処理」において「第１の暫定閾値」を下回る測定値の数が予め規定された範囲内であると判別したときに「第１の暫定閾値」を「第２の暫定閾値」とすると共に、標準偏差ｎσに対応する「判定用閾値」を「第２の暫定閾値」に基づいて特定する「第３の処理」を実行し、「判定用閾値」を超える測定値が「判定用データ」に含まれているときに波形データの信号波形に「放電波形成分」が含まれていると判定し、「判定用閾値」を超える測定値が「判定用データ」に含まれていないときに波形データの信号波形に「放電波形成分」が含まれていないと判定する。また、このデータ処理用プログラムＤｐでは、上記の各処理をデータ処理装置３の処理部２３に実行させる。   Further, in this data processing device 3, each of the “determination data” in which the processing unit 23 converts each measurement value for determining whether or not “discharge waveform component” is included in the “determination process” into an absolute value. Of the measured values of “first process” and “determination data”, 1 / La (for example, 1/2) of the maximum value of the measured values is set as “first provisional threshold”. A “second process” is performed to determine whether or not the number of measurement values below the “first provisional threshold” is a number within a predetermined range with respect to the standard deviation σ. Value of 1 / Lb (for example, 1/2) of the “first provisional threshold” when it is determined that the number of measurement values below the “first provisional threshold” is less than the predetermined range in FIG. The value obtained by adding the value to the “first provisional threshold” is used as the new “first provisional threshold” and the “second process” is executed again. 1 / Lc of the “first provisional threshold” (as an example) when it is determined that the number of measurement values below the “first provisional threshold” is larger than the predetermined range in the “second process” , 1/2) the value obtained by subtracting the value of “first provisional threshold” as the new “first provisional threshold”, the “second process” is executed again, and the “second process” When it is determined that the number of measured values below the “first provisional threshold” is within a predetermined range, the “first provisional threshold” is set as the “second provisional threshold” and the standard deviation nσ is supported. When a “third process” is performed to specify the “determination threshold” based on the “second provisional threshold” and a measurement value exceeding the “determination threshold” is included in the “determination data” Measurement that exceeds the “determination threshold” by determining that the waveform of the waveform data contains “discharge waveform components”. There is judged not to include "discharge waveform component" to the signal waveform of the waveform data when not included in the "determination data". Further, the data processing program Dp causes the processing unit 23 of the data processing device 3 to execute each of the processes described above.

したがって、このデータ処理装置３およびデータ処理用プログラムＤｐによれば、「判定用閾値」の規定に際して、複数個の良品の検査対象Ｘについての測定処理を実行する必要がないだけでなく、検査対象Ｘの個体差が大きい場合であっても、検査対象Ｘについての測定処理を１回実行して波形データＤ０生成することで、その検査対象Ｘの状態に即し、かつ測定装置２の回路特性や測定環境の影響を受けることがない検査対象Ｘ用の「判定用閾値」を規定することができる。   Therefore, according to the data processing device 3 and the data processing program Dp, when defining the “determination threshold value”, it is not only necessary to perform measurement processing on a plurality of non-defective products X to be inspected. Even when the individual difference of X is large, the measurement process for the inspection target X is executed once to generate the waveform data D0, so that the circuit characteristics of the measuring apparatus 2 can be matched to the state of the inspection target X. In addition, a “determination threshold” for the inspection object X that is not affected by the measurement environment can be defined.

さらに、この測定システム１によれば、上記のデータ処理装置３と、検査対象Ｘについての予め規定されたサンプリング周期での測定を実行して波形データＤ０を出力する測定装置２とを備えたことにより、波形データＤ０の取得（生成）から「放電波形成分」が含まれているか否かの判定までの一連の処理を１つのシステムで実行することができる。   Furthermore, according to the measurement system 1, the data processing apparatus 3 described above and the measurement apparatus 2 that performs measurement at a predetermined sampling period for the inspection target X and outputs the waveform data D0 are provided. Thus, a series of processing from acquisition (generation) of the waveform data D0 to determination of whether or not the “discharge waveform component” is included can be executed by one system.

次に、上記の検査処理における「判定用の波形データ」の生成手順に関する他の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。なお、図２〜２１を参照しつつ説明した一連の処理と同様の手順については、重複する説明を省略する。   Next, another embodiment relating to a procedure for generating “determination waveform data” in the above-described inspection process will be described with reference to the accompanying drawings. In addition, the overlapping description is abbreviate | omitted about the procedure similar to a series of processes demonstrated referring FIGS.

データ処理装置３による前述の「判定処理」では、対応する波形Ｗ０に「放電波形成分」が含まれているか否かを判定する波形データＤ０の各測定値Ｄｓを対象とする複数回の「値変換処理（Ｎａ回の「微分処理（第１の変換処理）」、およびＮｂ回の「フィルタリング処理（第２の変換処理）」等）を実行して「判定用の波形データ」を生成した。この場合、上記の例の構成・手順では、波形データＤ０の各測定値Ｄｓのすべてに対して同レベルの「フィルタリング処理」が行われている。   In the aforementioned “determination process” by the data processing device 3, multiple “values” for each measured value Ds of the waveform data D 0 for determining whether or not the “discharge waveform component” is included in the corresponding waveform W 0. The conversion process (Na times “differentiation process (first conversion process)”, Nb times “filtering process (second conversion process)”, etc.) was executed to generate “determination waveform data”. In this case, in the configuration / procedure of the above example, the same level of “filtering processing” is performed on all the measured values Ds of the waveform data D0.

したがって、例えば、測定処理時に放電が発生し、かつ、放電の発生部位とは異なる部位において測定値の波形に歪みが生じた状態となったときに、放電に対応する「放電波形成分」のレベルが低いときには、波形において歪みが生じた部位に「放電波形成分」が存在すると誤って判定してしまうおそれがある。そこで、対応する波形に部分的な歪みが生じているような波形データＤ０において低レベルの「放電波形成分」を好適に検出可能な状態とするために、以下に説明する手順に従って「判定用の波形データ」を生成する。   Therefore, for example, the level of the “discharge waveform component” corresponding to the discharge when a discharge occurs during the measurement process and the waveform of the measurement value is distorted in a part different from the part where the discharge occurs. When the value is low, there is a risk of erroneously determining that the “discharge waveform component” is present at the portion where the distortion occurs in the waveform. Therefore, in order to make it possible to suitably detect a low-level “discharge waveform component” in the waveform data D0 in which partial distortion occurs in the corresponding waveform, the “determining for determination” is performed according to the procedure described below. Waveform data "is generated.

まず、対応する波形Ｗ０に「放電波形成分」が含まれているか否かを判定する波形データＤ０の各測定値Ｄｓにおける「連続するＫサンプリング内の変化量」をそれぞれ特定する「変化量特定処理」を実行する。この「変化量特定処理」では、まず、一例として、波形データＤ０の各測定値Ｄｓに対する２回程度の「微分処理」を行う（各測定値Ｄｓの二階微分値を求める）と共に、その絶対値を測定値とする波形データＤ１０を生成する。次いで、波形データＤ１０の各測定値を対象とするＫポイントの「移動平均処理」を行って波形データＤ１１を生成する。この際には、一例として５１ポイントの「移動平均処理」（「Ｋ＝５１サンプリング」の例）を行う。なお、「単純移動平均処理」に代えて「重み付け移動平均処理」を行って波形データＤ１１を生成してもよい。   First, “change amount specifying process” for specifying “change amount in continuous K sampling” in each measured value Ds of waveform data D0 for determining whether or not “discharge waveform component” is included in the corresponding waveform W0. ”Is executed. In this “variation amount specifying process”, first, as an example, the “differential process” is performed about twice for each measured value Ds of the waveform data D0 (the second-order differential value of each measured value Ds is obtained), and the absolute value thereof Waveform data D10 having a measured value as a measurement value is generated. Next, “moving average processing” of K points for each measurement value of the waveform data D10 is performed to generate the waveform data D11. In this case, 51 points of “moving average processing” (an example of “K = 51 sampling”) is performed as an example. The waveform data D11 may be generated by performing “weighted moving average processing” instead of “simple moving average processing”.

続いて、波形データＤ１１の各測定値を、最大値が「１」となるように正規化する。これにより、波形データＤ０の各測定値Ｄｓにおいて連続するＫ＝５１サンプリング内の変化量が大きい部位に対応する測定値が大きく、連続するＫ＝５１サンプリング内の変化量が小さい部位に対応する測定値が小さい波形データＤ１２が生成されて、「変化量特定処理」が完了する。   Subsequently, each measurement value of the waveform data D11 is normalized so that the maximum value is “1”. As a result, in each measured value Ds of the waveform data D0, the measurement value corresponding to the portion where the change amount within the continuous K = 51 sampling is large and the measurement value corresponding to the portion where the change amount within the continuous K = 51 sampling is small. The waveform data D12 having a small value is generated, and the “change amount specifying process” is completed.

次に、前述したＮｂ回の「フィルタリング処理（第２の変換処理）」において「波形データＤ０の波形Ｗ０における［周期的なノイズ成分］の振幅部の各測定値Ｄｓの絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の測定値の絶対値である［第３の絶対値］の低下量」が少量のＭ種類の「フィルタ」を使用して各「値変換処理」を実行する（「処理Ａ」の一例）。この場合、「［第３の絶対値］の低下量が少量の［フィルタ］を使用した［フィルタリング処理］」とは、例えば、「リンギング」の周波数と同程度の周波数の「ノイズ成分」の減衰量が少ない「フィルタ」や、「フィルタリング処理」によって減衰する「ノイズ成分」の周波数の種類数が少ない「フィルタ」を使用した「フィルタリング処理」、または、実質的に値を変化させない「フィルタリング処理（処理しないのと同然の処理）」を意味する。   Next, in the Nb “filtering process (second conversion process)” described above, the maximum of the absolute values of the measured values Ds of the amplitude portion of [periodic noise component] in the waveform W0 of the waveform data D0 is the maximum. Each “value conversion process” is executed using M types of “filters” in which the “decrease amount of [third absolute value]”, which is the absolute value of the measurement value to be converted corresponding to the value, is small (“process An example of “A”). In this case, “[filtering process using a [filter] whose amount of decrease in [third absolute value] is small” means, for example, attenuation of a “noise component” having a frequency similar to the frequency of “ringing”. “Filtering” using a “filter” with a small amount or “filter” with a small number of types of frequencies of “noise components” attenuated by “filtering”, or “filtering” (with no substantial change in value) It means the same processing as not processing).

この「処理Ａ」では、一例として、まず、Ｍ＝４種類の上記のような「フィルタ」を使用したＮｂ＝４回の「フィルタリング処理」と、Ｎａ＝４回の「微分処理（第１の変換処理）」とを実行して波形データＤ２１を生成する。次いで、波形データＤ２１の各測定値を絶対値化して波形データＤ２２を生成する。続いて、波形データＤ２２を対象として、前述した「第１の暫定閾値」を求めた手順と同様の手順に従い、「標準偏差σの範囲内に含まれる［ノイズ成分］」に対応する測定値の大きさ（以下、「標準ノイズ値」ともいう）を求める。次いで、波形データＤ２２の各測定値を上記の標準ノイズ値で除して波形データＤ２３を生成する。これにより、「処理Ａ」による「判定用の波形データ」の生成が完了する。   In this “processing A”, as an example, first, N = 4 “filtering processing” using four “filters” as described above, and Na = 4 “differential processing (first processing). The waveform data D21 is generated by executing “conversion processing)”. Next, the waveform data D22 is generated by converting each measured value of the waveform data D21 into an absolute value. Subsequently, for the waveform data D22, the measurement value corresponding to “[noise component] included in the range of the standard deviation σ” is followed according to the same procedure as that for obtaining the “first provisional threshold” described above. The magnitude (hereinafter also referred to as “standard noise value”) is obtained. Next, each measured value of the waveform data D22 is divided by the standard noise value to generate the waveform data D23. This completes the generation of “determination waveform data” by “processing A”.

次いで、前述したＮｂ回の「フィルタリング処理」において「［第３の絶対値］の低下量」が「処理Ａ」時に使用する「フィルタ」よりも多いＭ種類の「フィルタ」を使用して各「値変換処理」を実行する（「処理Ｂ」の一例）。この場合、「［第３の絶対値］の低下量が「処理Ａ」時に使用する「フィルタ」よりも多い［フィルタ］を使用した［フィル
リング処理］」とは、例えば、「リンギング」の周波数と同程度の周波数の「ノイズ成分」の減衰量が上記の「処理Ａ」による減衰量よりも多い「フィルタ」や、「フィルタリング処理」によって減衰する「ノイズ成分」の周波数の種類数が上記の「処理Ａ」において使用する「フィルタ」よりも多い「フィルタ」を使用した「フィルタリング処理」を意味する。 Next, in the Nb “filtering process” described above, each of the “filters” using “M” types of “filters” having a larger “amount of decrease in [third absolute value]” than “filters” used in “process A” is used. “Value conversion process” is executed (an example of “process B”). In this case, “[filling process] using [filter] in which the decrease amount of [third absolute value] is larger than“ filter ”used in“ process A ”” is, for example, the frequency of “ringing” The number of types of frequencies of the “filter” in which the amount of attenuation of the “noise component” having the same frequency as that of “processing A” is larger than the amount of attenuation by the above “processing A” and the “noise component” attenuated by the “filtering processing” It means “filtering process” using more “filters” than “filters” used in “process A”.

この「処理Ｂ」では、一例として、まず、Ｍ＝４種類の上記のような「フィルタ」を使用したＮｂ＝４回の「フィルタリング処理」と、Ｎａ＝４回の「微分処理」とを実行して波形データＤ３１を生成する。次いで、波形データＤ３１の各測定値を絶対値化して波形データＤ３２を生成する。続いて、波形データＤ３２を対象として、前述した「第１の暫定閾値」を求めた手順と同様の手順に従って標準ノイズ値を求める。次いで、波形データＤ３２の各測定値を標準ノイズ値で除して波形データＤ３３を生成する。これにより、「処理Ｂ」による「判定用の波形データ」の生成が完了する。   In this “Process B”, as an example, first, N = 4 “filtering process” and Na = 4 “differential process” using M = 4 types of “filters” as described above are executed. Thus, waveform data D31 is generated. Next, each measured value of the waveform data D31 is converted into an absolute value to generate waveform data D32. Subsequently, for the waveform data D32, a standard noise value is obtained according to a procedure similar to the procedure for obtaining the “first provisional threshold” described above. Next, each measured value of the waveform data D32 is divided by the standard noise value to generate waveform data D33. Thereby, the generation of “determination waveform data” by “processing B” is completed.

続いて、波形データＤ０の各測定値について、「変化量特定処理」によって特定した変化量が「予め規定された量」を下回る測定値Ｄｓを「処理Ａ」によって変換された測定値に置き換えると共に、「変化量特定処理」によって特定した変化量が「予め規定された量」以上の測定値Ｄｓを「処理Ｂ」によって変換された測定値に置き換える（「第１の置換処理」の一例）。具体的には、波形データＤ０の各測定値Ｄｓに関し、波形データＤ１２の測定値が規定量を下回る部位の測定値Ｄｓを波形データＤ２３の測定値に置き換えると共に、波形データＤ１２の測定値が規定量以上の部位の測定値Ｄｓを波形データＤ３３の測定値に置き換える。以上により、波形データＤ４１が生成されて「第１の置換処理」が完了する。   Subsequently, for each measured value of the waveform data D0, the measured value Ds whose change amount specified by the “change amount specifying process” is less than the “predetermined amount” is replaced with the measured value converted by the “process A”. Then, the measurement value Ds whose change amount specified by the “change amount specifying process” is equal to or greater than the “predetermined amount” is replaced with the measurement value converted by the “process B” (an example of “first replacement process”). Specifically, for each measured value Ds of the waveform data D0, the measured value Ds of the part where the measured value of the waveform data D12 is below the specified amount is replaced with the measured value of the waveform data D23, and the measured value of the waveform data D12 is specified. The measured value Ds of the part more than the amount is replaced with the measured value of the waveform data D33. Thus, the waveform data D41 is generated, and the “first replacement process” is completed.

なお、上記の「第１の置換処理」に代えて、波形データＤ０の各測定値について、「変化量特定処理」によって特定した変化量が最も小さい測定値Ｄｓ（または、変化量が「０」の測定値Ｄｓ）が「処理Ａ」によって変換された測定値に置き換わり、かつ変化量が最も大きい測定値Ｄｓが「処理Ｂ」によって変換された測定値に置き換わるとの条件が満たされるように、波形データＤ０の各測定値Ｄｓを、「変化量特定処理」によって特定した変化量の大きさに応じて（一例として、「変化量」の大きさに比例させて）、「処理Ａ」によって変換された「測定値」から「処理Ｂ」によって変換された測定値までの範囲内の値に置き換える処理（「第２の置換処理」の一例）を実行することもできる。   Instead of the “first replacement process” described above, for each measurement value of the waveform data D0, the measurement value Ds with the smallest change amount specified by the “change amount specifying process” (or the change amount is “0”). The measurement value Ds) is replaced with the measurement value converted by “Processing A”, and the condition that the measurement value Ds having the largest change amount is replaced with the measurement value converted by “Processing B” is satisfied. Each measured value Ds of the waveform data D0 is converted by “Processing A” according to the amount of change specified by “Change amount specifying process” (as an example, proportional to the amount of “Change amount”). It is also possible to execute a process (an example of a “second replacement process”) for replacing the measured value with a value within the range from the “measured value” to the measured value converted by “Process B”.

この場合、変化量の大きさに応じて置き換える測定値については、波形データＤ２３の測定値および波形データＤ３３の測定値に基づいて演算する。具体的には、一例として、波形データＤ０の各測定値Ｄｓを、「［置き換える測定値］＝（１−［変化量］）×［処理Ａによって変換された測定値］＋［変化量］×［処理Ｂによって変換された測定値］」との演算式によって演算される測定値に置き換える処理を「第２の置換処理」として実行すすることができる。   In this case, the measurement value to be replaced according to the magnitude of the change amount is calculated based on the measurement value of the waveform data D23 and the measurement value of the waveform data D33. Specifically, as an example, each measured value Ds of the waveform data D0 is expressed as “[replaced measured value] = (1− [change amount]) × [measured value converted by the process A] + [change amount] × The process of substituting the measurement value calculated by the arithmetic expression “measured value converted by the process B” can be executed as the “second replacement process”.

次いで、一例として、前述した「判定処理」時における「判定用閾値（基準値）」の規定手順に従って波形データＤ４１に基づいて「判定用閾値」を規定する。この後、規定した「判定用閾値」と波形データＤ４１の各測定値（「第１の置換処理によって置き換えた各測定値」の一例）との比較によって波形データＤ０の波形Ｗ０に「放電波形成分」が含まれているか否かを判定する。なお、「第１の置換処理」に代えて「第２の置換処理」を実行した場合には、「第２の置換処理」によって生成した波形データに基づいて「判定用閾値」を規定し、規定した「判定用閾値」と、その波形データの各測定値（「第２の置換処理によって置き換えた各測定値」の一例）との比較によって波形データＤ０の波形Ｗ０に「放電波形成分」が含まれているか否かを判定する。以上により、「判定処理」が完了する。   Next, as an example, the “determination threshold” is defined based on the waveform data D41 in accordance with the “determination threshold (reference value)” defining procedure in the “determination process” described above. Thereafter, by comparing the prescribed “determination threshold” with each measured value of the waveform data D41 (an example of “each measured value replaced by the first replacement process”), the waveform W0 of the waveform data D0 has “discharge waveform component”. "Is included. When “second replacement processing” is executed instead of “first replacement processing”, a “determination threshold” is defined based on the waveform data generated by “second replacement processing”. By comparing the defined “determination threshold value” with each measured value of the waveform data (an example of “each measured value replaced by the second replacement process”), the “discharge waveform component” is added to the waveform W0 of the waveform data D0. It is determined whether or not it is included. Thus, the “determination process” is completed.

この場合、上記の「第１の置換処理」によって生成された波形データＤ４１では、波形データＤ０において連続するＫ＝５１サンプリング内の変化量が小さい測定値Ｄｓ（すなわち、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化量が小さい測定値Ｄｓ）が、「処理Ａ」によって生成された波形データＤ２３の測定値（すなわち、「フィルタリング処理」によって値を大きく変化させられていない測定値）に置き換えられている。したがって、波形データＤ４１に基づく上記のような判定を行うことにより、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化量が小さい部位において放電が発生していた場合には、その放電に対応する測定値が過剰に小さな値に変換されるのが回避される結果、「放電波形成分」を好適に検出することができる。   In this case, in the waveform data D41 generated by the above “first replacement process”, the measured value Ds having a small change amount in the continuous K = 51 sampling in the waveform data D0 (that is, originally due to the application of the impulse voltage). The measured value Ds) having a small change amount of the measured value is replaced with the measured value of the waveform data D23 generated by “Processing A” (that is, the measured value whose value is not largely changed by the “filtering process”). It has been. Therefore, by performing the above-described determination based on the waveform data D41, if a discharge occurs in a portion where the original measurement value change amount due to the application of the impulse voltage is small, it corresponds to the discharge. As a result of avoiding the measurement value being converted to an excessively small value, the “discharge waveform component” can be suitably detected.

なお、図示を省略するが、「第２の置換処理」によって生成された波形データでは、波形データＤ０において連続するＫ＝５１サンプリング内の変化量が小さい測定値Ｄｓ（インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化量が小さい測定値Ｄｓ）ほど、「処理Ａ」によって生成された波形データＤ２３の測定値（「フィルタリング処理」によって値を大きく変化させられていない測定値）に近い測定値に置き換えられている。したがって、「第２の置換処理」によって生成された波形データに基づく判定を行ったときにも、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化量が小さい部位において放電が発生していた場合には、その放電に対応する測定値が過剰に小さな値に変換されるのが回避される結果、「放電波形成分」を好適に検出することができる。   Although not shown, in the waveform data generated by the “second replacement process”, the measured value Ds (the original value associated with the application of the impulse voltage is small in the waveform data D0 within the continuous K = 51 sampling. The measured value Ds) having a smaller change amount of the measured value is closer to the measured value of the waveform data D23 generated by “Processing A” (the measured value whose value is not largely changed by “Filtering processing”). Has been replaced. Therefore, even when the determination based on the waveform data generated by the “second replacement process” is performed, a discharge has occurred in a portion where the change amount of the original measurement value due to the application of the impulse voltage is small As a result of avoiding the measurement value corresponding to the discharge being converted to an excessively small value, the “discharge waveform component” can be suitably detected.

また、上記の「第１の置換処理」によって生成された波形データＤ４１では、波形データＤ０において連続するＫ＝５１サンプリング内の変化量が大きい測定値Ｄｓ（すなわち、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化量が大きい測定値Ｄｓ）が、「処理Ｂ」によって生成された波形データＤ３３の測定値（すなわち、「フィルタリング処理」によって値を大きく変化させられた測定値）に置き換えられている。したがって、波形データＤ４１に基づく上記のような判定を行うことにより、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化量が大きい部位において放電が発生していた場合には、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化の影響が十分に軽減されるため、「放電波形成分」を好適に検出することができる。   Further, in the waveform data D41 generated by the above “first replacement process”, the measured value Ds having a large change amount in continuous K = 51 sampling in the waveform data D0 (that is, inherent with application of the impulse voltage). The measured value Ds) having a large change amount of the measured value is replaced with the measured value of the waveform data D33 generated by the “processing B” (that is, the measured value whose value has been greatly changed by the “filtering process”). Yes. Therefore, by performing the above-described determination based on the waveform data D41, when a discharge has occurred in a portion where the amount of change in the original measurement value accompanying application of the impulse voltage is large, the impulse voltage is applied. Since the influence of the inherent change in the measured value is sufficiently reduced, the “discharge waveform component” can be suitably detected.

なお、図示を省略するが、「第２の置換処理」によって生成された波形データでは、波形データＤ０において連続するＫ＝５１サンプリング内の変化量が大きい測定値Ｄｓ（インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化量が大きい測定値Ｄｓ）ほど、「処理Ｂ」によって生成された波形データＤ３３の測定値（「フィルタリング処理」によって値を大きく変化させられた測定値）に近い測定値に置き換えられている。したがって、「第２の置換処理」によって生成された波形データに基づく判定を行ったときにも、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化量が大きい部位において放電が発生していた場合には、インパルス電圧の印加に伴う本来的な測定値の変化の影響が十分に軽減されるため、「放電波形成分」を好適に検出することができる。   Although not shown, in the waveform data generated by the “second replacement process”, the measured value Ds (original value associated with the application of the impulse voltage) having a large change amount in continuous K = 51 sampling in the waveform data D0. The measured value Ds) having a larger change amount of the measured value is closer to the measured value of the waveform data D33 generated by “Processing B” (the measured value whose value has been greatly changed by “Filtering processing”). Has been replaced. Therefore, even when the determination based on the waveform data generated by the “second replacement process” is performed, a discharge has occurred in a portion where the original measurement value change amount due to the application of the impulse voltage is large. In this case, since the influence of the change in the original measured value accompanying the application of the impulse voltage is sufficiently reduced, the “discharge waveform component” can be suitably detected.

続いて、上記のような生成手順によって生成した「判定用の波形データ」を使用した「判定処理」の効果の一例について、添付図面を参照して説明する。   Next, an example of the effect of “determination processing” using “determination waveform data” generated by the above-described generation procedure will be described with reference to the accompanying drawings.

例えば、測定処理時に放電が発生せず、かつ部分的な歪みが生じていない波形データＤ０（以下、「波形データＤ０ｉ」という）の波形Ｗ０ｉは、一例として、図２２のようになる。   For example, the waveform W0i of the waveform data D0 (hereinafter referred to as “waveform data D0i”) in which no discharge occurs during the measurement process and no partial distortion occurs is as shown in FIG.

この波形データＤ０ｉを対象とする「変化量特定処理」において各測定値Ｄｓの２階微分値を絶対値化した波形データＤ１０ｉの波形Ｗ１０ｉは、図２３のようになる。また、波形データＤ１０ｉの各測定値を対象とする重み付け移動平均処理を行った波形データＤ１１ｉの波形Ｗ１１ｉは、図２４のようになる。さらに、波形データＤ１１ｉの各測定値を正規化した波形データＤ１２ｉの波形Ｗ１２ｉは、図２５のようになる。   A waveform W10i of the waveform data D10i obtained by converting the second-order differential value of each measurement value Ds into an absolute value in the “change amount specifying process” for the waveform data D0i is as shown in FIG. Further, a waveform W11i of the waveform data D11i obtained by performing the weighted moving average process for each measurement value of the waveform data D10i is as shown in FIG. Further, a waveform W12i of the waveform data D12i obtained by normalizing each measured value of the waveform data D11i is as shown in FIG.

また、波形データＤ０ｉを対象とする「処理Ａ」において「［第３の絶対値］の低下量」が少量のＭ＝４種類の「フィルタ」を使用したＮｂ＝４回の「フィルタリング処理」と、Ｎａ＝４回の「微分処理」とを実行して生成した波形データＤ２１ｉの波形Ｗ２１ｉは、図２６のようになる。また、波形データＤ２１ｉの各測定値を絶対値化した波形データＤ２２ｉの波形Ｗ２２ｉは、図２７に示すようになる。さらに、波形データＤ２２ｉの各測定値を標準ノイズ値で除して生成した波形データＤ２３ｉの波形Ｗ２３ｉは、図２８のようになる。   Further, in the “processing A” for the waveform data D0i, “a decrease amount of [third absolute value]” is a small amount of M = 4 types of “filters” and Nb = 4 “filtering processing”. The waveform W21i of the waveform data D21i generated by executing “differentiation processing” Na = 4 times is as shown in FIG. Further, a waveform W22i of the waveform data D22i obtained by converting each measured value of the waveform data D21i into an absolute value is as shown in FIG. Furthermore, the waveform W23i of the waveform data D23i generated by dividing each measurement value of the waveform data D22i by the standard noise value is as shown in FIG.

さらに、波形データＤ０ｉを対象とする「処理Ｂ」において「［第３の絶対値］の低下量」が「処理Ａ」時の「フィルタ」よりも多いＭ＝４種類の「フィルタ」を使用したＮｂ＝４回の「フィルタリング処理」と、Ｎａ＝４回の「微分処理」とを実行して生成した波形データＤ３１ｉの波形Ｗ３１ｉは、図２９のようになる。また、波形データＤ３１ｉの各測定値を絶対値化した波形データＤ３２ｉの波形Ｗ３２ｉは、図３０に示すようになる。さらに、波形データＤ２３ｉの各測定値を標準ノイズ値で除して生成した波形データＤ３３ｉの波形Ｗ３３ｉは、図３１のようになる。   Further, in “Processing B” for the waveform data D0i, M = 4 types of “filters” in which “amount of decrease in [third absolute value]” is larger than the “filter” in “Processing A” were used. A waveform W31i of the waveform data D31i generated by executing “filtering processing” of Nb = 4 times and “differentiation processing” of Na = 4 times is as shown in FIG. Further, a waveform W32i of the waveform data D32i obtained by converting each measured value of the waveform data D31i into an absolute value is as shown in FIG. Further, a waveform W33i of the waveform data D33i generated by dividing each measurement value of the waveform data D23i by the standard noise value is as shown in FIG.

また、上記の波形データＤ１２ｉの各測定値に基づく「第１の置換処理」によって波形データＤ０ｉの各測定値Ｄｓを波形データＤ２３ｉの測定値および波形データＤ３３ｉの測定値のいずれかに置換した波形データＤ４１ｉの波形Ｗ４１ｉは、図３２のようになる。なお、同図における実線Ｌｉは、波形データＤ４１ｉの各測定値に基づいて規定した「判定用閾値（基準値）」を示している。   Further, the waveform obtained by replacing each measured value Ds of the waveform data D0i with either the measured value of the waveform data D23i or the measured value of the waveform data D33i by the “first replacement process” based on the measured values of the waveform data D12i. A waveform W41i of the data D41i is as shown in FIG. Note that a solid line Li in the figure indicates a “determination threshold (reference value)” defined based on each measured value of the waveform data D41i.

この場合、上記の例では、「処理Ａ」によって生成した波形データＤ２３ｉの波形Ｗ２３ｉ、および「処理Ｂ」によって生成した波形データＤ３３ｉの波形Ｗ３３ｉのいずれにおいても、「放電波形成分」に対応する測定値であると判定される大きな測定値が存在していない。このため、この波形データＤ２３ｉの測定値、および波形データＤ３３ｉの測定値のいずれかに置換されて生成された波形データＤ４１ｉの波形Ｗ４１ｉにおいても、「放電波形成分」に対応する測定値であると判定される大きな測定値が存在しない状態となっている。   In this case, in the above example, the measurement corresponding to the “discharge waveform component” in both the waveform W23i of the waveform data D23i generated by “Processing A” and the waveform W33i of the waveform data D33i generated by “Processing B”. There is no large measured value that is determined to be a value. For this reason, also in the waveform W41i of the waveform data D41i generated by replacing either the measured value of the waveform data D23i or the measured value of the waveform data D33i, the measured value corresponds to the “discharge waveform component”. There is no large measured value to be judged.

したがって、測定処理時におけるインパルス電圧の印加に伴う測定値Ｄｓの単位時間あたりの変化量が小さく、かつ放電が発生しなかったときに測定装置２によって生成される波形データＤ０を対象とする「判定処理」において、「変化量特定処理」、「処理Ａ」、「処理Ｂ」および「第１の置換処理」を実行して生成した波形データＤ４１ｉ（「判定用の波形データ」）に基づいて、波形データＤ０ｉの波形Ｗ０ｉに「放電波形成分」が含まれているか否かを判定することにより、「放電波形成分」が含まれていないと正しく判定することができるのが理解できる。なお、図示および詳細な説明を省略するが、「第１の置換処理」に代えて「第２の置換処理」を行った場合にも、「第１の置換処理」を行った上記の例と同様の効果が奏される。   Therefore, the “determination” for the waveform data D0 generated by the measurement device 2 when the change amount per unit time of the measurement value Ds accompanying the application of the impulse voltage during the measurement process is small and no discharge occurs. In “Process”, based on the waveform data D41i (“determination waveform data”) generated by executing “change amount specifying process”, “process A”, “process B”, and “first replacement process”, It can be understood that it can be correctly determined that the “discharge waveform component” is not included by determining whether or not the “discharge waveform component” is included in the waveform W0i of the waveform data D0i. Although illustration and detailed description are omitted, the case where the “first replacement process” is performed also when the “second replacement process” is performed instead of the “first replacement process” Similar effects are produced.

一方、例えば、測定処理時に放電が発生し、かつ部分的な歪みが生じていない波形データＤ０（以下、「波形データＤ０ｊ」という）の波形Ｗ０ｊは、一例として、図３３のようになる。この場合、同図に示す波形Ｗ０ｊの例では、矢印ＡＡ０ｊで示す部位（図３４の左図参照）、および矢印ＡＢ０ｊで示す部位（図３４の右図参照）において「放電」が発生している。   On the other hand, for example, the waveform W0j of the waveform data D0 (hereinafter referred to as “waveform data D0j”) in which discharge occurs during the measurement process and no partial distortion occurs is as shown in FIG. In this case, in the example of the waveform W0j shown in the same figure, “discharge” is generated at the part indicated by the arrow AA0j (see the left figure in FIG. 34) and the part indicated by the arrow AB0j (see the right figure in FIG. 34). .

この波形データＤ０ｊを対象とする「変化量特定処理」において各測定値Ｄｓの２階微分値を絶対値化した波形データＤ１０ｊの波形Ｗ１０ｊは、図３５のようになる。また、波形データＤ１０ｊの各測定値を対象とする重み付け移動平均処理を行った波形データＤ１１ｊの波形Ｗ１１ｊは、図３６のようになる。さらに、波形データＤ１１ｊの各測定値を正規化した波形データＤ１２ｊの波形Ｗ１２ｊは、図３７のようになる。   A waveform W10j of the waveform data D10j obtained by converting the second-order differential value of each measurement value Ds into an absolute value in the “change amount specifying process” for the waveform data D0j is as shown in FIG. Further, a waveform W11j of the waveform data D11j that has been subjected to the weighted moving average process for each measurement value of the waveform data D10j is as shown in FIG. Furthermore, the waveform W12j of the waveform data D12j obtained by normalizing the measured values of the waveform data D11j is as shown in FIG.

また、波形データＤ０ｊを対象とする「処理Ａ」において「［第３の絶対値］の低下量」が少量のＭ＝４種類の「フィルタ」を使用したＮｂ＝４回の「フィルタリング処理」と、Ｎａ＝４回の「微分処理」とを実行して生成した波形データＤ２１ｊの波形Ｗ２１ｊは、図３８のようになる。また、波形データＤ２１ｊの各測定値を絶対値化した波形データＤ２２ｊの波形Ｗ２２ｊは、図３９に示すようになる。さらに、波形データＤ２２ｊの各測定値を標準ノイズ値で除して生成した波形データＤ２３ｊの波形Ｗ２３ｊは、図４０のようになる。   In addition, in the “processing A” for the waveform data D0j, “the amount of decrease in [third absolute value]” is Nb = 4 “filtering processing” using M = 4 types of “filters” with a small amount. The waveform W21j of the waveform data D21j generated by executing “differential processing” four times Na = is as shown in FIG. Further, a waveform W22j of the waveform data D22j obtained by converting each measured value of the waveform data D21j into an absolute value is as shown in FIG. Furthermore, the waveform W23j of the waveform data D23j generated by dividing each measurement value of the waveform data D22j by the standard noise value is as shown in FIG.

さらに、波形データＤ０ｊを対象とする「処理Ｂ」において「［第３の絶対値］の低下量」が「処理Ａ」時の「フィルタ」よりも多いＭ＝４種類の「フィルタ」を使用したＮｂ＝４回の「フィルタリング処理」と、Ｎａ＝４回の「微分処理」とを実行して生成した波形データＤ３１ｊの波形Ｗ３１ｊは、図４１のようになる。また、波形データＤ３１ｊの各測定値を絶対値化した波形データＤ３２ｊの波形Ｗ３２ｊは、図４２に示すようになる。さらに、波形データＤ２３ｊの各測定値を標準ノイズ値で除して生成した波形データＤ３３ｊの波形Ｗ３３ｊは、図４３のようになる。   Further, in “Processing B” for the waveform data D0j, M = 4 types of “filters” in which “amount of decrease in [third absolute value]” is larger than the “filter” in “Processing A” are used. A waveform W31j of the waveform data D31j generated by executing “filtering processing” of Nb = 4 times and “differentiation processing” of Na = 4 times is as shown in FIG. Further, a waveform W32j of the waveform data D32j obtained by converting each measured value of the waveform data D31j into an absolute value is as shown in FIG. Further, a waveform W33j of the waveform data D33j generated by dividing each measurement value of the waveform data D23j by the standard noise value is as shown in FIG.

また、上記の波形データＤ１２ｊの各測定値に基づく「第１の置換処理」によって波形データＤ０ｊの各測定値Ｄｓを波形データＤ２３ｊの測定値および波形データＤ３３ｊの測定値のいずれかに置換した波形データＤ４１ｊの波形Ｗ４１ｊは、図４４のようになる。なお、同図における実線Ｌｊは、波形データＤ４１ｊの各測定値に基づいて規定した「判定用閾値（基準値）」を示している。   Further, the waveform obtained by replacing each measured value Ds of the waveform data D0j with either the measured value of the waveform data D23j or the measured value of the waveform data D33j by the “first replacement process” based on the measured values of the waveform data D12j. A waveform W41j of the data D41j is as shown in FIG. Note that a solid line Lj in the figure indicates a “determination threshold (reference value)” defined based on each measured value of the waveform data D41j.

この場合、上記の例では、「処理Ａ」によって生成した波形データＤ２３ｊの波形Ｗ２３ｊにおいて、波形Ｗ０ｊにおける矢印ＡＡ０ｊで示す部位に対応する矢印ＡＡ２３ｊで示す部位と、波形Ｗ０ｊにおける矢印ＡＢ０ｊで示す部位に対応する矢印ＡＢ２３ｊで示す部位との２箇所に「判定用閾値（基準値）」よりも大きな値の測定値が存在している。これに対して、「処理Ｂ」によって生成した波形データＤ３３ｊの波形Ｗ３３ｊにおいては、波形Ｗ０ｊにおける矢印ＡＡ０ｊで示す部位に対応する矢印ＡＡ３３ｊで示す部位に「判定用閾値（基準値）」よりも大きな値の測定値が存在するものの、波形Ｗ０ｊにおける矢印ＡＢ０ｊで示す部位に対応する矢印ＡＢ３３ｊで示す部位の測定値は、「判定用閾値（基準値）」よりも小さな値となっている。   In this case, in the above example, in the waveform W23j of the waveform data D23j generated by “Processing A”, the waveform A023j corresponds to the site indicated by the arrow AA0j in the waveform W0j and the site indicated by the arrow AB0j in the waveform W0j. There are two measurement values that are larger than the “determination threshold (reference value)” at two locations indicated by the corresponding arrow AB23j. On the other hand, in the waveform W33j of the waveform data D33j generated by the “processing B”, the part indicated by the arrow AA33j corresponding to the part indicated by the arrow AA0j in the waveform W0j is larger than the “determination threshold (reference value)”. Although there are measured values, the measured value of the part indicated by the arrow AB33j corresponding to the part indicated by the arrow AB0j in the waveform W0j is smaller than the “determination threshold (reference value)”.

このため、この例では、「処理Ｂ」におけるＮｂ回の「フィルタリング処理」を行っただけでは、「放電波形成分」の存在を特定できない箇所が存在してしまう。しかしながら、波形データＤ０ｊの波形Ｗ０ｊにおける矢印ＡＢ０ｊで示す部位において放電が発生したか否かを正しく特定するために、波形データＤ２３ｊを「判定用の波形データ」とする判定処理を行うのが好ましいのか、波形データＤ３３ｊを「判定用の波形データ」とする判定処理を行うのが好ましいのか判らない。したがって、「処理Ａ」時の「フィルタリング処理」と同様の「フィルタリング処理」を実行して生成した「判定用の波形データ」だけたけを使用した「判定処理」では、「放電波形成分」の有無の正確な判定が困難となることがある。   For this reason, in this example, there are places where the existence of the “discharge waveform component” cannot be specified only by performing the “filtering process” Nb times in the “process B”. However, in order to correctly specify whether or not a discharge has occurred at the portion indicated by the arrow AB0j in the waveform W0j of the waveform data D0j, is it preferable to perform a determination process in which the waveform data D23j is “determination waveform data”? Therefore, it is not known whether or not it is preferable to perform the determination process in which the waveform data D33j is “determination waveform data”. Therefore, in the “determination process” using only “determination waveform data” generated by executing the “filtering process” similar to the “filtering process” in the “process A”, the presence or absence of “discharge waveform component” It may be difficult to accurately determine.

一方、上記の例において、波形データＤ１２ｊに基づいて波形データＤ２３ｊの測定値および波形データＤ３３ｊの測定値のいずれかに置き換えた波形データＤ４１ｊの波形Ｗ４１ｊでは、波形Ｗ０ｊにおける矢印ＡＡ０ｊで示す部位に対応する矢印ＡＡ４１ｊで示す部位と、波形Ｗ０ｊにおける矢印ＡＢ０ｊで示す部位に対応する矢印ＡＢ４１ｊで示す部位との２箇所に「判定用閾値（基準値）」よりも大きな値の測定値が存在している。このため、本例の手順に従って「判定用の波形データ」を生成することにより、「放電波形成分」の有無を一層正確に判定することができるのが理解できる。   On the other hand, in the above example, the waveform W41j of the waveform data D41j replaced with either the measured value of the waveform data D23j or the measured value of the waveform data D33j based on the waveform data D12j corresponds to the portion indicated by the arrow AA0j in the waveform W0j. Measurement values greater than the “threshold value for determination (reference value)” exist at two locations, the portion indicated by arrow AA41j and the portion indicated by arrow AB41j corresponding to the portion indicated by arrow AB0j in waveform W0j. . Therefore, it can be understood that the presence or absence of the “discharge waveform component” can be determined more accurately by generating “determination waveform data” according to the procedure of this example.

また、例えば、測定処理時に放電が発生せず、かつ部分的な歪みが生じている波形データＤ０（以下、「波形データＤ０ｋ」という）の波形Ｗ０ｋは、一例として、図４５のようになる。この場合、同図に示す波形Ｗ０ｋの例では、矢印ＡＡ０ｋで示す部位（図４６参照）において波形に歪みが生じている。   Further, for example, a waveform W0k of waveform data D0 (hereinafter referred to as “waveform data D0k”) in which no discharge is generated during the measurement process and partial distortion occurs is as shown in FIG. 45 as an example. In this case, in the example of the waveform W0k shown in the figure, the waveform is distorted at the portion indicated by the arrow AA0k (see FIG. 46).

この波形データＤ０ｋを対象とする「変化量特定処理」において各測定値Ｄｓの２階微分値を絶対値化した波形データＤ１０ｋの波形Ｗ１０ｋは、図４７のようになる。また、波形データＤ１０ｋの各測定値を対象とする重み付け移動平均処理を行った波形データＤ１１ｋの波形Ｗ１１ｋは、図４８のようになる。さらに、波形データＤ１１ｋの各測定値を正規化した波形データＤ１２ｋの波形Ｗ１２ｋは、図４９のようになる。   A waveform W10k of the waveform data D10k obtained by converting the second-order differential value of each measurement value Ds into an absolute value in the “change amount specifying process” for the waveform data D0k is as shown in FIG. Further, the waveform W11k of the waveform data D11k that has been subjected to the weighted moving average process for each measurement value of the waveform data D10k is as shown in FIG. Further, a waveform W12k of the waveform data D12k obtained by normalizing each measurement value of the waveform data D11k is as shown in FIG.

また、波形データＤ０ｋを対象とする「処理Ａ」において「［第３の絶対値］の低下量」が少量のＭ＝４種類の「フィルタ」を使用したＮｂ＝４回の「フィルタリング処理」と、Ｎａ＝４回の「微分処理」とを実行して生成した波形データＤ２１ｋの波形Ｗ２１ｋは、図５０のようになる。また、波形データＤ２１ｋの各測定値を絶対値化した波形データＤ２２ｋの波形Ｗ２２ｋは、図５１に示すようになる。さらに、波形データＤ２２ｋの各測定値を標準ノイズ値で除して生成した波形データＤ２３ｋの波形Ｗ２３ｋは、図５２のようになる。   Further, in “processing A” for the waveform data D0k, “amount of decrease in [third absolute value]” is a small amount of “filtering processing” with Nb = 4 times using M = 4 types of “filters”. , Na = 4 waveform W21k of the waveform data D21k generated by executing “differentiation processing” four times is as shown in FIG. Further, a waveform W22k of the waveform data D22k obtained by converting each measured value of the waveform data D21k into an absolute value is as shown in FIG. Further, a waveform W23k of the waveform data D23k generated by dividing each measurement value of the waveform data D22k by the standard noise value is as shown in FIG.

さらに、波形データＤ０ｋを対象とする「処理Ｂ」において「［第３の絶対値］の低下量」が「処理Ａ」時の「フィルタ」よりも多いＭ＝４種類の「フィルタ」を使用したＮｂ＝４回の「フィルタリング処理」と、Ｎａ＝４回の「微分処理」とを実行して生成した波形データＤ３１ｋの波形Ｗ３１ｋは、図５３のようになる。また、波形データＤ３１ｋの各測定値を絶対値化した波形データＤ３２ｋの波形Ｗ３２ｋは、図５４に示すようになる。さらに、波形データＤ２３ｋの各測定値を標準ノイズ値で除して生成した波形データＤ３３ｋの波形Ｗ３３ｋは、図５５のようになる。   Further, in “Processing B” for the waveform data D0k, M = 4 types of “filters” in which “the decrease amount of [third absolute value]” is larger than the “filter” in “Processing A” were used. The waveform W31k of the waveform data D31k generated by executing “filtering process” of Nb = 4 times and “differentiation process” of Na = 4 times is as shown in FIG. Further, a waveform W32k of the waveform data D32k obtained by converting each measured value of the waveform data D31k into an absolute value is as shown in FIG. Further, a waveform W33k of the waveform data D33k generated by dividing each measurement value of the waveform data D23k by the standard noise value is as shown in FIG.

また、上記の波形データＤ１２ｋの各測定値に基づく「第１の置換処理」によって波形データＤ０ｋの各測定値Ｄｓを波形データＤ２３ｋの測定値および波形データＤ３３ｋの測定値のいずれかに置換した波形データＤ４１ｋの波形Ｗ４１ｋは、図５６のようになる。なお、同図における実線Ｌｋは、波形データＤ４１ｋの各測定値に基づいて規定した「判定用閾値（基準値）」を示している。   Further, the waveform obtained by replacing each measured value Ds of the waveform data D0k with either the measured value of the waveform data D23k or the measured value of the waveform data D33k by the “first replacement process” based on the measured values of the waveform data D12k. A waveform W41k of the data D41k is as shown in FIG. Note that a solid line Lk in the figure indicates a “determination threshold (reference value)” defined based on each measurement value of the waveform data D41k.

この場合、上記の例では、「処理Ｂ」によって生成した波形データＤ３３ｋの波形Ｗ３３ｋにおいては、波形Ｗ０ｋにおける矢印ＡＡ０ｋで示す部位に対応する矢印ＡＡ３３ｋで示す部位に「判定用閾値（基準値）」よりも大きな値の測定値が存在しないものの、「処理Ａ」によって生成した波形データＤ２３ｋの波形Ｗ２３ｋにおいては、波形Ｗ０ｋにおける矢印ＡＡ０ｋで示す部位に対応する矢印ＡＡ２３ｋで示す部位に「判定用閾値（基準値）」よりも大きな値の測定値が存在した状態となっている。このため、この例では、「処理Ａ」におけるＮｂ回の「フィルタリング処理」を行っただけでは、波形の歪みを「放電波形成分」であると誤判定するおそれがある。   In this case, in the waveform W33k of the waveform data D33k generated by “Processing B” in the above example, “determination threshold value (reference value)” is indicated in the part indicated by the arrow AA33k corresponding to the part indicated by the arrow AA0k in the waveform W0k. In the waveform W23k of the waveform data D23k generated by “Processing A”, there is no measurement value larger than the measured value. However, in the waveform W0k, the part indicated by the arrow AA23k corresponding to the part indicated by the arrow AA0k A measurement value larger than the “reference value)” exists. For this reason, in this example, simply performing Nb “filtering processing” in “Processing A” may erroneously determine that the waveform distortion is a “discharge waveform component”.

しかしながら、波形データＤ０ｋの波形Ｗ０ｋにおける矢印ＡＡ０ｋで示す部位において波形が歪んでいることを認識していない場合には、波形データＤ２３ｋを「判定用の波形データ」とする判定処理を行うのが好ましいのか、波形データＤ３３ｋを「判定用の波形データ」とする判定処理を行うのが好ましいのか判らない。したがって、「処理Ｂ」時の「フィルタリング処理」と同様の「フィルタリング処理」を実行して生成した「判定用の波形データ」だけを使用した「判定処理」では、「放電波形成分」の有無の正確な判定が困難となることがある。   However, when it is not recognized that the waveform is distorted in the portion indicated by the arrow AA0k in the waveform W0k of the waveform data D0k, it is preferable to perform a determination process in which the waveform data D23k is “determined waveform data”. However, it is not known whether or not it is preferable to perform the determination process in which the waveform data D33k is “determined waveform data”. Therefore, in the “determination process” using only “determination waveform data” generated by executing the “filtering process” similar to the “filtering process” in the “process B”, the presence or absence of the “discharge waveform component” is determined. Accurate determination may be difficult.

一方、上記の例において、波形データＤ１２ｋに基づいて波形データＤ２３ｋの測定値および波形データＤ３３ｋの測定値のいずれかに置き換えた波形データＤ４１ｋの波形Ｗ４１ｋでは、波形Ｗ０ｋにおける矢印ＡＡ０ｋで示す部位に対応する矢印ＡＡ４１ｋで示す部位の測定値が「判定用閾値（基準値）」よりも小さな値となっている。このため、本例の手順に従って「判定用の波形データ」を生成することにより、「放電波形成分」の有無を正確に判定することができるのが理解できる。なお、図示および詳細な説明を省略するが、「第１の置換処理」に代えて「第２の置換処理」を行った場合にも、「第１の置換処理」を行った上記の例と同様の効果が奏される。   On the other hand, in the above example, the waveform W41k of the waveform data D41k replaced with either the measured value of the waveform data D23k or the measured value of the waveform data D33k based on the waveform data D12k corresponds to the portion indicated by the arrow AA0k in the waveform W0k. The measured value of the part indicated by the arrow AA41k is smaller than the “determination threshold (reference value)”. Therefore, it can be understood that the presence / absence of “discharge waveform component” can be accurately determined by generating “determination waveform data” according to the procedure of this example. Although illustration and detailed description are omitted, the case where the “first replacement process” is performed also when the “second replacement process” is performed instead of the “first replacement process” Similar effects are produced.

このように、上記のデータ処理装置３では、処理部２３が、「判定処理」において、波形データＤ０の各測定値Ｄｓにおける連続するＫサンプリング内の変化量をそれぞれ特定する「変化量特定処理」と、Ｎｂ回（一例として、Ｎｂ＝５回）の「第２の変換処理（フィルタリング処理）」において「［第３の絶対値］の低下量」が少量のＭ種類（一例として、Ｍ＝５種類）の「フィルタ」を使用して各「値変換処理」を実行する「処理Ａ」と、Ｎｂ回（一例として、Ｎｂ＝５回）の「第２の変換処理（フィルタリング処理）」において「［第３の絶対値］の低下量」が「処理Ａ」時に使用する各「フィルタ」よりも多いＭ種類（一例として、Ｍ＝５種類）の「フィルタ」を使用して各「値変換処理」を実行する「処理Ｂ」と、「変化量特定処理」によって特定した「変化量」が予め規定された量を下回る測定値を「処理Ａ」によって変換された測定値に置き換えると共に、「変化量特定処理」によって特定した「変化量」が予め規定された量以上の測定値を「処理Ｂ」によって変換された測定値に置き換える「第１の置換処理」とを実行し、「第１の置換処理」によって置き換えた各測定値に基づいて「放電波形成分」が含まれているか否かを判定する。また、上記のデータ処理用プログラムＤｐでは、上記の各処理をデータ処理装置３の処理部２３に実行させる。   As described above, in the data processing device 3 described above, the processing unit 23 determines, in the “determination process”, the amount of change in the continuous K sampling in each measurement value Ds of the waveform data D0. In the “second conversion process (filtering process)” Nb times (for example, Nb = 5 times), the “[third absolute value] decrease amount” is a small amount of M types (for example, M = 5 “Process A” that executes each “value conversion process” using “type” “filter” and “second conversion process (filtering process)” Nb times (for example, Nb = 5 times) Each “value conversion process” is performed by using M types of “filters” having “decrease amount of [third absolute value]” larger than each “filter” used in “processing A” (for example, M = 5 types). "Process B" and "Change amount identification process" The measured value whose “change amount” specified by “is less than a predetermined amount is replaced with the measured value converted by“ processing A ”, and the“ change amount ”specified by“ change amount specifying process ”is specified in advance. A “first replacement process” is performed in which a measured value greater than or equal to the measured value is replaced with the measured value converted by “Process B”, and the “discharge waveform” is based on each measured value replaced by the “first replacement process”. It is determined whether or not “component” is included. The data processing program Dp causes the processing unit 23 of the data processing device 3 to execute each of the above processes.

また、上記のデータ処理装置３では、処理部２３が、「判定処理」において、波形データＤ０の各測定値Ｄｓにおける連続するＫサンプリング内の変化量をそれぞれ特定する「変化量特定処理」と、Ｎｂ回（一例として、Ｎｂ＝５回）の「第２の変換処理（フィルタリング処理）」において「［第３の絶対値］の低下量」が少量のＭ種類（一例として、Ｍ＝５種類）の「フィルタ」を使用して各「値変換処理」を実行する「処理Ａ」と、Ｎｂ回（一例として、Ｎｂ＝５回）の「第２の変換処理（フィルタリング処理）」において「［第３の絶対値］の低下量」が「処理Ａ」時に使用する各「フィルタ」よりも多いＭ種類（一例として、Ｍ＝５種類）の「フィルタ」を使用して各「値変換処理」を実行する「処理Ｂ」と、「変化量特定処理」によって特定した「変化量」が最も小さい測定値Ｄｓが「処理Ａ」によって変換された測定値に置き換わり、かつ「変化量」が最も大きい測定値Ｄｓが「処理Ｂ」によって変換された測定値に置き換わるように、各測定値Ｄｓを「変化量」の大きさに応じて「処理Ａ」によって変換された測定値から「処理Ｂ」によって変換された測定値までの範囲内の値に置き換える「第２の置換処理」とを実行し、「第２の置換処理」によって置き換えた各測定値に基づいて「放電波形成分」が含まれているか否かを判定する。また、上記のデータ処理用プログラムＤｐでは、上記の各処理をデータ処理装置３の処理部２３に実行させる。   Further, in the data processing device 3 described above, the processing unit 23 in the “determination process”, “change amount specifying process” for specifying each change amount in continuous K sampling in each measurement value Ds of the waveform data D0; In the “second conversion process (filtering process)” Nb times (for example, Nb = 5 times), the “decrease amount of [third absolute value]” is a small amount of M types (for example, M = 5 types). “Process A” that executes each “value conversion process” using the “filter” and “second conversion process (filtering process)” Nb times (for example, Nb = 5 times) The “amount of decrease in the absolute value of 3” is larger than each “filter” used in “Process A” (for example, M = 5 types) “filters”, and each “value conversion process” is performed. “Process B” to be executed and “Change amount specifying process” The measured value Ds having the smallest “change amount” is replaced with the measured value converted by “Processing A”, and the measured value Ds having the largest “change amount” is converted by “Processing B”. Each measurement value Ds is replaced with a value within the range from the measurement value converted by “Processing A” to the measurement value converted by “Processing B” according to the magnitude of “change amount”. The second replacement process is executed, and it is determined whether or not the “discharge waveform component” is included based on each measurement value replaced by the “second replacement process”. The data processing program Dp causes the processing unit 23 of the data processing device 3 to execute each of the above processes.

したがって、このデータ処理装置３およびデータ処理用プログラムＤｐによれば、波形データＤ０の各測定値Ｄｓの変化量が小さい部位については、過剰に小さな値に値変換されないため、放電に対応する測定値が過剰に小さな値となる事態が好適に回避され、波形データＤ０の各測定値Ｄｓの変化量が大きい部位については、十分に値変換された測定値に置換されて各測定値Ｄｓの変化の影響が十分に軽減されるため、「第１の置換処理」または「第２の置換処理」後の測定値に基づく判定を行うことで、波形データＤ０の波形Ｗ０に「放電波形成分」が含まれているか否かを一層正確に判定することができる。   Therefore, according to the data processing device 3 and the data processing program Dp, a portion where the amount of change in each measured value Ds of the waveform data D0 is small is not converted into an excessively small value, and therefore the measured value corresponding to the discharge. Is suitably avoided, and a portion where the amount of change in each measured value Ds of the waveform data D0 is large is replaced with a sufficiently converted value, and the change in each measured value Ds is changed. Since the influence is sufficiently reduced, the “discharge waveform component” is included in the waveform W0 of the waveform data D0 by performing the determination based on the measurement value after the “first replacement process” or the “second replacement process”. It is possible to more accurately determine whether or not

なお、「データ処理装置」および「測定システム」の構成や、「データ処理用プログラム」による処理の手順は、上記のデータ処理装置３の構成、およびデータ処理装置３を備えて構成された測定システム１の構成の例や、データ処理用プログラムＤｐの記述の内容の例に限定されない。例えば、複数回の「値変換処理」における「第１の変換処理（微分処理）」の実行回数（「Ｎａ」の値）は、上記の各例における例示の回数に限定されず、１回、または３回以上の任意の複数回とすることができる。また、複数回の「値変換処理」における「第２の変換処理（フィルタリング処理）」の実行回数（「Ｎｂ」の値）は、上記の各例における例示の回数に限定されず、２回以上の任意の複数回とすることができる。この場合、「第１の変換処理」の実行回数と「第２の変換処理」の実行回数とを異ならせる（「Ｎａ」の値と「Ｎｂ」の値とを相違させる）こともできる。   The configuration of the “data processing device” and the “measurement system” and the processing procedure by the “data processing program” are the same as the configuration of the data processing device 3 and the measurement system configured to include the data processing device 3. It is not limited to the example of 1 structure or the example of the content of the description of the data processing program Dp. For example, the number of times of execution of the “first conversion process (differentiation process)” (value of “Na”) in a plurality of “value conversion processes” is not limited to the illustrated number of times in each of the above examples. Alternatively, the number of times can be any number of three times or more. In addition, the number of executions of the “second conversion process (filtering process)” (the value of “Nb”) in a plurality of “value conversion processes” is not limited to the illustrated number of times in each of the above examples. Can be any number of times. In this case, the number of executions of the “first conversion process” and the number of executions of the “second conversion process” can be made different (the values of “Na” and “Nb” are made different).

さらに、「第１の変換処理」として「微分処理」を実行する構成および方法を例に挙げて説明したが、「微分処理」に代えて、「微分処理」を行ったときと同様の値変換が行われる「［ハイパスフィルタ］や［バンドパスフィルタ］を使用したフィルタリング処理」を「第１の変換処理」として実行する構成および方法を採用することができる。   Further, the configuration and method for executing “differentiation processing” as “first conversion processing” have been described as an example. However, instead of “differentiation processing”, value conversion similar to that performed when “differentiation processing” is performed. It is possible to adopt a configuration and a method for executing “filtering processing using [high-pass filter]” or [band-pass filter] performed as “first conversion processing”.

また、測定装置２と、測定装置２とは別体のデータ処理装置３とを備えて測定システム１を構成した例について説明したが、「測定装置」および「データ処理装置」を一体化した装置を「測定システム」として構成することもできる。加えて、「測定対象」としての巻線部品についてのデータを処理して検査する例について説明したが、「データ処理装置」によるデータ処理の対象や、「測定システム」による検査の対象はこれに限定されず、コンデンサや抵抗体などの各種の電子部品や、回路基板上の任意の検査ポイント間についての「波形データ」に基づいて判定処理（検査処理）を実行することができる。   Moreover, although the example which comprised the measuring apparatus 2 and the data processing apparatus 3 separate from the measuring apparatus 2 and demonstrated the measurement system 1 was demonstrated, the apparatus which integrated "measurement apparatus" and "data processing apparatus" Can also be configured as a “measurement system”. In addition, the example of processing and inspecting data about winding parts as “measuring objects” has been explained. However, the object of data processing by “data processing device” and the object of inspection by “measuring system” Without being limited thereto, determination processing (inspection processing) can be performed based on various electronic components such as capacitors and resistors, and “waveform data” between arbitrary inspection points on the circuit board.

１ 測定システム
２ 測定装置
３ データ処理装置
１１ 測定信号発生部
１２ Ａ／Ｄ変換部
１３，２３ 処理部
１４，２４ 記憶部
２１ 操作部
２２ 表示部
Ｄ０，Ｄ０・・ 波形データ
Ｄｐ データ処理用プログラム
Ｄｒ 検査結果データ
Ｄｓ 測定値
Ｗ０，Ｗ１・・ 波形
Ｘ 検査対象 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Measurement system 2 Measuring apparatus 3 Data processing apparatus 11 Measurement signal generation part 12 A / D conversion part 13, 23 Processing part 14, 24 Storage part 21 Operation part 22 Display part D0, D0 ... Waveform data Dp Data processing program Dr Inspection result data Ds Measured value W0, W1, Waveform X Inspection target

Claims (9)

予め規定されたサンプリング周期で測定された複数の測定値が記録されている波形データを取得して当該波形データの信号波形におけるノイズ成分のなかに放電波形成分が含まれているか否かを判定する判定処理を実行する処理部を備えたデータ処理装置であって、
前記処理部は、前記判定処理において、前記各測定値を予め規定された変換方法に従って値変換して変換後の値を新たな当該各測定値とする値変換処理を複数回実行して処理後の当該各測定値に基づいて前記放電波形成分が含まれているか否かを判定すると共に、
複数回の前記値変換処理として、
取得した前記波形データの前記信号波形における最大振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第１の絶対値が、当該取得した波形データの当該信号波形における前記ノイズ成分の振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第２の絶対値よりも小さくなるように処理対象の当該各測定値を値変換するＮａ回（Ｎａは、予め規定された自然数）の第１の変換処理と、
前記取得した波形データの前記信号波形における周期的な前記ノイズ成分の振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第３の絶対値が、当該取得した波形データの当該信号波形における非周期的な前記ノイズ成分の振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第４の絶対値よりも小さくなるように処理対象の前記各測定値を値変換するＮｂ回（Ｎｂは、予め規定された２以上の自然数）の第２の変換処理とを予め規定された順序で実行し、
前記Ｎｂ回の第２の変換処理において、前記第３の絶対値の当該第２の変換処理の前後における変化率が異なるＭ種類（Ｍは、２以上Ｎｂ以下の予め規定された自然数）のフィルタを使用して前記処理対象の各測定値を値変換するデータ処理装置。 Obtain waveform data in which a plurality of measurement values measured at a predetermined sampling period are recorded, and determine whether a discharge waveform component is included in the noise component in the signal waveform of the waveform data A data processing apparatus including a processing unit that executes a determination process,
In the determination process, the processing unit performs a value conversion process in which the respective measured values are converted according to a predetermined conversion method, and the converted value is used as a new measured value for a plurality of times. And determining whether or not the discharge waveform component is included based on each of the measured values,
As the value conversion processing multiple times,
The first absolute value that is the absolute value of the measurement value to be converted corresponding to the maximum value among the absolute values of the measurement values of the maximum amplitude portion in the signal waveform of the acquired waveform data is the acquired It becomes smaller than the second absolute value that is the absolute value of the measured value to be converted corresponding to the maximum value of the absolute values of the measured values of the amplitude part of the noise component in the signal waveform of the waveform data. A first conversion process of Na times (Na is a pre-defined natural number) for converting the respective measured values to be processed;
A third absolute value that is the absolute value of the measurement value to be converted corresponding to the maximum value of the absolute values of the respective measurement values of the amplitude part of the periodic noise component in the signal waveform of the acquired waveform data The value is the absolute value of the measured value of the conversion target corresponding to the maximum value of the absolute values of the measured values of the amplitude part of the non-periodic noise component in the signal waveform of the acquired waveform data The Nb times (Nb is a predetermined natural number of 2 or more) second conversion processing for converting each measured value to be processed so as to be smaller than the fourth absolute value in a predetermined order. Run with
In the Nb second conversion processes, M types of filters (M is a predetermined natural number of 2 or more and Nb or less) having different rates of change before and after the second conversion process of the third absolute value. A data processing device that converts values of each measurement value to be processed by using. 前記処理部は、前記判定処理において、
前記放電波形成分が含まれているか否かを判定する前記各測定値を絶対値化して判定用データを生成し、当該判定用データの前記各測定値における最大値の１／Ｌａの値（Ｌａは、１よりも大きい予め規定された正の実数）を第１の暫定閾値とする第１の処理と、
前記判定用データの前記各測定値のうちの前記第１の暫定閾値を下回る当該測定値の数が標準偏差σに対する予め規定された範囲内の数であるか否かを判別する第２の処理とを実行し、
前記第２の処理において、前記第１の暫定閾値を下回る前記測定値の数が前記予め規定された範囲を外れて少ないと判別したきに当該第１の暫定閾値の１／Ｌｂの値（Ｌｂは、１よりも大きい予め規定された正の実数）を当該第１の暫定閾値に加算した値を新たな前記第１の暫定閾値として前記第２の処理を再び実行し、前記第１の暫定閾値を下回る前記測定値の数が前記予め規定された範囲を外れて多いと判別したときに当該第１の暫定閾値の１／Ｌｃの値（Ｌｃは、１よりも大きい予め規定された正の実数）を当該第１の暫定閾値から減算した値を新たな前記第１の暫定閾値として前記第２の処理を再び実行し、かつ前記第１の暫定閾値を下回る前記測定値の数が前記予め規定された範囲内であると判別したときに前記第１の暫定閾値を第２の暫定閾値とすると共に、
標準偏差ｎσ（ｎは、予め規定された正の実数）に対応する判定用閾値を前記第２の暫定閾値に基づいて特定する第３の処理を実行し、
前記判定用閾値を超える前記測定値が前記判定用データに含まれているときに前記取得した波形データの前記信号波形に前記放電波形成分が含まれていると判定し、前記判定用閾値を超える前記測定値が前記判定用データに含まれていないときに前記取得した波形データの前記信号波形に前記放電波形成分が含まれていないと判定する請求項１記載のデータ処理装置。 In the determination process, the processing unit includes:
Each measurement value for determining whether or not the discharge waveform component is included is converted into an absolute value to generate determination data, and a value 1 / La (La) of the maximum value in each measurement value of the determination data. Is a first process with a first provisional threshold that is a predetermined positive real number greater than 1;
Second processing for determining whether or not the number of the measurement values that are less than the first provisional threshold among the measurement values of the determination data is a number within a predetermined range with respect to the standard deviation σ. And run
In the second process, when it is determined that the number of measurement values below the first provisional threshold is less than the predetermined range, the value of 1 / Lb of the first provisional threshold (Lb Is a value obtained by adding a predetermined positive real number greater than 1 to the first provisional threshold, and the second provision is performed again using the first provisional threshold as a new value. A value of 1 / Lc of the first provisional threshold value (Lc is a predetermined positive value greater than 1) when it is determined that the number of measurement values below the threshold value is large outside the predetermined range. The second process is performed again using the value obtained by subtracting the real number) from the first provisional threshold as the new first provisional threshold, and the number of the measurement values below the first provisional threshold When the first provisional threshold is determined to be within the specified range, Together with the 2 of the provisional threshold,
Performing a third process of specifying a determination threshold corresponding to the standard deviation nσ (n is a positive real number defined in advance) based on the second provisional threshold;
When the measurement value exceeding the determination threshold is included in the determination data, it is determined that the discharge waveform component is included in the signal waveform of the acquired waveform data, and exceeds the determination threshold The data processing apparatus according to claim 1, wherein when the measurement value is not included in the determination data, it is determined that the discharge waveform component is not included in the signal waveform of the acquired waveform data. 前記処理部は、前記判定処理において、
前記取得した波形データの前記各測定値における前記連続するＫサンプリング内の変化量をそれぞれ特定する変化量特定処理と、
前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が少量の前記Ｍ種類の前記フィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ａと、
前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が前記処理Ａ時に使用する前記各フィルタよりも多い前記Ｍ種類のフィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ｂと、
前記変化量特定処理によって特定した前記変化量が予め規定された量を下回る前記測定値を前記処理Ａによって変換された前記測定値に置き換えると共に、前記変化量特定処理によって特定した前記変化量が前記予め規定された量以上の前記測定値を前記処理Ｂによって変換された前記測定値に置き換える第１の置換処理とを実行し、
前記第１の置換処理によって置き換えた前記各測定値に基づいて前記放電波形成分が含まれているか否かを判定する請求項１または２記載のデータ処理装置。 In the determination process, the processing unit includes:
A change amount specifying process for specifying each change amount in the continuous K sampling in each measurement value of the acquired waveform data;
A process A for performing each value conversion process using the M types of filters with a small amount of decrease in the third absolute value in the Nb second conversion processes;
A process of executing each value conversion process using the M types of filters in which the amount of decrease in the third absolute value is larger than the filters used in the process A in the Nb second conversion processes. B and
The change value specified by the change amount specifying process is replaced with the measurement value converted by the process A, with the change value specified by the change amount specifying process being replaced with the measurement value converted by the process A. Performing a first replacement process that replaces the measurement value of a predetermined amount or more with the measurement value converted by the process B;
The data processing device according to claim 1, wherein it is determined whether or not the discharge waveform component is included based on the measured values replaced by the first replacement processing. 前記処理部は、前記判定処理において、
前記取得した波形データの前記各測定値における前記連続するＫサンプリング内の変化量をそれぞれ特定する変化量特定処理と、
前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が少量の前記Ｍ種類の前記フィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ａと、
前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が前記処理Ａ時に使用する前記各フィルタよりも多い前記Ｍ種類のフィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ｂと、
前記変化量特定処理によって特定した前記変化量が最も小さい前記測定値が前記処理Ａによって変換された前記測定値に置き換わり、かつ当該変化量が最も大きい前記測定値が前記処理Ｂによって変換された前記測定値に置き換わるように、前記各測定値を当該変化量の大きさに応じて当該処理Ａによって変換された当該測定値から当該処理Ｂによって変換された当該測定値までの範囲内の値に置き換える第２の置換処理とを実行し、
前記第２の置換処理によって置き換えた前記各測定値に基づいて前記放電波形成分が含まれているか否かを判定する請求項１または２記載のデータ処理装置。 In the determination process, the processing unit includes:
A change amount specifying process for specifying each change amount in the continuous K sampling in each measurement value of the acquired waveform data;
A process A for performing each value conversion process using the M types of filters with a small amount of decrease in the third absolute value in the Nb second conversion processes;
A process of executing each value conversion process using the M types of filters in which the amount of decrease in the third absolute value is larger than the filters used in the process A in the Nb second conversion processes. B and
The measurement value having the smallest change amount specified by the change amount specifying process is replaced with the measurement value converted by the process A, and the measurement value having the largest change amount is converted by the process B. Each measurement value is replaced with a value within a range from the measurement value converted by the process A to the measurement value converted by the process B in accordance with the magnitude of the change amount so that the measurement value is replaced. Execute a second replacement process;
The data processing device according to claim 1, wherein it is determined whether or not the discharge waveform component is included based on the measured values replaced by the second replacement process. 請求項１から４のいずれかに記載のデータ処理装置と、
測定対象についての前記予め規定されたサンプリング周期での測定を実行して前記波形データを出力する測定装置とを備えて構成されている測定システム。 A data processing device according to any one of claims 1 to 4,
A measurement system comprising: a measurement device that executes measurement at a predetermined sampling period for a measurement object and outputs the waveform data. 予め規定されたサンプリング周期で測定された複数の測定値が記録されている波形データを取得して当該波形データの信号波形におけるノイズ成分のなかに放電波形成分が含まれているか否かを判定する判定処理をデータ処理装置の処理部に実行させるデータ処理用プログラムであって、
前記判定処理において、前記各測定値を予め規定された変換方法に従って値変換して変換後の値を新たな当該各測定値とする値変換処理を複数回実行して処理後の当該各測定値に基づいて前記放電波形成分が含まれているか否かを判定すると共に、
複数回の前記値変換処理として、
取得した前記波形データの前記信号波形における最大振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第１の絶対値が、当該取得した波形データの当該信号波形における前記ノイズ成分の振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第２の絶対値よりも小さくなるように処理対象の当該各測定値を値変換するＮａ回（Ｎａは、予め規定された自然数）の第１の変換処理と、
前記取得した波形データの前記信号波形における周期的な前記ノイズ成分の振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第３の絶対値が、当該取得した波形データの当該信号波形における非周期的な前記ノイズ成分の振幅部の前記各測定値の絶対値のうちの最大値に対応する変換対象の前記測定値の絶対値である第４の絶対値よりも小さくなるように処理対象の前記各測定値を値変換するＮｂ回（Ｎｂは、予め規定された２以上の自然数）の第２の変換処理とを予め規定された順序で実行し、
前記Ｎｂ回の第２の変換処理において、前記第３の絶対値の当該第２の変換処理の前後における変化率が異なるＭ種類（Ｍは、２以上Ｎｂ以下の予め規定された自然数）のフィルタを使用して前記処理対象の各測定値を値変換する処理を前記処理部に実行させるデータ処理用プログラム。 Obtain waveform data in which a plurality of measurement values measured at a predetermined sampling period are recorded, and determine whether a discharge waveform component is included in the noise component in the signal waveform of the waveform data A data processing program for causing a processing unit of a data processing device to execute a determination process,
In the determination process, each measured value is subjected to value conversion according to a predetermined conversion method, and a value conversion process is performed a plurality of times using the converted value as each new measured value. And determining whether the discharge waveform component is included based on
As the value conversion processing multiple times,
The first absolute value that is the absolute value of the measurement value to be converted corresponding to the maximum value among the absolute values of the measurement values of the maximum amplitude portion in the signal waveform of the acquired waveform data is the acquired It becomes smaller than the second absolute value that is the absolute value of the measured value to be converted corresponding to the maximum value of the absolute values of the measured values of the amplitude part of the noise component in the signal waveform of the waveform data. A first conversion process of Na times (Na is a pre-defined natural number) for converting the respective measured values to be processed;
A third absolute value that is the absolute value of the measurement value to be converted corresponding to the maximum value of the absolute values of the respective measurement values of the amplitude part of the periodic noise component in the signal waveform of the acquired waveform data The value is the absolute value of the measured value of the conversion target corresponding to the maximum value of the absolute values of the measured values of the amplitude part of the non-periodic noise component in the signal waveform of the acquired waveform data The Nb times (Nb is a predetermined natural number of 2 or more) second conversion processing for converting each measured value to be processed so as to be smaller than the fourth absolute value in a predetermined order. Run with
In the Nb second conversion processes, M types of filters (M is a predetermined natural number of 2 or more and Nb or less) having different rates of change before and after the second conversion process of the third absolute value. A data processing program for causing the processing unit to execute a process for converting the value of each measurement value to be processed using the processing unit. 前記判定処理において、
前記放電波形成分が含まれているか否かを判定する前記各測定値を絶対値化して判定用データを生成し、当該判定用データの前記各測定値における最大値の１／Ｌａの値（Ｌａは、１よりも大きい予め規定された正の実数）を第１の暫定閾値とする第１の処理と、
前記判定用データの前記各測定値のうちの前記第１の暫定閾値を下回る当該測定値の数が標準偏差σに対する予め規定された範囲内の数であるか否かを判別する第２の処理とを実行し、
前記第２の処理において、前記第１の暫定閾値を下回る前記測定値の数が前記予め規定された範囲を外れて少ないと判別したきに当該第１の暫定閾値の１／Ｌｂの値（Ｌｂは、１よりも大きい予め規定された正の実数）を当該第１の暫定閾値に加算した値を新たな前記第１の暫定閾値として前記第２の処理を再び実行し、前記第１の暫定閾値を下回る前記測定値の数が前記予め規定された範囲を外れて多いと判別したときに当該第１の暫定閾値の１／Ｌｃの値（Ｌｃは、１よりも大きい予め規定された正の実数）を当該第１の暫定閾値から減算した値を新たな前記第１の暫定閾値として前記第２の処理を再び実行し、かつ前記第１の暫定閾値を下回る前記測定値の数が前記予め規定された範囲内であると判別したときに前記第１の暫定閾値を第２の暫定閾値とすると共に、
標準偏差ｎσ（ｎは、予め規定された正の実数）に対応する判定用閾値を前記第２の暫定閾値に基づいて特定する第３の処理を実行し、
前記判定用閾値を超える前記測定値が前記判定用データに含まれているときに前記取得した波形データの前記信号波形に前記放電波形成分が含まれていると判定し、前記判定用閾値を超える前記測定値が前記判定用データに含まれていないときに前記取得した波形データの前記信号波形に前記放電波形成分が含まれていないと判定する処理を前記処理部に実行させる請求項６記載のデータ処理用プログラム。 In the determination process,
Each measurement value for determining whether or not the discharge waveform component is included is converted into an absolute value to generate determination data, and a value 1 / La (La) of the maximum value in each measurement value of the determination data. Is a first process with a first provisional threshold that is a predetermined positive real number greater than 1;
Second processing for determining whether or not the number of the measurement values that are less than the first provisional threshold among the measurement values of the determination data is a number within a predetermined range with respect to the standard deviation σ. And run
In the second process, when it is determined that the number of measurement values below the first provisional threshold is less than the predetermined range, the value of 1 / Lb of the first provisional threshold (Lb Is a value obtained by adding a predetermined positive real number greater than 1 to the first provisional threshold, and the second provision is performed again using the first provisional threshold as a new value. A value of 1 / Lc of the first provisional threshold value (Lc is a predetermined positive value greater than 1) when it is determined that the number of measurement values below the threshold value is large outside the predetermined range. The second process is performed again using the value obtained by subtracting the real number) from the first provisional threshold as the new first provisional threshold, and the number of the measurement values below the first provisional threshold When the first provisional threshold is determined to be within the specified range, Together with the 2 of the provisional threshold,
Performing a third process of specifying a determination threshold corresponding to the standard deviation nσ (n is a positive real number defined in advance) based on the second provisional threshold;
When the measurement value exceeding the determination threshold is included in the determination data, it is determined that the discharge waveform component is included in the signal waveform of the acquired waveform data, and exceeds the determination threshold 7. The processing unit according to claim 6, wherein the processing unit is configured to determine that the discharge waveform component is not included in the signal waveform of the acquired waveform data when the measurement value is not included in the determination data. Data processing program. 前記判定処理において、
前記取得した波形データの前記各測定値における前記連続するＫサンプリング内の変化量をそれぞれ特定する変化量特定処理と、
前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が少量の前記Ｍ種類の前記フィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ａと、
前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が前記処理Ａ時に使用する前記各フィルタよりも多い前記Ｍ種類のフィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ｂと、
前記変化量特定処理によって特定した前記変化量が予め規定された量を下回る前記測定値を前記処理Ａによって変換された前記測定値に置き換えると共に、前記変化量特定処理によって特定した前記変化量が前記予め規定された量以上の前記測定値を前記処理Ｂによって変換された前記測定値に置き換える第１の置換処理とを実行し、
前記第１の置換処理によって置き換えた前記各測定値に基づいて前記放電波形成分が含まれているか否かを判定する処理を前記処理部に実行させる請求項６または７記載のデータ処理用プログラム。 In the determination process,
A change amount specifying process for specifying each change amount in the continuous K sampling in each measurement value of the acquired waveform data;
A process A for performing each value conversion process using the M types of filters with a small amount of decrease in the third absolute value in the Nb second conversion processes;
A process of executing each value conversion process using the M types of filters in which the amount of decrease in the third absolute value is larger than the filters used in the process A in the Nb second conversion processes. B and
The change value specified by the change amount specifying process is replaced with the measurement value converted by the process A, with the change value specified by the change amount specifying process being replaced with the measurement value converted by the process A. Performing a first replacement process that replaces the measurement value of a predetermined amount or more with the measurement value converted by the process B;
The data processing program according to claim 6 or 7, wherein the processing unit executes a process of determining whether or not the discharge waveform component is included based on the measured values replaced by the first replacement process. 前記判定処理において、
前記取得した波形データの前記各測定値における前記連続するＫサンプリング内の変化量をそれぞれ特定する変化量特定処理と、
前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が少量の前記Ｍ種類の前記フィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ａと、
前記Ｎｂ回の第２の変換処理において前記第３の絶対値の低下量が前記処理Ａ時に使用する前記各フィルタよりも多い前記Ｍ種類のフィルタを使用して前記各値変換処理を実行する処理Ｂと、
前記変化量特定処理によって特定した前記変化量が最も小さい前記測定値が前記処理Ａによって変換された前記測定値に置き換わり、かつ当該変化量が最も大きい前記測定値が前記処理Ｂによって変換された前記測定値に置き換わるように、前記各測定値を当該変化量の大きさに応じて当該処理Ａによって変換された当該測定値から当該処理Ｂによって変換された当該測定値までの範囲内の値に置き換える第２の置換処理とを実行し、
前記第２の置換処理によって置き換えた前記各測定値に基づいて前記放電波形成分が含まれているか否かを判定する処理を前記処理部に実行させる請求項６または７記載のデータ処理用プログラム。 In the determination process,
A change amount specifying process for specifying each change amount in the continuous K sampling in each measurement value of the acquired waveform data;
A process A for performing each value conversion process using the M types of filters with a small amount of decrease in the third absolute value in the Nb second conversion processes;
A process of executing each value conversion process using the M types of filters in which the amount of decrease in the third absolute value is larger than the filters used in the process A in the Nb second conversion processes. B and
The measurement value having the smallest change amount specified by the change amount specifying process is replaced with the measurement value converted by the process A, and the measurement value having the largest change amount is converted by the process B. Each measurement value is replaced with a value within a range from the measurement value converted by the process A to the measurement value converted by the process B in accordance with the magnitude of the change amount so that the measurement value is replaced. Execute a second replacement process;
8. The data processing program according to claim 6, wherein the processing unit is configured to execute a process of determining whether or not the discharge waveform component is included based on the measured values replaced by the second replacement process. 9.
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