JP2019191116A - 放射線検出装置および検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】放射線検出装置の品質の向上を比較的簡素な構成で実現する。【解決手段】放射線検出装置は、放射線を検出するための複数のセンサ部が所定方向に配列されたセンサ基板と、前記センサ基板から前記複数のセンサ部の配列方向および前記放射線の入射方向の双方と交差する方向に離間した位置に配置され、放射線を光に変換可能に構成された蛍光体と、前記センサ基板の前記配列方向側方に配置された第１の放射線遮蔽部材と、前記センサ基板と前記蛍光体との間に配置され、前記蛍光体の光を前記複数のセンサ部に通過可能に構成された第２の放射線遮蔽部材と、を備え、前記交差する方向で見たときに、前記第２の放射線遮蔽部材は前記第１の放射線遮蔽部材と重なるように位置している。【選択図】図１

Description

本発明は、放射線検出装置および検査装置に関する。

特許文献１には、放射線検出装置に入射した放射線が該装置の各部材で散乱して該装置から漏れ出すことにより医師等のユーザが被曝することを防止するため、放射線遮蔽部材を配置することが記載されている。

特開２００６−３２２７４５号公報 特開２００８−０８２７６４号公報

特許文献２には、放射線を光に変換する蛍光体と、該光を検出する複数のセンサ部が配列されたラインセンサと、を備える放射線検出装置が記載されている。多くの部材は一般に放射線に晒されることによって劣化するが、このことは、センサ部についても同様であり、例えば、上記散乱に起因する放射線によってセンサ特性が変動することがある。特許文献２の構成の場合、上記散乱に起因する放射線量はラインセンサの端部領域において比較的（例えば中央部領域に比べて）大きくなると考えられ、そのため、ラインセンサの特性が不均一になる可能性があった。このことは、放射線検出装置の品質の低下の原因となりうるため、構造上の改善の余地があった。

本発明は、放射線検出装置の品質の向上を比較的簡素な構成で実現することを目的とする。

本発明の一つの側面は放射線検出装置にかかり、前記放射線検出装置は、放射線を検出するための複数のセンサ部が所定方向に配列されたセンサ基板と、前記センサ基板から前記複数のセンサ部の配列方向および前記放射線の入射方向の双方と交差する方向に離間した位置に配置され、放射線を光に変換可能に構成された蛍光体と、前記センサ基板の前記配列方向側方に配置された第１の放射線遮蔽部材と、前記センサ基板と前記蛍光体との間に配置され、前記蛍光体の光を前記複数のセンサ部に通過可能に構成された第２の放射線遮蔽部材と、を備え、前記交差する方向で見たときに、前記第２の放射線遮蔽部材は前記第１の放射線遮蔽部材と重なるように位置していることを特徴とする。

本発明によれば、放射線検出装置の品質を向上させることができる。

放射線検出装置の構成例及びその内部構造の例を説明するための図である。 放射線検出装置の内部構造の例を説明するための図である。 放射線検出装置の構成例及びその内部構造の例を説明するための図である。 放射線検出装置の構成例及びその内部構造の例を説明するための図である。 検査装置の構成例を説明するための図である。

以下、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明する。なお、各図は、構造ないし構成を説明する目的で記載された模式図に過ぎず、図示された各部材の寸法は必ずしも現実のものを反映するものではない。また、各図において、同一の部材または同一の要素には同一の参照番号を付しており、以下、重複する内容については説明を省略する。

［第１実施形態］
図１（Ａ）は、第１実施形態に係る放射線検出装置１の構成を示す斜視図である。本実施形態では、放射線検出装置１は長尺状に延設され、放射線ラインセンサ等と表現されてもよい。

後述の他の図においても同様であるが、図中には、構造の理解の容易化のため、互いに交差あるいは実質的に直交するＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向を示す。Ｘ方向は、上記長尺状の放射線検出装置１の短手方向に対応し、Ｙ方向は該装置１の長手方向に対応し、また、Ｚ方向は該装置１の高さ方向に対応する。本明細書では、説明の簡易化のため、放射線検出装置１内の２以上の部材または要素間の相対的な位置関係を示す表現が用いられる。例えば、本明細書では、＋Ｘ／−Ｘ方向にシフトした位置関係を「Ｘ方向側方」等と表現する場合があるが、短手方向側方等と表現されてもよい。また、本明細書では、＋Ｙ／−Ｙ方向にシフトした位置関係を「Ｙ方向側方」等と表現する場合があるが、長手方向側方等と表現されてもよい。また、本明細書では、＋Ｚ方向にシフトした位置関係を「上」、「上方」等と表現し、また、−Ｚ方向にシフトした位置関係を「下」、「下方」等と表現する場合がある。

図１（Ｂ）は、切断面をＸ−Ｚ平面（垂直面）とする放射線検出装置１の断面構造を示す。図１（Ｃ）は、図１（Ｂ）を＋Ｙ方向で見た側面図を示す。図２（Ａ）は、切断面をＸ−Ｙ平面（水平面）とする放射線検出装置１の断面構造を示す。図２（Ｂ）は、図２（Ａ）を−Ｚ方向で見た上面図を示す。放射線検出装置１は、筐体１０、センサ基板１１、蛍光体（シンチレータ）１２、及び、放射線遮蔽部材１３１〜１３３を備える。

筐体１０は、１以上の部材で構成されて放射線検出装置１を構成する部材ないし要素を直接的／間接的に支持し、支持体等とも表現される。筐体１０は、その形状によっては、支持フレーム、或いは単にフレーム等と表現されてもよい。本実施形態では、筐体１０は、センサ基板１１を支持する第１の支持部材１０１、及び、蛍光体１２を支持する第２の支持部材１０２を含む。筐体１０、ここでは支持部材１０１及び１０２には、樹脂等の絶縁性の材料が用いられてもよいが、より好適には、放射線耐性の比較的高い材料が用いられるとよい。例えば、タングステン（Ｗ）、鉛（Ｐｂ）等、放射線を遮蔽（ないし吸収）可能な粒子を含有する材料、例えばタングステン含有樹脂、が好適に用いられうる。

尚、本実施形態では、支持部材１０１及び１０２は、締結部材、接着剤等により相互に固定されるものとするが、他の実施形態として、支持部材１０１及び１０２は一体成形されてもよい。

詳細については後述とするが、支持部材１０１は、Ｙ方向で向かい合う一対の端部１０１Ｅａ及び１０１Ｅｂを含み、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示されるように、それら一対の端部１０１Ｅａ及び１０１Ｅｂの間においてセンサ基板１１を支持する。端部１０１Ｅｂについても同様とするが、本実施形態では、図２（Ｂ）に示されるように、端部１０１Ｅａの厚さ（Ｙ方向での厚さ）Ｔ１は、端部１０１Ｅａからセンサ基板１１までの距離Ｌ１よりも大きいものとする。尚、支持部材１０１は、一対の端部１０１Ｅａ及び１０１Ｅｂを接続する側壁部（Ｙ−Ｚ平面を形成する板部）および底面部（Ｘ−Ｙ平面を形成する板部）を更に含み、支持部材１０１の各部分と放射線遮蔽部材１３２とで形成される空間にセンサ基板１１を収容可能となっている。

支持部材１０２は、支持部材１０１のＸ方向側方に配置されて蛍光体１２を支持する。本実施形態では、支持部材１０２の上面は支持部材１０１を向くように傾斜しており、よって、蛍光体１２は傾斜姿勢で固定される。尚、傾斜とは水平でない且つ垂直でない状態をいい、支持部材１０２の上面の傾斜角（水平面との成す角）は、例えば１０〜８０度の範囲内、好適には２０〜７０度の範囲内、とすればよい。

センサ基板１１は、本実施形態では垂直姿勢（面方向がＹ−Ｚ平面と平行となる姿勢）で固定されるものとする。センサ基板１１は、例えばエポキシガラスで構成されたプリント基板であり、センサ基板１１上にはラインセンサ１１１が形成されている。ラインセンサ１１１は、Ｙ方向に延設されており、複数のセンサ部が１以上の列を形成するようにＹ方向に配列されて成る。

ラインセンサ１１１の例としてはＣＣＤ／ＣＭＯＳイメージセンサ等が挙げられ、上記複数のセンサ部は、例えばフォトダイオード等の光電変換素子、及び、該光電変換素子を駆動する回路部を含む。尚、この回路部の概念には、光電変換素子と共に画素を形成して該光電変換素子から信号を読み出す１以上のトランジスタの他、それ／それらを制御するための画素外の回路部、例えばシフトレジスタ、ラッチ回路、デコーダ等、も含まれる。

蛍光体１２は、放射線を光に変換可能に構成される。蛍光体１２の材料としては、例えば、酸硫化ガドリニウム（Ｇｄ_２Ｏ_２Ｓ：Ｔｂ（ＧＯＳ））粒子を樹脂等のバインダに含有させたものを用いることができる。蛍光体１２の材料としては、ＧＯＳ粒子の他、酸硫化ルテチウム（Ｌｕ_２Ｏ_２Ｓ：Ｔｂ（ＬＯＳ））粒子等、公知の他の蛍光体粒子を含有する材料が用いられてもよい。このような構成により、蛍光体１２は、放射線検出装置１に放射線が入射したことに応じて、その線量に応じた強度（光量）の光を発生する。この光は、シンチレーション光とも称される。

放射線遮蔽部材１３１〜１３３には、筐体１０、ここでは支持部材１０１及び１０２、よりも放射線透過率の低い材料で構成される。例えば、放射線遮蔽部材１０１〜１０３は、タングステン、鉛等、放射線を遮蔽可能な材料で構成される。或いは、放射線遮蔽部材１０１〜１０３は、放射線を遮蔽可能な粒子（例えばタングステン、鉛等の粒子）を含有する材料（例えばタングステン含有樹脂）で構成されてもよく、その場合、該粒子の含有量が筐体１０より大きくなるように構成されればよい。

第１の放射線遮蔽部材１３１は、一対の端部１０１Ｅａ及び１０１Ｅｂのそれぞれとセンサ基板１１との間に配置される。本実施形態では、放射線遮蔽部材１３１は、Ｘ−Ｚ方向と平行姿勢で設置された板状部材である。よって、センサ基板１１のＹ方向両側方において２つの放射線遮蔽部材１３１が互いに向かい合って設置されることとなる。本実施形態では、放射線遮蔽部材１３１は、端部１０１Ｅａ（又は１０１Ｅｂ）に対して接着剤により固定される。詳細については後述とするが、放射線遮蔽部材１３１は、Ｘ方向で見たときに（Ｘ方向での視点において）蛍光体１２と重なるように配置される。

第２の放射線遮蔽部材１３２は、Ｘ方向におけるセンサ基板１１および蛍光体１２の間かつＹ方向における一対の端部１０１Ｅａ及び１０１Ｅｂの間に配置される。本実施形態では、放射線遮蔽部材１３２は、支持部材１０１の端部１０１Ｅａ及び１０１Ｅｂ並びに底面部に対して接着剤により固定される。放射線遮蔽部材１３２は、蛍光体１２からのシンチレーション光を通過可能に構成され、本実施形態では、Ｙ方向に延び且つ光が通過可能な開口（スリット孔）１３２ＯＰを有する。

また、詳細については後述とするが、放射線遮蔽部材１３２は、Ｘ方向で見たときに放射線遮蔽部材１３１と重なるように位置している。また、放射線遮蔽部材１３１と放射線遮蔽部材１３２とは直接的に接触していてもよいし、間接的に（接着剤等を介して）接触していてもよい。

第３の放射線遮蔽部材１３３は、図１（Ａ）等に示されるように、支持部材１０１上に天板として配置され、支持部材１０１および放射線遮蔽部材１３２と共に、それらにより形成される空間内にセンサ基板１１及びラインセンサ１１１を収容する。放射線遮蔽部材１３３は、Ｚ方向で見たときに（Ｚ方向での視点において）放射線遮蔽部材１３１及び１３２の双方と重なるように配置される。

上述の構造により、放射線検出装置１は放射線（典型的にはエックス線が用いられるが、アルファ線、ベータ線等、他の電磁波が用いられてもよい。）を検出可能である。本実施形態では、放射線は、−Ｚ方向に入射するものとし、蛍光体１２により光（シンチレーション光）に変換される。シンチレーション光は、蛍光体１２から＋Ｘ方向に出射され、開口１３２ＯＰを通過してセンサ基板１１に向かい、ラインセンサ１１１により検出されることとなる。放射線検出装置１は、ラインセンサ１１１による検出結果に基づいて放射線画像データを生成し、これを外部装置（例えばディスプレイ、汎用コンピュータ等）に出力する。

前述のとおり蛍光体１２は傾斜姿勢で固定され、これにより、放射線の入射方向である−Ｚ方向とは異なる方向である＋Ｘ方向に、即ちセンサ基板１１に向けて、シンチレーション光を出射可能となっている。これを適切に実現するため、支持部材１０２の上面の傾斜角は、蛍光体１２と開口１３２ＯＰとの相対位置、蛍光体１２のシンチレーション光の指向性、開口１３２ＯＰのサイズ（Ｚ方向のサイズ）等に基づいて、好適な値が選択されればよい。付随的に、より適切にシンチレーション光をセンサ基板１１に導くため、開口１３２ＯＰにはロッドレンズアレイ等の導光部が配置されてもよい。

ところで、放射線検査装置１に照射された放射線は、放射線検査装置１の各部材において多様な方向に散乱する。このような放射線は散乱線、散乱放射線等とも称される。図２（Ｂ）には、支持部材１０１の一端部１０１Ｅｂ及びその周辺領域の拡大模式図が更に示される。この拡大模式図において一点鎖線の矢印で示されるように、−Ｚ方向に入射した放射線の一部は、蛍光体１２及び支持部材１０２において散乱し、例えば端部１０１Ｅｂに向かって散乱されうる（一次散乱）。また、この拡大模式図において二点鎖線の矢印で図示されるように、蛍光体１２及び支持部材１０２からの散乱線の一部は、端部１０１Ｅｂで更に散乱されうる（二次散乱）。尚、ここでは詳細な説明を省略とするが、実際には放射線検査装置１外からの散乱線（例えば、放射線検査装置１の周辺に配置される不図示の他の装置からの散乱線）も存在しうるため、これに起因する二次散乱も生じうる。上述の一次散乱および二次散乱は端部１０１Ｅａにおいても同様に生じうる。

放射線は、蛍光体１２に向けて照射されるので、上記一次散乱は蛍光体１２及びその周辺部で生じやすい。一次散乱に起因する散乱線の一部はラインセンサ１１１側に向かって進むため、このことはラインセンサ１１１に特性変動を生じさせる可能性がある。この特性変動は、例えば、トランジスタ特性（閾値電圧）やセンサ感度（光電変換効率）等の変動、それに起因する出力値（信号値）の変動等が挙げられる。これに対し、本実施形態では、Ｘ方向で見たときに放射線遮蔽部材１３２は放射線遮蔽部材１３１と重なるように位置しているため、上記一次散乱に起因する散乱線が放射線遮蔽部材１３１及び１３２の間からラインセンサ１１１に漏れ込むこともない。よって、本実施形態によれば、ラインセンサ１１１の特性均一性を維持可能となり、放射線検出装置の品質の向上を比較的簡素な構成で実現可能となる。

また、上記二次散乱に起因する散乱線は、センサ基板１１に入射してラインセンサ１１１の特性を変動させる可能性がある。放射線遮蔽部材１３１を配置しない場合には、ラインセンサ１１１の端部領域において上記散乱線の線量が大きくなり、ラインセンサ１１１の特性均一性が失われる可能性がある。これに対し、本実施形態によれば、端部１０１Ｅａ及び１０１Ｅｂのそれぞれと、センサ基板１１との間に放射線遮蔽部材１３１が配置されているため、上記二次散乱に起因する散乱線がセンサ基板１１に入射することもない。よって、本実施形態によれば、ラインセンサ１１１の特性均一性を維持可能となり、放射線検出装置の品質の向上を比較的簡素な構成で実現可能となる。

放射線検査装置１の周辺における他の装置の配置態様によっては、端部（一端部）１０１Ｅａとセンサ基板１１との間、及び、端部（他端部）１０１Ｅｂとセンサ基板１１との間、の一方についての放射線遮蔽部材１３１は省略可能である。即ち、放射線遮蔽部材１３１は、端部１０１Ｅａとセンサ基板１１との間および端部１０１Ｅｂとセンサ基板１１との間の少なくとも一方に配置されればよい。

また、蛍光体１２は、シンチレーション光の光量均一性の向上のため、開口１３２ＯＰより長く延設されることから、蛍光体１２からの散乱線は比較的大きくなりうる。よって、放射線遮蔽部材１３１は、Ｘ方向で見たときに蛍光体１２と重なるように配置されるとよい。

また、放射線の散乱が生じる部材が肉厚であるほど、及び／又は、その部材からの距離が小さいほど、散乱線の線量は大きくなりうる。本実施形態では、端部１０１Ｅａ及び１０１Ｅｂのそれぞれは、厚さＴ１がセンサ基板１１までの距離Ｌ１より大きい。そのため、本実施形態によれば、上記散乱線がラインセンサ１１１に与え得た影響は、放射線遮蔽部材１３１により適切に抑制ないし低減されることとなる。

また、本実施形態では、Ｘ方向で見たときに、放射線遮蔽部材１３２は放射線遮蔽部材１３１と重なるように位置している。そのため、上記一次散乱に起因する散乱線が放射線遮蔽部材１３１及び１３２間からセンサ基板１１に漏れ込むこともない。よって、本実施形態によれば、ラインセンサ１１１の特性均一性を維持可能となり、放射線検出装置の品質の向上を比較的簡素な構成で実現可能となる。

［第２実施形態］
第１実施形態で示された放射線遮蔽部材１３２は、蛍光体１２からの散乱線を遮蔽可能かつシンチレーション光を通過可能に構成されるとよく、例えば、開口１３２ＯＰには放射線遮蔽用ガラスが設けられてもよい。

図３（Ａ）は、本実施形態に係る放射線検出装置１の構成を示す斜視図である。図３（Ｂ）は、切断面をＸ−Ｚ平面とする該装置１の断面構造を＋Ｙ方向で見た側面図を示す。図３（Ｃ）は、切断面をＸ−Ｙ平面とする該装置１の断面構造を−Ｚ方向で見た上面図を示す。

放射線検出装置１は、放射線遮蔽部材１３２の開口１３２ＯＰを覆うように配置された透光性の板材１４を更に備える。この板材１４は、シンチレーション光を通過可能かつ放射線を遮蔽可能に構成され、この板材１４として、例えば鉛ガラス等の放射線遮蔽用ガラスが用いられる。

本実施形態によれば、シンチレーション光を通過可能かつ放射線を遮蔽可能に構成された板材１４を開口１３２ＯＰに配置することで、蛍光体１２からセンサ基板１１への散乱線を適切に遮蔽可能となる。よって、本実施形態によれば、第１実施形態同様の効果の加え、蛍光体１２からセンサ基板１１への散乱線を更に適切に遮蔽可能となり、放射線検出装置の品質の向上に更に有利となる。

尚、板材１４は、開口１３２ＯＰ内に配置されてもよいが、開口１３２ＯＰから＋Ｘ方向または−Ｘ方向にシフトして配置されてもよい。開口１３２ＯＰにロッドレンズアレイ等の導光部が配置される場合には、板材１４は、開口１３２ＯＰから−Ｘ方向にシフトして配置されるとよい。

［第３実施形態］
第１実施形態で図２（Ｂ）を参照しながら述べたとおり、蛍光体１２からの散乱線は、端部１０１Ｅａ及び１０１Ｅｂで更に散乱し、二次散乱を生じる可能性がある。そのため、第１実施形態で示された放射線遮蔽部材１３１及び１３２は、互いに係合あるいは嵌合するように設置されるとよい。即ち、放射線遮蔽部材１３１及び１３２の一方が他方に対して単に当接するのではなく、一方が他方に対して係合あるいは嵌合し、Ｙ方向で見たときもそれらが互いに重なるとよい。

図４（Ａ）は、本実施形態に係る放射線検出装置１の構成を示す斜視図である。図４（Ｂ）は、切断面をＸ−Ｙ平面とする該装置１の断面構造を示す。図４（Ｃ）は、図４（Ｂ）を−Ｚ方向で見た上面図を示す。

本実施形態では、図４（Ｂ）及び図４（Ｃ）に示されるように、放射線遮蔽部材１３２の放射線遮蔽部材１３１と近接する部分には切欠き１３２Ｃが設けられ、放射線遮蔽部材１３１の端部は、この切欠き１３２Ｃに係合する。本実施形態によれば、放射線遮蔽部材１３２は、Ｘ方向で見たときだけでなく、Ｙ方向で見たときも、放射線遮蔽部材１３１と重なるように配置される。よって、放射線遮蔽部材１３１及び１３２は、２つの面で近接し、即ち、Ｘ方向およびＹ方向の双方で向かい合うこととなる。

本実施形態によれば、二次散乱に伴う端部１０１Ｅａ及び１０１Ｅｂからの散乱線が放射線遮蔽部材１３１及び１３２の間からセンサ基板１１に漏れ込むことを適切に防ぐことができる。よって、本実施形態によれば、放射線検出装置１の品質向上に更に有利である。

本実施形態では、切欠き１３２Ｃは略矩形状であるが、他の実施形態として、切欠き１３２Ｃは、丸みを帯びた形状であってもよい。更に他の実施形態として、切欠き１３２Ｃに代替して、Ｕ字状、Ｖ字状、Ｗ字状等の１以上の凹部が放射線遮蔽部材１３２に設けられてもよい。その場合、放射線遮蔽部材１３１及び１３２は２以上の面で互いに近接して嵌合することとなり、散乱線のセンサ基板１１への漏れ込みをより適切に防ぐことが可能となる。更に他の実施形態として、切欠き１３２Ｃ（或いは上記凹部）に代替して、放射線遮蔽部材１３１に切欠き又は凹部が設けられてもよい。

［適用例］
上述の各実施形態の放射線検出装置１は、所定の検査を行うための検査装置（検査システム）に適用される。この検査装置の例としては、工場等の製造ラインにおける製品検査装置、空港等の搭乗手続の際に用いられる荷物検査装置、医療用の放射線撮像装置等、多様な放射線検査装置が挙げられる。

図５は、放射線検出装置１が適用された検査装置ＳＹのシステム構成の一例を示す。検査装置ＳＹは、放射線検出装置１と、放射線を発生する放射線源２と、それらと通信可能なシステムコントローラ３とを具備する。放射線源２は、システムコントローラ３からの制御信号に基づいて放射線を発生する。放射線検出装置１は、放射線源２から照射されて検査対象ＯＢを通過した放射線を検出する。システムコントローラ３は、放射線検出装置１から放射線画像データを受け取って、該放射線画像データに基づく放射線画像を所定のディスプレイに表示させる。放射線画像データは、放射線検出装置１外で生成されてもよく、他の実施形態として、例えば、放射線検出装置１から受け取った信号群に基づいてシステムコントローラ３により生成されてもよい。このような構成により、検査対象ＯＢについての検査を実現可能となる。

以上の各実施形態では幾つかの好適な態様を例示したが、本発明はこれらの例に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、実施形態の一部が変更され或いは組み合わされてもよい。また、本明細書に記載された個々の用語は、本発明を説明する目的で用いられたものに過ぎず、本発明は、その用語の厳密な意味に限定されるものでないことは言うまでもなく、その均等物をも含みうる。

１０：筐体、１０１：（第１の）支持部材、１０２：（第２の）支持部材、１１：センサ基板、１２：蛍光体、１３１：（第１の）放射線遮蔽部材）、１３２：（第２の）放射線遮蔽部材。

Claims (11)

1. 放射線を検出するための複数のセンサ部が所定方向に配列されたセンサ基板と、
   前記センサ基板から前記複数のセンサ部の配列方向および前記放射線の入射方向の双方と交差する方向に離間した位置に配置され、放射線を光に変換可能に構成された蛍光体と、
   前記センサ基板の前記配列方向側方に配置された第１の放射線遮蔽部材と、
   前記センサ基板と前記蛍光体との間に配置され、前記蛍光体の光を前記複数のセンサ部に通過可能に構成された第２の放射線遮蔽部材と、を備え、
   前記交差する方向で見たときに、前記第２の放射線遮蔽部材は前記第１の放射線遮蔽部材と重なるように位置している
   ことを特徴とする放射線検出装置。
2. 前記第１の放射線遮蔽部材は、前記センサ基板の前記配列方向両側方にそれぞれ配置されている
   ことを特徴とする請求項１記載の放射線検出装置。
3. 前記センサ基板、前記蛍光体、前記第１の放射線遮蔽部材および前記第２の放射線遮蔽部材を収容する筐体を更に備え、
   前記第１の放射線遮蔽部材および前記第２の放射線遮蔽部材は、前記筐体よりも放射線透過率の低い材料で構成されている
   ことを特徴とする請求項１または請求項２記載の放射線検出装置。
4. 前記第２の放射線遮蔽部材は、更に前記配列方向で見たときも前記第１の放射線遮蔽部材と重なっている
   ことを特徴とする請求項１から請求項３の何れか１項記載の放射線検出装置。
5. 前記第１の放射線遮蔽部材は、前記第２の放射線遮蔽部材側の端部において前記第２の放射線遮蔽部材と係合している
   ことを特徴とする請求項１から請求項４の何れか１項記載の放射線検出装置。
6. 前記第２の放射線遮蔽部材の前記第１の放射線遮蔽部材と近接する部分には凹部が設けられている
   ことを特徴とする請求項５記載の放射線検出装置。
7. 前記第１の放射線遮蔽部材と前記第２の放射線遮蔽部材とは２以上の面で近接している
   ことを特徴とする請求項１から請求項６の何れか１項記載の放射線検出装置。
8. 前記第１の放射線遮蔽部材は前記第２の放射線遮蔽部材と接触している
   ことを特徴とする請求項１から請求項７の何れか１項記載の放射線検出装置。
9. 前記第２の放射線遮蔽部材は、前記蛍光体の光を前記複数のセンサ部に通過させるための開口を有する
   ことを特徴とする請求項１から請求項８の何れか１項記載の放射線検出装置。
10. 前記第２の放射線遮蔽部材の前記開口を覆うように配置され且つ前記放射線を遮蔽可能な透光性の板材を更に備える
    ことを特徴とする請求項９記載の放射線検出装置。
11. 請求項１から請求項１０の何れか１項記載の放射線検出装置と、
    放射線を発生する放射線源と、を具備する
    ことを特徴とする検査装置。

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