JP2019191050A - 光イメージング用プローブ及び光学式測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
しかしながら、この光プローブは略直角方向に2カ所の計測は行えるが、被測定物の外周面および、内外周面間の同軸度を計測することはできなかった。
しかしながらこの構成では、略直角方向の1カ所の観察しか行えず、内/外周面の同軸度を計測することができなかった。
光イメージング用プローブは、光線の方向を変える複数の光路変換手段と、中空円筒状で互いに径サイズの異なる内側透光性部材と外側透光性部材とを備える。そして、複数ある光路変換手段の少なくとも1つは、光線を複数の方向に分岐する機能を有し、内側透光性部材と前記外側透光性部材とは略同軸上に配置する。そして、内側透光性部材の外周面と外側透光性部材の内周面との間に被測定物を挿入し、被測定物に対して、内側透光性部材側からと外側透光性部材側からの両方向から光を照射できる。光学式測定装置は、この光イメージング用プローブにより得られた被測定物からの戻り光から、コンピュータにより被測定物の形状データを得るものである。
この構成によれば、円筒形状の被測定物の内周面および外周面に対して、同時に光線を照射し、被測定物の内/外周面からの戻り光(反射光)を取り込むことができる。
この構成によれば、観察光を第1から第4の複数の光路変換手段により、円筒形状の機械部品等の被測定物の内周面および外周面に、同時に光線を照射し、被測定物の内/外周面からの戻り光(反射光)を取り込むことができる。
この構成であれば、光線を直角方向と前斜方向に安定して分岐することができ、また、軽量であるためモータユニットの回転負荷を小さく抑えることができる。
この構成によれば、よりコンパクトな構造で、プローブから被測定物に対して観察光を側方に放射することができる。
この構成によれば、よりコンパクトな構造で、光線を被測定物に放射できる。
この構成によれば、円筒形状の機械部品等の被測定物の寸法/形状観察および内/外周面間の同軸度データを得ることができる。
同様に、外周面16oの正しい半径測定値は、外周面16oから外側透光性パイプ10の内周面までの距離(図中、R-outerとRp2-outerまでの半径距離)に予め校正で求めておいた外側透光性パイプ7の真の外半径(図中、Rp2-outer)を加えて求めている。
第2の実施例においては、固定側光ファイバー21はモータユニット28の回転シャフトの中空穴の中に相対的に回転自在に挿入され、その先端には集光レンズ22aが一体的に構成されている。集光レンズ22aから放出された光線は第1光路変換および分光手段24に向けて放出され、光線は略直角方向と回転軸前方方向に分岐される。
これ以降の構成と動作は図1〜図8に示した第1実施例と同じである。
2、22 回転側光ファイバー
3 光回転ジョイント
4、24 第1光路変換手段(プリズム等)
5、25 第2光路変換手段(プリズム等)
6、26 内側ケース
7、27 内側透光性パイプ(キャップ)
8、28 モータユニット
9、29 軸受
10、30 外側透光性パイプ
11、31 第3光路変換手段
12、32 第4光路変換手段
13、33 外側ケース
14、34 固定側光ファイバー固定具
16 被測定物
22a 集光レンズ
23 回転側ファイバー接続具
80 測定台
81 Z軸スライダー
82 取付部
83 Z軸昇降モータ
84 偏光器
85 光学ユニット本体
86 モータドライブ回路
88 光干渉解析部
89 コンピュータ
90 モニタ
100 光線
Claims (6)
- 光線の方向を変える複数の光路変換手段と、
中空円筒状で互いに径サイズの異なる内側透光性部材と外側透光性部材とを備え、
複数ある前記光路変換手段の少なくとも1つは、光線を複数の方向に分岐する機能を有し、
前記内側透光性部材と前記外側透光性部材とは略同軸上に配置されており、
前記内側透光性部材の外周面と前記外側透光性部材の内周面との間に被測定物を挿入し、
前記被測定物に対して、前記内側透光性部材側からと前記外側透光性部材側からの両方向から光を照射できることを特徴とする光イメージング用プローブ。 - 前記内側透光性部材には、略チューブ状のケースが連結されるとともに、前記外側透光性部材が外側ケースを介して一体に固定されており、
前記内側透光性部材又は前記ケースの内部には、非回転状態に固定された固定側光ファイバーが配置されており、
前記固定側光ファイバーの先端側には、モータユニットにより回転駆動させられる回転側光ファイバーが配置されており、
複数の前記光路変換手段として第1〜第4の光路変換手段が有り、
第1光路変換手段と第2光路変換手段は、前記回転側光ファイバーと一体に配置されており、
第3光路変換手段と第4光路変換手段は、前記外側ケースと一体に配置されており、
前記第1光路変換手段は、光線を略直角方向と回転軸方向に分岐し、
前記第2光路変換手段は、前記第1光路変換の前方であって略同一線上に位置し、前記第1光路変換手段から回転軸方向に放出された光線を略直角方向に角度を変換して、前記内側透光性部材の内周側から該内側透光性部材を通過して放出し、
前記第3光路変換手段は、前記第1光路変換手段から略直角方向に放出された光線を軸平行に光路変換し、
前記第4光路変換手段は、前記第3光路変換手段から放出された光線を略直角方向に角度を変換して、前記外側透光性部材の外周側から該外側透光性部材を通過して放出し、
中空円筒形状の前記被測定物の内周面からの戻り光を前記第2光路変換手段から前記回転側光ファイバーと前記第1光路変換手段を経由して前記固定側光ファイバーに導くとともに、前記被測定物の外周面からの戻り光を前記第4光路変換手段から前記第3光路変換手段、前記第1光路変換手段を経由して前記固定側光ファイバーに導くことを特徴とする請求項1記載の光イメージング用プローブ。 - 前記第1光路変換は、複数枚の回転プリズムまたは偏光板から構成した偏光ビームスプリッタであることを特徴とする請求項2に記載の光イメージング用プローブ。
- 前記第2光路変換手段を、中心軸に対して略直角で略平面からなる回転ミラーであり、中心軸を含む直角な投影面の少なくとも一部分は光線が当接しないように切欠いた形状としたことを特徴とする請求項2に記載の光イメージング用プローブ。
- 前記第3光路変換手段および前記第4光路変換手段は、略円錐状であり、非回転に取り付けられたミラーであることを特徴とする2に記載の光イメージング用プローブ。
- 請求項1〜5何れか1項に記載の光イメージング用プローブにより得られた、前記被測定物からの戻り光からコンピュータにより被測定物の形状データを得ることを特徴とする光学式測定装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4317911A4 (en) * | 2021-03-25 | 2024-02-21 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | CALIBRATION PROCEDURE FOR AN OPTICAL ROTATION PROBE |
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JP2006064512A (ja) * | 2004-08-26 | 2006-03-09 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定装置 |
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JP2017187335A (ja) * | 2016-04-04 | 2017-10-12 | 並木精密宝石株式会社 | 光学式内面測定装置 |
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- 2018-04-26 JP JP2018085518A patent/JP7058869B2/ja active Active
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