JP2019185645A - Display system and processing device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、加工装置を構成する部品を表示する表示システム、及び該表示システムを備えた加工装置に関する。 The present invention relates to a display system for displaying parts constituting a processing apparatus, and a processing apparatus including the display system.
半導体ウェーハに代表される板状の被加工物には、切削装置、研削装置、研磨装置等の加工装置によって種々の加工が施される。これらの加工装置の設計や検査には、ＣＡＤ（Computer Aided Design）を用いて作成した２次元又は３次元の図が活用されている。特に、ＣＡＤによって３次元で表された設計図を用いると、加工装置の構成や部品の位置などを直感的に把握することができ、設計の検証や交換部品の位置確認などが容易になる。 A plate-like workpiece typified by a semiconductor wafer is subjected to various types of processing by a processing device such as a cutting device, a grinding device, or a polishing device. For the design and inspection of these processing devices, two-dimensional or three-dimensional diagrams created using CAD (Computer Aided Design) are used. In particular, when a design drawing expressed in three dimensions by CAD is used, the configuration of the processing apparatus and the position of the parts can be intuitively grasped, and the verification of the design and the position confirmation of the replacement parts are facilitated.
また、エアーや水等の流体の流路となる配管の系統を表す配管系統図や電気配線の系統を表す配線系統図なども、ＣＡＤによって作成される。これらの系統図は、加工装置を構成する各種の部品の機能や部品同士の接続関係をシンプルに表すことができるため、加工装置の設計や加工フローの検証などで頻繁に利用される。特許文献１には、被加工物を吸引保持する吸着機構の一部が配管系統図で表された切削装置が開示されている。 Further, a piping system diagram representing a piping system serving as a flow path for fluid such as air and water, a wiring system diagram representing an electrical wiring system, and the like are also created by CAD. Since these system diagrams can simply represent the functions of various parts constituting the machining apparatus and the connection relationship between the parts, they are frequently used for designing the machining apparatus and verifying the machining flow. Patent Document 1 discloses a cutting device in which a part of a suction mechanism for sucking and holding a workpiece is represented by a piping system diagram.
上記の配管系統図や配線系統図などの系統図は、加工装置に含まれる部品の機能や接続関係を表すには有益であるが、必ずしも加工装置内における各部品の位置を正確に示すものではない。そのため、例えば加工装置の部品を交換する際に交換対象となる部品を系統図上で示された場合、その部品が実際の加工装置のどの位置に配置されているかを瞬時に把握することは困難であり、作業の滞りが生じる。 System diagrams such as the above-mentioned piping system diagram and wiring system diagram are useful for representing the functions and connection relationships of parts included in the processing equipment, but do not necessarily accurately indicate the position of each part in the processing equipment. Absent. Therefore, for example, when a part to be replaced is shown on the system diagram when replacing a part of the processing apparatus, it is difficult to instantly know where the part is located in the actual processing apparatus. And work stagnation occurs.
他方、実物の加工装置を参照して指定された所定の部品の機能や接続関係等を正確に把握するため、対応する部品を系統図上で確認する作業が必要となる場合がある。しかしながら、加工装置に搭載されている部品と系統図に含まれる部品との対応関係を瞬時に把握するのは困難であるため、加工装置で指定された部品を系統図上で特定するために煩雑な作業が必要となる。このように、系統図に含まれる部品と実物の加工装置に搭載された部品との対応関係を把握しにくいことが、加工装置の設計、評価、メンテナンス等の際に問題となっていた。 On the other hand, there is a case where it is necessary to check the corresponding parts on the system diagram in order to accurately grasp the functions and connection relationships of the predetermined parts designated with reference to the actual processing apparatus. However, since it is difficult to instantly grasp the correspondence between the parts mounted on the processing equipment and the parts included in the system diagram, it is cumbersome to identify the parts specified by the processing equipment on the system diagram. Work is required. As described above, it is difficult to grasp the correspondence between the components included in the system diagram and the components mounted on the actual processing apparatus, which has been a problem in designing, evaluating, and maintaining the processing apparatus.
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、系統図に含まれる部品と実物の加工装置に搭載された部品との対応関係を容易に確認することが可能な表示システム、及び該表示システムを備えた加工装置の提供を課題とする。 The present invention has been made in view of such problems, and a display system capable of easily confirming a correspondence relationship between a part included in a system diagram and a part mounted on an actual processing apparatus, and the display It is an object of the present invention to provide a processing apparatus provided with a system.
本発明によれば、加工装置を構成する複数の部品を表示する表示システムであって、複数の該部品の配置を３次元で表す３次元ＣＡＤ図と、該加工装置の系統を複数の該部品によって表す系統図と、該３次元ＣＡＤ図に含まれる複数の該部品と該系統図に含まれる複数の該部品とを対応付ける対応情報と、を記憶する記憶部と、該３次元ＣＡＤ図及び該系統図の一方に含まれる所定の該部品を指定する指定情報が入力される入力部と、該３次元ＣＡＤ図及び該系統図の一方で指定された該部品に対応し、該３次元ＣＡＤ図及び該系統図の他方に示された該部品を、該対応情報を参照して選択する処理部と、該処理部によって選択された該部品を、該３次元ＣＡＤ図及び該系統図の他方上に識別可能に表示する表示部と、を備える表示システムが提供される。 According to the present invention, there is provided a display system for displaying a plurality of parts constituting a processing apparatus, a three-dimensional CAD diagram representing the arrangement of the plurality of parts in three dimensions, and a system of the processing apparatus as a plurality of the parts. A storage unit that stores a correspondence diagram that associates a plurality of parts included in the three-dimensional CAD diagram with a plurality of parts included in the system diagram, a three-dimensional CAD diagram, and An input unit to which designation information for designating a predetermined part included in one of the system diagrams is input, and the three-dimensional CAD diagram corresponding to the part designated in one of the three-dimensional CAD diagram and the system diagram And a processing unit that selects the part shown in the other of the system diagram with reference to the correspondence information, and the part selected by the processing unit on the other side of the three-dimensional CAD diagram and the system diagram. Display system comprising: a display unit for identifiably displaying It is provided.
なお、本発明に係る表示システムは、該３次元ＣＡＤ図に基づいて該系統図を作成する系統図作成部を更に備えていてもよい。 The display system according to the present invention may further include a system diagram creation unit that creates the system diagram based on the three-dimensional CAD diagram.
また、本発明に係る表示システムは、該３次元ＣＡＤ図に基づいて、該加工装置を構成する複数の該部品を含む２次元の設計図を作成する２次元設計図作成部と、該２次元の設計図に基づいて該系統図を作成する系統図作成部と、を更に備えていてもよい。 In addition, the display system according to the present invention includes a two-dimensional design drawing creation unit that creates a two-dimensional design drawing including a plurality of the parts constituting the processing device based on the three-dimensional CAD diagram, and the two-dimensional design drawing And a system diagram creation unit that creates the system diagram based on the design drawing.
また、本発明によれば、上記の表示システムと、被加工物を加工する加工ユニットと、を備える加工装置が提供される。 Moreover, according to this invention, a processing apparatus provided with said display system and the processing unit which processes a workpiece is provided.
本発明に係る表示システム及び加工装置は、加工装置の構造を３次元で表す３次元ＣＡＤ図に含まれる部品と、加工装置の配管や配線等の系統を表す系統図に含まれる部品とを対応付け、一方の図で所定の部品が指定された際に他方の図で対応する部品を識別可能に表示する。これにより、系統図に含まれる部品と加工装置に搭載された部品との対応関係を容易に確認することが可能となる。 The display system and the processing apparatus according to the present invention correspond to a part included in a three-dimensional CAD diagram that represents the structure of the processing apparatus in three dimensions and a part included in a system diagram that represents a system such as piping and wiring of the processing apparatus. In addition, when a predetermined part is designated in one figure, the corresponding part is displayed in an identifiable manner in the other figure. This makes it possible to easily confirm the correspondence between the components included in the system diagram and the components mounted on the processing apparatus.
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。まず、本実施形態に係る表示システムによって表示される加工装置の構成例について説明する。図１は、半導体ウェーハ等の板状の被加工物に研削加工を施す加工装置１０の構成例を示す斜視図である。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. First, a configuration example of a processing apparatus displayed by the display system according to the present embodiment will be described. FIG. 1 is a perspective view illustrating a configuration example of a processing apparatus 10 that performs a grinding process on a plate-like workpiece such as a semiconductor wafer.
加工装置１０は、加工装置１０を構成する各構成要素（部品）を支持する基台１２を備えている。基台１２の上面の正面側には開口１２ａが形成されており、この開口１２ａ内には被加工物を搬送する搬送ユニット１４が設けられている。また、開口１２ａのさらに前方の領域には、複数の被加工物を収容可能なカセット１６ａ，１６ｂが設けられている。 The processing apparatus 10 includes a base 12 that supports each component (part) constituting the processing apparatus 10. An opening 12a is formed on the front side of the upper surface of the base 12, and a transport unit 14 for transporting the workpiece is provided in the opening 12a. Further, cassettes 16a and 16b capable of accommodating a plurality of workpieces are provided in a region further forward of the opening 12a.
開口１２ａの斜め後方には、被加工物の位置を調整するための位置調整機構１８が設けられている。カセット１６ａ，１６ｂから搬送ユニット１４によって搬出された被加工物は位置調整機構１８に配置され、位置調整機構１８によってその位置が調整される。位置調整機構１８と隣接する位置には、被加工物を保持して旋回する搬送ユニット２０が配置されている。位置調整機構１８に配置された被加工物は、搬送ユニット２０によって後方に搬送される。 A position adjusting mechanism 18 for adjusting the position of the workpiece is provided obliquely behind the opening 12a. The workpieces carried out from the cassettes 16 a and 16 b by the transport unit 14 are arranged in the position adjustment mechanism 18, and the position thereof is adjusted by the position adjustment mechanism 18. At a position adjacent to the position adjustment mechanism 18, a conveyance unit 20 that holds and turns the workpiece is disposed. The workpiece placed in the position adjustment mechanism 18 is transported backward by the transport unit 20.
搬送ユニット２０の後方には、鉛直方向（Ｚ軸方向）に対して平行な回転軸の周りに回転可能なターンテーブル２２が配置されている。ターンテーブル２２の上面には、被加工物を吸引保持する３個のチャックテーブル２４が設けられている。なお、ターンテーブル２２上に配置されるチャックテーブル２４の数は、必ずしも３個に限定されない。搬送ユニット２０は、チャックテーブル２４の所定の位置に被加工物が配置されるように、被加工物をチャックテーブル２４に搬送する。 A turntable 22 that can rotate around a rotation axis parallel to the vertical direction (Z-axis direction) is disposed behind the transport unit 20. Three chuck tables 24 for sucking and holding a workpiece are provided on the upper surface of the turntable 22. Note that the number of chuck tables 24 arranged on the turntable 22 is not necessarily limited to three. The conveyance unit 20 conveys the workpiece to the chuck table 24 so that the workpiece is arranged at a predetermined position of the chuck table 24.
チャックテーブル２４は、モータ等の回転機構（不図示）と連結されており、鉛直方向（Ｚ軸方向）に対して平行な回転軸の周りに回転する。なお、チャックテーブル２４の上面は被加工物を保持する保持面となっている。この保持面は、チャックテーブル２４の内部に形成された吸引路（不図示）を介して吸引源（不図示）と接続されている。チャックテーブル２４に搬送された被加工物は、チャックテーブル２４の保持面に作用する吸引源の負圧によって吸引される。 The chuck table 24 is connected to a rotation mechanism (not shown) such as a motor, and rotates about a rotation axis parallel to the vertical direction (Z-axis direction). The upper surface of the chuck table 24 is a holding surface for holding the workpiece. This holding surface is connected to a suction source (not shown) via a suction path (not shown) formed inside the chuck table 24. The workpiece conveyed to the chuck table 24 is sucked by the negative pressure of the suction source that acts on the holding surface of the chuck table 24.
ターンテーブル２２の後方には、２本の柱状の支持構造２６が設けられている。支持構造２６の正面側には、Ｚ軸移動機構２８を介してＺ軸移動プレート３０が設けられている。Ｚ軸移動機構２８は、Ｚ軸方向に平行な一対のＺ軸ガイドレール３２を備えており、Ｚ軸ガイドレール３２には、Ｚ軸移動プレート３０がスライド可能に設置されている。 Two columnar support structures 26 are provided behind the turntable 22. A Z-axis moving plate 30 is provided on the front side of the support structure 26 via a Z-axis moving mechanism 28. The Z-axis moving mechanism 28 includes a pair of Z-axis guide rails 32 that are parallel to the Z-axis direction, and a Z-axis moving plate 30 is slidably installed on the Z-axis guide rails 32.
Ｚ軸移動プレート３０の後面側（裏面側）にはナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール３２と平行なＺ軸ボールネジ３４が螺合されている。Ｚ軸ボールネジ３４の一端部には、Ｚ軸パルスモータ３６が連結されている。Ｚ軸パルスモータ３６でＺ軸ボールネジ３４を回転させると、Ｚ軸移動プレート３０はＺ軸ガイドレール３２に沿ってＺ軸方向に移動する。 A nut portion (not shown) is provided on the rear surface side (back surface side) of the Z-axis moving plate 30, and a Z-axis ball screw 34 parallel to the Z-axis guide rail 32 is screwed to the nut portion. . A Z-axis pulse motor 36 is connected to one end of the Z-axis ball screw 34. When the Z-axis ball screw 34 is rotated by the Z-axis pulse motor 36, the Z-axis moving plate 30 moves in the Z-axis direction along the Z-axis guide rail 32.
Ｚ軸移動プレート３０の正面側には、加工ユニット３８が設けられている。加工ユニット３８は、Ｚ軸移動プレート３０に固定されたスピンドルハウジング４０を備えている。スピンドルハウジング４０には、回転軸を構成するスピンドル（不図示）が回転可能に支持されている。スピンドルの下端部には、研削ホイール４２が装着されている。研削ホイール４２は、円筒状のホイール基台と、ホイール基台の下面に環状に配置された複数の研削砥石とを含む。 A processing unit 38 is provided on the front side of the Z-axis moving plate 30. The processing unit 38 includes a spindle housing 40 that is fixed to the Z-axis moving plate 30. A spindle (not shown) that constitutes a rotation shaft is rotatably supported on the spindle housing 40. A grinding wheel 42 is attached to the lower end of the spindle. The grinding wheel 42 includes a cylindrical wheel base and a plurality of grinding wheels arranged annularly on the lower surface of the wheel base.
被加工物がチャックテーブル２４によって吸引保持されると、ターンテーブル２２は回転して被加工物を加工ユニット３８の下方に位置付ける。その後、チャックテーブル２４及び研削ホイール４２を相互に回転させた状態で加工ユニット３８を下降させ、研削ホイール４２の研削砥石を被加工物に接触させると、被加工物が研削される。 When the workpiece is sucked and held by the chuck table 24, the turntable 22 rotates to position the workpiece under the machining unit 38. Thereafter, when the machining unit 38 is lowered while the chuck table 24 and the grinding wheel 42 are rotated relative to each other and the grinding wheel of the grinding wheel 42 is brought into contact with the workpiece, the workpiece is ground.
搬送ユニット２０と隣接する位置には、研削後の被加工物を吸引保持して旋回する搬送ユニット４４が設けられている。搬送ユニット４４の前方には、搬送ユニット４４で搬出された研削後の被加工物を洗浄する洗浄機構４６が配置されている。洗浄機構４６で洗浄された被加工物は搬送ユニット１４によって搬送され、カセット１６ｂに収容される。 At a position adjacent to the conveyance unit 20, a conveyance unit 44 that rotates by sucking and holding the workpiece after grinding is provided. In front of the conveyance unit 44, a cleaning mechanism 46 for cleaning the workpiece after grinding carried out by the conveyance unit 44 is disposed. The workpiece cleaned by the cleaning mechanism 46 is transported by the transport unit 14 and stored in the cassette 16b.
また、基台１２の側面側には、エアーを噴出するエアーブロー器４８が設けられている。エアーブロー器４８を手に持ち、被加工物に向けてエアーを噴出させることにより、被加工物に付着した液体（加工水等）や屑を除去できる。 Further, an air blower 48 for ejecting air is provided on the side surface side of the base 12. By holding the air blower 48 in the hand and ejecting air toward the workpiece, liquid (such as machining water) and debris attached to the workpiece can be removed.
また、基台１２の側面側には、電磁弁等によって構成されるバルブ５０ａ，５２ａ，５４ａ，５６ａが設けられている。バルブ５０ａ，５２ａ，５４ａ，５６ａはそれぞれ、加工装置１０に含まれる部品への流体（水、エアー等）の供給を制御する。例えば、エアーブロー器４８へのエアーの供給はバルブ５０ａによって制御される。 Further, on the side surface side of the base 12, valves 50a, 52a, 54a, and 56a configured by electromagnetic valves or the like are provided. The valves 50a, 52a, 54a, and 56a control the supply of fluid (water, air, etc.) to the components included in the processing apparatus 10, respectively. For example, the supply of air to the air blower 48 is controlled by the valve 50a.
図２は、加工装置１０の外観を示す斜視図である。図２に示すように、加工装置１０の構成要素（部品）はカバー５８によって覆われる。 FIG. 2 is a perspective view showing the appearance of the processing apparatus 10. As shown in FIG. 2, the components (parts) of the processing apparatus 10 are covered with a cover 58.
カバー５８の正面側には、ユーザーインターフェースとなるタッチパネル式のモニター６０が設けられており、ユーザーはモニター６０をタッチすることにより種々の情報を入力できる。また、モニター６０はカバー５８の内部に設けられたコンピュータ６２と接続されており、コンピュータ６２によってモニター６０に表示される画像の制御やモニター６０から入力された情報の処理などが行われる。また、コンピュータ６２は加工装置１０の動作を制御する制御部として機能する。 A touch panel monitor 60 serving as a user interface is provided on the front side of the cover 58, and the user can input various information by touching the monitor 60. The monitor 60 is connected to a computer 62 provided inside the cover 58, and the computer 62 controls the image displayed on the monitor 60 and processes information input from the monitor 60. Further, the computer 62 functions as a control unit that controls the operation of the processing apparatus 10.
加工装置１０の設計、評価、メンテナンス等の際には、加工装置１０を構成する部品の位置や構造などを把握するために、ＣＡＤによって３次元で表された図（３次元ＣＡＤ図）が参照される。図３は、加工装置１０の３次元ＣＡＤ図７０を示す図である。３次元ＣＡＤ図７０は、図１に示す加工装置１０を構成する複数の部品の配置がＣＡＤによって３次元で表された設計図である。 When designing, evaluating, and maintaining the processing apparatus 10, refer to a three-dimensional CAD diagram (three-dimensional CAD diagram) in order to grasp the position and structure of the parts that constitute the processing apparatus 10. Is done. FIG. 3 is a diagram showing a three-dimensional CAD diagram 70 of the processing apparatus 10. Three-dimensional CAD FIG. 70 is a design diagram in which the arrangement of a plurality of parts constituting the processing apparatus 10 shown in FIG. 1 is represented in three dimensions by CAD.
なお、図３には加工装置１０を構成する部品の一部を表す３次元ＣＡＤ図７０を示しているが、３次元ＣＡＤ図７０には加工装置１０の配管、配線等を含む他の部品がさらに表示されてもよい。 FIG. 3 shows a three-dimensional CAD diagram 70 showing a part of the components constituting the processing apparatus 10, but other parts including piping, wiring, etc. of the processing apparatus 10 are shown in the three-dimensional CAD diagram 70. Further, it may be displayed.
３次元ＣＡＤ図７０は加工装置１０の構造を３次元で表しており、加工装置１０を拡大、縮小、回転して表示することも可能である。そのため、３次元ＣＡＤ図７０を参照することにより、加工装置１０を構成する部品の位置や構造を容易に把握できる。一方、加工装置１０を構成する個々の部品の機能や接続関係などを正確に把握するためには、加工装置１０に含まれる配管や配線の系統を表す系統図を参照することが好ましい。 The three-dimensional CAD diagram 70 represents the structure of the processing apparatus 10 in three dimensions, and the processing apparatus 10 can be displayed in an enlarged, reduced, or rotated manner. Therefore, by referring to the three-dimensional CAD diagram 70, it is possible to easily grasp the position and structure of the parts constituting the processing apparatus 10. On the other hand, in order to accurately grasp the functions and connection relationships of the individual components constituting the processing apparatus 10, it is preferable to refer to a system diagram representing a piping and wiring system included in the processing apparatus 10.
図４は、加工装置１０の系統図７２を示す図である。系統図７２は、加工装置１０の配管及び配線の系統の一部を表す系統図である。図４に示すように、系統図７２には記号で表されたバルブ５０ｂ，５２ｂ，５４ｂ，５６ｂが含まれる。 FIG. 4 is a diagram showing a system diagram 72 of the processing apparatus 10. The system diagram 72 is a system diagram showing a part of the piping and wiring system of the processing apparatus 10. As shown in FIG. 4, the system diagram 72 includes valves 50b, 52b, 54b, and 56b represented by symbols.
系統図７２に含まれるバルブ５０ｂ，５２ｂ，５４ｂ，５６ｂはそれぞれ、図３に示す３次元ＣＡＤ図７０で表された加工装置１０のバルブ５０ａ，５２ａ，５４ａ，５６ａに対応する。しかしながら、系統図７２のみを参照してもバルブ５０ｂ，５２ｂ，５４ｂ，５６ｂがそれぞれ加工装置１０のどの位置に配置されているかを瞬時に把握することは困難である。そのため、例えば部品交換の際などに対象となるバルブを系統図７２上で指定された場合、対応するバルブを加工装置１０上で特定する作業に時間が費やされ、部品交換の作業が滞る原因になる。 The valves 50b, 52b, 54b, and 56b included in the system diagram 72 correspond to the valves 50a, 52a, 54a, and 56a of the processing apparatus 10 represented by the three-dimensional CAD diagram 70 shown in FIG. However, even if only the system diagram 72 is referred to, it is difficult to instantly grasp at which position of the processing apparatus 10 the valves 50b, 52b, 54b, 56b are respectively arranged. For this reason, for example, when a target valve is designated on the system diagram 72 at the time of parts replacement, it takes time to identify the corresponding valve on the processing apparatus 10, causing a delay in the part replacement work. become.
他方、３次元ＣＡＤ図７０を参照して指定された所定の部品の機能や接続関係等を正確に把握するため、対応する部品を系統図７２上で確認する作業が必要となる場合がある。しかしながら、上記の通り３次元ＣＡＤ図７０に含まれる部品と系統図７２に含まれる部品との対応関係を瞬時に把握することは困難であり、３次元ＣＡＤ図７０上で指定された部品を系統図７２上で特定するために煩雑な作業が必要となる。 On the other hand, in order to accurately grasp the function and connection relationship of a predetermined part designated with reference to the three-dimensional CAD diagram 70, it is sometimes necessary to check the corresponding part on the system diagram 72. However, as described above, it is difficult to instantly grasp the correspondence between the parts included in the three-dimensional CAD diagram 70 and the parts included in the system diagram 72, and the parts specified on the three-dimensional CAD diagram 70 are systematized. In order to specify on FIG. 72, complicated work is required.
そこで、本実施形態に係る表示システムでは、加工装置１０の構造を３次元で表す３次元ＣＡＤ図に含まれる部品と、加工装置１０の系統を表す系統図に含まれる部品とを対応付け、一方の図で所定の部品が指定された際に他方の図で対応する部品を識別可能に表示する。これにより、３次元ＣＡＤ図と系統図とで相互に対応する部品を容易に把握することが可能となる。 Therefore, in the display system according to the present embodiment, the parts included in the three-dimensional CAD diagram representing the structure of the processing apparatus 10 in three dimensions are associated with the parts included in the system diagram representing the system of the processing apparatus 10. When a predetermined part is designated in the figure, the corresponding part is displayed in an identifiable manner in the other figure. Thereby, it is possible to easily grasp the mutually corresponding parts in the three-dimensional CAD diagram and the system diagram.
図５は、本実施形態に係る表示システム８０の構成例を示すブロック図である。表示システム８０は、加工装置１０の構造を３次元で表す３次元ＣＡＤ図と、加工装置の系統を加工装置に備えられた複数の部品によって表す系統図とを記憶する記憶部８２を備える。記憶部８２に記憶される３次元ＣＡＤ図及び系統図には、それぞれ加工装置１０を構成する複数の部品が含まれている。以下では主に、図３に示す３次元ＣＡＤ図７０のデータと図４に示す系統図７２のデータとが記憶部８２に記憶された例について説明する。 FIG. 5 is a block diagram illustrating a configuration example of the display system 80 according to the present embodiment. The display system 80 includes a storage unit 82 that stores a three-dimensional CAD diagram that represents the structure of the processing apparatus 10 in three dimensions, and a system diagram that represents the system of the processing apparatus by a plurality of components provided in the processing apparatus. Each of the three-dimensional CAD diagram and the system diagram stored in the storage unit 82 includes a plurality of parts constituting the processing apparatus 10. Hereinafter, an example in which the data of the three-dimensional CAD diagram 70 shown in FIG. 3 and the data of the system diagram 72 shown in FIG. 4 are stored in the storage unit 82 will be mainly described.
なお、記憶部８２に記憶される系統図に制限はなく、加工装置１０の系統を加工装置１０に備えられた部品によって表すものであれば自由に選択できる。例えば、加工装置１０の配管計装図（Ｐ＆ＩＤ：Piping and Instrument Diagram）、加工装置１０の配管の系統を表す配管系統図、加工装置１０の電気配線の系統を表す配線系統図、配管の系統と電気配線の系統とを同時に表す配管配線系統図など、様々な系統図を記憶部８２に記憶させることができる。また、系統図は２次元の図であっても３次元の図であってもよい。 The system diagram stored in the storage unit 82 is not limited, and can be freely selected as long as the system of the processing apparatus 10 is represented by components provided in the processing apparatus 10. For example, a piping instrumentation diagram (P & ID: Piping and Instrument Diagram) of the processing apparatus 10, a piping system diagram representing a piping system of the processing apparatus 10, a wiring system diagram representing an electrical wiring system of the processing apparatus 10, and a piping system Various system diagrams can be stored in the storage unit 82, such as a pipe wiring system diagram that simultaneously represents the electrical wiring system. The system diagram may be a two-dimensional diagram or a three-dimensional diagram.
さらに、記憶部８２には３次元ＣＡＤ図に含まれる部品と系統図に含まれる部品とを対応付ける対応情報が記憶される。例えば、３次元ＣＡＤ図７０と系統図７２とで対応する部品に共通の部品番号を付し、この部品番号を対応情報として記憶部８２に記憶することができる。 Furthermore, the storage unit 82 stores correspondence information that associates the components included in the three-dimensional CAD diagram with the components included in the system diagram. For example, a common part number is attached to the corresponding parts in the three-dimensional CAD diagram 70 and the system diagram 72, and the part number can be stored in the storage unit 82 as correspondence information.
具体的には、３次元ＣＡＤ図７０に含まれるバルブ５０ａ（図３参照）と系統図７２に含まれるバルブ５０ｂ（図４参照）とが対応する場合、これらのバルブに同一の部品番号を付し、バルブ５０ａとバルブ５０ｂとが該部品番号によって対応付けられた情報が記憶部８２に対応情報として記憶される。ただし、部品の対応付けが可能であれば対応情報の内容に制限はない。 Specifically, when the valve 50a (see FIG. 3) included in the three-dimensional CAD diagram 70 corresponds to the valve 50b (see FIG. 4) included in the system diagram 72, the same part number is assigned to these valves. Then, information in which the valve 50a and the valve 50b are associated with each other by the part number is stored in the storage unit 82 as correspondence information. However, the content of the correspondence information is not limited as long as the parts can be associated.
また、表示システム８０は、記憶部８２に記憶された３次元ＣＡＤ図及び系統図を表示する表示部８４と、表示部８４に表示された加工装置の部品を指定する指定情報が入力される入力部８６とを備える。図６は、表示部８４に表示される画像の一例である、画像８４ａを示す図である。図６に示すように、表示部８４には３次元ＣＡＤ図７０と系統図７２とを含む画像８４ａが表示される。 The display system 80 also includes a display unit 84 that displays a three-dimensional CAD diagram and a system diagram stored in the storage unit 82, and an input that receives designation information that designates a part of the processing device displayed on the display unit 84. Part 86. FIG. 6 is a diagram illustrating an image 84 a that is an example of an image displayed on the display unit 84. As shown in FIG. 6, an image 84 a including a three-dimensional CAD diagram 70 and a system diagram 72 is displayed on the display unit 84.
なお、図６では加工装置１０に含まれる部品の一部を示す系統図７２が表示されているが、表示部８４には加工装置１０に含まれる配管及び配線を含む全ての部品を示す系統図を表示してもよい。また、表示部８４は３次元ＣＡＤ図７０及び系統図７２の一方のみを選択的に表示するものであってもよい。 In FIG. 6, a system diagram 72 showing a part of the parts included in the processing apparatus 10 is displayed, but the display unit 84 shows a system diagram showing all parts including piping and wiring included in the processing apparatus 10. May be displayed. Further, the display unit 84 may selectively display only one of the three-dimensional CAD diagram 70 and the system diagram 72.
入力部８６には、表示部８４に表示された３次元ＣＡＤ図７０又は系統図７２に含まれる所定の部品を指定する指定情報が入力される。例えば、加工装置１０に含まれる特定の部品を交換する際などに、その部品を指定する情報が入力部８６に入力される。入力部８６に入力された指定情報は、処理部８８に出力される。 Designation information for designating a predetermined part included in the three-dimensional CAD diagram 70 or the system diagram 72 displayed on the display unit 84 is input to the input unit 86. For example, when a specific part included in the processing apparatus 10 is exchanged, information for designating the part is input to the input unit 86. The designation information input to the input unit 86 is output to the processing unit 88.
なお、表示部８４及び入力部８６は例えばタッチパネルによって構成できる。この場合、該タッチパネルには３次元ＣＡＤ図７０と系統図７２とが表示され、オペレーターは表示された３次元ＣＡＤ図７０又は系統図７２に含まれる部品を選択してその部品の表示領域をタッチすることにより指定情報を入力できる。 The display unit 84 and the input unit 86 can be configured by a touch panel, for example. In this case, a three-dimensional CAD diagram 70 and a system diagram 72 are displayed on the touch panel, and the operator selects a part included in the displayed three-dimensional CAD diagram 70 or the system diagram 72 and touches the display area of the part. By doing so, the designation information can be input.
処理部８８は、入力部８６から入力された指定情報に基づき、３次元ＣＡＤ図７０及び系統図７２の一方で指定された所定の部品に対応し、３次元ＣＡＤ図７０及び系統図７２の他方で示された部品を選択する。具体的には、表示部８４に表示された系統図７２に含まれる所定の部品が指定されると、処理部８８はその部品に対応する３次元ＣＡＤ図７０上の部品を選択する。同様に、表示部８４に表示された３次元ＣＡＤ図７０に含まれる所定の部品が指定されると、処理部８８はその部品に対応する系統図７２上の部品を選択する。 Based on the designation information input from the input unit 86, the processing unit 88 corresponds to a predetermined part designated in one of the three-dimensional CAD diagram 70 and the system diagram 72, and the other of the three-dimensional CAD diagram 70 and the system diagram 72. Select the part indicated by. Specifically, when a predetermined part included in the system diagram 72 displayed on the display unit 84 is designated, the processing unit 88 selects a part on the three-dimensional CAD diagram 70 corresponding to the part. Similarly, when a predetermined part included in the three-dimensional CAD diagram 70 displayed on the display unit 84 is designated, the processing unit 88 selects a part on the system diagram 72 corresponding to the part.
処理部８８による部品の選択は、記憶部８２に記憶された対応情報を参照して行われる。例えば、３次元ＣＡＤ図７０に含まれる部品と系統図７２に含まれる部品とを対応付ける部品番号が対応情報として記憶部８２に記憶されており、表示部８４に表示された系統図７２に含まれるバルブ５０ｂを指定する指定情報が入力部８６から入力された場合、処理部８８は記憶部８２に記憶された部品番号を参照して、バルブ５０ｂに対応する３次元ＣＡＤ図７０上の部品であるバルブ５０ａを選択する。 The selection of the component by the processing unit 88 is performed with reference to the correspondence information stored in the storage unit 82. For example, a part number that associates a part included in the three-dimensional CAD diagram 70 with a part included in the system diagram 72 is stored in the storage unit 82 as correspondence information, and is included in the system diagram 72 displayed on the display unit 84. When designation information for designating the valve 50b is input from the input unit 86, the processing unit 88 refers to the part number stored in the storage unit 82 and is a part on the three-dimensional CAD diagram 70 corresponding to the valve 50b. The valve 50a is selected.
処理部８８によって選択された部品の情報は表示部８４に出力され、表示部８４は選択された部品を３次元ＣＡＤ図７０及び系統図７２の他方上に識別可能に表示する。例えば、処理部８８によって３次元ＣＡＤ図７０に含まれるバルブ５０ａが選択された場合、表示部８４は３次元ＣＡＤ図７０に含まれるバルブ５０ａを変色、拡大、点滅等によって強調して表示する。 Information on the component selected by the processing unit 88 is output to the display unit 84, and the display unit 84 displays the selected component on the other of the three-dimensional CAD diagram 70 and the system diagram 72 in an identifiable manner. For example, when the processing unit 88 selects the valve 50a included in the three-dimensional CAD diagram 70, the display unit 84 displays the valve 50a included in the three-dimensional CAD diagram 70 with emphasis by discoloration, enlargement, blinking, or the like.
図７は、系統図７２上で指定された部品を３次元ＣＡＤ図７０上に識別可能に表示する画像８４ａを示す図である。例えば、系統図７２に含まれるバルブ５４ｂを指定する指定情報が入力部８６に入力されると、処理部８８は記憶部８２に記憶された対応情報を参照して３次元ＣＡＤ図７０に含まれるバルブ５４ａを選択し、選択した部品の情報を表示部８４に出力する。 FIG. 7 is a diagram showing an image 84a that displays the parts specified on the system diagram 72 in an identifiable manner on the three-dimensional CAD diagram 70. FIG. For example, when designation information for designating the valve 54b included in the system diagram 72 is input to the input unit 86, the processing unit 88 refers to the correspondence information stored in the storage unit 82 and is included in the three-dimensional CAD diagram 70. The valve 54 a is selected, and information on the selected part is output to the display unit 84.
処理部８８から表示部８４にバルブ５４ａを選択する情報が入力されると、表示部８４は選択されたバルブ５４ａが３次元ＣＡＤ図７０上で強調された画像８４ａを表示する。これにより、系統図７２に含まれるバルブ５４ｂが加工装置１０のどこに存在するのかを容易に把握できる。 When information for selecting the valve 54a is input from the processing unit 88 to the display unit 84, the display unit 84 displays an image 84a in which the selected valve 54a is highlighted on the three-dimensional CAD diagram 70. Thereby, it can be easily grasped where the valve 54b included in the system diagram 72 exists in the processing apparatus 10.
また、表示システム８０は図５に示すように、３次元ＣＡＤ図に基づいて、加工装置を構成する配管及び配線を含む各種の部品が記述された２次元の設計図（平面図、立面図など）を作成する２次元設計図作成部９０と、該２次元の設計図に基づいて、加工装置の系統を加工装置に備えられた複数の部品によって表す系統図を作成する系統図作成部９２と、を更に備える。 Further, as shown in FIG. 5, the display system 80 is a two-dimensional design drawing (plan view, elevation view) in which various parts including piping and wiring constituting the processing apparatus are described based on a three-dimensional CAD diagram. And a system diagram creating unit 92 that creates a system diagram representing the system of the processing apparatus by a plurality of parts provided in the processing apparatus based on the 2D design diagram. And further comprising.
２次元設計図作成部９０は、記憶部８２に記憶された３次元ＣＡＤ図に基づいて２次元の設計図を形成し、該２次元の設計図を記憶部８２に記憶する。そして、系統図作成部９２は、２次元設計図作成部９０によって作成され記憶部８２に記憶された２次元の設計図に基づいて系統図を作成し、該系統図を記憶部８２に記憶する。このように、表示システム８０は２次元設計図作成部９０及び系統図作成部９２を備えることにより、系統図を自ら作成することが可能となる。 The two-dimensional design drawing creating unit 90 forms a two-dimensional design drawing based on the three-dimensional CAD diagram stored in the storage unit 82 and stores the two-dimensional design drawing in the storage unit 82. The system diagram creation unit 92 creates a system diagram based on the 2D design diagram created by the 2D design diagram creation unit 90 and stored in the storage unit 82, and stores the system diagram in the storage unit 82. . As described above, the display system 80 includes the two-dimensional design drawing creation unit 90 and the system diagram creation unit 92, so that the system diagram can be created by itself.
なお、上記では系統図作成部９２が２次元の設計図に基づいて系統図を作成する例を示したが、系統図作成部９２は３次元ＣＡＤ図に基づいて系統図を作成する機能を備えていてもよい。この場合、２次元設計図作成部９０は省略することができ、記憶部８２に記憶された３次元ＣＡＤ図は系統図作成部９２に入力される。また、表示システム８０に系統図を作成する機能を搭載する必要がない場合は、２次元設計図作成部９０及び系統図作成部９２を省略できる。 In the above description, an example in which the system diagram creation unit 92 creates a system diagram based on a two-dimensional design diagram has been shown. However, the system diagram creation unit 92 has a function of creating a system diagram based on a three-dimensional CAD diagram. It may be. In this case, the two-dimensional design drawing creation unit 90 can be omitted, and the three-dimensional CAD diagram stored in the storage unit 82 is input to the system diagram creation unit 92. If the display system 80 does not need to have a function for creating a system diagram, the two-dimensional design drawing creation unit 90 and the system diagram creation unit 92 can be omitted.
次に、表示システム８０の具体的な動作例について説明する。図８は、表示システム８０の動作例を示すフローチャートである。以下では一例として、系統図７２に含まれる部品が指定され、３次元ＣＡＤ図７０に含まれる部品を識別可能に表示する例について説明する。 Next, a specific operation example of the display system 80 will be described. FIG. 8 is a flowchart illustrating an operation example of the display system 80. Hereinafter, as an example, an example will be described in which parts included in the system diagram 72 are designated and the parts included in the three-dimensional CAD diagram 70 are displayed in an identifiable manner.
まず、３次元ＣＡＤ図７０及び系統図７２を含む画像８４ａ（図６参照）が表示部８４によって表示される（ステップＳ１）。その後、オペレーターは表示部８４に表示された系統図７２に含まれる部品から所定の部品を選択し、該部品を指定する指定情報を入力部８６に入力する。そして、入力部８６はこの指定情報を処理部８８に出力する。これにより、系統図７２に含まれる所定の部品を指定する指定情報が処理部８８に入力される（ステップＳ２）。 First, an image 84a (see FIG. 6) including a three-dimensional CAD diagram 70 and a system diagram 72 is displayed by the display unit 84 (step S1). Thereafter, the operator selects a predetermined part from the parts included in the system diagram 72 displayed on the display unit 84, and inputs designation information for designating the part to the input unit 86. Then, the input unit 86 outputs this designation information to the processing unit 88. Thereby, designation information for designating a predetermined part included in the system diagram 72 is input to the processing unit 88 (step S2).
処理部８８に指定情報が入力されると、処理部８８は系統図７２上で指定された部品に対応する３次元ＣＡＤ図７０上の部品を選択する（ステップＳ３）。記憶部８２には予め３次元ＣＡＤ図７０に含まれる部品と系統図７２に含まれる部品とを対応付ける部品番号などが対応情報として記憶されており、処理部８８はこの対応情報を参照して部品を選択する。例えば、系統図７２に含まれるバルブ５４ｂが指定された場合、処理部８８はバルブ５４ｂに対応する３次元ＣＡＤ図７０上の部品であるバルブ５４ａを選択する。 When the designation information is input to the processing unit 88, the processing unit 88 selects a part on the three-dimensional CAD diagram 70 corresponding to the part designated on the system diagram 72 (step S3). In the storage unit 82, a part number or the like for associating a part included in the three-dimensional CAD diagram 70 with a part included in the system diagram 72 is stored in advance as correspondence information. Select. For example, when the valve 54b included in the system diagram 72 is designated, the processing unit 88 selects the valve 54a which is a part on the three-dimensional CAD diagram 70 corresponding to the valve 54b.
処理部８８によって選択された部品の情報は表示部８４に出力される。そして、表示部８４は選択された部品を３次元ＣＡＤ図７０上で強調して表示する（ステップＳ４）。なお、部品の強調の方法に制限はなく、部品の色を変える等、選択された部品が３次元ＣＡＤ図７０上で他の部品と区別できるように表示されればよい。例えば、処理部８８によってバルブ５４ａが選択された場合、図７に示すようにバルブ５４ａが変色によって強調される。 Information on the component selected by the processing unit 88 is output to the display unit 84. Then, the display unit 84 highlights and displays the selected part on the three-dimensional CAD diagram 70 (step S4). Note that there is no limitation on the method for highlighting the component, and it is sufficient that the selected component is displayed on the three-dimensional CAD diagram 70 so that it can be distinguished from other components, such as changing the color of the component. For example, when the valve 54a is selected by the processing unit 88, the valve 54a is emphasized by discoloration as shown in FIG.
以上の動作により、系統図７２で示された所定の部品を３次元ＣＡＤ図７０上に識別可能に表示できる。これにより、系統図７２で指定された部品が加工装置１０のどの位置に配置されているかを容易に把握することができる。なお、ここでは系統図７２で示された特定の部品を３次元ＣＡＤ図７０上に識別可能に表示する例について説明したが、同様の動作によって３次元ＣＡＤ図７０で示された特定の部品を系統図７２上に識別可能に表示することもできる。 With the above operation, the predetermined part shown in the system diagram 72 can be displayed on the three-dimensional CAD diagram 70 in an identifiable manner. Thereby, it is possible to easily grasp at which position of the processing apparatus 10 the parts specified in the system diagram 72 are arranged. Here, an example in which the specific part shown in the system diagram 72 is displayed in an identifiable manner on the three-dimensional CAD diagram 70 has been described, but the specific part shown in the three-dimensional CAD diagram 70 is displayed by the same operation. It can also be displayed on the system diagram 72 in an identifiable manner.
以上の通り、本実施形態に係る表示システム８０は、加工装置の構造を３次元で表す３次元ＣＡＤ図に含まれる部品と、加工装置１０の系統を表す系統図に含まれる部品とを対応付け、一方の図で所定の部品が指定された際に他方の図で対応する部品を識別可能に表示する。これにより、系統図に含まれる部品と加工装置に搭載された部品との対応関係を容易に確認することが可能となる。 As described above, the display system 80 according to the present embodiment associates parts included in the three-dimensional CAD diagram that represents the structure of the processing apparatus in three dimensions with parts included in the system diagram that represents the system of the processing apparatus 10. When a predetermined part is designated in one figure, the corresponding part is displayed in an identifiable manner in the other figure. This makes it possible to easily confirm the correspondence between the components included in the system diagram and the components mounted on the processing apparatus.
なお、図２に示す加工装置１０には、上記の表示システム８０が搭載されている。具体的には、カバー５８の正面側に設けられたタッチパネル式のモニター６０は、加工装置１０の３次元の構造を示す３次元ＣＡＤ図と、加工装置１０の系統を示す系統図とを表示する表示部８４として機能する。また、モニター６０は、３次元ＣＡＤ図又は系統図に含まれる所定の部品を指定する指定情報をタッチによって入力可能な入力部８６としても機能する。 2 is mounted with the display system 80 described above. Specifically, the touch panel monitor 60 provided on the front side of the cover 58 displays a three-dimensional CAD diagram showing the three-dimensional structure of the processing apparatus 10 and a system diagram showing the system of the processing apparatus 10. It functions as the display unit 84. The monitor 60 also functions as an input unit 86 that can input designation information for designating predetermined components included in the three-dimensional CAD diagram or system diagram.
また、カバー５８の内部設けられたコンピュータ６２は、ＣＰＵ等によって構成されるプロセッサと、プロセッサによる演算に用いられる各種のデータやプログラムが記憶されるメモリとを備える。そして、コンピュータ６２のプロセッサは表示システム８０の処理部８８として機能し、コンピュータ６２のメモリは表示システム８０の記憶部８２として機能する。さらに、コンピュータ６２のプロセッサは、２次元設計図作成部９０及び系統図作成部９２の処理を実行する機能を備えていてもよい。 The computer 62 provided in the cover 58 includes a processor constituted by a CPU and the like, and a memory storing various data and programs used for computations by the processor. The processor of the computer 62 functions as the processing unit 88 of the display system 80, and the memory of the computer 62 functions as the storage unit 82 of the display system 80. Further, the processor of the computer 62 may have a function of executing the processes of the two-dimensional design drawing creation unit 90 and the system diagram creation unit 92.
このように、本実施形態に係る加工装置１０には表示システム８０が内蔵されており、加工装置１０は部品の位置・構造と、部品の機能・接続関係とを容易に確認可能とする機能を備えている。 As described above, the processing apparatus 10 according to the present embodiment includes the display system 80, and the processing apparatus 10 has a function that makes it possible to easily confirm the position / structure of the component and the function / connection relation of the component. I have.
なお、本実施形態では表示システム１０によって表示される加工装置が被加工物に研削加工を施す研削装置である場合について説明したが、表示システム８０によって表示される加工装置に制限はない。例えば、被加工物を切削する切削装置、被加工物を研磨する研磨装置、被加工物にレーザービームを照射するレーザー加工装置などを表示システム８０によって表示してもよい。 In the present embodiment, the case where the processing device displayed by the display system 10 is a grinding device that performs grinding on a workpiece has been described. However, the processing device displayed by the display system 80 is not limited. For example, the display system 80 may display a cutting device that cuts the workpiece, a polishing device that polishes the workpiece, a laser processing device that irradiates the workpiece with a laser beam, and the like.
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。 In addition, the structure, method, and the like according to the above-described embodiment can be appropriately modified and implemented without departing from the scope of the object of the present invention.
１０ 加工装置
１２ 基台
１２ａ 開口
１４ 搬送ユニット
１６ａ，１６ｂ カセット
１８ 位置調整機構
２０ 搬送ユニット
２２ ターンテーブル
２４ チャックテーブル
２６ 支持構造
２８ Ｚ軸移動機構
３０ Ｚ軸移動プレート
３２ Ｚ軸ガイドレール
３４ Ｚ軸ボールネジ
３６ Ｚ軸パルスモータ
３８ 加工ユニット
４０ スピンドルハウジング
４２ 研削ホイール
４４ 搬送ユニット
４６ 洗浄機構
４８ エアーブロー器
５０ａ，５２ａ，５４ａ，５６ａ バルブ
５０ｂ，５２ｂ，５４ｂ，５６ｂ バルブ
５８ カバー
６０ モニター
６２ コンピュータ
７０ ３次元ＣＡＤ図
７２ 系統図
８０ 表示システム
８２ 記憶部
８４ 表示部
８４ａ 画像
８６ 入力部
８８ 処理部
９０ ２次元設計図作成部
９２ 系統図作成部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Processing apparatus 12 Base 12a Opening 14 Conveyance unit 16a, 16b Cassette 18 Position adjustment mechanism 20 Conveyance unit 22 Turntable 24 Chuck table 26 Support structure 28 Z-axis movement mechanism 30 Z-axis movement plate 32 Z-axis guide rail 34 Z-axis ball screw 36 Z-axis pulse motor 38 Processing unit 40 Spindle housing 42 Grinding wheel 44 Transfer unit 46 Cleaning mechanism 48 Air blower 50a, 52a, 54a, 56a Valve 50b, 52b, 54b, 56b Valve 58 Cover 60 Monitor 62 Computer 70 Three-dimensional CAD Fig. 72 System diagram 80 Display system 82 Storage unit 84 Display unit 84a Image 86 Input unit 88 Processing unit 90 Two-dimensional design drawing creation unit 92 System diagram creation unit
Claims (4)
複数の該部品の配置を３次元で表す３次元ＣＡＤ図と、該加工装置の系統を複数の該部品によって表す系統図と、該３次元ＣＡＤ図に含まれる複数の該部品と該系統図に含まれる複数の該部品とを対応付ける対応情報と、を記憶する記憶部と、
該３次元ＣＡＤ図及び該系統図の一方に含まれる所定の該部品を指定する指定情報が入力される入力部と、
該３次元ＣＡＤ図及び該系統図の一方で指定された該部品に対応し、該３次元ＣＡＤ図及び該系統図の他方に示された該部品を、該対応情報を参照して選択する処理部と、
該処理部によって選択された該部品を、該３次元ＣＡＤ図及び該系統図の他方上に識別可能に表示する表示部と、を備えることを特徴とする表示システム。 A display system for displaying a plurality of parts constituting a processing apparatus,
A three-dimensional CAD diagram representing the arrangement of a plurality of parts in three dimensions, a system diagram representing a system of the processing apparatus by a plurality of the parts, a plurality of the parts included in the three-dimensional CAD diagram, and the system diagram A storage unit that stores correspondence information that associates a plurality of the components included;
An input unit for inputting designation information for designating predetermined parts included in one of the three-dimensional CAD diagram and the system diagram;
Processing corresponding to the part specified in one of the three-dimensional CAD diagram and the system diagram, and selecting the part shown in the other of the three-dimensional CAD diagram and the system diagram with reference to the correspondence information And
A display system comprising: a display unit that displays the component selected by the processing unit on the other of the three-dimensional CAD diagram and the system diagram in an identifiable manner.
該２次元の設計図に基づいて該系統図を作成する系統図作成部と、を更に備えることを特徴とする請求項１記載の表示システム。 A two-dimensional design drawing creation unit for creating a two-dimensional design drawing including a plurality of the parts constituting the processing device based on the three-dimensional CAD diagram;
The display system according to claim 1, further comprising: a system diagram creation unit that creates the system diagram based on the two-dimensional design drawing.
被加工物を加工する加工ユニットと、を備えることを特徴とする加工装置。 A display system according to any one of claims 1 to 3,
A processing apparatus comprising: a processing unit that processes a workpiece.
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