JP2019168328A - 半導体装置の検査方法及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
第1の実施形態の半導体装置の検査方法は、基板の上に載置された半導体チップ、又は、半導体チップの上に載置された金属部材に、基板の表面に対して傾斜する第1の方向から複数の互いに平行な線状の第1の光を照射し、第1の検査光が照射された半導体チップ、又は、第1の検査光が照射された金属部材の第1の画像を取得し、第1の画像に基づき、光切断法を用いて、半導体チップ、又は、金属部材の第1の計測を行う。また、基板の表面に対して傾斜し、第1の方向と異なる第2の方向から複数の互いに平行な線状の第2の検査光を照射し、第2の光が照射された半導体チップ、又は、第2の検査光が照射された金属部材の第2の画像を取得し、第2の画像に基づき、光切断法を用いて、半導体チップ、又は、金属部材の第2の計測を行う。
第2の実施形態の半導体装置の検査方法は、第1の3次元情報算出を行った後、第1の検査光のピッチよりも短いピッチを有する複数の互いに平行な線状の第3の検査光を照射し、第3の検査光が照射された半導体チップ、又は、第3の検査光が照射された金属部材の第3の画像を取得し、第3の画像に基づき、光切断法を用いて、半導体チップ、又は、金属部材の第3の3次元情報算出を行う点で、第1の実施形態と異なっている。以下、第1の実施形態と重複する内容については、一部記述を省略する。
第3の実施形態の半導体装置の製造方法は、リードフレームの上に半導体チップを載置し、半導体チップの上に金属部材を載置し、金属部材の載置の前、又は、金属部材の載置の後の少なくともいずれか一方で、半導体チップ、又は、金属部材に、リードフレームの表面に対して傾斜する第1の方向から複数の互いに平行な線状の第1の検査光を照射し、第1の検査光が照射された半導体チップ、又は、第1の検査光が照射された金属部材の第1の画像を取得し、第1の画像に基づき、光切断法を用いて、半導体チップ、又は、金属部材の第1の3次元情報算出を行ない、半導体チップ及び金属部材を樹脂により封止する。そして、半導体チップ及び金属部材を樹脂により封止する際に、金属部材の表面を樹脂の表面に露出させる。第3の実施形態の半導体装置の製造方法は、第1の実施形態、又は、第2の実施形態の半導体装置の検査方法を用いる。以下、第1の実施形態、又は、第2の実施形態と重複する内容については、一部記述を省略する。
12 半導体チップ
16 コネクタ(金属部材)
51 第1のLEDプロジェクタ(LEDプロジェクタ)
52 第2のLEDプロジェクタ(LEDプロジェクタ)
53 CCDカメラ
Claims (10)
- 基板の上に載置された半導体チップ、又は、前記半導体チップの上に載置された金属部材に、前記基板の表面に対して傾斜する第1の方向から複数の互いに平行な線状の第1の検査光を照射し、
前記第1の検査光が照射された前記半導体チップ、又は、前記第1の検査光が照射された前記金属部材の第1の画像を取得し、
前記第1の画像に基づき、光切断法を用いて、前記半導体チップ、又は、前記金属部材の第1の3次元情報算出を行う半導体装置の検査方法。 - 前記第1の3次元情報算出は、前記基板の表面を基準とする高さの算出、及び、前記基板の表面を基準とする傾斜の算出を含む請求項1記載の半導体装置の検査方法。
- 前記基板の表面に対して傾斜し、前記第1の方向と異なる第2の方向から複数の互いに平行な線状の第2の検査光を照射し、
前記第2の検査光が照射された前記半導体チップ、又は、前記第2の検査光が照射された前記金属部材の第2の画像を取得し、
前記第2の画像に基づき、光切断法を用いて、前記半導体チップ、又は、前記金属部材の第2の3次元情報算出を行う請求項1又は請求項2記載の半導体装置の検査方法。 - 前記第1の3次元情報算出を行った後、前記第1の検査光のピッチよりも短いピッチを有する複数の互いに平行な線状の第3の検査光を照射し、
前記第3の検査光が照射された前記半導体チップ、又は、前記第3の検査光が照射された前記金属部材の第3の画像を取得し、
前記第3の画像に基づき、光切断法を用いて、前記半導体チップ、又は、前記金属部材の第3の3次元情報算出を行う請求項1ないし請求項3いずれか一項記載の半導体装置の検査方法。 - 前記第1の画像の取得は、CCD(Charge Coupled Device)カメラにより行う請求項1ないし請求項4いずれか一項記載の半導体装置の検査方法。
- 前記第1の画像の取得は、前記基板の法線方向に設けられた前記CCDカメラにより行う請求項5記載の半導体装置の検査方法。
- 前記第1の検査光の照射は、LED(Light Emitting Diode)プロジェクタにより行う請求項1ないし請求項6いずれか一項記載の半導体装置の検査方法。
- リードフレームの上に半導体チップを載置し、
前記半導体チップの上に金属部材を載置し、
前記金属部材の載置の前、又は、前記金属部材の載置の後の少なくともいずれか一方で、前記半導体チップ、又は、前記金属部材に、前記リードフレームの表面に対して傾斜する第1の方向から複数の互いに平行な線状の第1の検査光を照射し、前記第1の検査光が照射された前記半導体チップ、又は、前記第1の検査光が照射された前記金属部材の第1の画像を取得し、前記第1の画像に基づき、光切断法を用いて、前記半導体チップ、又は、前記金属部材の第1の3次元情報算出を行ない、
前記第1の3次元情報算出を行った後に、前記半導体チップ及び前記金属部材を樹脂により封止する半導体装置の製造方法。 - 前記半導体チップ及び前記金属部材を前記樹脂により封止する際に、前記金属部材の表面を前記樹脂の表面に露出させる請求項8記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の3次元情報算出は、前記リードフレームの表面を基準とする高さの算出、及び、前記リードフレームの表面を基準とする傾斜の算出を含む請求項8又は請求項9記載の半導体装置の製造方法。
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