JP2019161053A - Cooling apparatus and inspection device - Google Patents

Abstract

To provide a cooling apparatus capable of uniformity cooling a prescribed cooling range, and effectively cooling a specific component or the like provided in the cooling range.SOLUTION: A cooling apparatus 15 arranged in a housing 2 or the like of an inspection device 1, includes a pipe part 16 and an adjustment member 18. In the pipe part, one end part is connected to a supply source of a cooling air, the other end is closed, and a plurality of holes 17 is formed while having an interval in a longitudinal direction. The adjustment member 18 is selectively arranged in an inner part of the pipe part from the other hole adjacent to a downstream side of a hole in which an air capacity of the cooling air is increased. Since an air capacity from a hole on an upstream side is increased, a component or the like arranged therein is more strongly cooled. The air capacity from the plurality of holes is averaged as compared to the case where there is no adjustment member, and can cool inside the housing uniformly.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、簡単な構造でありながら、所定の範囲を均一に冷却できるとともに、冷却する位置や冷却の程度を必要に応じて任意に調整することができる冷却装置と、係る冷却装置を筐体内に備えた検査装置に関するものである。   The present invention provides a cooling device capable of uniformly cooling a predetermined range while being simple in structure, and capable of arbitrarily adjusting the cooling position and the degree of cooling as required, and the cooling device in the casing. It is related with the inspection apparatus with which it prepared.

下記特許文献１には、冷却装置を備えた組合せ計量装置の発明が開示されている。この発明の組合せ計量装置は、測定駆動部４０に複数のホッパ等が設けられており、ホッパの開閉駆動により熱が発生する。発生した熱は、測定駆動部４０に連結された循環路Ａ及び熱交換部４１からなる冷却装置で放熱される。循環路Ａの経路中にファン２８を設けることにより空気循環を促進できる。測定駆動部４０には温度検出器４４が設けられ、熱制御手段４２は検出した温度によってファン２８の回転数を制御する。熱交換部４１に除湿器を設ければ除湿を行うこともできる。測定制御部４０の内部で発生する熱を簡単な構成で放散することができ、計量精度、耐久性及び信頼性を向上させることができる。   The following Patent Document 1 discloses an invention of a combination weighing device provided with a cooling device. In the combination weighing device of the present invention, the measurement driving unit 40 is provided with a plurality of hoppers and the like, and heat is generated by opening and closing the hopper. The generated heat is radiated by the cooling device including the circulation path A and the heat exchange unit 41 connected to the measurement driving unit 40. By providing the fan 28 in the circulation path A, air circulation can be promoted. The measurement drive unit 40 is provided with a temperature detector 44, and the thermal control means 42 controls the rotational speed of the fan 28 according to the detected temperature. If a dehumidifier is provided in the heat exchange part 41, dehumidification can also be performed. The heat generated inside the measurement control unit 40 can be dissipated with a simple configuration, and the measurement accuracy, durability, and reliability can be improved.

下記特許文献２には、冷却装置を備えたＸ線異物検出装置の発明が開示されている。この発明のＸ線異物検出装置１では、温度センサ１４で検出した筐体３内の温度が所定温度以上である時、制御手段１０が制御弁１３を開として筐体３内にボルテックスチューブ１１で冷却空気を供給し、Ｘ線発生手段７を冷却する。同時にアクチュエータ２０が作動されて扉１６が駆動され、筐体３の排気口１５が開放される。筐体内の圧力上昇が抑えられ、排気によって冷却効率が向上する。不使用時にはアクチュエータは作動せず扉が排気口を閉止するので清掃時に内部に水が入ることはない。使用時に冷却空気が筐体内に供給されても筐体内の圧力が上昇せず、内部の熱を効率的に排出でき、清掃時に筐体内へ水分が浸入しない。   Patent Document 2 below discloses an invention of an X-ray foreign object detection device provided with a cooling device. In the X-ray foreign matter detection apparatus 1 according to the present invention, when the temperature in the housing 3 detected by the temperature sensor 14 is equal to or higher than a predetermined temperature, the control means 10 opens the control valve 13 and opens the vortex tube 11 in the housing 3. Cooling air is supplied to cool the X-ray generation means 7. At the same time, the actuator 20 is actuated to drive the door 16 and the exhaust port 15 of the housing 3 is opened. An increase in pressure in the housing is suppressed, and cooling efficiency is improved by exhaust. When not in use, the actuator does not operate and the door closes the exhaust port, so water does not enter the interior during cleaning. Even if cooling air is supplied into the casing during use, the pressure in the casing does not increase, the internal heat can be discharged efficiently, and moisture does not enter the casing during cleaning.

下記特許文献３には、冷却装置を備えた印刷基板収容ユニットの発明が開示されている。この発明の印刷基板収容ユニットは、大型コンピュータの外筺１に、ＣＰＵ１０などが実装された一乃至複数の印刷基板９が収納された構成となっている。この外筺１の前面に設けられたパネル５には、一乃至複数個のパイプ導入口１１が設けられている。このパイプ導入口１１から、印刷基板９の所望のＣＰＵ１０に対応する位置に通風穴１６が設けられた一乃至複数個の冷却パイプ１５が挿入され、冷却パイプ１５は外筺１内部で着脱自在に固定されている。冷却パイプ１５に冷却風を送り込む手段としては小型のファンを用いることができ、大型コンピュータの低騒音化を図ることができる。   Patent Document 3 listed below discloses an invention of a printed board housing unit provided with a cooling device. The printed circuit board housing unit of the present invention has a configuration in which one or a plurality of printed circuit boards 9 on which a CPU 10 or the like is mounted are housed in an outer casing 1 of a large computer. The panel 5 provided on the front surface of the outer casing 1 is provided with one or more pipe inlets 11. One or a plurality of cooling pipes 15 provided with ventilation holes 16 are inserted into the pipe substrate 11 at positions corresponding to the desired CPU 10 of the printed circuit board 9, and the cooling pipes 15 are detachable inside the outer casing 1. It is fixed. As a means for sending cooling air to the cooling pipe 15, a small fan can be used, and the noise of the large computer can be reduced.

特開２００１−２５５１９９号公報JP 2001-255199 A 特開２００９−３００３７９号公報JP 2009-300379 A 実開平５−３８９８７号公報Japanese Utility Model Publication No. 5-38987

上記特許文献１、２に記載された発明の冷却装置は、組合せ計量装置やＸ線異物検出装置の筐体内を全体として冷却するものであって、同装置の筐体内の特定位置又は箇所を選択的に冷却するものではない。   The cooling device of the invention described in Patent Documents 1 and 2 cools the entire housing of the combination weighing device and the X-ray foreign matter detection device, and selects a specific position or location in the housing of the device. It is not intended to cool.

また、上記特許文献３に記載された発明の冷却装置を構成する複数本の冷却パイプは、それぞれ筐体内に設けられた特定の印刷基板を冷却対象として筐体内の所定位置に所定の姿勢で設置されており、実施例では各冷却パイプは真上にある印刷基板に対して冷却気体を吹き付けるような配置で固定されている。従って、冷却対象又は冷却位置が変更になった場合には、冷却パイプの交換や配置変更が必要になる。   In addition, the plurality of cooling pipes constituting the cooling device of the invention described in Patent Document 3 are installed in a predetermined posture in a predetermined position in the casing with a specific printed circuit board provided in the casing as a cooling target. In the embodiment, each cooling pipe is fixed in such an arrangement that the cooling gas is blown against the printed board directly above. Therefore, when the cooling target or the cooling position is changed, it is necessary to replace the cooling pipe or change the arrangement.

本発明は、以上説明した従来の技術における課題に鑑みてなされたものであり、簡単な構造でありながら、所定の冷却範囲を均一に冷却できるとともに、冷却範囲内に設けられた特定の部品等を効果的に冷却できる冷却装置と、これを筐体内に設けた検査装置を提供することを目的としている。   The present invention has been made in view of the problems in the prior art described above, and while being a simple structure, the predetermined cooling range can be uniformly cooled, and specific parts provided in the cooling range, etc. It is an object of the present invention to provide a cooling device capable of effectively cooling the above and an inspection device provided with the same in a housing.

請求項１に記載された冷却装置１５は、
一端部が冷却気体の供給源に接続されるとともに他端部は閉止され、長手方向に間隔をおいて形成された複数の孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃを有する管部１６と、
前記孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃから前記管部１６の内部に選択的に配置される調節部材１８，１８ａ，１８ｂ，１８ｃと、
を具備することを特徴としている。 The cooling device 15 described in claim 1 includes:
A pipe section 16 having a plurality of holes 17, 17a, 17b, 17c formed at intervals in the longitudinal direction, with one end connected to a cooling gas supply source and the other end closed;
Adjusting members 18, 18a, 18b, 18c that are selectively disposed inside the pipe portion 16 from the holes 17, 17a, 17b, 17c;
It is characterized by comprising.

請求項２に記載された冷却装置１５は、請求項１に記載の冷却装置１５において、
前記調節部材１８，１８ａ，１８ｂ，１８ｃが、冷却気体の風量を増大させたい前記孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃの前記他端部側に隣接する他の前記孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃに設けられることを特徴としている。 The cooling device 15 according to claim 2 is the cooling device 15 according to claim 1,
The adjusting members 18, 18a, 18b, and 18c are formed in the other holes 17, 17a, 17b, and 17c adjacent to the other end side of the holes 17, 17a, 17b, and 17c where the air volume of the cooling gas is to be increased. It is characterized by being provided.

請求項３に記載された冷却装置１５は、請求項１又は２に記載の冷却装置１５において、
前記孔１７が丸孔１７ａであることを特徴としている。 The cooling device 15 according to claim 3 is the cooling device 15 according to claim 1 or 2,
The hole 17 is a round hole 17a.

請求項４に記載された冷却装置１５は、請求項１又は２に記載の冷却装置１５において、
前記孔１７がねじ孔１７ｂであることを特徴としている。 The cooling device 15 according to claim 4 is the cooling device 15 according to claim 1 or 2,
The hole 17 is a screw hole 17b.

請求項５に記載された検査装置１は、
請求項１乃至４に記載の冷却装置１５が筐体２内の所望の位置に設けられたことを特徴としている。 The inspection apparatus 1 according to claim 5 is:
The cooling device 15 according to claims 1 to 4 is provided at a desired position in the housing 2.

請求項１に記載された冷却装置１５によれば、供給源から管部１６に冷却気体を供給し、管部１６に形成された複数の孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃから、冷却対象である部品等又は所定の空間に対して冷却気体を噴射し、その温度を低下させることができる。   According to the cooling device 15 described in claim 1, the cooling gas is supplied from the supply source to the pipe portion 16, and the cooling target is supplied from the plurality of holes 17, 17 a, 17 b, and 17 c formed in the pipe portion 16. The cooling gas can be injected to the parts or the predetermined space, and the temperature can be lowered.

このように、長手方向に間隔をおいて複数の孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃが形成された管部１６の一端部から、閉止された他端部に向けて冷却気体を供給すると、管部１６の内径や孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃの内径等の諸条件によっては、各孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃから噴射される冷却気体の風量が一定にならず、冷却対象を均一かつ効率的に冷却することが困難となる場合がある。請求項１に記載された冷却装置１５では、そのような場合であっても、管部１６に形成された複数の孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃのうち、状況から必要と認められる孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃを選択し、その孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃから管部１６の内部に調節部材１８，１８ａ，１８ｂ，１８ｃを配置するものとした。このように調節部材１８，１８ａ，１８ｂ，１８ｃで管部１６内の冷却気体の流路を部分的に閉塞したため、調節部材１８，１８ａ，１８ｂ，１８ｃを設けた孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃよりも上流側の隣の孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃ、すなわち管部１６の一端部側の隣の孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃから噴射される冷却気体の風量が増加し、その結果として、複数の孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃからそれぞれ噴射される冷却気体の風量は、調節部材１８，１８ａ，１８ｂ，１８ｃを設けない場合に比べて均一化される。従って、調節部材１８，１８ａ，１８ｂ，１８ｃを設ける孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃを適宜に選択すれば、調節部材１８，１８ａ，１８ｂ，１８ｃを設けない複数の孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃから冷却対象に向けて吹き出す冷却気体の風量を可及的に均一化し、冷却を効率化し、冷却対象の全体について速やかな冷却効果を得ることができる。   In this way, when the cooling gas is supplied from one end of the tube portion 16 in which the plurality of holes 17, 17a, 17b, and 17c are formed at intervals in the longitudinal direction toward the other closed end, the tube portion Depending on various conditions such as the inner diameter of the holes 16 and the inner diameters of the holes 17, 17a, 17b, and 17c, the air volume of the cooling gas injected from the holes 17, 17a, 17b, and 17c is not constant. Cooling may become difficult. In the cooling device 15 described in claim 1, even in such a case, among the plurality of holes 17, 17 a, 17 b, and 17 c formed in the pipe portion 16, the holes 17 that are recognized as necessary from the situation. 17a, 17b, and 17c are selected, and the adjusting members 18, 18a, 18b, and 18c are arranged inside the pipe portion 16 through the holes 17, 17a, 17b, and 17c. As described above, the flow path of the cooling gas in the pipe portion 16 is partially blocked by the adjusting members 18, 18a, 18b, and 18c, so that the holes 17, 17a, 17b, and 17c provided with the adjusting members 18, 18a, 18b, and 18c are provided. As a result, the air volume of the cooling gas injected from the adjacent holes 17, 17a, 17b, 17c on the upstream side, that is, the adjacent holes 17, 17a, 17b, 17c on the one end side of the pipe portion 16 increases. The air volume of the cooling gas injected from the plurality of holes 17, 17a, 17b, and 17c is made uniform as compared with the case where the adjusting members 18, 18a, 18b, and 18c are not provided. Accordingly, if the holes 17, 17a, 17b, 17c in which the adjusting members 18, 18a, 18b, 18c are provided are appropriately selected, a plurality of holes 17, 17a, 17b, 17c in which the adjusting members 18, 18a, 18b, 18c are not provided. Thus, the air volume of the cooling gas blown out toward the cooling target can be made as uniform as possible, the cooling can be made efficient, and a quick cooling effect can be obtained for the entire cooling target.

より具体的に冷却装置１５の使用態様を説明する。例えば冷却対象が長手形状である場合には、冷却対象の長手方向に沿って冷却装置１５の管部１６を配置し、管部１６の複数の孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃを冷却対象と対面する方向に向け、調節部材１８，１８ａ，１８ｂ，１８ｃを、設置が必要な孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃに配置することにより、各孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃから冷却気体を均一に吹き出して冷却対象の全体に吹き付け、長手形状の冷却対象を均一かつ効率よく冷却することができる。   The usage mode of the cooling device 15 will be described more specifically. For example, when the object to be cooled has a longitudinal shape, the pipe part 16 of the cooling device 15 is disposed along the longitudinal direction of the object to be cooled, and the plurality of holes 17, 17 a, 17 b, and 17 c of the pipe part 16 face the object to be cooled. The adjustment members 18, 18a, 18b, 18c are arranged in the holes 17, 17a, 17b, 17c that need to be installed, so that the cooling gas is blown out uniformly from the holes 17, 17a, 17b, 17c. Thus, it is possible to spray the entire cooling object uniformly and efficiently to cool the cooling object having a long shape.

また、冷却対象が所定の空間である場合には、必要に応じて調節部材１８，１８ａ，１８ｂ，１８ｃを孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃに配置し、管部１６の複数の孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃを空間の上方に向ければ、熱が溜まり易い空間の上方に冷却気体を均一に供給することができ、空間内の空気を満遍なく攪拌して空間内を効率的に冷却することができる。   When the object to be cooled is a predetermined space, the adjustment members 18, 18a, 18b, 18c are arranged in the holes 17, 17a, 17b, 17c as necessary, and the plurality of holes 17, 17a of the pipe portion 16 are arranged. , 17b, 17c can be directed to the upper side of the space, so that the cooling gas can be uniformly supplied to the upper side of the space where heat easily accumulates, and the air in the space can be evenly stirred to efficiently cool the space. it can.

また、冷却対象が、冷却装置の管部に比べて小さいか又は短い部品等であり、筐体２内又は所定の空間内の特定位置に設けられており、管部１６に設けられた複数の孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃのうち、ある特定の孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃが、当該部品等の冷却に最も寄与すると考えられる位置及び向きを有している場合には、その孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃよりも下流側の隣の孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃ、すなわち管部１６の他端部側の隣の孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃに調節部材１８，１８ａ，１８ｂ，１８ｃを配置する。これにより、当該部品の冷却に最も有効な孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃから噴射される冷却気体の風量が増すので、当該部品を特に効果的に冷却することができる。   Further, the object to be cooled is a component that is smaller or shorter than the pipe portion of the cooling device, and is provided at a specific position in the housing 2 or in a predetermined space. Of the holes 17, 17a, 17b, and 17c, when a specific hole 17, 17a, 17b, and 17c has a position and an orientation that are considered to contribute most to the cooling of the component, the hole 17 , 17a, 17b, 17c on the downstream side of the adjacent holes 17, 17a, 17b, 17c, that is, the adjustment members 18, 18a, 18b in the adjacent holes 17, 17a, 17b, 17c on the other end side of the pipe part 16. , 18c. Thereby, since the air volume of the cooling gas injected from the holes 17, 17a, 17b, 17c most effective for cooling the component is increased, the component can be cooled particularly effectively.

請求項２に記載された冷却装置１５によれば、管部１６に設けられた複数の孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃのうち、ある特定の孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃからの冷却空気の風量を増大させたい場合は、その孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃよりも下流側の隣の孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃ、すなわち管部１６の他端部側の隣の孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃに調節部材１８，１８ａ，１８ｂ，１８ｃを配置する。これにより、前記特定の孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃから噴射される冷却気体の風量が増す。管部１６の配置が、前記特定の孔１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃからの冷却空気が特定の部品等に吹き付けられるようになっている場合には、上述したような調節部材１８，１８ａ，１８ｂ，１８ｃの配置によって当該部品等を特に効果的に冷却できる。   According to the cooling device 15 described in claim 2, the cooling air from the specific holes 17, 17 a, 17 b, and 17 c among the plurality of holes 17, 17 a, 17 b, and 17 c provided in the pipe portion 16. When it is desired to increase the air volume, the adjacent holes 17, 17a, 17b, 17c on the downstream side of the holes 17, 17a, 17b, 17c, that is, the adjacent holes 17, 17a, 17a, The adjusting members 18, 18a, 18b, 18c are arranged on 17b, 17c. Thereby, the air volume of the cooling gas injected from the specific holes 17, 17a, 17b, 17c is increased. When the cooling air from the specific holes 17, 17a, 17b, and 17c is blown to specific parts and the like, the adjustment members 18, 18a, and 18b as described above are arranged. , 18c can cool the parts and the like particularly effectively.

請求項３に記載された冷却装置１５によれば、管部１６の孔１７が丸孔１７ａであり、調節部材１８としては円柱形のピン１８ａ等を用いることができるため、孔１７に対する調節部材１８の挿入、抜脱が容易である。   According to the cooling device 15 described in claim 3, the hole 17 of the pipe portion 16 is a round hole 17 a, and a cylindrical pin 18 a or the like can be used as the adjustment member 18. 18 can be easily inserted and removed.

請求項４に記載された冷却装置１５によれば、管部１６の孔１７がねじ孔１７ｂであり、調節部材１８としてはねじ１８ｂを用いることができるため、孔１７に対する調節部材１８の挿入の程度を調節することにより、調節部材１８が管部１６の内部を閉塞する程度を調節して孔１７から吹き出す冷却気体の風量を所望の状態に設定することができる。   According to the cooling device 15 described in claim 4, since the hole 17 of the pipe portion 16 is the screw hole 17 b and the screw 18 b can be used as the adjustment member 18, the insertion of the adjustment member 18 into the hole 17 is possible. By adjusting the degree, the amount of the cooling gas blown out from the hole 17 can be set to a desired state by adjusting the degree by which the adjusting member 18 closes the inside of the pipe portion 16.

請求項５に記載された検査装置１によれば、請求項１乃至４に記載された冷却装置１５が、検査装置１の筐体２の内部で上述したような冷却効果を発揮することにより、検査装置１が作動中に発生する熱を効果的に冷却し、検査装置１の作動を安定かつ確実とし、もって検査の精度や効率を向上させることができる。   According to the inspection device 1 described in claim 5, the cooling device 15 described in claims 1 to 4 exhibits the cooling effect as described above inside the housing 2 of the inspection device 1. It is possible to effectively cool the heat generated during the operation of the inspection device 1 to make the operation of the inspection device 1 stable and reliable, thereby improving the accuracy and efficiency of the inspection.

本発明の実施形態における冷却装置の基本構造及び作用原理を示す模式的な断面図及び平面図である。It is typical sectional drawing and the top view which show the basic structure and action principle of the cooling device in embodiment of this invention. 本発明の実施形態における冷却装置の基本構造及び作用原理を示す模式的な断面図及び平面図である。It is typical sectional drawing and the top view which show the basic structure and action principle of the cooling device in embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る検査装置を紙面に平行な図中鉛直面で切断した模式的断面図である。It is typical sectional drawing which cut | disconnected the inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention in the vertical plane in the figure parallel to a paper surface. 本発明の実施形態における冷却装置の第１の構造例を示す図であり、分図（ａ）は図３の矢視（ａ）の方向から見た平面図、分図（ｂ）は分図（ａ）のａ−ａ切断線における断面図、分図（ｃ）は分図（ｂ）のｃ−ｃ切断線における断面図である。It is a figure which shows the 1st structural example of the cooling device in embodiment of this invention, a part figure (a) is the top view seen from the direction of arrow (a) of FIG. 3, and part figure (b) is a part figure Sectional drawing in the aa cutting | disconnection line of (a), A parting figure (c) is sectional drawing in the cc cutting | disconnection line of parting figure (b). 本発明の実施形態における冷却装置の第２の構造例を示す図であり、分図（ａ）は図３の矢視（ａ）の方向から見た平面図、分図（ｂ）は分図（ａ）のａ−ａ切断線における断面図、分図（ｃ）は分図（ｂ）のｃ−ｃ切断線における断面図である。It is a figure which shows the 2nd structural example of the cooling device in embodiment of this invention, a part figure (a) is the top view seen from the direction of arrow (a) of FIG. 3, and part figure (b) is a part figure Sectional drawing in the aa cutting | disconnection line of (a), A parting figure (c) is sectional drawing in the cc cutting | disconnection line of parting figure (b). 本発明の実施形態における冷却装置の第３の構造例を示す図であり、分図（ａ）は図３の矢視（ａ）の方向から見た平面図、分図（ｂ）は分図（ａ）のａ−ａ切断線における断面図、分図（ｃ）は分図（ｂ）のｃ−ｃ切断線における断面図である。It is a figure which shows the 3rd structural example of the cooling device in embodiment of this invention, a part figure (a) is the top view seen from the direction of arrow (a) of FIG. 3, and part figure (b) is a part figure Sectional drawing in the aa cutting | disconnection line of (a), A parting figure (c) is sectional drawing in the cc cutting | disconnection line of parting figure (b). 本発明の実施形態における冷却装置において調節部材を用いない場合の各孔からの風量を示す模式的な断面図及び平面図である。It is typical sectional drawing and top view which show the air volume from each hole in case the adjustment member is not used in the cooling device in embodiment of this invention.

以下、本発明の実施形態を図面を参照して具体的に説明する。
まず、模式的に表現した図１、図２及び図７を参照して実施形態に係る冷却装置の構造と原理を説明する。
図７に示すように、この冷却装置１５は、一端部が冷却気体の供給源に接続されるとともに他端部は閉止され、長手方向に間隔をおいて形成された複数の孔１７を有する管部１６を本体としている。この構成において、一端部から冷却空気を供給すると、管部１６の内径や孔１７の内径等の諸条件によっては、各孔１７から噴射される冷却気体の風量が一定にならず、図７に矢印で示すように、上流から下流に向かうに従って孔１７から吹き出す冷却気体の風量が徐々に大きくなっていき、各孔１７ごとの風量が一定にならない場合があることを本願発明者は見出した。従って、このような構造の管部１６のみによる冷却装置１５を検査装置の筐体内に設けても、筐体内を常に均一かつ効率的に冷却することは困難であると考えられる。 Embodiments of the present invention will be specifically described below with reference to the drawings.
First, the structure and principle of the cooling device according to the embodiment will be described with reference to FIGS. 1, 2, and 7 schematically represented.
As shown in FIG. 7, the cooling device 15 is a tube having a plurality of holes 17 that are connected at one end to a cooling gas supply source and closed at the other end, and are spaced apart in the longitudinal direction. The part 16 is the main body. In this configuration, when cooling air is supplied from one end, the air volume of the cooling gas injected from each hole 17 is not constant depending on various conditions such as the inner diameter of the pipe portion 16 and the inner diameter of the hole 17. As indicated by the arrows, the inventor of the present application has found that the air volume of the cooling gas blown out from the holes 17 gradually increases from upstream to downstream, and the air volume for each hole 17 may not be constant. Therefore, even if the cooling device 15 having only the tube portion 16 having such a structure is provided in the casing of the inspection apparatus, it is considered difficult to always uniformly and efficiently cool the inside of the casing.

そこで、実施形態の冷却装置１５では、管部１６に形成された複数の孔１７のうち、風量を増やしたい孔１７を選択し、その孔１７よりも下流側に向けて一つ隣の孔１７に調節部材を挿入して管部１６内に配置し、管部１６の内部を部分的に塞ぐこととした。   Therefore, in the cooling device 15 of the embodiment, the hole 17 for which the air volume is to be increased is selected from among the plurality of holes 17 formed in the pipe portion 16, and the hole 17 that is adjacent to the hole 17 is arranged downstream from the hole 17. The adjustment member was inserted into the tube portion 16 and placed in the tube portion 16 to partially close the inside of the tube portion 16.

図１に示すように、冷却気体の供給側である一端部（図中右側）から数えて２個目の孔１７に調節部材１８を配置すると、図７との比較から分かるように、この孔１７よりも上流側に一つ隣の孔１７からの風量が増加する。調節部材１８を配置した孔１７よりも下流側に一つ隣の孔１７からの風量は調節部材１８がない場合よりもやや少なくなるが、その他の下流側の孔１７からの風量は図７と比べて大きな変化はなく、全体として見れば、図１における各孔１７からの風量は、図７に示す状態よりも平均化している。   As shown in FIG. 1, when the adjusting member 18 is arranged in the second hole 17 counted from one end (the right side in the figure) that is the cooling gas supply side, as shown in the comparison with FIG. The air volume from the next adjacent hole 17 increases upstream from the 17. The air volume from the hole 17 immediately adjacent to the downstream side of the hole 17 where the adjusting member 18 is arranged is slightly smaller than that without the adjusting member 18, but the air volume from the other downstream holes 17 is as shown in FIG. Compared with the whole, the air volume from each hole 17 in FIG. 1 is averaged more than the state shown in FIG.

図２に示すように、冷却気体の供給側である一端部から２個目と４個目の２つの孔１７に調節部材１８を配置すると、図７との比較から分かるように、これらの孔１７よりも上流側の一つ隣にある二つの孔１７からの風量がそれぞれ増加する。最下流の孔１７からの風量は調節部材１８がない図７の場合と比べて大きな違いはなく、全体として見れば、図４における各孔１７からの風量は、図７に示す状態よりも平均化しており、図１に示す状態よりもさらに均一になっている。   As shown in FIG. 2, when adjusting members 18 are arranged in the second and fourth holes 17 from one end on the cooling gas supply side, as shown in a comparison with FIG. The air volume from the two holes 17 adjacent to the upstream side of 17 increases. The air volume from the most downstream hole 17 is not significantly different from that in the case of FIG. 7 without the adjusting member 18, and as a whole, the air volume from each hole 17 in FIG. It is more uniform than the state shown in FIG.

このように調節部材１８を取り付けると、調節部材１８を設けた孔１７よりも上流側の隣の孔１７、すなわち管部１６の一端部側の隣の孔１７から噴射される冷却気体の風量が増加し、複数の孔１７からそれぞれ噴射される冷却気体の風量は、調節部材１８を設ける前よりも均一化される。   When the adjustment member 18 is attached in this way, the air volume of the cooling gas injected from the adjacent hole 17 on the upstream side of the hole 17 provided with the adjustment member 18, that is, the adjacent hole 17 on the one end side of the tube portion 16 is increased. The air volume of the cooling gas that is increased and injected from each of the plurality of holes 17 is made more uniform than before the adjustment member 18 is provided.

従って、冷却対象である区画された空間内にこの冷却装置を適切に配置すれば、空間内を効率的に冷却することができる。また、この空間内に冷却対象として特に発熱が高い部品等や、何らかの理由で他の部品よりも許容温度が低く設定されている部品等があれば、特定の孔１７が当該部品等に向くように管部１６を配置し、特定の孔１７の一つ下流の他の孔１７に調節部材１８を設ければ、当該部品等に冷却気体を集中的に当てて特に効率的に冷却することができる。   Therefore, if the cooling device is appropriately arranged in the partitioned space to be cooled, the space can be efficiently cooled. In addition, if there is a part with particularly high heat generation as a cooling target in this space, or a part whose allowable temperature is set lower than other parts for some reason, the specific hole 17 faces the part. If the adjustment member 18 is provided in the other hole 17 downstream of the specific hole 17, the cooling gas can be applied to the part or the like in a concentrated manner to cool particularly efficiently. it can.

次に、本発明の実施形態を図３〜図６を参照してさらに具体的に説明する。
図３は実施形態の冷却装置が設けられた検査装置１を示す模式的な断面図である。図３に示すように、本実施形態の検査装置１は、脚部３で設置面上に支持された箱型の筐体２を有している。筐体２の下部の内部には、左右両側面にそれぞれ設けられた開口２ａ，２ｂから両端が突出するようにベルトコンベア式の搬送部４が設けられている。筐体２の上部の内部には、検査部５が設けられており、搬送部４によって筐体２内を搬送される被検査物Ｗを検査することができる。なお、検査部５による被検査物Ｗの検査原理及び検査目的等は問わないし、被検査物Ｗの種類も特に限定しない。さらに、検査部５は、本検査装置の全体を制御する制御部を含むものとする。 Next, the embodiment of the present invention will be described more specifically with reference to FIGS.
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing the inspection apparatus 1 provided with the cooling device of the embodiment. As shown in FIG. 3, the inspection apparatus 1 according to the present embodiment includes a box-shaped housing 2 supported on the installation surface by the legs 3. Inside the lower part of the housing 2, a belt conveyor type transport unit 4 is provided so that both ends protrude from openings 2 a and 2 b provided on the left and right side surfaces, respectively. An inspection unit 5 is provided inside the upper portion of the housing 2, and the inspection object W transported in the housing 2 by the transport unit 4 can be inspected. The inspection principle and inspection purpose of the inspection object W by the inspection unit 5 are not limited, and the type of the inspection object W is not particularly limited. Further, the inspection unit 5 includes a control unit that controls the entire inspection apparatus.

図３に示すように、検査装置１は、筐体２の上部の内部に冷却装置１５を備えている。冷却装置１５は検査部５の上方に配置されている。冷却装置１５は、一端部が冷却気体の供給源（図示せず）に導管６を介して接続され、他端部が閉止された管部１６を有する。管部１６は、その長手方向に間隔をおいて複数の孔１７が形成されているが、複数の孔１７は管部１６の周方向について同一の位置にあり、図３では真上の位置にあるため図３には表れない。   As shown in FIG. 3, the inspection device 1 includes a cooling device 15 inside the upper portion of the housing 2. The cooling device 15 is disposed above the inspection unit 5. The cooling device 15 has a pipe portion 16 having one end connected to a cooling gas supply source (not shown) via a conduit 6 and the other end closed. The tube portion 16 is formed with a plurality of holes 17 at intervals in the longitudinal direction, but the plurality of holes 17 are at the same position in the circumferential direction of the tube portion 16, and in FIG. Therefore, it does not appear in FIG.

図４から図６は、図３に示す実施形態の検査装置１に設けられた冷却装置１５の形態例を示す図である。図４から図６の各図において、各分図（ａ）が、図３の矢視（ａ）の方向から見た平面図であり、各分図（ｂ）は各分図（ａ）のａ−ａ切断線での断面図、各分図（ｃ）は各分図（ｂ）のｃ−ｃ切断線での断面図である。   4-6 is a figure which shows the example of the form of the cooling device 15 provided in the test | inspection apparatus 1 of embodiment shown in FIG. 4 to 6, each partial view (a) is a plan view seen from the direction of arrow (a) in FIG. 3, and each partial view (b) is a view of each partial view (a). A sectional view taken along a line aa, and each partial view (c) are sectional views taken along a line cc in FIG.

図４は、実施形態における冷却装置１５の第１の構造例を示す図である。図４に示すように、管部１６の周面には、長手方向に間隔をおいて複数の丸孔１７ａが形成されている。複数の丸孔１７ａは、管部１６の長手方向（軸方向）については所定間隔で配置されており、周方向に関する位置も同一である。しかしながら、複数の丸孔１７ａの周方向に関する位置は、筐体２の内部における冷却効果を考慮して適宜に設定することができる。すなわち、軸方向に並んでいる複数の丸孔１７ａは、筐体２内における冷却の目的を達成するために必要な限り、周方向についてはどの位置に配置してもよい。なお、管部１６の寸法を例示すると、内径９．８ｍｍ、外径１３．８ｍｍ、肉厚２ｍｍであり、丸孔１７ａは直径が４ｍｍである。   FIG. 4 is a diagram illustrating a first structure example of the cooling device 15 according to the embodiment. As shown in FIG. 4, a plurality of round holes 17 a are formed on the circumferential surface of the pipe portion 16 at intervals in the longitudinal direction. The plurality of round holes 17a are arranged at predetermined intervals in the longitudinal direction (axial direction) of the tube portion 16, and the positions in the circumferential direction are also the same. However, the positions of the plurality of round holes 17 a in the circumferential direction can be appropriately set in consideration of the cooling effect inside the housing 2. That is, the plurality of round holes 17a arranged in the axial direction may be arranged at any position in the circumferential direction as long as necessary to achieve the purpose of cooling in the housing 2. For example, the dimensions of the tube portion 16 are an inner diameter of 9.8 mm, an outer diameter of 13.8 mm, and a wall thickness of 2 mm, and the round hole 17a has a diameter of 4 mm.

図４に例示するように、一端部側から２個目の丸孔１７ａには、調節部材１８としてのピン１８ａが設けられている。ピン１８ａは、丸孔１７ａに隙間無く挿入できる中実の円柱形状であり、長さは管部１６の外径よりもやや小さく、丸孔１７ａに挿入して内周面に突き当てると上端部が管部１６の外周面と略同一面になる。先に図１及び図２を参照して原理を説明したように、ピン１８ａを設けない場合に比べ、一端部側にある２個の丸孔１７ａ（図４において最も右側の丸孔１７ａ）からの風量は増大する。   As illustrated in FIG. 4, a pin 18 a as an adjustment member 18 is provided in the second round hole 17 a from one end side. The pin 18a has a solid cylindrical shape that can be inserted into the round hole 17a without any gap. The length of the pin 18a is slightly smaller than the outer diameter of the tube portion 16, and the upper end portion is inserted into the round hole 17a and abuts against the inner peripheral surface. Is substantially flush with the outer peripheral surface of the tube portion 16. As described above with reference to FIGS. 1 and 2, the two round holes 17a on the one end side (the rightmost round hole 17a in FIG. 4) are compared with the case where the pin 18a is not provided. The air volume increases.

図３に示すように、この検査装置１においては、管部１６は検査部５の真上に設けられており、管部１６の周囲には特にその他の部品等は図示していない。しかしながら、図４に例示したように、管部１６の一端部側から２個目の丸孔１７ａにピン１８ａが設けられており、筐体２内では、その上流側（一端部側）の丸孔１７ａの正面に特定の部品等が設けられているとすれば、当該部品等には風量が増大した冷却気体が吹き付けるので、高い冷却効果が得られる。すなわち、図３に示すような検査装置１の筐体２内において、特に冷却したい部品等がある場合には、当該部品等に丸孔１７ａが対面するように管部１６を配置し、その下流側（他端部側）の丸孔１７ａにピン１８ａを設ければよい。   As shown in FIG. 3, in this inspection apparatus 1, the pipe portion 16 is provided directly above the inspection portion 5, and other components and the like are not particularly shown around the pipe portion 16. However, as illustrated in FIG. 4, the pin 18 a is provided in the second round hole 17 a from the one end side of the tube portion 16, and the upstream side (one end side) of the casing 2 has a round shape. If a specific part or the like is provided in front of the hole 17a, a cooling gas having an increased air volume is blown onto the part or the like, so that a high cooling effect is obtained. That is, in the case 2 of the inspection apparatus 1 as shown in FIG. 3, when there is a part or the like to be cooled in particular, the pipe part 16 is arranged so that the round hole 17a faces the part or the like, and the downstream side thereof. What is necessary is just to provide the pin 18a in the round hole 17a of the side (other end part side).

図４に示すように一端部側から２個目の丸孔１７ａにピン１８ａを設けた場合、または図２を参照して原理を説明したように、２個以上の丸孔１７ａに適宜間隔でピン１８ａを設けた場合には、図７を参照して説明した調節部材１８を設けない場合に比べ、丸孔１７ａからの冷却空気の噴射状態が均一化する。検査装置１の筐体２内の空気が温められた場合、温かい空気は筐体２内の上方の位置に溜まり易いので、管部１６の多くの丸孔１７ａから可及的に均一な状態で冷却気体を上方へ吹き出すことにより、筐体２内の空気が満遍なく攪拌され、筐体２内を効率よく冷却することができる。   As shown in FIG. 4, when the pin 18a is provided in the second round hole 17a from one end side, or as described in the principle with reference to FIG. 2, the two or more round holes 17a are appropriately spaced. When the pin 18a is provided, the cooling air injection state from the round hole 17a becomes uniform as compared with the case where the adjusting member 18 described with reference to FIG. 7 is not provided. When the air in the housing 2 of the inspection device 1 is warmed, the warm air tends to accumulate at an upper position in the housing 2, so that the air can be as uniform as possible from the many round holes 17 a of the pipe portion 16. By blowing the cooling gas upward, the air in the housing 2 is evenly stirred, and the inside of the housing 2 can be efficiently cooled.

なお、丸いピン１８ａと丸孔１７ａの寸法関係が挿抜可能なものであれば、冷却すべき部品の発熱量や位置等が異なる検査装置１の機種に対応してピン１８ａの位置を変えることができる。しかしながら、ピン１８ａと丸孔１７ａは、脱落の防止のために圧入又は挿入後の溶接で固定する構造でもよい。   If the dimensional relationship between the round pin 18a and the round hole 17a can be inserted and removed, the position of the pin 18a can be changed in accordance with the type of the inspection apparatus 1 in which the heat generation amount and position of the component to be cooled are different. it can. However, the pin 18a and the round hole 17a may be configured to be fixed by press-fitting or welding after insertion in order to prevent dropping.

図５は、実施形態における冷却装置１５の第２の構造例を示す図である。この構造例では、管部１６の孔がねじ孔１７ｂであり、調節部材がねじ１８ｂである。この構造例によれば、ねじ孔１７ｂに対するねじ１８ｂの挿入の程度を調節することにより、ねじ１８ｂが管部１６の内部を閉塞する程度を調節することができ、ねじ孔１７ｂから吹き出す冷却気体の風量を所望の状態に設定することができる   FIG. 5 is a diagram illustrating a second structure example of the cooling device 15 according to the embodiment. In this structural example, the hole of the pipe part 16 is the screw hole 17b, and the adjustment member is the screw 18b. According to this structural example, by adjusting the degree of insertion of the screw 18b into the screw hole 17b, the degree to which the screw 18b closes the inside of the pipe portion 16 can be adjusted, and the cooling gas blown out from the screw hole 17b can be adjusted. The air volume can be set to the desired state

図６は、実施形態における冷却装置１５の第３の構造例を示す図である。この構造例では、管部１６の孔がスリット１７ｃであり、調節部材が板材１８ｃである。この構造例によれば、管部１６に対するスリット１８ｃの加工は容易であり、スリット１７ｃの寸法に適合した板材１８ｃを用意することも容易である。   FIG. 6 is a diagram illustrating a third structure example of the cooling device 15 according to the embodiment. In this structural example, the hole of the pipe part 16 is the slit 17c, and the adjusting member is the plate member 18c. According to this structural example, it is easy to process the slit 18c on the pipe portion 16, and it is also easy to prepare a plate material 18c that matches the size of the slit 17c.

なお、冷却気体としては、工場などで容易に入手できるコンプレッサの圧縮空気を利用することができる。すなわち、冷却気体とは、必ずしも冷却用として準備した特別に低温の気体との意味ではなく、冷却対象の温度との関係で冷却に利用しうる温度の気体であればよい。   In addition, as cooling gas, the compressed air of the compressor which can be easily obtained in a factory etc. can be utilized. That is, the cooling gas does not necessarily mean a specially low temperature gas prepared for cooling, and may be a gas having a temperature that can be used for cooling in relation to the temperature of the cooling target.

また、以上説明した実施形態では、冷却装置１５の管部１６は丸管であったが、中空長手形状の部材であれば、特に形状を限定するものではない。   In the embodiment described above, the tube portion 16 of the cooling device 15 is a round tube, but the shape is not particularly limited as long as it is a hollow longitudinal member.

１…検査装置
２…筐体
３…脚部
４…搬送部
５…検査部
１５…冷却装置
１６…管部
１７…孔
１７ａ…孔としての丸孔
１７ｂ…孔としてのねじ孔
１７ｃ…孔としてのスリット
１８…調節部材
１８ａ…調節部材としてのピン
１８ｂ…調節部材としてのねじ
１８ｃ…調節部材としての板材
Ｗ…被検査物 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Inspection apparatus 2 ... Housing 3 ... Leg part 4 ... Conveyance part 5 ... Inspection part 15 ... Cooling device 16 ... Pipe part 17 ... Hole 17a ... Round hole as a hole 17b ... Screw hole 17c as a hole 17c ... As a hole Slit 18 ... Adjusting member 18a ... Pin as adjusting member 18b ... Screw as adjusting member 18c ... Plate material as adjusting member W ... Inspected object

Claims (5)

一端部が冷却気体の供給源に接続されるとともに他端部は閉止され、長手方向に間隔をおいて形成された複数の孔（１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃ）を有する管部（１６）と、
前記孔から前記管部の内部に選択的に配置される調節部材（１８，１８ａ，１８ｂ，１８ｃ）と、
を具備することを特徴とする冷却装置（１５）。 A pipe portion (16) having a plurality of holes (17, 17a, 17b, 17c) having one end connected to a cooling gas supply source and the other end closed and spaced apart in the longitudinal direction; ,
An adjustment member (18, 18a, 18b, 18c) that is selectively disposed in the pipe portion from the hole;
A cooling device (15) comprising: 前記調節部材（１８，１８ａ，１８ｂ，１８ｃ）が、冷却気体の風量を増大させたい前記孔（１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃ）の前記他端部側に隣接する他の前記孔（１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃ）に設けられることを特徴とする請求項１に記載の冷却装置（１５）。   The adjustment member (18, 18a, 18b, 18c) is another hole (17, 17a) adjacent to the other end side of the hole (17, 17a, 17b, 17c) for increasing the air volume of the cooling gas. , 17b, 17c). Cooling device (15) according to claim 1, characterized in that it is provided on the cooling device (15). 前記孔（１７）は丸孔（１７ａ）であることを特徴とする請求項１又は２に記載の冷却装置（１５）。 The cooling device (15) according to claim 1 or 2, characterized in that the hole (17) is a round hole (17a). 前記孔（１７）はねじ孔（１７ｂ）であることを特徴とする請求項１又は２に記載の冷却装置。 The cooling device according to claim 1 or 2, wherein the hole (17) is a screw hole (17b). 請求項１乃至４に記載の冷却装置（１５）が筐体（２）内の所望の位置に設けられた検査装置（１）。   An inspection device (1), wherein the cooling device (15) according to claim 1 is provided at a desired position in the housing (2).

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