JP2019144061A - 校正装置及び校正方法 - Google Patents
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Abstract
Description
近年では環境問題への対策として、水素を燃料とする燃料電池自動車が開発され、それに伴って水素充填装置及び水素充填装置の校正装置が検討されている。
水素の充填においては、充填時間を短縮するために高圧充填が行われるが、高圧充填に伴い温度が上昇し、燃料電池自動車の燃料タンクが高温となり破損する可能性がある。その様な可能性を排除するため、水素は冷却装置によって−40℃に冷却されて充填されている。
ここで、水素を−40℃に冷却して水素充填装置の校正装置に充填すると、校正装置の温度が低温から高温まで変化し、その結果、周囲の気体による校正装置に対する浮力が変動する。係る浮力の変動により、充填された水素の重量を計測するタイプの校正装置では、計測された水素充填量(重量)に誤差が生じてしまうという問題が存在する。
この技術(特許文献2)は有効であるが、この技術に係る校正装置に用いられている充填容器(タンク)は、水素充填前後で容積が変動しない材質で製造されていることが前提となっている。しかし近年では、校正装置や車両で用いられる充填容器やタンクは、水素充填圧力により、その容積が変動する様な可撓性に富んだ素材で製造されている。そして充填容器やタンクの容積が水素充填前後で変動すると、上述の校正技術(特許文献2に係る校正装置及び校正方法)では、浮力の変動を正確に把握して高精度の校正を実行することが困難になってしまう、という問題が存在する。
計測ハウジング(1)内に外部から高圧の燃料ガス(例えば水素ガス)が供給される充填容器(2)と、当該充填容器(2)に供給された燃料ガスの重量を測定する秤(3)と、制御装置(CU)を備え、
前記制御装置(CU)は、計測ハウジング(1)内の充填容器(2)の容積の変動に基づいて、計測ハウジング(1)内の気体(乾燥エア、窒素)の浮力が燃料ガス(例えば水素)の充填前後で変動することによる誤差を解消する機能を有することを特徴としている。
そして係る校正装置(100:請求項1の校正装置)を用いた燃料ガス充填装置(40)の校正方法は、
燃料ガス充填前後の計測ハウジング(1)の重量を計測する工程と、
燃料ガス充填前後の計測ハウジング(1)の重量差により、計測ハウジング(1)内の充填容器(2)の容積の変動に基づいて、計測ハウジング(1)内の気体(乾燥エア、窒素)の浮力が燃料ガス(例えば水素)の充填前後で変動することによる誤差を解消する工程を有することを特徴としている。
計測ハウジング(1)内に収容されている機器(例えば、充填容器2、秤3、台座8、充填ガス供給管路7)の容積の総和(Q:固体容積)に作用する浮力のみを演算する機能と、
計測ハウジング(1)内の充填容器(2)の圧力(燃料ガス充填装置40の吐出圧力、水素配管42或いは充填ガス供給管路7の圧力等)に基づいて当該充填容器(2)の容積を決定する機能を有しているのが好ましい。
計測ハウジング(1)内の充填容器(2)の圧力(燃料ガス充填装置40の吐出圧力、水素配管42或いは充填ガス供給管路7の圧力等)に基づいて当該充填容器(2)の容積を決定するのが好ましい。
そして、前記計測ハウジング(1)内に乾燥ガスを供給する乾燥ガス管路(4)が(計測ハウジング1に対して)着脱自在に設けられているのが好ましい。
ここで前記秤(3)は、前記充填容器(2)に供給された燃料ガスの重量を計測ハウジング(1)ごと計測するのが好ましい。
ここで「半密閉構造」なる文言は、完全に密閉する訳ではないが略々密閉に近い状態にすることが出来る構造を意味している。
当該露点計(5)は計測ハウジング(1)外側に着脱自在に設けることが出来るが、計測ハウジング(1)内に設けることも可能である。
本発明の実施に際して、前記乾燥ガスは、窒素、乾燥したエアを用いることが出来る。
その結果、高い精度で計測することが要求される燃料ガス充填量(重量)の計測において、前記浮力の変動の悪影響を排除することが出来るので、燃料ガス充填量(重量)決定の精度を向上し、以って、水素ガス充填装置(40)の校正の精度を向上することが出来る。
そして、計測ハウジング(1)内の気体による浮力の変動による悪影響を排除するに際して、計測ハウジング(1)内に収容されている機器(例えば、充填容器2、秤3、台座8、充填ガス供給管路7等:その容積が前記浮力の変動に関与する機器)の容積の総和(Q:固体容積)に作用する浮力のみを考慮し、計測ハウジング(1)の容積から固体容積(Q)を除いた容積(AQ:前記浮力の変動に関与しない機器の容積)に作用する気体の浮力は考慮しない様にしている。その様に校正すれば、発明者による研究、実験の結果と良好に適合した。
計測ハウジング(1)の容積から固体容積(Q)を除いた容積(AQ)に作用する気体の浮力は、燃料ガス充填前後の計測ハウジング(1)の重量を計測し、その重量差を求める際に相殺されるため、浮力の変動には関与しないと推測される。換言すれば、前記浮力の変動を考慮する際に、計測ハウジング(1)の容積から固体容積(Q)を除いた容積(AQ)に作用する気体の浮力を包含して処理すると、浮力の変動量が不正確になる。
本発明において、計測ハウジング(1)内の気体(乾燥エア、窒素)の浮力を求める際に、充填容器(2)表面における気体の温度を求め、当該気体の温度から気体の密度(ρ)を決定すれば、気体の温度の代表値として充填容器(2)表面における気体の温度を採用し、当該代表値から気体密度(ρ)を決定することが出来る。それにより、時間及び計測位置による気体温度の変化に拘らず、計測ハウジング(1)内の気体による浮力を正確に求め、浮力の変動による誤差を解消することが出来る。
そして発明者の研究、実験によれば、充填容器(2)表面における気体の温度を代表値として気体密度(ρ)を決定した結果と、伝熱、輻射、時間経過を考慮した複雑な演算により求めた気体密度(ρ)とは高精度で一致することが確認された。すなわち、充填容器(2)表面における気体の温度を代表値として気体密度(ρ)を決定すれば、伝熱、輻射、時間経過を考慮した複雑な演算を行わずに、それと同程度の精度で浮力による影響を演算し、校正を行うことが出来る。
図1において、本発明の実施形態に係る校正装置は、全体を符号100で示されている。校正装置100は、計測ハウジング1、計測ハウジング1内に配置され外部から高圧の燃料ガス(例えば水素ガス)が供給される充填容器2、計測ハウジング1の重量を測定する秤3、計測ハウジング1と秤3を収容する本体ハウジング20を備える。
充填容器2は台座8を介して計測ハウジング1の底面上に載置される。そして充填容器2は、燃料ガスの充填圧力により容積が変動する様な可撓性に富んだ素材で製造され、そのため、燃料ガスの充填前後でその容積が変動する。
以下、燃料ガスとして水素ガスを採用する場合について記載する。
計測ハウジング1は充填容器2等を収容しており、計測ハウジング1と秤3を収容する本体ハウジング20は、その下面に移動手段20A(車輪等)を備え、校正に際し校正すべき水素充填装置40の設置個所まで移動することが出来る。
換言すれば、水素充填装置40と計測ハウジング1は、充填ノズル41とレセプタクル6の結合により連結され、水素ガスが水素充填装置40から計測ハウジング1内の充填容器2に供給される。なお、符号42は水素配管である。
なお、符号2Aは充填装置2における充填ガス取入部を示し、符号9は計測ハウジング1側に供給された水素ガスの逆流を防止する逆止弁である。
ここで乾燥ガスとしては、窒素や、乾燥エアを用いることが出来る。窒素或いは乾燥エアのみならず、調達コストが安く、計測ハウジング1内への充填や排出を短時間で完了することが出来て、安全性の高く、しかも分子量がエア(空気)や窒素に近い気体であれば使用可能である。ただし、分子量がエア(空気)や窒素と大幅に異なる気体はガス濃度が安定しているか、もしくは、濃度を測定して補正する必要がある。
ここで、例えば−40℃以下まで露点を下げれば結露量はゼロになるが、露点−40℃以下の結露量と露点−20℃における結露量の差は小さい。そのため、必要十分乾燥していると判断出来る基準となる露点温度として、−20℃〜−25℃程度を設定することが現実的であり、且つ経済的である。
図示の実施形態では露点計5は計測ハウジング1の外側に設けられているが、露点計5を計測ハウジング1内に設けても良い。
さらに、計測ハウジング1の上面には充填ガス放出口11が設けられ、充電ガス放出口11は充填ガス放出管路12により充填容器2と接続されている。
充填容器2から水素ガスを放出する場合、充填容器2から放出された水素ガスは充填ガス放出管路12を通過して、充填ガス放出口11から計測ハウジング1の外部に放出される。本体ハウジング20には、図示しない気体放出機構が設けられている。
支持部材14、支持部材15及び充填容器2を載置する台座8は、熱伝導率の低い断熱材、例えばゴムや樹脂等を使用している。計測ハウジング1内の低温が、支持部材14、支持部材15及び台座8を通して計測ハウジング1の外面に伝導し、大気に接している計測ハウジング1や秤3の外表面に結露が生じることを防止するためである。
計測ハウジング1を半密閉構造にすることにより、計測ハウジング1内に乾燥ガスを供給し、計測ハウジング1内を僅かに加圧された状態に保持すれば、水分を含んだエアが計測ハウジング1内に侵入することを防止出来る。
コントロールユニットCUは、入力信号ラインISL1により秤3と接続されており、且つ、入力信号ラインISL2により温度センサTと接続されている。ここで温度センサTは、充填容器2の表面近傍に設置される。
また、コントロールユニットCUは、入力信号ラインISL3により水素充填装置40と接続されており、入力信号ラインISL3を介して水素充填装置40の吐出圧力が入力される。ここで水素ガス充填装置40の吐出圧力は、水素配管42或いは充填ガス供給管路7内の圧力に等しく、充填容器2内の圧力に等しい。
さらに、補正前の充填量演算ブロックB1は、水素ガスの充填量ΔWの演算結果を、充填量補正値決定ブロックB5及び記憶ブロックB6に送信する機能を有する。
空気密度決定ブロックB2で決定した密度ρ(t1)、ρ(t2)は、浮力変動量決定ブロックB4に送信される。また、決定した密度ρ(t1)、ρ(t2)は記憶ブロックB6にも送信される。
その際、固体容積決定ブロックB3は、第3の入力信号ラインISL3により、水素ガス充填装置40から水素ガス充填前の状態における水素ガス充填装置40の吐出圧力データPeと、水素ガス充填後の状態における水素ガス充填装置40の吐出圧力データPcを取得する。上述した様に、水素ガス充填装置40の吐出圧力は、水素配管42或いは充填ガス供給管路7内の圧力に等しく、充填容器2内の圧力に等しいので、水素ガス充填装置40の吐出圧力データPe、Pcは、水素ガス充填前後における充填容器2内の圧力Pe、Pcと見做すことが出来るからである。
固体容積決定ブロックB3は、記憶ブロックB6から充填容器2内の圧力Pと固体容積Qの特性データを取得し、当該特性データに基づき、水素ガス充填前における充填容器2内の圧力Peに対応する固体容積Qeと、水素ガス充填後における充填容器2内の圧力Pcに対応する固体容積Qcを演算し、決定する機能を有している。
換言すれば、水素ガス充填前後における固体容積Qe、Qcは、水素ガス充填前後における充填容器2内の圧力Pe、Pcの関数で表現される。すなわち、
Qe=f(Pe)、
Qc=f(Pc)、
である。
ここで、水素ガス充填前後(充填容器2内の圧力Pe、Pc)における固体容積Qの変化量(Qc−Qe)では、充填容器2の容積変化量が大部分を占めている。そして充填容器2の容積Q1が圧力上昇に伴い、例えば線形に増加する(Q1=kP+C1、C1は一定値)のに対し、その他の機器の容積Q2はほぼ一定値を維持する。そのため、固体容積Qは、例えば次式 Q=Q1+Q2 (Qは固体容積、Q1は充填容器2の容積、Q2はその他の機器の容積) で示すことも出来る。
固体容積決定ブロックB3は、決定された固体容積Q(Qe、Qc)を、浮力変動量決定ブロックB4及び記憶ブロックB6に送信する機能を有する。
浮力変動量決定ブロックB4は、固体容積決定ブロックB3から水素ガス充填前後における固体容積Qのデータ(Qe、Qc)を取得すると共に、空気密度決定ブロックB2より水素ガス充填前後における温度t1℃、t2℃に対応する密度ρ(t1)、ρ(t2)のデータを取得する。
図4を参照して後述するが、 浮力F=固体容積Q×密度ρ であるので、浮力変動量ΔFは、 ΔF=Qc・ρ(t2)−Qe・ρ(t1)
なる式で求められる。
ここで、固体容積Qe、Qcはそれぞれ充填容器2内の圧力Pe、Pcの関数f(Pe)、f(Pc)で表せるので、浮力変動量ΔFは、次式で求めることが出来る。
ΔF=f(Pc)・ρ(t2)−f(Pe)・ρ(t1)
浮力変動量決定ブロックB4は、決定した浮力変動量ΔFを、充填量補正値決定ブロックB5及び記憶ブロックB6に送信する機能を有する。
換言すれば、充填量補正値決定ブロックB5は、補正前の充填量演算ブロックB1から水素ガスの充填量ΔW(=Wc−We)のデータを取得すると共に、浮力変動量決定ブロックB4から水素ガス充填前後における浮力変動量ΔFのデータを取得し、充填量補正値ΔWt(補正後の充填量)を演算し、決定する。
図4を参照して後述するが、充填量補正値ΔWtは、次式で求められる。
ΔWt=Wc−We−ΔF
=Wc−We−{Qc・ρ(t2)−Qe・ρ(t1)}
=Wc−We−{f(Pc)・ρ(t2)−f(Pe)・ρ(t1)}
充填量補正値決定ブロックB5は、決定した充填量補正値ΔWtを、コントロールユニットCUの外部の表示手段D(ディスプレイ)及び記憶ブロックB6に送信する機能を有する。
記憶ブロックB6には、空気密度ρと温度tとの関係を示す特性データ(空気密度ρ−温度t特性データ)、充填容器2内の圧力Pと固体容積Qとの関係を示す特性データ(圧力P−固体容積Q特性データ)、各機能ブロックB1〜B5の決定結果(ΔW、ρ、Q、ΔF、ΔW)等が保存され、必要に応じて当該機能ブロックB1〜B5により参照される。
充填容器2内の圧力Pと固体容積Qとの関係を示す特性データ(圧力P−固体容積Q特性データ)は、例えば校正装置製造時や、その他の予め充填容器2内の圧力Pと固体容積Qとの関係を計測した際に、記憶ブロックB6に入力或いは記録される。
図3の校正のフローチャートにおいて、ステップS1では、最初に水素ガス充填前の状態における計測ハウジング1の重量を、秤3により、乾燥ガス管路4、充填ノズル41が接続されていない状態で計測する。
そして、計測ハウジング1に乾燥ガス管路4、充填ノズル41を接続し(接続作業)、計測ハウジング1内のエア、その他の水分を包含する気体を排出し(掃気作業)、水素充填装置40(校正対象)から充填容器2への水素ガスを充填し(充填作業)、その後乾燥ガス管路4、充填ノズル41を接続解除する(接続解除作業)。
掃気作業では、図示しない乾燥ガス供給源から乾燥ガス管路4を介して、計測ハウジング1内に乾燥ガスを供給、充填する。計測ハウジング1内に乾燥ガスが充填されることで、計測ハウジング1内に存在していたエアの様な水分を包含する気体を、気体排出口13から計測ハウジング1の外部に排出する。
水素ガスの充填は、水素充填装置40の流量計(図示せず)により、所定量の水素ガスが供給されたと判断されるまで行う。
充填作業の終了後、ステップS1の接続解除作業を行なう。接続解除作業では、乾燥ガス管路4、充填ノズル41の接続を解除する。
ステップS1が終了したら、ステップS2に進む。
そして水素ガス充填前の計測ハウジング1の重量の計測結果(ステップS1)と水素ガス充填後の計測ハウジング1の重量の計測結果(ステップS2)から、充填容器2に充填された水素ガスの重量を演算し、水素ガスの充填量を演算する。
演算された充填量を、と校正すべき水素充填装置40の流量計に基づいて決定された充填量と比較することにより、水素充填装置40の校正が行われる。ステップS2が終了するとステップS3に進む。
またステップS3では、水素ガスの重量値や、充填前後の計測ハウジング1の重量から演算した水素ガスの充填量、校正の結果を、図示しない表示装置(ディスプレイ等)に表示する。
さらに、前記計測結果である水素ガスの充填量或いは充填された水素ガスの重量を、校正対象である水素充填装置40の識別番号(例えば製品番号)、校正日時等と共に、情報処理機器(例えば図示しないパソコン等)の記憶装置に保存する。そして校正の手順を終了する。
連続して別個の水素充填装置40の校正を行う場合には、図3の「スタート」に戻り、ステップS1〜S3の作業を実行する。
充填容器2に充填された水素ガスの放出は、次の水素充填装置40の校正におけるステップS1の「秤リセット」において行うことも出来る。
計測ハウジング1内の気体の浮力による誤差を解消する制御(或いは手順)について、主として図4を参照して、図1、図2をも参照しつつ、説明する。
換言すれば、計測ハウジング1の容積から固体容積Qを除いた容積AQに作用する気体の浮力は、水素ガス充填前後の計測ハウジング1の重量を計測して重量差を求める際に相殺されるので、水素ガス充填量の精度には影響しない。
これに対して、図4のステップS11、S12では、充填容器2の表面に設置された温度センサTで気体の温度を計測し、計測された気体の温度から気体の密度ρを決定している。換言すれば図示の実施形態では、計測ハウジング1内の気体の温度の代表値として、充填容器2表面における気体の温度を採用し、当該代表値から気体密度ρを決定している。
また、気体密度ρと固体容積Qを決定することにより、時間及び計測位置による気体温度の変化、水素ガス充填前後の充填容器2内の圧力の変化に拘らず、計測ハウジング1内の気体による浮力を求め、浮力の変動による誤差を解消することが出来る。
また、ステップ11では、水素ガス充填前の充填容器2内の圧力Peと固体容積Qeを求める。上述した様に充填容器2内の圧力Peは水素ガス充填装置40の吐出圧力に等しいと見做せるので、充填容器2内の圧力Peは、水素ガス充填装置40の吐出圧力を計測することにより求めることが出来る。そして充填容器2内の圧力Peに対応する固体容積Qeは、予め測定或いは決定されている特性データ、すなわち充填容器2内の圧力Pと固体容積Qとの関係を示す特性データ(圧力P−固体容積Q特性データ)より求める。そして水素ガス充填前の固体容積Qeは、 Qe=f(Pe) と表現出来る。
これにより、ステップS11において、充填前の計測ハウジング1の重量We、気体密度ρ(t1)、固体容積Qeを決定する。そしてステップS12に進む。
また、ステップ12では、水素ガス充填後の充填容器2内の圧力Pcと固体容積Qcを求める。ステップS11で説明したのと同様に、充填容器2内の圧力Pcは、水素ガス充填装置40の吐出圧力を計測することにより求め、充填容器2内の圧力Pと固体容積Qとの関係を示す特性データ(圧力P−固体容積Q特性データ)から、圧力Pcに対応する固体容積Qcを求める。そして水素ガス充填後の固体容積Qcは
Qc=f(Pc) と表現出来る。
これにより、ステップS12において、充填後の計測ハウジング1の重量Wc、気体密度ρ(t2)、及び固体容積Qcが決定される。
そしてステップS13に進む。
またステップS13では、水素ガス充填前後における気体の浮力の変動量ΔFを演算する。気体の浮力の変動量ΔFは、ステップS11、S12で決定した水素ガス充填前後の固体容積Qe、Qc、気体密度ρ(t1)、ρ(t2)により、下式で求められる。
ΔF=Qc・ρ(t2)−Qe・ρ(t1)
=f(Pc)・ρ(t2)−f(Pe)・ρ(t1)
これにより、ステップS13において、補正前の水素ガスの充填量ΔWと、気体の浮力の変動量ΔFが演算される。
そしてステップS14に進む。
ΔWt=ΔW−ΔF
=Wc−We−{Qc・ρ(t2)−Qe・ρ(t1)}
=Wc−We−{f(Pc)・ρ(t2)−f(Pe)・ρ(t1)}
そしてステップS15に進む。
その結果、図示の実施形態では、計測ハウジング1内の気体(乾燥エア、窒素)の浮力による誤差を解消することが出来る。そして制御を終了する。
そのため、充填された水素ガスの重量を正確に計測し、以って、水素ガス充填装置40の校正精度を向上することが出来る。
そして、図示の実施形態で計測ハウジング1内の気体による浮力の変動を排除するに際して、計測ハウジング1内に収容されている機器(充填容器2、秤3、台座8、充填ガス供給管路7等:計測ハウジング1を構成する材料の体積は包含しない)の容積の総和である固体容積Qに作用する浮力のみを考慮し、計測ハウジング1の容積から固体容積Qを除いた容積AQに作用する気体の浮力は考慮しない。すなわち、浮力による影響の演算は固体容積Qのみを対象として行われる。
この様にして決定された計測ハウジング1内の気体による浮力の変動は、発明者の実験結果と良く適合する。
発明者の研究、実験によれば、充填容器2表面における気体の温度を(代表値として)用いて決定された気体密度ρは、伝熱、輻射、時間経過を考慮した複雑な演算により求めた気体密度ρと高精度で一致することが確認された。すなわち図示の実施形態によれば、伝熱、輻射、時間経過を考慮した複雑な演算を行う必要なく、計測ハウジング1内の気体(乾燥エア、窒素)の浮力を求めることが出来る。
例えば、図示の実施形態では水素充填装置の校正装置として説明しているが、本発明はCNG充填装置の校正装置についても適用することが可能である。
また、図示の実施形態では充填容器2内の圧力を求めるために、水素ガス充填装置40の吐出圧力を計測したが、充填ガス供給配管7、或いは水素配管42に圧力計を配置し、当該圧力計の計測値を計測することにより充填容器2内の圧力を求めることも可能である。
2・・・充填容器
3・・・秤
4.・・・乾燥ガス管路
5・・・露点計
6・・・レセプタクル(水素受入口)
7・・・充填ガス供給管路
8・・・台座
9・・・逆止弁
11・・・充填ガス放出口
12・・・充填ガス放出管路
13・・・気体排出口
14、15・・・支持部材
20・・・本体ハウジング
20A・・・移動手段(車輪等)
40・・・水素充填装置
41・・・充填ノズル
42・・・水素配管
100・・・校正装置
B1・・・補正前の充填量演算ブロック
B2・・・空気密度決定ブロック
B3・・・固体容積決定ブロック
B4・・・浮力変動量決定ブロック
B5・・・充填量補正値決定ブロック
B6・・・記憶ブロック
CU・・・コントロールユニット(制御装置)
D・・・ディスプレイ(表示手段)
T・・・温度センサ
Claims (4)
- 計測ハウジング内に外部から高圧の燃料ガスが供給される充填容器と、当該充填容器に供給された燃料ガスの重量を測定する秤と、制御装置を備え、
前記制御装置は、計測ハウジング内の充填容器の容積の変動に基づいて、計測ハウジング内の気体の浮力が燃料ガスの充填前後で変動することによる誤差を解消する機能を有することを特徴とする校正装置。 - 前記制御装置は、計測ハウジング内の充填容器の容積の変動に基づいて、計測ハウジング内の気体の浮力が燃料ガスの充填前後で変動することによる誤差を解消するに際して、計測ハウジング内に収容されている機器の容積の総和に作用する浮力のみを演算する機能と、計測ハウジング内の充填容器の圧力に基づいて当該充填容器の容積を決定する機能を有している請求項1の校正装置。
- 請求項1の校正装置を用いた燃料ガス充填装置の校正方法において、
燃料ガス充填前後の計測ハウジングの重量を計測する工程と、
燃料ガス充填前後の計測ハウジングの重量差により、計測ハウジング内の充填容器の容積の変動に基づいて、計測ハウジング内の気体の浮力が燃料ガスの充填前後で変動することによる誤差を解消する工程を有することを特徴とする校正方法。 - 燃料ガス充填前後の計測ハウジングの重量差により、計測ハウジング内の充填容器の容積の変動に基づいて、計測ハウジング内の気体の浮力が燃料ガスの充填前後で変動することによる誤差を解消する工程で、計測ハウジング内の気体の浮力の演算は、計測ハウジング内に収容されている機器の容積の総和に作用する浮力のみを対象として行い、計測ハウジング内の充填容器の圧力に基づいて当該充填容器の容積を決定する請求項3の校正方法。
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JP2018027526A Active JP6674646B2 (ja) | 2018-02-20 | 2018-02-20 | 校正装置及び校正方法 |
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JP (1) | JP6674646B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113154262A (zh) * | 2021-04-12 | 2021-07-23 | 山东省计量科学研究院 | 一种实流检测的加氢机量值溯源***及方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59212723A (ja) * | 1983-05-18 | 1984-12-01 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 計量システム |
US5625170A (en) * | 1994-01-18 | 1997-04-29 | Nanometrics Incorporated | Precision weighing to monitor the thickness and uniformity of deposited or etched thin film |
JP2005134138A (ja) * | 2003-10-28 | 2005-05-26 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 精密流量測定方法及び測定装置 |
JP2017067472A (ja) * | 2015-09-28 | 2017-04-06 | 株式会社タツノ | 校正装置及び校正方法 |
-
2018
- 2018-02-20 JP JP2018027526A patent/JP6674646B2/ja active Active
Patent Citations (4)
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