JP2019143620A - スクリュー式真空ポンプ - Google Patents
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- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
- F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
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- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/082—Details specially related to intermeshing engagement type pumps
- F04C18/084—Toothed wheels
-
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- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
- F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
Description
12 モーター
14 ギアボックス
16 ハウジング
18 支承部シールド
20 カバー
22 インレット
24 アウトレット
26 冷却配管
28 スクリュー式ローター
30 スクリュー式ローター
32 溝
34 浸漬クーラー
36 サイドカット部
38 スクリュープロフィル
40 スクリュープロフィル
42 同期ギア
43 歯車
44 ハウジング
46 ステーター
48 マグネットキャリア
50 鋳造体
52 基板
54 スプラッシュディスク
56 支承部
58 デフレクター
60 ピストンリングキャリア
62 第一の部分
63 スクリュー軸
64 第二の部分
66 第三の部分
68 吸引領域
68 支承部
70 支承部シールド
72 冷却配管
74 冷却体
76 フランジ
78 クロージャー面
80 下側の領域
82 上側の領域
84 プロフィル中間空間
86 吸引性能推移
88 吸引性能推移
90 矢印
92 矢印
94 矢印
p インレット圧力
S 吸引性能
Claims (15)
- ハウジング(16)、ハウジング(16)内に配置され、そして互いに係合状態にある二つのスクリュー式ローター(28,30)を有するスクリュー式真空ポンプ(10)であって、スクリュー式ローターは、プロセスガスの搬送のため、ハウジング(16)と相互作用し、繰り返し、プロセスガスの閉じられた搬送ボリュームを形成し、かつアウトレット(24)の方向へと搬送し、その際、スクリュー式ローター(28,30)が、其々、スクリュー軸に沿って隣接する少なくとも二つの部分(62,64)を有し、その際、スクリュー式ローター(28,30)が、其々、インレット(22)の近傍に置かれた第一の部分(62)内において、少なくとも基本的に一定の傾斜を有し、そして第二の部分(64)内において、第一の部分(62)内におけるよりも小さい傾斜を有し、そしてその際、スクリュー軸(63)に関して、第一の部分(62)が、第一の部分(62)内に閉じられる搬送ボリュームよりも長いことを特徴とするスクリュー式真空ポンプ(10)。
- 閉じられた搬送ボリュームが、各ローター(28,30)のスクリュー軸(63)の周りで360度の角度をカバーしていることを特徴とする請求項1に記載のスクリュー式真空ポンプ(10)。
- 第一の部分(62)が、搬送ボリュームの長さの少なくとも1.25倍に相当することを特徴とする請求項1または2に記載のスクリュー式真空ポンプ(10)。
- 第一の部分(62)が、搬送ボリュームの長さの少なくとも1.5倍に相当することを特徴とする請求項1から3の少なくとも一項に記載のスクリュー式真空ポンプ(10)。
- 第一の部分(62)が、搬送ボリュームの長さの少なくとも1.75倍に相当することを特徴とする請求項1から4の少なくとも一項に記載のスクリュー式真空ポンプ(10)。
- 第一の部分(62)が、搬送ボリュームの長さの少なくとも2倍に相当することを特徴とする請求項1から5の少なくとも一項に記載のスクリュー式真空ポンプ(10)。
- ポンプの吸引領域(67)において、スクリュー式ローター(28,30)のためのクロージャー面(78)が設けられており、これが、各搬送ボリュームが吸引のため開かれ、そして搬送のため閉じられることが可能であるよう、その形状においてスクリュー式ローター(28,30)の形状に適合されていることを特徴とする請求項1から6の少なくとも一項に記載のスクリュー式真空ポンプ(10)。
- クロージャー面(78)が、鋳造部材(16)内に形成されており、そして処理されていないことを特徴とする請求項7に記載のスクリュー式真空ポンプ(10)。
- クロージャー面(78)が、ハウジング(16)内に形成されていることを特徴とする請求項7または8に記載のスクリュー式真空ポンプ(10)。
- 各スクリュー式ローター(28,30)のスクリュープロフィル(38,40)が、サイクロイドによって形成されていることを特徴とする請求項1から9の少なくとも一項に記載のスクリュー式真空ポンプ(10)。
- 各スクリュー式ローター(28,30)のスクリュープロフィル(38,40)が、二段式に形成されていることを特徴とする請求項1から10の少なくとも一項に記載のスクリュー式真空ポンプ(10)。
- スクリュー式ローター(28,30)が、其々、第二の部分(64)において、少なくとも基本的に一定で、かつ少なくとも部分的に一定である傾斜を有することを特徴とする請求項1から11の少なくとも一項に記載のスクリュー式真空ポンプ(10)。
- スクリュー式ローター(28,30)が、少なくとも一つの第三の部分(66)を有し、そしてその傾斜が、第三の部分(66)において第二の部分(64)においてよりも小さい事を特徴とする請求項1から12の少なくとも一項に記載のスクリュー式真空ポンプ(10)。
- 第三の部分(66)における傾斜が、少なくとも基本的に一定であることを特徴とする請求項13に記載のスクリュー式真空ポンプ(10)。
- スクリュー式ローター(28,30)が、其々、その全体的ポンプ効果を発揮する長さにわたって、異なる傾斜の複数の部分(62,64,66)を有し、その際、傾斜が全ての部分(62,64,66)において一定であることを特徴とする請求項1から14の少なくとも一項に記載のスクリュー式真空ポンプ(10)。
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---|---|---|---|---|
JP4900270B2 (ja) * | 2008-02-08 | 2012-03-21 | 株式会社豊田自動織機 | スクリュポンプ |
DE202016005209U1 (de) * | 2016-08-30 | 2017-12-01 | Leybold Gmbh | Schraubenvakuumpumpe |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06288369A (ja) * | 1993-04-06 | 1994-10-11 | Hitachi Ltd | スクリュー圧縮機の吸入ポート |
JP3831115B2 (ja) * | 1998-04-06 | 2006-10-11 | 大晃機械工業株式会社 | ドライ真空ポンプ |
DE10019637B4 (de) * | 2000-04-19 | 2012-04-26 | Leybold Vakuum Gmbh | Schraubenvakuumpumpe |
US6508639B2 (en) * | 2000-05-26 | 2003-01-21 | Industrial Technology Research Institute | Combination double screw rotor assembly |
JP4853168B2 (ja) * | 2006-08-10 | 2012-01-11 | 株式会社豊田自動織機 | スクリューポンプ |
JP2009243280A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-22 | Hokuetsu Kogyo Co Ltd | スクリュ流体機械用ケーシングの表面処理方法及びスクリュ流体機械用ケーシング |
JP5353521B2 (ja) * | 2009-07-22 | 2013-11-27 | 株式会社豊田自動織機 | スクリューロータ |
DE102011054607A1 (de) * | 2010-10-27 | 2012-06-21 | Gebr. Becker Gmbh | Vakuumpumpe |
DE202016005208U1 (de) * | 2016-08-30 | 2017-12-01 | Leybold Gmbh | Trockenverdichtende Vakuumpumpe |
-
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4900270B2 (ja) * | 2008-02-08 | 2012-03-21 | 株式会社豊田自動織機 | スクリュポンプ |
DE202016005209U1 (de) * | 2016-08-30 | 2017-12-01 | Leybold Gmbh | Schraubenvakuumpumpe |
Also Published As
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---|---|
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EP3499041A1 (de) | 2019-06-19 |
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