JP2019141919A - Correction value calculation method for industrial robot - Google Patents

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Abstract

To provide a correction value calculation method for an industrial robot in which a correction value for correcting a deviation of a robot coordinate system of an industrial robot already replaced with respect to a coordinate of a teaching position taught in teaching work of an industrial robot not yet replaced can be calculated comparatively easily.SOLUTION: In the correction value calculating method for an industrial robot, a reference position of a second arm part 16 is specified using a positioning jig 36, a reference position of a hand base part 17 is specified using a positioning jig 37, and a hand fork 18 is positioned in the reference positions using a positioning jig 38, then a motor is driven and controlled with the specified reference positions as references, the industrial robot 1 is brought into a temporary reference position, and thereafter the hand fork 18 is moved to a position at which an object to be carried is delivered. Thereafter, a correction value is calculated based on a deviation amount in a turning direction of a first arm part 15 with respect to a main body part 10, between an edge of a detecting panel mounted on the hand fork 18 and a predetermined fifth reference position.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、産業用ロボットの動作を補正するための補正値を算出する産業用ロボットの補正値算出方法に関する。   The present invention relates to a correction value calculation method for an industrial robot that calculates a correction value for correcting the operation of the industrial robot.

従来、ガラス基板を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、有機ＥＬ（有機エレクトロルミネッセンス）ディスプレイの製造システムに組み込まれて使用される水平多関節ロボットであり、ガラス基板が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えている。   Conventionally, an industrial robot that transports a glass substrate is known (for example, see Patent Document 1). The industrial robot described in Patent Document 1 is a horizontal articulated robot that is used by being incorporated in an organic EL (organic electroluminescence) display manufacturing system, and a hand on which a glass substrate is mounted and a hand on the tip side. The arm connected so that rotation is possible, and the main-body part to which the base end side of an arm is connected so that rotation is possible.

アームは、基端側が本体部に回動可能に連結される第１アーム部と、第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部とを備えている。ハンドは、第２アーム部の先端側に回動可能に連結されるハンド基部と、ハンド基部に固定されるとともにガラス基板が搭載されるハンドフォークとを備えている。また、特許文献１に記載の産業用ロボットは、本体部に対して第１アーム部を回動させるためのモータと、第１アーム部に対して第２アーム部を回動させるためのモータと、第２アーム部に対してハンド基部を回動させるためのモータとを備えている。   The arm includes a first arm portion whose base end side is rotatably connected to the main body portion, and a second arm portion whose base end side is rotatably connected to the distal end side of the first arm portion. The hand includes a hand base that is rotatably connected to the distal end side of the second arm part, and a hand fork that is fixed to the hand base and on which a glass substrate is mounted. Moreover, the industrial robot described in Patent Document 1 includes a motor for rotating the first arm portion with respect to the main body portion, and a motor for rotating the second arm portion with respect to the first arm portion. And a motor for rotating the hand base relative to the second arm.

特開２０１５−１３９８５４号公報JP-A-2015-139854

特許文献１に記載の産業用ロボットが有機ＥＬディスプレイ等の製造システムに設置されると、産業用ロボットの動作プログラムを作成するために、一般に、産業用ロボットの教示作業が行われている。また、たとえば、製造システムに設置される産業用ロボットが交換されたり、産業用ロボットのモータが交換されたりすると、交換前の産業用ロボットの教示作業で教示された教示位置の座標に対して、交換後の産業用ロボットのロボット座標系がずれる。そのため、産業用ロボットが交換されたり、産業用ロボットのモータが交換されたりした場合にも、一般に、産業用ロボットの教示作業が再度行われている。   When the industrial robot described in Patent Document 1 is installed in a manufacturing system such as an organic EL display, teaching work for the industrial robot is generally performed in order to create an operation program for the industrial robot. For example, when the industrial robot installed in the manufacturing system is replaced or the motor of the industrial robot is replaced, for the coordinates of the teaching position taught in the teaching operation of the industrial robot before the replacement, The robot coordinate system of the industrial robot after replacement is shifted. Therefore, even when the industrial robot is replaced or when the motor of the industrial robot is replaced, the teaching operation for the industrial robot is generally performed again.

一方で、交換前の産業用ロボットの教示作業で教示された教示位置の座標に対する交換後の産業用ロボットのロボット座標系のずれを補正すれば、煩雑な教示作業を再度行う必要がなくなる。そのため、本願発明者は、交換前の産業用ロボットの教示作業で教示された教示位置の座標に対する交換後の産業用ロボットのロボット座標系のずれを補正するための補正値を算出して、ずれを補正することを検討している。ずれを補正するための補正値を算出する際には、補正値を容易に算出できることが好ましい。   On the other hand, if the shift of the robot coordinate system of the industrial robot after replacement with respect to the coordinate of the teaching position taught in the teaching operation of the industrial robot before replacement is corrected, it is not necessary to perform the complicated teaching operation again. Therefore, the inventor of the present application calculates a correction value for correcting the deviation of the robot coordinate system of the industrial robot after replacement with respect to the coordinate of the teaching position taught in the teaching work of the industrial robot before replacement. It is considered to correct. When calculating the correction value for correcting the deviation, it is preferable that the correction value can be easily calculated.

そこで、本発明の課題は、交換前の産業用ロボットの教示作業で教示された教示位置の座標に対する交換後の産業用ロボットのロボット座標系のずれを補正するための補正値を比較的容易に算出することが可能な産業用ロボットの補正値算出方法を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to relatively easily set a correction value for correcting a deviation of the robot coordinate system of the industrial robot after replacement with respect to the coordinate of the teaching position taught in the teaching work of the industrial robot before replacement. An object of the present invention is to provide a correction value calculation method for an industrial robot that can be calculated.

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットの補正値算出方法は、産業用ロボットの動作を補正するための補正値を算出する産業用ロボットの補正値算出方法であって、産業用ロボットは、本体部と、本体部に基端側が回動可能に連結される第１アーム部と第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部とを有するアームと、第２アーム部の先端側に回動可能に連結されるハンド基部とハンド基部から水平方向の一方向に伸びるとともに搬送対象物が搭載されるハンドフォークとを有するハンドと、本体部に対して第１アーム部を回動させるための第１モータと、第１アーム部に対して第２アーム部を回動させるための第２モータと、第２アーム部に対してハンド基部を回動させるための第３モータと、第１モータの回転量を検知するための第１エンコーダと、第２モータの回転量を検知するための第２エンコーダと、第３モータの回転量を検知するための第３エンコーダと、本体部に対する第１アーム部の回動方向における第１アーム部の原点位置を検知するための第１原点センサと、第１アーム部に対する第２アーム部の回動方向における第２アーム部の原点位置を検知するための第２原点センサと、第２アーム部に対するハンド基部の回動方向におけるハンド基部の原点位置を検知するための第３原点センサとを備え、第１アーム部に対する第２アーム部の回動方向における第２アーム部の所定の基準位置を第１基準位置とし、第２アーム部に対するハンド基部の回動方向におけるハンド基部の所定の基準位置を第２基準位置とし、ハンド基部に対するハンドフォークの長手方向に直交する方向におけるハンドフォークの所定の基準位置を第３基準位置とし、本体部に対する第１アーム部の回動方向における第１アーム部の所定の基準位置を第４基準位置とすると、産業用ロボットの補正値算出方法は、第１基準位置で第２アーム部が停止するように第２原点センサの検知結果に基づいてまたは第２原点センサの検知結果と第２エンコーダの検知結果とに基づいて第２アーム部を停止させたときの第２アーム部の停止位置である第１停止位置から、第１基準位置に第２アーム部を位置決めするための第１位置決め治具によって第２アーム部が位置決めされる位置まで第２アーム部を回動させたときの第２エンコーダの検知結果と、第１停止位置に第２アーム部が停止しているときの第２エンコーダの値とに基づいて第１基準位置を特定する第１基準位置特定工程と、第１基準位置特定工程後、第１基準位置特定工程で特定された第１基準位置に第２アーム部が配置されている状態で、第２基準位置でハンド基部が停止するように第３原点センサの検知結果に基づいてまたは第３原点センサの検知結果と第３エンコーダの検知結果とに基づいてハンド基部を停止させたときのハンド基部の停止位置である第２停止位置から、第２基準位置にハンド基部を位置決めするための第２位置決め治具によってハンド基部が位置決めされる位置までハンド基部を回動させたときの第３エンコーダの検知結果と、第２停止位置にハンド基部が停止しているときの第３エンコーダの値とに基づいて第２基準位置を特定する第２基準位置特定工程と、第２基準位置特定工程後、第１基準位置特定工程で特定された第１基準位置に第２アーム部が配置され、かつ、第２基準位置特定工程で特定された第２基準位置にハンド基部が配置されている状態で、第３基準位置にハンドフォークを位置決めするための第３位置決め治具によってハンドフォークを位置決めするハンドフォーク位置決め工程と、ハンドフォーク位置決め工程後に、ハンドフォークに検知用パネルを搭載するパネル搭載工程と、ハンドフォーク位置決め工程後またはパネル搭載工程後に、第４基準位置で第１アーム部が停止するように第１原点センサの検知結果に基づいてまたは第１原点センサの検知結果と第１エンコーダの検知結果とに基づいて第１アーム部を停止させたときの第１アーム部の停止位置である第３停止位置を基準にして第１モータを駆動制御し、第１基準位置特定工程で特定された第１基準位置を基準にして第２モータを駆動制御するとともに、第２基準位置特定工程で特定された第２基準位置を基準にして第３モータを駆動制御して、産業用ロボットを仮の基準姿勢にするロボット動作工程と、ロボット動作工程後に、産業用ロボットを動作させて搬送対象物の受渡し位置にハンドフォークを移動させるハンド移動工程と、ハンド移動工程後に、所定の基準位置である第５基準位置と検知用パネルのエッジとの、本体部に対する第１アーム部の回動方向におけるずれ量に基づいて第１モータを制御するための補正値を算出する補正値算出工程とを備えることを特徴とする。   In order to solve the above-described problem, the industrial robot correction value calculation method of the present invention is an industrial robot correction value calculation method for calculating a correction value for correcting the operation of an industrial robot. The robot includes a main body portion, a first arm portion whose base end side is rotatably connected to the main body portion, and a second arm portion whose base end side is rotatably connected to the distal end side of the first arm portion. A hand having an arm, a hand base rotatably connected to the distal end side of the second arm, a hand fork extending in one horizontal direction from the hand base and carrying a conveyance object; A first motor for rotating the first arm portion, a second motor for rotating the second arm portion with respect to the first arm portion, and a hand base portion with respect to the second arm portion. A third motor for moving the first motor and a first motor A first encoder for detecting the amount of rotation of the second motor, a second encoder for detecting the amount of rotation of the second motor, a third encoder for detecting the amount of rotation of the third motor, and a second encoder for the main body. A first origin sensor for detecting the origin position of the first arm part in the rotation direction of the first arm part, and an origin position of the second arm part in the rotation direction of the second arm part relative to the first arm part. And a third origin sensor for detecting the origin position of the hand base in the direction of rotation of the hand base relative to the second arm, and the rotation of the second arm relative to the first arm A predetermined reference position of the second arm portion in the direction is defined as a first reference position, a predetermined reference position of the hand base in the rotation direction of the hand base relative to the second arm portion is defined as a second reference position, and the hand base portion The predetermined reference position of the hand fork in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the hand fork is set as the third reference position, and the predetermined reference position of the first arm part in the rotation direction of the first arm part with respect to the main body is set as the fourth reference position. Assuming the position, the correction value calculation method for the industrial robot is based on the detection result of the second origin sensor so that the second arm unit stops at the first reference position or the detection result of the second origin sensor and the second encoder. The first positioning jig for positioning the second arm part at the first reference position from the first stop position that is the stop position of the second arm part when the second arm part is stopped based on the detection result of A detection result of the second encoder when the second arm portion is rotated to a position where the second arm portion is positioned by the tool, and a second when the second arm portion is stopped at the first stop position. A first reference position specifying step for specifying the first reference position based on the value of the encoder, and the second arm portion at the first reference position specified in the first reference position specifying step after the first reference position specifying step. Based on the detection result of the third origin sensor or based on the detection result of the third origin sensor and the detection result of the third encoder so that the hand base stops at the second reference position in the disposed state. The hand base is rotated from the second stop position, which is the stop position of the hand base when the hand is stopped, to a position where the hand base is positioned by the second positioning jig for positioning the hand base at the second reference position. A second reference position specifying step of specifying the second reference position based on the detection result of the third encoder when the second base position is detected and the value of the third encoder when the hand base is stopped at the second stop position After the second reference position specifying step, the second arm portion is arranged at the first reference position specified in the first reference position specifying step, and the hand is moved to the second reference position specified in the second reference position specifying step. A hand fork positioning step for positioning the hand fork with a third positioning jig for positioning the hand fork at the third reference position in a state in which the base is disposed, and a detection panel on the hand fork after the hand fork positioning step And after the hand fork positioning process or the panel mounting process, based on the detection result of the first origin sensor or the detection of the first origin sensor so that the first arm portion stops at the fourth reference position. The third stop, which is the stop position of the first arm when the first arm is stopped based on the result and the detection result of the first encoder The first motor is driven and controlled on the basis of the position, the second motor is driven and controlled based on the first reference position specified in the first reference position specifying step, and specified in the second reference position specifying step. A robot operation process that drives and controls the third motor with reference to the second reference position to place the industrial robot in a tentative reference posture, and after the robot operation process, the industrial robot is operated to deliver the transfer object. A hand moving step for moving the hand fork, and after the hand moving step, a deviation amount in a rotation direction of the first arm portion with respect to the main body portion between the fifth reference position which is a predetermined reference position and the edge of the detection panel. And a correction value calculating step for calculating a correction value for controlling the first motor based on the correction value.

本発明の産業用ロボットの補正値算出方法では、第１基準位置特定工程において、第１アーム部に対する第２アーム部の回動方向における第２アーム部の基準位置である第１基準位置を第１位置決め治具を用いて特定し、第２基準位置特定工程において、第２アーム部に対するハンド基部の回動方向におけるハンド基部の基準位置である第２基準位置を第２位置決め治具を用いて特定し、ハンドフォーク位置決め工程において、ハンド基部に対するハンドフォークの長手方向に直交する方向におけるハンドフォークの基準位置である第３基準位置に第３位置決め治具によってハンドフォークを位置決めしている。また、本発明では、その後のロボット動作工程において、第１基準位置特定工程で特定された第１基準位置を基準にして第２モータを駆動制御するとともに、第２基準位置特定工程で特定された第２基準位置を基準にして第３モータを駆動制御して、産業用ロボットを仮の基準姿勢にしてから、ハンド移動工程において、搬送対象物の受渡し位置にハンドフォークを移動させている。   In the correction value calculation method for an industrial robot of the present invention, in the first reference position specifying step, the first reference position, which is the reference position of the second arm part in the rotation direction of the second arm part with respect to the first arm part, is set to 1 using a positioning jig, and in the second reference position specifying step, using the second positioning jig, the second reference position, which is the reference position of the hand base in the rotation direction of the hand base with respect to the second arm, is used. In the hand fork positioning step, the hand fork is positioned by the third positioning jig at the third reference position, which is the reference position of the hand fork in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the hand fork with respect to the hand base. In the present invention, in the subsequent robot operation process, the second motor is driven and controlled based on the first reference position specified in the first reference position specifying process, and specified in the second reference position specifying process. The third motor is driven and controlled with reference to the second reference position to bring the industrial robot into a temporary reference posture, and then the hand fork is moved to the delivery position of the conveyance object in the hand moving step.

また、本発明では、その後の補正値算出工程において、所定の第５基準位置と検知用パネルのエッジとの、本体部に対する第１アーム部の回動方向におけるずれ量に基づいて第１モータを制御するための補正値を算出している。すなわち、本発明では、第２アーム部、ハンド基部およびハンドフォークを所定の基準位置に合わせた状態で搬送対象物の受渡し位置にハンドフォークを移動させた後、第５基準位置と検知用パネルのエッジとの、本体部に対する第１アーム部の回動方向におけるずれ量に基づいて第１モータを制御するための補正値を算出している。   In the present invention, in the subsequent correction value calculation step, the first motor is controlled based on the amount of deviation between the predetermined fifth reference position and the edge of the detection panel in the rotation direction of the first arm portion with respect to the main body portion. A correction value for control is calculated. That is, in the present invention, after the hand fork is moved to the delivery position of the object to be transported with the second arm portion, the hand base portion and the hand fork aligned with the predetermined reference position, the fifth reference position and the detection panel A correction value for controlling the first motor is calculated on the basis of the amount of deviation of the first arm portion relative to the main body portion in the rotation direction with respect to the edge.

そのため、本発明では、交換前の産業用ロボットのハンドフォークが搬送対象物の受渡し位置に移動したときに、交換前の産業用ロボットのハンドフォークに搭載された検知用パネルのエッジが配置される所定の位置を第５基準位置とすれば、第１モータを制御するための補正値を算出することで、交換前の産業用ロボットの教示作業で教示された教示位置の座標に対する交換後の産業用ロボットのロボット座標系のずれを補正するための補正値を算出することが可能になる。   Therefore, in the present invention, when the hand fork of the industrial robot before replacement is moved to the delivery position of the object to be transported, the edge of the detection panel mounted on the hand fork of the industrial robot before replacement is arranged. If the predetermined position is the fifth reference position, a post-exchange industry for the teaching position coordinates taught in the teaching work of the industrial robot before the exchange is calculated by calculating a correction value for controlling the first motor. It is possible to calculate a correction value for correcting the deviation of the robot coordinate system of the industrial robot.

すなわち、本発明では、第５基準位置と検知用パネルのエッジとの、本体部に対する第１アーム部の回動方向におけるずれ量に基づいて補正値を算出することで、交換前の産業用ロボットの教示作業で教示された教示位置の座標に対する交換後の産業用ロボットのロボット座標系のずれを補正するための補正値を算出することが可能になる。したがって、本発明では、交換前の産業用ロボットの教示作業で教示された教示位置の座標に対する交換後の産業用ロボットのロボット座標系のずれを補正するための補正値を比較的容易に算出することが可能になる。   In other words, in the present invention, the industrial robot before replacement is calculated by calculating a correction value based on the amount of deviation between the fifth reference position and the edge of the detection panel in the rotation direction of the first arm with respect to the main body. Thus, it is possible to calculate a correction value for correcting a deviation of the robot coordinate system of the industrial robot after replacement with respect to the coordinate of the teaching position taught in the teaching operation. Therefore, in the present invention, a correction value for correcting the deviation of the robot coordinate system of the industrial robot after replacement with respect to the coordinate of the teaching position taught in the teaching work of the industrial robot before replacement is relatively easily calculated. It becomes possible.

本発明において、補正値算出工程では、たとえば、第５基準位置に配置される１個のセンサで検知用パネルのエッジが検知されるまで第１アーム部を回動させたときの第１エンコーダの検知結果に基づいて補正値を算出する。この場合には、比較的安価なセンサを使用して補正値を算出することが可能になる。なお、本発明では、補正値算出工程において、第５基準位置と検知用パネルのエッジとの、本体部に対する第１アーム部の回動方向におけるずれ量に基づいて補正値を算出すれば良いため、１個のセンサを用いて補正値を算出することが可能になる。   In the present invention, in the correction value calculation step, for example, the first encoder when the first arm is rotated until the edge of the detection panel is detected by one sensor arranged at the fifth reference position. A correction value is calculated based on the detection result. In this case, the correction value can be calculated using a relatively inexpensive sensor. In the present invention, in the correction value calculation step, the correction value may be calculated based on the amount of deviation between the fifth reference position and the edge of the detection panel in the rotation direction of the first arm with respect to the main body. It becomes possible to calculate a correction value using one sensor.

また、本発明において、補正値算出工程では、たとえば、１個のカメラを用いて、第５基準位置と検知用パネルのエッジとの、本体部に対する第１アーム部の回動方向におけるずれ量を求めても良い。本発明では、補正値算出工程において、第５基準位置と検知用パネルのエッジとの、本体部に対する第１アーム部の回動方向におけるずれ量に基づいて補正値を算出すれば良いため、１個のカメラを用いて補正値を算出することが可能になる。   In the present invention, in the correction value calculating step, for example, using one camera, the shift amount in the rotation direction of the first arm portion with respect to the main body portion between the fifth reference position and the edge of the detection panel is calculated. You may ask. In the present invention, in the correction value calculation step, the correction value may be calculated based on the amount of deviation between the fifth reference position and the edge of the detection panel in the rotation direction of the first arm portion with respect to the main body portion. The correction value can be calculated using a single camera.

さらに、本発明において、補正値算出工程では、たとえば、本体部に対する第１アーム部の回動方向において第５基準位置と検知用パネルのエッジとが一致する位置で検知用パネルを位置決めするための第４位置決め治具によって検知用パネルが位置決めされる位置まで第１アーム部を回動させたときの第１エンコーダの検知結果に基づいて補正値を算出しても良い。   Furthermore, in the present invention, in the correction value calculation step, for example, the detection panel is positioned at a position where the fifth reference position and the edge of the detection panel coincide with each other in the rotation direction of the first arm with respect to the main body. The correction value may be calculated based on the detection result of the first encoder when the first arm portion is rotated to the position where the detection panel is positioned by the fourth positioning jig.

本発明において、たとえば、第２アーム部が第１基準位置にあるときには、第１アーム部と第２アーム部とが上下方向で重なり、ハンド基部が第２基準位置にあるときには、第２アーム部とハンドフォークとが上下方向で重なっている。   In the present invention, for example, when the second arm portion is at the first reference position, the first arm portion and the second arm portion overlap in the vertical direction, and when the hand base portion is at the second reference position, the second arm portion. And the hand fork overlap in the vertical direction.

本発明において、第１位置決め治具は、たとえば、第１アーム部および第２アーム部のいずれか一方に固定される第１固定部材と、第１アーム部および第２アーム部のいずれか他方に形成される第１挿入穴と第１固定部材に形成される第１貫通穴とに挿入される第１ピンとを備えている。この場合には、比較的簡易な構成で、第２アーム部を第１基準位置に位置決めすることが可能になる。   In the present invention, the first positioning jig is, for example, a first fixing member that is fixed to one of the first arm part and the second arm part, and one of the first arm part and the second arm part. A first pin inserted into the first insertion hole formed and the first through hole formed in the first fixing member is provided. In this case, the second arm portion can be positioned at the first reference position with a relatively simple configuration.

本発明において、第２位置決め治具は、たとえば、第１アーム部およびハンド基部のいずれか一方に固定される第２固定部材と、第１アーム部およびハンド基部のいずれか他方に形成される第２挿入穴と第２固定部材に形成される第２貫通穴とに挿入される第２ピンとを備えている。この場合には、比較的簡易な構成で、ハンド基部を第２基準位置に位置決めすることが可能になる。   In the present invention, the second positioning jig is formed on, for example, the second fixing member fixed to one of the first arm portion and the hand base, and the other one of the first arm portion and the hand base. 2 and a second pin inserted into the second through hole formed in the second fixing member. In this case, the hand base can be positioned at the second reference position with a relatively simple configuration.

本発明において、ハンドは、２本のハンドフォークを備え、第３位置決め治具は、たとえば、２本のハンドフォークおよび第２アーム部のいずれか一方に固定される第３固定部材と、２本のハンドフォークおよび第２アーム部のいずれか他方に形成される第３挿入穴と第３固定部材に形成される第３貫通穴とに挿入される第３ピンとを備えている。この場合には、比較的簡易な構成で、２本のハンドフォークを第３基準位置に位置決めすることが可能になる。   In the present invention, the hand includes two hand forks, and the third positioning jig includes, for example, a third fixing member fixed to one of the two hand forks and the second arm portion, and two And a third pin inserted in a third insertion hole formed in the other one of the hand fork and the second arm portion and a third through hole formed in the third fixing member. In this case, it is possible to position the two hand forks at the third reference position with a relatively simple configuration.

以上のように、本発明の産業用ロボットの補正値算出方法では、交換前の産業用ロボットの教示作業で教示された教示位置の座標に対する交換後の産業用ロボットのロボット座標系のずれを補正するための補正値を比較的容易に算出することが可能になる。   As described above, in the industrial robot correction value calculation method according to the present invention, the deviation of the robot coordinate system of the industrial robot after replacement with respect to the coordinate of the teaching position taught in the teaching work of the industrial robot before replacement is corrected. Therefore, it is possible to calculate the correction value for this relatively easily.

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの補正値算出方法によって補正値が算出される産業用ロボットの図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。It is a figure of the industrial robot from which a correction value is calculated with the correction value calculation method of the industrial robot concerning embodiment of this invention, (A) is a top view, (B) is a side view. 図１に示す産業用ロボットが有機ＥＬディスプレイの製造システムに組み込まれた状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state in which the industrial robot shown in FIG. 1 was integrated in the manufacturing system of an organic EL display. 図１に示す産業用ロボットの構成を説明するためのブロック図である。It is a block diagram for demonstrating the structure of the industrial robot shown in FIG. 図１に示す産業用ロボットに第１位置決め治具、第２位置決め治具および第３位置決め治具が取り付けられた状態の図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。It is a figure of the state in which the 1st positioning jig, the 2nd positioning jig, and the 3rd positioning jig were attached to the industrial robot shown in FIG. 1, (A) is a top view, (B) is a side view. . （Ａ）は、図４（Ｂ）のＥ部の拡大図であり、（Ｂ）は、（Ａ）のＦ−Ｆ方向から第１位置決め治具等を示す図であり、（Ｃ）は、（Ａ）のＧ部の拡大図である。(A) is an enlarged view of the E part of FIG. 4 (B), (B) is a figure which shows a 1st positioning jig etc. from the FF direction of (A), (C) is It is an enlarged view of the G section of (A). （Ａ）は、図４（Ｂ）のＨ部の拡大図であり、（Ｂ）は、（Ａ）のＪ−Ｊ方向から第２位置決め治具等を示す図であり、（Ｃ）は、（Ａ）のＫ部の拡大図である。(A) is an enlarged view of the H portion of FIG. 4 (B), (B) is a diagram showing the second positioning jig and the like from the JJ direction of (A), and (C) is It is an enlarged view of the K section of (A). （Ａ）は、図４（Ａ）のＬ部の拡大図であり、（Ｂ）は、図４（Ｂ）のＭ部の拡大図であり、（Ｃ）は、（Ｂ）のＮ−Ｎ方向から第３位置決め治具等を示す図であり、（Ｄ）は、（Ｂ）のＰ部の拡大図である。(A) is an enlarged view of the L part of FIG. 4 (A), (B) is an enlarged view of the M part of FIG. 4 (B), and (C) is an NN of (B). It is a figure which shows a 3rd positioning jig etc. from a direction, (D) is an enlarged view of the P section of (B). 図１に示す産業用ロボットの補正値を算出する補正値算出工程での産業用ロボットの動作を説明するための図である。It is a figure for demonstrating operation | movement of the industrial robot in the correction value calculation process which calculates the correction value of the industrial robot shown in FIG. 本発明の他の実施の形態にかかる補正値算出工程での産業用ロボットの動作を説明するための図である。It is a figure for demonstrating operation | movement of the industrial robot in the correction value calculation process concerning other embodiment of this invention.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（産業用ロボットの構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの補正値算出方法によって補正値が算出される産業用ロボット１の図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１が有機ＥＬディスプレイの製造システム３に組み込まれた状態を示す平面図である。図３は、図１に示す産業用ロボット１の構成を説明するためのブロック図である。 (Composition of industrial robot)
FIG. 1 is a diagram of an industrial robot 1 in which correction values are calculated by the correction value calculation method for an industrial robot according to an embodiment of the present invention, where (A) is a plan view and (B) is a side view. is there. FIG. 2 is a plan view showing a state in which the industrial robot 1 shown in FIG. 1 is incorporated in the organic EL display manufacturing system 3. FIG. 3 is a block diagram for explaining the configuration of the industrial robot 1 shown in FIG.

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である有機ＥＬディスプレイ用のガラス基板２（以下、「基板２」とする。）を搬送するためのロボットである。このロボット１は、図２に示すように、有機ＥＬディスプレイの製造システム３に組み込まれて使用される水平多関節ロボットである。製造システム３は、中心に配置されるトランスファーチャンバー４（以下、「チャンバー４」とする。）と、チャンバー４を囲むように配置される複数のチャンバー５〜７とを備えている。   An industrial robot 1 (hereinafter referred to as “robot 1”) of this embodiment is a robot for transporting a glass substrate 2 for organic EL display (hereinafter referred to as “substrate 2”), which is an object to be transported. It is. As shown in FIG. 2, the robot 1 is a horizontal articulated robot used by being incorporated in an organic EL display manufacturing system 3. The manufacturing system 3 includes a transfer chamber 4 (hereinafter referred to as “chamber 4”) disposed in the center, and a plurality of chambers 5 to 7 disposed so as to surround the chamber 4.

チャンバー５は、基板２に対して所定の処理を行うためのプロセスチャンバーである。また、チャンバー６は、たとえば、製造システム３に供給される基板２が収容される供給用のチャンバー（ローダ）であり、チャンバー７は、たとえば、製造システム３から排出される基板２が収容される排出用のチャンバー（アンローダ）である。チャンバー４〜７の内部は、真空になっている。チャンバー４の内部には、ロボット１の一部が配置されている。ロボット１を構成する後述のハンドフォーク１８、１９がチャンバー５〜７の中に入り込むことで、ロボット１は、複数のチャンバー５〜７の間で基板２を搬送する。   The chamber 5 is a process chamber for performing a predetermined process on the substrate 2. The chamber 6 is, for example, a supply chamber (loader) in which the substrate 2 supplied to the manufacturing system 3 is accommodated. The chamber 7 accommodates, for example, the substrate 2 discharged from the manufacturing system 3. This is a discharge chamber (unloader). The insides of the chambers 4 to 7 are in a vacuum. A part of the robot 1 is disposed inside the chamber 4. The robot 1 conveys the substrate 2 between the plurality of chambers 5 to 7 by the later-described hand forks 18 and 19 constituting the robot 1 entering the chambers 5 to 7.

図１に示すように、ロボット１は、基板２が搭載されるハンド８と、ハンド８が先端側に回動可能に連結されるアーム９と、アーム９の基端側が回動可能に連結される本体部１０とを備えている。ハンド８およびアーム９は、本体部１０の上側に配置されている。本体部１０は、アーム９を昇降させる昇降機構と、昇降機構が収容されるケース体１３とを備えている。ケース体１３は、略有底円筒状に形成されている。ケース体１３の上端には、円板状に形成されたフランジ１４が固定されている。   As shown in FIG. 1, the robot 1 includes a hand 8 on which a substrate 2 is mounted, an arm 9 to which the hand 8 is pivotably connected to the distal end side, and a base end side of the arm 9 that is pivotally connected. Main body 10. The hand 8 and the arm 9 are disposed on the upper side of the main body 10. The main body 10 includes an elevating mechanism that elevates and lowers the arm 9 and a case body 13 that accommodates the elevating mechanism. The case body 13 is formed in a substantially bottomed cylindrical shape. A flange 14 formed in a disc shape is fixed to the upper end of the case body 13.

上述のように、ロボット１の一部は、チャンバー４の内部に配置されている。具体的には、ロボット１の、フランジ１４の下端面よりも上側の部分がチャンバー４の内部に配置されている。すなわち、ロボット１の、フランジ１４の下端面よりも上側の部分は、真空領域ＶＲの中に配置されており、ハンド８およびアーム９は、真空チャンバー内（真空中）に配置されている。一方、ロボット１の、フランジ１４の下端面よりも下側の部分は、大気領域ＡＲの中（大気中）に配置されている。   As described above, a part of the robot 1 is disposed inside the chamber 4. Specifically, a portion of the robot 1 above the lower end surface of the flange 14 is disposed inside the chamber 4. That is, the part above the lower end surface of the flange 14 of the robot 1 is disposed in the vacuum region VR, and the hand 8 and the arm 9 are disposed in the vacuum chamber (in vacuum). On the other hand, a portion of the robot 1 below the lower end surface of the flange 14 is disposed in the atmospheric region AR (in the atmosphere).

アーム９は、互いに回動可能に連結される第１アーム部１５と第２アーム部１６とを備えている。本形態のアーム９は、第１アーム部１５と第２アーム部１６との２個のアーム部によって構成されている。第１アーム部１５の基端側は、本体部１０に回動可能に連結されている。第１アーム部１５の先端側には、第２アーム部１６の基端側が回動可能に連結されている。第２アーム部１６の先端側には、ハンド８が回動可能に連結されている。   The arm 9 includes a first arm portion 15 and a second arm portion 16 that are rotatably connected to each other. The arm 9 of this embodiment is configured by two arm parts, a first arm part 15 and a second arm part 16. A proximal end side of the first arm portion 15 is rotatably connected to the main body portion 10. The proximal end side of the second arm portion 16 is rotatably connected to the distal end side of the first arm portion 15. A hand 8 is rotatably connected to the distal end side of the second arm portion 16.

第２アーム部１６は、第１アーム部１５よりも上側に配置されている。また、ハンド８は、第２アーム部１６よりも上側に配置されている。本体部１０に対する第１アーム部１５の回動中心と第１アーム部１５に対する第２アーム部１６の回動中心との距離は、第１アーム部１５に対する第２アーム部１６の回動中心と第２アーム部１６に対するハンド８の回動中心との距離と等しくなっている。   The second arm portion 16 is disposed above the first arm portion 15. Further, the hand 8 is disposed above the second arm portion 16. The distance between the rotation center of the first arm portion 15 relative to the main body portion 10 and the rotation center of the second arm portion 16 relative to the first arm portion 15 is the rotation center of the second arm portion 16 relative to the first arm portion 15. This is equal to the distance from the center of rotation of the hand 8 with respect to the second arm portion 16.

ハンド８は、第２アーム部１６の先端側に回動可能に連結されるハンド基部１７と、基板２が搭載されるハンドフォーク１８、１９とを備えている。本形態のハンド８は、２本のハンドフォーク１８と、２本のハンドフォーク１９とを備えている。ハンドフォーク１８、１９は、直線状に形成されている。ハンドフォーク１８とハンドフォーク１９とは同形状に形成されている。２本のハンドフォーク１８は、互いに所定の間隔をあけた状態で平行に配置されている。ハンドフォーク１８は、ハンド基部１７から水平方向の一方向へ伸びている。２本のハンドフォーク１９は、互いに所定の間隔をあけた状態で平行に配置されている。ハンドフォーク１９は、ハンド基部１７からハンドフォーク１８と逆方向に伸びている。   The hand 8 includes a hand base portion 17 that is rotatably connected to the distal end side of the second arm portion 16, and hand forks 18 and 19 on which the substrate 2 is mounted. The hand 8 of this embodiment includes two hand forks 18 and two hand forks 19. The hand forks 18 and 19 are formed in a straight line. The hand fork 18 and the hand fork 19 are formed in the same shape. The two hand forks 18 are arranged in parallel with a predetermined distance from each other. The hand fork 18 extends from the hand base 17 in one horizontal direction. The two hand forks 19 are arranged in parallel with a predetermined distance from each other. The hand fork 19 extends from the hand base 17 in the opposite direction to the hand fork 18.

ハンドフォーク１８、１９は、ハンド基部１７に固定されている。具体的には、ハンドフォーク１８、１９は、固定用のネジによってハンド基部１７に固定されている。ハンドフォーク１８、１９には、固定用のネジが挿通される挿通穴が形成されている。この挿通穴は、ハンドフォーク１８、１９の長手方向に直交する方向を長手方向とする長穴であり、ハンドフォーク１８、１９の長手方向に直交する方向において、ハンド基部１７に対するハンドフォーク１８、１９の固定位置を調整することが可能となっている。   The hand forks 18 and 19 are fixed to the hand base 17. Specifically, the hand forks 18 and 19 are fixed to the hand base 17 with fixing screws. The hand forks 18 and 19 are formed with insertion holes through which fixing screws are inserted. This insertion hole is a long hole whose longitudinal direction is the direction orthogonal to the longitudinal direction of the hand forks 18, 19. In the direction orthogonal to the longitudinal direction of the hand forks 18, 19, the hand forks 18, 19 with respect to the hand base 17 are provided. It is possible to adjust the fixed position.

本形態では、１枚の基板２が２本のハンドフォーク１８に搭載される。また、１枚の基板２が２本のハンドフォーク１９に搭載される。ハンドフォーク１８の上面には、搭載される基板２を位置決めするための位置決め部材が取り付けられている。ハンドフォーク１９の上面にも、搭載される基板２を位置決めするための位置決め部材が取り付けられている。   In this embodiment, one substrate 2 is mounted on two hand forks 18. One substrate 2 is mounted on two hand forks 19. A positioning member for positioning the substrate 2 to be mounted is attached to the upper surface of the hand fork 18. A positioning member for positioning the substrate 2 to be mounted is also attached to the upper surface of the hand fork 19.

また、ロボット１は、本体部１０に対して第１アーム部１５を回動させるためのモータ２１と、第１アーム部１５に対して第２アーム部１６を回動させるためのモータ２２と、第２アーム部１６に対してハンド基部１７を回動させるためのモータ２３と、モータ２１の回転量を検知するためのエンコーダ２４と、モータ２２の回転量を検知するためのエンコーダ２５と、モータ２３の回転量を検知するためのエンコーダ２６とを備えている（図３参照）。   The robot 1 includes a motor 21 for rotating the first arm unit 15 with respect to the main body unit 10, a motor 22 for rotating the second arm unit 16 with respect to the first arm unit 15, and A motor 23 for rotating the hand base portion 17 with respect to the second arm portion 16, an encoder 24 for detecting the rotation amount of the motor 21, an encoder 25 for detecting the rotation amount of the motor 22, and a motor And an encoder 26 for detecting the amount of rotation 23 (see FIG. 3).

エンコーダ２４は、モータ２１に取り付けられている。エンコーダ２５は、モータ２２に取り付けられ、エンコーダ２６は、モータ２３に取り付けられている。モータ２１およびエンコーダ２４は、たとえば、本体部１０の内部に配置されている。また、モータ２２、２３およびエンコーダ２５、２６は、たとえば、第１アーム部１５の内部に配置されている。モータ２１〜２３は、ロボット１の制御部２７に電気的に接続されている。エンコーダ２４〜２６も、制御部２７に電気的に接続されている。本形態のモータ２１は第１モータであり、モータ２２は第２モータであり、モータ２３は第３モータである。また、エンコーダ２４は第１エンコーダであり、エンコーダ２５は第２エンコーダであり、エンコーダ２６は第３エンコーダである。   The encoder 24 is attached to the motor 21. The encoder 25 is attached to the motor 22, and the encoder 26 is attached to the motor 23. For example, the motor 21 and the encoder 24 are arranged inside the main body 10. Further, the motors 22 and 23 and the encoders 25 and 26 are disposed, for example, inside the first arm unit 15. The motors 21 to 23 are electrically connected to the control unit 27 of the robot 1. The encoders 24 to 26 are also electrically connected to the control unit 27. The motor 21 of this embodiment is a first motor, the motor 22 is a second motor, and the motor 23 is a third motor. The encoder 24 is a first encoder, the encoder 25 is a second encoder, and the encoder 26 is a third encoder.

さらに、ロボット１は、本体部１０に対する第１アーム部１５の回動方向における第１アーム部１５の原点位置を検知するための原点センサ３１と、第１アーム部１５に対する第２アーム部１６の回動方向における第２アーム部１６の原点位置を検知するための原点センサ３２と、第２アーム部１６に対するハンド基部１７の回動方向におけるハンド基部１７の原点位置を検知するための原点センサ３３とを備えている。本形態の原点センサ３１は第１原点センサであり、原点センサ３２は第２原点センサであり、原点センサ３３は第３原点センサである。   Further, the robot 1 includes an origin sensor 31 for detecting the origin position of the first arm unit 15 in the rotation direction of the first arm unit 15 with respect to the main body unit 10, and the second arm unit 16 with respect to the first arm unit 15. An origin sensor 32 for detecting the origin position of the second arm portion 16 in the rotation direction, and an origin sensor 33 for detecting the origin position of the hand base portion 17 in the rotation direction of the hand base portion 17 with respect to the second arm portion 16. And. The origin sensor 31 of this embodiment is a first origin sensor, the origin sensor 32 is a second origin sensor, and the origin sensor 33 is a third origin sensor.

原点センサ３１〜３３は、たとえば、近接センサである。あるいは、原点センサ３１〜３３は、たとえば、発光素子と受光素子とを有する光学式のセンサである。原点センサ３１〜３３は、制御部２７に電気的に接続されている。本体部１０と第１アーム部１５との連結部である関節部において、原点センサ３１は、本体部１０および第１アーム部１５のいずれか一方に固定され、本体部１０および第１アーム１５のいずれか他方には、第１アーム部１５が原点位置にあるときに原点センサ３１に検知される検知部材が固定されている。   The origin sensors 31 to 33 are proximity sensors, for example. Or the origin sensors 31-33 are optical sensors which have a light emitting element and a light receiving element, for example. The origin sensors 31 to 33 are electrically connected to the control unit 27. In the joint part that is a connection part between the main body part 10 and the first arm part 15, the origin sensor 31 is fixed to one of the main body part 10 and the first arm part 15. A detection member that is detected by the origin sensor 31 when the first arm portion 15 is at the origin position is fixed to one of the other.

同様に、第１アーム部１５と第２アーム部１６との連結部である関節部において、原点センサ３２は、第１アーム部１５および第２アーム部１６のいずれか一方に固定され、第１アーム部１５および第２アーム１６のいずれか他方には、第２アーム部１６が原点位置にあるときに原点センサ３２に検知される検知部材が固定されている。また、第２アーム部１６とハンド基部１７との連結部である関節部において、原点センサ３３は、第２アーム部１６およびハンド基部１７のいずれか一方に固定され、第２アーム部１６およびハンド基部１７のいずれか他方には、ハンド基部１７が原点位置にあるときに原点センサ３３に検知される検知部材が固定されている。   Similarly, in the joint part that is a connection part between the first arm part 15 and the second arm part 16, the origin sensor 32 is fixed to one of the first arm part 15 and the second arm part 16, and the first sensor A detection member that is detected by the origin sensor 32 when the second arm section 16 is at the origin position is fixed to the other of the arm section 15 and the second arm 16. In addition, in the joint portion that is a connection portion between the second arm portion 16 and the hand base portion 17, the origin sensor 33 is fixed to one of the second arm portion 16 and the hand base portion 17, and the second arm portion 16 and the hand portion. A detection member that is detected by the origin sensor 33 when the hand base 17 is at the origin position is fixed to the other of the base parts 17.

（産業用ロボットの補正値の算出方法）
図４は、図１に示すロボット１に位置決め治具３６〜３８が取り付けられた状態の図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。図５（Ａ）は、図４（Ｂ）のＥ部の拡大図であり、図５（Ｂ）は、図５（Ａ）のＦ−Ｆ方向から位置決め治具３６等を示す図であり、図５（Ｃ）は、図５（Ａ）のＧ部の拡大図である。図６（Ａ）は、図４（Ｂ）のＨ部の拡大図であり、図６（Ｂ）は、図６（Ａ）のＪ−Ｊ方向から位置決め治具３７等を示す図であり、図６（Ｃ）は、図６（Ａ）のＫ部の拡大図である。図７（Ａ）は、図４（Ａ）のＬ部の拡大図であり、図７（Ｂ）は、図４（Ｂ）のＭ部の拡大図であり、図７（Ｃ）は、図７（Ｂ）のＮ−Ｎ方向から位置決め治具３８等を示す図であり、図７（Ｄ）は、図７（Ｂ）のＰ部の拡大図である。図８は、図１に示すロボット１の補正値を算出する補正値算出工程でのロボット１の動作を説明するための図である。 (Calculation method for industrial robot correction values)
4A and 4B are diagrams illustrating a state in which the positioning jigs 36 to 38 are attached to the robot 1 illustrated in FIG. 1, and FIG. 4A is a plan view and FIG. FIG. 5 (A) is an enlarged view of an E portion of FIG. 4 (B), and FIG. 5 (B) is a diagram showing the positioning jig 36 and the like from the FF direction of FIG. 5 (A). FIG. 5C is an enlarged view of a G portion in FIG. 6 (A) is an enlarged view of a portion H in FIG. 4 (B), and FIG. 6 (B) is a diagram showing the positioning jig 37 and the like from the JJ direction in FIG. 6 (A). FIG. 6C is an enlarged view of a portion K in FIG. 7A is an enlarged view of the L portion in FIG. 4A, FIG. 7B is an enlarged view of the M portion in FIG. 4B, and FIG. 7 (B) is a view showing the positioning jig 38 and the like from the NN direction of FIG. 7 (B), and FIG. 7 (D) is an enlarged view of a P portion of FIG. 7 (B). FIG. 8 is a diagram for explaining the operation of the robot 1 in the correction value calculation step of calculating the correction value of the robot 1 shown in FIG.

ロボット１が製造システム３に設置されると、ロボット１の動作プログラムを作成するために、ロボット１の教示作業が行われる。また、たとえば、製造システム３に設置されるロボット１が交換されると、交換前のロボット１の教示作業で教示された教示位置の座標に対して交換後のロボット１のロボット座標系がずれるため、ロボット１の教示作業を再度行う必要が生じる。   When the robot 1 is installed in the manufacturing system 3, in order to create an operation program for the robot 1, a teaching operation for the robot 1 is performed. Further, for example, when the robot 1 installed in the manufacturing system 3 is replaced, the robot coordinate system of the robot 1 after replacement is shifted from the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of the robot 1 before replacement. Therefore, it is necessary to perform the teaching operation of the robot 1 again.

一方で、交換前のロボット１の教示作業で教示された教示位置の座標に対する交換後のロボット１のロボット座標系のずれを補正すれば、煩雑な教示作業を再度行う必要がなくなる。本形態では、ロボット１を交換した後に煩雑な教示作業を再度行わなくても良いように、製造システム３に設置されるロボット１が交換されると、交換前のロボット１の教示作業で教示された教示位置の座標に対する交換後のロボット１のロボット座標系のずれを補正するための補正値を算出する。すなわち、交換後のロボット１の動作を補正するための補正値を算出する。以下、この補正値の算出方法を説明する。   On the other hand, if the displacement of the robot coordinate system of the robot 1 after the exchange with respect to the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of the robot 1 before the exchange is corrected, it is not necessary to perform the complicated teaching work again. In this embodiment, when the robot 1 installed in the manufacturing system 3 is replaced so that the complicated teaching work does not have to be performed again after the robot 1 is replaced, the teaching work of the robot 1 before the replacement is taught. The correction value for correcting the deviation of the robot coordinate system of the robot 1 after the exchange with respect to the coordinate of the taught position is calculated. That is, a correction value for correcting the operation of the robot 1 after replacement is calculated. Hereinafter, a method for calculating the correction value will be described.

以下の説明では、第１アーム部１５に対する第２アーム部１６の回動方向における第２アーム部１６の所定の基準位置を第１基準位置とし、第２アーム部１６に対するハンド基部１７の回動方向におけるハンド基部１７の所定の基準位置を第２基準位置とし、ハンド基部１７に対するハンドフォーク１８の長手方向に直交する方向におけるハンドフォーク１８の所定の基準位置を第３基準位置とし、本体部１０に対する第１アーム部１５の回動方向における第１アーム部１５の所定の基準位置を第４基準位置とする。   In the following description, a predetermined reference position of the second arm unit 16 in the rotation direction of the second arm unit 16 with respect to the first arm unit 15 is defined as a first reference position, and the hand base unit 17 is rotated with respect to the second arm unit 16. The predetermined reference position of the hand base 17 in the direction is set as the second reference position, and the predetermined reference position of the hand fork 18 in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the hand fork 18 with respect to the hand base 17 is set as the third reference position. A predetermined reference position of the first arm portion 15 in the rotation direction of the first arm portion 15 with respect to is defined as a fourth reference position.

本形態では、第２アーム部１６が第１基準位置にあるときには、図４に示すように、第１アーム部１５と第２アーム部１６とが上下方向で重なっている。具体的には、第２アーム部１６が第１基準位置にあるときには、上下方向から見たときに第１アーム部１５の長手方向と第２アーム部１６の長手方向とが一致するように、第１アーム部１５と第２アーム部１６とが上下方向で重なっている。また、本形態では、第１アーム部１５に対する第２アーム部１６の回動方向における第２アーム部１６の原点位置と第１基準位置とが一致している。   In this embodiment, when the second arm portion 16 is in the first reference position, the first arm portion 15 and the second arm portion 16 overlap in the vertical direction as shown in FIG. Specifically, when the second arm portion 16 is in the first reference position, the longitudinal direction of the first arm portion 15 and the longitudinal direction of the second arm portion 16 coincide with each other when viewed from the vertical direction. The 1st arm part 15 and the 2nd arm part 16 have overlapped in the up-down direction. Further, in this embodiment, the origin position of the second arm portion 16 and the first reference position in the rotation direction of the second arm portion 16 with respect to the first arm portion 15 coincide with each other.

また、ハンド基部１７が第２基準位置にあるときには、図４に示すように、第２アーム部１６とハンドフォーク１８とが上下方向で重なっている。具体的には、ハンド基部１７が第２基準位置にあるときには、上下方向から見たときに第２アーム部１６の長手方向とハンドフォーク１８の長手方向とが一致するように、第２アーム部１６とハンドフォーク１８とが上下方向で重なっている。また、本形態では、第２アーム部１６に対するハンド基部１７の回動方向におけるハンド基部１７の原点位置からハンド基部１７が９０°回動した位置が第２基準位置となっている。   Further, when the hand base portion 17 is at the second reference position, the second arm portion 16 and the hand fork 18 overlap in the vertical direction as shown in FIG. Specifically, when the hand base portion 17 is at the second reference position, the second arm portion is arranged such that the longitudinal direction of the second arm portion 16 and the longitudinal direction of the hand fork 18 coincide with each other when viewed from the vertical direction. 16 and the hand fork 18 are overlapped in the vertical direction. In the present embodiment, the second reference position is a position where the hand base 17 is rotated 90 ° from the origin position of the hand base 17 in the rotation direction of the hand base 17 with respect to the second arm portion 16.

なお、第４基準位置は、本体部１０に対する第１アーム部１５の回動方向における第１アーム部１５の原点位置と一致していても良いし、本体部１０に対する第１アーム部１５の回動方向における第１アーム部１５の原点位置から第１アーム部１５が所定角度回動した位置が第４基準位置となっていても良い。   Note that the fourth reference position may coincide with the origin position of the first arm portion 15 in the rotation direction of the first arm portion 15 with respect to the main body portion 10, or the rotation of the first arm portion 15 with respect to the main body portion 10. The position where the first arm portion 15 is rotated by a predetermined angle from the origin position of the first arm portion 15 in the moving direction may be the fourth reference position.

また、本形態では、第１基準位置に第２アーム部１６を位置決めするための位置決め治具３６と、第２基準位置にハンド基部１７を位置決めするための位置決め治具３７と、第３基準位置にハンドフォーク１８を位置決めするための位置決め治具３８とが使用される。本形態の位置決め治具３６は第１位置決め治具であり、位置決め治具３７は第２位置決め治具であり、位置決め治具３８は第３位置決め治具である。なお、位置決め治具３８は、ハンドフォーク１９の長手方向に直交する方向におけるハンド基部１７に対するハンドフォーク１９の所定の基準位置にハンドフォーク１９を位置決めする際にも使用される。   In this embodiment, a positioning jig 36 for positioning the second arm portion 16 at the first reference position, a positioning jig 37 for positioning the hand base portion 17 at the second reference position, and a third reference position A positioning jig 38 for positioning the hand fork 18 is used. The positioning jig 36 of this embodiment is a first positioning jig, the positioning jig 37 is a second positioning jig, and the positioning jig 38 is a third positioning jig. The positioning jig 38 is also used when positioning the hand fork 19 at a predetermined reference position of the hand fork 19 with respect to the hand base 17 in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the hand fork 19.

図５に示すように、位置決め治具３６は、第１アーム部１５に固定される固定部材４１と、ピン４２とを備えている。固定部材４１は、第１アーム部１５の基端の側面に固定されている。固定部材４１には、ピン４２が挿入される貫通穴４１ａが形成されている。また、第２アーム部１６の先端の側面には、ピン４２が挿入される挿入穴１６ａが形成されている。固定部材４１の貫通穴４１ａに挿入されたピン４２が挿入穴１６ａに挿入されると、第２アーム部１６が第１基準位置に厳密に位置決めされる。本形態の固定部材４１は第１固定部材であり、ピン４２は第１ピンであり、挿入穴１６ａは第１挿入穴であり、貫通穴４１ａは第１貫通穴である。   As shown in FIG. 5, the positioning jig 36 includes a fixing member 41 that is fixed to the first arm portion 15 and a pin 42. The fixing member 41 is fixed to the side surface of the base end of the first arm portion 15. The fixing member 41 is formed with a through hole 41a into which the pin 42 is inserted. Further, an insertion hole 16 a into which the pin 42 is inserted is formed on the side surface at the tip of the second arm portion 16. When the pin 42 inserted into the through hole 41a of the fixing member 41 is inserted into the insertion hole 16a, the second arm portion 16 is strictly positioned at the first reference position. The fixing member 41 of this embodiment is a first fixing member, the pin 42 is a first pin, the insertion hole 16a is a first insertion hole, and the through hole 41a is a first through hole.

図６に示すように、位置決め治具３７は、第１アーム部１５に固定される固定部材４３、４４と、ピン４５とを備えている。固定部材４３は、第１アーム部１５の基端の側面に固定されている。固定部材４４は、固定部材４３の側面に固定されている。固定部材４３には、固定部材４１との干渉を防止するための溝部が形成されている。固定部材４４の底面には、固定部材４３に対する固定部材４４の上下方向の位置を調整するためのネジ４６の先端面が接触している。ネジ４６は、固定部材４３の下端面に固定されるネジ保持部材４７に螺合している。   As shown in FIG. 6, the positioning jig 37 includes fixing members 43 and 44 that are fixed to the first arm portion 15 and a pin 45. The fixing member 43 is fixed to the side surface of the base end of the first arm portion 15. The fixing member 44 is fixed to the side surface of the fixing member 43. The fixing member 43 is formed with a groove for preventing interference with the fixing member 41. The tip surface of the screw 46 for adjusting the vertical position of the fixing member 44 with respect to the fixing member 43 is in contact with the bottom surface of the fixing member 44. The screw 46 is screwed into a screw holding member 47 that is fixed to the lower end surface of the fixing member 43.

固定部材４４には、ピン４５が挿入される貫通穴４４ａが形成されている。また、ハンド基部１７の側面には、ピン４５が挿入される挿入穴１７ａが形成されている。固定部材４４の貫通穴４４ａに挿入されたピン４５が挿入穴１７ａに挿入されると、ハンド基部１７が第２基準位置に厳密に位置決めされる。本形態の固定部材４３、４４は第２固定部材であり、ピン４５は第２ピンであり、挿入穴１７ａは第２挿入穴であり、貫通穴４４ａは第２貫通穴である。   The fixing member 44 is formed with a through hole 44a into which the pin 45 is inserted. Further, an insertion hole 17 a into which the pin 45 is inserted is formed on the side surface of the hand base portion 17. When the pin 45 inserted into the through hole 44a of the fixing member 44 is inserted into the insertion hole 17a, the hand base 17 is strictly positioned at the second reference position. The fixing members 43 and 44 of this embodiment are second fixing members, the pin 45 is a second pin, the insertion hole 17a is a second insertion hole, and the through hole 44a is a second through hole.

図７に示すように、位置決め治具３８は、２本のハンドフォーク１８に固定される固定部材４８、４９と、ピン５０とを備えている。固定部材４８は、２本のハンドフォーク１８の上面に固定されている。固定部材４９は、固定部材４８の下面に固定されている。固定部材４９には、ピン５０が挿入される貫通穴４９ａが形成されている。また、第２アーム部１６の基端の側面には、ピン５０が挿入される挿入穴１６ｂが形成されている。固定部材４９の貫通穴４９ａに挿入されたピン５０が挿入穴１６ｂに挿入されると、２本のハンドフォーク１８が第３基準位置に厳密に位置決めされる。本形態の固定部材４８、４９は第３固定部材であり、ピン５０は第３ピンであり、挿入穴１６ｂは第３挿入穴であり、貫通穴４９ａは第３貫通穴である。   As shown in FIG. 7, the positioning jig 38 includes fixing members 48 and 49 fixed to the two hand forks 18 and a pin 50. The fixing member 48 is fixed to the upper surfaces of the two hand forks 18. The fixing member 49 is fixed to the lower surface of the fixing member 48. The fixing member 49 is formed with a through hole 49a into which the pin 50 is inserted. Further, an insertion hole 16 b into which the pin 50 is inserted is formed on the side surface of the base end of the second arm portion 16. When the pin 50 inserted into the through hole 49a of the fixing member 49 is inserted into the insertion hole 16b, the two hand forks 18 are strictly positioned at the third reference position. In this embodiment, the fixing members 48 and 49 are third fixing members, the pin 50 is a third pin, the insertion hole 16b is a third insertion hole, and the through hole 49a is a third through hole.

たとえば、製造システム３に設置されるロボット１が交換されると、まず、原点センサ３２の検知結果に基づいて第２アーム部１６を第１基準位置（原点位置）に回動させる。すなわち、第１基準位置で第２アーム部１６が停止するように原点センサ３２の検知結果に基づいて第２アーム部１６を回動させて停止させる。   For example, when the robot 1 installed in the manufacturing system 3 is replaced, the second arm unit 16 is first rotated to the first reference position (origin position) based on the detection result of the origin sensor 32. That is, the second arm portion 16 is rotated and stopped based on the detection result of the origin sensor 32 so that the second arm portion 16 stops at the first reference position.

また、原点センサ３３の検知結果とエンコーダ２６の検知結果とに基づいてハンド基部１７を第２基準位置（原点位置から９０°回動した位置）に回動させる。たとえば、原点センサ３３の検知結果に基づいてハンド基部１７を原点位置に回動させた後、エンコーダ２６の検知結果に基づいてハンド基部１７を原点位置から第２基準位置に回動させる。すなわち、第２基準位置でハンド基部１７が停止するように原点センサ３３の検知結果とエンコーダ２６の検知結果に基づいてハンド基部１７を回動させて停止させる。   Further, based on the detection result of the origin sensor 33 and the detection result of the encoder 26, the hand base 17 is rotated to the second reference position (a position rotated by 90 ° from the origin position). For example, after the hand base 17 is rotated to the origin position based on the detection result of the origin sensor 33, the hand base 17 is rotated from the origin position to the second reference position based on the detection result of the encoder 26. That is, the hand base 17 is rotated and stopped based on the detection result of the origin sensor 33 and the detection result of the encoder 26 so that the hand base 17 stops at the second reference position.

その後、固定部材４１、４３、４４を第１アーム部１５に固定し、固定部材４８、４９を２本のハンドフォーク１８に固定する。なお、原点センサ３２の検知結果に基づいて第１基準位置に回動した第２アーム部１６は、厳密には、第１基準位置から若干ずれている。同様に、原点センサ３３の検知結果とエンコーダ２６の検知結果とに基づいて第２基準位置に回動したハンド基部１７は、厳密には、第２基準位置から若干ずれている。   Thereafter, the fixing members 41, 43, 44 are fixed to the first arm portion 15, and the fixing members 48, 49 are fixed to the two hand forks 18. Strictly speaking, the second arm portion 16 rotated to the first reference position based on the detection result of the origin sensor 32 is slightly deviated from the first reference position. Similarly, the hand base 17 rotated to the second reference position based on the detection result of the origin sensor 33 and the detection result of the encoder 26 is slightly deviated from the second reference position.

その後、固定部材４１の貫通穴４１ａに挿入されたピン４２が挿入穴１６ａに嵌る位置まで第１アーム部１５に対して第２アーム部１６を回動させて挿入穴１６ａにピン４２を挿入し、第１基準位置に第２アーム部１６を厳密に位置決めする。また、そのときのモータ２２の回動量をエンコーダ２５で検知し、制御部２７は、エンコーダ２５での検知結果を用いて第２アーム部１６の第１基準位置を特定する。   Thereafter, the second arm portion 16 is rotated with respect to the first arm portion 15 until the pin 42 inserted into the through hole 41a of the fixing member 41 fits into the insertion hole 16a, and the pin 42 is inserted into the insertion hole 16a. The second arm portion 16 is strictly positioned at the first reference position. Further, the amount of rotation of the motor 22 at that time is detected by the encoder 25, and the control unit 27 specifies the first reference position of the second arm unit 16 using the detection result of the encoder 25.

すなわち、第１基準位置で第２アーム部１６が停止するように原点センサ３２の検知結果に基づいて第２アーム部１６を停止させたときの第２アーム部１６の停止位置である第１停止位置から、位置決め治具３６によって第１基準位置に第２アーム部１６が位置決めされる位置まで第２アーム部１６を回動させたときのエンコーダ２５の検知結果と、第１停止位置に第２アーム部１６が停止しているときのエンコーダ２５の値とに基づいて第１基準位置を特定する（第１基準位置特定工程）。   That is, the first stop that is the stop position of the second arm portion 16 when the second arm portion 16 is stopped based on the detection result of the origin sensor 32 so that the second arm portion 16 stops at the first reference position. The detection result of the encoder 25 when the second arm portion 16 is rotated from the position to the position where the second arm portion 16 is positioned at the first reference position by the positioning jig 36, and the second stop position is the second stop position. The first reference position is specified based on the value of the encoder 25 when the arm portion 16 is stopped (first reference position specifying step).

その後、第１基準位置特定工程で特定された第１基準位置に第２アーム部１６が配置されている状態で、固定部材４４の貫通穴４４ａに挿入されたピン４５が挿入穴１７ａに嵌る位置まで第２アーム部１６に対してハンド基部１７を回動させて挿入穴１７ａにピン４５を挿入し、第２基準位置にハンド基部１７を厳密に位置決めする。また、そのときのモータ２３の回動量をエンコーダ２６で検知し、制御部２７は、エンコーダ２６での検知結果を用いてハンド基部１７の第２基準位置を特定する。   Thereafter, the position where the pin 45 inserted into the through hole 44a of the fixing member 44 fits into the insertion hole 17a in a state where the second arm portion 16 is disposed at the first reference position specified in the first reference position specifying step. The hand base 17 is rotated with respect to the second arm 16 until the pin 45 is inserted into the insertion hole 17a, and the hand base 17 is strictly positioned at the second reference position. Further, the amount of rotation of the motor 23 at that time is detected by the encoder 26, and the control unit 27 specifies the second reference position of the hand base 17 using the detection result of the encoder 26.

すなわち、第１基準位置特定工程で特定された第１基準位置に第２アーム部１６が配置されている状態で、第２基準位置でハンド基部１７が停止するように原点センサ３３の検知結果とエンコーダ２６の検知結果に基づいてハンド基部１７を停止させたときのハンド基部１７の停止位置である第２停止位置から、位置決め治具３７によってハンド基部１７が位置決めされる位置までハンド基部１７を回動させたときのエンコーダ２６の検知結果と、第２停止位置にハンド基部１７が停止しているときのエンコーダ２６の値とに基づいて第２基準位置を特定する（第２基準位置特定工程）。   That is, the detection result of the origin sensor 33 so that the hand base 17 stops at the second reference position in a state where the second arm unit 16 is arranged at the first reference position specified in the first reference position specifying step. Based on the detection result of the encoder 26, the hand base 17 is rotated from the second stop position, which is the stop position of the hand base 17 when the hand base 17 is stopped, to the position where the hand base 17 is positioned by the positioning jig 37. The second reference position is specified based on the detection result of the encoder 26 when moved and the value of the encoder 26 when the hand base 17 is stopped at the second stop position (second reference position specifying step). .

その後、第１基準位置特定工程で特定された第１基準位置に第２アーム部１６が配置され、かつ、第２基準位置特定工程で特定された第２基準位置にハンド基部１７が配置されている状態で、固定部材４９の貫通穴４９ａに挿入されたピン５０が挿入穴１６ｂに嵌る位置まで、ハンドフォーク１８の長手方向に直交する方向へハンド基部１７に対して２本のハンドフォーク１８を移動させて挿入穴１６ｂにピン５０を挿入し、第３基準位置に２本のハンドフォーク１８を位置決めする。   Thereafter, the second arm portion 16 is disposed at the first reference position identified in the first reference position identifying step, and the hand base portion 17 is disposed at the second reference position identified in the second reference position identifying step. The two hand forks 18 in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the hand forks 18 until the pin 50 inserted into the through hole 49a of the fixing member 49 fits into the insertion hole 16b. The pin 50 is inserted into the insertion hole 16b and the two hand forks 18 are positioned at the third reference position.

すなわち、第１基準位置特定工程で特定された第１基準位置に第２アーム部１６が配置され、かつ、第２基準位置特定工程で特定された第２基準位置にハンド基部１７が配置されている状態で、位置決め治具３８によって２本のハンドフォーク１８を位置決めする（ハンドフォーク位置決め工程）。位置決めされたハンドフォーク１８は、ネジによってハンド基部１７に固定される。   That is, the second arm portion 16 is arranged at the first reference position specified in the first reference position specifying step, and the hand base portion 17 is arranged at the second reference position specified in the second reference position specifying step. In this state, the two hand forks 18 are positioned by the positioning jig 38 (hand fork positioning step). The positioned hand fork 18 is fixed to the hand base 17 by screws.

その後、少なくとも位置決め治具３７、３８を取り外すとともに、第２アーム部１６に対してハンド基部１７を１８０°回動させる。この状態で、固定部材４８、４９を２本のハンドフォーク１９に固定する。また、固定部材４９の貫通穴４９ａに挿入されたピン５０が挿入穴１６ｂに嵌る位置まで、ハンドフォーク１９の長手方向に直交する方向へハンド基部１７に対して２本のハンドフォーク１９を移動させて挿入穴１６ｂにピン５０を挿入し、所定の基準位置に２本のハンドフォーク１９を位置決めする。位置決めされたハンドフォーク１９は、ネジによってハンド基部１７に固定される。   Thereafter, at least the positioning jigs 37 and 38 are removed, and the hand base portion 17 is rotated 180 ° with respect to the second arm portion 16. In this state, the fixing members 48 and 49 are fixed to the two hand forks 19. Further, the two hand forks 19 are moved relative to the hand base 17 in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the hand forks 19 until the pin 50 inserted into the through hole 49a of the fixing member 49 fits into the insertion hole 16b. Then, the pin 50 is inserted into the insertion hole 16b, and the two hand forks 19 are positioned at a predetermined reference position. The positioned hand fork 19 is fixed to the hand base 17 with screws.

その後、２本のハンドフォーク１８に検知用パネル５２（図８参照）を搭載する（パネル搭載工程）。検知用パネル５２は、後述の補正値算出工程において補正値を算出する際に使用されるパネルであり、たとえば、長方形の平板状に形成されている。検知用パネル５２は、ハンドフォーク１８の上面に取り付けられた位置決め部材によって位置決めされた状態で、２本のハンドフォーク１８に搭載されている。   Thereafter, the detection panel 52 (see FIG. 8) is mounted on the two hand forks 18 (panel mounting step). The detection panel 52 is a panel used when calculating a correction value in a correction value calculation process described later, and is formed in, for example, a rectangular flat plate shape. The detection panel 52 is mounted on the two hand forks 18 while being positioned by a positioning member attached to the upper surface of the hand fork 18.

その後、第４基準位置で第１アーム部１５が停止するように原点センサ３１の検知結果に基づいてまたは原点センサ３１の検知結果とエンコーダ２４の検知結果に基づいて第１アーム部１５を停止させたときの第１アーム部１５の停止位置である第３停止位置を基準にしてモータ２１を駆動制御し、第１基準位置特定工程で特定された第１基準位置を基準にしてモータ２２を駆動制御するとともに、第２基準位置特定工程で特定された第２基準位置を基準にしてモータ２３を駆動制御して、ロボット１を仮の基準姿勢にする（ロボット動作工程）。   Thereafter, the first arm unit 15 is stopped based on the detection result of the origin sensor 31 or based on the detection result of the origin sensor 31 and the detection result of the encoder 24 so that the first arm unit 15 stops at the fourth reference position. The motor 21 is driven and controlled based on the third stop position, which is the stop position of the first arm portion 15 at that time, and the motor 22 is driven based on the first reference position specified in the first reference position specifying step. In addition to the control, the motor 23 is driven and controlled with reference to the second reference position specified in the second reference position specifying step, and the robot 1 is put into a temporary reference posture (robot operation step).

すなわち、第３停止位置を基準にしてモータ２１を駆動制御し、第１基準位置特定工程で特定された第１基準位置を基準にしてモータ２２を駆動制御するとともに、第２基準位置特定工程で特定された第２基準位置を基準にしてモータ２３を駆動制御して、ロボット１を仮の動作開始位置まで動作させる。本形態では、たとえば、第１アーム１５が第３停止位置に停止し、第２アーム部１６が第１基準位置に停止し、ハンド基部１７が第２基準位置から９０°回動した位置に停止している状態がロボット１の仮の動作開始位置となっている。また、本形態では、ロボット１の動作開始位置とロボット１のホームポジションとが一致している。ただし、ロボット１の動作開始位置とロボット１のホームポジションとがずれていても良い。   That is, the motor 21 is driven and controlled based on the third stop position, the motor 22 is driven and controlled based on the first reference position specified in the first reference position specifying step, and in the second reference position specifying step. The motor 23 is driven and controlled based on the specified second reference position, and the robot 1 is moved to the temporary operation start position. In this embodiment, for example, the first arm 15 stops at the third stop position, the second arm portion 16 stops at the first reference position, and the hand base portion 17 stops at a position rotated 90 ° from the second reference position. This is the temporary operation start position of the robot 1. Further, in this embodiment, the operation start position of the robot 1 and the home position of the robot 1 match. However, the operation start position of the robot 1 and the home position of the robot 1 may be shifted.

なお、本体部１０に対する第１アーム部１５の回動方向における第１アーム部１５の原点位置と第４基準位置とが一致している場合には、ロボット動作工程において、第４基準位置で第１アーム部１５が停止するように原点センサ３１の検知結果に基づいて第１アーム部１５を回動させて停止させる。また、本体部１０に対する第１アーム部１５の回動方向における第１アーム部１５の原点位置から第１アーム部１５が所定角度回動した位置が第４基準位置となっている場合には、ロボット動作工程において、第４基準位置で第１アーム部１５が停止するように、原点センサ３１の検知結果とエンコーダ２４の検知結果に基づいて第１アーム部１５を回動させて停止させる。また、第３停止位置は、厳密には、第４基準位置から若干ずれている。また、ロボット動作工程の前までに、位置決め治具３６、３８は取り外されている。   When the origin position of the first arm portion 15 in the rotation direction of the first arm portion 15 with respect to the main body portion 10 coincides with the fourth reference position, the fourth reference position in the robot operation step is changed to the fourth reference position. Based on the detection result of the origin sensor 31, the first arm portion 15 is rotated and stopped so that the one arm portion 15 stops. Further, when the position where the first arm unit 15 is rotated by a predetermined angle from the origin position of the first arm unit 15 in the rotation direction of the first arm unit 15 with respect to the main body unit 10 is the fourth reference position, In the robot operation process, the first arm unit 15 is rotated and stopped based on the detection result of the origin sensor 31 and the detection result of the encoder 24 so that the first arm unit 15 stops at the fourth reference position. Strictly speaking, the third stop position is slightly deviated from the fourth reference position. Further, the positioning jigs 36 and 38 are removed before the robot operation process.

その後、ロボット１を動作させて基板２の受渡し位置にハンドフォーク１８を移動させる（ハンド移動工程）。たとえば、図８（Ａ）に示すように、チャンバー６の中の基板２の受渡し位置にハンドフォーク１８を移動させる。具体的には、アーム９を伸ばして、チャンバー６の中の基板２の受渡し位置にハンドフォーク１８を移動させる。その後、所定の基準位置である第５基準位置と検知用パネル５２のエッジとの、本体部１０に対する第１アーム部１５の回動方向におけるずれ量に基づいてモータ２１を制御するための補正値を算出する（補正値算出工程）。   Thereafter, the robot 1 is operated to move the hand fork 18 to the delivery position of the substrate 2 (hand moving step). For example, as shown in FIG. 8A, the hand fork 18 is moved to the delivery position of the substrate 2 in the chamber 6. Specifically, the arm 9 is extended and the hand fork 18 is moved to the delivery position of the substrate 2 in the chamber 6. Thereafter, a correction value for controlling the motor 21 based on the amount of deviation between the fifth reference position, which is a predetermined reference position, and the edge of the detection panel 52 in the rotation direction of the first arm portion 15 with respect to the main body portion 10. Is calculated (correction value calculation step).

具体的には、ハンドフォーク１８に検知用パネル５２が搭載された交換前のロボット１を動作させて基板２の受渡し位置にハンドフォーク１８を移動させたときに、本体部１０に対する第１アーム部１５の回動方向において検知用パネル５２のエッジが配置される位置が第５基準位置となっている。また、第５基準位置には、１個のセンサ５３が配置されている。センサ５３は、たとえば、発光素子と受光素子とを有する光学式のセンサ、または、近接センサである。センサ５３は、チャンバー６の内部に設置されている。   Specifically, when the robot 1 before replacement in which the detection panel 52 is mounted on the hand fork 18 is operated to move the hand fork 18 to the delivery position of the substrate 2, the first arm portion with respect to the main body 10. The position where the edge of the detection panel 52 is arranged in the 15 rotation directions is the fifth reference position. One sensor 53 is arranged at the fifth reference position. The sensor 53 is, for example, an optical sensor having a light emitting element and a light receiving element, or a proximity sensor. The sensor 53 is installed inside the chamber 6.

補正値算出工程では、センサ５３で検知用パネル５２のエッジが検知されるまで（すなわち、本体部１０に対する第１アーム部１５の回動方向において、第５基準位置と検知用パネル５２のエッジとが一致するまで）第１アーム部１５を回動させたときのエンコーダ２４の検知結果に基づいて制御部２７が補正値を算出する。   In the correction value calculation step, the fifth reference position and the edge of the detection panel 52 are detected until the edge of the detection panel 52 is detected by the sensor 53 (that is, in the rotation direction of the first arm portion 15 with respect to the main body portion 10). The control unit 27 calculates a correction value based on the detection result of the encoder 24 when the first arm unit 15 is rotated.

たとえば、図８（Ａ）に示すように、チャンバー６の中の基板２の受渡し位置にハンドフォーク１８を移動させたときに、第５基準位置に配置されるセンサ５３と検知用パネル５２のエッジとが、本体部１０に対する第１アーム部１５の回動方向においてずれている場合には、補正値算出工程において、図８（Ｂ）に示すように、センサ５３で検知用パネル５２のエッジが検知されるまで第１アーム部１５を回動させる。また、そのときのエンコーダ２４の検知結果に基づいて補正値を算出する。なお、検知用パネル５２のエッジは、センサ５３のオンオフが切り替わるときにセンサ５３で検知される。   For example, as shown in FIG. 8A, when the hand fork 18 is moved to the delivery position of the substrate 2 in the chamber 6, the edges of the sensor 53 and the detection panel 52 arranged at the fifth reference position. Is shifted in the rotation direction of the first arm portion 15 with respect to the main body portion 10, in the correction value calculating step, as shown in FIG. The first arm portion 15 is rotated until it is detected. Further, the correction value is calculated based on the detection result of the encoder 24 at that time. Note that the edge of the detection panel 52 is detected by the sensor 53 when the sensor 53 is switched on and off.

その後、補正値算出工程で算出された補正値を反映させてモータ２１を駆動制御し、第１基準位置特定工程で特定された第１基準位置を基準にしてモータ２２を駆動制御するとともに、第２基準位置特定工程で特定された第２基準位置を基準にしてモータ２３を駆動制御して、ロボット１を正規の動作開始位置に戻す。   Thereafter, the motor 21 is driven and controlled by reflecting the correction value calculated in the correction value calculating step, and the motor 22 is driven and controlled based on the first reference position specified in the first reference position specifying step. The motor 23 is driven and controlled based on the second reference position specified in the 2 reference position specifying step, and the robot 1 is returned to the normal operation start position.

なお、本形態では、その後、ハンド基部１７を１８０°回動させるとともに２本のハンドフォーク１９に検知用パネル５２を載せ換えてから、チャンバー６の中の基板２の受渡し位置にハンドフォーク１９を移動させる。このとき、ハンドフォーク１９に搭載された検知用パネル５２のエッジがセンサ５３で検知されない場合には、ハンドフォーク１９に搭載された検知用パネル５２のエッジがセンサ５３で検知されるように、位置決め治具３８を用いて、ハンドフォーク１９の長手方向に直交する方向におけるハンド基部１７へのハンドフォーク１９の固定位置を調整する。   In this embodiment, after that, the hand base 17 is rotated 180 ° and the detection panel 52 is placed on the two hand forks 19, and then the hand fork 19 is placed at the delivery position of the substrate 2 in the chamber 6. Move. At this time, if the sensor 53 does not detect the edge of the detection panel 52 mounted on the hand fork 19, positioning is performed so that the sensor 53 detects the edge of the detection panel 52 mounted on the hand fork 19. The jig 38 is used to adjust the position at which the hand fork 19 is fixed to the hand base 17 in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the hand fork 19.

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、第１基準位置特定工程において位置決め治具３６を用いて、第１アーム部１５に対する第２アーム部１６の回動方向における第２アーム部１６の基準位置である第１基準位置を特定し、第２基準位置特定工程において位置決め治具３７を用いて、第２アーム部１６に対するハンド基部１７の回動方向におけるハンド基部１７の基準位置である第２基準位置を特定し、ハンドフォーク位置決め工程において位置決め治具３８によって、ハンド基部１７に対するハンドフォーク１８の長手方向に直交する方向におけるハンドフォーク１８の基準位置である第３基準位置にハンドフォーク１８を位置決めしている。また、本形態では、その後のロボット動作工程において、第１基準位置特定工程で特定された第１基準位置を基準にしてモータ２２を駆動制御するとともに、第２基準位置特定工程で特定された第２基準位置を基準にしてモータ２３を駆動制御して、ロボット１を仮の基準姿勢にしてから、ハンド移動工程において、基板２の受渡し位置にハンドフォーク１８を移動させている。 (Main effects of this form)
As described above, in the present embodiment, the reference position of the second arm portion 16 in the rotation direction of the second arm portion 16 with respect to the first arm portion 15 is determined using the positioning jig 36 in the first reference position specifying step. A second reference position, which is a reference position of the hand base 17 in the direction of rotation of the hand base 17 with respect to the second arm portion 16, using a positioning jig 37 in the second reference position specifying step. In the hand fork positioning step, the hand fork 18 is positioned at the third reference position which is the reference position of the hand fork 18 in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the hand fork 18 with respect to the hand base 17 by the positioning jig 38. Yes. Further, in this embodiment, in the subsequent robot operation process, the motor 22 is driven and controlled based on the first reference position specified in the first reference position specifying process, and the second specified in the second reference position specifying process. 2 The motor 23 is driven and controlled with reference to the reference position, and the robot 1 is set to a temporary reference posture, and then the hand fork 18 is moved to the delivery position of the substrate 2 in the hand moving step.

また、本形態では、その後の補正値算出工程において、第５基準位置と検知用パネル５２のエッジとの、本体部１０に対する第１アーム部１５の回動方向におけるずれ量に基づいてモータ２１を制御するための補正値を算出している。すなわち、本形態では、第２アーム部１６、ハンド基部１７およびハンドフォーク１８を所定の基準位置に合わせた状態で基板２の受渡し位置にハンドフォーク１８を移動させた後、第５基準位置と検知用パネル５２のエッジとの、本体部１０に対する第１アーム部１５の回動方向におけるずれ量に基づいてモータ２１を制御するための補正値を算出している。   Further, in the present embodiment, in the subsequent correction value calculation step, the motor 21 is controlled based on the amount of deviation between the fifth reference position and the edge of the detection panel 52 in the rotation direction of the first arm portion 15 with respect to the main body portion 10. A correction value for control is calculated. That is, in this embodiment, after the hand fork 18 is moved to the delivery position of the substrate 2 in a state where the second arm portion 16, the hand base portion 17 and the hand fork 18 are aligned with a predetermined reference position, the fifth reference position and the detection are detected. A correction value for controlling the motor 21 is calculated on the basis of the amount of deviation of the edge of the panel 52 in the rotation direction of the first arm portion 15 with respect to the main body portion 10.

また、本形態では、ハンドフォーク１８に検知用パネル５２が搭載された交換前のロボット１を動作させて基板２の受渡し位置にハンドフォーク１８を移動させたときに、本体部１０に対する第１アーム部１５の回動方向において検知用パネル５２のエッジが配置される位置が第５基準位置となっている。そのため、本形態では、補正値算出工程において、モータ２１を制御するための補正値を算出することで、交換前のロボット１の教示作業で教示された教示位置の座標に対する交換後のロボット１のロボット座標系のずれを補正するための補正値を算出することが可能になる。   Further, in this embodiment, when the hand fork 18 is moved to the delivery position of the substrate 2 by operating the robot 1 before replacement in which the detection panel 52 is mounted on the hand fork 18, the first arm with respect to the main body 10. The position where the edge of the panel 52 for detection is arranged in the rotation direction of the part 15 is the fifth reference position. For this reason, in this embodiment, in the correction value calculation step, the correction value for controlling the motor 21 is calculated, so that the robot 1 after the replacement with respect to the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of the robot 1 before the replacement is performed. It becomes possible to calculate a correction value for correcting the deviation of the robot coordinate system.

すなわち、本形態では、第５基準位置と検知用パネル５２のエッジとの、本体部１０に対する第１アーム部１５の回動方向におけるずれ量に基づいて補正値を算出することで、交換前のロボット１の教示作業で教示された教示位置の座標に対する交換後のロボット１のロボット座標系のずれを補正するための補正値を算出することが可能になる。したがって、本形態では、交換前のロボット１の教示作業で教示された教示位置の座標に対する交換後のロボット１のロボット座標系のずれを補正するための補正値を比較的容易に算出することが可能になる。   That is, in this embodiment, the correction value is calculated based on the amount of deviation between the fifth reference position and the edge of the detection panel 52 in the rotation direction of the first arm unit 15 with respect to the main body unit 10, so that It becomes possible to calculate a correction value for correcting the deviation of the robot coordinate system of the robot 1 after the exchange with respect to the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of the robot 1. Therefore, in this embodiment, it is possible to relatively easily calculate a correction value for correcting the deviation of the robot coordinate system of the robot 1 after replacement with respect to the coordinates of the teaching position taught in the teaching work of the robot 1 before replacement. It becomes possible.

また、本形態では、補正値算出工程において、第５基準位置と検知用パネル５２のエッジとの、本体部１０に対する第１アーム部１５の回動方向におけるずれ量に基づいて補正値を算出すれば良いため、１個のセンサ５３を用いて補正値を算出することが可能になる。また、本形態では、光学式のセンサまたは近接センサであるセンサ５３を用いて補正値を算出することが可能になるため、比較的安価なセンサ５３を使用して補正値を算出することが可能になる。   In the present embodiment, in the correction value calculation step, the correction value is calculated based on the amount of deviation between the fifth reference position and the edge of the detection panel 52 in the rotation direction of the first arm portion 15 with respect to the main body portion 10. Therefore, the correction value can be calculated using one sensor 53. Further, in this embodiment, the correction value can be calculated using the sensor 53 that is an optical sensor or a proximity sensor. Therefore, the correction value can be calculated using the relatively inexpensive sensor 53. become.

（補正値算出工程の変形例１）
上述した形態において、センサ５３の代わりに、１個のカメラを用いて、第５基準位置と検知用パネル５２のエッジとの、本体部１０に対する第１アーム部１５の回動方向におけるずれ量を求めても良い。この場合には、たとえば、チャンバー６の内部の第５基準位置に対応する箇所に所定のマーキングが形成されており、カメラで撮影されたマーキングの位置と検知用パネル５２のエッジとのずれ量を求めることで、第５基準位置と検知用パネル５２のエッジとのずれ量を求める。また、たとえば、第５基準位置の座標が制御部２７に予め記憶されており、カメラで撮影された検知用パネル５２のエッジの座標と第５基準位置の座標とに基づいて、第５基準位置と検知用パネル５２のエッジとのずれ量を求める。 (Modification 1 of correction value calculation process)
In the embodiment described above, instead of the sensor 53, the amount of deviation in the rotation direction of the first arm portion 15 relative to the main body portion 10 between the fifth reference position and the edge of the detection panel 52 is determined using one camera. You may ask. In this case, for example, a predetermined marking is formed at a location corresponding to the fifth reference position inside the chamber 6, and the amount of deviation between the marking position photographed by the camera and the edge of the detection panel 52 is determined. By obtaining, the amount of deviation between the fifth reference position and the edge of the detection panel 52 is obtained. Further, for example, the coordinates of the fifth reference position are stored in the control unit 27 in advance, and based on the coordinates of the edge of the detection panel 52 photographed by the camera and the coordinates of the fifth reference position, And the edge of the detection panel 52 are obtained.

この場合には、本体部１０に対して第１アーム部１５を回動させなくても、第５基準位置と検知用パネル５２のエッジとのずれ量を求めることが可能になる。また、この場合には、たとえば、カメラを用いて、第５基準位置と検知用パネル５２のエッジとのずれ量を求めた後、求めたずれ量分、本体部１０に対して第１アーム部１５を回動させたときのエンコーダ２４の検知結果に基づいて補正値を算出する。   In this case, the shift amount between the fifth reference position and the edge of the detection panel 52 can be obtained without rotating the first arm portion 15 with respect to the main body portion 10. In this case, for example, the amount of deviation between the fifth reference position and the edge of the detection panel 52 is obtained by using a camera, and then the first arm portion with respect to the main body 10 is obtained by the obtained amount of deviation. A correction value is calculated based on the detection result of the encoder 24 when the 15 is rotated.

なお、この場合であっても、第５基準位置と検知用パネル５２のエッジとの、本体部１０に対する第１アーム部１５の回動方向におけるずれ量に基づいて補正値を算出すれば良いため、１個のカメラを用いて補正値を算出することが可能になる。また、カメラの代わりに、光学式のラインセンサを用いて、第５基準位置と検知用パネル５２のエッジとの、本体部１０に対する第１アーム部１５の回動方向におけるずれ量を求めても良い。この場合であっても、本体部１０に対して第１アーム部１５を回動させなくても、第５基準位置と検知用パネル５２のエッジとのずれ量を求めることが可能になる。   Even in this case, the correction value may be calculated based on the amount of deviation between the fifth reference position and the edge of the detection panel 52 in the rotation direction of the first arm portion 15 with respect to the main body portion 10. It becomes possible to calculate a correction value using one camera. Alternatively, an optical line sensor may be used instead of the camera to determine the amount of shift in the rotational direction of the first arm portion 15 relative to the main body portion 10 between the fifth reference position and the edge of the detection panel 52. good. Even in this case, the shift amount between the fifth reference position and the edge of the detection panel 52 can be obtained without rotating the first arm portion 15 with respect to the main body portion 10.

（補正値算出工程の変形例２）
図９は、本発明の他の実施の形態にかかる補正値算出工程でのロボット１の動作を説明するための図である。 (Modification 2 of the correction value calculation step)
FIG. 9 is a diagram for explaining the operation of the robot 1 in the correction value calculation step according to another embodiment of the present invention.

上述した形態では、補正値算出工程において、センサ５３を用いて、本体部１０に対する第１アーム部１５の回動方向で第５基準位置と検知用パネル５２のエッジとが一致する位置まで第１アーム部１５を回動させているが、本体部１０に対する第１アーム部１５の回動方向において第５基準位置と検知用パネル５２のエッジとが一致する位置で検知用パネル５２（ハンドフォーク１８に搭載された検知用パネル５２）を位置決めするための第４位置決め治具を用いて、本体部１０に対する第１アーム部１５の回動方向で第５基準位置と検知用パネル５２のエッジとが一致する位置まで第１アーム部１５を回動させても良い。   In the embodiment described above, in the correction value calculation step, the sensor 53 is used to first position the fifth reference position and the edge of the detection panel 52 coincide with each other in the rotation direction of the first arm portion 15 with respect to the main body portion 10. Although the arm portion 15 is rotated, the detection panel 52 (hand fork 18) is located at a position where the fifth reference position and the edge of the detection panel 52 coincide with each other in the rotation direction of the first arm portion 15 with respect to the main body portion 10. The fifth reference position and the edge of the detection panel 52 in the rotation direction of the first arm portion 15 with respect to the main body portion 10 are determined using a fourth positioning jig for positioning the detection panel 52) mounted on the main body portion 10. You may rotate the 1st arm part 15 to the position which corresponds.

この場合、第４位置決め治具は、たとえば、ピン５５と、ピン５５が挿入される挿入穴５６ａが形成されるピン保持部材５６とを備えている。ピン保持部材５６は、チャンバー６の内部に設置されている。検知用パネル５２には、ピン５５が挿入される貫通穴５２ａが形成されている。検知用パネル５２の貫通穴５２ａに挿入されたピン５５がピン保持部材５６の挿入穴５６ａに挿入されると、本体部１０に対する第１アーム部１５の回動方向において、第５基準位置と検知用パネル５２のエッジとが一致する位置で、ハンドフォーク１８に搭載された検知用パネル５２が位置決めされる。   In this case, the fourth positioning jig includes, for example, a pin 55 and a pin holding member 56 in which an insertion hole 56a into which the pin 55 is inserted is formed. The pin holding member 56 is installed inside the chamber 6. The detection panel 52 is formed with a through hole 52a into which the pin 55 is inserted. When the pin 55 inserted into the through hole 52 a of the detection panel 52 is inserted into the insertion hole 56 a of the pin holding member 56, the fifth reference position and the detection are detected in the rotation direction of the first arm portion 15 with respect to the main body portion 10. The detection panel 52 mounted on the hand fork 18 is positioned at a position where the edge of the panel 52 matches.

この場合の補正値算出工程では、第４位置決め治具によって検知用パネル５２が位置決めされる位置まで第１アーム部１５を回動させたときのエンコーダ２４の検知結果に基づいて補正値を算出する。たとえば、図９（Ａ）に示すように、チャンバー６の中の基板２の受渡し位置にハンドフォーク１８を移動させたときに、ピン保持部材５６の挿入穴５６ａと検知用パネル５２の貫通穴５２ａとが、本体部１０に対する第１アーム部１５の回動方向においてずれている場合には、補正値算出工程において、図９（Ｂ）に示すように、第４位置決め治具によって検知用パネル５２が位置決めされる位置まで第１アーム部１５を回動させる。また、そのときのエンコーダ２４の検知結果に基づいて補正値を算出する。   In the correction value calculation step in this case, the correction value is calculated based on the detection result of the encoder 24 when the first arm portion 15 is rotated to the position where the detection panel 52 is positioned by the fourth positioning jig. . For example, as shown in FIG. 9A, when the hand fork 18 is moved to the delivery position of the substrate 2 in the chamber 6, the insertion hole 56 a of the pin holding member 56 and the through hole 52 a of the detection panel 52. Is shifted in the rotation direction of the first arm portion 15 with respect to the main body portion 10, in the correction value calculation step, as shown in FIG. 9B, the detection panel 52 is detected by the fourth positioning jig. The first arm portion 15 is rotated to the position where the is positioned. Further, the correction value is calculated based on the detection result of the encoder 24 at that time.

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。 (Other embodiments)
The above-described embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but is not limited to this, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

上述した形態において、ハンドフォーク１８に検知用パネル５２が搭載された交換前のロボット１を動作させて基板２の受渡し位置にハンドフォーク１８を移動させたときに、本体部１０に対する第１アーム部１５の回動方向における検知用パネル５２の一方のエッジが配置される位置と、検知用パネル５２の他方のエッジが配置される位置との２箇所が第５基準位置となっていても良い。この場合には、２箇所の第５基準位置のそれぞれにセンサ５３が配置されている。   In the embodiment described above, when the robot 1 before replacement in which the detection panel 52 is mounted on the hand fork 18 is operated to move the hand fork 18 to the delivery position of the substrate 2, the first arm portion with respect to the main body portion 10. Two positions of a position where one edge of the detection panel 52 in the 15 rotation directions is arranged and a position where the other edge of the detection panel 52 is arranged may be the fifth reference position. In this case, the sensor 53 is arranged at each of the two fifth reference positions.

上述した形態において、第１アーム部１５に対する第２アーム部１６の回動方向における第２アーム部１６の原点位置から第２アーム部１６が所定角度回動した位置が第１基準位置となっていても良い。この場合には、製造システム３に設置されるロボット１が交換されると、第１基準位置で第２アーム部１６が停止するように原点センサ３２の検知結果とエンコーダ２５の検知結果とに基づいて第２アーム部１６を回動させて停止させる。   In the embodiment described above, the position where the second arm portion 16 is rotated by a predetermined angle from the origin position of the second arm portion 16 in the rotation direction of the second arm portion 16 with respect to the first arm portion 15 is the first reference position. May be. In this case, when the robot 1 installed in the manufacturing system 3 is replaced, based on the detection result of the origin sensor 32 and the detection result of the encoder 25 so that the second arm unit 16 stops at the first reference position. Then, the second arm portion 16 is rotated and stopped.

また、上述した形態において、第２アーム部１６に対するハンド基部１７の回動方向におけるハンド基部１７の原点位置と第２基準位置とが一致していても良い。この場合には、製造システム３に設置されるロボット１が交換されると、第２基準位置でハンド基部１７が停止するように原点センサ３３の検知結果に基づいてハンド基部１７を回動させて停止させる。また、上述した形態において、ロボット動作工程の後にパネル搭載工程が行われても良い。   In the embodiment described above, the origin position of the hand base portion 17 in the rotation direction of the hand base portion 17 with respect to the second arm portion 16 may coincide with the second reference position. In this case, when the robot 1 installed in the manufacturing system 3 is replaced, the hand base 17 is rotated based on the detection result of the origin sensor 33 so that the hand base 17 stops at the second reference position. Stop. In the above-described embodiment, a panel mounting process may be performed after the robot operation process.

上述した形態では、製造システム３に設置されたロボット１に対して、第１基準位置特定工程と第２基準位置特定工程とハンドフォーク位置決め工程とを行っているが、製造システム３に設置される前のロボット１に対して、第１基準位置特定工程と第２基準位置特定工程とハンドフォーク位置決め工程とを行っても良い。たとえば、ロボット１の組立工場において、ロボット１に対して、第１基準位置特定工程と第２基準位置特定工程とハンドフォーク位置決め工程とを行っても良い。   In the embodiment described above, the first reference position specifying process, the second reference position specifying process, and the hand fork positioning process are performed on the robot 1 installed in the manufacturing system 3. A first reference position specifying step, a second reference position specifying step, and a hand fork positioning step may be performed on the previous robot 1. For example, a first reference position specifying step, a second reference position specifying step, and a hand fork positioning step may be performed on the robot 1 in the assembly factory of the robot 1.

また、組立工場から製造システム３までロボット１を搬送する際、長さの長いハンドフォーク１８、１９が搬送の支障とならないように、ハンドフォーク１８、１９を取り外した状態で、組立工場から製造システム３までロボット１を搬送する場合には、組立工場において、ロボット１に対して、第１基準位置特定工程と第２基準位置特定工程とを行い、製造システム３に設置された後のロボット１に対してハンドフォーク位置決め工程を行っても良い。   In addition, when the robot 1 is transported from the assembly plant to the manufacturing system 3, the manufacturing system from the assembly plant with the hand forks 18 and 19 removed so that the long hand forks 18 and 19 do not hinder the transport. When the robot 1 is transported to 3, the assembly factory performs a first reference position specifying process and a second reference position specifying process on the robot 1, and the robot 1 after being installed in the manufacturing system 3 On the other hand, a hand fork positioning step may be performed.

上述した形態において、固定部材４１は、第２アーム部１６に固定されていても良い。この場合には、第１アーム部１５の基端の側面に、ピン４２が挿入される第１挿入穴としての挿入穴が形成されている。また、上述した形態において、固定部材４４は、ハンド基部１７に固定されていても良い。この場合には、第１アーム部１５の基端の側面に、ピン４５が挿入される第２挿入穴としての挿入穴が形成されている。さらに、上述した形態において、固定部材４８、４９は、第２アーム部１６に固定されていても良い。この場合には、２本のハンドフォーク１８に、ピン５０が挿入される第３挿入穴としての挿入穴が形成されている。   In the embodiment described above, the fixing member 41 may be fixed to the second arm portion 16. In this case, an insertion hole as a first insertion hole into which the pin 42 is inserted is formed on the side surface of the proximal end of the first arm portion 15. Further, in the embodiment described above, the fixing member 44 may be fixed to the hand base portion 17. In this case, an insertion hole as a second insertion hole into which the pin 45 is inserted is formed on the side surface of the base end of the first arm portion 15. Further, in the embodiment described above, the fixing members 48 and 49 may be fixed to the second arm portion 16. In this case, insertion holes are formed in the two hand forks 18 as third insertion holes into which the pins 50 are inserted.

上述した形態において、ハンド８は、ハンドフォーク１９を備えていなくても良い。また、上述した形態では、ロボット１によって搬送される搬送対象物は有機ＥＬディスプレイ用の基板２であるが、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、液晶ディスプレイ用のガラス基板であっても良いし、半導体ウエハ等であっても良い。また、上述した形態において、ロボット１は、大気圧となっている空間の中に配置されていても良い。   In the embodiment described above, the hand 8 may not include the hand fork 19. Further, in the above-described embodiment, the transport object to be transported by the robot 1 is the organic EL display substrate 2, but the transport object to be transported by the robot 1 may be a glass substrate for a liquid crystal display. However, it may be a semiconductor wafer or the like. Moreover, in the form mentioned above, the robot 1 may be arrange | positioned in the space which is atmospheric pressure.

１ ロボット（産業用ロボット）
２ 基板（搬送対象物）
８ ハンド
９ アーム
１０ 本体部
１５ 第１アーム部
１６ 第２アーム部
１６ａ 挿入穴（第１挿入穴）
１６ｂ 挿入穴（第３挿入穴）
１７ ハンド基部
１７ａ 挿入穴（第２挿入穴）
１８ ハンドフォーク
２１ モータ（第１モータ）
２２ モータ（第２モータ）
２３ モータ（第３モータ）
２４ エンコーダ（第１エンコーダ）
２５ エンコーダ（第２エンコーダ）
２６ エンコーダ（第３エンコーダ）
３１ 原点センサ（第１原点センサ）
３２ 原点センサ（第２原点センサ）
３３ 原点センサ（第３原点センサ）
３６ 位置決め治具（第１位置決め治具）
３７ 位置決め治具（第２位置決め治具）
３８ 位置決め治具（第３位置決め治具）
４１ 固定部材（第１固定部材）
４１ａ 貫通穴（第１貫通穴）
４２ ピン（第１ピン）
４３、４４ 固定部材（第２固定部材）
４４ａ 貫通穴（第２貫通穴）
４５ ピン（第２ピン）
４８、４９ 固定部材（第３固定部材）
４９ａ 貫通穴（第３貫通穴）
５０ ピン（第３ピン）
５２ 検知用パネル
５３ センサ
５５ ピン（第４位置決め治具の一部）
５６ ピン保持部材（第４位置決め治具の一部） 1 Robot (industrial robot)
2 Substrate (object to be transported)
8 Hand 9 Arm 10 Body 15 First Arm 16 Second Arm 16a Insertion Hole (First Insertion Hole)
16b Insertion hole (third insertion hole)
17 Hand base 17a Insertion hole (second insertion hole)
18 Hand fork 21 Motor (first motor)
22 Motor (second motor)
23 Motor (third motor)
24 Encoder (first encoder)
25 Encoder (second encoder)
26 Encoder (third encoder)
31 Origin sensor (first origin sensor)
32 Origin sensor (second origin sensor)
33 Origin sensor (third origin sensor)
36 Positioning jig (first positioning jig)
37 Positioning jig (second positioning jig)
38 Positioning jig (third positioning jig)
41 fixing member (first fixing member)
41a Through hole (first through hole)
42 pin (1st pin)
43, 44 fixing member (second fixing member)
44a Through hole (second through hole)
45 pin (2nd pin)
48, 49 Fixing member (third fixing member)
49a Through hole (3rd through hole)
50 pins (3rd pin)
52 detection panel 53 sensor 55 pin (part of the 4th positioning jig)
56 Pin holding member (part of 4th positioning jig)

Claims (8)

産業用ロボットの動作を補正するための補正値を算出する産業用ロボットの補正値算出方法であって、
前記産業用ロボットは、本体部と、前記本体部に基端側が回動可能に連結される第１アーム部と前記第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部とを有するアームと、前記第２アーム部の先端側に回動可能に連結されるハンド基部と前記ハンド基部から水平方向の一方向に伸びるとともに搬送対象物が搭載されるハンドフォークとを有するハンドと、前記本体部に対して前記第１アーム部を回動させるための第１モータと、前記第１アーム部に対して前記第２アーム部を回動させるための第２モータと、前記第２アーム部に対して前記ハンド基部を回動させるための第３モータと、前記第１モータの回転量を検知するための第１エンコーダと、前記第２モータの回転量を検知するための第２エンコーダと、前記第３モータの回転量を検知するための第３エンコーダと、前記本体部に対する前記第１アーム部の回動方向における前記第１アーム部の原点位置を検知するための第１原点センサと、前記第１アーム部に対する前記第２アーム部の回動方向における前記第２アーム部の原点位置を検知するための第２原点センサと、前記第２アーム部に対する前記ハンド基部の回動方向における前記ハンド基部の原点位置を検知するための第３原点センサとを備え、
前記第１アーム部に対する前記第２アーム部の回動方向における前記第２アーム部の所定の基準位置を第１基準位置とし、前記第２アーム部に対する前記ハンド基部の回動方向における前記ハンド基部の所定の基準位置を第２基準位置とし、前記ハンド基部に対する前記ハンドフォークの長手方向に直交する方向における前記ハンドフォークの所定の基準位置を第３基準位置とし、前記本体部に対する前記第１アーム部の回動方向における前記第１アーム部の所定の基準位置を第４基準位置とすると、
前記産業用ロボットの補正値算出方法は、
前記第１基準位置で前記第２アーム部が停止するように前記第２原点センサの検知結果に基づいてまたは前記第２原点センサの検知結果と前記第２エンコーダの検知結果とに基づいて前記第２アーム部を停止させたときの前記第２アーム部の停止位置である第１停止位置から、前記第１基準位置に前記第２アーム部を位置決めするための第１位置決め治具によって前記第２アーム部が位置決めされる位置まで前記第２アーム部を回動させたときの前記第２エンコーダの検知結果と、前記第１停止位置に前記第２アーム部が停止しているときの前記第２エンコーダの値とに基づいて前記第１基準位置を特定する第１基準位置特定工程と、
前記第１基準位置特定工程後、前記第１基準位置特定工程で特定された前記第１基準位置に前記第２アーム部が配置されている状態で、前記第２基準位置で前記ハンド基部が停止するように前記第３原点センサの検知結果に基づいてまたは前記第３原点センサの検知結果と前記第３エンコーダの検知結果とに基づいて前記ハンド基部を停止させたときの前記ハンド基部の停止位置である第２停止位置から、前記第２基準位置に前記ハンド基部を位置決めするための第２位置決め治具によって前記ハンド基部が位置決めされる位置まで前記ハンド基部を回動させたときの前記第３エンコーダの検知結果と、前記第２停止位置に前記ハンド基部が停止しているときの前記第３エンコーダの値とに基づいて前記第２基準位置を特定する第２基準位置特定工程と、
前記第２基準位置特定工程後、前記第１基準位置特定工程で特定された前記第１基準位置に前記第２アーム部が配置され、かつ、前記第２基準位置特定工程で特定された前記第２基準位置に前記ハンド基部が配置されている状態で、前記第３基準位置に前記ハンドフォークを位置決めするための第３位置決め治具によって前記ハンドフォークを位置決めするハンドフォーク位置決め工程と、
前記ハンドフォーク位置決め工程後に、前記ハンドフォークに検知用パネルを搭載するパネル搭載工程と、
前記ハンドフォーク位置決め工程後または前記パネル搭載工程後に、前記第４基準位置で前記第１アーム部が停止するように前記第１原点センサの検知結果に基づいてまたは前記第１原点センサの検知結果と前記第１エンコーダの検知結果とに基づいて前記第１アーム部を停止させたときの前記第１アーム部の停止位置である第３停止位置を基準にして前記第１モータを駆動制御し、前記第１基準位置特定工程で特定された前記第１基準位置を基準にして前記第２モータを駆動制御するとともに、前記第２基準位置特定工程で特定された前記第２基準位置を基準にして前記第３モータを駆動制御して、前記産業用ロボットを仮の基準姿勢にするロボット動作工程と、
前記ロボット動作工程後に、前記産業用ロボットを動作させて前記搬送対象物の受渡し位置に前記ハンドフォークを移動させるハンド移動工程と、
前記ハンド移動工程後に、所定の基準位置である第５基準位置と前記検知用パネルのエッジとの、前記本体部に対する前記第１アーム部の回動方向におけるずれ量に基づいて前記第１モータを制御するための補正値を算出する補正値算出工程とを備えることを特徴とする産業用ロボットの補正値算出方法。 An industrial robot correction value calculation method for calculating a correction value for correcting an operation of an industrial robot,
The industrial robot includes a main body part, a first arm part whose base end side is rotatably connected to the main body part, and a second end whose base end side is rotatably connected to a distal end side of the first arm part. An arm having an arm portion, a hand base portion rotatably connected to the distal end side of the second arm portion, and a hand fork extending in one direction in the horizontal direction from the hand base portion and carrying a conveyance object. A hand having: a first motor for rotating the first arm part relative to the main body part; a second motor for rotating the second arm part relative to the first arm part; A third motor for rotating the hand base relative to the second arm, a first encoder for detecting a rotation amount of the first motor, and a rotation amount of the second motor; The second encoder and the third module A third encoder for detecting the rotation amount of the first arm portion, a first origin sensor for detecting the origin position of the first arm portion in the rotation direction of the first arm portion relative to the main body portion, and the first A second origin sensor for detecting an origin position of the second arm portion in a rotation direction of the second arm portion with respect to the arm portion; and a hand base portion in the rotation direction of the hand base portion with respect to the second arm portion. A third origin sensor for detecting the origin position,
A predetermined reference position of the second arm part in the rotation direction of the second arm part with respect to the first arm part is defined as a first reference position, and the hand base part in the rotation direction of the hand base with respect to the second arm part A predetermined reference position of the hand fork in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the hand fork relative to the hand base as a third reference position, and the first arm relative to the main body. When the predetermined reference position of the first arm part in the rotation direction of the part is a fourth reference position,
The correction value calculation method for the industrial robot is:
Based on the detection result of the second origin sensor so that the second arm unit stops at the first reference position, or based on the detection result of the second origin sensor and the detection result of the second encoder. The first positioning jig for positioning the second arm portion at the first reference position from the first stop position, which is the stop position of the second arm portion when the two arm portions are stopped, is used as the second position. The detection result of the second encoder when the second arm portion is rotated to the position where the arm portion is positioned, and the second when the second arm portion is stopped at the first stop position. A first reference position specifying step of specifying the first reference position based on an encoder value;
After the first reference position specifying step, the hand base is stopped at the second reference position in a state where the second arm portion is arranged at the first reference position specified in the first reference position specifying step. The stop position of the hand base when the hand base is stopped based on the detection result of the third origin sensor or based on the detection result of the third origin sensor and the detection result of the third encoder. The third position when the hand base is rotated from the second stop position to the position where the hand base is positioned by the second positioning jig for positioning the hand base at the second reference position. A second reference position that identifies the second reference position based on the detection result of the encoder and the value of the third encoder when the hand base is stopped at the second stop position And a constant process,
After the second reference position specifying step, the second arm portion is disposed at the first reference position specified in the first reference position specifying step, and the second reference position specifying step specifies the first reference position. A hand fork positioning step of positioning the hand fork with a third positioning jig for positioning the hand fork at the third reference position in a state where the hand base is disposed at the two reference positions;
A panel mounting step of mounting a detection panel on the hand fork after the hand fork positioning step;
After the hand fork positioning step or the panel mounting step, based on the detection result of the first origin sensor or the detection result of the first origin sensor so that the first arm unit stops at the fourth reference position. Based on the detection result of the first encoder, the first motor is driven and controlled with reference to a third stop position that is a stop position of the first arm when the first arm is stopped, The second motor is driven and controlled with reference to the first reference position specified in the first reference position specifying step, and the second reference position specified in the second reference position specifying step is used as a reference. A robot operation step of driving and controlling a third motor to bring the industrial robot into a temporary reference posture;
After the robot operation step, the hand moving step of moving the hand fork to the delivery position of the conveyance object by operating the industrial robot;
After the hand moving step, the first motor is moved based on a deviation amount in a rotation direction of the first arm portion with respect to the main body portion between a fifth reference position which is a predetermined reference position and an edge of the detection panel. A correction value calculation method for an industrial robot, comprising: a correction value calculation step of calculating a correction value for control. 前記補正値算出工程では、前記第５基準位置に配置される１個のセンサで前記検知用パネルのエッジが検知されるまで前記第１アーム部を回動させたときの前記第１エンコーダの検知結果に基づいて前記補正値を算出することを特徴とする請求項１記載の産業用ロボットの補正値算出方法。   In the correction value calculating step, the first encoder detects when the first arm portion is rotated until an edge of the detection panel is detected by one sensor arranged at the fifth reference position. The correction value calculation method for an industrial robot according to claim 1, wherein the correction value is calculated based on a result. 前記補正値算出工程では、１個のカメラを用いて、前記第５基準位置と前記検知用パネルのエッジとの、前記本体部に対する前記第１アーム部の回動方向におけるずれ量を求めることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボットの補正値算出方法。   In the correction value calculating step, using one camera, the amount of shift in the rotation direction of the first arm portion with respect to the main body portion between the fifth reference position and the edge of the detection panel is obtained. The correction value calculation method for an industrial robot according to claim 1, wherein the correction value is calculated. 前記補正値算出工程では、前記本体部に対する前記第１アーム部の回動方向において前記第５基準位置と前記検知用パネルのエッジとが一致する位置で前記検知用パネルを位置決めするための第４位置決め治具によって前記検知用パネルが位置決めされる位置まで前記第１アーム部を回動させたときの前記第１エンコーダの検知結果に基づいて前記補正値を算出することを特徴とする請求項１記載の産業用ロボットの補正値算出方法。   In the correction value calculating step, a fourth for positioning the detection panel at a position where the fifth reference position and the edge of the detection panel coincide with each other in the rotation direction of the first arm with respect to the main body. 2. The correction value is calculated based on a detection result of the first encoder when the first arm portion is rotated to a position where the detection panel is positioned by a positioning jig. The correction value calculation method of the described industrial robot. 前記第２アーム部が前記第１基準位置にあるときには、前記第１アーム部と前記第２アーム部とが上下方向で重なり、
前記ハンド基部が前記第２基準位置にあるときには、前記第２アーム部と前記ハンドフォークとが上下方向で重なっていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の産業用ロボットの補正値算出方法。 When the second arm portion is in the first reference position, the first arm portion and the second arm portion overlap in the vertical direction,
5. The industrial robot according to claim 1, wherein when the hand base portion is at the second reference position, the second arm portion and the hand fork overlap each other in the vertical direction. Correction value calculation method. 前記第１位置決め治具は、前記第１アーム部および前記第２アーム部のいずれか一方に固定される第１固定部材と、前記第１アーム部および前記第２アーム部のいずれか他方に形成される第１挿入穴と前記第１固定部材に形成される第１貫通穴とに挿入される第１ピンとを備えることを特徴とする請求項５記載の産業用ロボットの補正値算出方法。   The first positioning jig is formed on the other one of the first arm part and the second arm part, and the first fixing member fixed to one of the first arm part and the second arm part. The industrial robot correction value calculation method according to claim 5, further comprising: a first pin inserted into a first insertion hole to be inserted into a first through hole formed in the first fixing member. 前記第２位置決め治具は、前記第１アーム部および前記ハンド基部のいずれか一方に固定される第２固定部材と、前記第１アーム部および前記ハンド基部のいずれか他方に形成される第２挿入穴と前記第２固定部材に形成される第２貫通穴とに挿入される第２ピンとを備えることを特徴とする請求項５または６記載の産業用ロボットの補正値算出方法。   The second positioning jig includes a second fixing member fixed to one of the first arm and the hand base, and a second formed on the other of the first arm and the hand base. 7. The industrial robot correction value calculation method according to claim 5, further comprising a second pin inserted into the insertion hole and a second through hole formed in the second fixing member. 前記ハンドは、２本の前記ハンドフォークを備え、
前記第３位置決め治具は、２本の前記ハンドフォークおよび前記第２アーム部のいずれか一方に固定される第３固定部材と、２本の前記ハンドフォークおよび前記第２アーム部のいずれか他方に形成される第３挿入穴と前記第３固定部材に形成される第３貫通穴とに挿入される第３ピンとを備えることを特徴とする請求項５から７のいずれかに記載の産業用ロボットの補正値算出方法。 The hand includes two hand forks,
The third positioning jig includes a third fixing member fixed to one of the two hand forks and the second arm portion, and the other of the two hand forks and the second arm portion. 8. The industrial use according to claim 5, further comprising a third insertion hole formed in the third insertion hole and a third pin inserted into a third through hole formed in the third fixing member. Robot correction value calculation method.
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