JP2019132445A - 湿度発生装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1〜図3を参照して、本発明の実施形態1に係る湿度発生システム500を説明する。図1は、実施形態1に係る湿度発生システム500を示す図である。
図1及び図4を参照して、本発明の実施形態2に係る湿度発生システム500を説明する。実施形態2に係る湿度発生システム500が、蒸気流量測定部5の校正に加えて湿度の校正のための校正ユニットU2Aを備えている点で、実施形態2は実施形態1と主に異なる。以下、実施形態2が実施形態1と異なる点を主に説明する。
図1及び図5を参照して、本発明の実施形態3に係る湿度発生システム500を説明する。実施形態3に係る湿度発生システム500が、校正ユニットU2Bにおいて第2空気AR2を加熱する点で、実施形態3は実施形態2と主に異なる。以下、実施形態3が実施形態2と異なる点を主に説明する。
図6を参照して、本発明の実施形態4に係る湿度発生システム500を説明する。実施形態4に係る湿度発生システム500が、第1流量測定部23及び第1温度制御部25に加えて加熱部63及び流量測定部65を備える点で、実施形態4は実施形態1と異なる。以下、実施形態4が実施形態1と異なる点を主に説明する。
5 蒸気流量測定部
7 気水分離部
9 加熱部
23 第1流量測定部
25 第1温度制御部
31 第1出力切替部
41 第2出力切替部
53 チャンバー
65 流量測定部
71 凝縮部
73 測定部
79 気水分離部
87 第2流量測定部
93 第2温度制御部
95 湿度測定部
97 温度測定部
100 湿度発生装置
500 湿度発生システム
U1、U1A 湿度発生ユニット
U2、U2A、U2B 校正ユニット(校正部)
U3 制御ユニット
Claims (7)
- 飽和湿り蒸気を加熱して過熱水蒸気を生成し、前記飽和湿り蒸気に含まれる水分を除去する水除去部と、
前記過熱水蒸気の流量を測定する蒸気流量測定部と、
第1空気の流量を測定する第1流量測定部と、
前記蒸気流量測定部を通過した前記過熱水蒸気だけを出力するか、又は、前記蒸気流量測定部を通過した前記過熱水蒸気と、前記第1流量測定部を通過した前記第1空気とを混合して、前記過熱水蒸気と前記第1空気とが混合した混合空気を出力する第1出力切替部と、
前記蒸気流量測定部を校正するための校正部と
を備え、
前記校正部は、
前記第1出力切替部の出力した前記過熱水蒸気を凝縮させて、前記過熱水蒸気を水に戻す凝縮部と、
前記過熱水蒸気の凝縮によって得られた前記水の重量又は体積を測定する測定部と
を含む、湿度発生装置。 - 前記第1流量測定部を通過した前記第1空気を加熱する第1温度制御部をさらに備え、
前記第1出力切替部は、前記蒸気流量測定部を通過した前記過熱水蒸気だけを出力するか、又は、前記蒸気流量測定部を通過した前記過熱水蒸気と、加熱された前記第1空気とを混合して、前記混合空気を出力する、請求項1に記載の湿度発生装置。 - 前記凝縮部は、前記第1出力切替部の出力した前記混合空気に含まれる水蒸気を凝縮させて、前記水蒸気を水に戻し、
前記校正部は、
前記混合空気に含まれる水分を前記混合空気から分離する気水分離部と、
前記水蒸気の凝縮後かつ前記水分の分離後の前記混合空気である第2空気の流量を測定する第2流量測定部と
をさらに含み、
前記測定部は、前記水蒸気の凝縮によって得られた前記水と前記混合空気から分離された前記水分との重量又は体積を測定する、請求項1又は請求項2に記載の湿度発生装置。 - 前記凝縮部は、前記第1出力切替部の出力した前記混合空気に含まれる水蒸気を凝縮させて、前記水蒸気を水に戻し、
前記校正部は、
前記混合空気に含まれる水分を前記混合空気から分離する気水分離部と、
前記水蒸気の凝縮後かつ前記水分の分離後の前記混合空気である第2空気を加熱する第2温度制御部と、
加熱された前記第2空気の湿度を測定する湿度測定部と、
加熱された前記第2空気の温度を測定する温度測定部と、
加熱された前記第2空気の流量を測定する第2流量測定部と
をさらに含み、
前記測定部は、前記水蒸気の凝縮によって得られた前記水と前記混合空気から分離された前記水分との重量又は体積を測定する、請求項1又は請求項2に記載の湿度発生装置。 - 前記第1出力切替部の出力した前記過熱水蒸気又は前記混合空気の流量を測定する流量測定部をさらに備える、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の湿度発生装置。
- 前記水除去部は、
前記飽和湿り蒸気に含まれる水分を前記飽和湿り蒸気から分離する気水分離部と、
前記水分の分離後の前記飽和湿り蒸気を加熱して、前記過熱水蒸気を生成する加熱部と
を含む、請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の湿度発生装置。 - チャンバーと、
前記第1出力切替部の出力した気体を、前記チャンバーに向けて出力するか、又は、前記校正部に向けて出力する第2出力切替部と
をさらに備え、
前記第1出力切替部の出力した前記気体は、前記過熱水蒸気又は前記混合空気であり、
前記チャンバーは、前記第1出力切替部及び前記第2出力切替部の出力した前記気体を収容する、請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の湿度発生装置。
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