JP2019131425A - オゾン発生器 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、第1実施形態にかかるオゾン発生器10の全体構成を示す断面図である。図2は、第1実施形態の誘電体電極24の近傍の拡大断面図である。図1に矢印で示すX軸、Y軸、Z軸で示されるそれぞれの方向を、X方向、Y方向、Z方向とする。図1及び図2に示すように、オゾン発生器10は、装置本体12と、高圧電源14と、冷却水供給部16とを備えている。
図8は、第2実施形態の給電部材38Aの断面図である。図8に示すように、給電部材38Aは、弾性部材50と、接触部材52Aとを有する。接触部材52Aは、一方(例えば、ヒューズ40側)が開口し、他方が閉口した管状に構成されている。接触部材52Aは、接触部60と、閉口部62とを有する。
図9は、第3実施形態の給電部材38Bの断面図である。図9に示すように、第3実施形態の給電部材38Bは、弾性部材50と、複数の接触部材52Bとを備える。
Claims (6)
- 金属電極と、
前記金属電極との間に原料ガスが供給される放電ギャップを空けて配置された管状の誘電体部と、
前記誘電体部の内面に設けられた導電膜と、
複数の金属線材が編み込まれた網目状であって前記導電膜と接する接触部材を有し、前記導電膜と電気的に接続される給電部材と、
を備えるオゾン発生器。 - 前記金属線材は、80μm以上の金属細線を有する
請求項1に記載のオゾン発生器。 - 前記金属線材は、撚られた複数の金属細線を有する
請求項1または請求項2に記載のオゾン発生器。 - 前記接触部材は、一方が開口し、他方が閉口した管状に構成されている
請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のオゾン発生器。 - 前記給電部材は、積層された複数の前記接触部材を有する
請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のオゾン発生器。 - 前記給電部材は、前記誘電体部の径方向に弾性変形可能な弾性部材を有し、
前記接触部材は、前記弾性部材の外周部に設けられている
請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のオゾン発生器。
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