JP2019128144A - Vapor chamber, electronic apparatus and sheet for vapor chamber - Google Patents

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Abstract

To provide a vapor chamber that can improve heat transport capacity, and to provide an electronic apparatus including a vapor chamber and a sheet for a vapor chamber.SOLUTION: A vapor chamber includes a plurality of first flow passages and a second passage. The second passage includes a flow passage shape where a local equivalent radius becomes the smallest in an inner surface of a flow passage cross section, where the local equivalent radius is a radius of a circle that passes part of a flow passage inner surface at which width of the flow passage cross section becomes the largest and two points of the flow passage inner surface adjacent to each other while having a prescribed distance that is determined by holding the part, in the part.SELECTED DRAWING: Figure 21

Description

本開示は密閉空間に封入された作動流体を相変化を伴いつつ還流することより熱輸送を行うベーパーチャンバに関する。   The present disclosure relates to a vapor chamber that performs heat transfer by refluxing a working fluid enclosed in an enclosed space with phase change.

パソコン並びに携帯電話及びタブレット端末等の携帯型端末に備えられているＣＰＵ（中央演算処理装置）等の電子部品からの発熱量は、情報処理能力の向上により増加する傾向にあり冷却技術が重要である。このような冷却のための手段としてヒートパイプがよく知られている。これはパイプ内に封入された作動流体により、熱源における熱を他の部位に輸送することで拡散させ、熱源を冷却するものである。   The amount of heat generated from electronic components such as CPUs (central processing units) provided in portable terminals such as personal computers and mobile phones and tablet terminals tends to increase due to the improvement of information processing capability, and cooling technology is important. is there. Heat pipes are well known as a means for such cooling. This is to transfer the heat in the heat source to another site by the working fluid enclosed in the pipe, thereby diffusing the heat and cooling the heat source.

一方、近年においては特に携帯型端末等で薄型化が顕著であり、従来のヒートパイプよりも薄型の冷却手段が必要となってきた。これに対して例えば特許文献１に記載のようなベーパーチャンバが提案されている。   On the other hand, in recent years, particularly in portable terminals and the like, thinning has become remarkable, and cooling means thinner than conventional heat pipes have been required. On the other hand, for example, a vapor chamber as described in Patent Document 1 has been proposed.

ベーパーチャンバはヒートパイプによる熱輸送の考え方を平板状の部材に展開した機器である。すなわち、ベーパーチャンバには、対向する平板の間に作動流体が封入されており、この作動流体が相変化を伴いつつ還流することで熱輸送を行い、熱源における熱を輸送及び拡散して熱源を冷却する。   The vapor chamber is an apparatus in which the concept of heat transport by a heat pipe is developed into a flat member. That is, the working fluid is sealed between the opposing flat plates in the vapor chamber, and the working fluid recirculates with a phase change to perform heat transport, and transport and diffuse the heat in the heat source to Cooling.

より具体的には、ベーパーチャンバの対向する平板間には蒸気用流路と凝縮液用流路とが設けられ、ここに作動流体が封入されている。ベーパーチャンバを熱源に配置すると、熱源の近くにおいて作動流体は熱源からの熱を受けて蒸発し、気体（蒸気）となって蒸気用流路を移動する。これにより熱源からの熱が熱源から離れた位置に円滑に輸送され、その結果熱源が冷却される。
熱源からの熱を輸送した気体状態の作動流体は熱源から離れた位置にまで移動し、周囲に熱を吸収されることで冷却されて凝縮し、液体状態に相変化する。相変化した液体状態の作動流体は凝縮液用流路を通り、熱源の位置にまで戻ってまた熱源からの熱を受けて蒸発して気体状態に変化する。
以上のような循環により熱源から発生した熱が熱源から離れた位置に輸送され熱源が冷却される。 More specifically, a flow path for steam and a flow path for condensate are provided between opposed flat plates of the vapor chamber, and a working fluid is enclosed therein. When the vapor chamber is disposed at the heat source, the working fluid receives heat from the heat source and evaporates near the heat source, and becomes a gas (vapor) to move in the flow path for steam. Thereby, the heat from the heat source is smoothly transported to a position away from the heat source, and as a result, the heat source is cooled.
The working fluid in the gaseous state, which has transported the heat from the heat source, moves to a position away from the heat source, is cooled by being absorbed by the heat, condenses, and changes its phase to a liquid state. The phase-changed working fluid passes through the condensate flow path, returns to the position of the heat source, and receives heat from the heat source to evaporate and change to the gaseous state.
The heat generated from the heat source by the above circulation is transported to a position away from the heat source, and the heat source is cooled.

特許文献１には、蒸気用流路と凝縮液用流路とを形成するために、上記したように２つの平板を接合してなるベーパーチャンバが開示されている。   Patent Document 1 discloses a vapor chamber formed by joining two flat plates as described above in order to form a flow path for steam and a flow path for condensate.

特開２００９−０７６６５０号公報JP 2009-0776650 A

本開示は、熱輸送能力を高めることができるベーパーチャンバを提供することを課題とする。また、ベーパーチャンバを備える電子機器、及び、ベーパーチャンバのためのシートを提供する。   An object of the present disclosure is to provide a vapor chamber capable of enhancing the heat transfer capability. Also, an electronic device provided with a vapor chamber and a sheet for the vapor chamber are provided.

発明者は鋭意検討の結果、作動流体がより活発に循環することが熱輸送能力を高めるために重要であると考え、特に凝縮液流路の毛細管力を高めることで凝縮液が移動しやすくなることに注目し、そのための構造を具体化した。   As a result of intensive studies, the inventor considers that it is important for the working fluid to circulate more actively in order to increase the heat transport capability, and in particular, the condensate can easily move by increasing the capillary force of the condensate flow path. Attention was paid to this, and the structure for that purpose was materialized.

本開示のひとつの態様は、内側に具備された密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、密閉空間には、複数の第１流路と、隣り合う第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、隣り合う２つの第１流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う第１流路の間に配置された複数の第２流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、少なくとも一部でＡｌはＡｇの０．５倍以下であり、第２流路は、その流路断面で幅が最大となる流路内面の部位において、当該部位及び当該部位を挟んで決められた所定の距離を有して隣接する流路内面の２点を通る円の半径を局所相当半径としたとき、局所相当半径が流路断面の内面の中で最小となる流路形状を備えている、ベーパーチャンバである。 One aspect of the present disclosure is a vapor chamber in which a working fluid is sealed in a sealed space provided inside, and the sealed space includes a plurality of first flow paths and an adjacent first flow path. and a second flow path provided, and the average of the flow path cross-sectional area of the two first flow path adjacent the a g, the first flow path a plurality of second flow disposed between the adjacent when the average of the flow path cross-sectional area of the road was a l, a l at least a portion is not more than 0.5 times the a g, the second flow path, the flow width in the flow passage cross section is maximized When the radius of a circle passing through two points on the inner surface of the adjacent flow path having a predetermined distance determined between the site and the site is defined as the local equivalent radius, the local equivalent radius A vapor chamber with a channel shape that is the smallest of the inner surfaces of the channel cross section.

本開示の他の形態は、内側に具備された密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、密閉空間には、気体状態の作動流体が流れる複数の第１流路と、隣り合う第１流路間に設けられ、液体状態の作動流体が流れる第２流路と、が備えられ、第２流路は、その流路断面で幅が最大となる流路内面の部位において、当該部位及び当該部位を挟んで決められた所定の距離を有して隣接する流路内面の２点を通る円の半径を局所相当半径としたとき、局所相当半径が流路断面の内面の中で最小となる流路形状を備えている、ベーパーチャンバである。   Another aspect of the present disclosure is a vapor chamber in which a working fluid is enclosed in an enclosed space provided inside, and the enclosed space includes a plurality of first flow paths through which working fluid in a gaseous state flows, and a plurality of adjacent first passages. A second flow path that is provided between the first flow paths and through which a working fluid in a liquid state flows. The second flow path is a portion of the inner surface of the flow path that has the maximum width in the cross section of the flow path. When a radius of a circle passing through two points on the inner surface of the flow passage having a portion and a predetermined distance determined by sandwiching the portion is a locally equivalent radius, the locally equivalent radius is within the inner surface of the flow passage cross section A vapor chamber with a minimum flow path shape.

上記ベーパーチャンバにおいて、複数のシートが積層されてなるように構成してもよい。   In the vapor chamber, a plurality of sheets may be stacked.

本開示の他の態様は、筐体と、筐体の内側に配置された電子部品と、電子部品に配置された上記ベーパーチャンバと、を備える、電子機器である。   Another aspect of the present disclosure is an electronic device including a housing, an electronic component disposed inside the housing, and the vapor chamber disposed in the electronic component.

本開示の他の態様は、中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、中空部には、複数の第１流路と、隣り合う第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、隣り合う２つの第１流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う第１流路の間に配置された複数の第２流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、少なくとも一部でＡｌはＡｇの０．５倍以下であり、第２流路は、その流路断面で幅が最大となる流路内面の部位において、当該部位及び当該部位を挟んで決められた所定の距離を有して隣接する流路内面の２点を通る円の半径を局所相当半径としたとき、局所相当半径が前記流路断面の内面の中で最小となる流路形状を備えている、ベーパーチャンバ用シートである。 Another aspect of the present disclosure is a vapor chamber sheet having a hollow portion, wherein the hollow portion includes a plurality of first flow paths and a second flow path provided between adjacent first flow paths. the a, two a mean flow path cross-sectional area of the first flow path and a g, the average of the flow path cross-sectional area of the arranged plurality of second flow path between the first flow path adjacent the adjacent when was the a l, the a l at least a portion is 0.5 times or less of a g, the second flow path, at the site of the channel inner surface having a width in its flow cross-section is maximized, the portion And, when the radius of a circle passing through two points on the inner surface of the adjacent flow path having a predetermined distance determined across the part is defined as the local equivalent radius, the local equivalent radius is within the inner surface of the flow path cross section. It is a sheet for vapor chamber provided with the flow path shape to be minimized.

本開示の他の形態は、中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、中空部には、気体状態の作動流体が流れる蒸気流路となる複数の第１流路と、隣り合う第１流路間に設けられ、液体状態の作動流体が流れる凝縮液流路となる第２流路と、が備えられ、第２流路は、その流路断面で幅が最大となる流路内面の部位において、当該部位及び当該部位を挟んで決められた所定の距離を有して隣接する流路内面の２点を通る円の半径を局所相当半径としたとき、局所相当半径が流路断面の内面の中で最小となる流路形状を備えている、ベーパーチャンバ用シートである。   Another embodiment of the present disclosure is a vapor chamber sheet having a hollow portion, and the hollow portion includes a plurality of first flow paths serving as vapor flow paths through which a working fluid in a gas state flows, and a first flow adjacent to the first flow path. A second flow path that is provided between the paths and serves as a condensate flow path through which a working fluid in a liquid state flows. The second flow path is a portion of the inner surface of the flow path that has the maximum width in the cross section of the flow path. , The local equivalent radius is the inner surface of the cross section of the flow path when the radius of a circle passing through two points on the inner surface of the adjacent flow path having a predetermined distance determined across the part and the part is the local equivalent radius Is a sheet for a vapor chamber having a flow path shape which is the smallest among them.

本開示によれば、熱輸送能力を高めることができるベーパーチャンバを提供することが可能となる。   According to the present disclosure, it is possible to provide a vapor chamber capable of enhancing the heat transfer capability.

図１はベーパーチャンバの斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a vapor chamber. 図２はベーパーチャンバの分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view of the vapor chamber. 図３は第一シートの斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of the first sheet. 図４は第一シートの平面図である。FIG. 4 is a plan view of the first sheet. 図５は第一シートの切断面である。FIG. 5 is a cut surface of the first sheet. 図６は第一シートの他の切断面である。FIG. 6 is another cut surface of the first sheet. 図７は第一シートの他の切断面である。FIG. 7 is another cut surface of the first sheet. 図８は外周液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。FIG. 8 is a plan view of the outer peripheral liquid flow channel portion and a partially enlarged view. 図９は１つの液流路溝の断面を拡大した図である。FIG. 9 is an enlarged view of a cross section of one liquid flow passage groove. 図１０は他の例の外周液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。FIG. 10 is a plan view of the outer peripheral liquid flow channel portion of another example, and a partially enlarged view. 図１１は他の例の外周液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。FIG. 11 is a plan view of the outer peripheral liquid flow channel portion of another example and a partially enlarged view. 図１２は他の例の外周液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。FIG. 12 is a plan view of an outer peripheral liquid flow channel portion of another example, and a partially enlarged view. 図１３は他の例の外周液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。FIG. 13 is a plan view of the outer peripheral liquid flow channel portion of another example and a partially enlarged view. 図１４は内側液流路部に注目した切断面である。FIG. 14 is a cut surface focusing on the inner liquid flow passage. 図１５は１つの液流路溝の断面を拡大した図である。FIG. 15 is an enlarged view of a cross section of one liquid flow passage groove. 図１６は内側液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。FIG. 16 is a plan view of the inner liquid flow channel portion and a partially enlarged view. 図１７は第二シートの斜視図である。FIG. 17 is a perspective view of the second sheet. 図１８は第二シートの平面図である。FIG. 18 is a plan view of the second sheet. 図１９は第二シートの切断面である。FIG. 19 is a cut surface of the second sheet. 図２０は第二シートの切断面である。FIG. 20 is a cut surface of the second sheet. 図２１はベーパーチャンバの切断面である。FIG. 21 is a cut surface of the vapor chamber. 図２２は、図２１の一部を拡大した図である。FIG. 22 is an enlarged view of a part of FIG. 図２３はベーパーチャンバの他の切断面である。FIG. 23 is another cut surface of the vapor chamber. 図２４は１つの凝縮液流路を拡大した図である。FIG. 24 is an enlarged view of one condensate flow path. 図２５は局所相当半径を求める方法を説明する図である。FIG. 25 is a diagram for explaining a method of obtaining the local equivalent radius. 図２６は他の例における局所相当半径を求める方法を説明する図である。FIG. 26 is a view for explaining a method of obtaining the local equivalent radius in another example. 図２７は他の形態の凝縮液流路を説明する図である。FIG. 27 is a view for explaining a condensate flow passage of another form. 図２８は他の形態における局所相当半径を求める方法を説明する図である。FIG. 28 is a view for explaining a method of obtaining the local equivalent radius in another form. 図２９は他の形態の凝縮液流路を説明する図である。FIG. 29 is a view for explaining a condensate flow passage of another form. 図３０は他の形態の凝縮液流路を説明する図である。FIG. 30 is a view for explaining a condensate flow passage of another form. 図３１は他の形態の凝縮液流路を説明する図である。FIG. 31 is a view for explaining a condensate flow passage of another form. 図３２は電子機器について説明する図である。FIG. 32 is a diagram for explaining an electronic device. 図３３は作動流体の流れを説明する図である。FIG. 33 is a diagram illustrating the flow of the working fluid. 図３４は他の形態にかかるベーパーチャンバを説明する図である。FIG. 34 is a view for explaining a vapor chamber according to another embodiment. 図３５は他の形態にかかるベーパーチャンバを説明する図である。FIG. 35 is a view for explaining a vapor chamber according to another form.

以下、本開示を図面に示す形態に基づき説明する。なお、以下に示す図面では分かりやすさのため部材の大きさや比率を変更または誇張して記載することがある。また、見やすさのため説明上不要な部分の図示や繰り返しとなる符号は省略することがある。   Hereinafter, the present disclosure will be described based on the embodiments shown in the drawings. In the drawings shown below, the sizes and proportions of members may be changed or exaggerated for ease of understanding. In addition, in order to make it easy to view, illustration of unnecessary parts in the description and reference numerals that are repeated may be omitted.

図１には１つの形態にかかるベーパーチャンバ１の外観斜視図、図２にはベーパーチャンバ１の分解斜視図を表した。これら図及び以下に示す各図には必要に応じて便宜のため、方向を表す矢印（ｘ、ｙ、ｚ）も合わせて表示した。ここでｘｙ面内方向は平板状であるベーパーチャンバ１の板面方向であり、ｚ方向は厚さ方向である。   FIG. 1 shows an external perspective view of the vapor chamber 1 according to one embodiment, and FIG. 2 shows an exploded perspective view of the vapor chamber 1. Arrows (x, y, z) indicating directions are also displayed in these drawings and each of the drawings shown below for convenience as necessary. Here, the xy in-plane direction is the plate surface direction of the vapor chamber 1 which is flat, and the z direction is the thickness direction.

本形態のベーパーチャンバ１は、図１、図２からわかるように第一シート１０及び第二シート２０を有している。そして、後で説明するように、この第一シート１０と第二シート２０とが重ねられて接合（拡散接合、ろう付け等）されていることにより第一シート１０と第二シート２０との間に密閉空間２が形成され（例えば図２１参照）、この密閉空間２に作動流体が封入されている。   The vapor chamber 1 of the present embodiment has a first sheet 10 and a second sheet 20 as can be seen from FIGS. 1 and 2. Then, as will be described later, the first sheet 10 and the second sheet 20 are overlapped and bonded (diffusion bonding, brazing, etc.) to thereby provide a space between the first sheet 10 and the second sheet 20. A sealed space 2 is formed in the space (see, for example, FIG. 21), and a working fluid is sealed in the sealed space 2.

本形態で第一シート１０は全体としてシート状の部材である。図３には第一シート１０を内面１０ａ側から見た斜視図、図４には第一シート１０を内面１０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。また、図５には図４にＩＩＩ−ＩＩＩで切断したときの第一シート１０の切断面を示した。
第一シート１０は、内面１０ａ、該内面１０ａとは反対側となる外面１０ｂ及び内面１０ａと外面１０ｂとを連結して厚さを形成する側面１０ｃを備え、内面１０ａ側に作動流体が還流する流路のためのパターンが形成されている。後述するようにこの第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとが対向するようにして重ね合わされることで中空部が形成され、ここに作動流体が封入されて密閉空間２となる。 In the present embodiment, the first sheet 10 is a sheet-like member as a whole. The perspective view which looked at the 1st sheet | seat 10 from the inner surface 10a side in FIG. 3, The planar view which looked at the 1st sheet | seat 10 from the inner surface 10a side was each represented in FIG. Moreover, the cut surface of the 1st sheet | seat 10 when it cut | disconnects by III-III in FIG. 4 was shown in FIG.
The first sheet 10 includes an inner surface 10a, an outer surface 10b opposite to the inner surface 10a, and a side surface 10c connecting the inner surface 10a and the outer surface 10b to form a thickness, and the working fluid flows back to the inner surface 10a. A pattern for the flow path is formed. As will be described later, a hollow portion is formed by overlapping the inner surface 10a of the first sheet 10 and the inner surface 20a of the second sheet 20 so as to face each other, and the working fluid is enclosed therein to form the sealed space 2 Become.

このような第一シート１０は本体１１及び注入部１２を備えている。本体１１は作動流体が還流する部位を形成するシート状であり、本形態では平面視で角が円弧状（いわゆるＲ）に形成された長方形である。
ただし、第一シート１０の本体１１は本形態のように四角形である他、円形、楕円形、三角形、その他の多角形、並びに、屈曲部を有する形である例えばＬ字型、Ｔ字型、クランク型等であってもよい。また、これらの少なくとも２つを組み合わせた形状とすることもできる。 Such a first sheet 10 is provided with a main body 11 and a pouring portion 12. The main body 11 is in the form of a sheet forming a portion to which the working fluid flows back, and in the present embodiment, it is a rectangle whose angle is formed in an arc shape (so-called R) in plan view.
However, the main body 11 of the first sheet 10 is not only a quadrangle as in the present embodiment, but also a circle, an ellipse, a triangle, another polygon, and a shape having a bending portion, for example, an L-shape, a T-shape, It may be a crank type or the like. Moreover, it can also be set as the shape which combined these at least two.

注入部１２は第一シート１０と第二シート２０により形成された中空部に対して作動流体を注入して密閉することで密閉空間２を具備する部位であり、本形態では本体１１の平面視長方形である一辺から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第一シート１０の注入部１２は内面１０ａ側も外面１０ｂ側も平坦面とされている。   The injection part 12 is a part having the sealed space 2 by injecting a working fluid into the hollow part formed by the first sheet 10 and the second sheet 20 and sealing it. It has a rectangular sheet shape in plan view projecting from one side which is rectangular. In this embodiment, the injection portion 12 of the first sheet 10 has a flat surface on both the inner surface 10a side and the outer surface 10b side.

このような第一シート１０の厚さは特に限定されることはないが、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．７５ｍｍ以下であってもよく、０．５ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さ０．０２ｍｍ以上であることが好ましく、０．０５ｍｍ以上であってもよく、０．１ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより薄型のベーパーチャンバとして適用できる場面を多くすることができる。 The thickness of such a first sheet 10 is not particularly limited, but is preferably 1.0 mm or less, and may be 0.75 mm or less, or 0.5 mm or less. On the other hand, the thickness is preferably 0.02 mm or more, may be 0.05 mm or more, and may be 0.1 mm or more. The range of the thickness may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Also, the range of the thickness may be defined by combining any two of the plurality of upper limit candidate values, or combining any two of the plurality of lower limit candidate values.
Thereby, the scene which can be applied as a thin vapor chamber can be increased.

また、第一シート１０を構成する材料も特に限定されることはないが、熱伝導率が高い金属であることが好ましい。これには例えば銅、銅合金を挙げることができる。
ただし、必ずしも金属材料である必要はなく、例えばＡｌＮ、Ｓｉ３Ｎ４、又はＡｌ２Ｏ３などセラミックスや、ポリイミドやエポキシなど樹脂も可能である。
また、１つシート内で２種類以上の材料を積層したものを用いてもよいし、部位によって材料が異なってもよい。 Moreover, the material which comprises the 1st sheet | seat 10 is not specifically limited, either, It is preferable that it is a metal with high heat conductivity. Examples of this include copper and copper alloys.
However, the metal material is not necessarily required. For example, ceramics such as AlN, Si 3 N 4 or Al 2 O 3 , and resins such as polyimide and epoxy are also possible.
Moreover, what laminated | stacked two or more types of materials in one sheet may be used, and materials may differ by site | part.

本体１１の内面１０ａ側には、作動流体が還流するための構造が形成されている。具体的には、本体１１の内面１０ａ側には、外周接合部１３、外周液流路部１４、内側液流路部１５、蒸気流路溝１６、及び、蒸気流路連通溝１７が具備されて構成されている。   On the inner surface 10 a side of the main body 11, a structure for returning the working fluid is formed. Specifically, on the inner surface 10a side of the main body 11, an outer peripheral joint portion 13, an outer peripheral liquid flow passage portion 14, an inner liquid flow passage portion 15, a vapor flow passage groove 16, and a vapor flow passage communication groove 17 are provided. Is configured.

外周接合部１３は、本体１１の内面１０ａ側に、該本体１１の外周に沿って形成された面である。この外周接合部１３が第二シート２０の外周接合部２３に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）されることにより、第一シート１０と第二シート２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることで密閉空間２となる。
図４、図５にＡで示した外周接合部１３の幅（外周接合部１３が延びる方向に直交する方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）は必要に応じて適宜設定することができるが、この幅Ａは、３ｍｍ以下であることが好ましく、２．５ｍｍ以下であってもよく、２．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ａが３ｍｍより大きくなると、密閉空間の内容積が小さくなり蒸気流路や凝縮液流路が十分確保できなくなる虞がある。一方、幅Ａは０．２ｍｍ以上であることが好ましく、０．６ｍｍ以上であってもよく、０．８ｍｍであってもよい。幅Ａが０．２ｍｍより小さくなると第一シートと第二シートとの接合時における位置ずれが生じた際に接合面積が不足する虞がある。幅Ａの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ａの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。 The outer periphery joint 13 is a surface formed along the outer periphery of the main body 11 on the inner surface 10 a side of the main body 11. A hollow portion is formed between the first sheet 10 and the second sheet 20 by the outer peripheral joint 13 being overlapped with the outer peripheral joint 23 of the second sheet 20 and joined (diffusion joining, brazing, etc.). The sealed space 2 is formed by sealing the working fluid.
The width (the size in the direction perpendicular to the direction in which the outer peripheral bonding portion 13 extends, the width at the bonding surface with the second sheet 20) of the outer peripheral bonding portion 13 shown by A in FIGS. Although it can be set, this width A is preferably 3 mm or less, may be 2.5 mm or less, and may be 2.0 mm or less. If the width A is larger than 3 mm, the internal volume of the sealed space is reduced, and there is a possibility that a sufficient steam flow path or condensate flow path cannot be secured. On the other hand, the width A is preferably 0.2 mm or more, may be 0.6 mm or more, or may be 0.8 mm. When the width A is smaller than 0.2 mm, there is a possibility that the bonding area may be insufficient when positional deviation occurs at the time of bonding of the first sheet and the second sheet. The range of the width A may be defined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Also, the range of the width A may be defined by combining any two of the plurality of upper limit candidate values or by combining any two of the plurality of lower limit candidate values.

また外周接合部１３のうち、本体１１の四隅には厚さ方向（ｚ方向）に貫通する穴１３ａが設けられている。この穴は第二シート２０との重ね合せの際の位置決め手段として機能する。   Further, holes 13 a penetrating in the thickness direction (z direction) are provided at four corners of the main body 11 in the outer peripheral joint portion 13. The holes function as positioning means at the time of superposition with the second sheet 20.

外周液流路部１４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路３の一部を構成する部位である。図６には図５のうち矢印ＩＶａで示した部分、図７には図４にＩＶｂ−ＩＶｂで切断される部位の切断面を示した。いずれの図にも外周液流路部１４の断面形状が表れている。また、図８には図６に矢印Ｖで示した方向から見た外周液流路部１４を平面視した拡大図を表した。   The outer peripheral liquid flow path part 14 functions as a liquid flow path part, and is a part constituting a part of the condensate flow path 3 that is a second flow path through which the working fluid is condensed and liquefied. 6 shows a cut surface of a portion indicated by arrow IVa in FIG. 5, and FIG. 7 shows a cut surface of a portion cut by IVb-IVb in FIG. The cross-sectional shape of the outer peripheral liquid flow passage portion 14 appears in any of the drawings. Moreover, the enlarged view which planarly viewed the outer peripheral liquid flow-path part 14 seen from the direction shown by the arrow V by FIG. 6 was represented to FIG.

これら図からわかるように、外周液流路部１４は本体１１の内面１０ａのうち、外周接合部１３の内側に沿って形成され、密閉空間２の外周に沿って設けられている。また、外周液流路部１４には、本体１１の外周方向に沿って延びる複数の溝である液流路溝１４ａが形成され、複数の液流路溝１４ａが、該液流路溝１４ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図６、図７からわかるように外周液流路部１４ではその断面において内面１０ａ側に、凹部である液流路溝１４ａと液流路溝１４ａの間である凸部１４ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。   As can be seen from these figures, the outer peripheral liquid flow passage portion 14 is formed along the inner side of the outer peripheral joint portion 13 in the inner surface 10 a of the main body 11 and is provided along the outer periphery of the sealed space 2. Further, in the outer peripheral liquid flow channel portion 14, liquid flow grooves 14a which are a plurality of grooves extending along the outer peripheral direction of the main body 11 are formed, and the plurality of liquid flow grooves 14a are the liquid flow grooves 14a. It is disposed at a predetermined interval in a direction different from the extending direction. Accordingly, as can be seen from FIGS. 6 and 7, in the outer peripheral liquid flow channel portion 14, the liquid flow groove 14a which is a concave portion and the convex portion 14b which is between the liquid flow groove 14a are uneven on the inner surface 10a side Is formed repeatedly.

このように複数の液流路溝１４ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１４ａの深さ及び幅を小さくし、第２流路である凝縮液流路３（図２２等参照）の流路断面積を小さくして大きな毛細管力を利用することができる。一方、液流路溝１４ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路３の流路断面積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。   By providing a plurality of liquid flow channel grooves 14a in this way, the depth and width of each liquid flow channel groove 14a are reduced, and the condensate flow channel 3 that is the second flow channel (see FIG. 22 and the like). Can be used to reduce the flow passage cross-sectional area of the On the other hand, by providing a plurality of liquid flow channel grooves 14a, the total flow cross-sectional area of the condensate flow channel 3 is ensured to have a suitable size, and a condensate having a necessary flow rate can flow.

ここで液流路溝１４ａは溝であることから、その断面形状において、外面１０ｂ側に具備される底部、及び底部とは向かい合わせとなる反対側の内面１０ａ側に具備される開口を備えている。図９には図６のうち１つの液流路溝１４ａの部分を拡大して表した。
本形態で液流路溝１４ａはその断面が半楕円形状とされている。これにより後で説明するように、第２流路である凝縮液流路３について、該凝縮液流路３の断面で最大幅となる流路内面の部位において局所相当半径が最小となるような内面形状とすることができる。
ただし、当該断面形状は半楕円形状であることに限らず、第二シート２０と組み合わされた際に、第２流路である凝縮液流路３について、該凝縮液流路３の断面で最大幅となる流路内面の部位において局所相当半径が最小となるような形状が形成されていればよい。 Here, since the liquid passage groove 14a is a groove, it has a bottom portion provided on the outer surface 10b side and an opening provided on the opposite inner surface 10a side facing the bottom portion in the cross-sectional shape Yes. In FIG. 9, the portion of one of the liquid flow grooves 14a in FIG. 6 is shown enlarged.
In the present embodiment, the cross section of the liquid passage groove 14a is semi-elliptical. Thereby, as described later, the local equivalent radius is minimized at the portion of the inner surface of the flow passage which is the maximum width in the cross section of the condensate flow passage 3 in the condensate flow passage 3 which is the second flow passage. It can be an inner surface shape.
However, the cross-sectional shape is not limited to a semi-elliptical shape, and when combined with the second sheet 20, the condensate flow channel 3 that is the second flow channel is the largest in the cross section of the condensate flow channel 3. It suffices if a shape that minimizes the local equivalent radius is formed at a large portion of the inner surface of the flow path.

さらに、本形態では、外周液流路部１４では、図８からわかるように隣り合う液流路溝１４ａは、所定の間隔で連通開口部１４ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１４ａ、凝縮液流路３の間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができ、円滑な作動流体の還流が可能となる。
本形態では図８で示したように１つの液流路溝１４ａの該溝を挟んで液流路溝１４ａが延びる方向で同じ位置に対向するように連通開口部１４ｃが配置されている。ただしこれに限定されることはなく、例えば図１０に示したように、１つの液流路溝１４ａの該溝を挟んで液流路溝１４ａが延びる方向で異なる位置に連通開口部１４ｃが配置されてもよい。すなわち、液流路溝１４ａが延びる方向と直交する方向に沿って凸部１４ｂと連通開口部１４ｃとが交互に配置されてもよい。 Furthermore, in the present embodiment, in the outer peripheral liquid flow channel portion 14, as shown in FIG. 8, the adjacent liquid flow channel grooves 14a communicate with each other by the communication opening 14c at a predetermined interval. As a result, equalization of the amount of condensed liquid is promoted among the plurality of liquid flow grooves 14a and the condensed liquid flow path 3, and the condensed liquid can be efficiently flowed, and smooth working fluid can be returned.
In the present embodiment, as shown in FIG. 8, the communication opening 14c is disposed to face the same position in the direction in which the liquid flow grooves 14a extend with the liquid flow grooves 14a being interposed therebetween. However, the present invention is not limited to this. For example, as shown in FIG. 10, the communication openings 14c are arranged at different positions in the direction in which the liquid flow channel groove 14a extends across the groove of one liquid flow channel groove 14a. It may be done. That is, the convex portions 14b and the communication openings 14c may be alternately arranged along a direction orthogonal to the direction in which the liquid flow channel groove 14a extends.

その他、例えば図１１〜図１３に記載のような形態とすることもできる。図１１〜図１３には、図８と同じ視点で、１つの凝縮液流路１４ａとこれを挟む２つの凸部１４ｂ、及び各凸部１４ｂに設けられた１つの連通開口部１４ｃを示した図を表した。これらはいずれも、当該視点（平面視）で凸部１４ｂの形状が図８の例とは異なる。
すなわち、図８に示した凸部１４ｂでは、連通開口部１４ｃが形成される端部においてもその幅が他の部位と同じであり一定である。これに対して図１１〜図１３に示した形状の凸部１４ｂでは、連通開口部１４ｃが形成される端部においてその幅が、凸部１４ｂの最大幅よりも小さくなるように形成されている。より具体的には、図１１の例では当該端部において角が円弧状となり角にＲが形成されることにより端部の幅が小さくなる例、図１２は端部が半円状とされることにより端部の幅が小さくなる例、図１３は端部が尖るように先細りとなる例である。 In addition, it can also be set as a form as described, for example in FIGS. FIGS. 11 to 13 show, from the same viewpoint as FIG. 8, one condensate channel 14a, two projections 14b sandwiching it, and one communication opening 14c provided in each of the projections 14b. The figure is shown. In any of these, the shape of the convex portion 14 b is different from that in the example of FIG. 8 in the viewpoint (plan view).
That is, in the convex part 14b shown in FIG. 8, the width | variety is the same as that of another site | part also in the edge part in which the communication opening part 14c is formed, and is constant. On the other hand, in the convex portion 14b having the shape shown in FIGS. 11 to 13, the width at the end portion where the communication opening portion 14c is formed is smaller than the maximum width of the convex portion 14b. . More specifically, in the example of FIG. 11, the corner is arc-shaped at the end and R is formed at the corner so that the width of the end is reduced, and FIG. 12 is a semicircular end. This is an example in which the width of the end portion is reduced, and FIG. 13 is an example in which the end portion is tapered so as to be sharp.

図１１〜図１３に示したように、凸部１４ｂにおいて連通開口部１４ｃが形成される端部でその幅が、凸部１４ｂの最大幅よりも小さくなるように形成されていることで、連通開口部１４ｃを作動流体が移動しやすくなり、隣り合う凝縮液流路３への作動流体の移動が容易となる。   As shown in FIGS. 11 to 13, the end of the convex portion 14 b where the communication opening 14 c is formed is formed so that the width thereof is smaller than the maximum width of the convex portion 14 b. The working fluid can be easily moved through the opening 14c, and the movement of the working fluid to the adjacent condensate flow channel 3 can be facilitated.

以上のような構成を備える外周液流路部１４は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図４〜図７にＢで示した外周液流路部１４の幅（液流路部１４ａが配列される方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）は、ベーパーチャンバ全体の大きさ等から適宜設定することができるが、幅Ｂは、３．０ｍｍ以下であることが好ましく、１．５ｍｍ以下であってもよく、１．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ｂが３．０ｍｍを超えると内側の液流路や蒸気流路のための空間が十分にとれなくなる虞がある。一方、幅Ｂは０．１ｍｍ以上であることが好ましく、０．２ｍｍ以上であってもよく、０．４ｍｍ以上であってもよい。幅Ｂが０．１ｍｍより小さいと外側を還流する液の量が十分得られない虞がある。幅Ｂの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｂの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
そして当該幅Ｂは第二シート２０の外周液流路部２４の幅Ｓ（図１９参照）と同じであっても良いし、大きくても小さくてもよい。本形態では同じとされている。 It is preferable that the peripheral liquid flow passage portion 14 having the above-described configuration further has the following configuration.
The width (the size in the direction in which the liquid flow path portion 14a is arranged, the width at the bonding surface with the second sheet 20) of the outer peripheral liquid flow path portion 14 shown by B in FIGS. The width B is preferably 3.0 mm or less, and may be 1.5 mm or less, or 1.0 mm or less. If the width B exceeds 3.0 mm, there is a possibility that the space for the inner liquid flow path and the steam flow path can not be sufficiently taken. On the other hand, the width B is preferably 0.1 mm or more, may be 0.2 mm or more, and may be 0.4 mm or more. If the width B is smaller than 0.1 mm, there is a possibility that a sufficient amount of liquid refluxing outside can not be obtained. The range of the width B may be defined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Also, the range of the width B may be defined by combining any two of the plurality of upper limit candidate values or by combining any two of the plurality of lower limit candidate values.
The width B may be the same as the width S (see FIG. 19) of the outer peripheral liquid flow passage 24 of the second sheet 20, or may be larger or smaller. In the present embodiment, the same applies.

液流路溝１４ａについて、図８、図９にＣで示した溝幅（液流路溝１４ａが配列される方向の大きさ、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であってもよく、２００μｍ以下であってもよい。一方、幅Ｃは２０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。幅Ｃの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｃの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図６、図７、図９にＤで示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、深さＤは５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。深さＤの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
以上のように構成することにより、還流に必要な凝縮液流路の毛細管力をより強く発揮することができる。 The width (the size in the direction in which the liquid flow grooves 14a are arranged, the width at the opening surface of the grooves) of the liquid flow grooves 14a indicated by C in FIGS. 8 and 9 is preferably 1000 μm or less , 500 μm or less, or 200 μm or less. On the other hand, the width C is preferably 20 μm or more, may be 45 μm or more, and may be 60 μm or more. The range of the width C may be defined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Also, the range of the width C may be defined by combining any two of the plurality of upper limit candidate values or by combining any two of the plurality of lower limit candidate values.
Further, the depth of the groove indicated by D in FIGS. 6, 7 and 9 is preferably 200 μm or less, and may be 150 μm or less or 100 μm or less. On the other hand, the depth D is preferably 5 μm or more, may be 10 μm or more, and may be 20 μm or more. The range of the depth D may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Also, the range of the depth D may be defined by combining any two of the plurality of upper limit candidate values or by combining any two of the plurality of lower limit candidate values.
By comprising as mentioned above, the capillary force of the condensate flow path required for reflux can be exhibited more strongly.

凝縮液流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、溝幅Ｃを深さＤで割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。この比は１．５以上でもよく、２．０以上であってもよい。または、アスペクト比は１．０より小さくてもよい。この比は０．７５以下であってもよく、０．５以下であってもよい。
その中でも製造の観点からＣはＤより大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。 From the viewpoint of exerting the capillary force of the condensate channel more strongly, the aspect ratio (aspect ratio) in the channel cross section represented by the value obtained by dividing the groove width C by the depth D is greater than 1.0. preferable. This ratio may be 1.5 or more, or 2.0 or more. Alternatively, the aspect ratio may be smaller than 1.0. This ratio may be 0.75 or less, and may be 0.5 or less.
Among them, C is preferably larger than D from the viewpoint of production, and from such a viewpoint, the aspect ratio is preferably greater than 1.3.

また、複数の液流路溝１４ａにおける隣り合う液流路溝１４ａのピッチは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、ピッチは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより、凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して凝縮液流路が潰れることを抑制することができる。 Further, the pitch of the adjacent liquid flow channel grooves 14a in the plurality of liquid flow channel grooves 14a is preferably 1100 μm or less, may be 550 μm or less, and may be 220 μm or less. On the other hand, the pitch is preferably 30 μm or more, may be 55 μm or more, and may be 70 μm or more. The range of the pitch may be defined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Also, the range of the pitch may be defined by combining any two of the plurality of upper limit candidate values or by combining any two of the plurality of lower limit candidate values.
Thereby, it is possible to prevent the condensate flow path from being crushed due to deformation during joining or assembly while increasing the density of the condensate flow path.

連通開口部１４ｃについて、図８にＥで示した液流路溝１４ａが延びる方向に沿った開口部の大きさは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、大きさＥは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。大きさＥの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、大きさＥの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。   Regarding the communication opening 14c, the size of the opening along the direction in which the liquid channel groove 14a shown by E in FIG. 8 extends is preferably 1100 μm or less, may be 550 μm or less, and may be 220 μm or less. It may be. On the other hand, the size E is preferably 30 μm or more, may be 55 μm or more, and may be 70 μm or more. The range of the magnitude E may be defined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Also, the range of the magnitude E may be defined by combining any two of the plurality of upper limit candidate values or by combining any two of the plurality of lower limit candidate values.

また、図８にＦで示した液流路溝１４ａが延びる方向における隣り合う連通開口部１４ｃのピッチは、２７００μｍ以下であることが好ましく、１８００μｍ以下であってもよく、９００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチＦは６０μｍ以上であることが好ましく、１１０μｍ以上であってもよく、１４０μｍ以上であってもよい。このピッチＦの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチＦの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。   The pitch of the adjacent communication openings 14c in the direction in which the liquid flow grooves 14a extend in FIG. 8F is preferably 2700 μm or less, and may be 1800 μm or less, or even 900 μm or less. Good. On the other hand, the pitch F is preferably 60 μm or more, may be 110 μm or more, and may be 140 μm or more. The range of the pitch F may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Further, the range of the pitch F may be determined by combining any two of a plurality of upper limit candidate values or by combining any two of a plurality of lower limit candidate values.

図２、図３に戻って内側液流路部１５について説明する。内側液流路部１５も液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路３の一部を構成する部位である。図１４には図５のうちＶＩＩＩａで示した部分を示した。この図にも内側液流路部１５の断面形状が表れている。また、図１６には図１４に矢印ＩＸで示した方向から見た内側液流路部１５を平面視した拡大図を示した。   Returning to FIG. 2 and FIG. 3, the inner liquid flow passage portion 15 will be described. The inner liquid flow path portion 15 also functions as a liquid flow path portion, and is a part constituting a part of the condensate flow path 3 that is a second flow path through which the working fluid is condensed and liquefied. FIG. 14 shows a portion indicated by VIIIa in FIG. The cross-sectional shape of the inner liquid flow path 15 is also shown in this figure. Further, FIG. 16 shows an enlarged view of the inner liquid flow passage 15 as viewed in a plan view as viewed from the direction shown by the arrow IX in FIG.

これら図からわかるように、内側液流路部１５は本体１１の内面１０ａのうち、外周液流路部１４の環状である環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部１５は、図３、図４からわかるように、本体１１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びる壁であり、複数（本形態では３つ）の内側液流路部１５が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に所定の間隔で配列されている。
各内側液流路部１５には、内側液流路部１５が延びる方向に平行な溝である液流路溝１５ａが形成され、複数の液流路溝１５ａが、該液流路溝１５ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図５、図１４からわかるように内側液流路部１５では、その断面において内面１０ａ側に、凹部である液流路溝１５ａと液流路溝１５ａの間である凸部１５ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。 As can be seen from these figures, the inner liquid flow passage 15 is formed on the inner side of the inner surface 10 a of the main body 11, which is an annular ring of the outer peripheral liquid flow passage 14. As can be seen from FIG. 3 and FIG. 4, the inner liquid flow path portion 15 of the present embodiment is a wall extending in a direction (x direction) parallel to the long side of the main body 11 in a plan view rectangle. 1) are arranged at predetermined intervals in a direction (y direction) parallel to the same short side.
Each inner liquid flow path section 15 is formed with a liquid flow path groove 15a that is a groove parallel to the direction in which the inner liquid flow path section 15 extends, and a plurality of liquid flow path grooves 15a includes the liquid flow path grooves 15a. It is disposed at a predetermined interval in a direction different from the extending direction. Therefore, as can be seen from FIGS. 5 and 14, the inner liquid flow path portion 15 includes a liquid flow channel groove 15 a that is a concave portion and a convex portion 15 b that is between the liquid flow channel grooves 15 a on the inner surface 10 a side in the cross section. It is formed by repeating unevenness.

このように複数の液流路溝１５ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１５ａの深さ及び幅を小さくし、第２流路としての凝縮液流路３（図２２等参照）の流路断面積を小さくして大きな毛細管力を利用することができる。一方、液流路溝１５ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路３の流路断面積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。   By providing the plurality of liquid flow channel grooves 15a in this way, the depth and width of each liquid flow channel groove 15a are reduced, and the condensate flow channel 3 as the second flow channel (see FIG. 22 and the like). Can be used to reduce the flow passage cross-sectional area of the On the other hand, by providing a plurality of liquid flow channel grooves 15a, the flow channel cross-sectional area of the condensate flow channel 3 as a whole is ensured to have a suitable size, and a necessary flow rate of the condensate can be flowed.

ここで液流路溝１５ａは溝であることから、その断面形状において、外面１０ｂ側に具備される底部、及び底部とは向かい合わせとなる反対側の部位で内面１０ａ側に具備される開口を備えている。図１５には図１４のうち１つの液流路溝１５ａの部分を拡大して表した。
本形態で液流路溝１５ａはその断面が半楕円形状とされている。これにより後で説明するように、凝縮液流路３について、該凝縮液流路３の断面で凝縮液流路３と蒸気流路とが配列された方向である幅方向において、これが最大となる流路内面の部位で局所相当半径が最小となるような形状とすることができる。
ただし、当該断面形状は半楕円形状であることに限らず、第二シート２０と組み合わされた際に、凝縮液流路３について、該凝縮液流路３の断面で最大幅となる流路内面の部位で局所相当半径が最小となるような形状であればよい。具体的には、断面形状は半楕円形状であることに限らず、円形や、長方形、正方形、台形等の四角形や、その他の多角形、他の幾何学形状、及び、これらのいずれか複数を組み合わせた形態であってもよい。 Here, since the liquid channel groove 15a is a groove, the bottom portion provided on the outer surface 10b side in the cross-sectional shape and the opening provided on the inner surface 10a side at the opposite side facing the bottom portion I have. In FIG. 15, the portion of one liquid flow channel groove 15a in FIG. 14 is shown enlarged.
In the present embodiment, the cross section of the liquid passage groove 15a is semi-elliptical. As a result, as will be described later, the condensate flow path 3 is maximized in the width direction, which is the direction in which the condensate flow path 3 and the steam flow path are arranged in the cross section of the condensate flow path 3. The local equivalent radius may be minimized at a portion of the inner surface of the flow path.
However, the cross-sectional shape is not limited to a semi-elliptical shape, and when combined with the second sheet 20, the inner surface of the condensate flow channel 3 has a maximum width in the cross section of the condensate flow channel 3 Any shape may be used as long as the local equivalent radius is minimized at the part. Specifically, the cross-sectional shape is not limited to a semi-elliptical shape, and a quadrangle such as a circle, a rectangle, a square, a trapezoid, another polygon, another geometric shape, and any one or more of them It may be a combined form.

さらに、図１６からわかるように隣り合う液流路溝１５ａは、所定の間隔で連通開口部１５ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１５ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができるため、円滑な作動流体の還流が可能となる。
この連通開口部１５ｃについても、連通開口部１４ｃと同様に、図１０に示した例に倣って、液流路溝１５ａが延びる方向と直交する方向に沿って凸部１５ｂと連通開口部１５ｃとが交互に配置されてもよい。また、図１１〜図１３の例に倣って連通開口部１５ｃ及び凸部１５ｂの形状としてもよい。 Further, as can be seen from FIG. 16, the adjacent liquid flow grooves 15a communicate with each other by the communication opening 15c at a predetermined interval. As a result, the equalization of the amount of condensed liquid is promoted among the plurality of liquid flow grooves 15a, and the condensed liquid can be efficiently flowed, so that the working fluid can be smoothly returned.
Similarly to the communication opening 14c, in the communication opening 15c, the protrusion 15b and the communication opening 15c extend in the direction orthogonal to the direction in which the liquid passage groove 15a extends, following the example shown in FIG. May be alternately arranged. Moreover, it is good also as a shape of the communication opening part 15c and the convex part 15b according to the example of FIGS.

以上のような構成を備える内側液流路部１５は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図４、図５、図１４にＧで示した内側液流路部１５の（内側液流路部１５と蒸気流路溝１６が配列される方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）幅は、３０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｇは１００μｍ以上であること好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｇの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｇの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
当該幅Ｇは第二シート２０の内側液流路部２５の幅Ｔ（図１９参照）と同じであってもよいし、大きくてもよいし、小さくてもよい。本形態では同じとされている。 It is preferable that the inner liquid flow path unit 15 having the above-described configuration further includes the following configuration.
Bonding with the second sheet 20 in the size in the direction in which the inner liquid flow passage portion 15 and the steam flow passage groove 16 are arranged in the inner liquid flow passage portion 15 shown by G in FIGS. Width in the plane is preferably 3000 μm or less, and may be 1500 μm or less, and may be 1000 μm or less. On the other hand, the width G is preferably 100 μm or more, may be 200 μm or more, and may be 400 μm or more. The range of the width G may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Also, the range of the width G may be defined by combining any two of the plurality of upper limit candidate values or by combining any two of the plurality of lower limit candidate values.
The width G may be the same as the width T (see FIG. 19) of the inner liquid flow passage 25 of the second sheet 20, or may be larger or smaller. In the present embodiment, the same applies.

また、複数の内側液流路部１５のピッチは４０００μｍ以下であることが好ましく、３０００μｍ以下であってもよく、２０００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチは２００μｍ以上であることが好ましく、４００μｍ以上であってもよく、８００μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより蒸気流路の流路抵抗を下げ、蒸気の移動と、凝縮液の還流とをバランスよく行うことができる。 Moreover, it is preferable that the pitch of the some inner side liquid flow-path part 15 is 4000 micrometers or less, 3000 micrometers or less may be sufficient and 2000 micrometers or less may be sufficient. On the other hand, the pitch is preferably 200 μm or more, may be 400 μm or more, and may be 800 μm or more. The range of the pitch may be defined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Also, the range of the pitch may be defined by combining any two of the plurality of upper limit candidate values or by combining any two of the plurality of lower limit candidate values.
Thereby, the flow path resistance of the steam flow path can be reduced, and the movement of the steam and the reflux of the condensate can be performed in a well-balanced manner.

液流路溝１５ａについて、図１５、図１６にＨで示した溝幅（液流路溝１５ａが配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であってもよく、２００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｈは２０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。この幅Ｈの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｈの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図１４、図１５にＪで示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、この深さＪは５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。この深さＪの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＪの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより還流に必要な凝縮液流路の毛細管力を強く発揮することができる。 The width of the liquid flow groove 15a indicated by H in FIGS. 15 and 16 (the size in the direction in which the liquid flow groove 15a is arranged, and the width at the opening face of the groove) is 1000 μm or less Preferably, it may be 500 μm or less, or 200 μm or less. On the other hand, the width H is preferably 20 μm or more, may be 45 μm or more, and may be 60 μm or more. The range of the width H may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Further, the range of the width H may be defined by combining any two of the plurality of upper limit candidate values or by combining any two of the plurality of lower limit candidate values.
The depth of the groove indicated by J in FIGS. 14 and 15 is preferably 200 μm or less, and may be 150 μm or less or 100 μm or less. On the other hand, the depth J is preferably 5 μm or more, may be 10 μm or more, and may be 20 μm or more. The range of the depth J may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Also, the range of the depth J may be defined by combining any two of the plurality of upper limit candidate values or by combining any two of the plurality of lower limit candidate values.
Thereby, the capillary force of the condensate flow path necessary for the reflux can be exhibited strongly.

流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、溝幅Ｈを深さＪで割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。１．５以上であってもよいし、２．０以上であってもよい。又は１．０よりも小さくてもよく、０．７５以下でもよく０．５以下でもよい。
その中でも製造の観点から溝幅Ｈは深さＪよりも大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。 From the viewpoint of exerting the capillary force of the channel more strongly, the aspect ratio (aspect ratio) in the channel cross section represented by the value obtained by dividing the groove width H by the depth J is preferably larger than 1.0. It may be 1.5 or more, or 2.0 or more. Or it may be smaller than 1.0, may be 0.75 or less, and may be 0.5 or less.
Among them, the groove width H is preferably larger than the depth J from the viewpoint of manufacture, and the aspect ratio is preferably larger than 1.3 from this viewpoint.

また、複数の液流路溝１５ａにおける隣り合う液流路溝１５ａのピッチは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、このピッチは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより、凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して流路が潰れることを抑制することができる。 Further, the pitch of the adjacent liquid flow channel grooves 15a in the plurality of liquid flow channel grooves 15a is preferably 1100 μm or less, may be 550 μm or less, and may be 220 μm or less. On the other hand, the pitch is preferably 30 μm or more, may be 55 μm or more, and may be 70 μm or more. The range of the pitch may be defined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Also, the range of the pitch may be defined by combining any two of the plurality of upper limit candidate values or by combining any two of the plurality of lower limit candidate values.
Thereby, it can suppress that a flow path is crushed by deform | transforming at the time of joining or an assembly, raising the density of a condensate flow path.

さらに、連通開口部１５ｃについて、図１６にＫで示した液流路溝１５ａが延びる方向に沿った開口部の大きさは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、この大きさＫは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。この大きさＫの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、大きさＫの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図１６にＬで示した、液流路溝１５ａが延びる方向における隣り合う連通開口部１５ｃのピッチは、２７００μｍ以下であることが好ましく、１８００μｍ以下であってもよく、９００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチＬは６０μｍ以上であることが好ましく、１１０μｍ以上であってもよく、１４０μｍ以上であってもよい。このピッチＬの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、このピッチＬの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。 Further, with regard to the communication opening 15c, the size of the opening along the direction in which the liquid flow channel groove 15a shown in FIG. 16 extends is preferably 1100 μm or less, and may be 550 μm or less, 220 μm It may be the following. On the other hand, the size K is preferably 30 μm or more, may be 55 μm or more, and may be 70 μm or more. The range of the magnitude K may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Also, the range of the size K may be defined by combining any two of the plurality of upper limit candidate values or by combining any two of the plurality of lower limit candidate values.
In addition, the pitch of the adjacent communication openings 15c in the direction in which the liquid flow grooves 15a extend, which is indicated by L in FIG. 16, is preferably 2700 μm or less, and may be 1800 μm or less, and 900 μm or less. Also good. On the other hand, the pitch L is preferably 60 μm or more, may be 110 μm or more, and may be 140 μm or more. The range of the pitch L may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Further, the range of the pitch L may be determined by combining any two of the plurality of upper limit candidate values or by combining any two of the plurality of lower limit candidate values.

上記した本形態の液流路溝１４ａ及び液流路溝１５ａは等間隔に離間して互いに平行に配置されているが、これに限られることは無く、毛細管作用を奏することができれば溝同士のピッチがばらついても良く、また溝同士が平行でなくても良い。   The liquid flow channel groove 14a and the liquid flow channel groove 15a of the present embodiment described above are spaced apart at equal intervals and parallel to each other. However, the present invention is not limited to this. The pitch may vary, and the grooves may not be parallel to each other.

次に蒸気流路溝１６について説明する。蒸気流路溝１６は作動流体が蒸発して気化した蒸気が通る部位で、第１流路である蒸気流路４（図２１等参照）の一部を構成する。図４には平面視した蒸気流路溝１６の形状、図５には蒸気流路溝１６の断面形状がそれぞれ表れている。   Next, the steam channel groove 16 will be described. The steam channel groove 16 is a portion through which vapor vaporized by evaporation of the working fluid passes and constitutes a part of the steam channel 4 (see FIG. 21 and the like) that is the first channel. FIG. 4 shows the shape of the steam flow passage groove 16 in plan view, and FIG. 5 shows the cross-sectional shape of the steam flow passage groove 16 respectively.

これら図からもわかるように、蒸気流路溝１６は本体１１の内面１０ａのうち、外周液流路部１４の環状である環の内側に形成された溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝１６は、隣り合う内側液流路部１５の間、及び、外周液流路部１４と内側液流路部１５との間に形成され、本体１１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝１６が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されている。従って、図５からわかるように第一シート１０は、ｙ方向において、外周液流路部１４及び内側液流路部１５を凸とし、蒸気流路溝１６を凹とした凹凸が繰り返された形状を備えている。
ここで蒸気流路溝１６は溝であることから、その断面形状において、外面１０ｂ側となる底部、及び、底部とは向かい合わせとなる反対側で内面１０ａ側に開口を備えている。 As can be understood from these figures, the steam flow channel 16 is formed by the inner surface 10 a of the main body 11 and the groove formed inside the annular ring of the outer peripheral liquid flow channel portion 14. Specifically, the steam channel groove 16 of the present embodiment is formed between the adjacent inner liquid channel portions 15 and between the outer peripheral liquid channel portion 14 and the inner liquid channel portion 15, and is a plan view of the main body 11. A rectangular groove extending in a direction (x direction) parallel to the long side. A plurality (four in the present embodiment) of steam flow grooves 16 are arranged in a direction (y direction) parallel to the short side. Accordingly, as can be seen from FIG. 5, the first sheet 10 has a shape in which the peripheral liquid flow passage portion 14 and the inner liquid flow passage portion 15 are convex in the y direction, and the unevenness of the steam flow passage groove 16 is repeated. It has.
Here, since the steam channel groove 16 is a groove, in the cross-sectional shape thereof, the bottom portion on the outer surface 10b side and the opening on the inner surface 10a side on the opposite side facing the bottom portion are provided.

このような構成を備える蒸気流路溝１６は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図４、図５にＭで示した蒸気流路溝１６の幅（内側液流路部１５と蒸気流路１６が配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、少なくとも上記した液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａの幅Ｃ、幅Ｈより大きく形成され、２０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｍは１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｍの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｍの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
蒸気流路溝１６のピッチは、内側液流路部１５のピッチにより決まるのが通常である。 It is preferable that the steam flow channel 16 having such a configuration further has the following configuration.
The width (the size in the direction in which the inner liquid flow path portion 15 and the steam flow path 16 are arranged, and the width at the opening face of the groove) of the steam flow path groove 16 shown by M in FIGS. The width of the liquid flow channel groove 14a and the width C of the liquid flow channel groove 15a are larger than the width H and is preferably 2000 μm or less, and may be 1500 μm or less or 1000 μm or less. On the other hand, the width M is preferably 100 μm or more, may be 200 μm or more, and may be 400 μm or more. The range of the width M may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Also, the range of the width M may be defined by combining any two of the plurality of upper limit candidate values or by combining any two of the plurality of lower limit candidate values.
The pitch of the steam flow channel 16 is usually determined by the pitch of the inner liquid flow channel portion 15.

一方、図５にＮで示した蒸気流路溝１６の深さは、少なくとも上記した液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａの深さＤ、深さＪより大きく形成され、３００μｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、この深さＮは１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＮの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＮの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
このように、蒸気流路溝の流路断面積を液流路溝の流路断面積よりも大きくすることにより、作動流体の性質上、凝縮液よりも体積が大きくなる蒸気を円滑に還流することができる。 On the other hand, the depth of the steam channel groove 16 shown by N in FIG. 5 is at least 300 μm or less, which is larger than the depth D and the depth J of the liquid channel groove 14a and the liquid channel groove 15a described above. Is preferably 200 μm or less, and may be 100 μm or less. On the other hand, the depth N is preferably 10 μm or more, may be 25 μm or more, and may be 50 μm or more. The range of the depth N may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Also, the range of the depth N may be defined by combining any two of the plurality of upper limit candidate values or by combining any two of the plurality of lower limit candidate values.
In this way, by making the flow channel cross-sectional area of the steam flow channel groove larger than the flow channel cross-sectional area of the liquid flow channel groove, the vapor having a volume larger than the condensate is smoothly circulated due to the nature of the working fluid. be able to.

本形態では蒸気流路溝１６の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形、又はこれらのいずれか複数を組み合わせた形状であってもよい。蒸気流路は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより、作動流体の円滑な還流をさせることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。   In the present embodiment, the cross-sectional shape of the steam flow passage groove 16 is a semi-elliptical shape, but it is not limited thereto. The shape which combined any one or more may be sufficient. Since the steam flow path can reduce the flow resistance of the steam, the working fluid can be smoothly recirculated. From this viewpoint, the shape of the cross section of the flow path can be determined.

本形態では隣り合う内側液流路部１５の間に１つの蒸気流路溝１６が形成された例を説明したが、これに限らず、隣り合う内側液流路部の間に２つ以上の蒸気流路溝が並べて配置される形態であってもよい。
また、第二シート２０に蒸気流路溝が形成されていれば、第一シート１０の一部または全部に蒸気流路溝が形成されない形態であってもよい。 Although an example in which one steam flow passage groove 16 is formed between adjacent inner liquid flow passages 15 is described in the present embodiment, the present invention is not limited to this, and two or more may be formed between adjacent inner liquid flow passages. The steam flow grooves may be arranged side by side.
In addition, as long as the steam flow channel is formed in the second sheet 20, the steam flow channel may not be formed in part or all of the first sheet 10.

蒸気流路連通溝１７は、複数の蒸気流路溝１６を連通させる溝である。これにより、複数の蒸気流路溝１６の蒸気の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの凝縮液流路３を効率よく利用できるようになったりするため、作動流体の還流をより円滑にすることが可能となる。   The steam flow passage communicating groove 17 is a groove that brings the plurality of steam flow passage grooves 16 into communication with each other. As a result, the steam in the plurality of steam channel grooves 16 can be equalized, or the steam can be transported to a wider range and more condensate channels 3 can be used efficiently. It becomes possible to make the recirculation | reflux of smoother.

本形態の蒸気流路連通溝１７は、図３、図４からわかるように、内側液流路部１５、蒸気流路溝１６が延びる方向の両端部と、外周液流路部１４との間に形成されている。また、図７には図４にＩＶｂ−ＩＶｂで示した線に沿って切断面で、蒸気流路連通溝１７の連通方向に直交する断面が表れている。図２〜図４では、わかり易さのため蒸気流路溝１６と蒸気流路連通溝１７との境界となるべき部分に点線を付した。ただしこの線は必ずしも形状により表れる線ではなくわかり易さのために付した仮想の線である。   As can be seen from FIGS. 3 and 4, the steam channel communication groove 17 of this embodiment is provided between the inner liquid channel portion 15 and both ends in the direction in which the steam channel groove 16 extends and the outer peripheral fluid channel portion 14. Is formed. Moreover, the cross section orthogonal to the communication direction of the steam flow-path communicating groove 17 appears in FIG. 7 by the cut surface along the line shown by IVb-IVb in FIG. In FIG. 2 to FIG. 4, dotted lines are given to portions that are to be boundaries between the steam flow channel grooves 16 and the steam flow channel communication grooves 17 for easy understanding. However, this line is not necessarily a line that appears due to the shape, but is an imaginary line attached for the sake of clarity.

蒸気流路連通溝１７は、隣り合う蒸気流路溝１６を連通させるように形成されていればよく、その形状は特に限定されることはないが、例えば次のような構成を備えることができる。
図４、図７にＰで示した蒸気流路連通溝１７の幅（連通方向に直交する方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、７５０μｍ以下であってもよく、５００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｐは１００μｍ以上であることが好ましく、１５０μｍ以上であってもよく、２００μｍ以上であってもよい。この幅Ｐの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｐの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図７にＱで示した蒸気流路連通溝１７の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＱは１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＱの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＱの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。 The steam flow passage communicating groove 17 may be formed so as to allow the adjacent steam flow passage grooves 16 to communicate with each other, and the shape thereof is not particularly limited. For example, the following configuration can be provided. .
The width (the size in the direction perpendicular to the communication direction, width at the opening face of the groove) of the steam flow channel communication groove 17 shown by P in FIGS. 4 and 7 is preferably 1000 μm or less, and 750 μm or less It may be 500 μm or less. On the other hand, the width P is preferably 100 μm or more, may be 150 μm or more, and may be 200 μm or more. The range of the width P may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Also, the range of the width P may be defined by combining any two of the plurality of upper limit candidate values or by combining any two of the plurality of lower limit candidate values.
In addition, the depth of the steam flow passage communicating groove 17 indicated by Q in FIG. 7 is preferably 300 μm or less, and may be 225 μm or less, and may be 150 μm or less. On the other hand, the depth Q is preferably 10 μm or more, may be 25 μm or more, and may be 50 μm or more. The range of the depth Q may be defined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Also, the range of the depth Q may be defined by combining any two of the plurality of upper limit candidate values or by combining any two of the plurality of lower limit candidate values.

本形態で蒸気流路連通溝１７の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず、長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形又は、これらのいずれか複数の組み合わせであってもよい。
蒸気流路連通溝は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより作動流体の円滑な還流をさせることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。 In the present embodiment, the cross-sectional shape of the steam channel communicating groove 17 is a semi-elliptical shape, but the shape is not limited to this, and a quadrangle such as a rectangle, square or trapezoid, a triangle, a semicircle, a semicircle at the bottom, And any combination thereof may be used.
Since the steam flow passage communicating groove can smoothly reflux the working fluid by reducing the flow resistance of the steam, the shape of the flow passage cross section can also be determined from this point of view.

次に第二シート２０について説明する。本形態で第二シート２０も全体としてシート状の部材である。図１７には第二シート２０を内面２０ａ側から見た斜視図、図１８には第二シート２０を内面２０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。また、図１９には図１８にＸＩａ−ＸＩａで切断したときの第二シート２０の切断面を示した。また、図２０には図１８にＸＩｂ−ＸＩｂで切断したときの第二シート２０の切断面を示した。
第二シート２０は、内面２０ａ、該内面２０ａとは反対側となる外面２０ｂ及び内面２０ａと外面２０ｂとを連結し厚さを形成する側面２０ｃを備え、内面２０ａ側に作動流体が還流するパターンが形成されている。後述するようにこの第二シート２０の内面２０ａと上記した第一シート１０の内面１０ａとが対向するようにして重ね合わされることで中空部が形成され、ここに作動流体が封入されて密閉空間２となる。 Next, the second sheet 20 will be described. In the present embodiment, the second sheet 20 is also a sheet-like member as a whole. FIG. 17 is a perspective view of the second sheet 20 as viewed from the inner surface 20 a side, and FIG. 18 is a plan view of the second sheet 20 as viewed from the inner surface 20 a side. Further, FIG. 19 shows a cut surface of the second sheet 20 when it is cut by XIa-XIa in FIG. Further, FIG. 20 shows a cut surface of the second sheet 20 when it is cut by XIb-XIb in FIG.
The second sheet 20 includes an inner surface 20a, an outer surface 20b opposite to the inner surface 20a, and a side surface 20c connecting the inner surface 20a and the outer surface 20b to form a thickness, and a pattern in which the working fluid flows back to the inner surface 20a. Is formed. As will be described later, a hollow portion is formed by overlapping the inner surface 20a of the second sheet 20 and the inner surface 10a of the above-described first sheet 10 so as to face each other. 2

第二シート２０は本体２１及び注入部２２を備えている。本体２１は作動流体が還流する部位を形成するシート状の部位であり、本形態では平面視で角に円弧（いわゆるＲ）が形成された長方形である。
ただし、第二シート２０の本体２１は本形態のように四角形である他、円形、楕円形、三角形、その他の多角形、並びに、屈曲部を有する形である例えばＬ字型、Ｔ字型、クランク型等であってもよい。また、これらの少なくとも２つを組み合わせた形状とすることもできる。 The second sheet 20 includes a main body 21 and an injection part 22. The main body 21 is a sheet-like portion that forms a portion to which the working fluid flows back, and in the present embodiment, is a rectangle in which a circular arc (so-called R) is formed at a corner in plan view.
However, the main body 21 of the second sheet 20 is not only a quadrangle as in the present embodiment, but also a circle, an ellipse, a triangle, another polygon, and an L-shaped or T-shaped member having a bent portion, for example. It may be a crank type or the like. Moreover, it can also be set as the shape which combined these at least two.

注入部２２は第一シート１０と第二シート２０とにより形成された中空部に対して作動流体を注入して密閉し、密閉空間２（図２１参照）とする部位であり、本形態では本体２１の平面視長方形である一辺から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第二シート２０の注入部２２には内面２０ａ側に注入溝２２ａが形成されており、第二シート２０の側面２０ｃから本体２１の内側（中空部となるべき部位）とが連通している。
このような第二シート２０の厚さ及び構成する材料は第一シート１０と同様に考えることができる。ただし、第一シート１０と第二シート２０とは同じ厚さ及び材料である必要はない。 The injection part 22 is a part which injects and seals a working fluid with respect to the hollow part formed of the 1st sheet | seat 10 and the 2nd sheet | seat 20, and makes it the sealed space 2 (refer FIG. 21). The sheet 21 has a rectangular shape in plan view and protrudes from one side which is a rectangular in plan view. In this embodiment, the injection portion 22 of the second sheet 20 is formed with an injection groove 22a on the inner surface 20a side, and the side surface 20c of the second sheet 20 communicates with the inside of the main body 21 (the portion to be a hollow portion). ing.
The thickness of the second sheet 20 and the material to be configured can be considered similarly to the first sheet 10. However, the first sheet 10 and the second sheet 20 do not have to have the same thickness and material.

本体２１の内面２０ａ側には、作動流体が還流するための構造が形成されている。具体的には、本体２１の内面２０ａ側には、外周接合部２３、外周液流路部２４、内側液流路部２５、蒸気流路溝２６、及び、蒸気流路連通溝２７が具備されている。   On the inner surface 20 a side of the main body 21, a structure for returning the working fluid is formed. Specifically, on the inner surface 20a side of the main body 21, an outer peripheral joint portion 23, an outer peripheral liquid flow passage portion 24, an inner liquid flow passage portion 25, a vapor flow passage groove 26, and a vapor flow passage communication groove 27 are provided. ing.

外周接合部２３は、本体２１の内面２０ａ側に、該本体２１の外周に沿って形成された面である。この外周接合部２３が第一シート１０の外周接合部１３に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）されることにより、第一シート１０と第二シート２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されて密閉空間２となる。
図１８〜図２０にＲで示した外周接合部２３の幅（外周接合部２３が延びる方向に直交する方向の大きさで、第一シート１０との接合面における幅）は、上記した本体１１の外周接合部１３の幅Ａと同じであることが好ましい。ただしこれに限らず大きくてもよく、小さくてもよい。 The outer peripheral joint portion 23 is a surface formed on the inner surface 20 a side of the main body 21 along the outer periphery of the main body 21. A hollow portion is formed between the first sheet 10 and the second sheet 20 by the outer peripheral joint 23 being overlapped and joined (diffusion joining, brazing, etc.) to the outer peripheral joint 13 of the first sheet 10. Here, the working fluid is sealed to form a sealed space 2.
The width (the size in the direction orthogonal to the extending direction of the outer peripheral bonding portion 23, the width at the bonding surface with the first sheet 10) of the outer peripheral bonding portion 23 indicated by R in FIGS. The width A of the outer peripheral joint 13 is preferably the same. However, it is not limited to this and may be large or small.

また外周接合部２３のうち、本体２１の四隅には厚さ方向（ｚ方向）に貫通する穴２３ａが設けられている。この穴２３ａは第一シート１０との重ね合せの際の位置決め手段として機能する。   Further, holes 23 a penetrating in the thickness direction (z direction) are provided at four corners of the main body 21 in the outer peripheral joint portion 23. The holes 23 a function as positioning means at the time of superposition with the first sheet 10.

外周液流路部２４は、液流路部であり、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路３の一部を構成する部位である。   The outer peripheral liquid flow path portion 24 is a liquid flow path portion, and is a part constituting a part of the condensate flow path 3 that is a second flow path through which the working fluid is condensed and liquefied.

外周液流路部２４は本体２１の内面２０ａのうち、外周接合部２３の内側に沿って、密閉空間２の外周に沿って形成されている。本形態において第二シート２０の外周液流路部２４は、図１９、図２０からわかるように第一シート１０との接合前において平坦面であり外周接合部２３と面一である。これにより上記した第一シート１０の複数の液流路溝１４ａの開口を閉鎖して第２流路となる凝縮液流路３を形成する。第一シート１０と第二シート２０との組み合わせに関する詳しい態様は後で説明する。
なお、このように第二シート２０では外周接合部２３と外周液流路部２４とが面一であるため、構造的には両者を区別する境界線は存在しない。しかし、わかり易さのため、図１７、図１８では点線により両者の境界を表している。 The outer peripheral liquid flow passage portion 24 is formed along the outer periphery of the sealed space 2 along the inner side of the outer peripheral bonding portion 23 in the inner surface 20 a of the main body 21. In the present embodiment, the outer peripheral liquid flow passage portion 24 of the second sheet 20 is a flat surface before bonding with the first sheet 10 and is flush with the outer peripheral joint portion 23 as can be seen from FIGS. As a result, the openings of the plurality of liquid passage grooves 14a of the first sheet 10 are closed to form the condensate passage 3 serving as the second passage. Detailed aspects regarding the combination of the first sheet 10 and the second sheet 20 will be described later.
In this way, in the second sheet 20 as described above, since the outer peripheral bonding portion 23 and the outer peripheral liquid flow path portion 24 are flush with each other, there is no boundary line that distinguishes the two structurally. However, for the sake of easy understanding, in FIG. 17 and FIG.

外周液流路部２４は、次のような構成を備えていることが好ましい。
図１８〜図２０にＳで示した外周液流路部２４の幅（外周液流路部２４が延びる方向に直交する方向の大きさで、第一シート１０との接合面における幅）は、第一シート１０の外周液流路部１４の幅Ｂと同じでもよいし、大きくても小さくてもよい。 It is preferable that the outer periphery liquid flow path part 24 is provided with the following structures.
The width (the size in the direction orthogonal to the direction in which the outer peripheral liquid flow path portion 24 extends, and the width at the bonding surface with the first sheet 10) of the outer peripheral liquid flow path portion 24 indicated by S in FIGS. It may be the same as the width B of the outer peripheral liquid flow passage 14 of the first sheet 10, and may be larger or smaller.

次に内側液流路部２５について説明する。内側液流路部２５も液流路部であり、第２流路である凝縮液流路３を構成する１つの部位である。   Next, the inner liquid flow path part 25 will be described. The inner liquid flow passage portion 25 is also a liquid flow passage portion, and is a portion constituting the condensate flow passage 3 which is a second flow passage.

内側液流路部２５は、図１７〜図２０よりわかるように、本体２１の内面２０ａのうち、外周液流路部２４の環状である環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部２５は、本体２１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びる壁であり、複数（本形態では３つ）の内側液流路部２５が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に所定の間隔で配列されている。
本形態で各内側液流路部２５は、その内面２０ａ側の表面が第一シート１０との接合前において平坦面により形成されている。これにより上記した第一シート１０の複数の液流路溝１５ａの開口を閉鎖して凝縮液流路３を形成する。 The inner liquid flow passage 25 is formed on the inner side of an annular ring of the outer peripheral liquid flow passage 24 in the inner surface 20 a of the main body 21, as can be seen from FIGS. 17 to 20. The inner liquid flow path portion 25 of the present embodiment is a wall extending in a direction parallel to the long side (x direction) in a rectangular shape in plan view of the main body 21, and a plurality (three in this embodiment) of the inner liquid flow path portions 25 are provided. They are arranged at a predetermined interval in a direction (y direction) parallel to the short side.
In this embodiment, each inner liquid flow path portion 25 has a surface on the inner surface 20 a side formed by a flat surface before joining to the first sheet 10. Thus, the openings of the plurality of liquid flow grooves 15a of the first sheet 10 described above are closed to form the condensate flow path 3.

図１８、図１９にＴで示した内側液流路部２５の幅は、第一シート１０の内側液流路部１５の幅Ｇと同じであってもよいし、大きくても小さくてもよい。本形態では同じとされている。   The width of the inner liquid flow path portion 25 indicated by T in FIGS. 18 and 19 may be the same as the width G of the inner liquid flow path portion 15 of the first sheet 10, or may be larger or smaller. . In the present embodiment, the same applies.

なお、本形態では各内側液流路部２５では接合前において平坦面により形成されているが、第一シートと同様に液流路溝を形成しても良い。また、その場合は、液流路溝同士は平面視で同じ位置にあってもよく、ずれていても良い。   In addition, in this form, although it forms by the flat surface in each inner side liquid flow path part 25 before joining, you may form a liquid flow path groove like a 1st sheet. In this case, the liquid flow grooves may be at the same position in plan view, or may be shifted.

次に蒸気流路溝２６について説明する。蒸気流路溝２６は作動流体が蒸発して気化した蒸気が通る部位であり、第１流路である蒸気流路４の一部を構成する。図１８には平面視した蒸気流路溝２６の形状、図１９には蒸気流路溝２６の断面形状がそれぞれ表れている。   Next, the steam flow channel 26 will be described. The steam channel groove 26 is a portion through which the working fluid evaporates and vaporizes, and constitutes a part of the steam channel 4 which is the first channel. The shape of the steam flow passage groove 26 in plan view is shown in FIG. 18, and the cross-sectional shape of the steam flow passage groove 26 is shown in FIG.

これら図からもわかるように、蒸気流路溝２６は本体２１の内面２０ａのうち、外周液流路部２４の環状である環の内側に形成された溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝２６は、隣り合う内側液流路部２５の間、及び、外周液流路部２４と内側液流路部２５との間に形成され、本体２１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝２６が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されている。従って、図１９からわかるように第二シート２０は、ｙ方向において、外周液流路部２４及び内側液流路部２５である壁による凸と、蒸気流路溝２６である溝による凹とにより、凹凸が繰り返された形状を備えている。
ここで蒸気流路溝２６は溝であることから、その断面形状において、外面２０ｂ側である底部、及び、底部とは向かい合わせとなる反対側の部位で内面２０ａ側となる開口を備えている。 As can be understood from these figures, the steam channel groove 26 is formed by a groove formed inside the annular ring of the peripheral liquid channel portion 24 in the inner surface 20 a of the main body 21. Specifically, the steam channel groove 26 of this embodiment is formed between the adjacent inner liquid channel portions 25 and between the outer peripheral liquid channel portion 24 and the inner liquid channel portion 25, and is a plan view of the main body 21. A rectangular groove extending in a direction (x direction) parallel to the long side. A plurality of (four in the present embodiment) steam flow grooves 26 are arranged in a direction (y direction) parallel to the short side. Accordingly, as can be seen from FIG. 19, the second sheet 20 has, in the y direction, a convexity by the walls that are the outer peripheral liquid flow passage portion 24 and the inner liquid flow passage portion 25 and a concave portion by the groove that is the vapor flow passage groove 26. , Has a shape in which the unevenness is repeated.
Here, since the steam channel groove 26 is a groove, it has a bottom portion on the outer surface 20 b side and an opening on the opposite side portion facing the bottom portion in the cross-sectional shape. .

蒸気流路溝２６は、第一シート１０と組み合わされた際に該第一シート１０の蒸気流路溝１６と厚さ方向に重なる位置に配置されていることが好ましい。これにより蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とで第１流路である蒸気流路４を形成することができる。   It is preferable that the steam channel groove 26 is disposed at a position overlapping the steam channel groove 16 of the first sheet 10 in the thickness direction when combined with the first sheet 10. Thus, the steam flow channel 4 which is the first flow channel can be formed by the steam flow channel 16 and the steam flow channel 26.

図１８、図１９にＵで示した蒸気流路溝２６の幅（内側液流路部２５と蒸気流路溝２６が配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、第一シート１０の蒸気流路溝１６の幅Ｍと同じであってもよいし、大きくても小さくてもよい。
また、図１９にＶで示した蒸気流路溝２６の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく、２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＶは１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＶの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＶの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また第一シート１０の蒸気流路溝１６と第二シート２０の蒸気流路溝２６の深さは同じであってもよく、大きくても小さくてもよい。 The width (the size in the direction in which the inner liquid flow passage 25 and the flow passage groove 26 are arranged, and the width at the opening face of the groove) of the steam flow passage groove 26 shown by U in FIGS. It may be the same as the width M of the steam flow channel 16 of one sheet 10, and may be larger or smaller.
In addition, the depth of the steam flow passage groove 26 indicated by V in FIG. 19 is preferably 300 μm or less, may be 225 μm or less, and may be 150 μm or less. On the other hand, the depth V is preferably 10 μm or more, may be 25 μm or more, and may be 50 μm or more. The range of the depth V may be defined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Also, the range of the depth V may be defined by combining any two of the plurality of upper limit candidate values or combining any two of the plurality of lower limit candidate values.
The depths of the steam flow grooves 16 of the first sheet 10 and the steam flow grooves 26 of the second sheet 20 may be the same, or may be large or small.

本形態で蒸気流路溝２６の断面形状は半楕円形であるが、長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形、又はこれらのいくつかを組み合わせた形状であってもよい。蒸気流路は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより作動流体を円滑に還流させることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。   In this embodiment, the cross-sectional shape of the steam channel groove 26 is a semi-elliptical shape. It may be a combined shape. Since the steam flow path can smoothly reflux the working fluid by reducing the flow resistance of the steam, the cross-sectional shape of the flow path can also be determined from this point of view.

本形態では隣り合う内側液流路部２５の間に１つの蒸気流路溝２６が形成された例を説明したが、これに限らず、隣り合う内側液流路部の間に２つ以上の蒸気流路溝が並べて配置される形態であってもよい。
また、第一シート１０に蒸気流路溝が形成されていれば、第二シート２０の一部または全部に蒸気流路溝が形成されない形態であってもよい。 Although an example in which one steam flow channel groove 26 is formed between adjacent inner liquid flow channels 25 has been described in the present embodiment, the present invention is not limited thereto, and two or more may be formed between adjacent inner liquid flow channels. The steam flow grooves may be arranged side by side.
In addition, as long as the steam flow channel is formed in the first sheet 10, the steam flow channel may not be formed in a part or all of the second sheet 20.

蒸気流路連通溝２７は、複数の蒸気流路溝２６を連通させる溝である。これにより、複数の蒸気流路４の蒸気の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの凝縮液流路３を効率よく利用できるようになったりするため、作動流体の還流をより円滑にすることが可能となる。   The steam flow channel communication groove 27 is a groove that brings the plurality of steam flow grooves 26 into communication. As a result, the steam in the plurality of steam channels 4 can be equalized, and the steam can be carried to a wider range, and many condensate channels 3 can be efficiently used. It is possible to make the reflux more smooth.

本形態の蒸気流路連通溝２７は、図１７、図１８、図２０からわかるように、内側液流路部２５、及び蒸気流路溝２６が延びる方向の端部と、外周液流路部２４との間に形成されている。また、図２０には蒸気流路連通溝２７の連通方向に直交する断面が表れている。   As can be seen from FIGS. 17, 18, and 20, the steam channel communication groove 27 of the present embodiment includes an end portion in the direction in which the inner liquid channel portion 25 and the steam channel groove 26 extend, and an outer peripheral liquid channel portion. It is formed between 24. Further, in FIG. 20, a cross section orthogonal to the communication direction of the steam flow passage communication groove 27 appears.

図１８、図２０にＷで示した蒸気流路連通溝２７の幅（連通方向に直交する方向の大きさ、溝の開口面における幅）は、第一シート１０の蒸気流路連通溝１７の幅Ｐと同じでもよいし、大きくても小さくてもよい。
また、図２０にＸで示した蒸気流路連通溝２７の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく、２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＸは１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＸの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＸの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また第一シート１０の蒸気流路連通溝１７と第二シート２０の蒸気流路連通溝２７の深さは同じでもよく、大きくても小さくてもよい。 The width of the steam flow channel communication groove 27 indicated by W in FIGS. 18 and 20 (the size in the direction orthogonal to the communication direction, the width at the groove opening surface) is the width of the steam flow channel communication groove 17 of the first sheet 10. It may be the same as the width P, or may be larger or smaller.
Further, the depth of the steam channel communication groove 27 shown by X in FIG. 20 is preferably 300 μm or less, may be 225 μm or less, and may be 150 μm or less. On the other hand, the depth X is preferably 10 μm or more, may be 25 μm or more, and may be 50 μm or more. The range of the depth X may be defined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Also, the range of the depth X may be defined by combining any two of the plurality of upper limit candidate values or by combining any two of the plurality of lower limit candidate values.
Further, the depths of the steam flow passage communicating groove 17 of the first sheet 10 and the steam flow passage communicating groove 27 of the second sheet 20 may be the same, or may be large or small.

本形態で蒸気流路連通溝２７の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形、又は、これらのいくつかを組み合わせた形状であってもよい。蒸気流路は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより円滑な還流させることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。   In this embodiment, the cross-sectional shape of the steam channel communication groove 27 is a semi-elliptical shape. The shape which combined some of these may be sufficient. Since the steam channel can be smoothly refluxed by reducing the flow resistance of the steam, the shape of the channel cross section can also be determined from this point of view.

次に、第一シート１０と第二シート２０とが組み合わされてベーパーチャンバ１とされたときの構造について説明する。この説明により、第一シート１０及び第二シート２０が有する各構成の配置、大きさ、形状等がさらに理解される。
図２１には、図１にＸＩＩ−ＸＩＩで示したｙ方向に沿ってベーパーチャンバ１を厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は第一シート１０における図５に表した図と、第二シート２０における図１９に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバ１の切断面が表されたものである。
図２２には図２１にＸＩＩＩで示した部位を拡大した図、図２３には、図１にＸＩＶ−ＸＩＶで示したｘ方向に沿ってベーパーチャンバ１の厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は、第一シート１０における図７に表した図と、第二シート２０における図２０に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバ１の切断面が表されたものである。 Next, the structure when the first sheet 10 and the second sheet 20 are combined into the vapor chamber 1 will be described. From this description, the arrangement, size, shape, and the like of each component included in the first sheet 10 and the second sheet 20 are further understood.
FIG. 21 shows a cut surface of the vapor chamber 1 cut in the thickness direction along the y direction indicated by XII-XII in FIG. This figure is a combination of the figure shown in FIG. 5 on the first sheet 10 and the figure shown in FIG. 19 on the second sheet 20 to represent the cut surface of the vapor chamber 1 at this part.
21 is an enlarged view of a portion indicated by XIII in FIG. 21, and FIG. 23 is a cross-sectional view of the vapor chamber 1 cut in the thickness direction along the x direction indicated by XIV-XIV in FIG. did. This figure is a combination of the figure shown in FIG. 7 of the first sheet 10 and the figure shown in FIG. 20 of the second sheet 20 to represent the cut surface of the vapor chamber 1 at this part.

図１、図２、及び図２１〜図２３よりわかるように、第一シート１０と第二シート２０とが重ねられるように配置され接合されることでベーパーチャンバ１とされている。このとき第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとが向かい合うように配置されており、第一シート１０の本体１１と第二シート２０の本体２１とが重なり、第一シート１０の注入部１２と第二シート２０の注入部２２とが重なっている。本形態では、第一シート１０と第二シート２０との相対的な位置関係は、第一シート１０の穴１３ａと第二シート２０の穴２３ａと位置を合わせることで適切になるように構成されている。   As can be seen from FIG. 1, FIG. 2, and FIG. 21 to FIG. 23, the vapor chamber 1 is formed by arranging and joining the first sheet 10 and the second sheet 20 so as to overlap each other. At this time, the inner surface 10a of the first sheet 10 and the inner surface 20a of the second sheet 20 are arranged so as to face each other, and the main body 11 of the first sheet 10 and the main body 21 of the second sheet 20 are overlapped. And the injection part 22 of the second sheet 20 overlap. In this embodiment, the relative positional relationship between the first sheet 10 and the second sheet 20 is configured to be appropriate by aligning the positions of the hole 13a of the first sheet 10 and the hole 23a of the second sheet 20. ing.

このような第一シート１０と第二シート２０との積層体により、本体１１及び本体２１に具備される各構成が図２１〜図２３に表れるように配置される。具体的には次の通りである。   By the laminated body of such a 1st sheet | seat 10 and the 2nd sheet | seat 20, each structure comprised to the main body 11 and the main body 21 is arrange | positioned so that it may appear in FIGS. Specifically, it is as follows.

第一シート１０の外周接合部１３と第二シート２０の外周接合部２３とが重なるように配置されており、拡散接合やろう付け等の接合手段により両者が接合されている。これにより、第一シート１０と第二シート２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることで密閉空間２とされている。   It arrange | positions so that the outer periphery junction part 13 of the 1st sheet | seat 10 and the outer periphery junction part 23 of the 2nd sheet | seat 20 may overlap, and both are joined by joining means, such as a diffusion joining and brazing. As a result, a hollow portion is formed between the first sheet 10 and the second sheet 20, and the working fluid is sealed therein to form a sealed space 2.

第一シート１０の外周液流路部１４と第二シート２０の外周液流路部２４とが重なるように配置されている。これにより外周液流路部１４の液流路溝１４ａ及び外周液流路部２４により中空部のうち、作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第２流路である凝縮液流路３が形成される。この凝縮液流路３は第１流路である蒸気流路４とは分離されて形成されているため、作動流体の循環を円滑にさせることができる。
第一シート１０の壁である内側液流路部１５と第二シート２０の壁である内側液流路部２５とが重なるように配置されている。これにより内側液流路部１５の液流路溝１５ａ及び内側液流路部２５により中空部のうち、作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第２流路である凝縮液流路３が形成される。
凝縮液流路３は蒸気流路４とは分離されて形成されているため、作動流体の循環を円滑にさせることができる。
このように断面においてその四方を壁で囲まれた細い流路を形成することにより強い毛細管力で凝縮液を移動させ、円滑な循環が可能となる。
さらには内側液流路部１５と内側液流路部２５とが重なることにより密閉空間２の内部における支柱として機能するため、製造時においてつぶれ等の不具合を抑制することができる。 The outer peripheral liquid flow passage portion 14 of the first sheet 10 and the outer peripheral liquid flow passage portion 24 of the second sheet 20 are arranged to overlap. Thereby, the condensate which is the second channel through which the condensate in which the working fluid is condensed and liquefied is formed in the hollow portion by the liquid channel groove 14a and the outer periphery liquid channel portion 24 of the outer periphery liquid channel portion 14. A flow path 3 is formed. Since the condensate flow path 3 is formed separately from the steam flow path 4 which is the first flow path, circulation of the working fluid can be facilitated.
It arrange | positions so that the inner side liquid flow-path part 15 which is the wall of the 1st sheet | seat 10 and the inner side liquid flow-path part 25 which is the wall of the 2nd sheet | seat 20 may overlap. Thereby, the condensate which is the second channel through which the condensate in which the working fluid is condensed and liquefied is formed in the hollow portion by the liquid channel groove 15a and the inner liquid channel unit 25 of the inner liquid channel unit 15. A flow path 3 is formed.
Since the condensate flow path 3 is formed separately from the steam flow path 4, circulation of the working fluid can be facilitated.
As described above, by forming a thin flow path which is surrounded by walls in four directions in the cross section, the condensate can be moved by a strong capillary force, and smooth circulation becomes possible.
Furthermore, when the inner liquid flow passage 15 and the inner liquid flow passage 25 overlap with each other, the inner liquid flow passage 15 and the inner liquid flow passage 25 function as a support in the inside of the sealed space 2.

さらに、本形態では、凝縮液流路３が次のような断面形状を備えて構成されている。図２４には、１つの凝縮液流路３の断面を拡大して表した。ここでは内側液流路部１５の液流路溝１５ａと内側液流路部２５とによる凝縮液流路３を用いて説明するが、外周液流路部１４と外周液流路部２４とによる凝縮液流路３も同様に考えることができる。   Furthermore, in the present embodiment, the condensate flow path 3 is configured to have the following cross-sectional shape. In FIG. 24, the cross section of one condensate channel 3 is shown in an enlarged manner. Here, the condensate flow path 3 formed by the liquid flow path groove 15a and the inner liquid flow path section 25 of the inner liquid flow path section 15 will be described. However, the outer liquid flow path section 14 and the outer liquid flow path section 24 The condensate flow path 3 can be considered similarly.

本形態で凝縮液流路３は、流路断面（凝縮液流路が延びる方向に直交する断面）における内面形状において当該流路断面における流路幅αが最大になる流路内面の部位βで局所相当半径が最小となる形態を備えている。局所相当半径については後で説明する。ここで流路幅における幅方向は、凝縮液流路３が配列される方向である。
これにより、より強い毛細管力を発揮することができ、さらに円滑な凝縮液の循環が可能となる。本形態では、流路幅αが最大となる両方の部位βで局所相当半径が最小となる例を示したが、これに限らず、いずれか一方において局所相当半径が最小であればよい。 In the present embodiment, the condensate flow path 3 is a portion β on the inner surface of the flow path where the flow path width α in the cross section of the flow path is the maximum in the shape of the inner surface in the cross section of the flow path (cross section orthogonal to the direction in which the condensate flow path extends). It has a form in which the local equivalent radius is minimized. The local equivalent radius will be described later. Here, the width direction in the channel width is a direction in which the condensate channels 3 are arranged.
As a result, a stronger capillary force can be exhibited, and smooth circulation of the condensate becomes possible. In the present embodiment, an example is shown in which the local equivalent radius is minimum at both portions β where the flow path width α is maximum. However, the present invention is not limited to this.

ここで、流路幅が最大になる流路内面の部位βにおいて局所相当半径が最小であることとは次のような意味である。
ベーパーチャンバを切断及び研磨する等して、流路断面が表れるようにした上で、当該流路断面を高倍率の顕微鏡又はＳＥＭを用いて、５０倍〜２００倍の範囲で拡大して表す。そしてこの拡大した流路断面から、流路の内周面の輪郭を抽出し、この輪郭において流路幅及び局所相当半径を測定したとき、流路幅が最大αになる流路内面の部位βにおける局所相当半径が最小となる。 Here, the minimum of the locally equivalent radius at the portion β of the inner surface of the flow passage where the flow passage width is maximized has the following meaning.
After the vapor chamber is cut and polished so that the cross section of the flow path appears, the cross section of the flow path is enlarged and expressed in a range of 50 times to 200 times using a high magnification microscope or SEM. Then, the contour of the inner peripheral surface of the flow channel is extracted from the enlarged flow channel cross section, and when the flow channel width and the local equivalent radius are measured in this contour, the portion β of the inner surface of the flow channel where the flow channel width is the maximum α The local equivalent radius at is the smallest.

ここで局所相当半径は次のように得ることができる。図２５に説明のための図を示した。図２５は図２４のうち一方の部位βの周辺に注目して拡大した図である。すなわち、上記輪郭において流路幅が最大となる流路内面の部位βとなる点、及び、この部位βとなる点を挟んで隣接する輪郭上の決められた所定の２つの点である部位β１、部位β２となる点の合計３点を抽出し、この３点を通る円Ｃ１の半径を局所相当半径とする。
そのとき部位βとなる点を挟んで隣接する輪郭上の決められた所定の２つの部位β１、β２となる点は、輪郭の全長を１００％としたとき、部位βの点から０．５％の距離で離隔した位置における輪郭上の点である。 Here, the local equivalent radius can be obtained as follows. The figure for description is shown in FIG. FIG. 25 is an enlarged view focusing on the periphery of one portion β in FIG. That is, the point β which is the portion β of the inner surface of the flow passage where the flow passage width is maximum in the contour, and the portion β which is two predetermined predetermined points on the adjacent contour across the point which becomes the portion β A total of three points which are 1 and a portion β 2 are extracted, and the radius of the circle C 1 passing through these three points is taken as a locally equivalent radius.
At this time, the predetermined two predetermined portions β 1 and β 2 on the contour which are adjacent to each other across the point to be the portion β are 0. 0 from the point of the portion β when the total length of the contour is 100%. It is a point on the contour at a position separated by a distance of 5%.

ただし、例外として決められた所定の２つの部位β１、β２の代わりに、これとは異なる輪郭上の決められた所定の２つの部位を次のようにして得ることがある。例えば上記と同様に円Ｃ１を得たとき、図２６に示したように、円Ｃ１の内側で部位βと部位β１との間に、突出する頂部Ｔ１が存在するときがある。このときには、部位β１の代わりに、円Ｃ１の円周から最も離れた部位であるこの頂部Ｔ１を隣接する点としてこれを用いてβ、Ｔ１、β２により円Ｃ２を描き、この円Ｃ２の半径を局所相当半径とし、これを部位βにおける局所相当半径とする。ただし、このような円の再定義は１つの部位βに対して１回のみとする。また、円Ｃ１の中にβ１側及びβ２側の両方に突出するように頂部が存在する際には、それぞれ置き換えを行い、部位β及び２つの頂部Ｔ１により円Ｃ２を描く。 However, instead of the two predetermined parts β 1 and β 2 determined as exceptions, there may be obtained two predetermined parts on a different contour as follows. For example, when obtaining the circle C 1 in the same manner as described above, as shown in FIG. 26, between the site beta and site beta 1 in inner circle C 1, there are times when top T 1 projecting exists. At this time, instead of the part β 1 , the top part T 1 , which is the part farthest from the circumference of the circle C 1 , is used as an adjacent point to draw a circle C 2 by β, T 1 , β 2 , the radius of the circle C 2 and the local equivalent radius, this is the local equivalent radius at the site beta. However, such circle redefinition is performed only once for one site β. Further, when there is a top portion in the circle C 1 so as to protrude on both the β 1 side and the β 2 side, replacement is performed, and the circle C 2 is drawn by the portion β and the two top portions T 1 .

図２７には他の形態を説明する図を示した。この形態では、第二シートの外周液流路部及び内側液流路部にも液流路溝２９が設けられており、第一シート１０の外周液流路部１４の液流路溝１４ａ及び内側液流路部１５の液流路溝１５ａに重ねられることで第２流路である凝縮液流路３を形成している。
このような凝縮液流路３においても、上記したように得た最大幅αにおける流路内面の部位βで局所相当半径が最小となるような形状であれば効果を有するものとなる。 FIG. 27 shows a diagram for explaining another embodiment. In this embodiment, the liquid channel grooves 29 are provided also in the outer peripheral liquid channel portion and the inner liquid channel portion of the second sheet, and the liquid channel grooves 14 a of the outer peripheral liquid channel portion 14 of the first sheet 10 and The condensate flow channel 3 which is a second flow channel is formed by being superimposed on the liquid flow channel groove 15 a of the inner liquid flow channel portion 15.
Even in such a condensate flow channel 3, an effect is obtained as long as the local equivalent radius is minimized at the portion β of the inner surface of the flow channel at the maximum width α obtained as described above.

本形態のβ１及びβ２も上記と同様にして次のようにして得ることができる。図２８に説明のための図を表した。
ベーパーチャンバを切断及び研磨する等して、流路断面が表れるようにした上で、当該流路断面を高倍率の顕微鏡又はＳＥＭを用いて、５０倍〜２００倍の範囲で拡大して表す。そしてこの拡大した流路断面から、流路の内周面の輪郭を抽出し、この輪郭において流路幅及び局所相当半径を測定したとき、流路幅が最大αになる流路内面の部位βにおける局所相当半径が最小となる。
上記輪郭において流路幅が最大となる流路内面の部位βとなる点、及び、この部位βとなる点を挟んで隣接する輪郭上の所定の２つの点である部位β１、部位β２となる点の合計３点を抽出し、この３点を通る円Ｃ１の半径を局所相当半径とする。そのとき部位βとなる点を挟んで隣接する輪郭上の決められた所定の２つの部位β１、β２となる点は、輪郭の全長を１００％としたとき、部位βの点から０．５％の距離で離隔した位置における輪郭上の点である。 The β 1 and β 2 of the present embodiment can also be obtained as follows in the same manner as described above. The figure for description is represented to FIG.
After the vapor chamber is cut and polished so that the cross section of the flow path appears, the cross section of the flow path is enlarged and expressed in a range of 50 times to 200 times using a high magnification microscope or SEM. Then, the contour of the inner circumferential surface of the flow channel is extracted from the enlarged flow channel cross section, and when the flow channel width and the local equivalent radius are measured in this contour, the portion β of the inner surface of the flow channel where the flow channel width becomes maximum α. The local equivalent radius at is the smallest.
In the contour, the point that becomes the portion β on the inner surface of the passage where the width of the passage becomes the maximum, and the two points β 1 and β 2 that are predetermined two points on the contour adjacent to the point that becomes the portion β. extracting total three points a, the radius of the circle C 1 that passes through the three points and the local equivalent radius. At this time, the predetermined two predetermined portions β 1 and β 2 on the contour which are adjacent to each other across the point to be the portion β are 0. 0 from the point of the portion β when the total length of the contour is 100%. It is a point on the contour at a position separated by a distance of 5%.

このような凝縮液流路３とするための、第一シート１０に液流路溝１４ａを形成し、第二シート２０に液流路溝２９を形成する方法は特に限定されることはないが、両者をハーフエッチングにより形成して精度よく位置合わせする方法や、第１シート１０の液流路溝１４ａはハーフエッチングで作製して第二シート２０の液流路溝２９は第一シートとの拡散接合時の変形により形成する方法を適用してもよい。   A method of forming the liquid flow channel groove 14a in the first sheet 10 and forming the liquid flow channel groove 29 in the second sheet 20 is not particularly limited in order to obtain such a condensate flow channel 3. The method of forming both by half etching and aligning them accurately, or the liquid channel groove 14a of the first sheet 10 is manufactured by half etching, and the liquid channel groove 29 of the second sheet 20 is the same as the first sheet. A method of forming by deformation at the time of diffusion bonding may be applied.

図２９にも他の形態を説明する図を示した。上記した形態では第一シート１０と第二シート２０との接合部分で最大幅αとなる例であったが、この形態では当該接合部分ではない位置で最大幅αとなり、この部位βで局所相当半径が最小となっている。
このような凝縮液流路３においても、上記したように得た最大幅αにおける流路内面の部位βで局所相当半径が最小となるような形状であれば効果を有するものとなる。 FIG. 29 is a diagram for explaining another embodiment. In the embodiment described above, the maximum width α is an example at the junction of the first sheet 10 and the second sheet 20. However, in this embodiment, the maximum width α is at a position other than the junction, and The radius is minimal.
Even in such a condensate flow channel 3, an effect is obtained as long as the local equivalent radius is minimized at the portion β of the inner surface of the flow channel at the maximum width α obtained as described above.

このように最大幅αにおける流路内面の部位βで局所相当半径が最小となるような形状は、凝縮液流路の全長に亘って具備されている必要はなく、少なくとも一部においてこのような形態であればよい。より大きな効果を有する観点から、凝縮液流路の全長に対して２０％以上においてこのような形態であることが好ましく、より好ましくは４０％以上、さらに好ましくは６０％以上である。   Thus, the shape in which the local equivalent radius is minimized at the portion β of the inner surface of the flow channel at the maximum width α does not have to be provided over the entire length of the condensate flow channel, and at least a part of such a shape is required. Any form is acceptable. From the viewpoint of having a greater effect, such a form is preferably 20% or more, more preferably 40% or more, and still more preferably 60% or more with respect to the total length of the condensate channel.

なお、以上の各例の凝縮液流路３でも流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、流路幅を流路高さで割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。この比は１．５以上でもよく、２．０以上であってもよい。または、アスペクト比は１．０より小さくてもよい。この比は０．７５以下であってもよく、０．５以下であってもよい。
その中でも製造の観点から流路幅が流路高さより大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。 From the viewpoint of exerting the capillary force of the flow path even in the condensate flow path 3 of each of the above examples, the aspect ratio in the cross section of the flow path represented by the value obtained by dividing the flow path width by the flow path height Preferably, the ratio) is greater than 1.0. This ratio may be 1.5 or more, or 2.0 or more. Alternatively, the aspect ratio may be smaller than 1.0. This ratio may be 0.75 or less, and may be 0.5 or less.
Among them, the channel width is preferably larger than the channel height from the viewpoint of production, and the aspect ratio is preferably larger than 1.3 from this viewpoint.

図３０、図３１には他の例を説明する図を示した。図３０は図２４と同じ視点による図である。図３１は、図３０にＸＶＩＩＩｂで示した部位を拡大した図である。   FIGS. 30 and 31 illustrate another example. FIG. 30 is a view from the same viewpoint as FIG. 31 is an enlarged view of a portion indicated by XVIIIb in FIG.

本形態では、上記した凝縮液流路３の特徴に加えて、さらに流路断面を拡大して表したときに、流路断面（凝縮液流路が延びる方向に直交する断面）における内面形状において、その内壁面に微小な溝である内面溝３ａが形成されている。この内面溝３ａは流路幅が最大となる流路内面の部位に形成されることが好ましく、従って局所相当半径が最も小さい部位に具備されていることが好ましい。
これにより、微細な凝縮液流路３の内面に、さらに微細な溝が形成されているため、内面溝３ａに凝縮液が入り、さらに毛細管力を高めることができ、凝縮液の還流を促進することが可能となる。従って、ベーパーチャンバ１の熱輸送能力が高まる。 In this embodiment, in addition to the characteristics of the condensate flow path 3 described above, when the cross section of the flow path is further enlarged, the inner surface shape in the cross section of the flow path (cross section orthogonal to the direction in which the condensate flow path extends) The inner surface groove 3a which is a minute groove is formed in the inner wall surface. The inner groove 3a is preferably formed at the portion of the inner surface of the flow passage where the flow passage width is maximized, and therefore, it is preferable to be provided at the portion where the local equivalent radius is the smallest.
As a result, since a further minute groove is formed on the inner surface of the fine condensate channel 3, the condensate enters the inner groove 3a, and the capillary force can be further enhanced, thereby promoting the reflux of the condensate. It becomes possible. Thus, the heat transfer capacity of the vapor chamber 1 is increased.

この内面溝の断面形状、断面積は特に限定されることはなく、凝縮液流路３の内面に設けられた溝であればよい。ただし、内面溝はその長手方向は、凝縮液流路３が延びる方向に沿って、少なくとも該内面溝３ａの開口幅δよりも長く延在していることが好ましい。これにより毛管力を高める溝として機能することができる。   The cross-sectional shape and the cross-sectional area of the inner surface groove are not particularly limited as long as the groove is provided on the inner surface of the condensate channel 3. However, it is preferable that the longitudinal direction of the inner surface groove extends at least longer than the opening width δ of the inner surface groove 3 a along the direction in which the condensate flow channel 3 extends. This can function as a groove that enhances capillary force.

図２１〜図２３に戻って他の部位について説明する。図２１、図２２からわかるように、第一シート１０の蒸気流路溝１６の開口と第二シート２０の蒸気流路溝２６の開口とが向かい合うように重なって流路を形成し、これが蒸気が流れる第１流路である蒸気流路４となる。
上記した第２流路である凝縮液流路３の流路断面積は、当該第１流路である蒸気流路４の流路断面積より小さくされている。より具体的には、隣り合う２つの蒸気流路４（本形態では１つの蒸気流路溝１６及び１つの蒸気流路溝２６により形成される流路）の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う２つの蒸気流路４の間に配置される複数の凝縮液流路３（本形態では１つの内側液流路部１５、及び、１つの内側液流路溝２５により形成される複数の凝縮液流路３）の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、凝縮液流路３と蒸気流路４とは、ＡｌがＡｇの０．５倍以下の関係にあるものとし、好ましくは０．２５倍以下である。これにより作動流体はその相態様（気相、液相）によって第１流路と第２流路とを選択的に通り易くなる。
この関係はベーパーチャンバ全体のうち少なくとも一部において満たせばよく、ベーパーチャンバの全部でこれを満たせばさらに好ましい。 Returning to FIG. 21 to FIG. 23, other parts will be described. As can be seen from FIGS. 21 and 22, the opening of the steam flow channel groove 16 of the first sheet 10 and the opening of the steam flow channel groove 26 of the second sheet 20 overlap so as to face each other to form a flow channel. It becomes the steam flow path 4 which is the 1st flow path through which.
The flow passage cross-sectional area of the condensate flow passage 3 which is the second flow passage described above is smaller than the flow passage cross-sectional area of the steam flow passage 4 which is the first flow passage. More specifically, the average channel cross-sectional area of two adjacent steam channels 4 (in the present embodiment, channels formed by one steam channel groove 16 and one steam channel groove 26) is Ag And a plurality of condensate flow paths 3 (in the present embodiment, one inner liquid flow path portion 15 and one inner liquid flow path groove 25 disposed between two adjacent steam flow paths 4) when the average of the flow path cross-sectional area of the plurality of condensate channel 3) was a l, a condensate flow path 3 and the steam path 4, a l is 0.5 times the relation of a g And preferably not more than 0.25 times. As a result, the working fluid can be selectively passed through the first channel and the second channel depending on the phase aspect (gas phase, liquid phase).
This relationship may be satisfied in at least a portion of the entire vapor chamber, and more preferably in the entire vapor chamber.

同様に、図２３からわかるように、第一シート１０の蒸気流路連通溝１７の開口と第二シート２０の蒸気流路連通溝２７の開口とが向かい合うように重なり流路を形成する。   Similarly, as can be seen from FIG. 23, the overlapping flow path is formed so that the opening of the steam flow path communication groove 17 of the first sheet 10 and the opening of the steam flow path communication groove 27 of the second sheet 20 face each other.

一方、注入部１２、２２についても図１に表れているように、その内面１０ａ、２０ａ同士が向かい合うように重なり、第二シート２０の注入溝２２ａの底部とは反対側の開口が第一シート１０の注入部１２の内面１０ａより塞がれ、外部と本体１１、２１間の中空部（凝縮液流路３及び蒸気流路４）とを連通する注入流路５が形成されている。
ただし、注入流路５から中空部に対して作動流体を注入した後は、注入流路５は閉鎖されて密閉空間２とされる、最終的な形態のベーパーチャンバ１では外部と中空部とは連通していない。 On the other hand, as shown in FIG. 1, the injection parts 12 and 22 also overlap so that the inner surfaces 10a and 20a face each other, and the opening on the opposite side to the bottom part of the injection groove 22a of the second sheet 20 is the first sheet An injection channel 5 is formed which is closed from the inner surface 10a of the ten injection units 12 and communicates the outside and the hollow portions (condensate channel 3 and vapor channel 4) between the main bodies 11 and 21.
However, after injecting the working fluid from the injection flow channel 5 into the hollow portion, the injection flow channel 5 is closed to form the sealed space 2. It does not communicate.

本形態で注入部１２、注入部２２及びこれによる注入流路５は、ベーパーチャンバ１の長手方向における一対の端部のうちの一方の端部に設けられている例が示されているが、これに限られることはなく、他のいずれかの端部に配置されていてもよく、複数配置されてもよい。複数配置される場合には例えばベーパーチャンバ１の長手方向における一対の端部のそれぞれに配置されてもよいし、他の一対の端部のうちの一方の端部に配置されもよい。   In this embodiment, the injection part 12, the injection part 22, and the injection flow path 5 thereby are shown as examples provided at one end of a pair of end parts in the longitudinal direction of the vapor chamber 1, The invention is not limited to this, and it may be disposed at any other end, or may be disposed in plural. In the case of a plurality of arrangements, for example, they may be arranged at each of a pair of ends in the longitudinal direction of the vapor chamber 1, or may be arranged at one end of the other pair of ends.

ベーパーチャンバ１の密閉空間２には、作動流体が封入されている。作動流体の種類は特に限定されることはないが、純水、エタノール、メタノール、アセトン、及びそれらの混合物等、通常のベーパーチャンバに用いられる作動流体を用いることができる。   A working fluid is sealed in the closed space 2 of the vapor chamber 1. Although the kind of working fluid is not specifically limited, The working fluid used for a normal vapor chamber, such as a pure water, ethanol, methanol, acetone, and mixtures thereof, can be used.

以上のようなベーパーチャンバは例えば次のように作製することができる。
第一シート１０及び第二シート２０の外周形状を有する金属シートに対して、液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、蒸気流路溝１６、蒸気流路溝２６、及び蒸気流路連通溝１７、蒸気流路連通溝２７をハーフエッチングにより形成する。ハーフエッチングとは、厚さ方向に貫通することなく厚さ方向の途中までエッチングを行うことである。
次いで、第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとを向かい合わせるように重ね、位置決め手段としての穴１３ａ、穴２３ａを用いて位置決めし、仮止めを行う。仮止めの方法は特に限定されることはないが、抵抗溶接、超音波溶接、及び接着剤による接着等を挙げることができる。
そして仮止め後に拡散接合を行い恒久的に第一シート１０と第二シート２０とを接合する。なお、拡散接合の代わりにろう付けにより接合してもよい。ここで、「恒久的に接合」とは、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１の動作時に、密閉空間２の密閉性を維持可能な程度に、第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとの接合を維持できる程度に接合されていることを意味する。 The vapor chamber as described above can be manufactured as follows, for example.
For the metal sheet having the outer peripheral shape of the first sheet 10 and the second sheet 20, the liquid flow channel groove 14a, the liquid flow channel groove 15a, the vapor flow channel groove 16, the vapor flow channel groove 26, and the vapor flow channel communication groove 17, forming the steam channel communication groove 27 by half etching. Half etching is etching to the middle of the thickness direction without penetrating in the thickness direction.
Next, the inner surface 10a of the first sheet 10 and the inner surface 20a of the second sheet 20 are overlapped so as to face each other, and positioning is performed using the holes 13a and 23a as positioning means, and temporary fixing is performed. Although the method of temporary fixing is not particularly limited, resistance welding, ultrasonic welding, adhesion with an adhesive, and the like can be mentioned.
After temporary fixing, diffusion bonding is performed to permanently bond the first sheet 10 and the second sheet 20. In addition, you may join by brazing instead of diffusion bonding. Here, “permanently bonding” is not strictly limited, and can be maintained with the inner surface 10 a of the first sheet 10 to such an extent that the airtightness of the enclosed space 2 can be maintained when the vapor chamber 1 is operated. It means that it is joined to such an extent that junction with the inner surface 20a of the second sheet 20 can be maintained.

接合の後、形成された注入流路５から真空引きを行い、中空部を減圧する。その後、減圧された中空部に対して注入流路５から作動流体を注入して中空部に作動流体が入れられる。そして注入部１２、注入部２２に対してレーザーによる溶融を利用したり、かしめたりして注入流路５を閉鎖する。これにより中空部が密閉空間２となり、内側に作動流体が安定的に保持される。   After bonding, vacuum drawing is performed from the formed injection channel 5 to decompress the hollow portion. Thereafter, the working fluid is injected from the injection flow channel 5 into the depressurized hollow portion, and the working fluid is introduced into the hollow portion. Then, the injection section 12 and the injection section 22 use melting by laser or caulking, and the injection flow path 5 is closed. As a result, the hollow portion becomes the sealed space 2, and the working fluid is stably held inside.

本形態のベーパーチャンバでは、内部液流路部１５と内側液流路部２５との重なりによりこれが支柱として機能するため、接合時及び減圧時に密閉空間がつぶれることを抑制することができる。   In the vapor chamber of the present embodiment, the overlap between the inner liquid flow passage portion 15 and the inner liquid flow passage portion 25 functions as a support, so that the sealed space can be prevented from collapsing during bonding and pressure reduction.

以上では、エッチングによるベーパーチャンバの製造について説明したが、製造方法はこれに限らず、プレス加工、切削加工、レーザ加工、及び３Ｄプリンタによる加工によりベーパーチャンバを製造することもできる。
例えば３Ｄプリンタによりベーパーチャンバを製造する場合にはベーパーチャンバを複数のシートを接合して作製する必要がなく、接合部のないベーパーチャンバとすることが可能となる。 Although the manufacturing of the vapor chamber by etching has been described above, the manufacturing method is not limited thereto, and the vapor chamber can also be manufactured by press processing, cutting processing, laser processing, and processing by a 3D printer.
For example, in the case of manufacturing a vapor chamber by a 3D printer, it is not necessary to manufacture the vapor chamber by bonding a plurality of sheets, and it is possible to make a vapor chamber without a joint.

次にベーパーチャンバ１の作用について説明する。図３２には電子機器の一形態である携帯型端末４０の内側にベーパーチャンバ１が配置された状態を模式的に表した。ここではベーパーチャンバ１は携帯型端末４０の筐体４１の内側に配置されているため点線で表している。このような携帯型端末４０は、各種電子部品を内包する筐体４１及び筐体４１の開口部を通して外部に画像が見えるように露出したディスプレイユニット４２を備えて構成されている。そしてこれら電子部品の１つとして、ベーパーチャンバ１により冷却すべき電子部品３０が筐体４１内に配置されている。   Next, the operation of the vapor chamber 1 will be described. FIG. 32 schematically shows a state in which the vapor chamber 1 is disposed inside the portable terminal 40 which is one form of the electronic device. Here, since the vapor chamber 1 is disposed inside the housing 41 of the portable terminal 40, it is represented by a dotted line. Such a portable terminal 40 includes a housing 41 containing various electronic components, and a display unit 42 exposed so that an image can be seen outside through the opening of the housing 41. As one of the electronic components, an electronic component 30 to be cooled by the vapor chamber 1 is disposed in the housing 41.

ベーパーチャンバ１は携帯型端末等の筐体内に設置され、ＣＰＵ等の冷却すべき対象物である電子部品３０に取り付けられる。電子部品３０はベーパーチャンバ１の外面１０ｂ又は外面２０ｂに直接、又は、熱伝導性の高い粘着剤、シート、テープ等の他の部材を介して取り付けられる。外面１０ｂ、外面２０ｂのうちどの位置に冷却対象物が取り付けられるかは特に限定されることはなく、携帯型端末等において他の部材の配置との関係により適宜設定される。本形態では図１に点線で示したように、冷却すべき熱源である電子部品３０を第一シート１０の外面１０ｂのうち、本体１１のｘｙ方向中央に配置した。従って図１において電子部品３０は死角となって見えない位置なので点線で表している。
図３３には作動流体の流れを説明する図を表した。説明のし易さのため、この図では第二シート２０は省略し、第一シート１０の内面１０ａが見えるように表示している。 The vapor chamber 1 is installed in a housing such as a portable terminal and attached to an electronic component 30 which is an object to be cooled such as a CPU. The electronic component 30 is attached to the outer surface 10 b or the outer surface 20 b of the vapor chamber 1 directly or through another member such as a highly thermally conductive adhesive, a sheet, or a tape. There is no particular limitation on the position of the outer surface 10 b or the outer surface 20 b to which the object to be cooled is attached, and it may be appropriately set in relation to the arrangement of other members in a portable terminal or the like. In this embodiment, as shown by a dotted line in FIG. 1, the electronic component 30 which is a heat source to be cooled is disposed at the center of the main body 11 in the xy direction of the outer surface 10 b of the first sheet 10. Accordingly, in FIG. 1, the electronic component 30 is represented by a dotted line because it is a position where it can not be seen as a blind spot.
FIG. 33 shows a diagram for explaining the flow of the working fluid. For ease of explanation, the second sheet 20 is omitted in this figure, and the inner surface 10a of the first sheet 10 is shown so that it can be seen.

電子部品３０が発熱すると、その熱が第一シート１０内を熱伝導により伝わり、密閉空間２内における電子部品３０に近い位置に存在する凝縮液が熱を受ける。この熱を受けた凝縮液は熱を吸収し蒸発し気化する。これにより電子部品３０が冷却される。   When the electronic component 30 generates heat, the heat is transmitted through the first sheet 10 by heat conduction, and the condensate present at a position close to the electronic component 30 in the sealed space 2 receives heat. The condensate which receives this heat absorbs the heat, evaporates and evaporates. Thereby, the electronic component 30 is cooled.

気化した作動流体は蒸気となって図３３に実線の直線矢印で示したように蒸気流路４内を流れて移動する。この流れは電子部品３０から離隔する方向に生じるため、蒸気は電子部品３０から離れる方向に移動する。
蒸気流路４内の蒸気は熱源である電子部品３０から離れ、比較的温度が低いベーパーチャンバ１の外周部に移動し、当該移動の際に順次第一シート１０及び第二シート２０に熱を奪われながら冷却される。蒸気から熱を奪った第一シート１０及び第二シート２０はその外面１０ｂ、２０ｂに接触した携帯型端末装置の筐体等に熱を伝え、最終的に熱は外気に放出される。 The vaporized working fluid turns into steam and flows in the steam flow path 4 as shown by a solid straight arrow in FIG. Since the flow occurs in a direction away from the electronic component 30, the vapor moves away from the electronic component 30.
The vapor in the vapor flow path 4 moves away from the electronic component 30 that is a heat source, moves to the outer peripheral portion of the vapor chamber 1 having a relatively low temperature, and sequentially heats the first sheet 10 and the second sheet 20 during the movement. It is cooled while being taken away. The first sheet 10 and the second sheet 20 which have taken heat from the steam transfer heat to the housing of the portable terminal in contact with the outer surfaces 10b and 20b, and finally the heat is released to the outside air.

蒸気流路４を移動しつつ熱を奪われた作動流体は凝縮して液化する。この凝縮液は蒸気流路４の壁面に付着する。一方で蒸気流路４には連続して蒸気が流れているので、凝縮液は図２２、図２３に矢印Ｚで示したように蒸気で押し込まれるように、凝縮液流路３に移動する。本形態の凝縮液流路３は、図８、図１６に現れているように連通開口部１４ｃ、１５ｃを備えているので、凝縮液はこの連通開口部１４ｃ、１５ｃを通って複数の凝縮液流路３に分配される。   The working fluid which has been deprived of heat while moving through the steam flow path 4 condenses and liquefies. The condensate adheres to the wall surface of the steam flow path 4. On the other hand, since the vapor flows continuously in the vapor flow path 4, the condensate moves to the condensate flow path 3 so as to be pushed by the vapor as shown by the arrow Z in FIGS. Since the condensate passage 3 of the present embodiment is provided with the communication openings 14c and 15c as shown in FIGS. 8 and 16, the condensate passes through the communication openings 14c and 15c to form a plurality of condensates. It is distributed to the flow path 3.

凝縮液流路３に入った凝縮液は、凝縮液流路による毛細管現象、及び、蒸気からの押圧により、図３３に点線の直線矢印で表したように熱源である電子部品３０に近づくように移動する。
このとき、凝縮液流路３は第二シート２０により液流路溝１４ａ、１５ａの開口が塞がれているので断面においてその四方が壁となり、毛細管力を高めることができる。これにより円滑な凝縮液の移動が可能とされている。
さらに本形態では凝縮液流路３の断面において、その最大幅となる流路内面の部位で局所相当半径が最小となるような形状を有しているのでより高い毛細管力を得ることができ、さらに円滑な凝縮液の移動が可能である。
そして再度熱源である電子部品３０からの熱により気化して上記を繰り返す。 Condensate that has entered the condensate flow path 3 approaches the electronic component 30, which is a heat source, as shown by the dotted straight arrow in FIG. 33, by capillary action by the condensate flow path and pressure from steam. Moving.
At this time, since the condensate flow path 3 has the openings of the liquid flow path grooves 14a and 15a closed by the second sheet 20, the four sides become walls in the cross section, and the capillary force can be increased. This allows smooth transfer of the condensate.
Furthermore, in the present embodiment, in the cross section of the condensate flow path 3, since it has a shape such that the local equivalent radius is minimized at the position of the inner surface of the flow path that is the maximum width, a higher capillary force can be obtained, Further, the condensate can be moved smoothly.
And it repeats the above by vaporizing with the heat from the electronic component 30 which is a heat source again.

以上のように、ベーパーチャンバ１によれば、凝縮液流路において高い毛細管力で凝縮液の還流が良好となり、熱輸送量を高めることができる。   As described above, according to the vapor chamber 1, the reflux of the condensate is improved with a high capillary force in the condensate flow path, and the amount of heat transport can be increased.

ここまでのベーパーチャンバ１は、第一シート１０及び第二シート２０の２つのシートからなる例を説明した。ただし、これに限られることはなく、図３４に示したように３つのシート、及び、図３５に示したように４つのシートによるベーパーチャンバであってもよい。   The example where the vapor chamber 1 so far is composed of two sheets of the first sheet 10 and the second sheet 20 has been described. However, the present invention is not limited to this, and a vapor chamber having three sheets as shown in FIG. 34 and four sheets as shown in FIG. 35 may be used.

図３４に示したベーパーチャンバは、第一シート１０、第二シート２０、及び、中間シートである第三シート５０の積層体である。第一シート１０と第二シート２０との間に挟まれるように第三シート５０が配置され、それぞれが接合されている。   The vapor chamber shown in FIG. 34 is a laminate of the first sheet 10, the second sheet 20, and the third sheet 50 which is an intermediate sheet. The third sheet 50 is disposed so as to be sandwiched between the first sheet 10 and the second sheet 20, and each is joined.

この例では第一シート１０は内面１０ａ及び外面１０ｂのいずれも平坦である。同様に、第二シート２０も内面２０ａ及び外面２０ｂのいずれも平坦である。
この時の、第一シート１０および第二シート２０の厚さは、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．５ｍｍ以下であってもよく、０．１ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さ０．００５ｍｍ以上であること好ましく、０．０１５ｍｍ以上であってもよく、０．０３０ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。 In this example, both the inner surface 10a and the outer surface 10b of the first sheet 10 are flat. Similarly, both the second sheet 20 and the inner surface 20a and the outer surface 20b are flat.
The thickness of the first sheet 10 and the second sheet 20 at this time is preferably 1.0 mm or less, may be 0.5 mm or less, and may be 0.1 mm or less. On the other hand, the thickness is preferably 0.005 mm or more, may be 0.015 mm or more, and may be 0.030 mm or more. The range of the thickness may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Also, the range of the thickness may be defined by combining any two of the plurality of upper limit candidate values, or combining any two of the plurality of lower limit candidate values.

第三シート５０には、蒸気流路溝５１、壁５２、液流路溝５３、及び、凸部５４が備えられている。
蒸気流路溝５１は、第三シート５０を厚さ方向に貫通した溝であり、上記した蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とを重ねて第１流路である蒸気流路４を構成すると同様の溝であり、これに相当する形態を有している。
壁５２は、隣り合う蒸気流路溝５１の間に具備される壁であり、上記した外周液流路部１４と外周液流路部２４、及び、内側液流路部１５と内側液流路部２５を重ねた壁に相当する形態を有している。
液流路溝５３は、壁５２のうち第一シート１０に対向する面に配置される溝であり、上記した液流路溝１４ａ、１５ａに相当する形態を有している。液流路溝５３により第２流路である凝縮液流路３が形成される。
凸部５４は、隣り合う液流路溝５３の間に配置される凸部であり、上記した凸部１４ｂ、１５ｂに相当する形態で配置される。 The third sheet 50 is provided with a steam flow channel groove 51, a wall 52, a liquid flow channel groove 53, and a convex portion 54.
The steam channel groove 51 is a groove that penetrates the third sheet 50 in the thickness direction, and the above-described steam channel groove 16 and the steam channel groove 26 are overlapped to form the steam channel 4 that is the first channel. When configured, the grooves are similar to each other and have a form corresponding to this.
The wall 52 is a wall provided between the adjacent vapor flow channel grooves 51, and the above-described outer peripheral liquid flow channel portion 14 and the outer peripheral liquid flow channel portion 24, and the inner liquid flow channel portion 15 and the inner liquid flow channel. It has a form corresponding to the wall on which the portions 25 are stacked.
The liquid channel groove 53 is a groove disposed on the surface of the wall 52 facing the first sheet 10, and has a form corresponding to the liquid channel grooves 14a and 15a described above. The condensate flow path 3 that is the second flow path is formed by the liquid flow path groove 53.
The convex portion 54 is a convex portion disposed between the adjacent liquid flow grooves 53, and is disposed in a form corresponding to the convex portions 14b and 15b described above.

そして、第１シート１０、第二シート２０、及び第三シート５０が接合された際には、第２流路である凝縮液流路３の形態が上記したように最大幅αの内周面上βで最小の局所相当半径を有するように構成されている。   And when the 1st sheet 10, the 2nd sheet 20, and the 3rd sheet 50 are joined, the form of condensation fluid channel 3 which is the 2nd channel is the inner skin of maximum width alpha as mentioned above. It is configured to have the smallest local equivalent radius at the upper β.

図３５に示したベーパーチャンバは、第一シート１０、第二シート２０、並びに、２つの中間シートである第三シート６０及び第四シート７０の積層体である。これらシートが第一シート１０側から、第一シート１０、第三シート６０、第四シート７０、及び、第二シート２０の順に積層され接合されている。   The vapor chamber shown in FIG. 35 is a laminated body of the first sheet 10, the second sheet 20, and the third sheet 60 and the fourth sheet 70 that are two intermediate sheets. These sheets are laminated and bonded in the order of the first sheet 10, the third sheet 60, the fourth sheet 70, and the second sheet 20 from the first sheet 10 side.

本形態では、第一シート１０及び第二シート２０は内面１０ａ、２０a、及び外面１０ｂ、２０ｂはいずれも平坦である。   In the present embodiment, the first sheet 10 and the second sheet 20 have flat inner surfaces 10a, 20a and outer surfaces 10b, 20b.

第三シート６０には、液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、及び、蒸気流路溝１６が備えられている。
本形態における液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、及び、蒸気流路溝１６は、第三シート６０を厚さ方向に貫通した溝であるが、それ以外においては、上述した液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、及び、蒸気流路溝１６と同様の形態とすることができる。 The third sheet 60 is provided with a liquid flow channel groove 14 a, a liquid flow channel groove 15 a, and a steam flow channel groove 16.
The liquid flow channel groove 14a, the liquid flow channel groove 15a, and the vapor flow channel groove 16 in the present embodiment are grooves that penetrate the third sheet 60 in the thickness direction. The groove 14a, the liquid passage groove 15a, and the steam passage groove 16 can be configured in the same manner.

第四シート７０には蒸気流路溝２６が備えられている。
本形態における蒸気流路溝２６は、第四シート７０を厚さ方向に貫通した溝であるが、それ以外においては、上述した蒸気流路溝２６と同様の形態とすることができる。 The fourth sheet 70 is provided with a steam channel groove 26.
The steam flow passage groove 26 in the present embodiment is a groove which penetrates the fourth sheet 70 in the thickness direction, but in other respects, the steam flow passage groove 26 may have the same form as the above-described steam flow passage groove 26.

このようなシートが積層されることにより、第一シート１０、凝縮液流路１４ａ、及び、第四シート７０により囲まれた第２流路である凝縮液流路３、及び、第一シート１０、凝縮液流路１５ａ、及び、第四シート７０により囲まれた第２流路である凝縮液流路３となる。
同様に、蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とが重なり、第一シート１０と第二シート２０との間に配置されることで第１流路である蒸気流路４となる。
そして、第２流路である凝縮液流路３の形態が上記したように最大幅αの内周面β上で最小の局所相当半径を有するように構成されている。 By laminating such sheets, the first sheet 10, the condensate flow path 14 a, and the condensate flow path 3, which is the second flow path surrounded by the fourth sheet 70, and the first sheet 10. The condensate flow path 3 is a second flow path surrounded by the condensate flow path 15 a and the fourth sheet 70.
Similarly, the steam flow channel 16 and the steam flow channel 26 overlap and are disposed between the first sheet 10 and the second sheet 20, whereby the steam flow channel 4 which is a first flow channel is formed.
Then, as described above, the configuration of the condensate flow channel 3 which is the second flow channel is configured to have the minimum locally equivalent radius on the inner circumferential surface β of the maximum width α.

本開示の上記各形態はそのままに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の形態とすることができる。各形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。   The above-described embodiments of the present disclosure are not limited as they are, and the components can be modified and embodied without departing from the scope of the present invention. In addition, various forms can be provided by appropriate combinations of a plurality of components disclosed in the above form. Some components may be deleted from all the components shown in each form.

１ ベーパーチャンバ
２ 密閉空間
３ 凝縮液流路
４ 蒸気流路
１０ 第一シート
１０ａ 内面
１０ｂ 外面
１０ｃ 側面
１１ 本体
１２ 注入部
１３ 外周接合部
１４ 外周液流路部
１４ａ 液流路溝
１４ｃ 連通開口部
１５ 内側液流路部
１５ａ 液流路溝
１５ｃ 連通開口部
１６ 蒸気流路溝
１７ 蒸気流路連通溝
２０ 第二シート
２０ａ 内面
２０ｂ 外面
２０ｃ 側面
２１ 本体
２２ 注入部
２３ 外周接合部
２４ 外周液流路部
２５ 内側液流路部
２６ 蒸気流路溝
２７ 蒸気流路連通溝
３０ 電子部品
４０ 電子機器
４１ 筐体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Vapor chamber 2 sealed space 3 condensate flow path 4 steam flow path 10 first sheet 10 a inner surface 10 b outer surface 10 c side surface 11 main body 12 injection portion 13 outer peripheral joint portion 14 outer peripheral liquid flow path portion 14 a liquid flow groove 14 c communication opening 15 Inner liquid flow passage portion 15a Liquid flow passage groove 15c Communication opening portion 16 Steam flow passage groove 17 Steam flow passage communication groove 20 Second sheet 20a Inner surface 20b Outer surface 20c Side surface 21 Main body 22 Injection portion 23 Outer peripheral joint portion 24 Outer peripheral liquid flow passage portion 25 inner liquid flow passage portion 26 steam flow passage groove 27 steam flow passage communication groove 30 electronic component 40 electronic device 41 housing

Claims (6)

内側に具備された密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
前記密閉空間には、
複数の第１流路と、隣り合う前記第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、
隣り合う２つの前記第１流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う前記第１流路の間に配置された複数の前記第２流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、少なくとも一部でＡｌはＡｇの０．５倍以下であり、
前記第２流路は、その流路断面で幅が最大となる流路内面の部位において、当該部位及び当該部位を挟んで決められた所定の距離を有して隣接する流路内面の２点を通る円の半径を局所相当半径としたとき、前記局所相当半径が前記流路断面の内面の中で最小となる流路形状を備えている、ベーパーチャンバ。 A vapor chamber in which a working fluid is enclosed in an enclosed space provided inside the chamber, the vapor chamber comprising:
In the enclosed space,
A plurality of first flow paths and a second flow path provided between the adjacent first flow paths,
The average of the flow path cross-sectional area of two of said first flow path adjacent the A g, an average of the flow path cross-sectional area of the plurality of the second flow path disposed between the adjacent first flow path A when the l, a l at least a portion is not more than 0.5 times the a g,
The second channel has two points on the inner surface of the channel adjacent to each other at a portion of the inner surface of the channel having the maximum width in the cross section of the channel and having a predetermined distance determined by sandwiching the portion. A vapor chamber having a flow path shape in which the local equivalent radius is the smallest on the inner surface of the flow path section, where the radius of a circle passing through is a locally equivalent radius. 内側に具備された密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
前記密閉空間には、
気体状態の前記作動流体が流れる複数の第１流路と、
隣り合う前記第１流路間に設けられ、液体状態の前記作動流体が流れる第２流路と、が備えられ、
前記第２流路は、その流路断面で幅が最大となる流路内面の部位において、当該部位及び当該部位を挟んで決められた所定の距離を有して隣接する流路内面の２点を通る円の半径を局所相当半径としたとき、前記局所相当半径が前記流路断面の内面の中で最小となる流路形状を備えている、ベーパーチャンバ。 A vapor chamber in which a working fluid is enclosed in an enclosed space provided inside the chamber, the vapor chamber comprising:
In the enclosed space,
A plurality of first flow paths through which the working fluid in a gaseous state flows;
A second flow path provided between the adjacent first flow paths, through which the working fluid in a liquid state flows,
The second channel has two points on the inner surface of the channel adjacent to each other at a portion of the inner surface of the channel having the maximum width in the cross section of the channel and having a predetermined distance determined by sandwiching the portion. A vapor chamber having a flow path shape in which the local equivalent radius is the smallest on the inner surface of the flow path section, where the radius of a circle passing through is a locally equivalent radius. 複数のシートが積層されてなる請求項１又は２に記載のベーパーチャンバ。   The vapor chamber according to claim 1, wherein a plurality of sheets are laminated. 筐体と、
前記筐体の内側に配置された電子部品と、
前記電子部品に配置された請求項１乃至３のいずれかに記載されたベーパーチャンバと、を備える、電子機器。 And
An electronic component disposed inside the housing;
An electronic device comprising: the vapor chamber according to any one of claims 1 to 3 disposed in the electronic component. 中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、
前記中空部には、
複数の第１流路と、隣り合う前記第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、
隣り合う２つの前記第１流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う前記第１流路の間に配置された複数の前記第２流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、少なくとも一部でＡｌはＡｇの０．５倍以下であり、
前記第２流路は、その流路断面で幅が最大となる流路内面の部位において、当該部位及び当該部位を挟んで決められた所定の距離を有して隣接する流路内面の２点を通る円の半径を局所相当半径としたとき、前記局所相当半径が前記流路断面の内面の中で最小となる流路形状を備えている、ベーパーチャンバ用シート。 A vapor chamber sheet having a hollow portion,
In the hollow portion,
A plurality of first flow paths, and a second flow path provided between the adjacent first flow paths,
The average of the flow path cross-sectional area of two of said first flow path adjacent the A g, an average of the flow path cross-sectional area of the plurality of the second flow path disposed between the adjacent first flow path A when the l, a l at least a portion is not more than 0.5 times the a g,
The second channel has two points on the inner surface of the channel adjacent to each other at a portion of the inner surface of the channel having the maximum width in the cross section of the channel and having a predetermined distance determined by sandwiching the portion. The sheet | seat for vapor chamber provided with the flow-path shape where the said local equivalent radius becomes the smallest in the inner surface of the said flow-path cross section, when the radius of the circle | 中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、
前記中空部には、
気体状態の作動流体が流れる蒸気流路となる複数の第１流路と、
隣り合う前記第１流路間に設けられ、液体状態の作動流体が流れる凝縮液流路となる第２流路と、が備えられ、
前記第２流路は、その流路断面で幅が最大となる流路内面の部位において、当該部位及び当該部位を挟んで決められた所定の距離を有して隣接する流路内面の２点を通る円の半径を局所相当半径としたとき、前記局所相当半径が前記流路断面の内面の中で最小となる流路形状を備えている、ベーパーチャンバ用シート。 A sheet for a vapor chamber having a hollow portion, comprising:
In the hollow portion,
A plurality of first flow paths that are steam flow paths through which the working fluid in a gaseous state flows;
A second flow path provided between the adjacent first flow paths and serving as a condensate flow path through which the working fluid in a liquid state flows;
The second channel has two points on the inner surface of the channel adjacent to each other at a portion of the inner surface of the channel having the maximum width in the cross section of the channel and having a predetermined distance determined by sandwiching the portion. The sheet | seat for vapor chamber provided with the flow-path shape which the said local equivalent radius becomes the smallest in the inner surface of the said flow-section cross section, when the radius of the circle | round | yen which passes is made into a local equivalent radius.
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