JP2019117174A - Impeller type flow rate sensor and flow rate control system - Google Patents

Impeller type flow rate sensor and flow rate control system Download PDF

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JP2019117174A
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省吾 濱本
Shogo Hamamoto
省吾 濱本
修一 門脇
Shuichi Kadowaki
修一 門脇
吉田　裕亮
Hirosuke Yoshida
裕亮 吉田
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A & M kk
Tottori Institute of Industrial Technology
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A & M kk
Tottori Institute of Industrial Technology
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Abstract

To provide a technology for detecting a flow rate with high accuracy without depending on characteristics of a pump.SOLUTION: An impeller type flow rate sensor (10) includes an impeller (40), a storage chamber (201) for rotatably accommodating the impeller, an inflow passage (220) for fluid communicated from an inflow port (13) to the accommodation chamber, and a fluid outflow passage (230) communicated from the accommodation chamber to an outflow port (14). The opening area of a discharge port (222) to the storage chamber in the inflow passage is smaller than the opening area of the inflow port (13), and the inflow passage includes a channel reduction part (221) having a small passage cross-sectional area from the inflow port to the discharge port.SELECTED DRAWING: Figure 6

Description

本発明は、流体で羽根車を回して流体の流量を検出する羽根車式流量センサ及びそれを用いた流量制御システムに関する。   The present invention relates to an impeller-type flow sensor that detects an amount of fluid flow by rotating an impeller with fluid and a flow control system using the same.

流体の流量を検出する手法として、差圧式、超音波式、コリオリ式、羽根車式など様々な手法が知られている。なかでも、羽根車式の流量検出に関しては、下記特許文献１から５において各種手法が提案されている。   As a method of detecting the flow rate of fluid, various methods such as differential pressure type, ultrasonic type, Coriolis type, and impeller type are known. Among other things, various methods have been proposed in Patent Documents 1 to 5 below for impeller type flow rate detection.

下記特許文献１には、流体の流入路と流出路とを備えたケースと、円盤部の外周に羽根部を備えてケースに回転自在に収容支持され流入路から流入する液体等を羽根部で回転方向に受けて回転する羽根車とを備えた回転羽根装置であって、羽根車の回転中心部に、泡抜き用の連通路を流出路と共用の構成として対向配置した回転羽根装置が提案されている。
下記特許文献２及び３には、小流量域におけるマイナス傾向の誤差の改善を図り、流量計側精度の向上を図る羽根車式流量検出器が提案されている。
下記特許文献４には、大流量域のプラス方向に偏位する誤差を減少して流量計側精度の向上を図る羽根車式流量検出器が提案されている。
下記特許文献５には、駆動羽根とその駆動羽根より少数の検出羽根とを同軸に設けた羽根車と、内部に羽根車を収容する室を形成し、その室下方で駆動羽根に対応する位置に室弧面の略接線方向へ流体を導入する入口と、室上方で検出羽根に対応する位置に開口する出口とを備えて、少なくとも検出羽根に対応する位置を透明材で形成したケーシングとを備える流量センサが提案されている。 In Patent Document 1 below, a case having a fluid inflow path and an outflow path, and a blade portion on the outer periphery of a disc portion, rotatably supported and supported in the case by liquid and the like flowing from the inflow path A rotary vane device including an impeller that receives and rotates in a rotational direction, and the rotary vane device has a communication path for bubble removal opposite to the outflow path at the rotation center of the impeller. It is done.
In the following Patent Documents 2 and 3, an impeller type flow detector is proposed in which the error of the negative tendency in the low flow rate region is improved and the accuracy on the flow meter side is improved.
Patent Document 4 below proposes an impeller-type flow detector that improves the accuracy on the flow meter side by reducing an error that is biased in the positive direction of a large flow rate region.
In Patent Document 5 below, an impeller in which a driving blade and a smaller number of detection blades than the driving blade are provided coaxially, and a chamber for housing the impeller inside is formed, and a position corresponding to the driving blade below that chamber A casing having an inlet for introducing fluid in a direction substantially tangential to the chamber arc and an outlet opening at a position above the chamber at a position corresponding to the detection blade, wherein a casing at least a position corresponding to the detection blade is formed of a transparent material A flow rate sensor has been proposed.

特開２００５−３５５２号公報JP 2005-3552 A 実開平６−６９７４０号公報Japanese Utility Model Application Publication No. 6-69740 実開平６−６９７３９号公報Japanese Utility Model Publication 6-69739 実開平６−６９７３８号公報Japanese Utility Model Publication 6-69738 実開平４−５１６３１号公報Japanese Utility Model Application Publication No. 4-51631

羽根車式の流量検出に関する上述の提案手法では、流量の大小については考慮されているものの、流体を流動させるポンプの特性については考慮されていない。例えば、ダイヤフラムポンプやチューブポンプ等では、送り出される流体に脈動が生じることが知られているところ、上述の提案手法では、脈動する流体について検出精度を維持できるかについては疑問が生じるところである。   In the above-described proposed method for impeller-type flow rate detection, although the magnitude of the flow rate is taken into consideration, the characteristics of the pump that causes the fluid to flow are not taken into consideration. For example, in a diaphragm pump, a tube pump, etc., it is known that pulsation occurs in the fluid to be delivered, but in the above-mentioned proposed method, a question arises as to whether detection accuracy can be maintained for the pulsating fluid.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、ポンプの特性に依存することなく高精度に流量を検出し得る技術を提供する。   The present invention has been made in view of such circumstances, and provides a technique capable of detecting the flow rate with high accuracy without depending on the characteristics of the pump.

本発明は、上述した課題を解決するために、以下の構成をそれぞれ採用する。
本発明の第一側面に係る羽根車式流量センサは、羽根車と、その羽根車を回転自在に収容支持する収容室と、流入口から収容室まで連通する流体の流入路と、収容室から流出口まで連通する流体の流出路と、を備えており、当該流入路における収容室への吐出口の開口面積が流入口の開口面積よりも小さく、当該流入路は、流入口から吐出口へ向かって流路断面積が小さくなる流路縮小部を含むことを特徴とする。 The present invention adopts the following configurations in order to solve the problems described above.
The impeller-type flow sensor according to the first aspect of the present invention includes an impeller, a storage chamber rotatably accommodating and supporting the impeller, a fluid inflow path communicating from the inlet to the storage chamber, and a storage chamber And a fluid outlet passage communicating with the outlet, and the opening area of the outlet to the storage chamber in the inlet passage is smaller than the opening area of the inlet, and the inlet passage extends from the inlet to the outlet It is characterized in that it includes a flow path reduction portion in which the flow path cross-sectional area decreases toward the end.

本発明の第二側面に係る流量制御システムは、第一側面に係る羽根車式流量センサと、その羽根車式流量センサへ向けて流体を送り出すチューブポンプと、羽根車式流量センサからの検出信号によりチューブポンプの出力を制御する制御手段と、を備えている。   A flow rate control system according to a second aspect of the present invention includes an impeller-type flow sensor according to the first aspect, a tube pump for delivering fluid toward the impeller-type flow sensor, and detection signals from the impeller-type flow sensor Control means for controlling the output of the tube pump by

上記各側面によれば、ポンプの特性に依存することなく高精度に流量を検出し得る技術を提供することができる。   According to the above aspects, it is possible to provide a technology capable of detecting the flow rate with high accuracy without depending on the characteristics of the pump.

第一実施形態に係る羽根車式流量センサを下側（図１の下側）から目視した斜視図である。It is the perspective view which looked at the impeller type flow sensor which concerns on 1st embodiment from lower side (lower side of FIG. 1). 第一実施形態に係る羽根車式流量センサの分解図である。It is an exploded view of an impeller type flow sensor concerning a first embodiment. 第一実施形態に係る羽根車式流量センサの上ケーシング部を下側（図３の下側）から目視した斜視図である。It is the perspective view which looked at the upper casing part of the impeller type flow sensor which concerns on 1st embodiment from lower side (lower side of FIG. 3). 図４（ａ）は、羽根車を上側（図４（ａ）の上側）から目視した斜視図であり、図４（ｂ）は、羽根車を下側（図４（ｂ）の下側）から目視した斜視図である。Fig.4 (a) is the perspective view which looked at the impeller from the upper side (upper side of FIG. 4 (a)), FIG.4 (b) is lower side of the impeller (lower side of FIG. 4 (b)) It is the perspective view visually observed from. 第一実施形態に係る羽根車式流量センサの下面を示す図である。It is a figure which shows the lower surface of the impeller type flow sensor which concerns on 1st embodiment. 図６（ａ）は、図５のＡ−Ａ線の断面模式図であり、図６（ｂ）は、図５のＢ−Ｂ線の断面模式図であり、図６（ｃ）は、図５のＣ−Ｃ線の断面模式図である。6 (a) is a schematic cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 5, FIG. 6 (b) is a schematic cross-sectional view taken along the line B-B of FIG. 5, and FIG. 6 (c) is a diagram It is a cross-sectional schematic diagram of the CC line of five. 第二実施形態に係る流量制御システムの構成を概念的に示す図である。It is a figure which shows notionally the structure of the flow control system concerning 2nd embodiment.

以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下に挙げる各実施形態はそれぞれ例示であり、本発明は以下の各実施形態の構成に限定されない。
以下の説明では、説明の便宜のため、羽根車の軸方向が鉛直方向となる各実施形態に係る羽根車式流量センサの一使用態様に従って、上下方向（鉛直方向）を示すものとする。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described. In addition, each embodiment listed below is each illustration, and this invention is not limited to the structure of the following each embodiment.
In the following description, for convenience of description, the vertical direction (vertical direction) is indicated according to one usage mode of the impeller-type flow sensor according to each embodiment in which the axial direction of the impeller is the vertical direction.

［第一実施形態］
第一実施形態に係る羽根車式流量センサ（以降、流量センサと略称する場合もある）１０について適宜図面を用いて説明する。
図１は、第一実施形態に係る羽根車式流量センサ１０を下側（図１の下側）から目視した斜視図である。
流量センサ１０で検出対象とされる流体は、液体や気体など一般的な羽根車式流量センサで検出可能な流体であれば、特に限定されない。なお、一般的な羽根車式流量センサにおいては、粘性の比較的低い液体が検出対象として好適であることが知られている。以下、流量センサ１０で検出対象とされる流体を単に流体と表記するものとする。 First Embodiment
The impeller-type flow sensor (it may be abbreviated as a flow sensor hereafter) 10 which concerns on 1st embodiment is demonstrated suitably using drawing.
FIG. 1 is a perspective view of an impeller flow rate sensor 10 according to the first embodiment as viewed from the lower side (the lower side in FIG. 1).
The fluid to be detected by the flow rate sensor 10 is not particularly limited as long as it is a fluid such as liquid or gas that can be detected by a general impeller type flow rate sensor. In a general impeller-type flow sensor, it is known that a liquid having a relatively low viscosity is suitable as a detection target. Hereinafter, the fluid to be detected by the flow rate sensor 10 is simply referred to as fluid.

流量センサ１０は、外形として、平面視が角丸長方形のケーシング１１と、そのケーシング１１の両側方から突出するチューブ連結部１２ａ及び１２ｂとを有する。
チューブ連結部１２ａ及び１２ｂは、筒状の直筒部と、直筒部よりも先端側に設けられており先端側に向けてテーパ状に外径寸法が縮径する断面円形の外周面を有するテーパ部とをそれぞれ含んでいる。 The flow rate sensor 10 has, as an outer shape, a casing 11 having a rounded rectangular shape in plan view, and tube connection portions 12 a and 12 b projecting from both sides of the casing 11.
The tube connecting portions 12a and 12b are cylindrical straight cylindrical portions, and a tapered portion provided on the tip side of the straight cylindrical portion and having an outer peripheral surface of a circular cross section whose outer diameter dimension is tapered in a tapered manner toward the tip side. And each one.

チューブ連結部１２ａの先端（テーパ部の先端）には流体の流入口１３が設けられており、その流入口１３から後述する収容室２０１まで連通する流体の流入路２２０の一部がチューブ連結部１２ａ内を貫通している。このため、チューブ連結部１２ａを流入側チューブ内に挿入することで、流入側チューブの内周面とチューブ連結部１２ａの外周面とを密着させた状態で直筒部の外周面とテーパ部の基端側外周面との段差で流入側チューブを係止させることができる。結果、チューブ連結部１２ａと流入側チューブとを高気密に連結することができるため、流入側チューブ内を通る流体を漏らすことなく流入口１３から流量センサ１０内に流入させることができる。   A fluid inlet 13 is provided at the tip of the tube connector 12a (the tip of the tapered portion), and a part of the fluid inflow path 220 communicating from the inlet 13 to the storage chamber 201 described later is the tube connector 12a is penetrated. Therefore, by inserting the tube connecting portion 12a into the inflow side tube, the outer peripheral surface of the straight cylindrical portion and the base of the tapered portion are in a state where the inner peripheral surface of the inflow side tube and the outer peripheral surface of the tube connecting portion 12a are in close contact. The inflow side tube can be locked by the level difference with the end side outer peripheral surface. As a result, since the tube connection part 12a and the inflow side tube can be connected airtightly, the fluid passing through the inside of the inflow side tube can be made to flow from the inflow port 13 into the flow rate sensor 10 without leaking.

同様に、チューブ連結部１２ｂの先端（テーパ部の先端）には、流体の流出口１４が設けられており、後述の収容室２０１から流出口１４まで連通する流体の流出路２３０の一部がチューブ連結部１２ｂ内を貫通している。このため、チューブ連結部１２ｂを流出側チューブ内に挿入することで、チューブ連結部１２ａ側と同様に、チューブ連結部１２ｂと流出側チューブとを高気密に連結することができるため、流量センサ１０内を通過した流体を漏らすことなく流出口１４から流出側チューブ内に送り出すことができる。   Similarly, a fluid outlet 14 is provided at the tip of the tube connection portion 12 b (the tip of the taper portion), and a part of the fluid outlet 230 communicating from the storage chamber 201 to the outlet 14 described later It penetrates the inside of tube connection part 12b. Therefore, by inserting the tube connection portion 12b into the outflow side tube, the tube connection portion 12b and the outflow side tube can be airtightly connected similarly to the tube connection portion 12a side. The fluid passing therethrough can be pumped from the outlet 14 into the outlet tube without leaking.

ケーシング１１、チューブ連結部１２ａ及び１２ｂは、プラスチックなどの合成樹脂や鉄やアルミなどの金属素材で成形される。但し、流量センサ１０を成形する材料は、特に限定されず、チューブ連結部１２ａ及び１２ｂと連結させる流入側及び流出側の各チューブよりも剛性の高い素材で成形されればよい。
同様に、流入側及び流出側の各チューブの材料についても制限されない。
各チューブ、ケーシング１１、チューブ連結部１２ａ及び１２ｂの材料は、流体の温度や流体の種類、或いは流量センサ１０の価格帯などに応じて適宜決められれば良い。 The casing 11 and the tube connection portions 12a and 12b are formed of a synthetic resin such as plastic or a metal material such as iron or aluminum. However, the material for forming the flow rate sensor 10 is not particularly limited, and it may be formed of a material having higher rigidity than the tubes on the inflow side and the outflow side to be connected to the tube connection portions 12a and 12b.
Likewise, the materials of the inflow and outflow tubes are not limited.
The material of each tube, the casing 11, and the tube connecting portions 12a and 12b may be appropriately determined according to the temperature of the fluid, the type of the fluid, the price range of the flow rate sensor 10, or the like.

ケーシング１１は、内部に、上述の流入路及び流出路に加えて、羽根車４０を回転自在に収容支持する収容室２０１を有している。これにより、チューブ連結部１２ａの先端に設けられた流入口１３から流入した流体は、流入路を通り、流入路の吐出口から収容室２０１へ吐出され、収容室２０１から流出路を通り、チューブ連結部１２ｂの先端に設けられた流出口１４から流出する。
流量センサ１０は、このようにケーシング１１内に流入した流体の流れる力で羽根車４０を回転させ、この回転に関する検知信号（電気信号）を出力する。 In addition to the inflow path and the outflow path described above, the casing 11 internally has a storage chamber 201 that rotatably accommodates and supports the impeller 40. As a result, the fluid flowing in from the inflow port 13 provided at the tip of the tube connection portion 12a passes through the inflow path, is discharged from the discharge port of the inflow path into the storage chamber 201, and passes through the outflow path from the storage chamber 201. It flows out from the outflow port 14 provided at the tip of the connection part 12b.
The flow rate sensor 10 rotates the impeller 40 with the force of the fluid flowing into the casing 11 in this manner, and outputs a detection signal (electrical signal) regarding this rotation.

図２は、第一実施形態に係る羽根車式流量センサ１０の分解図である。図３は、第一実施形態に係る羽根車式流量センサ１０の上ケーシング部３０を下側（図３の下側）から目視した斜視図である。
図２に示されるように、ケーシング１１は、主に、下ケーシング部２０と上ケーシング部３０とから構成されており、下ケーシング部２０の上面と上ケーシング部３０の下面とがシール部材１８を介して接合することで構成されている。
ここで、上述のチューブ連結部１２ａ及びチューブ連結部１２ｂは下ケーシング部２０に設けられている。更に、本実施形態では、部品点数を削減し低コスト化を実現するべく、上述のチューブ連結部１２ａ及びチューブ連結部１２ｂは、下ケーシング部２０と一体成形されている。 FIG. 2 is an exploded view of the impeller-type flow rate sensor 10 according to the first embodiment. FIG. 3 is a perspective view of the upper casing portion 30 of the impeller flow rate sensor 10 according to the first embodiment as viewed from the lower side (the lower side in FIG. 3).
As shown in FIG. 2, the casing 11 mainly includes a lower casing portion 20 and an upper casing portion 30, and the upper surface of the lower casing portion 20 and the lower surface of the upper casing portion 30 form a seal member 18. It is comprised by joining via.
Here, the above-mentioned tube connection part 12a and the tube connection part 12b are provided in the lower casing part 20. As shown in FIG. Furthermore, in the present embodiment, the tube connecting portion 12a and the tube connecting portion 12b described above are integrally formed with the lower casing portion 20 in order to reduce the number of parts and realize cost reduction.

また、下ケーシング部２０はその上面の中央部に凹部２５０を有しており、上ケーシング部３０はその下面の中央部に凸部３５０を有している。
下ケーシング部２０と上ケーシング部３０との接合状態では、下ケーシング部２０の凹部２５０に上ケーシング部３０の凸部３５０が嵌合される。この嵌合状態において、下ケーシング部２０の凹部２５０及び上ケーシング部３０の凸部３５０は、相互の形状により、後述する収容室２０１及び流出路を形成する。また、凹部２５０及び凸部３５０が嵌合することで、下ケーシング部２０と上ケーシング部３０とは互いに係止して離脱を規制する。 The lower casing portion 20 has a recess 250 at the center of its upper surface, and the upper casing portion 30 has a protrusion 350 at the center of its lower surface.
In the joined state of the lower casing portion 20 and the upper casing portion 30, the convex portion 350 of the upper casing portion 30 is fitted in the recess 250 of the lower casing portion 20. In this fitted state, the concave portion 250 of the lower casing portion 20 and the convex portion 350 of the upper casing portion 30 form a storage chamber 201 and an outflow path, which will be described later, due to the mutual shape. In addition, when the concave portion 250 and the convex portion 350 are fitted, the lower casing portion 20 and the upper casing portion 30 are engaged with each other to restrict separation.

シール部材１８は、下ケーシング部２０の凹部２５０の外周を周回可能な形状（環形状）を有している。シール部材１８は、下ケーシング部２０と上ケーシング部３０との接合状態において、上ケーシング部３０のシール溝３５２に圧入されつつ下ケーシング部２０の上面における凹部２５０の外周部に接合される。これにより、シール部材１８は、下ケーシング部２０の凹部２５０と上ケーシング部３０の凸部３５０とで形成される収容室２０１及び流出路から流体が漏れ出ないようにシールする。
シール部材１８は、流体を透過させず、流体に対する耐性を有し、下ケーシング部２０と上ケーシング部３０との密着性を実現する柔軟性を有する材料で形成されることが好ましい。例えば、シール部材１８は、天然ゴムや合成ゴム、テフロン（登録商標）樹脂などで形成される。 The seal member 18 has a shape (annular shape) which can go around the outer periphery of the recess 250 of the lower casing portion 20. The seal member 18 is joined to the outer peripheral portion of the recess 250 on the upper surface of the lower casing portion 20 while being press-fitted into the seal groove 352 of the upper casing portion 30 in the joined state of the lower casing portion 20 and the upper casing portion 30. Thereby, the seal member 18 seals so that the fluid does not leak from the accommodation chamber 201 and the outflow path formed by the concave portion 250 of the lower casing portion 20 and the convex portion 350 of the upper casing portion 30.
The seal member 18 is preferably made of a material that is impermeable to fluid, resistant to fluid, and flexible so as to achieve adhesion between the lower casing portion 20 and the upper casing portion 30. For example, the seal member 18 is formed of natural rubber, synthetic rubber, Teflon (registered trademark) resin, or the like.

収容室２０１には、羽根車４０が回転軸５１により回転自在に収容支持されている。
回転軸５１は、その下端部が下ケーシング部２０に形成されている収容室２０１の底面に軸支されている。本実施形態では、回転軸５１の上端部は固定されていないが、当該上端部は、上ケーシング部３０の収容室２０１の上面（天井面）に軸支されていてもよい。 The impeller 40 is rotatably accommodated and supported by the rotation shaft 51 in the accommodation chamber 201.
The lower end portion of the rotation shaft 51 is pivotally supported by the bottom surface of the storage chamber 201 formed in the lower casing portion 20. In the present embodiment, the upper end portion of the rotating shaft 51 is not fixed, but the upper end portion may be pivotally supported by the upper surface (ceiling surface) of the accommodation chamber 201 of the upper casing portion 30.

更に、上ケーシング部３０の上面側（収容室２０１の上面の裏側）にはホールＩＣ５３が装着されている。本実施形態では、ホールＩＣ５３は、収容室２０１の上方の流入路側の概ね半分を覆う位置に装着されている。
ホールＩＣ５３は、内蔵するホール素子（磁気センサ）により羽根車４０に設けられたドーナツ型磁石の磁界を検知して、羽根車４０の回転の検知信号を出力する。ホールＩＣ５３が出力する検知信号は、Ｓ極若しくはＮ極のいずれか一方の接近によりＯＮとなり他方の接近によりＯＦＦとなるデジタル信号であってもよいし、Ｓ極若しくはＮ極のいずれか一方又は両方の接近によりＯＦＦとなり離間によりＯＮとなるデジタル信号であってもよいし、Ｓ極又はＮ極の強さに対応するアナログ信号であってもよい。
また、本実施形態では、羽根車４０の回転を磁気で検知するが、機械式、光式などといった他の手法で羽根車４０の回転が検知されてもよい。 Furthermore, a Hall IC 53 is mounted on the upper surface side of the upper casing portion 30 (the back side of the upper surface of the storage chamber 201). In the present embodiment, the Hall IC 53 is mounted at a position covering approximately half of the upper side of the storage chamber 201 on the inflow path side.
The Hall IC 53 detects the magnetic field of the doughnut-shaped magnet provided on the impeller 40 by a built-in Hall element (magnetic sensor), and outputs a detection signal of the rotation of the impeller 40. The detection signal output from the Hall IC 53 may be a digital signal that is turned on by approaching either the S pole or the N pole and turned off when the other approaches, or one or both of the S pole or the N pole. It may be a digital signal that is turned OFF by approaching and turned ON by separating, or may be an analog signal corresponding to the strength of the S pole or the N pole.
Further, in the present embodiment, the rotation of the impeller 40 is magnetically detected, but the rotation of the impeller 40 may be detected by other methods such as mechanical or optical.

＜羽根車の構造＞
図４（ａ）は、羽根車４０を上側（図４（ａ）の上側）から目視した斜視図であり、図４（ｂ）は、羽根車４０を下側（図４（ｂ）の下側）から目視した斜視図である。
羽根車４０は、厚み方向に貫通する軸孔４２と、その軸孔４２付近から半径方向の外周まで円弧状に延びる大羽根部４４と、大羽根部４４よりも半径方向の長さが短く当該外周まで円弧状に延びる小羽根部４５とを有している。 <Structure of Impeller>
4 (a) is a perspective view of the impeller 40 as viewed from the upper side (the upper side in FIG. 4 (a)), and FIG. 4 (b) is a lower side of the impeller 40 (FIG. 4 (b)). It is the perspective view visually observed from the side.
The impeller 40 has an axial hole 42 penetrating in the thickness direction, a large blade portion 44 extending in a circular arc shape from the vicinity of the axial hole 42 to the outer periphery in the radial direction, and a shorter radial length than the large blade portion 44 And a small blade 45 extending in an arc shape to the outer periphery.

軸孔４２には、収容室２０１の底面で軸支され上下方向に延びる回転軸５１が挿通されており、このため、羽根車４０は、軸方向が上下方向となりかつ接線流式で回転するように、回転軸５１により収容室２０１内に支持されている。
ここで「接線流式」とは、流体で羽根車を回す方式の一つであり、流体の流れ方向と羽根車の軸方向とが直交する（完全に直交している必要はない）方式であり、他の方式としては、流体の流れ方向と羽根車の軸方向とが同一となる軸流式がある。
また、本実施形態では、大羽根部４４及び小羽根部４５はそれぞれ７個ずつ設けられており、大羽根部４４と小羽根部４５とが羽根車４０の周方向に交互に並設されている。 In the axial hole 42, a vertically extending rotary shaft 51 supported by the bottom surface of the storage chamber 201 is inserted, so that the impeller 40 rotates in the axial direction in the vertical direction and in tangential flow. The rotary shaft 51 is supported in the storage chamber 201.
Here, the “tangential flow type” is one of the methods of rotating the impeller with fluid, in which the flow direction of the fluid and the axial direction of the impeller are orthogonal (they do not have to be completely orthogonal). As another method, there is an axial flow type in which the fluid flow direction and the axial direction of the impeller are the same.
Further, in the present embodiment, seven large blades 44 and seven small blades 45 are provided, and the large blades 44 and the small blades 45 are alternately juxtaposed in the circumferential direction of the impeller 40. There is.

安定的に羽根車を回転させるには、流体を受ける羽根部が多数設けられることが望ましい。一方、検出対象を微小流量とする場合には、羽根車全体の寸法を小さくする必要があるため、羽根車に設ける羽根部の数に制限が生じ得る。羽根車全体の寸法を小さくしながら多数の羽根部を設けようとすると、個々の羽根部の寸法が微小になり、製造上及びコスト上の問題が生じるからである。
そこで、本実施形態のように、羽根車４０の流体を受ける箇所（外周）には多くの羽根部（大羽根部４４及び小羽根部４５）を集積させて、回転軸５１周辺には一部の羽根部（大羽根部４４）のみを存在させることで、微小流量でも安定的に回転する羽根車４０を実現することができる。なお、このような羽根部の集積構造は、微小流量のみならず、小流量以上の流量でも同様に、安定回転を実現し得るものである。
更に、大羽根部４４及び小羽根部４５のそれぞれは、流体の流れる方向に向かって凸の円弧形状に延設されているため、流体を捉え易く、流体の流れる力を効率的に回転運動に変えることができるようになっている。
ここで、「微小流量」は、０．５Ｌ（リットル）／ｍｉｎ（分）未満の流量を示すことが好ましく、より好ましくは０．１Ｌ／ｍｉｎ未満の流量を示し、更に好ましくは１０ｍｌ（ミリリットル）／ｍｉｎ（分）未満を示す。 In order to stably rotate the impeller, it is desirable to provide a large number of blades for receiving the fluid. On the other hand, in the case where the detection target is a minute flow rate, it is necessary to reduce the size of the entire impeller, so that the number of blades provided on the impeller may be limited. If it is attempted to provide a large number of blades while reducing the overall size of the impeller, the dimensions of the individual blades become minute, which causes problems in manufacturing and cost.
Therefore, as in the present embodiment, many vanes (large vanes 44 and small vanes 45) are accumulated at a location (outer periphery) of the impeller 40 to receive the fluid, and a part of it is around the rotary shaft 51. By providing only the blade portion (large blade portion 44) of the above, it is possible to realize the impeller 40 that rotates stably even with a minute flow rate. In addition, such an integrated structure of the blade portion can realize stable rotation similarly not only at a minute flow rate but also at a flow rate of a small flow rate or more.
Furthermore, each of the large blade portion 44 and the small blade portion 45 is extended in a convex arc shape in the fluid flow direction, so it is easy to catch the fluid, and the fluid flow force can be efficiently rotated. It can be changed.
Here, the “micro flow rate” preferably indicates a flow rate of less than 0.5 L (liter) / min (minute), more preferably, a flow rate of less than 0.1 L / min, and still more preferably 10 ml (milliliter) Indicates less than / min (minutes).

また、羽根車４０は、厚み方向（軸方向）の上端部に環状プレート部４９を有しており、大羽根部４４及び小羽根部４５の上端縁は環状プレート部４９の下面と連設されている。このため、大羽根部４４及び小羽根部４５は、環状プレート部４９の下面側から下方に突設された形状を有しており、大羽根部４４の上端縁と小羽根部４５の上端縁との間は、環状プレート部４９により閉塞されている。即ち、環状プレート部４９は、回転軸５１の軸方向における大羽根部４４及び小羽根部４５の上端縁において、大羽根部４４及び小羽根部４５との間を閉塞する閉塞部と呼ぶこともできる。
従って、羽根車４０は、回転軸５１の軸方向における大羽根部４４及び小羽根部４５の上端縁において、大羽根部４４及び小羽根部４５との間を閉塞する閉塞部を更に有しており、回転軸５１の軸方向における大羽根部４４及び小羽根部４５の下端縁においては、大羽根部４４と小羽根部４５との間は開放されていると表記することができる。 In addition, the impeller 40 has an annular plate portion 49 at the upper end in the thickness direction (axial direction), and the upper edges of the large blade portion 44 and the small blade portion 45 are provided continuously with the lower surface of the annular plate portion 49 ing. Therefore, the large blade portion 44 and the small blade portion 45 have a shape protruding downward from the lower surface side of the annular plate portion 49, and the upper end edge of the large blade portion 44 and the upper end edge of the small blade portion 45 And between them is closed by an annular plate portion 49. That is, the annular plate portion 49 may also be referred to as a closed portion that closes the space between the large blade 44 and the small blade 45 at the upper end edge of the large blade 44 and the small blade 45 in the axial direction of the rotation shaft 51 it can.
Therefore, the impeller 40 further includes a closing portion that closes the space between the large blade 44 and the small blade 45 at the upper end edge of the large blade 44 and the small blade 45 in the axial direction of the rotation shaft 51 In the lower end edges of the large blade portion 44 and the small blade portion 45 in the axial direction of the rotation shaft 51, it can be described that the space between the large blade portion 44 and the small blade portion 45 is open.

このように、羽根車４０の軸方向の上端縁側において閉塞部（環状プレート部４９）を設けることで、流体の流れを逃がすことなく流体を大羽根部４４及び小羽根部４５で確実に捉えて羽根車４０を安定的に回転させることができる。更に言えば、上端縁側のみに閉塞部を設けて、下端縁側を開放することで、流体を下方側に留めることができるため、収容室２０１内の気泡を効率的に押し出すことができる。加えて、閉塞部を一方端縁側のみとすることで、部品点数を抑え、低コスト化にもつながる。   As described above, by providing the closed portion (annular plate portion 49) on the upper end side in the axial direction of the impeller 40, the large blade portion 44 and the small blade portion 45 reliably catch the fluid without releasing the flow of the fluid. The impeller 40 can be stably rotated. Further, by providing the closed portion only on the upper edge side and opening the lower edge side, the fluid can be held on the lower side, so that the air bubbles in the storage chamber 201 can be efficiently pushed out. In addition, by setting the closing portion only on the one end side, the number of parts can be reduced and cost reduction can be achieved.

環状プレート部４９の中央部（内環部）には、環状プレート部４９と同心の環形状を有し下方に窪んだ環状凹部４１が設けられている。そして、環状凹部４１の中央部（内環部）には環状プレート部４９の上面と略同一の高さまで上方に突設された円筒体が設けられており、その円筒体を上下方向に軸孔４２が貫通している。
当該環状凹部４１には、Ｎ極とＳ極とが周方向に交互に配置されたドーナツ型磁石（図示せず）が嵌入される。これにより、ドーナツ型磁石は、羽根車４０に固定され、羽根車４０と一体的に回転する。上述のホールＩＣ５３は、このドーナツ型磁石の回転に伴う磁界の変化を検知することで、羽根車４０の回転を検知することができる。 A central portion (inner ring portion) of the annular plate portion 49 is provided with an annular recess 41 having an annular shape concentric with the annular plate portion 49 and recessed downward. A cylindrical body is provided at a central portion (inner ring portion) of the annular recess 41 so as to protrude upward to substantially the same height as the upper surface of the annular plate portion 49. 42 are penetrating.
A toroidal magnet (not shown) in which N and S poles are alternately arranged in the circumferential direction is fitted into the annular recess 41. Thereby, the doughnut-shaped magnet is fixed to the impeller 40 and rotates integrally with the impeller 40. The above-described Hall IC 53 can detect the rotation of the impeller 40 by detecting the change in the magnetic field accompanying the rotation of the doughnut-shaped magnet.

上述の環状凹部４１の外形は、羽根車４０を下方側から目視した場合に、図４（ｂ）に示されるように、円柱体４３として視認される。言い換えれば、環状プレート部４９の中央部（内環部）には円柱体４３が下方に突設されている。その円柱体４３の下面は、軸孔４２から半径方向の外周までの長さの略半分を半径とする円状面となっており、その下面（円状面）の中心に軸孔４２が開孔されている。   The outer shape of the above-mentioned annular recess 41 is visually recognized as a cylindrical body 43, as shown in FIG. 4B, when the impeller 40 is viewed from the lower side. In other words, a cylindrical body 43 is provided to project downward at the central portion (inner ring portion) of the annular plate portion 49. The lower surface of the cylindrical body 43 is a circular surface whose radius is approximately half of the length from the axial hole 42 to the outer periphery in the radial direction, and the axial hole 42 opens at the center of the lower surface (circular surface). It is perforated.

この円柱体４３と各羽根部との関係は、次のようになっている。
小羽根部４５は、円柱体４３の側周面から羽根車４０の外周まで円弧状に延設されている。
また、円柱体４３の下面は、大羽根部４４及び小羽根部４５の各下端よりも上方に（環状プレート部４９の近くに）位置している。
そして、大羽根部４４は、軸孔４２付近から円柱体４３の下面の端縁までは、その下面から下方に突設された形となっており、その下面の端縁から羽根車４０の外周までは、小羽根部４５と同様に環状プレート部４９から下方に突設された形となっている。このように、大羽根部４４は、外周付近では小羽根部４５と同形状を有しながら、軸周辺では小羽根部４５よりも幅狭で円柱体４３から下方に延びる形状を有している。そして、大羽根部４４と小羽根部４５との下端面の位置は揃えられており同一平面に位置している。 The relationship between the cylindrical body 43 and each blade is as follows.
The small blade portion 45 extends in a circular arc shape from the side circumferential surface of the cylindrical body 43 to the outer periphery of the impeller 40.
The lower surface of the cylindrical body 43 is located above the lower ends of the large blade portion 44 and the small blade portion 45 (near the annular plate portion 49).
The large blade portion 44 projects downward from the lower surface of the lower surface of the cylindrical body 43 from the vicinity of the shaft hole 42, and the outer periphery of the impeller 40 from the edge of the lower surface Similarly to the small blade portion 45, the lower plate portion 49 is provided so as to protrude downward from the annular plate portion 49. As described above, the large blade portion 44 has the same shape as the small blade portion 45 in the vicinity of the outer periphery, and has a shape narrower than the small blade portion 45 and extending downward from the cylindrical body 43 around the axis. . The positions of the lower end faces of the large blade portion 44 and the small blade portion 45 are aligned and located in the same plane.

このような円柱体４３を設けることで、小羽根部４５が回転軸５１付近に設けられていなくとも、収容室２０１内の気泡が回転軸５１付近に滞留するのを防ぐことができる。
更に言えば、円柱体４３の下面より下方にも大羽根部４４を設けることで、回転軸５１周辺のその下面周辺にも流れを発生させ、その周辺に滞留しようとする気泡を追い出すことができる。 By providing such a cylindrical body 43, air bubbles in the storage chamber 201 can be prevented from staying in the vicinity of the rotation shaft 51 even if the small blade portion 45 is not provided in the vicinity of the rotation shaft 51.
Furthermore, by providing the large blade portion 44 also below the lower surface of the cylindrical body 43, it is possible to generate a flow also around the lower surface around the rotating shaft 51 and to expel air bubbles that are going to stay in the periphery .

本実施形態において羽根車４０の素材及び製造方法は何ら制限されない。例えば、羽根車４０は、プラスチックなどの合成樹脂や鉄やアルミなどの金属素材で成形されてもよい。
但し、低コスト化を実現するためには、ドーナツ型磁石を除き、羽根車４０は、樹脂により一体成形されることが望ましい。この場合、大羽根部４４、小羽根部４５、円柱体４３、環状プレート部４９などは一体成形される。
樹脂を用いることで羽根車４０の軽量化も実現できるため、微小流量にも適応可能となる。しかしながら、樹脂を用いる場合、羽根車４０の羽根部の薄さには制限がかかるため、羽根部の多集積化を共に実現するためには、本実施形態における羽根車４０の構造は一層効果的である。 In the present embodiment, the material and manufacturing method of the impeller 40 are not limited at all. For example, the impeller 40 may be formed of a synthetic resin such as plastic or a metal material such as iron or aluminum.
However, in order to realize cost reduction, it is desirable that the impeller 40 be integrally molded of resin except for the donut type magnet. In this case, the large blade portion 44, the small blade portion 45, the cylindrical body 43, the annular plate portion 49, and the like are integrally formed.
By using the resin, weight reduction of the impeller 40 can be realized, so that it is possible to adapt to a minute flow rate. However, when resin is used, the thinness of the blade portion of the impeller 40 is limited, so that the structure of the impeller 40 in this embodiment is more effective in order to realize the multiple integration of the blade portions together. It is.

＜流路の構造＞
以下、ケーシング１１内に形成されている流体流路の構造について図５及び図６を用いて説明する。図５は、第一実施形態に係る羽根車式流量センサ１０の下面を示す図であり、図６（ａ）は、図５のＡ−Ａ線の断面模式図であり、図６（ｂ）は、図５のＢ−Ｂ線の断面模式図であり、図６（ｃ）は、図５のＣ−Ｃ線の断面模式図である。なお、図６（ａ）では、分かり易くするために、羽根車４０及び回転軸５１が模式的に表されている。 <Structure of flow path>
Hereinafter, the structure of the fluid channel formed in the casing 11 will be described with reference to FIGS. 5 and 6. FIG. 5 is a view showing the lower surface of the impeller-type flow rate sensor 10 according to the first embodiment, and FIG. 6 (a) is a schematic sectional view taken along the line A-A of FIG. 5 is a schematic cross-sectional view taken along the line B-B in FIG. 5, and FIG. 6 (c) is a schematic cross-sectional view taken along the line C-C in FIG. In addition, in FIG. 6A, the impeller 40 and the rotation shaft 51 are schematically represented for easy understanding.

流量センサ１０（ケーシング１１）内に形成されている流体の流路には、大きく、流入口１３から収容室２０１まで連通する流入路２２０と、羽根車４０を回転自在に収容支持する収容室２０１と、収容室２０１から流出口１４まで連通する流出路２３０とが含まれる。
流入路２２０は、吐出口２２２を介して収容室２０１と連通している。
吐出口２２２は、収容室２０１の（下ケーシング部２０側の）側周面に設けられている。具体的には、吐出口２２２は、羽根車４０が収容室２０１に収容支持された状態における大羽根部４４及び小羽根部４５の幅方向（羽根車４０の軸方向）の中央付近に設けられている。これにより、吐出口２２２から吐出された流体で羽根車４０を効率よく回転させることができる。 The flow path of the fluid formed in the flow rate sensor 10 (casing 11) is largely divided into an inflow path 220 communicating from the inflow port 13 to the accommodation chamber 201, and an accommodation chamber 201 for accommodating and supporting the impeller 40 rotatably. And an outlet 230 communicating from the storage chamber 201 to the outlet 14.
The inflow path 220 communicates with the storage chamber 201 via the discharge port 222.
The discharge port 222 is provided on the side circumferential surface (on the lower casing portion 20 side) of the storage chamber 201. Specifically, the discharge port 222 is provided near the center of the large blade portion 44 and the small blade portion 45 in the width direction (axial direction of the impeller 40) in a state where the impeller 40 is housed and supported in the housing chamber 201. ing. Thereby, the impeller 40 can be efficiently rotated by the fluid discharged from the discharge port 222.

また、吐出口２２２の開口面積は、流入口１３の開口面積よりも小さくなっており、流入路２２０には、流入口１３から吐出口２２２へ向かって流路断面積が小さくなる流路縮小部２２１が設けられている。
このように、収容室２０１への流体の吐出口２２２の開口面積を流体の流入口１３の開口面積よりも小さくすることで、微小流量であっても収容室２０１への流体の吐出圧を維持できるため、安定的に羽根車４０を回転させることができる。また、脈動を持つ流体が検出対象とされても、吐出口２２２の開口面積を小さくすることで脈動を吸収し安定的に羽根車４０を回転させることができる。 Further, the opening area of the discharge port 222 is smaller than the opening area of the inflow port 13, and in the inflow path 220, a flow path reduction portion in which the flow passage cross-sectional area decreases from the inflow port 13 toward the discharge port 222 221 are provided.
As described above, by making the opening area of the discharge port 222 of the fluid into the storage chamber 201 smaller than the opening area of the fluid inlet 13, the discharge pressure of the fluid into the storage chamber 201 is maintained even with a minute flow rate. Since it is possible, the impeller 40 can be stably rotated. Further, even if a fluid having pulsation is to be detected, the pulsation can be absorbed and the impeller 40 can be stably rotated by reducing the opening area of the discharge port 222.

更に、吐出口２２２において急激に流路断面積を縮小させるのではなく、上述のような流路縮小部２２１を設けて流入路２２０の流路断面積を吐出口２２２へ向けて徐々に縮小することで、流入路２２０内及び流入側チューブ内の流体の圧力が上がり過ぎるのを防ぎ、ひいては、その流体を送り出すポンプの負荷の過度な上昇を抑制することができる。   Furthermore, instead of reducing the flow path cross-sectional area sharply at the discharge port 222, the flow path reduction area 221 as described above is provided to gradually reduce the flow path cross-sectional area of the inflow path 220 toward the discharge port 222. Thus, it is possible to prevent the pressure of the fluid in the inflow passage 220 and the inflow tube from rising excessively, which in turn can suppress an excessive rise in the load of the pump that delivers the fluid.

ここで、吐出口２２２の開口面積及び流路縮小部２２１の寸法は、流体の特性や検出対象となる流量などに応じて適宜決められることが好ましい。
具体的には、吐出口２２２の開口面積は、微小流量が検出対象とされる場合に小さくし、より大きい流量が検出対象とされる場合に大きくすることが望ましい。他方、流量に対して吐出口２２２の開口面積を小さくし過ぎると、流体の圧が上がり過ぎ、ポンプに過度の負荷がかかってしまう。ポンプの負荷は、流入路２２０における流路縮小部２２１の長さにも依存する。
また、脈動を持つ流体が対象となる場合には、脈動を吸収できるような吐出口２２２の開口面積及び流路縮小部２２１の長さが設定される必要がある。
このように、羽根車４０を安定的に回転させ得る吐出圧、ポンプの負荷、脈動の吸収といった点を考慮して、吐出口２２２の開口面積及び流路縮小部２２１の寸法が適宜決められればよい。 Here, it is preferable that the opening area of the discharge port 222 and the dimensions of the flow path reduction portion 221 be appropriately determined according to the characteristics of the fluid, the flow rate to be detected, and the like.
Specifically, it is desirable that the opening area of the discharge port 222 be smaller when the minute flow rate is to be detected, and be larger when a larger flow rate is to be detected. On the other hand, if the opening area of the discharge port 222 is made too small relative to the flow rate, the pressure of the fluid becomes too high, and the pump is overloaded. The load of the pump also depends on the length of the flow path contraction portion 221 in the inflow path 220.
Further, when a fluid having pulsation is to be processed, it is necessary to set the opening area of the discharge port 222 and the length of the flow path contraction portion 221 which can absorb the pulsation.
As described above, if the opening area of the discharge port 222 and the size of the flow path reduction portion 221 can be appropriately determined in consideration of the discharge pressure that can rotate the impeller 40 stably, the load of the pump, and absorption of pulsations. Good.

以下、吐出口２２２の開口面積及び流路縮小部２２１の寸法の一具体例を説明する。但し、それらが以下の具体例に限定されるわけではない。
５ｍｌ／ｍｉｎの微小流量を高精度に検出し得る流量センサ１０の具体例では、流入口１３の開口の直径が１ｍｍ（ミリメートル）、吐出口２２２の開口の直径が０．２ｍｍ、流入路２２０の長さが１６ｍｍ、流路縮小部２２１の長さが５ｍｍとされる。この具体例では、流路縮小部２２１により、５ｍｍの流路長で流路断面の直径が１ｍｍから０．２ｍｍへ縮小されている。もちろん、流路縮小部２２１は、流入口１３から吐出口２２２まで、即ち流入路２２０の全ての範囲に設けられてもよいし、上述の例よりも長く又は短くされてもよい。
ここで、流入路２２０における流路縮小部２２１の長さは長くなればなる程、金型の製作が難しくなるため、流路縮小部２２１の長さは製造コストを抑え得る範囲で可能な限り長く決定されることが好ましい。 Hereinafter, one specific example of the opening area of the discharge port 222 and the dimension of the flow path reduction portion 221 will be described. However, they are not limited to the following specific examples.
In the specific example of the flow rate sensor 10 capable of detecting a minute flow rate of 5 ml / min with high accuracy, the diameter of the opening of the inlet 13 is 1 mm (millimeter), the diameter of the opening of the outlet 222 is 0.2 mm, The length is 16 mm, and the length of the flow path contraction portion 221 is 5 mm. In this specific example, the diameter of the cross section of the flow path is reduced from 1 mm to 0.2 mm at a flow path length of 5 mm by the flow path reduction portion 221. Of course, the flow path contraction portion 221 may be provided from the inflow port 13 to the discharge port 222, that is, in the entire range of the inflow path 220, or may be longer or shorter than the above example.
Here, as the length of the flow path contraction portion 221 in the inflow path 220 becomes longer, the manufacture of the mold becomes difficult, so the length of the flow path contraction portion 221 is as possible as long as the manufacturing cost can be suppressed. It is preferable to be determined long.

上述のように流入口１３及び流入路２２０が収容室２０１に収容支持された状態の羽根車４０の各羽根部の幅内（羽根車４０の厚み（上下方向の長さ）内）の位置に配置されているのに対して、流出口１４及び流出路２３０は、収容室２０１に収容支持された状態の羽根車４０の軸方向の上端縁部よりも上方に設けられている。   As described above, at a position within the width (within the thickness (vertical length) of the impeller 40) of each blade of the impeller 40 in a state where the inlet 13 and the inflow path 220 are accommodated and supported in the accommodation chamber 201. In contrast to being disposed, the outflow port 14 and the outflow path 230 are provided above the upper end edge in the axial direction of the impeller 40 in a state of being accommodated and supported in the accommodation chamber 201.

収容室２０１は、羽根車４０の回転軸５１の下端部を軸支する底面２０３と、底面２０３と対向し羽根車４０の上方を覆う上面（天井面）と、羽根車４０の各羽根部の先端部の並びに沿って立設されている側周面とから形成されている。底面２０３は、下ケーシング部２０の凹部２５０に設けられており、上面（天井面）は、上ケーシング部３０の下面の凸部３５０に設けられており、側周面は、下ケーシング部２０の凹部２５０及び上ケーシング部３０の凸部３５０の組み合わせにより形成される。
また、収容室２０１の上面は、回転軸５１よりも流入路２２０側に位置する流入側上面２０５と、回転軸５１よりも流出路２３０側に位置する流出側上面２０６とから形成されており、流出側上面２０６は、流入側上面２０５よりも上方に配置されている。 The accommodation chamber 201 has a bottom surface 203 for supporting the lower end of the rotary shaft 51 of the impeller 40, an upper surface (ceiling surface) facing the bottom surface 203 and covering the upper side of the impeller 40, and each blade portion of the impeller 40. It forms from the side surrounding surface set up along the sequence of a front-end | tip part. The bottom surface 203 is provided in the concave portion 250 of the lower casing portion 20, the upper surface (the ceiling surface) is provided in the convex portion 350 of the lower surface of the upper casing portion 30, and the side circumferential surface is the surface of the lower casing portion 20. It is formed by the combination of the concave portion 250 and the convex portion 350 of the upper casing portion 30.
Further, the upper surface of the storage chamber 201 is formed by an inflow side upper surface 205 located closer to the inflow path 220 than the rotation shaft 51 and an outflow side upper surface 206 located closer to the outflow path 230 than the rotation shaft 51. The outflow side upper surface 206 is disposed above the inflow side upper surface 205.

羽根車４０の収容室２０１に気泡が残ると、羽根車４０の回転ムラが生じるため、流量センサ１０内に流体を流入させた後は、速やかに気泡を流量センサ１０外に追い出す必要がある。一方で、気泡は容積の大きい収容室２０１内に留まり易いところ、収容室２０１内で気泡が上昇し、気泡の下に流体の流れが出来てしまうと、押し出せず気泡が収容室２０１内に滞留してしまう。
そこで、上述のように、流出口１４及び流出路２３０を収容室２０１に収容支持された状態の羽根車４０の軸方向の上端縁部よりも上方に設けることで、気泡の下に流体の流れが出来難くすることができる。 If air bubbles remain in the storage chamber 201 of the impeller 40, uneven rotation of the impeller 40 occurs. Therefore, after the fluid is made to flow into the flow rate sensor 10, the air bubbles need to be expelled out of the flow rate sensor 10 promptly. On the other hand, when bubbles tend to stay in the storage chamber 201 having a large volume, the bubbles rise in the storage chamber 201, and if fluid flows under the bubbles, they are not pushed out and the bubbles are stored in the storage chamber 201. It will stay.
Therefore, as described above, by providing the outflow port 14 and the outflow path 230 above the upper end edge in the axial direction of the impeller 40 in a state of being accommodated and supported in the accommodation chamber 201, the fluid flow under the bubbles. Can be difficult.

更に、羽根車４０の回転軸５１周辺は流速が低くなるため気泡が留まり易い。そこで、上述のように、収容室２０１の流入側上面２０５を下方に流出側上面２０６を上方に配置し、羽根車４０と収容室２０１の上面との間隙を流入側で狭く流出側で広くすることで、回転軸５１周辺に滞留しようとする気泡を流出側へ追いやると共に、流出路２３０へ押し出し易くすることができる。
このように本実施形態によれば、流量センサ１０内の気泡を確実に抜くことができ、羽根車４０の回転ムラを低減させ、羽根車４０を安定的に回転させることができる。 Furthermore, since the flow velocity is low around the rotating shaft 51 of the impeller 40, air bubbles are likely to be retained. Therefore, as described above, the inflow side upper surface 205 of the accommodation chamber 201 is disposed downward and the outflow side upper surface 206 is upwardly, and the gap between the impeller 40 and the upper surface of the accommodation chamber 201 is narrow on the inflow side and wide on the outflow side. Thus, the air bubbles that are to be accumulated around the rotation shaft 51 can be pushed to the outflow side and can be easily pushed out to the outflow passage 230.
As described above, according to the present embodiment, the air bubbles in the flow rate sensor 10 can be reliably extracted, the rotation unevenness of the impeller 40 can be reduced, and the impeller 40 can be stably rotated.

また、収容室２０１の流出側上面２０６は、回転軸５１から流出路２３０に向かう方向に、上凸の円弧状に高くなる上面上昇部２０７を含んでいる。但し、上面上昇部２０７は、回転軸５１から流出路２３０に向かう方向に傾斜状に高くなる形状を有していてもよいし、下凸の円弧状に高くなる形状を有していてもよい。
これにより、羽根車４０の回転軸５１周辺に留まり易い気泡を確実に押し出すことができる。 Further, the outflow side upper surface 206 of the storage chamber 201 includes an upper surface rising portion 207 which is raised in a convex arc shape in the direction from the rotation shaft 51 toward the outflow passage 230. However, the upper surface rising portion 207 may have a shape inclining in a direction toward the outflow passage 230 from the rotation shaft 51, or may have a shape in which it increases in a downward convex arc shape. .
Thus, air bubbles that easily stay around the rotation shaft 51 of the impeller 40 can be reliably pushed out.

流出路２３０は、収容室２０１からの流体の出口２３２から流出口１４まで連通する流路であり、下ケーシング部２０の凹部２５０と上ケーシング部３０の凸部３５０との組み合わせにより形成される。
そして、出口２３２の開口面積が流出口１４の開口面積よりも大きくなっている。より具体的には、出口２３２の開口は横長の長方形状に形成されており、流出口１４の開口は、出口２３２の開口形状である長方形の短辺を直径とする円形状に形成されている。このため、流出路２３０の流路断面積は、出口２３２から流出口１４に向かって徐々に縮小されている。
これにより、収容室２０１内の気泡及び流体をスムーズに流出路２３０へ送り出すことができる。 The outflow path 230 is a flow path communicating from the outlet 232 of the fluid from the storage chamber 201 to the outflow port 14, and is formed by a combination of the recess 250 of the lower casing 20 and the projection 350 of the upper casing 30.
The opening area of the outlet 232 is larger than the opening area of the outlet 14. More specifically, the opening of the outlet 232 is formed in a horizontally long rectangular shape, and the opening of the outlet 14 is formed in a circular shape whose diameter is the short side of the rectangle which is the opening shape of the outlet 232 . For this reason, the flow passage cross-sectional area of the outflow passage 230 is gradually reduced from the outlet 232 toward the outlet 14.
Thereby, the air bubbles and the fluid in the storage chamber 201 can be smoothly delivered to the outflow path 230.

上述したとおり、本実施形態に係る流量センサ１０によれば、微小流量かつ脈動を持つ流体を対象とする場合であっても、回転ムラを低減し、羽根車４０を効率よく安定的に回転させることができる。
そして、流量と羽根車４０の回転とは比例関係にあるため、羽根車４０を回転ムラなく安定的に回転させることは、流量を高精度に検出することに繋がる。
即ち、本実施形態によれば、微小流量かつ脈動を持つ流体を対象とする場合であっても、高精度に流量を検出することができる。 As described above, according to the flow rate sensor 10 according to the present embodiment, even in the case where a fluid with a minute flow rate and pulsation is targeted, rotational unevenness is reduced and the impeller 40 is efficiently and stably rotated. be able to.
Since the flow rate and the rotation of the impeller 40 are in a proportional relationship, stably rotating the impeller 40 without uneven rotation leads to detecting the flow rate with high accuracy.
That is, according to the present embodiment, even when the fluid having a minute flow rate and pulsation is targeted, the flow rate can be detected with high accuracy.

［第二実施形態］
以下、第二実施形態に係る流量制御システム（以降、本システムと略称する場合もある）１について図７を用いて説明する。図７は、第二実施形態に係る流量制御システム１の構成を概念的に示す図である。
本システム１は、図７に示されるように、チューブポンプ２と、チューブポンプ２を駆動させるモータ４と、モータ４を制御する制御回路７と、第一実施形態に係る流量センサ１０とを有している。但し、図７には、代表的な構成要素のみを示しているため、本システム１は、図７に示されていない構成要素を更に有していてもよい。 Second Embodiment
Hereinafter, a flow rate control system (hereinafter sometimes referred to as the present system) 1 according to the second embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 7: is a figure which shows notionally the structure of the flow control system 1 which concerns on 2nd embodiment.
As shown in FIG. 7, the present system 1 has a tube pump 2, a motor 4 for driving the tube pump 2, a control circuit 7 for controlling the motor 4, and a flow rate sensor 10 according to the first embodiment. doing. However, since only representative components are shown in FIG. 7, the system 1 may further include components not shown in FIG. 7.

チューブポンプ２は、流体を所望の流量（瞬時流量）で流路に送り出す装置である。チューブポンプ２が設けられている流路は、循環流路であってもよいし、非循環流路であってもよい。
チューブポンプ２は、偏芯ロータを回転させて、弾力性のあるチューブを順次圧迫することでチューブ内の流体を押し出し、一方で、圧迫されていない部分のチューブが開放されてチューブ内に流体を吸引するという仕組みで動作する。このため、チューブポンプ２により送り出される流体には脈動が生じ得る。 The tube pump 2 is a device for delivering a fluid to a flow path at a desired flow rate (instantaneous flow rate). The flow channel provided with the tube pump 2 may be a circulation flow channel or a non-circulation flow channel.
The tube pump 2 rotates the eccentric rotor and sequentially presses the elastic tube to push out the fluid in the tube, while the tube in the non-pressed portion is released to flow the fluid in the tube. Operates with a mechanism of suction. Therefore, pulsation may occur in the fluid delivered by the tube pump 2.

本実施形態では、微小流量に対応する小型のチューブポンプ２が採用される。このようなチューブポンプ２が採用されたとしても、本システム１によれば、微小流量を安定供給することができる。例えば、チューブの外径が大よそ１ｍｍから３ｍｍ、吐出流量が大よそ２ｍｌ／ｍｉｎから１００ｍｌ／ｍｉｎ、吐出圧力が１００ｋＰａの性能を備えたチューブポンプ２が利用される。但し、本システム１で利用可能なチューブポンプ２は、このような小型チューブポンプのみに制限されるわけではなく、より大きい流量に対応するチューブポンプであってもよい。   In the present embodiment, a small tube pump 2 corresponding to a minute flow rate is employed. Even if such a tube pump 2 is adopted, according to the present system 1, a minute flow rate can be stably supplied. For example, a tube pump 2 is used which has an outer diameter of about 1 mm to 3 mm, a discharge flow rate of about 2 ml / min to 100 ml / min, and a discharge pressure of 100 kPa. However, the tube pump 2 available in the present system 1 is not limited to only such a small tube pump, and may be a tube pump that can handle a larger flow rate.

モータ４は、チューブポンプ２の偏芯ロータを回転駆動させる駆動手段である。本実施形態では、モータ４の具体的態様は制限されない。
流量センサ１０は、チューブポンプ２から送り出された流体を受け入れ可能な位置に配置され、チューブポンプ２から送り出された流体を流入側チューブから受け入れ、流出側チューブから送出する。流量センサ１０は、第一実施形態で述べた構造により羽根車４０の回転を検知し、検知された回転に関する検知信号を制御回路７に送る。第一実施形態で述べたとおり、その検知信号の具体的態様は制限されない。例えば、Ｓ極若しくはＮ極のいずれか一方の接近によりＯＮとなり他方の接近によりＯＦＦとなるデジタル信号が検知信号として制御回路７に送られる。 The motor 4 is a drive means for rotationally driving the eccentric rotor of the tube pump 2. In the present embodiment, the specific aspect of the motor 4 is not limited.
The flow rate sensor 10 is disposed at a position where the fluid pumped from the tube pump 2 can be received, receives the fluid pumped from the tube pump 2 from the inflow tube, and delivers it from the outflow tube. The flow rate sensor 10 detects the rotation of the impeller 40 according to the structure described in the first embodiment, and sends a detection signal regarding the detected rotation to the control circuit 7. As described in the first embodiment, the specific aspect of the detection signal is not limited. For example, a digital signal which is turned on by the approach of either the S pole or the N pole and turned off by the approach of the other is sent to the control circuit 7 as a detection signal.

制御回路７は、流量センサ１０からの検知信号によりモータ４を制御する。
チューブポンプ２は、動作原理上、チューブに対して圧迫と開放とを繰り返すため、使用時間に伴いチューブの復元力が低下し同一の回転速度であっても出力される流量が減少する傾向にある。なお、この傾向は、或る一定流量まで減少すると緩やかになり、出力流量も安定してくる。
そこで、本実施形態では、流量センサ１０からの検知信号をチューブポンプ２側へフィードバックすることで、安定流量が維持されるように流量制御を行う。
具体的には、制御回路７は、流量センサ１０からの検知信号に基づいて流量を推定し、その流量が所望の流量となるようにモータ４の回転速度を調整する。
ここで流量センサ１０からの検知信号に基づいて推定される流量は、単位時間あたりの流量であってもよいし、時間次元を除いた瞬時流量であってもよい。 The control circuit 7 controls the motor 4 in accordance with a detection signal from the flow rate sensor 10.
Since the tube pump 2 repeats compression and release with respect to the tube in principle of operation, the restoring force of the tube decreases with time of use, and the output flow rate tends to decrease even at the same rotational speed . Note that this tendency becomes gradual when the flow rate decreases to a certain level, and the output flow rate also becomes stable.
Therefore, in the present embodiment, flow control is performed so as to maintain a stable flow rate by feeding back a detection signal from the flow rate sensor 10 to the tube pump 2 side.
Specifically, the control circuit 7 estimates the flow rate based on the detection signal from the flow rate sensor 10, and adjusts the rotational speed of the motor 4 so that the flow rate becomes a desired flow rate.
Here, the flow rate estimated based on the detection signal from the flow rate sensor 10 may be a flow rate per unit time or may be an instantaneous flow rate excluding a time dimension.

例えば、制御回路７は、羽根車４０の回転速度と流量との相関式を予め保持しておき、流量センサ１０からの検知信号から算出される羽根車４０の回転速度をその相関式に適用することで、流量を推定することができる。また、制御回路７は、流量センサ１０からの検知信号に基づいて、単位時間あたりのパルス数（ＯＮ状態となる数）をカウントし、このパルス数に１パルスあたりの流量を掛け合わせた値を当該単位時間で除算することで、瞬時流量を推定することもできる。
制御回路７は、保持されている所望の流量とその推定された流量との差分を算出し、その差分に応じてモータ４の回転速度を調整することができる。
但し、制御回路７による具体的な制御手法についてはこのような例に限定されない。制御回路７は、流量への変換を行うことなく、羽根車４０の回転速度を用いてモータ４の駆動を調整してもよい。この場合、例えば、制御回路７は、所望の流量に対応する羽根車４０の回転速度が所望の回転速度として保持しておき、検知信号から算出された回転速度がその所望の回転速度となるように、モータ４を制御することもできる。 For example, the control circuit 7 holds in advance the correlation equation between the rotational speed of the impeller 40 and the flow rate, and applies the rotational speed of the impeller 40 calculated from the detection signal from the flow rate sensor 10 to the correlation equation. Flow rate can be estimated. Further, the control circuit 7 counts the number of pulses per unit time (the number to be turned ON) based on the detection signal from the flow rate sensor 10, and multiplies the number of pulses by the flow rate per pulse as a value. The instantaneous flow rate can also be estimated by dividing by the unit time.
The control circuit 7 can calculate the difference between the held desired flow rate and the estimated flow rate, and adjust the rotational speed of the motor 4 according to the difference.
However, the specific control method by the control circuit 7 is not limited to such an example. The control circuit 7 may adjust the drive of the motor 4 using the rotational speed of the impeller 40 without converting it into the flow rate. In this case, for example, the control circuit 7 holds the rotational speed of the impeller 40 corresponding to the desired flow rate as the desired rotational speed, and the rotational speed calculated from the detection signal becomes the desired rotational speed. The motor 4 can also be controlled.

制御回路７は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）やＭＰＵ（Micro Processing Unit）のようなプロセッサ（情報処理装置）やメモリを備えており、メモリに格納されるプログラムがプロセッサで実行されることで、上述のような処理を行うことができる。この場合、上述の相関式などはプログラムとして記載されてもよい。
また、制御回路７は、上述のような処理を実行可能なＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）として実現されてもよい。制御回路７の具体的実現手法は何ら制限されない。
上述の所望の流量は、ロータリースイッチのようなハードウェアスイッチにより設定されてもよいし、タッチパネルのようなユーザインタフェース装置を介してユーザ操作により入力されてもよい。ハードウェアスイッチやユーザインタフェース装置は、例えば、制御回路７に接続することができる。 The control circuit 7 includes a processor (an information processing apparatus) such as a central processing unit (CPU) or a micro processing unit (MPU) and a memory, and the program stored in the memory is executed by the processor. Processing can be performed. In this case, the above-mentioned correlation equation may be described as a program.
In addition, the control circuit 7 may be realized as an FPGA (Field Programmable Gate Array) capable of executing the above-described processing. The specific implementation method of the control circuit 7 is not limited at all.
The desired flow rate described above may be set by a hardware switch such as a rotary switch, or may be input by a user operation via a user interface device such as a touch panel. A hardware switch or user interface device can be connected to the control circuit 7, for example.

このように、第二実施形態では、チューブポンプ２から送り出された流体を受け入れ可能な位置に配置された流量センサ１０から出力される検知信号に基づいて、所望の流量が維持されるようにチューブポンプ２のモータ４（駆動手段）が制御される。
また、第二実施形態で利用される流量センサ１０は、第一実施形態で述べたとおり、脈動を持つ流体の微小流量であっても高精度に流量を検出し得る。
従って、第二実施形態によれば、脈動を生じさせかつ微小流量に対応するチューブポンプ２が利用されるシステムにおいても、長く安定した流量を維持することができる。 Thus, in the second embodiment, the tube is maintained such that the desired flow rate is maintained based on the detection signal output from the flow rate sensor 10 disposed at a position capable of receiving the fluid pumped from the tube pump 2 The motor 4 (drive means) of the pump 2 is controlled.
Further, as described in the first embodiment, the flow sensor 10 used in the second embodiment can detect the flow with high accuracy even if the minute flow of the fluid having pulsation.
Therefore, according to the second embodiment, it is possible to maintain a long and stable flow rate even in a system in which the tube pump 2 that generates pulsation and corresponds to a minute flow rate is used.

［補足］
第一実施形態の説明では、羽根車４０の軸方向が鉛直方向となる流量センサ１０の好ましい一使用態様に従って、上下方向が示されたが、流量センサ１０の使用態様は、そのような使用態様に限定されるわけではない。即ち、当該流量センサ１０は、羽根車４０の軸方向が鉛直方向とずれた態様でも使用可能である。但し、気泡を効率よく抜くことに鑑みれば、流出口１４が流入口１３よりも鉛直方向の上方に位置するような使用態様であることが好ましい。 [Supplement]
In the description of the first embodiment, the vertical direction is indicated according to a preferred mode of use of the flow sensor 10 in which the axial direction of the impeller 40 is vertical, but the mode of use of the flow sensor 10 is such a mode of use It is not necessarily limited to That is, the flow rate sensor 10 can be used even in a mode in which the axial direction of the impeller 40 is shifted from the vertical direction. However, in view of efficiently removing the air bubbles, it is preferable that the use form is such that the outflow port 14 is positioned above the inflow port 13 in the vertical direction.

また、第二実施形態では、チューブポンプ２が利用されるシステムに第一実施形態に係る流量センサ１０が利用されたが、流量センサ１０を利用可能なシステムは第二実施形態に係るシステムのみに制限されないことは言うまでもない。流量センサ１０は、ダイヤフラムポンプが利用されるシステムに利用されてもよいし、脈動を生じさせないポンプが利用されるシステムやより大きい流量のシステムに利用されてもよい。
更に言えば、第二実施形態に係る流量制御システムにおいて、チューブポンプ２に代えて、ダイヤフラムポンプや脈動を生じさせないポンプなど他種のポンプが利用されてもよい。 Moreover, in 2nd embodiment, although the flow sensor 10 which concerns on 1st embodiment was utilized for the system by which the tube pump 2 is utilized, the system which can utilize the flow sensor 10 is only the system which concerns on 2nd embodiment. It goes without saying that it is not limited. The flow rate sensor 10 may be used in a system in which a diaphragm pump is used, or in a system in which a non-pulsating pump is used or a system with a larger flow rate.
Furthermore, in the flow control system according to the second embodiment, other types of pumps such as a diaphragm pump and a pump that does not generate pulsation may be used instead of the tube pump 2.

１ 流量制御システム、２ チューブポンプ、４ モータ、７ 制御回路、１０ 流量センサ、１１ ケーシング、１２ａ チューブ連結部、１２ｂ チューブ連結部、１３ 流入口、１４ 流出口、１８ シール部材、２０ 下ケーシング部、３０ 上ケーシング部、４０ 羽根車、４１ 環状凹部、４２ 軸孔、４３ 円柱体、４４ 大羽根部、４５ 小羽根部、４９ 環状プレート部、５１ 回転軸、５３ ホールＩＣ、２０１ 収容室、２０３ 底面、２０５ 流入側上面、２０６ 流出側上面、２０７ 上面上昇部、２２０ 流入路、２２１ 流路縮小部、２２２ 吐出口、２３０ 流出路、２３２ 出口、２５０ 凹部、３５０ 凸部、３５２ シール溝
Reference Signs List 1 flow control system, 2 tube pumps, 4 motors, 7 control circuits, 10 flow sensors, 11 casings, 12 casings, 12a tubes, 12b tubes, 13 inlets, 14 outlets, 18 sealing members, 20 lower casings, Reference Signs List 30 upper casing portion, 40 impeller, 41 annular recessed portion, 42 axial hole, 43 cylindrical body, 44 large blade portion, 45 small blade portion, 49 annular plate portion, 51 rotation shaft, 53 hole IC, 201 accommodation chamber, 203 bottom surface , 205 inflow side upper surface, 206 outflow side upper surface, 207 upper surface rising portion, 220 inflow path, 221 flow path contraction portion, 222 discharge port, 230 outflow path, 232 outlet, 250 concave portion, 350 convex portion, 352 seal groove

Claims (6)

羽根車と、
前記羽根車を回転自在に収容支持する収容室と、
流入口から前記収容室まで連通する流体の流入路と、
前記収容室から流出口まで連通する流体の流出路と、
を備え、
前記流入路における前記収容室への吐出口の開口面積が前記流入口の開口面積よりも小さく、
前記流入路は、前記流入口から前記吐出口へ向かって流路断面積が小さくなる流路縮小部を含む、
ことを特徴とする羽根車式流量センサ。 With the impeller,
A storage chamber rotatably housing and supporting the impeller;
A fluid inflow path communicating from the inflow port to the storage chamber;
An outlet for fluid communication from the storage chamber to the outlet;
Equipped with
The opening area of the discharge port to the storage chamber in the inflow path is smaller than the opening area of the inflow port,
The inflow path includes a flow path reduction portion in which a flow path cross-sectional area decreases from the inflow port to the discharge port.
Impeller-type flow sensor characterized by 前記流出口は、前記羽根車の回転軸の軸方向における前記羽根車の上端縁部よりも上方に設けられており、
前記収容室は、前記羽根車の回転軸の下端部を軸支する底面と、該底面と対向し前記羽根車の上方を覆う上面とを含み、
前記収容室の前記上面は、前記回転軸よりも前記流入路側に位置する第一上面部と、前記回転軸より前記流出路側に位置する第二上面部とを含み、
前記第二上面部は、前記第一上面部よりも上方に位置する、
ことを特徴とする請求項１に記載の羽根車式流量センサ。 The outlet is provided above the upper end edge of the impeller in the axial direction of the rotation shaft of the impeller,
The storage chamber includes a bottom surface pivotally supporting a lower end portion of the rotating shaft of the impeller, and an upper surface facing the bottom surface and covering the upper side of the impeller.
The upper surface of the storage chamber includes a first upper surface portion located closer to the inflow path than the rotational shaft, and a second upper surface portion located closer to the outflow path than the rotational shaft.
The second upper surface portion is located above the first upper surface portion.
The impeller-type flow sensor according to claim 1, characterized in that: 前記第二上面部は、前記回転軸から前記流出路に向う方向に傾斜状又は円弧状に高くなる上面上昇部を含む、
ことを特徴とする請求項２に記載の羽根車式流量センサ。 The second upper surface portion includes an upper surface rising portion which is inclined or arced in a direction from the rotation axis toward the outflow passage.
The impeller-type flow sensor according to claim 2, characterized in that: 前記羽根車は、接線流式で回転するように支持されており、前記羽根車の回転軸付近から半径方向の外周まで円弧状に延びる大羽根部と、該大羽根部よりも短く該外周まで円弧状に延びる小羽根部とを含み、
前記大羽根部と前記小羽根部とが前記羽根車の周方向に交互に並設されている、
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の羽根車式流量センサ。 The impeller is supported so as to rotate in a tangential flow system, and includes a large blade portion extending in an arc shape from around the rotation shaft of the impeller to the outer periphery in the radial direction, and to the outer periphery shorter than the large blade portion And arc-shaped small wings.
The large blade portion and the small blade portion are alternately arranged in the circumferential direction of the impeller.
The impeller-type flow sensor according to any one of claims 1 to 3, characterized in that: 前記羽根車は、前記回転軸の軸方向における前記大羽根部及び前記小羽根部の上端縁において、前記大羽根部と前記小羽根部との間を閉塞する閉塞部を更に含み、
前記回転軸の軸方向における前記大羽根部及び前記小羽根部の下端縁において、前記大羽根部と前記小羽根部との間は開放されている、
ことを特徴とする請求項４に記載の羽根車式流量センサ。 The impeller further includes a closed portion closing between the large blade and the small blade at an upper end edge of the large blade and the small blade in the axial direction of the rotation shaft,
Between the large blade and the small blade are open at the lower edge of the large blade and the small blade in the axial direction of the rotation shaft.
The impeller-type flow sensor according to claim 4, characterized in that: 請求項１から５のいずれか一項に記載の羽根車式流量センサと、
前記羽根車式流量センサに流入する流体を送り出すチューブポンプと、
前記羽根車式流量センサからの検出信号により前記チューブポンプの駆動手段を制御する制御手段と、
を備える流量制御システム。
An impeller-type flow sensor according to any one of claims 1 to 5,
A tube pump for delivering fluid flowing into the impeller flow rate sensor;
Control means for controlling the drive means of the tube pump according to a detection signal from the impeller flow rate sensor;
Flow control system comprising:
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