JP2019113389A - ガス検出器及びガス濃度測定装置 - Google Patents
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Description
電気化学式の検出器は検出対象の微量ガスと電解質とが物理的に接触し、微量ガスと電解質との間で分子交換が起きる際の電気的変化を検出している。
なお、特許文献1に記載のガスセンサにおいても、ガスを試薬に吸着させ、ナノワイヤを加熱して、ワイヤに吸着したガスを放出するまでの時間によって応答時間が主に決定される。そのため、特許文献1に記載のガスセンサでも応答時間を短縮できない。
[1] 第1の光の光源と、前記第1の光が透過する基板と、前記基板と接する発光性物質の層と、前記基板と前記発光性物質の層とを収容する素子室と、前記発光性物質の層で発生する第2の光を検出する光検出手段と、試料ガスが前記発光性物質の層の少なくとも一部と接触しながら流れる流路と、を備え、前記素子室と前記流路とが前記基板によって隔離されている、ガス検出器。
[2] 前記第2の光が前記第1の光によって励起された前記発光性物質の蛍光である、[1]のガス検出器。
[3] [1]又は[2]のガス検出器と、前記第2の光の強度を測定する測定手段と、を備える、ガス濃度測定装置。
まず、本発明を適用した一実施形態であるガス検出器1の構成について説明する。ガス検出器1は検出対象である試料ガスに含まれる微量ガスを検出する器機である。
第1の光Iの波長及び強度は、後述する発光性物質の性質に応じて適宜設定できる。
基板3の材質は、第1の光Iが透過できる形態であれば特に限定されない。基板3の材質の具体例としては石英ガラス、テンパックスガラス、アクリル樹脂、ポリテトラフルオロエチレン等のフッ素樹脂が例示される。
基板3の厚さは特に限定されないが、例えば5〜20mmとすることができる。
発光性物質の層4の厚さは特に限定されないが、例えば5〜10μmとすることができる。
発光性物質は検出対象である微量ガスとの組み合わせで下記の化合物から選択される。
発光性物質としては、微量ガスの濃度又は分圧の変化によって、蛍光強度等の発光特性が変化する化合物を選択することが好ましい。これにより、試料ガス中の微量ガスの濃度変化をさらに素早く検出できる。
光検出手段6の具体例としては、分光器、フォトダイオード、光電子増倍管(PMT)が例示される。
光検出手段6の市販品としては、オーシャンオプティクス社製の次世代ファイバマルチチャンネル分光器(製品名「Flame−S」)、浜松ホトニクス製のSiフォトダイオード(製品名「S1087」)、浜松ホトニクス製の光電子増倍管(製品名「R331」)が例示される。
ただし、光検出手段6は発光性物質の性質に応じて適宜選択できる。
流路7は、試料ガスに含まれる微量ガス以外のガス成分を除去するフィルター等の分離手段を備えてもよい。これにより、微量ガスの検出感度及び検出精度がさらに向上する。
収容体8の材質としては、樹脂材料及び金属材料等の気密性の材料で構成することが好ましい。樹脂材料としては、エポキシ樹脂、ABS樹脂、PPA樹脂が例示される。金属材料としては、アルミニウム、銅等の金属、ステンレス、マグネシウム合金等の合金が例示される。
収容体8はスリット部材10を有している。これにより光路L1内の第1の光Iの位相が一定に保たれる。
素子Eの作製においては、スピンコーティング法を適用できる。例えば、発光性物質を溶媒に溶かして塗工液とし、基板3に塗布することにより、素子Eを作製できる。
作製した素子Eは例えば下記の方法で収容体8内に載置できる。
まず密閉部材9を配置するための溝と、流路7とが形成された第1の収容体と、素子室5が形成された第2の収容体とを予め作製する。次に、密閉部材9を前記溝に配置し、流路7内を流れるガスが発光性物質の層4の少なくとも一部と接触するように、すなわち発光性物質の層4が下を向くように、素子Eを第1の収容体の上側に載置する。次に、基板3によって流路7と素子室5とが隔離されるように、第2の収容体を第1の収容体の上側から接合し、素子Eを素子室5内に封止する。
その後、光源2と光検出手段6とを収容体8の周囲に配置する。
まず光源2から素子Eに向けて第1の光Iを照射する。第1の光Iは基板3を透過し、発光性物質の層4内で、第2の光Rを発生させる。この第2の光Rが光路L2を経由して光検出手段6で検出されることを予め確認する。
以上説明したガス検出器1は、発光性物質の層4を備えるため、発光性物質の層4と微量ガスとの接触による第2の光の変化を即座に検出できる。そのため、ガス検出器1は試料ガスに含まれる微量ガスを即座に検出できる。
さらに、ガス検出器1にあっては、素子室5と流路7とが基板3によって隔離されているため、大気中の成分が素子室5を経由して流路7に混入しにくく、発光性物質の層4と微量ガスとの接触効率を高めることができる。その結果、ガス検出器1によれば、微量ガスを高精度に検出できる。
次に、本実施形態のガス濃度測定装置について説明する。本実施形態のガス濃度測定装置は、上述した本実施形態のガス検出器1と、第2の光Rの強度を測定する測定手段と、を備える。
以上説明した本実施形態のガス濃度測定装置は、ガス検出器1を備えるため、試料ガスに含まれる微量ガスを検出する際の応答時間が短い。さらに、第2の光Rの強度を測定できるため、即座に微量ガスの濃度を測定できる。よって、製造プラント設備の運転管理分析又は製品ガスの品質管理、分析等を行う際に、微量ガスの濃度を即座に検知できるため、製品ガスの純度のわずかな低下でも見逃しにくくなる。
以下、実施例によって本発明を具体的に説明するが、本発明は以下の記載によっては限定されない。
スピンコーティング法を用いて素子を作製した。
まず、発光性物質として下式(1)で表される化合物であるイリジウム系蛍光錯体(ビス(2−フェニルキノリン)(アセチルアセトネート)イリジウム(III))をアセトンに溶解し、塗工液を調製した。調製した塗工液を5mm厚の石英ガラスの基板(10mm×10mm角)に滴下してスピンコーティング法によって石英ガス基板上に厚さ5μmの薄膜層を積層した。その後、薄膜層に残存するアセトン溶媒を自然乾燥により蒸発乾固させ、素子E1を作製した。
ABS樹脂を用いて第1の収容体と第2の収容体とを作製した。第1の収容体に形成された流路7内を流れるガスが発光性物質の層4の少なくとも一部と接触するように素子E1を第1の収容体の上側に載置し、O−リングを溝に配置した。次に、基板3によって流路7と素子室5とが隔離されるように、第2の収容体を第1の収容体の上側から接合し、素子E1を素子室5内に封止した。これにより、石英ガラスの基板3によって流路7と素子室5とを隔離した。その後、光源2と光検出手段6とを収容体8の周囲に配置した。光源2として浜松ホトニクス社製の重水素ランプ光源(製品名「L−10290」)を使用した。光検出手段6としてオーシャンオプティクス社製の次世代ファイバマルチチャンネル分光器(製品名「Flame−S」)を使用した。
酸素ガス濃度がそれぞれ10%、20%、30%、40%、50%である試料ガスについて、光検出特性を計測した。図2は光検出手段6にて検出したビス(2−フェニルキノリン)(アセチルアセトネート)イリジウム(III)の層で発生した蛍光の強度の時間変化を示すグラフである。本評価においては、前記の酸素濃度を一定時間ごとに変化させ、その蛍光強度の減少量をプロットしている。
試料ガス中の酸素濃度が低いと、ビス(2−フェニルキノリン)(アセチルアセトネート)イリジウム(III)の層で発生する蛍光の強度が減少する。そこで低濃度下の応答の評価では可視性を高めるため、蛍光強度の逆数をプロットすることで、酸素応答に対して正方向にセンサ電圧が応答するようにデータ処理を行った。データ処理後のグラフを図3に示す。
Claims (3)
- 第1の光の光源と、
前記第1の光が透過する基板と、
前記基板と接する発光性物質の層と、
前記基板と前記発光性物質の層とを収容する素子室と、
前記発光性物質の層で発生する第2の光を検出する光検出手段と、
試料ガスが前記発光性物質の層の少なくとも一部と接触しながら流れる流路と、
を備え、
前記素子室と前記流路とが前記基板によって隔離されている、ガス検出器。 - 前記第2の光が前記第1の光によって励起された前記発光性物質の蛍光である、請求項1に記載のガス検出器。
- 請求項1又は2に記載のガス検出器と、
前記第2の光の強度を測定する測定手段と、
を備える、ガス濃度測定装置。
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