JP2019107821A - Liquid discharge head, liquid discharge unit and liquid discharge device - Google Patents

Liquid discharge head, liquid discharge unit and liquid discharge device Download PDF

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Abstract

To reduce variation in discharge characteristics.SOLUTION: A plurality of nozzles 4 for discharging liquid are arranged, where wall surfaces of the nozzles 4 include a straight part 4A, a taper part 4B leading to the straight part 4A and a sag part 4C leading to a surface 1b at the opposite side of the discharge surface from the taper part 4B in this order from a discharge surface 1a side. When a width in a nozzle arrangement direction of the taper part 4B, a width in a direction orthogonal to the nozzle arrangement direction of the taper part 4B, a width (an amount of sag) in the nozzle arrangement direction of the sag part 4C and a width (an amount of sag) in the direction orthogonal to the nozzle arrangement direction of the sag part 4C are defined as bx, by, dx and dy respectively, a relational expression of by+dy<bx+dx is satisfied in the direction orthogonal to the nozzle arrangement direction.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。   The present invention relates to a liquid discharge head, a liquid discharge unit, and a device for discharging a liquid.

液体を吐出する液体吐出ヘッドとして、プレス工法でノズルとなるノズル穴を形成したノズル板を備えるものがある。   Some liquid discharge heads for discharging a liquid include a nozzle plate having a nozzle hole serving as a nozzle formed by a press method.

従来、プレス加工でノズル穴を形成するとき、ノズル列両端部の更に外側にダミー打点部を形成することで、ノズル板の変形を抑制し、着弾ばらつきを低減するものが知られている(特許文献1)。   Conventionally, when forming nozzle holes by press processing, it is known to suppress deformation of the nozzle plate and reduce landing variation by forming dummy hitting points further outside the both ends of the nozzle row (patented) Literature 1).

特開2014−076574号公報JP, 2014-076574, A

しかしながら、特許文献1に開示されているようにノズル列両端部の更に外側にダミー打点を有するノズル板にあっても、ノズル列と直交する方向における変形によって吐出特性にばらつきが生じるという課題がある。   However, as disclosed in Patent Document 1, even in a nozzle plate having dummy spots further outside the both ends of the nozzle row, there is a problem that the discharge characteristics vary due to the deformation in the direction orthogonal to the nozzle row. .

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、吐出特性のばらつきを低減することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and has an object to reduce variations in discharge characteristics.

上記の課題を解決するため、本発明に係るノズル板によれば、
吐出物を吐出する複数のノズルが配列され、
前記ノズルの壁面は、吐出面側からストレート部と、前記ストレート部に続くテーパ部と、前記テーパ部から前記吐出面と反対側の面に続くダレ部と、を含み、
前記テーパ部のノズル配列方向の幅をbx、
前記テーパ部のノズル配列方向と直交する方向の幅をby、
前記ダレ部のノズル配列方向の幅をdx、
前記ダレ部のノズル配列方向と直交する方向の幅をdy、とするとき、
ノズル列配列方向と直交する方向において、0<by+dy<bx+dx、の関係を満たす
構成とした。
In order to solve the above-mentioned subject, according to the nozzle board concerning the present invention,
A plurality of nozzles for discharging discharges are arranged,
The wall surface of the nozzle includes a straight portion from the discharge surface side, a taper portion following the straight portion, and a sagging portion continuing from the taper portion to a surface opposite to the discharge surface.
The width of the tapered portion in the nozzle array direction is bx,
The width of the tapered portion in the direction orthogonal to the nozzle arrangement direction is by,
The width of the sagging portion in the nozzle array direction is dx,
When the width of the sagging portion in the direction orthogonal to the nozzle array direction is dy,
In the direction orthogonal to the nozzle array direction, the relationship of 0 <by + dy <bx + dx is satisfied.

本発明によれば、吐出特性のばらつきを低減する。   According to the present invention, variations in discharge characteristics are reduced.

本発明の第1実施形態に係るノズル板のノズル部分のノズル配列方向に沿う断面説明図である。It is cross-sectional explanatory drawing which follows the nozzle sequence direction of the nozzle part of the nozzle plate which concerns on 1st Embodiment of this invention. 同じくノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。FIG. 8 is a cross-sectional explanatory view which is also along the direction orthogonal to the nozzle arrangement direction. 同じく平面説明図である。It is plane explanatory drawing similarly. 吐出面と反対側の面のダレ量とノズル板の変形量との関係の一例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows an example of the relationship between the amount of sag of the surface on the opposite side to a discharge surface, and the deformation amount of a nozzle plate. 同実施形態のノズル板の製造方法の一例を説明する断面説明図である。FIG. 14 is a cross-sectional explanatory view illustrating an example of the method of manufacturing the nozzle plate according to the same embodiment. ノズルのダレ量、ノズル板の変形量、パンチの耐久性との関係の一例を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining an example of the relationship between the amount of dripping of a nozzle, the deformation amount of a nozzle plate, and durability of a punch. 本発明の第1実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。FIG. 5 is a cross-sectional explanatory view of the liquid discharge head according to the first embodiment of the present invention in the direction orthogonal to the nozzle arrangement direction. 同じく図7のX1−X1線に相当するノズル配列方向の断面説明図である。FIG. 8 is a cross-sectional explanatory view in the nozzle arrangement direction corresponding to line X1-X1 in FIG. 7 as well. 本発明の第2実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。FIG. 10 is a cross-sectional explanatory view of the liquid discharge head according to the second embodiment of the present invention in the direction orthogonal to the nozzle arrangement direction. 本発明に係る液体を吐出する装置の一例の要部平面説明図である。It is principal part plane explanatory drawing of an example of the apparatus which discharges the liquid which concerns on this invention. 同装置の要部側面説明図である。It is principal part side explanatory drawing of the same apparatus. 本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。It is principal part plane explanatory drawing of the other example of the liquid discharge unit which concerns on this invention. 本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。It is front explanatory drawing of the further another example of the liquid discharge unit which concerns on this invention. 本発明に係る液体を吐出する装置の他の例の概略説明図である。It is a schematic explanatory drawing of the other example of the apparatus which discharges the liquid which concerns on this invention. 同装置のヘッドユニットの平面説明図である。It is plane explanatory drawing of the head unit of the same apparatus. 同装置における液体循環システムの一例の説明に供するブロック説明図である。FIG. 2 is a block diagram for explaining an example of a liquid circulation system in the same device.

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。まず、本発明の第1実施形態に係るノズル板について図1及び図2を参照して説明する。図1は同ノズル板のノズル部分のノズル配列方向に沿う断面説明図、図2は同じく図1のX1−X1に相当するノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the attached drawings. First, a nozzle plate according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is a cross-sectional view of the nozzle portion of the same nozzle plate in the nozzle arrangement direction, and FIG. 2 is a cross-sectional view of the same in FIG.

ノズル板1は、吐出物、例えば液体を吐出する複数のノズル4を有している。なお、吐出物は液体に限らず、気体、粉体などでも良い。   The nozzle plate 1 has a plurality of nozzles 4 for discharging a discharge, for example, a liquid. The material to be discharged is not limited to liquid, but may be gas, powder or the like.

このノズル板1には、複数のノズル4がそれぞれ通じる流路となる個別流路60を形成する流路板2が接合され、個別流路60は隔壁61で隔てられる。   The nozzle plate 1 is joined to a channel plate 2 forming an individual channel 60 which is a channel through which the plurality of nozzles 4 respectively communicate, and the individual channels 60 are separated by a partition wall 61.

ここで、ノズル4の壁面は、吐出面1a側からストレート部4A、ストレート部4Aに続くテーパ部4Bと、テーパ部4Bから吐出面1aと反対側の面1bに続くダレ部4Cとを含む。   Here, the wall surface of the nozzle 4 includes a straight portion 4A from the discharge surface 1a side, a tapered portion 4B continuing to the straight portion 4A, and a dripping portion 4C continuing from the tapered portion 4B to the surface 1b opposite to the discharge surface 1a.

このノズル4において、テーパ部4Bのノズル配列方向の幅をbx、テーパ部4Bのノズル配列方向と直交する方向の幅をby、ダレ部4Cのノズル配列方向の幅(以下、「ダレ量」ともいう。)をdx、ダレ部4Cのノズル配列方向と直交する方向の幅(以下、「ダレ量」ともいう。)をdyとする。   In the nozzle 4, the width of the tapered portion 4B in the nozzle array direction is bx, the width of the tapered portion 4B in the direction orthogonal to the nozzle array direction is by, and the width of the sag portion 4C in the nozzle array direction Is referred to as dx, and a width in a direction perpendicular to the nozzle arrangement direction of the sag portion 4C (hereinafter, also referred to as "sag amount") is referred to as dy.

また、複数のノズル4がそれぞれ通じる流路60間の隔壁61のノズル配列方向の幅をa、ノズル4,4間のピッチをc、ノズル4の半径をrとする。   Further, the width in the nozzle array direction of the partition 61 between the flow paths 60 through which the plurality of nozzles 4 respectively communicate is a, the pitch between the nozzles 4 and 4 is c, and the radius of the nozzles 4 is r.

このとき、ノズル4は、ノズル列配列方向と直交する方向において、「0<by+dy<bx+dx」の関係を満たしている穴形状としている。   At this time, the nozzle 4 has a hole shape satisfying the relationship of “0 <by + dy <bx + dx” in the direction orthogonal to the nozzle array direction.

この関係により、ノズル4をプレス加工で形成するとき、ダレ部4Cのダレ量dx、dyを、ノズル配列方向及びノズル配列方向と直交する方向においてノズル板1の変形量が少なくなる条件とすることができる。   According to this relationship, when forming the nozzle 4 by press processing, the sag amount dx, dy of the sag portion 4C is set to a condition that the deformation amount of the nozzle plate 1 decreases in the nozzle arrangement direction and the direction orthogonal to the nozzle arrangement direction. Can.

これにより、ノズル板1のノズル配列方向及びノズル配列方向と直交する方向の変形をいずれも低減することができる。   Thus, it is possible to reduce both the nozzle arrangement direction of the nozzle plate 1 and the deformation in the direction orthogonal to the nozzle arrangement direction.

この点について、吐出面と反対側の面のダレ量とノズル板の変形量との関係の一例を示す図4の説明図を参照して説明する。   This point will be described with reference to the explanatory view of FIG. 4 showing an example of the relationship between the amount of sag of the surface opposite to the discharge surface and the amount of deformation of the nozzle plate.

ノズル配列方向におけるダレ量dxを大きくすると、ノズル配列方向におけるノズル板の変形量は小さくなるが、ノズル配列方向と直交する方向の変形量は大きくなる。一方、ノズル配列方向のダレ量dxを小さくすると、ノズル配列方向と直交する方向のノズル板の変形量は小さくなるが、ノズル配列方向の変形量が大きくなる。これは、一方向の変形の影響が、一方向と直交する方向の変形に影響を与えていることに起因している。   When the sag amount dx in the nozzle arrangement direction is increased, the deformation amount of the nozzle plate in the nozzle arrangement direction decreases, but the deformation amount in the direction orthogonal to the nozzle arrangement direction increases. On the other hand, when the sag amount dx in the nozzle array direction is reduced, the deformation amount of the nozzle plate in the direction orthogonal to the nozzle array direction decreases, but the deformation amount in the nozzle array direction increases. This is because the influence of the deformation in one direction affects the deformation in the direction orthogonal to the one direction.

そこで、本実施形態では、ノズル配列方向のダレ量dx、ノズル配列方向と直交する方向のダレ量dyを規定することで、ノズル配列方向及びノズル配列方向と直交する方向の両方のノズル板の変形量を小さくする。   Therefore, in the present embodiment, deformation in both the nozzle array direction and the nozzle array direction in the direction orthogonal to the nozzle array direction is defined by defining the sag amount dx in the nozzle array direction and the sag amount dy in the direction orthogonal to the nozzle array direction. Reduce the amount.

つまり、プレス加工でノズルを形成するとき、ノズル配列方向のダレ量dx、ノズル配列方向と直交する方向のダレ量dyを同じにした場合、図4に示すように、ノズル配列方向の変形量(条件a)又はノズル配列方向と直交する方向の変形量(条件b)が大きくなり、若しくは、両方の変形量が大きくなる(条件c)。   That is, when forming the nozzles by press working, if the amount of dripping dx in the nozzle array direction and the amount of droop dy in the direction orthogonal to the nozzle array direction are the same, as shown in FIG. Condition a) or the amount of deformation in a direction orthogonal to the nozzle array direction (condition b) is increased, or both of the amounts of deformation are increased (condition c).

そこで、「0<by+dy<bx+dx」とすることで、ダレ量dx、dyがノズル配列方向、及び、ノズル配列方向と直交する方向で、それぞれノズルプ板の変形量が小さくなる条件で作製することができる。これによって、ノズル配列方向、及びノズル配列方向と直交する方向の変形をともに抑制することができるようになる。   Therefore, by setting “0 <by + dy <bx + dx”, it is possible to manufacture under the condition that the deformation amount of the nozzle plate becomes small in the direction in which the sag amounts dx and dy are orthogonal to the nozzle arrangement direction and the nozzle arrangement direction. it can. By this, it is possible to suppress both the nozzle arrangement direction and the deformation in the direction orthogonal to the nozzle arrangement direction.

また、本実施形態においては、複数のノズル4がそれぞれ通じる流路(個別流路60)間の隔壁61のノズル配列方向の幅をa、ノズル4、4間のピッチをc、ノズル4の半径をr、とするとき、ノズル列配列方向において、2(bx+dx+r)≦c−a、ノズル列配列方向と直交する方向において、0<by+dy<bx+dxの関係をそれぞれ満たしている。   Further, in the present embodiment, the width of the partition 61 in the nozzle arrangement direction between the flow paths (individual flow paths 60) through which the plurality of nozzles 4 respectively communicate is a, the pitch between the nozzles 4 and 4 is c, the radius of the nozzles 4 Let r be, the relationship of 2 (bx + dx + r) ≦ ca in the nozzle array direction, and 0 <by + dy <bx + dx is satisfied in the direction orthogonal to the nozzle array direction.

「2(bx+dx+r)≦c−a」の関係を満たすことで、ノズル板1と個別流路60との接合領域を十分に確保することができ、安定した吐出が可能になる。   By satisfying the relationship of “2 (bx + dx + r) ≦ ca”, the bonding area between the nozzle plate 1 and the individual flow path 60 can be sufficiently secured, and stable discharge becomes possible.

また、テーパ部4Bを有することで、Bx>0,By>0、となり、「0<by+dy」となる。   Further, by having the tapered portion 4B, Bx> 0, By> 0, and “0 <by + dy”.

次に、ノズル板のプレス加工による製造方法の一例について図5を参照して説明する。図5は同説明に供する断面説明図である。   Next, an example of a manufacturing method by press processing of the nozzle plate will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a cross-sectional explanatory view provided for the same explanation.

図5(a)に示すように、ノズル板1となるSUS(金属板)などのノズル基材201を準備する。   As shown in FIG. 5A, a nozzle base 201 such as SUS (metal plate) to be the nozzle plate 1 is prepared.

そして、図5(b)に示すように、ノズル基材201をプレス加工装置上のダイ202にセットし、所望の寸法に作製したパンチ203をノズル基材201の吐出面となる面と反対側の面から吐出面側に向かって垂直に押し出し、パンチ203の先端がノズル基材201の吐出面側に突き出るまでプレスを行う。これにより、ノズル基材201には凸部201aが形成される。   Then, as shown in FIG. 5B, the nozzle base material 201 is set on the die 202 on the pressing apparatus, and the punch 203 manufactured to a desired size is opposite to the surface to be the discharge surface of the nozzle base material 201. The pressing is performed until the tip of the punch 203 protrudes toward the discharge surface side of the nozzle base 201 by pushing vertically from the surface of the nozzle 203 toward the discharge surface. Thus, the convex portion 201 a is formed on the nozzle base 201.

次いで、図5(c)に示すように、パンチ203を引き上げてノズル基材201をプレス加工装置から取り外した後、テープ研磨装置204を用いて、ノズル基材201の吐出面側に突出した凸部201aを研磨して除去する。   Next, as shown in FIG. 5C, after the punch 203 is pulled up and the nozzle substrate 201 is removed from the press processing apparatus, the tape polishing apparatus 204 is used to project the convex surface of the nozzle substrate 201 on the discharge surface side. The portion 201a is polished and removed.

これにより、図5(d)に示すように、ノズル4が開口し、ノズル4の壁面には、吐出面1a側からストレート部4A、ストレート部4Aに続くテーパ部4Bと、テーパ部4Bから吐出面1aと反対側の面1bに続くダレ部4Cとを含むノズル板1が得られる。   Thereby, as shown in FIG. 5D, the nozzle 4 is opened, and the wall surface of the nozzle 4 is discharged from the tapered portion 4B following the straight portion 4A and the straight portion 4A from the discharge surface 1a side and the tapered portion 4B. The nozzle plate 1 including the surface 1a and the sagging portion 4C continuing to the opposite surface 1b is obtained.

次に、ノズル4のダレ量dx、dyの具体例について図6も参照して説明する。図6はダレ量、ノズル板の変形量、パンチの耐久性との関係の一例を説明する説明図である。   Next, a specific example of the droop amounts dx and dy of the nozzle 4 will be described with reference to FIG. FIG. 6 is an explanatory view for explaining an example of the relationship between the amount of sagging, the amount of deformation of the nozzle plate, and the durability of the punch.

プレス加工でノズル4を形成するとき、パンチ203の寿命が短いほど部品単価が高くなる。プレス工法において、パンチの寿命は材料のスプリングバック、すなわちパンチとダイのクリアランスにより影響されるため、適正なクリアランスを設定する必要がある。   When forming the nozzle 4 by press processing, the part price increases as the life of the punch 203 becomes shorter. In the press method, since the life of the punch is affected by the spring back of the material, that is, the clearance between the punch and the die, it is necessary to set an appropriate clearance.

また、クリアランスとダレ量には正の相関があることが知られている。すなわち、ダレ量を制御するためには、クリアランスを管理すればよい。   In addition, it is known that there is a positive correlation between the clearance and the amount of sagging. That is, in order to control the amount of dripping, the clearance may be managed.

ここで、図6によれば、ノズル配列方向と直交する方向のダレ量dy<3μmであるときにはパンチの耐久性が著しく悪くなり、ノズル配列方向のダレ量dx≧19μmであるときには、変形量を低減する効率が悪くなる。   Here, according to FIG. 6, when the sag amount dy <3 .mu.m in the direction orthogonal to the nozzle array direction, the durability of the punch is significantly deteriorated, and when the sag amount dx.gtoreq.19 .mu.m in the nozzle array direction, the deformation amount is determined. The efficiency to reduce becomes worse.

したがって、3μm≦dy<19μm、かつ、19μm<dx≦27μm、とすることで、パンチの寿命の長くし、しかも、ダレ量を低減してノズル板の変形量を低減することができる。   Therefore, by setting 3 μm ≦ dy <19 μm and 19 μm <dx ≦ 27 μm, the life of the punch can be extended, and the amount of sag can be reduced to reduce the amount of deformation of the nozzle plate.

また、図6より、より好ましくは、3μm≦dy≦5μm、かつ、26μm≦dx≦27μmの範囲であり、この範囲とすることで、ノズル板の変形量を更に低減することができる。   Further, as shown in FIG. 6, more preferably, 3 μm ≦ dy ≦ 5 μm and 26 μm ≦ dx ≦ 27 μm. By setting this range, the deformation amount of the nozzle plate can be further reduced.

更により好ましくは、dy=5μm、かつ、dx=26μm、とすることで、一層、パンチの寿命を長くし、ダレ量低減を低減してノズル板の変形量を低減することができる。   Still more preferably, by setting dy = 5 μm and dx = 26 μm, it is possible to further prolong the life of the punch, reduce the sag reduction, and reduce the deformation of the nozzle plate.

次に、本発明の第1実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図7及び図8を参照して説明する。図7は同液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面説明図、図7のX1−X1線に相当するノズル配列方向の断面説明図である。   Next, a liquid discharge head according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 7 and 8. FIG. FIG. 7 is a cross-sectional view of the liquid discharge head in a direction orthogonal to the nozzle arrangement direction, and a cross-sectional view of the nozzle arrangement direction corresponding to line X1-X1 in FIG.

この液体吐出ヘッドは、本発明に係るノズル板1と、流路板2と、壁面部材としての振動板部材3とを積層接合している。そして、振動板部材3の振動領域(振動板)30を変位させる圧電アクチュエータ11と、ヘッドのフレーム部材を兼ねている共通液室部材20とを備えている。   This liquid discharge head laminates and joins the nozzle plate 1 according to the present invention, the flow path plate 2 and the diaphragm member 3 as a wall surface member. A piezoelectric actuator 11 for displacing a vibration area (diaphragm) 30 of the diaphragm member 3 and a common liquid chamber member 20 also serving as a frame member of the head are provided.

ノズル板1は、液体を吐出する複数のノズル4を有している。   The nozzle plate 1 has a plurality of nozzles 4 for discharging a liquid.

流路板2は、ノズル4にノズル連通路5を介して通じる個別液室6、個別液室6に連通する流体抵抗部7、各流体抵抗部7に通じる液導入部8を形成している。ここでは、流路板2は、3枚の板状部材2A〜2Cを積層して構成している。   The flow path plate 2 forms an individual liquid chamber 6 communicated with the nozzle 4 via the nozzle communication passage 5, a fluid resistance portion 7 communicated with the individual liquid chamber 6, and a liquid introduction portion 8 communicated with each fluid resistance portion 7. . Here, the flow path plate 2 is configured by laminating three plate members 2A to 2C.

振動板部材3は、流路板2の個別液室6の壁面を形成する変形可能な振動領域30を有する。ここでは、振動板部材3は2層構造(限定されない)とし、流路板2側から薄肉部を形成する第1層3Aと、厚肉部を形成する第2層3Bで形成され、第1層3Aで個別液室6に対応する部分に変形可能な振動領域30を形成している。   The diaphragm member 3 has a deformable vibration area 30 which forms a wall surface of the individual liquid chamber 6 of the flow channel plate 2. Here, the diaphragm member 3 has a two-layer structure (not limited), and is formed of a first layer 3A forming a thin portion from the flow path plate 2 side and a second layer 3B forming a thick portion, A deformable vibration area 30 is formed in a portion corresponding to the individual liquid chamber 6 in the layer 3A.

そして、振動板部材3の個別液室6とは反対側に、振動板部材3の振動領域30を変形させる駆動手段(アクチュエータ手段、圧力発生手段)としての電気機械変換素子を含む圧電アクチュエータ11を配置している。   Then, on the opposite side of the diaphragm member 3 to the individual liquid chamber 6, a piezoelectric actuator 11 including an electromechanical transducer as a drive unit (actuator unit, pressure generation unit) for deforming the vibration area 30 of the diaphragm member 3 is It is arranged.

この圧電アクチュエータ11は、例えば、ベース部材13に接合した圧電部材に対してハーフカットダイシングによって溝加工して形成した所要数の柱状の圧電素子12A、12Bを所定の間隔で有している。圧電素子12Aは振動板部材3の振動領域(振動板)30の凸部30aに接合し、支柱部となる圧電素子12Bは振動板部材3の凸部30bに接合している。また、圧電素子12にはフレキシブル配線部材15が接続されている。   The piezoelectric actuator 11 has, for example, a predetermined number of columnar piezoelectric elements 12A and 12B formed by grooving by half-cut dicing with respect to a piezoelectric member joined to the base member 13 at predetermined intervals. The piezoelectric element 12 A is joined to the convex portion 30 a of the vibration area (diaphragm) 30 of the diaphragm member 3, and the piezoelectric element 12 B to be a support portion is joined to the convex portion 30 b of the diaphragm member 3. Further, a flexible wiring member 15 is connected to the piezoelectric element 12.

共通液室部材20は、共通液室10を形成する。共通液室10は、外部から液体を供給する供給口である供給ポート21に通じている。   The common liquid chamber member 20 forms a common liquid chamber 10. The common liquid chamber 10 communicates with a supply port 21 which is a supply port for supplying liquid from the outside.

共通液室10は、フィルタ9を介して液導入部8に通じている。フィルタ9は、振動板部材3の第1層にて形成している。   The common liquid chamber 10 communicates with the liquid introduction unit 8 through the filter 9. The filter 9 is formed of the first layer of the diaphragm member 3.

このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、例えば圧電素子12Aに与える電圧を基準電位(中間電位)から下げることによって圧電素子12Aが収縮し、振動板部材3の振動領域30が引かれて個別液室6の容積が膨張することで、個別液室6内に液体が流入する。   In the liquid discharge head configured as described above, for example, the voltage applied to the piezoelectric element 12A is lowered from the reference potential (intermediate potential) so that the piezoelectric element 12A contracts and the vibration area 30 of the diaphragm member 3 is pulled to separate the liquid As the volume of the chamber 6 expands, the liquid flows into the individual liquid chamber 6.

その後、圧電素子12Aに印加する電圧を上げて圧電素子12Aを積層方向に伸長させ、振動板部材3の振動領域30をノズル4に向かう方向に変形させて個別液室6の容積を収縮させることにより、個別液室6内の液体が加圧され、ノズル4から液体が吐出される。   Thereafter, the voltage applied to the piezoelectric element 12A is increased to elongate the piezoelectric element 12A in the stacking direction, and the vibration area 30 of the diaphragm member 3 is deformed in the direction toward the nozzle 4 to shrink the volume of the individual liquid chamber 6 Thus, the liquid in the individual liquid chamber 6 is pressurized, and the liquid is discharged from the nozzle 4.

なお、ヘッドの駆動方法については上記の例(引き−押し打ち)に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行なうこともできる。   The method of driving the head is not limited to the above-described example (pull-push), and depending on the drive waveform, it is possible to perform pull or push.

次に、本発明の第2実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図9を参照して説明する。図9は同液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。   Next, a liquid discharge head according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a sectional view of the liquid discharge head in the direction orthogonal to the nozzle arrangement direction.

この液体吐出ヘッドは、個別液室循環型ヘッドであり、本発明に係るノズル板1と、流路板2と、壁面部材としての振動板部材3とを積層接合している。そして、振動板部材3の振動領域(振動板)30を変位させる圧電アクチュエータ11と、ヘッドのフレーム部材を兼ねている共通液室部材20とを備えている。   This liquid discharge head is an individual liquid chamber circulation type head, and laminates and joins the nozzle plate 1 according to the present invention, the flow path plate 2 and the diaphragm member 3 as a wall surface member. A piezoelectric actuator 11 for displacing a vibration area (diaphragm) 30 of the diaphragm member 3 and a common liquid chamber member 20 also serving as a frame member of the head are provided.

そして、流路板2は、ノズル4がノズル連通路5を介して連通する個別液室6と、前記第1実施形態の液体吐出ヘッドと同様に、供給側の流体抵抗部7と、液導入部8とを形成している。また、本実施形態では、流路板2は、ノズル連通路5を介して個別液室6に通じる排出側の個別流路56と、液導出部58とを形成している。ここでは、流路板2は4枚の板状部材2A〜2Cを積層して構成している。   The flow path plate 2 includes the individual liquid chamber 6 communicating with the nozzle 4 via the nozzle communication path 5, the fluid resistance portion 7 on the supply side, and the liquid introduction similarly to the liquid discharge head of the first embodiment. The part 8 is formed. Further, in the present embodiment, the flow path plate 2 forms an individual flow path 56 on the discharge side communicating with the individual liquid chamber 6 via the nozzle communication path 5 and a liquid lead-out portion 58. Here, the flow path plate 2 is configured by laminating four plate members 2A to 2C.

また、共通液室部材20は、供給側の共通液室10と、排出側の共通液室50を形成している。供給側の共通液室10には供給口(供給ポート)21を通じて外部から液体が供給され、排出側の共通液室50は排出口(排出ポート)22を通じて外部に液体が排出される。   Further, the common liquid chamber member 20 forms a common liquid chamber 10 on the supply side and a common liquid chamber 50 on the discharge side. The liquid is supplied from the outside to the common liquid chamber 10 on the supply side through the supply port (supply port) 21, and the liquid is discharged to the outside through the discharge port (discharge port) 22 from the common liquid chamber 50 on the discharge side.

さらに、供給側の共通液室10と液導入部8との間に供給側のフィルタ9を配置し、排出側の共通液室50と液導出部58との間に排出側のフィルタ59を配置している。   Furthermore, the filter 9 on the supply side is disposed between the common liquid chamber 10 on the supply side and the liquid introduction unit 8, and the filter 59 on the discharge side is disposed between the common liquid chamber 50 on the discharge side and the liquid outlet 58. doing.

この液体吐出ヘッドにおいては、液体吐出を行っているとき、ノズル4から吐出されない液体は、ノズル4を通過して排出側の個別流路56から液導出部58を経て排出側の共通液室50に排出され、排出側の共通液室50から外部の循環経路を通じて供給側の共通液室10に再度供給される。   In this liquid discharge head, when the liquid is being discharged, the liquid not discharged from the nozzle 4 passes through the nozzle 4 from the individual flow path 56 on the discharge side through the liquid lead-out portion 58 to the common liquid chamber 50 on the discharge side. And is supplied again from the common liquid chamber 50 on the discharge side to the common liquid chamber 10 on the supply side through the external circulation path.

また、液体吐出を行っていないときも、供給側の共通液室10から、個別液室6、個別流路56などを経て排出側の共通液室50に液体が流れ、更に外部の循環経路を通じて供給側の共通液室10に再度供給される。   Even when the liquid is not discharged, the liquid flows from the common liquid chamber 10 on the supply side to the common liquid chamber 50 on the discharge side through the individual liquid chamber 6, the individual flow path 56, and the like, and further through the external circulation path. It is again supplied to the common liquid chamber 10 on the supply side.

次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図10及び図11を参照して説明する。図10は同装置の要部平面説明図、図11は同装置の要部側面説明図である。   Next, an example of a device for discharging a liquid according to the present invention will be described with reference to FIGS. 10 and 11. FIG. FIG. 10 is an explanatory plan view of an essential part of the apparatus, and FIG. 11 is an explanatory side view of an essential part of the apparatus.

この装置は、シリアル型装置であり、主走査移動機構493によって、キャリッジ403は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構493は、ガイド部材401、主走査モータ405、タイミングベルト408等を含む。ガイド部材401は、左右の側板491A、491Bに架け渡されてキャリッジ403を移動可能に保持している。そして、主走査モータ405によって、駆動プーリ406と従動プーリ407間に架け渡したタイミングベルト408を介して、キャリッジ403は主走査方向に往復移動される。   This apparatus is a serial type apparatus, and the carriage 403 reciprocally moves in the main scanning direction by the main scanning movement mechanism 493. The main scanning movement mechanism 493 includes a guide member 401, a main scanning motor 405, a timing belt 408, and the like. The guide member 401 is bridged by the left and right side plates 491A and 491B and holds the carriage 403 movably. Then, the carriage 403 is reciprocated in the main scanning direction via the timing belt 408 bridged between the drive pulley 406 and the driven pulley 407 by the main scanning motor 405.

このキャリッジ403には、本発明に係る液体吐出ヘッド404及びヘッドタンク441を一体にした本発明に係る液体吐出ユニット440を搭載している。液体吐出ユニット440の液体吐出ヘッド404は、例えば、イエロー(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、ブラック(K)の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド404は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。   On the carriage 403, a liquid discharge unit 440 according to the present invention in which the liquid discharge head 404 according to the present invention and the head tank 441 are integrated is mounted. The liquid ejection head 404 of the liquid ejection unit 440 ejects, for example, liquid of each color of yellow (Y), cyan (C), magenta (M), and black (K). Further, the liquid discharge head 404 has a nozzle row consisting of a plurality of nozzles arranged in the sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction, and is mounted with the discharge direction downward.

液体吐出ヘッド404の外部に貯留されている液体を液体吐出ヘッド404に供給するための供給機構494により、ヘッドタンク441には、液体カートリッジ450に貯留されている液体が供給される。   The liquid stored in the liquid cartridge 450 is supplied to the head tank 441 by the supply mechanism 494 for supplying the liquid stored in the outside of the liquid discharge head 404 to the liquid discharge head 404.

供給機構494は、液体カートリッジ450を装着する充填部であるカートリッジホルダ451、チューブ456、送液ポンプを含む送液ユニット452等で構成される。液体カートリッジ450はカートリッジホルダ451に着脱可能に装着される。ヘッドタンク441には、チューブ456を介して送液ユニット452によって、液体カートリッジ450から液体が送液される。   The supply mechanism 494 includes a cartridge holder 451 as a filling unit for mounting the liquid cartridge 450, a tube 456, a liquid feeding unit 452 including a liquid feeding pump, and the like. The liquid cartridge 450 is detachably mounted to the cartridge holder 451. The liquid is fed from the liquid cartridge 450 to the head tank 441 by the liquid feeding unit 452 via the tube 456.

この装置は、用紙410を搬送するための搬送機構495を備えている。搬送機構495は、搬送手段である搬送ベルト412、搬送ベルト412を駆動するための副走査モータ416を含む。   The apparatus includes a transport mechanism 495 for transporting the sheet 410. The transport mechanism 495 includes a transport belt 412 which is transport means, and a sub scanning motor 416 for driving the transport belt 412.

搬送ベルト412は用紙410を吸着して液体吐出ヘッド404に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト412は、無端状ベルトであり、搬送ローラ413と、テンションローラ414との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。   The conveyance belt 412 adsorbs the sheet 410 and conveys the sheet 410 at a position facing the liquid discharge head 404. The conveyance belt 412 is an endless belt and is stretched between the conveyance roller 413 and the tension roller 414. The adsorption can be performed by electrostatic adsorption or air suction.

そして、搬送ベルト412は、副走査モータ416によってタイミングベルト417及びタイミングプーリ418を介して搬送ローラ413が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。   The conveyance belt 412 rotates in the sub-scanning direction as the conveyance roller 413 is rotationally driven by the sub-scanning motor 416 via the timing belt 417 and the timing pulley 418.

さらに、キャリッジ403の主走査方向の一方側には搬送ベルト412の側方に液体吐出ヘッド404の維持回復を行う維持回復機構420が配置されている。   Further, on one side of the carriage 403 in the main scanning direction, a maintenance recovery mechanism 420 for maintaining and recovering the liquid discharge head 404 is disposed on the side of the transport belt 412.

維持回復機構420は、例えば液体吐出ヘッド404のノズル面(ノズルが形成された面)をキャッピングするキャップ部材421、ノズル面を払拭するワイパ部材422などで構成されている。   The maintenance and recovery mechanism 420 includes, for example, a cap member 421 for capping the nozzle surface (surface on which the nozzle is formed) of the liquid discharge head 404, a wiper member 422 for wiping the nozzle surface, and the like.

主走査移動機構493、供給機構494、維持回復機構420、搬送機構495は、側板491A,491B、背板491Cを含む筐体に取り付けられている。   The main scanning movement mechanism 493, the supply mechanism 494, the maintenance recovery mechanism 420, and the transport mechanism 495 are attached to a housing including the side plates 491A and 491B and the back plate 491C.

このように構成したこの装置においては、用紙410が搬送ベルト412上に給紙されて吸着され、搬送ベルト412の周回移動によって用紙410が副走査方向に搬送される。   In this apparatus configured as described above, the sheet 410 is fed and adsorbed onto the conveyance belt 412, and the sheet 410 is conveyed in the sub-scanning direction by the circumferential movement of the conveyance belt 412.

そこで、キャリッジ403を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド404を駆動することにより、停止している用紙410に液体を吐出して画像を形成
する。
Therefore, the liquid ejection head 404 is driven according to the image signal while moving the carriage 403 in the main scanning direction, thereby ejecting the liquid onto the stopped sheet 410 to form an image.

このように、この装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。   As described above, in this apparatus, since the liquid discharge head according to the present invention is provided, a high quality image can be stably formed.

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図12を参照して説明する。図12は同ユニットの要部平面説明図である。   Next, another example of the liquid discharge unit according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 12 is an explanatory plan view of the main part of the unit.

この液体吐出ユニットは、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板491A、491B及び背板491Cで構成される筐体部分と、主走査移動機構493と、キャリッジ403と、液体吐出ヘッド404で構成されている。   Among the members constituting the device for discharging the liquid, the liquid discharge unit includes a housing portion constituted by the side plates 491A and 491B and the back plate 491C, the main scanning movement mechanism 493, the carriage 403, and the liquid It comprises the discharge head 404.

なお、この液体吐出ユニットの例えば側板491Bに、前述した維持回復機構420、及び供給機構494の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。   It is also possible to configure a liquid discharge unit in which at least one of the aforementioned maintenance and recovery mechanism 420 and the supply mechanism 494 is further attached to, for example, the side plate 491B of this liquid discharge unit.

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図13を参照して説明する。図13は同ユニットの正面説明図である。   Next, still another example of the liquid discharge unit according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 13 is a front view of the unit.

この液体吐出ユニットは、流路部品444が取付けられた液体吐出ヘッド404と、流路部品444に接続されたチューブ456で構成されている。   The liquid discharge unit includes a liquid discharge head 404 to which a flow path component 444 is attached, and a tube 456 connected to the flow path component 444.

なお、流路部品444はカバー442の内部に配置されている。流路部品444に代えてヘッドタンク441を含むこともできる。また、流路部品444の上部には液体吐出ヘッド404と電気的接続を行うコネクタ443が設けられている。   The channel component 444 is disposed inside the cover 442. A head tank 441 may be included instead of the flow path component 444. Further, a connector 443 electrically connected to the liquid discharge head 404 is provided on the upper portion of the flow path component 444.

次に、本発明に係る液体を吐出する装置の他の例について図14及び図15を参照して説明する。図14は同装置の概略説明図、図15は同装置のヘッドユニットの平面説明図である。   Next, another example of the apparatus for discharging a liquid according to the present invention will be described with reference to FIGS. 14 and 15. FIG. FIG. 14 is a schematic explanatory view of the same device, and FIG. 15 is a plan explanatory view of a head unit of the same device.

この装置は、連続媒体510を搬入する搬入手段501と、搬入手段501から搬入された連続媒体510を印刷手段505に案内搬送する案内搬送手段503と、連続媒体510に対して液体を吐出して画像を形成する印刷を行う印刷手段505と、連続媒体510を乾燥する乾燥手段507と、連続媒体510を排出する排出手段509などを備えている。   This apparatus discharges the liquid to the continuous medium 510 by carrying-in means 501 for carrying in the continuous medium 510, guiding and conveying means 503 for guiding and conveying the continuous medium 510 carried in from the carrying-in means 501 to the printing means 505. A printing unit 505 that performs printing for forming an image, a drying unit 507 that dries the continuous medium 510, and a discharge unit 509 that discharges the continuous medium 510 are provided.

連続媒体510は搬入手段501の元巻きローラ511から送り出され、搬入手段501、案内搬送手段503、乾燥手段507、排出手段509の各ローラによって案内、搬送されて、排出手段509の巻取りローラ591にて巻き取られる。   The continuous medium 510 is delivered from the original winding roller 511 of the loading means 501, guided and transported by the loading means 501, the guide transporting means 503, the drying means 507, and the discharging means 509, and the winding roller 591 of the discharging means 509. It is rolled up at

この連続媒体510は、印刷手段505において、搬送ガイド部材559上をヘッドユニット550及びヘッドユニット555に対向して搬送され、ヘッドユニット550から吐出される液体によって画像が形成され、ヘッドユニット55から吐出される処理液で後処理が行われる。   The continuous medium 510 is conveyed by the printing unit 505 on the conveyance guide member 559 so as to face the head unit 550 and the head unit 555, and an image is formed by the liquid ejected from the head unit 550. Post-treatment is carried out with the processing solution to be treated.

ここで、ヘッドユニット550には、例えば、媒体搬送方向上流側から、4色分のフルライン型ヘッドアレイ551K、551C、551M、551Y(以下、色の区別しないときは「ヘッドアレイ551」という。)が配置されている。   Here, the head unit 550 is, for example, a full line type head array 551K, 551C, 551M, 551Y for four colors from the upstream side in the medium conveyance direction (hereinafter referred to as “head array 551” when color is not distinguished. ) Are arranged.

各ヘッドアレイ551は、液体吐出手段であり、それぞれ、搬送される連続媒体510に対してブラックK,シアンC、マゼンタM、イエローYの液体を吐出する。なお、色の種類及び数はこれに限るものではない。   Each head array 551 is a liquid ejection unit, and ejects the liquids of black K, cyan C, magenta M, and yellow Y to the continuous medium 510 conveyed. The type and number of colors are not limited to this.

ヘッドアレイ551は、例えば、本発明に係る複数の液体吐出ヘッド(これを、単に「ヘッド」ともいう。)1000をベース部材552上に千鳥状に並べて配置したものであるが、これに限らない。   The head array 551 is, for example, a plurality of liquid discharge heads (also referred to simply as “heads”) 1000 according to the present invention arranged in a zigzag on the base member 552, but the present invention is not limited thereto. .

次に、この装置における液体循環システムの一例について図16を参照して説明する。図16は同システムの説明に供するブロック説明図である。   Next, an example of a liquid circulation system in this device will be described with reference to FIG. FIG. 16 is a block diagram for explaining the system.

液体循環システム630は、メインタンク602、ヘッド1000、供給タンク631、循環タンク632、コンプレッサ633、真空ポンプ634、第1送液ポンプ635、第2送液ポンプ636、供給側圧力センサ637、循環側圧力センサ638、レギュレータ(R)639a,639bなどで構成されている。   The liquid circulation system 630 includes a main tank 602, a head 1000, a supply tank 631, a circulation tank 632, a compressor 633, a vacuum pump 634, a first liquid feed pump 635, a second liquid feed pump 636, a supply side pressure sensor 637, and a circulation side. The pressure sensor 638 includes regulators (R) 639a and 639b.

供給側圧力センサ637は、供給タンク631とヘッド1000との間であって、ヘッド1000の供給ポートに繋がった供給側流路に接続されている。循環側圧力センサ638は、ヘッド1000と循環タンク632との間であって、ヘッド1000の排出ポートに繋がった排出側流路に接続されている。   The supply-side pressure sensor 637 is connected between the supply tank 631 and the head 1000 and to a supply-side flow path connected to the supply port of the head 1000. The circulation side pressure sensor 638 is connected between the head 1000 and the circulation tank 632 and in the discharge side flow path connected to the discharge port of the head 1000.

循環タンク632の一方は、第1送液ポンプ635を介して供給タンク631と接続されており、循環タンク632の他方は第2送液ポンプ636を介してメインタンク602と接続されている。   One of the circulation tanks 632 is connected to the supply tank 631 via the first liquid feed pump 635, and the other one of the circulation tanks 632 is connected to the main tank 602 via the second liquid feed pump 636.

これにより、供給タンク631から供給ポート21を通ってヘッド1000内に液体が流入し、排出ポート22から排出されて循環タンク632へ排出される。そして、さらに第1送液ポンプ635によって循環タンク632から供給タンク631へ液体が送られることによって液体が循環する。   Thus, the liquid flows from the supply tank 631 through the supply port 21 into the head 1000, is discharged from the discharge port 22, and is discharged to the circulation tank 632. Then, the liquid is circulated by the liquid being sent from the circulation tank 632 to the supply tank 631 by the first liquid feeding pump 635.

また、供給タンク631にはコンプレッサ633がつなげられており、供給側圧力センサ637で所定の正圧が検知されるように制御される。一方、循環タンク632には真空ポンプ634がつなげられており、循環側圧力センサ638で所定の負圧が検知されるよう制御される。   Further, a compressor 633 is connected to the supply tank 631 and is controlled so that a predetermined positive pressure is detected by the supply side pressure sensor 637. On the other hand, a vacuum pump 634 is connected to the circulation tank 632 and is controlled so that a predetermined negative pressure is detected by the circulation side pressure sensor 638.

これにより、ヘッド1000内を通って液体を循環させつつ、メニスカスの負圧を一定に保つことができる。   This allows the negative pressure of the meniscus to be kept constant while circulating the liquid through the head 1000.

また、ヘッド1000のノズル4から液体を吐出すると、供給タンク631及び循環タンク632内の液体量が減少していく。そのため、適宜、第2送液ポンプ636を用いて、メインタンク602から循環タンク632に液体を補充する。メインタンク602から循環タンク632への液体補充のタイミングは、循環タンク632内の液体の液面高さが所定高さよりも下がったときに液体補充を行うなど、循環タンク632内に設けた液面センサなどの検知結果によって制御することができる。   In addition, when the liquid is discharged from the nozzle 4 of the head 1000, the amount of liquid in the supply tank 631 and the circulation tank 632 decreases. Therefore, the second liquid feed pump 636 is used to replenish the liquid from the main tank 602 to the circulation tank 632 as appropriate. The timing of liquid replenishment from the main tank 602 to the circulation tank 632 is such that the liquid level provided in the circulation tank 632 is such that liquid replenishment is performed when the liquid level in the circulation tank 632 falls below a predetermined height. It can control by the detection result of a sensor etc.

本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が30mPa・s以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、DNA、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、3次元造形用材料液等の用途で用いることができる。   In the present invention, the liquid to be discharged is not particularly limited as long as it has a viscosity and surface tension that can be discharged from the head, but the viscosity becomes 30 mPa · s or less at normal temperature or normal pressure, or by heating and cooling. It is preferred that More specifically, solvents such as water and organic solvents, colorants such as dyes and pigments, polymerizable compounds, functionalizing materials such as resins and surfactants, and biocompatible materials such as DNA, amino acids, proteins and calcium Solutions, suspensions, emulsions, etc. containing edible materials such as natural pigments, etc. These are, for example, ink jet inks, surface treatment liquids, components of electronic devices and light emitting devices, and formation of electronic circuit resist patterns It can be used in applications such as liquids for liquids, material liquids for three-dimensional modeling and the like.

液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ(積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子)、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。   Use a piezoelectric actuator (laminated piezoelectric element and thin film piezoelectric element), a thermal actuator using an electrothermal transducer such as a heating resistor, an electrostatic actuator consisting of a diaphragm and a counter electrode, etc. as an energy source to discharge liquid It includes what you do.

「液体吐出ユニット」は、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体が含まれる。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。   The “liquid discharge unit” is a liquid discharge head in which functional parts and mechanisms are integrated, and includes an assembly of parts related to the discharge of liquid. For example, the “liquid discharge unit” includes a combination of at least one of the configuration of a head tank, a carriage, a supply mechanism, a maintenance recovery mechanism, and a main scanning movement mechanism with a liquid discharge head.

ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。   Here, integration means, for example, one in which the liquid discharge head and the functional component or mechanism are fixed to each other by fastening, bonding, engagement or the like, or one in which one is held movably with respect to the other. Including. In addition, the liquid discharge head, the functional components, and the mechanism may be configured to be removable from each other.

例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。   For example, there is a liquid discharge unit in which a liquid discharge head and a head tank are integrated. In addition, there is one in which the liquid discharge head and the head tank are integrated by being connected to each other by a tube or the like. Here, it is possible to add a unit including a filter between the head tank of these liquid discharge units and the liquid discharge head.

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。   Further, as a liquid discharge unit, there is one in which a liquid discharge head and a carriage are integrated.

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。   Further, as a liquid discharge unit, there is one in which the liquid discharge head is movably held by a guide member constituting a part of the scanning movement mechanism, and the liquid discharge head and the scanning movement mechanism are integrated. In addition, there is one in which the liquid discharge head, the carriage, and the main scanning movement mechanism are integrated.

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。   Further, as a liquid discharge unit, there is one in which a cap member which is a part of a maintenance recovery mechanism is fixed to a carriage attached with a liquid discharge head, and the liquid discharge head, the carriage and the maintenance recovery mechanism are integrated. .

また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。   Further, as a liquid discharge unit, there is one in which a tube is connected to a liquid discharge head to which a head tank or a flow path part is attached, and the liquid discharge head and the supply mechanism are integrated. The liquid of the liquid storage source is supplied to the liquid discharge head through the tube.

主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。   The main scanning movement mechanism also includes a single guide member. The supply mechanism also includes a single tube and a single loading unit.

「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を 気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。 The “device for discharging liquid” includes a liquid discharge head or a liquid discharge unit, and includes a device which drives the liquid discharge head to discharge the liquid. The device for discharging the liquid includes not only a device capable of discharging the liquid to those to which the liquid can adhere, but also a device for discharging the liquid into the air or into the liquid.

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。   This "device for discharging liquid" can also include means related to feeding, transporting, and discharging of those to which the liquid can be attached, as well as a pre-processing device, a post-processing device, and the like.

例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物(三次元造形物)を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置(三次元造形装置)がある。   For example, as a “device for discharging a liquid”, an image forming device which is a device for discharging an ink to form an image on a sheet, and forming a powder in layers to form a three-dimensional object (three-dimensional object) There is a three-dimensional modeling apparatus (three-dimensional modeling apparatus) which discharges a modeling liquid to the powder layer.

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。   Further, the “device for discharging liquid” is not limited to a device in which a significant image such as characters and figures is visualized by the discharged liquid. For example, those which form patterns having no meaning per se and those which form three-dimensional images are included.

上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層(粉末層)、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。   The above-mentioned "thing to which liquid can be attached" means one to which liquid can be attached at least temporarily, which adheres and adheres, and adheres and penetrates. Specific examples include recording media such as paper, recording paper, recording paper, film, cloth, electronic substrates, electronic components such as piezoelectric elements, and media such as powder layers (powder layers), organ models, and inspection cells. Yes, and unless otherwise specified, all things to which the liquid adheres are included.

上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。   The material of the above-mentioned "thing to which liquid can adhere" may be any liquid such as paper, yarn, fiber, fabric, leather, metal, plastic, glass, wood, ceramics, etc. as long as it temporarily adheres thereto.

また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。   Further, as the “device for discharging the liquid”, there is a device in which the liquid discharge head and the device to which the liquid can be attached relatively move, but it is not limited to this. Specific examples include a serial type device that moves the liquid discharge head, a line type device that does not move the liquid discharge head, and the like.

また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。   In addition, as the “apparatus for discharging liquid”, there is also provided a processing liquid application apparatus for discharging a processing liquid onto a sheet in order to apply the processing liquid to the surface of the sheet for the purpose of reforming the surface of the sheet. There is an injection granulator which granulates the fine particles of the raw material by injecting a composition liquid in which the raw material is dispersed in a solution through a nozzle.

なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。   In the terms of the present application, image formation, recording, printing, printing, printing, modeling and the like are all synonymous.

1 ノズル板
2 流路板
3 振動板部材
4 ノズル
5 ノズル連通路
6 個別液室
7 流体抵抗部
8 液導入部
9 フィルタ
10 共通液室(供給側の共通液室)
11 圧電アクチュエータ
20 共通液室部材
50 共通液室(排出側の共通液室)
58 液導出部
59 フィルタ
403 キャリッジ
404 液体吐出ヘッド
440 液体吐出ユニット
630 液体循環システム
1000 液体吐出ヘッド
Reference Signs List 1 nozzle plate 2 flow passage plate 3 diaphragm member 4 nozzle 5 nozzle communication passage 6 individual liquid chamber 7 fluid resistance portion 8 liquid introduction portion 9 filter 10 common liquid chamber (common liquid chamber on the supply side)
11 Piezoelectric actuator 20 Common liquid chamber member 50 Common liquid chamber (common liquid chamber on discharge side)
58 Liquid outlet part 59 Filter 403 Carriage 404 Liquid discharge head 440 Liquid discharge unit 630 Liquid circulation system 1000 Liquid discharge head

Claims (8)

吐出物を吐出する複数のノズルが配列され、
前記ノズルの壁面は、吐出面側からストレート部と、前記ストレート部に続くテーパ部と、前記テーパ部から前記吐出面と反対側の面に続くダレ部と、を含み、
前記テーパ部のノズル配列方向の幅をbx、
前記テーパ部のノズル配列方向と直交する方向の幅をby、
前記ダレ部のノズル配列方向の幅をdx、
前記ダレ部のノズル配列方向と直交する方向の幅をdy、とするとき、
ノズル列配列方向と直交する方向において、0<by+dy<bx+dx、の関係を満たす
ことを特徴とするノズル板。
A plurality of nozzles for discharging discharges are arranged,
The wall surface of the nozzle includes a straight portion from the discharge surface side, a taper portion following the straight portion, and a sagging portion continuing from the taper portion to a surface opposite to the discharge surface.
The width of the tapered portion in the nozzle array direction is bx,
The width of the tapered portion in the direction orthogonal to the nozzle arrangement direction is by,
The width of the sagging portion in the nozzle array direction is dx,
When the width of the sagging portion in the direction orthogonal to the nozzle array direction is dy,
A nozzle plate characterized by satisfying a relation of 0 <by + dy <bx + dx in a direction orthogonal to the nozzle array direction.
前記複数のノズルがそれぞれ通じる流路間の隔壁のノズル配列方向の幅をa、
前記ノズル間のピッチをc、
前記ノズルの半径をr、とするとき、
ノズル列配列方向において、2(bx+dx+r)≦c−a、の関係を満たす
ことを特徴とする請求項1に記載のノズル板。
The width in the nozzle array direction of the partition between the flow paths through which the plurality of nozzles communicate with each other,
The pitch between the nozzles is c,
When the radius of the nozzle is r,
The nozzle plate according to claim 1, wherein the relationship of 2 (bx + dx + r) c c-a is satisfied in the nozzle array direction.
3μm≦dy<19μm、かつ、19μm<dx≦27μm、である
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のノズル板。
3. The nozzle plate according to claim 1, wherein 3 μm ≦ dy <19 μm and 19 μm <dx ≦ 27 μm.
3μm≦dy≦5μm、かつ、26μm≦dx≦27μm、である
ことを特徴とする請求項3に記載のノズル板。
4. The nozzle plate according to claim 3, wherein 3 μm ≦ dy ≦ 5 μm and 26 μm ≦ dx ≦ 27 μm.
dy=5μm、かつ、dx=26μmである
ことを特徴とする請求項4に記載のノズル板。
5. The nozzle plate according to claim 4, wherein dy = 5 μm and dx = 26 μm.
請求項1ないし5のいずれかに記載のノズル板を含む
ことを特徴とする液体吐出ユニット。
A liquid discharge unit comprising the nozzle plate according to any one of claims 1 to 5.
前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
ことを特徴とする請求項6に記載の液体吐出ユニット。
A head tank for storing liquid to be supplied to the liquid discharge head, a carriage for mounting the liquid discharge head, a supply mechanism for supplying liquid to the liquid discharge head, a maintenance recovery mechanism for maintaining and recovering the liquid discharge head, the liquid 7. The liquid discharge unit according to claim 6, wherein the liquid discharge head is integrated with at least one of a main scanning movement mechanism for moving the discharge head in the main scanning direction.
請求項1ないし5のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項6若しくは7に記載の液体吐出ユニットを備えている
ことを特徴とする液体を吐出する装置。
An apparatus for discharging a liquid comprising the liquid discharge head according to any one of claims 1 to 5 or the liquid discharge unit according to claim 6 or 7.
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