JP2019105561A - 測定装置および、それに用いられるサンプルホルダ - Google Patents
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Abstract
【課題】形状の異なる複数の試料を測定する場合に試料の保持・取り外し作業を軽減し、保持した試料の位置合わせが容易なサンプルホルダ、および当該サンプルホルダを用いる測定装置を提供する。【解決手段】測定装置は、複数の試料を載置することが可能なサンプルホルダ10と、サンプルホルダ10に載置された複数の試料を測定する測定部と、測定する試料に対する測定部の位置を制御する制御部とを備えている。サンプルホルダ10は、基板1と、基板1に複数設けられ、試料を保持する保持部2とを含んでいる。保持部2は、形状の異なる複数の試料を保持部2の中心位置で保持することができる構成を有する。【選択図】図1
Description
本技術は、サンプルホルダに試料を保持して測定する測定装置およびそれに用いられるサンプルホルダに関する。
X線分析や光学系の測定・検査を行う場合に、測定装置用のサンプルホルダに試料を保持して測定・検査が行われている。このサンプルホルダについて、様々な形状の試料を保持することが可能な構成が提案されている。例えば、特許文献1では、円形ブロック状の部材にV字溝状の保持凹部を形成し、円柱状、円筒状、球状の試料を確実かつ安定的に保持することができるサンプルホルダが提案されている。
また、特許文献2では、基板に口径変化機構部と試料保持機構部などを設け、口径変化機構部を回動することで測定中心の位置に各種サイズの試料を移動させることができるサンプルホルダが提案されている。
しかし、特許文献1に記載のサンプルホルダでは、保持することができる試料が1つであり、1つの試料を測定した後で、別の試料を測定するためには、保持した試料を取り換える作業が必要となる。具体的に、特許文献1に記載のサンプルホルダを用いて測定を行う場合、サンプルホルダに試料を1つ保持して測定を行い、測定終了後にサンプルホルダから試料を取り外して、さらに別の試料を1つサンプルホルダに保持して測定する作業を繰返す必要があった。
また、特許文献1に記載のサンプルホルダでは、V字溝状の保持凹部に試料を保持させるため、溝に沿った方向のいずれかの位置で試料を保持することになる。そのため、試料の大きさによっては、サンプルホルダの中心位置で試料を保持するように、試料の位置を決める作業が必要となる。
さらに、特許文献2に記載のサンプルホルダでは、試料保持機構部に保持させる試料の大きさによって口径変化機構部を調整する作業が必要となる。また、特許文献2に記載のサンプルホルダでは、形状が異なる試料を保持させる度に、測定中心の位置に試料が来るように口径変化機構部を調整する作業が必要となる。
本技術は、複数の試料を測定する場合に試料の保持・取り外し作業を軽減し、保持した試料の位置合わせが容易なサンプルホルダ、および当該サンプルホルダを用いる測定装置を提供することを目的とする。
本発明のある局面に従う測定装置は、試料を測定する測定装置であって、複数の試料を載置することが可能なサンプルホルダと、サンプルホルダに載置された複数の試料を測定する測定部と、測定する試料に対する測定部の位置を制御する制御部とを備え、サンプルホルダは、基板と、基板に複数設けられ、試料を保持する保持部とを含み、保持部は、形状の異なる複数の試料を保持部の中心位置で保持することができる構成を有する。
保持部は、円錐または円錐台の形状を有する凹部であり、試料の一部を当該凹部の内側に当接させて試料を保持することで、形状の異なる複数の試料を保持部の中心位置で保持することができる構成である。
保持部は、基板に設けた穴に挿して固定する複数のピンで試料を保持することで、形状の異なる複数の試料を保持部の中心位置で保持することができる構成である。
保持部は、基板に設けた複数の可動部材で試料を保持することで、形状の異なる複数の試料を保持部の中心位置で保持することができる構成である。
制御部は、保持部の中心位置を、保持部で保持した試料の中心位置として試料に対する測定部の位置を制御してもよい。
制御部は、測定部で測定した少なくとも1つの試料端の位置と保持部の中心位置とに基づき、試料の大きさを算出してもよい。
制御部は、試料を測定する測定点が試料の大きさによらず一定数となるように、算出した試料の大きさに基づき測定点の間隔を設定してもよい。
制御部は、試料を測定する測定点の間隔が試料の大きさによらず一定間隔となるように、算出した試料の大きさに基づき測定点の数を設定してもよい。
制御部は、試料を測定する測定点の配置パターンを保持部ごとに変更することが可能である。
測定部は、光学を用いて試料の測定を行い、サンプルホルダに対して垂直方向の試料の高さを測定することが可能である。
制御部は、測定部で測定した少なくとも1つの試料端の位置での試料の高さと、保持部の中心位置での試料の高さとに基づき、試料の曲率を算出してもよい。
保持部は、凹部の一部にサンプルホルダを貫通する孔を有してもよい。
本発明の別の面に従うサンプルホルダは、試料を測定する測定装置に用いるサンプルホルダであって、基板と、基板に複数設けられ、試料を保持する保持部とを備え、保持部は、形状の異なる複数の試料を保持部の中心位置で保持することができる構成を有する。
本発明の別の面に従うサンプルホルダは、試料を測定する測定装置に用いるサンプルホルダであって、基板と、基板に複数設けられ、試料を保持する保持部とを備え、保持部は、形状の異なる複数の試料を保持部の中心位置で保持することができる構成を有する。
本発明のある実施の形態によれば、形状の異なる複数の試料を測定する場合に試料の保持・取り外し作業を軽減し、保持した試料の位置合わせが容易なサンプルホルダ、および当該サンプルホルダを用いる測定装置を提供できる。
本発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中の同一または相当部分については、同一符号を付してその説明は繰り返さない。
<A.サンプルホルダ>
本実施の形態に従う測定装置は、形状の異なる複数の試料(サンプルとも称す)をサンプルホルダに載せて測定を行うことが可能な構造を採用する。図1は、本実施の形態に従うサンプルホルダ10の構成を示す概略図である。図1(a)はサンプルホルダ10の平面図を、図1(b)はサンプルホルダ10のI−I面での断面図をそれぞれ示している。サンプルホルダ10は、基板1と、当該基板1に複数設けられ、試料を保持する保持部2とを備えている。
本実施の形態に従う測定装置は、形状の異なる複数の試料(サンプルとも称す)をサンプルホルダに載せて測定を行うことが可能な構造を採用する。図1は、本実施の形態に従うサンプルホルダ10の構成を示す概略図である。図1(a)はサンプルホルダ10の平面図を、図1(b)はサンプルホルダ10のI−I面での断面図をそれぞれ示している。サンプルホルダ10は、基板1と、当該基板1に複数設けられ、試料を保持する保持部2とを備えている。
基板1は、矩形の平板であって、例えばアルミニウムで形成されている。なお、基板1は、アルミニウム以外の金属(ステンレス鋼など)、樹脂材料(プラスチックなど)やガラス材料などの他の材料で形成してもよい。基板1には、図1(a)の横方向に3個、縦方向に3個、合計9個の保持部2が設けられている。なお、基板1に設けられる保持部2の数や大きさは、図1に示したものに限定されない。また、基板1には、格子状に複数の保持部2が形成されているが、保持部2の配列についても図1に示したものに限定されない。なお、サンプルホルダ10は、基板1に金属を用い、保持部2の試料と接する面に樹脂材料を用いるなど複数の種類の材料を組み合わせて形成してもよい。
保持部2は、図1(b)に示すように円錐台の形状を有する凹部であり、試料の一部を当該凹部の内側に当接させて試料を保持する構造である。つまり、保持部2は、すり鉢形状であって、外側から中心に向かって傾斜する面を有する形状である。そのため、試料の大きさや形状が異なっても、保持部2の内側のいずれかの位置で試料の一部と接することができるので、保持部2が試料を保持できる。なお、保持部2の内側は、外側から中心に向かって連続して傾斜する面で形成されている場合に限定されず、外側から中心に向かって階段状に傾斜する形状でもよい。つまり、保持部2は、内側の面が階段状であっても、全体として円錐台の形状であればよい。また、保持部2の形状は、完全な円錐台である必要はなく、加工のし易さなどから外側や中心の部分は基板1の面に対して垂直に形成されていてもよい。さらに、保持部2の外側から中心に向かって傾斜する面の傾きは、図1(b)に示す傾きに限定されない。
保持部2の中心部が底(図1(b)の下側)になっており、当該底にサンプルホルダ10を貫通する孔3が設けられている。孔3は、保持部2の外側と同心円の形状である。なお、孔3の形状は、円形に限定されず他の形であってもよい。保持部2に孔3を設けることで、保持部2の底にホコリが溜まらなくなり、サンプルホルダ10を水洗いする際にも保持部2の水はけがよくなる。
もちろん、保持部2の底に孔3を設けずに、底が塞がった円錐台の凹部を有する保持部2であってもよい。また、保持部2の底に孔3を設けないのであれば、底を平らにせず保持部2の形状を円錐の凹部としてもよい。
サンプルの代表例としては、錠剤、レンズや凹面ミラーなどの小型光学部品などが挙げられる。より具体的には、錠剤の形状として、丸型、三角形、四角形、楕円形、ラグビーボール型、六角形、八角形などがあり、ハードカプセルなどであってもよい。
<B.測定装置>
次に、サンプルホルダ10にセットした試料を測定する測定装置は、例えば共焦点顕微鏡である。図2は、本実施の形態に従う測定装置100の装置構成を示す模式図である。図2に示すように、測定装置100は、ランプ20の照明光をピンホール30により点光源とし、サンプルホルダ10にセットした試料に照射する。測定装置100では、焦点面と光学的に共役な位置(共焦点面)にピンホール40を配置すると、焦点面からの戻り光が検出器60に到達する。図2に示す焦点面は、サンプルホルダ10にセットした試料の面と一致しているので、試料からの戻り光が検出器60に到達するが、試料の面からずれた非焦点面11からの戻り光は、検出器60にほとんど到達しない(共焦点効果)。共焦点顕微鏡の測定装置100では、この共焦点効果と呼ばれる作用をもちいて、高解像、高コントラストの顕微鏡画像を得ることができる。
次に、サンプルホルダ10にセットした試料を測定する測定装置は、例えば共焦点顕微鏡である。図2は、本実施の形態に従う測定装置100の装置構成を示す模式図である。図2に示すように、測定装置100は、ランプ20の照明光をピンホール30により点光源とし、サンプルホルダ10にセットした試料に照射する。測定装置100では、焦点面と光学的に共役な位置(共焦点面)にピンホール40を配置すると、焦点面からの戻り光が検出器60に到達する。図2に示す焦点面は、サンプルホルダ10にセットした試料の面と一致しているので、試料からの戻り光が検出器60に到達するが、試料の面からずれた非焦点面11からの戻り光は、検出器60にほとんど到達しない(共焦点効果)。共焦点顕微鏡の測定装置100では、この共焦点効果と呼ばれる作用をもちいて、高解像、高コントラストの顕微鏡画像を得ることができる。
測定装置100は、ランプ20の照明光を試料に照射する構成として、ピンホール30、コリメートレンズ31、ビームスプリッター32、対物レンズ33を含む。また、測定装置100は、試料からの光を検出する構成として、対物レンズ33、ビームスプリッター32、集光レンズ41、ピンホール40を含む。
ランプ20は、たとえば、自ら光を発する光源であり、単波長の光を出力するレーザ、波長幅の広い光を出力するLED(Light‐Emitting Diode)または白熱電球等であってもよい。また、ランプ20を単波長の光を出力するレーザにすることで、測定装置100は、サンプル面内の蛍光観察を行うことができる共焦点レーザ走査型顕微鏡(CLS:Confocal Laser Scanning Microscopy)として構成することができる。
検出器60は、紫外光、可視光、赤外光などのサンプルからの光を検出することができる光センサや、サンプルからの光に含まれる波長スペクトルを出力する分光光度計などである。より具体的には、光センサは、光電子増倍管、フォトダイオードまたはCCD(Charged Coupled Device)センサまたはCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)センサなどから構成される。また、分光光度計は、入射した光を各波長成分に分離するための回折格子、および、回折格子により分離されたそれぞれの波長成分を検出するための検出素子(光電子増倍管、フォトダイオード、フォトダイオードアレイまたはCCDなど)を含む。
なお、ランプ20、ピンホール30,40、コリメートレンズ31、ビームスプリッター32、対物レンズ33、集光レンズ41および検出器60が、サンプルホルダに載せた試料を測定する測定部を構成している。
情報処理装置50は、検出器60からの検出結果(検出値、波長スペクトルなど)に基づいて各種の数値解析処理(代表的には、フィッティング処理やノイズ除去処理)を行ない、サンプルに含まれる物質を特定することが可能となる。また、情報処理装置50は、位置コントローラ52からのサンプルホルダ10の位置情報に基づきサンプルの大きさや形状を算出することができる。
位置コントローラ52は、情報処理装置50からの制御情報に基づいて、対物レンズ33に対するサンプルホルダ10の相対位置を調整し、サンプルホルダ10の位置情報を情報処理装置50に出力する。すなわち、位置コントローラ52は、情報処理装置50からの制御情報に基づいて、駆動機構54に対して位置指令を与える。駆動機構54は、試料を載せた面と平行な方向および当該方向に垂直な方向に対してサンプルホルダ10を移動させことができる。そのため、駆動機構54によりサンプルホルダ10上での検出器60の測定点を移動させることができるとともに、サンプルホルダ10に対する対物レンズ33の焦点位置(結像位置)を変更することができる。
なお、測定装置100では、情報処理装置50、位置コントローラ52および駆動機構54が測定する試料に対する測定部の位置を制御する制御部を構成している。
共焦点顕微鏡である測定装置100は、ランプ20と検出器60との組み合わせを変えることで、様々な項目を測定することが可能となる。例えば、ランプ20を単波長の光を出力するレーザにして、測定装置100を共焦点レーザ走査型顕微鏡として用いる場合、サンプルのXYZ方向にランプ20からの光を走査することで、サンプルの表面形状を測定することができる。また、蛍光マーカを付加したサンプルを測定する場合、測定装置100は、サンプル内での蛍光マーカの分布を測定することができる。
さらに、検出器60を分光光度計にして、測定装置100を共焦点分光反射率測定顕微鏡として用いる場合、焦点位置のみの分光反射スペクトルを測定することが可能となり、サンプル表面の分光反射率を測定することができる。共焦点分光反射率測定顕微鏡では、検出した反射スペクトルから、サンプル表面に塗布された薄膜試料の膜厚を計算するとか、物質の特定を行うとかの測定が可能となる。
また、ランプ20を赤外光源にし、検出器60を赤外光を分光検出できる分光光度計にして、共焦点赤外分光測定顕微鏡として用いる場合、サンプルのXYZ方向にランプ20からの光を走査して赤外スペクトルを検出して、各測定点でのサンプルの物質を特定することができ、サンプル内での物質の分布が分かる。
さらに、検出器60を分光光度計にし、ランプ20を単波長の光を出力するレーザとか白熱電球と分光器を組み合わせて単波長の光を出力するようにして、共焦点蛍光分光測定顕微鏡として用いる場合、サンプルの蛍光スペクトルを測定して、物質固有の蛍光スペクトルと比較する事で試料に含まれる物質を特定することができる。
さらに、検出器60を分光光度計にし、ランプ20を単波長の光を出力するレーザにして、共焦点レーザーラマン顕微鏡として用いる場合、サンプルからのラマン散乱光を測定することができる。共焦点レーザーラマン顕微鏡は、試料のラマンスペクトルと物質固有のラマンスペクトルとを比較する事でから試料に含まれる物質を特定することができる。
なお、測定装置100は、上記説明した共焦点顕微鏡に限定されず、照明光を光源に用いて、サンプルの分光反射率や分光透過率測定を測定する顕微分光装置、フーリエ変換方式を採用した顕微FTIR(赤外顕微鏡)、FTラマン顕微鏡、3D形状測定装置、光干渉顕微鏡、デジタルホログラフィック顕微鏡(DHM)などであってもよい。
<C.測定方法>
次に、測定装置100で試料を測定する方法について説明する。測定装置100は、検出器60を光センサと分光光度計とで切り替え可能である。そして、測定装置100は、ランプ20を単波長の光を出力するレーザにして、検出器60を光センサとして共焦点を利用して試料の形状を測定し、検出器60を分光光度計にして、共焦点レーザーラマン顕微鏡として試料に含まれる成分(物質)を測定することが可能であるとして、以下説明する。
次に、測定装置100で試料を測定する方法について説明する。測定装置100は、検出器60を光センサと分光光度計とで切り替え可能である。そして、測定装置100は、ランプ20を単波長の光を出力するレーザにして、検出器60を光センサとして共焦点を利用して試料の形状を測定し、検出器60を分光光度計にして、共焦点レーザーラマン顕微鏡として試料に含まれる成分(物質)を測定することが可能であるとして、以下説明する。
まず、測定対象である錠剤(試料)をサンプルホルダ10に載せる。図3は、錠剤を載せたサンプルホルダ10を示す概略図である。図3(a)はサンプルホルダ10の平面図を、図3(b)はサンプルホルダ10のI−I面での断面図をそれぞれ示している。
図3に示すサンプルホルダ10では、基板1にアライメントマーク4が設けられている。そのため、アライメントマーク4を図中左上にして、測定装置100にサンプルホルダ10をセットした場合、保持部2の配列が左側からA列目、B列目、C列目となり、上側から1行目、2行目、3行目となる。つまり、サンプルホルダ10の左上の保持部2はA1の保持部2、中央の保持部2はB2の保持部2と識別することができる。サンプルホルダの設定位置合わせは、アライメントマークでなくてもよい。例えば、サンプルホルダ10のアライメントマーク4の位置に穴を開けて、測定装置のサンプルホルダを設置する箇所にはピンを立て、ピンに入るようにサンプルホルダを設置する方式(ピンアライメント)でもよい。
サンプルホルダ10は、A列目の保持部2に例えば直径が18mmの錠剤5aを保持させ、B列目の保持部2に例えば直径が5mmの錠剤5bを保持させ、C列目の保持部2に例えば直径が10mmの錠剤5cを保持させる。つまり、サンプルホルダ10には、3種類の異なる錠剤5a〜5cを載せることができる。そのため、当該サンプルホルダ10を測定装置100に用いることで、測定装置100は、試料の保持・取り外し作業を行うことなく3種類の異なる錠剤を測定することができる。
さらに、サンプルホルダ10では、保持部2の形状が円錐台の形状であるので、直径が異なる錠剤5a〜5cであっても保持部2の内側のいずれかの位置で錠剤5a〜5cの一部と接し、安定して錠剤5a〜5cを保持部2で保持できる。図3(b)に示すように、直径が大きい錠剤5aは、保持部2の中心位置から遠い位置で保持部2と接して保持され、直径が小さい錠剤5bは、保持部2の中心位置から近い位置で保持部2と接して保持されている。直径が錠剤5bより大きい錠剤5cは、錠剤5bに比べて保持部2の中心位置から遠い位置で保持部2と接して保持されている。
また、図3(a)に示すように、保持部2の中心位置(円錐台の頂点)と、保持部2で保持した錠剤5a〜5cの中心位置とが一致している。具体的に、直径が大きい錠剤5aであっても、直径が小さい錠剤5bであっても、同様に保持部2の中心位置と、保持部2で保持した錠剤5a,5bの中心位置とが一致している。そのため、測定装置100は、錠剤の中心位置を測定して求めることなく、予め定められている各保持部2の中心位置を、各保持部2に保持した錠剤の中心位置として設定することができる。測定装置100は、アライメントマーク4の位置を合わせてサンプルホルダ10をセットすることで、保持部2の中心位置を錠剤5a〜5cの中心位置として測定を進めることが可能となり、錠剤の位置合わせが容易となる。
次に、サンプルホルダ10に載せた試料を測定装置100で測定する場合のフローチャートについて説明する、図4は、本実施の形態に従う測定装置100のフローチャートである。なお、図4に示すフローチャートでは、図3に示すサンプルホルダ10に錠剤5a〜5cを載せた構成を例に以下説明する。また、測定装置100では、測定する錠剤5a〜5cに対する測定部の位置の制御や、検出器60で検出した結果の演算等を情報処理装置50(図2参照)で行っているとして以下説明する。
まず、情報処理装置50は、アライメントマーク4の位置を合わせて測定装置100にサンプルホルダ10がセットされている場合、各保持部2の中心位置を各錠剤5a〜5cの中心位置に設定する(ステップS10)。
次に、情報処理装置50は、ステップS10で設定した各錠剤5a〜5cの中心位置に基づき、測定対象の保持部2の位置へ測定部を移動させる(ステップS11)。図3に示すサンプルホルダ10のA1の保持部2から順に測定するのであれば、情報処理装置50は、A1の保持部2の中心位置に測定部を移動させる。なお、情報処理装置50は、サンプルホルダ10に対して測定部を移動させると説明しているが、測定部に対してサンプルホルダ10を移動させてもよい。
次に、情報処理装置50は、錠剤5aの端位置と錠剤5aの中心位置とを測定する(ステップS12)。具体的に、情報処理装置50は、錠剤5aの形状を測定するため、錠剤5aの端位置の座標(x1,y1,z1)および錠剤5aの中心位置の座標(z2)を測定する。なお、測定した座標は、x,yがサンプルホルダ10の面内の位置を表し、zがサンプルホルダ10の面に対して垂直な方向の試料の高さを表している。また、錠剤5aの中心位置のx,y座標については、ステップS10で予め設定されているため測定を省略している。
次に、情報処理装置50は、ステップS12の測定結果から錠剤5a(試料)の大きさ、曲率を算出する(ステップS13)。具体的に、情報処理装置50は、ステップS10で設定した錠剤5aの中心位置の座標と、測定した錠剤5aの端位置の座標(x1,y1)とから錠剤5aの大きさ(直径)を算出することができる。さらに、情報処理装置50は、錠剤5aの中心位置での高さ(z2)と錠剤5aの端位置での高さ(z1)とに基づいて錠剤5aの曲率を算出する。
次に、情報処理装置50は、ステップS13で算出した錠剤5a(試料)の大きさに基づき、測定点の間隔を設定する(ステップS14)。測定装置100は、1つの試料に対して複数の測定点を設定し、測定点ごとに例えばラマン散乱光を測定して物質を特定することが可能である。測定点の間隔は、試料の大きさに関わらず一定の間隔にすること、試料の大きさに関わらず測定点の数が同じとなる間隔にすることが可能である。具体的に、図5は、測定点の間隔を説明するための模式図である。図5(a)は、試料の大きさに関わらず一定の間隔にした場合の測定点を示す図で、図5(b)〜図5(d)は、試料の大きさに関わらず測定点の数が同じとなる間隔にした場合の測定点を示す図である。
図5(a)に示す保持部2の中には、等間隔で測定点12が並んでいる。そのため、錠剤5aを保持した場合と、錠剤5bを保持した場合と、錠剤5cを保持した場合とで、それぞれの錠剤を測定する測定点12の数が異なっている。つまり、測定装置100は、大きい錠剤5aについては多くの測定点12からの測定結果が得られるが、小さい錠剤5bについては少ない測定点12からの測定結果しか得られない。ただし、測定する間隔が一定であるため、測定部を移動させる制御が容易になる。
一方、図5(b)に示す錠剤5aに含まれる測定点12と、図5(c)に示す錠剤5bに含まれる測定点12と、図5(d)に示す錠剤5cに含まれる測定点12とが同じ数である。そのため、測定装置100は、錠剤の大きさに関わらず同じ数の測定点12からの測定結果が得られる。ただし、錠剤の大きさによって測定する間隔が変化するため、測定部を移動させる制御が複雑になる。
次に、情報処理装置50は、ステップS14で設定した測定点12を測定する(ステップS15)。具体的に、情報処理装置50は、設定した測定点12に対して測定部を移動させ、各測定点12からの例えばラマン散乱光を検出器60で測定し結果を取得する。
測定装置100は、サンプルホルダ10のA1の保持部2に保持した錠剤5aの測定が終わった場合、次のA2の保持部2に保持した錠剤5aの測定を行う。そのため、情報処理装置50は、A1の保持部2に位置していた測定部をA2の保持部2の位置に移動させる。情報処理装置50は、測定が最後の保持部2か否かを判定する(ステップS16)。なお、図3に示すサンプルホルダ10ではC3の保持部2が最後の保持部2とする。
最後の保持部2でない場合(ステップS16:NO)、情報処理装置50は、測定部を次の保持部2の位置に移動させる(ステップS17)。最後の保持部2(C3の保持部2)である場合(ステップS16:YES)、情報処理装置50は、接続されたモニタに測定結果を表示する(ステップS18)。
図6は、測定結果の表示例を示す模式図である。図6に示す表示画面51には、サンプル1としてA1の保持部2で保持した錠剤5aの成分構成比率が表示されている。具体的に、A1に設置した錠剤5aは、成分Aが40%、成分Bが35%、成分Cが15%、成分Dが10%である。同様に、図6に示す表示画面51には、サンプル2としてA2の保持部2で保持した錠剤5aの成分構成比率が表示され、サンプル3がA3の保持部2で保持した錠剤5aの成分構成比率が表示されている。具体的に、A2に設置した錠剤5aは、成分Aが45%、成分Bが30%、成分Cが16%、成分Dが9%である。A3に設置した錠剤5aは、成分Aが50%、成分Bが25%、成分Cが10%、成分Dが15%である。図6では、さらにサンプル1〜サンプル3の合計したトータルの成分構成比率が表示されている。錠剤5aの平均成分は、成分Aが45%、成分Bが30%、成分Cが14%、成分Dが11%である。このように、サンプルホルダ10に複数の錠剤(試料)を保持させることができるため、測定装置100は、1回の試料設置で同種類の試料を複数測定することが可能になる。そのため、測定装置100は、同種類の試料から得られた複数の測定結果から、成分のバラツキなどの統計処理を行うことが可能となる。
以上のように、本実施の形態に従う測定装置100は、複数の試料を載置することが可能なサンプルホルダ10と、サンプルホルダ10に載置された複数の試料を測定する測定部と、測定する試料に対する測定部の位置を制御する制御部とを備えている。さらに、サンプルホルダ10は、基板1と、基板1に複数設けられ、試料を保持する保持部2とを備えている。保持部2は、形状の異なる複数の試料を保持部2の中心位置で保持することができる構成を有する。このような構成とすることで、測定装置100は、形状の異なる複数の試料を載置することができるサンプルホルダ10を用いて複数の試料を測定する場合、試料の保持・取り外し作業を軽減することができる。
特に、本実施の形態に従うサンプルホルダ10では、保持部2が円錐または円錐台の形状を有する凹部であり、試料の一部を当該凹部の内側に当接させて試料を保持することで、形状の異なる複数の試料を保持部2の中心位置で保持することができる構成である。このような構成とすることで、円錐または円錐台の形状の保持部2のそれぞれに形状の異なる複数の試料を載せても、保持部2の中心位置で保持することができる。
また、制御部は、保持部2の中心位置を、保持部2で保持した試料の中心位置として試料に対する測定部の位置を制御してもよい。このような構成とすることで、測定装置100は、試料の中心位置を測定により算出する必要がなくなるため、保持した試料の位置合わせが容易となる。
さらに、制御部は、測定部で測定した少なくとも1つの試料端の位置と保持部の中心位置とに基づき、試料の大きさを算出することができる。測定装置100は、保持部の中心位置が試料の中心位置であるので、試料端の位置を測定することだけで試料の大きさを算出することが可能となる。
また、制御部は、試料を測定する測定点が試料の大きさによらず一定数となるように、または試料を測定する測定点の間隔が試料の大きさによらず一定間隔となるように、算出した試料の大きさに基づき測定点の数を設定することができる。測定装置100は、試料に応じて測定点の間隔を変更することができる。
さらに、測定部は、光学を用いて試料の測定を行い、サンプルホルダ10に対して垂直方向の試料の高さを測定することが可能である。例えば、測定部は、ランプを白色光源にして共焦点を利用して試料の高さを測定することが可能である。
また、制御部は、測定部で測定した少なくとも1つの試料端の位置での試料の高さと、保持部の中心位置での試料の高さとに基づき、試料の曲率を算出することができる。例えば、情報処理装置50は、錠剤5aの中心位置での高さ(z2)と錠剤5aの端位置での高さ(z1)とに基づいて錠剤5aの曲率を算出する。
さらに、保持部2は、凹部の一部にサンプルホルダ10を貫通する孔3を有する。このような構成とすることで、保持部2は、底にホコリが溜まらなくなり、サンプルホルダ10を水洗いする際にも水はけがよくなる。
<D.変形例>
(1) 本実施の形態に従う測定装置100では、図5に示すように測定点が等間隔に設定される配置パターンの例を説明した。しかし、測定点の配置パターンは、これに限定されるものではなく他の配置パターンでもよく、保持部2ごとに異なる配置パターンでもよい。図7は、測定点12の配置パターンの異なる例を示す模式図である。図7に示すサンプルホルダ10は、図3に示したサンプルホルダ10と同様に、アライメントマーク4を図中左上にして、測定装置100にサンプルホルダ10をセットした場合、保持部2の配列が左側からA列目、B列目、C列目となり、上側から1行目、2行目、3行目となる。つまり、サンプルホルダ10の左上の保持部2はA1の保持部2、中央の保持部2はB2の保持部2と識別する。また、図7に示すサンプルホルダ10も、A列目の保持部2に例えば直径が18mmの錠剤5aを保持させ、B列目の保持部2に例えば直径が5mmの錠剤5bを保持させ、C列目の保持部2に例えば直径が10mmの錠剤5cを保持させている。
(1) 本実施の形態に従う測定装置100では、図5に示すように測定点が等間隔に設定される配置パターンの例を説明した。しかし、測定点の配置パターンは、これに限定されるものではなく他の配置パターンでもよく、保持部2ごとに異なる配置パターンでもよい。図7は、測定点12の配置パターンの異なる例を示す模式図である。図7に示すサンプルホルダ10は、図3に示したサンプルホルダ10と同様に、アライメントマーク4を図中左上にして、測定装置100にサンプルホルダ10をセットした場合、保持部2の配列が左側からA列目、B列目、C列目となり、上側から1行目、2行目、3行目となる。つまり、サンプルホルダ10の左上の保持部2はA1の保持部2、中央の保持部2はB2の保持部2と識別する。また、図7に示すサンプルホルダ10も、A列目の保持部2に例えば直径が18mmの錠剤5aを保持させ、B列目の保持部2に例えば直径が5mmの錠剤5bを保持させ、C列目の保持部2に例えば直径が10mmの錠剤5cを保持させている。
測定装置100は、図7に示すように、1行目の錠剤に対し放射状に測定点12の配置パターンを設定し、2,3行目のA列目およびC列目の錠剤に対しクロス状に測定点12の配置パターンを設定している。2,3行目のB列目の錠剤に対しては、同心円状に測定点12の配置パターンを設定している。
このように、制御部は、試料を測定する測定点12の配置パターンを保持部2ごとに変更することが可能である。このような構成とすることで、測定装置100は、試料の形状など試料の特性にあった測定を行うことが可能となる。
(2) 本実施の形態に従う測定装置100では、図1に示すように矩形状の基板1で構成されたサンプルホルダ10の例を説明した。しかし、サンプルホルダの形状は、矩形に限られず、他の形状の基板で構成してもよい。例えば、円形の基板で構成したサンプルホルダについて説明する。
図8および図9は、円形の基板で構成したサンプルホルダ10Aの概略図である。図8(a)は、サンプルホルダ10Aの平面図である。図8(b)は、サンプルホルダ10AのA−A面での断面図である。図9(a)は、サンプルホルダ10Aの底面図である。図9(b)は、サンプルホルダ10Aの正面図である。なお、サンプルホルダ10Aの左側面図、右側面図および背面図は、図9(b)に示す正面図と同じ図となるため省略する。また、図8および図9に示したサンプルホルダ10Aにおいて、意匠的特徴部分については実線で、非特徴部分については破線で外形線を描いている。
サンプルホルダ10Aは、円形の平板の基板1に複数の保持部2が形成されている。基板1には、図1のように格子状に複数の保持部2が形成されているのではなく、円周状に8個の保持部2が形成されている。なお、サンプルホルダ10Aの径が大きければ、同心円状に2重、3重と円周状に保持部2を形成してもよい。また、渦巻き状に保持部2を形成してもよい。
サンプルホルダ10Aを回動可能に基板1の中心で固定すると、測定装置100は、サンプルホルダ10Aを回して測定対象の試料を測定範囲に移動させることが可能となる。
なお、図8および図9に示したサンプルホルダ10Aにおいて、意匠的特徴部分については実線で、非特徴部分については破線で外形線を示しており、本願を意匠登録出願に変更する場合には、図面において実線で示した部分の部分意匠を「意匠登録を受けようとする意匠」とすることができる。また、外形線を破線で描いた部分のうちの任意の意匠部分、あるいはその任意の部分と外形線を実線で描いた部分とを併せた意匠部分を「意匠登録を受けようとする意匠」とすることができる。さらには、サンプルホルダ10Aの全体形状の意匠を「意匠登録を受けようとする意匠」として意匠登録出願に変更してもよい。すなわち、図8および図9には、それらの図面から特定できるあらゆる態様の意匠が記載されている。
(3) 本実施の形態に従う測定装置100では、図1に示すように9個の保持部2が矩形状の基板1に形成されたサンプルホルダ10の例を説明した。しかし、サンプルホルダに形成される保持部2の数は9個に限られず、他の個数の保持部2が基板に形成されてもよい。
図10は、保持部2の数が異なるサンプルホルダの概略図である。図10(a)は、2個の保持部2が矩形状の基板1に形成されたサンプルホルダ10Bである。図10(b)は、サンプルホルダ10BのB−B面での断面図である。図10(c)は、4個の保持部2が矩形状の基板1に形成されたサンプルホルダ10Cである。図10(d)は、サンプルホルダ10CのC−C面での断面図である。図10(e)は、6個の保持部2が矩形状の基板1に形成されたサンプルホルダ10Dである。図10(f)は、サンプルホルダ10DのD−D面での断面図である。
(4) 本実施の形態に従う測定装置100では、図1に示すように保持部2が円錐または円錐台の形状を有する凹部であり、試料の一部を当該凹部の内側に当接させて試料を保持するサンプルホルダ10の例を説明した。しかし、サンプルホルダに形成される保持部の構成は、形状の異なる複数の試料を保持部2の中心位置で保持することができる構成であれば何れの構成でもよい。つまり、保持部の構成は、円錐または円錐台の形状を有する凹部に限られず、形状の異なる様々な形状の試料を保持できる構成であれば他の構成の保持部であってもよい。
例えば、保持部は、基板に設けた複数の爪部(可動部材)で試料を保持することで、形状の異なる複数の試料を保持部の中心位置で保持することができる構成でもよい。図11は、可動する爪部で試料を保持する保持部を有するサンプルホルダの概略図である。図11に示すサンプルホルダ10Eは、図3に示したサンプルホルダ10と同様に、アライメントマーク4を図中左上にして、測定装置100にサンプルホルダ10Eをセットした場合、保持部70の配列が左側からA列目、B列目、C列目となり、上側から1行目、2行目、3行目となる。
図11に示す保持部70は、基板1に設けた枠72に取付けられた3つの爪部73を調整ネジ71で可動させて錠剤5d(試料)を保持している。つまり、保持部70は、3つの爪部73を用いて錠剤5dを3点で保持している。また、爪部73は、調整ネジ71を操作することで可動し、保持する試料の大きさに合わせて3つの爪部73の間の距離を変化させる。なお、3つ爪部73で試料を保持した時に、試料の中心位置が、常に同じ保持部の中心位置となるように設計されている。
(5) 保持部は、基板に設けた穴に挿して固定する複数の保持ピンで試料を保持することで、形状の異なる複数の試料を保持部の中心位置で保持することができる構成でもよい。図12は、複数の保持ピンで試料を保持する保持部を有するサンプルホルダの概略図である。図12(a)は、サンプルホルダ10Fの平面図である。図12(b)は、サンプルホルダ10FのF−F面での断面図である。図12に示すサンプルホルダ10Fは、図3に示したサンプルホルダ10と同様に、アライメントマーク4を図中左上にして、測定装置100にサンプルホルダ10Fをセットした場合、保持部の配列が左側からA列目、B列目、C列目となり、上側から1行目、2行目、3行目となる。図12に示す保持部は、保持部の中心位置となる基板1の位置に貫通孔82が設けられ、当該貫通孔82の周りに一定の間隔で保持ピンを立てる穴81が設けられている。
具体的に、複数の保持ピンで試料を保持する構成について説明する。図13は、保持ピンで試料を保持する保持部の概略図である。図13(a)および図13(b)は、穴81に立てる保持ピン83,84を示している。保持ピン83は、保持ピン84に比べて試料を保持する部分(ヘッド部)の径が大きく設計されている。図13(c)では、錠剤5eを3つの保持ピン83で保持している。つまり、保持部は、3つの保持ピン83を用いて錠剤5eを3点で保持している。保持部は、少なくとも3つの保持ピンを用いることで様々な形状の試料を保持することができる。図13(c)では、同じ穴81に保持ピンを立てても、ヘッド部の径が異なる保持ピンを用いることで異なる径の錠剤5f〜5iを保持部で保持している様子が示されている。具体的に、保持部は、錠剤5jを保持する場合に保持ピン83を用いて保持し、錠剤5jより径の小さい錠剤5kを保持する場合にヘッド部の径が大きい保持ピン84を用いて保持している。
保持部で保持できる形状は、円形状に限られず、三角形、四角形、六角形、八角形および楕円形などであってもよい。図13(d)では、三角形の錠剤5l,5mおよび六角形の錠剤5n,5oを3つの保持ピンで、四角形の錠剤5p、八角形の錠剤5qおよび楕円形の錠剤5rを4つの保持ピンを用いて保持部で保持している様子が示されている。具体的に、保持部は、四角形の錠剤5pを保持する場合に4つの保持ピン83を用いて保持し、八角形の錠剤5qを保持する場合にヘッド部の径が大きい保持ピン84を4つ用いて保持している。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1,1A 基板、2,70 保持部、3 孔、4 アライメントマーク、5a〜5r 錠剤、10,10A〜10F サンプルホルダ、20 ランプ、50 情報処理装置、52 位置コントローラ、54 駆動機構、60 検出器、100 測定装置。
Claims (17)
- 試料を測定する測定装置であって、
複数の試料を載置することが可能なサンプルホルダと、
前記サンプルホルダに載置された複数の試料を測定する測定部と、
測定する試料に対する前記測定部の位置を制御する制御部とを備え、
前記サンプルホルダは、
基板と、
前記基板に複数設けられ、試料を保持する保持部とを含み、
前記保持部は、形状の異なる複数の試料を前記保持部の中心位置で保持することができる構成を有する、測定装置。 - 前記保持部は、円錐または円錐台の形状を有する凹部であり、試料の一部を当該凹部の内側に当接させて試料を保持することで、形状の異なる複数の試料を前記保持部の中心位置で保持することができる構成である、請求項1に記載の測定装置。
- 前記保持部は、前記基板に設けた穴に挿して固定する複数のピンで試料を保持することで、形状の異なる複数の試料を前記保持部の中心位置で保持することができる構成である、請求項1に記載の測定装置。
- 前記保持部は、前記基板に設けた複数の可動部材で試料を保持することで、形状の異なる複数の試料を前記保持部の中心位置で保持することができる構成である、請求項1に記載の測定装置。
- 前記制御部は、前記保持部の中心位置を、前記保持部で保持した試料の中心位置として試料に対する前記測定部の位置を制御する、請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の測定装置。
- 前記制御部は、前記測定部で測定した少なくとも1つの試料端の位置と前記保持部の中心位置とに基づき、試料の大きさを算出する、請求項2〜請求項4のいずれか1項に記載の測定装置。
- 前記制御部は、試料を測定する測定点が試料の大きさによらず一定数となるように、算出した試料の大きさに基づき測定点の間隔を設定する、請求項6に記載の測定装置。
- 前記制御部は、試料を測定する測定点の間隔が試料の大きさによらず一定間隔となるように、算出した試料の大きさに基づき測定点の数を設定する、請求項6に記載の測定装置。
- 前記制御部は、試料を測定する測定点の配置パターンを前記保持部ごとに変更することが可能である、請求項2〜請求項8のいずれか1項に記載の測定装置。
- 前記測定部は、光学を用いて試料の測定を行い、前記サンプルホルダに対して垂直方向の試料の高さを測定することが可能な、請求項2〜請求項9のいずれか1項に記載の測定装置。
- 前記制御部は、前記測定部で測定した少なくとも1つの試料端の位置での試料の高さと、前記保持部の中心位置での試料の高さとに基づき、試料の曲率を算出する、請求項10に記載の測定装置。
- 前記保持部は、前記凹部の一部に前記サンプルホルダを貫通する孔を有する、請求項2に記載の測定装置。
- 試料を測定する測定装置に用いるサンプルホルダであって、
基板と、
前記基板に複数設けられ、試料を保持する保持部とを備え、
前記保持部は、形状の異なる複数の試料を前記保持部の中心位置で保持することができる構成を有する、サンプルホルダ。 - 前記保持部は、円錐または円錐台の形状を有する凹部であり、試料の一部を当該凹部の内側に当接させて試料を保持することで、形状の異なる複数の試料を前記保持部の中心位置で保持することができる構成である、請求項13に記載のサンプルホルダ。
- 前記保持部は、前記基板に設けた穴に挿して固定する複数のピンで試料を保持することで、形状の異なる複数の試料を前記保持部の中心位置で保持することができる構成である、請求項13に記載のサンプルホルダ。
- 前記保持部は、前記基板に設けた複数の可動部材で試料を保持することで、形状の異なる複数の試料を前記保持部の中心位置で保持することができる構成である、請求項13に記載のサンプルホルダ。
- 前記保持部は、前記凹部の一部に前記サンプルホルダを貫通する孔を有する、請求項14に記載のサンプルホルダ。
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