JP2019101114A - 露光装置および露光方法 - Google Patents
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Abstract
Description
d=L×PE/Q ・・・(1)
dp=D/2−d ・・・(2)
窓Wの主走査方向Xに沿った中心位置Xwはあらかじめ測定されている。よって、位置測定用パターンPTの中心位置Pxは、以下の式によって求められる。
Px=Xw+L/2+dp ・・・(3)
Py=Pw+L/2+dp ・・・(4)
22 DMD(光変調素子アレイ)
22M マイクロミラー(光変調素子)
24 DMD駆動回路(露光制御部)
27 位置算出部(演算部)
28 位置測定部(測光部)
30 コントローラ(露光制御部)
40 遮光部
PD フォトダイオード
P1 透過部
W 窓(透過部)
Claims (12)
- 複数の光変調素子をマトリクス状に配列させた光変調素子アレイと、
少なくとも1つの透過部が設けられ、前記光変調素子アレイの露光エリアに対し相対移動する遮光部とを備え、
前記光変調素子アレイが、前記透過部の相対位置に応じて、測定パターン光を形成する光変調素子を切り替え、
前記透過部を通る光の光量に基づいて露光位置を測定することを特徴する露光装置。 - 前記露光エリアが前記透過部を通過する間、所定の露光ピッチに従って多重露光動作が実行されることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記光変調素子アレイが、前記透過部の一部領域を照明するように、前記測定パターン光を形成することを特徴とする請求項1または2に記載の露光装置。
- 前記光変調素子アレイが、副走査方向に沿ったエッジラインをもつ測定パターン光を形成することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の露光装置。
- 前記光変調素子アレイが、主走査方向に沿ったエッジラインをもつ測定パターン光を形成することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の露光装置。
- 前記透過部が、矩形状であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の露光装置。
- 前記透過部を通る光を受光し光量を測定する測光部と、
前記測光部から出力される一連の光量に応じた信号に基づいて、主走査方向と副走査方向の少なくともいずれか一方に沿った露光位置を算出する演算部と
をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の露光装置。 - 測定された露光位置と、基準となる露光位置との差に基づいて、描画データを補正することを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の露光装置。
- ステージを前記露光エリアに対して相対移動させる走査部をさらに備え
前記遮光部が、基板を搭載するステージと連動することを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の露光装置。 - 複数の光変調素子をマトリクス状に配列した光変調素子アレイを設けた露光ヘッドと、
基板を搭載するステージを、前記露光ヘッドに対して相対移動させる走査部と、
少なくとも1つの透過部を有し、前記ステージと連動する遮光部と、
前記透過部を通る光を受光する測光部とを備え、
前記光変調素子アレイが、前記透過部が前記露光ヘッド下方を通過するとき、前記透過部に向けて測定パターン光を投影し続けることを特徴とする露光装置。 - 基板を搭載するステージを、複数の光変調素子をマトリクス状に配列した光変調素子アレイを設けた露光ヘッドに対して相対移動させ、
前記ステージと連動する遮光部に設けられた少なくとも1つの透過部を通る光の光量を検出し、
前記透過部が前記露光ヘッド下方を通過するとき、前記複数の光変調素子を切り替え駆動することによって、前記透過部に向けて測定パターン光を投影し続け、
検出された光量から露光位置を求めることを特徴とする露光位置測定方法。 - 前記遮光部に設けられたスリットを前記露光ヘッドに対して相対移動させ、
前記スリットが前記露光ヘッド下方を通過するとき、あらかじめ定められた光変調素子を駆動することによって測定パターン光を投影し続け、
検出された光量から算出される暫定的露光位置に基づいて露光位置を暫定的に補正した後、前記複数の光変調素子を切り替え駆動することによって、前記透過部に向け測定パターン光を投影し続けることを特徴とする請求項12に記載の露光位置測定方法。
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JP2005051212A (ja) * | 2003-06-26 | 2005-02-24 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置のための較正方法及びデバイス製造方法 |
JP2005316409A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-11-10 | Fuji Photo Film Co Ltd | 露光装置 |
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JP2014165266A (ja) * | 2013-02-22 | 2014-09-08 | Orc Manufacturing Co Ltd | 露光装置 |
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- 2017-11-29 JP JP2017229429A patent/JP7037341B2/ja active Active
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