JP2019100887A - Inspection order setting device, inspection order setting method and inspection order setting program - Google Patents
Inspection order setting device, inspection order setting method and inspection order setting program Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019100887A JP2019100887A JP2017232865A JP2017232865A JP2019100887A JP 2019100887 A JP2019100887 A JP 2019100887A JP 2017232865 A JP2017232865 A JP 2017232865A JP 2017232865 A JP2017232865 A JP 2017232865A JP 2019100887 A JP2019100887 A JP 2019100887A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- order
- arithmetic processing
- period
- setting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
Description
本発明は、基板上に設定された複数の検査視野の検査順序を設定する技術に関する。 The present invention relates to a technique for setting an inspection order of a plurality of inspection fields set on a substrate.
基板上に設定された検査視野を検査する順序を適正化する技術が提案されている（特許文献１、参照）。特許文献１においては、検査視野の位置関係と移動関係とを視覚的に把握可能な態様で表示した状態で、検査視野順序の変更が受け付けられる。これにより、検査視野の移動経路に無駄がないように検査視野順序を変更できる。
There has been proposed a technique for optimizing the order of inspecting inspection visual fields set on a substrate (see Patent Document 1). In
しかしながら、検査視野の移動経路に無駄がなくても、演算処理部が過去の検査視野の演算処理を終了していない場合には、当該演算処理が終了するまで次の検査視野の演算処理を行うことができず、処理待ちの時間が発生してしまうというという問題があった。すなわち、検査視野の移動経路に無駄がないような検査視野順序を設定しても、必ずしも検査の所要期間が短くならないという問題があった。 However, even if the movement path of the inspection view is not wasted, if the arithmetic processing unit does not finish the operation processing of the past inspection view, the next inspection view calculation processing is performed until the calculation processing ends. There is a problem that it can not be done and the waiting time for processing occurs. That is, there is a problem that even if the inspection visual field order is set such that the movement path of the inspection visual field is not wasted, the required period of the inspection does not necessarily become short.
本発明は、前記の問題を解決せんとするもので、検査の所要時間が短くなる検査視野の検査順序を設定することができる技術を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a technique capable of setting an inspection order of inspection visual fields in which a required time for inspection becomes short.
前記の目的を達成するため、本発明の検査順序設定装置は、基板上に設定されたＮ個（Ｎは２以上の自然数）の検査視野のそれぞれを撮像可能な１個のカメラと、Ｈ個（Ｈは２以上かつＮ未満の自然数）の演算処理部とを備えた基板検査装置に検査させる検査視野の検査順序を設定する検査順序設定装置であって、検査順序の複数の候補を設定する順序候補設定部と、演算処理部が演算処理に要する演算期間を検査視野のそれぞれについて取得する演算期間取得部と、演算期間に基づいて、すべての検査視野を検査した場合の所要期間を複数の検査順序の候補のそれぞれについて取得する所要期間取得部と、所要期間に基づいて、複数の検査順序の候補のなかから基板検査装置に設定する検査順序を選択する検査順序選択部と、を備える。 In order to achieve the above object, the inspection order setting device of the present invention comprises one camera capable of imaging each of N (N is a natural number of 2 or more) inspection fields set on a substrate, and H An inspection order setting apparatus for setting an inspection order of an inspection field to be inspected by a substrate inspection apparatus provided with (H is a natural number of 2 or more and a natural number less than N), and setting a plurality of candidates for the inspection order The order candidate setting unit, the calculation period acquisition unit for acquiring the calculation period required for the calculation process for each of the inspection fields, and the required period when all the inspection fields are inspected based on the calculation period A required period acquiring unit for acquiring each of inspection order candidates, and an inspection order selection unit for selecting an inspection order to be set in the substrate inspection apparatus from among a plurality of inspection order candidates based on the required period.
前記の構成において、検査視野の検査順序の複数の候補のうち、すべての検査視野を検査した場合の所要期間が短くなるものを、基板検査装置に設定する検査順序として選択できる。所要期間取得部は、検査視野のそれぞれの演算期間に基づいて所要期間を取得するため、検査視野ごとに異なる演算期間を考慮して全体の所要期間が短くなる検査順序を選択できる。従って、検査視野ごとに検査対象となる部位（半田、部品、リード、印字等）の数や種類が異なり、演算負荷が異なる場合でも、適切な検査順序を選択できる。 In the above configuration, it is possible to select one of a plurality of candidates for the inspection order of the inspection field of view which shortens the required period in the case of inspecting all the inspection fields as the inspection order to be set in the substrate inspection apparatus. Since the required period acquisition unit acquires the required period based on each calculation period of the inspection view, it is possible to select an inspection order in which the entire required period becomes short in consideration of different calculation periods for each inspection view. Therefore, even if the number and type of parts (solder, parts, leads, printing, etc.) to be inspected differ depending on the inspection visual field, and the calculation load is different, an appropriate inspection order can be selected.
ここで、検査視野の検査順序とは、Ｈ個の演算処理部を用いて、どの検査視野を何番目に演算処理するかを規定するものである。順序候補設定部は、検査視野の検査順序の複数（少なくとも２個）の候補を設定する。Ｎ個の検査視野の検査順序の候補の個数は、Ｎの階乗（Ｎ！）だけ考えられ得る。ただし、順序候補設定部は、組み合わせられ得るすべての検査順序の候補を設定しなくてもよく、組み合わせられ得るすべての検査順序のうちの一部を候補として設定してもよい。 Here, the inspection order of inspection visual field defines which inspection visual field is to be processed in what order using H arithmetic processing units. The order candidate setting unit sets a plurality of (at least two) candidates of the inspection order of the inspection view. The number of inspection order candidates for N inspection views can be considered by N factorial (N!). However, the order candidate setting unit does not have to set all examination order candidates that can be combined, and may set a part of all possible examination orders that can be combined as candidates.
演算期間取得部は、検査視野ごとの演算期間を取得すればよく、実際に演算処理部にて演算処理をした際に要した期間の計測結果に基づいて演算期間を取得してもよいし、検査視野内に存在する検査対象となる部位の個数や種類等に基づいて演算期間を予測してもよい。また、Ｈ個の演算処理部の処理能力は均一であってもよいし、均一でなくてもよい。
後者の場合、Ｈ個の演算処理部のそれぞれの処理能力に応じて異なる演算期間が取得できるように構成しておけばよい。演算処理部とは、演算処理を行うためのハードウェアを意味し、例えばＣＰＵとＲＡＭが該当する。また、１個のＣＰＵまたはＣＰＵコアが１個の演算処理部に相当してもよいし、複数のＣＰＵまたはＣＰＵコアが１個の演算処理部に相当してもよい。演算処理とは、検査視野を撮像した画像の画像処理や、当該画像処理の結果物を検査対象の部位ごとに良否判定する処理を含んでもよい。さらに、演算処理は、検査視野を撮像した画像をＲＡＭ等のワークエリアに読み込む処理を含んでいてもよい。検査順序選択部は、所要期間が短い検査順序を選択すればよく、所要期間が最短となる検査順序を選択してもよいし、所要期間が閾値以下となる検査順序を選択してもよい。
The calculation period acquisition unit may obtain the calculation period for each examination view, and may obtain the calculation period based on the measurement result of the period required when the calculation processing unit actually performs the calculation processing, The calculation period may be predicted based on the number, type, and the like of the portions to be inspected that are present in the inspection view. Also, the processing capabilities of the H arithmetic processing units may or may not be uniform.
In the latter case, different calculation periods may be obtained according to the processing capacity of each of the H calculation processing units. The arithmetic processing unit means hardware for performing arithmetic processing, and corresponds to, for example, a CPU and a RAM. Further, one CPU or CPU core may correspond to one arithmetic processing unit, or a plurality of CPUs or CPU cores may correspond to one arithmetic processing unit. The arithmetic processing may include image processing of an image obtained by capturing an inspection view, and processing for determining pass / fail of the result of the image processing for each part to be inspected. Furthermore, the calculation process may include a process of reading an image obtained by capturing an inspection view into a work area such as a RAM. The inspection order selection unit may select an inspection order with a short required period, and may select an inspection order with the shortest required period, or may select an inspection order with the required period below the threshold.
ここで、所要期間取得部は、検査順序の候補における順番がｎ番目（ｎはＮ以下の自然数）の検査視野についての演算処理の準備が完了する準備完了時刻において、Ｈ個の演算処理部の少なくとも１個が演算処理を行っていない場合には、準備完了時刻をｎ番目の検査視野の演算処理の開始時刻として設定し、準備完了時刻において、Ｈ個の演算処理部のすべてが演算処理を行っている場合には、Ｈ個の演算処理部のそれぞれが行っている演算処理の終了時刻のうちの最も早い時刻をｎ番目の検査視野の演算処理の開始時刻として設定する開始時刻設定処理を行ってもよい。そして、所要期間取得部は、この開始時刻設定処理を、候補における検査順序が１番目からＮ番目の検査視野について順次行うことにより、順番がＮ番目の検査視野についての演算処理の終了時刻を最終終了時刻として取得し、当該最終終了時刻を終期とする所要期間を取得してもよい。 Here, the required period acquisition unit is prepared for the H operation processing units at the preparation completion time when the preparation of the arithmetic processing for the inspection view of the nth (n is a natural number less than or equal to N) in the inspection order candidate is completed. When at least one does not perform the arithmetic processing, the preparation completion time is set as the start time of the arithmetic processing of the n-th examination field, and all the H arithmetic processing units execute the arithmetic processing at the preparation completion time. If it is performed, the start time setting process of setting the earliest time of the end times of the arithmetic processing performed by each of the H arithmetic processing units as the start time of the arithmetic processing of the n-th examination field You may go. Then, the required period acquisition unit sequentially performs this start time setting process on the first to Nth inspection visual fields in the examination order in the candidate, thereby ending the end time of the arithmetic processing on the Nth inspection visual field in the order. It may be acquired as an end time, and a required period ending with the final end time may be acquired.
順番がｎ番目の検査視野の演算処理の準備が完了する準備完了時刻において、Ｈ個の演算処理部の少なくとも１個が演算処理を行っていない場合には、すぐに演算処理を開始することができ、当該準備完了時刻を演算処理の開始時刻とすることができる。一方、順番がｎ番目の検査視野の演算処理の準備が完了しているのに、Ｈ個の演算処理部のすべてが演算処理を行っている場合には、すぐに演算処理を開始することができず、処理待ち期間が発生することとなる。この処理待ち期間は、Ｈ個の演算処理部のそれぞれが行っている演算処理の終了時刻のうちの最も早い時刻まで継続し、当該時刻にて順番がｎ番目の検査視野の演算処理を開始することができることとなる。 If at least one of the H arithmetic processing units is not performing the arithmetic processing at the preparation completion time when the preparation for the arithmetic processing of the n-th inspection field is completed, the arithmetic processing may be started immediately The preparation completion time can be used as the start time of the arithmetic processing. On the other hand, if all of the H arithmetic processing units are performing the arithmetic processing while the preparation for the arithmetic processing of the n-th inspection visual field is completed, the arithmetic processing may be started immediately It can not be done, and a processing waiting period will occur. This processing waiting period continues until the earliest time among the end times of the arithmetic processing performed by each of the H arithmetic processing units, and the arithmetic processing of the inspection field of the n-th inspection order is started at the relevant time It will be possible.
以上のように、順番がｎ番目の検査視野の演算処理の開始時刻を設定する開始時刻設定処理を、検査順序が１番目からＮ番目の検査視野について順次行っていくことにより、最終的にＮ番目の検査視野の演算処理の開始時刻を設定できる。そして、ｎ番目の検査視野の演算処理の開始時刻にｎ番目の検査視野の演算期間を加算することにより、ｎ番目の検査視野の演算処理の終了時刻を得ることができる。Ｎ番目の検査視野についての演算処理の終了時刻は、すべての検査視野についての検査の最終終了時刻となるため、当該最終終了時刻が早い検査順序の候補を選択することにより、検査の所要時間が短くなる検査順序を設定できる。 As described above, by sequentially performing the start time setting process of setting the start time of the calculation process of the inspection field of the n-th order sequentially for the first to N-th inspection fields of the inspection order, N The start time of the calculation process of the second inspection view can be set. Then, by adding the calculation period of the n-th examination view to the start time of the calculation process of the n-th examination view, the end time of the calculation process of the n-th examination view can be obtained. Since the end time of the calculation process for the Nth inspection view is the final end time of the inspection for all the inspection views, the examination required time is selected by selecting the candidate for the inspection order whose final end time is earlier. You can set the inspection order to be short.
準備完了時刻は、カメラが検査視野の撮像を完了する時刻であってもよい。カメラが検査視野の撮像を完了すれば、当該撮像した撮像画像を演算処理部が演算処理することができる。なお、１個のカメラでＮ個の検査視野を順次撮像するため、準備完了時刻は検査視野ごとに異なることとなる。従って、所要期間取得部は、検査視野を撮像する撮像順序に基づいて準備完了時刻を取得し、さらに当該準備完了時刻に基づいて所要期間を取得することとなる。ここで、早期に演算処理する検査視野を早期に撮像しておくことができるように、撮像順序と検査順序とが一致することが望ましい。ただし、必ずしも撮像順序と検査順序とが一致しなくてもよい。 The preparation completion time may be a time at which the camera completes the imaging of the examination view. When the camera completes the imaging of the examination view, the arithmetic processing unit can perform arithmetic processing on the imaged captured image. In addition, in order to image N inspection visual fields one by one in order, the preparation completion time will differ for every inspection visual field. Therefore, the required period acquisition unit acquires the preparation completion time based on the imaging order for imaging the examination view, and further acquires the required period based on the preparation completion time. Here, it is desirable that the imaging order and the inspection order match so that the inspection view field to be arithmetically processed early can be imaged early. However, the imaging order and the inspection order do not necessarily have to match.
さらに、順序候補設定部は、演算期間が最短の検査視野を、複数の検査順序の候補のそれぞれにおける順番がＮ番目の検査視野として設定してもよい。Ｎ番目の検査視野は最後に演算処理が開始する検査視野であり、Ｎ番目の検査視野の演算処理の終了待ちにより、全体の所要期間が長くなる可能性がある。これに対して、演算期間が最短の検査視野をＮ番目の検査視野と設定することにより、Ｎ番目の検査視野の演算処理の終了待ちの期間を抑制し、全体の所要期間を短くすることができる。さらに、演算期間が最短の検査視野をＮ番目の検査視野に固定することにより、組み合わせられ得る検査視野の検査順序の候補の個数を抑制することができる。 Furthermore, the order candidate setting unit may set the inspection view with the shortest calculation period as the Nth inspection view in each of the plurality of inspection order candidates. The N-th examination view is the examination view at which the calculation process finally starts, and waiting for the completion of the calculation process of the N-th examination view may increase the entire required period. On the other hand, by setting the inspection field of view with the shortest calculation period as the N-th inspection field, the period waiting for the end of the calculation processing of the N-th inspection field can be suppressed and the entire required period can be shortened. it can. Furthermore, by fixing the inspection view with the shortest calculation period to the N-th inspection view, it is possible to suppress the number of inspection order candidates of the inspection view that can be combined.
また、順序候補設定部は、基板上に設けられた位置合わせのための基準マークからの距離が最短の検査視野を、撮像順序が１番目の検査視野として設定し、複数の検査順序の候補のそれぞれにおける検査順序が１番目の検査視野として設定してもよい。これにより、検査順序が１番目の検査視野へのカメラの移動と撮像とを速やかに行うことができ、Ｈ個の演算処理部のいずれかが演算処理を開始するタイミングを早めることができる。従って、全体の所要期間を短くすることができる。さらに、基準マークからの距離が最短の検査視野を１番目の検査視野に固定することにより、組み合わせられ得る検査視野の検査順序の候補の個数を抑制することができる。 In addition, the order candidate setting unit sets an inspection view having the shortest distance from the reference mark for alignment provided on the substrate as an inspection view with the first imaging order, and a plurality of inspection order candidates are selected. The inspection order in each may be set as the first inspection view. Thereby, the movement of the camera to the first inspection visual field and the imaging can be performed promptly in the inspection order, and the timing at which one of the H arithmetic processing units starts the arithmetic processing can be advanced. Therefore, the entire required period can be shortened. Further, by fixing the inspection view with the shortest distance from the reference mark to the first inspection view, it is possible to suppress the number of inspection order candidates of the inspection view that can be combined.
ここでは、下記の順序に従って本発明の実施の形態について説明する。
（１）検査順序設定装置の構成：
（２）検査順序設定処理：
（３）所要期間取得処理：
（４）他の実施形態：
Here, embodiments of the present invention will be described in the following order.
(1) Configuration of inspection order setting device:
(2) Inspection order setting process:
(3) Required period acquisition process:
(4) Other embodiments:
（１）検査順序設定装置の構成：
図１は、本実施形態にかかる基板検査装置１０の概略構成を示すブロック図である。基板検査装置１０は、本発明の一実施形態にかかる検査順序設定装置を含むものである。図１において、基板検査装置１０は、制御部２０と記録媒体３０と撮像部４０とを備えている。
(1) Configuration of inspection order setting device:
FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of a
撮像部４０は、照明４１とイメージセンサ４２と移動部４３とを備えている。移動部４３は、基板とイメージセンサ４２とを相対移動させるための装置であり、イメージセンサ４２を移動させるアクチュエータであってもよいし、基板をイメージセンサ４２に対して移動させるＸ−Ｙステージであってもよい。本明細書において、イメージセンサ４２が検査視野に移動すると表記した場合、検査視野を撮像できる相対位置にイメージセンサ４２と基板とが移動することを意味することとする。
The
照明４１は、基板に光を照射するための光源と光学系を含み、照明光の種類は特に限定されない。イメージセンサ４２は、基板上の検査視野を撮像する撮像素子である。イメージセンサ４２は、撮像した撮像画像を１枚分だけ記録可能であり、当該撮像画像を他のメモリに転送するまでは、次の撮像画像を撮像することができない。イメージセンサ４２は、本発明のカメラに相当する。
The
図２は、基板の平面図である。基板ＷＢには予め５個（Ｎ＝５）の検査視野Ｖ１〜Ｖ５が設定されており、検査視野Ｖ１〜Ｖ５に対応する位置に基板ＷＢとイメージセンサ４２とが相対移動することにより、検査視野Ｖ１〜Ｖ５のそれぞれを撮像することが可能となっている。検査視野Ｖ１〜Ｖ５には、複数の検査対象となる部位が不均一に存在している。検査対象となる部位とは、半田、部品、リード、印字等であり、これらのそれぞれについて基板検査装置１０は良否判定を行う。検査対象となる部位の種類は特に限定されない。検査視野Ｖ１〜Ｖ５の大きさは均一であってもよいし、互いに異なってもよい。基板ＷＢは外形が矩形状となっており、３個の隅に予め決められた形状の基準マークＥ１〜Ｅ３が形成されている。基準マークＥ１〜Ｅ３は、予め決められた形状のパッドやレジストや穴等であり、予め決められた基準位置に形成されたものである。基準マークＥ１〜Ｅ３の個数は特に限定されるものではない。
FIG. 2 is a plan view of the substrate. Five (N = 5) inspection fields of view V1 to V5 are set in advance on the substrate WB, and the inspection fields of view are obtained by relative movement of the substrate WB and the
図１に示す制御部２０は、図示しないＣＰＵやＲＯＭやＲＡＭで構成されるコンピュータであり、記録媒体３０に記録された各種情報を用いて検査視野Ｖ１〜Ｖ５の検査に必要な処理を実行する。制御部２０は、２個のＶＲＡＭ１，ＶＲＡＭ２を含んでいる。ＶＲＡＭ１，ＶＲＡＭ２は、物理的に独立したメモリであってもよいし、単一のメモリを論理的に区分したものであってもよい。制御部２０は、２個（Ｈ＝２）の演算処理部Ｃ１と演算処理部Ｃ２とを有しており、演算処理部Ｃ１がＶＲＡＭ１をワークエリアとして使用し、演算処理部Ｃ２がＶＲＡＭ２をワークエリアとして使用する。演算処理部Ｃ１と演算処理部Ｃ２は、並列処理が可能である。制御部２０は、ＣＰＵとしてマルチコアプロセッサを備えており、当該演算処理部Ｃ１と演算処理部Ｃ２のそれぞれに互いに同数のコアが割り当てられている。すなわち、演算処理部Ｃ１の処理能力と演算処理部Ｃ２の処理能力とは同じである。
The
記録媒体３０は、検査視野情報３０ａと演算期間情報３０ｂと移動期間情報３０ｃとを記録している。検査視野情報３０ａは、検査視野Ｖ１〜Ｖ５の個数と位置と形状とを規定した情報である。制御部２０は、基準マークＥ１〜Ｅ３を順次イメージセンサ４２で撮像することにより、基準マークＥ１〜Ｅ３の位置を取得し、当該基準マークＥ１〜Ｅ３の位置に基づいて検査視野Ｖ１〜Ｖ５の位置と形状とを補正する。補正後の検査視野Ｖ１〜Ｖ５の位置や形状を用いて検査視野Ｖ１〜Ｖ５の撮像が行われる。なお、基準マークＥ１〜Ｅ３のうち、右下隅の基準マークＥ３が最後に撮像されることとする。また、検査視野情報３０ａは、検査視野Ｖ１〜Ｖ５に含まれる複数の検査対象の部位のそれぞれについて位置や種類を規定している。
The
演算期間情報３０ｂは、検査視野Ｖ１〜Ｖ５の検査のための演算処理に要する期間である演算期間を検査視野Ｖ１〜Ｖ５のそれぞれについて規定した情報である。図３Ａは、演算期間情報を示す表である。同図に示すように、検査視野Ｖ１〜Ｖ５のそれぞれについて演算期間Ｄ１〜Ｄ５が規定されている。
The
演算期間Ｄ１〜Ｄ５とは、検査視野Ｖ１〜Ｖ５の撮像画像をイメージセンサ４２からＶＲＡＭ１またはＶＲＡＭ２に転送する転送期間と、ＶＲＡＭ１またはＶＲＡＭ２に転送された撮像画像を用いて検査対象となる部位の検査を行うための各種演算処理の期間とが含まれる。本実施形態において、撮像画像の転送期間は短く、当該転送期間の長さを０と見なすこととする。
In the calculation periods D1 to D5, a transfer period for transferring a captured image of the inspection view field V1 to V5 from the
各種演算処理には、検査対象となる部位の画像の抽出処理、検査に適した画像とするための画像調整処理、画像から検査指標値を導出する数値化処理、検査指標値に基づいて良否判定を行う処理等を含む。むろん、これらの処理の内容は特に限定されない。検査対象となる部位の数や種類によって演算期間Ｄ１〜Ｄ５の長さは互いに異なっており、検査視野Ｖ１の演算期間Ｄ１が最も短いこととする。本実施形態において、演算期間Ｄ１〜Ｄ５は、実際に検査視野Ｖ１〜Ｖ５についての演算処理を行った場合に要した期間を計測することにより得られている。 Various calculation processing includes extraction processing of the image of the part to be inspected, image adjustment processing to make the image suitable for inspection, digitization processing for deriving the inspection index value from the image, and quality determination based on the inspection index value Processing etc. are included. Of course, the contents of these processes are not particularly limited. The lengths of the calculation periods D1 to D5 differ from one another depending on the number and types of parts to be inspected, and the calculation period D1 of the inspection field V1 is the shortest. In the present embodiment, the calculation periods D1 to D5 are obtained by measuring the period required when the calculation processing for the inspection visual fields V1 to V5 is actually performed.
移動期間情報３０ｃは、検査視野Ｖ１〜Ｖ５間の移動に要する期間である移動期間を検査視野Ｖ１〜Ｖ５の組のそれぞれについて規定した情報である。検査視野Ｖ１〜Ｖ５の組とは、移動元の検査視野Ｖ１〜Ｖ５と移動先の検査視野Ｖ１〜Ｖ５との組み合わせである。例えば、検査視野Ｖ２から検査視野Ｖ３へと移動する場合の移動期間Ｒ２３が移動期間情報３０ｃに規定されている。移動期間Ｒ２３は、反対方向の移動期間Ｒ３２と同一であると見なされてもよいし、反対方向の移動期間Ｒ３２と異なってもよい。また、最後に撮像される基準マークＥ３から当該基準マークＥ３に最も近い検査視野Ｖ５へと移動する際の移動期間Ｒ０５も移動期間情報３０ｃに規定されている。
The
制御部２０は、検査順序設定プログラム２１と基板検査プログラム２２とを実行する。まず、基板検査プログラム２２の機能により制御部２０は、基準マークＥ１〜Ｅ３を順次イメージセンサ４２で撮像することにより、基準マークＥ１〜Ｅ３の位置を取得し、当該基準マークＥ１〜Ｅ３の位置に基づいて検査視野Ｖ１〜Ｖ５の位置と形状とを補正しておく。そして、基板検査プログラム２２の機能により制御部２０は、予め設定された検査順序で検査視野Ｖ１〜Ｖ５が撮像できるように移動部４３を制御するとともに、イメージセンサ４２にて撮像画像の撮像を行わせる。
The
基板検査プログラム２２の機能により制御部２０は、検査視野Ｖ１〜Ｖ５のそれぞれの撮像が完了すると、撮像画像をＶＲＡＭ１またはＶＲＡＭ２に転送する。撮像画像をＶＲＡＭ１またはＶＲＡＭ２に転送すると、イメージセンサ４２は撮像順序における次の順番の検査視野Ｖ１〜Ｖ５の撮像が可能となる。撮像画像がＶＲＡＭ１またはＶＲＡＭ２に転送されると、基板検査プログラム２２の機能により制御部２０は、ＶＲＡＭ１またはＶＲＡＭ２をワークエリアとして演算処理部Ｃ１または演算処理部Ｃ２に検査のための演算処理を開始させる。制御部２０は、演算処理が完了すると、ＶＲＡＭ１またはＶＲＡＭ２をクリアする。
When the imaging of each of the inspection views V1 to V5 is completed by the function of the
図４は、検査のタイミングチャートの一例である。本実施形態において、撮像順序と検査順序とが一致することとする。図４において、検査順序における順番がｎ−３〜ｎ＋１番目の検査視野Ｖ１〜Ｖ５（以下、単に検査視野Ｖと表記する場合もある。）についてのタイミングが示されている。ここで、順番がｎ番目の検査視野Ｖに注目して検査のタイミングを説明する。ｎ番目の検査視野Ｖの撮像が完了する時刻を撮像完了時刻Ｓ（ｎ）と表記し、ｎ番目の検査視野Ｖの撮像が開始する時刻を撮像開始時刻Ｑ（ｎ）と表記し、ｎ番目の検査視野Ｖへの移動が完了する時刻を移動完了時刻Ｕ（ｎ）と表記する。さらに、ｎ番目の検査視野Ｖの演算処理に要する期間を演算期間Ｄ（ｎ）と表記し、当該演算期間Ｄ（ｎ）が開始する時刻を演算開始時刻Ｘ（ｎ）と表記し、当該演算期間Ｄ（ｎ）が終了する時刻を演算終了時刻Ｚ（ｎ）と表記する。 FIG. 4 is an example of a test timing chart. In the present embodiment, it is assumed that the imaging order and the inspection order match. FIG. 4 shows the timing for the n-3 to n + 1-th inspection visual field V1 to V5 (hereinafter, may be simply referred to as the inspection visual field V) in the inspection order. Here, the inspection timing will be described focusing on the inspection view field V in the nth order. The time when imaging of the n-th examination view V is completed is referred to as imaging completion time S (n), the time when imaging of the n-th examination view V is started is referred to as imaging start time Q (n), and n-th The time when the movement to the inspection view field V is completed is referred to as a movement completion time U (n). Furthermore, the period required for the calculation process of the n-th inspection view V is described as calculation period D (n), the time when the calculation period D (n) starts is described as calculation start time X (n), The time when the period D (n) ends is referred to as an operation end time Z (n).
図４に示すように、ｎ番目の検査視野Ｖの撮像が撮像完了時刻Ｓ（ｎ）にて完了している。撮像完了時刻Ｓ（ｎ）は、本発明の準備完了時刻である。なお、図４の例では、撮像完了時刻Ｓ（ｎ）において、演算処理部Ｃ１，Ｃ２のうち演算処理部Ｃ１における演算処理が完了しており、ＶＲＡＭ１がクリアされている。
As shown in FIG. 4, imaging of the n-th inspection visual field V is completed at imaging completion time S (n). The imaging completion time S (n) is the preparation completion time of the present invention. In the example of FIG. 4, at the imaging completion time S (n), the arithmetic processing in the arithmetic processing unit C1 of the arithmetic processing units C1 and C2 is completed, and the
従って、基板検査プログラム２２の機能により制御部２０は、ＶＲＡＭ１にｎ番目の検査視野Ｖの撮像画像を転送して、演算処理部Ｃ１にｎ番目の検査視野Ｖについての演算処理を行わせる。従って、撮像完了時刻Ｓ（ｎ）と演算開始時刻Ｘ（ｎ）とはほぼ同時となる。ｎ番目の検査視野Ｖの撮像画像をＶＲＡＭ１に転送すれば、イメージセンサ４２は次の（ｎ＋１）番目の検査視野Ｖの撮像を行うことが可能となる。従って、制御部２０は、（ｎ＋１）番目の検査視野Ｖへの移動完了時刻Ｕ（ｎ＋１）と、ｎ番目の検査視野Ｖの撮像画像を転送した演算開始時刻Ｘ（ｎ）のうち遅い方の時刻にて、イメージセンサ４２に（ｎ＋１）番目の検査視野Ｖの撮像を開始させる。
Therefore, the
ここで、図４に示すように、演算処理に要する期間である演算期間Ｄ（ｎ−３），Ｄ（ｎ−２），Ｄ（ｎ−１），Ｄ（ｎ）は、検査視野Ｖごとに異なる。なお、本実施形態において、検査視野Ｖの撮像に要する撮像期間は、均一であることとする。ただし、照明条件や露光条件等の相違によって撮像期間が検査視野Ｖごとに異なってもよい。 Here, as shown in FIG. 4, calculation periods D (n−3), D (n−2), D (n−1), D (n) which are periods required for the calculation processing It is different. In the present embodiment, it is assumed that the imaging period required for imaging the inspection view field V is uniform. However, the imaging period may be different for each inspection visual field V depending on the difference in the illumination condition, the exposure condition, and the like.
図５は、検査のタイミングチャートの別の例である。ここでも、順番がｎ番目の検査視野Ｖに注目して検査のタイミングを説明する。図５の例では、撮像完了時刻Ｓ（ｎ）において、演算処理部Ｃ１，Ｃ２の双方の演算処理が完了しておらず、ＶＲＡＭ１，ＶＲＡＭ２がともにクリアされていない。従って、基板検査プログラム２２の機能により制御部２０は、演算処理部Ｃ１，Ｃ２が行っている演算処理の演算終了時刻Ｚ（ｎ−１），Ｚ（ｎ−２）のうち早い方の演算終了時刻Ｚ（ｎ−２）が到来するまで待機し、演算終了時刻Ｚ（ｎ−２）と同時に、ＶＲＡＭ２にｎ番目の検査視野Ｖの撮像画像を転送する。
FIG. 5 is another example of a test timing chart. Here also, the timing of the inspection will be described focusing on the inspection visual field V in the nth order. In the example of FIG. 5, at the imaging completion time S (n), the arithmetic processing of both the arithmetic processing units C1 and C2 is not completed, and both VRAM1 and VRAM2 are not cleared. Therefore, with the function of the
その結果、（ｎ−２）番目の検査視野Ｖの演算処理の演算終了時刻Ｚ（ｎ−２）とほぼ同時に、演算処理部Ｃ２におけるｎ番目の検査視野Ｖについての演算処理の演算開始時刻Ｘ（ｎ）が到来することとなる。ｎ番目の検査視野Ｖの撮像画像を転送するまでは、イメージセンサ４２は撮像順序における次の順番の（ｎ＋１）番目の検査視野Ｖの撮像を行うことができず、（ｎ＋１）番目の検査視野Ｖまで移動した状態で待機することとなる。図５の例において、制御部２０は、ｎ番目の検査視野Ｖの撮像画像をＶＲＡＭ２に転送すると同時に（転送期間を０と見なす）、イメージセンサ４２に（ｎ＋１）番目の検査視野Ｖの撮像を開始している。すなわち、ｎ番目の検査視野Ｖの演算開始時刻Ｘ（ｎ）とｎ＋１番目の検査視野Ｖの撮像開始時刻Ｑ（ｎ＋１）とが同時となっている。この場合、ｎ番目の検査視野Ｖの撮像が完了しているのにｎ番目の検査視野Ｖの演算処理が開始できない演算待ち期間Ｗ（ｎ）と、（ｎ＋１）番目の検査視野Ｖへの移動が完了しているのにｎ＋１番目の検査視野Ｖの撮像が開始できない撮像待ち期間Ｐ（ｎ＋１）とが発生する。
As a result, the calculation start time X of the calculation process for the n-th inspection view V in the arithmetic processing unit C2 substantially simultaneously with the calculation end time Z (n-2) of the calculation process of the (n-2) th inspection view V (N) will arrive. The
以上の処理を予め設定された検査順序における順番が１〜Ｎ番目（ｎ＝１〜Ｎ）の検査視野Ｖについて順次行っていくことにより、すべての検査視野Ｖについて検査の結果を得ることができる。制御部２０は、すべての検査視野Ｖについての検査の結果を記録媒体３０に記録したり、図示しない出力装置に出力したりする。
By sequentially performing the above-described process on the first to Nth (n = 1 to N) inspection visual fields V in the inspection order set in advance, the inspection results can be obtained for all the inspection visual fields V. . The
（２）検査順序設定処理：
次に、検査順序を設定するための構成を図６の検査順序設定処理のフローチャートとともに説明する。検査順序設定プログラム２１は、順序候補設定モジュール２１ａと演算期間取得モジュール２１ｂと所要期間取得モジュール２１ｃと検査順序選択モジュール２１ｄとを含む。順序候補設定モジュール２１ａと演算期間取得モジュール２１ｂと所要期間取得モジュール２１ｃと検査順序選択モジュール２１ｄとを実行するコンピュータとしての制御部２０は、本発明の順序候補設定部と演算期間取得部と所要期間取得部と検査順序選択部とを構成する。
(2) Inspection order setting process:
Next, a configuration for setting the inspection order will be described along with the flowchart of the inspection order setting process of FIG. The inspection
まず、演算期間取得モジュール２１ｂの機能により制御部２０は、検査視野情報３０ａを取得する（ステップＳ１００）。すなわち、制御部２０は、基板ＷＢに設定されている検査視野Ｖの個数（＝Ｎ）と、各検査視野Ｖの位置と形状とを取得する。さらに、演算期間取得モジュール２１ｂの機能により制御部２０は、演算処理部Ｃ１，Ｃ２が演算処理に要する演算期間Ｄ１〜Ｄ５を検査視野Ｖ１〜Ｖ５のそれぞれについて取得する。すなわち、演算期間取得モジュール２１ｂの機能により制御部２０は、移動期間情報３０ｃを参照することにより、実際の演算処理に要した演算期間Ｄ１〜Ｄ５を取得する。
First, the
次に、順序候補設定モジュール２１ａの機能により制御部２０は、検査視野Ｖの検査順序の複数の候補を設定する（ステップＳ１１０）。制御部２０は、基準マークＥ１〜Ｅ３のうちイメージセンサ４２が最後に撮像する基準マークＥ３からの距離が最短の検査視野Ｖ５を複数の検査順序の候補のそれぞれにおける検査順序が１番目の検査視野Ｖとして設定する。
Next, the
さらに、順序候補設定モジュール２１ａの機能により制御部２０は、演算期間が最短の検査視野Ｖを、複数の検査順序の候補のそれぞれにおける検査順序がＮ番目（Ｎ＝５）の検査視野Ｖとして設定する。上述したように、検査視野Ｖ１の演算期間Ｄ１が他の検査視野Ｖ２〜Ｖ５よりも短いため、制御部２０は、演算期間Ｄ１が最短の検査視野Ｖ１を複数の検査順序の候補のそれぞれにおける順番がＮ番目の検査視野Ｖとして設定する。
Further, by the function of the order
図３Ｃは、検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６を示す表である。同図に示すように、基準マークＥ３からの距離が最短の検査視野Ｖ５の順番が検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６のいずれにおいても１番目となっている。また、演算期間Ｄ１が最短の検査視野Ｖ１の順番が検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６のいずれにおいても５番目となっている。本実施形態においては、撮像順序と検査順序が一致するため、検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６を設定することにより、撮像順序の候補も設定されたこととなる。 FIG. 3C is a table showing candidates K1 to K6 of the inspection order. As shown in the figure, the order of the inspection view field V5 having the shortest distance from the reference mark E3 is the first in any of the inspection order candidates K1 to K6. Further, the order of the inspection view field V1 having the shortest calculation period D1 is the fifth in any of the inspection order candidates K1 to K6. In the present embodiment, since the imaging order and the inspection order match, by setting the inspection order candidates K1 to K6, the imaging order candidate is also set.
順序候補設定モジュール２１ａの機能により制御部２０は、１番目とＮ番目以外の順番について考えられ得るすべての組み合わせを生成することにより、検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６を設定する。本実施形態においては、検査視野Ｖ１，Ｖ５を除く、３個の検査視野Ｖ２〜Ｖ４の順列を考えればよいため、３！＝６個の検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６が設定されることとなる。なお、制御部２０は、どの演算処理部Ｃ１，Ｃ２にどの検査視野Ｖ１〜Ｖ５の演算処理を担当させるかについては設定しない。
By the function of the order
次に、所要期間取得モジュール２１ｃの機能により制御部２０は、検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６を仮選択する（ステップＳ１２０）。すなわち、制御部２０は、後述する所要期間取得処理の対象とする検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６を１個選択する。次に、所要期間取得モジュール２１ｃの機能により制御部２０は、所要期間取得処理を実行する（ステップＳ１３０）。すなわち、所要期間取得モジュール２１ｃの機能により制御部２０は、演算期間Ｄ１〜Ｄ５に基づいて、検査視野Ｖ１〜Ｖ５を検査した場合の所要期間を、仮選択した検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６について取得するための所要期間取得処理を実行する。所要期間取得処理の詳細については後述する。
Next, the
次に、所要期間取得モジュール２１ｃの機能により制御部２０は、すべての検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６について所要期間を取得したか否かを判定する（ステップＳ１５０）。すなわち、制御部２０は、検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６の個数分だけ所要期間取得処理を繰り返して実行したか否かを判定する。すべての検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６について所要期間を取得したと判定しなかった場合（ステップＳ１５０：Ｎ）、制御部２０は、ステップＳ１２０に戻り、次の検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６を仮選択する。以上の処理（ステップＳ１２０〜Ｓ１５０）を繰り返して実行することにより、所要期間取得モジュール２１ｃの機能により制御部２０は、演算期間Ｄ１〜Ｄ５に基づいて、すべての検査視野Ｖ１〜Ｖ５を検査した場合の所要期間を複数の検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６のそれぞれについて取得することができる。
Next, with the function of the required
すべての検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６について所要期間を取得したと判定した場合（ステップＳ１５０：Ｙ）、検査順序選択モジュール２１ｄの機能により所要期間が最短の検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６を選択する（ステップＳ１６０）。すなわち、検査順序選択モジュール２１ｄの機能により制御部２０は、所要期間に基づいて、複数の検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６のなかから基板検査装置１０に設定する検査順序を選択する。ここで選択された検査順序にしたがって、基板検査プログラム２２の機能により制御部２０は、各検査視野Ｖ１〜Ｖ５の検査を順次実行することとなる。
If it is determined that the required periods have been acquired for all the inspection order candidates K1 to K6 (step S150: Y), the inspection
（３）所要期間取得処理：
次に、所要期間取得処理（図６のステップＳ１３０）の詳細について説明する。図７は、所要期間取得処理のフローチャートである。まず、所要期間取得モジュール２１ｃの機能により制御部２０は、ｎに１をセットする（ステップＳ１３１）。すなわち、制御部２０は、仮選択した検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６における順番を指定する変数であるｎを１番目にセットする。次に、所要期間取得モジュール２１ｃの機能により制御部２０は、撮像開始時刻Ｑ（ｎ）と撮像完了時刻Ｓ（ｎ）とを取得する（ステップＳ１３２）。本実施形態において、ｎ＝１である場合、制御部２０は、最後に撮像する基準マークＥ３から１番目の検査視野Ｖ５＝Ｖ（ｎ）までの移動期間Ｒ０５を撮像開始時刻Ｑ（ｎ）として取得する。一方、ｎ≧２である場合、制御部２０は、後述するステップＳ１４０にて予め設定されている撮像開始時刻Ｑ（ｎ）を取得する。制御部２０は、撮像開始時刻Ｑ（ｎ）に撮像期間を加算した時刻を撮像完了時刻Ｓ（ｎ）として取得する。
(3) Required period acquisition process:
Next, details of the required period acquisition process (step S130 in FIG. 6) will be described. FIG. 7 is a flowchart of the required period acquisition process. First, the
次に、所要期間取得モジュール２１ｃの機能により制御部２０は、ｎが２よりも大きいか否かを判定する（ステップＳ１３３）。ここで、ｎが２よりも大きい場合、撮像完了時刻Ｓ（ｎ）において、演算処理部Ｃ１と演算処理部Ｃ２の双方が１〜ｎ−１番目の検査視野Ｖの演算処理を行っており、ＶＲＡＭ１とＶＲＡＭ２の双方がクリアされていない可能性がある。一方、ｎが２以下である場合、撮像完了時刻Ｓ（ｎ）において、演算処理部Ｃ１と演算処理部Ｃ２の少なくとも一方が検査視野Ｖの演算処理を行っておらず、ＶＲＡＭ１とＶＲＡＭ２の少なくとも一方がクリアされていることとなる。
Next, the
ｎが２よりも大きいと判定しなかった場合（ステップＳ１３３：Ｎ）、所要期間取得モジュール２１ｃの機能により制御部２０は、演算開始時刻Ｘ（ｎ）として撮像完了時刻Ｓ（ｎ）を取得する（ステップＳ１３４）。すなわち、制御部２０は、撮像完了時刻Ｓ（ｎ）において、ＶＲＡＭ１とＶＲＡＭ２の少なくとも一方がクリアされており、即座にｎ番目の検査視野Ｖの撮像画像を転送して演算処理部Ｃ１または演算処理部Ｃ２にて演算処理を開始できるとして、演算開始時刻Ｘ（ｎ）に撮像完了時刻Ｓ（ｎ）を設定する。
When it is not determined that n is larger than 2 (step S133: N), the
一方、ｎが２よりも大きいと判定した場合（ステップＳ１３３：Ｙ）、所要期間取得モジュール２１ｃの機能により制御部２０は、演算終了時刻Ｚ（１）〜Ｚ（ｎ−１）を取得する（ステップＳ１３５）。すなわち、制御部２０は、検査順序における順番がｎ番目よりも早い１〜ｎ−１番目の演算終了時刻Ｚ（１）〜Ｚ（ｎ−１）を取得する。なお、ｎが２よりも大きい場合、少なくとも２個の演算終了時刻Ｚ（１）〜Ｚ（ｎ−１）が、後述するステップＳ１３８にて予め設定されていることとなる。
On the other hand, when it is determined that n is larger than 2 (step S133: Y), the
次に、所要期間取得モジュール２１ｃの機能により制御部２０は、撮像完了時刻Ｓ（ｎ）より遅い演算終了時刻Ｚ（１）〜Ｚ（ｎ−１）が２個（Ｈ個）であるか否かを判定する（ステップＳ１３６）。すなわち、制御部２０は、撮像完了時刻Ｓ（ｎ）において、２個の演算処理部Ｃ１と演算処理部Ｃ２の双方が１〜ｎ−１番目のいずれかの検査視野Ｖの演算処理を行っているか否かを判定する。つまり、制御部２０は、撮像完了時刻Ｓ（ｎ）において、ＶＲＡＭ１とＶＲＡＭ２の双方がクリアされておらず、即座にｎ番目の検査視野Ｖの演算処理を開始できないか否かを判定する。
Next, according to the function of the required
ここで、撮像完了時刻Ｓ（ｎ）において、演算処理部Ｃ１と演算処理部Ｃ２が演算処理を行っている検査視野Ｖはｎ−１番目とｎ−２番目の検査視野Ｖに限られない。例えば、撮像完了時刻Ｓ（ｎ）において、演算処理部Ｃ１と演算処理部Ｃ２が演算処理を行っている検査視野Ｖがｎ−１番目とｎ−３番目の検査視野Ｖとなる場合も生じ得る。 Here, at the imaging completion time S (n), the inspection field of view V in which the arithmetic processing unit C1 and the arithmetic processing unit C2 are performing arithmetic processing is not limited to the n-1st and n-2th inspection visual fields V. For example, the inspection field of view V in which the arithmetic processing unit C1 and the arithmetic processing unit C2 are performing arithmetic processing at the imaging completion time S (n) may be the n-1st and n-3rd inspection visual field V .
撮像完了時刻Ｓ（ｎ）より遅い演算終了時刻Ｚ（１）〜Ｚ（ｎ−１）が２個（Ｈ個）であると判定しなかった場合（ステップＳ１３６：Ｎ）、制御部２０は、演算開始時刻Ｘ（ｎ）として、撮像完了時刻Ｓ（ｎ）を取得する（ステップＳ１３４）。すなわち、制御部２０は、撮像完了時刻Ｓ（ｎ）において、ＶＲＡＭ１とＶＲＡＭ２の少なくとも一方がクリアされており、即座にｎ番目の検査視野Ｖの撮像画像を転送して演算処理部Ｃ１または演算処理部Ｃ２にて演算処理を開始できるとして、演算開始時刻Ｘ（ｎ）に撮像完了時刻Ｓ（ｎ）を設定する。図４の例では、撮像完了時刻Ｓ（ｎ）より遅い演算終了時刻Ｚ（ｎ−２）が１個であり、撮像完了時刻Ｓ（ｎ）において、演算処理部Ｃ１の演算処理が終了しており、演算処理部Ｃ１のＶＲＡＭ１がクリアされていることとなる。そのため、制御部２０は、演算開始時刻Ｘ（ｎ）に撮像完了時刻Ｓ（ｎ）を設定する。
When it is not determined that there are two (H) calculation end times Z (1) to Z (n-1) later than the imaging completion time S (n) (step S136: N), the
一方、撮像完了時刻Ｓ（ｎ）より遅い演算終了時刻Ｚ（１）〜Ｚ（ｎ−１）が２個（Ｈ個）であると判定した場合（ステップＳ１３６：Ｙ）、演算開始時刻Ｘ（ｎ）として、撮像完了時刻Ｓ（ｎ）より遅い演算終了時刻Ｚ（１）〜Ｚ（ｎ−１）のうち最も早いものを設定する（ステップＳ１３７）。すなわち、撮像完了時刻Ｓ（ｎ）において、演算処理部Ｃ１と演算処理部Ｃ２の双方が演算処理を行っており、ＶＲＡＭ１とＶＲＡＭ２の双方がクリアされておらず、即座にｎ番目の検査視野Ｖの演算処理を開始できない場合、制御部２０は、処理中の演算処理の演算終了時刻Ｚ（１）〜Ｚ（ｎ−１）のうち最も早い時刻を演算開始時刻Ｘ（ｎ）として取得する。図５の例では、撮像完了時刻Ｓ（ｎ）より遅い演算終了時刻Ｚ（ｎ−１），Ｚ（ｎ−２）のうち、早い方の演算終了時刻Ｚ（ｎ−２）がｎ番目の検査視野Ｖの演算開始時刻Ｘ（ｎ）として取得されることとなる。
On the other hand, when it is determined that there are two (H) calculation end times Z (1) to Z (n-1) later than the imaging completion time S (n) (step S136: Y), the operation start time X (Y). As n), the earliest one of the operation end times Z (1) to Z (n-1) later than the imaging completion time S (n) is set (step S137). That is, at the imaging completion time S (n), both the arithmetic processing unit C1 and the arithmetic processing unit C2 perform the arithmetic processing, and both the VRAM1 and the VRAM2 are not cleared. When the calculation process of (1) can not be started, the
以上説明したように、所要期間取得モジュール２１ｃの機能により制御部２０は、検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６における順番がｎ番目（ｎはＮ以下の自然数）の検査視野Ｖについての演算処理の準備が完了する撮像完了時刻Ｓ（ｎ）において、Ｈ個の演算処理部Ｃ１，Ｃ２の少なくとも１個が演算処理を行っていない場合には（ステップＳ１３３：Ｎ，ステップＳ１３６：Ｎ）、撮像完了時刻Ｓ（ｎ）をｎ番目の検査視野Ｖの演算処理の演算開始時刻Ｘ（ｎ）として設定し（ステップＳ１３４）、撮像完了時刻Ｓ（ｎ）において、Ｈ個の演算処理部Ｃ１，Ｃ２のすべてが演算処理を行っている場合には（ステップＳ１３６：Ｙ）、Ｈ個の演算処理部Ｃ１，Ｃ２のそれぞれが行っている演算処理の終了時刻のうちの最も早い時刻をｎ番目の検査視野Ｖの演算処理の演算開始時刻Ｘ（ｎ）として設定する（ステップＳ１３７）、開始時刻設定処理（図７矢印）を行っている。
As described above, the function of the required
順番がｎ番目の検査視野Ｖの演算処理の準備が完了する撮像完了時刻Ｓ（ｎ）において、Ｈ個の演算処理部Ｃ１，Ｃ２の少なくとも１個が演算処理を行っていない場合には、即座に演算処理を開始することができ、当該撮像完了時刻Ｓ（ｎ）を演算開始時刻Ｘ（ｎ）とすることができる。一方、順番がｎ番目の検査視野Ｖの演算処理の準備が完了しているのに、Ｈ個の演算処理部Ｃ１，Ｃ２のすべてが演算処理を行っている場合には、すぐに演算処理を開始することができず、処理待ち期間Ｗ（ｎ）が発生することとなる。
この処理待ち期間Ｗ（ｎ）は、Ｈ個の演算処理部のそれぞれが行っている演算処理の演算終了時刻Ｚ（ｎ−２），Ｚ（ｎ−１）のうちの最も早い時刻まで継続し、当該時刻にて順番がｎ番目の検査視野Ｖの演算処理を開始することができることとなる。
If at least one of the H arithmetic processing units C1 and C2 has not performed the arithmetic processing at the imaging completion time S (n) for which the preparation for the arithmetic processing of the inspection field V having the nth order is completed, Arithmetic processing can be started, and the imaging completion time S (n) can be set as the arithmetic start time X (n). On the other hand, if all the H arithmetic processing units C1 and C2 are performing the arithmetic processing while the preparation for the arithmetic processing of the inspection field V having the nth order is completed, the arithmetic processing is immediately performed. It can not be started, and a processing waiting period W (n) will occur.
This processing waiting period W (n) is continued to the earliest one of the operation end times Z (n−2) and Z (n−1) of the arithmetic processing performed by each of the H arithmetic processing units. It is possible to start the calculation processing of the n-th inspection view field V at the relevant time.
以上のようにして、ｎ番目の検査視野Ｖの演算処理の演算開始時刻Ｘ（ｎ）として設定すると、所要期間取得モジュール２１ｃの機能により制御部２０は、演算開始時刻Ｘ（ｎ）に演算期間Ｄ（ｎ）を加算した時刻を演算終了時刻Ｚ（ｎ）として設定する（ステップＳ１３８）。このように、演算終了時刻Ｚ（ｎ）を設定しておくことにより、後続のステップＳ１３５にて演算終了時刻Ｚ（１）〜Ｚ（ｎ−１）を取得することが可能となる。
As described above, when the calculation start time X (n) of the calculation process of the n-th inspection view field V is set, the
次に、所要期間取得モジュール２１ｃの機能により制御部２０は、ｎがＮと等しいか否かを判定する（ステップＳ１３９）。すなわち、制御部２０は、仮選択している検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６の最後の順番の検査視野Ｖについて演算開始時刻Ｘ（ｎ）を設定する処理が完了したか否かを判定する。
Next, the
ｎがＮと等しいと判定しなかった場合（ステップＳ１３９：Ｎ）、所要期間取得モジュール２１ｃの機能により制御部２０は、ｎ＋１番目の検査視野Ｖの撮像開始時刻Ｑ（ｎ＋１）として、ｎ番目の検査視野Ｖの演算開始時刻Ｘ（ｎ）と、ｎ＋１番目の検査視野Ｖへの移動完了時刻Ｕ（ｎ＋１）のうち遅い方を設定する（ステップＳ１４０）。
When it is not determined that n is equal to N (step S139: N), the
すなわち、図４に示すように、ｎ＋１番目の検査視野Ｖへの移動が完了する移動完了時刻Ｕ（ｎ＋１）において、イメージセンサ４２がｎ＋１番目の検査視野Ｖの撮像画像の転送を完了していれば、制御部２０は、当該移動完了時刻Ｕ（ｎ＋１）を撮像開始時刻Ｑ（ｎ＋１）として設定する。一方、図５に示すように、ｎ＋１番目の検査視野Ｖへの移動が完了する移動完了時刻Ｕ（ｎ＋１）において、イメージセンサ４２がｎ＋１番目の検査視野Ｖの撮像画像の転送を完了していなければ、制御部２０は、検査視野Ｖの撮像画像の転送が完了するｎ番目の検査視野Ｖの演算開始時刻Ｘ（ｎ）を撮像開始時刻Ｑ（ｎ＋１）として設定する。このように、撮像開始時刻Ｑ（ｎ＋１）を設定しておくことにより、後続のステップＳ１３２にて撮像開始時刻Ｑ（ｎ）を取得することが可能となる。なお、本実施形態において、撮像画像の転送期間は０と見なしている。ただし、撮像画像の転送期間を考慮してもよく、ｎ番目の検査視野Ｖの撮像画像の転送を開始した演算開始時刻Ｘ（ｎ）から、転送期間だけ遅延した時刻を撮像開始時刻Ｑ（ｎ＋１）として設定してもよい。
That is, as shown in FIG. 4, at the movement completion time U (n + 1) where the movement to the n + 1st inspection visual field V is completed, the
次に、所要期間取得モジュール２１ｃの機能により制御部２０は、ｎに１を加算して（ステップＳ１４２）、ステップＳ１３２に戻る。すなわち、検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６の次の順番の検査視野Ｖについて演算開始時刻Ｘ（ｎ）を設定する処理を繰り返して実行する。
Next, the
以上説明したように、所要期間取得モジュール２１ｃの機能により制御部２０は、演算開始時刻Ｘ（ｎ）を設定する開始時刻設定処理を、検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６における検査順序が１番目からＮ番目の検査視野について順次行うこととなる。
As described above, the
ｎがＮと等しいと判定した場合（ステップＳ１３９：Ｙ）、所要期間取得モジュール２１ｃの機能により制御部２０は、所要期間を取得する（ステップＳ１４３）。具体的に、所要期間取得モジュール２１ｃの機能により制御部２０は、順番がＮ番目の検査視野Ｖについての演算処理の演算終了時刻Ｚ（Ｎ）を最終終了時刻として取得し、当該最終終了時刻を終期とする所要期間を取得する。
When it is determined that n is equal to N (step S139: Y), the
以上のように、順番がｎ番目の検査視野Ｖの演算開始時刻Ｘ（ｎ）を設定する開始時刻設定処理を、検査順序が１番目からＮ番目の検査視野について順次行っていくことにより、最終的にＮ番目の検査視野Ｖの演算開始時刻Ｘ（ｎ）を設定できる。ｎ番目の検査視野Ｖの演算開始時刻Ｘ（ｎ）にｎ番目の検査視野Ｖの演算期間Ｄ（ｎ）を加算することにより、ｎ番目の検査視野Ｖの演算終了時刻Ｚ（ｎ）を得ることができる。Ｎ番目の検査視野についての演算処理の終了時刻は、すべての検査視野についての検査の最終終了時刻となるため、当該最終終了時刻が早い検査順序の候補を選択することにより、検査の所要時間が短くなる検査順序を設定できる。 As described above, the start time setting process for setting the calculation start time X (n) of the inspection field V of the nth order is sequentially performed on the inspection fields of the first to Nth inspection order. The calculation start time X (n) of the N-th inspection visual field V can be set. The calculation end time Z (n) of the n-th inspection view V is obtained by adding the calculation period D (n) of the n-th inspection view V to the calculation start time X (n) of the n-th inspection view V be able to. Since the end time of the calculation process for the Nth inspection view is the final end time of the inspection for all the inspection views, the examination required time is selected by selecting the candidate for the inspection order whose final end time is earlier. You can set the inspection order to be short.
なお、所要期間の始期の時刻を０としているため、０から最終終了時刻までの期間が所要期間となる。以上により所要期間取得処理が完了し、予め設定された検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６のそれぞれについて所要期間が取得され、所要期間が最短となる検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６が選択されることとなる。 Since the start time of the required period is 0, the required period is from 0 to the final end time. Thus, the required period acquisition process is completed, the required period is acquired for each of the candidates K1 to K6 in the inspection order set in advance, and the candidate K1 to K6 in the inspection order with the shortest required period is selected. .
以上説明した本実施形態において、検査視野Ｖの検査順序の複数の候補Ｋ１〜Ｋ６のうち、すべての検査視野Ｖを検査した場合の所要期間が短くなるものを、基板検査装置１０に設定する検査順序として選択できる。制御部２０は、検査視野Ｖのそれぞれの演算期間Ｄ１〜Ｄ５に基づいて所要期間を取得するため、検査視野Ｖごとに異なる演算期間Ｄ１〜Ｄ５を考慮して全体の所要期間が短くなる検査順序を選択できる。従って、検査視野Ｖごとに検査対象となる部位（半田、部品、リード、印字等）の数や種類が異なり、演算負荷が異なる場合でも、適切な検査順序を選択できる。
In the present embodiment described above, among the plurality of candidates K1 to K6 in the inspection order of the inspection view V, an inspection in which the required period in the case of inspecting all the inspection views V is shortened is set in the
１個のイメージセンサ４２でＮ個の検査視野Ｖを順次撮像するため、準備完了時刻としての撮像完了時刻Ｓ（ｎ）は検査視野Ｖごとに異なることとなる。これに対して、制御部２０は、検査視野Ｖを撮像する撮像順序に基づいて撮像完了時刻Ｓ（ｎ）を取得し、さらに当該撮像完了時刻Ｓ（ｎ）に基づいて所要期間を取得することができる。
In order to sequentially image the N inspection visual fields V with one
また、Ｎ番目の検査視野Ｖは最後に演算処理が開始する検査視野Ｖであり、Ｎ番目の検査視野Ｖの演算処理の終了待ちにより、全体の所要期間が長くなる可能性がある。これに対して、演算期間が最短の検査視野Ｖ１をＮ番目の検査視野Ｖと設定することにより、Ｎ番目の検査視野Ｖ１の演算処理の終了待ちの期間を抑制し、全体の所要期間を短くすることができる。図４の演算期間Ｄ（ｎ）がＮ番目の検査視野Ｖについてのものであったとすると、演算期間Ｄ（ｎ）が短いほど全体の所要期間を短くなる。さらに、演算期間が最短の検査視野Ｖ１をＮ番目の検査視野Ｖに固定することにより、組み合わせられ得る検査視野の検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６の個数を抑制することができる。 Further, the N-th inspection view V is the inspection view V at which the calculation processing finally starts, and waiting for the end of the calculation processing of the N-th inspection view V may lengthen the entire required period. On the other hand, by setting the inspection visual field V1 having the shortest calculation period as the Nth inspection visual field V, the period waiting for the end of the calculation processing of the N th inspection visual field V1 is suppressed, and the entire required period is shortened. can do. Assuming that the calculation period D (n) in FIG. 4 is for the N-th inspection field V, the shorter the calculation period D (n), the shorter the entire required period. Further, by fixing the inspection view field V1 having the shortest calculation period to the N-th inspection view field V, it is possible to suppress the number of candidates K1 to K6 of the inspection order of the inspection view that can be combined.
制御部２０は、基板ＷＢ上に設けられた位置合わせのための基準マークＥ３からの距離が最短の検査視野Ｖ５を、複数の検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６のそれぞれにおける検査順序が１番目の検査視野Ｖとして設定している。これにより、検査順序が１番目の検査視野Ｖ５へのイメージセンサ４２の移動と撮像とを速やかに行うことができ、Ｈ個の演算処理部Ｃ１，Ｃ２のいずれかが演算処理を開始するタイミングを早めることができる。従って、全体の所要期間を短くすることができる。さらに、基準マークＥ３からの距離が最短の検査視野Ｖ５を１番目の検査視野に固定することにより、組み合わせられ得る検査視野Ｖの検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６の個数を抑制することができる。
The
（４）他の実施形態：
前記実施形態においては、検査順序設定装置が基板検査装置１０に含まれていたが、検査順序設定装置は基板検査装置から独立した装置であってもよい。すなわち、検査順序設定装置が選択した検査順序を示すデータが、基板検査装置にて取得可能となっていればよい。演算処理部Ｃ１，Ｃ２の個数を示すＨは２でなくてもよく、３以上であってもよい。
むろん、検査視野Ｖの個数を示すＮも５でなくてもよい。
(4) Other embodiments:
In the said embodiment, although the test | inspection order setting apparatus was contained in the board | substrate test |
Of course, N indicating the number of inspection visual fields V may not be five.
前記実施形態においては、演算処理部Ｃ１，Ｃ２の個数だけ撮像画像が記録可能なＶＲＡＭ１，ＶＲＡＭ２が備えられ、検査視野ＶごとにＶＲＡＭ１，ＶＲＡＭ２への撮像画像の転送と演算処理とが連続して行われている。しかしながら、すべての検査視野Ｖの撮像画像を記録可能なＶＲＡＭが備えられてもよい。この場合、ＶＲＡＭへの撮像画像の転送が完了した時刻が、演算処理（転送を含まない）の準備が完了する準備完了時刻となる。 In the embodiment, VRAM1 and VRAM2 capable of recording captured images as many as the number of operation processing units C1 and C2 are provided, and transfer of the captured image to VRAM1 and VRAM2 for each inspection field V and operation processing are continuously performed. It has been done. However, a VRAM capable of recording captured images of all the inspection fields V may be provided. In this case, the time when the transfer of the captured image to the VRAM is completed is the preparation completion time when the preparation of the arithmetic processing (not including the transfer) is completed.
また、例えば検査視野Ｖにおける検査対象の部位の数が膨大である場合等、撮像期間や移動期間よりも演算期間Ｄ１〜Ｄ５が著しく大きくなる場合もある。このような場合、順番が早い検査視野Ｖの演算処理を行っている間に、残りのすべての検査視野Ｖの撮像とＶＲＡＭへの転送が完了する場合も生じ得る。この場合、残りのすべての検査視野Ｖについては、必ずしも撮像順序どおりに、演算処理を行わなくてもよくなる。従って、検査順序のうち、ある順番までは撮像順序と一致し、ある順番より後においては撮像順序と一致しなくてもよい。 In addition, when the number of parts to be inspected in the inspection view field V is enormous, for example, the calculation periods D1 to D5 may be significantly larger than the imaging period and the movement period. In such a case, it may occur that imaging of all the remaining inspection visual fields V and transfer to the VRAM are completed while the processing of the inspection visual field V is performed in the earlier order. In this case, for all the remaining inspection visual fields V, the arithmetic processing does not have to be performed in the imaging order. Therefore, up to a certain order in the examination order, it does not have to match the imaging order after the certain order.
また、検査開始時にイメージセンサ４２が存在する位置から最も近い検査視野Ｖを１番目の検査視野Ｖとすればよく、検査開始時にイメージセンサ４２が存在する位置は基準マークＥ３の位置に限られない。むろん、検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６において、１番目の検査視野Ｖが固定されなくてもよい。同様に、検査順序の候補Ｋ１〜Ｋ６において、Ｎ番目の検査視野Ｖが固定されなくてもよい。例えば、Ｎ個の検査視野Ｖによって構成されるＮ！個の順列のすべてが検査順序の候補として設定されてもよい。
Further, the inspection visual field V closest to the position where the
１０…基板検査装置、２０…制御部、２１…検査順序設定プログラム、２１ａ…順序候補設定モジュール、２１ｂ…演算期間取得モジュール、２１ｃ…所要期間取得モジュール、２１ｄ…検査順序選択モジュール、２２…基板検査プログラム、３０…記録媒体、３０ａ…検査視野情報、３０ｂ…演算期間情報、３０ｃ…移動期間情報、４０…撮像部、４１…照明、４２…イメージセンサ、４３…移動部、Ｃ１…演算処理部、Ｃ２…演算処理部、Ｄ…演算期間、Ｅ１〜Ｅ３…基準マーク、Ｋ１〜Ｋ６…検査順序の候補、Ｑ…撮像開始時刻、Ｓ…撮像完了時刻、Ｕ…移動完了時刻、Ｖ…検査視野、Ｗ…処理待ち期間、Ｐ…撮像待ち期間、ＷＢ…基板
DESCRIPTION OF
しかしながら、検査視野の移動経路に無駄がなくても、演算処理部が過去の検査視野の演算処理を終了していない場合には、当該演算処理が終了するまで次の検査視野の演算処理を行うことができず、処理待ちの時間が発生してしまうという問題があった。すなわち、検査視野の移動経路に無駄がないような検査視野順序を設定しても、必ずしも検査の所要期間が短くならないという問題があった。
However, even if the movement path of the inspection view is not wasted, if the arithmetic processing unit does not finish the operation processing of the past inspection view, the next inspection view calculation processing is performed until the calculation processing ends. There is a problem that it can not be done and a waiting time for processing occurs. That is, there is a problem that even if the inspection visual field order is set such that the movement path of the inspection visual field is not wasted, the required period of the inspection does not necessarily become short.
Claims (7)
前記検査順序の複数の候補を設定する順序候補設定部と、
前記演算処理部が演算処理に要する演算期間を前記検査視野のそれぞれについて取得する演算期間取得部と、
前記演算期間に基づいて、すべての前記検査視野を検査した場合の所要期間を複数の前記候補のそれぞれについて取得する所要期間取得部と、
前記所要期間に基づいて、複数の前記候補のなかから前記基板検査装置に設定する前記検査順序を選択する検査順序選択部と、
を備える検査順序設定装置。 One camera capable of imaging each of N (N is a natural number of 2 or more) inspection fields set on a substrate, and H (H is a natural number of 2 or more and less than N) arithmetic processing units An inspection order setting device for setting an inspection order of the inspection visual field to be inspected by a substrate inspection apparatus provided, comprising:
An order candidate setting unit configured to set a plurality of candidates for the inspection order;
An operation period acquisition unit that acquires, for each of the inspection views, the operation period required for the operation processing by the operation processing unit;
A required period acquisition unit which acquires, for each of a plurality of candidates, required periods when all the inspection visual fields are inspected based on the calculation period;
An inspection order selection unit which selects the inspection order to be set in the substrate inspection apparatus from among the plurality of candidates based on the required period;
An inspection order setting device comprising:
前記候補における順番がｎ番目（ｎはＮ以下の自然数）の前記検査視野についての前記演算処理の準備が完了する準備完了時刻において、Ｈ個の前記演算処理部のいずれかが前記演算処理を行っていない場合には、前記準備完了時刻をｎ番目の前記検査視野の前記演算処理の開始時刻として設定し、
前記準備完了時刻において、Ｈ個の前記演算処理部のすべてが前記演算処理を行っている場合には、Ｈ個の前記演算処理部のそれぞれが行っている前記演算処理の終了時刻のうちの最も早い時刻をｎ番目の前記検査視野の前記演算処理の開始時刻として設定する、開始時刻設定処理を、
前記候補における前記検査順序が１番目からＮ番目の前記検査視野について順次行うことにより、前記検査順序がＮ番目の前記検査視野についての前記演算処理の終了時刻を最終終了時刻として取得し、当該最終終了時刻を終期とする前記所要期間を取得する、
請求項１に記載の検査順序設定装置。 The required period acquisition unit
Any one of the H arithmetic processing units performs the arithmetic processing at a preparation completion time when the preparation of the arithmetic processing for the inspection visual field of the nth (n is a natural number less than or equal to N) in the candidate is completed. If not, the preparation completion time is set as the start time of the arithmetic processing of the nth inspection visual field,
When all of the H arithmetic processing units are performing the arithmetic processing at the preparation completion time, the most of the end times of the arithmetic processing performed by each of the H arithmetic processing units Start time setting processing for setting an early time as a start time of the arithmetic processing of the n-th inspection visual field;
By sequentially performing the inspection order for the first to Nth inspection fields in the candidate, the end time of the arithmetic processing for the inspection field for the Nth inspection order is acquired as a final end time, Acquire the required period ending with the end time,
The inspection order setting device according to claim 1.
請求項２に記載の検査順序設定装置。 The preparation completion time is a time at which the camera completes the imaging of the examination view.
The inspection order setting device according to claim 2.
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の検査順序設定装置。 The order candidate setting unit sets the inspection view with the shortest calculation period as the Nth inspection view in each of a plurality of the candidates.
The inspection order setting device according to any one of claims 1 to 3.
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の検査順序設定装置。 The order candidate setting unit sets the inspection view with the shortest distance from the reference mark for alignment provided on the substrate as the inspection view with the first inspection order in each of the plurality of candidates. To set
The inspection order setting device according to any one of claims 1 to 4.
前記検査順序の複数の候補を設定する順序候補設定工程と、
前記演算処理部が演算処理に要する演算期間を前記検査視野のそれぞれについて取得する演算期間取得工程と、
前記演算期間に基づいて、すべての前記検査視野を検査した場合の所要期間を複数の前記候補のそれぞれについて取得する所要期間取得工程と、
前記所要期間に基づいて、複数の前記候補のなかから前記基板検査装置に設定する前記検査順序を選択する検査順序選択工程と、
を含む検査順序設定方法。 One camera capable of imaging each of N (N is a natural number of 2 or more) inspection fields set on a substrate, and H (H is a natural number of 2 or more and less than N) arithmetic processing units An inspection order setting method for setting an inspection order of the inspection visual field to be inspected by a substrate inspection apparatus provided, comprising:
An order candidate setting step of setting a plurality of candidates for the inspection order;
An operation period acquisition step of acquiring, for each of the inspection visual fields, the operation period required for the operation processing by the operation processing unit;
A required period acquisition step of acquiring, for each of a plurality of candidates, required periods when all the inspection visual fields are inspected based on the calculation period;
An inspection order selection step of selecting the inspection order to be set in the substrate inspection apparatus from among the plurality of candidates based on the required period;
How to set the inspection order, including
前記検査順序の複数の候補を設定する順序候補設定機能と、
前記演算処理部が演算処理に要する演算期間を前記検査視野のそれぞれについて取得する演算期間取得機能と、
前記演算期間に基づいて、すべての前記検査視野を検査した場合の所要期間を複数の前記候補のそれぞれについて取得する所要期間取得機能と、
前記所要期間に基づいて、複数の前記候補のなかから前記基板検査装置に設定する前記検査順序を選択する検査順序選択機能と、
前記コンピュータに実現させる検査順序設定プログラム。 One camera capable of imaging each of N (N is a natural number of 2 or more) inspection fields set on a substrate, and H (H is a natural number of 2 or more and less than N) arithmetic processing units An inspection order setting program which causes a computer to realize a function of setting an inspection order of the inspection visual field to be inspected by the substrate inspection apparatus provided, comprising:
An order candidate setting function for setting a plurality of candidates for the inspection order;
An operation period acquisition function of acquiring, for each of the inspection visual fields, the operation period required for the arithmetic processing by the arithmetic processing unit;
A required period acquisition function of acquiring, for each of a plurality of candidates, required periods when all the inspection visual fields are inspected based on the calculation period;
An inspection order selection function of selecting the inspection order to be set in the substrate inspection apparatus from among the plurality of candidates based on the required period;
An inspection order setting program implemented on the computer.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017232865A JP2019100887A (en) | 2017-12-04 | 2017-12-04 | Inspection order setting device, inspection order setting method and inspection order setting program |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017232865A JP2019100887A (en) | 2017-12-04 | 2017-12-04 | Inspection order setting device, inspection order setting method and inspection order setting program |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2019100887A true JP2019100887A (en) | 2019-06-24 |
Family
ID=66976795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2017232865A Pending JP2019100887A (en) | 2017-12-04 | 2017-12-04 | Inspection order setting device, inspection order setting method and inspection order setting program |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2019100887A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019158499A (en) * | 2018-03-12 | 2019-09-19 | オムロン株式会社 | Appearance inspection system, setting device, image processor, method for setting, and program |
| US11080836B2 (en) | 2018-03-12 | 2021-08-03 | Omron Corporation | Appearance inspection system, image processing device, imaging device, and inspection method |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005241310A (en) * | 2004-02-24 | 2005-09-08 | Nagoya Electric Works Co Ltd | Visual examination device, visual examination method and visual examination program |
| JP2006308349A (en) * | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Ckd Corp | Order rationalizing device and substrate inspection device |
| JP2016530521A (en) * | 2013-08-23 | 2016-09-29 | コー・ヤング・テクノロジー・インコーポレーテッド | Board inspection equipment |
| JP2017181188A (en) * | 2016-03-29 | 2017-10-05 | Ckd株式会社 | Circuit board inspection device |
-
2017
- 2017-12-04 JP JP2017232865A patent/JP2019100887A/en active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005241310A (en) * | 2004-02-24 | 2005-09-08 | Nagoya Electric Works Co Ltd | Visual examination device, visual examination method and visual examination program |
| JP2006308349A (en) * | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Ckd Corp | Order rationalizing device and substrate inspection device |
| JP2016530521A (en) * | 2013-08-23 | 2016-09-29 | コー・ヤング・テクノロジー・インコーポレーテッド | Board inspection equipment |
| JP2017181188A (en) * | 2016-03-29 | 2017-10-05 | Ckd株式会社 | Circuit board inspection device |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019158499A (en) * | 2018-03-12 | 2019-09-19 | オムロン株式会社 | Appearance inspection system, setting device, image processor, method for setting, and program |
| US11080836B2 (en) | 2018-03-12 | 2021-08-03 | Omron Corporation | Appearance inspection system, image processing device, imaging device, and inspection method |
| JP7167453B2 (en) | 2018-03-12 | 2022-11-09 | オムロン株式会社 | APPEARANCE INSPECTION SYSTEM, SETTING DEVICE, IMAGE PROCESSING DEVICE, SETTING METHOD AND PROGRAM |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10366484B2 (en) | Inspection method, inspection apparatus, processing apparatus, and recording medium for detecting defects of a work | |
| CN107315011B (en) | Image processing apparatus, image processing method, and storage medium | |
| JP4652391B2 (en) | Pattern inspection apparatus and pattern inspection method | |
| US20150043805A1 (en) | Image processing system, image processing method, and computer-readable recording medium | |
| JP2006276454A (en) | Image correcting method and pattern defect inspecting method using same | |
| JP2007327957A (en) | Teaching method of automatic optical inspection system, and inspection method of automatic optical inspection system | |
| JP2019100887A (en) | Inspection order setting device, inspection order setting method and inspection order setting program | |
| CN109425327B (en) | Inspection system and method for correcting inspection image | |
| JP2003308803A (en) | Reference image pre-reading function in scanning microscope | |
| JP2007285880A (en) | Sample image registration method in board inspection, and sample image producing system | |
| WO2014208193A1 (en) | Wafer appearance inspection device | |
| JP2011222636A (en) | Inspection apparatus, inspection method, and defect coordinate correction method | |
| JP2007103645A (en) | Pattern inspection method | |
| JP4243268B2 (en) | Pattern inspection apparatus and pattern inspection method | |
| JP4074624B2 (en) | Pattern inspection method | |
| JP3944075B2 (en) | Sample inspection method and inspection apparatus | |
| JP5684628B2 (en) | Pattern inspection apparatus and pattern inspection method | |
| JP2009294123A (en) | Pattern discriminator, pattern discriminating method and inspection device of sample | |
| JP2018146492A (en) | Defect inspection system and inspection device and review device used for the same | |
| JP2006201135A (en) | Defect inspection device, defect inspection method, and defect inspection program | |
| JP4390732B2 (en) | Semiconductor wafer appearance inspection system | |
| JP2005134347A (en) | Reticle inspection device and reticle inspection method | |
| JP2007072232A (en) | Reference image forming apparatus, pattern inspection apparatus, reference image forming method, and reticle | |
| KR20150049799A (en) | Method of inspecting a surface of a substrate and apparatus for performing the same | |
| JP2008076231A (en) | Tire visual inspection device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180330 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180330 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190402 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190521 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190903 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20200707 |