JP2019090687A - Resin embedded with analysis sample - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、分析の対象とする微小な粒状試料を、分析に先立ち、樹脂材料に埋め込んで固定して得られる分析用試料埋込樹脂に関するものであり、樹脂材料中の粒状試料の分散性の向上により、分析精度を高めることのできる技術を提案するものである。 The present invention relates to a sample embedding resin for analysis which is obtained by embedding and fixing a fine particulate sample to be analyzed in a resin material prior to analysis, and relates to the dispersibility of the particulate sample in the resin material By improvement, we propose a technology that can improve the analysis accuracy.
たとえば、鉱石、スラグ、汚泥、粉塵もしくは、電気電子機器等のリサイクル原料その他の不均一な組成および粒径の粒子からなる粒状試料の元素含有量、粒度分布、単体分離度などを計測して分析するに際しては、その粒状試料を構成する粒子が微小であることから、分析装置にセットする前に、当該粒状試料を樹脂材料に埋め込んで固定して、試料埋込樹脂を得ることが一般に行われている。なお、このような分析装置の一例として、鉱物解析システム（Ｍｉｎｅｒａｌ Ｌｉｂｅｒａｔｉｏｎ Ａｎａｌｙｚｅｒ、ＭＬＡ）は、ＳＥＭ−ＥＤＳをベースとして鉱石粒子の解析を行うものであり、特に鉱物資源の分野で用いられている。 For example, measure and analyze the elemental content, particle size distribution, single substance separation degree, etc. of granular samples consisting of particles of non-uniform composition and particle size such as ore, slag, sludge, dust or recycled raw materials such as electric and electronic equipment Because the particles that make up the particulate sample are so small, it is common practice to embed and fix the particulate sample in a resin material to obtain a sample-embedded resin before setting it in the analyzer. ing. As an example of such an analyzer, a mineral analysis system (Mineral Liberation Analyzer, MLA) analyzes ore particles based on SEM-EDS, and is used particularly in the field of mineral resources.
かかる試料埋込樹脂では、分析精度を高めるため、樹脂材料中の粒状試料の粒子の凝集をできる限り取り除き、粒状試料が樹脂材料中に十分に分散し、分離偏析がない代表組成になっていることが求められる。
それゆえに従来は、試料埋込樹脂を作製する場合、はじめに、粒状試料に対して篩別を行って篩上と篩下に分けた後にさらにそれらを混合し、その混合試料を液体状樹脂材料とともに容器に投入し、容器内を手動作業でかき混ぜるとともに、真空デシケーターを用いた液体状樹脂材料の脱泡、超音波撹拌機による容器内の攪拌を行った後、液体状樹脂材料を大気中で硬化させることとしていた。またここでは、試料埋込樹脂中の粒状試料の分散性を高めるため、容器に、液体状樹脂材料を投入するに先立って、グラファイトを投入し、これを粒状試料と混合させることもある。さらに断面を作製して測定する場合もある。
In this sample-embedded resin, in order to enhance the analysis accuracy, the aggregation of the particles of the particulate sample in the resin material is removed as much as possible, and the particulate sample is sufficiently dispersed in the resin material and has a representative composition free from separation and segregation. Is required.
Therefore, conventionally, when preparing a sample embedding resin, first, the particulate sample is sieved to separate on a sieve and under a sieve, and then they are mixed, and the mixed sample is mixed with a liquid resin material After charging into a container and stirring the inside of the container manually, degassing the liquid resin material using a vacuum desiccator, stirring the inside of the container with an ultrasonic stirrer, and then curing the liquid resin material in the atmosphere I was supposed to Here, in order to enhance the dispersibility of the particulate sample in the sample-embedded resin, the container may be charged with graphite and mixed with the particulate sample prior to charging the liquid resin material. Furthermore, there are also cases where cross sections are produced and measured.
ここで、特許文献１の従来の技術の項目には、磁性材料、金属粉射出成形材料その他の種々の粉体の性状を測定ないし評価するに際し、特に磁石原料粉などの粉体を粒子単位に分離するため、水、アルコール、液状樹脂、油等の溶媒に観察対象とする粉体を溶かし、場合によっては超音波振動を与えることが記載されている。
Here, in the item of the prior art of
しかしながら、特許文献１に記載されているような超音波振動の付与によっては、先述したように粒子の凝集を確実になくすことはできないので、より高い精度で分析を行うには分散性が不十分となる。また、エタノールによる洗浄や固液分離、乾燥は手間がかかり、分析前の作業工数を増大させる。
However, since the application of ultrasonic vibration as described in
この発明は、従来技術が抱えるこのような問題に対処することを課題とするものであり、その目的は、樹脂材料中の粒状試料の粒子の凝集を十分に抑制されたことによって、樹脂材料中の粒状試料の分散性が向上し、それにより、分析精度を高めることのできる分析用試料埋込樹脂を提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is intended to address such problems of the prior art, and the object thereof is to sufficiently suppress the aggregation of particles of a granular sample in the resin material, thereby making it possible to It is an object of the present invention to provide an analytical sample embedding resin capable of improving the dispersibility of the particulate sample of the present invention and thereby enhancing the analysis accuracy.
発明者は鋭意検討の結果、容器内に投入した粒状試料と液体状樹脂材料との混合攪拌に、自転公転撹拌機を用いることにより、粒子の凝集が効果的に抑制されて、樹脂材料中の粒状試料の分散性を有効に向上でき、分離偏析もない代表組成を得ることを見出した。これは、粒状試料および液体状樹脂材料を投入した容器を自転させながら公転させることで、渦巻流と上下対流の相互効果に基いて、液体状樹脂材料の硬化時の粒子の凝集が抑制されること、ならびに、自転公転撹拌機で粒状試料の粒子どうしが混練されて、粒子表面に付着した他の粒子が剥ぎ取られること、さらに、摩擦熱による温度上昇があり、液体状樹脂材料の硬化時間の短縮されること等によるものと考えられるが、この発明は、このような理論に限定されるものではない。 As a result of intensive investigations, the inventor of the present invention effectively suppresses aggregation of particles by using a rotation-revolution stirrer for mixing and stirring the granular sample and the liquid resin material charged in the container, and thus the resin material is contained. It has been found that it is possible to effectively improve the dispersibility of particulate samples and to obtain a representative composition without separation and segregation. This is because, by rotating the container into which the granular sample and the liquid resin material are charged while rotating, the aggregation of the particles at the time of curing of the liquid resin material is suppressed based on the mutual effect of the coflow and the upper and lower convection. In addition, the particles of the particulate sample are kneaded with each other by the rotation and revolution stirrer, and other particles attached to the particle surface are peeled off, and further, there is a temperature rise due to frictional heat, and the curing time of the liquid resin material It is believed that the present invention is not limited to such a theory.
そして、このようにして作製された分析用試料埋込樹脂は、試料埋込樹脂の特に断面における粒径分布が均一で、当該断面における元素含有率のばらつきが有効に抑制され、また当該断面における化合物種ばらつきが有効に抑制されるとの知見を得た。 And, the sample embedding resin for analysis prepared in this manner has a uniform particle size distribution particularly in the cross section of the sample embedding resin, the variation of the element content ratio in the cross section is effectively suppressed, and in the cross section It was found that variation in compound type was effectively suppressed.
このような知見に基き、この発明の分析用試料埋込樹脂は、粒径が不均一な粒子からなり、複数種類の単体及び／又は化合物を含む分析対象の粒状試料と、前記粒状試料が埋め込まれて固定された樹脂材料とを有する試料埋込樹脂であって、当該試料埋込樹脂の断面における複数の観測領域で、当該観測領域に存在する粒状試料の粒径分布を測定し、一の観測領域の粒径分布の粒子存在比率および、他の観測領域の粒径分布の粒子存在比率をそれぞれ縦軸および横軸とした散布図で、最小二乗法により算出した回帰直線の傾きである断面粒径勾配が、０．７〜１．４であるものである。 Based on such findings, the sample embedding resin for analysis of the present invention is composed of particles having nonuniform particle sizes, and a particulate sample to be analyzed including a plurality of single particles and / or compounds and the particulate sample are embedded A sample-embedded resin having a resin material fixed and fixed, wherein a plurality of observation areas in a cross section of the sample-embedded resin are measured for the particle size distribution of the granular sample present in the observation area, A scatter diagram with the particle abundance ratio of the particle size distribution in the observation area and the particle abundance ratio of the particle size distribution in the other observation areas as the vertical axis and the horizontal axis, respectively, and a cross section that is the slope of the regression line calculated by the least squares method The particle size gradient is between 0.7 and 1.4.
ここで好ましくは、前記断面粒径勾配が、０．９〜１．１である。 Here, preferably, the cross-sectional particle size gradient is 0.9 to 1.1.
またここで好ましくは、当該試料埋込樹脂の表面における複数の観測領域で、当該観測領域に存在する粒状試料の粒径分布を測定し、一の観測領域の粒径分布の粒子存在比率および、他の観測領域の粒径分布の粒子存在比率をそれぞれ縦軸および横軸とした散布図で、最小二乗法により算出した回帰直線の傾きである表面粒径勾配が、０．７〜１．４である。
この場合、前記表面粒径勾配が、０．９〜１．１であることがより好ましい。
Here, preferably, in a plurality of observation areas on the surface of the sample embedding resin, the particle size distribution of the granular sample present in the observation area is measured, and the particle abundance ratio of the particle size distribution of one observation area, The scatter diagram which made the particle abundance ratio of the particle size distribution of other observation areas the vertical axis and the horizontal axis, respectively, and the surface particle size gradient which is the slope of the regression line calculated by the least squares method is 0.7 to 1.4. It is.
In this case, the surface particle size gradient is more preferably 0.9 to 1.1.
上記の分析用試料埋込樹脂では、当該試料埋込樹脂の断面における複数の観測領域で、当該観測領域に存在する粒状試料中の化合物の含有率を測定し、当該断面に０．５質量％以上含まれる化合物のそれぞれについて、複数の観測領域における当該含有率の変動係数である断面化合物種ばらつきが、好ましくは３０以下、より好ましくは１０以下である。 In the sample embedding resin for analysis described above, the content of the compound in the granular sample present in the observation area is measured in a plurality of observation areas in the cross section of the sample embedding resin, and 0.5 mass% in the section For each of the compounds contained above, the variation in cross-sectional compound species, which is the variation coefficient of the content in a plurality of observation regions, is preferably 30 or less, more preferably 10 or less.
また、上記の分析用試料埋込樹脂では、当該試料埋込樹脂の表面における複数の観測領域で、当該観測領域に存在する粒状試料中の化合物の含有率を測定し、当該表面に０．５質量％以上含まれる化合物のそれぞれについて、複数の観測領域における当該含有率の変動係数である表面化合物種ばらつきが、好ましくは３０以下、より好ましくは１０以下である。 Further, in the above-described analysis sample embedding resin, the content of the compound in the granular sample present in the observation area is measured in a plurality of observation areas on the surface of the sample embedding resin, and 0.5 With respect to each of the compounds contained in% by mass or more, variation in surface compound species, which is a coefficient of variation of the content in a plurality of observation regions, is preferably 30 or less, more preferably 10 or less.
上記の分析用試料埋込樹脂では、当該試料埋込樹脂の断面における複数の観測領域で、当該観測領域に存在する粒状試料中の元素の含有率を測定し、当該断面に０．５質量％以上含まれる元素のそれぞれについて、複数の観測領域における当該含有率の変動係数である断面元素ばらつきが、好ましくは５０以下、より好ましくは１５以下である。 In the sample embedding resin for analysis described above, the content of the element in the granular sample present in the observation area is measured in a plurality of observation areas in the cross section of the sample embedding resin, and 0.5 mass% in the section For each of the elements contained above, the cross-sectional element variation, which is the variation coefficient of the content in the plurality of observation regions, is preferably 50 or less, and more preferably 15 or less.
また、上記の分析用試料埋込樹脂では、当該試料埋込樹脂の表面における複数の観測領域で、当該観測領域に存在する粒状試料中の元素の含有率を測定し、当該表面に０．５質量％以上含まれる元素のそれぞれについて、複数の観測領域における当該含有率の変動係数である表面元素ばらつきが、好ましくは５０以下、より好ましくは１５以下である。 Moreover, in the above-mentioned sample embedding resin for analysis, in a plurality of observation areas on the surface of the sample embedding resin, the content of elements in the granular sample present in the observation area is measured, and With respect to each of the elements contained in mass% or more, the surface element variation, which is the variation coefficient of the content in the plurality of observation regions, is preferably 50 or less, more preferably 15 or less.
上記の分析用試料埋込樹脂は、前記粒状試料を構成する粒子が鉱石粒子であるものとすることができる。 The above-mentioned sample embedding resin for analysis may be such that the particles constituting the particulate sample are ore particles.
また、この発明の分析用試料埋込樹脂は、粒径が不均一な粒子からなり、複数種類の単体及び／又は化合物を含む分析対象の粒状試料と、前記粒状試料が埋め込まれて固定された樹脂材料とを有する試料埋込樹脂であって、当該試料埋込樹脂の断面における複数の観測領域で、当該観測領域に存在する粒状試料中の化合物の含有率を測定し、当該断面に０．５質量％以上含まれる化合物のそれぞれについて、複数の観測領域における当該含有率の変動係数である断面化合物種ばらつきが、３０以下であるものである。 In addition, the analysis sample embedding resin of the present invention is composed of particles having nonuniform particle sizes, and a particulate sample to be analyzed including plural kinds of single particles and / or compounds and the particulate sample are embedded and fixed. In a plurality of observation areas in the cross section of the sample embedding resin, the content of the compound in the granular sample in the observation area is measured, and the cross section of the sample embedding resin having the resin material is measured. For each of the compounds contained in 5% by mass or more, the variation in cross-sectional compound species, which is the variation coefficient of the content in a plurality of observation regions, is 30 or less.
ここで好ましくは、前記断面化合物種ばらつきが、１０以下である。 Here, preferably, the cross-sectional compound type variation is 10 or less.
またここで好ましくは、当該試料埋込樹脂の表面における複数の観測領域で、当該観測領域に存在する粒状試料中の化合物の含有率を測定し、当該表面に０．５質量％以上含まれる化合物のそれぞれについて、複数の観測領域における当該含有率の変動係数である表面化合物種ばらつきが、３０以下である。
この場合、前記表面化合物種ばらつきが、１０以下であることがより好ましい。
Here, preferably, the content of the compound in the particulate sample present in the observation area is measured in a plurality of observation areas on the surface of the sample embedding resin, and the compound contained in the surface by 0.5 mass% or more For each of the above, the variation in surface compound species, which is the variation coefficient of the content in the plurality of observation regions, is 30 or less.
In this case, the surface compound type variation is more preferably 10 or less.
上記の分析用試料埋込樹脂では、当該試料埋込樹脂の断面における複数の観測領域で、当該観測領域に存在する粒状試料中の元素の含有率を測定し、当該断面に０．５質量％以上含まれる元素のそれぞれについて、複数の観測領域における当該含有率の変動係数である断面元素ばらつきが、好ましくは５０以下、より好ましくは１５以下である。 In the sample embedding resin for analysis described above, the content of the element in the granular sample present in the observation area is measured in a plurality of observation areas in the cross section of the sample embedding resin, and 0.5 mass% in the section For each of the elements contained above, the cross-sectional element variation, which is the variation coefficient of the content in the plurality of observation regions, is preferably 50 or less, and more preferably 15 or less.
また、上記の分析用試料埋込樹脂では、当該試料埋込樹脂の表面における複数の観測領域で、当該観測領域に存在する粒状試料中の元素の含有率を測定し、当該表面に０．５質量％以上含まれる元素のそれぞれについて、複数の観測領域における当該含有率の変動係数である表面元素ばらつきが、好ましくは５０以下、より好ましくは１５以下である。 Moreover, in the above-mentioned sample embedding resin for analysis, in a plurality of observation areas on the surface of the sample embedding resin, the content of elements in the granular sample present in the observation area is measured, and With respect to each of the elements contained in mass% or more, the surface element variation, which is the variation coefficient of the content in the plurality of observation regions, is preferably 50 or less, more preferably 15 or less.
上記の分析用試料埋込樹脂は、前記粒状試料を構成する粒子が鉱石粒子であるものとすることができる。 The above-mentioned sample embedding resin for analysis may be such that the particles constituting the particulate sample are ore particles.
そしてまた、この発明の分析用試料埋込樹脂は、粒径が不均一な粒子からなり、複数種類の単体及び／又は化合物を含む分析対象の粒状試料と、前記粒状試料が埋め込まれて固定された樹脂材料とを有する試料埋込樹脂であって、当該試料埋込樹脂の断面における複数の観測領域で、当該観測領域に存在する粒状試料中の元素の含有率を測定し、当該断面に０．５質量％以上含まれる元素のそれぞれについて、複数の観測領域における当該含有率の変動係数である断面元素ばらつきが、５０以下である。 And, the sample embedding resin for analysis of the present invention is composed of particles having nonuniform particle sizes, and a particulate sample to be analyzed including plural kinds of single particles and / or compounds and the particulate sample are embedded and fixed. The sample embedding resin having the above-mentioned resin material, and in the plurality of observation areas in the cross section of the sample embedding resin, the content of the element in the granular sample existing in the observation area is measured. For each of the elements contained in an amount of 5% by mass or more, the cross-sectional element variation that is the variation coefficient of the content in the plurality of observation regions is 50 or less.
ここで好ましくは、前記断面元素ばらつきが、１５以下である。 Preferably, the cross-sectional element variation is 15 or less.
またここで好ましくは、当該試料埋込樹脂の表面における複数の観測領域で、当該観測領域に存在する粒状試料中の元素の含有率を測定し、当該表面に０．５質量％以上含まれる元素のそれぞれについて、複数の観測領域における当該含有率の変動係数である表面元素ばらつきが、５０以下である。
この場合、前記表面元素ばらつきが、１５以下であることが好ましい。
Here, preferably, in a plurality of observation areas on the surface of the sample embedding resin, the content of the element in the granular sample present in the observation area is measured, and the element contained 0.5 mass% or more on the surface For each of the above, the surface element variation which is the variation coefficient of the content in the plurality of observation regions is 50 or less.
In this case, the surface element variation is preferably 15 or less.
上記の分析用試料埋込樹脂は、前記粒状試料を構成する粒子が鉱石粒子であるものとすることができる。 The above-mentioned sample embedding resin for analysis may be such that the particles constituting the particulate sample are ore particles.
この発明の分析用試料埋込樹脂によれば、断面粒径勾配、断面化合物種ばらつき及び断面元素ばらつきのうちの少なくとも一つが所定の範囲内ないし上限値以下となっていることにより、粒子の凝集が十分に抑制されていて、樹脂材料中の粒状試料の分散性に優れたものとなっているので、これを用いて分析した場合の分析精度を大きく高めることができる。 According to the sample-embedded resin for analysis of the present invention, particle aggregation occurs because at least one of the cross-sectional particle diameter gradient, the cross-sectional compound species variation, and the cross-sectional element variation is within a predetermined range or lower than the upper limit. Is sufficiently suppressed and the dispersibility of the particulate sample in the resin material is excellent, so that the analysis accuracy in the case of analysis using this can be greatly enhanced.
以下に、この発明の実施の形態について詳細に説明する。
この発明の実施形態は、図１に例示するような分析用試料埋込樹脂１である。この分析用試料埋込樹脂１は、粒径が不均一な粒子からなり、複数種類の単体及び／又は化合物を含む分析対象の粒状試料２と、前記粒状試料２が埋め込まれて固定された液体状樹脂材料３とを有するものである。一般には、図１に示すように、粒状試料２および液体状樹脂材料３を有する分析用試料埋込樹脂１は、円筒状等の所定の容器４に収容されて、それ自身が円柱状等の形状を有するものであるが、容器４の有無や形状は特に問わない。なお以下の説明では、特に必要でない限り符号は省略することがある。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
An embodiment of the present invention is an analytical
そして、一の実施形態では、試料埋込樹脂の断面における複数の観測領域で、当該観測領域に存在する粒状試料の粒径分布を測定し、一の観測領域の粒径分布の粒子存在比率および、他の観測領域の粒径分布の粒子存在比率をそれぞれ縦軸および横軸とした散布図で、最小二乗法により回帰直線を算出した場合に、その回帰直線の傾きである断面粒径勾配が、０．７〜１．４である。 Then, in one embodiment, the particle size distribution of the granular sample present in the observation area is measured in a plurality of observation areas in the cross section of the sample embedding resin, and the particle abundance ratio of the particle size distribution in the one observation area and The scattergrams with the particle abundance ratio of the particle size distribution in the other observation areas as the vertical and horizontal axes, respectively, and when the regression line is calculated by the least squares method, the sectional particle size gradient that is the slope of the regression line is , 0.7 to 1.4.
また、他の実施形態では、試料埋込樹脂の断面における複数の観測領域で、当該観測領域に存在する粒状試料中の化合物の含有率を測定した場合、当該断面に０．５質量％以上含まれる化合物のそれぞれについて、複数の観測領域における当該含有率の変動係数である断面化合物種ばらつきが、３０以下である。
また、さらに他の実施形態では、当該試料埋込樹脂の断面における複数の観測領域で、当該観測領域に存在する粒状試料中の元素の含有率を測定した場合、当該断面に０．５質量％以上含まれる元素のそれぞれについて、複数の観測領域における当該含有率の変動係数である断面元素ばらつきが、５０以下である。
In another embodiment, when the content of the compound in the granular sample present in the observation area is measured in a plurality of observation areas in the cross section of the sample embedding resin, the cross section contains 0.5 mass% or more For each of the compounds, the variation in cross-sectional compound species, which is the variation coefficient of the content in a plurality of observation regions, is 30 or less.
In yet another embodiment, when the content of the element in the granular sample present in the observation area is measured in a plurality of observation areas in the cross section of the sample embedding resin, 0.5 mass% in the cross section About each of the elements contained above, the cross-sectional element dispersion which is a variation coefficient of the said content rate in several observation area | regions is 50 or less.
つまり、ここでは、樹脂材料中の粒状試料の分散性の良否を示す指標として、断面粒径勾配、断面化合物種ばらつき、断面元素ばらつきを採用し、それらのうちの少なくとも一つが所定の値であれば、所定の分析の精度を有意に高めることができる。 That is, in this case, the cross-sectional particle diameter gradient, the cross-sectional compound type variation, and the cross-sectional element variation are adopted as indices indicating the dispersibility of the particulate sample in the resin material, and at least one of them is a predetermined value. For example, the accuracy of a given analysis can be significantly improved.
（粒状試料）
分析の対象とする粒状試料は、鉱石、スラグ、汚泥、粉塵もしくは、電気電子機器を含むそのリサイクル原料等に対して所定の処理を施すこと等によって、比較的小さい粒子となったものとすることができる。このような粒状試料は通常、組成および粒径の意図的な均一化が行われていないので、組成が異なるとともに粒径も異なる不均一な多種類の粒子からなる。
(Granular sample)
Particulate samples to be analyzed shall be relatively small particles by subjecting ore, slag, sludge, dust or their recycled materials including electric and electronic equipment to predetermined treatment etc. Can. Such granular samples are usually composed of many kinds of nonuniform particles having different compositions and different particle sizes, since intentional equalization of composition and particle size is not performed.
なかでも、鉱石粒子からなる粒状試料を対象とする場合、このような鉱石粒子は銅鉱石を含むことがあり、これには、たとえば、輝銅鉱、銅藍、黄銅鉱、班銅鉱、硫砒銅鉱、ブロシャン銅鉱等が含まれ得る。銅鉱石以外にも黄鉄鉱、磁鉄鉱、ケイ酸塩鉱物、輝水鉛鉱、金粒子等も含まれ得る。なおケイ酸塩鉱物としては、正長石、曹長石、斜長石、白雲母、黒雲母、石英等がある。 Among them, when targeting granular samples consisting of ore particles, such ore particles may include copper ore, and examples of such ore particles include copper ore, copper ore, chalcopyrite, copper ore, arsenopyrite, etc. Broshan copper ore may be included. Besides copper ore, pyrite, magnetite, silicate mineral, molybdenite, gold particles and the like may be included. Examples of silicate minerals include orthoclase, albite, plagioclase, muscovite, biotite and quartz.
スラグからなる粒状試料を対象とする場合、スラグ自体がＳｉＯ2、ＣａＯ、Ａｌ2Ｏ3、ＦｅＯ及びＦｅ3Ｏ4等を含む複雑な組成を持ち、さらにスラグ中にマット粒子やメタル粒子を含む場合がある。
電気電子機器からなる粒状試料の場合、基板に含まれる樹脂部や回路を構成する金属部、難燃剤部等の様々な組成を持つ粒子が存在する。
汚泥、粉塵に至っては単一の組成となっている場合はまず無い。
When targeting granular samples made of slag, the slag itself has a complicated composition including SiO 2 , CaO, Al 2 O 3 , FeO, Fe 3 O 4 and the like, and further contains matte particles and metal particles in the slag. There is a case.
In the case of a granular sample composed of an electric and electronic device, particles having various compositions such as a resin part contained in a substrate, a metal part constituting a circuit, and a flame retardant part are present.
In the case of sludge and dust, it is unlikely that they have a single composition.
粒状試料を構成する粒子の粒径は、たとえば１μｍ〜７００μｍ、典型的には２０μｍ〜２００μｍの範囲で、比較的全体的に分布していて不均一である。なお、粒度分布計で測定できる粒径は、たとえば０．２４３μｍ〜２０００μｍである場合があるが、上述したような粒状試料の粒径はこの範囲で不均一に分布している。 The particle size of the particles constituting the particulate sample is relatively uniformly distributed and nonuniform, for example, in the range of 1 μm to 700 μm, typically 20 μm to 200 μm. In addition, although the particle size which can be measured by a particle size distribution analyzer may be 0.243 micrometers-2000 micrometers, for example, the particle size of the above-mentioned granular sample is distributed unevenly in this range.
（樹脂材料）
上述した粒状試料を埋め込んで固定するための樹脂材料としては、後述する容器への投入の際および攪拌の際に液体状に維持でき、かつその後に硬化させることができれば様々なものを用いることができるが、たとえば、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、フェノール樹脂等を挙げることができ、このなかでも、熱硬化性樹脂であるエポキシ樹脂が好ましい。アクリル樹脂は電子線照射に弱いことから、電流量を増やすことができず、それにより測定に時間を要し、またフェノール樹脂は樹脂以外のものが含有されていることがあり、それが測定試料と判別ができない懸念があるからである。
(Resin material)
As the resin material for embedding and fixing the above-mentioned granular sample, various materials can be used as long as they can be maintained in a liquid state at the time of charging into a container described later and at the time of stirring and can be cured thereafter. Although it can be, for example, an epoxy resin, an acrylic resin, a phenol resin etc. can be mentioned, Among these, an epoxy resin which is a thermosetting resin is preferable. Since acrylic resin is weak to electron beam irradiation, the amount of current can not be increased, which requires time for measurement, and phenol resin may contain something other than resin, which is a measurement sample. There is a concern that it can not be determined.
（粒径勾配）
一の実施形態では、試料埋込樹脂の断面における粒径勾配である断面粒径勾配は、０．７〜１．４である。断面粒径勾配は次のようにして算出する。
はじめに、試料埋込樹脂の所定の断面で、所定の複数の観測領域を決定する。ここで、「断面」は、試料埋込樹脂内の互いに垂直な二つの断面を意味し、それらの二つの断面のそれぞれで算出した断面粒径勾配がいずれも上述した範囲内にあることを要する。たとえば、円柱状等の試料埋込樹脂では、平面上に載置することのできる端面等の平坦面に垂直な縦断面と、縦断面に垂直な横断面の二つの断面とする。後述する断面化合物種ばらつき及び断面元素ばらつきの断面についても同様である。
(Particle size gradient)
In one embodiment, the cross-sectional particle size gradient, which is the particle size gradient in the cross section of the sample embedding resin, is 0.7 to 1.4. The cross-sectional particle size gradient is calculated as follows.
First, a predetermined plurality of observation areas are determined on a predetermined cross section of the sample embedding resin. Here, “cross-section” means two cross-sections perpendicular to each other in the sample-embedded resin, and the cross-section grain size gradient calculated for each of the two cross-sections must be within the above-mentioned range . For example, in a sample-embedded resin having a cylindrical shape or the like, it has two cross sections of a longitudinal cross section perpendicular to a flat surface such as an end face which can be placed on a plane and a cross section perpendicular to the longitudinal cross section. The same applies to the cross section of the cross-sectional compound type variation and the cross-sectional element variation described later.
またここで、観測領域は任意に設定することができるが、複数の観測領域で相互に重複がないものとする。各観測領域は、上記の断面内で、たとえば８３０μｍ×４１００μｍ等の長方形状もしくは正方形状その他の多角形状または円形状等とすることができるが、観測領域の大きさは粒状試料の粒径等に応じて適宜決定することができる。たとえば、観測領域は、１０００〜２５０００粒の粒状試料が含まれる大きさとすることができる。
なお、後述のＭＬＡでは所定の円の範囲をマッピング分析する手段もあるが、その測定範囲を決める際に円の半径を決めるといったことができず、測定するフレーム数、測定時間、及び粒子の数を設定して測定することになるため、測定したい範囲を精度よく測定することが難しい。
Here, although observation areas can be set arbitrarily, it is assumed that there is no overlap among a plurality of observation areas. Each observation area may be, for example, a rectangular shape such as 830 μm × 4100 μm or a square or other polygonal shape or a circular shape within the above-mentioned cross section, but the size of the observation area is the particle size of the granular sample, etc. Depending, it can decide appropriately. For example, the observation area can be sized to include 1000 to 25,000 granular samples.
Although there is also a means for mapping analysis of the range of a predetermined circle in MLA described later, it is not possible to determine the radius of the circle when determining the measurement range, and the number of frames to be measured, the measurement time, and the number of particles Because it is necessary to set and measure, it is difficult to measure the range you want to measure precisely.
次いで、それぞれの観測領域で、その観測領域に存在する粒径分布を測定する。各観測領域のこの粒径分布の測定には、鉱物解析システム（Ｍｉｎｅｒａｌ Ｌｉｂｅｒａｔｉｏｎ Ａｎａｌｙｚｅｒ、以下、「ＭＬＡ」という。）を用いる。具体的には、所定のＭＬＡ（ＦＥＩ社製 ＭＬＡ６５０Ｆ）で測定する際に、“Ｃｏｍｐａｒｉｓｏｎ ｏｆ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ”のモードを“ＧＸＭＡＰ”（Ｇｒａｉｎ Ｘ−ｒａｙ Ｍａｐ）に設定する。その後、解析時にパラメータの一つである“Ｓｉｚｅ Ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎ”を“Ｅｑｕｉｖａｌｅｎｔ Ｃｉｒｃｌｅ”とし、さらに他のパラメータである“Ｓｉｅｖｅ Ｓｉｚｅ Ｓｅｒｉｅｓ”を“４ Ｓｑｒｔ ２”という条件を設定する。それにより、所定の複数の粒径のそれぞれにおける粒子存在比率、つまり粒径分布を測定することができる。
Then, in each observation area, the particle size distribution present in the observation area is measured. A mineral analysis system (hereinafter referred to as "MLA") is used to measure this particle size distribution in each observation area. Specifically, when measuring with a predetermined MLA (MLA 650F manufactured by FEI), the mode of "Comparison of measurement" is set to "GXMAP" (Grain X-ray Map). Then, at the time of analysis, one of the parameters “Size Definition” is set to “Equivalent Circle”, and the other parameter “Sieve Size Series” is set to “4
その後、一の観測領域の粒径分布における所定の粒径の粒子存在比率と、それと同じ粒径の、他の観測領域の粒径分布における粒子存在比率とを対応させて、一の観測領域の粒径分布の粒子存在比率を縦軸とするとともに他の観測領域の粒径分布の粒子存在比率を横軸としたグラフにプロットし、粒径分布の各粒径における粒子存在比率について一の観測領域と他の観測領域とで比較できる散布図を得る。この散布図には、粒径分布の粒子存在比率についての一の観測領域と他の観測領域との関連性が示されることになる。仮に、一の観測領域と他の観測領域の粒径分布が完全に一致していれば、プロットした点はすべて、原点を通り傾きが１の直線上に存在する。 After that, the particle abundance ratio of a predetermined particle size in the particle size distribution of one observation area is made to correspond to the particle abundance ratio in the particle size distribution of another observation area of the same particle size as that. The particle abundance ratio of the particle size distribution is plotted on the vertical axis and the particle abundance ratio of particle size distributions on other observation areas is plotted on the horizontal axis, and one observation is made for the particle abundance ratio at each particle size of the particle size distribution Obtain a scatter plot that can be compared between the area and other observation areas. In this scatter chart, the relationship between one observation area and another observation area with respect to the particle abundance ratio of the particle size distribution will be shown. If the particle size distributions of one observation area and the other observation area completely coincide with each other, all plotted points pass through the origin and lie on a straight line with a slope of 1.
そして、上記の散布図で、プロットした各点について最小二乗法により回帰直線の近似式を求める。すなわち、プロットした各点の縦軸方向の差が最小になる直線を算出する。このような回帰直線の算出は、所定の表計算ソフトを用いて容易に行うことができ、その際に回帰直線の傾き（断面粒径勾配）も得られる。
なお、最小二乗法による回帰直線を求めるに当り、散布図を得るためにグラフ上にプロットする点の数は、精度上の観点から４点以上は必要であり、４点〜２５点とすることが望ましい。点の数を増やしすぎても得られる結果に大きな影響はない。典型的にはプロットする点の数は１０〜２０点とすることができる。
Then, an approximate expression of a regression line is obtained by the least squares method for each point plotted in the above-mentioned scatter diagram. That is, a straight line that minimizes the difference in the vertical axis of each plotted point is calculated. The calculation of such a regression line can be easily performed using predetermined spreadsheet software, and at that time, the slope of the regression line (cross-sectional particle size gradient) can also be obtained.
The number of points plotted on the graph to obtain a scatterplot is 4 or more in terms of accuracy, and should be 4 to 25 in order to obtain a regression line by the least squares method. Is desirable. Increasing the number of points has no significant effect on the results obtained. Typically, the number of plotted points can be 10-20.
上述した散布図では縦軸と横軸を、異なる観測領域の粒径分布の粒子存在比率とするため、観測領域の数は、少なくとも二つ必要である。たとえば、四つの観測領域Ａ〜Ｄのそれぞれで粒径分布を測定した場合、観測領域Ａと観測領域Ｂの粒径分布比較についての散布図での回帰直線と、観測領域Ｃと観測領域Ｄの粒径分布比較についての散布図での回帰直線をそれぞれ算出する。あるいは、仮に三つの観測領域Ａ〜Ｃのそれぞれで粒径分布を測定した場合、観測領域Ａと観測領域Ｂの粒径分布比較についての散布図での回帰直線と、観測領域Ｂと観測領域Ｃの粒径分布比較についての散布図での回帰直線を算出する。このように、重複しない観測領域どうし（観測領域Ａと観測領域Ｂ、観測領域Ｃと観測領域Ｄ）で比較する場合や、特定の観測領域（観測領域Ｂ）と他の二つ以上の観測領域（観測領域Ａ、Ｃ）のそれぞれとで比較する場合のいずれであっても、それにより得られる複数本の回帰直線のいずれの傾きも、所定の範囲内であることを要する。
典型的には観測領域の数を２〜１０とし、それらが重複しない組み合わせで複数本の回帰直線の各傾きを算出する。
In the above-described scatter plots, at least two observation areas are required in order to use the particle abundance ratio of the particle size distribution of different observation areas as the vertical axis and the horizontal axis. For example, when the particle size distribution is measured in each of the four observation areas A to D, a regression line in a scatter diagram for comparing the particle size distributions of the observation area A and the observation area B, and the observation areas C and D Respective regression lines in scatter diagrams for particle size distribution comparison are calculated. Alternatively, if the particle size distribution is measured in each of the three observation areas A to C, a regression line in the scatter diagram for comparing the particle size distribution of the observation area A and the observation area B, the observation area B and the observation area C Calculate the regression line in the scatter diagram for particle size distribution comparison of Thus, when comparing non-overlapping observation areas (observation area A and observation area B, observation area C and observation area D), or a specific observation area (observation area B) and two or more other observation areas In any case of comparison with (observation regions A and C), any slope of the plurality of regression lines obtained thereby needs to be within a predetermined range.
Typically, the number of observation areas is set to 2 to 10, and the slopes of a plurality of regression lines are calculated using combinations that do not overlap.
断面粒径勾配の算出方法の一例について説明すると次のとおりである。
いずれも領域サイズが８３０μｍ×４１００μｍの長方形の観測領域Ａ及びＢの粒径分布をそれぞれＭＬＡで測定すると、表１に示すように、各観測領域Ａ及びＢで粒径（μｍ）ごとの粒子存在比率（％）の結果が得られたと仮定する。この場合、観測領域Ａの粒子存在比率を縦軸（ｙ軸）とし、観測領域Ｂの粒子存在比率を横軸（ｘ軸）としたグラフで、当該グラフ上に、ｙ座標が観測領域Ａの所定の粒径での粒子存在比率であって、ｘ座標が観測領域Ｂの同じ粒径での粒子存在比率である点をプロットしていくと、図２に示す散布図を得ることができる。そして、同図に示すように、この散布図で最小二乗法により回帰直線を導出し、その傾きを求め、これを断面粒径勾配とする。なおこの例では、断面粒径勾配は１．０１０８である。
It will be as follows if an example of calculation method of section grain size gradient is explained.
When particle size distributions of rectangular observation areas A and B each having an area size of 830 μm × 4100 μm are measured by MLA, as shown in Table 1, the presence of particles for each particle size (μm) in each observation area A and B Assume that a ratio (%) result is obtained. In this case, in the graph in which the particle abundance ratio of observation region A is on the vertical axis (y axis) and the particle abundance ratio of observation region B is on the horizontal axis (x axis), the y coordinate is on the graph. When plotting the point where the particle existence ratio at a predetermined particle diameter is the particle existence ratio at the same particle diameter of the observation area B as the x coordinate, a scatter diagram shown in FIG. 2 can be obtained. Then, as shown in the figure, a regression line is derived by the least squares method using this scatter chart, the slope thereof is determined, and this is taken as the cross-sectional particle size gradient. In this example, the cross-sectional particle size gradient is 1.0108.
このようにして得られる断面粒径勾配は、０．７〜１．４とする。断面粒径勾配が１より大きすぎても小さすぎても、比較した観測領域の粒径分布に比較的大きな違いがあることを意味するので、所望の分散性が実現されておらず、それにより分析精度が低下する。したがって、断面粒径勾配は、好ましくは０．９〜１．１、より好ましくは０．９５〜１．０５である。 The cross-sectional particle size gradient obtained in this manner is 0.7 to 1.4. If the cross-sectional particle size gradient is greater than 1 or too small, this means that there is a relatively large difference in the particle size distribution in the compared observation area, so that the desired dispersibility is not realized. Analysis accuracy is reduced. Therefore, the cross-sectional particle size gradient is preferably 0.9 to 1.1, more preferably 0.95 to 1.05.
ところで一般に、試料埋込樹脂を作製する際は樹脂材料が硬化するまでの間に樹脂材料中での粒状試料の沈降が生じることがあり、円柱状等の試料埋込樹脂の縦断面等の断面は、粒状試料の各粒子でその沈降の度合いに差が生じたことに起因する粒子の偏りが現れやすくなる。それ故に、そのような粒子の偏りがなく粒状試料が良好に分散していることを担保するため、上述したように、試料埋込樹脂の断面における粒径勾配である断面粒径勾配を所定の範囲に規定することが有効である。 Generally, when preparing a sample embedding resin, sedimentation of a granular sample may occur in the resin material until the resin material cures, and a cross section such as a longitudinal cross section of the column embedding resin In this case, the deviation of the particles caused by the difference in the degree of sedimentation in each particle of the granular sample tends to appear. Therefore, as described above, in order to ensure that the granular sample is well dispersed without such deviation of the particles, as described above, the cross-sectional particle size gradient which is the particle size gradient in the cross section of the sample embedding resin It is effective to define in the range.
一方、試料埋込樹脂の露出表面も、分析対象の面となることがあるので、この表面で観ても粒状試料が良好に分散していることが望ましい。
したがって、試料埋込樹脂の表面における粒径勾配である表面粒径勾配は、０．７〜１．４であることが好ましく、さらに０．９〜１．１であることがより一層好ましい。
On the other hand, since the exposed surface of the sample-embedded resin may also be a surface to be analyzed, it is desirable that the granular sample be well dispersed even when viewed on this surface.
Therefore, the surface particle size gradient, which is the particle size gradient on the surface of the sample embedding resin, is preferably 0.7 to 1.4, and more preferably 0.9 to 1.1.
この「表面」は、試料埋込樹脂の外側に露出する少なくとも一つの平坦な表面を意味し、その少なくとも一つの表面のそれぞれで算出した表面粒径勾配が上述した範囲内にあることとする。たとえば、円柱状の試料埋込樹脂では、上記の表面は、その軸線方向の両端面のうちのいずれか一方の端面である。あるいは、立方体や直方体のように互いに垂直な表面が存在する形状の試料埋込樹脂では、上記の表面は、六面のうちの一の表面とそれに垂直な他の表面の二つの表面を意味し、それらの二つの表面のそれぞれの表面粒径勾配が上述した範囲内にあることとする。後述する表面化合物種ばらつき及び表面元素ばらつきの表面についても同様である。
表面粒径勾配は、観測領域を上記の表面上に設定することを除いて、先に述べた断面粒径勾配と同様にして算出する。
This "surface" means at least one flat surface exposed to the outside of the sample embedding resin, and the surface particle size gradient calculated for each of the at least one surface is within the above-mentioned range. For example, in a cylindrical sample-embedded resin, the above-mentioned surface is an end surface of either one of both end surfaces in the axial direction. Alternatively, in the case of a sample-embedded resin having a shape in which surfaces perpendicular to each other exist, such as a cube or a rectangular parallelepiped, the above surfaces mean two surfaces of one of six faces and the other surface perpendicular thereto. Let the surface particle size gradient of each of those two surfaces be within the above mentioned range. The same applies to the surface of surface compound type variation and surface element variation described later.
The surface particle size gradient is calculated in the same manner as the cross-sectional particle size gradient described above except that the observation area is set on the surface described above.
なお、上述した粒径勾配の他、一の観測領域の粒径分布の粒子存在比率と、他の観測領域の粒径分布の粒子存在比率との関係性を確認する指標として、相関係数を用いることも有効である。一の観測領域の粒径分布の粒子存在比率他の観測領域の粒径分布の粒子存在比率と相関係数は、好ましくは０．９〜１であり、より好ましくは０．９５〜１である。 In addition, the correlation coefficient is used as an index for confirming the relationship between the particle abundance ratio of the particle size distribution in one observation area and the particle abundance ratio of the particle size distribution in another observation area in addition to the particle size gradient described above. It is also effective to use. Particle abundance ratio of particle size distribution in one observation region Particle abundance ratio and correlation coefficient of particle diameter distribution in another observation region are preferably 0.9 to 1, more preferably 0.95 to 1 .
（化合物種ばらつき）
他の実施形態では、試料埋込樹脂の断面における化合物種ばらつきである断面化合物種ばらつきが、３０以下である。断面化合物種ばらつきは次のようにして算出する。
はじめに、試料埋込樹脂の所定の断面で設定した複数の観測領域のそれぞれで、ＭＬＡを用いて、試料埋込樹脂の粒状試料に含まれる複数種類の化合物の各含有率を測定する。ここでのＭＬＡ（ＦＥＩ社製 ＭＬＡ６５０Ｆ）の条件は、測定時に“Ｃｏｍｐａｒｉｓｏｎ ｏｆ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ”のモードを“ＧＸＭＡＰ”（Ｇｒａｉｎ Ｘ−ｒａｙ Ｍａｐ）に設定して測定する。その後、解析時にパラメータの一つである“Ｓｉｚｅ Ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎ”を“Ｅｑｕｉｖａｌｅｎｔ Ｃｉｒｃｌｅ”とし、さらに他のパラメータである“Ｓｉｅｖｅ Ｓｉｚｅ Ｓｅｒｉｅｓ”を“４ Ｓｑｒｔ ２”とする。なお、複数の観測領域は、先述の断面粒径勾配と同様に設定することができる。
その後、化合物の種類ごとに、複数の観測領域の測定値から標準偏差および平均値をお求め、その標準偏差を平均値で除して１００を乗じることで得られる変動係数を算出する。
(Compound type variation)
In another embodiment, the cross-sectional compound species variation which is the compound species variation in the cross section of the sample embedding resin is 30 or less. Cross-sectional compound type variation is calculated as follows.
First, in each of a plurality of observation areas set in a predetermined cross section of a sample embedding resin, MLA is used to measure each content of a plurality of types of compounds contained in a granular sample of the sample embedding resin. The conditions of MLA here (MLA650F made by FEI) are measured by setting the mode of "Comparison of measurement" to "GXMAP" (Grain X-ray Map) at the time of measurement. After that, at the time of analysis, “Size Definition” which is one of the parameters is set to “Equivalent Circle”, and another parameter “Sieve Size Series” is set to “4
Thereafter, for each type of compound, a standard deviation and an average value are obtained from measured values of a plurality of observation areas, and the standard deviation is divided by the average value and multiplied by 100 to calculate a coefficient of variation.
ＭＬＡでの測定結果より、試料埋込樹脂の断面に存在する粒状試料の各粒子の化合物の種類と、それらの化合物の含有率が解かるので、複数の観測領域での各化合物の含有率の平均値を算出し、その平均値が０．５質量％以上となる化合物を抽出する。
そして、それらの三種類の化合物の含有率の上述した変動係数を断面化合物種ばらつきとし、三種類の化合物のそれぞれについての断面化合物種ばらつきがいずれも、上記の範囲内であることを要する。
Since the type of compound of each particle of the particulate sample present in the cross section of the sample embedding resin and the content of these compounds are known from the measurement results in MLA, the content of each compound in a plurality of observation areas An average value is calculated, and a compound having an average value of 0.5% by mass or more is extracted.
And let the variation coefficient mentioned above of the content rate of those three types of compounds be cross-sectional compound type dispersion | variation, and it is required that cross-sectional compound type dispersion | variation about each of three types of compounds is in said range.
このようにして得られる断面化合物種ばらつきが大きすぎると、複数の観測領域で化合物の含有率に比較的大きな差があることを意味するので、所望の分散性が実現されておらず、それにより分析精度が低下する。その結果、試料の平均的な状態を精度よく分析するために測定面積を広げる対策が必要になり、測定時間や解析時間が膨大になる。したがって、断面化合物種ばらつきは、好ましくは１０以下である。なお、断面化合物種ばらつきは０以上となり、典型的には１以上となることが多い。 If the variation in the cross-sectional compound species thus obtained is too large, it means that there is a relatively large difference in the content of the compound in a plurality of observation regions, and thus the desired dispersibility is not realized. Analysis accuracy is reduced. As a result, in order to analyze the average state of the sample with high accuracy, it is necessary to take measures to widen the measurement area, and the measurement time and analysis time become enormous. Therefore, the cross-sectional compound species variation is preferably 10 or less. The cross-sectional compound species variation is 0 or more, and typically 1 or more in many cases.
また、試料埋込樹脂の表面の良好な分散性をも確保するとの観点から、試料埋込樹脂の表面における化合物種ばらつきである表面化合物種ばらつきは、３０以下であることが好ましく、さらに１０以下であることがより一層好ましい。なお、表面化合物種ばらつきは０以上となり、典型的には１以上となることが多い。
表面化合物種ばらつきは、観測領域を表面上に設定することを除いて、先に述べた断面化合物種ばらつきと同様にして算出する。
なおここでいう化合物には鉱物が含まれる。
In addition, from the viewpoint of securing good dispersibility of the surface of the sample embedding resin, it is preferable that the surface compound type variation, which is the compound type variation on the surface of the sample embedding resin, be 30 or less, and 10 or less. It is even more preferable that The surface compound type variation is 0 or more, and typically 1 or more in many cases.
The surface compound type variation is calculated in the same manner as the section compound type variation described above except that the observation region is set on the surface.
The compounds referred to here include minerals.
（元素ばらつき）
さらに他の実施形態では、試料埋込樹脂の断面における元素ばらつきである断面元素ばらつきが、５０以下である。断面元素ばらつきは次のようにして算出する。
はじめに、試料埋込樹脂の所定の断面で設定した複数の観測領域のそれぞれで、ＭＬＡを用いて、試料埋込樹脂の粒状試料に含まれる複数種類の元素の各含有率を測定する。ここでのＭＬＡ（ＦＥＩ社製 ＭＬＡ６５０Ｆ）の条件は、測定時に“Ｃｏｍｐａｒｉｓｏｎ ｏｆ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ”のモードを“ＧＸＭＡＰ”（Ｇｒａｉｎ Ｘ−ｒａｙ Ｍａｐ）に設定する。その後、解析時にパラメータの一つである“Ｓｉｚｅ Ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎ”を“Ｅｑｕｉｖａｌｅｎｔ Ｃｉｒｃｌｅ”とし、さらに他のパラメータである“Ｓｉｅｖｅ Ｓｉｚｅ Ｓｅｒｉｅｓ”を“４ Ｓｑｒｔ ２”とする。なお、複数の観測領域は、先述の断面粒径勾配と同様に設定することができる。
その後、元素の種類ごとに、複数の観測領域の測定値から標準偏差および平均値をお求め、その標準偏差を平均値で除して１００を乗じることで得られる変動係数を算出する。
(Element variation)
In yet another embodiment, the cross-sectional element variation which is the element variation in the cross section of the sample embedding resin is 50 or less. Cross-sectional element variation is calculated as follows.
First, in each of a plurality of observation areas set in a predetermined cross section of the sample embedding resin, MLA is used to measure each content of a plurality of types of elements contained in the granular sample of the sample embedding resin. Here, the condition of MLA (MLA 650F manufactured by FEI) is set to “GXMAP” (Grain X-ray Map) as the “Comparison of measurement” mode at the time of measurement. After that, at the time of analysis, “Size Definition” which is one of the parameters is set to “Equivalent Circle”, and another parameter “Sieve Size Series” is set to “4
Thereafter, for each type of element, a standard deviation and an average value are obtained from measured values of a plurality of observation areas, and the standard deviation is divided by the average value and multiplied by 100 to calculate a variation coefficient.
ＭＬＡでの測定結果より、試料埋込樹脂の断面に存在する粒状試料の元素の種類と、それらの元素の含有率が解かるので、複数の観測領域での各元素の含有率の平均値を算出し、その平均値が０．５質量％以上となる元素を抽出する。
そして、０．５質量％以上と比較的多く含まれるそれらの元素の含有率の上述した変動係数を断面元素ばらつきとし、それらの元素のそれぞれについての断面元素ばらつきがいずれも、上記の範囲内であることを要する。
Since the types of elements of the granular sample present in the cross section of the sample embedding resin and the contents of these elements are known from the measurement results in MLA, the average value of the contents of each element in a plurality of observation areas The element which is calculated and whose average value becomes 0.5 mass% or more is extracted.
And let the above-mentioned variation coefficient of the content rate of those elements contained comparatively large with 0.5 mass% or more be cross-sectional element variation, and all of the cross-sectional element variation about each of those elements are within the above-mentioned range I need to be there.
このようにして得られる断面元素ばらつきが大きすぎると、複数の観測領域で元素の含有率に比較的大きな差があることを意味するので、所望の分散性が実現されておらず、それにより分析精度が低下する。したがって、断面元素ばらつきは、好ましくは１５以下である。なお、断面元素ばらつきは０以上となり、典型的には１以上となることが多い。 If the cross-sectional element variation obtained in this manner is too large, this means that there is a relatively large difference in the content of elements in the plurality of observation regions, and thus the desired dispersibility is not realized, thereby Accuracy is reduced. Therefore, the cross-sectional element variation is preferably 15 or less. The cross-sectional element variation is 0 or more, and typically 1 or more in many cases.
また、試料埋込樹脂の表面の良好な分散性をも確保するとの観点から、試料埋込樹脂の表面における元素ばらつきである表面元素ばらつきは、５０以下であることが好ましく、さらに１５以下であることがより一層好ましい。なお、表面元素ばらつきは０以上となり、典型的には１以上となることが多い。
表面元素ばらつきは、観測領域を表面上に設定することを除いて、先に述べた断面元素ばらつきと同様にして算出する。
In addition, from the viewpoint of securing good dispersibility of the surface of the sample embedding resin, surface element variation, which is element variation on the surface of the sample embedding resin, is preferably 50 or less, and more preferably 15 or less. Is even more preferred. The surface element variation is 0 or more, and typically 1 or more in many cases.
The surface element variation is calculated in the same manner as the sectional element variation described above except that the observation region is set on the surface.
（分析用試料埋込樹脂の作製方法）
上述したような試料埋込樹脂を作製するには、はじめに、図３に例示するような底付き円筒状等の所定の容器４に、粒状試料２を液体状樹脂材料３とともに投入する。
またここでは、必要に応じて、エポキシ樹脂等の液体状樹脂材料３を攪拌後の加熱で硬化させるための樹脂硬化剤を使用することができる。この場合、事前に液体状樹脂材料３と樹脂硬化剤を所定の比率で混合して調合しておき、それを粒状試料２とともに容器４に投入することができる。樹脂硬化剤としては、液体状樹脂材料３の種類に適合する公知のものを用いることが可能である。
(Preparation method of sample embedding resin for analysis)
In order to produce the sample embedding resin as described above, first, the
Here, if necessary, a resin curing agent for curing the
この作製方法では、後述するように自転公転撹拌機により液体状樹脂材料３中に粒状試料２を十分に分散させることができるので、グラファイト等をさらに投入することを要しない。すなわち、容器４には、樹脂硬化剤を除き粒状試料２および液体状樹脂材料３のみを投入することができる。またここでは、手作業および超音波による容器４内の粒状試料２および液体状樹脂材料３の攪拌を行わないこととすることができる。さらに、従来行っていた粒状試料２の容器４への投入前の篩別も不要である。したがって、この方法では、試料埋込樹脂の作製に要する作業を飛躍的に簡略化することができ、作業工数の低減、作業時間の短縮を実現することができる。
In this preparation method, as described later, since the
容器４に投入する液体状樹脂材料３に対する粒状試料２の割合は、１００体積％〜３００体積％とすることが好適である。より好ましくは、２００体積％〜３００体積％とする。これはすなわち、粒状試料２の割合が少なすぎると、粒子が凝集する可能性が否めず、また粒状試料の２の割合が多すぎると、固結できず、測定面を露出させる面だし研磨時に破損することが懸念されるからである。
The ratio of the
次いで、粒状試料および液体状樹脂材料入りの容器５を、所定の自転公転撹拌機にセットし、当該自転公転撹拌機の機能に基き、図３に矢印で示すように、粒状試料および液体状樹脂材料入りの容器５の自転および公転を同時に行って、容器４内の粒状試料２および液体状樹脂材料３を攪拌する。より詳細には、底付き円筒状の容器４の底部を斜め下側に向けてその中心軸を傾斜させて配置し、その中心軸を自転軸として粒状試料および液体状樹脂材料入りの容器５を自転させるとともに、容器４から距離をおいて自転軸が所定の角度θで傾斜するように公転軸を設定し、その公転軸の周りに粒状試料および液体状樹脂材料入りの容器５を公転させる。
Next, the
これにより、自転と公転の相互作用によって発生する渦巻流と上下対流によって、液体状樹脂材料３中の気泡を押し出し、泡を巻きこむことなく、粒状試料２および液体状樹脂材料３を撹拌させて、その分散を促進させることができる。しかもここでは、自転公転撹拌機による攪拌時に、液体状樹脂材料３や粒子等との摩擦熱によって温度が上昇し、液体状樹脂材料３が若干硬化することから、後述するような液体状樹脂材料３を硬化させる際の時間を短縮できる他、そのような若干の硬化により、内部の粒状試料２の粒子の沈降度合の違いによる粒子の存在の偏りを抑制することができる。
Thereby, the air bubbles in the
自転公転撹拌機としては、粒状試料および液体状樹脂材料入りの容器５のこのような自転および公転を行い得るものであれば特に問わず、たとえば公知のものを用いることができる。自転公転撹拌機での公転と自転は、互いに逆の回転方向とする。
As the revolution-revolution stirrer, for example, known ones can be used regardless of the type that can perform such rotation and revolution of the
ここで、自転公転撹拌機による攪拌時の公転速度は、４００ｒｐｍ〜２０００ｒｐｍとすることが好ましい。公転速度が遅すぎる場合、凝集粒ができることが懸念され、この一方で、公転速度が速すぎる場合、摩擦により粒が摩耗するおそれがある。この観点から、公転速度は４００ｒｐｍ〜２０００ｒｐｍとすることが好ましい。 Here, it is preferable to set the revolution speed at the time of stirring by the rotation revolution stirrer to 400 rpm to 2000 rpm. If the revolution speed is too slow, there is a concern that agglomerated particles may be formed, and on the other hand, if the revolution speed is too fast, there is a risk that the grains will be worn due to friction. From this viewpoint, the revolution speed is preferably 400 rpm to 2000 rpm.
またここで、自転公転撹拌機による攪拌時の公転速度に対する自転速度の比率は、樹脂の上下対流が発生し、粒子同士が摩耗しない範囲であればよく、例えば公転速度に対して０．４〜０．６倍とすることが好適である。自転速度が遅すぎると、上下対流が起きないために凝集粒が存在することが考えられる。一方、自転速度が速すぎると、渦巻流と上下対流のスピードが早くなり、粒子同士が摩耗して本来の粒度とは異なってしまう懸念がある。
なお、上述した公転速度および自転速度は、自転公転撹拌機で設定可能である。
Furthermore, here, the ratio of the rotation speed to the revolution speed at the time of stirring by the rotation revolution stirrer may be in the range in which the upper and lower convection of the resin is generated and the particles do not wear each other. It is preferable to make it 0.6 times. If the rotation speed is too slow, it is conceivable that agglomerated particles exist because vertical convection does not occur. On the other hand, if the rotation speed is too fast, the swirling and vertical convection speeds up, and there is a concern that the particles may be worn away and differ from the original particle size.
In addition, the revolution speed and rotation speed which were mentioned above can be set with a rotation revolution stirrer.
自転公転撹拌機による攪拌時の自転軸の、公転軸に対する角度θは、好ましくは３０°〜６０°、より好ましくは４０°〜５０°として、自転軸を公転軸から傾斜させて攪拌を行うことができる。自転軸の傾斜角度θが小さいと、比重の大きいものが容器底部に沈降しやすい状態となり、また傾斜角度θが大きいと容器から樹脂がこぼれ、必要な樹脂量を容器に充填できない状態となる可能性がある。傾斜角度θは、材料の性質に合わせて適宜設定することができる。 The angle θ of the rotation axis during stirring by the rotation rotation stirrer is preferably 30 ° to 60 °, more preferably 40 ° to 50 °, and the rotation axis is inclined from the rotation axis to perform stirring Can. If the inclination angle θ of the rotation shaft is small, the one with a large specific gravity is likely to settle to the bottom of the container, and if the inclination angle θ is large, the resin may spill out of the container and a necessary resin amount can not be filled There is sex. The inclination angle θ can be appropriately set in accordance with the property of the material.
ところで、上述したような自転公転撹拌機による攪拌は、粒状試料および液体状樹脂材料入りの容器５の周囲の雰囲気を真空雰囲気として行うことが、液体状樹脂材料３に混入し得るマイクロバブルを除去できる点で好適である。このようなマイクロバブルは、粒子の凝集を生じさせる要因の一つになるところ、自転公転撹拌機で真空雰囲気にて攪拌することにより、マイクロバブル除去のためにこれまで行っていた真空デシケーターの使用を省略することができる。真空雰囲気とする場合、マイクロバブルを有効に除去するとの観点から、最大到達真空度は、たとえば１．０ｋＰａ以下、好ましくは０．６７ｋＰａ以下とすることができる。なお、さらに圧力を低下させても効果はそれほど変化せず、またそのような低い圧力に到達するまでに時間がかかる。
By the way, the stirring by the above-described rotation and revolution stirrer can be performed with the atmosphere around the
但し、液体状樹脂材料３中に粒状試料２がほとんど分散していない攪拌の初期段階から、自転公転撹拌機内の粒状試料および液体状樹脂材料入りの容器５の周囲を真空雰囲気とすれば、容器４の開口の表面近傍に存在する粒状試料２が飛散することが懸念される。これを防止するため、攪拌の初期段階は、大気雰囲気として重力の作用の下で攪拌を行い、その後、真空雰囲気に切り替えてさらに攪拌することが好適である。つまり、攪拌の初期段階は大気雰囲気とし、その後の少なくとも終期段階は真空雰囲気とすることが好ましい。
ここで攪拌の初期段階は、自転公転撹拌機による攪拌の開始時点から、３０秒〜６０秒が経過したときまでとすることができる。その後に真空雰囲気とする時間は、６０秒〜３０分とすることができる。
However, from the initial stage of stirring in which the
Here, the initial stage of the stirring can be from when the stirring by the rotation and revolution stirrer starts to when 30 seconds to 60 seconds have elapsed. The time for which a vacuum atmosphere is subsequently applied can be 60 seconds to 30 minutes.
自転公転撹拌機による攪拌時間は、上述したように途中で大気雰囲気から真空雰囲気に切り替える場合はそれらの合計の時間として、好ましくは１分〜３０分、より好ましくは５分〜１５分とすることができる。攪拌時間が短い場合は、液体状樹脂材料３中での粒状試料２の分散が不十分となることが懸念され、この一方で、攪拌時間が長すぎると、液体状樹脂材料３中で粒状試料２の粒子が相互に衝突することに起因する粒子の破壊が生じるおそれがある。
As described above, when switching from the atmospheric atmosphere to a vacuum atmosphere during the stirring time by the revolution revolution stirrer, the total time of those is preferably 1 minute to 30 minutes, more preferably 5 minutes to 15 minutes. Can. If the stirring time is short, there is a concern that the dispersion of the
このように自転公転撹拌機を用いて、容器４内の粒状試料２および液体状樹脂材料３を攪拌した後は、所定の温度、たとえば２０℃〜６０℃まで加熱されることで、先述の樹脂硬化剤の作用と相俟って、液体状樹脂材料３を硬化させる。それにより、硬化した樹脂材料中に粒状試料が埋め込まれて固定された試料埋込樹脂を作製することができる。
Thus, after stirring the
ここで、攪拌後から液体状樹脂材料３を硬化させるまで長い時間をおくと、容器４内の液体状樹脂材料３中で粒状試料２が、重力の作用により沈降して分散性が低下することが懸念される。逆に攪拌後から液体状樹脂材料３を硬化させるまでの時間が短いと、加熱時に粒状試料２の温度が上昇している懸念があり、この場合、粒状試料２が熱により変質する可能性がある。そのため、自転公転撹拌機による攪拌後、液体状樹脂材料３の硬化が完了するまでの時間は、好ましくは３０分〜６０分、より好ましくは３０分〜４０分とする。
Here, if a long time is taken from the stirring to the curing of the
以上に述べたようにして作製された試料埋込樹脂では、試料埋込樹脂における樹脂材料中に分散した粒状試料の粒子の粒径分布が、埋め込み前の粒状試料の粒径分布とほぼ同一、つまりほぼ同様の傾向となっていることが、粒子どうしの凝集抑制の観点から好適である。
そして、このような試料埋込樹脂は、様々な分析装置を用いた粒状試料の元素含有量、粒径分布、単体分離度などの分析に供することができる。特にここで、粒状試料を構成する粒子を鉱石粒子とした場合、その試料埋込樹脂は、鉱物解析システム（Ｍｉｎｅｒａｌ Ｌｉｂｅｒａｔｉｏｎ Ａｎａｌｙｚｅｒ、ＭＬＡ）による分析に有効に用いることができる。
In the sample embedding resin manufactured as described above, the particle size distribution of the particles of the granular sample dispersed in the resin material in the sample embedding resin is substantially the same as the particle size distribution of the granular sample before embedding, That is, it is preferable from the viewpoint of suppressing the aggregation of particles that the tendency is substantially the same.
And such a sample embedding resin can be used for analysis of the element content of a granular sample, a particle size distribution, a single degree of separation, etc. using various analyzers. In particular, here, when particles constituting the particulate sample are ore particles, the sample embedding resin can be effectively used for analysis by a mineral analysis system (Mineral Liberation Analyzer, MLA).
次に、この発明の分析用試料埋込樹脂を試作し、その効果を確認したので以下に説明する。但し、ここでの説明は単なる例示を目的としたものであり、それに限定されることを意図するものではない。 Next, the sample embedding resin for analysis of the present invention was produced on a trial basis, and the effect was confirmed, which will be described below. However, the description herein is for the purpose of illustration only and is not intended to be limiting.
粒状試料として所定の鉱石粒子試料Ａ、鉱石粒子試料Ｂ（以下、それぞれ単に「試料Ａ」、「試料Ｂ」という。）の二種類を準備し、それらのそれぞれについて、超音波撹拌機を用いた方法（現行法）と、自転公転撹拌機を用いた方法（混練法）のそれぞれを用いて、試料埋込樹脂を作製した。 Two types of predetermined ore particle sample A and ore particle sample B (hereinafter simply referred to as “sample A” and “sample B”, respectively) are prepared as particulate samples, and an ultrasonic stirrer is used for each of them. The sample embedding resin was produced using each of a method (current method) and a method (kneading method) using a rotation and revolution stirrer.
現行法では、篩を用いてサンプルを篩別し、その篩下と篩上を混合し、１インチのクリアカップにその混合サンプルとグラファイトを重量比で３：１となるように投入し、手動作業にてそれらを混合した。次いで、エポキシ樹脂（Ｂｕｅｈｌｅｒ社製のエポキュア２）の主剤と硬化剤を２：１の割合で混合し、それを真空デシケーターで脱泡した。その後、超音波撹拌機で９分間攪拌し、そして、真空デシケーターで１０分間脱泡し、残りのエポキシ樹脂をクリアカップに流し込んだ後、大気中でエポキシ樹脂を硬化させた。サンプル量は１ｇとし、樹脂量は５ｇとした。
In the current method, the sample is sieved using a sieve, the sieve and the sieve are mixed, and the mixed sample and graphite are placed in a 1-inch clear cup in a weight ratio of 3: 1, and manual operation is performed. Mixed them at the Next, the main agent of an epoxy resin (
混練法では、サンプルを上記と同様のエポキシ樹脂とともにクリアカップに投入した後、自転公転撹拌機（シンキー社製のあわとり練太郎（登録商標））を用いて攪拌を行った。その後、大気中でエポキシ樹脂を硬化させた。このときの攪拌の条件は、試料Ａについては、大気雰囲気の予備攪拌で回転数を８００ｒｐｍ、時間を３０秒、圧力を１０１ｋＰａとし、その後の真空雰囲気の真空攪拌で回転数を２０００ｒｐｍ、時間を６０秒、圧力を１．０ｋＰａとした。試料Ｂについては、大気雰囲気の予備攪拌で回転数を８００ｒｐｍ、時間を３０秒、圧力を１０１ｋＰａとし、その後の真空雰囲気の真空攪拌で回転数を２０００ｒｐｍ、時間を３００秒、圧力を１．０ｋＰａとした。その他の条件として、自転速度は公転速度に対して１／２とし、自転軸の傾斜角度は公転軸に対して４５°とした。なお、公転軸は鉛直方向に平行とした。サンプル量は６ｇ、樹脂量は２ｇとした。 In the kneading method, the sample was put into a clear cup together with the same epoxy resin as described above, and then stirring was performed using a rotation and revolution stirrer (Awatori Neritaro (registered trademark) manufactured by Shinky Co., Ltd.). Thereafter, the epoxy resin was cured in the air. At this time, with regard to the condition for stirring, for sample A, the number of revolutions is 800 rpm, the time is 30 seconds, and the pressure is 101 kPa in the preliminary stirring in the air atmosphere, and the number of revolutions is 2000 rpm in the subsequent vacuum stirring of the vacuum atmosphere. The pressure was 1.0 kPa for a second. For sample B, the rotational speed is 800 rpm, the time is 30 seconds, and the pressure is 101 kPa in the preliminary stirring in the atmosphere, and the rotational speed is 2000 rpm, the time is 300 seconds, and the pressure is 1.0 kPa in the vacuum stirring in the subsequent vacuum atmosphere. did. As other conditions, rotation speed was set to 1/2 with respect to revolution speed, and the inclination angle of the rotation axis was 45 degrees with respect to the rotation axis. The revolution axis was parallel to the vertical direction. The sample amount was 6 g and the resin amount was 2 g.
（粒径勾配の結果）
上記のようにして作製した円柱状の試料埋込樹脂のそれぞれについて、軸線方向に沿う縦断面（断面）と一方の端面（表面ないし平面）のそれぞれで、先に述べたようにしてＭＬＡを用いて粒径分布を測定し、平面粒径勾配および断面粒径勾配を算出した。その結果を図４〜６にグラフで示す。
なおここで、平面粒径勾配および断面粒径勾配の算出で設定した観測領域は、図７に示す観測領域１〜１０（それぞれＰｏｉｎｔ １〜Ｐｏｉｎｔ １０）とし、図４、６のグラフ中の平面のＰｏｉｎｔ ６〜Ｐｏｉｎｔ １０はそれぞれ、Ｐｏｉｎｔ ６〜Ｐｏｉｎｔ １０の各々（縦軸）とＰｏｉｎｔ １〜Ｐｏｉｎｔ ５（横軸）の各々との粒子存在比率の比較を表し、また断面のＰｏｉｎｔ ５〜Ｐｏｉｎｔ ８はそれぞれ、Ｐｏｉｎｔ ５〜Ｐｏｉｎｔ ８の各々（縦軸）とＰｏｉｎｔ １〜Ｐｏｉｎｔ ４の各々（横軸）との粒子存在比率の比較を表す。粒径分布は、１．２μｍ〜４２５μｍまでの間の多数の粒子の各粒径における粒子存在比率を測定した。
(Result of particle size gradient)
For each of the cylindrical sample embedding resins produced as described above, MLA is used as described above for each of the longitudinal cross section (cross section) and one end face (surface or plane) along the axial direction. The particle size distribution was measured, and the planar particle size gradient and the sectional particle size gradient were calculated. The results are shown graphically in FIGS.
Here, the observation areas set by calculation of the plane particle size gradient and the cross-sectional particle size gradient are
図４〜６に示す結果より、特に断面粒径勾配については、混練法の試料埋込樹脂は、現行法の試料埋込樹脂に比して、傾きが十分に１に近い値となっていることから、分散性が良好であることが解かる。 According to the results shown in FIGS. 4 to 6, in particular, with respect to the cross-sectional particle diameter gradient, the sample embedding resin of the kneading method has a value sufficiently close to 1 as compared with the sample embedding resin of the current method. From the above, it can be seen that the dispersibility is good.
（化合物種ばらつきの結果）
上記の円柱状の試料埋込樹脂のそれぞれについて、軸線方向に沿う縦断面（断面）と一方の端面（表面ないし平面）のそれぞれで、先に述べたようにしてＭＬＡを用いて化合物種としての鉱物種の含有率を測定し、断面化合物種ばらつきおよび表面化合物種ばらつきを算出した。その結果を表２〜７に示す。
(Result of compound type variation)
As to each of the above-mentioned cylindrical sample embedding resins, in each of the longitudinal cross section (cross section) and one end face (surface or plane) along the axial direction, as described above, MLA is used as a compound seed as described above The content rate of mineral species was measured, and cross-sectional compound species variation and surface compound species variation were calculated. The results are shown in Tables 2-7.
表２〜７に示すところから、特に断面化合物種ばらつきについては、混練法の試料埋込樹脂は、現行法の試料埋込樹脂に比して、その断面に０．５質量％以上含まれる鉱物の含有率の変動係数ＣＶが有効に低減されており、分散性が良好であることが解かる。 From the results shown in Tables 2 to 7, in particular, regarding the cross-sectional compound species variation, the sample embedding resin of the kneading method is 0.5 mass% or more of the minerals contained in the cross section compared to the sample embedding resin of the current method. It can be seen that the variation coefficient CV of the content rate is effectively reduced, and the dispersibility is good.
（元素ばらつきの結果）
上記の円柱状の試料埋込樹脂のそれぞれについて、軸線方向に沿う縦断面（断面）と一方の端面（表面ないし平面）のそれぞれで、先に述べたようにしてＭＬＡを用いて元素の含有率を測定し、断面元素ばらつきおよび表面元素ばらつきを算出した。その結果を表８〜１３に示す。
(Result of element variation)
For each of the cylindrical sample embedding resins described above, the content of elements in each of the longitudinal cross section (cross section) along the axial direction and the one end face (surface or plane) using MLA as described above The cross-sectional element variation and the surface element variation were calculated. The results are shown in Tables 8-13.
表８〜１３に示すところから、特に断面元素ばらつきについては、混練法の試料埋込樹脂は、現行法の試料埋込樹脂に比して、０．５質量％以上の元素の含有率の変動係数ＣＶが十分に小さい値となっていることから、分散性が良好であることが解かる。 From the results shown in Tables 8 to 13, in particular, regarding the cross-sectional element variation, the variation coefficient of the content of the sample embedded resin of the kneading method is 0.5 mass% or more compared to the sample embedded resin of the current method. Since the CV is a sufficiently small value, it can be understood that the dispersibility is good.
１ 試料埋込樹脂
２ 粒状試料
３ 液体状樹脂材料
４ 容器
５ 粒状試料および液体状樹脂材料入りの容器
θ 公転軸に対する自転軸の傾斜角度
1
Claims (27)
当該試料埋込樹脂の断面における複数の観測領域で、当該観測領域に存在する粒状試料の粒径分布を測定し、一の観測領域の粒径分布の粒子存在比率および、他の観測領域の粒径分布の粒子存在比率をそれぞれ縦軸および横軸とした散布図で、最小二乗法により算出した回帰直線の傾きである断面粒径勾配が、０．７〜１．４である分析用試料埋込樹脂。 A sample embedding resin comprising a particulate sample to be analyzed which is composed of particles having nonuniform particle sizes and which contains plural kinds of single particles and / or compounds, and a resin material in which the particulate sample is embedded and fixed.
The particle size distribution of the granular sample present in the observation area is measured in a plurality of observation areas in the cross section of the sample embedding resin, and the particle abundance ratio of the particle size distribution in one observation area and the particles in the other observation area Scatter plot with the particle abundance ratio of the diameter distribution on the vertical axis and the horizontal axis, respectively, and the sample filling for analysis whose cross-sectional particle size gradient, which is the slope of the regression line calculated by the least squares method, is 0.7 to 1.4. Included resin.
当該試料埋込樹脂の断面における複数の観測領域で、当該観測領域に存在する粒状試料中の化合物の含有率を測定し、当該断面に０．５質量％以上含まれる化合物のそれぞれについて、複数の観測領域における当該含有率の変動係数である断面化合物種ばらつきが、３０以下である分析用試料埋込樹脂。 A sample embedding resin comprising a particulate sample to be analyzed which is composed of particles having nonuniform particle sizes and which contains plural kinds of single particles and / or compounds, and a resin material in which the particulate sample is embedded and fixed.
In a plurality of observation areas in the cross section of the sample embedding resin, the content of the compound in the granular sample present in the observation area is measured, and for each of the compounds contained in 0.5% by mass or more in the cross section A sample embedding resin for analysis, wherein the variation in the cross-sectional compound species, which is the variation coefficient of the content in the observation region, is 30 or less.
当該試料埋込樹脂の断面における複数の観測領域で、当該観測領域に存在する粒状試料中の元素の含有率を測定し、当該断面に０．５質量％以上含まれる元素のそれぞれについて、複数の観測領域における当該含有率の変動係数である断面元素ばらつきが、５０以下である分析用試料埋込樹脂。 A sample embedding resin comprising a particulate sample to be analyzed which is composed of particles having nonuniform particle sizes and which contains plural kinds of single particles and / or compounds, and a resin material in which the particulate sample is embedded and fixed.
In a plurality of observation areas in the cross section of the sample embedding resin, the content of elements in the granular sample present in the observation area is measured, and for each of the elements contained in 0.5% by mass or more in the cross section An analytical sample-embedded resin having a cross-sectional elemental variation that is a variation coefficient of the content in the observation region of 50 or less.
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114324458A (en) * | 2021-12-27 | 2022-04-12 | 上海交通大学 | Interface thermal conductivity test sample and forming method thereof |
| CN115876819A (en) * | 2023-03-03 | 2023-03-31 | 中国电建集团山东电力建设第一工程有限公司 | Cold inlaying method for preparing porous metallographic specimen for SEM by adding carbon fibers |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0634503A (en) * | 1992-07-17 | 1994-02-08 | Kawasaki Steel Corp | Preparation of specimen for particle size distribution measurement of magnetic powder |
| JPH06194283A (en) * | 1992-12-22 | 1994-07-15 | Nippon Steel Corp | Resin for embedding sample of microscope and embedding method for the same resin in the sample |
| JPH11290668A (en) * | 1998-04-13 | 1999-10-26 | Shinkii:Kk | Agitation defoaming device |
| US20140048972A1 (en) * | 2011-04-22 | 2014-02-20 | Fei Company | Automated Sample Preparation |
| JP2016505848A (en) * | 2012-12-28 | 2016-02-25 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | How to perform automatic mineral identification |
| JP2017090183A (en) * | 2015-11-09 | 2017-05-25 | 住友金属鉱山株式会社 | Method of identifying mineral particle present in ore using fully automated mineral analyzer and microscopic laser raman spectrometer |
-
2017
- 2017-11-14 JP JP2017219427A patent/JP6985112B2/en active Active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0634503A (en) * | 1992-07-17 | 1994-02-08 | Kawasaki Steel Corp | Preparation of specimen for particle size distribution measurement of magnetic powder |
| JPH06194283A (en) * | 1992-12-22 | 1994-07-15 | Nippon Steel Corp | Resin for embedding sample of microscope and embedding method for the same resin in the sample |
| JPH11290668A (en) * | 1998-04-13 | 1999-10-26 | Shinkii:Kk | Agitation defoaming device |
| US20140048972A1 (en) * | 2011-04-22 | 2014-02-20 | Fei Company | Automated Sample Preparation |
| JP2016505848A (en) * | 2012-12-28 | 2016-02-25 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | How to perform automatic mineral identification |
| JP2017090183A (en) * | 2015-11-09 | 2017-05-25 | 住友金属鉱山株式会社 | Method of identifying mineral particle present in ore using fully automated mineral analyzer and microscopic laser raman spectrometer |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 寺下敬次郎: "電池材料 リチウムイオン二次電池用の正極極板材料の湿式分散", 粉体および粉末冶金, vol. 48, no. 3, JPN6021020998, 28 May 2021 (2021-05-28), pages 254 - 259, ISSN: 0004622833 * |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114324458A (en) * | 2021-12-27 | 2022-04-12 | 上海交通大学 | Interface thermal conductivity test sample and forming method thereof |
| CN114324458B (en) * | 2021-12-27 | 2024-05-03 | 上海交通大学 | Interface thermal conductivity test sample and method of forming the same |
| CN115876819A (en) * | 2023-03-03 | 2023-03-31 | 中国电建集团山东电力建设第一工程有限公司 | Cold inlaying method for preparing porous metallographic specimen for SEM by adding carbon fibers |
| CN115876819B (en) * | 2023-03-03 | 2023-06-09 | 中国电建集团山东电力建设第一工程有限公司 | Method for preparing porous metallographic specimen cold mosaic for SEM by adding carbon fiber |
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| Publication number | Publication date |
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