JP2019060622A - 感圧センサ装置、及び感圧センサユニット - Google Patents
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Abstract
Description
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図1は、実施の形態1にかかる感圧センサ装置を示す上面図である。図2は、実施の形態1にかかる感圧センサ装置が備える検出セルを示す断面図である。
次に、本発明の実施の形態2について説明する。実施の形態2では、実施の形態1で説明した感圧センサ装置を複数接続した感圧センサユニットについて説明する。図11は、本実施の形態にかかる感圧センサユニットを示す上面図である。
2、3 感圧センサユニット
10 検出セル
11 基板
12 下部電極(第1の電極)
13 下部電極(第2の電極)
14 上部電極(第3の電極)
15 フィルム
17 スペーサ
21 シフトレジスタ
22 検出回路
25 トランジスタ
26、27 保護基板
28 凹部
31 駆動回路
33 FPGA
34 処理回路
50 検出セルアレイ
100 センサパネル
Claims (9)
- 互いに近接するように配置された第1及び第2の電極と、前記第1の電極に駆動電圧を供給可能なトランジスタと、を備える検出セルを複数有し、当該複数の検出セルが行方向及び列方向にマトリックス状に配置された基板と、
前記第1及び第2の電極と対向するように配置された第3の電極を備えるフィルムと、
前記基板と前記フィルムとを離間して配置するスペーサと、を備え、
前記各々の検出セルは、前記トランジスタが前記第1の電極に駆動電圧を供給している際に、前記フィルムが前記基板に近づく方向に変位して前記第3の電極が前記第1及び第2の電極に接触して前記第1の電極と前記第2の電極とが導通状態となることで圧力を検出するように構成されており、
前記各々のトランジスタは、同一行方向に配置された複数のトランジスタが同一のタイミングで駆動し、且つ列方向に配置された複数のトランジスタが順番に駆動するように構成されており、
前記第3の電極は、前記列方向に配置された複数の検出セルに渡ってライン状に伸びるように配置されている、
感圧センサ装置。 - 前記スペーサは、前記検出セルの行方向の両側に各々配置されており、且つ前記列方向に配置された複数の検出セルに渡ってライン状に伸びるように配置されている、請求項1に記載の感圧センサ装置。
- 前記同一行方向に配置された複数のトランジスタの各々のゲートに接続されているゲート配線と、
前記ゲート配線と接続され、前記同一行方向に配置された複数のトランジスタを同一のタイミングで駆動し、且つ列方向において前記複数のトランジスタを順番に駆動するシフトレジスタと、を更に備える、
請求項1または2に記載の感圧センサ装置。 - 同一列方向に配置された前記検出セルが各々備える前記第2の電極を互いに接続している検出配線と、
前記検出配線の電圧と、前記シフトレジスタが駆動しているトランジスタに関する情報と、に基づいて圧力の検出を行う検出回路と、を備える、
請求項3に記載の感圧センサ装置。 - 前記複数のトランジスタは、前記基板の前記第1及び第2の電極が配置されている側の面と逆側の面に配置されている、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の感圧センサ装置。
- 前記基板の前記複数のトランジスタが配置されている面には保護基板が設けられており、
前記保護基板を平面視した際、前記保護基板の前記複数のトランジスタが配置されている位置と重畳する位置には凹部が形成されている、
請求項5に記載の感圧センサ装置。 - 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の感圧センサ装置が複数接続された感圧センサユニットであって、
前記感圧センサユニットは、第1の感圧センサ装置と第2の感圧センサ装置とを備え、
前記第1の感圧センサ装置が備える前記各々のトランジスタは、同一行方向に配置された複数のトランジスタが同一のタイミングで駆動し、且つ列方向に配置された複数のトランジスタが順番に駆動するように構成されており、
前記第2の感圧センサ装置が備える前記各々のトランジスタは、前記第1の感圧センサ装置が備える前記各々のトランジスタの駆動が終了した後、同一行方向に配置された複数のトランジスタが同一のタイミングで駆動し、且つ列方向に配置された複数のトランジスタが順番に駆動するように構成されている、
感圧センサユニット。 - 前記第1及び第2の感圧センサ装置の各々は、前記第1及び第2の感圧センサ装置が各々備える複数のトランジスタを駆動する第1及び第2のシフトレジスタを備え、
前記第1及び第2のシフトレジスタは互いに直列に接続されると共に、同一のクロック信号が供給され、
前記第1のシフトレジスタは、前記第1の感圧センサ装置の前記複数のトランジスタを駆動し、
前記第2のシフトレジスタは、前記第1のシフトレジスタによる前記第1の感圧センサ装置の前記複数のトランジスタの駆動が終了した後、前記第2の感圧センサ装置の前記複数のトランジスタを駆動する、
請求項7に記載の感圧センサユニット。 - 前記第1の感圧センサ装置が備える前記検出配線および前記第2の感圧センサ装置が備える前記検出配線は互いに対応するように直列に接続されており、
前記検出回路は、前記検出配線の電圧と、前記第1及び第2のシフトレジスタが駆動しているトランジスタに関する情報と、に基づいて圧力の検出を行う、
請求項8に記載の感圧センサユニット。
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