JP2019051565A - 被覆切削工具 - Google Patents

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Abstract

【課題】耐摩耗性及び耐欠損性を有する被覆切削工具の提供。【解決手段】被覆層7が下部層3と、下部層3の上に形成された上部層5とを含み、下部層3が、2.0μm以上15.0μm以下の平均厚さを有し、下記式(1):Ti(C1-x-yNxOy)(1)(式中、xは、C元素とN元素とO元素との合計に対するN元素の原子比を示し、yは、C元素とN元素とO元素との合計に対するO元素の原子比を示し、0.35≦x≦0.60、0.01≦y≦0.10を満足する。)で表される組成を有する化合物を含有するTiの炭窒酸化物層からなり、下部層において、X線回折による(4,2,2)面のロッキングカーブの半値幅が20°以下であり、上部層が、1.0μm以上15.0μm以下の平均厚さを有するα型酸化アルミニウム層からなり、前記上部層において、X線回折による(0,0,12)面のロッキングカーブの半値幅が20°以下である被覆切削工具。【選択図】図1

Description

本発明は、被覆切削工具に関する。
従来、超硬合金からなる基材の表面に化学蒸着法により3〜20μmの総膜厚で被覆層を蒸着形成してなる被覆切削工具が、鋼や鋳鉄等の切削加工に用いられていることは、よく知られている。上記の被覆層としては、例えば、Tiの炭化物、窒化物、炭窒化物、炭酸化物及び炭窒酸化物並びに酸化アルミニウムからなる群より選ばれる1種の単層又は2種以上の複層からなる被覆層が知られている。
例えば、特許文献1には、切削作業において、耐摩耗性を改良することを目的として、基材及び被膜を備え、被膜が、MTCVD TiCN層、及びα−Al23層を含み、α−Al23層の組織係数TC(0012)が5を超え、切削工具の逃げ面において、X線回折を用いたα−Al23層の(0012)面のロッキングカーブピークの半値全幅(FWHM)が30°未満であり、TiCN層が、X線回折において、220ピークの積分面積強度と331ピークの積分面積強度の関係I220/I311が3未満である被覆切削工具が提案されている。
特開2015−9358号公報
近年の切削加工では、高速化、高送り化及び深切り込み化がより顕著となり、特許文献1のような従来の被覆切削工具の耐摩耗性及び耐欠損性をより一層向上させることが求められている。特に、鋼の高速切削等、被覆切削工具に負荷が作用するような切削加工が増えており、かかる過酷な切削条件下において、従来の被覆切削工具では被覆層の密着性が不十分であるため、剥離に起因する欠損が生じる。これが引き金となって、工具寿命を長くできないという問題がある。
そこで、本発明は、優れた耐欠損性及び耐摩耗性を有することによって、工具寿命を延長することができる被覆切削工具を提供することを目的とする。
本発明者らは、上述の観点から、被覆切削工具の工具寿命の延長について研究を重ねたところ、下部層と、下部層の上に形成され、所定のα型酸化アルミニウム層からなる上部層とを含む被覆層において、下部層を所定のTiの炭窒酸化物層で構成し、所定の面におけるロッキングカーブの半値幅を特定値以下とすることを含む以下の構成にすると、耐摩耗性及び耐欠損性を向上させることができ、その結果、工具寿命を延長することが可能になるという知見を得て、本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は下記のとおりである。
[1]
基材と、該基材の上に形成された被覆層とを備える被覆切削工具であって、
前記被覆層が、下部層と、該下部層の上に形成された上部層とを含み、
前記下部層が、2.0μm以上15.0μm以下の平均厚さを有し、下記式(1):
Ti(C1-x-yxy) (1)
(式中、xは、C元素とN元素とO元素との合計に対するN元素の原子比を示し、yは、C元素とN元素とO元素との合計に対するO元素の原子比を示し、0.35≦x≦0.60、0.01≦y≦0.10を満足する。)
で表される組成を有する化合物を含有するTiの炭窒酸化物層からなり、
前記下部層において、X線回折による(4,2,2)面のロッキングカーブの半値幅が20°以下であり、
前記上部層が、1.0μm以上15.0μm以下の平均厚さを有するα型酸化アルミニウム層からなり、
前記上部層において、X線回折による(0,0,12)面のロッキングカーブの半値幅が20°以下である、被覆切削工具。
[2]
前記下部層を構成する粒子の平均粒径が、0.5μm以上1.5μm以下である、[1]の被覆切削工具。
[3]
前記被覆層が、前記下部層と前記上部層との間に、下記式(2):
Ti(C1-a-bab) (2)
(式中、aはC元素とN元素とO元素との合計に対するN元素の原子比を示し、bはC元素とN元素とO元素との合計に対するO元素の原子比を示し、0.00≦a≦0.30、0.01≦b≦0.10を満足する。)
で表される組成を有する化合物を含有するTiの化合物層からなる中間層を含み、
前記中間層が、0.05μm以上1.50μm以下の平均厚さを有する、[1]又は[2]の被覆切削工具。
[4]
前記被覆層は、前記基材と前記下部層との間に、Tiの窒化物層又はTiの炭化物層からなる最下層を含み、
前記最下層が、0.1μm以上1.5μm以下の平均厚さを有する、[1]〜[3]のいずれかの被覆切削工具。
[5]
前記被覆層全体の平均厚さが、3.0μm以上25.0μm以下である、[1]〜[4]のいずれかの被覆切削工具。
[6]
前記基材は、超硬合金、サーメット、セラミックス及び立方晶窒化硼素焼結体のいずれかである、[1]〜[5]のいずれかの被覆切削工具。
本発明によると、優れた耐摩耗性及び耐欠損性を有することによって工具寿命を延長することができる被覆切削工具を提供することができる。
本発明の被覆切削工具の一例を示す模式断面図である。
以下、必要に応じて図面を参照しつつ、本発明を実施するための形態(以下、単に「本実施形態」という。)について詳細に説明するが、本発明は下記本実施形態に限定されるものではない。本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。
本実施形態の被覆切削工具は、基材と、基材の上に形成された被覆層とを備え、被覆層は、下部層と、下部層の上に形成された上部層とを含み、下部層は、2.0μm以上15.0μm以下の平均厚さを有し、下記式(1):
Ti(C1-x-yxy) (1)
(式中、xは、C元素とN元素とO元素との合計に対するN元素の原子比を示し、yは、C元素とN元素とO元素との合計に対するO元素の原子比を示し、0.35≦x≦0.60、0.01≦y≦0.10を満足する。)
で表される組成を有する化合物を含有するTiの炭窒酸化物層からなり、下部層において、X線回折による(4,2,2)面のロッキングカーブの半値幅は、20°以下であり、上部層は、1.0μm以上15.0μm以下の平均厚さを有するα型酸化アルミニウム層からなり、上部層において、X線回折による(0,0,12)面のロッキングカーブの半値幅は、20°以下である。
本実施形態の被覆切削工具は、上記の構成を備えることにより、耐摩耗性及び耐欠損性を向上させることが可能となり、その結果、被覆切削工具の工具寿命を延長することができる。本実施形態の被覆切削工具の耐摩耗性が向上する要因は、以下のように考えられる。但し、本発明は以下の要因により何ら限定されない。すなわち、まず、下部層において、前記式(1)中、原子比xが0.60以下であることにより、硬度が向上することに起因して、耐摩耗性が向上する。下部層の平均厚さが2.0μm以上であることにより、耐摩耗性が向上する。また、上部層において、X線回折による(0,0,12)面のロッキングカーブの半値幅が20°以下であることにより、基材に平行に存在する(0,0,12)面の組織が多く、切削加工において切削温度の上昇を抑えることに起因して、反応摩耗が抑制され、その結果、耐摩耗性が向上する。また、上部層の平均厚さが1.0μm以上であることにより、上部層の効果が持続するため、耐摩耗性が向上する。そして、これらの構成が組み合わされることにより、耐摩耗性が顕著に向上するものと考えられる。一方、本実施形態の被覆切削工具の耐欠損性が向上する要因は、以下のように考えられる。但し、本発明は以下の要因により何ら限定されない。すなわち、まず、下部層において、前記式(1)中、原子比xが0.35以上であることにより、靱性に優れること、原子比yが0.01以上であることにより、下部層と上部層との密着性が向上すること、原子比yが0.10以下であることにより、下部層の強度が向上することにそれぞれ起因して、耐欠損性が向上する。下部層の平均厚さが15.0μm以下であることにより、被覆層の剥離が抑制されることに起因して、耐欠損性が向上する。次に、上部層の平均厚さが15.0μm以下であることにより、被覆層の剥離が抑制されることに起因して耐欠損性が向上する。次に、下部層において、X線回折による(4,2,2)面のロッキングカーブの半値幅が20°以下であることにより、下部層と上部層との密着性が向上し、上部層の効果が持続することにより、耐欠損性が向上する。そして、これらの構成が組み合わされることにより、耐摩耗性が顕著に向上するものと考えられる。
図1は、本実施形態の被覆切削工具の一例を示す断面模式図である。被覆切削工具8は、基材1と基材1の表面に被覆層7が形成されており、被覆層7には、最下層2、下部層3、中間層4、上部層5、及び最外層6がこの順序で上方向に積層されている。被覆切削工具の種類として、具体的には、フライス加工用若しくは旋削加工用刃先交換型切削インサート、ドリル及びエンドミルを挙げることができる。
本実施形態における基材は、被覆切削工具の基材として用いられ得るものであれば、特に限定されない。そのような基材として、例えば、超硬合金、サーメット、セラミックス、立方晶窒化硼素焼結体、ダイヤモンド焼結体及び高速度鋼を挙げることができる。それらの中でも、基材が、超硬合金、サーメット、セラミックス及び立方晶窒化硼素焼結体のいずれかであると、耐摩耗性及び耐欠損性に更に優れるので好ましく、同様の観点から、基材が超硬合金であるとより好ましい。
なお、基材は、その表面が改質されたものであってもよい。例えば、基材が超硬合金からなるものである場合、その表面に脱β層が形成されてもよい。また、基材がサーメットからなるものである場合、その表面に硬化層が形成されてもよい。これらのように基材の表面が改質されていても、本発明の作用効果は奏される。
本実施形態における被覆層は、その全体の平均厚さが、3.0μm以上25.0μm以下であることが好ましい。平均厚さが3.0μm以上であると、耐摩耗性がより一層向上する傾向にあり、25.0μm以下であると、被覆層の基材との密着性に優れ、その結果、耐欠損性がより一層向上する傾向にある。同様の観点から、被覆層全体の平均厚さは、5.0μm以上20.0μm以下であるとより好ましい。なお、本実施形態の被覆切削工具における各層及び被覆層全体の平均厚さは、各層又は被覆層全体における3箇所以上の断面から、各層の厚さ又は被覆層全体の厚さを測定して、その相加平均値を計算することで求めることができる。
[下部層]
本実施形態の下部層は、下記式(1):
Ti(C1-x-yxy) (1)
で表される組成を有する化合物を含有するTiの炭窒酸化物層からなる。上記式(1)において、xは、C元素とN元素とO元素との合計に対するN元素の原子比を示し、0.35≦x≦0.60を満足する。前述のように、原子比xが0.35以上であることにより、耐欠損性が向上し、原子比xが0.60以下であることにより、耐摩耗性が向上する。その中でも、原子比xが0.36以上0.58以下であることが好ましく、0.40以上0.50以下であることがより好ましい。上記範囲内であると、耐摩耗性と耐欠損性とのバランスにより一層優れるため好ましい。yは、C元素とN元素とO元素との合計に対するO元素の原子比を示し、0.01≦y≦0.10を満足する。前述のように、原子比yが0.01以上0.10以下であることにより、耐欠損性が向上する。その中でも、原子比yが0.02以上0.08以下であることが好ましく、0.03以上0.07以下であることが好ましい。上記範囲内であると、耐摩耗性と耐欠損性とのバランスにより一層優れるため好ましい。
本実施形態の下部層は、2.0μm以上15.0μm以下の平均厚さを有する。平均厚さが2.0μm以上であることにより、耐摩耗性が向上する。一方、平均厚さが15.0μm以下であることにより、耐欠損性が向上する。同様の観点から、下部層の平均厚さは、3.0μm以上12.0μm以下であることが好ましく、5.0μm以上10.0μm以下であることがより好ましい。
本実施形態の下部層では、X線回折による(4,2,2)面のロッキングカーブの半値幅が20°以下(例えば、5°以上20°以下)である。半値幅が20°以下であると、耐摩耗性が向上する。同様の観点から、半値幅は、18°以下であることが好ましく、16°以下であることがより好ましい。
下部層のX線回折による(4,2,2)面のロッキングカーブの半値幅は、以下の測定条件によって測定することができる。すなわち、まず、通常のX線回折装置を用いて、下部層の(4,2,2)面の2θ(°)を特定し、下記測定条件により、ロッキングカーブの半価幅を測定する。
(測定条件)ω:ステップモード、特性X線:CuKα線、2θ原点:X線回折により測定した2θ(°)を固定、ステップ幅:1°、計測時間:10秒/ステップ、スキャン角度:30°〜90°
下部層を構成する粒子の平均粒径は、0.5μm以上1.5μm以下であることが好ましい。平均粒径が0.5μm以上であると、耐欠損性がより一層向上し、1.5μm以下であると、耐摩耗性がより一層向上する傾向にある。これらの要因は、まず、平均粒径が0.5μm以上であると、基材の表面に対して平行な方向の亀裂が生じるのを抑制することに主に起因して、耐欠損性がより一層向上する。一方、粒径の大きい粒子が脱落すると、下部層に凹部が形成する傾向にあり、その結果局所的な摩耗による損傷が進行しやすくなる虞にある。これに対し、平均粒径が1.5μm以下とすると、上記のような粒子の脱落による損傷の進行を抑制することに主に起因して、耐摩耗性がより一層向上するものと考えられるが、これらの要因により本発明は何ら限定されない。その中でも、平均粒径が0.8μm以上1.2μm以下であると、耐摩耗性と耐欠損性とのバランスにより一層優れるため好ましい。
下部層を構成する粒子の平均粒径は、下部層の断面組織を市販の電界放射型走査型電子顕微鏡(FE−SEM)又は透過型電子顕微鏡(TEM)に付属した電子後方散乱回折像装置(EBSD)を用いて観察して求めることができる。具体的には、被覆切削工具における基材の表面と平行又は略平行する方向の断面を鏡面研磨し、得られた鏡面研磨面を断面組織とする。下部層を鏡面研磨する方法としては、ダイヤモンドペースト又はコロイダルシリカを用いて研磨する方法及びイオンミリングを挙げることができる。下部層の断面組織をFE−SEMにセットし、試料に、70度の入射角度で15kVの加速電圧及び0.5nA照射電流の条件にて電子線を照射する。測定範囲が30μm×50μmの範囲を0.1μmのステップサイズというEBSDの設定で測定するのが望ましい。粒子は、方位差5°以上の組織境界で囲まれる領域とする。粒子の面積と等しい面積の円の直径をその粒子の粒径とする。下部層の断面組織から粒径を求めるときに画像解析ソフトを用いてもよい。30μm×50μmの範囲における下部層の粒径を測定し、求めた全ての粒子の粒径の平均値(相加平均値)を平均粒径とする。
本実施形態の下部層は、Tiの炭窒酸化物層からなる層であるが、上述の構成を備え、Tiの炭窒酸化物層による作用効果を奏する限りにおいて、Tiの炭窒酸化物以外の成分を微量含んでもよい。
[上部層]
本実施形態の上部層は、α型酸化アルミニウム層からなる。本実施形態のα型酸化アルミニウム層の平均厚さは、1.0μm以上15.0μm以下である。α型酸化アルミニウム層の平均厚さが、1.0μm以上であると、被覆切削工具のすくい面における耐クレータ摩耗性が向上し、15.0μm以下であると被覆層の剥離がより一層抑制されることに主に起因して、被覆切削工具の耐欠損性が向上する。同様の観点から、α型酸化アルミニウム層の平均厚さは、1.5μm以上12.0μm以下であることが好ましく、3.0μm以上10.0μm以下であることがより好ましい。
本実施形態の上部層では、X線回折による(0,0,12)面のロッキングカーブの半値幅が20°以下(例えば、5°以上20°以下)である。半値幅が20°以下であると、反応摩耗が抑制されることに主に起因して、耐摩耗性が向上する。同様の観点から、半値幅は、18°以下であることが好ましく、15°以下であることがより好ましく、13°以下であることがさらに好ましい。
上部層のX線回折による(0,0,12)面のロッキングカーブの半値幅は、以下の測定条件によって測定することができる。
本実施形態の上部層は、α型酸化アルミニウム層からなる層であるが、上部層が、本実施形態の構成を備え、本発明の作用効果を奏する限りにおいて、α型酸化アルミニウム以外の成分を微量含んでもよい。
[中間層]
本実施形態の被覆層は、下部層と上部層との間に、下記式(2):
Ti(C1-a-bab) (2)
で表される組成を有する化合物を含有するTiの化合物層からなる中間層を含むと、中間層を介して、下部層と上部層とがより一層密着し、その結果、耐欠損性がより一層向上するため好ましい。上記式(2)において、aは、C元素とN元素とO元素との合計に対するN元素の原子比を示し、0.00≦a≦0.30を満足する。aが0.30以下であると、中間層を介して、下部層と上部層とがより一層密着しやすくなることに起因して、耐欠損性がより一層向上する傾向にある。同様の観点から、aが0.25以下であることが好ましく、0.22以下であることがより好ましい。一方、上記式(2)で表される組成に窒素が含まれなくてもよいが、窒素が含まれると、靭性がより一層向上する傾向にあり、同様の観点から、aが0.08以上であることが好ましく、0.20以上であることがより好ましい。bは、C元素とN元素とO元素との合計に対するO元素の原子比を示し、0.01≦b≦0.10を満足する。bが0.01以上であると、中間層を介して、下部層と上部層とがより一層密着しやすくなることに主に起因して、耐欠損性がより一層向上する傾向にある。bが0.10以下であると、中間層の強度がより一層向上することに主に起因して、耐欠損性がより一層向上する傾向にある。同様の観点から、bが0.03以上0.09以下であることがより好ましい。
中間層の平均厚さは、0.05μm以上1.50μm以下であると好ましい。平均厚さが0.05μm以上であることにより、耐摩耗性が向上する。一方、平均厚さが1.50μm以下であることにより、被覆層の剥離が抑制されることに主に起因して、耐欠損性が向上する。同様の観点から、中間層の平均厚さは、0.1μm以上1.0μm以下であることがより好ましい。
中間層としてのTiの化合物層は、Tiの化合物からなる層であるが、上述の構成を備え、中間層としての上記作用効果を奏する限りにおいて、Tiの化合物以外の成分を微量含んでもよい。
[最下層]
本実施形態の被覆層は、基材と下部層との間に、Tiの窒化物層又は炭化物層からなる最下層を含むと、密着性がより一層向上するため好ましい。この最下層の平均厚さは、0.1μm以上1.5μm以下であると好ましい。平均厚さが0.1μm以上であると、Tiの窒化物層又は炭化物層がより一層均一な組織になることに起因して、密着性がより一層向上し、その結果、耐欠損性がより一層向上する傾向にある。一方、平均厚さが1.5μm以下であると、最下層としてのTiの窒化物層又は炭化物層が剥離の起点となるのをより一層抑制することに主に起因して、耐欠損性がより一層向上する傾向にある。同様の観点から、平均厚さは、0.4μm以上1.0μm以下であることがより好ましい。
最下層としてのTiの窒化物層又は炭化物層は、TiNからなる層であるが、上述の構成を備え、最下層としての上記作用効果を奏する限りにおいて、Tiの窒化物層及び炭化物層以外の成分を微量含んでもよい。
[最外層]
本実施形態の被覆層は、基材とは反対側の最外層としてTiの窒化物層からなるTiN層を備えると、被覆切削工具の使用の有無等の使用状態を確認することができ、視認性に優れるので好ましい。TiN層の平均厚さは、0.2μm以上5.0μm以下であることが好ましい。TiN層の平均厚さが0.2μm以上であると、α型酸化アルミニウム層の粒子が脱落するのをより一層抑制できる傾向にあり、5.0μm以下であると被覆切削工具の耐欠損性がより一層向上する傾向にある。同様の観点から、平均厚さは、0.3μm以上3.0μm以下であることがより好ましい。
最外層としてのTiの窒化物層は、Tiの窒化物からなる層であるが、上述の構成を備え、最外層としての上記作用効果を奏する限りにおいて、Tiの窒化物以外の成分を微量含んでもよい。
本実施形態の被覆切削工具における被覆層を構成する各層の形成方法として、例えば、以下の方法を挙げることができる。ただし、各層の形成方法はこれに限定されない。
Tiの窒化物層(以下、「TiN層」ともいう。)からなる最下層は、例えば、原料ガス組成をTiCl4:5.0〜10.0mol%、N2:20〜60mol%、H2:残部とし、温度を850〜920℃、圧力を100〜400hPaとする化学蒸着法で形成することができる。
Tiの炭化物層(以下、「TiC層」ともいう。)からなる最下層は、例えば、原料ガス組成をTiCl4:1.5〜3.5mol%、CH4:2.0〜8.0mol%、H2:残部とし、温度950〜1050℃、圧力を50〜100hPaとする化学蒸着法で形成することができる。
Tiの炭窒酸化物層(以下、「TiCNO層」ともいう。)からなる下部層は、例えば、原料ガス組成をTiCl4:3.0〜15.0mol%、CH3CN:0.5〜2.0mol%、CO:0.5〜2.5mol%、N2:2.0〜10.0mol%、H2:残部とし、温度を840〜950℃、圧力を60〜80hPaとする化学蒸着法で形成することができる。
本実施形態のTiCNO層からなる下部層のロッキングカーブの半値幅を所定値以下とするには、例えば、上記の原料ガス組成物の成分であるCH3CN量を制御するとよい。より具体的には、原料ガス組成物中のCH3CNの組成比を大きくすると、TiCNO層からなる下部層のロッキングカーブの半値幅を小さくできる傾向にある。
本実施形態のTiCNO層からなる下部層を構成する粒子の平均粒径を所定範囲内とするには、例えば、上記の原料ガス組成物の成分であるTiCl4の量及びCH3CNの量を制御したり、下部層を形成する温度を制御したりするとよい。より具体的には、原料ガス組成物中のCH3CNの割合(CCH3CN(mol%))に対する、原料ガス組成物中のTiCl4の割合(CTiCl4(mol%))の比率(CTiCl4/CCH3CN)を大きくしたり、形成温度を低くしたりすると、平均粒径が小さくなる傾向にある。
Tiの化合物層からなる中間層は、例えば、Tiの化合物層がTiCNO層である場合には、原料ガス組成をTiCl4:2.0〜5.0mol%、CH4:0.5〜1.5mol%、CO:0.4〜2.5mol%、N2:0.5〜2.5mol%、H2:残部とし、温度を975〜1025℃、圧力を60〜100hPaとする化学蒸着法で形成することができる。
Tiの化合物層からなる中間層は、例えば、Tiの化合物層がTiCO層である場合には、原料ガス組成をTiCl4:2.0〜3.0mol%、CO:1.0〜3.0mol%、H2:残部とし、温度を975〜1025℃、圧力を60〜100hPaとする化学蒸着法で形成することができる。
α型酸化アルミニウム層からなる上部層は、例えば、以下の方法によって得ることができる。
まず、上部層の形成前に基材から最も離れた層の表面を酸化する(酸化処理工程)。最も離れた層とは、例えば、下部層の上に中間層を形成する場合は、中間層をいい、下部層の上に中間層を形成しない場合は、下部層をいう。その後、基材から最も離れた層の表面にα型酸化アルミニウム層の核を形成し(核形成工程)、その核が形成された状態で、α型酸化アルミニウム層を形成する(成膜工程)。
より具体的には、上記基材から最も離れた層の表面の酸化は、ガス組成をCO2:0.1〜1.0mol%、H2:残部とし、温度を850〜1150℃、圧力を45〜65hPaとする条件により行われる。このときの酸化の時間は、1〜5分であることが好ましい。
その後、α型酸化アルミニウム層の核は、原料ガス組成をAlCl3:1.0〜3.5mol%、CO:0.5〜2.5mol%、CO2:0.5〜4.0mol%、HCl:1.5〜3.5mol%、H2:残部とし、温度を850〜950℃、圧力を60〜80hPaとする化学蒸着法で形成される。
そして、α型酸化アルミニウム層からなる上部層は、原料ガス組成をAlCl3:2.0〜5.0mol%、CO2:2.0〜5.0mol%、HCl:2.0〜3.0mol%、H2S:0.15〜0.25mol%、H2:残部とし、温度を900〜1100℃、圧力を60〜80hPaとする化学蒸着法で形成される。
本実施形態のα型酸化アルミニウム層からなる上部層が、(0,0,12)面に配向した結晶を含むためには、核形成工程において、温度を制御したり、原料ガス組成物の成分であるCO量を制御したりするとよい。より具体的には、核形成工程において、温度を低くしたり、原料ガス組成物のCOの組成比を小さくしたりすると、α型酸化アルミニウム層が、(0,0,12)面に配向した結晶を含む傾向にある。
本実施形態のα型酸化アルミニウム層からなる上部層のロッキングカーブの半値幅を所定値以下とするには、酸化処理工程において、酸化時間を制御したり、成膜工程において、原料ガス組成物の成分であるCO2の量を制御したりするとよい。より具体的には、酸化処理工程において、酸化時間を大きくしたり、成膜工程において、原料ガス組成物中のCO2の割合(mol%)を小さくしたりすると、α型酸化アルミニウム層からなる上部層のロッキングカーブの半値幅を小さくできる傾向にある。
Tiの窒化物層(TiN層)からなる最外層は、上記の最下層と同様に、原料ガス組成をTiCl4:5.0〜10.0mol%、N2:20〜60mol%、H2:残部とし、温度を850〜1050℃、圧力を100〜400hPaとする化学蒸着法で形成することができる。
本実施形態の被覆切削工具の被覆層における各層の厚さは、被覆切削工具の断面組織を、光学顕微鏡、走査型電子顕微鏡(SEM)、又はFE−SEM等を用いて観察することにより測定することができる。なお、本実施形態の被覆切削工具における各層の平均厚さは、刃先稜線部から被覆切削工具のすくい面の中心部に向かって50μmの位置の近傍において、各層の厚さを3箇所以上測定し、その相加平均値として求めることができる。また、各層の組成は、本実施形態の被覆切削工具の断面組織から、エネルギー分散型X線分光器(EDS)や波長分散型X線分光器(WDS)等を用いて測定することができる。
以下、実施例を挙げて本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
基材として、JIS規格CNMG120412形状を有し、88.7WC−8.0Co−1.5TiN−1.5NbC−0.3Cr32(以上質量%)の組成を有する超硬合金製の切削インサート(以下、「基材1」ということがある。)と、JIS規格CNMG120412形状を有し、89.7WC−7.0Co−1.5TiN−1.5NbC−0.1Cr32(以上質量%)の組成を有する超硬合金製の切削インサート(以下、「基材2」ということがある。)の2種類用意した。各基材の刃先稜線部にSiCブラシにより丸ホーニングを施した後、各基材の表面を洗浄した。
各基材の表面を洗浄した後、被覆層を化学蒸着法により形成した。発明品1〜30については、まず、各基材を外熱式化学蒸着装置に装入し、表1に示す原料ガス組成、温度及び圧力の条件の下、表10に組成を示す最下層を、表10に示す平均厚さになるよう、各基材の表面に形成した。次いで、表2に示す原料ガス組成、温度及び圧力の条件の下、表10に組成を示すTiの炭窒酸化物層(下部層)を、表10に示す平均厚さになるよう、最下層の表面に形成した。次に、表4に示す原料ガス組成、温度及び圧力の条件の下、表10に組成を示す中間層を、表10に示す平均厚さになるよう、Tiの炭窒酸化物層(下部層)の表面に形成した。その後、表6に示すガス組成、温度及び圧力の条件の下、表6に示す時間にて、中間層の表面に酸化処理を施した。次いで、表8の「核形成工程」に示す原料ガス組成、温度及び圧力の条件の下、酸化処理を施した中間層の表面にα型酸化アルミニウムの核を形成した。さらに、表8の「成膜工程」に示す原料ガス組成、温度及び圧力の条件の下、中間層及びα型酸化アルミニウムの核の表面に、表10に組成を示すα型酸化アルミニウム層(上部層)を、表10に示す平均厚さになるよう形成した。最後に、表1に示す原料ガス組成、温度及び圧力の条件の下、表10に組成を示す最外層を、表10に示す平均厚さになるよう、α型酸化アルミニウム層(上部層)の表面に形成した。こうして、発明品1〜30の被覆切削工具を得た。
一方、比較品1〜10については、まず、各基材を外熱式化学蒸着装置に装入し、表1に示す原料ガス組成、温度及び圧力の条件の下、表11に組成を示す最下層を、表11に示す平均厚さになるよう、各基材の表面に形成した。次いで、表3に示す原料ガス組成、温度及び圧力の条件の下、表11に組成を示すTiCN層又はTiCNO層(下部層)を、表11に示す平均厚さになるよう、最下層の表面に形成した。次に、表5に示す原料ガス組成、温度及び圧力の条件の下、表11に組成を示す中間層を、表11に示す平均厚さになるよう、下部層の表面に形成した。その後、表7に示すガス組成、温度及び圧力の条件の下、表7に示す時間にて、中間層の表面に酸化処理を施した。次いで、表9の「核形成工程」に示す原料ガス組成、温度及び圧力の条件の下、酸化処理を施した中間層の表面にα型酸化アルミニウムの核を形成した。さらに、表9の「成膜工程」に示す原料ガス組成、温度及び圧力の条件の下、中間層及びα型酸化アルミニウムの核の表面に、表11に組成を示すα型酸化アルミニウム層(上部層)を、表11に示す平均厚さになるよう形成した。最後に、表1に示す原料ガス組成、温度及び圧力の条件の下、表11に組成を示す最外層を、表11に示す平均厚さになるよう、α型酸化アルミニウム層(上部層)の表面に形成した。こうして、比較品1〜10の被覆切削工具を得た。
なお、2種類の基材(基材1及び基材2)のそれぞれに被覆層を化学蒸着法により形成したが、これらの基材の種類が異なることにより、被覆層の各特性に差が見られなかった。したがって、表中の実施品1〜30及び比較品1〜10のそれぞれにおける各項目は、基材1に被覆層を形成した場合と、基材2に被覆層を形成した場合の両方を包含している。
試料の各層の厚さを下記のようにして求めた。すなわち、FE−SEMを用いて、被覆切削工具の刃先稜線部からすくい面の中心部に向かって50μmの位置の近傍における断面での3箇所の厚さを測定し、その相加平均値を平均厚さとして求めた。得られた試料の各層の組成は、被覆切削工具の刃先稜線部からすくい面の中心部に向かって50μmまでの位置の近傍の断面において、EDSを用いて測定した。
得られた試料の(4,2,2)面のロッキングカーブの半値幅は、以下の測定条件によって測定した。すなわち、まず、通常のX線回折装置を用いて、下部層の(4,2,2)面の2θ(°)を特定し、下記測定条件により、ロッキングカーブの半価幅を測定した。
(測定条件)ω:ステップモード、特性X線:CuKα線、2θ原点:X線回折により測定した2θ(°)を固定、ステップ幅:1°、計測時間:10秒/ステップ、スキャン角度:30°〜90°
一方、試料の(0,0,12)面のロッキングカーブの半値幅は、以下の測定条件によって測定した。
(測定条件)ω:ステップモード、特性X線:CuKα線、2θ原点:90.665°固定、ステップ幅:1°、計測時間:10秒/ステップ、スキャン角度:6.3°〜69.3°
その結果を、表12及び表13に示す。
また、得られた試料の下部層を構成する粒子の平均粒径は、下部層の断面組織を観察して求めた。具体的には、試料の基材の表面と平行な方向の断面を鏡面研磨し、得られた鏡面研磨面を断面組織とした。下部層を鏡面研磨する際には、コロイダルシリカを用いて研磨した。次いで、試料を、下部層の断面組織に電子線を照射できるようにFE−SEMにセットし、その試料に、70度の入射角度で15kVの加速電圧及び0.5nA照射電流の条件にて電子線を照射した。この際、30μm×50μmの測定範囲を0.1μmのステップサイズというEBSDの設定で測定した。方位差5°以上の組織境界で囲まれる領域を粒子として、その粒子の面積と等しい面積の円の直径をその粒子の粒径とした。この際、下部層の断面組織から、画像解析ソフトを用いて粒径を求めた。上記測定における下部層の粒径を測定し、求めた全ての粒子の粒径の平均値(相加平均値)を平均粒径とした。その結果を、表12及び表13に示す。
得られた発明品1〜30及び比較品1〜10を用いて、下記の条件にて切削試験1及び切削試験2を行った。切削試験1は耐摩耗性を評価する摩耗試験であり、切削試験2は耐欠損性を評価する欠損試験である。
[切削試験1]
用いた基材:基材1
被削材:S45Cの丸棒、
切削速度:230m/min、
送り:0.25mm/rev、
切り込み:2.0mm、
クーラント:有り、
評価項目:試料が欠損、又は最大逃げ面摩耗幅が0.2mmに至った時を工具寿命とし、工具寿命までの加工時間を測定した。また、加工時間が15分における損傷状態をSEMで確認した。
[切削試験2]
用いた基材:基材2
被削材:S45Cの2本の溝入り丸棒
切削速度:150m/min、
送り:0.15mm/rev、
切り込み:1.7mm、
クーラント:有り、
評価項目:試料が欠損した時、又は最大逃げ面摩耗幅が0.2mmに至った時を工具寿命とし、工具寿命までの加衝撃回数を測定した。また、衝撃回数が5000回における損傷状態をSEMで観察した。
切削試験1(摩耗試験)の工具寿命に至るまでの加工時間について、40分以上を「A」、30分以上40分未満を「B」、30分未満を「C」として評価した。また、切削試験2(欠損試験)の工具寿命に至るまでの衝撃回数について、13000回以上を「A」、11000回以上13000回未満を「B」、11000回未満を「C」として評価した。この評価では、「A」が最も優れており、次に「B」が優れており、「C」が最も劣っていることを意味し、A又はBを多く有するほど切削性能に優れることを意味する。得られた評価の結果を表14及び表15に示す。
表14及び表15に示す結果より、発明品の摩耗試験及び欠損試験の評価は、どちらも「B」以上の評価であった。一方、比較品の評価は、摩耗試験及び欠損試験の両方又はいずれかが、「C」であった。特に、摩耗試験において、発明品の評価はいずれも「B」以上であり、比較品の評価はいずれも「C」であった。よって、発明品の耐摩耗性は、比較品と比べて、総じて、より優れていることが分かる。
以上の結果より、発明品は、耐摩耗性及び耐欠損性に優れる結果、工具寿命が長いことが分かった。
本発明の被覆切削工具は、耐欠損性を低下させることなく、しかも優れた耐摩耗性を有することにより、従来よりも工具寿命を延長できるので、そのような観点から、産業上の利用可能性がある。
1…基材、2…最下層、3…下部層、4…中間層、5…上部層、6…最外層、7…被覆層、8…被覆切削工具。

Claims (6)

  1. 基材と、該基材の上に形成された被覆層とを備える被覆切削工具であって、
    前記被覆層が、下部層と、該下部層の上に形成された上部層とを含み、
    前記下部層が、2.0μm以上15.0μm以下の平均厚さを有し、下記式(1):
    Ti(C1-x-yxy) (1)
    (式中、xは、C元素とN元素とO元素との合計に対するN元素の原子比を示し、yは、C元素とN元素とO元素との合計に対するO元素の原子比を示し、0.35≦x≦0.60、0.01≦y≦0.10を満足する。)
    で表される組成を有する化合物を含有するTiの炭窒酸化物層からなり、
    前記下部層において、X線回折による(4,2,2)面のロッキングカーブの半値幅が20°以下であり、
    前記上部層が、1.0μm以上15.0μm以下の平均厚さを有するα型酸化アルミニウム層からなり、
    前記上部層において、X線回折による(0,0,12)面のロッキングカーブの半値幅が20°以下である、被覆切削工具。
  2. 前記下部層を構成する粒子の平均粒径が、0.5μm以上1.5μm以下である、請求項1に記載の被覆切削工具。
  3. 前記被覆層が、前記下部層と前記上部層との間に、下記式(2):
    Ti(C1-a-bab) (2)
    (式中、aはC元素とN元素とO元素との合計に対するN元素の原子比を示し、bはC元素とN元素とO元素との合計に対するO元素の原子比を示し、0.00≦a≦0.30、0.01≦b≦0.10を満足する。)
    で表される組成を有する化合物を含有するTiの化合物層からなる中間層を含み、
    前記中間層が、0.05μm以上1.50μm以下の平均厚さを有する、請求項1又は2に記載の被覆切削工具。
  4. 前記被覆層は、前記基材と前記下部層との間に、Tiの窒化物層又はTiの炭化物層からなる最下層を含み、
    前記最下層が、0.1μm以上1.5μm以下の平均厚さを有する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の被覆切削工具。
  5. 前記被覆層全体の平均厚さが、3.0μm以上25.0μm以下である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の被覆切削工具。
  6. 前記基材は、超硬合金、サーメット、セラミックス及び立方晶窒化硼素焼結体のいずれかである、請求項1〜5のいずれか1項に記載の被覆切削工具。
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