JP2019050328A - アライメントステージ - Google Patents
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Abstract
Description
ベースと、ベースの上方に配置されるテーブルと、テーブルに支持され、ワークが載置されるワークプレートと、ベースとテーブルとの間に設けられ、ベースに対してテーブルをX軸方向、Y軸方向、θ回転方向の3自由度で移動可能に支持する送り機構部とを備え、
ワークプレート上に載置されたワークに加工時の加圧力が上から加わる際にワークプレートに対して下から上に負荷を加える逆負荷機構を設けたものである。
上記発明1のアライメントステージにおいて、
テーブルには、中央にワークプレートを臨む開口部が設けられ、
テーブルの開口部の位置において逆負荷機構がベースに設置されており、
逆負荷機構は、ワークプレート下面との間に隙間を有してワークプレートの下に配置された押圧板と、ワークプレートに加える力を発生させる負荷発生部と、負荷発生部に進退自在に設けられ且つ押圧板の下面と接続されたシャフトとを有し、ワークプレート上のワークの加工時には、押圧板によりワークプレートを下から上に押圧する構成としたものである。
上記発明1のアライメントステージにおいて、
ベース、テーブル、ワークプレート及び送り機構部を含んでアライメントユニットが構成され、このアライメントユニットをワーク配置場所からワーク加工場所へと搬送させる搬送機構が設けられ、
テーブル及びベースには、中央にワークプレートを臨む開口部が設けられ、
ワーク加工場所におけるアライメントユニットの下方位置に逆負荷機構がアライメントユニットとは別置きに設置されており、
逆負荷機構は、ワークプレートを下から上に押圧するための押圧板と、ワークプレートに加える力を発生させる負荷発生部と、負荷発生部に進退自在に設けられ且つ押圧板の下面と接続されたシャフトとを有し、アライメントユニットがワーク加工場所に搬送されてワークプレート上のワークが加工される時には、シャフトを進出させて押圧板をベース及びテーブルの開口部を通過させて押圧板によりワークプレートを下から上に押圧する構成としたものである。
上記発明1のアライメントステージにおいて、
ベース、テーブル、ワークプレート及び送り機構部を含んでアライメントユニットが構成され、このアライメントユニットをワーク配置場所からワーク加工場所へと搬送させる搬送機構が設けられ、
テーブル及びベースには、中央にワークプレートを臨む開口部が設けられ、
逆負荷機構は、テーブルの開口部の位置に配設されてアライメントユニットに設けられた中間ガイド部と、ワーク加工場所におけるアライメントユニットの下方位置にアライメントユニットとは別置きに設置された動力部とを有し、
中間ガイド部は、ワークプレートを下から上に押圧するための押圧板と、押圧板の下面に接続されたポストと、押圧板がワークプレート下面との間に隙間を有する高さ位置でポストを上方移動可能に支持する支持部とを有し、
動力部は、ワークプレートに加える力を発生させる負荷発生部と、負荷発生部に進退自在に設けられたシャフトとを有し、
シャフトの上端又はポストの下端には、転動体を保持するスライドリテーナが設けられ、
逆負荷機構は、アライメントユニットがワーク加工場所に搬送されてワークプレート上のワークが加工される時には、シャフトを進出させてシャフトとポストとをスライドリテーナの転動体を介して転動可能に当接させてポストを上方移動させて押圧板によりワークプレートを下から上に押圧する構成としたものである。
上記発明1〜4のいずれか1つのアライメントステージにおいて、
ワークプレートは、テーブルにおいて上方移動可能とするガイド機構により支持されているものである。
本発明に係るアライメントステージは、例えば、半導体ウエハ上にレジストを塗布してガラスマスク等の型により加圧プレスしてナノオーダーの精密パターンを転写するナノインプリントの製造工程において、半導体ウエハ等のワークWの加工前にワークWの位置調整を行うものであり、このワーク位置調整後にアライメントステージ1上のワークWに対して加工機により加圧して加工が行われる。なお、本発明は、上記ナノインプリントに限らず、切削加工、プレス加工等のようにワークWに加圧力を加える様々な製造工程において使用することができ、また、ワークWは、半導体ウエハに限らず、液晶パネル、テープ、フィルム、プリント基板等の様々なワークWを対象とすることができる。
図1に示すように、実施形態1によるアライメントステージ1Aは、アライメントユニット10に逆負荷機構2を設けたものである。この逆負荷機構2については後述する。
図3、図4を参照して、アライメントステージ1Aのテーブル12には、中央にワークプレート13を臨む四角形状の開口部121が設けられており、逆負荷機構2は、このテーブル12の開口部121の位置においてベース11に設置固定されている。逆負荷機構2は、ワークプレート13下面との間に隙間dを有してワークプレート13の下に配置された押圧板21と、ワークプレート13に加える負荷を発生させる負荷発生部22と、負荷発生部22に進退自在に設けられ且つ押圧板21の下面と接続されたシャフト23とを備えている。
図5に示すように、実施形態2のアライメントステージ1Bでは、逆負荷機構2は、ワーク加工場所P2においてアライメントユニット10の下方位置の基台Fに設置固定されており、アライメントユニット10とは別置きに設置されている。逆負荷機構2は、ワークプレート13を下から上に押圧するための押圧板21と、ワークプレート13に加える力を発生させる負荷発生部22と、負荷発生部22に進退自在に設けられ且つ押圧板21の下面と接続されたシャフト23とを備えている。逆負荷機構2は、アライメントユニット10がワーク配置場所P1にあるときはシャフト23を後退させて押圧板21をベース11の高さ位置より下の位置に待機させている(図5(a)参照)。アライメントユニット10は、テーブル12だけでなくベース11にも中央にワークプレート13を臨む開口部111が設けられている。
図6に示すように、実施形態3のアライメントステージ1Cでは、逆負荷機構2は、アライメントユニット10に設けられた中間ガイド部6と、ワーク加工場所P2においてアライメントユニット10とは別置きに設置された動力部7とを有している。
例えば、図7(a)(b)に示すように、ワークプレート13は、テーブル12の四隅に立設するガイド機構8によって上方移動可能にテーブル12上に支持する構成としてもよい。この場合、ガイド機構8は、例えば、テーブル12の四隅の上面に設けたガイド軸81と、ワークプレート13の四隅の下面に設けてガイド軸81を挿通する案内筒82とにより構成することができる。なお、ガイド軸81と案内筒82との間には転動体を介在させるようにしてもよい。また、1つ又は複数の案内筒82に筒状の冶具83を外嵌させてこの冶具83を所定高さ位置にロックナット84で固定することにより、冶具83の下端部がテーブル12の上面に当接されてワークプレート13の初期高さ位置を調整して設定できるようにしている(図7(a)参照)。このガイド機構8によって、ワークプレート13は、逆負荷機構2の押圧板21により下から上に負荷が加えられるとテーブル12と独立して上方移動される(図7(b)参照)。従って、ワーク加工時にワークプレート13に加わる加圧力は、逆負荷機構2によって確実に受け止められてテーブル12に加わり難くすることができる。よって、テーブル12とベース11との間に配設された送り機構部3には、より確実に、ワーク加工時の加圧力が作用しないようにすることができる。
搬送機構5は、ワーク配置場所P1からワークWに加圧加工を行うワーク加工場所P2へと移動させるだけでなく、ワーク加工場所P2以外の場所、例えば、ワーク配置場所P1とワーク加工場所P2との間、ワーク加工場所P2から後工程の場所、ワーク配置場所P1より前の待機場所などへも移動及び停止させるように構成することができ、各移動場所において、ワークWの脱着、ワークWに対して液の塗布や加熱や検査などの様々な作業などが行えるようにしてもよい。
なお、本発明では、搬送機構5は任意の要件であり、搬送機構5を有しない製造工程においても本発明を適用可能である。
2 逆負荷機構
3 送り機構
5 搬送機構
6 中間ガイド部
7 動力部
8 ガイド機構
10 アライメントユニット
11 ベース
12 テーブル
13 ワークプレート
14 支柱
21 押圧板
22 負荷発生部
23 シャフト
30 ガイド部
31 下段ガイドブロック
32 中段ガイドブロック
33 上段ガイドブロック
34 ベアリング
35a 第1レール部
35b 第2レール部
36a 第1レール溝部
36b 第2レール溝部
37 保持器
38,39 転動体
40 ボールネジ部
41 ネジ部
42 ナット部
43 軸受部
44 継手
45 モータ
51 ガイドレール
52 スライダー
53 ボールネジ機構部
54 ネジ軸
55 モータ
61 ポスト
62 支持部
63 固定部
64 スリーブ
65 フランジ
71 転動体
72 スライドリテーナ
73 ホルダー
81 ガイド軸
82 案内筒
83 冶具
84 ロックナット
111 開口部
121 開口部
d 隙間
F 基台
M 加工機
P1 ワーク配置場所
P2 ワーク加工場所
W ワーク
Claims (5)
- ベースと、ベースの上方に配置されるテーブルと、テーブルに支持され、ワークが載置されるワークプレートと、ベースとテーブルとの間に設けられ、ベースに対してテーブルをX軸方向、Y軸方向、θ回転方向の3自由度で移動可能に支持する送り機構部とを備え、
ワークプレート上に載置されたワークに加工時の加圧力が上から加わる際にワークプレートに対して下から上に負荷を加える逆負荷機構を設けたアライメントステージ。 - 請求項1に記載のアライメントステージにおいて、
テーブルには、中央にワークプレートを臨む開口部が設けられ、
テーブルの開口部の位置において逆負荷機構がベースに設置されており、
逆負荷機構は、ワークプレート下面との間に隙間を有してワークプレートの下に配置された押圧板と、ワークプレートに加える力を発生させる負荷発生部と、負荷発生部に進退自在に設けられ且つ押圧板の下面と接続されたシャフトとを有し、ワークプレート上のワークの加工時には、押圧板によりワークプレートを下から上に押圧する構成としたアライメントステージ。 - 請求項1に記載のアライメントステージにおいて、
ベース、テーブル、ワークプレート及び送り機構部を含んでアライメントユニットが構成され、このアライメントユニットをワーク配置場所からワーク加工場所へと搬送させる搬送機構が設けられ、
テーブル及びベースには、中央にワークプレートを臨む開口部が設けられ、
ワーク加工場所におけるアライメントユニットの下方位置に逆負荷機構がアライメントユニットとは別置きに設置されており、
逆負荷機構は、ワークプレートを下から上に押圧するための押圧板と、ワークプレートに加える力を発生させる負荷発生部と、負荷発生部に進退自在に設けられ且つ押圧板の下面と接続されたシャフトとを有し、アライメントユニットがワーク加工場所に搬送されてワークプレート上のワークが加工される時には、シャフトを進出させて押圧板をベース及びテーブルの開口部を通過させて押圧板によりワークプレートを下から上に押圧する構成としたアライメントステージ。 - 請求項1に記載のアライメントステージにおいて、
ベース、テーブル、ワークプレート及び送り機構部を含んでアライメントユニットが構成され、このアライメントユニットをワーク配置場所からワーク加工場所へと搬送させる搬送機構が設けられ、
テーブル及びベースには、中央にワークプレートを臨む開口部が設けられ、
逆負荷機構は、テーブルの開口部の位置に配設されてアライメントユニットに設けられた中間ガイド部と、ワーク加工場所におけるアライメントユニットの下方位置にアライメントユニットとは別置きに設置された動力部とを有し、
中間ガイド部は、ワークプレートを下から上に押圧するための押圧板と、押圧板の下面に接続されたポストと、押圧板がワークプレート下面との間に隙間を有する高さ位置でポストを上方移動可能に支持する支持部とを有し、
動力部は、ワークプレートに加える力を発生させる負荷発生部と、負荷発生部に進退自在に設けられたシャフトとを有し、
シャフトの上端又はポストの下端には、転動体を保持するスライドリテーナが設けられ、
逆負荷機構は、アライメントユニットがワーク加工場所に搬送されてワークプレート上のワークが加工される時には、シャフトを進出させてシャフトとポストとをスライドリテーナの転動体を介して転動可能に当接させてポストを上方移動させて押圧板によりワークプレートを下から上に押圧する構成としたアライメントステージ。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載のアライメントステージにおいて、
ワークプレートは、テーブルにおいて上方移動可能とするガイド機構により支持されているアライメントステージ。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020189252A1 (ja) | 2019-03-18 | 2020-09-24 | 株式会社Moldino | 被覆切削工具 |
KR102309494B1 (ko) * | 2020-03-31 | 2021-10-06 | 유한책임회사 세봉 | 기판 재치 장치 |
WO2023101215A1 (ko) * | 2021-11-30 | 2023-06-08 | 주식회사 프로텍 | 마이크로 led 칩 전사 장치 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11195578A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-07-21 | Nikon Corp | 定盤支持装置および露光装置 |
JP2007102198A (ja) * | 2005-09-07 | 2007-04-19 | Nsk Ltd | 位置決め装置 |
-
2017
- 2017-09-12 JP JP2017174616A patent/JP6963796B2/ja active Active
Patent Citations (2)
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