JP2019039835A - 複合センサ - Google Patents
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Abstract
Description
図1を用いて、本発明の複合センサを説明する。図1は、本発明の近接覚と触覚の複合センサの模式図である。図1において、10はロボットハンドの先端部、100は複合センサ、101は距離測定手段(近接覚センサ)、102は圧力測定手段(触覚センサ)、103は接触検出手段(接触センサ)、99は対象物(物体)、201は距離測定信号、202は圧力測定信号、203は接触検出信号である。
第2の実施形態は、距離測定手段101と圧力測定手段102、接触検出手段103の構成に関する。それ以外は、第1の実施形態と同様である。図6から図10を参照して第2の実施形態を説明する。
第3の実施形態は、距離測定手段101と圧力測定手段102、接触検出手段103の構成に関する。それ以外は、図9に示した構成と同様である。図11を参照して第3の実施形態を説明する。
第4の実施形態は、接触検出手段103の構成に係るものである。それ以外は、第3の実施形態と同様である。図12を参照して第4の実施形態を説明する。
第5の実施形態は、距離測定手段101と圧力測定手段102、接触検出手段103の配置に係るものである。それ以外は、第1から第4の実施形態の何れかと同様である。図13から図16を参照して、第5の実施形態を説明する。
第6の実施形態は、測定手段101の種類に係るものである。それ以外は、第1から第5の何れかの実施形態と同様である。図17と図18を用いて、第6の実施形態を説明する。
第7の実施形態は、距離測定手段101の配置に係るものである。それ以外は、第2から第6の実施形態の何れかと同様である。図19から図21を参照して、第7の実施形態を説明する。
第8の実施形態は、距離測定手段101と圧力測定手段102に関するものである。それ以外は、第1から第7の何れかの実施形態と同様である。図22から図24を参照して第8の実施形態を説明する。
101 距離測定手段(近接覚センサ)
102 圧力測定手段(触覚センサ)
103 接触検出手段(接触センサ)
Claims (10)
- 超音波を送信し、測定対象物から戻ってきた超音波を受信することで、前記測定対象物との距離を測定する距離測定手段と、
前記測定対象物から印加される圧力を測定する圧力測定手段と、を備える複合センサであって、
前記測定対象物との接触の有無を検出する接触検出手段を有していることを特徴とする複合センサ。 - 前記距離測定手段、圧力測定手段、接触検出手段の少なくとも1つが、圧電膜を備えた振動膜を用いてなることを特徴する請求項1に記載の複合センサ。
- 前記距離測定手段、圧力測定手段、接触検出手段の少なくとも1つが、電極を備えた振動膜と、前記電極に対向する電極を有していることを特徴とする請求項1、または2に記載の複合センサ。
- 前記距離測定手段、圧力測定手段、接触検出手段の少なくとも1つが、静電容量型のセンサであることを特徴とする請求項3に記載の複合センサ。
- 前記距離測定手段のみが動作する距離測定モードと、前記圧力測定手段が動作する圧力検出モードと、前記距離測定手段、圧力測定手段、及び接触検出手段がいずれも動作する接触検出モードを切り替える手段を有していることを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載の複合センサ。
- 更に剪断力検出手段を有していることを特徴とする請求項1から5の何れか1項に記載の複合センサ。
- 第1の基板上に、弾性体を介して、第2の基板が配置されており、
前記第2の基板の前記第1の基板と対向する面とは反対側の面に、前記距離測定手段を備えていることを特徴とする請求項1から6の何れか1項に記載の複合センサ。 - 前記第2の基板は、外力に対して可動するように配置されていることを特徴とする請求項7に記載の複合センサ。
- 前記距離測定手段と前記圧力測定手段とが兼用して用いられることを特徴とする請求項1から8の何れか1項に記載の複合センサ。
- 前記接触検出手段の検出信号に基づき、距離測定を行うか、圧力測定を行うかを切り替えることを特徴とする請求項9に記載の複合センサ。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020163484A (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-08 | セイコーエプソン株式会社 | 可動体、ロボットおよび移動体 |
WO2021246022A1 (ja) * | 2020-06-01 | 2021-12-09 | 株式会社村田製作所 | センサ装置 |
JP7500480B2 (ja) | 2021-03-15 | 2024-06-17 | 株式会社東芝 | センサ |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10562190B1 (en) * | 2018-11-12 | 2020-02-18 | National Central University | Tactile sensor applied to a humanoid robots |
US20220250253A1 (en) * | 2019-06-06 | 2022-08-11 | Omron Corporation | Tactile Sensor, Robot Hand, and Robot |
CN110861111B (zh) * | 2019-12-03 | 2021-02-26 | 哈尔滨工业大学 | 一种磁场与电场耦合作用的微纳机器人操控平台 |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60243582A (ja) * | 1984-05-17 | 1985-12-03 | Agency Of Ind Science & Technol | 超音波複合センサ |
US20100050787A1 (en) * | 2006-06-12 | 2010-03-04 | Brose Fahrzeugteile Gmbh & Co. | Anti-pinch sensor |
JP2012522317A (ja) * | 2009-03-30 | 2012-09-20 | マイクロソフト コーポレーション | 湾曲面上における接触の検出 |
JP2012242210A (ja) * | 2011-05-18 | 2012-12-10 | Saga Univ | 複合センサ |
JP2013096870A (ja) * | 2011-11-01 | 2013-05-20 | Denso Corp | 把持用センサ及びロボットハンド駆動制御装置 |
JP2014512879A (ja) * | 2011-02-18 | 2014-05-29 | フレゼニウス メディカル ケア ドイッチェランド ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | タッチスクリーンを有する技術医用装置及び方法 |
JP5567727B1 (ja) * | 2013-09-17 | 2014-08-06 | 株式会社フジクラ | 電子機器及び電子機器の制御方法 |
JP2014202618A (ja) * | 2013-04-05 | 2014-10-27 | 日本写真印刷株式会社 | 圧力検出装置 |
JP2015111391A (ja) * | 2013-11-11 | 2015-06-18 | Nltテクノロジー株式会社 | 圧電シートならびにそれを用いたタッチパネルならびにそれらを用いた入出力装置 |
JP2016015723A (ja) * | 2014-06-12 | 2016-01-28 | キヤノン株式会社 | トランスデューサ、及び測定装置 |
JP2016080549A (ja) * | 2014-10-17 | 2016-05-16 | 日本写真印刷株式会社 | 圧力検出装置、圧力検出装置の制御方法、及びプログラム |
JP2016119083A (ja) * | 2014-12-19 | 2016-06-30 | ウジョンハイテック カンパニー リミテッド | ピエゾ効果を利用したタッチパッド |
US20160349131A1 (en) * | 2015-05-29 | 2016-12-01 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Multi-angle pressure sensor |
WO2016204568A1 (ko) * | 2015-06-18 | 2016-12-22 | 삼성전자 주식회사 | 입력장치를 구비한 전자장치 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101495559B1 (ko) * | 2008-07-21 | 2015-02-27 | 삼성전자주식회사 | 사용자 명령 입력 방법 및 그 장치 |
JP2011224695A (ja) | 2010-04-19 | 2011-11-10 | Toyota Motor Corp | ロボットの把持制御システム及びロボット |
JP5678670B2 (ja) | 2011-01-06 | 2015-03-04 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波センサー、触覚センサー、および把持装置 |
JP5708214B2 (ja) | 2011-03-28 | 2015-04-30 | セイコーエプソン株式会社 | 圧力センサー、センサーアレイ、センサーアレイの製造方法、及び把持装置 |
EP3227730A4 (en) * | 2014-12-03 | 2018-08-01 | University Of British Columbia | Flexible transparent sensor with ionically-conductive material |
US10618174B2 (en) * | 2014-12-09 | 2020-04-14 | Aeolus Robotics, Inc. | Robotic Touch Perception |
KR20160149982A (ko) * | 2015-06-18 | 2016-12-28 | 삼성전자주식회사 | 입력장치를 구비한 전자장치 |
KR20170056450A (ko) * | 2015-11-13 | 2017-05-23 | 주식회사 모다이노칩 | 복합 소자 및 이를 구비하는 전자기기 |
JP6672102B2 (ja) * | 2016-07-29 | 2020-03-25 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 力検出装置 |
CN109690460A (zh) * | 2016-09-07 | 2019-04-26 | 触觉实验室股份有限公司 | 压力和剪切传感器 |
KR101816549B1 (ko) * | 2016-09-29 | 2018-01-10 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치 디스플레이 장치 |
KR101958324B1 (ko) * | 2016-11-24 | 2019-03-15 | 주식회사 하이딥 | 터치 입력 장치 |
IT201700045285A1 (it) * | 2017-04-26 | 2018-10-26 | St Microelectronics Srl | Trasduttore microelettromeccanico basato su trincea e metodo di fabbricazione del trasduttore microelettromeccanico |
-
2017
- 2017-08-25 JP JP2017162617A patent/JP6991791B2/ja active Active
-
2018
- 2018-08-22 US US16/108,389 patent/US11137302B2/en active Active
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60243582A (ja) * | 1984-05-17 | 1985-12-03 | Agency Of Ind Science & Technol | 超音波複合センサ |
US20100050787A1 (en) * | 2006-06-12 | 2010-03-04 | Brose Fahrzeugteile Gmbh & Co. | Anti-pinch sensor |
JP2012522317A (ja) * | 2009-03-30 | 2012-09-20 | マイクロソフト コーポレーション | 湾曲面上における接触の検出 |
JP2014512879A (ja) * | 2011-02-18 | 2014-05-29 | フレゼニウス メディカル ケア ドイッチェランド ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | タッチスクリーンを有する技術医用装置及び方法 |
JP2012242210A (ja) * | 2011-05-18 | 2012-12-10 | Saga Univ | 複合センサ |
JP2013096870A (ja) * | 2011-11-01 | 2013-05-20 | Denso Corp | 把持用センサ及びロボットハンド駆動制御装置 |
JP2014202618A (ja) * | 2013-04-05 | 2014-10-27 | 日本写真印刷株式会社 | 圧力検出装置 |
JP5567727B1 (ja) * | 2013-09-17 | 2014-08-06 | 株式会社フジクラ | 電子機器及び電子機器の制御方法 |
JP2015111391A (ja) * | 2013-11-11 | 2015-06-18 | Nltテクノロジー株式会社 | 圧電シートならびにそれを用いたタッチパネルならびにそれらを用いた入出力装置 |
JP2016015723A (ja) * | 2014-06-12 | 2016-01-28 | キヤノン株式会社 | トランスデューサ、及び測定装置 |
JP2016080549A (ja) * | 2014-10-17 | 2016-05-16 | 日本写真印刷株式会社 | 圧力検出装置、圧力検出装置の制御方法、及びプログラム |
JP2016119083A (ja) * | 2014-12-19 | 2016-06-30 | ウジョンハイテック カンパニー リミテッド | ピエゾ効果を利用したタッチパッド |
US20160349131A1 (en) * | 2015-05-29 | 2016-12-01 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Multi-angle pressure sensor |
WO2016204568A1 (ko) * | 2015-06-18 | 2016-12-22 | 삼성전자 주식회사 | 입력장치를 구비한 전자장치 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020163484A (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-08 | セイコーエプソン株式会社 | 可動体、ロボットおよび移動体 |
JP7251262B2 (ja) | 2019-03-28 | 2023-04-04 | セイコーエプソン株式会社 | 可動体、ロボットおよび移動体 |
WO2021246022A1 (ja) * | 2020-06-01 | 2021-12-09 | 株式会社村田製作所 | センサ装置 |
JPWO2021246022A1 (ja) * | 2020-06-01 | 2021-12-09 | ||
JP7439920B2 (ja) | 2020-06-01 | 2024-02-28 | 株式会社村田製作所 | センサ装置 |
JP7500480B2 (ja) | 2021-03-15 | 2024-06-17 | 株式会社東芝 | センサ |
Also Published As
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