JP2019035737A - 顕微鏡試料のインサイチュー作製のための方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子顕微鏡を用いて検査されるべき顕微鏡試料のインサイチュー作製に関する方法は、荷電粒子の集束ビームを生成するための粒子ビームコラムと、試料ブロックを収容するための試料容器と、粒子ビームと試料材料との間の相互作用の相互作用生成物を検出するための検出器とを含む粒子ビーム装置を用いて行われる。方法には、関心試料領域(ROI)を含む露出構造を有する試料ブロックを提供する工程S1と、露出構造の少なくとも一部が入射粒子ビームの方向に整形されるように、粒子ビームの作用によって露出構造内に湾曲縁を生成する工程S2と、試料ブロックが収容される試料容器を、整形された構造によって取り囲まれる試料領域が粒子ビーム装置内で観察可能および/または加工可能であるように移動させる工程S3とを含む。
【選択図】図1
Description
− (特許文献1)
− (非特許文献6)
− (非特許文献7)
− (非特許文献8)
− (非特許文献9)
− (非特許文献10)
− (非特許文献11)
− (非特許文献12)
S2 湾曲縁を生成する工程
S3 試料容器を移動させる工程
S4 整形された構造を観測および/または加工する工程
21 粒子光学コラム
22 光軸
23 集束粒子ビーム
24 観測および加工面
25 露出構造
26 試料ブロック
27 整形された露出構造
28 湾曲縁
29 別の検査のための粒子ビーム
280 加工線
31 試料ブロック
32 関心試料細部
33 露出構造
34 粒子ビーム
35 湾曲縁
36 境界面(断面図)
37 筒状構造
38 円錐状構造
41 試料ブロック
42 被覆
43 除去された領域
44 露出構造
45 切断用切れ目
46 整形された露出構造
47 湾曲縁
48 粒子
51 試料ブロック
52 露出構造
53 湾曲縁
61 試料ブロック
62 初期構造
63 露出構造
64 湾曲縁
65 三次元物体
71 試料ブロック
72 整形された露出構造
73 第1の湾曲縁
74 第2の湾曲縁
81 電子ビームコラム
82 電子ビームコラムの光軸
83 イオンビームコラム
84 イオンビームコラムの光軸
85 試料ブロック
86 試料容器
87 整形された露出構造
88 STEM検出器
89 第1の境界面
860 試料台
91 粒子ビーム装置
92 試料室
93 電子ビームコラム
94 電子源
95 第1の集束レンズ素子系
96 電子ビームコラムの光軸
97 第2の集束レンズ素子系
98 開口紋り
99 偏向系
100 検出器
101 制御および偏向ユニット
102 ガス注入系
103 試料ブロック
104 試料容器
105 集束レンズ素子
106 偏向系
107 イオンビームコラムの光軸
108 イオンビームコラム
109 イオン源
1001 マイクロマニピュレータ針
1002 粒子ビーム
1003 カンチレバー状構造
1004 試料ブロック
1005 関心試料領域(ROI)
1006 中空針
Claims (20)
- − 荷電粒子の集束ビームを生成するための粒子ビームコラムと、
− 試料ブロックを収容するための試料容器と、
− 粒子ビームと試料材料との間の相互作用の相互作用生成物を検出するための検出器と
を含む粒子ビーム装置を用いて行われる、顕微鏡試料のインサイチュー作製のための方法であって、
a)露出され、かつ関心試料領域(ROI)を含む構造を有する試料ブロックを提供する工程と、
b)前記露出構造の少なくとも一部が前記入射粒子ビームの方向に整形されるように、前記粒子ビームの作用によって前記露出構造内に湾曲縁を生成する工程と、
c)前記試料ブロックが収容される前記試料容器を、前記整形された構造によって取り囲まれる試料領域が前記粒子ビーム装置内で観察可能および/または加工可能であるように移動させる工程と
を含む方法。 - 前記粒子ビーム装置を用いて前記関心試料領域(ROI)を観測および/または加工する追加工程を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記湾曲縁を生成する工程は、前記露出構造の形状の所望のサイズを予め判断する工程と、前記所望の形状を生成する工程とを含む、請求項1または2に記載の方法。
- 湾曲縁を生成する工程は、前記顕微鏡試料が複数の湾曲縁を有するように繰り返される、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
- 蒸着を適用することにより、前記湾曲縁の形状を安定化する工程を含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記粒子ビーム装置は、集束イオンビームを生成するためのイオンビームコラムを含む、請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記粒子ビーム装置は、集束イオンビームを生成するためのイオンビームコラムと、集束電子ビームを生成するための電子ビームコラムとを含むマルチビーム装置として具現化される、請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記粒子ビーム装置は、集束電子ビームを生成するための電子ビームコラムと、エッチングガスを導入するためのガス注入系とを含み、前記湾曲縁は、前記電子ビームおよびエッチングガスの作用によって生成される、請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記露出構造の前記提供は、被覆の蒸着を含む、請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法。
- 前記被覆は、白金を含む、請求項9に記載の方法。
- 前記露出構造は、エッチングによって前記試料ブロックから露出される、請求項10に記載の方法。
- XeF2前駆体は、エッチング目的のために供給される、請求項11に記載の方法。
- 試料ブロックが提供され、前記関心試料領域は、前記試料ブロックの表面上に位置する粒子を有し、および蒸着を適用することにより、前記粒子は、蒸着材料中に埋め込まれ、および前記蒸着は、前記粒子による前記蒸着が前記露出構造を形成するようにエッチング時にアンダーカットされ、
前記湾曲縁は、前記蒸着において生成される、請求項10〜12のいずれか一項に記載の方法。 - 前記顕微鏡試料は、TEMラメラである、請求項1〜12のいずれか一項に記載の方法。
- 前記顕微鏡試料は、トモグラフィ試料である、請求項1〜12のいずれか一項に記載の方法。
- 前記露出構造は、電子部品の導体路として具現化される、請求項1〜12のいずれか一項に記載の方法。
- 前記粒子ビーム装置は、電子ビームコラムと、STEM検出器とを含み、および前記関心試料領域は、電子に対してトランスペアレントであり、
前記方法は、電子を、前記電子ビームコラムから前記関心試料領域を通過させる工程を含み、その結果として生じる前記相互作用生成物は、前記STEM検出器を使用して検出される、請求項1〜14のいずれか一項に記載の方法。 - − 荷電粒子の集束ビームを生成するための粒子ビームコラムと、
− 試料ブロックを収容するための試料容器と、
− 粒子ビームと試料材料との間の相互作用の相互作用生成物を検出するための検出器と、
− 前記顕微鏡試料を収容するための移動可能な転送装置と
を含む粒子ビーム装置を用いて行われる、顕微鏡試料を転送する方法であって、
a)露出され、かつ作製される前記試料を含む構造を有する試料ブロックを提供する工程と、
b)前記転送装置を配置する工程と、
c)前記露出構造の少なくとも一部が前記入射粒子ビームの方向に整形されるように、前記粒子ビームの作用によって前記露出構造内に湾曲縁を生成する工程であって、前記整形された構造は、前記転送装置の近傍内へ移動される、工程と、
d)前記構造を前記転送装置に固定する工程と、
e)前記試料ブロックから前記構造を切り離す工程と
を含む方法。 - 一連の制御コマンドを含むコンピュータプログラム製品であって、前記コンピュータプログラム製品により、粒子光学装置は、請求項1〜18のいずれか一項に記載の方法の1つを行うように指示される、コンピュータプログラム製品。
- 請求項1〜17のいずれか一項に記載の方法によって取得可能な複数の湾曲縁を有する顕微鏡試料。
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