JP2019032940A - イオン注入装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】注入処理室内でのウェハ検査工程の長期信頼性を高める。【解決手段】イオン注入装置10は、ウェハWへのイオンビーム照射がなされる注入処理室16と、注入処理室16内を所定のビーム軌道に沿って進行するイオンビームBを提供するビームライン装置14と、注入処理室16内に露出しうる露出面を有する光学部材を介してウェハWを光学的に検査する検査装置60と、注入処理室16内のビーム軌道上に配置可能であるためにイオンビームの衝突により汚染物質の発生源となりうるビーム衝突箇所と光学部材の露出面との間の位置であって、検査装置60の光軸上を避けた位置に設けられる遮蔽部材と、を備える。【選択図】図3
Description
本発明は、イオン注入装置に関する。
半導体製造工程では、真空容器内に設けられたホルダ(プラテン)に保持された基板(半導体ウェハ)に対してイオンビームを照射する「イオン注入処理」がなされる。このようなイオン注入処理の精度向上を目的として、真空容器内のウェハの位置や回転角度を撮像装置により撮像して画像処理を行うことにより検出する検査装置が用いられる。検査装置は、例えば真空容器外に設けられ、真空容器の天井に設けられる窓板を介して真空容器内のウェハを撮像する(特許文献1参照)。
イオン注入処理が実行される真空容器(注入処理室ともいう)の内壁には、装置の運転に伴って汚れが付着する。その結果、検査装置用の窓板にも汚れが付着し、窓板の汚れにより検査精度が悪化し、ウェハ検査工程の信頼性が低下するおそれがある。検査精度を維持するためには、定期的に窓板の汚れを除去する、または、窓板自体を交換する等のメンテナンスが発生する。メンテナンス中は装置を使用できないため、装置のスループット向上の観点から、メンテナンス頻度をできるだけ少なくすることが好ましい。
本発明はこうした状況に鑑みてなされたものであり、その目的の一つは、注入処理室内でのウェハ検査工程の長期信頼性を高める技術を提供することにある。
本発明のある態様のイオン注入装置は、ウェハへのイオンビーム照射がなされる注入処理室と、注入処理室内を所定のビーム軌道に沿って進行するイオンビームを提供するビームライン装置と、注入処理室内に露出しうる露出面を有する光学部材を介してウェハを光学的に検査する検査装置と、注入処理室内のビーム軌道上に配置可能であるためにイオンビームの衝突により汚染物質の発生源となりうるビーム衝突箇所と光学部材の露出面との間の位置であって、検査装置の光軸上を避けた位置に設けられる遮蔽部材と、を備える。
なお、以上の構成要素の任意の組合せや本発明の構成要素や表現を、方法、装置、システムなどの間で相互に置換したものもまた、本発明の態様として有効である。
本発明によれば、注入処理室内でのウェハ検査工程の長期信頼性を向上できる。
以下、図面を参照しながら、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を適宜省略する。また、以下に述べる構成は例示であり、本発明の範囲を何ら限定するものではない。
図1は、実施の形態に係るイオン注入装置10を概略的に示す上面図である。図2及び図3は、イオン注入装置10の概略構成を示す側面図である。詳細は後述するが、図2は注入処理中の状態を模式的に示し、図3はウェハ検査中の状態を模式的に示す。
イオン注入装置10は、被処理物Wの表面にイオン注入処理をするよう構成されている。被処理物Wは、例えば基板であり、例えば半導体ウェハである。よって以下では説明の便宜のため被処理物WをウェハWと呼ぶことがあるが、これは注入処理の対象を特定の物体に限定することを意図していない。
イオン注入装置10は、ビームを一方向に往復走査させ、ウェハWを走査方向と直交する方向に往復運動させることによりウェハWの処理面全体にわたってイオンビームBを照射するよう構成されている。本書では説明の便宜上、設計上のビーム軌道を進むイオンビームBの進行方向をz方向とし、z方向に垂直な面をxy面と定義する。イオンビームBを被処理物Wに対し走査する場合において、ビームの走査方向をx方向とし、z方向及びx方向に垂直な方向をy方向とする。よって、ビームの往復走査はx方向に行われ、ウェハWの往復運動はy方向に行われる。
イオン注入装置10は、イオン源12と、ビームライン装置14と、注入処理室16と、ウェハ搬送装置18と、を備える。イオン源12は、イオンビームBをビームライン装置14に与えるよう構成されている。ビームライン装置14は、イオン源12から注入処理室16へとイオンを輸送するよう構成されている。ウェハ搬送装置18は、注入処理されるべき未処理ウェハを注入処理室16に搬入し、注入処理された処理済ウェハを注入処理室16から搬出するよう構成される。また、イオン注入装置10は、イオン源12、ビームライン装置14、注入処理室16およびウェハ搬送装置18に所望の真空環境を提供するための真空排気系(図示せず)を備える。
ビームライン装置14は、例えば、上流から順に、質量分析部20、可変アパチャ21、ビーム整形部22、第1ビーム計測器24、ビーム走査器26、平行化レンズ30又はビーム平行化装置、及び、角度エネルギーフィルタ(AEF;Angular Energy Filter)34を備える。なお、ビームライン装置14の上流とは、イオン源12に近い側を指し、下流とは注入処理室16(またはビームストッパ38)に近い側を指す。
質量分析部20は、イオン源12の下流に設けられており、イオン源12から引き出されたイオンビームBから必要なイオン種を質量分析により選択するよう構成されている。
可変アパチャ21は、開口幅が調整可能なアパチャであり、開口幅を変えることでアパチャを通過するイオンビームBのビーム電流量を調整する。可変アパチャ21は、例えば、ビームラインを挟んで上下に配置されるアパチャプレートを有し、アパチャプレートの間隔を変化させることによりビーム電流量を調整してもよい。
ビーム整形部22は、四重極収束/発散装置(Qレンズ)などの収束/発散レンズを備えており、可変アパチャ21を通過したイオンビームBを所望の断面形状に整形するよう構成されている。ビーム整形部22は、電場式の三段四重極レンズ(トリプレットQレンズともいう)であり、三つの四重極レンズを有する。ビーム整形部22は、三つのレンズ装置を用いることにより、ウェハWに入射するイオンビームBのx方向およびy方向の収束または発散をそれぞれの方向について独立に調整しうる。ビーム整形部22は、磁場式のレンズ装置を含んでもよく、電場と磁場の双方を利用してビームを整形するレンズ装置を含んでもよい。
第1ビーム計測器24は、ビームライン上に出し入れ可能に配置され、イオンビームの電流を測定するインジェクタフラグファラデーカップである。第1ビーム計測器24は、ビーム整形部22により整形されたイオンビームBのビーム電流を計測できるように構成される。第1ビーム計測器24は、ビーム電流を計測するファラデーカップ24bと、ファラデーカップ24bを上下に移動させる駆動部24aを有する。図2の破線で示すように、ビームライン上にファラデーカップ24bを配置した場合、イオンビームBはファラデーカップ24bにより遮断される。一方、図2の実線で示すように、ファラデーカップ24bをビームライン上から外した場合、イオンビームBの遮断が解除される。
ビーム走査器26は、ビームの往復走査を提供するよう構成されており、整形されたイオンビームBをx方向に走査する偏向手段である。ビーム走査器26は、x方向に対向して設けられる走査電極対28を有する。走査電極対28は可変電圧電源(図示せず)に接続されており、走査電極対28に印加される電圧を周期的に変化させることにより、電極間に生じる電界を変化させてイオンビームBをさまざまな角度に偏向させる。こうして、イオンビームBは、x方向の走査範囲にわたって走査される。なお、図1において矢印Xによりビームの走査方向及び走査範囲を例示し、走査範囲でのイオンビームBの複数の軌跡を一点鎖線で示している。
平行化レンズ30は、走査されたイオンビームBの進行方向を設計上のビーム軌道と平行にするよう構成されている。平行化レンズ30は、中央部にイオンビームの通過スリットが設けられた円弧形状の複数のPレンズ電極32を有する。Pレンズ電極32は、高圧電源(図示せず)に接続されており、電圧印加により生じる電界をイオンビームBに作用させて、イオンビームBの進行方向を平行に揃える。なお、平行化レンズ30は他のビーム平行化装置で置き換えられてもよく、ビーム平行化装置は磁界を利用する磁石装置として構成されてもよい。平行化レンズ30の下流には、イオンビームBを加速または減速させるためのAD(Accel/Decel)コラム(図示せず)が設けられてもよい。
角度エネルギーフィルタ(AEF)34は、イオンビームBのエネルギーを分析し必要なエネルギーのイオンを下方に偏向して注入処理室16に導くよう構成されている。角度エネルギーフィルタ34は、電界偏向用のAEF電極対36を有する。AEF電極対36は、高圧電源(図示せず)に接続される。図2において、上側のAEF電極に正電圧、下側のAEF電極に負電圧を印加させることにより、イオンビームBを下方に偏向させる。なお、角度エネルギーフィルタ34は、磁界偏向用の磁石装置で構成されてもよく、電界偏向用のAEF電極対と磁石装置の組み合わせで構成されてもよい。
このようにして、ビームライン装置14は、ウェハWに照射されるべきイオンビームBを注入処理室16に供給する。
注入処理室16は、図2に示すように、1枚又は複数枚のウェハWを保持するプラテン駆動装置50を備える。プラテン駆動装置50は、ウェハ保持装置52と、往復運動機構54と、ツイスト角調整機構56と、チルト角調整機構58とを含む。ウェハ保持装置52は、ウェハWを保持するための静電チャック等を含む。往復運動機構54は、ビーム走査方向(x方向)と直交する往復運動方向(y方向)にウェハ保持装置52を往復運動させることにより、ウェハ保持装置52に保持されるウェハをy方向に往復運動させる。図2において、矢印YによりウェハWの往復運動を例示する。
ツイスト角調整機構56は、ウェハWの回転角を調整する機構であり、ウェハ処理面の法線を軸としてウェハWを回転させることにより、ウェハの外周部に設けられるアライメントマークと基準位置との間のツイスト角を調整する。ここで、ウェハのアライメントマークとは、ウェハの外周部に設けられるノッチやオリフラのことをいい、ウェハの結晶軸方向やウェハの周方向の角度位置の基準となるマークをいう。ツイスト角調整機構56は、ウェハ保持装置52と往復運動機構54の間に設けられ、ウェハ保持装置52とともに往復運動される。
チルト角調整機構58は、ウェハWの傾きを調整する機構であり、ウェハ処理面に向かうイオンビームBの進行方向とウェハ処理面の法線との間のチルト角を調整する。本実施の形態では、ウェハWの傾斜角のうち、x方向の軸を回転の中心軸とする角度をチルト角として調整する。チルト角調整機構58は、往復運動機構54と注入処理室16の壁面の間に設けられており、往復運動機構54を含むプラテン駆動装置50全体をR方向に回転させることでウェハWのチルト角を調整するように構成される。
プラテン駆動装置50は、イオンビームBがウェハWに照射される注入位置と、検査装置60によりウェハWが検査される検査位置との間でウェハWが移動可能となるようにウェハWを保持する。図2は、ウェハWが注入位置にある状態を示しており、プラテン駆動装置50は、イオンビームBの軌道とウェハWとが交差するようにウェハWを保持する。図3は、ウェハWが検査位置にある状態を示しており、検査装置60の光軸C1,C2とウェハWとが交差するようにウェハWを保持する。プラテン駆動装置50は、主にチルト角調整機構58によるR方向の回転移動と、往復運動機構54によるY方向の直線移動とを組み合わせることにより、ウェハWを注入位置と検査位置との間で移動させる。
本実施の形態において、図3に示すウェハWの検査位置は、ウェハ搬送装置18との間でウェハWを搬入または搬出するための搬出入位置と共通する。検査位置または搬出入位置において、ウェハWは、ウェハ処理面が水平方向となる向きで配置される。なお、ウェハWの検査位置は、ウェハWの搬出入位置と異なっていてもよい。なお、ウェハWの搬出入位置は、ウェハ搬送装置18に設けられる搬送機構または搬送ロボットにより搬出入口80を通じてウェハWが搬入または搬出される場合のウェハ保持装置52の位置に対応する。
注入処理室16は、ビームストッパ38を備える。ビームストッパ38は、注入処理室16の側壁16cに対して固定される。ビーム軌道上にウェハWが存在しない場合、イオンビームBはビームストッパ38に入射する。ビームストッパ38は、注入処理室16とウェハ搬送装置18の間を接続する搬出入口80の近くに位置しており、搬出入口80よりも鉛直下方の位置に設けられる。
注入処理室16には、イオンビームのビーム電流量やビーム電流密度分布を計測するための第2ビーム計測器44が設けられる。第2ビーム計測器44は、サイドカップ40(40R,40L)と、センターカップ42を有する。
サイドカップ40R、40Lは、ウェハWに対してx方向にずれて配置されており、イオン注入時にウェハWに向かうイオンビームを遮らない位置に配置される。イオンビームBは、ウェハWが位置する範囲を超えてx方向に走査されるため、イオン注入時においても走査されるビームの一部がサイドカップ40R、40Lに入射する。これにより、イオン注入処理中のビーム電流量を計測する。サイドカップ40R、40Lの計測値は、第2ビーム計測器44に送られる。
センターカップ42は、ウェハWの表面(ウェハ処理面)におけるビーム電流量やビーム電流密度分布を計測するためのものである。センターカップ42は、可動式となっており、イオン注入時にはウェハ位置から待避され、ウェハWが照射位置にないときにウェハ位置に挿入される。センターカップ42は、x方向に移動しながらビーム電流量を計測して、ビーム走査方向のビーム電流密度分布を計測する。センターカップ42の計測値は、第2ビーム計測器44に送られる。なお、センターカップ42は、ビーム走査方向の複数の位置におけるイオン照射量を同時に計測可能となるように、複数のファラデーカップがx方向に並んだアレイ状に形成されていてもよい。
注入処理室16には、エネルギースリット46が設けられる。エネルギースリット46は、角度エネルギーフィルタ34の下流側に設けられ、角度エネルギーフィルタ34とともにウェハWに入射するイオンビームBのエネルギー分析をする。エネルギースリット46は、ビーム走査方向(x方向)に横長のスリットで構成されるエネルギー制限スリット(EDS;Energy Defining Slit)である。エネルギースリット46は、所望のエネルギー値またはエネルギー範囲のイオンビームBをウェハWに向けて通過させ、それ以外のイオンビームを遮蔽する。
注入処理室16には、プラズマシャワー装置48が設けられる。プラズマシャワー装置48は、エネルギースリット46の下流側に位置する。プラズマシャワー装置48は、イオンビームBのビーム電流量に応じてイオンビームおよびウェハ処理面に低エネルギー電子を供給し、イオン注入で生じるウェハ処理面の正電荷のチャージアップを抑制する。プラズマシャワー装置48は、例えば、イオンビームBが通過するシャワーチューブと、シャワーチューブ内に電子を供給するプラズマ発生装置と、を含む。
注入処理室16には、検査装置60が設けられる。検査装置60は、図3に示される検査位置に配置されるウェハWの位置や向きを検査するための装置であり、より具体的には、ウェハWの外周部に設けられるノッチやオリフラといったアライメントマークの位置を光学的に検査する。検査装置60は、ウェハWの画像を取得するための撮像装置62と、ウェハWを照明するための照明装置72と、を備える。撮像装置62および照明装置72は、注入処理室16の外に設けられており、注入処理室16の壁面に設けられる開口16d,16eを介してウェハWを検査する。検査装置60の光軸C1,C2は、鉛直方向に延びており、撮像軸C1および照明軸C2が検査位置にあるウェハWを挟んで反対側に位置するように構成される。
撮像装置62は、例えばCCDセンサやCMOSセンサ等の撮像素子を備えるカメラである。撮像装置62は、注入処理室16の上方に設けられ、注入処理室16の上部壁16aに設けられる上部開口16dを通じて注入処理室16の内部を撮像する。上部開口16dを塞ぐようにして、撮像用外側窓部材64および撮像用内側窓部材66が設けられる。撮像用外側窓部材64は、注入処理室16の外側に設けられ、撮像用内側窓部材66は、注入処理室16の内側に設けられる。撮像用窓部材64,66は、可視光に対して透光性を有する板状部材であり、例えばガラス板や樹脂板等で構成される光学部材である。光学部材の表面に樹脂フィルムなどの交換容易なカバー部材が付加されてもよい。
撮像用内側窓部材66の近傍には、撮像用遮蔽部材68が設けられる。撮像用遮蔽部材68は、注入処理室16内に設けられ、注入処理室16の内部に露出する撮像用内側窓部材66の露出面66aへの汚れの付着を防ぐ。撮像用遮蔽部材68は、イオンビームBの衝突により汚染物質の発生源となりうる「ビーム衝突箇所」から飛来する汚染物質が露出面66aに直接付着するのを妨げるように配置される。
図4は、注入処理室16内のビーム衝突箇所82a,82b,82cを模式的に示す側面図である。本実施の形態における「ビーム衝突箇所」とは、注入処理室16内のビーム軌道上に配置可能な任意の物体に対応し、例えば、注入位置にあるウェハWや、プラテン駆動装置50、ビームストッパ38、サイドカップ40、センターカップ42、エネルギースリット46、プラズマシャワー装置48などがビーム衝突箇所になりうる。図4は、このようなビーム衝突箇所の例を示しており、エネルギースリット46におけるビーム衝突箇所82a、ウェハWにおけるビーム衝突箇所82b、ビームストッパ38におけるビーム衝突箇所82cを例示している。
撮像用遮蔽部材68は、このようなビーム衝突箇所の少なくとも一つと撮像用内側窓部材66の露出面66aとの間に配置され、ビーム衝突箇所から飛来する汚染物質が露出面66aに直接付着するのを妨げる。撮像用遮蔽部材68は、例えば、注入位置にあるウェハW、プラテン駆動装置50、センターカップ42から飛来する汚染物質を遮蔽するように構成される。撮像用遮蔽部材68は、図4に示されるように、エネルギースリット46やウェハWにおけるビーム衝突箇所82a,82bから飛来する汚染物質を遮蔽する。その結果、撮像用遮蔽部材68の外側面には、飛来した汚染物質84が堆積する。撮像用遮蔽部材68は、例えば、アルミニウム(Al)やグラファイト(C)などの材料で構成できる。
撮像用遮蔽部材68は、撮像装置62による撮像を妨げないように、撮像軸C1上を避けた位置に設けられる。また、撮像用遮蔽部材68は、プラテン駆動装置50の動作と干渉しないようにプラテン駆動装置50の可動範囲外に設けられる。例えば、図2および図3に破線Rで示されるプラテン駆動装置50の可動範囲内に撮像用遮蔽部材68が位置しないように、撮像軸C1に沿った方向の撮像用遮蔽部材68の長さ(または高さ)が制限される。
撮像用遮蔽部材68は、筒状部材で構成され、撮像装置62の撮像軸C1のまわりを囲うように配置される。図5(a)−(f)は、撮像用遮蔽部材68の構成を概略的に示す断面図であり、撮像軸C1と直交する断面を示している。撮像用遮蔽部材68は、例えば図5(a)に示されるように、撮像軸C1まわりの周方向の全体を囲うように構成される完全な円筒部材で構成される。撮像用遮蔽部材68は、周方向の一部を部分的に囲うように構成される不完全な円筒状部材であってもよく、図5(b)に示すように撮像軸C1に直交する断面がC字状に構成されてもよいし、図5(c)に示すように撮像軸C1に直交する断面が円弧状に構成されてもよい。撮像用遮蔽部材68は、図5(d)に示すように、角筒部材で構成されてもよいし、図5(e),(f)に示すように、周方向の一部を部分的に囲うように構成される不完全な角筒状部材であってもよい。撮像用遮蔽部材68は、平板状の部材であってもよい。
図3に戻り、照明装置72は、LED等の白色光源を含み、撮像対象となるウェハWのアライメントマークを照明する。照明装置72は、注入処理室16の下方に設けられ、注入処理室16の底部壁16bに設けられる底部開口16eを通じて注入処理室16の内部を照明する。底部開口16eを塞ぐようにして、照明用外側窓部材74および照明用内側窓部材76が設けられる。照明用外側窓部材74は、注入処理室16の外側に設けられ、照明用内側窓部材76は、注入処理室16の内側に設けられる。照明用窓部材74,76は、可視光に対して透光性を有する板状部材であり、例えばガラス板や樹脂板等で構成される光学部材である。光学部材の表面に樹脂フィルムなどの交換容易なカバー部材が付加されてもよい。
照明用内側窓部材76の近傍には、照明用遮蔽部材78が設けられる。照明用遮蔽部材78は、注入処理室16内に設けられ、上述の撮像用遮蔽部材68と同様、注入処理室16の内部に露出する照明用内側窓部材76の露出面76aへの汚れの付着を防ぐ。照明用遮蔽部材78は、上述の「ビーム衝突箇所」の少なくとも一つと照明用内側窓部材76の露出面76aとの間に配置され、ビーム衝突箇所から飛来する汚染物質が露出面76aに直接付着するのを妨げる。照明用遮蔽部材78は、図4に示されるように、例えば、ビームストッパ38から飛来する汚染物質を遮蔽するように構成される。その結果、照明用遮蔽部材78の外側面には、飛来した汚染物質86が堆積する。照明用遮蔽部材78は、例えば、アルミニウム(Al)やグラファイト(C)などの材料で構成できる。
照明用遮蔽部材78は、照明装置72による照明を妨げないように、照明軸C2上を避けた位置に設けられる。また、照明用遮蔽部材78は、プラテン駆動装置50の動作と干渉しないようにプラテン駆動装置50の可動範囲外に設けられる。例えば、図2および図3に破線Rで示されるプラテン駆動装置50の可動範囲内に照明用遮蔽部材78が位置しないように、照明用遮蔽部材78は、照明軸C2に対して斜めにカットされた形状を有する。具体的には、注入処理室16の底部壁16bからの照明軸C2に沿った方向の照明用遮蔽部材78の長さ(または高さ)は、ビームストッパ38に近い側(紙面の右側)が大きく、ビームストッパ38から遠い側(紙面の左側)が小さくてもよい。
照明用遮蔽部材78は、撮像用遮蔽部材68と同様、筒状部材で構成され、照明装置72の照明軸C2の周りを囲うように配置される。照明用遮蔽部材78は、図5(a)−(f)に示される撮像用遮蔽部材68と同様、周方向の全体を囲うように構成される完全な円筒または角筒形状であってもよいし、周方向の一部を部分的に囲うように構成される不完全な円筒状または角筒状形状であってもよい。照明用遮蔽部材78は、その他の形状であってもよく、平板状の部材で構成されてもよい。
露出面を有する光学部材(撮像用内側窓部材66および照明用内側窓部材76)は、メンテナンス時に容易に交換できるように構成されることが好ましい。同様に、露出面への汚れの付着を防ぐ遮蔽部材(撮像用遮蔽部材68および照明用遮蔽部材78)についても、メンテナンス時に容易に交換できるように構成されることが好ましい。
図3に示すウェハ検査中の状態では、注入処理室16より上流側でイオンビームBが遮断され、注入処理室16にイオンビームBが照射されないように制御される。イオンビームBは、例えば図3に示すように、第1ビーム計測器24のファラデーカップ24bにより遮断される。イオンビームBの遮断は第1ビーム計測器24以外の場所でなされてもよい。例えば、ビーム走査器26の通常のスキャン範囲から逸脱するように大きくビームを偏向させ、その偏向方向を固定することにより、イオンビームBをビームライン装置14の途中で遮断してもよい。ウェハ検査時にビームライン装置14がイオンビームBを途中で遮断することにより、ウェハ検査中に注入処理室16内で新たな汚染物質が発生し、窓部材の露出面66a,76aに汚れが付着するのを防ぐことができる。
つづいて、イオン注入装置10の動作の流れを示す。まず、図3に示されるように、ビームライン装置14の途中でイオンビームBが遮断された状態で、ウェハ搬送装置18から注入処理室16に未処理ウェハWが搬入される。未処理ウェハWは、検査位置に配置され、検査装置60により光学的に検査される。未処理ウェハWの検査結果に基づいて、往復運動機構54のY方向の往復運動位置が調整され、ツイスト角調整機構56によるウェハWの回転角が調整されうる。つづいて、チルト角調整機構58によりプラテン駆動装置50を回転させ、図2に示されるように、未処理ウェハWが注入位置に配置される。その後、イオンビームBの遮断が解除され、所定の注入レシピにしたがってウェハWへのイオン注入処理が実行される。注入処理の終了後、ビームライン装置14の途中でイオンビームBが遮断される。処理済ウェハWは、図2に示す注入位置から図3に示す検査位置に戻され、注入処理室16からウェハ搬送装置18へ搬出される。
本実施の形態によれば、検査装置60を用いて注入処理室16内でのウェハWの位置を検査してから注入処理がなされるため、注入処理の位置精度を高めることができる。また、検査装置60の光軸C1,C2上に配置される光学部材のうち、注入処理室16内に露出する露出面66a,76aを有する光学部材(撮像用内側窓部材66および照明用内側窓部材76)に対して遮蔽部材(撮像用遮蔽部材68および照明用遮蔽部材78)が設けられるため、光学部材の露出面66a,76aの汚れの付着を防止できる。これにより、イオン注入装置10の長期運転に伴って光学部材の露出面66a,76aに汚れが蓄積する量および速度を低減でき、汚れの付着による検査精度の低下を好適に抑制できる。したがって、本実施の形態によれば、注入処理室16内でのウェハ検査工程の長期信頼性を高めることができる。また、本実施の形態によれば、汚れ除去のためのメンテナンス頻度を下げることができ、イオン注入装置10の生産性を高めることができる。
本実施の形態によれば、遮蔽部材(撮像用遮蔽部材68および照明用遮蔽部材78)は、汚染物質の発生源となるビーム衝突箇所82a,82b,82cよりも、遮蔽すべき露出面66a,76aに近い位置に設けられる。汚れの付着を防止すべき露出面66a,76aの近くに遮蔽部材を設けることにより、ビーム衝突箇所が複数存在しうる場合であっても、複数のビーム衝突箇所から飛来する汚染物質に対する遮蔽性を高めることができる。これにより、汚れの付着による検査精度の低下をより好適に抑制できる。
以上、本発明を上述の各実施の形態を参照して説明したが、本発明は上述の各実施の形態に限定されるものではなく、各実施の形態の構成を適宜組み合わせたものや置換したものについても本発明に含まれるものである。また、当業者の知識に基づいて各実施の形態における組合せや処理の順番を適宜組み替えることや各種の設計変更等の変形を実施の形態に対して加えることも可能であり、そのような変形が加えられた実施の形態も本発明の範囲に含まれ得る。
図6は、変形例に係る注入処理室16の概略構成を示す断面図である。本変形例では、照明用遮蔽部材90の構成が上述の実施の形態と相違する。照明用遮蔽部材90は、照明用内側窓部材76の近傍ではなく、ビーム衝突箇所の一つであるビームストッパ38の近傍に設けられる。つまり、照明用遮蔽部材90は、汚れの付着を防止すべき露出面76aよりもビーム衝突箇所82cであるビームストッパ38の近くに設けられる。
照明用遮蔽部材90は、ビームストッパ38に対して固定されており、ビームストッパ38に沿ってビームスキャン方向(x方向)に延在する。照明用遮蔽部材90は、ビームスキャン方向(x方向)に直交する断面がL字状となるように構成されており、ビームストッパ38から鉛直下方に延びた後、ビームストッパ38の表面と直交する方向に突出して延びるように構成される。これにより、照明用遮蔽部材90は、ビームストッパ38と照明用内側窓部材76の露出面76aとの間の位置に配置され、かつ、照明軸C2上を避けた位置に配置される。
本変形例によれば、ビームストッパ38におけるビーム衝突箇所82cから飛来する汚染物質の少なくとも一部(汚染物質86a)を照明用遮蔽部材90により遮ることができる。なお、ビームストッパ38におけるビーム衝突箇所82cから飛来する汚染物質の別の一部(汚染物質86b)は、照明用遮蔽部材90により遮蔽されないが、図6に示されるように、照明用内側窓部材76を越えた位置に付着する。したがって、本変形例においても上述の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
図7は、別の変形例に係る注入処理室16の概略構成を示す断面図である。本変形例では、検査装置160が備える撮像装置162が注入処理室16の側方に設けられる点で上述の実施の形態と相違する。撮像装置162は、注入処理室16の側壁16cの上方に設けられる側方開口16fを通じ、撮像軸C1の途中に設けられる光路変更ミラー165を介して注入処理室16の内部を撮像する。側方開口16fは、撮像用外側窓部材164により塞がれている。光路変更ミラー165は、注入処理室16内に設けられる筐体169の内部に収容されている。光路変更ミラー165により反射されて鉛直下方に延びる撮像軸C1上には、露出面166aを有する撮像用内側窓部材166が設けられる。撮像用内側窓部材166の周りには、撮像用遮蔽部材168が設けられる。本変形例においても、上述の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
図8は、さらに別の変形例に係る注入処理室16の概略構成を示す断面図である。本変形例では、検査装置260が備える撮像装置262が注入処理室16の側方に設けられ、照明装置272が注入処理室16の上方に設けられる点で上述の実施の形態と相違する。
撮像装置262の配置は、図7の変形例に係る撮像装置162と同様である。撮像装置262は、注入処理室16の側壁16cの上方に設けられる側方開口16fを通じ、光軸Cの途中に設けられるハーフミラー265を介して注入処理室16の内部を撮像する。側方開口16fは、撮像用外側窓部材264により塞がれており、ハーフミラー265は、筐体269の内部に収容されている。
照明装置272の配置は、上述の実施の形態に係る撮像装置62と同様である。照明装置272は、注入処理室16の上部壁16aに設けられる上部開口16dを通じ、光軸Cの途中に設けられるハーフミラー265を介して注入処理室16の内部を照明する。
ハーフミラー265の下方には、筐体269の開口を塞ぐように内側窓部材266が設けられる。内側窓部材266は、注入処理室16の内部に露出する露出面266aを有する。内側窓部材266の周りには、遮蔽部材268が設けられる。
本変形例においても、上述の実施の形態と同様の効果を奏することができる。また、本変形例では、撮像用および照明用の光軸Cが共通しているため、注入処理室16内に露出する露出面266aを有する光学部材を一つにできる。したがって、汚れの蓄積によりメンテナンスが必要となる場合であっても、一つの光学部材(内側窓部材266)のみを交換すればよいため、メンテナンスの手間を低減できる。
上述の実施の形態および変形例では、検査装置の光軸上に配置される光学部材の露出面が注入処理室16内に常時露出する構成について示した。さらなる変形例では、光学部材の露出面を一時的にカバーできる可動部材がさらに設けられてもよい。この可動部材は、注入位置にあるウェハWにイオンビームBを照射する際、検査装置の光軸と交差する位置に移動し、ビーム照射時に光学部材の露出面が注入処理室16内に露出しないようにする。また、この可動部材は、検査位置にあるウェハWを検査する際、検査装置の光軸と交差しない位置に移動し、光学部材の露出面が注入処理室16内に露出するようにする。本変形例によれば、露出面を有する光学部材への汚染物質の付着をさらに抑制できる。
上述の実施の形態および変形例では、汚れの付着を防止すべき光学部材の露出面の近傍またはビームストッパ38の近傍に遮蔽部材を配置する場合について示した。さらなる変形例では、汚れの付着を防止すべき光学部材の露出面よりも、上述した注入処理室16内のビーム衝突箇所の少なくとも一つに近い位置に遮蔽部材を配置してもよい。また、注入処理室16のビーム衝突箇所ではなく、ビームライン装置14内のビーム衝突箇所との間に遮蔽部材を配置してもよい。ビームライン装置14内のビーム衝突箇所は、例えば、角度エネルギーフィルタ34のAEF電極36であってもよい。
上述の実施の形態では、検査装置が上方に配置され、照明装置が下方に配置される場合を示した。さらなる変形例では、検査装置と照明装置の配置を上下逆にしてもよい。
上述の実施の形態および変形例では、ウェハWの画像を撮像して検査する検査装置について説明した。さらなる変形例では、レーザ光などをウェハWに照射し、ウェハWからの反射光や散乱光を検出してウェハWを光学的に検査する検査装置などが用いられてもよい。
10…イオン注入装置、14…ビームライン装置、16…注入処理室、50…プラテン駆動装置、60…検査装置、62…撮像装置、68…撮像用遮蔽部材、72…照明装置、78…照明用遮蔽部材、66a,76a…露出面、B…イオンビーム、C1…撮像軸、C2…照明軸、W…ウェハ。
Claims (10)
- ウェハへのイオンビーム照射がなされる注入処理室と、
前記注入処理室内を所定のビーム軌道に沿って進行するイオンビームを提供するビームライン装置と、
前記注入処理室内に露出しうる露出面を有する光学部材を介して前記ウェハを光学的に検査する検査装置と、
前記注入処理室内の前記ビーム軌道上に配置可能であるために前記イオンビームの衝突により汚染物質の発生源となりうるビーム衝突箇所と前記光学部材の前記露出面との間の位置であって、前記検査装置の光軸上を避けた位置に設けられる遮蔽部材と、を備えることを特徴とするイオン注入装置。 - 前記注入処理室内に設けられ、前記イオンビームが前記ウェハに照射される注入位置と前記検査装置により前記ウェハが検査される検査位置との間で前記ウェハが移動可能となるように前記ウェハを保持するプラテン駆動装置をさらに備え、
前記遮蔽部材は、前記注入処理室に対して固定されており、前記ウェハの移動に伴う前記プラテン駆動装置の可動範囲外に設けられることを特徴とする請求項1に記載のイオン注入装置。 - 前記検査装置の光軸は、前記ビーム軌道と交差する方向に延び、前記検査位置にある前記ウェハと交差し、かつ、前記注入位置にある前記ウェハと交差しない位置に設けられることを特徴とする請求項2に記載のイオン注入装置。
- 前記ビーム衝突箇所の少なくとも一つは、前記注入位置にある前記ウェハまたは前記プラテン駆動装置であり、
前記遮蔽部材の少なくとも一つは、前記ビーム衝突箇所の少なくとも一つより前記露出面に近い位置に設けられることを特徴とする請求項2または3に記載のイオン注入装置。 - 前記ビーム衝突箇所の少なくとも一つは、前記注入位置にある前記ウェハまたは前記プラテン駆動装置より下流側に設けられるビームストッパであり、
前記遮蔽部材の少なくとも一つは、前記露出面より前記ビームストッパに近い位置に設けられることを特徴とする請求項2から4のいずれか一項に記載のイオン注入装置。 - 前記遮蔽部材は、前記検査装置の光軸まわりの周方向の全体または一部を囲う筒状部材を含むことを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載のイオン注入装置。
- 前記遮蔽部材は、前記ウェハへのビーム照射時に前記検査装置の光軸と交差し、前記ウェハの検査時に前記検査装置の光軸と交差しないように配置される可動部材を含むことを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載のイオン注入装置。
- 前記遮蔽部材は、前記注入処理室内の複数箇所に設けられることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載のイオン注入装置。
- 前記ビームライン装置は、前記ウェハの検査時に前記注入処理室より上流側で前記イオンビームを遮断させることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載のイオン注入装置。
- 前記検査装置は、前記ウェハを照明する照明装置と、前記ウェハを撮像する撮像装置とを含み、前記ウェハに向かう照明軸および前記ウェハに向かう撮像軸のそれぞれが前記ウェハを挟んで反対側に位置するよう構成され、
前記遮蔽部材は、前記照明軸上に配置される照明用光学部材の露出面と前記ビーム衝突箇所の間に配置される照明用遮蔽部材と、前記撮像軸上に配置される撮像用光学部材の露出面と前記ビーム衝突箇所の間に配置される撮像用遮蔽部材の少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載のイオン注入装置。
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