JP2019011525A

JP2019011525A - ガラスクロス光反射体

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Publication number: JP2019011525A
Application number: JP2017127784A
Authority: JP
Inventors: 鈴木　健太郎; Kentaro Suzuki; 健太郎鈴木; 藤ノ木　朗; Akira Fujinoki; 朗藤ノ木; 佐藤　彰; Akira Sato; 彰佐藤; 裕也横澤; Yuya Yokozawa; 直樹長尾; Naoki Nagao
Original assignee: Shin Etsu Quartz Products Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Quartz Products Co Ltd
Priority date: 2017-06-29
Filing date: 2017-06-29
Publication date: 2019-01-24
Anticipated expiration: 2037-06-29
Also published as: JP6634049B2

Abstract

【課題】紫外線ランプや半導体製造装置に用いられる光の反射体に好適な、広範囲な波長領域において反射効率が良好でかつ再利用可能なガラスクロス光反射体を提供する。【解決手段】Ｅガラス、Ｓガラス、Ｔガラス、ＵＴガラス、Ｄガラス、Ｌガラス、ＮＥガラス及びシリカガラスからなる群から選択される１種以上のガラスフィラメントを複数本束ね、撚糸したガラスヤーンを製織されてなるガラスクロスからなるガラスクロス光反射体であるようにした。【選択図】図１

Description

本発明は、紫外線ランプや半導体製造装置に用いられる光の反射体に好適な、広範囲な波長領域において反射効率が良好でかつ再利用可能なガラスクロスを使用した光反射体に関する。

産業用ヒータを主目的とする照射効率を向上する為の光の反射体としては、アルミニウムや金、銀膜が一般的に用いられている。

しかしながら、半導体製造装置に用いられる熱の反射体としては、これらの金属膜が汚染原因となる為に使用できない場合がある事、またＵＶランプの波長領域ではこれら金属膜での吸収の影響により反射効率が著しく低下する等の問題があり、半導体製造装置やＵＶランプの反射体として金属膜は好ましくない。

金属膜による弊害を克服する反射膜として、高純度のシリカ粉を気泡が混入する方法で焼結し、多数の気泡を内包する薄膜層により、半導体製造装置で嫌われる金属不純物の少ない、かつ波長３００ｎｍ〜２２００ｎｍに渡る広い波長領域で高い反射率を有する反射体が提案されている（特許文献１）。

この高純度シリカガラス層による反射体は半導体製造装置の加熱用反射体あるいはＵＶランプ反射体として好適に用いられているが、反射体自体がシリカガラス管の外表面若しくは内表面にコーティング層として形成される為、シリカガラス管と一体となっており、非常に高価な反射層であるにも関わらず、使用によってシリカガラス管が破損した場合、あるいは反射層が破損した場合、一方の修理が効かず、そのまま全体を廃棄するしか方法が無かった。

特開2013-35723号公報

本発明の目的は、紫外線ランプや半導体製造装置に用いられる光の反射体に好適な、広範囲な波長領域において反射効率が良好でかつ再利用可能なガラスクロス光反射体を提供することを目的とする。

上記の問題点を鑑み、発明者らが鋭意検討した結果、ガラスクロスよりなる光反射体をガラス管の外部に高効率な反射率が得られる状態で構成する事により、ガラス管若しくは反射体の何れかに破損や不具合が生じた場合、一方のみを交換する事が可能となる事を見出した。

更に、本発明の副次的な効果として、ガラスクロスがガラス管の保護層あるいは保温層として機能する事で、ガラスクロスのクッション効果によりガラス管自体が割れ辛く、また保温効率の向上がもたらされる事を見出した。

即ち、本発明のガラスクロス光反射体は、Ｅガラス、Ｓガラス、Ｔガラス、ＵＴガラス、Ｄガラス、Ｌガラス、ＮＥガラス及びシリカガラスからなる群から選択される１種以上のガラスフィラメントを複数本束ね、撚糸したガラスヤーンを製織されてなるガラスクロスからなるガラスクロス光反射体である。

本明細書では、ガラス繊維とは、ガラスを引き伸ばして得られる細い糸状のものを指し、単繊維をガラスフィラメント、ガラスフィラメントを束ねたものをガラスストランド、ガラスフィラメントを束ねて撚りをかけたものをガラスヤーンと定義する。

本発明の光反射体は、前記ガラスクロスのヤーンにより光反射されることで、波長４００ｎｍ〜２０００ｎｍにおける光に対する反射率が７０％以上であることが好適である。

前記ガラスフィラメントがシリカガラスからなるシリカガラスフィラメントであることが好ましい。本発明の光反射体は、前記シリカガラスフィラメントを複数本束ね、撚糸したシリカガラスヤーンであって、波長４００ｎｍ以下の紫外線領域でも優れた反射率特性を有するシリカガラスヤーンを製織されてなるシリカガラスクロスからなるシリカガラスクロス光反射体であって、前記シリカガラスクロスのヤーンにより光反射されることで、波長３００ｎｍ〜２０００ｎｍにおける光に対する反射率が７０％以上であることが好適である。

本発明の光反射体は、前記ガラスクロスが積層されてなることが好ましい。

本発明の光反射体は、紫外線ランプ、または半導体製造装置に好適に用いられる。

本発明によれば、紫外線ランプや半導体製造装置に用いられる光の反射体に好適な、広範囲な波長領域において反射効率が良好でかつ再利用可能なガラスクロス光反射体を提供することができる。さらに、本発明によれば、クッション保護性やフレキシブル性、保温効果性に優れたガラスクロス光反射体を得ることができる。
更に、シリカガラスクロス反射体の場合には１０００℃程度までの高耐熱性も付与される。

本発明のガラスクロス光反射体の表面の拡大写真である。図１のＡで示される部分の要部拡大模式図である。図２のＢで示される部分の拡大写真である。図３のＣで示される部分の拡大写真である。本発明のガラスクロス光反射体に施されるほつれ防止処置の例を示す写真であり、（ａ）はガラス糸によるほつれ防止処置、（ｂ）は両端ループ織りによるほつれ防止処置の例をそれぞれ示す。本発明のガラスクロス光反射体の使用方法の第１の例を示す図であり、（ａ）はガラスクロス光反射体の写真、（ｂ）はガラスクロス光反射体をガラスランプ管に巻いた例を示す概略説明図をそれぞれ示す。本発明のガラスクロス光反射体の使用方法の第２の例を示す図であり、（ａ）はテープ状のガラスクロス光反射体の写真、（ｂ）はガラスクロス光反射体をガラスランプ管に巻いた例を示す概略説明図をそれぞれ示す。本発明のガラスクロス光反射体の使用方法の第３の例を示す図であり、（ａ）及び（ｂ）はブランケットタイプのガラスクロス光反射体の写真、（ｃ）はガラスクロス光反射体の詰め物であるシリカガラスウールの写真をそれぞれ示す。実施例１の結果を示すグラフである。実施例２の結果を示すグラフである。実施例３の結果を示すグラフである。実施例４の結果を示すグラフである。比較例２の結果を示すグラフである。

以下に本発明の実施の形態を説明するが、これらは例示的に示されるもので、本発明の技術思想から逸脱しない限り種々の変形が可能なことはいうまでもない。

図１は本発明のガラスクロス光反射体の表面の拡大写真であり、図２は図１のＡで示される部分であるガラスヤーン１２の要部拡大模式図であり、図３は、図２のＢで示される部分であるガラスストランド１４の拡大写真であり、図４は、図３のＣで示される部分であるガラスフィラメント１６の拡大写真である。
図１において、符号１０は本発明のガラスクロス光反射体であり、ガラスフィラメント１６を複数本束ねたガラスストランド１４を撚糸したガラスヤーン１２により製織されたガラスクロス１８からなる。

図２〜図４において符号２０は入射光であり、符号２２は反射光である。図２〜図４に示す如く、本発明のガラスクロス光反射体１０は、ガラスヤーン１２により光反射されることで、広範囲な波長領域において良好な反射効率が得られる。本発明のガラスクロス光反射体１０は、波長４００〜２０００ｎｍの光に対する反射率が７０％以上であることが好ましく、８０％以上であることがより好ましい。

図１では１枚のガラスクロス１８からなるガラスクロス光反射体１０の例を示したが、用いられるガラスクロス１８の数に制限はなく、複数枚のガラスクロス１８を用いても良く、複数枚のガラスクロス１８を積層して用いることが好ましい。後述する実施例からも明らかなように、ガラスクロスの積層枚数が増加するに従い反射率も高くなることから、積層枚数に応じて反射率を好ましい範囲で選択することが可能である。用いられるガラスクロス１８の数は、求められる反射率や、用いられるガラスフィラメントの直径や本数、ガラスヤーン１２の撚り数、ガラスクロス１８の開口率、ガラスクロス１８の厚み等に応じて適宜選択すればよい。

ガラスクロス光反射体１０の厚さは特に制限はないが、０．３ｍｍ以上２ｍｍ以下が好ましく、０．５ｍｍ以上１．５ｍｍ以下がより好ましい。前記の厚さを超える場合、クロス反射効率は高止まりとなり、更に経済性の観点からもこの範囲が適当と考える。

複数枚のガラスクロス１８を積層して用いる場合は、積層方法に特に制限はないが、所望の反射率を得られる層数を選択し、積層されたガラスクロス１８の各層が相互に密着し、ずれや空隙が生じないための手段を施すことが好適である。ガラスクロス１８の各層のずれ防止手段としては特に制限はないが、例えば、ガラス糸による縫い合わせ、シリカ系接着剤等によるガラスクロス同士の接着、単純な加熱融着、ゾルゲル溶液を浸み込ませた後の加熱密着、酸水素バーナー等によるガラスクロス同士の熱融着等が挙げられ、これらを組み合わせて用いても良い。

積層されるガラスクロス１８は、所定の形状にカットし、複数枚重ねて用いても良く、切断せずに複数回折り返して重ねて用いても良く、複数枚折り返して重ねて用いても良く、またこれらを組み合わせて用いても良い。

前記ガラスフィラメント１６としては、Ｅガラス、Ｓガラス、Ｔガラス、ＵＴガラス、Ｄガラス、Ｌガラス、ＮＥガラス及びシリカガラスからなる群から選択される１種以上のガラスフィラメントが用いられるが、ＳｉＯ_２組成量が９９．９９質量％〜１００質量％であるシリカガラスフィラメントが好適である。該シリカガラスフィラメントを用いたシリカガラスヤーンは、波長４００ｎｍ以下の紫外線領域でも優れた反射率特性を有しており、波長３００ｎｍ〜２０００ｎｍにおける光に対する反射率を７０％以上とすることができる。波長３００ｎｍ〜２０００ｎｍにおける光に対する反射率が８０％以上であることがより好ましい。

本発明のガラスクロス光反射体１０は、シリカガラスフィラメントを用い、該シリカガラスフィラメントを複数本束ね、撚糸したシリカガラスヤーンを製織されてなるシリカガラスクロスからなるシリカガラスクロス光反射体であることが好適である。該シリカガラスクロス光反射体は、波長３００ｎｍ及び１２００ｎｍにおける光に対する反射率がいずれも７０％以上であることが好ましく、８０％以上であることがより好ましい。

ＳｉＯ_２組成量が９９．９９質量％〜１００質量％、即ち、実質的に１００％としたシリカガラスクロスを光反射体として用いることで、Ｅガラス、Ｄガラス、Ｓガラス、Ｔガラス、ＵＴガラス、ＮＥガラス等の一般的な多成分系ガラスクロスの場合に生じる光を吸収してしまうことによる劣化を軽減することができる。

また、従来、シリカガラスクロス或いは一般的な多成分系ガラスクロスはいずれもヤーン表面の高強度化（クラック防止）の為に有機（主にシランカップリング剤）処理を施すが、シリカガラスクロスからなるガラスクロス光反射体は、その有機成分を加熱して脱離させることで純粋なシリカとなる。ＳｉＯ_２単体配合成分であることより、１０００℃程度の高温環境下でも使用可能なガラスクロス反射体を得ることができる。

ガラスフィラメント１６の製造方法は特に制限はなく、公知の紡糸方法を用いることができる。
ガラスフィラメント１６の直径は特に制限はないが、直径３．０μｍ〜１５μｍが好適である。

前記ガラスフィラメント１６からガラスヤーン１２を得る方法は特に制限はないが、ガラスフィラメント１６を４０本〜４００本束ねたガラスストランド１４を、撚糸機を用いて撚糸し、ガラスヤーン１２とすることが好適である。ガラスヤーンの撚り数は特に制限はないが、５〜５０回転／ｍの撚り数が好ましい。また、撚糸後、さらに合撚しても良い。

ガラスクロス１８の製織方法は特に制限はなく、公知の方法により製織することができる。
ガラスクロス１８の織り構造については、特に限定されないが、例えば、平織り、ななこ織り、朱子織り、綾織り等の織り構造が挙げられ、フレキシブル性のある平織り構造や朱子織り構造が好ましい。
ガラスクロス１８を構成する経糸及び緯糸の織密度は特に制限はないが、例えば、各々独立して、３０〜１５０本／インチが好適である。

ガラスクロス１８の厚さは特に制限はないが０．３ｍｍ以上２ｍｍ以下が好ましく、０．５ｍｍ以上１．５ｍｍ以下がより好ましい。前記の厚さを超える場合、クロス反射効率は高止まりとなり、更に経済性の観点からもこの範囲が適当と考える。

ガラスヤーン１２やガラスクロス１８は、シランカップリング剤等の公知の表面処理剤で表面処理されることが好適である。

図５は、本発明のガラスクロス光反射体１０に施されるほつれ防止処置の例を示す写真であり、（ａ）はガラス糸３０によるほつれ防止処置、（ｂ）は両端ループ織り３２によるほつれ防止処置の例をそれぞれ示す。ガラスクロス光反射体１０を構成するガラスクロス１８はその端部にほつれ防止処置を施すことが好適である。該ほつれ防止処置の方法は特に制限はないが、例えば、図５（ａ）に示した如く、ガラスクロス１８の端部を、ガラス糸３０を用いた端縫いによるほつれ防止処置や、図５（ｂ）に示した如く、特殊織機によりクロスの端部がループ織状態としたほつれ防止処置、酸水素バーナー等によるガラス繊維同士の熱融着切断によるほつれ防止処置、シラン系接着剤での端部固定によるほつれ防止処置等が挙げられる。

本発明のガラスクロス光反射体１０は、紫外線ランプ、または半導体製造装置に好適に用いられる。
図６〜図８は、それぞれ本発明のガラスクロス光反射体の使用方法の第１〜第３の例を示す図である。本発明のガラスクロス光反射体の使用方法は特に制限はないが、ガラスクロス光反射体を、反射面を構成するガラス体に必要十分な反射率を得られる層数で固定して用いることが好適である。

前記反射面を構成するガラス体の形状は特に制限はないが、ガラス管、ガラス板、又はガラス板が組み合わされた構造物よりなることが好適である。図６及び図７ではガラス体としてシリカガラスランプ管４２を用いた例を示す。

本発明のガラスクロス光反射体の使用方法としては、例えば、図６に示した如く、芯材４４に巻かれた本発明のガラスクロス光反射体１０をシリカガラスランプ管４２に１層又は複数層、テープ巻きしながら重ねることが好適である。
図６では、必要幅を有する幅広のガラスクロス光反射体１０を用いた例を示したが、本発明のガラスクロス光反射体の形状は特に制限はなく、例えば、図７に示した如く、幅狭のテープ状のガラスクロス光反射体４０を用い、複数枚のガラスクロス光反射体４０をずらして重ねてもよい。

また、図８に示した如く、ガラスクロス光反射体を袋状とし、該袋状のガラスクロス光反射体中に詰め物を詰めたブランケットタイプのガラスクロス光反射体５０は、非常に保温性やクッション性に優れており、好適である。図８（ａ），（ｂ）のブランケットタイプのガラスクロス光反射体５０では、詰め物として図８（ｃ）で示したシリカガラスウール５２を用いた例を示した。該ブランケットタイプのガラスクロス光反射体５０は、図８（ｂ）に示した如くフレキシブル性が高く、ワークとなる母材管に密着保持させて用いることができる。

前記反射面を構成するガラス体とガラスクロス光反射体とが互いに固定される手段を有していることが好ましい。また、前記反射面を構成するガラス体とガラスクロス光反射体の双方を固定する手段を有していることが好適である。

ガラス体とガラスクロス光反射体の固定手段としては特に制限はないが、例えば、ガラス体に突起を設け、ガラスクロス光反射体側にこの突起と嵌合する為の構造が構成されていることが好ましい。また、ガラスクロス光反射体にガラス体に固定する為の紐状の構造体を設け、これによってガラス体にガラスクロス光反射体が固定されていてもよい。また、互いのクロスをガラス糸で縫い付ける、或いは、互いのクロスをバーナー等により熱融着させてもよい。或いは、ガラス管と前記ガラス管の外径よりも内径が少し大きい石英ガラスのリング状留め具を用意し、前記ガラス管に巻いたガラスクロス光反射体の上から前記石英ガラスのリング状留め具による２点留め(両端部)〜３点留め(両端部及び中央部)を行うことで、ガラスクロス光反射体をガラス管に固定させても良い。さらに、ガラス体とガラスクロス光反射体に対して双方を固定する為の第３の固定手段を有していても良い。

本発明のガラスクロス光反射体は、ガラス体と離して扱うことが出来る為、片方が破損した場合にも再利用が可能であり、破損や不具合が生じた場合の交換も容易であり、極めて作業性に優れている。

以下に実施例をあげて本発明をさらに具体的に説明するが、これらの実施例は例示的に示されるもので限定的に解釈されるべきでないことはいうまでもない。

（実施例１）
平均フィラメント径７.３μｍのシリカガラスフィラメントを２００本束ねたシリカガラスストランドを、撚糸機を用いて撚糸し、シリカガラスヤーンを得た。撚り数として２４回転／ｍを採用した。該シリカガラスヤーンを経糸及び緯糸の織密度を６５本×６５本／２５ｍｍの条件で製織（平織）し、シリカガラスクロス（厚さ：０．０９５ｍｍ）を得た。

該シリカガラスクロスを６０ｍｍにカットしたガラスクロス光反射体（実施例１−１）及び該カットしたガラスクロス光反射体を所定枚数重ねて積層したガラスクロス光反射体（実施例１−２：２枚重ね、実施例１−３：３枚重ね、実施例１−４：４枚重ね、実施例１−５：５枚重ね）を作製した。

得られたガラスクロス光反射体に対して、波長範囲：３００〜２５００ｎｍにおける光の反射率を測定した。リファレンスのラブスフェア社製スペクトラロン（登録商標）標準反射板の反射率を１００％とし、アジレント社製Ｃａｒｙ５０００の積分球ユニットで測定を行った。結果を図９及び表１に示す。

図９及び表１に示した如く、シリカガラスクロスを３〜５枚積層してなる、実施例１−３〜実施例１−５のガラスクロス光反射体は、いずれも波長３００〜２５００ｎｍの光に対する反射率が７０％以上であり、特に、４及び５枚積層した実施例１−４及び実施例１−５のガラスクロス光反射体は、波長３００ｎｍ及び１２００ｎｍにおける光に対する反射率が８０％以上であり、極めて反射効率が優れていた。

前記得られたシリカガラスクロスを用いたガラスクロス光反射体に対して、下記評価１）〜５）を行った。評価１）及び３）では実施例１−５と同様、シリカガラスクロスを５枚重ねた状態のガラスクロス光反射体に対して評価し、評価２）、４）及び５）ではシリカガラス管の外層にシリカガラスクロスを５枚重ねて巻いた状態のガラスクロス光反射体に対して評価した。結果を表２に示す。

評価１）反射特性
波長３００ｎｍ及び１２００ｎｍにおける光に対する反射率について評価した。
反射率が８０％以上を○、８０％未満を×として評価した。

評価２）クッション保護性
２ｍ上段よりパチンコ玉を落下させシリカガラス管にヒビが発生するかどうかを評価した。
ヒビ発生無を○、ヒビ発生有を×として評価した。

評価３）フレキシブル性
柔軟性の有無について評価した。

評価４）保温効果性
シリカガラス管内の温度変化（開始時１０００℃）を測定することで保温効果を評価した。保温効果有を○、保温効果無を×として評価した。

評価５）再利用の可否
シリカガラス管が破損した場合の再利用の可否について評価した。

（比較例１）
特許文献１の実施例１記載の方法により、シリカガラス管の外層にシリカガラス膜を被覆し、シリカガラス被覆体を得た。得られたシリカガラス被覆体に対し、実施例１と同様の方法により、評価１）〜５）を行った。結果を表２に示す。

表２に示した如く、実施例１のガラスクロス光反射体は、反射特性が極めて優れており、クッション保護性及び保温効果性も良好であった。また、実施例１のガラスクロス光反射体は布状態であり、フレキシブル性が高かった。さらに、シリカガラス管に密着コーティングされている比較例１のシリカガラス被覆体と比較して、実施例１のガラスクロス光反射体はシリカガラス管と離して扱うことが出来る為、片方が破損した場合にも再利用が容易である。

（実施例２）
平均フィラメント径９．９μｍのシリカガラスフィラメントを２００本束ねたシリカガラスストランドを、撚糸機を用いて撚り数として１８０回転（Ｚ撚り）／ｍにて撚糸後、更に２本を併せて１５２回転（Ｓ撚り）／ｍにて合撚糸を実施してシリカガラスヤーンを得た。該シリカガラスヤーンを経糸及び緯糸の織密度を５６本×５３本／２５ｍｍの条件で製織（朱子織）し、シリカガラスクロス（厚さ：０．２４ｍｍ）を得た。

該シリカガラスクロスを６０ｍｍにカットしたガラスクロス光反射体（実施例２−１）及び該カットしたガラスクロス光反射体を所定枚数重ねて積層したガラスクロス光反射体（実施例２−２：２枚重ね、実施例２−３：３枚重ね、実施例２−４：４枚重ね、実施例２−５：５枚重ね）を作製した。

得られたガラスクロス光反射体に対して、実施例１と同様の方法により光の反射率を測定した。結果を図１０及び表３に示す。

図１０及び表３に示した如く、シリカガラスクロスを２〜５枚積層してなる、実施例２−３〜実施例２−５のガラスクロス光反射体は、いずれも波長３００〜２５００ｎｍの光に対する反射率が８０％以上であり、極めて反射効率が優れていた。

（実施例３）
平均フィラメント径９．９μｍのシリカガラスフィラメントを２００本束ねたシリカガラスストランドを、撚糸機を用いて撚糸し、シリカガラスヤーンを得た。撚り数として４０回転／ｍを採用した。該シリカガラスヤーンを経糸及び緯糸の織密度で６０本×５８本／２５ｍｍで製織（朱子織）し、シリカガラスクロス（厚さ：０．１３ｍｍ）を得た。

該シリカガラスクロスを６０ｍｍにカットしたガラスクロス光反射体（実施例３−１）及び該カットしたガラスクロス光反射体を所定枚数重ねて積層したガラスクロス光反射体（実施例３−２：２枚重ね、実施例３−３：３枚重ね、実施例３−４：４枚重ね、実施例３−５：５枚重ね）を作製した。

得られたガラスクロス光反射体に対して、実施例１と同様の方法により光の反射率を測定した。結果を図１１及び表４に示す。

図１１及び表４に示した如く、シリカガラスクロスを２〜５枚積層してなる、実施例３−２〜実施例３−５のガラスクロス光反射体は、いずれも波長３００〜２５００ｎｍの光に対する反射率が７０％以上であり、特に、４及び５枚積層した実施例３−４〜実施例３−５のガラスクロス光反射体は、波長３００ｎｍ及び１２００ｎｍにおける光に対する反射率が８０％以上であり、極めて反射効率が優れていた。

（実施例４）
平均フィラメント径７．０μｍのＥガラスフィラメントを２００本束ねたガラスストランドを、撚糸機を用いて撚糸し、ガラスヤーンを得た。撚り数として４０回転／ｍを採用した。該ガラスヤーンを経糸及び緯糸の織密度で６０本×５８本／２５ｍｍで製織（朱子織）し、Ｅガラス製のガラスクロス（厚さ：０．０９０ｍｍ）を得た。

該ガラスクロスを６０ｍｍにカットしたガラスクロス光反射体（実施例４−１）及び該カットしたガラスクロス光反射体を所定枚数重ねて積層したガラスクロス光反射体（実施例４−２：２枚重ね、実施例４−３：３枚重ね、実施例４−４：４枚重ね、実施例４−５：５枚重ね）を作製した。

得られたガラスクロス光反射体に対して、実施例１と同様の方法により光の反射率を測定した。結果を図１２及び表５に示す。

図１２及び表５に示した如く、ガラスクロスを３〜５枚積層してなる、実施例４−３〜実施例４−５のガラスクロス光反射体は、いずれも波長４００〜２５００ｎｍの光に対する反射率は７０％以上と良好であったが、シリカガラスクロスを用いた実施例１〜３とは異なり、波長３００ｎｍにおける光反射率が低かった。

（比較例２）
平均粒径が１．５μｍの合成シリカガラス粒子を、１％のメチルセルロースを含む水溶液に分散させ、固形分濃度が７５％のスラリーとした。該スラリーを用いて、６０ｍｍ角の天然石英ガラス板の表面に塗布膜を形成した後、加熱処理し、シリカガラス膜で被覆されたシリカガラス被覆体（膜厚：比較例２−１：１０７μｍ、比較例２−２：１５９μｍ）を得た。得られたシリカガラス被覆体に対して、実施例１と同様の方法により光の反射率を測定した。結果を図１３及び表６に示す。

１０，４０，５０：本発明のガラスクロス光反射体、１２：ガラスヤーン、１４：ガラスストランド、１６：ガラスフィラメント、１８：ガラスクロス、２０：入射光、２２：反射光、３０：ガラス糸、３２：ループ織り、４２：シリカガラスランプ管、４４：芯材、５２：シリカガラスウール。

Claims

Ｅガラス、Ｓガラス、Ｔガラス、ＵＴガラス、Ｄガラス、Ｌガラス、ＮＥガラス及びシリカガラスからなる群から選択される１種以上のガラスフィラメントを複数本束ね、撚糸したガラスヤーンを製織されてなるガラスクロスからなるガラスクロス光反射体。
前記ガラスクロスのヤーンにより光反射されることで、波長４００ｎｍ〜２０００ｎｍにおける光に対する反射率が７０％以上である、請求項１記載のガラスクロス光反射体。
前記ガラスフィラメントがシリカガラスからなるシリカガラスフィラメントであって、
前記光反射体は、該シリカガラスフィラメントを複数本束ね、撚糸したシリカガラスヤーンを製織されてなるシリカガラスクロスからなるシリカガラスクロス光反射体であり、
該シリカガラスクロスのヤーンにより光反射されることで、波長３００ｎｍ〜２０００ｎｍにおける光に対する反射率が７０％以上である、請求項１記載のガラスクロス光反射体。
前記ガラスクロスが積層されてなる、請求項１〜３のいずれか１項に記載の光反射体。
紫外線ランプ、または半導体製造装置に用いられる、請求項１〜４のいずれか１項に記載の光反射体。