JP2019009195A - Printed wiring board, prepreg, laminate, and semiconductor package - Google Patents

Abstract

To provide a printed wiring board excellent in metal foil adhesion and heat resistance.SOLUTION: In a printed wiring board having a cured product of a prepreg containing a thermosetting resin composition, a wiring circuit portion provided on the cured product of the prepreg, the thermosetting resin composition includes an amino-modified siloxane compound (A) having an amine equivalent of 1,000 g/eq or less and an amino group at both terminals and a maleimide compound (B) having at least two N-substituted maleimide groups in one molecule, and includes a modified imide resin (X) containing a structural unit derived from the component (A) and a structural unit derived from the component (B).SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、プリント配線板、プリプレグ、積層体及び半導体パッケージに関する。   The present invention relates to a printed wiring board, a prepreg, a laminate, and a semiconductor package.

電子機器の小型化及び高性能化に伴い、その中に搭載されるプリント配線板の、高多層化、薄型化及び高密度化が進んでいる。さらに、携帯電話、モバイルコンピュータ等の携帯情報端末機器に搭載されるプリント配線板には、マイクロプロセッシングユニット（Micro Processing Unit：ＭＰＵ）をプリント配線板上に直接搭載するプラスチックパッケージ及び各種モジュール用のプリント配線板をはじめとして、大容量の情報を高速に処理することが求められている。そのためプリント配線板には、信号処理の高速化、低伝送損失化及び更なるダウンサイジングが必要となってきており、これまで以上の微細配線化が要求されている。   Along with miniaturization and high performance of electronic devices, printed wiring boards mounted therein are becoming increasingly multi-layered, thin and dense. Furthermore, for printed wiring boards mounted on portable information terminal devices such as mobile phones and mobile computers, a plastic package in which a micro processing unit (MPU) is directly mounted on the printed wiring board and printed for various modules. There is a demand for processing high-capacity information at high speed, including wiring boards. For this reason, it is necessary to increase the signal processing speed, reduce the transmission loss, and further downsizing the printed wiring board, and there is a demand for finer wiring than ever before.

プリント配線板用の積層板としては、絶縁性、耐熱性、コスト等のバランスに優れるエポキシ樹脂を主剤とする樹脂組成物をガラスクロスに含浸したプリプレグを硬化及び成形したものが一般的に用いられてきたが、近年の高密度実装、高多層化構成に伴う耐熱性向上への要請に対応するため、エポキシ樹脂に代えて、ポリビスマレイミド樹脂が広く使用されつつある。
さらに、近年、半導体用パッケージ基板では、小型化及び薄型化に伴い、部品実装時及びパッケージ組み立て時において、チップと基板との熱膨張係数の差に起因した反りが大きな課題となっている。そのため、プリプレグ等の配線板材料に、シリカ等の無機充填材を高充填化する方法によって低熱膨張化を図っている（特許文献１参照）。 As a laminated board for a printed wiring board, a cured and molded prepreg in which a glass cloth is impregnated with a resin composition mainly composed of an epoxy resin having a good balance of insulation, heat resistance, cost and the like is generally used. However, polybismaleimide resin has been widely used in place of epoxy resin in order to meet the demand for improvement in heat resistance accompanying the recent high-density mounting and high-layered structure.
Further, in recent years, with the reduction in size and thickness of semiconductor package substrates, warping due to the difference in thermal expansion coefficient between the chip and the substrate has become a major issue during component mounting and package assembly. Therefore, low thermal expansion is achieved by a method of highly filling an inorganic filler such as silica into a wiring board material such as a prepreg (see Patent Document 1).

特許第２７４０９９０号公報Japanese Patent No. 2740990

ところで、近年の高密度実装及び高多層化構成の要望に対応するため、積層板及びプリント配線板のパターン加工においては、プリプレグの硬化物からなる絶縁層と、該絶縁層上に形成される配線回路部との接着強度（以下、「金属箔接着性」ともいう）をより向上させることが求められている。また、金属箔接着性に加えて、ハンドリング性、加工性、耐熱性等をより優れたものとする観点から、２枚以上のプリプレグを積層及び硬化してなる積層板における、プリプレグの硬化物同士の接着強度（以下、「絶縁層間接着性」ともいう）も、更なる向上が求められている。
前記ポリビスマレイミド樹脂は、耐熱性に優れているものの、金属箔接着性に劣る問題がある。また、ポリビスマレイミド樹脂を含有するプリプレグを複数枚積層及び硬化してなる積層板は、絶縁層間接着性が劣ることに起因して、はんだ耐熱性が低下する場合があった。さらには、無機充填材の高充填化によって、金属箔接着性及び絶縁層間接着性は、より低下する傾向にあるため、ポリビスマレイミド樹脂を使用する場合において、金属箔接着性と耐熱性とをより高度に両立させることを求められている。 By the way, in order to meet the recent demand for high-density mounting and multi-layered configuration, in pattern processing of laminated boards and printed wiring boards, an insulating layer made of a cured prepreg and wiring formed on the insulating layer It is required to further improve the adhesive strength with the circuit portion (hereinafter also referred to as “metal foil adhesion”). Moreover, in addition to metal foil adhesiveness, from the viewpoint of improving handling properties, workability, heat resistance, etc., cured products of prepregs in a laminate obtained by laminating and curing two or more prepregs Further improvement in the adhesive strength (hereinafter also referred to as “insulating interlayer adhesion”) is demanded.
Although the polybismaleimide resin is excellent in heat resistance, it has a problem of poor metal foil adhesion. Moreover, the laminated board formed by laminating and curing a plurality of prepregs containing a polybismaleimide resin may have poor solder heat resistance due to poor insulating interlayer adhesion. Furthermore, since the metal foil adhesion and the insulating interlayer adhesion tend to be lowered due to the high filling of the inorganic filler, when using a polybismaleimide resin, the metal foil adhesion and the heat resistance are reduced. There is a need for a higher degree of compatibility.

本発明は、こうした現状に鑑み、金属箔接着性及び耐熱性に優れるプリント配線板、金属箔接着性及び耐熱性に優れる２枚以上重ねて用いるためのプリプレグ、これを用いた積層体、プリント配線板及び半導体パッケージを提供することを課題とする。   In view of the present situation, the present invention is a printed wiring board excellent in metal foil adhesion and heat resistance, a prepreg for use in a stack of two or more excellent in metal foil adhesion and heat resistance, a laminate using the same, and a printed wiring It is an object to provide a plate and a semiconductor package.

本発明者等は、上記の課題に基づき鋭意研究を重ねた結果、以下の本願発明により、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は以下の［１］〜［１２］に関する。
［１］熱硬化性樹脂組成物を含有するプリプレグの硬化物と、前記プリプレグの硬化物上に設けられた配線回路部と、を備えるプリント配線板であって、前記熱硬化性樹脂組成物が、
アミン当量が１，０００ｇ／ｅｑ以下であり、両末端にアミノ基を有するアミノ変性シロキサン化合物（Ａ）と、１分子中に少なくとも２個のＮ−置換マレイミド基を有するマレイミド化合物（Ｂ）と、を含有するもの、又は
前記（Ａ）成分由来の構造単位と、前記（Ｂ）成分由来の構造単位と、を含有する変性イミド樹脂（Ｘ）、を含有するものである、プリント配線板。
［２］前記熱硬化性樹脂組成物が、さらに、熱可塑性エラストマー（Ｃ）を含有する、上記［１］に記載のプリント配線板。
［３］前記熱硬化性樹脂組成物が、さらに、エポキシ樹脂及びシアネート樹脂からなる群から選ばれる１種以上の熱硬化性樹脂（Ｄ）を含有する、上記［１］又は［２］に記載のプリント配線板。
［４］前記熱硬化性樹脂組成物が、さらに、無機充填材（Ｅ）を含有する、上記［１］〜［３］のいずれかに記載のプリント配線板。
［５］上記［１］〜［４］のプリント配線板に半導体素子を搭載してなる半導体パッケージ。
［６］熱硬化性樹脂組成物を含有するプリプレグであって、
前記熱硬化性樹脂組成物が、アミン当量が１，０００ｇ／ｅｑ以下であり、両末端にアミノ基を有するアミノ変性シロキサン化合物（Ａ）と、１分子中に少なくとも２個のＮ−置換マレイミド基を有するマレイミド化合物（Ｂ）と、を含有するもの、又は
前記（Ａ）成分由来の構造単位と、前記（Ｂ）成分由来の構造単位と、を含有するシロキサン化合物（Ｘ）を含有するものである、２枚以上重ねて用いるためのプリプレグ。
［７］前記熱硬化性樹脂組成物が、さらに、熱可塑性エラストマー（Ｃ）を含有する、上記［６］に記載の、２枚以上重ねて用いるためのプリプレグ。
［８］前記熱硬化性樹脂組成物が、さらに、エポキシ樹脂及びシアネート樹脂からなる群から選ばれる１種以上の熱硬化性樹脂（Ｄ）を含有する、上記［６］又は［７］に記載の２枚以上重ねて用いるためのプリプレグ。
［９］前記熱硬化性樹脂組成物が、さらに、無機充填材（Ｅ）を含有する、上記［６］〜［８］のいずれかに記載の２枚以上重ねて用いるためのプリプレグ。
［１０］上記［６］〜［９］のいずれかに記載のプリプレグが、２枚以上重ねた状態で熱硬化されてなる積層体。
［１１］上記［１０］の積層体を含有してなる、プリント配線板。
［１２］上記［１１］のプリント配線板に半導体素子を搭載してなる半導体パッケージ。 As a result of intensive studies based on the above problems, the present inventors have found that the following problems can be solved by the present invention, and have completed the present invention.
That is, the present invention relates to the following [1] to [12].
[1] A printed wiring board comprising a cured product of a prepreg containing a thermosetting resin composition and a wiring circuit unit provided on the cured product of the prepreg, wherein the thermosetting resin composition is ,
An amino-modified siloxane compound (A) having an amine equivalent of 1,000 g / eq or less, having amino groups at both ends, and a maleimide compound (B) having at least two N-substituted maleimide groups in one molecule; Or a modified imide resin (X) containing a structural unit derived from the component (A) and a structural unit derived from the component (B). A printed wiring board.
[2] The printed wiring board according to [1], wherein the thermosetting resin composition further contains a thermoplastic elastomer (C).
[3] The above-mentioned [1] or [2], wherein the thermosetting resin composition further contains one or more thermosetting resins (D) selected from the group consisting of epoxy resins and cyanate resins. Printed wiring board.
[4] The printed wiring board according to any one of [1] to [3], wherein the thermosetting resin composition further contains an inorganic filler (E).
[5] A semiconductor package in which a semiconductor element is mounted on the printed wiring board according to the above [1] to [4].
[6] A prepreg containing a thermosetting resin composition,
The thermosetting resin composition has an amine equivalent of 1,000 g / eq or less, an amino-modified siloxane compound (A) having an amino group at both ends, and at least two N-substituted maleimide groups in one molecule. Or a siloxane compound (X) containing a structural unit derived from the component (A) and a structural unit derived from the component (B). A prepreg for use by stacking two or more sheets.
[7] The prepreg for use by stacking two or more sheets according to the above [6], wherein the thermosetting resin composition further contains a thermoplastic elastomer (C).
[8] The above-mentioned [6] or [7], wherein the thermosetting resin composition further contains one or more thermosetting resins (D) selected from the group consisting of epoxy resins and cyanate resins. A prepreg for use by stacking two or more sheets.
[9] The prepreg for use by stacking two or more sheets according to any one of the above [6] to [8], wherein the thermosetting resin composition further contains an inorganic filler (E).
[10] A laminate obtained by thermosetting two or more prepregs according to any one of [6] to [9] above.
[11] A printed wiring board comprising the laminate according to [10].
[12] A semiconductor package in which a semiconductor element is mounted on the printed wiring board according to [11].

本発明によると、金属箔接着性及び耐熱性に優れるプリント配線板、金属箔接着性及び耐熱性に優れる２枚以上重ねて用いるためのプリプレグ、これを用いた積層体、プリント配線板及び半導体パッケージを提供することができる。   According to the present invention, a printed wiring board having excellent metal foil adhesion and heat resistance, a prepreg for use by stacking two or more sheets having excellent metal foil adhesion and heat resistance, a laminate using the same, a printed wiring board, and a semiconductor package Can be provided.

［プリント配線板］
本発明のプリント配線板は、熱硬化性樹脂組成物を含有するプリプレグの硬化物と、前記プリプレグの硬化物上に設けられた配線回路部と、を備えるプリント配線板であって、
前記熱硬化性樹脂組成物が、アミン当量が１，０００ｇ／ｅｑ以下であり、両末端にアミノ基を有するアミノ変性シロキサン化合物（Ａ）（以下、単に「アミノ変性シロキサン化合物（Ａ）」又は「（Ａ）成分」ともいう）と、１分子中に少なくとも２個のＮ−置換マレイミド基を有するマレイミド化合物（Ｂ）（以下、単に「マレイミド化合物（Ｂ）」又は「（Ｂ）成分」ともいう）と、を含有するもの、又は
前記（Ａ）成分由来の構造単位と、前記（Ｂ）成分由来の構造単位と、を含有する変性イミド樹脂（Ｘ）（以下、単に「変性イミド樹脂（Ｘ）」又は「（Ｘ）成分」ともいう）、を含有するものである、プリント配線板である。
なお、以下、上記のプリント配線板を「プリント配線板（１）」と表記し、後述する「２枚以上重ねて用いるためのプリプレグ」を用いて得られるプリント配線板を「プリント配線板（２）」と表記する。同様にして、プリント配線板（１）に用いられるプリプレグ、積層体、及びプリント配線板（１）から得られる半導体パッケージを、各々、「プリプレグ（１）」、「積層体（１）」、「半導体パッケージ（１）」と称し、プリント配線板（２）に用いられるプリプレグ、積層体、及びプリント配線板（２）から得られる半導体パッケージを、各々、「プリプレグ（２）」、「積層体（２）」、「半導体パッケージ（２）」と称する。 [Printed wiring board]
The printed wiring board of the present invention is a printed wiring board comprising a cured product of a prepreg containing a thermosetting resin composition, and a wiring circuit unit provided on the cured product of the prepreg,
The thermosetting resin composition has an amine equivalent of 1,000 g / eq or less and an amino-modified siloxane compound (A) having amino groups at both ends (hereinafter simply referred to as “amino-modified siloxane compound (A)” or “ (Also referred to as “component (A)”) and maleimide compound (B) having at least two N-substituted maleimide groups in one molecule (hereinafter also referred to simply as “maleimide compound (B)” or “component (B)”). Or a modified imide resin (X) containing a structural unit derived from the component (A) and a structural unit derived from the component (B) (hereinafter simply referred to as “modified imide resin (X ) ”Or“ (X) component ”), which is a printed wiring board.
Hereinafter, the above printed wiring board is referred to as “printed wiring board (1)”, and a printed wiring board obtained by using “prepreg for stacking two or more sheets” described later is referred to as “printed wiring board (2). ) ”. Similarly, a prepreg used for the printed wiring board (1), a laminate, and a semiconductor package obtained from the printed wiring board (1) are respectively referred to as “prepreg (1)”, “laminate (1)”, “ The prepreg used for the printed wiring board (2), the laminate, and the semiconductor package obtained from the printed wiring board (2) are referred to as the “prepreg (2)”, “laminated body ( 2) ”and“ semiconductor package (2) ”.

＜プリプレグ（１）＞
プリプレグ（１）は熱硬化性樹脂組成物を含有するものである。本発明に用いられる熱硬化性樹脂組成物は、上記の通り、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分を含有するもの、又は変性イミド樹脂（Ｘ）を含有するものであればよく、変性イミド樹脂（Ｘ）と、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分からなる群から選ばれる１種以上と、を含有するものであってもよい。
以下、プリプレグ（１）が含有する熱硬化性樹脂組成物が含有する各成分について説明する。 <Prepreg (1)>
The prepreg (1) contains a thermosetting resin composition. As described above, the thermosetting resin composition used in the present invention only needs to contain the component (A) and the component (B) or the modified imide resin (X). (X) and 1 or more types chosen from the group which consists of (A) component and (B) component may be contained.
Hereinafter, each component contained in the thermosetting resin composition contained in the prepreg (1) will be described.

（アミノ変性シロキサン化合物（Ａ））
（Ａ）成分は、アミン当量が１，０００ｇ／ｅｑ以下であり、両末端にアミノ基を有するアミノ変性シロキサン化合物である。
アミノ変性シロキサン化合物（Ａ）のアミン当量は、銅箔接着性及び耐熱性の観点から、１，０００ｇ／ｅｑ以下であり、５００〜１，０００ｇ／ｅｑがより好ましく、６００〜９５０ｇ／ｅｑがさらに好ましく、７００〜９３０ｇ／ｅｑが特に好ましい。
（Ａ）成分は、１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。 (Amino-modified siloxane compound (A))
The component (A) is an amino-modified siloxane compound having an amine equivalent of 1,000 g / eq or less and having amino groups at both ends.
The amine equivalent of the amino-modified siloxane compound (A) is 1,000 g / eq or less, more preferably 500 to 1,000 g / eq, more preferably 600 to 950 g / eq, from the viewpoint of copper foil adhesiveness and heat resistance. 700 to 930 g / eq is particularly preferable.
(A) A component may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.

（Ａ）成分が有するアミノ基は、１級アミノ基又は２級アミノ基が好ましく、１級アミノ基が好ましい。
（Ａ）成分は、１分子中に２個〜５個のアミノ基を有するシロキサン化合物が好ましく、１分子中に２個のアミノ基を有するシロキサン化合物がより好ましく、下記一般式（Ａ−１）で表される化合物がさらに好ましい。 The amino group contained in component (A) is preferably a primary amino group or a secondary amino group, and is preferably a primary amino group.
The component (A) is preferably a siloxane compound having 2 to 5 amino groups in one molecule, more preferably a siloxane compound having 2 amino groups in one molecule, and the following general formula (A-1) Is more preferable.

（式中、複数のＲ^ａ１は、各々独立に、アルキル基、フェニル基又は置換フェニル基を示すい。Ｒ^ａ２及びＲ^ａ３は、各々独立に有機基を示す。ｎは１〜１１の整数を示す。）
(In the formula, each of R ^a1 independently represents an alkyl group, a phenyl group or a substituted phenyl group. R ^a2 and R ^a3 each independently represents an organic group. N represents an integer of 1 to 11) Show.)

一般式（Ａ−１）中、Ｒ^ａ１で表されるアルキル基としては、炭素数１〜５のアルキル基が好ましく、炭素数１又は２のアルキル基がより好ましい。Ｒ^ａ１としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基等が挙げられ、これらの中でも、メチル基が好ましい。
Ｒ^ａ１で表される置換フェニル基の置換基としては、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基等が挙げられ、これらの中でも、アルキル基が好ましい。アルキル基としては、前記と同様のものが好ましく挙げられる。
Ｒ^ａ１で表される基の中でも、他の樹脂との溶解性の観点から、フェニル基又はメチル基が好ましく、メチル基がより好ましい。
Ｒ^ａ２又はＲ^ａ３で表される有機基としては、アルキレン基、アルケニレン基、アルキニレン基、アリーレン基、−Ｏ−又はこれらが組み合わされた連結基が挙げられる。これらの中でも、アルキレン基、アリーレン基が好ましい。アルキレン基としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基等が挙げられる。アルキレン基は、炭素数６〜１０のアリール基等の置換基を有していてもよい。アリーレン基としては、フェニレン基、ナフチレン基等が挙げられる。アリーレン基は、炭素数１〜５のアルキル基等の置換基を有していてもよい。 In general formula (A-1), the alkyl group represented by R ^a1 is preferably an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, and more preferably an alkyl group having 1 or 2 carbon atoms. Examples of R ^a1 include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, and a pentyl group. Among these, a methyl group is preferable.
Examples of the substituent of the substituted phenyl group represented by R ^a1 include an alkyl group, an alkenyl group, and an alkynyl group, and among these, an alkyl group is preferable. The alkyl group is preferably the same as described above.
Among the groups represented by R ^a1 , from the viewpoint of solubility with other resins, a phenyl group or a methyl group is preferable, and a methyl group is more preferable.
Examples of the organic group represented by R ^a2 or R ^a3 include an alkylene group, an alkenylene group, an alkynylene group, an arylene group, —O—, or a linking group in which these are combined. Among these, an alkylene group and an arylene group are preferable. Examples of the alkylene group include a methylene group, an ethylene group, and a propylene group. The alkylene group may have a substituent such as an aryl group having 6 to 10 carbon atoms. Examples of the arylene group include a phenylene group and a naphthylene group. The arylene group may have a substituent such as an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms.

アミノ変性シロキサン化合物（Ａ）としては、市販品を用いてもよい。市販品の（Ａ）成分としては、「ＸＦ４２−Ｃ５３７９」（アミン当量７４５ｇ／ｅｑ）、「ＸＦ４２−Ｃ６６０７」（アミン当量９１９ｇ／ｅｑ）（いずれも、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製、商品名）等が挙げられる。   A commercially available product may be used as the amino-modified siloxane compound (A). As (A) component of a commercial item, "XF42-C5379" (amine equivalent 745g / eq), "XF42-C6607" (amine equivalent 919g / eq) (all are the product names made by Momentive Performance Materials, Inc. ) And the like.

（マレイミド化合物（Ｂ））
マレイミド化合物（Ｂ）は、１分子中に少なくとも２個のＮ−置換マレイミド基を有するマレイミド化合物である。
マレイミド化合物（Ｂ）としては、高耐熱性、低比誘電率、高金属箔接着性、高ガラス転移温度、低熱膨張性、成形性及びめっき付き回り性の観点から、１分子中に２個〜５個のＮ−置換マレイミド基を有するマレイミド化合物が好ましく、１分子中に２個のＮ−置換マレイミド基を有するマレイミド化合物がより好ましい。
マレイミド化合物（Ｂ）は、１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。 (Maleimide compound (B))
The maleimide compound (B) is a maleimide compound having at least two N-substituted maleimide groups in one molecule.
As the maleimide compound (B), from the viewpoint of high heat resistance, low relative dielectric constant, high metal foil adhesiveness, high glass transition temperature, low thermal expansion, moldability, and plating revolving property, two or more per molecule Maleimide compounds having 5 N-substituted maleimide groups are preferred, and maleimide compounds having 2 N-substituted maleimide groups in one molecule are more preferred.
A maleimide compound (B) may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

マレイミド化合物（Ｂ）としては、複数のマレイミド基のうちの任意の２個のマレイミド基の間に脂肪族炭化水素基を有するマレイミド化合物（以下、「脂肪族炭化水素基含有マレイミド」ともいう）、複数のマレイミド基のうちの任意の２個のマレイミド基の間に芳香族炭化水素基を含有するマレイミド化合物（以下、「芳香族炭化水素基含有マレイミド」ともいう）等が挙げられる。これらの中でも、高耐熱性、低比誘電率、銅箔接着性、高ガラス転移温度、低熱膨張性、成形性及びめっき付き回り性の観点から、芳香族炭化水素基含有マレイミドが好ましく、下記一般式（Ｂ−１）〜（Ｂ−４）のいずれかで表される化合物がより好ましく、下記一般式（Ｂ−４）で表される化合物がさらに好ましい。   As the maleimide compound (B), a maleimide compound having an aliphatic hydrocarbon group between any two maleimide groups among a plurality of maleimide groups (hereinafter also referred to as “aliphatic hydrocarbon group-containing maleimide”), Examples thereof include a maleimide compound containing an aromatic hydrocarbon group between any two maleimide groups among a plurality of maleimide groups (hereinafter also referred to as “aromatic hydrocarbon group-containing maleimide”). Among these, an aromatic hydrocarbon group-containing maleimide is preferable from the viewpoints of high heat resistance, low relative dielectric constant, copper foil adhesion, high glass transition temperature, low thermal expansion, moldability, and plating rotation, and the following general A compound represented by any one of formulas (B-1) to (B-4) is more preferred, and a compound represented by the following general formula (B-4) is more preferred.

（式中、Ｒ^ｂ１〜Ｒ^ｂ３は、各々独立に、炭素数１〜５の脂肪族炭化水素基を示す。Ｘ^ｂ１は、炭素数１〜５のアルキレン基、炭素数２〜５のアルキリデン基、−Ｏ−、−Ｃ（＝Ｏ）−、−Ｓ−、−Ｓ−Ｓ−又はスルホニル基を示す。ｐ、ｑ及びｒは、各々独立に、０〜４の整数である。ｓは、０〜１０の整数である。）
(In the formula, R ^{b1 to} R ^b3 each independently represent an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms. X ^b1 represents an alkylene group having 1 to 5 carbon atoms or an alkylidene group having 2 to 5 carbon atoms. , -O-, -C (= O)-, -S-, -SS- or a sulfonyl group, p, q and r are each independently an integer of 0 to 4. s is It is an integer from 0 to 10.)

Ｒ^ｂ１〜Ｒ^ｂ３が示す炭素数１〜５の脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基等が挙げられる。 Examples of the aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms represented by R ^{b1 to} R ^b3 include methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, t-butyl group, n- A pentyl group etc. are mentioned.

Ｘ^ｂ１が示す炭素数１〜５のアルキレン基としては、メチレン基、１，２−ジメチレン基、１，３−トリメチレン基、１，４−テトラメチレン基、１，５−ペンタメチレン基等が挙げられる。
Ｘ^ｂ１が示す炭素数２〜５のアルキリデン基としては、エチリデン基、プロピリデン基、イソプロピリデン基、ブチリデン基、イソブチリデン基、ペンチリデン基、イソペンチリデン基等が挙げられる。 As the alkylene group having 1 to 5 carbon atoms which X ^b1 represents, methylene group, 1,2-dimethylene group, a 1,3-trimethylene group, 1,4-tetramethylene group, 1,5-pentamethylene group and the like It is done.
The alkylidene group having 2 to 5 carbon atoms which X ^b1 represents, ethylidene group, propylidene group, isopropylidene group, butylidene group, isobutylidene group, pentylidene group, isopentylidene group, and the like.

マレイミド化合物（Ｂ）としては、ビス（４−マレイミドフェニル）メタン、ポリフェニルメタンマレイミド、ビス（４−マレイミドフェニル）エーテル、ビス（４−マレイミドフェニル）スルホン、３，３’−ジメチル−５，５’−ジエチル−４，４’−ジフェニルメタンビスマレイミド、４−メチル−１，３−フェニレンビスマレイミド、ｍ−フェニレンビスマレイミド、２，２−ビス［４−（４−マレイミドフェノキシ）フェニル］プロパン等が挙げられる。これらの中でも、反応性が高く、より高耐熱性化できるという観点からは、ビス（４−マレイミドフェニル）メタン、ビス（４−マレイミドフェニル）スルホン、２，２−ビス［４−（４−マレイミドフェノキシ）フェニル］プロパンが好ましく、溶媒への溶解性の観点から、ビス（４−マレイミドフェニル）メタン、２，２−ビス［４−（４−マレイミドフェノキシ）フェニル］プロパンがより好ましい。   As the maleimide compound (B), bis (4-maleimidophenyl) methane, polyphenylmethanemaleimide, bis (4-maleimidophenyl) ether, bis (4-maleimidophenyl) sulfone, 3,3′-dimethyl-5,5 '-Diethyl-4,4'-diphenylmethane bismaleimide, 4-methyl-1,3-phenylene bismaleimide, m-phenylene bismaleimide, 2,2-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] propane, etc. Can be mentioned. Among these, from the viewpoint of high reactivity and higher heat resistance, bis (4-maleimidophenyl) methane, bis (4-maleimidophenyl) sulfone, 2,2-bis [4- (4-maleimide) Phenoxy) phenyl] propane is preferable, and bis (4-maleimidophenyl) methane and 2,2-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] propane are more preferable from the viewpoint of solubility in a solvent.

（変性イミド樹脂（Ｘ））
変性イミド樹脂（Ｘ）は、（Ａ）成分由来の構造単位と、（Ｂ）成分由来の構造単位と、を含有するものである。
（Ａ）成分由来の構造単位は、（Ａ）成分が有する両末端のアミノ基のうち、１個又は２個のアミノ基が、（Ｂ）成分のマレイミド基と付加反応してなる構造単位であることが好ましく、（Ｂ）成分由来の構造単位は、（Ｂ）成分が有する２個のＮ−置換マレイミド基のうち、１個又は２個以上のマレイミド基が、（Ａ）成分が有するアミノ基と付加反応してなる構造単位であることが好ましい。 (Modified imide resin (X))
The modified imide resin (X) contains a structural unit derived from the component (A) and a structural unit derived from the component (B).
The structural unit derived from the component (A) is a structural unit formed by addition reaction of one or two amino groups with the maleimide group of the component (B) among the amino groups at both ends of the component (A). It is preferable that the structural unit derived from the component (B) is an amino acid having one or more maleimide groups among the two N-substituted maleimide groups of the component (B). A structural unit obtained by addition reaction with a group is preferred.

変性イミド樹脂（Ｘ）は、（Ａ）成分と（Ｂ）成分とを反応（以下、該反応を「プレ反応」とも称する）させることにより得られる。
前記プレ反応は、有機溶媒中で加熱保温しながら（Ａ）成分と（Ｂ）成分とを反応させることが好ましい。プレ反応の反応温度は、７０〜１５０℃が好ましく、１００〜１３０℃がより好ましい。プレ反応の反応時間は、０．１〜１０時間が好ましく、１〜６時間がより好ましい。 The modified imide resin (X) is obtained by reacting the component (A) and the component (B) (hereinafter, this reaction is also referred to as “pre-reaction”).
In the pre-reaction, the component (A) and the component (B) are preferably reacted while being heated and kept in an organic solvent. 70-150 degreeC is preferable and, as for the reaction temperature of pre-reaction, 100-130 degreeC is more preferable. The reaction time for the pre-reaction is preferably 0.1 to 10 hours, and more preferably 1 to 6 hours.

前記プレ反応における、（Ｂ）成分のマレイミド基数〔（Ｂ）成分の使用量（ｇ）／（Ｂ）成分のマレイミド基の官能基当量（ｇ／ｅｑ）〕は、（Ａ）成分のアミノ基数〔（Ａ）成分の使用量（ｇ）／（Ａ）成分のアミノ基の官能基当量（ｇ／ｅｑ）〕の、２〜１５倍が好ましい。２倍以上であると、ゲル化が抑制されると共に耐熱性が良好となり、１５倍以下であると、有機溶媒への溶解性及び耐熱性が良好となる。
前記プレ反応におけるマレイミド化合物（Ｂ）の使用量は、上記のような関係を維持しつつ、（Ａ）成分１００質量部に対して、１０〜３，０００質量部が好ましく、３０〜１，５００質量部がより好ましく、４０〜３００質量部がさらに好ましい。（Ｂ）成分の使用量が１０質量部以上であると、良好な耐熱性が得られ、３，０００質量部以下であると、低熱膨張性を良好に保つことができる傾向にある。 In the pre-reaction, the number of maleimide groups in the component (B) [the amount of the component (B) used (g) / the functional group equivalent of the maleimide group in the component (g) / g)] is the number of amino groups in the component (A). [Amount of component (A) used (g) / functional group equivalent of amino group of component (A) (g / eq)] is preferably 2 to 15 times. When it is 2 times or more, gelation is suppressed and heat resistance is good, and when it is 15 times or less, solubility in an organic solvent and heat resistance are good.
The amount of the maleimide compound (B) used in the pre-reaction is preferably 10 to 3,000 parts by mass, and 30 to 1,500, with respect to 100 parts by mass of the component (A) while maintaining the above relationship. A mass part is more preferable and 40-300 mass parts is still more preferable. When the amount of the component (B) used is 10 parts by mass or more, good heat resistance is obtained, and when it is 3,000 parts by mass or less, low thermal expansion tends to be kept good.

前記プレ反応で使用される有機溶媒としては、エタノール、プロパノール、ブタノール、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のアルコール系溶媒；アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶媒；酢酸エチルエステル、γ−ブチロラクトン等のエステル系溶媒；テトラヒドロフラン等のエーテル系溶媒；トルエン、キシレン、メシチレン等の芳香族系溶媒；ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン等の窒素原子含有溶媒；ジメチルスルホキシド等の硫黄原子含有溶媒などが挙げられる。これらは１種類のみを用いても、２種類以上を混合して用いてもよい。これらの中でも、溶解性の観点からは、シクロヘキサノン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、メチルセロソルブ、γ−ブチロラクトンが好ましく、低毒性であること及び揮発性が高く残溶媒として残り難いという観点からは、シクロヘキサノン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジメチルアセトアミドが好ましい。
有機溶媒の使用量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総和１００質量部に対して、２５〜２，０００質量部が好ましく、４０〜１，０００質量部がより好ましく、４０〜５００質量部がさらに好ましい。有機溶媒の使用量が２５質量部以上であると、良好な溶解性が得られる傾向にあり、２，０００質量部以下であると、反応速度が優れる傾向にある。 Examples of the organic solvent used in the pre-reaction include alcohol solvents such as ethanol, propanol, butanol, methyl cellosolve, butyl cellosolve, and propylene glycol monomethyl ether; ketone solvents such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, and cyclohexanone; ethyl acetate Ester solvents such as esters and γ-butyrolactone; ether solvents such as tetrahydrofuran; aromatic solvents such as toluene, xylene and mesitylene; nitrogen atom-containing solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide and N-methylpyrrolidone; dimethyl sulfoxide and the like And a sulfur atom-containing solvent. These may be used alone or in combination of two or more. Among these, from the viewpoint of solubility, cyclohexanone, propylene glycol monomethyl ether, methyl cellosolve, and γ-butyrolactone are preferable, and from the viewpoint of low toxicity and high volatility and hardly remain as a residual solvent, cyclohexanone, propylene Glycol monomethyl ether and dimethylacetamide are preferred.
The amount of the organic solvent used is preferably 25 to 2,000 parts by mass, more preferably 40 to 1,000 parts by mass, and 40 to 500 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the sum of the components (A) and (B). Part is more preferred. When the amount of the organic solvent used is 25 parts by mass or more, good solubility tends to be obtained, and when it is 2,000 parts by mass or less, the reaction rate tends to be excellent.

前記プレ反応には任意に反応触媒を使用することができる。反応触媒としては、トリエチルアミン、ピリジン、トリブチルアミン等のアミン類；メチルイミダゾール、フェニルイミダゾール等のイミダゾール類；トリフェニルホスフィン等のリン系触媒；リチウムアミド、ナトリウムアミド、カリウムアミド等のアルカリ金属アミドなどが挙げられる。   A reaction catalyst can be optionally used for the pre-reaction. Examples of the reaction catalyst include amines such as triethylamine, pyridine, and tributylamine; imidazoles such as methylimidazole and phenylimidazole; phosphorus-based catalysts such as triphenylphosphine; alkali metal amides such as lithium amide, sodium amide, and potassium amide. Can be mentioned.

（（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｘ）成分の含有量）
熱硬化性樹脂組成物は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分を含有し、（Ｘ）成分を含有しない場合（以下、「態様１」ともいう）、（Ｘ）成分を含有し、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分を含有しない場合（以下、「態様２」ともいう）、（Ｘ）成分と、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分からなる群から選ばれる１種以上と、を含有する場合（以下、「態様３」）がある。以下、態様１〜３における各成分の好適含有量について説明する。 (Contents of (A) component, (B) component and (X) component)
When the thermosetting resin composition contains the component (A) and the component (B) and does not contain the component (X) (hereinafter, also referred to as “embodiment 1”), the component (X) contains (A) In the case where the component (B) is not contained (hereinafter also referred to as “aspect 2”), the component (X) and one or more selected from the group consisting of the component (A) and the component (B) are contained. (Hereinafter, “Aspect 3”). Hereinafter, the preferable content of each component in Embodiments 1 to 3 will be described.

≪態様１≫
前記態様１の場合、熱硬化性樹脂組成物中における、アミノ変性シロキサン化合物（Ａ）の含有量は、低硬化収縮性、銅箔接着性、耐熱性及び耐薬品性の観点から、樹脂成分１００質量部に対して、１〜３０質量部が好ましく、５〜２０質量部がより好ましく、８〜１８質量部がさらに好ましい。
また、熱硬化性樹脂組成物中における、マレイミド化合物（Ｂ）の含有量は、低硬化収縮性、銅箔接着性、耐熱性及び耐薬品性の点から、樹脂成分１００質量部に対して、３０〜９９質量部が好ましく、４０〜９０質量部がより好ましく、５０〜８５質量部がさらに好ましい。
≪態様２≫
前記態様２の場合、低硬化収縮性、銅箔接着性、耐熱性及び耐薬品性の観点から、熱硬化性樹脂組成物中における、変性イミド樹脂（Ｘ）の含有量は、熱硬化性樹脂組成物の樹脂成分の総和１００質量部に対して、５０〜１００質量部が好ましく、６０〜９５質量部がより好ましく、７０〜９０質量部がさらに好ましい。変性イミド樹脂（Ｘ）の含有量が５０質量部以上であると、銅箔接着性、耐熱性及び低熱膨張性に優れる傾向にある。
≪態様３≫
前記態様３の場合、低硬化収縮性、銅箔接着性、耐熱性及び耐薬品性の観点から、熱硬化性樹脂組成物中における、（Ａ）成分由来の構造単位の含有量と、（Ａ）成分の含有量との合計含有量が、前記態様１における（Ａ）成分の含有量となることが好ましく、熱硬化性樹脂組成物中における、（Ｂ）成分由来の構造単位の含有量と、（Ｂ）成分の含有量との合計含有量が、前記態様１における（Ｂ）成分の含有量となることが好ましい。 << Aspect 1 >>
In the case of the said aspect 1, content of an amino modified siloxane compound (A) in a thermosetting resin composition is resin component 100 from a viewpoint of low cure shrinkage, copper foil adhesiveness, heat resistance, and chemical resistance. 1-30 mass parts is preferable with respect to a mass part, 5-20 mass parts is more preferable, and 8-18 mass parts is still more preferable.
In addition, the content of the maleimide compound (B) in the thermosetting resin composition is based on 100 parts by mass of the resin component from the viewpoint of low curing shrinkage, copper foil adhesiveness, heat resistance, and chemical resistance. 30-99 mass parts is preferable, 40-90 mass parts is more preferable, and 50-85 mass parts is further more preferable.
<< Aspect 2 >>
In the case of the said aspect 2, content of modified imide resin (X) in a thermosetting resin composition is a thermosetting resin from a viewpoint of low cure shrinkage, copper foil adhesiveness, heat resistance, and chemical resistance. 50-100 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of sum total of the resin component of a composition, 60-95 mass parts is more preferable, and 70-90 mass parts is further more preferable. It exists in the tendency which is excellent in copper foil adhesiveness, heat resistance, and low thermal expansibility as content of modified imide resin (X) is 50 mass parts or more.
<< Aspect 3 >>
In the case of the said aspect 3, content of the structural unit derived from (A) component in a thermosetting resin composition from a viewpoint of low cure shrinkage, copper foil adhesiveness, heat resistance, and chemical resistance, and (A It is preferable that the total content with the component content is the content of the component (A) in the embodiment 1, and the content of the structural unit derived from the component (B) in the thermosetting resin composition The total content of the component (B) and the component (B) is preferably the content of the component (B) in the first aspect.

熱硬化性樹脂組成物は、単独で良好な熱硬化反応性を有するが、必要に応じて、硬化剤、ラジカル重合開始剤等を併用して、耐熱性、接着性、機械強度等を向上させることができる。
硬化剤としては、ジシアンジアミド、４，４’−ジアミノジフェニルメタン、４，４’−ジアミノ−３，３’−ジエチル−ジフェニルメタン、４，４’−ジアミノジフェニルスルホン、フェニレンジアミン、キシレンジアミン等の芳香族アミン類；ヘキサメチレンジアミン、２，５−ジメチルヘキサメチレンジアミン等の脂肪族アミン類；メラミン、ベンゾグアナミン等のグアナミン化合物類などが挙げられる。これらの中でも、反応性及び耐熱性の点から、芳香族アミン類が好ましい。
ラジカル重合開始剤としては、アシル過酸化物、ハイドロパーオキサイド、ケトン過酸化物、ｔ−ブチル基を有する有機過酸化物、クミル基を有する過酸化物等の有機過酸化物が挙げられる。 The thermosetting resin composition alone has good thermosetting reactivity, but improves the heat resistance, adhesiveness, mechanical strength, etc., if necessary, in combination with a curing agent, radical polymerization initiator, etc. be able to.
Curing agents include aromatic amines such as dicyandiamide, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diamino-3,3′-diethyl-diphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylsulfone, phenylenediamine, and xylenediamine. And aliphatic amines such as hexamethylenediamine and 2,5-dimethylhexamethylenediamine; and guanamine compounds such as melamine and benzoguanamine. Among these, aromatic amines are preferable from the viewpoint of reactivity and heat resistance.
Examples of the radical polymerization initiator include organic peroxides such as acyl peroxides, hydroperoxides, ketone peroxides, organic peroxides having a t-butyl group, and peroxides having a cumyl group.

（熱可塑性エラストマー（Ｃ））
熱硬化性樹脂組成物は、さらに、熱可塑性エラストマー（Ｃ）（以下、「（Ｃ）成分」ともいう）を含有することが好ましい。
（Ｃ）成分としては、スチレン系エラストマー、オレフィン系エラストマー、ウレタン系エラストマー、ポリエステル系エラストマー、ポリアミド系エラストマー、アクリル系エラストマー、シリコーン系エラストマー、これらの誘導体等が挙げられる。これらは、通常、ハードセグメント成分とソフトセグメント成分とを有し、一般に前者が耐熱性及び強度に寄与し、後者が柔軟性及び強靭性に寄与している。これらの中でも、耐熱性及び絶縁信頼性の観点から、スチレン系エラストマー、オレフィン系エラストマー、ポリアミド系エラストマー、シリコーン系エラストマーが好ましく、誘電特性の観点から、スチレン系エラストマー、オレフィン系エラストマーがより好ましい。
（Ｃ）成分は、１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。 (Thermoplastic elastomer (C))
The thermosetting resin composition preferably further contains a thermoplastic elastomer (C) (hereinafter also referred to as “component (C)”).
Examples of the component (C) include styrene elastomers, olefin elastomers, urethane elastomers, polyester elastomers, polyamide elastomers, acrylic elastomers, silicone elastomers, and derivatives thereof. These usually have a hard segment component and a soft segment component, and the former generally contributes to heat resistance and strength, and the latter contributes to flexibility and toughness. Among these, styrene elastomers, olefin elastomers, polyamide elastomers, and silicone elastomers are preferable from the viewpoints of heat resistance and insulation reliability, and styrene elastomers and olefin elastomers are more preferable from the viewpoint of dielectric characteristics.
(C) A component may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.

熱可塑性エラストマー（Ｃ）としては、分子末端又は分子鎖中に反応性官能基を有するものを用いることができる。反応性官能基としては、エポキシ基、水酸基、カルボキシ基、アミノ基、アミド基、イソシアナト基、アクリル基、メタクリル基、ビニル基が好ましく、銅箔接着性の観点から、エポキシ基、水酸基、カルボキシ基、アミノ基、アミド基がより好ましく、耐熱性及び絶縁信頼性の観点から、エポキシ基、水酸基、アミノ基がさらに好ましい。これらの反応性官能基を分子末端又は分子鎖中に有することにより、樹脂への相溶性が向上し、熱硬化性樹脂組成物の硬化時に発生する内部応力をより効果的に低減することができ、結果として、基板の反りを顕著に低減することが可能となる。   As the thermoplastic elastomer (C), those having a reactive functional group at the molecular terminal or molecular chain can be used. The reactive functional group is preferably an epoxy group, a hydroxyl group, a carboxy group, an amino group, an amide group, an isocyanato group, an acrylic group, a methacryl group, or a vinyl group. From the viewpoint of copper foil adhesion, an epoxy group, a hydroxyl group, or a carboxy group An amino group and an amide group are more preferable, and an epoxy group, a hydroxyl group, and an amino group are more preferable from the viewpoints of heat resistance and insulation reliability. By having these reactive functional groups in the molecular terminals or molecular chains, compatibility with the resin is improved, and internal stress generated during curing of the thermosetting resin composition can be more effectively reduced. As a result, it is possible to significantly reduce the warpage of the substrate.

熱硬化性樹脂組成物が熱可塑性エラストマー（Ｃ）を含有する場合、その含有量は、樹脂の相溶性に優れ、硬化物の低硬化収縮性、低熱膨張性、優れた誘電特性を効果的に発現できるという観点から、樹脂成分の総和１００質量部に対して、０．１〜５０質量部が好ましく、２〜３０質量部がより好ましく、３〜１０質量部がさらに好ましい。   When the thermosetting resin composition contains a thermoplastic elastomer (C), its content is excellent in resin compatibility, and effectively exhibits low curing shrinkage, low thermal expansion, and excellent dielectric properties of the cured product. From the viewpoint that it can be expressed, 0.1 to 50 parts by mass is preferable, 2 to 30 parts by mass is more preferable, and 3 to 10 parts by mass is more preferable with respect to 100 parts by mass of the total resin components.

（熱硬化性樹脂（Ｄ））
熱硬化性樹脂組成物は、さらに、エポキシ樹脂及びシアネート樹脂からなる群から選ばれる１種以上の熱硬化性樹脂（Ｄ）を含有していてもよい。
エポキシ樹脂としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、α−ナフトール／クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦノボラック型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、トリアジン骨格含有エポキシ樹脂、フルオレン骨格含有エポキシ樹脂、トリフェノールフェノールメタン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、キシリレン型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、多官能フェノール類及びアントラセン等の多環芳香族類のジグリシジルエーテル化合物、並びにこれらにリン化合物を導入したリン含有エポキシ樹脂などが挙げられる。これらは１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。これらの中でも、耐熱性及び難燃性の観点から、ノボラック型エポキシ樹脂が好ましく、α−ナフトール／クレゾールノボラック型エポキシ樹脂がより好ましい。 (Thermosetting resin (D))
The thermosetting resin composition may further contain one or more thermosetting resins (D) selected from the group consisting of epoxy resins and cyanate resins.
Epoxy resins include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, α-naphthol / cresol novolac type epoxy resin, bisphenol A novolak type epoxy resin. Resin, bisphenol F novolac type epoxy resin, stilbene type epoxy resin, triazine skeleton containing epoxy resin, fluorene skeleton containing epoxy resin, triphenol phenol methane type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, xylylene type epoxy resin, biphenyl aralkyl type epoxy resin, Naphthalene type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, alicyclic epoxy resin, polyfunctional phenols and anthracene Diglycidyl ether compounds of polycyclic aromatics, as well as phosphorus-containing epoxy resin obtained by introducing a phosphorus compounds thereto. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together. Among these, from the viewpoints of heat resistance and flame retardancy, a novolak type epoxy resin is preferable, and an α-naphthol / cresol novolak type epoxy resin is more preferable.

シアネート樹脂としては、ノボラック型シアネート樹脂；ビスフェノールＡ型シアネート樹脂、ビスフェノールＥ型シアネート樹脂、テトラメチルビスフェノールＦ型シアネート樹脂等のビスフェノール型シアネート樹脂；並びにこれらが一部トリアジン化したプレポリマーなどが挙げられる。これらは１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。これらの中でも、耐熱性及び難燃性の観点から、ノボラック型シアネート樹脂が好ましい。   Examples of the cyanate resin include novolak-type cyanate resins; bisphenol-type cyanate resins such as bisphenol A-type cyanate resin, bisphenol E-type cyanate resin, and tetramethylbisphenol F-type cyanate resin; and prepolymers in which these are partially triazines. . These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together. Among these, a novolak-type cyanate resin is preferable from the viewpoint of heat resistance and flame retardancy.

熱硬化性樹脂組成物が熱硬化性樹脂（Ｄ）を含有する場合、必要に応じて、熱硬化性樹脂（Ｄ）の硬化剤を併用してもよい。硬化剤としては、フェノールノボラック、クレゾールノボラック、アミノトリアジンノボラック樹脂等の多官能フェノール化合物；ジシアンジアミド、ジアミノジフェニルメタン、ジアミノジフェニルスルホン等のアミン化合物；無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水マレイン酸、無水マレイン酸共重合体等の酸無水物などが挙げられる。これらは１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。   When a thermosetting resin composition contains a thermosetting resin (D), you may use together the hardening | curing agent of a thermosetting resin (D) as needed. Curing agents include polyfunctional phenolic compounds such as phenol novolac, cresol novolac, and aminotriazine novolak resins; amine compounds such as dicyandiamide, diaminodiphenylmethane, and diaminodiphenylsulfone; phthalic anhydride, pyromellitic anhydride, maleic anhydride, maleic anhydride Examples include acid anhydrides such as acid copolymers. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.

熱硬化性樹脂組成物が熱硬化性樹脂（Ｄ）を含有する場合、その含有量は、耐熱性及び耐薬品性の観点から、樹脂成分の総和１００質量部に対して、１〜５０質量部が好ましく、５〜３０質量部がより好ましく、７〜２０質量部がさらに好ましい。   When a thermosetting resin composition contains a thermosetting resin (D), the content is 1-50 mass parts with respect to 100 mass parts of sum total of a resin component from a heat resistant and chemical-resistant viewpoint. Is preferable, 5-30 mass parts is more preferable, and 7-20 mass parts is further more preferable.

（無機充填材（Ｅ））
熱硬化性樹脂組成物は、さらに、無機充填材（Ｅ）を含有することが好ましい。
無機充填材（Ｅ）としては、シリカ、アルミナ、タルク、マイカ、カオリン、水酸化アルミニウム、ベーマイト、水酸化マグネシウム、ホウ酸亜鉛、スズ酸亜鉛、酸化亜鉛、モリブデン酸亜鉛、酸化チタン、窒化ホウ素、炭酸カルシウム、硫酸バリウム、ホウ酸アルミニウム、チタン酸カリウム、ガラス粉、中空ガラスビーズ等が好ましく挙げられる。ガラス粉としては、Ｅガラス、Ｔガラス、Ｄガラス等が挙げられる。これらは１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。これらの中でも、誘電特性、耐熱性及び低熱膨張性の観点から、シリカが好ましい。
シリカとしては、湿式法で製造され含水率の高い沈降シリカと、乾式法で製造され結合水等をほとんど含まない乾式法シリカ等が挙げられる。乾式法シリカとしては、さらに、製造法の違いにより破砕シリカ、フュームドシリカ、溶融球状シリカ等に分類される。これらの中でも、低熱膨張性及び樹脂に充填した際の高流動性の観点から、溶融球状シリカが好ましい。 (Inorganic filler (E))
The thermosetting resin composition preferably further contains an inorganic filler (E).
Examples of the inorganic filler (E) include silica, alumina, talc, mica, kaolin, aluminum hydroxide, boehmite, magnesium hydroxide, zinc borate, zinc stannate, zinc oxide, zinc molybdate, titanium oxide, boron nitride, Preferred examples include calcium carbonate, barium sulfate, aluminum borate, potassium titanate, glass powder, and hollow glass beads. Examples of the glass powder include E glass, T glass, and D glass. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together. Among these, silica is preferable from the viewpoints of dielectric properties, heat resistance, and low thermal expansion.
Examples of the silica include precipitated silica produced by a wet method and having a high water content, and dry method silica produced by a dry method and containing almost no bound water. The dry silica is further classified into crushed silica, fumed silica, fused spherical silica and the like depending on the production method. Among these, fused spherical silica is preferable from the viewpoint of low thermal expansion and high fluidity when filled in a resin.

無機充填材（Ｅ）の平均粒子径は、０．１〜１０μｍが好ましく、０．２〜５μｍがより好ましく、０．３〜３μｍがさらに好ましい。無機充填材（Ｅ）の平均粒子径が０．１μｍ以上であると、樹脂に高充填した際の流動性を良好に保つことができ、１０μｍ以下であると、粗大粒子の混入確率を低減し、粗大粒子起因の不良の発生を抑制することができる。ここで、平均粒子径とは、粒子の全体積を１００％として粒子径による累積度数分布曲線を求めたとき、体積５０％に相当する点の粒子径のことであり、レーザ回折散乱法を用いた粒度分布測定装置等で測定することができる。同様の観点から、溶融球状シリカの平均粒子径は、０．１〜２μｍが好ましく、０．２〜１μｍがより好ましい。   The average particle diameter of the inorganic filler (E) is preferably from 0.1 to 10 μm, more preferably from 0.2 to 5 μm, still more preferably from 0.3 to 3 μm. If the average particle size of the inorganic filler (E) is 0.1 μm or more, the fluidity when the resin is highly filled can be kept good, and if it is 10 μm or less, the mixing probability of coarse particles is reduced. The occurrence of defects due to coarse particles can be suppressed. Here, the average particle diameter is a particle diameter at a point corresponding to a volume of 50% when a cumulative frequency distribution curve according to the particle diameter is obtained with the total volume of the particles being 100%, and a laser diffraction scattering method is used. It can be measured with a particle size distribution measuring device. From the same viewpoint, the average particle size of the fused spherical silica is preferably 0.1 to 2 μm, and more preferably 0.2 to 1 μm.

熱硬化性樹脂組成物に無機充填材（Ｅ）を配合するに際しては、無機充填材（Ｅ）をシラン系、チタネート系等のカップリング剤、シリコーンオリゴマー等の表面処理剤などで前処理又はインテグラルブレンド処理することも好ましい。   When the inorganic filler (E) is blended in the thermosetting resin composition, the inorganic filler (E) is pretreated with a silane-based or titanate-based coupling agent, a surface-treating agent such as a silicone oligomer, or an integrator. It is also preferable to perform a blend treatment.

熱硬化性樹脂組成物が無機充填材（Ｅ）を含有する場合、その含有量は、樹脂成分の総和１００質量部に対して、２０〜３００質量部が好ましく、５０〜２８０質量部がより好ましく、１００〜２６０質量部がさらに好ましく、１５０〜２５０質量部がよりさらに好ましく、１８０〜２４０質量部が特に好ましい。無機充填材（Ｅ）の含有量が上記範囲内であると、熱硬化性樹脂組成物の成形性を良好に保ちつつ、低熱膨張性を向上させることができる。   When the thermosetting resin composition contains an inorganic filler (E), the content is preferably 20 to 300 parts by mass, more preferably 50 to 280 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total of the resin components. 100-260 mass parts is further more preferable, 150-250 mass parts is still more preferable, 180-240 mass parts is especially preferable. When the content of the inorganic filler (E) is within the above range, the low thermal expansion can be improved while keeping the moldability of the thermosetting resin composition good.

（硬化促進剤（Ｆ））
本発明の熱硬化性樹脂組成物は、さらに、硬化促進剤（Ｆ）を含有することが好ましい。硬化促進剤（Ｆ）としては、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、オクチル酸スズ、オクチル酸コバルト、ビスアセチルアセトナートコバルト（ＩＩ）、トリスアセチルアセトナートコバルト（ＩＩＩ）等の有機金属塩；イミダゾール類及びその誘導体；ホスフィン類、ホスホニウム塩等の有機リン系化合物；第二級アミン類、第三級アミン類、第四級アンモニウム塩などが挙げられる。これらは１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。これらの中でも、硬化促進効果及び保存安定性の観点から、ナフテン酸亜鉛、イミダゾール誘導体、ホスホニウム塩が好ましい。 (Curing accelerator (F))
It is preferable that the thermosetting resin composition of the present invention further contains a curing accelerator (F). Examples of the curing accelerator (F) include organic metal salts such as zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin octylate, cobalt octylate, bisacetylacetonate cobalt (II), trisacetylacetonate cobalt (III); imidazoles And derivatives thereof; organic phosphorus compounds such as phosphines and phosphonium salts; secondary amines, tertiary amines, quaternary ammonium salts and the like. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together. Among these, zinc naphthenate, imidazole derivatives, and phosphonium salts are preferable from the viewpoint of curing acceleration effect and storage stability.

熱硬化性樹脂組成物が硬化促進剤（Ｆ）を含有する場合、その含有量は、樹脂成分の総和１００質量部に対して、０．０１〜３質量部が好ましく、０．０５〜１．５質量部がより好ましく、０．１〜１質量部がさらに好ましい。硬化促進剤（Ｆ）の含有量が上記範囲内であると、硬化促進効果及び保存安定性が優れる傾向にある。   When a thermosetting resin composition contains a hardening accelerator (F), 0.01-3 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of sum total of a resin component, and 0.05-1. 5 mass parts is more preferable, and 0.1-1 mass part is further more preferable. When the content of the curing accelerator (F) is within the above range, the curing accelerating effect and the storage stability tend to be excellent.

熱硬化性樹脂組成物は、その目的に反しない範囲内で、任意に公知の前記各成分以外の熱可塑性樹脂、有機充填材、難燃剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、光重合開始剤、蛍光増白剤、接着性向上剤等を使用できる。   As long as the thermosetting resin composition does not contradict its purpose, the thermoplastic resin, organic filler, flame retardant, ultraviolet absorber, antioxidant, photopolymerization initiator, other than the above-mentioned known optional components, A fluorescent brightener, an adhesion improver, etc. can be used.

熱可塑性樹脂としては、ポリフェニレンエーテル樹脂、フェノキシ樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、キシレン樹脂、石油樹脂及びシリコーン樹脂等が挙げられる。
有機充填材としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリフェニレンエーテル樹脂、シリコーン樹脂、テトラフルオロエチレン樹脂等よりなる樹脂フィラー、アクリル酸エステル系樹脂、メタクリル酸エステル系樹脂、共役ジエン系樹脂等よりなるゴム状態のコア層と、アクリル酸エステル系樹脂、メタクリル酸エステル系樹脂、芳香族ビニル系樹脂、シアン化ビニル系樹脂等よりなるガラス状態のシェル層を持つコアシェル構造の樹脂フィラーなどが挙げられる。 Examples of the thermoplastic resin include polyphenylene ether resin, phenoxy resin, polycarbonate resin, polyester resin, polyamide resin, polyimide resin, xylene resin, petroleum resin, and silicone resin.
Organic fillers include rubber fillers made of polyethylene, polypropylene, polystyrene, polyphenylene ether resins, silicone resins, tetrafluoroethylene resins, etc., acrylic ester resins, methacrylic ester resins, conjugated diene resins, etc. And a core-shell resin filler having a glassy shell layer made of an acrylic ester resin, a methacrylic ester resin, an aromatic vinyl resin, a vinyl cyanide resin, or the like.

難燃剤としては、臭素、塩素等を含有する含ハロゲン系難燃剤；トリフェニルホスフェート、トリクレジルホスフェート、トリスジクロロプロピルホスフェート、リン酸エステル系化合物、赤リン等のリン系難燃剤；スルファミン酸グアニジン、硫酸メラミン、ポリリン酸メラミン、メラミンシアヌレート等の窒素系難燃剤；シクロホスファゼン、ポリホスファゼン等のホスファゼン系難燃剤；三酸化アンチモン等の無機系難燃剤が挙げられる。
紫外線吸収剤としては、ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤が挙げられる。
酸化防止剤としては、ヒンダードフェノール系酸化防止剤、ヒンダードアミン系酸化防止剤等が挙げられる。
光重合開始剤としては、ベンゾフェノン類、ベンジルケタール類、チオキサントン系等の光重合開始剤が挙げられる。
蛍光増白剤としては、スチルベン誘導体の蛍光増白剤等が挙げられる。
接着性向上剤としては、尿素シラン等の尿素化合物、前記カップリング剤などが挙げられる。 Examples of flame retardants include halogen-containing flame retardants containing bromine, chlorine, etc .; phosphorus flame retardants such as triphenyl phosphate, tricresyl phosphate, trisdichloropropyl phosphate, phosphate ester compounds, red phosphorus; guanidine sulfamate Nitrogen-based flame retardants such as melamine sulfate, melamine polyphosphate, and melamine cyanurate; phosphazene flame retardants such as cyclophosphazene and polyphosphazene; and inorganic flame retardants such as antimony trioxide.
Examples of the ultraviolet absorber include benzotriazole-based ultraviolet absorbers.
Examples of the antioxidant include hindered phenol-based antioxidants and hindered amine-based antioxidants.
Examples of the photopolymerization initiator include photopolymerization initiators such as benzophenones, benzyl ketals, and thioxanthones.
Examples of the fluorescent whitening agent include a fluorescent whitening agent of a stilbene derivative.
Examples of the adhesion improver include urea compounds such as urea silane, the coupling agent, and the like.

プリプレグ（１）は、前記熱硬化性樹脂組成物を含有するものであれば特に限定されないが、前記熱硬化性樹脂組成物を、基材に含浸してなるものが好ましい。   The prepreg (1) is not particularly limited as long as it contains the thermosetting resin composition, but a prepreg (1) is preferably obtained by impregnating a base material with the thermosetting resin composition.

（基材）
熱硬化性樹脂組成物を含浸する基材としては、例えば、各種の電気絶縁材料用積層板に用いられている周知のものが使用できる。基材の材質としては、Ｅガラス、Ｄガラス、Ｓガラス、Ｑガラス等の無機物繊維；ポリイミド、ポリエステル、テトラフルオロエチレン等の有機繊；それらの混合物などが挙げられる。他の用途の基材としては、例えば、繊維強化基材であれば、炭素繊維を用いることが可能である。これらの基材は、織布、不織布、ロービンク、チョップドストランドマット、サーフェシングマット等の形状が挙げられる。材質及び形状は、目的とする成形物の用途及び性能により選択され、必要により、単独又は２種類以上の材質及び形状を組み合わせてもよい。基材の厚さは、例えば、０．０３〜０．５ｍｍであり、シランカップリング剤等で表面処理したもの、機械的に開繊処理を施したもの等が、耐熱性、耐湿性及び加工性の観点から、好適である。 (Base material)
As a base material which impregnates a thermosetting resin composition, the well-known thing used for the laminated board for various electrical insulation materials can be used, for example. Examples of the material of the substrate include inorganic fibers such as E glass, D glass, S glass, and Q glass; organic fibers such as polyimide, polyester, and tetrafluoroethylene; and mixtures thereof. As a base material for other uses, for example, carbon fiber can be used if it is a fiber reinforced base material. Examples of these base materials include woven fabrics, non-woven fabrics, robinks, chopped strand mats, and surfacing mats. The material and shape are selected depending on the intended use and performance of the molded article, and if necessary, two or more kinds of materials and shapes may be combined. The thickness of the substrate is, for example, 0.03 to 0.5 mm, and the surface treated with a silane coupling agent or the like, the one subjected to mechanical opening treatment, etc. are heat resistant, moisture resistant and processed. From the viewpoint of sex.

プリプレグ（１）中における固形分換算の熱硬化性樹脂組成物の含有量は、２０〜９０質量％が好ましく、３０〜８０質量％がより好ましく、４０〜７０質量％がさらに好ましく、５０〜６０質量％が特に好ましい。   20-90 mass% is preferable, as for content of the thermosetting resin composition of solid content conversion in a prepreg (1), 30-80 mass% is more preferable, 40-70 mass% is further more preferable, 50-60 Mass% is particularly preferred.

プリプレグ（１）は、例えば、熱硬化性樹脂組成物を、基材に含浸し、加熱等により半硬化（Ｂステージ化）して製造することができる。
熱硬化性樹脂組成物は、プリプレグ（１）の製造を容易にする観点から、各成分が有機溶媒中に溶解又は分散されたワニス（以下、「樹脂ワニス」ともいう）の状態とすることが好ましい。
樹脂ワニスに用いられる有機溶媒としては、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のアルコール系溶媒；アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶媒；酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のエステル系溶媒；テトラヒドロフラン等のエーテル系溶媒；トルエン、キシレン、メシチレン等の芳香族系溶媒；ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン等の窒素原子含有溶媒；ジメチルスルホキシド等の硫黄原子含有溶媒などが挙げられる。これらは１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。これらの中で、溶解性の観点から、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、メチルセロソルブが好ましく、メチルエチルケトンがより好ましい。
樹脂ワニス中の固形分濃度は、４０〜９０質量％が好ましく、５０〜８０質量％がより好ましい。固形分濃度が前記範囲内であると、塗工性を良好に保ち、適切な樹脂組成物付着量のプリプレグを得ることができる。 The prepreg (1) can be produced, for example, by impregnating a thermosetting resin composition into a substrate and semi-curing (B-stage) by heating or the like.
From the viewpoint of facilitating the production of the prepreg (1), the thermosetting resin composition may be in a state of a varnish in which each component is dissolved or dispersed in an organic solvent (hereinafter also referred to as “resin varnish”). preferable.
Examples of the organic solvent used in the resin varnish include alcohol solvents such as methanol, ethanol, propanol, butanol, methyl cellosolve, butyl cellosolve, and propylene glycol monomethyl ether; ketone solvents such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, and cyclohexanone; butyl acetate Ester solvents such as propylene glycol monomethyl ether acetate; ether solvents such as tetrahydrofuran; aromatic solvents such as toluene, xylene and mesitylene; nitrogen atom-containing solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide and N-methylpyrrolidone; dimethyl sulfoxide And a sulfur atom-containing solvent. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together. Among these, from the viewpoint of solubility, cyclohexanone, methyl ethyl ketone, propylene glycol monomethyl ether, and methyl cellosolve are preferable, and methyl ethyl ketone is more preferable.
The solid content concentration in the resin varnish is preferably 40 to 90% by mass, and more preferably 50 to 80% by mass. When the solid content concentration is within the above range, it is possible to maintain good coating properties and obtain a prepreg having an appropriate resin composition adhesion amount.

熱硬化性樹脂組成物を基材に含浸させる方法としては、基材を樹脂ワニスに浸漬する方法、各種コーターにより塗布する方法、スプレーによる吹き付ける方法等が挙げられる。これらの中でも、含浸性の観点から、基材を樹脂ワニスに浸漬する方法が好ましい。
含浸後の乾燥条件としては、例えば、乾燥温度が１００〜２００℃、乾燥時間が１〜３０分間であり、加熱によって熱硬化性樹脂組成物を半硬化（Ｂステージ化）させることで、プリプレグ（１）を得ることができる。 Examples of the method for impregnating the base material with the thermosetting resin composition include a method of immersing the base material in a resin varnish, a method of applying with various coaters, and a spraying method. Among these, from the viewpoint of impregnation, a method of immersing the base material in the resin varnish is preferable.
As drying conditions after the impregnation, for example, the drying temperature is 100 to 200 ° C., the drying time is 1 to 30 minutes, and the thermosetting resin composition is semi-cured (B-staged) by heating. 1) can be obtained.

＜プリプレグ（１）の硬化物＞
プリプレグ（１）の硬化物としては、プリプレグ（１）を硬化したものであれば特に限定されない。
本発明のプリント配線板（１）は、プリプレグ（１）の硬化物を少なくとも１層備えていればよく、必要に応じて、２層以上備える積層体（１）としてもよい。積層体（１）が備える複数のプリプレグ（１）の硬化物の組成、形態等は、各々同一であっても異なっていてもよい。また、２層以上のプリプレグ（１）の硬化物は、プリプレグ（１）同士を重ねて硬化してなるものであってもよく、プリプレグ（１）同士の間に、例えば、配線回路部を備えた多層積層板であってもよい。
さらに、プリント配線板（１）は、プリプレグ（１）の硬化物と、プリプレグ（１）以外のプリプレグの硬化物を備えるものであってもよい。 <Hardened product of prepreg (1)>
The cured product of the prepreg (1) is not particularly limited as long as the prepreg (1) is cured.
The printed wiring board (1) of this invention should just be equipped with the at least 1 layer of hardened | cured material of a prepreg (1), and is good also as a laminated body (1) provided with two or more layers as needed. The composition, form, and the like of the cured product of the plurality of prepregs (1) included in the laminate (1) may be the same or different. Further, the cured product of two or more layers of the prepreg (1) may be obtained by stacking and curing the prepregs (1), and includes, for example, a wiring circuit portion between the prepregs (1). Multi-layer laminates may also be used.
Further, the printed wiring board (1) may include a cured product of the prepreg (1) and a cured product of a prepreg other than the prepreg (1).

プリプレグ（１）の硬化条件は、プリプレグ（１）が含有する熱硬化性樹脂組成物の組成等に応じて適宜決定すればよいが、例えば、硬化温度は、好ましくは１００〜２８０℃、より好ましくは１５０〜２６０℃であり、硬化時間は、好ましくは１０〜１２０分間、より好ましくは３０〜８０分間である。
プリプレグ（１）の硬化物を得る方法としては、例えば、プリプレグ（１）を２枚以上、好ましくは２〜２０枚重ね、その片面又は両面に金属箔を配置した構成で積層成形する方法が挙げられる。その際の成形条件は、電気絶縁材料用積層板及び多層板の手法が適用でき、多段プレス、多段真空プレス、連続成形、オートクレーブ成形機等を使用し、温度１００〜２５０℃、圧力０．２〜１０ＭＰａ、加熱時間０．１〜５時間の条件とすることができる。該方法によると、２枚以上のプリプレグ（１）を重ねて硬化してなる硬化物の片面又は両面に金属箔を有する金属張積層板が得られる。
金属箔としては、銅、金、銀、ニッケル、白金、モリブデン、ルテニウム、アルミニウム、タングステン、鉄、チタン、クロム、これらの金属元素のうちの少なくとも１種を含む合金等が挙げられる。これらの中でも、銅、ニッケル、４２アロイが好ましく、入手容易性及びコストの観点からは、銅がさらに好ましい。 The curing conditions for the prepreg (1) may be appropriately determined according to the composition of the thermosetting resin composition contained in the prepreg (1). For example, the curing temperature is preferably 100 to 280 ° C, more preferably. Is 150 to 260 ° C., and the curing time is preferably 10 to 120 minutes, more preferably 30 to 80 minutes.
As a method for obtaining a cured product of the prepreg (1), for example, there is a method in which two or more, preferably 2 to 20, prepregs (1) are stacked and laminated and formed with a metal foil on one or both sides thereof. It is done. The molding conditions at that time can be applied to the laminates for electrical insulation materials and multilayer boards, using a multistage press, a multistage vacuum press, continuous molding, an autoclave molding machine, etc., at a temperature of 100 to 250 ° C., a pressure of 0.2. 10 MPa and heating time 0.1 to 5 hours. According to this method, a metal-clad laminate having a metal foil on one or both sides of a cured product obtained by stacking and curing two or more prepregs (1) is obtained.
Examples of the metal foil include copper, gold, silver, nickel, platinum, molybdenum, ruthenium, aluminum, tungsten, iron, titanium, chromium, and an alloy containing at least one of these metal elements. Among these, copper, nickel, and 42 alloy are preferable, and copper is more preferable from the viewpoint of availability and cost.

（配線回路部）
配線回路部は、プリプレグ（１）の硬化物上に設けられるものであれば、特に限定されない。
配線回路部を構成する金属としては、前記金属箔を構成する金属と同じものが挙げられ、これらの中でも、銅が好ましい。
配線回路部の厚さは、３〜２１０μｍが好ましく、５〜１４０μｍがより好ましく、５〜５０μｍがさらに好ましく、５〜２５μｍが特に好ましい。
配線回路部は公知の方法により形成することができる。例えば、前記金属張積層板に配線回路部を形成する場合は、前記金属箔を公知のエッチング法によって配線加工して、配線回路部を形成することができる。
また、表面に金属箔を有していないプリプレグ（１）の硬化物表面に配線回路部を形成する場合は、サブトラクティブ法、フルアディティブ法、セミアディティブ法（ＳＡＰ：Semi Additive Process）、モディファイドセミアディティブ法（ｍ−ＳＡＰ：modified Semi Additive Process）等の公知の方法を適用して、配線回路部を形成することができる。 (Wiring circuit)
A wiring circuit part will not be specifically limited if it is provided on the hardened | cured material of a prepreg (1).
Examples of the metal constituting the wiring circuit portion include the same metals as those constituting the metal foil, and among these, copper is preferable.
The thickness of the wiring circuit portion is preferably 3 to 210 μm, more preferably 5 to 140 μm, further preferably 5 to 50 μm, and particularly preferably 5 to 25 μm.
The wiring circuit portion can be formed by a known method. For example, when a wiring circuit part is formed on the metal-clad laminate, the wiring circuit part can be formed by wiring the metal foil by a known etching method.
In addition, when forming a wiring circuit part on the surface of a cured prepreg (1) that does not have a metal foil on the surface, a subtractive method, a full additive method, a semi-additive method (SAP), a modified semiconductor The wiring circuit portion can be formed by applying a known method such as an additive method (m-SAP: modified Semi Additive Process).

プリント配線板（１）は、必要に応じて、ドリル切削方法、ＹＡＧレーザー、ＣＯ_２レーザー等を用いるレーザー加工方法などによってビアホールを形成したものであってもよく、その際に、必要に応じて表面粗化処理及びデスミア処理を行なったものであってもよい。 The printed wiring board (1) may be formed with via holes by a drilling method, a laser processing method using a YAG laser, a CO ₂ laser, or the like, if necessary. It may have been subjected to surface roughening treatment and desmear treatment.

［半導体パッケージ（１）］
本発明の半導体パッケージ（１）は、本発明のプリント配線板（１）に半導体素子を搭載してなる半導体パッケージである。半導体パッケージ（１）は、例えば、プリント配線板（１）の所定の位置に、公知の方法により半導体チップ、メモリ等の半導体素子を搭載し、封止樹脂等によって半導体素子を封止することによって製造することができる。 [Semiconductor package (1)]
The semiconductor package (1) of the present invention is a semiconductor package in which a semiconductor element is mounted on the printed wiring board (1) of the present invention. The semiconductor package (1) includes, for example, mounting a semiconductor element such as a semiconductor chip or a memory at a predetermined position of the printed wiring board (1) by a known method, and sealing the semiconductor element with a sealing resin or the like. Can be manufactured.

［プリプレグ（２）］
本発明のプリプレグ（２）は、熱硬化性樹脂組成物を含有するプリプレグであって、前記熱硬化性樹脂組成物が、アミン当量が１，０００ｇ／ｅｑ以下であり、両末端にアミノ基を有するアミノ変性シロキサン化合物（Ａ）と、１分子中に少なくとも２個のＮ−置換マレイミド基を有するマレイミド化合物（Ｂ）と、を含有するもの、又は前記（Ａ）成分由来の構造単位と、前記（Ｂ）成分由来の構造単位と、を含有するシロキサン化合物（Ｘ）を含有するものである、２枚以上重ねて用いるためのプリプレグである。 [Prepreg (2)]
The prepreg (2) of the present invention is a prepreg containing a thermosetting resin composition, wherein the thermosetting resin composition has an amine equivalent of 1,000 g / eq or less, and has amino groups at both ends. A compound containing an amino-modified siloxane compound (A) and a maleimide compound (B) having at least two N-substituted maleimide groups in one molecule, or a structural unit derived from the component (A), (B) It is a prepreg for use by stacking two or more sheets, which contains a siloxane compound (X) containing a structural unit derived from a component.

プリプレグ（２）は、前記特定の熱硬化性樹脂組成物を含有することにより、特に、絶縁層間接着性に優れるため、該プリプレグを２枚以上重ねて用いる態様において好適である。プリプレグ（２）の好適な態様は、前記本発明のプリント配線板（１）に用いられるプリプレグ（１）の好適な態様と同じである。   Since the prepreg (2) contains the specific thermosetting resin composition, the prepreg (2) is particularly excellent in insulating interlayer adhesion, and therefore, it is suitable for an embodiment in which two or more prepregs are used. The preferred embodiment of the prepreg (2) is the same as the preferred embodiment of the prepreg (1) used for the printed wiring board (1) of the present invention.

［積層体（２）］
本発明の積層体（２）は、本発明のプリプレグ（２）が、２枚以上接した状態で熱硬化されてなる積層体である。
本発明の積層体（２）は、プリプレグ（２）を、例えば、２〜２０枚重ね、その片面又は両面に銅、アルミニウム等の金属箔を配置した構成で積層成形することにより製造することができる。
積層板を製造する際の成形条件は、例えば、電気絶縁材料用積層板及び多層板の手法が適用でき、多段プレス、多段真空プレス、連続成形、オートクレーブ成形機等を使用し、温度１００〜２５０℃、圧力０．２〜１０ＭＰａ、加熱時間０．１〜５時間の範囲で成形することができる。 [Laminate (2)]
The laminate (2) of the present invention is a laminate obtained by thermosetting the prepreg (2) of the present invention in a state where two or more sheets are in contact.
The laminate (2) of the present invention can be produced by laminating 2-20 prepregs (2), for example, and laminating and forming a metal foil such as copper or aluminum on one or both sides thereof. it can.
As the molding conditions for producing the laminated plate, for example, the method of the laminated plate for electric insulation material and the multilayer plate can be applied, and a temperature of 100 to 250 is used using a multistage press, a multistage vacuum press, a continuous molding, an autoclave molding machine or the like. It can shape | mold in the range of 0.1 degreeC and the heating time for 0.1 to 5 hours.

［プリント配線板（２）及び半導体パッケージ（２）］
本発明のプリント配線板（２）は、本発明の積層体（２）を含有してなるものである。
本発明のプリント配線板（２）は、本発明のプリント配線板（１）と同様の方法により、製造することができる。
本発明の半導体パッケージ（２）は、本発明のプリント配線板（２）に半導体素子を搭載してなる半導体パッケージである。
本発明の半導体パッケージ（２）は、本発明の半導体パッケージ（１）と同様の方法により、製造することができる。 [Printed wiring board (2) and semiconductor package (2)]
The printed wiring board (2) of the present invention contains the laminate (2) of the present invention.
The printed wiring board (2) of this invention can be manufactured by the method similar to the printed wiring board (1) of this invention.
The semiconductor package (2) of the present invention is a semiconductor package in which a semiconductor element is mounted on the printed wiring board (2) of the present invention.
The semiconductor package (2) of the present invention can be manufactured by the same method as the semiconductor package (1) of the present invention.

次に、下記の実施例により本発明を更に詳しく説明するが、これらの実施例は本発明を制限するものではない。
各例で得られた銅張積層板の評価方法を以下に示す。 Next, the present invention will be described in more detail with reference to the following examples, but these examples do not limit the present invention.
The evaluation method of the copper clad laminate obtained in each example is shown below.

（１）銅箔接着性（銅箔ピール強度）
銅張積層板を銅エッチング液に浸漬することにより、外層銅箔を３ｍｍ幅の銅箔を形成し、この一端を外層銅層と絶縁層との界面で剥がしてつかみ具でつかみ、引張り試験機を用いて垂直方向に引張り速度約５０ｍｍ／分、室温中で引き剥がしたときの銅箔ピール強度を測定した。 (1) Copper foil adhesion (copper foil peel strength)
A copper clad laminate is dipped in a copper etchant to form a copper foil having a width of 3 mm, and one end of the copper foil is peeled off at the interface between the outer copper layer and the insulating layer, and is gripped with a gripping tool. Was used to measure the copper foil peel strength when peeled off at room temperature at a tensile rate of about 50 mm / min.

（２）銅付き積層板のはんだ耐熱性
銅張積層板から２５ｍｍ角の評価基板を作製し、温度２８８℃のはんだ浴に、１２０分間評価基板をフロートし、膨れの有無を目視にて観察することにより銅付き積層板のはんだ耐熱性を評価した。 (2) Solder heat resistance of laminated board with copper A 25 mm square evaluation board is produced from a copper clad laminated board, and the evaluation board is floated in a solder bath at a temperature of 288 ° C. for 120 minutes, and the presence or absence of swelling is visually observed. Thus, the solder heat resistance of the laminated board with copper was evaluated.

（３）銅無し積層板のはんだ耐熱性
銅張積層板を銅エッチング液に浸漬することにより銅箔を除去した後、２５ｍｍ角の評価基板を作製し、温度２８８℃のはんだ浴に、１２０分間評価基板をフロートし、膨れの有無を目視にて観察することにより銅無し積層板のはんだ耐熱性を評価した。 (3) Solder heat resistance of copper-free laminated board After removing the copper foil by immersing the copper-clad laminated board in a copper etching solution, a 25 mm square evaluation board is prepared and placed in a solder bath at a temperature of 288 ° C for 120 minutes. The evaluation substrate was floated, and the solder heat resistance of the copperless laminate was evaluated by visually observing the presence or absence of swelling.

製造例１：変性イミド樹脂（Ｘ−１）の製造
温度計、撹拌装置、還流冷却管付き水分定量器の付いた加熱及び冷却可能な容積２リットルの反応容器に、ＸＦ４２−Ｃ６６０７（モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製、商品名、アミン当量９１９ｇ／ｅｑ）を４６．７ｇ、ビス（４−マレイミドフェニル）メタンを２６２．６ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテルを４４０．７ｇ投入し、１１５℃で４時間反応した後、１３０℃まで昇温して常圧濃縮し、変性イミド樹脂（Ｘ−１）含有溶液（樹脂含有量：６０質量％）を得た。 Production Example 1: Production of modified imide resin (X-1) XF42-C6607 (momentive performance) was added to a reaction vessel with a volume of 2 liters that can be heated and cooled with a thermometer, a stirrer, and a moisture meter with a reflux condenser.・ Products, trade name, 46.7 g of amine equivalent 919 g / eq), 262.6 g of bis (4-maleimidophenyl) methane, 440.7 g of propylene glycol monomethyl ether, and reaction at 115 ° C. for 4 hours Then, the temperature was raised to 130 ° C. and the solution was concentrated at normal pressure to obtain a modified imide resin (X-1) -containing solution (resin content: 60% by mass).

製造例２：変性イミド樹脂（Ｘ−２）の製造
温度計、撹拌装置、還流冷却管付き水分定量器の付いた加熱及び冷却可能な容積２リットルの反応容器に、ＸＦ４２−Ｃ５３７９（モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製、商品名、アミン当量７４５ｇ／ｅｑ）４６．８ｇ、ビス（４−マレイミドフェニル）メタンを２６２．５ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテルを４４０．６ｇ投入し、１１５℃で４時間反応した後、１３０℃まで昇温して常圧濃縮し、変性イミド樹脂（Ｘ−２）含有溶液（樹脂含有量：６０質量％）を得た。 Production Example 2: Production of Modified Imide Resin (X-2) XF42-C5379 (Momentive Performance) was added to a reaction vessel with a volume of 2 liters that can be heated and cooled, equipped with a thermometer, a stirrer, and a moisture meter with a reflux condenser.・ Products, trade name, amine equivalent 745 g / eq) 46.8 g, bis (4-maleimidophenyl) methane 262.5 g, propylene glycol monomethyl ether 440.6 g were charged and reacted at 115 ° C. for 4 hours. Then, it heated up to 130 degreeC and concentrated at normal pressure, and modified imide resin (X-2) containing solution (resin content: 60 mass%) was obtained.

実施例１〜４及び比較例１〜２
表１に示した各成分を、表１に示した配合割合（質量部）で混合して、固形分換算の熱硬化性樹脂組成物の含有量が、６５質量％の樹脂ワニスを得た。次に、上記樹脂ワニスを厚さ０．１ｍｍのＥガラスクロスに含浸し、１６０℃で１０分加熱乾燥して、固形分換算の熱硬化性樹脂組成物の含有量が４８質量％のプリプレグを得た。このプリプレグを４枚重ね、１２μｍの電解銅箔を上下に配置し、圧力３．０ＭＰａ、温度２４０℃で６０分間プレスを行って、銅張積層板を得た。
得られた銅張積層板の測定及び評価結果を表１に示す。なお、表１に示す各成分の詳細は以下の通りである。 Examples 1-4 and Comparative Examples 1-2
The components shown in Table 1 were mixed at the blending ratio (parts by mass) shown in Table 1 to obtain a resin varnish having a solid content converted thermosetting resin composition content of 65% by mass. Next, an E glass cloth having a thickness of 0.1 mm is impregnated with the resin varnish and dried by heating at 160 ° C. for 10 minutes to obtain a prepreg having a thermosetting resin composition content of 48 mass% in terms of solid content. Obtained. Four prepregs were stacked, 12 μm electrolytic copper foils were placed one above the other, and pressed at a pressure of 3.0 MPa and a temperature of 240 ° C. for 60 minutes to obtain a copper-clad laminate.
Table 1 shows the measurement and evaluation results of the obtained copper-clad laminate. The details of each component shown in Table 1 are as follows.

［マレイミド化合物（Ｂ）］
・ＢＭＩ−４０００：２，２−ビス［４−（４−マレイミドフェノキシ）フェニル］プロパン〔大和化成工業株式会社製、商品名〕 [Maleimide compound (B)]
BMI-4000: 2,2-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] propane (trade name, manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.)

［シロキサン化合物（ｉ）］
・Ｘ−２２−１６１Ｂ：両末端アミノ変性シロキサン〔信越化学工業株式会社製、商品名、アミン当量：１，５００ｇ／ｍｏｌ〕 [Siloxane compound (i)]
-X-22-161B: Both-terminal amino-modified siloxane [manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., trade name, amine equivalent: 1,500 g / mol]

［アミン化合物（ｉｉ）］
・ＫＡＹＡＨＡＲＤ Ａ−Ａ：３，３’−ジエチル−４，４’−ジアミノジフェニルメタン〔日本化薬株式会社製、商品名〕 [Amine compound (ii)]
KAYAHARD AA: 3,3′-diethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane [manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name]

［熱可塑性エラストマー（Ｃ）］
・ＣＴ−３１０：エポキシ変性スチレン−ブタジエン共重合樹脂〔株式会社ダイセル製、商品名〕 [Thermoplastic elastomer (C)]
CT-310: Epoxy-modified styrene-butadiene copolymer resin (trade name, manufactured by Daicel Corporation)

［熱硬化性樹脂（Ｄ）］
・ＰＴ−３０：ノボラック型シアネート樹脂〔ロンザジャパン株式会社製、商品名〕
・ＮＣ−７０００Ｌ：α−ナフトール／クレゾールノボラック型エポキシ樹脂〔日本化薬株式会社製、商品名〕 [Thermosetting resin (D)]
PT-30: Novolac-type cyanate resin [Lonza Japan Co., Ltd., trade name]
NC-7000L: α-naphthol / cresol novolac type epoxy resin [made by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name]

［無機充填材（Ｅ）］
・ＳＣ２０５０−ＫＮＫ：溶融球状シリカ〔株式会社アドマテックス製、平均粒子径０．５μｍ、商品名〕
・ＫＥＭＧＡＲＤ１１００：モリブデン酸亜鉛〔シャーウィン・ウィリアムズ社製、商品名〕 [Inorganic filler (E)]
SC2050-KNK: fused spherical silica [manufactured by Admatechs Co., Ltd., average particle size 0.5 μm, trade name]
・ KEMGARD1100: zinc molybdate [manufactured by Sherwin Williams, trade name]

［硬化促進剤（Ｆ）］
・Ｇ−８００９Ｌ：イソシアネートマスクイミダゾール〔第一工業製薬株式会社製、商品名〕 [Curing accelerator (F)]
G-8809L: Isocyanate mask imidazole [Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd., trade name]

表１から明らかなように、本発明の実施例１〜４で得られた銅張積層板は、銅箔ピール強度、銅付き積層板はんだ耐熱性及び銅無し積層板はんだ耐熱性の全てに優れており、金属箔接着性、絶縁層間接着性及び耐熱性を高度に両立していることが分かる。
一方、比較例１及び２で得られた銅張積層板は、銅箔ピール強度、銅付き積層板はんだ耐熱性及び銅無し積層板はんだ耐熱性の全てに劣っている。 As is clear from Table 1, the copper-clad laminates obtained in Examples 1 to 4 of the present invention are excellent in all of copper foil peel strength, copper-clad laminate solder heat resistance, and copper-free laminate sheet solder heat resistance. It can be seen that the metal foil adhesion, insulating interlayer adhesion, and heat resistance are highly compatible.
On the other hand, the copper-clad laminate obtained in Comparative Examples 1 and 2 is inferior in all of copper foil peel strength, copper-attached laminate solder heat resistance, and copper-free laminate solder heat resistance.

本発明のプリプレグ、積層体、プリント配線板及び半導体パッケージは、金属箔接着性、絶縁層間接着性及び耐熱性を高度に両立していることから、高集積化された半導体パッケージ及び高速通信に対応した電子機器用プリント配線板等、及びこれに用いられるプリプレグ、積層体として有用である。   The prepreg, laminate, printed wiring board, and semiconductor package of the present invention are highly compatible with metal foil adhesion, insulating interlayer adhesion, and heat resistance, and are therefore compatible with highly integrated semiconductor packages and high-speed communications. It is useful as a printed wiring board for electronic equipment and the like, and prepregs and laminates used therefor.

Claims (12)

熱硬化性樹脂組成物を含有するプリプレグの硬化物と、前記プリプレグの硬化物上に設けられた配線回路部と、を備えるプリント配線板であって、前記熱硬化性樹脂組成物が、
アミン当量が１，０００ｇ／ｅｑ以下であり、両末端にアミノ基を有するアミノ変性シロキサン化合物（Ａ）と、１分子中に少なくとも２個のＮ−置換マレイミド基を有するマレイミド化合物（Ｂ）と、を含有するもの、又は
前記（Ａ）成分由来の構造単位と、前記（Ｂ）成分由来の構造単位と、を含有する変性イミド樹脂（Ｘ）、を含有するものである、プリント配線板。 A printed wiring board comprising a cured product of a prepreg containing a thermosetting resin composition, and a wiring circuit unit provided on the cured product of the prepreg, wherein the thermosetting resin composition is
An amino-modified siloxane compound (A) having an amine equivalent of 1,000 g / eq or less, having amino groups at both ends, and a maleimide compound (B) having at least two N-substituted maleimide groups in one molecule; Or a modified imide resin (X) containing a structural unit derived from the component (A) and a structural unit derived from the component (B). A printed wiring board. 前記熱硬化性樹脂組成物が、さらに、熱可塑性エラストマー（Ｃ）を含有する、請求項１に記載のプリント配線板。   The printed wiring board according to claim 1, wherein the thermosetting resin composition further contains a thermoplastic elastomer (C). 前記熱硬化性樹脂組成物が、さらに、エポキシ樹脂及びシアネート樹脂からなる群から選ばれる１種以上の熱硬化性樹脂（Ｄ）を含有する、請求項１又は２に記載のプリント配線板。   The printed wiring board according to claim 1 or 2, wherein the thermosetting resin composition further contains one or more thermosetting resins (D) selected from the group consisting of epoxy resins and cyanate resins. 前記熱硬化性樹脂組成物が、さらに、無機充填材（Ｅ）を含有する、請求項１〜３のいずれか１項に記載のプリント配線板。   The printed wiring board according to any one of claims 1 to 3, wherein the thermosetting resin composition further contains an inorganic filler (E). 請求項１〜４のプリント配線板に半導体素子を搭載してなる半導体パッケージ。   A semiconductor package comprising a semiconductor element mounted on the printed wiring board according to claim 1. 熱硬化性樹脂組成物を含有するプリプレグであって、
前記熱硬化性樹脂組成物が、アミン当量が１，０００ｇ／ｅｑ以下であり、両末端にアミノ基を有するアミノ変性シロキサン化合物（Ａ）と、１分子中に少なくとも２個のＮ−置換マレイミド基を有するマレイミド化合物（Ｂ）と、を含有するもの、又は
前記（Ａ）成分由来の構造単位と、前記（Ｂ）成分由来の構造単位と、を含有するシロキサン化合物（Ｘ）を含有するものである、２枚以上重ねて用いるためのプリプレグ。 A prepreg containing a thermosetting resin composition,
The thermosetting resin composition has an amine equivalent of 1,000 g / eq or less, an amino-modified siloxane compound (A) having an amino group at both ends, and at least two N-substituted maleimide groups in one molecule. Or a siloxane compound (X) containing a structural unit derived from the component (A) and a structural unit derived from the component (B). A prepreg for use by stacking two or more sheets. 前記熱硬化性樹脂組成物が、さらに、熱可塑性エラストマー（Ｃ）を含有する、請求項６に記載の、２枚以上重ねて用いるためのプリプレグ。   The prepreg for using two or more sheets according to claim 6, wherein the thermosetting resin composition further contains a thermoplastic elastomer (C). 前記熱硬化性樹脂組成物が、さらに、エポキシ樹脂及びシアネート樹脂からなる群から選ばれる１種以上の熱硬化性樹脂（Ｄ）を含有する、請求項６又は７に記載の２枚以上重ねて用いるためのプリプレグ。   The two or more sheets according to claim 6 or 7, wherein the thermosetting resin composition further contains one or more thermosetting resins (D) selected from the group consisting of an epoxy resin and a cyanate resin. Prepreg for use. 前記熱硬化性樹脂組成物が、さらに、無機充填材（Ｅ）を含有する、請求項６〜８のいずれか１項に記載の２枚以上重ねて用いるためのプリプレグ。   The prepreg for use by stacking two or more sheets according to any one of claims 6 to 8, wherein the thermosetting resin composition further contains an inorganic filler (E). 請求項６〜９のいずれか１項に記載のプリプレグが、２枚以上重ねた状態で熱硬化されてなる積層体。   The laminated body formed by thermosetting the prepreg of any one of Claims 6-9 in the state which accumulated 2 or more sheets. 請求項１０の積層体を含有してなる、プリント配線板。   A printed wiring board comprising the laminate according to claim 10. 請求項１１のプリント配線板に半導体素子を搭載してなる半導体パッケージ。   The semiconductor package which mounts a semiconductor element on the printed wiring board of Claim 11.