JP2019000780A - Inkjet application device - Google Patents

Abstract

To provide an inkjet application device which can avoid increase of time needed for discharge inspection even if an inkjet head part is inclined.SOLUTION: An inkjet application device includes: a stage unit on which a base material is placed; a gantry part which is provided traversing the stage unit and can move relative to the stage unit in one direction; an inkjet head part which is rotatably provided at the gantry part and has multiple nozzles for discharging ink P on the base material; and a camera part which is provided at the gantry part and images droplets discharged from the inkjet head part. The stage unit has: a stage body part on which the base material is placed; and a test stage part for discharging the ink P from the inkjet head and checking a discharge position. At least the test stage part is configured to be formed so as to rotate in response to rotation of the inkjet head part.SELECTED DRAWING: Figure 7

Description

本発明は、基材上に液滴を吐出して所定パターンの塗布膜を形成するインクジェット塗布装置に関するものである。   The present invention relates to an inkjet coating apparatus that forms a coating film having a predetermined pattern by discharging droplets on a substrate.

インクジェット塗布技術は、カラーフィルタ等のように基板上に格子状に形成された各画素（膜形成領域）にインク（液滴）を吐出してＲ，Ｇ，Ｂの塗布膜を形成するものに適用されている。近年では、有機ＥＬ、配向膜、回路配線パターンの製造にも適用されており、吐出位置の高精度化が求められている。   Inkjet coating technology is used to form R, G, and B coating films by ejecting ink (droplets) to each pixel (film formation region) formed in a grid pattern on a substrate, such as a color filter. Has been applied. In recent years, it has been applied to the production of organic EL, alignment films, and circuit wiring patterns, and there has been a demand for higher precision in ejection positions.

従来のインクジェット塗布装置は、図８に示すように、基材Ｗを載置するステージ１００と、ステージ１００を跨ぐように配置されたガントリ部１０１と、このガントリ部１０１に設けられたインクジェットヘッド部１０２とを有しており、インクジェットヘッド部１０２に設けられた多数のノズルからインクＰを吐出して基材Ｗ上に塗布膜（膜パターン）を形成できるように構成されている。すなわち、ガントリ部１０１がステージ１００に対して相対的に移動し（Ｘ軸方向に移動し）、インクジェットヘッド部１０２がガントリ部１０１に沿って移動することにより（Ｙ軸方向に移動することにより）、設定された吐出位置に着弾させることができるようになっている。   As shown in FIG. 8, a conventional inkjet coating apparatus includes a stage 100 on which a substrate W is placed, a gantry unit 101 disposed so as to straddle the stage 100, and an inkjet head unit provided on the gantry unit 101. 102, and is configured such that a coating film (film pattern) can be formed on the substrate W by discharging the ink P from a large number of nozzles provided in the inkjet head unit 102. That is, the gantry unit 101 moves relative to the stage 100 (moves in the X-axis direction), and the inkjet head unit 102 moves along the gantry unit 101 (by moving in the Y-axis direction). It is possible to land on the set discharge position.

また、ステージ１００近くには、インクジェットヘッド部１０２から吐出されるインクＰの吐出位置精度を確認する吐出検査を行うためのテストステージ部１０３が設けられている。すなわち、吐出検査では、テストステージ部１０３の検証基材Ｗｔ上にインクＰを着弾させた後、ガントリ部１０１に設けられたカメラ部１０４（例えば、ラインスキャンカメラ）によりテストステージ部１０３に吐出されたインクＰの位置を撮像することにより、各ノズルの吐出位置の確認が行われる。   Further, a test stage unit 103 for performing a discharge inspection for confirming the discharge position accuracy of the ink P discharged from the inkjet head unit 102 is provided near the stage 100. That is, in the ejection inspection, after the ink P is landed on the verification substrate Wt of the test stage unit 103, it is ejected to the test stage unit 103 by the camera unit 104 (for example, a line scan camera) provided in the gantry unit 101. By confirming the position of the ink P, the ejection position of each nozzle is confirmed.

具体的には、図９に示すように、インクジェットヘッド部１０２をテストステージ部１０３に移動させ、インクＰを吐出させる（図９（ａ））。そして、図９（ｂ）に示すように、カメラ部１０４をガントリ部１０１に沿って一方向（Ｙ軸方向）に移動させて基材Ｗに着弾されたインクＰを撮像し、吐出位置、ピッチの確認が行われる。その後、基材Ｗ上に膜パターンを形成するための吐出位置の補正が行われ、実際にステージ１００上の基材ＷにインクＰが吐出され膜パターンが形成される。   Specifically, as shown in FIG. 9, the ink-jet head unit 102 is moved to the test stage unit 103, and the ink P is ejected (FIG. 9A). Then, as shown in FIG. 9B, the camera unit 104 is moved in one direction (Y-axis direction) along the gantry unit 101 to image the ink P landed on the substrate W, and the ejection position, pitch Is confirmed. Thereafter, the ejection position for forming the film pattern on the substrate W is corrected, and the ink P is actually ejected onto the substrate W on the stage 100 to form the film pattern.

特開２０１１−２０６７２９号公報JP 2011-206729 A

近年では、インクジェットヘッド部１０２を移動方向に対して傾斜させるように構成し、インクジェットヘッド部１０２を改造、交換することなく、ノズル間ピッチを小さくして高精度化への対応が行われている。このようなインクジェット塗布装置に吐出検査を行うと、図１０（ａ）に記載されるように、テストステージ部１０３の検証基材Ｗｔ上には、それぞれのノズルから吐出される液滴が傾斜した状態で着弾される。この着弾された液滴をカメラ部１０４により撮像しようとすると、液滴が傾斜上に並んでいるため、図１０（ｂ）の矢印で示すように、ガントリ部１０１のＸ軸方向の移動とカメラ部１０４のＹ軸方向の移動とを交互に繰り返しながら撮像を行う必要があり、上述した従来のようにカメラ部１０４の一方向の走査によって連続して撮像することができず、吐出検査に要する時間が大幅に増大するという問題があった。   In recent years, the inkjet head unit 102 is configured to be inclined with respect to the moving direction, and the pitch between nozzles is reduced to cope with high accuracy without modifying or replacing the inkjet head unit 102. . When a discharge inspection is performed on such an ink jet coating apparatus, as shown in FIG. 10A, droplets discharged from the respective nozzles are inclined on the verification substrate Wt of the test stage unit 103. Landed in state. When an image of the landed droplets is taken by the camera unit 104, since the droplets are arranged on an inclination, the movement of the gantry unit 101 in the X-axis direction and the camera as shown by the arrow in FIG. It is necessary to perform imaging while alternately repeating the movement of the unit 104 in the Y-axis direction, and it is not possible to continuously capture images by scanning in one direction of the camera unit 104 as described above, which is necessary for ejection inspection. There was a problem that time increased significantly.

本発明は、上記の問題点を鑑みてなされたものであり、インクジェットヘッド部を傾斜させた場合であっても吐出検査に要する時間が増大するのを回避することができるインクジェット塗布装置を提供することを目的としている。   The present invention has been made in view of the above problems, and provides an inkjet coating apparatus that can avoid an increase in time required for ejection inspection even when the inkjet head portion is inclined. The purpose is that.

上記課題を解決するために本発明のインクジェット塗布装置は、基材を載置するステージユニットと、前記ステージユニットを跨いで設けられ、前記ステージユニットと一方向に相対的に移動可能なガントリ部と、前記ガントリ部に回転可能に設けられ、基材上に液滴を吐出する複数のノズルを有するインクジェットヘッド部と、前記ガントリ部に設けられ、前記インクジェットヘッド部から吐出された液滴を撮像するカメラ部と、を備えるインクジェット塗布装置であって、前記ステージユニットは、基材を載置するステージ本体部と、前記インクジェットヘッドから液滴を吐出して吐出位置を確認するためのテストステージ部とを有しており、少なくとも前記テストステージ部は、前記インクジェットヘッド部の回転に応じて回転可能に形成されていることを特徴としている。   In order to solve the above-described problems, an inkjet coating apparatus of the present invention includes a stage unit on which a substrate is placed, a gantry unit that is provided across the stage unit and is relatively movable in one direction with respect to the stage unit. An inkjet head unit that is rotatably provided in the gantry unit and has a plurality of nozzles that eject droplets on a substrate; and an image of the droplets that are provided in the gantry unit and ejected from the inkjet head unit An inkjet coating apparatus comprising: a camera unit, wherein the stage unit includes a stage main body unit on which a base material is placed, and a test stage unit for discharging a droplet from the inkjet head to confirm a discharge position. And at least the test stage unit is rotatable in accordance with the rotation of the inkjet head unit. It is characterized in that have been made.

上記インクジェット塗布装置によれば、テストステージ部がインクジェットヘッド部の回転に応じて回転可能に形成されているため、吐出検査では、カメラ部をガントリ部に沿って一方向に移動させることにより連続して撮像することができる。すなわち、吐出検査を行う際、テストステージ部をインクジェットヘッド部の傾斜に合わせて回転させる。すなわち、インクジェットヘッド部がＺ軸方向回りに回転した角度と同じ角度だけテストステージ部を回転させる。そして、この状態でテストステージ部上の検証基材上にインクを吐出することにより、検証基材上には、インクジェットヘッド部の傾斜に沿って液滴が配列した状態で着弾する。予定されたすべてのインクが着弾されると、テストステージ部を元の状態に戻す。これにより、検証基材上に着弾したインクの配列方向がガントリ部に沿う方向と同じ方向に配列された状態になる。その後、カメラ部をガントリ部に沿って移動させることにより、一方向の走査で着弾したインクを撮像することができる。したがって、インクジェットヘッド部を傾斜させた場合であっても、傾斜させない場合と同様に一方向の走査によって連続して撮像し吐出検査を行うことができるため、傾斜させない場合に比べて吐出検査に要する時間が増大するのを回避することができる。   According to the inkjet coating apparatus, since the test stage unit is formed to be rotatable according to the rotation of the inkjet head unit, in the ejection inspection, the camera unit is continuously moved in one direction along the gantry unit. Can be taken. That is, when performing the ejection inspection, the test stage unit is rotated in accordance with the inclination of the inkjet head unit. That is, the test stage unit is rotated by the same angle as the angle at which the inkjet head unit is rotated around the Z-axis direction. In this state, ink is ejected onto the verification substrate on the test stage unit, and the droplets land on the verification substrate in a state where the droplets are arranged along the inclination of the inkjet head unit. When all scheduled inks are landed, the test stage unit is returned to the original state. As a result, the arrangement direction of the ink landed on the verification base material is arranged in the same direction as the direction along the gantry portion. Thereafter, by moving the camera unit along the gantry unit, it is possible to take an image of ink landed by scanning in one direction. Therefore, even when the inkjet head portion is tilted, it is possible to continuously perform imaging and discharge inspection by scanning in one direction as in the case where the inkjet head portion is not tilted. An increase in time can be avoided.

また、前記ステージ本体部と、前記テストステージ部とが共通の回転機構により、前記インクジェットヘッドの回転に応じて回転するように形成されている構成にしてもよい。   Further, the stage main body portion and the test stage portion may be configured to rotate according to the rotation of the inkjet head by a common rotation mechanism.

この構成によれば、テストステージ部のみ回転させる場合に比べて、テストステージ部のみが回転することによりステージ本体部と接触するのを回避するためのスペースを省くことができる。   According to this configuration, it is possible to save space for avoiding contact with the stage main body by rotating only the test stage as compared with the case where only the test stage is rotated.

本発明によれば、インクジェットヘッド部を傾斜させた場合であっても吐出検査に要する時間が増大するのを回避することができる。   According to the present invention, it is possible to avoid an increase in the time required for the discharge inspection even when the inkjet head portion is inclined.

本発明のインクジェット塗布装置を概略的に示す側面図である。It is a side view which shows roughly the inkjet coating device of this invention. 上記インクジェット塗布装置の上面図である。It is a top view of the said inkjet coating apparatus. インクジェットヘッド部のノズルの配置を示す図である。It is a figure which shows arrangement | positioning of the nozzle of an inkjet head part. インクジェットヘッド部のノズルの間隔を示す図であり、（ａ）は通常状態のノズル間隔を示す図であり、（ｂ）は傾斜した状態のノズル間隔を示す図である。It is a figure which shows the space | interval of the nozzle of an inkjet head part, (a) is a figure which shows the nozzle space of a normal state, (b) is a figure which shows the nozzle space | interval of the state which inclined. テストステージ部に着弾させた液滴を撮像する状態を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the state which images the droplet made to land on the test stage part. インクジェットヘッド部とテストステージ部との位置関係を示す図であり、（ａ）はインクジェット部が傾斜状態でありテストステージ部が通常状態の場合を示す図、（ｂ）はインクジェット部及びテストステージ部が傾斜した状態を示す図である。It is a figure which shows the positional relationship of an inkjet head part and a test stage part, (a) is a figure which shows the case where an inkjet part is an inclination state, and a test stage part is a normal state, (b) is an inkjet part and a test stage part It is a figure which shows the state which inclined. インクジェットヘッド部とテストステージ部との位置関係を示す図であり、（ａ）はインクジェット部及びテストステージ部が傾斜した状態でテストステージ部上に着弾した状態を示す図、（ｂ）は（ａ）の状態からテストステージ部を通常状態に戻した状態を示す図である。It is a figure which shows the positional relationship of an inkjet head part and a test stage part, (a) is a figure which shows the state which landed on the test stage part in the state which the inkjet part and the test stage part inclined, (b) is (a) It is a figure which shows the state which returned the test stage part to the normal state from the state of (). 従来のインクジェット塗布装置の上面図である。It is a top view of the conventional inkjet coating device. インクジェットヘッド部とテストステージ部との位置関係を示す図であり、（ａ）は初期状態のインクジェットヘッド部で通常状態のテストステージ部に着弾させた状態を示す図、（ｂ）は（ａ）の状態でカメラ部で撮像する状態を示す図である。It is a figure which shows the positional relationship of an inkjet head part and a test stage part, (a) is a figure which shows the state made to land on the test stage part of a normal state with the inkjet head part of an initial state, (b) is (a). It is a figure which shows the state imaged with a camera part in this state. インクジェットヘッド部とテストステージ部との位置関係を示す図であり、（ａ）は傾斜状態のインクジェットヘッド部で通常状態のテストステージ部に着弾させた状態を示す図、（ｂ）は（ａ）の状態でカメラ部で撮像する状態を示す図である。It is a figure which shows the positional relationship of an inkjet head part and a test stage part, (a) is the figure which shows the state made to land on the test stage part of a normal state by the inkjet head part of an inclination state, (b) is (a). It is a figure which shows the state imaged with a camera part in this state.

本発明のインクジェット塗布装置に係る実施の形態を図面を用いて説明する。   Embodiments according to the inkjet coating apparatus of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１は、インクジェット塗布装置の一実施形態を示す側面図であり、図２は、インクジェット塗布装置の上面図である。   FIG. 1 is a side view showing an embodiment of an inkjet coating apparatus, and FIG. 2 is a top view of the inkjet coating apparatus.

インクジェット塗布装置は、図１、図２に示すように、基材Ｗを載置するステージユニット１０と、基材Ｗに液滴Ｐ（塗布材料）を塗布する液滴ユニット２とを有しており、液滴ユニット２がステージユニット１０に載置された基材Ｗ上を移動しつつ、液滴Ｐ（インクＰともいう）を所定の着弾位置に吐出することにより、基材Ｗ上に塗布膜が形成される。   As shown in FIGS. 1 and 2, the inkjet coating apparatus includes a stage unit 10 on which the substrate W is placed, and a droplet unit 2 that applies droplets P (coating material) to the substrate W. The liquid droplet unit 2 moves on the substrate W placed on the stage unit 10, and the liquid droplet P (also referred to as ink P) is ejected to a predetermined landing position to be applied onto the substrate W. A film is formed.

なお、以下の説明では、この液滴ユニット２が移動する方向をＸ軸方向（主走査方向）、これと水平面上で直交する方向をＹ軸方向（副走査方向）、Ｘ軸およびＹ軸方向の双方に直交する方向をＺ軸方向として説明を進めることとする。   In the following description, the direction in which the droplet unit 2 moves is the X-axis direction (main scanning direction), the direction orthogonal to the horizontal plane is the Y-axis direction (sub-scanning direction), and the X-axis and Y-axis directions. The description will be made with the direction orthogonal to both directions as the Z-axis direction.

インクジェット塗布装置は、基台１を有しており、この基台１上にステージユニット１０、液滴ユニット２が設けられている。具体的には、基台１上にステージユニット１０が設けられており、このステージユニット１０をＹ軸方向に跨ぐように液滴ユニット２が設けられている。   The ink jet coating apparatus has a base 1, and a stage unit 10 and a droplet unit 2 are provided on the base 1. Specifically, a stage unit 10 is provided on the base 1, and the droplet unit 2 is provided so as to straddle the stage unit 10 in the Y-axis direction.

ステージユニット１０は、基材Ｗを載置するものであり、基材Ｗを載置するステージ本体部１１と、液滴ユニット２から吐出されるインクＰの吐出位置を確認するためのテストステージ部１２とを有している。本実施形態では、ステージ本体部１１及びテストステージ部１２は、長手方向を有する矩形状に形成されており、それぞれ長手方向がＸ軸方向に沿う方向に配置されている。また、テストステージ部１２は、ステージ本体部１１のＹ軸方向側面側に配置されている。   The stage unit 10 is for placing the substrate W, a stage main body 11 for placing the substrate W, and a test stage unit for confirming the ejection position of the ink P ejected from the droplet unit 2. 12. In the present embodiment, the stage body 11 and the test stage 12 are formed in a rectangular shape having a longitudinal direction, and the longitudinal directions are arranged in directions along the X-axis direction. The test stage unit 12 is disposed on the side surface side of the stage body 11 in the Y-axis direction.

ステージ本体部１１は、最終的に製品になる基材Ｗを載置するものであり、載置された基材Ｗが水平な姿勢を維持した状態で載置できるようになっている。具体的には、ステージ本体部１１の表面は、平坦に形成されており、その表面には、吸引孔が複数形成されている。この吸引孔には真空ポンプが接続されており、ステージ本体部１１の表面に基材Ｗを載置した状態で真空ポンプを作動させることにより、吸引孔に吸引力が発生し、基材Ｗが水平な姿勢でステージ本体部１１の表面に吸着保持できるようになっている。   The stage main body 11 is for placing the base material W that will eventually become a product, and can be placed in a state where the placed base material W maintains a horizontal posture. Specifically, the surface of the stage main body 11 is formed flat, and a plurality of suction holes are formed on the surface. A vacuum pump is connected to the suction hole. By operating the vacuum pump in a state where the substrate W is placed on the surface of the stage body 11, a suction force is generated in the suction hole. It can be sucked and held on the surface of the stage main body 11 in a horizontal posture.

また、テストステージ部１２は、吐出検査を行うためのものであり、インクジェットヘッド部２１から吐出される液滴Ｐの吐出位置の精度を確認する。このテストステージ部１２は、液滴Ｐを吐出するためのフィルム状の検証基材Ｗｔが供給されるように構成されており、２つのローラ間に検証基材Ｗｔが架け渡されて形成されている。すなわち、供給側ローラから巻取側ローラに検証基材Ｗｔが供給され、吐出検査時には、各ローラ間の検証基材Ｗｔに液滴Ｐが吐出される。そして、吐出検査が終了すると、液滴Ｐが吐出された検証基材Ｗｔが巻き取られ、次回の吐出検査に備えて新たな検証基材Ｗｔが供給されるようになっている。本実施形態では、検証基材ＷｔがＸ軸方向に搬送されるように配置されており、検証基材Ｗｔの長手方向がＸ軸方向と一致するように配置されている。   The test stage unit 12 is for performing a discharge inspection, and confirms the accuracy of the discharge position of the droplets P discharged from the inkjet head unit 21. The test stage unit 12 is configured to be supplied with a film-like verification base material Wt for discharging droplets P, and is formed by bridging the verification base material Wt between two rollers. Yes. That is, the verification base material Wt is supplied from the supply side roller to the take-up side roller, and droplets P are discharged to the verification base material Wt between the rollers at the time of discharge inspection. When the discharge inspection is completed, the verification substrate Wt from which the droplets P have been discharged is taken up, and a new verification substrate Wt is supplied in preparation for the next discharge inspection. In the present embodiment, the verification base material Wt is arranged so as to be conveyed in the X-axis direction, and the verification base material Wt is arranged so that the longitudinal direction coincides with the X-axis direction.

また、液滴ユニット２は、基材Ｗ上に塗布材料である液滴Ｐを着弾させて塗布するものであり、塗布材料を吐出するインクジェットヘッド部２１と、このインクジェットヘッド部２１を支持するガントリ部２２とを有している。   In addition, the droplet unit 2 is applied by landing droplets P, which are coating materials, on the substrate W, and an inkjet head unit 21 that discharges the coating material, and a gantry that supports the inkjet head unit 21. Part 22.

このガントリ部２２は、ステージ本体部１１のＹ軸方向両外側に配置される脚部２２ａと、これらの脚部２２ａを連結しＹ軸方向に延びるビーム部材２２ｂとを有する略門型形状に形成されている。そして、このビーム部材２２ｂにインクジェットヘッド部２１が取付けられており、ガントリ部２２は、ステージ本体部１１をＹ軸方向に跨いだ状態でＸ軸方向に移動可能に取り付けられている。本実施形態では、基台１のＹ軸方向両端部分にはそれぞれＸ軸方向に延びるレール（不図示）が設置されており、脚部２２ａがこのレールにスライド自在に取り付けられている。そして、脚部２２ａにはリニアモータが取り付けられており、このリニアモータを駆動制御することにより、ガントリ部２２がＸ軸方向に移動し、任意の位置で停止できるようになっている。   The gantry portion 22 is formed in a substantially portal shape having leg portions 22a disposed on both outer sides in the Y-axis direction of the stage main body portion 11 and beam members 22b that connect the leg portions 22a and extend in the Y-axis direction. Has been. An ink jet head portion 21 is attached to the beam member 22b, and the gantry portion 22 is attached so as to be movable in the X axis direction while straddling the stage main body portion 11 in the Y axis direction. In the present embodiment, rails (not shown) extending in the X-axis direction are installed at both ends of the base 1 in the Y-axis direction, and the leg portions 22a are slidably attached to the rails. A linear motor is attached to the leg portion 22a, and by driving and controlling the linear motor, the gantry portion 22 moves in the X-axis direction and can be stopped at an arbitrary position.

また、ビーム部材２２ｂは、両脚部２２ａを連結する柱状部材である。このビーム部材２２ｂには、インクジェットヘッド部２１が取付けられている。具体的には、ビーム部材２２ｂのＸ軸方向一方側の側面に、インクジェットヘッド部２１が取り付けられており、このインクジェットヘッド部２１に設けられたノズル３１ａ，４１ａ（図３参照）がステージ本体部１１の表面に向く姿勢で取付けられている。したがって、ガントリ部２２がＸ軸方向に移動又は停止するにしたがって、インクジェットヘッド部２１もそれに付随してＸ軸方向に移動又は停止を行うことができ、ガントリ部２２の移動量を調節することにより、ステージ本体部１１の表面に載置された基材Ｗ上にインクジェットヘッド部２１を位置させて基材Ｗ上に塗布材料である液滴Ｐを吐出できるようになっている。   The beam member 22b is a columnar member that connects both the leg portions 22a. An ink jet head portion 21 is attached to the beam member 22b. Specifically, an ink jet head portion 21 is attached to a side surface on one side in the X-axis direction of the beam member 22b, and nozzles 31a and 41a (see FIG. 3) provided on the ink jet head portion 21 are stage body portions. 11 is attached in a posture facing the surface. Therefore, as the gantry unit 22 moves or stops in the X-axis direction, the inkjet head unit 21 can also be moved or stopped in the X-axis direction along with it, and by adjusting the movement amount of the gantry unit 22 The inkjet head unit 21 is positioned on the substrate W placed on the surface of the stage main body 11 so that the droplets P as the coating material can be discharged onto the substrate W.

また、インクジェットヘッド部２１は、複数のノズル３１ａ，４１ａを一体化させたものである。本実施形態では、インクジェットヘッド部２１は、複数のノズル３１ａを有する第１ノズルユニット３０と、複数のノズル４１ａを有する第２ノズルユニット４０とを有しており、第１ノズルユニット３０と第２ノズルユニット４０とがＸ軸方向に互いに隣接して配置された状態で固定されている。本実施形態では、ノズル３１ａとノズル４１ａは同じノズルが用いられており、同じ大きさの粒径を吐出できるようになっているが、ノズル３１ａとノズル４１ａとで異形ノズルを用いて粒径の異なるインクＰを吐出できる構成にしてもよい。   Moreover, the inkjet head part 21 integrates several nozzle 31a, 41a. In the present embodiment, the inkjet head unit 21 includes a first nozzle unit 30 having a plurality of nozzles 31a and a second nozzle unit 40 having a plurality of nozzles 41a. The nozzle unit 40 is fixed in a state of being arranged adjacent to each other in the X-axis direction. In the present embodiment, the same nozzle is used as the nozzle 31a and the nozzle 41a so that the same particle size can be discharged. However, the nozzle 31a and the nozzle 41a have different particle sizes using different shaped nozzles. A configuration in which different inks P can be ejected may be employed.

このインクジェットヘッド部２１は、ビーム部材２２ｂに沿ってＹ軸方向に第１ノズルユニット３０と第２ノズルユニット４０とが一体となって移動できるようになっている。具体的には、ビーム部２２ｂ上にはＹ軸方向に延びるレール（不図示）が設けられており、このレールにインクジェットヘッド部２１がスライド自在に取り付けられている。そして、リニアモータを駆動制御することにより任意の位置に移動、及び、停止できるようになっている。そして、インクジェットヘッド部２１は、Ｙ軸方向に微少移動できようになっており、基材Ｗに対してＹ軸方向の所定位置に塗布材料である液滴Ｐを精度よく着弾させることができる。すなわち、インクジェットヘッド部２１がＹ軸方向に移動し、ステージ１０がＸ軸方向に移動することにより、インクジェットヘッド部２１とステージユニット１０とが相対的に移動し、ステージユニット１０上の基材Ｗの所定位置に精度よく液滴Ｐを着弾させることができるようになっている。   The ink jet head unit 21 is configured such that the first nozzle unit 30 and the second nozzle unit 40 can move together in the Y-axis direction along the beam member 22b. Specifically, a rail (not shown) extending in the Y-axis direction is provided on the beam portion 22b, and the inkjet head portion 21 is slidably attached to this rail. The linear motor can be driven and controlled to move to an arbitrary position and stopped. The ink jet head unit 21 can move slightly in the Y-axis direction, and can accurately land the droplet P, which is a coating material, on the base material W at a predetermined position in the Y-axis direction. That is, when the inkjet head unit 21 moves in the Y-axis direction and the stage 10 moves in the X-axis direction, the inkjet head unit 21 and the stage unit 10 move relatively, and the substrate W on the stage unit 10 is moved. The droplet P can be landed at a predetermined position with high accuracy.

第１ノズルユニット３０は、図３に示すように、ノズル３１ａを有する複数のヘッドモジュール３１を備えている。本実施形態では、複数のヘッドモジュール３１がＹ軸方向に沿って配列されており、塗布方向に対して直交する方向に配置されている。ヘッドモジュール３１は、複数のノズル３１ａを有しており、ノズル３１ａが一方向に所定の配列ピッチで整列した状態で設けられている。このノズル３１ａは、汎用性のあるノズルが使用されており、ヘッドモジュール３１に駆動電圧が印加されると、各ノズル３１ａに共通の駆動電圧が印加され、各ノズル３１ａから所定の液量の液滴Ｐが吐出されるようになっている。   As shown in FIG. 3, the first nozzle unit 30 includes a plurality of head modules 31 having nozzles 31a. In the present embodiment, the plurality of head modules 31 are arranged along the Y-axis direction and are arranged in a direction orthogonal to the application direction. The head module 31 has a plurality of nozzles 31a, and the nozzles 31a are provided in a state in which the nozzles 31a are aligned at a predetermined arrangement pitch in one direction. The nozzle 31a is a general-purpose nozzle. When a driving voltage is applied to the head module 31, a common driving voltage is applied to each nozzle 31a, and a predetermined amount of liquid is supplied from each nozzle 31a. Drops P are ejected.

また、ヘッドモジュール３１は、それぞれが互いに重複する部分を有するようにずらして配置されている。図３の例では、隣接するヘッドモジュール３１がＸ軸方向に交互にずらして配置されている。すなわち、これらのヘッドモジュール３１は、ノズル３１ａの配置間隔とヘッドモジュール３１の両端部分とでは寸法が異なっているため、この両端部分の寸法分を相殺できるようにＸ軸方向にずらしつつＹ軸方向に配列される。すなわち、第１ノズルユニット３０は、Ｘ軸方向に見て通常ノズル３１ａがＹ軸方向に等間隔で配置されており、第１ノズルユニット３０全体としてＸ軸方向に見て、すべての通常ノズル３１ａがＹ軸方向に沿って一定の配列ピッチで配列され、Ｘ軸方向から見てＹ軸方向に亘って等間隔で配置されている。   Further, the head modules 31 are arranged so as to be shifted so as to have overlapping portions. In the example of FIG. 3, adjacent head modules 31 are alternately shifted in the X-axis direction. That is, these head modules 31 have different dimensions at the arrangement interval of the nozzles 31a and at both end portions of the head module 31, so that they are shifted in the X-axis direction while offsetting the dimensions of these both end portions. Arranged. That is, in the first nozzle unit 30, the normal nozzles 31a are arranged at equal intervals in the Y-axis direction when viewed in the X-axis direction, and all the normal nozzles 31a are viewed as the first nozzle unit 30 as a whole in the X-axis direction. Are arranged at a constant arrangement pitch along the Y-axis direction, and are arranged at equal intervals in the Y-axis direction when viewed from the X-axis direction.

なお、第２ノズルユニット４０は、第１ノズルユニット３０と同じ構成であるため、説明を省略する。   Note that the second nozzle unit 40 has the same configuration as the first nozzle unit 30, and thus the description thereof is omitted.

また、本実施形態では、インクジェットヘッド部２１がガントリ部２２に対して回転可能に形成されている。具体的には、ガントリ部２２のビーム部材２２ａに、インクジェットヘッド部２１がＺ軸回りに回転できるように取り付けられており、インクジェットヘッド部２１は、ノズル３１ａ，４１ａの配列方向がＹ軸方向に一致する初期状態から、Ｘ軸方向に対して任意の角度に傾斜した傾斜状態で固定されるように構成されている。これにより、インクジェットヘッド部２１に配列されたノズルピッチよりも小さいピッチで基材上にインクＰを着弾させることができる。   In the present embodiment, the inkjet head portion 21 is formed to be rotatable with respect to the gantry portion 22. Specifically, the inkjet head unit 21 is attached to the beam member 22a of the gantry unit 22 so that the inkjet head unit 21 can rotate around the Z axis. The inkjet head unit 21 has the nozzles 31a and 41a arranged in the Y axis direction. It is configured to be fixed in an inclined state inclined at an arbitrary angle with respect to the X-axis direction from the coincident initial state. As a result, the ink P can be landed on the substrate at a pitch smaller than the nozzle pitch arranged in the inkjet head unit 21.

すなわち、図４に示すように、初期状態では、図４（ａ）に示すように、Ｙ軸方向においてノズル間隔αに設定されているが、インクジェットヘッド部２１を傾斜させて傾斜状態にすると図４（ｂ）に示すように、すべてのノズル３１ａ，４１ａの配列方向がＸ軸方向に対して所定の角度有する傾斜状態になり、Ｙ軸方向において、ノズル間隔αよりも小さいノズル間隔β（＜α）にすることができる。これにより、インクジェットノズル部２１の第１ノズルユニット３０及び第２ノズルユニット４０自体をノズル間隔の小さいものに付け替えることなく、高解像度ディスプレイなど、高精細な吐出位置を要する製品にも対応することができる。なお、インクジェットヘッド２１の角度は、要求される吐出位置の解像度によってノズルピッチが決まるため、インクジェットヘッド２１は、そのノズルピッチに応じた角度に傾斜した状態に固定される。   That is, as shown in FIG. 4, in the initial state, as shown in FIG. 4A, the nozzle interval α is set in the Y-axis direction. As shown in FIG. 4B, the arrangement direction of all the nozzles 31a and 41a is inclined with a predetermined angle with respect to the X-axis direction, and the nozzle interval β (< α). Accordingly, the first nozzle unit 30 and the second nozzle unit 40 of the inkjet nozzle unit 21 can be used for products requiring a high-definition discharge position, such as a high-resolution display, without replacing the nozzle unit with a small nozzle interval. it can. In addition, since the nozzle pitch is determined by the required resolution of the ejection position, the inkjet head 21 is fixed in an inclined state according to the nozzle pitch.

また、ガントリ部２２のビーム部材２２ｂには、カメラ部５が取り付けられている。このカメラ部５は、テストステージ部１２に着弾された液滴Ｐを撮像するものであり、レンズが下向きになるように取り付けられている。本実施形態では、ビーム部材２２ｂのインクジェットヘッド２１と同じ側に取り付けられている。このカメラ部５は、ビーム部材２２ｂの長手方向（Ｙ軸方向）に沿って移動できるようになっている。   The camera unit 5 is attached to the beam member 22 b of the gantry unit 22. The camera unit 5 images the droplet P landed on the test stage unit 12, and is attached so that the lens faces downward. In the present embodiment, the beam member 22b is attached to the same side as the inkjet head 21. The camera unit 5 can move along the longitudinal direction (Y-axis direction) of the beam member 22b.

具体的には、ビーム部２２ｂ上にはビーム部２２ｂの長手方向に延びるレール（不図示）が設けられており、カメラ部５がこのレールにスライド自在に取り付けられている。そして、リニアモータを駆動制御することにより任意の位置に移動、及び、停止できるようになっている。また、本実施形態では、カメラ部５の撮像範囲５１は、図５に示すように、ビーム部２２ｂの長手方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に延びる矩形状に設定されており、第１ノズルユニット３０又は第２ノズルユニット４０のＸ軸方向の幅寸法よりも少し大きい範囲に設定されている。これにより、テストステージ部１２上でカメラ部５をビーム部２２ｂの長手方向に移動させることにより、第１ノズルユニット３０又は第２ノズルユニット４０から吐出された液滴Ｐを撮像することができる。すなわち、カメラ部５は、一度目の一方向の走査（往路）で一方のノズルユニット（例えば第１ノズルユニット３０）から吐出された液滴Ｐを連続的に撮像し、次の一方向の走査（復路）で、もう一方のノズルユニット（例えば第２ノズルユニット）から吐出された液滴Ｐを連続的に撮像することにより、インクジェットヘッド部２１から吐出される実際の液滴Ｐすべての着弾位置を取得することができる。これにより、カメラ部５により撮像された液滴Ｐの位置から制御装置（不図示）により着弾位置精度、着弾ピッチが検出されることにより、ノズル３１ａ，４１ａの実際の着弾位置を把握することができる。   Specifically, a rail (not shown) extending in the longitudinal direction of the beam portion 22b is provided on the beam portion 22b, and the camera unit 5 is slidably attached to the rail. The linear motor can be driven and controlled to move to an arbitrary position and stopped. In the present embodiment, the imaging range 51 of the camera unit 5 is set to a rectangular shape extending in the direction (X-axis direction) orthogonal to the longitudinal direction of the beam unit 22b, as shown in FIG. The range is set to be slightly larger than the width dimension of the nozzle unit 30 or the second nozzle unit 40 in the X-axis direction. Accordingly, the droplet P discharged from the first nozzle unit 30 or the second nozzle unit 40 can be imaged by moving the camera unit 5 in the longitudinal direction of the beam unit 22b on the test stage unit 12. That is, the camera unit 5 continuously images the droplets P discharged from one nozzle unit (for example, the first nozzle unit 30) in the first one-way scan (outward path), and performs the next one-way scan. Landing positions of all actual droplets P ejected from the inkjet head unit 21 by continuously imaging the droplets P ejected from the other nozzle unit (for example, the second nozzle unit) in the (return path) Can be obtained. Thus, the actual landing positions of the nozzles 31a and 41a can be grasped by detecting the landing position accuracy and the landing pitch by a control device (not shown) from the position of the droplet P imaged by the camera unit 5. it can.

また、本実施形態では、ステージユニット１０が回転できるように形成されている。本実施形態では、ステージ本体部１１とテストステージ部１２とがＺ軸回りに回転できるように構成されている。具体的には、基台１とステージ本体部１１との間に回転機構が設けられ、ステージ本体部１１が基台１に対してＺ軸回りに回転できるようになっている。また、テストステージ部１２はステージ本体部１１と連結されて固定されている。したがって、ステージ本体部１１がＺ軸回りに回転すると、テストステージ部１２はステージ本体部１１を中心に回転するようになっている（図６（ａ）→図６（ｂ））。本実施形態では、インクジェットヘッド部２１の回転角度に応じて回転するように構成されており、ステージ本体部１１及びテストステージ部１２は、インクジェットヘッド部２１の傾斜角度と同じ傾斜角度になるように回転できるように構成されている。このテストステージ部１２が回転することにより、インクジェットヘッド部２１が回転した場合でも、回転しない場合と同様に吐出検査することができる。   In the present embodiment, the stage unit 10 is formed to be rotatable. In the present embodiment, the stage main body 11 and the test stage 12 are configured to be rotatable around the Z axis. Specifically, a rotation mechanism is provided between the base 1 and the stage main body 11 so that the stage main body 11 can rotate around the Z axis with respect to the base 1. The test stage unit 12 is connected and fixed to the stage main body unit 11. Therefore, when the stage main body 11 rotates about the Z axis, the test stage 12 rotates about the stage main body 11 (FIG. 6 (a) → FIG. 6 (b)). In the present embodiment, the inkjet head unit 21 is configured to rotate according to the rotation angle, and the stage main body unit 11 and the test stage unit 12 have the same inclination angle as that of the inkjet head unit 21. It is configured to be able to rotate. By rotating the test stage unit 12, even when the inkjet head unit 21 is rotated, the discharge inspection can be performed in the same manner as when the inkjet stage unit is not rotated.

すなわち、通常の吐出検査では、インクジェットヘッド部２１が回転しないため、ステージユニット１０も回転させず、テストステージ部１２は、テストステージ部１２の長手方向がＸ軸方向に沿う方向に配置される通常状態に配置されている。そして、インクジェットヘッド部２１をテストステージ部１２まで移動させ、テストステージ部１２上の検証基材Ｗｔ上に液滴Ｐを吐出する。検証基材Ｗｔ上には、図９（ａ）に示すように、初期状態のインクジェットヘッド部２１では、ノズル３１ａ，４１ａがＹ軸方向に配列されているため、着弾された液滴ＰはＹ軸方向に並んだ状態で配置されている。   That is, in the normal discharge inspection, since the inkjet head unit 21 does not rotate, the stage unit 10 does not rotate, and the test stage unit 12 is normally arranged in a direction in which the longitudinal direction of the test stage unit 12 is along the X-axis direction. Arranged in a state. Then, the inkjet head unit 21 is moved to the test stage unit 12 and the droplets P are ejected onto the verification substrate Wt on the test stage unit 12. On the verification substrate Wt, as shown in FIG. 9A, in the inkjet head unit 21 in the initial state, since the nozzles 31a and 41a are arranged in the Y-axis direction, the landed droplet P is Y Arranged in the axial direction.

次に、カメラ部５をテストステージ部１２に移動させ、撮像範囲５１がノズル３１ａから吐出された液滴Ｐ列の最端部であって撮像範囲５１と液滴Ｐ列とが直交するように配置する（図５参照）。そして、カメラ部５をビーム部２２ｂの長手方向（この場合、Ｙ軸方向と一致）に移動させ（図９（ｂ））、ノズル３１ａから吐出された液滴Ｐを連続的に撮像する。また、Ｙ軸方向において、先とは逆方向に移動させてノズル４１ａから吐出された液滴Ｐを連続的に撮像する。撮像された液滴Ｐのデータは、制御装置により着弾位置精度、着弾ピッチが算出され、各ノズル３１ａ，４１ａ毎の着弾位置データが補正される。   Next, the camera unit 5 is moved to the test stage unit 12, and the imaging range 51 is the endmost part of the droplet P row ejected from the nozzle 31a so that the imaging range 51 and the droplet P row are orthogonal to each other. Arrange (see FIG. 5). Then, the camera unit 5 is moved in the longitudinal direction of the beam unit 22b (in this case, coincident with the Y-axis direction) (FIG. 9B), and the droplets P ejected from the nozzle 31a are continuously imaged. In addition, the droplet P discharged from the nozzle 41a is continuously imaged by moving in the direction opposite to the previous direction in the Y-axis direction. As for the data of the picked-up droplet P, the landing position accuracy and the landing pitch are calculated by the control device, and the landing position data for each of the nozzles 31a and 41a is corrected.

次に、インクジェットヘッド部２１を回転させた場合の吐出検査も同様に、傾斜状態のインクジェットヘッド部２１からテストステージ部１２に液滴Ｐを着弾させることによって行われる。具体的には、まず、通常状態のテストステージ部１２を回転させる。すなわち、図６（ａ）に示すように、通常状態のテストステージ部１２は、その長手方向がＸ軸方向になるように配置されているため、テストステージ部１２を回転させてインクジェットヘッド部２１と同じ回転角度ｓになるように傾斜させる（図６（ｂ））。すなわち、テストステージ部１２の長手方向がＸ軸方向に対して角度ｓになるように回転させる。この状態では、インクジェットヘッド部２１のノズル３１ａ、４１ａの配列方向がＸ軸方向に対して角度ｓ有しているが、テストステージ部１２の長手方向もＸ軸方向に対して角度ｓを有しているため、ノズル３１ａ、４１ａとテストステージ部１２との相対的な位置関係は、インクジェットヘッド部２１が回転しない通常状態と同様である。   Next, the ejection inspection when the inkjet head unit 21 is rotated is similarly performed by causing droplets P to land on the test stage unit 12 from the inclined inkjet head unit 21. Specifically, first, the test stage unit 12 in the normal state is rotated. That is, as shown in FIG. 6A, since the test stage unit 12 in the normal state is arranged so that the longitudinal direction thereof is the X-axis direction, the ink jet head unit 21 is rotated by rotating the test stage unit 12. Is inclined so as to have the same rotation angle s as in FIG. 6 (b). That is, the test stage unit 12 is rotated so that the longitudinal direction thereof is at an angle s with respect to the X-axis direction. In this state, the arrangement direction of the nozzles 31a and 41a of the inkjet head unit 21 has an angle s with respect to the X-axis direction, but the longitudinal direction of the test stage unit 12 also has an angle s with respect to the X-axis direction. Therefore, the relative positional relationship between the nozzles 31a and 41a and the test stage unit 12 is the same as in the normal state in which the inkjet head unit 21 does not rotate.

そして、インクジェットヘッド部２１をテストステージ部１２まで移動させ、テストステージ部１２上の検証基材Ｗｔ上に液滴Ｐを吐出する。検証基材Ｗｔ上には、図７（ａ）に示すように、傾斜状態のインクジェットヘッド部２１では、ノズル３１ａ，４１ａの配列方向がＸ軸方向に対して角度ｓ傾斜しているため、着弾された液滴ＰはＸ軸方向に対して角度ｓ傾斜した方向に並んだ状態で配置されている。   Then, the inkjet head unit 21 is moved to the test stage unit 12 and the droplets P are ejected onto the verification substrate Wt on the test stage unit 12. On the verification substrate Wt, as shown in FIG. 7A, in the inclined inkjet head unit 21, the arrangement direction of the nozzles 31a and 41a is inclined by the angle s with respect to the X-axis direction. The droplets P thus arranged are arranged in a state where they are arranged in a direction inclined by an angle s relative to the X-axis direction.

次に、カメラ部５で着弾された液滴Ｐを撮像するが、図７（ａ）の状態では、カメラ部５の移動方向と液滴Ｐの配列方向が異なっているため、テストステージ部１２を回転させて通常状態に戻す。すなわち、図７（ｂ）に示すように、テストステージ部１２の長手方向がＸ軸方向になるように回転させる。この状態では、検証基材Ｗｔ上に着弾された液滴Ｐの配列方向が初期状態と同様になる。そのため、通常状態と同様に、カメラ部５をテストステージ部１２に移動させ、ノズル３１ａ、４１ａから吐出された液滴Ｐを連続的に撮像する。撮像された液滴Ｐのデータは、制御装置により着弾位置精度、着弾ピッチが算出され、各ノズル３１ａ，４１ａ毎の着弾位置データが補正される。   Next, the droplet P landed by the camera unit 5 is imaged. In the state of FIG. 7A, the moving direction of the camera unit 5 and the arrangement direction of the droplets P are different, and therefore the test stage unit 12. Rotate to return to normal state. That is, as shown in FIG. 7B, the test stage unit 12 is rotated so that the longitudinal direction is the X-axis direction. In this state, the arrangement direction of the droplets P landed on the verification substrate Wt is the same as the initial state. Therefore, as in the normal state, the camera unit 5 is moved to the test stage unit 12, and the droplets P ejected from the nozzles 31a and 41a are continuously imaged. As for the data of the picked-up droplet P, the landing position accuracy and the landing pitch are calculated by the control device, and the landing position data for each of the nozzles 31a and 41a is corrected.

このように、上述した実施形態におけるインクジェット塗布装置によれば、テストステージ部１２がインクジェットヘッド部２１の回転に応じて回転可能に形成されているため、吐出検査では、カメラ部５をガントリ部２２に沿って一方向に移動させることにより連続して撮像することができる。すなわち、インクジェットヘッド部２１を傾斜させた状態でテストステージ部１２を回転させずに吐出検査を行うと、テストステージ部１２には、図１０（ａ）に示すように、着弾された液滴Ｐが傾斜した状態で配列される。この液滴Ｐをカメラ部５で撮像しようとすると、カメラ部５の移動方向がビーム部２２ｂの長手方向であるため、液滴Ｐの傾斜方向に沿って一方向に移動させて撮像することができず、撮像中にガントリ部２２の移動（Ｘ軸方向の移動）とカメラ部５の移動（Ｙ軸方向の移動）との両方の移動を伴う必要があり（図１０（ｂ））、インクジェットヘッド部２１を回転させない通常状態に比べて、着弾された液滴Ｐをすべて撮像するのに非常に時間がかかる。そこで、テストステージ部１２を回転させることによりカメラ部５を一方向の走査によって連続して撮像し吐出検査を行うことができるため、テストステージ部１２を傾斜させない場合に比べて吐出検査に要する時間が増大するのを回避することができる。   As described above, according to the ink jet coating apparatus in the above-described embodiment, the test stage unit 12 is formed to be rotatable according to the rotation of the ink jet head unit 21. Can be continuously imaged by moving in one direction along the line. That is, when a discharge inspection is performed without rotating the test stage unit 12 with the inkjet head unit 21 tilted, the droplet P that has landed on the test stage unit 12 as shown in FIG. Are arranged in an inclined state. When an attempt is made to image the droplet P with the camera unit 5, the moving direction of the camera unit 5 is the longitudinal direction of the beam unit 22 b, so that the image can be captured by moving in one direction along the inclination direction of the droplet P. This is not possible, and it is necessary to accompany both movement of the gantry 22 (movement in the X-axis direction) and movement of the camera section 5 (movement in the Y-axis direction) during imaging (FIG. 10B). Compared to the normal state in which the head unit 21 is not rotated, it takes much time to image all the landed droplets P. Therefore, by rotating the test stage unit 12, the camera unit 5 can be continuously imaged by scanning in one direction to perform a discharge inspection. Therefore, the time required for the discharge inspection compared to the case where the test stage unit 12 is not tilted. Can be avoided.

また、カメラ部５をテストステージ部１２全体を撮像できるものを使用することにより、インクジェットヘッド部２１の回転に影響を受けることなく、一度の撮像で吐出検査を行うことができる。ところが、撮像範囲５１の広いカメラは非常に高価であるため、装置全体のコストアップを招く結果となる。その点、本発明では、従来のカメラ部５を使用することができるため、不必要なコストアップを回避することができる。   In addition, by using the camera unit 5 that can image the entire test stage unit 12, it is possible to perform a discharge inspection with a single imaging without being affected by the rotation of the inkjet head unit 21. However, a camera with a wide imaging range 51 is very expensive, resulting in an increase in the cost of the entire apparatus. In that respect, in the present invention, since the conventional camera unit 5 can be used, unnecessary cost increase can be avoided.

また、上記実施形態では、ステージ本体部１１とテストステージ部１２の両方が回転する例について説明したが、テストステージ部１２のみがインクジェットヘッド部２１の回転に応じて回転するように構成してもよい。この構成によれば、テストステージ部１２のみ回転させればよいため、ステージ本体部１１を共に回転させる構成に比べて回転機構を簡素化することができる。   In the above embodiment, an example in which both the stage main body 11 and the test stage 12 rotate has been described. However, only the test stage 12 may be configured to rotate according to the rotation of the inkjet head unit 21. Good. According to this configuration, since only the test stage unit 12 needs to be rotated, the rotation mechanism can be simplified as compared with the configuration in which the stage main body unit 11 is rotated together.

なお、上記実施形態では、ステージユニット１０に対してインクジェットヘッド部２１が移動する構成について説明したが、インクジェットヘッド部２１が固定され、ステージユニット１０が移動する構成であってもよい。   In the above embodiment, the configuration in which the inkjet head unit 21 moves with respect to the stage unit 10 has been described, but the configuration in which the inkjet head unit 21 is fixed and the stage unit 10 moves may be used.

２ 液滴ユニット
５ カメラ部
１０ ステージユニット
１１ ステージ本体部
１２ テストステージ部
２１ インクジェットヘッド部
２２ ガントリ部
２２ｂ ビーム部
３０ 第１ノズルユニット
４０ 第２ノズルユニット
Ｗ 基材
Ｗｔ 検証基材 2 droplet unit 5 camera unit 10 stage unit 11 stage main body unit 12 test stage unit 21 inkjet head unit 22 gantry unit 22b beam unit 30 first nozzle unit 40 second nozzle unit W substrate Wt verification substrate

Claims (2)

基材を載置するステージユニットと、
前記ステージユニットを跨いで設けられ、前記ステージユニットと一方向に相対的に移動可能なガントリ部と、
前記ガントリ部に回転可能に設けられ、基材上に液滴を吐出する複数のノズルを有するインクジェットヘッド部と、
前記ガントリ部に設けられ、前記インクジェットヘッド部から吐出された液滴を撮像するカメラ部と、
を備えるインクジェット塗布装置であって、
前記ステージユニットは、基材を載置するステージ本体部と、前記インクジェットヘッドから液滴を吐出して吐出位置を確認するためのテストステージ部とを有しており、
少なくとも前記テストステージ部は、前記インクジェットヘッド部の回転に応じて回転可能に形成されていることを特徴とするインクジェット塗布装置。 A stage unit for placing the substrate;
A gantry that is provided across the stage unit and is movable relative to the stage unit in one direction;
An inkjet head unit rotatably provided in the gantry unit and having a plurality of nozzles for discharging droplets on a substrate;
A camera unit that is provided in the gantry unit and images a droplet discharged from the inkjet head unit;
An inkjet coating apparatus comprising:
The stage unit has a stage main body portion on which a substrate is placed, and a test stage portion for discharging droplets from the inkjet head and confirming the discharge position.
At least the test stage unit is formed to be rotatable in accordance with the rotation of the inkjet head unit. 前記ステージ本体部と、前記テストステージ部とが共通の回転機構により、前記インクジェットヘッドの回転に応じて回転するように形成されていることを特徴とするインクジェット塗布装置。   An inkjet coating apparatus, wherein the stage main body and the test stage are rotated by a common rotation mechanism according to the rotation of the inkjet head.

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