JP2018533736A - 試験ガス入口における圧力測定 - Google Patents
試験ガス入口における圧力測定 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018533736A JP2018533736A JP2018524276A JP2018524276A JP2018533736A JP 2018533736 A JP2018533736 A JP 2018533736A JP 2018524276 A JP2018524276 A JP 2018524276A JP 2018524276 A JP2018524276 A JP 2018524276A JP 2018533736 A JP2018533736 A JP 2018533736A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inlet
- gas inlet
- test gas
- pump
- mass spectrometer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 114
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 title description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 17
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 114
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 14
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 12
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 12
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 3
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 150000002371 helium Chemical class 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
- G01M3/205—Accessories or associated equipment; Pump constructions
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Abstract
Description
動作時間=V×pv,max/Q となる。
Q:スロットルD1を通過する流量
V:予備排気領域の体積
pv,max:許容最大予備排気圧力
14 高真空ポンプ
16 予備排気ポンプ
18 試験ガス入口
22 高真空ポンプ入口
24 高真空ポンプ出口
26 予備排気ポンプ入口
34 中間入口
38 接続ライン
42 流体スロットル
14 高真空ポンプ
16 予備排気ポンプ
18 試験ガス入口
22 高真空ポンプ入口
24 高真空ポンプ出口
26 予備排気ポンプ入口
34 中間ガス入口
42 流体スロットル
Claims (9)
- 質量分析計型リークディテクタの試験ガス入口(18)での圧力を測定する装置であって、
質量分析計(12)が高真空ポンプ(14)の入口(22)に接続されており、前記高真空ポンプ(14)の出口(24)が予備排気ポンプ(16)の入口(26)に接続されており、前記予備排気ポンプ(16)の前記入口(26)が前記試験ガス入口(18)に接続されている、装置において、
前記予備排気ポンプ(16)の前記入口(26)と前記高真空ポンプ(14)の少なくとも1つの中間入口(34)とが、流体スロットル(42)を有する接続ライン(38)によって互いに接続されていることを特徴とする、装置。 - 請求項1に記載の装置において、前記スロットル(42)のガス通過量が、該スロットル(42)に生じる圧力差が約1000mbarのときに10−5mbar・l/s〜10−3mbar・l/sの範囲内であることを特徴とする、装置。
- 請求項1または2に記載の装置において、前記スロットル(42)から前記接続ライン(38)の前記真空ポンプ側始点までの距離が、前記スロットル(42)から前記接続ライン(38)の前記高真空ポンプ側の終点までの距離よりも短いことを特徴とする、装置。
- 請求項1から3のいずれか一項に記載の装置において、前記スロットル(42)が、オリフィスまたはキャピラリーとして設計されていることを特徴とする、装置。
- 請求項1から4のいずれか一項に記載の装置において、前記予備排気ポンプ側の入口が、前記接続ライン(38)内にロックされていることを特徴とする、装置。
- 質量分析計型リークディテクタの試験ガス入口(18)での圧力を測定する方法であって、質量分析計(12)が高真空ポンプ(14)の入口(22)に接続されており、前記高真空ポンプ(14)の出口(24)が予備排気ポンプ(16)の入口(26)に接続されており、前記予備排気ポンプ(16)の前記入口(26)が前記試験ガス入口(18)に接続されている、方法において、
前記試験ガス入口(18)から前記予備排気ポンプ(16)へのガス流から、部分流が分岐され、絞られて前記高真空ポンプ(14)の少なくとも1つの中間ガス入口(34)に供給されて、前記分岐した部分流における試験ガスの分圧を前記質量分析計(12)によって測定することにより、前記試験ガス入口(18)での圧力が測定されることを特徴とする、方法。 - 請求項6に記載の方法において、前記部分流は、圧力差が約1000mbarのときに最大で10−5〜10−3mbar・l/sの範囲内にまで絞られることを特徴とする、方法。
- 請求項6または7に記載の方法において、前記部分流の絞りの箇所を、前記高真空ポンプ(14)の前記中間ガス入口(34)よりも前記予備排気ポンプ(16)の前記入口(26)の近くに位置させることを特徴とする、方法。
- 請求項6から8のいずれか一項に記載の方法において、前記分岐した部分流が、遮断されていることを特徴とする、方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102015222213.6A DE102015222213A1 (de) | 2015-11-11 | 2015-11-11 | Druckmessung am Prüfgaseinlass |
DE102015222213.6 | 2015-11-11 | ||
PCT/EP2016/077242 WO2017081136A1 (de) | 2015-11-11 | 2016-11-10 | Druckmessung am prüfgaseinlass |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018533736A true JP2018533736A (ja) | 2018-11-15 |
JP2018533736A5 JP2018533736A5 (ja) | 2019-12-12 |
JP6883036B2 JP6883036B2 (ja) | 2021-06-02 |
Family
ID=57288406
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018524276A Active JP6883036B2 (ja) | 2015-11-11 | 2016-11-10 | 試験ガス入口における圧力測定 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20180328809A1 (ja) |
EP (1) | EP3374746B1 (ja) |
JP (1) | JP6883036B2 (ja) |
KR (1) | KR102684152B1 (ja) |
CN (1) | CN108369151B (ja) |
DE (1) | DE102015222213A1 (ja) |
TW (1) | TWI718204B (ja) |
WO (1) | WO2017081136A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR3069639B1 (fr) * | 2017-07-26 | 2019-08-30 | Pfeiffer Vacuum | Sonde de reniflage, detecteur de fuites et procede de detection de fuites |
FR3070489B1 (fr) * | 2017-08-29 | 2020-10-23 | Pfeiffer Vacuum | Detecteur de fuites et procede de detection de fuites pour le controle de l'etancheite d'objets a tester |
FR3072774B1 (fr) * | 2017-10-19 | 2019-11-15 | Pfeiffer Vacuum | Detecteur de fuites pour le controle de l'etancheite d'un objet a tester |
CN110007013A (zh) * | 2019-02-01 | 2019-07-12 | 中国石油天然气集团公司 | 一种输气管道气体组分实时分析***及实时分析方法 |
CN111707423B (zh) * | 2020-06-18 | 2022-04-15 | 苏州镓港半导体有限公司 | 真空***测漏方法及用于真空***的测漏装置 |
GB2606392B (en) * | 2021-05-07 | 2024-02-14 | Edwards Ltd | A fluid routing for a vacuum pumping system |
DE102021119256A1 (de) | 2021-07-26 | 2023-01-26 | Inficon Gmbh | Leckdetektoren |
DE102022115562A1 (de) * | 2022-06-22 | 2023-12-28 | Inficon Gmbh | Verfahren zur Messung der Umgebungskonzentration eines leichten Gases mit einer massenspektrometrischen Gegenstrom-Lecksuchvorrichtung |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0746074B2 (ja) * | 1984-11-27 | 1995-05-17 | 日電アネルバ株式会社 | 真空計 |
EP0283543B1 (de) | 1987-03-27 | 1991-12-11 | Leybold Aktiengesellschaft | Lecksuchgerät und Betriebsverfahren dazu |
DE4140366A1 (de) * | 1991-12-07 | 1993-06-09 | Leybold Ag, 6450 Hanau, De | Lecksucher fuer vakuumanlagen sowie verfahren zur durchfuehrung der lecksuche an vakuumanlagen |
DE4228313A1 (de) * | 1992-08-26 | 1994-03-03 | Leybold Ag | Gegenstrom-Lecksucher mit Hochvakuumpumpe |
DE4326264A1 (de) * | 1993-08-05 | 1995-02-09 | Leybold Ag | Testgasdetektor mit Vakuumpumpe sowie Verfahren zum Betrieb eines Testgasdetektors dieser Art |
DE19504278A1 (de) * | 1995-02-09 | 1996-08-14 | Leybold Ag | Testgas-Lecksuchgerät |
FR2761776B1 (fr) * | 1997-04-03 | 1999-07-23 | Alsthom Cge Alcatel | Detecteur de fuite a gaz traceur |
DE19735250A1 (de) * | 1997-08-14 | 1999-02-18 | Leybold Vakuum Gmbh | Verfahren zum Betrieb eines Heliumlecksuchers und für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Heliumlecksucher |
DE10324596A1 (de) * | 2003-05-30 | 2004-12-16 | Inficon Gmbh | Lecksuchgerät |
US7204127B2 (en) * | 2003-06-11 | 2007-04-17 | Varian, Inc. | Method and apparatus for large leak testing |
JP4374241B2 (ja) * | 2003-12-05 | 2009-12-02 | アディクセン スカンディナビア エービー | 対象物の密封性を測定するためのシステム及び方法 |
DE102006034735A1 (de) * | 2006-07-27 | 2008-01-31 | Inficon Gmbh | Lecksuchgerät |
US7500381B2 (en) * | 2006-08-31 | 2009-03-10 | Varian, Inc. | Systems and methods for trace gas leak detection of large leaks at relatively high test pressures |
US8661875B2 (en) * | 2012-05-07 | 2014-03-04 | Caterpillar Inc. | System and method to detect accumulator loss of precharge |
CN103207050B (zh) * | 2013-04-15 | 2015-06-03 | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 | 一种可延长密封器件候检时间的质谱检漏预充氦法 |
DE102013218506A1 (de) * | 2013-09-16 | 2015-03-19 | Inficon Gmbh | Schnüffellecksucher mit mehrstufiger Membranpumpe |
-
2015
- 2015-11-11 DE DE102015222213.6A patent/DE102015222213A1/de not_active Withdrawn
-
2016
- 2016-11-10 EP EP16795011.2A patent/EP3374746B1/de active Active
- 2016-11-10 KR KR1020187016459A patent/KR102684152B1/ko active IP Right Grant
- 2016-11-10 US US15/774,752 patent/US20180328809A1/en not_active Abandoned
- 2016-11-10 CN CN201680064312.6A patent/CN108369151B/zh active Active
- 2016-11-10 WO PCT/EP2016/077242 patent/WO2017081136A1/de active Application Filing
- 2016-11-10 JP JP2018524276A patent/JP6883036B2/ja active Active
- 2016-11-11 TW TW105136961A patent/TWI718204B/zh active
-
2020
- 2020-05-07 US US16/869,165 patent/US20200264066A1/en active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20180088833A (ko) | 2018-08-07 |
CN108369151B (zh) | 2021-06-04 |
EP3374746B1 (de) | 2020-07-15 |
EP3374746A1 (de) | 2018-09-19 |
KR102684152B1 (ko) | 2024-07-10 |
TW201721119A (zh) | 2017-06-16 |
DE102015222213A1 (de) | 2017-05-11 |
US20180328809A1 (en) | 2018-11-15 |
CN108369151A (zh) | 2018-08-03 |
JP6883036B2 (ja) | 2021-06-02 |
WO2017081136A1 (de) | 2017-05-18 |
TWI718204B (zh) | 2021-02-11 |
US20200264066A1 (en) | 2020-08-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6883036B2 (ja) | 試験ガス入口における圧力測定 | |
JP2541615B2 (ja) | 漏洩検査器及びこれの運転法 | |
RU2573121C2 (ru) | Течеискатель | |
JPH0478936B2 (ja) | ||
JP3483571B2 (ja) | テストガス−漏れ検出器 | |
US8752412B2 (en) | Sniffing leak detector | |
KR102475663B1 (ko) | 질량분광분석법에 의한 투과 측정 방법 및 디바이스 | |
KR20110055334A (ko) | 리크 디텍터 및 누설 검출 방법 | |
JPH07501622A (ja) | 真空装置のための漏えい検出装置並びに真空装置の漏えい検出を実施する方法 | |
JP2635587B2 (ja) | リーク検査装置のディテクタを較正する装置 | |
JPH10510922A (ja) | 向流形スニッファ漏れ検査器 | |
US20240019336A1 (en) | Gas leak detection device and gas leak detection method for identifying a gas leak in a test object | |
US6945092B2 (en) | Method for operating a film leak indicator and a corresponding film leak indicator for carrying out said method | |
TW201625911A (zh) | 逆流滲漏偵測裝置及方法 | |
TW202300879A (zh) | 洩漏偵測裝置及用於對洩漏偵測裝置排氣的方法 | |
RU2239807C2 (ru) | Способ испытания на герметичность и вакуумная система течеискателя, реализующая его | |
JP3467656B2 (ja) | スニッファー用ヘリウムリークディテクタ | |
JP2024526701A (ja) | 漏れ検出器 | |
JP4130968B2 (ja) | 漏洩検知装置 | |
JP2010159974A (ja) | ヘリウムリークデテクタ | |
TW202409533A (zh) | 洩漏偵測裝置及其用於在測試樣品中偵測氣體洩漏的方法 | |
TW202413911A (zh) | 以質譜逆流洩漏偵測裝置判斷輕質氣體周遭濃度的方法 | |
JPH0875590A (ja) | 漏洩試験装置及び方法 | |
JP2006250785A (ja) | リークディテクタ及び漏れ試験方法 | |
JPH07270272A (ja) | 逆拡散測定によるヘリウムリーク量検出方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180822 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180827 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191101 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191101 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200929 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200930 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201224 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210413 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210507 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6883036 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |