JP2018206927A - 整列器具および転写装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】被着体を確実に所望の状態に整列させることができる整列器具および、それを用いた転写装置を提供すること。【解決手段】第１接着シートＡＳ１の一方の面に、複数の被着体ＣＰまたは分割されて複数になる被着体ＣＰが貼付された一体物ＷＫを、被着体ＣＰ側から保持面２１Ｂに引き付けて保持する保持手段２０と、保持面２１Ｂ上で保持された一体物ＷＫから第１接着シートＡＳ１を剥離する剥離手段３０と、保持面２１Ｂ上で保持された被着体ＣＰ間に当接部材４２を配置し、当該当接部材４２の側壁４２Ｃに被着体ＣＰの外壁ＣＰ１を当接させて当該被着体ＣＰを整列させる整列器具４０と、保持手段２０と当接部材４２とを相対移動させる移動手段５０とを備え、整列器具４０は、側壁４２Ｃに被着体ＣＰの外壁ＣＰ１と点接触または線接触する凸部４２Ｅを備えている。【選択図】図１

Description

本発明は、整列器具および転写装置に関する。
従来、接着シートに貼付された複数の被着体を整列器具で整列させ、他のものに転写する転写装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特開２０１６−５４１６９号公報
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の整列装置（転写装置）では、チップＣＰ（被着体）から剥離した接着シートＡＳ（接着シート）の接着剤が当該被着体に残っていた場合、当該被着体が間仕切り手段３０、３０Ａ（整列器具）のブレード３２や格子状部材３３（当接部材）に接着することがあり、整列器具を移動させて被着体の整列を行っても、当該被着体を所望の状態に整列させることができない場合があるという不都合を生じる。
本発明の目的は、被着体を確実に所望の状態に整列させることができる整列器具および、それを用いた転写装置を提供することにある。
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
本発明によれば、当接部材の側壁に被着体の外壁と点接触または線接触する凸部を設けたので、被着体から剥離した接着シートの接着剤によって当該被着体が側壁に接着しても、それらの接触面積が小さく、それらは簡単に剥離されるようになり、被着体を確実に所望の状態に整列させることができる。
本発明の実施形態に係る転写装置の側面図。 整列器具による被着体の位置決めの動作説明図。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
本発明の転写装置１０は、第１接着シートＡＳ１の一方の面に、複数の被着体ＣＰが貼付された一体物ＷＫを、被着体ＣＰ側から保持面２１Ｂに引き付けて保持する保持手段２０と、保持面２１Ｂ上で保持された一体物ＷＫから第１接着シートＡＳ１を剥離する剥離手段３０と、保持面２１Ｂ上で保持された被着体ＣＰ間に当接部材４２を配置し、当該当接部材４２の側壁４２Ｃに被着体ＣＰの外壁ＣＰ１を当接させて当該被着体ＣＰを整列させる整列器具４０と、保持手段２０と整列器具４０とを相対移動させる移動手段５０と、保持面２１Ｂ上で整列された被着体ＣＰに第２接着シートＡＳ２を貼付する貼付手段６０と、複数の被着体ＣＰと保持面２１Ｂとの間に配置され、複数の被着体ＣＰそれぞれの被支持面ＣＰ２内のみに位置して各被着体ＣＰに吸引力が及ぶようにする吸引孔７１Ａを備えた下敷手段７０とを備えている。なお、本実施形態の各被着体ＣＰの平面形状は、正方形となっている。
保持手段２０は、多孔質部材２１Ａが埋め込まれ、当該多孔質部材２１Ａの上面を含むその上面が保持面２１Ｂとされた保持テーブル２１と、保持面２１Ｂに吸着力を付与する減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段２２とを備え、吸着保持によって被着体ＣＰを保持する構成となっている。
剥離手段３０は、駆動機器としてのリニアモータ３１と、そのスライダ３１Ａにブラケット３１Ｂを介して支持された駆動機器としての直動モータ３２と、その出力軸３２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持可能な吸着パッド３３とを備えている。
整列器具４０は、移動手段５０に支持された接続アーム４１と、接続アーム４１に支持された当接部材４２とを備えている。
当接部材４２は、Ｘ軸方向に延びる複数の横桟４２Ａと、Ｙ軸方向に延びる複数の縦桟４２Ｂとを備え、それらによって４つの側壁４２Ｃを有する複数の正方形または長方形の小枠４２Ｄを形成し、各小枠４２Ｄそれぞれに１つの被着体ＣＰが入り込むようになっており、各側壁４２Ｃに被着体ＣＰの外壁ＣＰ１と線接触する凸部４２Ｅがそれぞれ形成されている。なお、凸部４２Ｅで囲まれる領域は、被着体ＣＰが入り込んだ際、当該被着体ＣＰとの間に所定の間隔ができる大きさに設定されている。
移動手段５０は、保持テーブル２１の右壁に支持されたブラケット５１に支持され、Ｙ軸方向に移動するスライダ５２Ａを備えた駆動機器としてのリニアモータ５２と、スライダ５２Ａに支持され、Ｘ軸方向に移動する出力軸５３Ａで接続アーム４１を支持する駆動機器としての直動モータ５３とを備えている。
貼付手段６０は、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に第２接着シートＡＳ２が仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ６１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ６２と、剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板６３と、被着体ＣＰに接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ６４と、駆動機器としての回動モータ６５Ａによって駆動する駆動ローラ６５との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ６６と、図示しない駆動機器によって駆動し、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ６７と、上記の貼付手段６０を構成する各部材を総称して貼付側部材６０Ａとし、当該貼付側部材６０Ａと保持手段２０とを相対移動させる移動手段であって、そのスライダ６８Ａで保持テーブル２１を支持する駆動機器としてのリニアモータ６８とを備えている。
下敷手段７０は、複数の被着体ＣＰの位置や間隔に対応させて形成された吸引孔７１Ａが形成された下敷プレート７１を備えている。
以上の転写装置１０の動作を説明する。
先ず、各部材が図１中実線で示す初期位置で待機している転写装置１０に対し、当該転写装置１０の使用者（以下、単に「使用者」という）が原反ＲＳを同図のようにセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して、Ｘ軸方向（Ｙ軸方向）における小枠４２Ｄ内の凸部４２Ｅ間距離（以下、単に「凸部間距離」と言う）および、Ｘ軸方向（Ｙ軸方向）における被着体ＣＰの２辺間距離等を入力し、自動運転開始の信号を入力する。すると、貼付手段６０が回動モータ６５Ａおよび図示しない駆動機器を駆動し、原反ＲＳを繰り出し、第２接着シートＡＳ２の繰出方向先端部が剥離板６３で所定量剥離されると、回動モータ６５Ａおよび図示しない駆動機器の駆動を停止し、スタンバイ状態となる。
その後、使用者または、駆動機器やコンベア等の図示しない搬送手段が、図２（Ａ）に示すように、各被着体ＣＰそれぞれを各小枠４２Ｄ内に入り込ませ、下敷プレート７１に当接させるように一体物ＷＫを保持テーブル２１上に載置すると、保持手段２０が減圧手段２２を駆動し、第１の吸引力で被着体ＣＰの吸着保持を開始する。
次いで、剥離手段３０が直動モータ３２および図示しない減圧手段を駆動し、吸着パッド３３を下降させて第１接着シートＡＳ１の端部を吸着保持した後、当該吸着パッド３３を上昇させ、当該第１接着シートＡＳ１の端部を被着体ＣＰから剥離する。その後、剥離手段３０がリニアモータ３１を駆動し、図１中二点鎖線で示すように、吸着パッド３３を右方に移動させて第１接着シートＡＳ１全体を被着体ＣＰから剥離する。
次に、移動手段５０がリニアモータ５２を駆動し、Ｙ軸方向における凸部間距離と同方向における被着体ＣＰの２辺間距離との差以上の長さ分、当接部材４２を前方向に移動させ、図２（Ｂ）に示すように、被着体ＣＰの後側の面に小枠４２Ｄ内の後側の凸部４２Ｅを当接させて当該被着体ＣＰの前後の面をＸ軸と平行にする。そして、移動手段５０が直動モータ５３を駆動し、Ｘ軸方向における凸部間距離と同方向における被着体ＣＰの２辺間距離との差以上の長さ分、当接部材４２を左方向に移動させ、図２（Ｃ）に示すように、被着体ＣＰの右側の面に小枠４２Ｄ内の右側の凸部４２Ｅを当接させて当該被着体ＣＰの左右の面をＹ軸と平行にする。
次いで、移動手段５０がリニアモータ５２を駆動し、Ｙ軸方向における凸部間距離と同方向における被着体ＣＰの２辺間距離とを基に、当接部材４２を後方向に移動させ、図２（Ｄ）に示すように、吸引孔７１Ａの中心を通るＸ軸と平行な線が、当該被着体ＣＰの左右の面それぞれの中心を通るように各被着体ＣＰを移動させる。その後、移動手段５０が直動モータ５３を駆動し、Ｘ軸方向における凸部間距離と同方向における被着体ＣＰの２辺間距離とを基に、当接部材４２を右方向に移動させ、図２（Ｅ）に示すように、吸引孔７１Ａの中心を通るＹ軸と平行な線が、当該被着体ＣＰの前後の面それぞれの中心を通るように各被着体ＣＰを移動させる。これにより、各被着体ＣＰは、下敷プレート７１の吸引孔７１Ａの中心位置にその中心位置が一致した状態で、４辺がＸ軸またはＹ軸と平行となって位置決めされる。次に、移動手段５０がリニアモータ５２および直動モータ５３を駆動し、図２（Ｆ）に示すように、当接部材４２を初期位置に復帰させる。
なお、移動手段５０は、移動手段５０によって被着体ＣＰを整列させる際、被着体ＣＰの被支持面ＣＰ２内から吸引孔７１Ａがはみ出ないように各被着体ＣＰを移動させるとよい。また、移動手段５０によって被着体ＣＰを整列させる際、保持手段２０は、第１の吸引力のまま被着体ＣＰの吸着保持を行うようにしてもよいし、第１の吸引力よりも弱い第２の吸引力で被着体ＣＰの吸着保持を行うようにしてもよいし、第１の吸引力よりも強い第３の吸引力で被着体ＣＰの吸着保持を行うようにしてもよいし、被着体ＣＰの吸着保持を行わなくてもよい。
次いで、貼付手段６０がリニアモータ６８を駆動し、保持テーブル２１を左方に移動させ、保持テーブル２１が所定の位置に到達すると、貼付手段６０が回動モータ６５Ａおよび図示しない駆動機器を駆動し、保持テーブル２１の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、第２接着シートＡＳ２が剥離シートＲＬから剥離され、当該剥離シートＲＬから剥離された第２接着シートＡＳ２は、図１中二点鎖線で示すように、押圧ローラ６４によって各被着体ＣＰに押圧されて貼付される。その後、次の第２接着シートＡＳ２の繰出方向先端部が剥離板６３で所定量剥離されると、貼付手段６０が回動モータ６５Ａおよび図示しない駆動機器の駆動を停止し、再びスタンバイ状態となる。
その後、各被着体ＣＰに第２接着シートＡＳ２全体が貼付され、保持テーブル２１が押圧ローラ６４の左方所定位置に到達すると、貼付手段６０がリニアモータ６８の駆動を停止した後、保持手段２０が減圧手段２２の駆動を停止する。次いで、使用者または図示しない搬送手段が、第２接着シートＡＳ２が貼付された被着体ＣＰを次工程に搬送すると、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
以上のような転写装置１０によれば、当接部材４２の側壁４２Ｃに被着体ＣＰの外壁ＣＰ１と線接触する凸部４２Ｅを設けたので、被着体ＣＰから剥離した第１接着シートＡＳ１の接着剤によって当該被着体ＣＰが側壁４２Ｃに接着しても、それらの接触面積が小さく、それらは簡単に剥離されるようになり、被着体ＣＰを確実に所望の状態に整列させることができる。
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、剥離手段は、保持面上で保持された一体物から第１接着シートを剥離可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。
保持手段２０は、多孔質部材２１Ａの上面のみが保持面２１Ｂとされた保持テーブル２１を採用してもよいし、多孔質部材２１Ａを設けずに、保持テーブル２１の上面に吸引孔を設ける構成でもよいし、クーロン力、磁力、ベルヌーイ吸着等で被着体ＣＰを引き付けて保持する構成でもよい。
剥離手段３０は、第１接着シートＡＳ１を吸着保持した吸着パッド３３を移動させずにまたは移動させつつ、被着体ＣＰを移動させて当該被着体ＣＰから第１接着シートＡＳ１を剥離するように構成してもよいし、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で第１接着シートＡＳ１を保持して剥離する構成でもよい。
整列器具４０は、中央部が突出するような２面で各側壁４２Ｃを構成し、それら２面の交差位置を被着体ＣＰの外壁ＣＰ１と線接触する凸部としてもよいし、当接部材４２の各側壁４２Ｃに被着体ＣＰの４つの外壁ＣＰ１と点接触する凸部がそれぞれ形成されていてもよいし、当接部材４２の各側壁４２Ｃに被着体ＣＰの４面の外壁ＣＰ１と線接触する凸部と、点接触する凸部との両方がそれぞれ形成されていてもよいし、例えば、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状の小枠４２Ｄでもよく、側壁４２Ｃを被着体ＣＰの外壁ＣＰ１に当接させて当該被着体ＣＰを整列できればどのような形状の小枠４２Ｄでもよいし、第１接着シートＡＳ１に貼付された複数の被着体ＣＰの配置によって、当接部材４２のパターンが異なるものを採用してもよい。
線接触する凸部４２Ｅは、小枠４２Ｄ内で全てが繋がっていてもよいし、小枠４２Ｄの角部や側壁４２Ｃの中間部で離間していてもよいし、側壁４２Ｃ内で上下方向、左右方向または前後方向に複数設けられていてもよい。
点接触する凸部４２Ｅは、各側壁４２Ｃ内に単数または複数設けられていてもよい。
移動手段５０は、小枠４２Ｄの形状や被着体ＣＰの形状に合わせて整列器具４０を移動させ、各被着体を整列させてもよく、例えば、整列器具４０をＸ軸方向に１回移動させた後、Ｙ軸方向に１回移動させるだけで各被着体を整列させてもよいし、Ｘ軸方向とＹ軸方向のみならず、その他の方向に整列器具４０を移動させてもよいし、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびその他の方向に整列器具４０を１回または、複数回移動させて各被着体を整列させてもよいし、各被着体ＣＰの向きだけを整列させてもよいし、各被着体ＣＰの位置だけを整列させてもよいし、先行文献１のように、第１接着シートＡＳ１を被着体ＣＰから剥離した後、各被着体ＣＰ間に当接部材４２を入り込ませて各被着体ＣＰを整列させてもよいし、被着体ＣＰを整列させる際、被着体ＣＰの被支持面ＣＰ２内から吸引孔７１Ａがはみ出るように各被着体ＣＰを移動させてもよいし、被着体ＣＰを整列させた後、保持面２１Ｂ上から整列器具４０をその他の位置に移動させてもよい。
貼付手段６０は、剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に複数の閉ループ状の切込が形成されることで、その内側が、第２接着シートＡＳ２が仮着された原反ＲＳを繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳが採用された場合、切断手段により、接着シート基材を所定形状に切断してその内側を第２接着シートＡＳ２としてもよいし、第２接着シートＡＳ２を剥離シートＲＬから剥離する際、原反ＲＳに所定の張力が付与されるように回動モータ６５Ａのトルク制御を行ってもよいし、支持ローラ６１やガイドローラ６２等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳや剥離シートＲＬを支持したり案内したりしてもよいし、駆動ローラ６５とピンチローラ６６とで剥離シートＲＬを挟み込むことなく原反ＲＳに繰出力を付与する構成でもよいし、原反ＲＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、剥離シートＲＬを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、保持手段２０を移動させずにまたは移動させつつ、貼付側部材６０Ａを移動させて被着体ＣＰに第２接着シートＡＳ２を貼付してもよいし、なくてもよい。
押圧手段は、押圧ローラ６４を被着体ＣＰに離間接近させる押圧手段接離手段としての駆動機器を設け、被着体ＣＰにストレスがかかったり損傷したりすることを防止するようにしてもよく、このような押圧手段接離手段としては、駆動機器以外に手動で押圧ローラ６４を移動させるものでもよい。
下敷手段７０は、各被着体ＣＰの被支持面ＣＰ２内に複数存在可能な吸引孔７１Ａが設けられていてもよいし、第１接着シートＡＳ１に貼付された複数の被着体ＣＰの配置によって、各被着体ＣＰの被支持面ＣＰ２内のみに吸引孔７１Ａが存在する下敷プレート７１を保持面２１Ｂ上で交換できるようにしてもよいし、なくてもよい。
転写装置１０は、天地反転して配置したり横向きに配置してもよいし、第１接着シートＡＳ１が所定のエネルギーによって、その接着力が低下するものの場合、被着体ＣＰから剥離する前に所定のエネルギーを付与可能なエネルギー付与手段で第１接着シートＡＳ１の接着力を低下させてもよい。なお、このようなエネルギー付与手段は、あらゆる波長の電磁波（例えばＸ線や赤外線等）、加熱または冷却された気体や液体等の流体等をエネルギーとして第１接着シートＡＳ１に付与するものでもよく、第１接着シートＡＳ１の構成に応じて当該第１接着シートＡＳ１の接着力を低下できるエネルギーを付与可能なものであれば何でもよい。
前記実施形態では、整列器具４０を転写装置１０に用いて被着体ＣＰを整列させたが、複数の被着体ＣＰを載置する適宜な載置台上で、整列器具４０の各小枠４２Ｄ内それぞれに１つの被着体ＣＰを適当に入り込ませ、当該載置台および整列器具４０の少なくとも一方を人手や適宜な駆動機器で上記と同様に移動させて被着体ＣＰを整列させてもよい。
本発明における第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２および被着体ＣＰの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２や被着体ＣＰは、例えば、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよい。また、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、そのような両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＣＰとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、半導体チップ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
被着体ＣＰは、予め第１接着シートＡＳ１上に複数存在しているものでもよいし、第１接着シートＡＳ１に駆動機器や人手等で外力を付与した時点で複数に分割され、第１接着シートＡＳ１上に複数存在するようになるものでもよい。このような第１接着シートＡＳ１に張力を付与した時点で複数存在するようになる被着体ＣＰとしては、例えば、半導体ウエハや基板等にレーザを照射し、当該半導体ウエハや基盤等に線状や格子状等の脆弱な脆弱層を形成しておき、第１接着シートＡＳ１に張力を付与したり、半導体ウエハや基盤等に直接的または間接的に外力を付与したりした時点で個片化し、複数の被着体ＣＰとなるものや、例えば、樹脂や硝子板等にカッター刃で切り込み、当該樹脂や硝子板等に線状や格子状等の表裏に貫通することのない切込やミシン目等の切断予定ラインを形成しておき、第１接着シートＡＳ１に張力を付与した時点で個片化し、複数の被着体ＣＰとなるもの等、何ら限定されるものではない。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用したり、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧手段や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離手段や剥離部材が採用されている場合は、板状部材、丸棒、ローラ等で構成してもよい。
１０…転写装置
２０…保持手段
２１Ｂ…保持面
３０…剥離手段
４０…整列器具
４２Ｃ…側壁
４２Ｅ…凸部
５０…移動手段
６０…貼付手段
７０…下敷手段
７１Ａ…吸引孔
ＡＳ１…第１接着シート
ＡＳ２…第２接着シート
ＣＰ…被着体
ＣＰ１…外壁
ＣＰ２…被支持面
ＷＫ…一体物

Claims (4)

  1. 複数の被着体間に当接部材を配置し、当該当接部材の側壁に前記被着体の外壁を当接させて当該被着体を整列させる整列器具であって、
    前記整列器具は、前記側壁に前記被着体の外壁と点接触または線接触する凸部を備えていることを特徴とする整列器具。
  2. 第１接着シートの一方の面に、複数の被着体または分割されて複数になる被着体が貼付された一体物を、前記被着体側から保持面に引き付けて保持する保持手段と、
    前記保持面上で保持された前記一体物から前記第１接着シートを剥離する剥離手段と、
    前記保持面上で保持された前記被着体間に当接部材を配置し、当該当接部材の側壁に前記被着体の外壁を当接させて当該被着体を整列させる整列器具と、
    前記保持手段と当接部材とを相対移動させる移動手段とを備え、
    前記整列器具は、前記側壁に前記被着体の外壁と点接触または線接触する凸部を備えていることを特徴とする転写装置。
  3. 前記保持面上で整列された前記被着体に第２接着シートを貼付する貼付手段を備えていることを特徴とする請求項２に記載の転写装置。
  4. 前記保持手段は、吸着保持によって前記被着体を保持する構成とされ、
    前記複数の被着体と前記保持面との間に配置され、前記複数の被着体それぞれの被支持面内のみに位置して各被着体に吸引力が及ぶようにする吸引孔を備えた下敷手段を備えていることを特徴とする請求項２または請求項３に記載の転写装置。
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