JP2018189581A - 圧力センサ装置 - Google Patents
圧力センサ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018189581A JP2018189581A JP2017093936A JP2017093936A JP2018189581A JP 2018189581 A JP2018189581 A JP 2018189581A JP 2017093936 A JP2017093936 A JP 2017093936A JP 2017093936 A JP2017093936 A JP 2017093936A JP 2018189581 A JP2018189581 A JP 2018189581A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- pressure
- electrodes
- sensor device
- pressure sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Abstract
Description
まず、図1を参照して圧力センサ装置10全体について説明する。図1に示す実施形態にかかる圧力センサ装置10は、感圧体40を有するセンサ基板20と、ケーブル45を介してセンサ基板20に電気的に接続された制御部50と、を備えている。制御部50は、感圧体40の電気抵抗または静電容量などの電気特性に関する情報が得られるようセンサ基板20に電気的に接続されている。制御部50は、演算装置及び記憶媒体を含む。演算装置は、例えばCPUである。記憶媒体は、例えばROMやRAMなどのメモリーである。
次に図1乃至図6を参照して、センサ基板20について説明する。図2は、感圧体40が便宜的に省略された状態のセンサ基板20を示す平面図である。また図3は、図2の拡大図であって、センサ基板20に設けられる後述する第1電極24及び第2電極25を示した図であり、第1電極24及び第2電極25には便宜的にドットを付している。図4は、図3のIV−IV線に沿う断面図、図5は、図3のV−V線に沿う断面図、図6は、図4の拡大図である。
次に、圧力センサ装置10の動作について説明する。
まず、図7に示す変形例では、第2電極25が、格子状に形成されておらず、第1方向D1に平行に延び且つ第2方向D2で隣り合う第1電極24の間を通過する複数の第1線状部分25Aからなる。このような変形例によっても、第2方向D2で隣り合う第1電極24の一方から他方への電流の通流が抑制されるため、容易に作製可能な簡易な構造で、加えられた圧力を精度良く検出できる。また第2電極25が、第1ラインYが延びる第1方向D1に延びる部分からなるため、同時にオン状態になる複数のトランジスタ30に流れる電流が、1本の第2電極25に流れ込むことを防ぐことができ、第2電極25において電圧降下が生じることも抑制することができる。とりわけ第2電極25の形状が極めて簡易的ため、生産性を向上できる。
次に、図8に示す変形例では、第2電極25が、第2方向D2に平行に延び且つ第1方向D1で隣り合う第1電極24の間を通過する複数の第2線状部分25Bと、各第2線状部分25Bから第1方向D1に平行に延び且つ第2方向D2で隣り合う第1電極24の間を通過するが、隣接する第2線状部分25Bには交差しない複数の第1線状部分25Aと、を有している。このような変形例によっても、第1方向D1および第2方向D2で隣り合う第1電極24の一方から他方への電流の通流が抑制されるため、容易に作製可能な簡易な構造で、加えられた圧力を精度良く検出できる。また第2電極25が、第1ラインYが延びる第1方向D1に延びる部分を有するため、同時にオン状態になる複数のトランジスタ30に流れる電流が、1本の第2電極25に流れ込むことを防ぐことができ、第2電極25において電圧降下が生じることも抑制することができる。
次に、図9に示す変形例では、トランジスタ30がボトムゲート型となっている。すなわち、変形例にかかるトランジスタ30は、平坦化層22を介して基板21上に設けられるゲート端子33と、ゲート端子33をゲート絶縁層34上に設けられた第1端子31および第2端子32と、第1端子31と第2端子32との間に設けられ且つゲート絶縁層34を介してゲート端子33に対向した半導体層35と、を有している。このようにトランジスタ30の形式は特に限られるものではない。
また、上述の実施形態における図2および図3に示す第2電極25は、第1方向D1及び第2方向D2の両方で隣り合う第1電極24の間に位置するように形成されている。この態様に代えて、第2電極25は、第1方向D1及び第2方向D2に交差する一つ又は複数の交差方向で隣り合う第1電極24の間に位置するように形成されてもよい。もっとも、図2および図3に示すように、第2電極25が格子状に形成され、そのセル25Cによって第1電極24を取り囲む場合には、第2電極25は、第1方向D1、第2方向D2およびこれらに交差する一つ又は複数の交差方向で隣り合う第1電極24のそれぞれの間に位置することになる。
20…センサ基板
21…基板
24…第1電極
25…第2電極
25A…第1線状部分
25B…第2線状部分
31…第1端子
32…第2端子
33…ゲート端子
34…ゲート絶縁層
35…半導体層
36…絶縁層
36a…貫通孔
40…感圧体
D1…第1方向
D2…第2方向
Y1〜Ym 第1ライン
X1〜Xm 第2ライン
Claims (6)
- 基板と、
前記基板上に第1方向及び前記第1方向に交差する第2方向に沿ってマトリクス状に設けられた複数の第1電極と、
前記第1電極と同じ階層に設けられた第2電極と、
複数の前記第1電極及び前記第2電極に跨がるように前記第1電極及び前記第2電極上に設けられた感圧体と、を備え、
前記感圧体を介して前記第1電極と前記第2電極との間に流れる電流に応じて、前記感圧体に加えられた圧力の値を検出するようになっており、
前記第2電極は、前記第1方向、前記第2方向およびこれらと交差する一つ又は複数の交差方向のうちの少なくともいずれかで隣り合う前記第1電極の間に位置するように形成されている、圧力センサ装置。 - 前記第2電極は、前記第1方向、前記第2方向及び前記一つ又は複数の交差方向のうちの少なくとも二つの方向で隣り合う前記第1電極の間に位置するように形成されている、請求項1に記載の圧力センサ装置。
- 前記第2電極は、前記第1方向及び前記第2方向の両方で隣り合う前記第1電極の間に位置している、請求項2に記載の圧力センサ装置。
- 前記第2電極は、前記第1方向及び前記第2方向のそれぞれに規則的に並ぶセルを画成する格子状に形成され、前記セルによって前記第1電極を取り囲む、請求項1乃至3のいずれかに記載の圧力センサ装置。
- 前記第2方向は、前記第1方向に直交する方向である、請求項1乃至4のいずれかに記載の圧力センサ装置。
- 前記第2電極は、前記第1方向又は前記第2方向で隣り合う前記第1電極の間を通過する複数の線状部分からなる、請求項1に記載の圧力センサ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017093936A JP6860853B2 (ja) | 2017-05-10 | 2017-05-10 | 圧力センサ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017093936A JP6860853B2 (ja) | 2017-05-10 | 2017-05-10 | 圧力センサ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018189581A true JP2018189581A (ja) | 2018-11-29 |
JP6860853B2 JP6860853B2 (ja) | 2021-04-21 |
Family
ID=64480251
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017093936A Active JP6860853B2 (ja) | 2017-05-10 | 2017-05-10 | 圧力センサ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6860853B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0677132U (ja) * | 1993-04-05 | 1994-10-28 | 北陸電気工業株式会社 | プッシュオンスイッチ |
US20100050784A1 (en) * | 2008-09-04 | 2010-03-04 | Samsung Electro-Mechanics Co.,Ltd. | Tactile sensor |
JP2016004940A (ja) * | 2014-06-18 | 2016-01-12 | 大日本印刷株式会社 | 圧力センサ装置およびその製造方法 |
WO2016103350A1 (ja) * | 2014-12-24 | 2016-06-30 | 日本メクトロン株式会社 | 感圧素子および圧力センサ |
-
2017
- 2017-05-10 JP JP2017093936A patent/JP6860853B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0677132U (ja) * | 1993-04-05 | 1994-10-28 | 北陸電気工業株式会社 | プッシュオンスイッチ |
US20100050784A1 (en) * | 2008-09-04 | 2010-03-04 | Samsung Electro-Mechanics Co.,Ltd. | Tactile sensor |
JP2016004940A (ja) * | 2014-06-18 | 2016-01-12 | 大日本印刷株式会社 | 圧力センサ装置およびその製造方法 |
WO2016103350A1 (ja) * | 2014-12-24 | 2016-06-30 | 日本メクトロン株式会社 | 感圧素子および圧力センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6860853B2 (ja) | 2021-04-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105677111B (zh) | 一种阵列基板及显示面板 | |
US20190025139A1 (en) | Pressure sensor | |
KR20190085506A (ko) | 압력센서 | |
CN107340914B (zh) | 一种显示基板、显示面板及显示装置 | |
KR102089252B1 (ko) | 힘 검출 장치 | |
KR20180033053A (ko) | 센서 장치 | |
CN103594025A (zh) | 可挠式显示器 | |
JP6358080B2 (ja) | 圧力センサ | |
CN107134462B (zh) | 阵列基板和触控显示面板 | |
JP2016121974A (ja) | 圧力センサ | |
CN102841721A (zh) | 触摸面板 | |
JP6691562B2 (ja) | 表示基板、表示パネルおよび表示装置 | |
JP2018189583A (ja) | 圧力センサ装置 | |
JPWO2013146995A1 (ja) | 圧力センサ及び圧力センサモジュール | |
JP2018189581A (ja) | 圧力センサ装置 | |
JP6020755B1 (ja) | 圧力センサ装置、圧力センサ方法及び記憶媒体 | |
JP2018194525A (ja) | 圧力センサ装置 | |
WO2020241718A1 (ja) | フレキシブルセンサ | |
JP6512476B2 (ja) | 圧力センサ装置において用いられるトランジスタ基板およびトランジスタ基板の検査方法 | |
JP2006337315A (ja) | 触覚センサ及び触覚センサの感度調節方法 | |
US11435251B2 (en) | Control apparatus, array-type sensor, sensor usage method, control method, and program | |
JP6946740B2 (ja) | 圧力センサ装置 | |
JP6435941B2 (ja) | 圧力センサ | |
KR101891170B1 (ko) | 센서 장치 | |
CN111279503A (zh) | 用于压力传感器的电子装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200330 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210105 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20201228 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210204 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210226 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210311 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6860853 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |