JP2018186076A - 荷電粒子顕微鏡における収差測定 - Google Patents
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Abstract
Description
− 試料ホルダ上に試料を備えるステップと、
− 荷電粒子ビームを生成するために、源を使用するステップと、
− そのビームを照明器に通過させるステップであり、この照明器が、
・関連付けられた粒子−光学軸を有する源レンズ、および
・源レンズと試料の間に配置されたコンデンサ絞りであり、試料上にそのビームのフットプリントを画定するように構成されたコンデンサ絞り
を備えるステップと、
− この照明器から出たビームで試料を照射するステップと、
− その照射に反応して試料から発出した放射を検出するために検出器を使用するステップ、および、関連画像を生成するステップと
を含む方法に関する。
http://en.wikipedia.org/wiki/Scanning_electron_microscope
http://en.wikipedia.org/wiki/Transmission_electron_microscopy
http://en.wikipedia.org/wiki/Scanning_transmission_electron_microscopy
電子を照射ビームとして使用する代わりに、他の荷電粒子種を使用して荷電粒子顕微鏡法を実行することもできる。この点に関して、語句「荷電粒子」は、例えば電子、陽イオン(例えばGaまたはHeイオン)、陰イオン、陽子および陽電子を含むものと広く解釈されるべきである。非電子ベースの荷電粒子顕微鏡法に関しては、例えば以下の参照文献などの文献から、さらなる情報を収集することができる。
http://en.wikipedia.org/wiki/Scanning_Helium_Ion_Microscope
W.H.Escovitz,T.R.FoxおよびR.Levi−Setti、Scanning Transmission Ion Microscope with a Field Ion Source、Proc.Nat.Acad.Sci.USA 72(5)、1826〜1828ページ(1975)
http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/22472444
画像化および(局限された)表面改変(例えばミリング、エッチング、付着など)の実行だけでなく、分光法の実行、ディフラクトグラムの調査などの他の機能を荷電粒子顕微鏡が有することもあることに留意すべきである。
− 源からの一組の放出角を選ぶことと、
− 一組の放出角のうちのそれぞれの放出角について、その放出角で源から放出される対応するサブビームを選択し、そのサブビームによって形成された試験画像を記憶し、それによってその一組の放出角に対応する一組の試験画像を編集することと、
− コンデンサ絞りよりも前に生じた照明器収差を評価するために、その一組の試験画像を分析することと
を特徴とする方法で達成される。
− 色収差(この収差は、比較的に低いビーム加速電圧、例えば100kVよりも低い電圧でより優勢になる傾向がある)に対処するCc補正器。Cc補正器の実施形態は例えば米国特許第8,884,345号明細書(発明者は本発明の発明者と同じである)に出ている。
上で既に述べたとおり、使用する源がCFEGであるときに本発明は特に有利である。しかしながら、CFEGは、本発明とともに使用することができる唯一の源タイプではない。他の源タイプには例えば、電子衝突イオン化源[その具体的な形態はナノ・アパーチャ・イオン源(NAIS)である]、液体金属イオン源(LMIS)[既述]、電界イオン化源などがある。
図1は、本発明が実施される荷電粒子顕微鏡Mの一実施形態の非常に概略的な図である。より詳細には、図1は、透過型顕微鏡Mの一実施形態を示す。このケースでは、透過型顕微鏡MがTEM/STEMである(しかしながら、本発明の文脈では、透過型顕微鏡Mを、例えばSEMまたはイオン・ベースの顕微鏡とすることもできる)。この図では、真空エンクロージャ2内で、CFEG電子源4が電子ビームBを生成し、電子ビームBは、電子−光学軸B’に沿って伝搬し、電子−光学照明器6を横切る。電子−光学照明器6は、(例えば(局所的に)薄化/平坦化されていることがある)試料Sの選択された部分上に電子を導く/集束させる役目を果たす。この特定のケースでは、照明器6が、
− とりわけ源4を拡大する役目を果たす源レンズ(銃レンズ)8、
− 複合コンデンサ・レンズ10a/10b、すなわち小さなビーム・スポット・サイズ(試料S上の細いビーム・プローブ)を生み出す役目を果たす上部要素10aおよびコリメーティング・レンズの働きをする下部要素10b、
− コンデンサ絞り12、
− 走査偏向器14、
− 対物レンズ16
を備える。
8 源レンズ
10a 上部コンデンサ・レンズ
10b 下部コンデンサ・レンズ
12 コンデンサ絞り
14 走査偏向器
16 対物レンズ
Claims (16)
- 荷電粒子顕微鏡を動作させる方法であって、
試料ホルダ上に試料を置くステップと、
源を使用して荷電粒子ビームを生成するステップと、
前記荷電粒子ビームを照明器に通過させるステップであり、前記照明器が、
関連粒子−光学軸を有する源レンズ、および
前記源レンズと前記試料の間に配置されたコンデンサ絞りであり、前記試料上に前記ビームのフットプリントを画定するように構成されたコンデンサ絞り
を備えるステップと、
前記照明器から出た前記ビームで前記試料を照射するステップと、
前記照射に反応して前記試料から発出した放射を検出するステップと、
関連画像を生成するステップと
を含む方法において、
前記源からの一組の放出角を選択するステップと、
それぞれのサブビームが前記一組の放出角のうちの1つの放出角で前記源から放出される一組の対応するサブビームを選択するステップと、
前記一組の対応するサブビームのうちのそれぞれのサブビームによって形成された試験画像であり、それぞれの試験画像が、前記一組の放出角のうちの1つの放出角に対応する試験画像を記憶し、それによって一組の試験画像を編集するステップと、
前記一組の試験画像を分析することによって、前記コンデンサ絞りよりも前に生じた照明器収差を決定するステップと
を特徴とする方法。 - サブビームを選択する前記ステップが、前記粒子−光学軸に対して垂直な横方向に前記コンデンサ絞りを移動させることを含む、請求項1に記載の方法。
- サブビームを選択する前記ステップが、前記源レンズと前記コンデンサ絞りの間に位置するビーム偏向器を使用して、選択可能な横方向のビーム偏向を生じさせることを含む、請求項1または2に記載の方法。
- 前記試験画像が、前記試料の実質的に非晶質の部分の画像である、請求項1から3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記一組の放出角のうちの所与の放出角について、2つの試験画像を、2つの異なる焦点設定で取得する、請求項1から4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記照明器内の前記源レンズと前記コンデンサ絞りの間に源レンズ収差補正器を備えるステップと、
前記収差を軽減するために前記補正器を起動させるステップと
をさらに含む、請求項1から5のいずれか一項に記載の方法。 - 前記源が、冷陰極電界放出銃(CFEG)、電子衝突イオン源、ナノ・アパーチャ・イオン源(NAIS)、液体金属イオン源(LMIS)および電界イオン化源からなる群から選択された、請求項1から6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記照明器収差を打ち消すステップをさらに含む、請求項1から7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記荷電粒子ビームを照明器に通過させるステップにおいて、前記照明器が、前記照明器収差を打ち消すように動作可能な収差補正器を備える、請求項8に記載の方法。
- 前記荷電粒子ビームを照明器に通過させるステップにおいて、前記収差補正器が、ビーム傾斜補正要素、非点収差補正装置、色収差補正器および球面収差補正器のうちの1つまたは複数を備える、請求項9に記載の方法。
- 荷電粒子顕微鏡であって、
試料を保持する試料ホルダと、
荷電粒子ビームを生成する源と、
関連粒子−光学軸を有する源レンズ、および
前記源レンズと前記試料ホルダの間に配置されたコンデンサ絞りであり、前記試料上に前記ビームのフットプリントを画定するように構成されたコンデンサ絞り
を備える照明器と、
前記ビームによる照射に反応して前記試料から発出した放射を検出し、関連画像を生成する検出器と、
前記顕微鏡の所与の動作を自動的に制御するプログラマブル・コントローラと
を備える荷電粒子顕微鏡において、
前記コントローラが、
前記源からの一組の放出角を選択し、
それぞれのサブビームが前記一組の選択された放出角のうちの1つの放出角で前記源から放出される一組の対応するサブビームを選択し、
前記一組の対応するサブビームのうちのそれぞれのサブビームによって形成された試験画像であり、それぞれの試験画像が、前記一組の放出角のうちの1つの放出角に対応する試験画像を記憶し、それによって一組の試験画像を編集し、
前記一組の試験画像を分析することによって、前記コンデンサ絞りよりも前に生じた照明器収差を決定する
ように構成されていることを特徴とする荷電粒子顕微鏡。 - 荷電粒子顕微鏡を動作させる方法であって、
源を使用して荷電粒子ビームを生成するステップと、
前記源からの一組の放出角を選択するステップと、
それぞれのサブビームが前記一組の放出角のうちの1つの放出角で前記源から放出される一組の対応するサブビームを選択するステップと、
それぞれのサブビームを照明器に通過させるステップと、
前記照明器から出たそれぞれのサブビームで試料を照射するステップと、
それぞれのサブビームによる前記照射に反応して前記試料から発出した放射を検出するステップと、
一組の試験画像であり、それぞれの試験画像が、前記一組の対応するサブビームのうちの1つのサブビームによる前記照射に反応して前記試料から発出した照射の検出によって形成された一組の試験画像を生成するステップと、
前記一組の試験画像を分析することによって、前記コンデンサ絞りよりも前に生じた照明器収差を決定するステップと
を含む方法。 - 源を使用して荷電粒子のビームを生成するステップにおいて、前記源が、関連粒子−光学軸を備える、請求項12に記載の方法。
- 前記照明器収差を打ち消すステップをさらに含む、請求項12または13に記載の方法。
- 前記荷電粒子ビームを照明器に通過させるステップにおいて、前記照明器が、前記照明器収差を打ち消すように動作可能な収差補正器を備える、請求項14に記載の方法。
- 前記荷電粒子ビームを照明器に通過させるステップにおいて、前記収差補正器が、ビーム傾斜補正要素、非点収差補正装置、色収差補正器および球面収差補正器のうちの1つまたは複数を備える、請求項15に記載の方法。
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