JP2018136913A - 画像処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】複数のワークに対して画像処理による検査を行う場合においても、画像処理フローの作成作業や編集作業を容易にすることが可能な画像処理装置を提供する。【解決手段】複数のワークが含まれたワーク画像に対して、複数の画像処理ツールが組み合わされた画像処理フローに基づいて画像処理を実行する画像処理装置であって、前記画像処理フローは、前記ワーク画像に含まれる複数のワークのそれぞれに対して、画像処理ツールの組み合わせを順次適用するループ処理を行うループツールを有することを特徴とする。【選択図】図２

Description

本発明は、ワークを撮像して得られたワーク画像に対して画像処理を実行する画像処理装置に関するものである。

検査対象物（以下、ワーク）の検査において当該ワークを撮像部により撮影し、撮影されたワーク画像に対して画像処理を行うことで、製品の良否判定等の検査を行う画像処理装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この特許文献１に開示されている画像処理装置では、ワーク画像に対して、ユーザーにより選択された複数の画像処理ツールにより構成された画像処理フローに基づいて画像処理が行われる。

特開２０１３−１７１０２６号公報

しかしながら、従来では、撮像部の撮影視野内にある複数のワーク、つまり、ワーク画像に含まれる複数のワークについて検査を行う場合、ワーク毎に複数の画像処理ツールを組み合わせて個別に画像処理フローを作成する必要があった。このため、当該画像処理フローの作成作業にその分の手間を要するという課題があった。また、例えば画像処理フロー内の一部の画像処理ツールについて設定等を変更する等のように、一度作成した画像処理フローを編集する場合、各ワークに対応する画像処理フローのそれぞれについて編集作業を行わなければならない。さらには、組み合わせる画像処理ツールの数が多くなると、その分、画像処理アプリケーションに係るユーザーインターフェースにおいて各画像処理ツールに対応するアイコン（以下、画像処理アイコン）が数多く表示されることになり、ユーザーにとっては画像処理フロー全体を見渡すことが難しくなるおそれがあった。また、複数の画像処理ツールを１つのアイコンで簡易的に表示させることも考えられるが、この場合、このアイコンによりどのような画像処理が行われるのかがユーザーにとって分かりにくくなるおそれがあった。このため、ユーザーの作業負担が大きく、メンテナンス性が悪いという課題があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、複数のワークに対して画像処理による検査を行う場合においても、画像処理フローの作成作業や編集作業を容易にすることが可能な画像処理装置を提供することにある。

本発明の画像処理装置は、上記目的を達成するために提案されたものであり、複数のワークが含まれたワーク画像に対して、複数の画像処理ツールが組み合わされた画像処理フローに基づいて画像処理を実行する画像処理装置であって、
前記画像処理フローは、前記ワーク画像に含まれる複数のワークのそれぞれに対して、画像処理ツールの組み合わせを順次適用するループ処理を行うループツールを有することを特徴とする。

本発明によれば、画像処理フローが、複数のワークのそれぞれに対して画像処理ツールの組み合わせを順次適用するループ処理を行うループツールを有することにより、各ワークについてそれぞれ画像処理フローを個別に作成する必要がなく、画像処理フローの作成作業がより容易となる。また、例えば画像処理フロー内の一部の画像処理ツールについて設定等を変更する等のように、一度作成した画像処理フローを編集する場合においても、１つの画像処理フローについて編集を行えば、当該編集後の画像処理フローが各ワークについて同様に適用されることになる。その結果、ユーザーにとって作業の負担が軽減され、メンテナンス性が向上する。

また、上記構成において、前記画像処理フローは、ワーク画像に含まれる所定のワークを検出するサーチツールを画像処理ツールとして含み、
前記ループツールは、前記サーチツールによるワークの検出数に対応する回数だけ前記ループ処理を行う構成を採用することができる。

この構成によれば、サーチツールによるワークの検出数に対応する回数だけループ処理が自動的に実行されるので、ユーザーによる設定作業が不要となる。

また、上記構成において、前記ループツールによる前記ループ処理の実行回数は、ユーザーにより設定される構成を採用することもできる。

この構成によれば、ループ処理の実行回数についてユーザーが所望とする回数に設定することができる。

さらに、上記構成において、前記画像処理フローは、ワーク画像に含まれる所定のワークを検出するサーチツールを画像処理ツールとして含み、
前記ループツールによる前記ループ処理の実行回数について、前記サーチツールで検出されたワークの検出数に基づく自動設定、または、ユーザーによる設定の何れかを選択可能である構成を採用することもできる。

この構成によれば、ループ処理の実行回数について検査用途等に応じてより適した設定を選択することができる。

また、上記構成において、前記画像処理フローは、ワーク画像に含まれる所定のワークを検出するサーチツールを画像処理ツールとして含み、
前記ループツールは、前記サーチツールにより検出されたワークの中から一部のワークに対して選択的に前記ループ処理を行うモードを有する構成を採用することが望ましい。

この構成によれば、サーチツールにより検出されるワークの数がより多い場合においても、所謂抜き取り検査のように、検出されたワークのうちの一部のワークのみにループ処理が選択的に適用されるので、その分、処理時間を削減することが可能となる。

この構成において、前記ループツールは、前記サーチツールにより検出されたワークの中から一定の個数間隔で検査対象のワークの選択を行う構成を採用することができる。

この構成によれば、検出されたワークの中から一定の個数間隔で検査対象のワークの選択を行うので、より簡単な設定で抜き取り検査を行うことが可能となる。

また、上記構成において、前記ループツールは、前記サーチツールにより検出されたワークの中から検査対象とするワークを選択するための選択エリアを前記ワーク画像に分散させて設定し、当該選択エリア内に含まれるワークを検査対象のワークとして選択する構成を採用することもできる。

この構成によれば、検出されたワークの中から選択エリア内に含まれるワークを検査対象のワークとして選択することにより、ワークの位置に基づく形状や寸法等のばらつきを考慮してより偏りなくワークの検査を行うことが可能となる。

さらに、上記構成において、前記画像処理フローは、第１のループツールと第２のループツールを有し、
前記第１のループツールにより実行される第１のループ処理は、前記第２のループツールにより実行される第２のループ処理を包含する構成を採用することができる。

この構成によれば、例えば、検出されたワークが検査対象となる部位を複数有している場合に、各部位の検査を第２のループツールにより実行される第２のループ処理で行うようにすることができる。これにより、画像処理フロー内に第２のループツールを追加するという簡単な作業でワークが有する複数の部位の検査を行うことが可能となる。

上記構成において、画像処理ツールに対応する画像処理アイコンを表示装置に表示させるアイコン表示手段を有し、
前記アイコン表示手段は、複数の画像処理ツールの組み合わせから構成される画像処理グループに対応するグループアイコンを前記表示装置に表示させることが可能に構成されたことが望ましい。

この構成によれば、複数の画像処理ツールの組み合わせから構成される画像処理グループが一つのグループアイコンで表示されるので、画像処理グループを構成する各画像処理ツールの画像処理アイコンが個別に表示される場合と比較して、複数の画像処理ツールの組み合わせからなる画像処理グループであることをユーザーが認識しやすくすることができる。また、表示装置における限られた表示領域を有効に使用することが可能となる。

また、上記構成において、前記アイコン表示手段は、前記ループツール及び当該ループツールにより前記ループ処理が行われる複数の画像処理ツールを含む前記画像処理グループに対応する前記グループアイコンを表示させることが可能に構成されたことが望ましい。

この構成によれば、ループツールによりループ処理が行われる画像処理グループであることをユーザーがより認識しやすくすることができる。

また、上記構成において、前記アイコン表示手段は、前記画像処理グループに対応する前記グループアイコンを表示させるまとめ表示状態と、当該画像処理グループに含まれる各画像処理ツールに対応する各画像処理アイコンを並べて表示させる展開表示状態と、に切り替えることが可能に構成されたことが望ましい。

この構成によれば、まとめ表示状態と展開表示状態とに切り替えることができるので、表示領域を有効に使用したり、又は、画像処理グループを構成する各画像処理ツールを確認したり、等、ユーザーの必要に応じた表示を行うことができる。

さらに、上記構成において、前記アイコン表示手段は、前記まとめ表示状態において、当該グループアイコンの静止画を表示させる静止画表示状態と、前記画像処理グループに含まれる画像処理ツールに対応する画像処理アイコンを前記静止画に替えて順次表示する動画表示状態と、に切り替えることが可能に構成されたことが望ましい。

この構成によれば、まとめ表示状態において静止画表示状態と動画表示状態とに切り替えることができるので、静止画表示状態とすることにより画像処理装置の負荷を抑制したり、又は、動画表示状態とすることにより限られた表示領域を有効に使用しつつ画像処理グループを構成する各画像処理ツールをユーザーが容易に確認したりすることができる。

さらに、上記構成において、前記アイコン表示手段は、前記動画表示状態において、前記画像処理グループに含まれる画像処理ツールのうちの一部に対応する画像処理アイコンを選択して表示させることが可能に構成されたことが望ましい。

この構成によれば、動画表示状態において、画像処理グループに含まれる画像処理ツールのうちの一部に対応する画像処理アイコンを選択して表示させることにより、動画表示状態における画像処理装置の負荷をより低減することが可能となる。

また、上記構成において、前記画像処理グループを編集する編集モードを有し、
前記編集モードは、前記画像処理アイコンを追加または削除することにより、前記画像処理グループを編集することが可能に構成されたことが望ましい。

この構成によれば、画像処理アイコンを追加または削除することにより、前記画像処理グループを編集することが可能であるため、より簡単かつより直感的に画像処理グループの編集作業を行うことが可能となる。

そして、上記構成において、前記編集モードは、編集された前記画像処理グループを前記画像処理ツールの一つとして登録することが可能に構成されたことが望ましい。

この構成によれば、編集された前記画像処理グループを前記画像処理ツールの一つとして登録することにより、一度編集された画像処理グループを繰り返し利用することができるため、ユーザーの利便性が向上する。

画像処理装置の一形態について説明する図である。 画像処理に係るユーザーインターフェースの表示例（展開表示状態）である。 画像処理に係るユーザーインターフェースの表示例（まとめ表示状態）である。 編集モードにおける作業画面の表示例である。 編集モードにおける作業画面の表示例である。 編集モードにおける作業画面の表示例である。 グループアイコンの動画表示状態について説明する遷移図である。 編集モードにおける作業画面の表示例である。 グループアイコンの他の表示例について説明する図である。 グループアイコンの他の表示例について説明する図である。 グループアイコンの他の表示例について説明する図である。 グループアイコンの他の表示例について説明する図である。 グループアイコンの他の表示例について説明する図である。 グループアイコンの他の表示例について説明する図である。 グループアイコンの他の表示例について説明する図である。 グループアイコンの他の表示例について説明する図である。 パターンサーチツールについて説明する図である。 位置ずれ補正について説明する図である。 画像処理フローについて説明する図である。 画像処理フローについて説明する図である。 画像処理フローについて説明する図である。 画像処理フローについて説明する図である。 第２の実施形態について説明する図である。 第３の実施形態について説明する図である。 第４の実施形態について説明する図である。

以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。

図１は、本発明に係る画像処理装置の一形態を示すブロック図である。本実施形態における画像処理装置１０は、ＸＹステージ２、撮影装置３、コンピューター６、表示装置７、および入力装置８等を備えている。ワーク１（図２等参照）は、例えば、ネジや歯車等の金属加工品、もしくは、フレキシブル基板、液晶パネル（ＴＦＴパネル）、半導体ウェハ等の種々の検査対象物（オブジェクト）である。ワーク１は、本実施形態においては、ＸＹステージ２上に載置され、第１の方向（Ｘ方向）と当該第１の方向に直交する第２の方向（Ｙ方向）に移動可能に構成されている。なお、ＸＹステージ２に限られず、例えば、ベルトコンベアーのように撮影装置３の下方にワーク１を順次搬送可能な構成を採用することもできる。

撮影装置３は、ワーク１を光学的に拡大して欠陥を検出するのに十分な倍率を備えたレンズあるいは顕微鏡からなる光学系や、当該光学系により拡大されたワーク１の像を受光して電気信号に変換するＣＣＤ等を備えている。この撮影装置３は、ＸＹステージ２上のワーク１を撮影し、撮影した像を画像データに変換してコンピューター６に出力する。コンピューター６は、撮影装置３を制御し、当該撮影装置３から得られた撮影画像に基づき、ワーク１について画像処理により形状・寸法等の測定や欠陥の検出等の検査を行う。表示装置７は、コンピューター６に接続された液晶ディスプレイなどの表示装置である。入力装置８は、例えば、キーボードやマウス等からなり、ユーザーの操作を受けて当該操作に基づく操作信号をコンピューター６に出力する。

本実施形態におけるコンピューター６は、演算部１１および記憶部１２を備えている。記憶部１２は、例えばハードディスクドライブから構成され、この記憶部１２には、オペレーションシステム、画像処理アプリケーションを含む各種アプリケーションプログラム、画像処理用データ等が記憶されている。そして、演算部１１は、図示しないＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等を有しており、記憶部１２に記憶されたオペレーションシステムに従い、画像処理などの各種の処理を行う。また、演算部１１は、画像入力手段１３および画像処理手段１４を備えている。画像入力手段１３には、撮影装置３で撮像されたワーク１の撮影画像データが入力される。当該撮影画像データは、ワーク画像として記憶部１２に記憶される。

画像処理手段１４は、ワーク画像（撮影画像）に対して後述する画像処理フロー（画像処理レシピ）を構成する画像処理ツールを順次実行することにより、ワーク画像から所定のワーク１を検出したり、検出したワーク１の寸法等を測定したり、ワーク１の欠陥を検出したりする。画像処理フローは、ユーザーにより各種の画像処理ツールが組み合わされて生成されるものである。また、本実施形態における画像処理手段１４は、本発明におけるアイコン表示手段として機能し、後述するように、各種画像処理ツールに対応する画像処理アイコン２３やグループアイコン２５等を表示装置７に表示させたりする。

図２及び図３は、演算部１１により実行される画像処理アプリケーションに係るユーザーインターフェース１７の表示例を説明する図であり、図２は画像処理ツールのグループ（画像処理グループ）に対応する各画像処理ツールの各画像処理アイコン２３が個別に並べて表示された状態（展開表示状態）、図３は画像処理グループが１つのグループアイコン２５で表示された状態（まとめ表示状態）をそれぞれ示している。本実施形態におけるユーザーインターフェース１７には、作業領域１８、設定領域１９、及び画像処理フロー表示領域２１等の表示領域、及び、スクロールバー２２等が設けられている。作業領域１８は、撮影装置３から入力されたワーク画像が表示され、画像処理ツールによって画像処理が行われる様子が表示される領域である。設定領域１９は、画像処理全般の設定等を行ったり、各種画像処理ツールについて個別に設定や調整を行ったり、その他、設定値や計測数値等が表示されたりする領域である。

画像処理フロー表示領域２１には、各種画像処理ツールに対応するサムネイル画像からなる画像処理アイコン２３が所定の順序で表示される。この画像処理フロー表示領域２１に表示される画像処理アイコン２３は、ユーザーによって選択される。すなわち、ユーザーが必要な画像処理ツールを順次登録する際に、各画像処理ツールに対応する画像処理アイコン２３が生成されて画像処理フロー表示領域２１に表示される。画像処理アイコン２３は、サムネイル画像には限られず、例えば、対応する画像処理ツールを特徴化した画像等を採用することもできる。

本実施形態において、画像処理アイコン２３は、画面の横方向に並べて表示される。また、画像処理フロー表示領域２１の下方には、当該画像処理フロー表示領域２１に沿って画面横方向にスライド可能なスクロールバー２２が表示されている。スクロールバー２２は、例えば、入力装置８の一種である図示しないマウスを介してユーザーがスライド操作することにより、画像処理フロー表示領域２１の表示を横方向にスクロールさせることが可能に構成されている。図２に示される表示例では、画像処理フロー表示領域２１に合計６つの画像処理アイコン２３ａ〜２３ｆが表示されているが、画像処理フローを構成する画像処理ツールの数が７つ以上ある場合には、スクロールバー２２を横方向（例えば、図２における右方向）にスライドさせることにより、図２の状態で表示されていない他の画像処理アイコン２３を画像処理フロー表示領域２１に表示させることができる。本実施形態においては、画像処理アイコン２３ａ〜２３ｆの他に、３つの画像処理アイコン２３ｇ〜２３ｈ（図３参照）が１つの画像処理フローに含まれている。そして、これらの画像処理ツールの組み合わせが、一連の画像処理フローを構成する。なお、画像処理フロー表示領域２１の位置や、画像処理アイコン２３の並設方向、表示される画像処理アイコン２３の数等は例示したものには限られず、例えば、ユーザーインターフェース１７の左右のいずれ一側に画像処理フロー表示領域２１が設けられ、画像処理アイコン２３が縦方向に並べられる構成を採用することもできる。この場合、スクロールバー２２も画面縦方向にスライドさせるような構成となる。

本実施形態において、図２の画像処理フロー表示領域２１に表示されている画像処理アイコン２３のうち、左から２番目の画像処理アイコン２３ｂから６番目（右端）の画像処理アイコン２３ｆまでの各画像処理ツールは一つのグループ（画像処理グループ）を構成している。この画像処理グループは、複数の画像処理ツールの組み合わせからなり、画像処理プログラムに予め用意されているものや、後述する編集モードにおいてユーザーにより任意に選択された画像処理ツールより構成されるものなどがある。本実施形態においては、図２に示されるように、画像処理グループの先頭の画像処理アイコン２３ｂと最後尾の画像処理アイコン２３ｆとを結ぶ破線よりなるグループ標示２４により、これらの画像処理ツールが１つの画像処理グループであることが示されている。なおグループ標示２４は、例示した態様には限られず、例えば、画像処理グループを構成する各画像処理アイコン２３を１つの枠で囲ったり、該当する画像処理アイコン２３の背景色を他の画像処理アイコン２３の背景色とは異ならせたり、等のように、画像処理ツールが１つの画像処理グループであることをユーザーが判別可能な標示であれば種々の態様のグループ標示２４を採用することができる。

図２に示されるように、画像処理グループに対応する各画像処理アイコン２３が個別に並べて表示された状態は、本発明における展開表示状態である。また、本実施形態においては、図３に示されるように、上記画像処理グループに対応する各画像処理アイコン２３が１つのグループアイコン２５で代表して表示された、本発明におけるまとめ表示状態に切り替えることができるように構成されている。すなわち、例えば、展開表示状態における画像処理グループの各画像処理アイコン２３の何れかにポインターを配置してマウスのダブルクリック操作をすることにより、まとめ表示状態に切り替えられ、図３に示されるように、画像処理グループの各画像処理アイコン２３の替わりに１つのグループアイコン２５が表示される。同様に、まとめ表示状態におけるグループアイコン２５をダブルクリック操作することにより、図２に示されるような展開表示状態に切り替えることができる。まとめ表示状態では、複数の画像処理ツールの組み合わせから構成される画像処理グループが一つのグループアイコン２５で表示されるので、画像処理グループを構成する各画像処理ツールの画像処理アイコンが個別に表示される展開表示状態と比較して、複数の画像処理ツールの組み合わせからなる画像処理グループであることをユーザーが認識しやすい。また、限られた表示領域を有効に使用することが可能となる。一方、展開表示状態では、画像処理グループがどの画像処理ツールから構成されているのかについてユーザーがより正確に把握することができる。そして、このようなまとめ表示状態と展開表示状態とを切り替えることができるので、表示領域を有効に使用したり、又は、画像処理グループを構成する各画像処理ツールを確認したり、等のように、ユーザーの必要に応じた表示を行うことができる。さらに、まとめ表示状態では、グループアイコン２５をシングルクリック操作することにより、動画表示が可能に構成されている。この点の詳細については後述する。

図４から図６は、編集モード（ユーザー作成／編集モード）の作業画面の表示例を示す図である。この編集モードは、画像処理フローや、これに含まれる画像処理グループを編集（作成）する際に画像処理プログラムにより実行されるモードである。この編集モードの作業画面は、上記ユーザーインターフェース１７の設定領域１９に表示されてもよいし、ユーザーインターフェース１７とは別の画面として表示されてもよい。作業画面の上段は、画像処理プログラムに登録されている各種画像処理ツールの画像処理アイコン２３が表示される領域（ツールリスト領域）である。また、作業画面の下段は、ユーザーが画像処理フローを構成する画像処理ツールを順次登録して作成したり、グループアイコンを作成又は編集したりする領域（ユーザー作成／編集領域）である。すなわち、ユーザーは、ツールリスト領域に表示されている画像処理アイコン２３を選択してユーザー作成／編集領域に順次追加することにより画像処理フローを作成することができる。また、作成した画像処理フローについて画像処理ツールを新たに追加したり、既に登録されている画像処理ツールを削除したりすることも可能である。同様にして、ユーザー作成／編集領域において画像処理ツールを追加したり削除したりすることで画像処理グループを編集することができる。このように、画像処理アイコン２３を追加または削除することにより、画像処理グループを作成／編集することが可能であるため、より簡単かつより直感的に画像処理グループの作成／編集作業を行うことが可能となる。なお、ツールリストの表示領域、及び、ユーザー作成／編集の表示領域には、それぞれスクロールバー２６ａ，２６ｂがそれぞれ設けられている。各表示領域に画像処理アイコン２３を表示しきれない場合には、スクロールバー２６ａ，２６ｂを縦方向（図における上下方向）にスライドさせて、表示領域における表示を上下方向にスクロールさせることにより、それまで表示領域に表示されていなかった他の画像処理アイコン２３を当該表示領域に表示させることができる。勿論、スクロールバー２６ａ，２６ｂは、縦方向にスライドさせるものには限られず、上記スクロールバー２２のように、横方向にスライドさせて、表示領域の表示を横方向にスクロールさせる構成を採用することもできる。

画像処理グループを作成する場合、例えば、ツールリスト領域に表示されている１０種類の画像処理ツールＡ〜Ｊの中から、実行する順番に画像処理ツールを選択して、それぞれの画像処理アイコン２３をユーザー作成／編集領域に表示させる。例えば、ツールリスト領域に表示されている画像処理ツールをシングルクリック操作したり、或は、ドラッグアンドドロップ操作したりすることで、ツールリスト領域に表示されている画像処理ツールの画像処理アイコン２３をユーザー作成／編集領域に表示させることができる。図４の例では、画像処理ツールＢ、画像処理ツールＣ、画像処理ツールＧ、画像処理ツールＨ、及び画像処理ツールＪの順に選択されて、ユーザー作成／編集領域に各画像処理ツールに対応する画像処理アイコン２３が表示されている。この画像処理グループを作成する場合においても、上記のように、ダブルクリック操作により展開表示状態（図４）とまとめ表示状態（図５）とに切り替えることが可能である。また、まとめ表示状態におけるグループアイコン２５は、後述する動画表示も可能である。そして、図６に示されるように、作成又は編集された画像処理グループは、ツールリスト領域に画像処理ツールの一つとして登録することができる。これにより、他の画像処理ツールと同様に、画像処理フローを作成する際に、いつでも画像処理グループのグループアイコン２５を選択して利用することが可能となる。このように、一度編集された画像処理グループを繰り返し利用することができるため、ユーザーの利便性が向上する。

図７は、グループアイコン２５の動画表示状態について説明する遷移図である。上述したように、本実施形態におけるグループアイコン２５は、画像処理グループを構成する各画像処理ツールの各画像処理アイコン２３を、先頭の画像処理ツールの画像処理アイコン２３が最も手前に配置されるように重ね合わせて斜視図のように表示した構成となっている。この状態では先頭の画像処理ツールに対応する画像処理アイコン２３しかユーザーが視認できないため、画像処理グループがどのような画像処理ツールから構成されているのかを把握しにくい。また、展開表示状態では、画像処理グループを構成する各画像処理ツールの画像処理アイコンが個別に表示されるため、表示領域が見にくくなる場合がある。このため、本実施形態においては、まとめ表示状態において、グループアイコン２５の静止画が表示された状態（静止画表示状態）で当該グループアイコン２５を例えばシングルクリック操作することにより、当該静止画に替えて、画像処理グループを構成する各画像処理ツールの各画像処理アイコン２３を順次表示する所謂コマ送りのような動画表示を行うことが可能となっている。この動画表示状態では、上記のグループアイコン２５の場合、一定の間隔（例えば、１秒ごと）に、画像処理ツールＢ→画像処理ツールＣ→画像処理ツールＧ→画像処理ツールＨ→画像処理ツールＪの順に、最も手前の画像処理アイコン２３の表示が変化する。これにより、展開表示状態にしなくても、画像処理グループがどのような画像処理ツールから構成されているのかをユーザーが容易に把握することが可能となる。また、この動画表示状態の状態でグループアイコン２５を再度シングルクリック操作することにより、先頭の画像処理ツールの画像処理アイコン２３が最も手前に配置された静止画表示状態に切り替えることができる。

このように、まとめ表示状態において静止画表示状態と動画表示状態とに切り替えることができるので、静止画表示状態とすることによりコンピューター６の負荷を抑制したり、又は、動画表示状態とすることにより限られた表示領域を有効に使用しつつ画像処理グループを構成する各画像処理ツールをユーザーが容易に確認したりすることができる。なお、動画表示状態は、必ずしも画像処理グループを構成する全ての画像処理ツールの画像処理アイコン２３を表示させる必要はなく、例えば、画像処理グループを構成する画像処理ツールの中から特徴的な画像処理ツールの画像処理アイコン２３を選択的に表示させたり、又は、画像処理アイコン２３を１つ置き又は複数置きで表示させたりしてもよい。この場合も動画表示状態におけるコンピューター６への負荷をより低減することが可能となる。また、動画表示状態において各画像処理アイコン２３を順次表示する間隔（表示スピード）を任意に変更する構成を採用することもできる。

図８は、編集モードにおいてグループアイコン２５の編集を行う際の作業画面の表示例を示す図である。画像処理グループには、さらに同一又は異なる画像処理グループを含ませることができる。図８の例では、グループアイコン２５（１）に対応する画像処理グループがユーザー作成／編集領域において展開表示されており、ユーザーはこの展開表示状態で画像処理グループを構成する画像処理ツールの追加・削除ができる。そして、当該画像処理グループには、グループアイコン２５（２）に対応する画像処理グループが２つ含まれている。このように、画像処理グループに同一又は異なる画像処理グループを含ませることにより、当該画像処理グループを階層構造にすることも可能である。

図９から図１６は、グループアイコン２５の他の表示例について説明する図である。以上においては、画像処理グループを構成する各画像処理ツールの画像処理アイコン２３を重ね合わせて斜視図のように表示した構成のグループアイコン２５を例示したが、これには限られず、他の画像処理アイコン２３と区別できるものであれば種々の態様を採用することができる。例えば、図９に示されるように、グループアイコン２５であることを強調する枠（以下、強調枠）で当該グループアイコン２５を囲った表示とすることもできる。この場合、より分かりやすいように強調枠に色を付けるようにしてもよい。

また、例えば、図１０及び図１１に示されるように、画像処理グループを構成する画像処理ツールの数を示す数字をグループアイコン２５に併記することにより、画像処理グループに係るグループアイコン２５であることを示すと共に、当該画像処理グループを構成する画像処理ツールの数を示すようにすることもできる。図１０の例では、グループアイコン２５の本体よりも小さい小枠が当該グループアイコン２５の右下の角部に重ねて表示され、当該小枠内に画像処理ツールの数を示す数字「５」が表記（併記）されている。図１１の例では、グループアイコン２５の本体の左上に外れた位置に小枠が設けられており、当該小枠内に画像処理ツールの数を示す数字「５」が表記されている。このように、グループアイコン２５に画像処理ツールの数を示す数字を併記する構成では、画像処理ツールの各画像処理アイコン２３を単に重ね合わせて表示する構成と比較して、画像処理グループを構成する画像処理ツールの数が多い場合においてもグループアイコン２５の表示サイズが大きくなることが抑制される。

また、図１２に示されるように、強調枠及び小枠の両方を組み合わせる構成を採用することも可能である。図１２の例では、グループアイコン２５の本体が白抜きの強調枠で囲まれると共に、当該グループアイコン２５の本体の右下に外れた位置に小枠が設けられており、当該小枠内に画像処理ツールの数を示す数字「５」が表記されている。これにより、画像処理グループに対応するグループアイコン２５であることをユーザーがより認識しやすくなる。なお、小枠の位置については、図１０から図１２で例示したものには限られず、隣り合う他の画像処理アイコン２３等と干渉しない位置であれば任意の位置に表示することができる。また、画像処理ツールの数が認識できるものであればよいので、画像処理ツールの数を示す数字のみが表記されていればよく、必ずしも小枠は表示されなくてもよい。さらに、小枠の形状は四角形に限られず、円形等のように、数字を表記可能な種々の形状を採用することができる。

図１３及び図１４に示される例は、画像処理グループを構成する各画像処理ツールの各画像処理アイコン２３を重ね合わせて表示した構成である。すなわち、図１３に示されるグループアイコン２５は、画像処理グループを構成する各画像処理ツールの各画像処理アイコン２３を重ね合わせたものを斜め右から見たような構成となっている。また、図１４に示されるグループアイコン２５は、画像処理グループを構成する各画像処理ツールの各画像処理アイコン２３を重ね合わせたものを斜め上方から見たような構成となっている。このように、画像処理ツールの各画像処理アイコン２３を重ね合わせて表示した構成では、画像処理グループに係るグループアイコン２５であることをユーザーがより直感的に認識することができる。

また、図１５に示されるように、グループアイコン２５を立体形状とすることもできる。この場合、画像処理グループを構成する画像処理ツールの数が分かりやすいように、立体形状とされたグループアイコン２５の本体に画像処理ツールの数を示す数字を併記する構成を採用することが望ましい。また、例えば、図１６に示されるように、通常の画像処理アイコン２３とは全く異なる形状を採用することも可能である。図１６に示されるグループアイコン２５は、オペレーションシステム等で採用されているような所謂フォルダーアイコンに似た形状を有し、当該グループアイコン２５本体に画像処理ツールの数を示す数字が併記された構成となっている。すなわち、図１６に示されるグループアイコン２５は、フォルダー内に画像処理グループを構成する画像処理ツールが含まれていることを示した形状となっている。このように、通常の画像処理アイコン２３とは全く異なる形状とすることにより、画像処理グループに係るグループアイコン２５であることをユーザーがより直感的に認識することができる。

次に、各種画像処理ツールの具体例について説明する。
図２に示される実施形態において、上記画像処理フローを構成する画像処理ツールのうち、先頭（画像処理フロー表示領域２１における左端）の画像処理アイコン２３ａに対応する画像処理ツールは、例えば、画像入力手段１３により入力されたワーク画像を二値化する二値化処理ツールである。二値化処理されたワーク画像は、記憶部１２に記憶され、画像処理手段１４によって適宜読みだされる。また、本実施形態においては、この二値化処理ツールの後に続いて、画像処理アイコン２３ａ〜２３ｆに対応する各画像処理ツールで構成される画像処理グループが実行される。以下においては、当該画像処理グループを構成する画像処理ツールについて説明する。

図１７は、画像処理ツールの一種であるパターンサーチツールの処理について説明する図（作業領域１８における表示例）である。
本実施形態において、画像処理グループを構成する複数の画像処理ツールのうちの先頭（画像処理フロー表示領域２１における左から２番目）の画像処理アイコン２３ｂに対応する画像処理ツールは、ワーク画像に含まれる所定形状のワーク１を検出するパターンサーチツール（本発明におけるサーチツールに相当）である。図１７の例では、ワーク１ａ〜１ｄの合計４種類のワーク１がワーク画像に含まれている。また、これらのワーク１のうちの一種であるワーク１ａは、合計５個含まれている。そして、パターンサーチツールは、検査対象となるワーク１の基準画像に基づき、ワーク画像に含まれる複数のワーク１の中から当該基準画像のワークと形状が一致すると認められるワーク１を検出する。基準画像は、ワーク１の種類ごとに予め登録されている良否判定のための画像であり、記憶部１２等に記憶されている。パターンサーチツールにおいて、ワーク画像から所定形状のワーク１が検出されると、図１７に示されるように、検出されたワーク１に重ねて枠状の検出標示２８が表示される。なお、検出標示２８に関し、枠状に限られず、種々の標示を採用することができる。

このように、基準画像に基づき複数のワーク１が検出された場合、パターンサーチツールは、検出された各ワーク１に対し、例えば通し番号等からなるインデックスをそれぞれ割り振ることで、同一種類（同一形状）の複数のワーク１がそれぞれ識別されるようになっている。すなわち、例えば、ワーク画像に含まれる５個のワーク１ａに対し、それぞれ１番〜５番の通し番号がインデックスとして付与される。なお、図１７において、符号に添えられている（）内に示される数字がインデックスである（以下、同様）。勿論、インデックスとしては、通し番号に限られず、複数のワーク１をそれぞれ識別することが可能なものであれば、例えばアルファベットや記号等の種々のインデックスを採用することができる。

また、パターンサーチツールでは、検出されたワーク１について、座標情報（絶対値または基準画像に対する相対値）、および基準画像と比較したときの角度情報が取得される。そして、パターンサーチツールでは、当該パターンサーチツールの後に続く画像処理ツールが行われる対象となる対象ワーク（代表オブジェクト）が、上記インデックスにより指定される。この対象ワークを指定するインデックス（以下、対象指定インデックス）は、初期値として例えば１に設定される。この対象指定インデックスは、後述するループツールにより値が変更されるようになっている。また、対象指定インデックスの初期値については、任意の値に変更することができる。

図１８は、パターンサーチツールにおいて行われる位置ずれ補正について説明する図である。
基準画像では、基準となるワーク（以下、基準ワーク）に対して各画像処理ツールで検査を行うための領域（以下、検査領域）が予め設定されている。図１８の例では、基準画像のワークと、これに対する検査領域を示す標示の一例として枠状の領域標示２７′とが、それぞれ破線で示されている。ここで、パターンサーチツールによって検出されたワーク１は、基準ワークに対して座標や角度が異なる場合があるため、これに応じて検査領域も基準の検査領域からずれることになる（図１８では、パターンサーチツールによって検出されたワーク１の例としてワーク１ａが図示されている）。このため、パターンサーチツールでは、検出されたワーク１の個々の座標情報および角度情報に基づき、検査領域の位置ずれが補正される。図１８においては、位置ずれが補正された領域標示２７が、ワーク１ａに重ねて表示されている。なお、ワーク１に設定される検査領域の位置や形状や個数等については画像処理ツールによってそれぞれ異なる。

本実施形態において、画像処理グループを構成する画像処理ツールのうち、上記パターンサーチの後に続く、画像処理アイコン２３ｃ〜２３ｅに対応する各画像処理ツールは、周知の種々の検査・測定用の画像処理ツールが組み合わされたものである。具体的には、画像処理アイコン２３ｃ〜２３ｅに対応する各画像処理ツールは、パターンサーチにより検出されたワーク１のうちの対象指定インデックスで指定される対象ワークについて、例えば、検査領域で指定された２点間の距離を計測する画像処理ツールや、傷、バリ、あるいは欠け等の欠陥を検出する画像処理ツール等である。これらの画像処理ツールは、並べられた順に（図２の例では、画像処理アイコン２３の並設方向の左側から右側に向けて）順次実行されていく。組み合わせる画像処理ツールの種類や数は、画像処理フローを構成する画像処理ツールを順次登録する際にユーザーにより選択される。

ここで、従来ではこれらの画像処理ツールの組み合わせからなる画像処理フローやその中に含まれる画像処理グループに関し、検査対象となるワークが複数ある場合には、各ワークについてそれぞれ個別に画像処理フローや画像処理グループが作成されていた。このため、検査対象のワークの数が多いほど、画像処理フローや画像処理グループの作成作業の手間が増加するという問題があった。また、例えば画像処理フローや画像処理グループ内の一部の画像処理ツールについて設定を変更する等のように、一度作成した画像処理フローを編集する場合、各ワークの画像処理フローや画像処理グループのそれぞれについて編集作業を行わなければならないという問題があった。本発明に係る画像処理装置１０では、複数の検査対象のワークについて、画像処理フローや画像処理グループを構成する画像処理ツールを同様に順次適用するループツールを備えることにより上記問題を解決している。

本実施形態において、画像処理グループを構成する画像処理ツールのうち、最後尾の画像処理アイコン２３ｆに対応する画像処理ツールがループツールである。このループツールは、画像処理フロー又は画像処理グループを構成する各画像処理ツールの組み合わせを、複数の検査対象のワーク１について順次繰り返し実行させるループ処理を行う画像処理ツールである。ループツールでは、繰り返しの先頭となる画像処理ツールをループ先として指定することができる。本実施形態においては、画像処理グループの先頭のパターンサーチツールがループ先として指定されている。これにより、指定された画像処理ツールから、ループツールの１つ前の画像処理ツールまでの各画像処理ツールの組み合わせが繰り返し実行される（すなわち、ループ処理が行われる）。つまり、本実施形態における画像処理グループは、各ワークに対してループ処理をそれぞれ実行する画像処理ツールから構成されている。そして、この画像処理グループがグループアイコン２５で表示されることにより、ループツールによりループ処理が行われる画像処理グループであることをユーザーがより認識しやすくすることができる。

上述したように、パターンサーチツールによって検出されたワーク１には、インデックスがそれぞれ割り振られるので、ループツールは、ループ処理が繰り返される毎に対象指定インデックスの値を変えるように構成されている。すなわち、ループツールは、対象指定インデックスの値を、例えば初期値から１ずつ加算していく。これにより、ループツールによりループ処理が繰り返される毎に対象ワークが順次変わり、複数のワーク１に対してそれぞれ画像処理グループの各画像処理ツールが順次同様に適用されることになる。そして、パターンサーチツールにより検出されたワーク１の検出数に対応する回数だけループ処理が繰り返される。このように、ワーク１の検出数に対応する回数だけループ処理が自動的に実行されるので、ループ処理の実行回数（以下、ループ回数）についてユーザーによる設定作業が不要となる。なお、ループ回数については、後述するように設定を変更することが可能である。また、ループツールは、ループ処理における各画像処理ツールの結果をワーク１毎に対応付けて記憶部１２等に保存する機能を有する。これにより、ループツールによりループ処理が繰り返される際に、各ワーク１の検査・測定の結果が上書きされることなく取得・保存される。

上記のループツールによるループ回数に関し、自動設定またはユーザーによる設定の何れかを選択することも可能となっている。これにより、ループ回数について、検査用途等に応じてより適した設定を選択することができる。ループ回数は、上記の対象指定インデックスの最大値によって規定される。ループ回数について自動設定が選択された場合、対象指定インデックスの値が最大となるまでループ処理が自動的に繰り返される。なお、この自動設定に関し、ユーザーは、パターンサーチツールによるワーク１の検出数の最大値（最大検出数）を設定することができる。この最大検出数が設定された場合において、パターンサーチツールの検出数が最大検出数を超えたときには、当該超えた分のワーク１については検出されなかったものとして扱われる。また、最大検出数が設定された場合において、パターンサーチツールの検出数が最大検出数に満たないときには、当該検出数が最大検出数として扱われる（最大検出数が変更される）。そして、ループ回数について自動設定が選択された場合、対象指定インデックスの最大値は、上記の最大検出数に自動的に設定される。例えば、ワーク画像に同種のワーク１が１００個含まれる場合において、パターンサーチツールによる最大検出数を５０個に設定することもできる。これにより、対象指定インデックスの最大値が５０に設定され、検出されたワーク１に対して対象指定インデックスが最大値である５０となるまでループ処理が繰り返される。また、最大検出数を特定しないようにすることもできる。これにより、上記のようにパターンサーチツールよって検出されたワーク１の検出数が１００個の場合には、対象指定インデックスの最大値が検出数に対応する１００に設定され、検出されたワーク１に対して対象指定インデックスが最大値である１００となるまでループ処理が繰り返される。

また、ユーザーによる設定の場合、ユーザーは、ループ回数を所望とする回数に設定することができる。ユーザーによりループ回数が設定されると、対象指定インデックスの最大値が、当該設定されたループ回数に対応する値に設定される。なお、ユーザーにより設定されたループ回数がパターンサーチツールによる検出数を上回った場合には、対象指定インデックスの最大値は、上記の検出数に自動的に調整される。この場合、ユーザーに対してその旨を報知して確認させる表示が行われるようにしてもよい。

以下、図１９〜図２２を参照しつつ、ループ処理について説明する。なお、以下においては、上記の最大検出数およびループ回数の設定は無いものとして説明する。
画像処理フローが開始されると、まず、パターンサーチツールにより、ワーク画像から基準画像に基づく形状のワーク１が検出され、検出標示２８が各ワークに重ねて表示される。図１９に示される例では、合計４つのワーク１ａ（１）〜１ａ（４）が検出され、それぞれに枠状の検出標示２８ａ〜２８ｄが表示されている。上述したように、パターンサーチツールにより検出されたワーク１には、それぞれ個別のインデックスが付与される。すなわち、図１９の例では、検出されたワーク１ａ（１）〜１ａ（４）には、通し番号１〜４からなるインデックスが付与されている。ここで、本実施形態において、対象指定インデックスは初期値として１が設定されている。図１９に示されるように、この対象指定インデックスに対応する（１）が割り振られたワーク１ａ（１）の検出標示２８ａのみが太枠で示されている。また、パターンサーチツールでは、上述したように、検出されたワーク１の個々の座標情報および角度情報に基づき、検査領域の位置ずれがそれぞれ補正される。

続いて、対象指定インデックスに対応するワーク１（ワーク１ａ（１））について、画像処理フローにおけるパターンサーチツールの後に続く画像処理ツールの組み合わせが順次実行される。例えば、図２０に示されるように、領域標示２７で指定された２点間の距離を計測する画像処理ツール等の各種画像処理が順次実行される。図２０の例では、一対の領域標示２７ｘで特定される２点間の距離、および、一対の領域標示２７ｙで特定される２点間の距離がそれぞれ測定され、各々の測定結果が取得される。上述したように、各画像処理ツールで取得された測定・検査結果の情報は、例えばワーク１のインデックスに対応付けられて記憶部１２等に保存される。

ループツールの１つ前まで画像処理ツールが実行された後、続いてループツールが実行されることにより、繰り返しの先頭となる画像処理ツールとして指定されているパターンサーチツールに戻り、以降の処理が繰り返される。この際、ループツールにより対象指定インデックスの値が変更される。すなわち、現状設定されている対象指定インデックスの値（１）に１が加算されて、当該対象指定インデックスの値が（２）に更新される。そして、画像処理フローの先頭に戻り、パターンサーチツールにより、ワーク画像から基準画像に基づく形状のワーク１が検出される。そして、ループツールにより対象指定インデックスが変更されているので、図２１に示されるように、変更された対象指定インデックスに対応する（２）が割り振られたワーク１ａ（２）の検出標示２８ｂのみが太枠で示される。また、検出されたワーク１の個々の座標情報および角度情報に基づき、検査領域の位置ずれがそれぞれ補正される。そして、対象指定インデックスが（１）で指定されるワーク１ａ（１）の場合と同様に、新たに対象指定インデックス（２）により指定されるワーク１ａ（２）について、図２２に示されるように、パターンサーチツールの後に続く各種の画像処理ツールの組み合わせが順次実行される。そして、ループツールが実行される毎に、対象指定インデックスが変更され、残りのワーク１ａ（３），１ａ（４）についても同様にして、画像処理フローを構成している画像処理ツールの組み合わせが順次実行される（すなわち、ループ処理が実行される）。

以上のように、本発明に係る画像処理装置１０では、複数の検査対象のワーク１について、画像処理フローやこれに含まれる画像処理グループを構成する画像処理ツールを同様に順次適用するループツールを備えることにより、各ワーク１についてそれぞれ画像処理フローや画像処理グループを個別に作成する必要がなく、画像処理フロー等の作成作業がより容易となる。また、例えば画像処理フローや画像処理グループ内の一部の画像処理ツールについて設定等を変更する等のように、一度作成した画像処理フロー等を編集する場合においても、１つの画像処理フローや画像処理グループについて編集を行えば、当該編集後の画像処理フローや画像処理グループによるループ処理が各ワーク１について同様に適用されることになる。その結果、ユーザーにとって作業の負担が軽減され、メンテナンス性が向上する。

次に、本発明の他の実施形態について説明する。
図２３は、本発明の第２の実施形態について説明する図である。
本実施形態においては、ワーク画像に対してパターンサーチツールにより検出されるワーク１の数がより多くなっている。この場合、パターンサーチツールにより検出されたワーク１の全てについてループ処理が同様に適用されると、その分、多くの時間を要することになる。このため、ループツールでは、パターンサーチツールにより検出された複数のワーク１のうちの一部のワーク１に対して選択的にループ処理を適用するモードに設定することができる。より具体的には、上記の対象指定インデックスの値の更新時の加算値を１よりも大きい値に設定することにより、検出されたワーク１の中から一定の個数間隔で検査対象のワーク１が選択されてループ処理が適用されるようになっている。例えば、図２３に示される例のように、パターンサーチツールにより合計１７個のワーク１ａ（１）〜１ａ（１７）が検出された場合（基準画像と一致しないワーク１ｂについては非検出）において、対象指定インデックスの初期値が「１」、尚且つ、ループツールによる対象指定インデックスの値の更新時の加算値が「２」に設定されているときには、インデックス（１）が付与されたワーク１から順に１つ置きに（１個間隔で）奇数番号のインデックスが付与されたワーク１ａに対してループ処理が順次適用される。同様に、対象指定インデックスの初期値が「２」、尚且つ、ループツールによる対象指定インデックスの値の更新時の加算値が「２」に設定されているときには、インデックス（２）が付与されたワーク１から順に１つ置きに（１個間隔で）偶数番号のインデックスが付与されたワーク１ａに対してループ処理が順次適用される。さらに、パターンサーチツールによるワーク１の検出数がより多い場合には、ループツールによる対象指定インデックスの値の更新時の加算値を例えば「４」等のように任意に設定することができる。この場合、３つ間隔でワーク１ａに対してループ処理が順次適用される。これにより、パターンサーチツールにより検出されるワーク１の数がより多い場合においても、所謂抜き取り検査のように検出されたワーク１のうちの一部のワーク１のみにループ処理を適用することができるので、その分、処理時間を削減することが可能となる。また、本実施形態においては、検出されたワークの中から一定の個数間隔で検査対象のワークの選択を行うので、より簡単な設定で抜き取り検査を行うことが可能となる。なお、その他の構成については、上記第１の実施形態と同様である。

図２４は、本発明に係る第３の実施形態について説明する図である。
本実施形態においては、ワーク画像についてパターンサーチツールにより検出されるワーク１の数が多数である場合において、検出されたワーク１のうちの一部のワーク１のみに画像処理フローを適用する点で上記第２の実施形態と共通している。一方で、検出された位置（座標）に基づくワーク１の形状・寸法等のばらつきの特性を考慮して、ワーク画像について検査対象とするワーク１を特定するための選択エリアが分散して複数設定され、当該選択エリアに含まれるワーク１が検査対象とされる点で第２の実施形態と異なっている。図２４の例では、シリコンウェハー（シリコン単結晶基板）３０から複数の部品が個々に切り出される構成において、当該シリコンウェハー３０に部品となる領域（以下、部品領域）が、同図において破線で示される縦横の切断予定線によって複数区画されている。本実施形態における画像処理装置１０では、シリコンウェハー３０に区画された部品領域がそれぞれワーク１として検査対象とされる。シリコンウェハー３０の外周の一部には、当該シリコンウェハー３０の所定の面方位を示すオリエンテーションフラット（以下、オリフラ）ＯＦが形成されている。また、切断予定線は、部品領域（ワーク１）の外縁に沿って形成された複数の凹部、貫通孔、あるいは溝等のような、シリコンウェハー３０の切断・分割のきっかけとなる脆弱部である。

このように、シリコンウェハー３０に複数のワーク１としての部品領域が設定される構成では、当該シリコンウェハー３０における位置によって特性が変わる場合がある。例えば、シリコンウェハー３０のより端部（より外周側）に位置するワーク１と、シリコンウェハー３０のより中央部に位置するワーク１とでは、形状や寸法等が微妙に異なる場合がある。このため、本実施形態におけるループツールでは、検出された位置に基づくワーク１の形状や特性等のばらつきを考慮した検査モードを選択することが可能となっている。この検査モードでは、図２４に示されるように、パターンサーチツールにより検出された複数のワーク１の位置（座標）に基づき複数の選択エリア３１が分散して設定される。この選択エリア３１が設定される位置や数は、パターンサーチツールにより検出されるワーク１の数や分布に応じて、できるだけ偏りないように設定される。そして、選択エリア３１の範囲に全体が含まれるワーク１（図２４中、ハッチングで示されるワーク１）が、画像処理フローを適用する検査対象として選択される。この場合、ループツールによりループ処理が繰り返される毎に、選択エリア３１により選択された各ワーク１のインデックスを順次指定するように対象指定インデックスが更新される。本実施形態の構成によれば、ワーク１の位置に基づく形状や寸法等のばらつきを考慮してより偏りなくワーク１の抜き取り検査を行うことが可能となる。なお、その他の構成については、上記第１の実施形態と同様である。

図２５は、本発明に係る第４の実施形態について説明する図である。なお、同図において、上段が作業領域１８における画像であり、下段がアイコン表示領域に表示された画像処理アイコン２３である。
本実施形態は、画像処理フローや画像処理グループに複数のループツールが設けられている点で上記各実施形態と異なっている。本実施形態においては、図２５に例示されているように、パターンサーチツールにより検出されたワーク１が、検査対象となる部位を複数有している。すなわち、図２５の例では、歯車からなるワーク１が、検査対象部位として複数（例えば１１本）の歯３３を有しており、これらの歯３３についてそれぞれ画像処理ツールによる欠陥検出等を順次同様に行うことが考えられる。本実施形態において、画像処理フローやや画像処理グループを構成する画像処理ツールのうち、先頭の画像処理アイコン２３ａに対応する画像処理ツールは、上述したようにワーク画像に含まれる所定形状のワーク１を検出するパターンサーチツールであり、その次の画像処理アイコン２３ｂに対応する画像処理ツールは、パターンサーチツールにより検出されたワーク１について、検査対象部位を検出するパーツサーチツールである。その後に続く画像処理アイコン２３ｃおよび２３ｄに対応する画像処理ツールは、例えば欠陥検出等を行う画像処理ツールである。

本実施形態において、画像処理アイコン２３ｅおよび２３ｆに対応する画像処理ツールは、いずれもループツールである。このうち、画像処理アイコン２３ｆに対応するループツールは、第１のループツールとして機能し、本実施形態においては、先頭のパターンサーチツールがループ先として指定されている。これにより、パターンサーチツールから、第１のループツールの１つ前の画像処理ツール（本実施形態では、以下の第２のループツール）までの各画像処理ツールが繰り返し実行される。以下、このループをメインループ（本発明における第１のループ処理に相当）と称する。また、画像処理アイコン２３ｅに対応するループツールは、第２のループツールとして機能し、本実施形態においては、パーツサーチツールがループ先として指定されている。これにより、パーツサーチツールから、第２のループツールの１つ前の画像処理ツールまでの各画像処理ツールが繰り返し実行される。以下、このループをサブループ（本発明における第２のループ処理に相当）と称する。

パーツサーチツールは、対象指定インデックスで指定されているワーク１について、基準画像の検査対象部位と形状が一致すると判定した検査対象部位を検出し、検出された検査対象部位にそれぞれ個別のインデックスを付与する。図２５の例では、対象指定インデックスで指定されているワーク１ｂ（１）についての検査対象部位として検出された複数の歯３３にそれぞれ１番〜１１番の通し番号がインデックスとして付与されている。そして、第２のループツールは、サブループが繰り返される毎に検査対象部位を指定する部位指定インデックスの値を変えるように構成されている。すなわち、第２のループツールは、部位指定インデックスの値を例えば初期値から１ずつ加算していく。これにより、第２のループツールによりサブループが繰り返される毎に部位指定インデックスで指定される検査対象部位が順次変わり、複数の検査対象部位に対してそれぞれサブループ内の画像処理ツールの組み合わせが順次同様に適用されることになる。そして、部位指定インデックスの値がパーツサーチツールによる検出数に対応する値となるまでサブループが繰り返される。勿論、本実施形態においても、パーツサーチツールにより検出された複数の検査対象部位のうちの一部にサブループを適用するモードを選択できるようにしてもよい。そして、対象指定インデックスで指定されているワーク１について各検査対象部位に対する検査が行われてサブループから抜けた後、第１のループツールによりメインループが実行されることにより、パターンサーチツールにより検出された他のワーク１についても同様にして画像処理ツールが順次実行される。すなわち、第１のループツールにより実行されるメインループ（第１のループ処理）は、第２のループツールにより実行されるサブループ（第２のループ処理）を包含する。本実施形態の構成によれば、画像処理フローや画像処理グループ内に第２のループツールを追加するという簡単な作業でワーク１が有する複数の部位の検査が可能となる。なお、本実施形態においては、画像処理フロー等に第１のループツールと第２のループツールの２つのループツールが設けられた例を示したが、これには限られず、ワーク１が複数種類の検査対象部位を有する場合には、それに応じて３つ以上のループツールを設けてもよい。すなわち、メインループが複数のサブループを包含してもよい。この場合、各サブループがそれぞれ独立したループ処理を行ってもよいし、サブループ内に他のサブループが包含されてもよい。その他の構成については上記第１の実施形態と同様である。

なお、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。要するに、ワークを撮影して得られた撮影画像（ワーク画像）に対して種々の画像処理ツールにより画像処理を行う構成であって、複数のワークに対して画像処理フローを構成する画像処理ツールをそれぞれ実行するものであれば、種々の画像処理装置に適用することが可能である。

１…ワーク，２…ＸＹステージ，３…撮影装置，６…コンピューター，７…表示装置，８…入力装置，１０…画像処理装置，１１…演算部，１２…記憶部，１３…画像入力手段，１４…画像処理手段，１７…ユーザーインターフェース，１８…作業領域，１９…設定領域，２０…強調処理領域，２１…アイコン表示領域，２２…スクロールバー，２３…画像処理アイコン，２４…グループ標示，２５…グループアイコン，２６…スクロールバー，２７…領域標示，２８…検出標示，３０…シリコンウェハー，３１…選択エリア，３３…歯

Claims (15)

1. 複数のワークが含まれたワーク画像に対して、複数の画像処理ツールが組み合わされた画像処理フローに基づいて画像処理を実行する画像処理装置であって、
   前記画像処理フローは、前記ワーク画像に含まれる複数のワークのそれぞれに対して、画像処理ツールの組み合わせを順次適用するループ処理を行うループツールを有することを特徴とする画像処理装置。
2. 前記画像処理フローは、ワーク画像に含まれる所定のワークを検出するサーチツールを画像処理ツールとして含み、
   前記ループツールは、前記サーチツールによるワークの検出数に対応する回数だけ前記ループ処理を行うことを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
3. 前記ループツールによる前記ループ処理の実行回数は、ユーザーにより設定されることを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
4. 前記画像処理フローは、ワーク画像に含まれる所定のワークを検出するサーチツールを画像処理ツールとして含み、
   前記ループツールによる前記ループ処理の実行回数について、前記サーチツールで検出されたワークの検出数に基づく自動設定、または、ユーザーによる設定の何れかを選択可能であることを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
5. 前記画像処理フローは、ワーク画像に含まれる所定のワークを検出するサーチツールを画像処理ツールとして含み、
   前記ループツールは、前記サーチツールにより検出されたワークの中から一部のワークに対して選択的に前記ループ処理を行うモードを有することを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
6. 前記ループツールは、前記サーチツールにより検出されたワークの中から一定の個数間隔で検査対象のワークの選択を行うことを特徴とする請求項５に記載の画像処理装置。
7. 前記ループツールは、前記サーチツールにより検出されたワークの中から検査対象とするワークを選択するための選択エリアを前記ワーク画像に分散させて設定し、当該選択エリア内に含まれるワークを検査対象のワークとして選択することを特徴とする請求項５に記載の画像処理装置。
8. 前記画像処理フローは、第１のループツールと第２のループツールを有し、
   前記第１のループツールにより実行される第１のループ処理は、前記第２のループツールにより実行される第２のループ処理を包含することを特徴とする請求項１から請求項７の何れか一項に記載の画像処理装置。
9. 画像処理ツールに対応する画像処理アイコンを表示装置に表示させるアイコン表示手段を有し、
   前記アイコン表示手段は、複数の画像処理ツールの組み合わせから構成される画像処理グループに対応するグループアイコンを前記表示装置に表示させることが可能に構成されたことを特徴とする請求項１から請求項８の何れか一項に記載の画像処理装置。
10. 前記アイコン表示手段は、前記ループツール及び当該ループツールにより前記ループ処理が行われる複数の画像処理ツールを含む前記画像処理グループに対応する前記グループアイコンを表示させることが可能に構成されたことを特徴とする請求項９に記載の画像処理装置。
11. 前記アイコン表示手段は、前記画像処理グループに対応する前記グループアイコンを表示させるまとめ表示状態と、当該画像処理グループに含まれる各画像処理ツールに対応する各画像処理アイコンを並べて表示させる展開表示状態と、に切り替えることが可能に構成されたことを特徴とする請求項９又は請求項１０に記載の画像処理装置。
12. 前記アイコン表示手段は、前記まとめ表示状態において、当該グループアイコンの静止画を表示させる静止画表示状態と、前記画像処理グループに含まれる画像処理ツールに対応する画像処理アイコンを前記静止画に替えて順次表示する動画表示状態と、に切り替えることが可能に構成されたことを特徴とする請求項１１に記載の画像処理装置。
13. 前記アイコン表示手段は、前記動画表示状態において、前記画像処理グループに含まれる画像処理ツールのうちの一部に対応する画像処理アイコンを選択して表示させることが可能に構成されたことを特徴とする請求項１２に記載の画像処理装置。
14. 前記画像処理グループを編集する編集モードを有し、
    前記編集モードは、前記画像処理アイコンを追加または削除することにより、前記画像処理グループを編集することが可能に構成されたことを特徴とする請求項９から請求項１３の何れか一項に記載の画像処理装置。
15. 前記編集モードは、編集された前記画像処理グループを前記画像処理ツールの一つとして登録することが可能に構成されたことを特徴とする請求項１４に記載の画像処理装置。

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