JP2018113373A - Processing device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve removal performance of a processing liquid including machining scrap on a workpiece by gas injection and reduce gas consumption.SOLUTION: A processing device 1 includes a chuck table 10 for holding a workpiece W, a processing unit 20 for processing the workpiece W while supplying a processing liquid to the workpiece W held on the chuck table 10, and a first air curtain nozzle 82 for blowing gas onto the workpiece W after the processing and removing the processing liquid from the workpiece W. The first air curtain nozzle 82 extends across a movement path along which the chuck table 10 moves and intermittently ejects gas toward the workpiece W held on the moving chuck table 10.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、加工装置に関する。   The present invention relates to a processing apparatus.

従来、半導体ウエーハやパッケージ基板など板状の被加工物を研削する研削装置や、被加工物を切削して複数のチップに分割する切削装置といった加工装置に関する技術が知られている。これらの加工装置は、一般に、加工液を供給しながら被加工物に加工を施すため、加工完了後の被加工物に加工屑を含む加工液が残留することがあり、これを除去する必要がある。特許文献１には、切削加工後の半導体ウエーハにエアーカーテンから風を吹き付けることで、半導体ウエーハに付着した水滴を除去するダイシング装置が開示されている。   2. Description of the Related Art Conventionally, a technique related to a processing apparatus such as a grinding apparatus that grinds a plate-like workpiece such as a semiconductor wafer or a package substrate, or a cutting apparatus that cuts a workpiece into a plurality of chips is known. Since these machining apparatuses generally process a workpiece while supplying the machining fluid, machining fluid containing machining waste may remain on the workpiece after machining, and it is necessary to remove this. is there. Patent Document 1 discloses a dicing apparatus that removes water droplets attached to a semiconductor wafer by blowing air from an air curtain onto the semiconductor wafer after cutting.

特開平０９−２９３６９５号公報JP 09-293695 A

しかしながら、上記特許文献１に記載のようなエアーカーテンは、気体の噴射領域が比較的大きいことから、被加工物に残留した加工屑を含む加工液を除去するために、気体消費量が多くなってしまう。一方で、エアーカーテンからの気体噴射量を単純に低下させると、被加工物に対する加工屑を含む加工液の除去性能が低下してしまう。   However, since the air curtain as described in Patent Document 1 has a relatively large gas injection area, the amount of gas consumption increases in order to remove the processing liquid containing the processing waste remaining on the workpiece. End up. On the other hand, if the amount of gas injection from the air curtain is simply reduced, the removal performance of the machining fluid containing machining wastes on the workpiece is lowered.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、気体噴射による被加工物に対する加工屑を含む加工液の除去性能の向上と、気体消費量の低減との両立を図ることを目的とする。   This invention is made in view of the above, Comprising: It aims at coexistence with the improvement of the removal performance of the process liquid containing the process waste with respect to the workpiece by gas injection, and reduction of gas consumption. .

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物に加工液を供給しつつ加工する加工ユニットと、加工後の該被加工物に気体を吹き付け、該加工液を該被加工物から除去するエアーカーテンノズルと、を備える加工装置であって、該エアーカーテンノズルは、該気体を該被加工物に向かって間欠的に噴射することを特徴とする。   In order to solve the above-described problems and achieve the object, the present invention provides a chuck table for holding a workpiece, and a machining unit for machining while supplying a machining fluid to the workpiece held on the chuck table. And an air curtain nozzle that blows a gas on the workpiece after processing and removes the processing liquid from the workpiece, the air curtain nozzle configured to apply the gas to the workpiece It is characterized by intermittently injecting toward an object.

また、該エアーカーテンノズルは、該チャックテーブルが移動する移動経路を跨いで延在し、移動する該チャックテーブルに保持された該被加工物に該気体を噴射することが好ましい。   The air curtain nozzle preferably extends over a moving path along which the chuck table moves and injects the gas onto the workpiece held by the moving chuck table.

本発明にかかる加工装置は、エアーカーテンノズルから被加工物に向かって気体を間欠的に、すなわちパルス状に噴射する。これにより、エアーカーテンから被加工物に向けて継続的に気体を噴射する場合に対して、気体を吹き付けることによる加工屑を含む加工液の除去性能を向上させつつ、気体消費量を全体として低減することができる。したがって、本発明にかかる加工装置は、気体噴射による被加工物に対する加工屑を含む加工液の除去性能の向上と、気体消費量の低減との両立を図ることができるという効果を奏する。   The processing apparatus according to the present invention ejects gas intermittently, that is, in a pulse shape, from an air curtain nozzle toward a workpiece. As a result, the gas consumption is reduced as a whole while improving the removal performance of machining fluid including machining waste by blowing gas against the case of continuously injecting gas from the air curtain toward the workpiece. can do. Therefore, the processing apparatus according to the present invention has an effect that it is possible to achieve both the improvement of the removal performance of the machining fluid containing the processing waste on the workpiece by gas injection and the reduction of the gas consumption.

図１は、実施形態に係る切削装置の概略を示す説明図である。Drawing 1 is an explanatory view showing the outline of the cutting device concerning an embodiment. 図２は、加工後にチャックテーブルと共に加工領域から搬出入領域へと移動する被加工物に加工液除去ユニットによって洗浄水及びエアーを噴射する様子を示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing a state in which cleaning water and air are jetted by a machining liquid removal unit onto a workpiece that moves from the machining area to the carry-in / out area together with the chuck table after machining. 図３は、加工後にチャックテーブルと共に加工領域から搬出入領域へと移動する被加工物に加工液除去ユニットによってエアーを噴射する様子を示す説明図である。FIG. 3 is an explanatory view showing a state in which air is jetted by the machining liquid removing unit onto a workpiece that moves from the machining area to the carry-in / out area together with the chuck table after machining. 図４は、搬送アームにより洗浄ユニットへと搬送される被加工物に加工液除去ユニットによってエアーを噴射する様子を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory view showing a state in which air is jetted by the machining liquid removal unit onto the workpiece conveyed to the cleaning unit by the conveyance arm. 図５は、第１エアー流量調整バルブ及び第２エアー流量調整バルブの開閉挙動を示す説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram showing the opening and closing behavior of the first air flow rate adjustment valve and the second air flow rate adjustment valve.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Embodiments (embodiments) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the contents described in the following embodiments. The constituent elements described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the structures described below can be combined as appropriate. Various omissions, substitutions, or changes in the configuration can be made without departing from the scope of the present invention.

図１は、実施形態に係る加工装置の概略を示す説明図である。図１に示す加工装置１は、被加工物Ｗに切削加工を施して、被加工物Ｗを個々のデバイスＤに分割する切削装置である。加工装置１により切削加工される被加工物Ｗは、本実施形態では、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とし、円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハである。なお、被加工物Ｗは、セラミックス、ガラス、サファイア系の板状の無機材料基板、金属や樹脂等の板状の延性材料等、各種の板状の加工材料であってもよい。本実施形態において、被加工物Ｗは、裏面ＷＲ（図２〜図４参照）に粘着テープＴが貼着され、粘着テープＴに環状フレームＦが貼着されて、粘着テープＴを介して環状フレームＦに貼着される。粘着テープＴは、被加工物Ｗに加工を施す際の支持部材となる。   Drawing 1 is an explanatory view showing the outline of the processing device concerning an embodiment. A processing apparatus 1 shown in FIG. 1 is a cutting apparatus that performs a cutting process on a workpiece W and divides the workpiece W into individual devices D. In the present embodiment, the workpiece W to be cut by the processing apparatus 1 is a disk-shaped semiconductor wafer or optical device wafer using silicon, sapphire, gallium, or the like as a base material. The workpiece W may be various plate-like processing materials such as ceramics, glass, sapphire-based plate-like inorganic material substrates, and plate-like ductile materials such as metals and resins. In this embodiment, the workpiece W has an adhesive tape T attached to the back surface WR (see FIGS. 2 to 4), an annular frame F attached to the adhesive tape T, and an annular shape through the adhesive tape T. Affixed to frame F. The adhesive tape T serves as a support member when the workpiece W is processed.

加工装置１は、図１に示すように、被加工物Ｗを保持面１１で保持するチャックテーブル１０と、チャックテーブル１０に保持された被加工物Ｗに加工液（切削液）を供給しつつ加工（切削）する加工ユニット（切削ユニット）２０と、チャックテーブル１０と加工ユニット２０とを相対的にＸ軸方向（加工送り方向）に移動させるＸ軸移動ユニット（図示せず）と、チャックテーブル１０と加工ユニット２０とを相対的にＹ軸方向（割り出し送り方向）に移動させるＹ軸移動ユニット４０と、チャックテーブル１０と加工ユニット２０とを相対的にＺ軸方向（切削送り方向）に移動させるＺ軸移動ユニット５０と、加工後の被加工物Ｗを洗浄する洗浄ユニット６０と、加工液除去ユニット８０と、制御ユニット１００と、を備えている。   As shown in FIG. 1, the processing apparatus 1 holds a workpiece W on a holding surface 11, and supplies a machining fluid (cutting fluid) to the workpiece W held on the chuck table 10. A machining unit (cutting unit) 20 for machining (cutting), an X-axis moving unit (not shown) for relatively moving the chuck table 10 and the machining unit 20 in the X-axis direction (machining feed direction), and a chuck table 10 and the machining unit 20 are relatively moved in the Y-axis direction (index feed direction), and the chuck table 10 and the machining unit 20 are relatively moved in the Z-axis direction (cutting feed direction). A Z-axis moving unit 50 for cleaning, a cleaning unit 60 for cleaning the workpiece W after processing, a machining liquid removing unit 80, and a control unit 100.

また、加工装置１は、加工前後の被加工物Ｗを複数収容するカセット３０を昇降させるカセットエレベータ（図示せず）と、カセット３０に被加工物Ｗを出し入れする搬出入ユニット（図示せず）と、搬出入ユニットとチャックテーブル１０と洗浄ユニット６０とに渡って被加工物Ｗを搬送する搬送ユニット７０と、を備えている。   Further, the processing apparatus 1 includes a cassette elevator (not shown) that moves up and down a cassette 30 that houses a plurality of workpieces W before and after processing, and a carry-in / out unit (not shown) that puts and removes the workpiece W into and from the cassette 30. And a transport unit 70 that transports the workpiece W across the carry-in / out unit, the chuck table 10, and the cleaning unit 60.

チャックテーブル１０は、加工前の被加工物Ｗが保持面１１上に載置されて、粘着テープＴを介して環状フレームＦの開口に貼着された被加工物Ｗを保持するものである。チャックテーブル１０は、保持面１１を構成する部分がポーラスセラミック等から形成された円盤形状であり、図示しない真空吸引経路を介して図示しない真空吸引源と接続され、保持面１１に載置された被加工物Ｗを吸引することで保持する。また、チャックテーブル１０の周囲には、被加工物Ｗの周囲の環状フレームＦを挟持するクランプ部１２が複数設けられている。   The chuck table 10 holds the workpiece W on which the workpiece W before processing is placed on the holding surface 11 and attached to the opening of the annular frame F via the adhesive tape T. The chuck table 10 has a disk shape in which a portion constituting the holding surface 11 is formed of porous ceramic or the like, and is connected to a vacuum suction source (not shown) via a vacuum suction path (not shown) and placed on the holding surface 11. The workpiece W is held by being sucked. Further, around the chuck table 10, a plurality of clamp portions 12 that sandwich the annular frame F around the workpiece W are provided.

チャックテーブル１０は、装置本体２の上面にＸ軸方向に設けられた開口部２ａに沿って移動可能に配設されている。チャックテーブル１０は、Ｘ軸移動ユニットによりＸ軸方向に移動自在に設けられたテーブル移動基台（図示せず）上に設置された回転駆動源（図示せず）により中心軸線（Ｚ軸と平行である）回りに回転自在に設けられる。チャックテーブル１０は、Ｘ軸移動ユニットにより、加工ユニット２０により被加工物Ｗに加工を施す加工領域４と、カセット３０との間で被加工物Ｗを搬出入する搬出入領域５との間をＸ軸方向に沿って移動する。   The chuck table 10 is disposed on the upper surface of the apparatus main body 2 so as to be movable along an opening 2 a provided in the X-axis direction. The chuck table 10 is parallel to the Z-axis by a rotation drive source (not shown) installed on a table moving base (not shown) provided movably in the X-axis direction by the X-axis moving unit. It is provided to be rotatable around. The chuck table 10 is moved between the processing area 4 where the processing unit 20 processes the workpiece W by the X-axis moving unit and the loading / unloading area 5 where the workpiece W is loaded / unloaded between the cassette 30 and the chuck table 10. Move along the X-axis direction.

開口部２ａにおけるチャックテーブル１０の移動経路上には、テーブル移動基台を鉛直方向（Ｚ軸方向）上側から覆うカバー部材６と、カバー部材６の両端部に取り付けられた蛇腹部材７とが配設されている。蛇腹部材７は、チャックテーブル１０のＸ軸方向の移動に伴って伸縮可能である。蛇腹部材７は、加工ユニット２０により被加工物Ｗに加工を施す際に供給される加工液（切削液）を、Ｙ軸方向の両端部から開口部２ａの鉛直方向下側に流下させ、装置本体２の内部に設けられた加工液の排出経路（図示せず）へと案内する。   On the movement path of the chuck table 10 in the opening 2a, a cover member 6 that covers the table moving base from the upper side in the vertical direction (Z-axis direction) and a bellows member 7 attached to both ends of the cover member 6 are arranged. It is installed. The bellows member 7 can expand and contract as the chuck table 10 moves in the X-axis direction. The bellows member 7 causes the machining fluid (cutting fluid) supplied when machining the workpiece W by the machining unit 20 to flow downward from both ends in the Y-axis direction to the lower side in the vertical direction of the opening 2a. It guides to the discharge route (not shown) of the machining fluid provided inside the main body 2.

加工ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物Ｗを切削する切削ブレード２１を装着したスピンドル２２を有する。また、加工ユニット２０は、加工中の被加工物Ｗに加工液（切削液）を供給する加工液供給ノズル２４（図２参照）を有する。加工ユニット２０は、図１に示すように、Ｙ軸移動ユニット４０、Ｚ軸移動ユニット５０などを介して、装置本体２から立設した柱部３に設けられている。加工ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物Ｗに対して、Ｙ軸移動ユニット４０によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニット５０によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。加工ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニット４０及びＺ軸移動ユニット５０により、チャックテーブル１０の表面の任意の位置に切削ブレード２１を位置付け可能とされている。   The processing unit 20 includes a spindle 22 on which a cutting blade 21 for cutting the workpiece W held on the chuck table 10 is mounted. Further, the machining unit 20 includes a machining fluid supply nozzle 24 (see FIG. 2) that supplies a machining fluid (cutting fluid) to the workpiece W being machined. As shown in FIG. 1, the processing unit 20 is provided on a column portion 3 erected from the apparatus main body 2 via a Y-axis movement unit 40, a Z-axis movement unit 50, and the like. The processing unit 20 is provided so as to be movable in the Y-axis direction by the Y-axis moving unit 40 with respect to the workpiece W held on the chuck table 10, and is movable in the Z-axis direction by the Z-axis moving unit 50. Is provided. The machining unit 20 can position the cutting blade 21 at an arbitrary position on the surface of the chuck table 10 by the Y-axis movement unit 40 and the Z-axis movement unit 50.

切削ブレード２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。スピンドル２２は、切削ブレード２１を回転させることで被加工物Ｗを切削する。スピンドル２２は、スピンドルハウジング２３内に収容される。スピンドルハウジング２３は、Ｚ軸移動ユニット５０に支持されている。加工ユニット２０のスピンドル２２及び切削ブレード２１の軸心は、Ｙ軸方向と平行に設定されている。   The cutting blade 21 is an extremely thin cutting grindstone having a substantially ring shape. The spindle 22 cuts the workpiece W by rotating the cutting blade 21. The spindle 22 is accommodated in the spindle housing 23. The spindle housing 23 is supported by the Z-axis movement unit 50. The axes of the spindle 22 and the cutting blade 21 of the processing unit 20 are set parallel to the Y-axis direction.

Ｘ軸移動ユニットは、チャックテーブル１０をＸ軸方向に移動させることで、被加工物Ｗに対する加工送りを実現するものである。Ｙ軸移動ユニット４０は、加工ユニット２０をＹ軸方向に移動させることで、被加工物Ｗに対する割り出し送りを実現するものである。Ｚ軸移動ユニット５０は、加工ユニット２０をＺ軸方向に移動させることで、被加工物Ｗに対する切り込み深さの制御を実現するものである。   The X-axis moving unit realizes machining feed for the workpiece W by moving the chuck table 10 in the X-axis direction. The Y-axis moving unit 40 realizes the index feed with respect to the workpiece W by moving the processing unit 20 in the Y-axis direction. The Z-axis moving unit 50 realizes control of the cutting depth with respect to the workpiece W by moving the processing unit 20 in the Z-axis direction.

洗浄ユニット６０は、加工後の被加工物Ｗを保持するスピンナテーブル６１を有する。また、洗浄ユニット６０は、洗浄液噴射装置と、気体噴射装置とを有する。洗浄ユニット６０は、スピンナテーブル６１を図示しない回転駆動源により回転させつつ洗浄液噴射装置から加工後の被加工物Ｗに洗浄水を噴射することで被加工物Ｗを洗浄する。また、洗浄ユニット６０は、洗浄後の被加工物Ｗに気体噴射装置から気体を噴射することで被加工物Ｗを乾燥させる。   The cleaning unit 60 includes a spinner table 61 that holds the workpiece W after processing. The cleaning unit 60 includes a cleaning liquid ejecting device and a gas ejecting device. The cleaning unit 60 cleans the workpiece W by spraying cleaning water onto the processed workpiece W from the cleaning liquid ejecting apparatus while rotating the spinner table 61 by a rotation drive source (not shown). The cleaning unit 60 dries the workpiece W by injecting gas from the gas injection device onto the workpiece W after cleaning.

搬送ユニット７０は、加工後の被加工物Ｗをチャックテーブル１０から洗浄ユニット６０へと搬送する搬送アーム７１を有する。搬送ユニット７０のその他の構成については、説明を省略する。搬送アーム７１は、装置本体２に対してＹ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に取り付けられる。搬送アーム７１は、先端部に形成されたＨ型のブラケットの先端に真空吸着式のパッド７２を有する。パッド７２は、被加工物Ｗを吸着して保持することができる。搬送アーム７１は、搬出入領域５に位置付けられたチャックテーブル１０の保持面１１上の被加工物Ｗをパッド７２によって吸着し、洗浄ユニット６０のスピンナテーブル６１上へと搬送する。   The transport unit 70 includes a transport arm 71 that transports the processed workpiece W from the chuck table 10 to the cleaning unit 60. Description of other configurations of the transport unit 70 is omitted. The transfer arm 71 is attached to the apparatus main body 2 so as to be movable in the Y-axis direction and the Z-axis direction. The transfer arm 71 has a vacuum suction pad 72 at the tip of an H-shaped bracket formed at the tip. The pad 72 can suck and hold the workpiece W. The transfer arm 71 sucks the workpiece W on the holding surface 11 of the chuck table 10 positioned in the carry-in / out area 5 with the pad 72 and transfers it onto the spinner table 61 of the cleaning unit 60.

制御ユニット１００は、加工装置１を構成する上述した構成要素をそれぞれ制御して、被加工物Ｗに対する加工動作を加工装置１に行わせるものである。なお、制御ユニット１００は、例えばＣＰＵ等で構成された演算処理装置やＲＯＭ、ＲＡＭ等を備える図示しないマイクロプロセッサを主体として構成されており、加工動作の状態などを表示する表示ユニット（図示せず）や、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニット（図示せず）と接続されている。   The control unit 100 controls the above-described components constituting the machining apparatus 1 to cause the machining apparatus 1 to perform a machining operation on the workpiece W. The control unit 100 is mainly composed of an arithmetic processing unit constituted by, for example, a CPU or the like and a microprocessor (not shown) provided with a ROM, a RAM, etc. ) And an input unit (not shown) used when an operator registers machining content information and the like.

加工装置１において、加工ユニット２０により被加工物Ｗに加工を施す際には、加工液供給ノズル２４から被加工物Ｗに加工液を供給させる。そのため、複数のデバイスＤに分割された加工後の被加工物Ｗは、表面ＷＳに加工屑（切削屑）Ｋを含む加工液が残留しやすい（図２参照）。また、加工屑Ｋを含んだ雰囲気、粘着テープＴや環状フレームＦの上面に付着した加工屑を含んだ切削液が、加工送りによる横方向へ加速度によって粘着テープＴと環状フレームＦとを伝って、被加工物Ｗの裏面ＷＲ側（本実施形態では、粘着テープＴの裏面）にも伝わり、残留した状態を保つ場合もある（図４参照）。この状態で被加工物Ｗをチャックテーブル１０上から他の位置（本実施形態では、洗浄ユニット６０）へと搬送すると、加工屑Ｋを含む加工液が予期せぬ箇所に飛散し、周辺環境や他の被加工物等の汚れの原因となるおそれがある。   In the processing apparatus 1, when processing the workpiece W by the processing unit 20, the processing fluid is supplied to the workpiece W from the processing fluid supply nozzle 24. For this reason, in the processed workpiece W divided into a plurality of devices D, the machining liquid containing machining waste (cutting waste) K tends to remain on the surface WS (see FIG. 2). Further, the cutting fluid containing the processing scraps K attached to the upper surface of the adhesive tape T and the annular frame F along the adhesive tape T and the annular frame F is transmitted through the adhesive tape T and the annular frame F by acceleration in the lateral direction by the processing feed. In some cases, the workpiece W is also transmitted to the back surface WR side (in this embodiment, the back surface of the adhesive tape T) and remains in the state (see FIG. 4). In this state, when the workpiece W is transported from the chuck table 10 to another position (in this embodiment, the cleaning unit 60), the machining liquid including the machining waste K is scattered to an unexpected location, There is a risk of causing dirt on other workpieces.

そのため、実施形態にかかる加工装置１は、加工後の被加工物Ｗをチャックテーブル１０上から他の位置（本実施形態では、洗浄ユニット６０）に搬送する前に、被加工物Ｗに残留した加工屑Ｋを含む加工液を洗浄水及びエアー（気体）により除去する加工液除去ユニット８０を備える。以下、加工液除去ユニット８０について、図２から図４に基づいて説明する。図２は、チャックテーブル１０と共に加工領域から搬出入領域へと移動する被加工物に加工液除去ユニットによって洗浄水及びエアーを噴射する様子を示す説明図であり、図３は、チャックテーブル１０と共に加工領域から搬出入領域へと移動する被加工物に加工液除去ユニットによってエアーを噴射する様子を示す説明図であり、図４は、搬送アームにより洗浄ユニットへと搬送される被加工物に加工液除去ユニットによってエアーを噴射する様子を示す説明図である。   Therefore, the processing apparatus 1 according to the embodiment remains on the workpiece W before the processed workpiece W is transported from the chuck table 10 to another position (in this embodiment, the cleaning unit 60). A machining fluid removal unit 80 that removes the machining fluid containing the machining waste K with cleaning water and air (gas) is provided. Hereinafter, the machining liquid removing unit 80 will be described with reference to FIGS. FIG. 2 is an explanatory view showing a state in which cleaning water and air are sprayed by the machining liquid removal unit onto the workpiece moving from the machining area to the carry-in / out area together with the chuck table 10, and FIG. FIG. 4 is an explanatory view showing a state in which air is jetted by a machining liquid removal unit to a workpiece moving from the machining area to the carry-in / out area, and FIG. 4 shows the workpiece being conveyed to the cleaning unit by the conveyance arm. It is explanatory drawing which shows a mode that air is injected by a liquid removal unit.

加工液除去ユニット８０は、図１に示すように、加工後の被加工物Ｗに向かって洗浄水（例えば、純水）Ｗａを吹き付けるウォーターカーテンノズル８１と、加工後の被加工物Ｗに向かってエアーＡを吹き付ける第１エアーカーテンノズル８２及び第２エアーカーテンノズル８３とを有する。   As shown in FIG. 1, the machining liquid removing unit 80 has a water curtain nozzle 81 that sprays cleaning water (for example, pure water) Wa toward the workpiece W after the machining, and the workpiece W after the machining. The first air curtain nozzle 82 and the second air curtain nozzle 83 that blow air A are provided.

ウォーターカーテンノズル８１は、内部に洗浄水Ｗａが流れる管状部材である。ウォーターカーテンノズル８１は、図１に示すように、加工領域４と搬出入領域５との間で装置本体２の開口部２ａを跨いでＹ軸方向に延び、長手方向の両端部で装置本体２の上面に固定される。ウォーターカーテンノズル８１は、加工領域４と搬出入領域５との間をＸ軸方向に移動するチャックテーブル１０の移動経路を跨いで延在する。ウォーターカーテンノズル８１は、図２に示すように、チャックテーブル１０よりも鉛直方向の上側に配設され、移動中のチャックテーブル１０や被加工物Ｗと干渉することはない。   The water curtain nozzle 81 is a tubular member through which the cleaning water Wa flows. As shown in FIG. 1, the water curtain nozzle 81 extends in the Y-axis direction across the opening 2a of the apparatus main body 2 between the processing area 4 and the carry-in / out area 5, and the apparatus main body 2 at both ends in the longitudinal direction. It is fixed to the top surface. The water curtain nozzle 81 extends across the movement path of the chuck table 10 that moves in the X-axis direction between the processing area 4 and the carry-in / out area 5. As shown in FIG. 2, the water curtain nozzle 81 is disposed above the chuck table 10 in the vertical direction and does not interfere with the moving chuck table 10 or the workpiece W.

ウォーターカーテンノズル８１は、洗浄水供給源（図示せず）に接続されている。ウォーターカーテンノズル８１と洗浄水供給源との間には、ウォーターカーテンノズル８１から噴射する洗浄水Ｗａの流量を調整する洗浄水流量調整バルブ（図示せず）が接続されている。また、ウォーターカーテンノズル８１は、図２に示すように、洗浄水供給源から供給される洗浄水Ｗａを被加工物Ｗに向けて噴射する洗浄水噴射口８１ａを有する。洗浄水噴射口８１ａは、ウォーターカーテンノズル８１の下面に長手方向に沿って互いに間隔を空けて複数形成される。洗浄水噴射口８１ａは、クランプ部１２を含むチャックテーブル１０を覆う範囲に設けられる。それにより、被加工物Ｗ全体及びチャックテーブル１０上に万遍なく洗浄水Ｗａを吹き付けることができる。なお、洗浄水噴射口８１ａは、少なくとも被加工物Ｗを覆う範囲に形成されればよい。また、洗浄水噴射口８１ａは、図２に示すように、ウォーターカーテンノズル８１の下面において、鉛直方向（Ｚ軸方向）に対して加工領域４側（図２における左側）にオフセットされた位置に形成される。   The water curtain nozzle 81 is connected to a cleaning water supply source (not shown). Between the water curtain nozzle 81 and the cleaning water supply source, a cleaning water flow rate adjusting valve (not shown) for adjusting the flow rate of the cleaning water Wa ejected from the water curtain nozzle 81 is connected. Further, as shown in FIG. 2, the water curtain nozzle 81 has a cleaning water injection port 81 a that injects the cleaning water Wa supplied from the cleaning water supply source toward the workpiece W. A plurality of washing water injection ports 81a are formed on the lower surface of the water curtain nozzle 81 at intervals from each other along the longitudinal direction. The cleaning water injection port 81 a is provided in a range that covers the chuck table 10 including the clamp portion 12. Accordingly, the cleaning water Wa can be sprayed evenly on the entire workpiece W and the chuck table 10. Note that the cleaning water injection port 81a may be formed in a range that covers at least the workpiece W. Further, as shown in FIG. 2, the washing water injection port 81 a is located at a position offset on the processing region 4 side (left side in FIG. 2) with respect to the vertical direction (Z-axis direction) on the lower surface of the water curtain nozzle 81. It is formed.

第１エアーカーテンノズル８２は、内部にエアーＡ（気体）が流れる管状部材である。第１エアーカーテンノズル８２は、図１に示すように、加工領域４と搬出入領域５との間で装置本体２の開口部２ａを跨いでＹ軸方向に延び、長手方向の両端部で装置本体２の上面に固定される。第１エアーカーテンノズル８２は、加工領域４と搬出入領域５との間をＸ軸方向に移動するチャックテーブル１０の移動経路を跨いで延在する。第１エアーカーテンノズル８２は、図２に示すように、チャックテーブル１０よりも鉛直方向の上側に配設され、移動中のチャックテーブル１０や被加工物Ｗと干渉することはない。また、第１エアーカーテンノズル８２は、ウォーターカーテンノズル８１よりも搬出入領域５側において、ウォーターカーテンノズル８１に隣接して設けられる。   The first air curtain nozzle 82 is a tubular member through which air A (gas) flows. As shown in FIG. 1, the first air curtain nozzle 82 extends in the Y-axis direction across the opening 2 a of the apparatus body 2 between the processing area 4 and the carry-in / out area 5, and the apparatus at both ends in the longitudinal direction. It is fixed to the upper surface of the main body 2. The first air curtain nozzle 82 extends across the movement path of the chuck table 10 that moves in the X-axis direction between the processing area 4 and the carry-in / out area 5. As shown in FIG. 2, the first air curtain nozzle 82 is disposed above the chuck table 10 in the vertical direction, and does not interfere with the moving chuck table 10 or the workpiece W. The first air curtain nozzle 82 is provided adjacent to the water curtain nozzle 81 on the carry-in / out area 5 side of the water curtain nozzle 81.

第１エアーカーテンノズル８２は、図３に示すように、エアー供給源９０に接続されている。第１エアーカーテンノズル８２とエアー供給源９０との間には、第１エアーカーテンノズル８２から噴射するエアーＡの流量を調整する第１エアー流量調整バルブ８７が接続されている。また、第１エアーカーテンノズル８２は、図２及び図３に示すように、エアー供給源９０から供給されるエアーＡを被加工物Ｗの表面ＷＳに向けて噴射するエアー噴射口８２ａを有する。エアー噴射口８２ａは、第１エアーカーテンノズル８２の下面に長手方向に沿って互いに間隔を空けて複数形成される。エアー噴射口８２ａは、クランプ部１２を含むチャックテーブル１０を覆う範囲に設けられる。それにより、被加工物Ｗの表面ＷＳ全体及びチャックテーブル１０上に万遍なくエアーＡを吹き付けることができる。なお、エアー噴射口８２ａは、少なくとも被加工物Ｗを覆う範囲に形成されればよい。また、エアー噴射口８２ａは、図２に示すように、第１エアーカーテンノズル８２の下面において、鉛直方向（Ｚ軸方向）に対して加工領域４側（図２における左側）にオフセットされた位置に形成される。   The first air curtain nozzle 82 is connected to an air supply source 90 as shown in FIG. Connected between the first air curtain nozzle 82 and the air supply source 90 is a first air flow rate adjustment valve 87 that adjusts the flow rate of air A injected from the first air curtain nozzle 82. Moreover, the 1st air curtain nozzle 82 has the air injection opening 82a which injects the air A supplied from the air supply source 90 toward the surface WS of the workpiece W, as shown in FIG.2 and FIG.3. A plurality of air injection ports 82a are formed on the lower surface of the first air curtain nozzle 82 at intervals from each other along the longitudinal direction. The air injection port 82 a is provided in a range that covers the chuck table 10 including the clamp portion 12. Thereby, the air A can be sprayed uniformly over the entire surface WS of the workpiece W and the chuck table 10. In addition, the air injection port 82a should just be formed in the range which covers the workpiece W at least. Further, as shown in FIG. 2, the air injection port 82 a is a position offset on the processing region 4 side (left side in FIG. 2) with respect to the vertical direction (Z-axis direction) on the lower surface of the first air curtain nozzle 82. Formed.

第２エアーカーテンノズル８３は、内部にエアーＡ（気体）が流れる管状部材である。第２エアーカーテンノズル８３は、図１に示すように、装置本体２の開口部２ａに隣接して設けられ、開口部２ａの搬出入領域５に対応した位置と、洗浄ユニット６０との間をＸ軸方向に延び、長手方向の両端部で装置本体２の上面に固定される。第２エアーカーテンノズル８３は、搬出入領域５に位置づけられたチャックテーブル１０と洗浄ユニット６０のスピンナテーブル６１との間を搬送アーム７１によって搬送される被加工物Ｗの移動経路を跨いで延在する。第２エアーカーテンノズル８３は、図４に示すように、搬送アーム７１により搬送される被加工物Ｗよりも鉛直方向（Ｚ軸方向）の下側に配設され、搬送中の被加工物Ｗと干渉することはない。   The second air curtain nozzle 83 is a tubular member through which air A (gas) flows. As shown in FIG. 1, the second air curtain nozzle 83 is provided adjacent to the opening 2 a of the apparatus main body 2, and a position corresponding to the carry-in / out area 5 of the opening 2 a and the cleaning unit 60. It extends in the X-axis direction and is fixed to the upper surface of the apparatus main body 2 at both ends in the longitudinal direction. The second air curtain nozzle 83 extends across the movement path of the workpiece W transported by the transport arm 71 between the chuck table 10 positioned in the carry-in / out area 5 and the spinner table 61 of the cleaning unit 60. To do. As shown in FIG. 4, the second air curtain nozzle 83 is disposed below the workpiece W transported by the transport arm 71 in the vertical direction (Z-axis direction), and the workpiece W being transported. There will be no interference.

第２エアーカーテンノズル８３は、図４に示すように、第１エアーカーテンノズル８２と同様にエアー供給源９０に接続されている。第２エアーカーテンノズル８３とエアー供給源９０との間には、第２エアーカーテンノズル８３から噴射するエアーＡの流量を調整する第２エアー流量調整バルブ８８が接続されている。また、第２エアーカーテンノズル８３は、図４に示すように、エアー供給源９０から供給されるエアーＡを被加工物Ｗの裏面ＷＲ側に向けて噴射するエアー噴射口８３ａを有する。エアー噴射口８３ａは、第２エアーカーテンノズル８３の上面に長手方向に沿って互いに間隔を空けて複数形成される。エアー噴射口８３ａは、被加工物Ｗの裏面ＷＲに貼り付けられた粘着テープＴ及び環状フレームＦを覆う範囲に形成される。それにより、被加工物Ｗの裏面ＷＲ側全体に万遍なくエアーＡを吹き付けることができる。また、エアー噴射口８３ａは、図４に示すように、第２エアーカーテンノズル８３の上面において、鉛直方向（Ｚ軸方向）に対して開口部２ａ側（図４における左側）にオフセットされた位置に形成される。   As shown in FIG. 4, the second air curtain nozzle 83 is connected to the air supply source 90 in the same manner as the first air curtain nozzle 82. Connected between the second air curtain nozzle 83 and the air supply source 90 is a second air flow rate adjustment valve 88 for adjusting the flow rate of the air A ejected from the second air curtain nozzle 83. Moreover, the 2nd air curtain nozzle 83 has the air injection port 83a which injects the air A supplied from the air supply source 90 toward the back surface WR side of the workpiece W, as shown in FIG. A plurality of air injection ports 83a are formed on the upper surface of the second air curtain nozzle 83 at intervals from each other along the longitudinal direction. The air injection port 83a is formed in a range that covers the adhesive tape T and the annular frame F attached to the back surface WR of the workpiece W. Thereby, the air A can be sprayed uniformly over the entire back surface WR side of the workpiece W. Further, as shown in FIG. 4, the air injection port 83 a is a position offset on the opening 2 a side (left side in FIG. 4) with respect to the vertical direction (Z-axis direction) on the upper surface of the second air curtain nozzle 83. Formed.

加工液除去ユニット８０のウォーターカーテンノズル８１に接続された図示しない洗浄水流量調整バルブ、第１エアー流量調整バルブ８７、及び第２エアー流量調整バルブ８８は、制御ユニット１００により制御される。制御ユニット１００は、これらのバルブを制御することで、ウォーターカーテンノズル８１から被加工物Ｗに噴射する洗浄水Ｗａの流量及び噴射タイミング、第１エアーカーテンノズル８２及び第２エアーカーテンノズル８３から被加工物Ｗに噴射するエアーＡの流量及ぶ噴射タイミングを調整する。   A cleaning water flow rate adjustment valve, a first air flow rate adjustment valve 87, and a second air flow rate adjustment valve 88 (not shown) connected to the water curtain nozzle 81 of the machining liquid removal unit 80 are controlled by the control unit 100. The control unit 100 controls these valves so that the flow rate and the injection timing of the cleaning water Wa injected from the water curtain nozzle 81 to the workpiece W, the first air curtain nozzle 82 and the second air curtain nozzle 83 are controlled. The injection timing over which the flow rate of the air A injected to the workpiece W is adjusted.

図５は、第１エアー流量調整バルブ８７及び第２エアー流量調整バルブ８８の開閉挙動を示す説明図である。図示するように、制御ユニット１００は、第１エアーカーテンノズル８２、第２エアーカーテンノズル８３から被加工物Ｗに向けてエアーＡを噴射させる間、第１エアー流量調整バルブ８７、第２エアー流量調整バルブ８８を、第１所定間隔Δｔ１に渡って開とし、第２所定間隔Δｔ２に渡って閉とする動作を繰り返す間欠噴射制御を実行する。実施形態にかかる加工装置１は、第１エアーカーテンノズル８２及び第２エアーカーテンノズル８３から被加工物Ｗに向かってエアーＡを間欠的に、すなわちパルス状に噴射する。第１所定間隔Δｔ１、第２所定間隔Δｔ２は、この間隔でエアーをパルス状に噴射することにより、エアーを連続噴射する場合に比べて、加工液の除去性能を向上させつつ、エアー消費量を全体として低減させることができる間隔（例えば数十ｍｓｅｃ等）に設定される。なお、第１所定間隔Δｔ１と第２所定間隔Δｔ２とは、同じ値に設定されてもよいし、異なる値に設定されてもよい。また、第１所定間隔Δｔ１及び第２所定間隔Δｔ２は、第１エアー流量調整バルブ８７と第２エアー流量調整バルブ８８とで異なる値に設定されてもよい。また、第１エアー流量調整バルブ８７、第２エアー流量調整バルブ８８を開とするとは、全開にする場合に限られず、所定開度とする場合も含む。   FIG. 5 is an explanatory view showing the opening / closing behavior of the first air flow rate adjusting valve 87 and the second air flow rate adjusting valve 88. As shown in the figure, the control unit 100 controls the first air flow rate adjusting valve 87 and the second air flow rate while injecting air A from the first air curtain nozzle 82 and the second air curtain nozzle 83 toward the workpiece W. Intermittent injection control is performed in which the adjustment valve 88 is opened for the first predetermined interval Δt1 and closed for the second predetermined interval Δt2. The processing apparatus 1 according to the embodiment jets air A intermittently, that is, in a pulse shape, from the first air curtain nozzle 82 and the second air curtain nozzle 83 toward the workpiece W. The first predetermined interval Δt1 and the second predetermined interval Δt2 are such that the air consumption is reduced while improving the removal performance of the processing liquid by injecting air in pulses at this interval, compared to the case of continuously injecting air. The interval (for example, several tens of msec) that can be reduced as a whole is set. The first predetermined interval Δt1 and the second predetermined interval Δt2 may be set to the same value or may be set to different values. Further, the first predetermined interval Δt1 and the second predetermined interval Δt2 may be set to different values for the first air flow rate adjustment valve 87 and the second air flow rate adjustment valve 88. Further, opening the first air flow rate adjusting valve 87 and the second air flow rate adjusting valve 88 is not limited to fully opening, but also includes a case where a predetermined opening degree is set.

次に、加工装置１において、加工液除去ユニット８０により加工後の被加工物Ｗに対して洗浄水Ｗａ及びエアーＡを噴射して、被加工物Ｗに残留した加工屑Ｋを含む加工液を除去する際の動作について説明する。   Next, in the processing apparatus 1, the cleaning liquid Wa and the air A are sprayed onto the processed workpiece W by the processing fluid removing unit 80, so that the processing fluid including the processing waste K remaining on the workpiece W is obtained. The operation at the time of removal will be described.

制御ユニット１００は、図２に白色矢印で示すように、被加工物Ｗの加工の完了後、Ｘ軸移動ユニットによりチャックテーブル１０を加工領域４から搬出入領域５側（図２における右側）へと移動させる。制御ユニット１００は、チャックテーブル１０の移動を開始させた段階で、加工液除去ユニット８０の洗浄水流量調整バルブを開として、ウォーターカーテンノズル８１から被加工物Ｗの表面ＷＳに向けて洗浄水Ｗａを噴射させる。これにより、ウォーターカーテンノズル８１の複数の洗浄水噴射口８１ａから噴射された洗浄水Ｗａが、チャックテーブル１０の移動に伴って被加工物Ｗの表面ＷＳ全体に順次吹き付けられ、表面ＷＳに残留した加工屑Ｋを含む加工液の一部が表面ＷＳから洗い流される。   2, the control unit 100 moves the chuck table 10 from the machining area 4 to the loading / unloading area 5 side (right side in FIG. 2) by the X-axis moving unit after the machining of the workpiece W is completed. And move. At the stage where the movement of the chuck table 10 is started, the control unit 100 opens the cleaning water flow rate adjustment valve of the machining liquid removal unit 80 and the cleaning water Wa from the water curtain nozzle 81 toward the surface WS of the workpiece W. To spray. Thereby, the cleaning water Wa sprayed from the plurality of cleaning water spray ports 81a of the water curtain nozzle 81 is sequentially sprayed over the entire surface WS of the workpiece W as the chuck table 10 moves, and remains on the surface WS. A part of the machining liquid including the machining waste K is washed away from the surface WS.

また、制御ユニット１００は、チャックテーブル１０の移動を開始させた段階で、第１エアー流量調整バルブ８７を第１所定間隔Δｔ１に渡って開とし、第２所定間隔Δｔ２に渡って閉とする動作を繰り返す間欠噴射制御を実行する。つまり、加工装置１は、第１エアーカーテンノズル８２から被加工物Ｗに向かってエアーＡを間欠的に、すなわちパルス状に噴射する。これにより、第１エアーカーテンノズル８２の複数のエアー噴射口８２ａから噴射されたエアーＡが、チャックテーブル１０の移動に伴って被加工物Ｗの表面ＷＳ全体に順次吹き付けられる。その結果、ウォーターカーテンノズル８１からの洗浄水Ｗａのみでは除去しきれなかった加工屑Ｋを含む加工液や、被加工物Ｗに残留した洗浄水Ｗａが被加工物Ｗの表面ＷＳから除去される。   The control unit 100 opens the first air flow rate adjustment valve 87 over the first predetermined interval Δt1 and closes it over the second predetermined interval Δt2 when the movement of the chuck table 10 is started. The intermittent injection control is repeated. That is, the processing apparatus 1 ejects air A intermittently, that is, in a pulse shape from the first air curtain nozzle 82 toward the workpiece W. As a result, the air A ejected from the plurality of air ejection ports 82 a of the first air curtain nozzle 82 is sequentially blown over the entire surface WS of the workpiece W as the chuck table 10 moves. As a result, the processing liquid containing the processing waste K that cannot be removed only by the cleaning water Wa from the water curtain nozzle 81 and the cleaning water Wa remaining on the workpiece W are removed from the surface WS of the workpiece W. .

制御ユニット１００は、チャックテーブル１０がウォーターカーテンノズル８１よりも搬出入領域５側まで移動した段階で、洗浄水流量調整バルブを閉として、ウォーターカーテンノズル８１からの洗浄水Ｗａの噴射を停止させる。また、制御ユニット１００は、チャックテーブル１０が第１エアーカーテンノズル８２よりも搬出入領域５側まで移動した段階で、第１エアー流量調整バルブ８７の間欠噴射制御を終了し、第１エアーカーテンノズル８２からのエアーＡの噴射を停止させる。   The control unit 100 closes the cleaning water flow rate adjustment valve and stops the injection of the cleaning water Wa from the water curtain nozzle 81 when the chuck table 10 moves to the carry-in / out area 5 side of the water curtain nozzle 81. Further, the control unit 100 ends the intermittent injection control of the first air flow rate adjustment valve 87 at the stage where the chuck table 10 has moved to the carry-in / out region 5 side from the first air curtain nozzle 82, and the first air curtain nozzle The injection of air A from 82 is stopped.

ウォーターカーテンノズル８１からの洗浄水Ｗａ及び第１エアーカーテンノズル８２からのエアーＡによって被加工物Ｗから除去された加工屑Ｋを含む加工液は、チャックテーブル１０の保持面１１やカバー部材６を介して蛇腹部材７へと伝わる。そして、加工屑Ｋを含む加工液は、蛇腹部材７のＹ軸方向の両端部から開口部２ａの鉛直方向下側に流下し、装置本体２の内部に設けられた加工液の排出経路へと案内されて、排出経路を介して装置本体２の外部へと排出される。   The processing liquid including the cleaning water Wa from the water curtain nozzle 81 and the processing waste K removed from the workpiece W by the air A from the first air curtain nozzle 82 is applied to the holding surface 11 of the chuck table 10 and the cover member 6. To the bellows member 7. Then, the machining liquid containing the machining waste K flows down from the both ends of the bellows member 7 in the Y-axis direction to the lower side in the vertical direction of the opening 2a and goes to the machining liquid discharge path provided inside the apparatus main body 2. It is guided and discharged to the outside of the apparatus main body 2 through the discharge path.

チャックテーブル１０が搬出入領域５まで移動すると、制御ユニット１００は、図４に白色矢印で示すように、搬送アーム７１によりチャックテーブル１０上の被加工物Ｗを吸着保持させ、洗浄ユニット６０へと移動させる。制御ユニット１００は、被加工物Ｗを保持した搬送アーム７１の洗浄ユニット６０に向けての移動を開始させた段階で、第２エアー流量調整バルブ８８を第１所定間隔Δｔ１に渡って開とし、第２所定間隔Δｔ２に渡って閉とする動作を繰り返す間欠噴射制御を実行する。つまり、加工装置１は、第２エアーカーテンノズル８３から被加工物Ｗに向かってエアーＡを間欠的に、すなわちパルス状に噴射する。   When the chuck table 10 moves to the carry-in / out area 5, the control unit 100 sucks and holds the workpiece W on the chuck table 10 by the transfer arm 71 as shown by the white arrow in FIG. Move. The control unit 100 opens the second air flow rate adjustment valve 88 over the first predetermined interval Δt1 at the stage where the movement of the transfer arm 71 holding the workpiece W toward the cleaning unit 60 is started, The intermittent injection control that repeats the closing operation over the second predetermined interval Δt2 is executed. That is, the processing apparatus 1 ejects air A intermittently, that is, in a pulse shape from the second air curtain nozzle 83 toward the workpiece W.

これにより、第２エアーカーテンノズル８３の複数のエアー噴射口８３ａから噴射されたエアーＡが、チャックテーブル１０の移動に伴って被加工物Ｗの裏面ＷＲ側の粘着テープＴ全体に順次吹き付けられる。その結果、被加工物Ｗの表面ＷＳのみならず、裏面ＷＲ側に残留した加工屑Ｋを含む加工液が被加工物Ｗから除去される。上述したように、第２エアーカーテンノズル８３は、装置本体２の開口部２ａに隣接して設けられる。また、複数のエアー噴射口８３ａは、鉛直方向（Ｚ軸方向）に対して開口部２ａ側にオフセットされた位置に形成される。これにより、第２エアーカーテンノズル８３からのエアーＡによって被加工物Ｗの裏面ＷＲ側から除去された加工屑Ｋを含む加工液は、開口部２ａに配置されたカバー部材６や蛇腹部材７へと流下し、蛇腹部材７から装置本体２の内部に設けられた加工液の排出経路へと案内されて、装置本体２の外部へと排出される。   As a result, the air A ejected from the plurality of air ejection ports 83 a of the second air curtain nozzle 83 is sequentially sprayed over the entire adhesive tape T on the back surface WR side of the workpiece W as the chuck table 10 moves. As a result, not only the surface WS of the workpiece W but also the machining fluid including the machining waste K remaining on the back surface WR side is removed from the workpiece W. As described above, the second air curtain nozzle 83 is provided adjacent to the opening 2 a of the apparatus main body 2. The plurality of air injection ports 83a are formed at positions offset toward the opening 2a with respect to the vertical direction (Z-axis direction). Thereby, the processing liquid containing the processing waste K removed from the back surface WR side of the workpiece W by the air A from the second air curtain nozzle 83 is directed to the cover member 6 and the bellows member 7 disposed in the opening 2a. Then, it is guided from the bellows member 7 to the machining fluid discharge path provided inside the apparatus main body 2 and discharged to the outside of the apparatus main body 2.

制御ユニット１００は、被加工物Ｗが第２エアーカーテンノズル８３よりも洗浄ユニット６０側まで移動した段階で、第２エアー流量調整バルブ８８の間欠噴射制御を終了し、第２エアーカーテンノズル８３からのエアーＡの噴射を停止させる。   The control unit 100 terminates the intermittent injection control of the second air flow rate adjustment valve 88 when the workpiece W moves to the cleaning unit 60 side from the second air curtain nozzle 83, and the second air curtain nozzle 83 The air A injection is stopped.

このように、本実施形態の加工装置１では、チャックテーブル１０から被加工物Ｗを他の位置（本実施形態では、洗浄ユニット６０）に搬送する前に、ウォーターカーテンノズル８１からの洗浄水Ｗａ、第１エアーカーテンノズル８２及び第２エアーカーテンノズル８３からのエアーＡによって、被加工物Ｗに残留した加工屑Ｋを含む加工液を適切な排出経路へと除去する。その結果、加工屑Ｋを含む加工液が被加工物Ｗの搬送中に予期せぬ箇所に飛散してしまうことを抑制することができる。   As described above, in the processing apparatus 1 according to the present embodiment, the cleaning water Wa from the water curtain nozzle 81 is transferred before the workpiece W is transferred from the chuck table 10 to another position (in the present embodiment, the cleaning unit 60). Then, the processing liquid containing the processing waste K remaining on the workpiece W is removed to an appropriate discharge path by the air A from the first air curtain nozzle 82 and the second air curtain nozzle 83. As a result, it is possible to prevent the machining fluid containing the machining waste K from being scattered at unexpected locations during the conveyance of the workpiece W.

以上説明したように、実施形態にかかる加工装置１は、第１エアーカーテンノズル８２、第２エアーカーテンノズル８３から被加工物Ｗに向かってエアーＡを間欠的に、すなわちパルス状に噴射する。これにより、第１エアーカーテンノズル８２、第２エアーカーテンノズル８３から被加工物Ｗに向けて継続的にエアーＡを噴射する場合に対して、エアーＡを吹き付けることによる加工屑Ｋを含む加工液の除去性能を向上させつつ、エアー消費量を全体として低減することができる。したがって、実施形態にかかる加工装置１は、エアーＡ噴射による被加工物Ｗに対する加工屑Ｋを含む加工液の除去性能の向上と、エアー消費量の低減との両立を図ることができる。   As described above, the processing apparatus 1 according to the embodiment ejects air A intermittently, that is, in a pulse shape, from the first air curtain nozzle 82 and the second air curtain nozzle 83 toward the workpiece W. Thereby, the processing liquid containing the processing waste K by blowing the air A in contrast to the case where the air A is continuously sprayed from the first air curtain nozzle 82 and the second air curtain nozzle 83 toward the workpiece W. The air consumption can be reduced as a whole while improving the removal performance. Therefore, the processing apparatus 1 according to the embodiment can achieve both an improvement in the removal performance of the machining fluid containing the machining waste K from the workpiece W by air A injection and a reduction in air consumption.

また、第１エアーカーテンノズル８２は、チャックテーブル１０が移動する移動経路を跨いで延在し、移動するチャックテーブル１０に保持された被加工物ＷにエアーＡを噴射する。これにより、チャックテーブル１０の移動に伴って、第１エアーカーテンノズル８２からのエアーＡを被加工物Ｗの表面ＷＳ全体に順次吹き付けることができるため、被加工物Ｗから加工屑Ｋを含む加工液を良好に除去することが可能となる。   Further, the first air curtain nozzle 82 extends over the moving path along which the chuck table 10 moves, and injects air A onto the workpiece W held on the moving chuck table 10. Thereby, as the chuck table 10 moves, the air A from the first air curtain nozzle 82 can be sequentially blown over the entire surface WS of the workpiece W. Therefore, the processing including the processing waste K from the workpiece W. The liquid can be removed satisfactorily.

また、洗浄水噴射口及びエアー噴射口８２ａは、図２に示すように、鉛直方向（Ｚ軸方向）に対して加工領域４側にオフセットされた位置に形成される。それにより、図２の白色矢印に示すように加工領域４から搬出入領域５側へと移動するチャックテーブル１０の移動方向に対向する向きで、洗浄水Ｗａ及びエアーＡを被加工物Ｗに吹き付けることができる。この結果、被加工物Ｗの表面ＷＳから加工屑Ｋを含む加工液を良好に除去することが可能となる。   Further, as shown in FIG. 2, the cleaning water injection port and the air injection port 82a are formed at positions offset toward the processing region 4 with respect to the vertical direction (Z-axis direction). As a result, the cleaning water Wa and air A are sprayed onto the workpiece W in a direction opposite to the moving direction of the chuck table 10 moving from the processing area 4 toward the loading / unloading area 5 as shown by the white arrows in FIG. be able to. As a result, it is possible to satisfactorily remove the machining liquid including the machining waste K from the surface WS of the workpiece W.

同様に、エアー噴射口８３ａは、図４に示すように、鉛直方向（Ｚ軸方向）に対して開口部２ａ側にオフセットされた位置に形成される。それにより、図４の白色矢印に示すように開口部２ａ側から洗浄ユニット６０側へと移動する被加工物Ｗの移動方向に対向する向きで、エアーＡを被加工物Ｗに吹き付けることができる。この結果、被加工物Ｗの裏面ＷＲ側から加工屑Ｋを含む加工液を良好に除去することが可能となる。また、被加工物Ｗの裏面ＷＲ側から除去された加工屑Ｋを含む加工液がエアー噴射口８３ａを介して第２エアーカーテンノズル８３内へと侵入することを抑制することができる。   Similarly, as shown in FIG. 4, the air injection port 83a is formed at a position offset toward the opening 2a with respect to the vertical direction (Z-axis direction). Thereby, air A can be sprayed on the workpiece W in a direction opposite to the moving direction of the workpiece W moving from the opening 2a side to the cleaning unit 60 side as indicated by the white arrow in FIG. . As a result, it is possible to satisfactorily remove the machining liquid including the machining waste K from the back surface WR side of the workpiece W. In addition, it is possible to prevent the machining liquid containing the machining waste K removed from the back surface WR side of the workpiece W from entering the second air curtain nozzle 83 through the air injection port 83a.

なお、ウォーターカーテンノズル８１及び第２エアーカーテンノズル８３は、加工液除去ユニット８０から省略してもよい。また、第１エアーカーテンノズル８２は、ウォーターカーテンノズル８１よりも搬出入領域５側に設けられれば、ウォーターカーテンノズル８１に隣接するものでなくてもよい。   The water curtain nozzle 81 and the second air curtain nozzle 83 may be omitted from the machining liquid removal unit 80. Further, the first air curtain nozzle 82 may not be adjacent to the water curtain nozzle 81 as long as it is provided closer to the carry-in / out area 5 than the water curtain nozzle 81.

ウォーターカーテンノズル８１から噴射する液体は、被加工物Ｗから加工屑Ｋを含む加工液を除去可能でさえあれば、洗浄水（例えば、純水）に限られない。また、第１エアーカーテンノズル８２、第２エアーカーテンノズル８３から噴射する気体は、被加工物Ｗから加工屑Ｋを含む加工液を除去可能でさえあれば、エアーに限られない。   The liquid sprayed from the water curtain nozzle 81 is not limited to cleaning water (for example, pure water) as long as the processing liquid including the processing waste K can be removed from the workpiece W. Further, the gas injected from the first air curtain nozzle 82 and the second air curtain nozzle 83 is not limited to air as long as the machining liquid including the machining waste K can be removed from the workpiece W.

本実施形態では、被加工物Ｗは、粘着テープＴを介して環状フレームＦに貼着されるものとしたが、粘着テープＴ及び環状フレームＦを用いることなく、裏面ＷＲ側に基板等の他の支持部材を貼着したり、被加工物Ｗのみでチャックテーブル１０で支持されて、加工装置１で加工を施すものでもよい。   In the present embodiment, the workpiece W is attached to the annular frame F via the adhesive tape T. However, without using the adhesive tape T and the annular frame F, the substrate W or the like on the back surface WR side. The supporting member may be attached, or may be supported by the chuck table 10 only by the workpiece W and processed by the processing apparatus 1.

また、本実施形態では、加工装置１として、被加工物Ｗに切削加工を施す切削装置を対象に本発明を適用するものしたが、本発明は、被加工物Ｗに研削加工を施す研削装置等に適用してもよい。   In the present embodiment, the present invention is applied to a cutting apparatus that performs a cutting process on the workpiece W as the processing apparatus 1, but the present invention is a grinding apparatus that performs a grinding process on the workpiece W. You may apply to.

１ 加工装置
２ 装置本体
２ａ 開口部
３ 柱部
４ 加工領域
５ 搬出入領域
６ カバー部材
７ 蛇腹部材
１０ チャックテーブル
１１ 保持面
１２ クランプ部
２０ 加工ユニット
２１ 切削ブレード
２２ スピンドル
２３ スピンドルハウジング
２４ 加工液供給ノズル
３０ カセット
４０ Ｙ軸移動ユニット
５０ Ｚ軸移動ユニット
６０ 洗浄ユニット
６１ スピンナテーブル
７０ 搬送ユニット
７１ 搬送アーム
７２ パッド
８０ 加工液除去ユニット
８１ ウォーターカーテンノズル
８１ａ 洗浄水噴射口
８２ 第１エアーカーテンノズル
８２ａ，８３ａ エアー噴射口
８３ 第２エアーカーテンノズル
８７ 第１エアー流量調整バルブ
８８ 第２エアー流量調整バルブ
９０ エアー供給源
１００ 制御ユニット
Ｄ デバイス
Ｆ 環状フレーム
Ｋ 加工屑
Ｔ 粘着テープ
Ｗ 被加工物
ＷＲ 裏面
ＷＳ 表面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Processing apparatus 2 Apparatus main body 2a Opening part 3 Pillar part 4 Processing area 5 Carrying in / out area 6 Cover member 7 Bellows member 10 Chuck table 11 Holding surface 12 Clamp part 20 Processing unit 21 Cutting blade 22 Spindle 23 Spindle housing 24 Processing liquid supply nozzle 30 Cassette 40 Y-axis moving unit 50 Z-axis moving unit 60 Cleaning unit 61 Spinner table 70 Transfer unit 71 Transfer arm 72 Pad 80 Processing liquid removal unit 81 Water curtain nozzle 81a Cleaning water injection port 82 First air curtain nozzle 82a, 83a Air Injection port 83 Second air curtain nozzle 87 First air flow rate adjustment valve 88 Second air flow rate adjustment valve 90 Air supply source 100 Control unit D Device F Annular frame K Processing waste T Wearing tape W workpiece WR rear surface WS surface

Claims (2)

被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物に加工液を供給しつつ加工する加工ユニットと、加工後の該被加工物に気体を吹き付け、該加工液を該被加工物から除去するエアーカーテンノズルと、を備える加工装置であって、
該エアーカーテンノズルは、該気体を該被加工物に向かって間欠的に噴射することを特徴とする加工装置。 A chuck table for holding a workpiece, a machining unit for machining while supplying a machining fluid to the workpiece held by the chuck table, and a gas is blown onto the workpiece after machining, An air curtain nozzle for removing the workpiece from the workpiece,
The processing apparatus, wherein the air curtain nozzle intermittently injects the gas toward the workpiece. 該エアーカーテンノズルは、該チャックテーブルが移動する移動経路を跨いで延在し、移動する該チャックテーブルに保持された該被加工物に該気体を噴射することを特徴とする請求項１記載の加工装置。   The air curtain nozzle extends across a moving path along which the chuck table moves, and jets the gas onto the workpiece held by the moving chuck table. Processing equipment.
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