JP2018112476A - 微小変位測定装置および微小変位測定方法 - Google Patents
微小変位測定装置および微小変位測定方法 Download PDFInfo
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Abstract
【課題】ラインセンサカメラの画像分解能よりも微小な変位を検出することが可能な微小変位測定装置および微小変位測定方法を提供する。【解決手段】斜線部1bを有する斜線ターゲット1と、斜線ターゲット1を撮影するラインセンサカメラ2と、ラインセンサカメラ2によって取得した画像信号から撮影画像を作成する画像作成部,パラメータを設定する処理パラメータ設定部,撮影画像上の斜線部1bの位置を検出する斜線位置検出部,並びに基準の斜線位置および現在の斜線位置に基づいて斜線部1bの所望の方向の移動量を求める微小変位計算部を含んでラインセンサカメラ2によって取得した画像信号に基づいて被測定対象物の所望の方向の微小変位を求める画像処理装置3とを備える構成とした。【選択図】図1
Description
本発明は、微小変位測定装置および微小変位測定方法に関し、とくにラインセンサカメラで撮影された画像を処理することにより被測定対象物の微小変位を高精度に測定する微小変位測定装置および微小変位測定方法に関する。
ビルや橋梁などが建設されている地盤は、時間が経つにつれて地盤沈下などを起こす可能性がある。地盤沈下が徐々に進行している場合、この地盤沈下による地盤の変位は微小でありこれを検出することは難しい。従来、人手による測量などにより地盤沈下の監視を行っているが、このような方法は、地盤変位の変化量を常時監視するのには非効率的であった。
一方、被測定対象物に目印となるマーカーなどを設置し、ラインセンサカメラを用いてこれを撮像し、撮像した画像を処理してマーカーの変化量を検出する方法が公知となっている。そこで、地盤変位の変化量を常時監視する方法として、例えば下記特許文献1に開示されているように、被測定対象物に白黒のマーカーを取り付け、このマーカーを撮像した画像に基づいてパターンマッチングを行い、マーカーの画像上の位置を検出し、その位置を実際の高さに換算することで地盤の変位を測定することが考えられる。
しかしながら、上述したように地盤沈下等を測定する場合、地盤の微小な変位を検出することが重要であるのに対し、特許文献1に記載された技術では画像分解能よりも微小な変位を検出することができないという問題があった。とくに、ビルや橋梁などの影響で生じる地盤沈下などを監視する場合、ラインセンサカメラは地盤沈下などの影響を受けない位置に設置する必要がありマーカーの近傍に設置することができないため、被測定対象物とは離れた位置に設置してそこから撮像を行わざるを得ず、ラインセンサカメラによって取得した画像に基づいて地盤沈下等による微小な変位を測定することは難しかった。
このようなことから本発明は、ラインセンサカメラの画像分解能よりも微小な変位を検出することが可能な微小変位測定装置および微小変位測定方法を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するための第1の発明に係る微小変位測定装置は、
平面状の基面に帯状の斜線部が設けられた斜線ターゲットと、
走査線方向が所望の方向に直交するように設置されて前記斜線ターゲットを撮影するラインセンサカメラと、
前記ラインセンサカメラによって取得した画像信号に基づいて被測定対象物の前記所望の方向の変位を求める画像処理装置と
を備え、
前記斜線ターゲットは、前記斜線部と前記ラインセンサカメラの走査線方向とのなす角が0°より大きく45°より小さく且つ前記基面が前記所望の方向および前記走査線方向に平行に被測定対象物に設置され、
前記画像処理装置は、予め設定された基準方向に対する前記斜線部の角度および前記ラインセンサカメラの画像分解能を設定する処理パラメータ設定部と、前記ラインセンサカメラによって取得した画像信号に基づいて撮影画像を作成する画像作成部と、前記撮影画像に基づいて撮影画像上の前記斜線部の位置を検出する斜線位置検出部と、前記斜線部の角度,前記画像分解能,ならびに前記斜線位置検出部によって検出した測定当初の前記斜線部の位置および現在の前記斜線部の位置に基づいて前記斜線部の前記所望の方向の移動量を前記被測定対象物の変位として求める微小変位計算部とを含む
ことを特徴とする。
平面状の基面に帯状の斜線部が設けられた斜線ターゲットと、
走査線方向が所望の方向に直交するように設置されて前記斜線ターゲットを撮影するラインセンサカメラと、
前記ラインセンサカメラによって取得した画像信号に基づいて被測定対象物の前記所望の方向の変位を求める画像処理装置と
を備え、
前記斜線ターゲットは、前記斜線部と前記ラインセンサカメラの走査線方向とのなす角が0°より大きく45°より小さく且つ前記基面が前記所望の方向および前記走査線方向に平行に被測定対象物に設置され、
前記画像処理装置は、予め設定された基準方向に対する前記斜線部の角度および前記ラインセンサカメラの画像分解能を設定する処理パラメータ設定部と、前記ラインセンサカメラによって取得した画像信号に基づいて撮影画像を作成する画像作成部と、前記撮影画像に基づいて撮影画像上の前記斜線部の位置を検出する斜線位置検出部と、前記斜線部の角度,前記画像分解能,ならびに前記斜線位置検出部によって検出した測定当初の前記斜線部の位置および現在の前記斜線部の位置に基づいて前記斜線部の前記所望の方向の移動量を前記被測定対象物の変位として求める微小変位計算部とを含む
ことを特徴とする。
上記の課題を解決するための第2の発明に係る微小変位測定装置は、
前記斜線位置検出部が、サブピクセル推定を用いて前記斜線部の位置を求める
ことを特徴とする。
前記斜線位置検出部が、サブピクセル推定を用いて前記斜線部の位置を求める
ことを特徴とする。
上記の課題を解決するための第3の発明に係る微小変位測定装置は、
前記画像処理装置が、前記斜線ターゲットの回転角度を求める回転角度計算部をさらに含み、
前記処理パラメータ設定部が、前記基準方向に沿った前記斜線部の実際の幅をさらに設定し、
前記斜線位置検出部が、前記斜線部の位置に加えて前記走査線方向に沿った前記斜線部の撮影画像上の幅を検出し、
前記回転角度計算部が、前記斜線部の角度,前記画像分解能,前記基準方向に沿った前記斜線部の実際の幅,および走査線方向に沿った前記斜線部の撮影画像上の幅に基づいて前記斜線ターゲットの回転角度を算出し、
前記微小変位計算部が、前記斜線部の角度,前記画像分解能,ならびに前記斜線位置検出部によって検出した測定当初の前記斜線部の位置および現在の前記斜線部の位置に加えて前記斜線ターゲットの回転角度を用いて前記斜線部の所望の方向の移動量を前記被測定対象物の変位として求める
ことを特徴とする。
前記画像処理装置が、前記斜線ターゲットの回転角度を求める回転角度計算部をさらに含み、
前記処理パラメータ設定部が、前記基準方向に沿った前記斜線部の実際の幅をさらに設定し、
前記斜線位置検出部が、前記斜線部の位置に加えて前記走査線方向に沿った前記斜線部の撮影画像上の幅を検出し、
前記回転角度計算部が、前記斜線部の角度,前記画像分解能,前記基準方向に沿った前記斜線部の実際の幅,および走査線方向に沿った前記斜線部の撮影画像上の幅に基づいて前記斜線ターゲットの回転角度を算出し、
前記微小変位計算部が、前記斜線部の角度,前記画像分解能,ならびに前記斜線位置検出部によって検出した測定当初の前記斜線部の位置および現在の前記斜線部の位置に加えて前記斜線ターゲットの回転角度を用いて前記斜線部の所望の方向の移動量を前記被測定対象物の変位として求める
ことを特徴とする。
上記の課題を解決するための第4の発明に係る微小変位測定装置は、
前記画像処理装置が、前記撮影画像,ならびに前記斜線位置検出部によって検出した測定当初の前記斜線部の位置および現在の前記斜線部の位置に基づいて、前記撮影画像上に前記斜線位置検出部によって測定当初に検出した前記斜線部の位置および前記斜線位置検出部によって検出した現在の前記斜線部の位置を表示する斜線位置表示部をさらに含む
ことを特徴とする。
前記画像処理装置が、前記撮影画像,ならびに前記斜線位置検出部によって検出した測定当初の前記斜線部の位置および現在の前記斜線部の位置に基づいて、前記撮影画像上に前記斜線位置検出部によって測定当初に検出した前記斜線部の位置および前記斜線位置検出部によって検出した現在の前記斜線部の位置を表示する斜線位置表示部をさらに含む
ことを特徴とする。
上記の課題を解決するための第5の発明に係る微小変位測定方法は、
走査線方向が所望の方向に直交するように設置されるとともに平面状の基面に帯状の斜線部が設けられた斜線ターゲット撮影するラインセンサカメラによって取得した画像信号に基づいて被測定対象物の前記所望の方向の変位を求める微小変位測定方法であって、
前記斜線ターゲットを、前記斜線部と前記ラインセンサカメラの走査線方向とのなす角が0°より大きく45°より小さく且つ前記基面が前記所望の方向および前記走査線方向に平行になるように被測定対象物に設置し、
基準方向に対する前記斜線部の角度および前記ラインセンサカメラの画像分解能を設定するパラメータ設定工程と、
前記ラインセンサカメラにより前記斜線ターゲットを撮影する画像撮影工程と、
前記ラインセンサカメラによって取得した画像信号に基づいて撮影画像を作成する画像作成工程と、
前記撮影画像に基づいて前記斜線部の位置を検出する斜線位置検出工程と、
前記斜線部の角度,前記画像分解能,ならびに前記斜線位置検出部によって検出した測定当初の前記斜線部の位置および現在の前記斜線部の位置に基づいて前記斜線部の前記所望の方向の移動量を前記被測定対象物の変位として求める微小変位計算工程と
を含む
ことを特徴とする。
走査線方向が所望の方向に直交するように設置されるとともに平面状の基面に帯状の斜線部が設けられた斜線ターゲット撮影するラインセンサカメラによって取得した画像信号に基づいて被測定対象物の前記所望の方向の変位を求める微小変位測定方法であって、
前記斜線ターゲットを、前記斜線部と前記ラインセンサカメラの走査線方向とのなす角が0°より大きく45°より小さく且つ前記基面が前記所望の方向および前記走査線方向に平行になるように被測定対象物に設置し、
基準方向に対する前記斜線部の角度および前記ラインセンサカメラの画像分解能を設定するパラメータ設定工程と、
前記ラインセンサカメラにより前記斜線ターゲットを撮影する画像撮影工程と、
前記ラインセンサカメラによって取得した画像信号に基づいて撮影画像を作成する画像作成工程と、
前記撮影画像に基づいて前記斜線部の位置を検出する斜線位置検出工程と、
前記斜線部の角度,前記画像分解能,ならびに前記斜線位置検出部によって検出した測定当初の前記斜線部の位置および現在の前記斜線部の位置に基づいて前記斜線部の前記所望の方向の移動量を前記被測定対象物の変位として求める微小変位計算工程と
を含む
ことを特徴とする。
上記の課題を解決するための第6の発明に係る微小変位測定方法は、
前記斜線位置検出工程で、サブピクセル推定を用いて前記斜線部の位置を検出する
ことを特徴とする。
前記斜線位置検出工程で、サブピクセル推定を用いて前記斜線部の位置を検出する
ことを特徴とする。
上記の課題を解決するための第7の発明に係る微小変位測定方法は、
前記斜線位置検出工程と前記微小変位計算工程との間に、前記斜線ターゲットの回転角度を求める回転角度計算工程をさらに含み、
前記パラメータ設定工程で、予め設定された基準方向に沿った前記斜線部の実際の幅をさらに設定し、
前記斜線位置検出工程で、前記斜線部の位置に加えて前記走査線方向に沿った前記斜線部の撮影画像上の幅を検出し、
前記回転角度計算工程で、前記斜線部の角度,前記画像分解能,前記基準方向に沿った前記斜線部の実際の幅,および走査線方向に沿った前記斜線部の撮影画像上の幅に基づいて前記斜線ターゲットの回転角度を算出し、
前記微小変位計算工程で、前記斜線部の角度,前記画像分解能,ならびに前記斜線位置検出部によって検出した測定当初の前記斜線部の位置および現在の前記斜線部の位置に加えて前記斜線ターゲットの回転角度を用いて前記斜線部の所望の方向の移動量を前記被測定対象物の変位として求める
ことを特徴とする。
前記斜線位置検出工程と前記微小変位計算工程との間に、前記斜線ターゲットの回転角度を求める回転角度計算工程をさらに含み、
前記パラメータ設定工程で、予め設定された基準方向に沿った前記斜線部の実際の幅をさらに設定し、
前記斜線位置検出工程で、前記斜線部の位置に加えて前記走査線方向に沿った前記斜線部の撮影画像上の幅を検出し、
前記回転角度計算工程で、前記斜線部の角度,前記画像分解能,前記基準方向に沿った前記斜線部の実際の幅,および走査線方向に沿った前記斜線部の撮影画像上の幅に基づいて前記斜線ターゲットの回転角度を算出し、
前記微小変位計算工程で、前記斜線部の角度,前記画像分解能,ならびに前記斜線位置検出部によって検出した測定当初の前記斜線部の位置および現在の前記斜線部の位置に加えて前記斜線ターゲットの回転角度を用いて前記斜線部の所望の方向の移動量を前記被測定対象物の変位として求める
ことを特徴とする。
上記の課題を解決するための第8の発明に係る微小変位測定方法は、
前記微小変位計算工程の直前に、前記撮影画像,ならびに前記斜線位置検出部によって検出した測定当初の前記斜線部の位置および現在の前記斜線部の位置に基づいて、前記撮影画像上に前記斜線位置検出部によって測定当初に検出した前記斜線部の位置および前記斜線位置検出部によって検出した現在の前記斜線部の位置を表示する斜線位置表示工程をさらに含む
ことを特徴とする。
前記微小変位計算工程の直前に、前記撮影画像,ならびに前記斜線位置検出部によって検出した測定当初の前記斜線部の位置および現在の前記斜線部の位置に基づいて、前記撮影画像上に前記斜線位置検出部によって測定当初に検出した前記斜線部の位置および前記斜線位置検出部によって検出した現在の前記斜線部の位置を表示する斜線位置表示工程をさらに含む
ことを特徴とする。
本発明に係る微小変位測定装置および微小変位測定方法によれば、ラインセンサカメラの画像分解能よりも微小な変位を検出することが可能になる。
以下、図面を用いて本発明に係る微小変位測定装置および微小変位測定方法について説明する。
本発明に係る微小変位測定装置および微小変位測定方法は、斜線が描かれている斜線ターゲットを被測定対象物に設置し、この斜線ターゲットをラインセンサカメラで撮影し、取得した画像を画像処理して斜線ターゲットの位置を検出することで、画像分解能よりも微小な変位を測定することができるようにするものである。
本発明に係る微小変位測定装置および微小変位測定方法は、斜線が描かれている斜線ターゲットを被測定対象物に設置し、この斜線ターゲットをラインセンサカメラで撮影し、取得した画像を画像処理して斜線ターゲットの位置を検出することで、画像分解能よりも微小な変位を測定することができるようにするものである。
(基本的な構成)
図1から図5を用いて本発明の実施例1に係る微小変位測定装置および微小変位測定方法について説明する。
図1から図5を用いて本発明の実施例1に係る微小変位測定装置および微小変位測定方法について説明する。
図1に示すように、本実施例に係る微小変位測定装置は、斜線ターゲット1と、ラインセンサカメラ2と、画像処理装置3とを備えて構成されている。
斜線ターゲット1は、平面状の基面1aに帯状のライン(以下、斜線部)1bを設けたものである。本実施例において基面1aは矩形状に形成されている。また、斜線部1bは、基準方向(図1に示す一点鎖線方向)に対する傾き(以下、斜線部の角度と称する)がθ[°]、また、基準方向に沿う幅がL[mm]となっており、これらθおよびLは既知とする。また、0°<θ<45°とする。
この斜線ターゲット1は、その基面1aが鉛直方向に沿うように、かつ、その基準方向が水平方向に沿うように図示しない被測定対象物に設置される。
この斜線ターゲット1は、その基面1aが鉛直方向に沿うように、かつ、その基準方向が水平方向に沿うように図示しない被測定対象物に設置される。
ラインセンサカメラ2は、1ラインの撮影を行う機器であって、その走査線方向(本実施例では、図1に示す一点鎖線方向。以下、単に走査線方向と称する)が水平方向に沿うように、被測定対象物とは所望の距離離間した位置(ラインセンサカメラ2自体が地盤沈下の影響を受けないような被測定対象物から十分に離間した位置)に設置され、斜線ターゲット1を撮影する。
画像処理装置3は、画像処理部3Aと、モニタ3Bとを備えている。
画像処理部3Aは、ラインセンサカメラ2によって取得した画像信号に基づいて斜線ターゲット1を利用して被測定対象物の所望の方向(本実施例では、鉛直方向)の微小変位を求めるものであって、図2に示すように、画像作成部3aと、処理パラメータ設定部3bと、斜線位置検出部3cと、斜線位置表示部3dと、微小変位計算部3eと、メモリ3f,3gとを備えている。
モニタ3Bは、後で詳述する画像処理部3Aで作成した撮影画像Iおよび斜線位置P0,PNを表示する。
画像処理部3Aは、ラインセンサカメラ2によって取得した画像信号に基づいて斜線ターゲット1を利用して被測定対象物の所望の方向(本実施例では、鉛直方向)の微小変位を求めるものであって、図2に示すように、画像作成部3aと、処理パラメータ設定部3bと、斜線位置検出部3cと、斜線位置表示部3dと、微小変位計算部3eと、メモリ3f,3gとを備えている。
モニタ3Bは、後で詳述する画像処理部3Aで作成した撮影画像Iおよび斜線位置P0,PNを表示する。
画像作成部3aは、ラインセンサカメラ2から入力される画像信号を時系列的に並べて撮影画像I(図3(b)および図4(b)参照)を作成する。この画像作成部3aにより作成された撮影画像Iはメモリ3fに保管される。
処理処理パラメータ設定部3bは、画像作成部3aにより作成した撮影画像Iから斜線ターゲット1の鉛直方向の移動量x[mm]を計算するために必要なパラメータである画像分解能n[mm/pix]および斜線部の角度θ[°]を設定する。なお、画像分解能n[mm/pix]に関しては、例えば、特開2010−169505号公報に開示されているような白黒のキャリブレーションターゲットを用いて計算したり、ラインセンサカメラ2の素子の長さ(数)や焦点距離、斜線ターゲット1までの距離などから計算したりするなど、既知の手法により取得すればよい。この処理パラメータ設定部3bにより設定されたパラメータはメモリ3gに保管される。
斜線位置検出部3cは、画像作成部3aにより作成された撮影画像Iを画像処理してこの撮影画像I上の斜線部1bの位置(以下、現在の斜線位置と称する)PN[pix]を検出する。現在の斜線位置PNを検出する手法としては、撮影画像I上のエッジ部分を検出する、または斜線部1bのパターンをあらかじめ登録しておき撮影画像Iとパターンとの相関値を計算して最も相関値が高い位置を検出するなど、既知の手法により検出すればよい。この斜線位置検出部3cにより検出した現在の斜線位置PN[pix]はメモリ3gに保管される。なお、斜線位置検出部3cにより測定当初に求めた斜線部1bの位置P0[pix]は、斜線の基準位置としてメモリ3gに保管する。
斜線位置表示部3dは、画像作成部3aにより作成した撮影画像Iと、斜線位置検出部3cにより検出した斜線の基準位置P0[pix]および現在の斜線位置PN[pix]とに基づいて、撮影画像I上に斜線の基準位置P0[pix]および現在の斜線位置PN[pix]を表示し、斜線位置表示画像としてメモリ3gに保管する。具体的な表示方法としては、例えば斜線の基準位置P0を赤色または実線で表示し、現在の斜線位置PNを黄色または点線で表示するなどの任意の方法で表示すればよい。この斜線位置表示部3dにより作成した斜線位置表示画像はメモリ3gを介してモニタ3Bに表示される。
微小変位計算部3eは、処理パラメータ設定部3bにより設定したパラメータ(画像分解能n[mm/pix]および斜線部の角度θ[°])と、斜線位置検出部3cにより検出した斜線の基準位置P0[pix]および現在の斜線位置PN[pix]とを用いて、斜線ターゲット1の鉛直方向の移動量(微小変位)x[mm]を計算する。
図3から図5を用いて斜線ターゲット1の鉛直方向の移動量x[mm]の算出方法について具体的に説明すると、まず、図3に示す斜線の基準位置P0[pix]と、図4に示す現在の斜線位置PN[pix]とから、斜線部1bの撮影画像I上の移動量P[pix]を求める。次に、この移動量P[pix]と、画像分解能n[mm/pix]とを用いて、走査線方向に沿った斜線ターゲット1の実際の移動量l[mm]を下式(1)により求める。
l=P×n …(1)
l=P×n …(1)
続いて、図5に示すように、斜線部の角度θ[°]を用いて鉛直方向に沿った斜線ターゲット1の実際の移動量x[mm]を下式(2)により求める。
x=l×tanθ …(2)
x=l×tanθ …(2)
ここで、例えばθ=26.6°とした場合、tanθ=0.5となるので、撮影画像I上で(すなわち走査線方向に)斜線部1bが1[pix]移動した場合、斜線ターゲット1が鉛直方向に0.5[pix]移動したことと等価となり、解像度は2倍となる。θ[°]をさらに小さくすれば、解像度をさらに向上させることができる。微小変位計算部3eにより算出した斜線ターゲット1の鉛直方向の移動量x[mm]は微小変位としてメモリ3gに保管される。
次に、図6を用いて本実施例に係る微小変位測定方法について簡単に説明する。図6に示すように、本実施例ではまず処理パラメータ設定部3bにより画像分解能n[mm/pix]および斜線部の角度θ[°]を設定し(ステップS1)、続いてラインセンサカメラ2により斜線ターゲット1を撮像し(ステップS2)、画像作成部3aによりラインセンサカメラ2から入力される画像信号に基づいて撮影画像Iを作成する(ステップS3)。
続いて、斜線位置検出部3cにより撮影画像Iに基づき測定当初に検出した斜線部1bの撮影画像I上の位置は斜線の基準位置P0として、また、それ以降に検出した斜線部1bの撮影画像I上の位置は現在の斜線位置PNとして検出する(ステップS4)。
続いて、斜線位置表示部3dにより撮影画像I、斜線の基準位置P0、および現在の斜線位置PNに基づいて斜線位置表示画像を作成し(ステップS5)、微小変位計算部3eにより画像分解能n[mm/pix]、斜線の基準位置P0、および現在の斜線位置PNに基づいて斜線ターゲット1の鉛直方向の移動量x[mm]を算出する(ステップS6)。微小変位測定を実施している間、上述したステップS2からステップS6の処理を繰り返す。
このように構成される本実施例に係る微小変位測定装置および微小変位測定方法によれば、被測定対象物に斜線ターゲット1を設置し、この斜線ターゲット1をラインセンサカメラ2により撮影するという簡易な装置構成で、撮影に用いたラインセンサカメラ2の画像分解能n[mm/pix]よりも微小な被測定対象物の所望の方向の微小変位を測定することができる。
(サブピクセル推定を用いた微小変位測定)
図7を用いて本発明の実施例2に係る微小変位測定装置および微小変位測定方法について説明する。
本実施例は、実施例1に対し、ラインセンサカメラ2で撮影した画像から、斜線部1bの位置をサブピクセル推定などの画像処理を用いて検出することで、実施例1よりも高い画像分解能で変位を測定するようにしたものである。具体的には、本実施例は、上述した実施例1に対し斜線位置検出部3cにおける処理が異なる。その他の構成は実施例1で説明したものと同様であり、実施例1で説明したものと同様の部分には同一の符号を付して、重複する説明は省略する。
図7を用いて本発明の実施例2に係る微小変位測定装置および微小変位測定方法について説明する。
本実施例は、実施例1に対し、ラインセンサカメラ2で撮影した画像から、斜線部1bの位置をサブピクセル推定などの画像処理を用いて検出することで、実施例1よりも高い画像分解能で変位を測定するようにしたものである。具体的には、本実施例は、上述した実施例1に対し斜線位置検出部3cにおける処理が異なる。その他の構成は実施例1で説明したものと同様であり、実施例1で説明したものと同様の部分には同一の符号を付して、重複する説明は省略する。
本実施例において斜線位置検出部3cでは、画像作成部3aにより作成された撮影画像Iを画像処理して斜線の基準位置P0または現在の斜線位置PN[pix]を検出する手法として、サブピクセル推定を用いる。サブピクセル推定としては、例えば、斜線ターゲット1のパターンをあらかじめ登録しておき、撮影画像Iの端からパターンマッチングを行い、図7(a)および図7(b)に示すように、相関値が最大になる位置の近傍点で曲線近似を行い、近似曲線の頂点の位置PSをサブピクセル推定により検出した斜線の基準位置P0または現在の斜線位置PN[pix]として設定する等が考えられる。この斜線位置検出部3cにより検出した斜線の基準位置P0および現在の斜線位置PN[pix]はメモリ3gに保管される。
なお、サブピクセル推定としては、上述した方法に限らず、「位相相関限定法」などの手法を用いることもできる。
なお、サブピクセル推定としては、上述した方法に限らず、「位相相関限定法」などの手法を用いることもできる。
このように構成される本実施例に係る微小変位測定装置および微小変位測定方法によれば、実施例1の測定方法よりも、画像分解能を向上させることができ、より高精度に微小変位測定を行うことができる。
(斜線ターゲットの回転補正)
図8から図10を用いて本発明の実施例3に係る微小変位測定装置および微小変位測定方法について説明する。
本実施例は、実施例1,実施例2に対し、斜線ターゲット1の位置を画像処理で検出するとともに、斜線ターゲット1を被測定対象物に設置する際に生じた回転を補正することで、微小変位測定の精度を向上させるようにしたものである。
図8から図10を用いて本発明の実施例3に係る微小変位測定装置および微小変位測定方法について説明する。
本実施例は、実施例1,実施例2に対し、斜線ターゲット1の位置を画像処理で検出するとともに、斜線ターゲット1を被測定対象物に設置する際に生じた回転を補正することで、微小変位測定の精度を向上させるようにしたものである。
すなわち、斜線ターゲット1の基準方向(図9に示す二点鎖線方向)がラインセンサカメラ2の走査線方向(本実施例では、図9(b)に示す一点鎖線方向)に対して回転した状態で、斜線ターゲット1が被測定対象物に設置されてしまった場合、実施例1で説明した方法では正確な微小変位を求めることができないため、斜線ターゲット1の回転角度分の補正を行う。
具体的には、本実施例は、上述した実施例1または実施例2に対して、画像処理部3Aの構成および画像処理部3Aにおける処理が異なる。その他の構成は実施例1または実施例2で説明したものと同様であり、実施例1または実施例2で説明したものと同様の部分には同一の符号を付して、重複する説明は省略する。
本実施例において斜線ターゲット1は、斜線部1bの基準方向に対する傾き(以下、斜線部の角度と称する)がθ1[°]、また、基準方向に沿う幅(以下、斜線部1bの基準方向の幅と称する)がLa[mm]となっており、これらθ1およびLaは既知とする。
この斜線ターゲット1は、その基面1aが鉛直方向に沿うように、かつ、その基準方向が走査線方向に対してθ4[°]回転した状態で被測定対象物に設置されているものとする。
この斜線ターゲット1は、その基面1aが鉛直方向に沿うように、かつ、その基準方向が走査線方向に対してθ4[°]回転した状態で被測定対象物に設置されているものとする。
また、本実施例の画像処理部3Aは、図8に示すように、画像作成部3aと、処理パラメータ設定部3bと、斜線位置検出部3cと、斜線位置表示部3dと、微小変位計算部3eと、メモリ3f,3gとに加え、回転角度計算部3hを備えている。
本実施例において処理パラメータ設定部3bは、画像作成部3aにより作成した撮影画像Iから斜線ターゲット1の鉛直方向の移動量x[mm]を計算するために必要なパラメータである画像分解能n[mm/pix]および斜線部の角度θ1[°]と、斜線ターゲット1の回転角度を計算するために必要なパラメータである斜線部1bの基準方向の幅La[mm]を設定する。この処理パラメータ設定部3bにより設定されたパラメータはメモリ3gに保管される。
また、斜線位置検出部3cは、画像作成部3aにより作成された撮影画像Iを画像処理して斜線の基準位置P0[pix]および現在の斜線位置PN[pix]を検出するとともに、エッジ処理などにより撮影画像I上の斜線部1bの走査線方向の幅(以下、撮影画像I上の斜線部1bの幅と称する)w[pix]を検出する。現在の斜線位置PN[pix]、斜線の基準位置P0[pix]および撮影画像I上の斜線部1bの幅w[pix]はメモリ3gに保管される。
また、回転角度計算部3hは、処理パラメータ設定部3bにより設定したパラメータ(画像分解能n[mm/pix]、斜線部の角度θ1[°]および斜線部1bの基準方向の幅La[mm])と斜線位置検出部3cにより検出した撮影画像I上の斜線部の幅w[pix]とに基づいて斜線ターゲット1の回転角度[°]を計算する。
図9を用いて具体的に説明すると、まず、三角形の定理より、基準方向に対する斜線部1bの幅方向の傾きθ2[°]と斜線部1bの幅方向の長さLb[mm]は、斜線部の角度θ1[°]および斜線部1bの基準方向の幅La[mm]を用いて、下式(3)、下式(4)により求めることができる。
θ2=90°−θ1 …(3)
Lb=La×cosθ2 …(4)
θ2=90°−θ1 …(3)
Lb=La×cosθ2 …(4)
また、斜線部1bの走査線方向の実際の幅W[mm]は既知である撮影画像I上の斜線部1bの幅w[pix]および画像分解能n[mm/pix]を用いて、下式(5)により求めることができる。
W=w×n …(5)
W=w×n …(5)
また、走査線方向に対する斜線部1bの幅方向の傾きθ3[°]は、上式(4)および(5)で得られた斜線部1bの幅方向の長さLb[mm]および斜線部1bの走査線方向の実際の幅W[mm]を用いて、下式(6)により求めることができる。ただし、式(6)はacosの戻り値の角度がラジアンを返す場合の式である。
さらに、走査線方向と基準方向とのなす角度(以下、回転角度と称する)θ4[°]は、上式(3)および(6)で得られた基準方向に対する斜線部1bの幅方向の傾きθ2[°]および走査線方向に対する斜線部1bの幅方向の傾きθ3[°]を用いて、下式(7)により求めることができる。
斜線位置表示部3dは、画像作成部3aにより作成した撮影画像Iと、斜線位置検出部3cにより検出した斜線の基準位置P0[pix]および現在の斜線位置PN[pix]とに基づいて、撮影画像I上に斜線の基準位置P0[pix]および現在の斜線位置PN[pix]を表示し、斜線位置表示画像としてメモリ3gに保管する。表示方法としては、例えば斜線の基準位置P0を赤色または実線で表示し、現在の斜線位置PNを黄色または点線で表示するなど、任意の方法で表示すればよい。この斜線位置表示部3dにより作成した斜線位置表示画像はメモリ3gを介してモニタ3Bに表示される。
微小変位計算部3eは、処理パラメータ設定部3bにより設定したパラメータ(画像分解能n[mm/pix],斜線部の角度θ1[°]および斜線部1bの基準方向の幅La[mm])と、斜線位置検出部3cにより検出した撮影画像I上の現在の斜線位置PN[pix]と、回転角度計算部3hにより算出した回転角度θ4[°]とを用いて、斜線ターゲット1の設置時の回転角度を考慮した斜線ターゲット1の鉛直方向の移動量x[mm]を計算する。
具体的には、微小変位x[mm]は、実施例1で説明した式(1)で求められる走査線方向に沿った斜線ターゲット1の実際の移動量l[mm]、斜線部の角度θ1[°]、回転角度θ4[°]および上式(7)を用いて、下式(8)により求めることができる。
具体的には、微小変位x[mm]は、実施例1で説明した式(1)で求められる走査線方向に沿った斜線ターゲット1の実際の移動量l[mm]、斜線部の角度θ1[°]、回転角度θ4[°]および上式(7)を用いて、下式(8)により求めることができる。
微小変位計算部3eにより算出した斜線ターゲット1の鉛直方向の移動量x[mm]はメモリ3gに保管される。
次に、図10を用いて本実施例に係る微小変位測定方法について簡単に説明する。図10に示すように、本実施例ではまず処理パラメータ設定部3bにより画像分解能n[mm/pix],斜線部の角度θ1[°]および斜線部1bの基準方向の幅La[mm]を設定し(ステップS11)、続いてラインセンサカメラ2により斜線ターゲット1を撮像し(ステップS12)、画像作成部3aによりラインセンサカメラ2から入力される画像信号に基づいて撮影画像Iを作成する(ステップS13)。
続いて、斜線位置検出部3cにより撮影画像Iに基づき測定当初に検出した斜線部1bの撮影画像I上の位置を斜線の基準位置P0として、また、それ以降に検出した斜線部1bの撮影画像I上の位置を現在の斜線位置PNとして検出する(ステップS14)。
続いて、回転角度計算部3hにより画像分解能n[mm/pix]、斜線部の角度θ1[°]、斜線部1bの基準方向の幅La[mm]および撮影画像I上の斜線部1bの幅w[pix]に基づいて、回転角度θ4[°]を算出する(ステップS15)。
続いて、斜線位置表示部3dにより撮影画像I、斜線の基準位置P0、および現在の斜線位置PNに基づいて斜線位置表示画像を作成し(ステップS16)、微小変位計算部3eにより画像分解能n[mm/pix]、現在の斜線位置PN、斜線部の角度θ1[°]および回転角度θ4[°]に基づいて斜線ターゲット1の鉛直方向の移動量x[mm]を算出する(ステップS17)。微小変位測定を実施している間、上述したステップS12からステップS17の処理を繰り返す。
このように構成される本実施例に係る微小変位測定装置および微小変位測定方法によれば、斜線ターゲット1の基準方向が、この斜線ターゲット1を撮影するラインセンサカメラ2の走査線方向に対して回転した状態で被測定対象物に設置された場合であっても、高精度に微小変位測定を行うことができる。
なお、本発明は上述した実施例1〜3に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。例えば、斜線位置表示部3dは必ずしも画像処理部3Aに含まれなくともよく、少なくともラインセンサカメラ2により斜線ターゲット1を撮影した画像信号を利用して被測定対象物の所望の方向に対する微小な変位を測定することができればよい。また、モニタ3Bについても必ずしも画像処理装置3に含まれなくともよく、例えば、画像処理部3Aにより求めた微小変位を他の手段で出力するようにしてもよい。
本発明は、ラインセンサカメラで撮影された画像を処理することにより被測定対象物の微小変位を測定する微小変位測定装置および微小変位測定方法に利用することができる。
1…斜線ターゲット、1a…基面、1b…斜線部、2…ラインセンサカメラ、3…画像処理装置、3A…画像処理部、3B…モニタ、3a…画像作成部、3b…処理パラメータ設定部、3c…斜線位置検出部、3d…斜線位置表示部、3e…微小変位計算部、3f,3g…メモリ、3h…回転角度計算部、I…撮影画像
Claims (8)
- 平面状の基面に帯状の斜線部が設けられた斜線ターゲットと、
走査線方向が所望の方向に直交するように設置されて前記斜線ターゲットを撮影するラインセンサカメラと、
前記ラインセンサカメラによって取得した画像信号に基づいて被測定対象物の前記所望の方向の変位を求める画像処理装置と
を備え、
前記斜線ターゲットは、前記斜線部と前記ラインセンサカメラの走査線方向とのなす角が0°より大きく45°より小さく且つ前記基面が前記所望の方向および前記走査線方向に平行に被測定対象物に設置され、
前記画像処理装置は、予め設定された基準方向に対する前記斜線部の角度および前記ラインセンサカメラの画像分解能を設定する処理パラメータ設定部と、前記ラインセンサカメラによって取得した画像信号に基づいて撮影画像を作成する画像作成部と、前記撮影画像に基づいて撮影画像上の前記斜線部の位置を検出する斜線位置検出部と、前記斜線部の角度,前記画像分解能,ならびに前記斜線位置検出部によって検出した測定当初の前記斜線部の位置および現在の前記斜線部の位置に基づいて前記斜線部の前記所望の方向の移動量を前記被測定対象物の変位として求める微小変位計算部とを含む
ことを特徴とする微小変位測定装置。 - 前記斜線位置検出部が、サブピクセル推定を用いて前記斜線部の位置を求める
ことを特徴とする請求項1記載の微小変位測定装置。 - 前記画像処理装置が、前記斜線ターゲットの回転角度を求める回転角度計算部をさらに含み、
前記処理パラメータ設定部が、前記基準方向に沿った前記斜線部の実際の幅をさらに設定し、
前記斜線位置検出部が、前記斜線部の位置に加えて前記走査線方向に沿った前記斜線部の撮影画像上の幅を検出し、
前記回転角度計算部が、前記斜線部の角度,前記画像分解能,前記基準方向に沿った前記斜線部の実際の幅,および走査線方向に沿った前記斜線部の撮影画像上の幅に基づいて前記斜線ターゲットの回転角度を算出し、
前記微小変位計算部が、前記斜線部の角度,前記画像分解能,ならびに前記斜線位置検出部によって検出した測定当初の前記斜線部の位置および現在の前記斜線部の位置に加えて前記斜線ターゲットの回転角度を用いて前記斜線部の所望の方向の移動量を前記被測定対象物の変位として求める
ことを特徴とする請求項1または請求項2記載の微小変位測定装置。 - 前記画像処理装置が、前記撮影画像,ならびに前記斜線位置検出部によって検出した測定当初の前記斜線部の位置および現在の前記斜線部の位置に基づいて、前記撮影画像上に前記斜線位置検出部によって測定当初に検出した前記斜線部の位置および前記斜線位置検出部によって検出した現在の前記斜線部の位置を表示する斜線位置表示部をさらに含む
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の微小変位測定装置。 - 走査線方向が所望の方向に直交するように設置されるとともに平面状の基面に帯状の斜線部が設けられた斜線ターゲット撮影するラインセンサカメラによって取得した画像信号に基づいて被測定対象物の前記所望の方向の変位を求める微小変位測定方法であって、
前記斜線ターゲットを、前記斜線部と前記ラインセンサカメラの走査線方向とのなす角が0°より大きく45°より小さく且つ前記基面が前記所望の方向および前記走査線方向に平行になるように被測定対象物に設置し、
基準方向に対する前記斜線部の角度および前記ラインセンサカメラの画像分解能を設定するパラメータ設定工程と、
前記ラインセンサカメラにより前記斜線ターゲットを撮影する画像撮影工程と、
前記ラインセンサカメラによって取得した画像信号に基づいて撮影画像を作成する画像作成工程と、
前記撮影画像に基づいて前記斜線部の位置を検出する斜線位置検出工程と、
前記斜線部の角度,前記画像分解能,ならびに前記斜線位置検出部によって検出した測定当初の前記斜線部の位置および現在の前記斜線部の位置に基づいて前記斜線部の前記所望の方向の移動量を前記被測定対象物の変位として求める微小変位計算工程と
を含むことを特徴とする微小変位測定方法。 - 前記斜線位置検出工程で、サブピクセル推定を用いて前記斜線部の位置を検出する
ことを特徴とする請求項5記載の微小変位測定方法。 - 前記斜線位置検出工程と前記微小変位計算工程との間に、前記斜線ターゲットの回転角度を求める回転角度計算工程をさらに含み、
前記パラメータ設定工程で、予め設定された基準方向に沿った前記斜線部の実際の幅をさらに設定し、
前記斜線位置検出工程で、前記斜線部の位置に加えて前記走査線方向に沿った前記斜線部の撮影画像上の幅を検出し、
前記回転角度計算工程で、前記斜線部の角度,前記画像分解能,前記基準方向に沿った前記斜線部の実際の幅,および走査線方向に沿った前記斜線部の撮影画像上の幅に基づいて前記斜線ターゲットの回転角度を算出し、
前記微小変位計算工程で、前記斜線部の角度,前記画像分解能,ならびに前記斜線位置検出部によって検出した測定当初の前記斜線部の位置および現在の前記斜線部の位置に加えて前記斜線ターゲットの回転角度を用いて前記斜線部の所望の方向の移動量を前記被測定対象物の変位として求める
ことを特徴とする請求項5または請求項6記載の微小変位測定方法。 - 前記微小変位計算工程の直前に、前記撮影画像,ならびに前記斜線位置検出部によって検出した測定当初の前記斜線部の位置および現在の前記斜線部の位置に基づいて、前記撮影画像上に前記斜線位置検出部によって測定当初に検出した前記斜線部の位置および前記斜線位置検出部によって検出した現在の前記斜線部の位置を表示する斜線位置表示工程をさらに含む
ことを特徴とする請求項5から請求項7のいずれか1項に記載の微小変位測定方法。
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-
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