JP2018094745A - Liquid injection head and liquid injection device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To appropriately displace a film of a compliance section while suppressing excessive displacement of the compliance section.SOLUTION: A liquid injection head includes: nozzles 21 injecting ink; a plurality of pressure generating chambers 12 communicating with the nozzles 21 and being provided side-by-side in a first direction X; a manifold 100 communicating with the plurality of pressure generating chambers 12; a flexible film 46 forming a part of the manifold 100; and a frame member 47 with an opening 48 which is fixed to the film 46 and can displace the film 46 according to pressure fluctuation in the manifold 100. The frame member 47 comprises: a cantilever beam 150 protruding from an edge of the opening 48 in a second direction Y and having a leading end 151 which can be displaced; and a support section 152 being provided on the leading end 151 of the cantilever beam 150 and fixed to the film 46.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明は、液体噴射ヘッド、及び当該液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置に関する。   The present invention relates to a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head.

液体を液滴として噴射する液体噴射ヘッドとして、例えば、ノズル開口とノズル開口に連通される圧力発生室等の流路とを具備し、圧力発生手段によって圧力発生室内のインク（液体）に圧力変化を生じさせることで、ノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドが知られている。   As a liquid ejecting head that ejects liquid as droplets, for example, a nozzle opening and a flow path such as a pressure generating chamber communicated with the nozzle opening are provided, and a pressure change is made to ink (liquid) in the pressure generating chamber by the pressure generating means. Ink jet recording heads that cause ink droplets to be ejected from nozzle openings by generating the above are known.

かかるインクジェット式記録ヘッドでは、可撓性を有するフィルムが圧力発生室に連通されるマニホールドの一部を画成し、フィルムを変形させることによりマニホールド内のインクの圧力変動を吸収するコンプライアンス部が設けられている。当該インクジェット式記録ヘッドでは、インクを噴射しない待機状態からインクの噴射を開始する初期段階において、コンプライアンス部のフィルム（可撓部材）が過度に撓むと、初期段階からマニホールド内の圧力が一定値に達する定常状態までに必要となるコンプライアンス、すなわち圧力変動を吸収するコンプライアンス部のフィルムの適正な変位が阻害され、インクの噴射特性にばらつきが生じるという問題があった。
このため、特許文献１に記載のインクジェット式記録ヘッドでは、コンプライアンス部のフィルム（可撓部材）にばね板として機能する片持ち梁が設けられ、初期段階におけるコンプライアンス部のフィルムの過度な撓みが抑制される。 In such an ink jet recording head, a flexible film defines a part of a manifold that communicates with a pressure generating chamber, and a compliance section that absorbs pressure fluctuations of ink in the manifold by deforming the film is provided. It has been. In the ink jet recording head, when the film (flexible member) of the compliance portion is excessively bent in the initial stage where ink ejection is started from a standby state where ink is not ejected, the pressure in the manifold becomes a constant value from the initial stage. There is a problem that the compliance required until the steady state to be reached, that is, the proper displacement of the film of the compliance portion that absorbs the pressure fluctuation is hindered, resulting in variations in ink ejection characteristics.
For this reason, in the ink jet recording head described in Patent Document 1, the compliance part film (flexible member) is provided with a cantilever beam that functions as a spring plate, thereby suppressing excessive deflection of the compliance part film in the initial stage. Is done.

特開２０１６−１４４９１８号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-144918

ところが、特許文献１に記載のインクジェット式記録ヘッドでは、コンプライアンス部のフィルムが、片持ち梁のフィルムに対向する面の全体に接し、片持ち梁とコンプライアンス部のフィルムとが一緒に変位するので、例えば片持ち梁の剛性が高くなった場合、コンプライアンス部のフィルムの適正な変位が阻害されるおそれがあった。   However, in the ink jet recording head described in Patent Document 1, the compliance part film contacts the entire surface of the cantilever facing the film, and the cantilever and the compliance part film are displaced together. For example, when the rigidity of the cantilever beam is increased, there is a possibility that proper displacement of the film in the compliance portion is hindered.

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.

［適用例１］本適用例に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズル開口と、前記ノズル開口に連通され、第１の方向に並設された複数の圧力発生室と、前記複数の圧力発生室に連通されたマニホールドと、前記マニホールドの一部を形成し、可撓性を有する可撓部材と、前記可撓部材に固定され、前記マニホールド内の圧力変動に応じて前記可撓部材を変位可能とする開口を有する枠部材と、を有し、前記枠部材は、前記開口の縁から前記第１の方向と交差する方向に突出し、先端が変位可能な片持ち梁と、前記片持ち梁の先端に設けられ、前記可撓部材に固定される支持部と、を備えていることを特徴とする。   Application Example 1 A liquid ejecting head according to this application example includes a nozzle opening that ejects liquid, a plurality of pressure generating chambers that are connected to the nozzle opening and arranged in parallel in a first direction, and the plurality of pressures A manifold communicating with the generation chamber, a flexible member that forms a part of the manifold and has flexibility, and is fixed to the flexible member, and the flexible member is moved in response to pressure fluctuations in the manifold. A frame member having an opening that can be displaced, the frame member protruding in a direction intersecting the first direction from an edge of the opening, and a cantilever having a displaceable tip, and the cantilever And a support portion provided at the tip of the beam and fixed to the flexible member.

本適用例では、片持ち梁の開口の縁の側が枠部材の本体部に固定された固定端となり、片持ち梁の先端が変位可能な自由端となる。支持部は、変位可能な可撓部材及び片持ち梁の先端（自由端）の両方に固定されている。
マニホールド内の圧力変動によって可撓部材を変形させる力（以降、変形力と称す）が可撓部材に作用すると、当該変形力は支持部を介して片持ち梁の先端に伝達される。さらに、変形力に抗する力が、片持ち梁から支持部を介して可撓部材に伝達されるので、可撓部材に対する変形力の影響が弱められ、可撓部材の過度な変位が抑制される。 In this application example, the edge of the opening of the cantilever is a fixed end fixed to the main body of the frame member, and the tip of the cantilever is a displaceable free end. The support portion is fixed to both the displaceable flexible member and the tip (free end) of the cantilever.
When a force that deforms the flexible member due to pressure fluctuation in the manifold (hereinafter referred to as a deformation force) acts on the flexible member, the deformation force is transmitted to the tip of the cantilever via the support portion. Further, since the force against the deformation force is transmitted from the cantilever to the flexible member via the support portion, the influence of the deformation force on the flexible member is weakened, and excessive displacement of the flexible member is suppressed. The

さらに、変形力が支持部を介して片持ち梁の先端に伝達される場合、すなわち変形力が固定端から離れた位置（片持ち梁の先端）に集中して作用する場合、変形力が片持ち梁の可撓部材に対向する面の全体に作用する場合と比べて、変形力が固定端から離れた位置に作用するので、片持ち梁を変形させる曲げモーメントが大きくなり、片持ち梁が変形しやすくなる。片持ち梁が変形しやすくなるので、例えば片持ち梁の剛性が高くなった場合であっても片持ち梁は適正に変形し、可撓部材の変位が阻害されず、可撓部材も適正に変位するようになる。   Furthermore, when the deforming force is transmitted to the tip of the cantilever via the support portion, that is, when the deforming force is concentrated on the position away from the fixed end (tip of the cantilever), the deforming force is Compared to the case where it acts on the entire surface of the cantilever facing the flexible member, since the deformation force acts at a position away from the fixed end, the bending moment for deforming the cantilever is increased, and the cantilever is It becomes easy to deform. Since the cantilever beam is easily deformed, for example, even when the rigidity of the cantilever beam is increased, the cantilever beam is appropriately deformed, the displacement of the flexible member is not hindered, and the flexible member is also properly It will be displaced.

［適用例２］上記適用例に記載の液体噴射ヘッドでは、前記支持部は、前記可撓部材が最も大きく変位する部分の少なくとも一部に固定されることが好ましい。   Application Example 2 In the liquid ejecting head according to the application example described above, it is preferable that the support portion is fixed to at least a part of a portion where the flexible member is displaced the most.

可撓部材が最も大きく変位する部分は、可撓部材の変位が小さい部分と比べて、変形力が強くなる。変形力が強くなると、変形力が弱い場合と比べて、片持ち梁が変形しやすくなる。片持ち梁が変形しやすくなるので、例えば片持ち梁の剛性が高くなった場合であっても、片持ち梁は適正に変形し、可撓部材の変位が阻害されにくくなる。   The portion where the flexible member is displaced the most is more deformable than the portion where the displacement of the flexible member is small. When the deformation force is increased, the cantilever is more easily deformed than when the deformation force is weak. Since the cantilever beam is easily deformed, for example, even when the rigidity of the cantilever beam is increased, the cantilever beam is appropriately deformed and the displacement of the flexible member is not easily inhibited.

［適用例３］上記適用例に記載の液体噴射ヘッドでは、前記支持部は、前記開口の中心を通り、前記第１の方向に延在していることが好ましい。   Application Example 3 In the liquid jet head according to the application example, it is preferable that the support portion extends in the first direction through the center of the opening.

変形力に抗する力は、第１の方向に延在する支持部を介して、広範囲の可撓部材に伝達されるので、広範囲の可撓部材における過度な変位を抑制することができる。   Since the force resisting the deformation force is transmitted to the wide-range flexible member via the support portion extending in the first direction, excessive displacement in the wide-range flexible member can be suppressed.

［適用例４］上記適用例に記載の液体噴射ヘッドでは、前記片持ち梁は、前記第１の方向に沿って複数配置されていることが好ましい。   Application Example 4 In the liquid jet head according to the application example described above, it is preferable that a plurality of the cantilever beams are arranged along the first direction.

片持ち梁を複数設けると、変形力が分散して複数の片持ち梁のそれぞれに作用するようになる。その結果、片持ち梁が単数である場合と比べて、変形力の影響が弱められる。従って、片持ち梁に過度の変形力が作用し、片持ち梁が塑性変形するという不具合を抑制することができる。   When a plurality of cantilevers are provided, the deformation force is dispersed and acts on each of the plurality of cantilevers. As a result, the influence of the deformation force is weakened compared to the case where the number of cantilever beams is one. Therefore, it is possible to suppress a problem that an excessive deformation force acts on the cantilever and the cantilever is plastically deformed.

［適用例５］上記適用例に記載の液体噴射ヘッドでは、前記支持部は、前記複数配置された片持ち梁のそれぞれで分離されていることが好ましい。   Application Example 5 In the liquid jet head according to the application example, it is preferable that the support portion is separated by each of the plurality of cantilever beams arranged.

仮に、支持部が変形すると、支持部の変形の状態によって、支持部から片持ち梁に作用する変形力の方向や、支持部から可撓部材に作用する変形力に抗する力の方向が変位し、片持ち梁や可撓部材が変位する方向が不均一になるおそれがある。
本適用例では、支持部が片持ち梁のそれぞれで分離され、支持部の長さが短くなっているので、支持部が変形しにくい。支持部が変形しにくい場合、支持部が変形しやすい場合と比べて、支持部から可撓部材や片持ち梁に作用する力の方向が均一になり、可撓部材や片持ち梁が均一に変位するようになる。 If the support part is deformed, the direction of the deformation force acting on the cantilever from the support part or the direction of the force resisting the deformation force acting on the flexible member from the support part is displaced depending on the deformation state of the support part. However, the direction in which the cantilever or the flexible member is displaced may be uneven.
In this application example, the support portion is separated by each of the cantilever beams, and the length of the support portion is shortened. Therefore, the support portion is not easily deformed. When the support part is hard to deform, the direction of the force acting on the flexible member or cantilever from the support part becomes uniform compared to the case where the support part easily deforms, and the flexible member or cantilever is uniform. It will be displaced.

［適用例６］上記適用例に記載の液体噴射ヘッドでは、前記片持ち梁は、前記支持部よりも少なくとも一部が薄いことが好ましい。   Application Example 6 In the liquid ejecting head according to the application example described above, it is preferable that at least a part of the cantilever beam is thinner than the support portion.

片持ち梁が支持部よりも少なくとも一部が薄くなると、片持ち梁が支持部よりも少なくとも一部が厚い場合と比べて、片持ち梁が変形しやすくなる。片持ち梁が変形しやすくなるので、例えば片持ち梁の剛性が高くなった場合であっても、片持ち梁は適正に変形し、可撓部材の変位が阻害されにくくなる。   When the cantilever is at least partially thinner than the support, the cantilever is more easily deformed than when the cantilever is at least partially thicker than the support. Since the cantilever beam is easily deformed, for example, even when the rigidity of the cantilever beam is increased, the cantilever beam is appropriately deformed and the displacement of the flexible member is not easily inhibited.

［適用例７］上記適用例に記載の液体噴射ヘッドでは、前記片持ち梁の前記第１の方向の寸法は、前記開口の縁から前記先端に向かう方向に短くなっていることが好ましい。   Application Example 7 In the liquid jet head according to the application example described above, it is preferable that the dimension of the cantilever in the first direction is shorter in a direction from the edge of the opening toward the tip.

片持ち梁の第１の方向の寸法（以降、片持ち梁の幅と称す）は、片持ち梁の固定端（開口の縁の側）で長いので、片持ち梁の固定端で片持ち梁の幅が短い場合と比べて、固定端における応力集中の影響が弱くなり、片持ち梁の耐久性を高めることができる。   Since the dimension in the first direction of the cantilever (hereinafter referred to as the width of the cantilever) is long at the fixed end of the cantilever (on the edge of the opening), the cantilever is fixed at the fixed end of the cantilever. Compared with the case where the width of the beam is short, the influence of stress concentration at the fixed end is weakened, and the durability of the cantilever can be improved.

［適用例８］上記適用例に記載の液体噴射ヘッドでは、前記片持ち梁は、前記開口の縁から前記先端に向かう方向に薄くなっていることが好ましい。   Application Example 8 In the liquid jet head according to the application example described above, it is preferable that the cantilever be thinner in a direction from the edge of the opening toward the tip.

片持ち梁が、開口の縁（固定端）から先端（自由端）に向かう方向に薄くなると、片持ち梁が変形しやすくなる。片持ち梁が変形しやすいので、例えば片持ち梁の剛性が高くなった場合であっても、片持ち梁は適正に変形し、可撓部材の変位が阻害されにくくなる。   When the cantilever is thinned in the direction from the edge (fixed end) to the tip (free end) of the opening, the cantilever is easily deformed. Since the cantilever beam is easily deformed, for example, even when the rigidity of the cantilever beam is increased, the cantilever beam is appropriately deformed, and the displacement of the flexible member is hardly inhibited.

［適用例９］上記適用例に記載の液体噴射ヘッドでは、前記可撓部材との間で空間を形成するように配置される蓋部材を有し、前記枠部材は、前記可撓部材と前記蓋部材との間に配置され、前記片持ち梁及び前記支持部は、前記蓋部材に固定されず、前記蓋部材に対して変位可能であることが好ましい。   Application Example 9 In the liquid jet head according to the application example described above, the liquid jet head includes a lid member that is disposed so as to form a space between the flexible member, and the frame member includes the flexible member and the flexible member. It is preferable that the cantilever and the support portion are disposed between the lid member and the cantilever and the support portion are not fixed to the lid member and can be displaced with respect to the lid member.

可撓部材が蓋部材の側に変位した場合、可撓部材と蓋部材との間に配置された枠部材によって、可撓部材が蓋部材に当接しにくくなる。さらに、片持ち梁及び支持部は、蓋部材に対して変位可能であるので、片持ち梁及び支持部の変位が蓋部材によって阻害されず、片持ち梁が適正に変形し、可撓部材の過度な変位を抑制することができる。   When the flexible member is displaced toward the lid member, the frame member disposed between the flexible member and the lid member makes it difficult for the flexible member to contact the lid member. Further, since the cantilever and the support portion can be displaced with respect to the lid member, the displacement of the cantilever beam and the support portion is not hindered by the lid member, the cantilever beam is appropriately deformed, and the flexible member Excessive displacement can be suppressed.

［適用例１０］本適用例に係る液体噴射装置は、上記適用例に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする。   Application Example 10 A liquid ejecting apparatus according to this application example includes the liquid ejecting head according to the application example.

上記適用例に記載の液体噴射ヘッドでは、可撓部材の過度な変位が抑制され、可撓部材が適正に変位するので、マニホールド内に充填された液体の圧力変動が小さくなる。マニホールド内に充填された液体の圧力変動が小さくなると、ノズル開口から噴射される液体の液滴量が均一になる。
従って、上記適用例に記載の液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置では、ノズル開口から噴射される液体の液滴量が均一になるので、印刷品位（例えば、均一性）を高めることができる。 In the liquid jet head described in the above application example, excessive displacement of the flexible member is suppressed, and the flexible member is appropriately displaced, so that the pressure fluctuation of the liquid filled in the manifold is reduced. When the pressure fluctuation of the liquid filled in the manifold is reduced, the liquid droplet amount ejected from the nozzle opening becomes uniform.
Therefore, in the liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head described in the above application example, the amount of liquid droplets ejected from the nozzle openings becomes uniform, so that the print quality (for example, uniformity) can be improved.

実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図。FIG. 3 is an exploded perspective view of the recording head according to the first embodiment. 実施形態１に係る記録ヘッドの概略平面図。FIG. 3 is a schematic plan view of the recording head according to the first embodiment. コンプライアンス基板を構成する枠部材の概略平面図。The schematic plan view of the frame member which comprises a compliance board | substrate. 図３のＡ−Ａ′線に沿った概略断面図。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view along the line AA ′ in FIG. 3. 図４の要部を拡大した要部断面図。The principal part sectional drawing which expanded the principal part of FIG. 実施形態１に係る記録ヘッドのコンプライアンス領域におけるフィルムの変位状態を示す概略図。FIG. 3 is a schematic diagram illustrating a displacement state of a film in a compliance region of the recording head according to the first embodiment. 実施形態１に係る記録ヘッドのコンプライアンス領域におけるフィルムの変位状態を示す概略図。FIG. 3 is a schematic diagram illustrating a displacement state of a film in a compliance region of the recording head according to the first embodiment. 比較例に係る記録ヘッドのコンプライアンス領域におけるフィルムの変位状態を示す概略図。Schematic which shows the displacement state of the film in the compliance area | region of the recording head which concerns on a comparative example. 待機状態からインクの噴射を開始した際のマニホールド内の圧力変動の状態を示す概略図。FIG. 3 is a schematic diagram illustrating a state of pressure fluctuation in the manifold when ink ejection is started from a standby state. 実施形態１に係る記録ヘッドにおけるコンプライアンス領域の変位の状態を示す他の概略図。FIG. 6 is another schematic diagram illustrating a state of displacement of the compliance area in the recording head according to the first embodiment. 比較例に係る記録ヘッドにおけるコンプライアンス領域の変位の状態を示す他の概略図。FIG. 10 is another schematic diagram showing a state of displacement of the compliance area in the recording head according to the comparative example. 他の比較例に係る記録ヘッドの枠部材の概略平面図。FIG. 10 is a schematic plan view of a frame member of a recording head according to another comparative example. 他の比較例に係る記録ヘッドのフィルムの変位状態を示す模式図。The schematic diagram which shows the displacement state of the film of the recording head which concerns on another comparative example. 実施形態１に係る記録ヘッドのフィルムの変位状態を示す模式図。FIG. 3 is a schematic diagram illustrating a film displacement state of the recording head according to the first embodiment. 実施形態２に係るプリンターの概要を示す概略図。FIG. 4 is a schematic diagram illustrating an overview of a printer according to a second embodiment. 変形例１に係る枠部材の概略平面図。The schematic plan view of the frame member which concerns on the modification 1. FIG. 変形例２に係る枠部材の概略平面図。The schematic plan view of the frame member which concerns on the modification 2. FIG. 変形例３に係る枠部材の概略平面図。FIG. 10 is a schematic plan view of a frame member according to Modification 3. 変形例４に係る枠部材の概略平面図。The schematic plan view of the frame member which concerns on the modification 4. FIG. 変形例５に係る枠部材の概略平面図。FIG. 10 is a schematic plan view of a frame member according to Modification 5.

以下、図面を参照し、本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。かかる実施形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の各図においては、各層や各部位を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部位の縮尺を実際とは異ならせしめてある。   Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments with reference to the drawings. Such an embodiment shows one aspect of the present invention and does not limit the present invention, and can be arbitrarily changed within the scope of the technical idea of the present invention. In each of the following drawings, the scale of each layer or each part is made different from the actual scale so that each layer or each part can be recognized on the drawing.

（実施形態１）
図１は、実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図である。図２は、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの概略平面図である。図３は、コンプライアンス基板を構成する枠部材の概略平面図である。図４は、図３のＡ− Ａ′線に沿った概略断面図である。図５は、図４の要部を拡大した要部断面図である。 (Embodiment 1)
FIG. 1 is an exploded perspective view of an ink jet recording head which is an example of a liquid jet head according to the first embodiment. FIG. 2 is a schematic plan view of the ink jet recording head according to the present embodiment. FIG. 3 is a schematic plan view of a frame member constituting the compliance substrate. 4 is a schematic cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of a main part of FIG.

図示するように、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドＩＩ（以下、記録ヘッドＩＩと称す）は、ヘッド本体１１、ヘッド本体１１の一方面側に固定されたケース部材４０、ヘッド本体１１の他方面側に固定されたカバーヘッド１３０等の複数の部材を備える。また、ヘッド本体１１は、流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一方面側に設けられた連通板１５と、連通板１５の流路形成基板１０とは反対面側に設けられたノズルプレート２０と、流路形成基板１０の連通板１５とは反対側に設けられた保護基板３０と、連通板１５のノズルプレート２０が設けられた面側に設けられたコンプライアンス基板４５と、を具備する（図１参照）。
なお、カバーヘッド１３０は、「蓋部材」の一例である。 As shown in the drawing, an ink jet recording head II (hereinafter referred to as recording head II) according to the present embodiment includes a head main body 11, a case member 40 fixed to one surface side of the head main body 11, and the head main body 11. A plurality of members such as a cover head 130 fixed to the direction side are provided. The head main body 11 is provided on the opposite side of the flow path forming substrate 10, the communication plate 15 provided on one side of the flow path forming substrate 10, and the flow path forming substrate 10 of the communication plate 15. The nozzle plate 20, the protective substrate 30 provided on the opposite side of the communication plate 15 of the flow path forming substrate 10, and the compliance substrate 45 provided on the surface side of the communication plate 15 on which the nozzle plate 20 is provided. (See FIG. 1).
The cover head 130 is an example of a “lid member”.

ヘッド本体１１を構成する流路形成基板１０は、ステンレス鋼やＮｉなどの金属、ＺｒＯ2あるいはＡｌ2Ｏ3を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、ＭｇＯ、ＬａＡｌＯ3のような酸化物などを用いることができる。本実施形態では、流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなる。この流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、隔壁によって区画された圧力発生室１２（図４参照）が、「液体」の一例であるインクを吐出する複数のノズル２１が並設される方向に沿って複数並設されている。
なお、ノズル２１は、「ノズル開口」の一例である。 The flow path forming substrate 10 constituting the head body 11 is made of a metal such as stainless steel or Ni, a ceramic material typified by ZrO 2 or Al 2 O 3 , a glass ceramic material, an oxide such as MgO or LaAlO 3. Can be used. In the present embodiment, the flow path forming substrate 10 is made of a silicon single crystal substrate. A plurality of pressure generating chambers 12 (see FIG. 4) partitioned by partition walls are ejected from the flow path forming substrate 10 by an anisotropic etching from one surface side. A plurality of nozzles 21 are juxtaposed along the direction in which the nozzles 21 are juxtaposed.
The nozzle 21 is an example of a “nozzle opening”.

以降、ノズル２１が並設される方向、すなわち複数の圧力発生室１２が並設される方向を第１の方向Ｘと称する。
そして、流路形成基板１０には、第１の方向Ｘに並設された複数の圧力発生室１２の列が複数列（本実施形態では２列）設けられている。第１の方向Ｘに並設された圧力発生室１２の列の列設方向を、第２の方向Ｙと称する。
なお、第２の方向Ｙは、「第１の方向と交差する方向」の一例であり、例えば、第２の方向Ｙは、後述する可撓部材（フィルム４６）の一方の面における「第１の方向と交差する方向」をいう。 Hereinafter, the direction in which the nozzles 21 are arranged in parallel, that is, the direction in which the plurality of pressure generating chambers 12 are arranged in parallel is referred to as a first direction X.
The flow path forming substrate 10 is provided with a plurality of rows (in this embodiment, two rows) of a plurality of pressure generating chambers 12 arranged in parallel in the first direction X. An arrangement direction of the rows of the pressure generating chambers 12 arranged in parallel in the first direction X is referred to as a second direction Y.
The second direction Y is an example of a “direction intersecting the first direction”. For example, the second direction Y is “the first direction on one surface of the flexible member (film 46) described later”. The direction that intersects the direction.

なお、流路形成基板１０には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部側に、当該圧力発生室１２よりも開口面積が狭く、圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を付与する供給路等が設けられていてもよい。   The flow path forming substrate 10 has an opening area smaller than that of the pressure generation chamber 12 on one end side in the second direction Y of the pressure generation chamber 12, and the flow path resistance of the ink flowing into the pressure generation chamber 12. A supply path or the like for providing the above may be provided.

流路形成基板１０の一方面側には、連通板１５と、ノズルプレート２０とが順次積層されている。すなわち、流路形成基板１０の一方面に設けられた連通板１５と、連通板１５の流路形成基板１０とは反対面側に設けられたノズル２１を有するノズルプレート２０と、を具備する。   On one surface side of the flow path forming substrate 10, a communication plate 15 and a nozzle plate 20 are sequentially stacked. That is, the communication plate 15 provided on one surface of the flow path forming substrate 10 and the nozzle plate 20 having the nozzles 21 provided on the opposite surface side of the communication plate 15 from the flow path forming substrate 10 are provided.

連通板１５には、圧力発生室１２とノズル２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている（図４参照）。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このように連通板１５を設けることによってノズルプレート２０のノズル２１と圧力発生室１２とを離せるため、圧力発生室１２の中にあるインクは、ノズル２１付近のインクで生じるインク中の水分の蒸発による増粘の影響を受け難くなる。
さらに、ノズルプレート２０は、圧力発生室１２とノズル２１とを連通するノズル連通路１６の開口を覆うだけで良いので、ノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることができる。その結果、流路形成基板１０を連通板１５よりも小さくできるので、コストの削減を図ることができる。
以降、ノズルプレート２０において、ノズル２１が開口されインク滴が吐出される面を、液体噴射面２０ａと称する。 The communication plate 15 is provided with a nozzle communication path 16 that communicates the pressure generating chamber 12 and the nozzle 21 (see FIG. 4). The communication plate 15 has a larger area than the flow path forming substrate 10, and the nozzle plate 20 has a smaller area than the flow path forming substrate 10. By providing the communication plate 15 in this manner, the nozzle 21 of the nozzle plate 20 and the pressure generating chamber 12 can be separated from each other, so that the ink in the pressure generating chamber 12 is the amount of moisture in the ink generated by the ink near the nozzle 21 Less susceptible to thickening due to evaporation.
Furthermore, since the nozzle plate 20 only needs to cover the opening of the nozzle communication path 16 that communicates the pressure generating chamber 12 and the nozzle 21, the area of the nozzle plate 20 can be made relatively small. As a result, the flow path forming substrate 10 can be made smaller than the communication plate 15, so that the cost can be reduced.
Hereinafter, the surface of the nozzle plate 20 on which the nozzles 21 are opened and ink droplets are ejected is referred to as a liquid ejection surface 20a.

連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８とが設けられている（図４参照）。
第１マニホールド部１７は、連通板１５を厚さ方向（連通板１５と流路形成基板１０との積層方向）に貫通して設けられている。第２マニホールド部１８は、連通板１５を厚さ方向に貫通することなく、連通板１５をノズルプレート２０側に開口して設けられている。なお、厚さ方向（積層方向）は、第１の方向及び第２の方向と直交している。 The communication plate 15 is provided with a first manifold portion 17 and a second manifold portion 18 that constitute a part of the manifold 100 (see FIG. 4).
The first manifold portion 17 is provided through the communication plate 15 in the thickness direction (the stacking direction of the communication plate 15 and the flow path forming substrate 10). The second manifold portion 18 is provided by opening the communication plate 15 toward the nozzle plate 20 without penetrating the communication plate 15 in the thickness direction. The thickness direction (stacking direction) is orthogonal to the first direction and the second direction.

なお、マニホールド１００のノズルプレート２０側の開口形状は、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む面内方向において長手方向及び短手方向を有する。なお、マニホールド１００が長手方向及び短手方向を有するとは、マニホールド１００のノズルプレート２０側の開口の縦横比（アスペクト比）が１：１以外のものを言う。また、マニホールド１００の開口形状は特に限定されず、例えば、矩形状、台形状、平行四辺形状、多角形状、楕円形状等であってもよい。
このように、記録ヘッドＩＩは、インクを噴射するノズル２１と、ノズル２１に連通され、第１の方向Ｘに並設された圧力発生室１２と、圧力発生室１２に連通されたマニホールド１００とを有している。 The opening shape of the manifold 100 on the nozzle plate 20 side has a longitudinal direction and a lateral direction in an in-plane direction including the first direction X and the second direction Y. The manifold 100 having the longitudinal direction and the short direction means that the aspect ratio (aspect ratio) of the opening on the nozzle plate 20 side of the manifold 100 is other than 1: 1. The opening shape of the manifold 100 is not particularly limited, and may be, for example, a rectangular shape, a trapezoidal shape, a parallelogram shape, a polygonal shape, an elliptical shape, or the like.
As described above, the recording head II includes the nozzle 21 that ejects ink, the pressure generation chamber 12 that is in communication with the nozzle 21 and arranged in parallel in the first direction X, and the manifold 100 that is in communication with the pressure generation chamber 12. have.

複数の圧力発生室１２は、第１の方向Ｘに並設されている。このため、各圧力発生室１２に連通する共通の液室であるマニホールド１００は、圧力発生室１２が並設される第１の方向Ｘ側が長手方向（長尺）となり、第２の方向Ｙ側が短手方向（短尺）となるように、台形状に設けられている。そして、マニホールド１００のノズルプレート２０側の開口形状も同様に、第１の方向Ｘ側が長手方向となり、第２の方向Ｙ側が短手方向となるように、台形状に設けられている。   The plurality of pressure generation chambers 12 are arranged in parallel in the first direction X. For this reason, in the manifold 100 which is a common liquid chamber communicating with each pressure generating chamber 12, the first direction X side in which the pressure generating chambers 12 are arranged side by side is a longitudinal direction (long), and the second direction Y side is It is provided in a trapezoidal shape so as to be in the short direction (short length). Similarly, the opening shape on the nozzle plate 20 side of the manifold 100 is also provided in a trapezoidal shape so that the first direction X side is the longitudinal direction and the second direction Y side is the short direction.

さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１９が、各圧力発生室１２毎に独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。すなわち、本実施形態では、ノズル２１と第２マニホールド部１８と連通する個別流路として、供給連通路１９と、圧力発生室１２と、ノズル連通路１６と、が設けられている（図４参照）。   Further, the communication plate 15 is provided with a supply communication passage 19 that communicates with one end portion of the pressure generation chamber 12 in the second direction Y independently for each pressure generation chamber 12. The supply communication path 19 communicates the second manifold portion 18 and the pressure generation chamber 12. That is, in this embodiment, the supply communication path 19, the pressure generation chamber 12, and the nozzle communication path 16 are provided as individual flow paths communicating with the nozzle 21 and the second manifold portion 18 (see FIG. 4). ).

このような連通板１５としては、ステンレス鋼やニッケル（Ｎｉ）などの金属、またはジルコニウム（Ｚｒ）などのセラミックス等を用いることができる。なお、連通板１５は、流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料が好ましい。すなわち、連通板１５として流路形成基板１０と線膨張係数が大きく異なる材料を用いた場合、加熱や冷却されることで、流路形成基板１０と連通板１５との線膨張係数の違いにより反りが生じてしまう。本実施形態では、連通板１５として流路形成基板１０と同じ材料、すなわち、シリコン単結晶基板を用いることで、熱による反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。   As the communication plate 15, a metal such as stainless steel or nickel (Ni), or a ceramic such as zirconium (Zr) can be used. The communication plate 15 is preferably made of a material having the same linear expansion coefficient as the flow path forming substrate 10. That is, when a material having a linear expansion coefficient that is significantly different from that of the flow path forming substrate 10 is used as the communication plate 15, warping due to a difference in linear expansion coefficient between the flow path forming substrate 10 and the communication plate 15 due to heating or cooling. Will occur. In this embodiment, by using the same material as the flow path forming substrate 10 as the communication plate 15, that is, a silicon single crystal substrate, it is possible to suppress the occurrence of warping due to heat, cracking due to heat, peeling, and the like.

ノズルプレート２０には、ノズル連通路１６を介して各圧力発生室１２に連通されるノズル２１が形成されている。ノズル２１は、同じ種類の液体（インク）を噴射するものが第１の方向Ｘに並設され、この第１の方向Ｘに並設されたノズル２１の列が第２の方向Ｙに２列形成されている。   In the nozzle plate 20, nozzles 21 communicating with the pressure generation chambers 12 through the nozzle communication passages 16 are formed. Nozzles 21 that eject the same type of liquid (ink) are arranged in parallel in the first direction X, and two rows of nozzles 21 arranged in parallel in the first direction X are arranged in two rows in the second direction Y. Is formed.

このようなノズルプレート２０としては、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属、ポリイミド樹脂のような有機物、又はシリコン単結晶基板等を用いることができる。なお、ノズルプレート２０としてシリコン単結晶基板を用いることで、ノズルプレート２０と連通板１５との線膨張係数を同等として、加熱や冷却されることによる反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。   As such a nozzle plate 20, for example, a metal such as stainless steel (SUS), an organic substance such as a polyimide resin, a silicon single crystal substrate, or the like can be used. In addition, by using a silicon single crystal substrate as the nozzle plate 20, the linear expansion coefficients of the nozzle plate 20 and the communication plate 15 are made equal, and the occurrence of warpage due to heating or cooling, cracks due to heat, peeling, and the like are suppressed. can do.

一方、流路形成基板１０の連通板１５と反対面側には、振動板５０が形成されている（図５参照）。本実施形態では、振動板５０として、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を設けるようにした。なお、圧力発生室１２等の液体流路は、流路形成基板１０を一方面側（ノズルプレート２０が接合された面側）から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室１２等の液体流路の他方面は、弾性膜５１によって画成されている。   On the other hand, a diaphragm 50 is formed on the surface of the flow path forming substrate 10 opposite to the communication plate 15 (see FIG. 5). In the present embodiment, an elastic film 51 made of silicon oxide provided on the flow path forming substrate 10 side and an insulator film 52 made of zirconium oxide provided on the elastic film 51 are provided as the diaphragm 50. I made it. The liquid flow path such as the pressure generation chamber 12 is formed by anisotropically etching the flow path forming substrate 10 from one side (the side where the nozzle plate 20 is bonded). The other surface of the liquid flow path is defined by the elastic film 51.

また、振動板５０の絶縁体膜５２上には、第１電極６０と、圧電体層７０と、第２電極８０とが、積層形成されて圧電アクチュエーター３００を構成している。ここで、圧電アクチュエーター３００は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電アクチュエーター３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、第１電極６０を圧電アクチュエーター３００の共通電極とし、第２電極８０を圧電アクチュエーター３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。   In addition, the first electrode 60, the piezoelectric layer 70, and the second electrode 80 are stacked on the insulator film 52 of the vibration plate 50 to form the piezoelectric actuator 300. Here, the piezoelectric actuator 300 refers to a portion including the first electrode 60, the piezoelectric layer 70, and the second electrode 80. In general, one electrode of the piezoelectric actuator 300 is used as a common electrode, and the other electrode and the piezoelectric layer 70 are patterned for each pressure generating chamber 12. In addition, here, a portion that is configured by any one of the patterned electrodes and the piezoelectric layer 70 and in which piezoelectric distortion is generated by applying a voltage to both electrodes is referred to as a piezoelectric active portion. In the present embodiment, the first electrode 60 is used as a common electrode for the piezoelectric actuator 300 and the second electrode 80 is used as an individual electrode for the piezoelectric actuator 300. However, there is no problem even if this is reversed for the convenience of the drive circuit and wiring.

なお、本実施形態では、第１電極６０が、複数の圧力発生室１２に亘って連続して設けられているため、第１電極６０が振動板の一部として機能するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、上述の弾性膜５１及び絶縁体膜５２を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。ただし、流路形成基板１０上に直接第１電極６０を設ける場合には、第１電極６０とインクとが導通しないように第１電極６０を絶縁性の保護膜等で保護するのが好ましい。つまり、本実施形態では、基板（流路形成基板１０）上に振動板５０を介して第１電極６０を設けた構成を例示したが、特にこれに限定されるものではなく、振動板５０を設けずに第１電極６０を直接基板上に設けるようにしてもよい。すなわち、第１電極６０が振動板として作用するようにしてもよい。   In the present embodiment, since the first electrode 60 is continuously provided across the plurality of pressure generating chambers 12, the first electrode 60 functions as a part of the diaphragm, but of course, the present invention is not limited thereto. For example, the first electrode 60 may function as a diaphragm without providing the elastic film 51 and the insulator film 52 described above. Further, the piezoelectric actuator 300 itself may substantially serve as a diaphragm. However, when the first electrode 60 is provided directly on the flow path forming substrate 10, it is preferable to protect the first electrode 60 with an insulating protective film or the like so that the first electrode 60 and the ink are not electrically connected. That is, in the present embodiment, the configuration in which the first electrode 60 is provided on the substrate (the flow path forming substrate 10) via the vibration plate 50 is illustrated, but the present invention is not particularly limited thereto. You may make it provide the 1st electrode 60 directly on a board | substrate, without providing. That is, you may make it the 1st electrode 60 act as a diaphragm.

さらに、このような圧電アクチュエーター３００の個別電極である各第２電極８０は、供給連通路１９と反対側の端部近傍から引き出され、振動板５０上まで延設される。第２電極８０は、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０が接続されている（図５参照）。   Further, each second electrode 80 that is an individual electrode of such a piezoelectric actuator 300 is drawn out from the vicinity of the end portion on the opposite side to the supply communication path 19 and extended to the diaphragm 50. The second electrode 80 is connected to a lead electrode 90 made of, for example, gold (Au) or the like (see FIG. 5).

また、流路形成基板１０の圧力発生手段である圧電アクチュエーター３００側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護するための空間である保持部３１を有する。   A protective substrate 30 having substantially the same size as the flow path forming substrate 10 is bonded to the surface of the flow path forming substrate 10 on the side of the piezoelectric actuator 300 that is a pressure generating means. The protective substrate 30 has a holding portion 31 that is a space for protecting the piezoelectric actuator 300.

また、このような構成のヘッド本体１１には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド１００をヘッド本体１１と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。具体的には、ケース部材４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する（図４参照）。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。これにより、流路形成基板１０の外周部には、ケース部材４０とヘッド本体１１とによって第３マニホールド部４２が画成されている。そして、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と、ケース部材４０とヘッド本体１１とによって画成された第３マニホールド部４２と、によって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。   In addition, a case member 40 is fixed to the head main body 11 having such a configuration. The case member 40 defines a manifold 100 communicating with the plurality of pressure generating chambers 12 together with the head main body 11. The case member 40 has substantially the same shape as the communication plate 15 described above in a plan view, and is bonded to the protective substrate 30 and is also bonded to the communication plate 15 described above. Specifically, the case member 40 has a recess 41 having a depth in which the flow path forming substrate 10 and the protective substrate 30 are accommodated on the protective substrate 30 side (see FIG. 4). The concave portion 41 has an opening area larger than the surface of the protective substrate 30 bonded to the flow path forming substrate 10. The opening surface on the nozzle plate 20 side of the recess 41 is sealed by the communication plate 15 in a state where the flow path forming substrate 10 and the like are accommodated in the recess 41. As a result, a third manifold portion 42 is defined by the case member 40 and the head body 11 on the outer peripheral portion of the flow path forming substrate 10. The manifold 100 of this embodiment is configured by the first manifold portion 17 and the second manifold portion 18 provided on the communication plate 15, and the third manifold portion 42 defined by the case member 40 and the head body 11. It is configured.

すなわち、マニホールド１００は、第１マニホールド部１７、第２マニホールド部１８及び第３マニホールド部４２を具備する。また、本実施形態のマニホールド１００は、第２の方向Ｙにおいて、２列の圧力発生室１２の両外側に配置されており、２列の圧力発生室１２の両外側に設けられた二つのマニホールド１００は、記録ヘッドＩＩ内では連通しないようにそれぞれ独立して設けられている。すなわち、本実施形態の圧力発生室１２の列（第１の方向Ｘに並設された圧力発生室１２の列）毎に一つのマニホールド１００が連通して設けられている。   That is, the manifold 100 includes the first manifold portion 17, the second manifold portion 18, and the third manifold portion 42. Further, the manifold 100 of the present embodiment is arranged on both outer sides of the two rows of pressure generating chambers 12 in the second direction Y, and two manifolds provided on both outer sides of the two rows of pressure generating chambers 12. 100 are provided independently so as not to communicate with each other in the recording head II. That is, one manifold 100 is provided in communication with each row of pressure generation chambers 12 of this embodiment (rows of pressure generation chambers 12 arranged in parallel in the first direction X).

また、ケース部材４０には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための導入路４４が設けられている（図１参照）。また、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線基板１２１が挿通される接続口４３が設けられている（図１参照）。なお、接続口４３を挿通された配線基板１２１はリード電極９０と接続される。また、配線基板１２１には駆動回路１２０が設けられている（図１参照）。   Further, the case member 40 is provided with an introduction path 44 that communicates with the manifold 100 and supplies ink to each manifold 100 (see FIG. 1). The case member 40 is provided with a connection port 43 that communicates with the through hole 32 of the protective substrate 30 and through which the wiring substrate 121 is inserted (see FIG. 1). The wiring board 121 inserted through the connection port 43 is connected to the lead electrode 90. The wiring board 121 is provided with a drive circuit 120 (see FIG. 1).

なお、二つのマニホールド１００は、記録ヘッドＩＩの上流側、すなわち、詳しくは後述するマニホールド１００に連通する導入路４４に接続される上流流路で連通していてもよい。   Note that the two manifolds 100 may communicate with each other on the upstream side of the recording head II, that is, with an upstream flow path connected to an introduction path 44 that communicates with the manifold 100 described in detail later.

このようなケース部材４０の材料としては、例えば、樹脂や金属等を用いることができる。例えば、樹脂材料を成型してケース部材４０を形成することにより、低コストで量産することができる。   As a material of the case member 40, for example, resin, metal, or the like can be used. For example, by forming the case member 40 by molding a resin material, it can be mass-produced at a low cost.

また、図４及び図５に示すように、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。コンプライアンス基板４５は、平面視において上述した連通板１５と略同じ大きさを有し、ノズルプレート２０を露出する第１露出開口部４５ａが設けられている。そして、このコンプライアンス基板４５が第１露出開口部４５ａによってノズルプレート２０を露出した状態で、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８の液体噴射面２０ａ側の開口を封止している。   As shown in FIGS. 4 and 5, a compliance substrate 45 is provided on the surface of the communication plate 15 where the first manifold portion 17 and the second manifold portion 18 are opened. The compliance substrate 45 has substantially the same size as the communication plate 15 described above in plan view, and is provided with a first exposure opening 45a that exposes the nozzle plate 20. The compliance substrate 45 seals the opening on the liquid ejection surface 20a side of the first manifold portion 17 and the second manifold portion 18 in a state where the nozzle plate 20 is exposed by the first exposed opening portion 45a.

このように、コンプライアンス基板４５は、マニホールド１００の一部を画成している。コンプライアンス基板４５は、可撓性を有する材料で形成されたフィルム４６と、フィルム４６の連通板１５とは反対側に固定された枠部材４７とを具備する。
なお、フィルム４６は、「可撓部材」の一例である。 As described above, the compliance substrate 45 defines a part of the manifold 100. The compliance substrate 45 includes a film 46 formed of a flexible material, and a frame member 47 fixed to the opposite side of the communication plate 15 of the film 46.
The film 46 is an example of a “flexible member”.

フィルム４６は、可撓性を有するフィルム状の薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、芳香族ポリアミド（アラミド）等により形成された厚さが２０μｍ以下の薄膜）で構成される。
枠部材４７は、フィルム４６よりも硬質で弾性を有する部材で構成されている。枠部材４７の構成材料としては、例えばステンレス鋼（ＳＵＳ）やＮｉ電鋳等の金属を使用することができる。枠部材４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口４８となっている。このため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有するフィルム４６のみで封止されたコンプライアンス領域４９となっている。すなわち、フィルム４６は、マニホールド１００の一部を形成し、可撓性を有する。 The film 46 is composed of a flexible film-like thin film (for example, a thin film having a thickness of 20 μm or less formed of polyphenylene sulfide (PPS), aromatic polyamide (aramid), or the like).
The frame member 47 is composed of a member that is harder and more elastic than the film 46. As a constituent material of the frame member 47, for example, a metal such as stainless steel (SUS) or Ni electroforming can be used. An area of the frame member 47 that faces the manifold 100 is an opening 48 that is completely removed in the thickness direction. Therefore, one surface of the manifold 100 is a compliance region 49 that is sealed only by the flexible film 46. That is, the film 46 forms a part of the manifold 100 and has flexibility.

すなわち、枠部材４７に開口４８を設けることで、フィルム４６と蓋部材であるカバーヘッド１３０とを離間するためのコンプライアンス空間１３１が形成されている。そして、枠部材４７は、フィルム４６とカバーヘッド１３０との間に配置される。さらに、コンプライアンス空間１３１によって、フィルム４６の一部（開口４８の内側に配置されるフィルム４６）をコンプライアンス領域４９として変位可能としている。
換言すれば、枠部材４７に設けられた開口４８が、マニホールド１００内の圧力変動に応じてフィルム４６を変位可能とするコンプライアンス領域４９となる。さらに、マニホールド１００にコンプライアンス領域４９を設けることによって、マニホールド１００に充填されたインクの急激な圧力変動が抑制される。
なお、コンプライアンス空間１３１は、「蓋部材と可撓部材との間に形成される空間」の一例である。開口４８は、「可撓部材を変位可能とする開口」の一例である。 That is, by providing the opening 48 in the frame member 47, a compliance space 131 for separating the film 46 and the cover head 130 as the lid member is formed. The frame member 47 is disposed between the film 46 and the cover head 130. Further, the compliance space 131 allows a part of the film 46 (the film 46 disposed inside the opening 48) to be displaced as the compliance region 49.
In other words, the opening 48 provided in the frame member 47 becomes a compliance region 49 that allows the film 46 to be displaced according to the pressure fluctuation in the manifold 100. Furthermore, by providing the compliance region 49 in the manifold 100, rapid pressure fluctuation of the ink filled in the manifold 100 is suppressed.
The compliance space 131 is an example of “a space formed between the lid member and the flexible member”. The opening 48 is an example of an “opening that allows the flexible member to be displaced”.

また、本実施形態では、一つのマニホールド１００に対応して一つのコンプライアンス領域４９が設けられている。すなわち、本実施形態では、マニホールド１００が二つ設けられているため、ノズルプレート２０を挟んで第２の方向Ｙの両側に二つのコンプライアンス領域４９が設けられている。   In the present embodiment, one compliance region 49 is provided corresponding to one manifold 100. That is, in this embodiment, since two manifolds 100 are provided, two compliance regions 49 are provided on both sides in the second direction Y across the nozzle plate 20.

なお、コンプライアンス基板４５は、例えば、フィルム４６の一方面の全面に亘って接着剤を塗布した後、フィルム４６の接着剤が形成された一方面に枠部材４７を接着することで形成される。従って、図５に示すように、枠部材４７の開口４８で露出されたコンプライアンス領域４９にも接着剤が硬化した接着層４６ａが形成されている。   The compliance substrate 45 is formed, for example, by applying an adhesive over the entire surface of one side of the film 46 and then bonding the frame member 47 to the one side where the adhesive of the film 46 is formed. Therefore, as shown in FIG. 5, an adhesive layer 46 a in which the adhesive is cured is also formed in the compliance region 49 exposed at the opening 48 of the frame member 47.

ここで、開口４８によって規定されるコンプライアンス領域４９は、図３に示すように、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙにおいて、長手方向及び短手方向を有する。なお、コンプライアンス領域４９が長手方向及び短手方向を有するとは、コンプライアンス領域４９の縦横比（アスペクト比）が１：１以外のものを言う。また、コンプライアンス領域４９の形状は特に限定されず、例えば、矩形状、台形状、平行四辺形状、多角形状、楕円形状等であってもよい。本実施形態では、上述のようにマニホールド１００のコンプライアンス基板４５側の開口は、第１の方向Ｘに長手方向を有し、第２の方向Ｙに短手方向を有する台形状に設けられているため、コンプライアンス領域４９はマニホールド１００の開口形状と同様に、第１の方向Ｘに長手方向を有し、第２の方向Ｙに短手方向を有する台形状に設けられている。これにより、マニホールド１００の開口に対して、できるだけ大きな面積でコンプライアンス領域４９を設けることができ、記録ヘッドＩＩの小型化を図ることができる。もちろん、コンプライアンス領域４９は、必ずしもマニホールド１００の開口形状と同じ形状で設ける必要はなく、マニホールド１００の開口形状と異なる形状で設けるようにしてもよい。   Here, the compliance region 49 defined by the opening 48 has a longitudinal direction and a lateral direction in the first direction X and the second direction Y, as shown in FIG. The compliance region 49 having a longitudinal direction and a short direction means that the compliance region 49 has an aspect ratio (aspect ratio) other than 1: 1. The shape of the compliance region 49 is not particularly limited, and may be, for example, a rectangular shape, a trapezoidal shape, a parallelogram shape, a polygonal shape, an elliptical shape, or the like. In the present embodiment, as described above, the opening on the compliance substrate 45 side of the manifold 100 is provided in a trapezoidal shape having a longitudinal direction in the first direction X and a short direction in the second direction Y. Therefore, the compliance region 49 is provided in a trapezoidal shape having a longitudinal direction in the first direction X and a short direction in the second direction Y, similarly to the opening shape of the manifold 100. As a result, the compliance region 49 can be provided in the largest possible area with respect to the opening of the manifold 100, and the recording head II can be downsized. Of course, the compliance region 49 is not necessarily provided in the same shape as the opening shape of the manifold 100, and may be provided in a shape different from the opening shape of the manifold 100.

さらに、図４及び図５に示すように、ヘッド本体１１の液体噴射面２０ａ側には、カバーヘッド１３０が設けられている。
カバーヘッド１３０には、ノズル２１を露出する第２露出開口部１３２が設けられている。本実施形態では、第２露出開口部１３２は、ノズルプレート２０を露出する大きさ、つまり、コンプライアンス基板４５の第１露出開口部４５ａと略同じ開口を有する。
また、カバーヘッド１３０は、ヘッド本体１１の側面（液体噴射面２０ａとは交差する面）を覆うように、液体噴射面２０ａ側から端部が屈曲して設けられている。 Further, as shown in FIGS. 4 and 5, a cover head 130 is provided on the liquid ejecting surface 20 a side of the head body 11.
The cover head 130 is provided with a second exposure opening 132 that exposes the nozzle 21. In the present embodiment, the second exposure opening 132 has a size that exposes the nozzle plate 20, that is, an opening that is substantially the same as the first exposure opening 45 a of the compliance substrate 45.
Further, the cover head 130 is provided with a bent end from the liquid ejection surface 20a side so as to cover the side surface of the head body 11 (a surface intersecting the liquid ejection surface 20a).

このようなカバーヘッド１３０は、コンプライアンス基板４５の連通板１５とは反対面側に接合されており、コンプライアンス領域４９の流路（マニホールド１００）とは反対側の空間を封止する。すなわち、蓋部材であるカバーヘッド１３０は、コンプライアンス領域４９との間にコンプライアンス空間１３１を配した状態でコンプライアンス領域４９を覆うように設けられている。このようにコンプライアンス領域４９を蓋部材であるカバーヘッド１３０で覆うことにより、コンプライアンス領域４９が紙等の被記録媒体が接触しても破壊されるのを抑制することができる。また、コンプライアンス領域４９にインク（液体）が付着するのを抑制して、カバーヘッド１３０の表面に付着したインク（液体）を例えばワイパーブレード等で払拭することができ、被記録媒体をカバーヘッド１３０に付着したインク等で汚すのを抑制することができる。   Such a cover head 130 is joined to the surface of the compliance substrate 45 opposite to the communication plate 15 and seals the space of the compliance region 49 opposite to the flow path (manifold 100). That is, the cover head 130 which is a lid member is provided so as to cover the compliance region 49 in a state where the compliance space 131 is disposed between the cover head 130 and the compliance region 49. Thus, by covering the compliance area 49 with the cover head 130 which is a lid member, the compliance area 49 can be prevented from being destroyed even when a recording medium such as paper comes into contact. Further, it is possible to suppress the ink (liquid) from adhering to the compliance region 49 and to wipe the ink (liquid) adhering to the surface of the cover head 130 with, for example, a wiper blade, and the recording medium can be removed from the cover head 130. It is possible to suppress contamination with ink or the like adhering to the ink.

図３及び図５に示すように、枠部材４７は、本体部４７ａと、片持ち梁１５０と、支持部１５２とを有している。本体部４７ａと片持ち梁１５０と支持部１５２とは、同じ材料（例えば、ＳＵＳ）で一体成型されている。片持ち梁１５０及び支持部１５２は、コンプライアンス領域４９のフィルム４６とカバーヘッド１３０との間に形成されるコンプライアンス空間１３１内に配置され、コンプライアンス領域４９のフィルム４６と一緒に変位可能となっている。
すなわち、片持ち梁１５０及び支持部１５２は、接着層４６ａによってコンプライアンス領域４９のフィルム４６に固定され、コンプライアンス領域４９のフィルム４６と一緒に変位可能となっている。
なお、片持ち梁１５０とフィルム４６との間に接着層４６ａが配置されず、片持ち梁１５０がコンプライアンス領域４９のフィルム４６に固定されていない構成であってもよい。 As shown in FIGS. 3 and 5, the frame member 47 includes a main body portion 47 a, a cantilever beam 150, and a support portion 152. The main body 47a, the cantilever 150, and the support 152 are integrally formed of the same material (for example, SUS). The cantilever 150 and the support 152 are disposed in a compliance space 131 formed between the film 46 in the compliance region 49 and the cover head 130, and can be displaced together with the film 46 in the compliance region 49. .
That is, the cantilever 150 and the support portion 152 are fixed to the film 46 in the compliance region 49 by the adhesive layer 46 a and can be displaced together with the film 46 in the compliance region 49.
Note that the adhesive layer 46 a may not be disposed between the cantilever 150 and the film 46, and the cantilever 150 may not be fixed to the film 46 in the compliance region 49.

本体部４７ａの一方の面は、接着層４６ａを介してフィルム４６に固定され、本体部４７ａの他方の面は、接着層１３５を介してカバーヘッド１３０に固定されている。本体部４７ａには、第１露出開口部４５ａや開口４８が設けられている。このように、本体部４７ａは、フィルム４６に固定され、マニホールド１００内の圧力変動に応じてフィルム４６を変位可能とする開口４８を有する。
片持ち梁１５０及び支持部１５２は、本体部４７ａの開口４８の内側に配置されている。片持ち梁１５０は、開口４８の縁から第２の方向Ｙに突出し、先端１５１（図５参照）が変位可能となっている。具体的には、片持ち梁１５０は、第２の方向Ｙにおける開口４８の外側の縁から、ノズル２１が位置する内側（圧力発生室１２が配置される側）に向かって突出している。すなわち、片持ち梁１５０では、開口４８の縁の側が固定端（支持点）となり、先端１５１が変位可能な自由端となり、片持ち梁１５０が変位する。
さらに、支持部１５２は、片持ち梁１５０の先端１５１に設けられ、コンプライアンス領域４９のフィルム４６に固定されている。 One surface of the main body portion 47a is fixed to the film 46 via an adhesive layer 46a, and the other surface of the main body portion 47a is fixed to the cover head 130 via an adhesive layer 135. A first exposed opening 45a and an opening 48 are provided in the main body 47a. As described above, the main body 47 a is fixed to the film 46 and has an opening 48 that allows the film 46 to be displaced in accordance with pressure fluctuation in the manifold 100.
The cantilever 150 and the support portion 152 are disposed inside the opening 48 of the main body portion 47a. The cantilever 150 protrudes from the edge of the opening 48 in the second direction Y, and the tip 151 (see FIG. 5) can be displaced. Specifically, the cantilever 150 protrudes from the outer edge of the opening 48 in the second direction Y toward the inside where the nozzle 21 is located (the side where the pressure generating chamber 12 is disposed). That is, in the cantilever 150, the edge side of the opening 48 becomes a fixed end (support point), the tip 151 becomes a displaceable free end, and the cantilever 150 is displaced.
Further, the support portion 152 is provided at the tip 151 of the cantilever 150 and is fixed to the film 46 in the compliance region 49.

片持ち梁１５０は、本体部４７ａに設けられた開口４８の縁から第２の方向Ｙに突出するように設けられている。片持ち梁１５０は、接着層４６ａを介してフィルム４６に固定されている。片持ち梁１５０は、カバーヘッド１３０に固定されず、カバーヘッド１３０に対して変位可能となっている。   The cantilever 150 is provided so as to protrude in the second direction Y from the edge of the opening 48 provided in the main body 47a. The cantilever 150 is fixed to the film 46 through an adhesive layer 46a. The cantilever 150 is not fixed to the cover head 130 but can be displaced with respect to the cover head 130.

支持部１５２は、開口４８の中心を通り、第１の方向Ｘに延在している。支持部１５２は接着層４６ａを介してフィルム４６に固定されている。支持部１５２は、カバーヘッド１３０に固定されず、カバーヘッド１３０に対して変位可能となっている。
フィルム４６は、開口４８の中心で最も変位しやすく、最も大きく変位する。このため、開口４８の中心が、フィルム４６が最も変位しやすく、最も大きく変位する部分に相当する。支持部１５２は、フィルム４６が最も大きく変位する部分の少なくとも一部に固定されている。 The support part 152 passes through the center of the opening 48 and extends in the first direction X. The support part 152 is fixed to the film 46 through the adhesive layer 46a. The support portion 152 is not fixed to the cover head 130 and can be displaced with respect to the cover head 130.
The film 46 is most easily displaced at the center of the opening 48 and is displaced most greatly. For this reason, the center of the opening 48 corresponds to a portion where the film 46 is most easily displaced and is displaced most greatly. The support portion 152 is fixed to at least a part of a portion where the film 46 is displaced most greatly.

このように、片持ち梁１５０と片持ち梁１５０の先端１５１に設けられた支持部１５２とは、フィルム４６に固定され、カバーヘッド１３０に固定されていないので、コンプライアンス空間１３１において、片持ち梁１５０及び支持部１５２がコンプライアンス領域４９のフィルム４６と一緒に変位する。   As described above, the cantilever 150 and the support portion 152 provided at the tip 151 of the cantilever 150 are fixed to the film 46 and are not fixed to the cover head 130. 150 and the support 152 are displaced together with the film 46 in the compliance region 49.

コンプライアンス領域４９のフィルム４６には、マニホールド１００内の圧力に対応する力（以降、変形力と称す）が作用する。コンプライアンス領域４９のフィルム４６は、当該変形力によって変位（変形）する。
本実施形態では、ノズル２１からインクが噴射されない待機状態において、マニホールド１００内の圧力が負圧（大気圧を基準）となっている。さらに、ノズル２１からインクが噴射され、マニホールド１００内のインクが消費されると、マニホールド１００内の負圧が高められる。このため、マニホールド１００内にインクが充填された場合、コンプライアンス領域４９のフィルム４６は、変形力によってカバーヘッド１３０から遠ざかる方向（以降、上下方向と称す）に変位する。 A force (hereinafter referred to as a deformation force) corresponding to the pressure in the manifold 100 acts on the film 46 in the compliance region 49. The film 46 in the compliance region 49 is displaced (deformed) by the deformation force.
In the present embodiment, in a standby state where ink is not ejected from the nozzles 21, the pressure in the manifold 100 is negative (referenced to atmospheric pressure). Further, when ink is ejected from the nozzle 21 and the ink in the manifold 100 is consumed, the negative pressure in the manifold 100 is increased. Therefore, when the manifold 100 is filled with ink, the film 46 in the compliance region 49 is displaced in a direction away from the cover head 130 (hereinafter referred to as the vertical direction) due to the deformation force.

この変形力は、フィルム４６を介して支持部１５２に伝達され、さらに支持部１５２を介して片持ち梁１５０の先端１５１に伝達される。すなわち、片持ち梁１５０の先端１５１に支持部１５２を設けることによって、変形力が片持ち梁１５０の先端１５１に集中的に作用する。その結果、片持ち梁１５０は、開口４８の縁の側を固定端として変位する。さらに、片持ち梁１５０の先端１５１に設けられた支持部１５２も、片持ち梁１５０と一緒に変位する。   This deformation force is transmitted to the support portion 152 via the film 46 and further transmitted to the tip 151 of the cantilever 150 via the support portion 152. That is, by providing the support portion 152 at the tip 151 of the cantilever 150, the deformation force acts on the tip 151 of the cantilever 150 in a concentrated manner. As a result, the cantilever 150 is displaced with the edge side of the opening 48 as a fixed end. Further, the support portion 152 provided at the tip 151 of the cantilever 150 is also displaced together with the cantilever 150.

片持ち梁１５０は、弾性部材で構成された一種のばね板である。このため、片持ち梁１５０に変形力が作用し、片持ち梁１５０が変位すると、片持ち梁１５０には元の形状に戻ろうとする力（以降、変形力に抗する力と称す）が作用する。   The cantilever 150 is a kind of spring plate made of an elastic member. For this reason, when a deformation force acts on the cantilever beam 150 and the cantilever beam 150 is displaced, a force (hereinafter referred to as a force against the deformation force) is applied to the cantilever beam 150 to return to the original shape. To do.

変形力に抗する力は、片持ち梁１５０から、支持部１５２を介してコンプライアンス領域４９のフィルム４６に伝達される。コンプライアンス領域４９のフィルム４６には、変形力に抗する力が片持ち梁１５０から支持部１５２を介して作用するので、コンプライアンス領域４９のフィルム４６に対する変形力の影響が弱められる。例えば、マニホールド１００内の急激な圧力変化が生じ変形力が過度に強くなった場合であっても、変形力の影響が弱められるので、フィルム４６の過度な変位（変形）が抑制される。
このように、片持ち梁１５０は、コンプライアンス領域４９のフィルム４６の過度な変位（変形）を抑制する役割を有する。 A force that resists the deformation force is transmitted from the cantilever 150 to the film 46 in the compliance region 49 via the support portion 152. Since the force resisting the deformation force acts on the film 46 in the compliance region 49 from the cantilever 150 via the support portion 152, the influence of the deformation force on the film 46 in the compliance region 49 is weakened. For example, even when a sudden pressure change in the manifold 100 occurs and the deformation force becomes excessively strong, the influence of the deformation force is weakened, so that excessive displacement (deformation) of the film 46 is suppressed.
Thus, the cantilever 150 has a role of suppressing excessive displacement (deformation) of the film 46 in the compliance region 49.

支持部１５２は、変形力を片持ち梁１５０に伝達し、さらに変形力に抗する力をフィルム４６に伝達する役割を有する。
コンプライアンス領域４９のフィルム４６の変位が不均一であると、コンプライアンス領域４９によってマニホールド１００内の圧力変動が適正に調整されなくなるおそれがあるので、コンプライアンス領域４９のフィルム４６は均一に変位することが好ましい。
例えば、支持部１５２が変形すると、支持部１５２の変形の状態によって、支持部１５２から片持ち梁１５０やフィルム４６に作用する力の方向が変化し、片持ち梁１５０やフィルム４６の変位が不均一になりやすい。一方、支持部１５２が変形しにくいと、支持部１５２から片持ち梁１５０やフィルム４６に作用する力の方向が変化しにくく、片持ち梁１５０やフィルム４６は均一に変位しやすい。
片持ち梁１５０やフィルム４６を均一に変位させ、コンプライアンス領域４９によってマニホールド１００内の圧力変動を適正に調整するために、支持部１５２は、片持ち梁１５０よりも厚く、変位しにくくなっている。 The support portion 152 has a role of transmitting a deformation force to the cantilever 150 and further transmitting a force against the deformation force to the film 46.
If the displacement of the film 46 in the compliance region 49 is non-uniform, the pressure fluctuation in the manifold 100 may not be properly adjusted by the compliance region 49. Therefore, the film 46 in the compliance region 49 is preferably displaced uniformly. .
For example, when the support portion 152 is deformed, the direction of the force acting on the cantilever 150 and the film 46 from the support portion 152 changes depending on the deformation state of the support portion 152, and the displacement of the cantilever 150 and the film 46 is not allowed. It tends to be uniform. On the other hand, if the support portion 152 is not easily deformed, the direction of the force acting on the cantilever 150 and the film 46 from the support portion 152 is difficult to change, and the cantilever 150 and the film 46 are easily displaced uniformly.
In order to uniformly displace the cantilever 150 and the film 46 and properly adjust the pressure fluctuation in the manifold 100 by the compliance region 49, the support portion 152 is thicker than the cantilever 150 and is difficult to displace. .

仮に、片持ち梁１５０が、支持部１５２よりも剛性が高く、変位しにくい場合、コンプライアンス領域４９のフィルム４６の過度な変位（変形）を抑制することができるが、コンプライアンス領域４９のフィルム４６の適正な変位が阻害される。
例えば、マニホールド１００内の圧力変化を小さくし、マニホールド１００内の圧力を安定させるためには、コンプライアンス領域４９のフィルム４６は適正に変位することが好ましい。このため、片持ち梁１５０も適正に変位することが好ましい。従って、片持ち梁１５０は、変形力によって適正に変位（弾性変形）しやすいことが好ましく、支持部１５２よりも剛性が低いことが好ましい。
このため、片持ち梁１５０は、支持部１５２よりも薄く、変位（弾性変形）しやすくなっている。 If the cantilever 150 has higher rigidity than the support portion 152 and is difficult to displace, excessive displacement (deformation) of the film 46 in the compliance region 49 can be suppressed. Proper displacement is hindered.
For example, in order to reduce the pressure change in the manifold 100 and stabilize the pressure in the manifold 100, the film 46 in the compliance region 49 is preferably displaced appropriately. For this reason, it is preferable that the cantilever 150 is also displaced appropriately. Therefore, the cantilever 150 is preferably easily displaced (elastically deformed) appropriately by a deformation force, and preferably has a lower rigidity than the support portion 152.
For this reason, the cantilever 150 is thinner than the support portion 152 and is easily displaced (elastically deformed).

片持ち梁１５０は、支持部１５２よりも薄いので、片持ち梁１５０と支持部１５２との境界に段差１５３が形成されている。また、本体部４７ａは、支持部１５２と同じ厚さであり、片持ち梁１５０よりも厚い。このため、片持ち梁１５０と本体部４７ａとの境界にも、同様の段差が形成される。   Since the cantilever 150 is thinner than the support portion 152, a step 153 is formed at the boundary between the cantilever 150 and the support portion 152. Further, the main body portion 47 a has the same thickness as the support portion 152 and is thicker than the cantilever 150. For this reason, the same level | step difference is formed also in the boundary of the cantilever 150 and the main-body part 47a.

換言すれば、枠部材４７の薄くなった部分が、片持ち梁１５０である。第１の方向Ｘに延在する枠部材４７の厚くなった部分が、支持部１５２である。そして、片持ち梁１５０の支持部１５２に接する部分が、片持ち梁１５０の先端１５１である。さらに、第１露出開口部４５ａや開口４８が設けられた枠部材４７の厚くなった部分が、本体部４７ａである。   In other words, the thinned portion of the frame member 47 is the cantilever 150. A thickened portion of the frame member 47 extending in the first direction X is a support portion 152. The portion of the cantilever 150 that contacts the support portion 152 is the tip 151 of the cantilever 150. Furthermore, the thickened portion of the frame member 47 provided with the first exposed opening 45a and the opening 48 is the main body 47a.

なお、片持ち梁１５０と支持部１５２とは、同じ厚さであってもよい。さらに、片持ち梁１５０と支持部１５２とは、同じ材料で構成されることに限定されず、異なる材料で構成されていてもよい。
例えば、片持ち梁１５０と支持部１５２とが同じ厚さである場合、片持ち梁１５０は変形しやすい材料で構成され、支持部１５２は変形しにくい材料で構成されることが好ましい。 Note that the cantilever 150 and the support portion 152 may have the same thickness. Furthermore, the cantilever 150 and the support portion 152 are not limited to being made of the same material, and may be made of different materials.
For example, when the cantilever 150 and the support portion 152 have the same thickness, the cantilever 150 is preferably made of a material that is easily deformed, and the support portion 152 is preferably made of a material that is difficult to deform.

なお、片持ち梁１５０は、開口４８の縁に固定された部分から先端１５１に向けて薄くなっている構成であってもよい。片持ち梁１５０を、開口４８の縁に固定された部分から先端１５１に向けて薄くすると、開口４８の縁に固定された部分における応力集中を緩和することができる。   Note that the cantilever 150 may be configured so as to become thinner from the portion fixed to the edge of the opening 48 toward the tip 151. When the cantilever 150 is thinned from the portion fixed to the edge of the opening 48 toward the tip 151, stress concentration in the portion fixed to the edge of the opening 48 can be reduced.

図６Ａ及び図６Ｂは、本実施形態に係る記録ヘッドのコンプライアンス領域におけるフィルムの変位状態を示す概略図である。図７は、比較例に係る記録ヘッドのコンプライアンス領域におけるフィルムの変位状態を示す概略図である。また、図６Ｂと図７とは、同じ状態が図示されている。
なお、比較例に係る記録ヘッドでは、梁部材５６に片持ち梁１５０及び支持部１５２が設けられていない点が、本実施形態に係る記録ヘッドＩＩと異なる。 6A and 6B are schematic views showing the displacement state of the film in the compliance region of the recording head according to the present embodiment. FIG. 7 is a schematic view showing a displacement state of the film in the compliance region of the recording head according to the comparative example. 6B and 7 show the same state.
The recording head according to the comparative example is different from the recording head II according to the present embodiment in that the beam member 56 is not provided with the cantilever 150 and the support portion 152.

図６Ａに示すように、本実施形態に係る記録ヘッドＩＩでは、ノズル２１からインクが噴射されない待機状態の場合、マニホールド１００内の圧力は負圧（大気圧を基準）となっているため、コンプライアンス領域４９のフィルム４６は、マニホールド１００の内側に（上下方向に）に撓み変形する。   As shown in FIG. 6A, in the recording head II according to the present embodiment, in the standby state in which ink is not ejected from the nozzles 21, the pressure in the manifold 100 is negative (referenced to atmospheric pressure). The film 46 in the region 49 is bent and deformed inside the manifold 100 (in the vertical direction).

図６Ｂに示すように、ノズル２１からインクが噴射され、マニホールド１００内のインクが消費されると、マニホールド１００内の負圧が高まり、コンプライアンス領域４９のフィルム４６は、片持ち梁１５０を弾性変形させながらマニホールド１００の内側に（上下方向に）にさらに撓み変形する。
上述したように、フィルム４６を撓み変形させる力（変形力）に抗する力が、片持ち梁１５０から支持部１５２を介してフィルム４６に作用するので、片持ち梁１５０が設けられていない場合と比べてフィルム４６の撓み変形が抑制される。片持ち梁１５０は、マニホールド１００内の圧力変化を緩和する方向に作用するので、印刷開始時及び印刷途中において、マニホールド１００内の圧力変動が小さくなる。従って、印刷中のインクの噴射特性の変動、特にインク滴の重量のばらつきが抑制される。 As shown in FIG. 6B, when the ink is ejected from the nozzle 21 and the ink in the manifold 100 is consumed, the negative pressure in the manifold 100 increases, and the film 46 in the compliance region 49 elastically deforms the cantilever 150. Then, it is further bent and deformed inside the manifold 100 (in the vertical direction).
As described above, the force that resists the deformation force (deformation force) of the film 46 acts on the film 46 from the cantilever 150 via the support portion 152, and therefore, when the cantilever 150 is not provided. As compared with the above, the bending deformation of the film 46 is suppressed. Since the cantilever 150 acts in a direction to relieve the pressure change in the manifold 100, the pressure fluctuation in the manifold 100 becomes small at the start of printing and during printing. Therefore, fluctuations in ink ejection characteristics during printing, particularly variations in ink droplet weight, are suppressed.

図７は、図６Ｂと同じ状態であり、マニホールド１００内のインクが消費され、マニホールド１００内の負圧が高まった状態が図示されている。
図７に示すように、比較例に係る記録ヘッドでは、マニホールド１００内のインクが消費され、マニホールド１００内の負圧が高まった場合、梁部材５６に片持ち梁１５０及び支持部１５２が設けられていないので、コンプライアンス領域４９のフィルム４６がさらに大きく撓み変形する。仮に、コンプライアンス領域４９のフィルム４６が撓み切ってしまうと、フィルム４６はこれ以上撓み変形しにくくなるので、マニホールド１００内の圧力調整が難しくなる。
従って、比較例に係る記録ヘッドは、本実施形態に係る記録ヘッドＩＩと比べて、マニホールド１００内の圧力調整能力が弱くなる。一方、本実施形態に係る記録ヘッドＩＩは、コンプライアンス領域４９のフィルム４６が撓み切ってしまうという過度の変形が抑制されるので、マニホールド１００内の圧力を適正に調整することができる。 FIG. 7 shows the same state as FIG. 6B, in which the ink in the manifold 100 has been consumed and the negative pressure in the manifold 100 has increased.
As shown in FIG. 7, in the recording head according to the comparative example, when the ink in the manifold 100 is consumed and the negative pressure in the manifold 100 increases, the cantilever 150 and the support portion 152 are provided on the beam member 56. Therefore, the film 46 in the compliance region 49 is further bent and deformed. If the film 46 in the compliance region 49 is bent completely, the film 46 becomes more difficult to bend and deform, so that it is difficult to adjust the pressure in the manifold 100.
Therefore, the recording head according to the comparative example has a weaker pressure adjustment capability in the manifold 100 than the recording head II according to the present embodiment. On the other hand, in the recording head II according to the present embodiment, excessive deformation in which the film 46 in the compliance region 49 is bent is suppressed, so that the pressure in the manifold 100 can be adjusted appropriately.

図８は、待機状態からインクの噴射を開始した際のマニホールド内の圧力変動の状態を示す概略図である。
図８では、縦軸がマニホールド１００内の圧力であり、横軸がインクの噴射を開始してからの時間（経過時間）である。また、図中の実線は本実施形態に係る記録ヘッドＩＩに対応し、図中の破線は比較例に係る記録ヘッドに対応する。 FIG. 8 is a schematic diagram showing a state of pressure fluctuation in the manifold when ink ejection is started from the standby state.
In FIG. 8, the vertical axis represents the pressure in the manifold 100, and the horizontal axis represents the time (elapsed time) from the start of ink ejection. Further, the solid line in the figure corresponds to the recording head II according to the present embodiment, and the broken line in the figure corresponds to the recording head according to the comparative example.

図８の破線で示すように、比較例に係る記録ヘッドは、マニホールド１００内の圧力調整能力が弱いので、インクの噴射開始直後のＴ１において、マニホールド１００内のインクが消費されるもののコンプライアンス領域４９が圧力変動を吸収できないことから、マニホールド１００内が大きく負圧となる。これにより、Ｔ１では、噴射されるインク滴の重量が小さくなり印刷濃度が薄くなる。その後のＴ２では、上流側からマニホールド１００内にインクが供給される反動によって一時的にマニホールド１００内の圧力は正圧となる。これにより、Ｔ２では、インク滴の重量が大きくなり印刷濃度が濃くなる。その後、Ｔ３においてコンプライアンス領域４９がマニホールド１００内の圧力変動を吸収して、マニホールド１００内の圧力が安定し、インク滴の重量が中間すなわち、印刷濃度が中間となる。   As indicated by the broken line in FIG. 8, the recording head according to the comparative example has a weak pressure adjustment capability in the manifold 100. Therefore, the compliance area 49 of the ink consumed in the manifold 100 at T1 immediately after the start of ink ejection. Since the pressure fluctuation cannot be absorbed, the manifold 100 has a large negative pressure. Thereby, at T1, the weight of the ejected ink droplet is reduced, and the printing density is reduced. At T2 thereafter, the pressure in the manifold 100 temporarily becomes positive due to the reaction that ink is supplied into the manifold 100 from the upstream side. As a result, at T2, the weight of the ink droplet increases and the print density increases. Thereafter, at T3, the compliance region 49 absorbs the pressure fluctuation in the manifold 100, the pressure in the manifold 100 is stabilized, and the ink droplet weight is intermediate, that is, the printing density is intermediate.

図８の実線で示すように、本実施形態に係る記録ヘッドＩＩでは、マニホールド１００内の圧力変動をコンプライアンス領域４９が吸収することができるため、Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３においてマニホールド１００内の圧力の差を低減して、インク滴の重量の差を比較例に比べて小さくすることができる。従って、片持ち梁１５０や支持部１５２を設けることによって、噴射されるインク滴の重量のばらつきを抑制することができる。   As shown by the solid line in FIG. 8, in the recording head II according to this embodiment, the compliance region 49 can absorb pressure fluctuations in the manifold 100, so that the pressure difference in the manifold 100 at T1, T2, and T3. And the difference in the weight of the ink droplets can be reduced as compared with the comparative example. Therefore, by providing the cantilever 150 and the support portion 152, variation in the weight of the ejected ink droplets can be suppressed.

図９は、本実施形態に係る記録ヘッドにおけるコンプライアンス領域の変位の状態を示す他の概略図である。図１０は、比較例に係る記録ヘッドにおけるコンプライアンス領域の変位の状態を示す他の概略図である。
上述したように、比較例に係る記録ヘッドでは、梁部材５６に片持ち梁１５０及び支持部１５２が設けられていない。 FIG. 9 is another schematic diagram showing the displacement state of the compliance area in the recording head according to the present embodiment. FIG. 10 is another schematic diagram illustrating a state of displacement of the compliance area in the recording head according to the comparative example.
As described above, in the recording head according to the comparative example, the cantilever 150 and the support portion 152 are not provided on the beam member 56.

例えば、コンプライアンス領域４９内にインクが充填されていない状態で、記録ヘッドＩＩを駆動すると、コンプライアンス領域４９のフィルム４６がカバーヘッド１３０の側に変位する場合がある。   For example, when the recording head II is driven in a state where the compliance area 49 is not filled with ink, the film 46 in the compliance area 49 may be displaced toward the cover head 130.

図９に示すように、本実施形態に係る記録ヘッドＩＩでは、カバーヘッド１３０とフィルム４６との間に支持部１５２や片持ち梁１５０（図９では図示省略）が配置されるので、コンプライアンス領域４９のフィルム４６は、カバーヘッド１３０側に変位した際、カバーヘッド１３０に当接しにくくなる（貼り付きにくくなる）。   As shown in FIG. 9, in the recording head II according to the present embodiment, the support portion 152 and the cantilever 150 (not shown in FIG. 9) are disposed between the cover head 130 and the film 46. When the film 46 is displaced to the cover head 130 side, it becomes difficult to come into contact with the cover head 130 (it becomes difficult to stick).

図１０に示すように、比較例に係る記録ヘッドでは、カバーヘッド１３０とフィルム４６との間に支持部１５２や片持ち梁１５０が設けられていないので、コンプライアンス領域４９のフィルム４６は、カバーヘッド１３０側に変位した際、カバーヘッド１３０に当接しやすくなる。さらに、フィルム４６やカバーヘッド１３０に結露等によって水分が付着している状態で、コンプライアンス領域４９のフィルム４６が、カバーヘッド１３０に当接すると、当該水分によって、フィルム４６がカバーヘッド１３０に貼り付き、固着されるおそれがある。フィルム４６がカバーヘッド１３０に貼り付き、固着されると、コンプライアンス領域４９のフィルム４６の変位が阻害されるので、コンプライアンス領域４９によってマニホールド１００内の圧力変動を調整することが難しくなる。   As shown in FIG. 10, in the recording head according to the comparative example, since the support portion 152 and the cantilever 150 are not provided between the cover head 130 and the film 46, the film 46 in the compliance region 49 is When displaced toward the 130 side, the cover head 130 is easily contacted. Further, when the film 46 in the compliance region 49 comes into contact with the cover head 130 in a state where moisture is adhered to the film 46 or the cover head 130 due to condensation or the like, the film 46 adheres to the cover head 130 by the moisture. There is a risk of sticking. When the film 46 is stuck and fixed to the cover head 130, the displacement of the film 46 in the compliance region 49 is hindered, so that it becomes difficult to adjust the pressure fluctuation in the manifold 100 by the compliance region 49.

本実施形態では、支持部１５２や片持ち梁１５０によって、コンプライアンス領域４９のフィルム４６のカバーヘッド１３０への当接（貼り付き）が抑制されるので、コンプライアンス領域４９のフィルム４６の変位が阻害されず、コンプライアンス領域４９によってマニホールド１００内の圧力変動を適正に調整することができる。   In the present embodiment, the support portion 152 and the cantilever 150 suppress the contact (sticking) of the film 46 in the compliance region 49 to the cover head 130, so that the displacement of the film 46 in the compliance region 49 is inhibited. Instead, the compliance region 49 can appropriately adjust the pressure fluctuation in the manifold 100.

さらに、支持部１５２や片持ち梁１５０のカバーヘッド１３０に対向する面、及びカバーヘッド１３０の支持部１５２や片持ち梁１５０に対向する面の少なくとも一方に撥水処理を施すと、撥水処理が施されていない場合と比べて、結露等の水分の付着が抑制されるので、水分（結露）によりコンプライアンス領域４９のフィルム４６がカバーヘッド１３０に貼り付き、固着されるという不具合をより強く抑制することができる。   Further, when water repellent treatment is performed on at least one of the surface of the support portion 152 and the cantilever 150 facing the cover head 130 and the surface of the cover head 130 facing the support portion 152 and the cantilever 150, As compared with the case where no water is applied, the adhesion of moisture such as condensation is suppressed, so that the problem that the film 46 in the compliance region 49 sticks to the cover head 130 due to moisture (condensation) is more strongly suppressed. can do.

図１１は、図３に対応する図であり、他の比較例に係る記録ヘッドの枠部材の概略平面図である。図１２Ａは、図１１に示したＢ─Ｂ’付近の模式図であり、他の比較例に係る記録ヘッドのフィルムの変位状態を示す模式図である。図１２Ｂは、図１２Ａに対応する図であり、本実施形態に係る記録ヘッドのフィルムの変位状態を示す模式図である。
なお、図１１、図１２Ａ、及び図１２Ｂでは、説明に不要な構成要素の図示が省略されている。 FIG. 11 is a diagram corresponding to FIG. 3 and a schematic plan view of a frame member of a recording head according to another comparative example. FIG. 12A is a schematic diagram in the vicinity of BB ′ shown in FIG. 11, and is a schematic diagram showing a displacement state of a film of a recording head according to another comparative example. FIG. 12B is a diagram corresponding to FIG. 12A and is a schematic diagram showing a displacement state of the film of the recording head according to the present embodiment.
In addition, in FIG. 11, FIG. 12A, and FIG. 12B, illustration of the component unnecessary for description is abbreviate | omitted.

図１１に示すように、他の比較例に係る記録ヘッドの枠部材５７では、開口４８の内側に支持部１５２が設けられていなく、開口４８の内側に突出した一対の片持ち梁１５０Ａが、第１の方向Ｘに沿って複数配置されている。この点が、本実施形態との相違点である。
図１２Ａに示すように、コンプライアンス領域４９のフィルム４６は、開口４８の内側に突出した片持ち梁１５０Ａのフィルム４６に対向する面（以降、接触面と称す）の全体に接する。そして、変形力がフィルム４６から片持ち梁１５０Ａの接触面の全体に作用し、変形力に抗する力が片持ち梁１５０Ａの接触面の全体からフィルム４６に作用する。その結果、片持ち梁１５０Ａの接触面の周辺で、フィルム４６の撓み変形が抑制される。 As shown in FIG. 11, in the frame member 57 of the recording head according to another comparative example, the support portion 152 is not provided inside the opening 48, and a pair of cantilever beams 150 </ b> A protruding inside the opening 48 are provided. A plurality of elements are arranged along the first direction X. This is the difference from this embodiment.
As shown in FIG. 12A, the film 46 in the compliance region 49 is in contact with the entire surface (hereinafter referred to as a contact surface) facing the film 46 of the cantilever 150 </ b> A protruding inside the opening 48. A deformation force acts on the entire contact surface of the cantilever 150A from the film 46, and a force against the deformation force acts on the film 46 from the entire contact surface of the cantilever 150A. As a result, the bending deformation of the film 46 is suppressed around the contact surface of the cantilever 150A.

図１２Ｂに示すように、本実施形態に係る記録ヘッドＩＩでは、変形力が、支持部１５２を介して片持ち梁１５０の先端１５１に集中的に作用する。変形力が片持ち梁１５０の先端１５１に集中的に作用する場合、変形力が片持ち梁１５０Ａの接触面の全体に作用する場合と比べて、変形力が固定端（片持ち梁１５０の開口４８の縁の側）から離れた位置に作用するので、片持ち梁１５０を変形させる曲げモーメントが大きくなり、片持ち梁１５０が変形しやすくなる。
すなわち、本実施形態に係る記録ヘッドＩＩは、他の比較例に係る記録ヘッドと比べて、片持ち梁１５０を変形させる曲げモーメントが大きくなるので、仮に片持ち梁１５０の剛性が高い場合であっても片持ち梁１５０が変形しやすくなり、片持ち梁１５０は適正に変位するようになる。従って、コンプライアンス領域４９のフィルム４６も適正に変位するようになり、コンプライアンス領域４９によってマニホールド１００内の圧力変動を適正に調整することができる。
さらに、本実施形態に係る記録ヘッドＩＩは、変形力に抗する力が支持部１５２を介してフィルム４６に作用するので、支持部１５２の周辺でフィルム４６の撓み変形が抑制される。一方、他の比較例に係る記録ヘッドの枠部材５７は、開口４８の内側に支持部１５２が設けられていないので、本実施形態に係る記録ヘッドＩＩと比べて、フィルム４６の撓み変形が抑制される領域の面積が狭くなる。従って、本実施形態に係る記録ヘッドＩＩは、他の比較例に係る記録ヘッドと比べて、フィルム４６の撓み変形が抑制される領域の面積が広く、フィルム４６の過度の変形を確実に抑制することができる。
このように、本実施形態に係る記録ヘッドＩＩは、コンプライアンス領域４９のフィルム４６の過度な変位を確実に抑制する効果に加えて、コンプライアンス領域４９のフィルム４６を適正に変位させる効果を得ることができるので、コンプライアンス領域４９によってマニホールド１００内の圧力変動が適正に調整され、マニホールド１００内の圧力変化が小さくなり、インクの噴射特性（例えば、ノズル２１から噴射される液滴量）が均一になる。 As shown in FIG. 12B, in the recording head II according to the present embodiment, the deformation force acts intensively on the tip 151 of the cantilever 150 via the support portion 152. When the deformation force acts on the tip 151 of the cantilever 150 in a concentrated manner, the deformation force acts on the fixed end (opening of the cantilever 150) as compared with the case where the deformation force acts on the entire contact surface of the cantilever 150A. 48, the bending moment for deforming the cantilever 150 is increased, and the cantilever 150 is easily deformed.
That is, the recording head II according to the present embodiment has a larger bending moment for deforming the cantilever 150 than the recording head according to another comparative example. However, the cantilever 150 is easily deformed, and the cantilever 150 is appropriately displaced. Accordingly, the film 46 in the compliance region 49 is also appropriately displaced, and the pressure fluctuation in the manifold 100 can be appropriately adjusted by the compliance region 49.
Further, in the recording head II according to the present embodiment, a force resisting the deformation force acts on the film 46 via the support portion 152, so that the bending deformation of the film 46 is suppressed around the support portion 152. On the other hand, the frame member 57 of the recording head according to another comparative example is not provided with the support portion 152 inside the opening 48, so that the bending deformation of the film 46 is suppressed as compared with the recording head II according to the present embodiment. The area of the area to be formed is reduced. Therefore, the recording head II according to the present embodiment has a large area in which the bending deformation of the film 46 is suppressed, and reliably suppresses excessive deformation of the film 46, as compared with the recording head according to another comparative example. be able to.
As described above, the recording head II according to this embodiment can obtain the effect of appropriately displacing the film 46 in the compliance region 49 in addition to the effect of reliably suppressing the excessive displacement of the film 46 in the compliance region 49. Therefore, the pressure fluctuation in the manifold 100 is appropriately adjusted by the compliance region 49, the pressure change in the manifold 100 is reduced, and the ink ejection characteristics (for example, the amount of droplets ejected from the nozzles 21) become uniform. .

（実施形態２）
「液体噴射装置」
図１３は、実施形態２に係るプリンターの構成を示す概略図である。
次に図１３を参照し、「液体噴射装置」の一例であるプリンター１０００の概要を説明する。
図１３に示すように、プリンター１０００は、搬送ユニット２００、キャリッジユニット３０１、及び実施形態１に係る記録ヘッドＩＩなどを有する。プリンター１０００は、コントローラー６００によって各ユニット（搬送ユニット２００、キャリッジユニット３０１）が制御され、用紙Ｓに画像を印刷する。 (Embodiment 2)
"Liquid ejector"
FIG. 13 is a schematic diagram illustrating a configuration of a printer according to the second embodiment.
Next, an overview of a printer 1000 that is an example of a “liquid ejecting apparatus” will be described with reference to FIG. 13.
As illustrated in FIG. 13, the printer 1000 includes a transport unit 200, a carriage unit 301, and the recording head II according to the first embodiment. In the printer 1000, each unit (the conveyance unit 200 and the carriage unit 301) is controlled by the controller 600, and an image is printed on the paper S.

搬送ユニット２００は、用紙Ｓを搬送方向Ｈに移動させる機能を有する。搬送ユニット２００は、給紙ローラー２１０、搬送モーター２２０、搬送ローラー２３０、プラテン２４０、排紙ローラー２５０などを備える。給紙ローラー２１０は、プリンター１０００の背面から挿入された用紙Ｓをプリンター１０００の内部に給紙する。搬送ローラー２３０は、給紙ローラー２１０によって給紙された用紙Ｓをプラテン２４０の上部の印刷可能な領域まで搬送する。プラテン２４０は、印刷中の用紙Ｓを支持する。排紙ローラー２５０は、用紙Ｓをプリンター１０００の前面（搬送方向Ｈ）に排出する。給紙ローラー２１０、搬送ローラー２３０、及び排紙ローラー２５０は、搬送モーター２２０によって駆動される。   The transport unit 200 has a function of moving the paper S in the transport direction H. The transport unit 200 includes a paper feed roller 210, a transport motor 220, a transport roller 230, a platen 240, a paper discharge roller 250, and the like. The paper feed roller 210 feeds the paper S inserted from the back of the printer 1000 into the printer 1000. The transport roller 230 transports the paper S fed by the paper feed roller 210 to a printable area above the platen 240. The platen 240 supports the paper S being printed. The paper discharge roller 250 discharges the paper S to the front surface (transport direction H) of the printer 1000. The paper feed roller 210, the transport roller 230, and the paper discharge roller 250 are driven by the transport motor 220.

キャリッジユニット３０１は、記録ヘッドＩＩを所定の方向（走査方向）に往復移動（走査）させる機能を有する。キャリッジユニット３０１は、キャリッジ３１０やキャリッジモーター３２０などを備える。キャリッジ３１０は、走査方向に往復移動可能であり、キャリッジモーター３２０によって駆動される。また、キャリッジ３１０は、インクを収容するインクカートリッジ６を着脱可能に保持する。   The carriage unit 301 has a function of reciprocating (scanning) the recording head II in a predetermined direction (scanning direction). The carriage unit 301 includes a carriage 310, a carriage motor 320, and the like. The carriage 310 can reciprocate in the scanning direction and is driven by a carriage motor 320. The carriage 310 also detachably holds the ink cartridge 6 that stores ink.

プリンター１０００では、記録ヘッドＩＩによってインクを液滴として噴射する液滴噴射動作と、搬送ローラー２３０によって搬送方向Ｈに用紙Ｓを搬送する搬送動作とを交互に繰り返し、複数のドットから構成される画像を用紙Ｓに印刷する。   In the printer 1000, an image composed of a plurality of dots by alternately repeating a droplet ejecting operation for ejecting ink as droplets by the recording head II and a transport operation for transporting the paper S in the transport direction H by the transport roller 230. Is printed on the paper S.

上述したように、記録ヘッドＩＩでは、コンプライアンス領域４９によってマニホールド１００内の圧力変動が適正に調整され、マニホールド１００内の圧力変化が小さくなり、インクの噴射特性（例えば、ノズル２１から噴射される液滴量）が均一になる。
従って、当該記録ヘッドＩＩを備えるプリンター１０００においても、インクの噴射特性（例えば、ノズル２１から噴射される液滴量）が均一になるので、用紙Ｓに印刷される画像の印刷品位（例えば、均一性）を高めることができる。 As described above, in the recording head II, the pressure fluctuation in the manifold 100 is appropriately adjusted by the compliance region 49, the pressure change in the manifold 100 is reduced, and the ink ejection characteristics (for example, the liquid ejected from the nozzle 21). Drop volume) becomes uniform.
Accordingly, even in the printer 1000 including the recording head II, the ink ejection characteristics (for example, the amount of liquid droplets ejected from the nozzles 21) become uniform, so the print quality of the image printed on the paper S (for example, uniform) Property).

本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be appropriately changed without departing from the spirit or idea of the invention that can be read from the claims and the entire specification. Various modifications other than the above-described embodiments are possible. Conceivable. Hereinafter, a modification will be described.

（変形例１）
図１４は、図３に対応する図であり、変形例１に係る枠部材の概略平面図である。
図１４に示すように、本変形例に係る枠部材４７Ａでは、開口４８の内側に、第２の方向Ｙに突出する複数の（三つの）片持ち梁１５０と、片持ち梁１５０の先端１５１に設けられ第１の方向Ｘに延在する支持部１５２とが配置されている。すなわち、本変形例に係る枠部材４７Ａでは、開口４８の内側に、三つの片持ち梁１５０と一つの支持部１５２とが配置されている。このように、本変形例に係る枠部材４７Ａでは、開口４８の内側に片持ち梁１５０が第１の方向Ｘに沿って複数配置され、複数配置された片持ち梁１５０は、第１の方向Ｘに延在する支持部１５２に接続されている。
一方、実施形態１に係る枠部材４７では、開口４８の内側に、一つの片持ち梁１５０と一つの支持部１５２とが配置されている。
この点が、本変形例と実施形態１との相違点である。 (Modification 1)
FIG. 14 is a diagram corresponding to FIG. 3, and is a schematic plan view of a frame member according to the first modification.
As shown in FIG. 14, in the frame member 47 </ b> A according to this modification, a plurality of (three) cantilever beams 150 projecting in the second direction Y and the tip 151 of the cantilever beam 150 are disposed inside the opening 48. And a support portion 152 extending in the first direction X is disposed. That is, in the frame member 47 </ b> A according to this modified example, the three cantilever beams 150 and the one support portion 152 are arranged inside the opening 48. As described above, in the frame member 47A according to the present modification, a plurality of cantilever beams 150 are arranged along the first direction X inside the opening 48, and the plurality of cantilever beams 150 are arranged in the first direction. It is connected to a support part 152 extending to X.
On the other hand, in the frame member 47 according to the first embodiment, one cantilever 150 and one support portion 152 are arranged inside the opening 48.
This is the difference between this modification and the first embodiment.

実施形態１では、第１の方向Ｘに延在する支持部１５２が一つの支持点（片持ち梁１５０）によって支持されている。このため、支持部１５２を回転させる力（モーメント）が作用すると、支持部１５２は第１の方向Ｘと交差する方向に回転し（傾き）、コンプライアンス領域４９のフィルム４６が不均一に変位するおそれがある。   In the first embodiment, the support portion 152 extending in the first direction X is supported by one support point (cantilever 150). Therefore, when a force (moment) that rotates the support portion 152 is applied, the support portion 152 rotates (tilts) in a direction intersecting the first direction X, and the film 46 in the compliance region 49 may be displaced unevenly. There is.

本変形例では、第１の方向Ｘに延在する支持部１５２が複数の支持点（片持ち梁１５０）によって支持され、支持部１５２の両端に近い位置に片持ち梁１５０が配置されている。支持部１５２の両端に近い位置に片持ち梁１５０が配置されると、支持部１５２を回転させる力（モーメント）が作用したとしても、支持部１５２は第１の方向Ｘと交差する方向に傾きにくく、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに直交する方向に変位し、コンプライアンス領域４９のフィルム４６が均一に変位しやすくなる。   In the present modification, the support portion 152 extending in the first direction X is supported by a plurality of support points (cantilever beams 150), and the cantilever beams 150 are disposed at positions close to both ends of the support portion 152. . When the cantilever 150 is arranged at a position close to both ends of the support portion 152, the support portion 152 is inclined in a direction intersecting the first direction X even if a force (moment) for rotating the support portion 152 is applied. It is difficult to displace in the direction perpendicular to the first direction X and the second direction Y, and the film 46 in the compliance region 49 is easily displaced uniformly.

なお、コンプライアンス領域４９のフィルム４６の変位が不均一であると、コンプライアンス領域４９のフィルム４６が適正に変位しなく、コンプライアンス領域４９によってマニホールド１００内の圧力変動が適正に調整されなくなるおそれがある。本変形例では、コンプライアンス領域４９のフィルム４６は均一に変位するので、コンプライアンス領域４９によってマニホールド１００内の圧力変動の適正な調整を、確実に実施することができる。   Note that if the displacement of the film 46 in the compliance region 49 is not uniform, the film 46 in the compliance region 49 may not be displaced properly, and the pressure variation in the manifold 100 may not be properly adjusted by the compliance region 49. In the present modification, the film 46 in the compliance region 49 is uniformly displaced, so that proper adjustment of pressure fluctuations in the manifold 100 can be reliably performed by the compliance region 49.

（変形例２）
図１５は、図３に対応する図であり、変形例２に係る枠部材の概略平面図である。
図１５に示すように、本変形例に係る枠部材４７Ｂでは、開口４８の内側に、片持ち梁１５０と片持ち梁１５０の先端１５１に設けられた支持部１５２とが、第１の方向Ｘに沿って複数（三つ）配置されている。一方、実施形態１に係る枠部材４７では、開口４８の内側に、片持ち梁１５０と片持ち梁１５０の先端１５１に設けられた支持部１５２とが、一つ配置されている。
この点が、本変形例と実施形態１との相違点である。 (Modification 2)
FIG. 15 is a diagram corresponding to FIG. 3, and is a schematic plan view of a frame member according to Modification 2.
As shown in FIG. 15, in the frame member 47 </ b> B according to this modification, the cantilever 150 and the support portion 152 provided at the tip 151 of the cantilever 150 are arranged in the first direction X inside the opening 48. A plurality (three) are arranged along the line. On the other hand, in the frame member 47 according to the first embodiment, one cantilever 150 and one support portion 152 provided at the tip 151 of the cantilever 150 are arranged inside the opening 48.
This is the difference between this modification and the first embodiment.

換言すれば、本変形例では、実施形態１に係る支持部１５２が複数に分離され、複数に分離された支持部１５２のそれぞれに片持ち梁１５０が接続されている。このため、本変形では、支持部１５２の長さ（第１の方向Ｘの寸法）が、実施形態１と比べて短くなっている。このように、支持部１５２の長さは、本変形例と実施形態１とで異なる。
さらに、本変形例では、片持ち梁１５０と第１の方向Ｘとがなす角度は直角であり、片持ち梁１５０と支持部１５２とがなす角度は直角である。また、片持ち梁１５０と第１の方向Ｘとがなす角度は、本変形例と実施形態１とで同じである。 In other words, in this modification, the support part 152 according to the first embodiment is divided into a plurality of parts, and the cantilever 150 is connected to each of the support parts 152 separated into a plurality. For this reason, in this modification, the length of the support portion 152 (the dimension in the first direction X) is shorter than that in the first embodiment. As described above, the length of the support portion 152 differs between this modification and the first embodiment.
Furthermore, in this modification, the angle formed by the cantilever 150 and the first direction X is a right angle, and the angle formed by the cantilever 150 and the support portion 152 is a right angle. Further, the angle formed by the cantilever 150 and the first direction X is the same between the present modification and the first embodiment.

片持ち梁１５０の先端１５１に設けられる支持部１５２の長さが短くなると、支持部１５２の長さが長い場合と比べて、支持部１５２の剛性が高められ、支持部１５２が変形しにくくなる。支持部１５２が変形しにくい場合、支持部１５２が変形しやすい場合と比べて、支持部１５２からフィルム４６や片持ち梁１５０に作用する力の方向が均一になり、フィルム４６や片持ち梁１５０が均一に変位するようになる。   When the length of the support part 152 provided at the tip 151 of the cantilever 150 is shortened, the rigidity of the support part 152 is increased and the support part 152 is not easily deformed as compared with the case where the length of the support part 152 is long. . When the support part 152 is not easily deformed, the direction of the force acting on the film 46 and the cantilever 150 from the support part 152 becomes uniform as compared with the case where the support part 152 is easily deformed. Becomes uniformly displaced.

（変形例３）
図１６は、図１５に対応する図であり、変形例３に係る枠部材の概略平面図である。
図１６に示すように、本変形例に係る枠部材４７Ｃでは、片持ち梁１５０と第１の方向Ｘとがなす角度は鋭角であり、片持ち梁１５０と支持部１５２とがなす角度は鋭角である。一方、変形例２に係る梁部材４７Ｂでは、片持ち梁１５０と第１の方向Ｘとがなす角度は直角であり、片持ち梁１５０と支持部１５２とがなす角度は直角である。
この点が本変形例と変形例２との相違点である。 (Modification 3)
FIG. 16 is a diagram corresponding to FIG. 15 and a schematic plan view of a frame member according to Modification 3.
As shown in FIG. 16, in the frame member 47C according to this modification, the angle formed by the cantilever 150 and the first direction X is an acute angle, and the angle formed by the cantilever 150 and the support portion 152 is an acute angle. It is. On the other hand, in the beam member 47B according to the second modification, the angle formed by the cantilever 150 and the first direction X is a right angle, and the angle formed by the cantilever 150 and the support portion 152 is a right angle.
This is the difference between the present modification and the second modification.

片持ち梁１５０と支持部１５２とがなす角度を鋭角にすると、片持ち梁１５０と支持部１５２とがなす角度が直角である場合と比べて、片持ち梁１５０を長くすることができる。片持ち梁１５０を長くすると、片持ち梁１５０が撓みやすくなり（弾性変形しやすくなり）、片持ち梁１５０のばね板として機能を高めることができる。   When the angle formed by the cantilever 150 and the support portion 152 is an acute angle, the cantilever 150 can be made longer than when the angle formed by the cantilever 150 and the support portion 152 is a right angle. When the cantilever beam 150 is lengthened, the cantilever beam 150 is easily bent (easily elastically deformed), and the function as a spring plate of the cantilever beam 150 can be enhanced.

なお、本願における「開口の縁から第１の方向と交差する方向に突出し、先端が変位可能な片持ち梁」は、片持ち梁と第１の方向とがなす角度が直角である場合に加えて、片持ち梁と第１の方向とがなす角度が鋭角（または、鈍角）である場合を含む。   In the present application, “cantilever projecting in the direction intersecting the first direction from the edge of the opening and displaceable at the tip” means that the angle formed between the cantilever and the first direction is a right angle. The case where the angle formed by the cantilever and the first direction is an acute angle (or an obtuse angle) is included.

（変形例４）
図１７は、図１５に対応する図であり、変形例４に係る枠部材の概略平面図である。
図１７に示すように、本変形に係る枠部材４７Ｄでは、支持部１５２が複数（二つの）の支持点（片持ち梁１５０）によって支持されている。すなわち、支持部１５２の両端が、片持ち梁１５０によって支持されている。換言すれば、本変形例に係る枠部材４７Ｄでは、片持ち梁１５０が第１の方向Ｘに沿って複数配置され、支持部１５２が複数配置された片持ち梁１５０のそれぞれで離されている。
一方、変形例２に係る枠部材４７Ｂでは、支持部１５２が一つの支持点（片持ち梁１５０）によって支持されている。
この点が、本変形例と変形例２との相違点である。 (Modification 4)
FIG. 17 is a diagram corresponding to FIG. 15 and a schematic plan view of a frame member according to Modification 4.
As shown in FIG. 17, in the frame member 47D according to the present modification, the support portion 152 is supported by a plurality (two) of support points (cantilever beams 150). That is, both ends of the support portion 152 are supported by the cantilever beam 150. In other words, in the frame member 47D according to this modification, a plurality of cantilevers 150 are arranged along the first direction X, and the cantilever 150 is provided with a plurality of support portions 152 separated from each other. .
On the other hand, in the frame member 47B according to the second modification, the support portion 152 is supported by one support point (cantilever 150).
This is the difference between this modification and Modification 2.

支持部１５２の両端が、片持ち梁１５０によって支持されると、支持部１５２を回転させる力（モーメント）が作用したとしても、支持部１５２は第１の方向Ｘと交差する方向に回転しにくく（傾きにくく）、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに直交する方向に変位し、コンプライアンス領域４９のフィルム４６が均一に変位しやすくなる。   When both ends of the support portion 152 are supported by the cantilever 150, even if a force (moment) for rotating the support portion 152 is applied, the support portion 152 is difficult to rotate in a direction intersecting the first direction X. The film 46 in the compliance region 49 is likely to be uniformly displaced by being displaced in a direction perpendicular to the first direction X and the second direction Y.

（変形例５）
図１８は、図１５に対応する図であり、変形例５に係る枠部材の概略平面図である。
図１８に示すように、本変形例に係る枠部材４７Ｅでは、片持ち梁１５０の第１の方向Ｘの寸法（以降、片持ち梁１５０の幅と称す）が開口４８の縁から先端１５１に向かう方向に短くなっている。すなわち、本変形例では、片持ち梁１５０の幅が開口４８の縁の側で長く、先端１５１の側で短くなっている。一方、変形例２に係る枠部材４７Ｂでは、片持ち梁１５０の幅は、開口４８の縁から先端１５１に向かう方向に同じである。
この点が、本変形例と変形例２との相違点である。 (Modification 5)
FIG. 18 is a diagram corresponding to FIG. 15 and a schematic plan view of a frame member according to Modification 5.
As shown in FIG. 18, in the frame member 47E according to this modification, the dimension in the first direction X of the cantilever 150 (hereinafter referred to as the width of the cantilever 150) extends from the edge of the opening 48 to the tip 151. The direction is shorter. That is, in this modification, the width of the cantilever 150 is longer on the edge side of the opening 48 and shorter on the tip 151 side. On the other hand, in the frame member 47 </ b> B according to the second modification, the width of the cantilever 150 is the same in the direction from the edge of the opening 48 toward the tip 151.
This is the difference between this modification and Modification 2.

片持ち梁１５０の先端１５１は、自由端であり、最も撓みが大きい箇所である。片持ち梁１５０の開口４８の縁の側は、固定端であり、最も応力が集中しやすい箇所である。最も撓みが大きい箇所（片持ち梁１５０の先端１５１）に向かって片持ち梁１５０の幅を短くし、最も応力が集中しやすい箇所（片持ち梁１５０の開口４８の縁の側）に向かって片持ち梁１５０の幅を長くすると、片持ち梁１５０の可撓性を損なわずに、片持ち梁１５０の開口４８の縁の側における応力集中を緩和することができる。従って、片持ち梁１５０の耐久性を高めることができる。   The tip 151 of the cantilever 150 is a free end, and is the place where the deflection is greatest. The edge side of the opening 48 of the cantilever 150 is a fixed end, and is the place where stress is most likely to concentrate. The width of the cantilever 150 is shortened toward the point where the deflection is greatest (the tip 151 of the cantilever 150), and the point where stress is most likely to concentrate (on the edge side of the opening 48 of the cantilever 150). Increasing the width of the cantilever 150 can alleviate stress concentration on the edge side of the opening 48 of the cantilever 150 without impairing the flexibility of the cantilever 150. Therefore, the durability of the cantilever 150 can be enhanced.

なお、本変形例では、平面視で片持ち梁１５０の端は直線であり、片持ち梁１５０の端に配置される側面は平面であるが、これに限定されない。例えば、平面視で片持ち梁１５０の端は曲線であり、片持ち梁１５０の端に配置される側面は曲面（凸曲面、凹曲面）であってもよい。
さらに、本変形例は、実施形態１、変形例１、及び変形例４に対して適用可能である。 In this modification, the end of the cantilever 150 is a straight line in plan view, and the side surface disposed at the end of the cantilever 150 is a plane, but the present invention is not limited to this. For example, the end of the cantilever 150 may be a curved line in plan view, and the side surface disposed at the end of the cantilever 150 may be a curved surface (convex curved surface, concave curved surface).
Further, the present modification can be applied to the first embodiment, the first modification, and the fourth modification.

（変形例６）
実施形態２のプリンター１０００は、実施形態１に係る記録ヘッドＩＩを備える構成に加えて、変形例１〜５に係る枠部材が適用された記録ヘッドを備える構成であってもよい。 (Modification 6)
The printer 1000 according to the second embodiment may include a recording head to which the frame member according to the first to fifth modifications is applied in addition to the configuration including the recording head II according to the first embodiment.

ＩＩ…記録ヘッド、１０…流路形成基板、１１…ヘッド本体、１２…圧力発生室、１５…連通板、１６…ノズル連通路、１７…第１マニホールド部、１８…第２マニホールド部、１９…共通連通路、２０…ノズルプレート、２０ａ…液体噴射面、２１…ノズル、３０…保護基板、３１…保持部、３２…貫通孔、４０…ケース部材、４１…凹部、４２…第３マニホールド部、４３…接続口、４４…導入路、４５…コンプライアンス基板、４５ａ…第１露出開口部、４６…フィルム、４６ａ…接着層、４７…枠部材、４７ａ…本体部、４８…開口、４９…コンプライアンス領域、５０…振動板、５１…弾性膜、５２…絶縁体膜、６０…第１電極、７０…圧電体層、８０…第２電極、９０…リード電極、１００…マニホールド、１２０…駆動回路、１２１…配線基板、１３０…カバーヘッド、１３１…コンプライアンス空間、１３２…第２露出開口部、１３５…接着層、１５０…片持ち梁、１５１…先端、１５２…支持部、３００…圧電アクチュエーター。   II ... Recording head, 10 ... Flow path forming substrate, 11 ... Head body, 12 ... Pressure generating chamber, 15 ... Communication plate, 16 ... Nozzle communication path, 17 ... First manifold portion, 18 ... Second manifold portion, 19 ... Common communication path, 20 ... Nozzle plate, 20a ... Liquid ejection surface, 21 ... Nozzle, 30 ... Protection substrate, 31 ... Holding part, 32 ... Through-hole, 40 ... Case member, 41 ... Recess, 42 ... Third manifold part, DESCRIPTION OF SYMBOLS 43 ... Connection port, 44 ... Introduction path, 45 ... Compliance board | substrate, 45a ... 1st exposure opening part, 46 ... Film, 46a ... Adhesive layer, 47 ... Frame member, 47a ... Main-body part, 48 ... Opening, 49 ... Compliance area | region , 50 ... diaphragm, 51 ... elastic film, 52 ... insulator film, 60 ... first electrode, 70 ... piezoelectric layer, 80 ... second electrode, 90 ... lead electrode, 100 ... manifold, 120 ... drive circuit, 21 ... wiring board, 130 ... cover head, 131 ... compliance space, 132 ... second exposure openings 135 ... adhesive layer, 150 ... cantilever, 151 ... tip, 152 ... support portion, 300 ... piezoelectric actuator.

Claims (10)

液体を噴射するノズル開口と、
前記ノズル開口に連通され、第１の方向に並設された複数の圧力発生室と、
前記複数の圧力発生室に連通されたマニホールドと、
前記マニホールドの一部を形成し、可撓性を有する可撓部材と、
前記可撓部材に固定され、前記マニホールド内の圧力変動に応じて前記可撓部材を変位可能とする開口を有する枠部材と、
を有し、
前記枠部材は、
前記開口の縁から前記第１の方向と交差する方向に突出し、先端が変位可能な片持ち梁と、
前記片持ち梁の先端に設けられ、前記可撓部材に固定される支持部と、
を備えていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 A nozzle opening for jetting liquid;
A plurality of pressure generating chambers communicated with the nozzle opening and arranged in parallel in a first direction;
A manifold communicated with the plurality of pressure generating chambers;
A flexible member that forms part of the manifold and has flexibility;
A frame member that is fixed to the flexible member and has an opening that allows the flexible member to be displaced in response to pressure fluctuations in the manifold;
Have
The frame member is
A cantilever projecting from the edge of the opening in a direction intersecting the first direction, the tip of which can be displaced;
A support portion provided at a tip of the cantilever and fixed to the flexible member;
A liquid ejecting head comprising: 前記支持部は、前記可撓部材が最も大きく変位する部分の少なくとも一部に固定されることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the support portion is fixed to at least a part of a portion where the flexible member is displaced most greatly. 前記支持部は、前記開口の中心を通り、前記第１の方向に延在していることを特徴とする請求項１または２に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the support portion passes through a center of the opening and extends in the first direction. 前記片持ち梁は、前記第１の方向に沿って複数配置されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 1, wherein a plurality of the cantilever beams are arranged along the first direction. 前記支持部は、前記複数配置された片持ち梁のそれぞれで分離されていることを特徴とする請求項４に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 4, wherein the support portion is separated by each of the plurality of cantilever beams arranged. 前記片持ち梁は、前記支持部よりも少なくとも一部が薄いことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the cantilever is at least partially thinner than the support portion. 前記片持ち梁の前記第１の方向の寸法は、前記開口の縁から前記先端に向かう方向に短くなっていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 1, wherein a dimension of the cantilever in the first direction is shorter in a direction from an edge of the opening toward the tip. . 前記片持ち梁は、前記開口の縁から前記先端に向かう方向に薄くなっていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the cantilever is thinned in a direction from an edge of the opening toward the tip. 前記可撓部材との間で空間を形成するように配置される蓋部材を有し、
前記枠部材は、前記可撓部材と前記蓋部材との間に配置され、
前記片持ち梁及び前記支持部は、前記蓋部材に固定されず、前記蓋部材に対して変位可能であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。 A lid member arranged to form a space with the flexible member;
The frame member is disposed between the flexible member and the lid member,
The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the cantilever beam and the support portion are not fixed to the lid member and are displaceable with respect to the lid member. 請求項１〜９のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。   A liquid ejecting apparatus comprising the liquid ejecting head according to claim 1.
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