JP2018084726A - Optical device and projector - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical device that efficiently cools an optical element and can be reduced in size.SOLUTION: An optical device 50 comprises a light modulator 341 that is arranged on an optical axis 34A of incident light, and a holding part 5 that holds the light modulator 341. The holding part 5 includes an inflow part 51 into which a liquid supplied from the outside of the holding part 5 flows, a channel forming part 52 that is disposed annularly along the periphery of the light modulator 341 and has a channel 6 in which the liquid from the inflow part 51 circulates, and an outflow part 53 that causes the liquid flowing through the channel 6 to flow to the outside of the holding part 5. The channel 6 has projections 82P provided therein.SELECTED DRAWING: Figure 7

Description

本発明は、光学装置およびプロジェクターに関する。   The present invention relates to an optical device and a projector.

従来、光源装置から射出された光を画像情報に応じて変調し、スクリーン等の投写面に画像を投写するプロジェクターが知られている。また、近年、より明るい画像の投写を可能とするために、より高輝度の光を射出する光源装置を備えたプロジェクターが知られている。そして、このようなプロジェクターにおいては、光源装置から射出された光が入射する光学素子の発熱が顕著になるため、液体を用いてこの光学素子を冷却する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。   Conventionally, a projector that modulates light emitted from a light source device according to image information and projects an image on a projection surface such as a screen is known. In recent years, there has been known a projector including a light source device that emits light with higher luminance in order to enable projection of a brighter image. In such a projector, since the heat generated by the optical element to which the light emitted from the light source device enters becomes remarkable, a technique for cooling the optical element using a liquid has been proposed (for example, Patent Documents). 1).

特許文献１に記載のプロジェクターは、光学素子（液晶パネル）を有する光学装置と、液冷装置とを備える。光学装置は、液晶パネルに加え、この液晶パネルを保持する光学素子保持体を備える。
光学素子保持体は、開口部を有し、液晶パネルを支持するパネル支持枠と、液体流通管と、を備える。液体流通管は、Ｕ字状に屈曲され、液晶パネルの画像形成領域を平面視で３方向において囲むように形成され、内部に液体が流通する。パネル支持枠は、液体流通管を挟持する入射側支持枠および出射側支持枠を備える。
液冷装置は、液体圧送部と、タンクと、熱交換ユニットと、複数の液体循環部材と、を備え、液体流通管に液体を循環させる。 The projector described in Patent Document 1 includes an optical device having an optical element (liquid crystal panel) and a liquid cooling device. The optical device includes an optical element holder that holds the liquid crystal panel in addition to the liquid crystal panel.
The optical element holder has an opening, and includes a panel support frame that supports the liquid crystal panel, and a liquid circulation pipe. The liquid circulation pipe is bent in a U shape and is formed so as to surround the image forming area of the liquid crystal panel in three directions in plan view, and the liquid circulates therein. The panel support frame includes an incident side support frame and an output side support frame that sandwich the liquid circulation pipe.
The liquid cooling device includes a liquid pumping unit, a tank, a heat exchange unit, and a plurality of liquid circulation members, and circulates the liquid through the liquid circulation pipe.

特開２０１１−１９７３９０号公報JP 2011-1973390 A

しかしながら、特許文献１に記載の技術では、液体流通管が液晶パネルの画像形成領域を３方向において囲むように形成されていることにより、残りの１方向においては、液体が流通されないため、冷却が不十分になるという課題がある。そこで、冷却の能力を向上させるために、液体流通管を太くして液体の流量を増やす方法や、液体流通管の曲げか所を増やして画像形成領域を略４方向において囲むように構成する方法があるが、以下の課題がある。すなわち、液体流通管を太くすると、光学素子保持体、ひいては光学装置が大型化するという課題がある。液体流通管の曲げか所を増やすと、加工が難しいことや、高圧で液体を流通させる必要があり、液体圧送部に高パワーのものが求められると共に圧力損失が大きくなる。圧力損失が大きくなると、液体を循環させるための接続部材間からの液体の揮発や漏れが生じ易くなるため、漏れた液体がプロジェクター内の他の部材に付着して不具合が発生する恐れがあることや、蓄積する液体を多くする必要があるため、タンクが大型化するという課題がある。   However, in the technique described in Patent Document 1, since the liquid circulation tube is formed so as to surround the image forming region of the liquid crystal panel in three directions, the liquid is not circulated in the remaining one direction. There is a problem of becoming insufficient. Therefore, in order to improve the cooling capability, a method of increasing the flow rate of the liquid by increasing the thickness of the liquid circulation pipe, or a method of increasing the number of bent portions of the liquid circulation pipe so as to surround the image forming area in approximately four directions. However, there are the following problems. That is, when the liquid circulation pipe is thickened, there is a problem that the optical element holder, and thus the optical device, is increased in size. If the number of bent portions of the liquid circulation pipe is increased, it is difficult to process and it is necessary to circulate the liquid at a high pressure, so that a high power is required for the liquid pumping section and the pressure loss increases. When the pressure loss increases, the liquid tends to volatilize or leak from between the connection members for circulating the liquid, and the leaked liquid may adhere to other members in the projector and cause problems. Moreover, since it is necessary to increase the liquid to accumulate, there exists a subject that a tank enlarges.

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.

［適用例１］本適用例に係る光学装置は、入射する光の光軸上に配置された光学素子と、前記光学素子を保持する保持部と、を備えた光学装置であって、前記保持部は、当該保持部の外部から供給された液体が流入する流入部と、前記光学素子の周縁に沿って環状に配設され、内部に前記流入部からの前記液体が流通する流路を有する流路形成部と、前記流路を流れた前記液体を当該保持部の外部に流出させるための流出部と、を備え、前記流入部の内部および前記流路内の少なくともいずれか一方には、突起が設けられていることを特徴とする。   Application Example 1 An optical device according to this application example is an optical device including an optical element arranged on an optical axis of incident light and a holding unit that holds the optical element, and the holding device The portion has an inflow portion into which the liquid supplied from the outside of the holding portion flows in, and a flow path in which the liquid from the inflow portion circulates in an annular shape along the periphery of the optical element. A flow path forming section, and an outflow section for allowing the liquid that has flowed through the flow path to flow out of the holding section, and at least one of the inside of the inflow section and the flow path, A protrusion is provided.

この構成によれば、光学装置は、光学素子を保持する保持部が上述した流入部、流路を有する流路形成部、および流出部を備えているので、流入部に液体が供給されることで、流路に液体を流通させることができる。これによって、入射する光によって発熱する光学素子が効率よく冷却される。すなわち、流路が光学素子の周縁に沿って環状に構成されているので、光学素子の光が入射する光学有効領域を囲む領域から光学素子の熱を液体に伝えることが可能となる。また、保持部とは異なる部材（パイプ状の部材等）を用いて液体を流通させる構成に比べ、光学素子と液体との間に介在する部材が減るので、光学素子の熱を効率よく液体に伝えることが可能となる。
よって、光学素子の温度上昇が効率よく抑えられるので、光学素子の劣化が抑制され、光学素子が有する光学特性を確実に発揮できる光学装置の提供が可能となる。
また、保持部とは異なる部材を用いて液体を流通させる構成に比べて少ない部品点数で構成できるので、製造工数や部品コストの低減、および小型化が可能な光学装置の提供が可能となる。
さらに、流入部の内部および流路内の少なくともいずれか一方には、突起が設けられているので、流入部から流入する液体がこの突起に衝突することにより乱流を発生させることが可能となる。乱流は、層流では生じる温度境界層が生じにくいので、流入部の内壁や流路の内壁と液体との間で熱交換を良好に行わせることができる。また、保持部に突起を設けることによって流路内の保持部の表面積を大きくすることができるので、保持部による放熱性を向上させることが可能となる。よって、光学素子がさらに効率よく冷却される光学装置の提供が可能となる。 According to this configuration, since the holding unit that holds the optical element includes the above-described inflow part, the flow path forming part having the flow path, and the outflow part, the optical device can supply liquid to the inflow part. Thus, the liquid can be circulated through the flow path. Thus, the optical element that generates heat by the incident light is efficiently cooled. That is, since the flow path is formed in an annular shape along the periphery of the optical element, the heat of the optical element can be transmitted to the liquid from the area surrounding the optical effective area where the light of the optical element enters. In addition, since the number of members interposed between the optical element and the liquid is reduced compared to a configuration in which the liquid is circulated using a member (pipe-shaped member or the like) different from the holding unit, the heat of the optical element is efficiently converted into the liquid. It becomes possible to convey.
Therefore, since the temperature rise of the optical element can be efficiently suppressed, it is possible to provide an optical device that can suppress the deterioration of the optical element and reliably exhibit the optical characteristics of the optical element.
In addition, since the number of components can be reduced compared to a configuration in which a liquid is circulated using a member different from the holding unit, it is possible to provide an optical device capable of reducing the number of manufacturing steps and the cost of components and reducing the size.
Furthermore, since the projection is provided in at least one of the inside of the inflow portion and the flow path, it is possible to generate turbulent flow when the liquid flowing in from the inflow portion collides with the projection. . In the turbulent flow, the temperature boundary layer generated in the laminar flow is not easily generated, so that heat exchange can be favorably performed between the inner wall of the inflow portion or the inner wall of the flow path and the liquid. Moreover, since the surface area of the holding part in the flow path can be increased by providing the protrusion on the holding part, it is possible to improve the heat dissipation by the holding part. Therefore, it is possible to provide an optical device in which the optical element is cooled more efficiently.

［適用例２］上記適用例に係る光学装置において、前記突起は、前記液体が前記流路内を流通する流通方向の大きさと、前記流通方向に交差する方向の大きさとの比が２以下であることが好ましい。   Application Example 2 In the optical device according to the application example described above, the protrusion has a ratio of a size in a flow direction in which the liquid flows in the flow path to a size in a direction crossing the flow direction is 2 or less. Preferably there is.

この構成によれば、突起は、上述した大きさに形成されているので、流入部内や流路への自由な配置が可能となる。これによって、層流では温度境界層が生じやすい個所に対応させて突起を設けることが可能となり、光学素子がさらに効率よく冷却される光学装置の提供が可能となる。   According to this configuration, since the protrusion is formed in the above-described size, it can be freely arranged in the inflow portion or in the flow path. As a result, it is possible to provide protrusions corresponding to locations where temperature boundary layers are likely to occur in laminar flow, and it is possible to provide an optical device in which the optical element is cooled more efficiently.

［適用例３］上記適用例に係る光学装置において、前記流路は、互いに対向して配置され、第１方向に延出する第１流路部および第４流路部と、互いに対向して配置され、前記第１方向に交差する第２方向に延出する第２流路部および第３流路部と、を有し、前記第１流路部、前記第２流路部、前記第３流路部、および前記第４流路部は環状に接続され、前記突起は、前記流路内に設けられていることが好ましい。   Application Example 3 In the optical device according to the application example described above, the flow paths are disposed to face each other, and are opposed to the first flow path portion and the fourth flow path portion that extend in the first direction. A second flow path portion and a third flow path portion arranged and extending in a second direction intersecting the first direction, the first flow path portion, the second flow path portion, the first It is preferable that the three flow path portions and the fourth flow path portion are connected in an annular shape, and the protrusion is provided in the flow path.

この構成によれば、第１流路部〜第４流路部で環状の流路が形成されているので、矩形状の光学有効領域を有する光学素子に対し、この光学有効領域に近づけて流路を設けることが可能となる。そして、突起が流路内に設けられているので、この環状の流路内で、層流では温度境界層が生じやすい個所に対応させて突起を設けることが可能となる。よって、光学素子の熱をさらに効率よく液体に伝えることが可能となるので、光学素子の温度上昇がさらに抑制される光学装置の提供が可能となる。   According to this configuration, since the annular flow passage is formed by the first flow passage portion to the fourth flow passage portion, an optical element having a rectangular optical effective region flows close to the optical effective region. A road can be provided. Since the protrusion is provided in the flow path, the protrusion can be provided in the annular flow path so as to correspond to a place where a temperature boundary layer is likely to occur in the laminar flow. Therefore, the heat of the optical element can be more efficiently transmitted to the liquid, and thus an optical device can be provided in which the temperature rise of the optical element is further suppressed.

［適用例４］上記適用例に係る光学装置において、前記第２流路部および前記第３流路部は、前記第１流路部および前記第４流路部より長く形成され、前記突起は、前記第２流路部および前記第３流路部の少なくともいずれか一方に設けられていることが好ましい。   Application Example 4 In the optical device according to the application example, the second flow path part and the third flow path part are formed longer than the first flow path part and the fourth flow path part, and the protrusion is It is preferable that it is provided in at least one of the second flow path part and the third flow path part.

この構成によれば、流路は、第２流路部および第３流路部が第１流路部および第４流路部より長い平面視矩形状に形成されている、そして、突起は、平面視矩形状の流路における長手方向となる第２流路部および第３流路部の少なくともいずれか一方に設けられている。これによって、層流では第１流路部や第４流路部より広い範囲に生じやすい第２流路部や第３流路部における温度境界層の発生を抑えることが可能となる。よって、長方形状の光学有効領域を有する光学素子を備え、この光学素子の温度上昇が効率よく抑制される光学装置の提供が可能となる。   According to this configuration, the flow path is formed in a rectangular shape in plan view in which the second flow path part and the third flow path part are longer than the first flow path part and the fourth flow path part. It is provided in at least one of the second flow path part and the third flow path part that are in the longitudinal direction in the rectangular flow path in plan view. As a result, in the laminar flow, it is possible to suppress the generation of the temperature boundary layer in the second flow path part and the third flow path part that are likely to occur in a wider range than the first flow path part and the fourth flow path part. Therefore, it is possible to provide an optical device that includes an optical element having a rectangular optical effective area and in which the temperature rise of the optical element is efficiently suppressed.

［適用例５］上記適用例に係る光学装置において、前記保持部は、前記光軸に沿う方向において互いに対向して配置され、互いが接合されることにより前記流路を形成する第１フレームおよび第２フレームを備え、前記突起は、前記第１フレームおよび前記第２フレームの一方から突出していることが好ましい。   Application Example 5 In the optical device according to the application example described above, the holding unit is disposed to face each other in the direction along the optical axis, and the first frame that forms the flow path by being joined to each other; Preferably, a second frame is provided, and the protrusion protrudes from one of the first frame and the second frame.

この構成によれば、第１フレームおよび第２フレームの一方に突起を設け、第１フレームと第２フレームとを接続することで流路、および突起を有する保持部を形成することができる。よって、内部に液体が流通する流路を有する構成であっても、容易な加工で、また、製造工数の増加を抑制して突起を有する保持部を形成することができる。   According to this configuration, by providing the protrusion on one of the first frame and the second frame and connecting the first frame and the second frame, the flow path and the holding portion having the protrusion can be formed. Therefore, even if it is the structure which has the flow path through which a liquid distribute | circulates inside, it is easy processing and can suppress the increase in a manufacturing man-hour and can form the holding part which has a processus | protrusion.

［適用例６］上記適用例に係る光学装置において、前記第１フレームおよび前記第２フレームは、熱伝導性材料で形成され、前記突起は、前記第１フレームおよび前記第２フレームの他方に熱伝導可能に当接または接続された伝熱用突起を有していることが好ましい。   Application Example 6 In the optical device according to the application example described above, the first frame and the second frame are formed of a heat conductive material, and the protrusion is heated on the other of the first frame and the second frame. It is preferable to have a heat transfer protrusion abutted or connected in a conductive manner.

この構成によれば、保持部は、第１フレームまたは第２フレームが光学素子側に位置し、光学素子の光入射側あるいは光射出側に配置されて光学素子を保持する。そして、流入部の内部や流路内には、第１フレームおよび第２フレームの一方から突出し、他方に熱伝導可能に当接または接続された伝熱用突起が設けられている。これによって、光学素子側に配置され、光学素子の熱が伝わった第１フレームまたは第２フレームの一方の熱を、この伝熱用突起を利用して他方に伝えることが可能となる。よって、伝熱用突起で乱流を発生させると共に、保持部による放熱性を向上させることが可能となる。   According to this configuration, the holding unit holds the optical element by arranging the first frame or the second frame on the optical element side and being arranged on the light incident side or the light emission side of the optical element. And in the inflow part and in a flow path, the protrusion for heat transfer which protrudes from one of the 1st frame and the 2nd frame and is contacted or connected to the other so that heat conduction is provided. Accordingly, the heat of one of the first frame and the second frame, which is disposed on the optical element side and to which the heat of the optical element is transmitted, can be transmitted to the other using the heat transfer protrusion. Therefore, it is possible to generate a turbulent flow with the heat transfer projection and to improve the heat dissipation by the holding portion.

［適用例７］上記適用例に係る光学装置において、前記光学素子は、入射する光を変調する光変調装置であることが好ましい。   Application Example 7 In the optical device according to the application example, it is preferable that the optical element is a light modulation device that modulates incident light.

この構成によれば、光学素子としての光変調装置は、保持部に流入された液体によって効率よく冷却されるので、温度上昇が抑制される。よって、長期に亘って自身が有する光学特性を発揮して入射した光を変調する光学素子を備えた光学装置の提供が可能となる。   According to this configuration, the light modulation device as the optical element is efficiently cooled by the liquid that has flowed into the holding unit, and thus the temperature rise is suppressed. Therefore, it is possible to provide an optical device including an optical element that modulates incident light by exhibiting optical characteristics of the optical device over a long period of time.

［適用例８］本適用例に係るプロジェクターは、光を射出する光源と、前記光源から射出された光が入射する上記に記載の光学装置と、前記光学装置から射出された光に応じた画像を投写する投写光学装置と、前記光学装置に液体を循環させる液冷装置と、を備えることを特徴とする。   Application Example 8 A projector according to this application example includes a light source that emits light, the above-described optical device that receives light emitted from the light source, and an image corresponding to the light emitted from the optical device. And a liquid cooling device for circulating a liquid through the optical device.

この構成によれば、プロジェクターは、上述した光学装置および液冷装置を備えているので、高輝度の光を射出する光源を備える構成であっても、光学素子が効率よく冷却され、長期に亘って明るい画像や画質が良好な画像の投写が可能となる。
また、保持部とは異なる部材を用いて液体を流通させる構成に比べ、流路の形状の自由度を高めることができるので、低い圧力で液体を循環させることが可能となる。これによって、液体を循環させるために、液冷装置が備える装置（例えば、ポンプ等）の小型化や低パワー化が可能となる。
また、低い圧力で液体を循環させることが可能なので、光学装置に液体を循環させるための保持部と液冷装置との接続部や、液冷装置内の接続部から液体の揮発や漏れを防止することが可能となる。これによって、プロジェクター内の他の部材への液体の付着を防止できると共に、備える液体の量を少なく構成することが可能となる。よって、小型、低消費電力の液冷装置を備えたプロジェクターの提供が可能となる。 According to this configuration, since the projector includes the above-described optical device and liquid cooling device, the optical element is efficiently cooled even for a configuration including a light source that emits high-luminance light. And bright images and images with good image quality can be projected.
In addition, since the degree of freedom of the shape of the flow path can be increased as compared with the configuration in which the liquid is circulated using a member different from the holding unit, the liquid can be circulated at a low pressure. Thereby, in order to circulate the liquid, it is possible to reduce the size and power of an apparatus (for example, a pump) included in the liquid cooling apparatus.
In addition, since it is possible to circulate the liquid at a low pressure, the volatilization and leakage of the liquid can be prevented from the connection between the holding unit and the liquid cooling device for circulating the liquid in the optical device and from the connection in the liquid cooling device. It becomes possible to do. As a result, it is possible to prevent the liquid from adhering to other members in the projector and to reduce the amount of liquid provided. Therefore, it is possible to provide a projector having a small-sized and low power consumption liquid cooling device.

本実施形態のプロジェクターの概略構成を示す模式図。1 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a projector according to an embodiment. 本実施形態の光学装置、および光学装置の保持部に接続された管状部材を光入射側から見た斜視図。The perspective view which looked at the tubular member connected to the optical apparatus of this embodiment and the holding | maintenance part of an optical apparatus from the light-incidence side. 図２と同じ構成の部材を光射出側から見た斜視図。The perspective view which looked at the member of the same structure as FIG. 2 from the light emission side. 本実施形態の液冷装置の主な構成を示す模式図。The schematic diagram which shows the main structures of the liquid cooling device of this embodiment. 本実施形態の光学装置、および保持部に接続された管状部材の分解斜視図。The disassembled perspective view of the optical device of this embodiment, and the tubular member connected to the holding | maintenance part. 本実施形態の保持部の分解斜視図。The disassembled perspective view of the holding | maintenance part of this embodiment. 本実施形態の保持部の分解斜視図。The disassembled perspective view of the holding | maintenance part of this embodiment. 本実施形態の光学装置の断面図。Sectional drawing of the optical apparatus of this embodiment. 本実施形態の光学装置の断面図であり、光軸の下側を示す図。It is sectional drawing of the optical apparatus of this embodiment, and is a figure which shows the lower side of an optical axis. 図９におけるＡ部の拡大図。The enlarged view of the A section in FIG. 本実施形態の第２フレームの部分平面図。The partial top view of the 2nd frame of this embodiment. 図１１におけるＢ部の拡大図。The enlarged view of the B section in FIG. 変形例１の保持部の一部を示す平面図。The top view which shows a part of holding | maintenance part of the modification 1. FIG. 変形例１の保持部の一部を示す断面図。Sectional drawing which shows a part of holding | maintenance part of the modification 1. FIG. 変形例２の保持部の一部を示す平面図。The top view which shows a part of holding | maintenance part of the modification 2. FIG. 変形例３の保持部および保持部に保持された光変調装置の部分断面図。FIG. 10 is a partial cross-sectional view of a holding unit and a light modulation device held by the holding unit according to Modification 3.

以下、本実施形態に係るプロジェクターについて、図面を参照して説明する。
本実施形態のプロジェクターは、光源から射出された光を画像情報に応じて変調し、変調した光をスクリーン等の投写面に拡大投写する。 Hereinafter, the projector according to the present embodiment will be described with reference to the drawings.
The projector according to the present embodiment modulates light emitted from a light source according to image information, and enlarges and projects the modulated light onto a projection surface such as a screen.

〔プロジェクターの主な構成〕
図１は、本実施形態のプロジェクター１の主な構成を示す模式図である。
プロジェクター１は、図１に示すように、外装を構成する外装筐体２、制御部（図示省略）、光源装置３１を有する光学ユニット３、液冷装置４、および空冷装置９を備えている。なお、図示は省略するが、プロジェクター１は、光源装置３１や制御部等に電力を供給する電源装置や、外装筐体２内の温まった空気を外部に排気する排気装置等を備えている。 [Main components of the projector]
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a main configuration of a projector 1 according to the present embodiment.
As shown in FIG. 1, the projector 1 includes an exterior housing 2 constituting an exterior, a control unit (not shown), an optical unit 3 having a light source device 31, a liquid cooling device 4, and an air cooling device 9. Although not shown, the projector 1 includes a power supply device that supplies power to the light source device 31, the control unit, and the like, an exhaust device that exhausts warm air in the exterior housing 2 to the outside, and the like.

外装筐体２は、詳細な図示は省略するが、複数の部材が組み合わされて構成されている。そして、外装筐体２には、外気を取り込むための吸気口、および外装筐体２内部の温まった空気を外部に排気する排気口等が設けられている。   Although the detailed illustration is omitted, the exterior housing 2 is configured by combining a plurality of members. The exterior housing 2 is provided with an intake port for taking in outside air, an exhaust port for exhausting warm air inside the exterior housing 2 to the outside, and the like.

制御部は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）やＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等を備え、コンピューターとして機能するものであり、プロジェクター１の動作の制御、例えば、画像の投写に関わる制御や、液冷装置４および空冷装置９の駆動に関わる制御等を行う。   The control unit includes a CPU (Central Processing Unit), a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), and the like, and functions as a computer, and is related to control of the operation of the projector 1, for example, image projection. Control and control related to driving of the liquid cooling device 4 and the air cooling device 9 are performed.

光学ユニット３は、制御部による制御の下、光源装置３１から射出された光を光学的に処理して投写する。
光学ユニット３は、図１に示すように、光源装置３１に加え、インテグレーター照明光学系３２、色分離光学系３３、後述する光変調装置３４１を有する電気光学装置３４、色合成光学装置としてのクロスダイクロイックプリズム３４４、投写光学装置３５、およびこれらの光学部品を光路上の所定位置に配置する光学部品用筐体３６を備える。 The optical unit 3 optically processes and projects the light emitted from the light source device 31 under the control of the control unit.
As shown in FIG. 1, in addition to the light source device 31, the optical unit 3 includes an integrator illumination optical system 32, a color separation optical system 33, an electro-optical device 34 having a light modulation device 341 described later, and a cross as a color synthesis optical device. A dichroic prism 344, a projection optical device 35, and an optical component housing 36 for arranging these optical components at predetermined positions on the optical path are provided.

光源装置３１は、超高圧水銀ランプやメタルハライドランプ等からなる放電型の光源３１１、およびリフレクター３１２等を備える。光源装置３１は、光源３１１から射出された光をリフレクター３１２にて反射し、インテグレーター照明光学系３２に向けて射出する。   The light source device 31 includes a discharge-type light source 311 composed of an ultrahigh pressure mercury lamp, a metal halide lamp, and the like, a reflector 312 and the like. The light source device 31 reflects the light emitted from the light source 311 by the reflector 312 and emits the light toward the integrator illumination optical system 32.

インテグレーター照明光学系３２は、第１レンズアレイ３２１、第２レンズアレイ３２２、偏光変換素子３２３、および重畳レンズ３２４を備える。
第１レンズアレイ３２１は、小レンズがマトリクス状に配列された構成を有しており、光源装置３１から射出された光を複数の部分光に分割する。第２レンズアレイ３２２は、第１レンズアレイ３２１と略同様の構成を有しており、重畳レンズ３２４とともに、部分光を光変調装置３４１の表面に略重畳させる。偏光変換素子３２３は、第２レンズアレイ３２２から射出されたランダム光を光変調装置３４１で利用可能な略１種類の偏光光に揃える機能を有している。 The integrator illumination optical system 32 includes a first lens array 321, a second lens array 322, a polarization conversion element 323, and a superimposing lens 324.
The first lens array 321 has a configuration in which small lenses are arranged in a matrix, and divides the light emitted from the light source device 31 into a plurality of partial lights. The second lens array 322 has substantially the same configuration as the first lens array 321, and partially superimposes the partial light on the surface of the light modulation device 341 together with the superimposing lens 324. The polarization conversion element 323 has a function of aligning random light emitted from the second lens array 322 with substantially one type of polarized light that can be used by the light modulation device 341.

色分離光学系３３は、ダイクロイックミラー３３１，３３２、および反射ミラー３３３〜３３６を備え、インテグレーター照明光学系３２から射出された光を赤色光（以下「Ｒ光」という）、緑色光（以下「Ｇ光」という）、青色光（以下「Ｂ光」という）の３色の色光に分離し、光変調装置３４１に導く機能を有する。   The color separation optical system 33 includes dichroic mirrors 331 and 332, and reflection mirrors 333 to 336. The light emitted from the integrator illumination optical system 32 is red light (hereinafter referred to as “R light”), green light (hereinafter referred to as “G light”). Light) and blue light (hereinafter referred to as “B light”), and the light is guided to the light modulation device 341.

電気光学装置３４は、各色光用に設けられた３つの光変調装置３４１、各光変調装置３４１の光入射側、光射出側にそれぞれ配置された入射側偏光板３４２、射出側偏光板３４３、各光変調装置３４１を保持する保持部５（図２参照）、および図示しない支持部を備えている。Ｒ光用の光変調装置を３４１Ｒ、Ｇ光用の光変調装置を３４１Ｇ、Ｂ光用の光変調装置を３４１Ｂとする。光変調装置３４１Ｒ，３４１Ｇ，３４１Ｂ、および各色光用の入射側偏光板３４２、射出側偏光板３４３は、色分離光学系３３から射出された各色光用の光軸３４Ａ（Ｒ光用の光軸を３４Ａｒ、Ｇ光用の光軸を３４Ａｇ、Ｂ光用の光軸を３４Ａｂとする）上にそれぞれ配置されている。光変調装置３４１は、入射する光の光軸３４Ａ上に配置された光学素子に相当する。また、保持部５、および保持部５に保持された光変調装置３４１を光学装置５０とする。   The electro-optical device 34 includes three light modulation devices 341 provided for each color light, an incident-side polarizing plate 342, an emission-side polarizing plate 343 disposed on the light incident side and the light emission side of each light modulation device 341, A holding unit 5 (see FIG. 2) for holding each light modulation device 341 and a support unit (not shown) are provided. The light modulation device for R light is 341R, the light modulation device for G light is 341G, and the light modulation device for B light is 341B. The light modulators 341R, 341G, and 341B, the incident-side polarizing plate 342 for each color light, and the emission-side polarizing plate 343 include an optical axis 34A (an optical axis for R light) emitted from the color separation optical system 33. Is 34Ar, the optical axis for G light is 34Ag, and the optical axis for B light is 34Ab). The light modulation device 341 corresponds to an optical element disposed on the optical axis 34A of incident light. Further, the holding unit 5 and the light modulation device 341 held by the holding unit 5 are referred to as an optical device 50.

図２は、光学装置５０、および光学装置５０の保持部５に接続された後述する管状部材４４を光入射側から見た斜視図である。図３は、図２と同じ構成の部材を光射出側から見た斜視図である。
光変調装置３４１は、図３に示すように、透過型の液晶パネル３４０、防塵ガラス３４０Ｎ，３４０Ｓ、およびフレキシブル基板３４０Ｆを備えている。
液晶パネル３４０は、ガラス等からなる素子基板、および素子基板に対向して配設された対向基板の間に液晶が密閉封入され、微小画素がマトリクス状に形成された矩形状の画像形成領域（図示省略）を有している。画像形成領域は、画像を形成するための光学有効領域となる。 FIG. 2 is a perspective view of the optical device 50 and a tubular member 44 described later connected to the holding unit 5 of the optical device 50 as viewed from the light incident side. FIG. 3 is a perspective view of a member having the same configuration as FIG. 2 as viewed from the light emission side.
As shown in FIG. 3, the light modulation device 341 includes a transmissive liquid crystal panel 340, dustproof glasses 340N and 340S, and a flexible substrate 340F.
The liquid crystal panel 340 is a rectangular image forming region (a liquid crystal is hermetically sealed between an element substrate made of glass or the like and a counter substrate disposed facing the element substrate, and minute pixels are formed in a matrix. (Not shown). The image forming area is an optically effective area for forming an image.

防塵ガラス３４０Ｎは、液晶パネル３４０の光入射側の面に配置され、防塵ガラス３４０Ｓは、液晶パネル３４０の光射出側の面に配置されている。
防塵ガラス３４０Ｎ，３４０Ｓは、例えば、石英ガラス、サファイア、水晶等で形成され、液晶パネル３４０の表面に塵埃が付着することを防止する。これによって、防塵ガラス３４０Ｎや防塵ガラス３４０Ｓに塵埃が付着したとしても、塵埃の位置が焦点位置からずれるので、投写される画像は、塵埃の影が目立ちにくくなっている。 The dustproof glass 340N is disposed on the light incident side surface of the liquid crystal panel 340, and the dustproof glass 340S is disposed on the light emission side surface of the liquid crystal panel 340.
The dustproof glasses 340N and 340S are formed of, for example, quartz glass, sapphire, crystal, and the like, and prevent dust from adhering to the surface of the liquid crystal panel 340. As a result, even if dust adheres to the dust-proof glass 340N or the dust-proof glass 340S, the position of the dust deviates from the focal position, so that the shadow of the dust is less noticeable in the projected image.

フレキシブル基板３４０Ｆは、一端が液晶パネル３４０の素子基板に接続され、他端が制御部に接続されている。光変調装置３４１は、フレキシブル基板３４０Ｆを介して制御部から画像情報に応じた駆動信号が入力され、画像形成領域の液晶の配向状態が制御され、入射する色光を変調する。   The flexible substrate 340F has one end connected to the element substrate of the liquid crystal panel 340 and the other end connected to the control unit. The light modulation device 341 receives a drive signal corresponding to image information from the control unit via the flexible substrate 340F, controls the alignment state of the liquid crystal in the image forming region, and modulates incident color light.

保持部５は、図２に示すように、入射側偏光板３４２（図１参照）から射出された光Ｌが通過する開口部５２１が設けられている。本実施形態の光変調装置３４１は、接着剤によって保持部５に固定されている。光変調装置３４１Ｒ，３４１Ｇ，３４１Ｂをそれぞれ保持する保持部５を５Ｒ，５Ｇ，５Ｂとする。後で詳細に説明するが、保持部５の内部には、液冷装置４から供給された液体が流通する流路６が設けられている。そして、光変調装置３４１は、保持部５と液冷装置４との間で液体が循環されることによって冷却される。保持部５については後で詳細に説明する。   As shown in FIG. 2, the holding unit 5 is provided with an opening 521 through which the light L emitted from the incident-side polarizing plate 342 (see FIG. 1) passes. The light modulation device 341 of the present embodiment is fixed to the holding unit 5 with an adhesive. The holding units 5 that hold the light modulation devices 341R, 341G, and 341B are assumed to be 5R, 5G, and 5B, respectively. As will be described in detail later, a flow path 6 through which the liquid supplied from the liquid cooling device 4 flows is provided inside the holding unit 5. The light modulation device 341 is cooled by circulating the liquid between the holding unit 5 and the liquid cooling device 4. The holding unit 5 will be described in detail later.

支持部は、詳細な説明は省略するが、板金等で形成され、光学装置５０を支持し、クロスダイクロイックプリズム３４４に取り付けられている。   Although not described in detail, the support portion is formed of sheet metal or the like, supports the optical device 50, and is attached to the cross dichroic prism 344.

クロスダイクロイックプリズム３４４は、４つの直角プリズムを貼り合わせた平面視略正方形状をなし、直角プリズム同士を貼り合わせた界面には、２つの誘電体多層膜が形成されている。クロスダイクロイックプリズム３４４は、誘電体多層膜が光変調装置３４１Ｒ，３４１Ｂにて変調されたＲ光およびＢ光を反射し、光変調装置３４１Ｇにて変調されたＧ光を透過して、３色の変調光を合成する。   The cross dichroic prism 344 has a substantially square shape in plan view in which four right-angle prisms are bonded together, and two dielectric multilayer films are formed on the interface where the right-angle prisms are bonded together. In the cross dichroic prism 344, the dielectric multilayer film reflects the R light and the B light modulated by the light modulation devices 341R and 341B, and transmits the G light modulated by the light modulation device 341G. Synthesize modulated light.

投写光学装置３５は、複数のレンズを備え、クロスダイクロイックプリズム３４４にて合成された光をスクリーン上に拡大投写する。   The projection optical device 35 includes a plurality of lenses, and enlarges and projects the light combined by the cross dichroic prism 344 on the screen.

液冷装置４は、光学装置５０の保持部５との間で液体を循環させ、光変調装置３４１を冷却する。
図４は、液冷装置４の主な構成を示す模式図である。
液冷装置４は、図４に示すように、液体圧送部４１、タンク４２、熱交換装置４３、複数の管状部材４４、および冷却ファン４５を備える。液体圧送部４１、タンク４２、熱交換装置４３、および複数の管状部材４４は、保持部５とで液体が循環する循環流路４Ｆを形成する。 The liquid cooling device 4 circulates the liquid between the holding unit 5 of the optical device 50 and cools the light modulation device 341.
FIG. 4 is a schematic diagram showing the main configuration of the liquid cooling device 4.
As shown in FIG. 4, the liquid cooling device 4 includes a liquid pumping unit 41, a tank 42, a heat exchange device 43, a plurality of tubular members 44, and a cooling fan 45. The liquid pumping unit 41, the tank 42, the heat exchange device 43, and the plurality of tubular members 44 form a circulation channel 4 </ b> F through which the liquid circulates with the holding unit 5.

液体圧送部４１は、液体を吸入および圧送するポンプであり、液体を吸入する吸入口、および液体を圧送する流出口を有している。そして、液体圧送部４１は、循環流路４Ｆに液体を循環させる。   The liquid pumping unit 41 is a pump that sucks and pumps liquid, and has an inlet for sucking liquid and an outlet for pumping liquid. Then, the liquid pumping unit 41 circulates the liquid in the circulation channel 4F.

タンク４２は、アルミニウム等の金属材料で、液体が流入する流入口、および液体が流出する流出口を有して中空に形成されている。そして、タンク４２は、内部に液体を一時的に蓄積し、この液体を循環流路４Ｆに供給する。なお、本実施形態に用いられる液体としては、水やエチレングリコール等を例示することができる。   The tank 42 is made of a metal material such as aluminum, and is formed in a hollow shape having an inflow port through which liquid flows in and an outflow port through which liquid flows out. And the tank 42 accumulate | stores a liquid temporarily inside and supplies this liquid to the circulation flow path 4F. In addition, water, ethylene glycol, etc. can be illustrated as a liquid used for this embodiment.

熱交換装置４３は、図４に示すように、受熱部４３１、熱電変換素子４３２、および放熱部４３３を備える。
受熱部４３１は、内部に液体が流通する複数の微細な流路（図示省略）、およびこの流路に連通する流入口、流出口を備え、いわゆるマイクロチャンネル等の熱交換器の構造を有している。そして、受熱部４３１は、流入口から流入し、微細な流路を流れる液体から熱を受熱する。 As shown in FIG. 4, the heat exchange device 43 includes a heat receiving portion 431, a thermoelectric conversion element 432, and a heat radiating portion 433.
The heat receiving unit 431 includes a plurality of fine flow paths (not shown) through which liquid flows, and inlets and outlets communicating with the flow paths, and has a heat exchanger structure such as a so-called microchannel. ing. And the heat receiving part 431 receives heat from the liquid which flows in from an inflow port and flows through a fine flow path.

熱電変換素子４３２は、例えば、吸熱部および発熱部を有するペルチェ素子を備え、吸熱部が受熱部４３１に接続されている。熱電変換素子４３２は、電力が供給されると、受熱部４３１の熱を吸熱部で吸熱し、発熱部が発熱する。   The thermoelectric conversion element 432 includes, for example, a Peltier element having a heat absorbing part and a heat generating part, and the heat absorbing part is connected to the heat receiving part 431. When electric power is supplied, the thermoelectric conversion element 432 absorbs heat from the heat receiving unit 431 by the heat absorbing unit, and the heat generating unit generates heat.

放熱部４３３は、いわゆるヒートシンクであり、アルミニウム等の金属材料で形成され、板状のベース部４３３ａ、およびベース部４３３ａの一方の面から突出する複数のフィン４３３ｂ（図４では、１つのフィン４３３ｂを示す）を有している。放熱部４３３は、ベース部４３３ａが熱電変換素子４３２の発熱部に接続され、この発熱部の熱を放熱させる。
冷却ファン４５は、放熱部４３３に空気を送風し、放熱部４３３による放熱を促進させる。 The heat dissipating part 433 is a so-called heat sink, and is formed of a metal material such as aluminum, and has a plate-like base part 433a and a plurality of fins 433b (in FIG. 4, one fin 433b) protruding from one surface of the base part 433a. Is shown). In the heat radiating part 433, the base part 433a is connected to the heat generating part of the thermoelectric conversion element 432, and the heat of the heat generating part is radiated.
The cooling fan 45 blows air to the heat radiating unit 433 and promotes heat radiation by the heat radiating unit 433.

複数の管状部材４４は、柔軟性を有する部材で内部に液体が流通する管状に形成され、図４に示すように、各部材（保持部５Ｒ，５Ｇ，５Ｂ、液体圧送部４１、タンク４２、受熱部４３１）間を環状に接続し、これらの部材とで循環流路４Ｆを形成する。なお、図４では、３つの保持部５（保持部５Ｒ，５Ｇ，５Ｂ）が直列に接続された構成を示したが、３つの保持部５が並列に接続される構成であってもよい。また、図４では、液体が保持部５Ｒ，５Ｇ，５Ｂの順で流れるよう３つの保持部５が接続されているが、この順に限らない。   The plurality of tubular members 44 are flexible members and are formed in a tubular shape in which liquid flows. As shown in FIG. 4, each member (holding portions 5R, 5G, 5B, liquid pumping portion 41, tank 42, The heat receiving portions 431) are connected in an annular shape, and the circulation channel 4F is formed with these members. 4 shows a configuration in which three holding units 5 (holding units 5R, 5G, and 5B) are connected in series, a configuration in which three holding units 5 are connected in parallel may be used. In FIG. 4, the three holding units 5 are connected so that the liquid flows in the order of the holding units 5R, 5G, and 5B, but the order is not limited.

空冷装置９は、詳細な図示は省略するが、送風ファン、および送風ファンから送風された空気を電気光学装置３４に導くダクト部材等を備え、光変調装置３４１、入射側偏光板３４２、および射出側偏光板３４３等の光学部品を冷却する。すなわち、光変調装置３４１は、液冷装置４および空冷装置９によって冷却される。   Although not shown in detail, the air cooling device 9 includes a blower fan, a duct member that guides the air blown from the blower fan to the electro-optical device 34, and the like, and includes a light modulation device 341, an incident-side polarizing plate 342, and an exit. Optical components such as the side polarizing plate 343 are cooled. That is, the light modulation device 341 is cooled by the liquid cooling device 4 and the air cooling device 9.

〔保持部の構成〕
ここで、光学装置５０における保持部５について詳細に説明する。各保持部５Ｒ，５Ｇ，５Ｂは、共通に形成されており、１つの保持部５に注目して説明する。
図５は、光学装置５０、および保持部５に接続された管状部材４４の分解斜視図であり、光入射側から見た図である。図６は、光入射側から見た保持部５の分解斜視図である。図７は、光射出側から見た保持部５の分解斜視図である。 (Configuration of holding part)
Here, the holding unit 5 in the optical device 50 will be described in detail. Each holding part 5R, 5G, 5B is formed in common, and it demonstrates paying attention to one holding part 5. FIG.
FIG. 5 is an exploded perspective view of the optical device 50 and the tubular member 44 connected to the holding unit 5, as viewed from the light incident side. FIG. 6 is an exploded perspective view of the holding unit 5 as seen from the light incident side. FIG. 7 is an exploded perspective view of the holding unit 5 as seen from the light emission side.

保持部５は、熱伝導性材料で形成された第１フレーム７と第２フレーム８とが接合されて構成されている。本実施形態の第１フレーム７および第２フレーム８は、例えば、アルミニウム等の板金からプレス加工によって形成されている。第１フレーム７と第２フレーム８とは、図５〜図７に示すように、光軸３４Ａに沿う方向において互いに対向して配置されている。そして、保持部５は、光変調装置３４１の光入射側に配置され、第１フレーム７が光変調装置３４１側に位置し、第２フレーム８が第１フレーム７の光変調装置３４１とは反対側に位置するように配置されている。   The holding part 5 is configured by joining a first frame 7 and a second frame 8 made of a heat conductive material. The first frame 7 and the second frame 8 of the present embodiment are formed by pressing from a sheet metal such as aluminum, for example. As shown in FIGS. 5 to 7, the first frame 7 and the second frame 8 are disposed to face each other in the direction along the optical axis 34 </ b> A. The holding unit 5 is disposed on the light incident side of the light modulation device 341, the first frame 7 is located on the light modulation device 341 side, and the second frame 8 is opposite to the light modulation device 341 of the first frame 7. It is arranged to be located on the side.

保持部５は、図５、図６に示すように、光軸３４Ａに沿う方向から見て、外形が矩形状に形成され、流入部５１、流路形成部５２、および流出部５３を有している。
流入部５１および流出部５３は、矩形状の保持部５における一方の辺側に設けられている。なお、以下では、説明の便宜上、保持部５における流入部５１および流出部５３が設けられた側を「上側」、流入部５１および流出部５３が上側となる姿勢において、光入射側から見た保持部５の右側を「右側」（＋Ｘ側）として記載する。また、光変調装置３４１の画像形成領域（光学有効領域）は、上下方向より左右方向が長い矩形状に形成されている。 As shown in FIGS. 5 and 6, the holding part 5 has a rectangular outer shape when viewed from the direction along the optical axis 34 </ b> A, and includes an inflow part 51, a flow path forming part 52, and an outflow part 53. ing.
The inflow portion 51 and the outflow portion 53 are provided on one side of the rectangular holding portion 5. In the following, for convenience of explanation, the side of the holding unit 5 on which the inflow portion 51 and the outflow portion 53 are provided is “upper side”, and the inflow portion 51 and the outflow portion 53 are viewed from the light incident side. The right side of the holding part 5 is described as “right side” (+ X side). The image forming area (optically effective area) of the light modulation device 341 is formed in a rectangular shape that is longer in the horizontal direction than in the vertical direction.

流入部５１は、保持部５の上側における一方の端部近傍（本実施形態では左側（−Ｘ側））に設けられている。流入部５１は、管状部材４４が接続され、液冷装置４からの液体が流入するように円筒状に形成されている。
流路形成部５２は、光変調装置３４１の周縁に沿って環状に配設されている。環状の流路形成部５２の内周縁は、光Ｌが通過する開口部５２１となる。流路形成部５２は、光入射側から見て、液晶パネル３４０の矩形状の光学有効領域を囲むように形成され、内部には、流入部５１からの液体が流通する流路６が設けられている。 The inflow portion 51 is provided in the vicinity of one end portion on the upper side of the holding portion 5 (on the left side (−X side in this embodiment)). The inflow portion 51 is connected to the tubular member 44 and is formed in a cylindrical shape so that the liquid from the liquid cooling device 4 flows in.
The flow path forming part 52 is annularly arranged along the periphery of the light modulation device 341. The inner peripheral edge of the annular flow path forming portion 52 becomes an opening 521 through which the light L passes. The flow path forming part 52 is formed so as to surround the rectangular optical effective region of the liquid crystal panel 340 when viewed from the light incident side, and the flow path 6 through which the liquid from the inflow part 51 flows is provided. ing.

流出部５３は、保持部５の上側における他方の端部近傍（本実施形態では右側（＋Ｘ側））に設けられている。流出部５３は、管状部材４４が接続され、流路６を流れた液体が流出するように円筒状に形成されている。このように、流入部５１および流出部５３は、流路形成部５２に対して同一側（上側）に配置されている。なお、空冷装置９におけるダクト部材（図示省略）の一部は、保持部５の流入部５１および流出部５３とは反対側、すなわち、電気光学装置３４の下方に配置されている。   The outflow portion 53 is provided in the vicinity of the other end portion on the upper side of the holding portion 5 (on the right side (+ X side) in the present embodiment). The outflow portion 53 is connected to the tubular member 44 and is formed in a cylindrical shape so that the liquid flowing through the flow path 6 flows out. Thus, the inflow part 51 and the outflow part 53 are arrange | positioned with respect to the flow-path formation part 52 on the same side (upper side). A part of the duct member (not shown) in the air cooling device 9 is disposed on the opposite side of the holding portion 5 from the inflow portion 51 and the outflow portion 53, that is, below the electro-optical device 34.

ここで、第１フレーム７および第２フレーム８の形状について詳細に説明する。
第１フレーム７は、図６、図７に示すように、第１枠部７２、第１起立部７１、および凹部７３，７４を有している。
第１枠部７２は、環状の流路形成部５２の内周縁に沿う開口部を有し、光軸３４Ａに対して交差する方向に延出している。
第１起立部７１は、図６、図７に示すように、第１枠部７２における開口部の縁部から第２フレーム８側に起立し、平面視矩形状に形成されている。第１起立部７１は、環状の流路形成部５２の内周縁、すなわち保持部５の開口部５２１（図５参照）の縁部を形成している。 Here, the shapes of the first frame 7 and the second frame 8 will be described in detail.
As shown in FIGS. 6 and 7, the first frame 7 includes a first frame portion 72, a first standing portion 71, and concave portions 73 and 74.
The first frame portion 72 has an opening along the inner peripheral edge of the annular flow path forming portion 52 and extends in a direction intersecting the optical axis 34A.
As shown in FIGS. 6 and 7, the first upright portion 71 rises from the edge of the opening in the first frame portion 72 toward the second frame 8 and is formed in a rectangular shape in plan view. The first upright portion 71 forms the inner peripheral edge of the annular flow path forming portion 52, that is, the edge of the opening 521 (see FIG. 5) of the holding portion 5.

凹部７３は、流入部５１の一部を形成する部位であり、図６に示すように、第１枠部７２の左上側に設けられ、第２フレーム８側が半円筒状に凹む形状を有している。凹部７４は、流出部５３の一部を形成する部位であり、図６に示すように、第１枠部７２の右上側に設けられ、第２フレーム８側が半円筒状に凹む形状を有している。
また、第１枠部７２には、凹部７３，７４それぞれの近傍に位置決め孔７２ｈが形成されている。 The recess 73 is a part that forms a part of the inflow portion 51, and is provided on the upper left side of the first frame portion 72 and has a shape that the second frame 8 side is recessed in a semi-cylindrical shape, as shown in FIG. ing. The recess 74 is a part that forms a part of the outflow portion 53, and is provided on the upper right side of the first frame portion 72 and has a shape that the second frame 8 side is recessed in a semi-cylindrical shape as shown in FIG. ing.
The first frame portion 72 has positioning holes 72h in the vicinity of the recesses 73 and 74, respectively.

第２フレーム８は、図６、図７に示すように、第２枠部８２、第２起立部８１、凹部８３，８４、および外周縁部８５を有している。
図８は、下方から見た光学装置５０の断面図である。図９は、左方（−Ｘ方向）から見た光学装置５０の断面図であり、光軸３４Ａの下側を示す図である。
第２枠部８２は、図６に示すように、第１起立部７１が挿通可能な挿通開口部８２１を有し、図８に示すように、第１枠部７２に空間を介して対向するように形成されている。
また、第２枠部８２には、図７に示すように、第１フレーム７側に突出する複数の突起８２Ｐが形成されている。突起８２Ｐは、流路６内に突出し、液体が衝突することにより乱流を発生させる機能を有している。突起８２Ｐについては、後で詳細に説明する。 As shown in FIGS. 6 and 7, the second frame 8 has a second frame portion 82, a second upright portion 81, concave portions 83 and 84, and an outer peripheral edge portion 85.
FIG. 8 is a cross-sectional view of the optical device 50 as viewed from below. FIG. 9 is a cross-sectional view of the optical device 50 as viewed from the left (−X direction), and is a view showing the lower side of the optical axis 34A.
As shown in FIG. 6, the second frame portion 82 has an insertion opening 821 through which the first upright portion 71 can be inserted, and as shown in FIG. 8, the second frame portion 82 faces the first frame portion 72 through a space. It is formed as follows.
Further, as shown in FIG. 7, the second frame portion 82 is formed with a plurality of protrusions 82P that protrude toward the first frame 7 side. The protrusion 82P protrudes into the flow path 6 and has a function of generating turbulent flow when the liquid collides. The protrusion 82P will be described in detail later.

第２起立部８１は、図７に示すように、挿通開口部８２１の縁部から第１フレーム７側に起立して平面視矩形状に形成され、図８に示すように、第１起立部７１の外周、すなわち、第１起立部７１の開口部５２１とは反対側に積層されるように形成されている。   As shown in FIG. 7, the second upright portion 81 is formed in a rectangular shape in plan view while standing from the edge of the insertion opening 821 toward the first frame 7, and as shown in FIG. 8, the first upright portion 81 It is formed so as to be laminated on the outer periphery of 71, that is, on the side opposite to the opening 521 of the first upright portion 71.

凹部８３は、第１フレーム７の凹部７３に対向する位置に設けられ、第１フレーム７側が半円筒状に凹む形状を有している。そして、凹部８３は、凹部７３とで流入部５１を形成する。
凹部８４は、第１フレーム７の凹部７４に対向する位置に設けられ、第１フレーム７側が半円筒状に凹む形状を有している。そして、凹部８４は、凹部７４とで流出部５３を形成する。 The recess 83 is provided at a position facing the recess 73 of the first frame 7 and has a shape in which the first frame 7 side is recessed in a semi-cylindrical shape. The recess 83 forms the inflow portion 51 with the recess 73.
The recess 84 is provided at a position facing the recess 74 of the first frame 7 and has a shape in which the first frame 7 side is recessed in a semi-cylindrical shape. The recess 84 forms an outflow portion 53 with the recess 74.

外周縁部８５は、第２枠部８２に対して第１フレーム７側に屈曲された部位であり、図６に示すように、凹部８３，８４の上側以外の外周の端部に形成されている。そして、外周縁部８５には、図８、図９に示すように、第１枠部７２に積層されるように平坦に形成された端部８５１が設けられている。端部８５１には、第１枠部７２の２つの位置決め孔７２ｈにそれぞれ対応する位置決め孔８５１ｈが形成されている。   The outer peripheral edge portion 85 is a portion bent toward the first frame 7 with respect to the second frame portion 82 and is formed at the outer peripheral end other than the upper side of the recesses 83 and 84 as shown in FIG. Yes. As shown in FIGS. 8 and 9, the outer peripheral edge portion 85 is provided with an end portion 851 formed flat so as to be stacked on the first frame portion 72. The end portion 851 is formed with positioning holes 851h corresponding to the two positioning holes 72h of the first frame portion 72, respectively.

第１フレーム７と第２フレーム８とは、位置決め孔７２ｈ，８５１ｈに治具が挿通されて互いに位置決めされ、第１枠部７２と端部８５１との間、および第１起立部７１と第２起立部８１との間が、例えば、ロウ付け等によって接続される。そして、第１フレーム７と第２フレーム８とが接続されることによって、流入部５１、流路形成部５２、および流出部５３を有する保持部５が形成される。そして、保持部５は、流入部５１および流出部５３の上側以外が密閉され、流路形成部５２内には、流入部５１および流出部５３に連通する流路６が設けられる。流路６は、図８に示すように、第１枠部７２と第２枠部８２との間の第２起立部８１の外側で、端部８５１の内側に環状に設けられている。このように、流路６は、第１フレーム７と第２フレーム８とが接合されることによって形成されている。   The first frame 7 and the second frame 8 are positioned with each other by inserting a jig through the positioning holes 72h and 851h, and between the first frame portion 72 and the end portion 851, and between the first upright portion 71 and the second frame 8. The upright portion 81 is connected by, for example, brazing. And the holding | maintenance part 5 which has the inflow part 51, the flow-path formation part 52, and the outflow part 53 is formed by the 1st frame 7 and the 2nd frame 8 being connected. The holding unit 5 is sealed except for the upper side of the inflow part 51 and the outflow part 53, and the flow path 6 that communicates with the inflow part 51 and the outflow part 53 is provided in the flow path forming part 52. As shown in FIG. 8, the flow path 6 is annularly provided inside the end portion 851 outside the second upright portion 81 between the first frame portion 72 and the second frame portion 82. As described above, the flow path 6 is formed by joining the first frame 7 and the second frame 8 together.

また、流路形成部５２の厚み、すなわち、光軸３４Ａに沿う方向の大きさは、流入部５１および流出部５３の大きさ（外径寸法）より小さく形成されている。そして、保持部５は、図８に示すように、第１フレーム７の第１枠部７２が光変調装置３４１に対向して配置される。光変調装置３４１は、防塵ガラス３４０Ｎが接着剤を介して第１枠部７２に固定される。
流路６は、図８に示すように、光軸３４Ａに沿う方向から見て、一部が光変調装置３４１に重なるように設けられている。具体的に、流路６は、光変調装置３４１の端部からオーバーラップＯＬを有して設けられている。 Further, the thickness of the flow path forming portion 52, that is, the size in the direction along the optical axis 34A is formed smaller than the size (outer diameter size) of the inflow portion 51 and the outflow portion 53. As shown in FIG. 8, the holding unit 5 is arranged such that the first frame portion 72 of the first frame 7 faces the light modulation device 341. In the light modulation device 341, the dust-proof glass 340N is fixed to the first frame portion 72 via an adhesive.
As shown in FIG. 8, the flow path 6 is provided so as to partially overlap the light modulation device 341 when viewed from the direction along the optical axis 34 </ b> A. Specifically, the flow path 6 is provided with an overlap OL from the end of the light modulation device 341.

ここで流路６について、図７を用いて詳細に説明する。
流路６は、図７に示すように、環状に配置された第１流路部６１、第２流路部６２、第３流路部６３、および第４流路部６４を有している。
第１流路部６１は、開口部５２１の左方（−Ｘ方向）で、流入部５１の下方に設けられ、下方に延出している。第２流路部６２は、開口部５２１の上方に設けられ、流入部５１の下方から右方（＋Ｘ方向）に延出している。第３流路部６３は、開口部５２１の下方に設けられ、第１流路部６１の下方から右方（＋Ｘ方向）に延出している。第４流路部６４は、開口部５２１の右方（＋Ｘ方向）に設けられ、第３流路部６３の右方（＋Ｘ方向）から上方に延出している。また、第２流路部６２は、第４流路部６４の上方に接続されている。下方は第１方向に相当し、右方は第２方向に相当する。 Here, the flow path 6 will be described in detail with reference to FIG.
As shown in FIG. 7, the flow path 6 includes a first flow path section 61, a second flow path section 62, a third flow path section 63, and a fourth flow path section 64 that are arranged in an annular shape. .
The first flow path portion 61 is provided below the inflow portion 51 on the left side (−X direction) of the opening 521 and extends downward. The second flow path portion 62 is provided above the opening 521 and extends rightward (+ X direction) from below the inflow portion 51. The third flow path portion 63 is provided below the opening 521 and extends rightward (+ X direction) from below the first flow path portion 61. The fourth flow path portion 64 is provided on the right side (+ X direction) of the opening 521 and extends upward from the right side (+ X direction) of the third flow path portion 63. Further, the second flow path portion 62 is connected above the fourth flow path portion 64. The lower side corresponds to the first direction, and the right side corresponds to the second direction.

このように、流路６は、互いに対向して配置され、第１方向に延出する第１流路部６１および第４流路部６４と、互いに対向して配置され、第１方向に交差する第２方向に延出する第２流路部６２および第３流路部６３と、を有している。そして、第１流路部６１、第２流路部６２、第３流路部６３、および第４流路部６４は環状に接続されている。また、流路６は、光変調装置３４１の画像形成領域（光学有効領域）に対応して第２流路部６２および第３流路部６３が、第１流路部６１および第４流路部６４より長く形成されている。   In this way, the flow path 6 is disposed to face each other, and is disposed to face the first flow path portion 61 and the fourth flow path portion 64 extending in the first direction, and intersects the first direction. A second flow path portion 62 and a third flow path portion 63 extending in the second direction. And the 1st flow path part 61, the 2nd flow path part 62, the 3rd flow path part 63, and the 4th flow path part 64 are connected cyclically | annularly. The flow path 6 corresponds to the image forming area (optically effective area) of the light modulation device 341, and the second flow path section 62 and the third flow path section 63 are replaced by the first flow path section 61 and the fourth flow path. It is longer than the part 64.

前述した第２フレーム８に設けられた突起８２Ｐは、図７に示すように、第２流路部６２および第３流路部６３内に突出してそれぞれ複数設けられている。第２流路部６２に設けられた複数の突起８２Ｐと、第３流路部６３に設けられた複数の突起８２Ｐとは上下において略対称に形成されている。ここでは、第３流路部６３に設けられた突起８２Ｐに注目して説明する。
図１０は、光学装置５０の部分断面図であり、図９におけるＡ部の拡大図である。図１１は、第２フレーム８の部分平面図であり、第３流路部６３の内部を示す図である。 As shown in FIG. 7, a plurality of the protrusions 82 </ b> P provided on the second frame 8 described above are provided to protrude into the second flow path portion 62 and the third flow path portion 63. The plurality of protrusions 82P provided in the second flow path portion 62 and the plurality of protrusions 82P provided in the third flow path portion 63 are formed substantially symmetrically in the vertical direction. Here, the description will be made by paying attention to the protrusion 82P provided in the third flow path portion 63.
FIG. 10 is a partial cross-sectional view of the optical device 50, and is an enlarged view of a portion A in FIG. FIG. 11 is a partial plan view of the second frame 8 and shows the inside of the third flow path portion 63.

突起８２Ｐは、Ｘ方向（左右方向）の大きさと上下方向の大きさとの比が２以下（例えば、円柱状）に形成され、図１０に示すように、第１フレーム７の第１枠部７２に向かって突出し、第１枠部７２から離間して形成されている。また、第２フレーム８は、プレス加工によって形成されているため、突起８２Ｐの反対側の面に凹部が形成されている。なお、図２、図５、図６では、この凹部を省略している。
複数の突起８２Ｐは、図１１に示すように、第２起立部８１寄りに併設された複数の第１突起８２Ｐａ、および複数の第１突起８２Ｐａより下側の外周縁部８５寄りに設けられた複数の第２突起８２Ｐｂを有している。また、第２突起８２Ｐｂは、下方から見て、隣り合う第１突起８２Ｐａの間に位置するように配置されている。 The protrusion 82P is formed such that the ratio of the size in the X direction (left-right direction) and the size in the vertical direction is 2 or less (for example, a columnar shape), and as shown in FIG. 10, the first frame portion 72 of the first frame 7 is formed. The first frame portion 72 is spaced apart from the first frame portion 72. Further, since the second frame 8 is formed by pressing, a recess is formed on the surface on the opposite side of the protrusion 82P. In addition, this recessed part is abbreviate | omitted in FIG.2, FIG.5, FIG.6.
As shown in FIG. 11, the plurality of protrusions 82P are provided near the second upright portion 81 and the plurality of first protrusions 82Pa, and near the outer peripheral edge 85 below the plurality of first protrusions 82Pa. A plurality of second protrusions 82Pb are provided. Further, the second protrusion 82Pb is disposed so as to be positioned between the adjacent first protrusions 82Pa when viewed from below.

次に、液冷装置４から送られた液体の流れについて説明する。
液冷装置４から送られた液体は、図７に示すように、流入部５１から流路６を流通した後、流出部５３から保持部５の外部、すなわち液冷装置４に流出する。具体的に、流入部５１から流入された液体は、一部が第１流路部６１で下方に分流され、残部が第２流路部６２で下方に交差する右方（＋Ｘ方向）に分流される。
そして、第１流路部６１を流れた液体は、第３流路部６３で方向が変更されて右方（＋Ｘ方向）に流通する。第３流路部６３を流れた液体は、第４流路部６４で方向が変更されて上方に流通し、第２流路部６２を流通した液体が合流する。第４流路部６４を流れた液体は、流出部５３から液冷装置４に流出する。 Next, the flow of the liquid sent from the liquid cooling device 4 will be described.
As shown in FIG. 7, the liquid sent from the liquid cooling device 4 flows through the flow path 6 from the inflow portion 51 and then flows out of the holding portion 5 from the outflow portion 53, that is, to the liquid cooling device 4. Specifically, a part of the liquid flowing in from the inflow portion 51 is diverted downward in the first flow path portion 61, and the remaining portion is diverted to the right (+ X direction) intersecting downward in the second flow path portion 62. Is done.
Then, the liquid that has flowed through the first flow path portion 61 is changed in direction by the third flow path portion 63 and flows to the right (+ X direction). The liquid flowing through the third flow path portion 63 is changed in direction by the fourth flow path portion 64 and flows upward, and the liquid flowing through the second flow path portion 62 merges. The liquid that has flowed through the fourth flow path portion 64 flows out from the outflow portion 53 to the liquid cooling device 4.

また、第２流路部６２および第３流路部６３を流れる液体は、第２流路部６２および第３流路部６３に突起８２Ｐが設けられているので、一部がこの突起８２Ｐに衝突して方向が変更されるが全体として＋Ｘ方向（第２方向）に流れる。ここで、流路６内を全体的に流れる液体の方向を流通方向とする。すなわち、第２流路部６２および第３流路部６３においては、＋Ｘ方向（第２方向）が流通方向となる。   Further, since the liquid flowing through the second flow path portion 62 and the third flow path portion 63 is provided with the protrusions 82P on the second flow path portion 62 and the third flow path portion 63, a part of the liquid flows on the protrusions 82P. The direction is changed due to a collision, but flows in the + X direction (second direction) as a whole. Here, the direction of the liquid flowing through the flow path 6 as a whole is defined as a flow direction. That is, in the second flow path part 62 and the third flow path part 63, the + X direction (second direction) is the flow direction.

第２流路部６２および第３流路部６３を流れる液体の一部は、突起８２Ｐに衝突して乱流となって流れる。具体的に、第３流路部６３内の液体の流れについて説明する。
図１２は、第３流路部６３内の一部を示す図であり、図１１におけるＢ部の拡大図である。
突起８２Ｐは、前述したように、また、図１２に示すように、第２起立部８１寄りに併設された複数の第１突起８２Ｐａ、および複数の第２突起８２Ｐｂを有している。そして、第２突起８２Ｐｂは、下方から見て、隣り合う第１突起８２Ｐａの間に位置するように配置されている。すなわち、第２突起８２Ｐｂは、この第２突起８２Ｐｂの上流側に位置する第１突起８２Ｐａに対し、第２起立部８１とは反対側の斜め下流側に配置されている。また、第２突起８２Ｐｂの第２起立部８１側の斜め下流側には、第１突起８２Ｐａが配置されている。 A part of the liquid flowing through the second flow path part 62 and the third flow path part 63 collides with the protrusion 82P and flows as turbulent flow. Specifically, the flow of the liquid in the third flow path portion 63 will be described.
12 is a view showing a part of the third flow path portion 63, and is an enlarged view of a portion B in FIG.
As described above, the protrusion 82P includes a plurality of first protrusions 82Pa and a plurality of second protrusions 82Pb provided near the second upright portion 81 as shown in FIG. And 2nd protrusion 82Pb is arrange | positioned so that it may be located between adjacent 1st protrusion 82Pa seeing from the downward direction. That is, the second protrusion 82Pb is disposed on the diagonally downstream side opposite to the second standing portion 81 with respect to the first protrusion 82Pa located on the upstream side of the second protrusion 82Pb. Further, the first protrusion 82Pa is arranged on the obliquely downstream side of the second protrusion 82Pb on the second upright portion 81 side.

第１流路部６１から第３流路部６３に流れた液体の一部は、図１２に示すように、第１突起８２Ｐａおよび第２突起８２Ｐｂに衝突して乱流となる。乱流は、主に第１突起８２Ｐａ、第２突起８２Ｐｂそれぞれの上側、下側から下流に向かって生じる。
第１突起８２Ｐａの上側から乱流となって流れる液体の一部は、第２起立部８１に向かって流れる。また、第１突起８２Ｐａの下側から乱流となって流れる液体の一部は、斜め下流側に配置された第２突起８２Ｐｂに衝突し、第２起立部８１に向かって流れる。
第２突起８２Ｐｂの上側から乱流となって流れる液体の一部は、この第２突起８２Ｐｂの斜め下流側に配置されている第１突起８２Ｐａに衝突して第２起立部８１に向かって流れる。第２突起８２Ｐｂの下側から乱流となって流れる液体の一部は、外周縁部８５に向かって流れる。 As shown in FIG. 12, a part of the liquid that flows from the first flow path portion 61 to the third flow path portion 63 collides with the first protrusions 82Pa and the second protrusions 82Pb to become turbulent flow. Turbulent flow mainly occurs from the upper and lower sides of the first protrusion 82Pa and the second protrusion 82Pb toward the downstream.
Part of the liquid that flows as a turbulent flow from the upper side of the first protrusion 82 Pa flows toward the second upright portion 81. In addition, a part of the liquid that flows as a turbulent flow from the lower side of the first protrusion 82Pa collides with the second protrusion 82Pb disposed on the obliquely downstream side, and flows toward the second upright portion 81.
A part of the liquid that flows as a turbulent flow from the upper side of the second protrusion 82Pb collides with the first protrusion 82Pa disposed obliquely downstream of the second protrusion 82Pb and flows toward the second upright portion 81. . A part of the liquid that flows as a turbulent flow from the lower side of the second protrusion 82Pb flows toward the outer peripheral edge 85.

このように、突起８２Ｐが設けられることによって、第３流路部６３内に乱流が生じると共に、上述したように配置された突起８２Ｐによって、多くの乱流が第２起立部８１側に向かって流れる。その結果、第３流路部６３の内壁（第２起立部８１）に層流では生じる温度境界層の発生が効率よく抑制されるので、第２起立部８１と液体との間で熱交換が良好に行われる。   As described above, the provision of the protrusions 82P causes turbulent flow in the third flow path portion 63, and a large amount of turbulence flows toward the second upright portion 81 side by the protrusions 82P arranged as described above. Flowing. As a result, the generation of a temperature boundary layer that occurs in the laminar flow on the inner wall (second upright portion 81) of the third flow path portion 63 is efficiently suppressed, so that heat exchange is performed between the second upright portion 81 and the liquid. Done well.

第２流路部６２においても第３流路部６３と同様に、突起８２Ｐによって乱流が生じ、第２起立部８１と液体との間で熱交換が良好に行われる。
なお、突起８２Ｐの形状は、流通方向の大きさと、流通方向に交差する方向（交差方向）の大きさとの比が２以下であれば、円柱状に限らず、例えば、平面視楕円状や平面視多角形状であってもよい。 Similarly to the third flow path portion 63, in the second flow path portion 62, a turbulent flow is generated by the protrusion 82P, and heat exchange is favorably performed between the second upright portion 81 and the liquid.
The shape of the protrusion 82P is not limited to a cylindrical shape as long as the ratio of the size in the flow direction and the size in the direction intersecting the flow direction (cross direction) is 2 or less. It may be a viewing polygonal shape.

このように、流入部５１から流入された液体は、第１流路部６１、第３流路部６３、および第４流路部６４を辿って流れる第１経路６０Ａと、第２流路部６２を辿って第４流路部６４に合流する第２経路６０Ｂと、を経て流出部５３から液冷装置４に流出する。   Thus, the liquid that has flowed in from the inflow portion 51 flows through the first flow path portion 61, the third flow path portion 63, and the fourth flow path portion 64, and the second flow path portion. The liquid flows out from the outflow portion 53 to the liquid cooling device 4 through the second path 60B that traces 62 and merges with the fourth flow path portion 64.

光変調装置３４１は、流路６を流通する液体によって冷却される。具体的に、入射する光によって発熱する光変調装置３４１の熱は、第１フレーム７を介して液体に伝達される。また、流路６が光変調装置３４１の周縁に沿って環状に構成されているので、光変調装置３４１の熱は、光変調装置３４１の光学有効領域（画像形成領域）を囲む領域から液体に伝わる。また、第２起立部８１は、光学有効領域の近傍に配置され、第２流路部６２および第３流路部６３における第２起立部８１は、前述したように、突起８２Ｐによる乱流によって液体との間で熱交換が良好に行われる。すなわち、光変調装置３４１は、最も高温となる中央に近い位置が効率よく冷却される。   The light modulation device 341 is cooled by the liquid flowing through the flow path 6. Specifically, the heat of the light modulation device 341 that generates heat by the incident light is transmitted to the liquid via the first frame 7. Further, since the flow path 6 is formed in an annular shape along the periphery of the light modulation device 341, the heat of the light modulation device 341 changes from the region surrounding the optically effective region (image forming region) of the light modulation device 341 to the liquid. It is transmitted. Further, the second upright portion 81 is disposed in the vicinity of the optically effective area, and the second upright portion 81 in the second flow path portion 62 and the third flow path portion 63 is caused by the turbulent flow caused by the protrusion 82P as described above. Heat exchange with the liquid is performed well. That is, the light modulation device 341 is efficiently cooled at a position close to the center where the temperature is highest.

そして、直列に配置された保持部５Ｒ，５Ｇ，５Ｂから流出した液体は、循環流路４Ｆを辿って熱交換装置４３に流入する。熱交換装置４３に流入した液体は、熱交換装置４３にて熱が吸収されて冷却される。そして、熱交換装置４３にて冷却された液体は、再び、保持部５（本実施形態では、保持部５Ｒ）に流入し、光変調装置３４１を冷却する。熱交換装置４３で吸収された熱は、前述したように、熱交換装置４３の放熱部４３３から放熱される。そして、放熱部４３３から放熱された熱は、図示しない排気装置によって外装筐体２の排気口からプロジェクター１の外部に排出される。   And the liquid which flowed out from holding | maintenance part 5R, 5G, 5B arrange | positioned in series follows the circulation flow path 4F, and flows in into the heat exchange apparatus 43. FIG. The liquid that has flowed into the heat exchange device 43 is cooled by absorbing heat in the heat exchange device 43. Then, the liquid cooled by the heat exchange device 43 flows again into the holding unit 5 (the holding unit 5R in this embodiment), and cools the light modulation device 341. The heat absorbed by the heat exchange device 43 is radiated from the heat radiation part 433 of the heat exchange device 43 as described above. The heat radiated from the heat radiating unit 433 is discharged from the exhaust port of the exterior housing 2 to the outside of the projector 1 by an exhaust device (not shown).

また、保持部５が光変調装置３４１の光入射側に配置されているので、光学装置５０に向かう光の一部（光変調装置３４１の光学有効領域の外側に向かう漏れ光等）は、保持部５にも照射されるが、流路６が光変調装置３４１の端部からオーバーラップＯＬ（図８参照）を有して設けられているので、照射された光によって発熱する保持部５の熱が光変調装置３４１に伝わりにくくなる。すなわち、保持部５の光が照射された被照射部（主に、第２フレーム８の第２枠部８２）と光変調装置３４１との間に、液体が介在しているので、照射された光によって発熱する被照射部の熱が光変調装置３４１に伝わりにくくなる。
このように、光変調装置３４１は、環状の流路６を有する保持部５に保持され、流路６に供給された液体によって冷却される。 In addition, since the holding unit 5 is disposed on the light incident side of the light modulation device 341, a part of the light traveling toward the optical device 50 (such as leaked light traveling outside the optical effective area of the light modulation device 341) is retained. The flow path 6 is provided with an overlap OL (see FIG. 8) from the end of the light modulation device 341, but the holding unit 5 that generates heat by the irradiated light is also irradiated. Heat is not easily transmitted to the light modulation device 341. That is, since the liquid is interposed between the irradiated portion (mainly, the second frame portion 82 of the second frame 8) irradiated with the light of the holding unit 5 and the light modulation device 341, the irradiation is performed. Heat of the irradiated portion that generates heat due to light is not easily transmitted to the light modulation device 341.
Thus, the light modulation device 341 is held by the holding unit 5 having the annular flow path 6 and is cooled by the liquid supplied to the flow path 6.

以上説明したように、本実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。
（１）光変調装置３４１を保持する保持部５には、環状の流路６が設けられ、光変調装置３４１の光学有効領域を囲む領域から光変調装置３４１の熱を液体に伝えることが可能となる。さらに、流路６内には突起８２Ｐが形成され、乱流が発生することにより流路６の内壁（第２起立部８１）と液体との間の熱交換を良好に行わせることが可能となる。
また、保持部５とは異なる部材（パイプ状の部材）を用いて液体を流通させる構成に比べ、光変調装置３４１と液体との間に介在する部材が減るので、光変調装置３４１の熱は、効率よく液体に伝わる。
よって、光変調装置３４１の効率的な冷却が可能となり、光変調装置３４１の温度上昇が効率よく抑えられる。したがって、光変調装置３４１の劣化が抑制され、光変調装置３４１が有する光学特性を確実に発揮できる光学装置５０の提供が可能となる。
また、保持部５とは異なる部材を用いて液体を流通させる構成に比べて少ない部品点数で構成できるので、製造工数や部品コストの低減、および小型化が可能な光学装置５０の提供が可能となる。 As described above, according to the present embodiment, the following effects can be obtained.
(1) The holding unit 5 that holds the light modulation device 341 is provided with an annular flow path 6, and heat from the light modulation device 341 can be transmitted to the liquid from a region surrounding the optically effective region of the light modulation device 341. It becomes. Furthermore, a protrusion 82P is formed in the flow path 6, and turbulence is generated, so that heat exchange between the inner wall (second upright portion 81) of the flow path 6 and the liquid can be performed satisfactorily. Become.
In addition, since the number of members interposed between the light modulation device 341 and the liquid is reduced compared to the configuration in which the liquid is circulated using a member (pipe-like member) different from the holding unit 5, the heat of the light modulation device 341 is reduced. , Efficiently transmitted to the liquid.
Therefore, the light modulator 341 can be efficiently cooled, and the temperature rise of the light modulator 341 can be efficiently suppressed. Therefore, it is possible to provide the optical device 50 in which the deterioration of the light modulation device 341 is suppressed and the optical characteristics of the light modulation device 341 can be reliably exhibited.
In addition, since the number of components can be reduced compared to the configuration in which the liquid is circulated using a member different from the holding unit 5, it is possible to provide the optical device 50 capable of reducing the number of manufacturing steps and the cost of components and reducing the size. Become.

（２）流路６は、第１流路部６１〜第４流路部６４を有し、環状に形成されている。これによって、矩形状の光学有効領域（画像形成領域）を有する光変調装置３４１に対し、この光学有効領域に近づけて流路６を設けることが可能となる。よって、光変調装置３４１の熱をさらに効率よく液体に伝えることが可能となるので、光変調装置３４１の温度上昇をさらに抑制可能な光学装置５０の提供が可能となる。   (2) The flow path 6 has the 1st flow path part 61-the 4th flow path part 64, and is formed in cyclic | annular form. As a result, the light modulation device 341 having a rectangular optical effective region (image forming region) can be provided with the flow path 6 close to the optical effective region. Therefore, since the heat of the light modulation device 341 can be more efficiently transmitted to the liquid, it is possible to provide the optical device 50 that can further suppress the temperature rise of the light modulation device 341.

（３）突起８２Ｐは、平面視矩形状の流路６における長手方向となる第２流路部６２および第３流路部６３に設けられている。これによって、層流では第１流路部６１や第４流路部６４より広い範囲に生じやすい第２流路部６２や第３流路部６３における温度境界層の発生を抑えることが可能となる。よって、長方形状の光学有効領域を有する光変調装置３４１を備え、この光変調装置３４１の温度上昇が効率よく抑制される光学装置５０の提供が可能となる。   (3) The protrusion 82P is provided in the second flow path portion 62 and the third flow path portion 63 that are in the longitudinal direction of the flow path 6 that is rectangular in plan view. As a result, in the laminar flow, it is possible to suppress the generation of the temperature boundary layer in the second flow path part 62 and the third flow path part 63 that are likely to occur in a wider range than the first flow path part 61 and the fourth flow path part 64. Become. Therefore, it is possible to provide an optical device 50 that includes the light modulation device 341 having a rectangular optical effective area and in which the temperature increase of the light modulation device 341 is efficiently suppressed.

（４）保持部５は、第１フレーム７と、突起８２Ｐが設けられた第２フレーム８とが接合されることにより流路６が形成されている。これによって、内部に液体が流通する流路６を有する構成であっても、容易な加工で、また、製造工数の増加を抑制して突起８２Ｐを有する保持部５を形成することができる。   (4) In the holding part 5, the flow path 6 is formed by joining the first frame 7 and the second frame 8 provided with the protrusions 82P. Thereby, even if it is the structure which has the flow path 6 in which a liquid distribute | circulates inside, the holding | maintenance part 5 which has the processus | protrusion 82P can be formed by an easy process and suppressing the increase in a manufacturing man-hour.

（５）環状の流路形成部５２の内周縁の側は、板状の第１起立部７１に板状の第２起立部８１が接続されて形成されている。そして、流路６は、この第２起立部８１の外側に設けられている。これによって、光変調装置３４１の光学有効領域に近づけて流路６を形成することが可能となる。よって、２つの部材（第１フレーム７、第２フレーム８）で保持部５を形成する構成であっても、容易に流路６を形成しつつ、光変調装置３４１が効率よく冷却される光学装置５０の提供が可能となる。   (5) The inner peripheral edge side of the annular flow path forming portion 52 is formed by connecting a plate-like second upright portion 81 to a plate-like first upright portion 71. The flow path 6 is provided outside the second upright portion 81. As a result, the flow path 6 can be formed close to the optically effective area of the light modulation device 341. Therefore, even when the holding unit 5 is formed by two members (the first frame 7 and the second frame 8), the optical modulator 341 can be efficiently cooled while the flow path 6 is easily formed. The apparatus 50 can be provided.

（６）保持部５は、流入部５１および流出部５３が流路形成部５２に対して同一側に配置されているので、流入部５１および流出部５３に接続される管状部材４４をコンパクトに配置することが可能となる。よって、プロジェクター１の小型に寄与できる光学装置５０の提供が可能となる。   (6) Since the inflow part 51 and the outflow part 53 are arranged on the same side with respect to the flow path forming part 52, the holding part 5 has a compact tubular member 44 connected to the inflow part 51 and the outflow part 53. It becomes possible to arrange. Therefore, it is possible to provide the optical device 50 that can contribute to the miniaturization of the projector 1.

（７）光学素子としての光変調装置３４１は、保持部５に流入された液体によって効率よく冷却されるので、温度上昇が抑制される。よって、長期に亘って自身が有する光学特性を発揮して入射した光を変調する光変調装置３４１を備えた光学装置５０の提供が可能となる。   (7) Since the light modulation device 341 as an optical element is efficiently cooled by the liquid flowing into the holding unit 5, the temperature rise is suppressed. Therefore, it is possible to provide the optical device 50 including the light modulation device 341 that modulates incident light by exhibiting optical characteristics that the device has over a long period of time.

（８）プロジェクター１は、光学装置５０および液冷装置４を備えているので、高輝度の光を射出する光源３１１を備える構成であっても、光変調装置３４１が効率よく冷却され、長期に亘って明るい画像や画質が良好な画像の投写が可能となる。
また、保持部５とは異なる部材を用いて液体を流通させる構成に比べ、流路６の形状の自由度を高めることができるので、低い圧力で液体を循環させることが可能となる。これによって、液体を循環させるための液体圧送部４１の小型化や低パワー化が可能となる。
また、低い圧力で液体を循環させることが可能なので、循環流路４Ｆにおける各部材間の接続部から液体の揮発や漏れを防止することが可能となる。これによって、プロジェクター１内の他の部材への液体の付着を防止できると共に、備える液体の量を少なく構成することが可能となる。よって、小型、低消費電力の液冷装置４を備えたプロジェクター１の提供が可能となる。 (8) Since the projector 1 includes the optical device 50 and the liquid cooling device 4, the light modulation device 341 is efficiently cooled even in a configuration including the light source 311 that emits high-luminance light. It is possible to project bright images and images with good image quality.
Moreover, since the freedom degree of the shape of the flow path 6 can be raised compared with the structure which distribute | circulates a liquid using the member different from the holding | maintenance part 5, it becomes possible to circulate a liquid with a low pressure. This makes it possible to reduce the size and power of the liquid pumping unit 41 for circulating the liquid.
Further, since the liquid can be circulated at a low pressure, it is possible to prevent the liquid from volatilizing or leaking from the connection portion between the members in the circulation flow path 4F. As a result, it is possible to prevent liquid from adhering to other members in the projector 1 and to reduce the amount of liquid provided. Therefore, it is possible to provide the projector 1 including the liquid cooling device 4 with a small size and low power consumption.

なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、上述した実施形態に種々の変更や改良などを加えることが可能である。変形例を以下に述べる。   Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications and improvements can be added to the above-described embodiment. A modification will be described below.

（変形例１）
前記実施形態では、流路６内に突起８２Ｐが設けられているが、流入部５１の内部に突起が設けられる構成であってもよい。また、保持部５を構成する２つの部材を位置合わせするために、この突起を利用する構成も可能である。
図１３、図１４は、変形例１の保持部１５の構成を説明するための模式図である。具体的に、図１３は、保持部１５の一部を示す平面図であり、図１４は、保持部１５の一部を示す断面図である。 (Modification 1)
In the embodiment, the protrusion 82P is provided in the flow path 6, but a structure in which the protrusion is provided in the inflow portion 51 may be used. Further, in order to align the two members constituting the holding portion 5, a configuration using this protrusion is also possible.
FIGS. 13 and 14 are schematic views for explaining the configuration of the holding unit 15 of the first modification. Specifically, FIG. 13 is a plan view showing a part of the holding part 15, and FIG. 14 is a cross-sectional view showing a part of the holding part 15.

保持部１５は、図１３、図１４に示すように、熱伝導性材料で形成された第１フレーム１７および第２フレーム１８を備え、この第１フレーム１７と第２フレーム１８とが接合されて構成されている。保持部１５は、前記実施形態の保持部５と同様に、流入部１５１、内部に流路１６を有する流路形成部１５２、および流出部（図示省略）を有している。そして、流入部１５１の内部には、突起１８２Ｐが設けられている。
突起１８２Ｐは、図１４に示すように、第２フレーム１８から円柱状に突出し、熱伝導可能に第１フレーム１７に接続されている。また、突起１８２Ｐの中央、および第１フレーム１７には、ピン状の部材１００が挿通される挿通孔（第１フレーム１７の挿通孔を１７ｈ、第２フレーム１８の挿通孔を１８ｈとする）が形成されている。 As shown in FIGS. 13 and 14, the holding unit 15 includes a first frame 17 and a second frame 18 formed of a heat conductive material, and the first frame 17 and the second frame 18 are joined to each other. It is configured. The holding part 15 has an inflow part 151, a flow path forming part 152 having a flow path 16 inside, and an outflow part (not shown), like the holding part 5 of the above embodiment. A protrusion 182 </ b> P is provided inside the inflow portion 151.
As shown in FIG. 14, the protrusion 182P protrudes from the second frame 18 in a cylindrical shape, and is connected to the first frame 17 so as to be able to conduct heat. The center of the protrusion 182P and the first frame 17 have an insertion hole through which the pin-like member 100 is inserted (the insertion hole of the first frame 17 is 17h and the insertion hole of the second frame 18 is 18h). Is formed.

第１フレーム１７と第２フレーム１８とは、挿通孔１７ｈ，１８ｈに部材１００が挿通されて互いに位置決めされ、前記実施形態で示した個所に加え、突起１８２Ｐの先端がロウ付け等によって接続される。第２フレーム１８から突出する突起１８２Ｐは、第１フレーム１７に熱伝導可能に接続され、伝熱用突起に相当する。   The first frame 17 and the second frame 18 are positioned relative to each other by the member 100 being inserted into the insertion holes 17h and 18h, and the tip of the protrusion 182P is connected by brazing or the like in addition to the portions shown in the above embodiment. . The protrusion 182P protruding from the second frame 18 is connected to the first frame 17 so as to be able to conduct heat, and corresponds to a heat transfer protrusion.

流入部１５１に流入した液体の一部は、突起１８２Ｐに衝突して乱流として流路１６内を流通し、光変調装置３４１を冷却する。また、光変調装置３４１から第１フレーム１７に伝わった熱は、突起１８２Ｐを含め、ロウ付けされた個所を介して第２フレーム１８に伝わる。
このように、突起１８２Ｐは、流入部１５１の内部に設けられ、乱流を発生させると共に、第１フレーム１７と第２フレーム１８との位置合わせ、および保持部１５による放熱性を向上させる機能を有している。
また、流路内および流入部の内部に突起が設けられる保持部を構成してもよい。 Part of the liquid that has flowed into the inflow portion 151 collides with the protrusion 182 </ b> P and flows through the flow path 16 as a turbulent flow, thereby cooling the light modulation device 341. Further, the heat transmitted from the light modulation device 341 to the first frame 17 is transmitted to the second frame 18 through the brazed portion including the protrusion 182P.
As described above, the protrusion 182P is provided inside the inflow portion 151, and has a function of generating turbulence and improving the alignment between the first frame 17 and the second frame 18 and the heat dissipation by the holding portion 15. Have.
Moreover, you may comprise the holding | maintenance part in which a protrusion is provided in a flow path and the inside of an inflow part.

（変形例２）
変形例１における突起１８２Ｐに替えて第１フレーム１７や第２フレーム１８とは異なる部材で突起を構成してもよい。
図１５は、変形例２の保持部２５の構成を説明するための模式図であり、保持部２５の一部を示す平面図である。
保持部２５は、図１５に示すように、第１フレーム（図示省略）および第２フレーム２８を備え、この第１フレームと第２フレーム２８とが接合されて構成されている。保持部２５は、前記実施形態の保持部５と同様に、流入部２５１、内部に流路２６を有する流路形成部２５２、および流出部（図示省略）を有している。そして、流入部２５１の内部には、突起２８２Ｐが設けられている。
突起２８２Ｐは、例えばコイルバネで構成され、液体が流入部２５１に流入される方向に中心軸が沿うように配置されている。
流入部２５１に流入した液体の一部は、突起２８２Ｐに衝突して乱流として流路２６内を流通し、光変調装置３４１を冷却する。 (Modification 2)
Instead of the protrusion 182P in the first modification, the protrusion may be formed of a member different from the first frame 17 and the second frame 18.
FIG. 15 is a schematic diagram for explaining the configuration of the holding unit 25 according to the second modification, and is a plan view showing a part of the holding unit 25.
As shown in FIG. 15, the holding unit 25 includes a first frame (not shown) and a second frame 28, and the first frame and the second frame 28 are joined to each other. The holding part 25 has an inflow part 251, a flow path forming part 252 having a flow path 26 inside, and an outflow part (not shown), like the holding part 5 of the above embodiment. A protrusion 282P is provided inside the inflow portion 251.
The protrusion 282P is formed of, for example, a coil spring, and is disposed so that the central axis is along the direction in which the liquid flows into the inflow portion 251.
Part of the liquid that has flowed into the inflow portion 251 collides with the protrusion 282P and flows through the flow path 26 as a turbulent flow, thereby cooling the light modulation device 341.

（変形例３）
前記実施形態の突起８２Ｐは、第１フレーム７から離間している（図１０参照）が、第１フレーム７に熱伝導可能に当接する突起を有するように構成してもよい。
図１６は、変形例３の保持部３０５の構成を説明するための模式図であり、保持部３０５および保持部３０５に保持された光変調装置３４１の部分断面図である。
保持部３０５は、図１６に示すように、前記実施形態の第１フレーム７と、前記実施形態の第２フレーム８とは異なる第２フレーム３８が接合されて構成されている。そして、第２フレーム３８には、第１フレーム７に熱伝導可能に当接する突起３８２Ｐが形成されている。突起３８２Ｐは、伝熱用突起に相当する。
この構成によれば、突起３８２Ｐによって、第１フレーム７から第２フレーム３８への熱伝導性が向上するので、保持部３０５による放熱性の向上が可能となる。 (Modification 3)
Although the protrusion 82P of the above-described embodiment is separated from the first frame 7 (see FIG. 10), the protrusion 82P may be configured to have a protrusion that abuts the first frame 7 so as to be capable of conducting heat.
FIG. 16 is a schematic diagram for explaining the configuration of the holding unit 305 according to the third modification, and is a partial cross-sectional view of the holding unit 305 and the light modulation device 341 held by the holding unit 305.
As shown in FIG. 16, the holding unit 305 is configured by joining a first frame 7 of the embodiment and a second frame 38 different from the second frame 8 of the embodiment. The second frame 38 is formed with a protrusion 382P that contacts the first frame 7 so as to be able to conduct heat. The protrusion 382P corresponds to a heat transfer protrusion.
According to this configuration, since the thermal conductivity from the first frame 7 to the second frame 38 is improved by the protrusion 382P, the heat dissipation by the holding portion 305 can be improved.

また、保持部３０５が光変調装置３４１の光入射側に配置される構成においては、保持部３０５の光が照射された被照射部（第２フレーム３８）と光変調装置３４１との間に、液体が介在していることが望ましいので、光軸３４Ａに沿う方向から見て、突起３８２Ｐが光変調装置３４１に重ならない位置に設けることが望ましい。すなわち、図１６に示す二点鎖線で示した突起３８２Ｐが設けられないように構成することが望ましい。   In the configuration in which the holding unit 305 is disposed on the light incident side of the light modulation device 341, the light modulation device 341 is irradiated between the irradiated portion (second frame 38) irradiated with the light from the holding unit 305 and the light modulation device 341. Since it is desirable that liquid is present, it is desirable to provide the protrusion 382P at a position where it does not overlap the light modulation device 341 when viewed from the direction along the optical axis 34A. That is, it is desirable that the projection 382P shown by the two-dot chain line shown in FIG. 16 is not provided.

（変形例４）
前記実施形態の突起８２Ｐは、第２流路部６２および第３流路部６３に設けられているが、第２流路部６２および第３流路部６３のいずれか一方に設けてもよい。
また、第１流路部６１や第４流路部６４、あるいは、流路６の角部（例えば、第１流路部６１と第３流路部６３との間や、第３流路部６３と第４流路部６４との間）に突起８２Ｐを設けてもよい。 (Modification 4)
The protrusions 82 </ b> P of the embodiment are provided in the second flow path part 62 and the third flow path part 63, but may be provided in any one of the second flow path part 62 and the third flow path part 63. .
Further, the first flow path portion 61, the fourth flow path portion 64, or the corners of the flow path 6 (for example, between the first flow path portion 61 and the third flow path portion 63 or the third flow path portion. A protrusion 82P may be provided between 63 and the fourth flow path portion 64).

（変形例５）
前記実施形態の突起８２Ｐは、流通方向の大きさと交差方向の大きさとの比が２以下で形成されているが、交差方向の大きさに対する流通方向の大きさの比が２を超えて流通方向に延出する形状であってもよい。例えば、ヒートシンクにおけるフィンに相当する形状等を突起として形成してもよい。この構成の場合、流路内の保持部の表面積をより大きくすることができるので、保持部による放熱性の向上が可能となる。
また、流通方向の大きさと交差方向の大きさとの比が２以下の突起、および交差方向の大きさに対する流通方向の大きさの比が２を超える大きさの突起の双方を備える構成であってもよい。 (Modification 5)
The protrusion 82P of the above embodiment is formed so that the ratio of the size in the flow direction to the size in the cross direction is 2 or less, but the ratio of the size in the flow direction to the size in the cross direction exceeds 2 in the flow direction. It may be a shape extending to For example, a shape corresponding to a fin in the heat sink may be formed as the protrusion. In the case of this configuration, since the surface area of the holding part in the flow path can be increased, it is possible to improve heat dissipation by the holding part.
The ratio of the size in the distribution direction to the size in the cross direction is 2 or less, and the protrusion has a size in which the ratio of the size in the distribution direction to the size in the cross direction exceeds 2. Also good.

（変形例６）
前記実施形態の突起８２Ｐは、第２フレーム８に設けられているが、第１フレーム７に設けられる構成であってもよい。同様に、変形例１、変形例３の突起１８２Ｐ，３８２Ｐが第１フレーム１７，７に設けられる構成であってもよい。 (Modification 6)
The protrusion 82 </ b> P of the embodiment is provided on the second frame 8, but may be provided on the first frame 7. Similarly, the configuration in which the protrusions 182P and 382P of Modification 1 and Modification 3 are provided on the first frames 17 and 7 may be employed.

（変形例７）
前記実施形態、変形例３では、液体が流通する保持部５，３０５に保持される光学素子として光変調装置３４１が構成されているが、光変調装置３４１に限らず、他の光学部品をこの光学素子として構成してもよい。この光学素子としては、例えば、入射側偏光板３４２や射出側偏光板３４３を例示することができる。また、光学ユニット３が位相差板や光の位相差を補償する補償素子等を備える構成とし、これらの位相差板や補償素子等を光学素子として構成してもよい。 (Modification 7)
In the embodiment and the third modification, the light modulation device 341 is configured as an optical element held by the holding units 5 and 305 through which the liquid flows. However, the optical modulation device 341 is not limited to this, and other optical components are used. You may comprise as an optical element. Examples of the optical element include an incident side polarizing plate 342 and an emission side polarizing plate 343. Further, the optical unit 3 may be configured to include a retardation plate and a compensation element that compensates for the phase difference of light, and these retardation plate and compensation element may be configured as an optical element.

（変形例８）
前記実施形態の保持部５は、光変調装置３４１の光入射側に配置されているが、光変調装置３４１の光射出側に配置された構成であってもよい。また、光変調装置３４１の両側（光入射側および光射出側）に保持部５が設けられる構成であってもよい。同様に、変形例１〜３の保持部１５，２５，３０５が光変調装置３４１の光入射側、光射出側のいずれか一方に配置された構成でも、光変調装置３４１の両側に配置された構成であってもよい。 (Modification 8)
The holding unit 5 of the embodiment is disposed on the light incident side of the light modulation device 341, but may be configured to be disposed on the light emission side of the light modulation device 341. Moreover, the structure which the holding | maintenance part 5 is provided in the both sides (light incident side and light emission side) of the light modulation apparatus 341 may be sufficient. Similarly, in the configuration in which the holders 15, 25, and 305 of the first to third modifications are arranged on either the light incident side or the light emitting side of the light modulation device 341, they are arranged on both sides of the light modulation device 341. It may be a configuration.

（変形例９）
前記実施形態の保持部５は、流路形成部５２に対し、流入部５１および流出部５３が同一側に配置されているが、流入部５１および流出部５３の位置は、この位置に限定されるものではない。例えば、流出部５３が流路形成部５２に対し、流入部５１の対角となる位置に設けられる構成であってもよい。 (Modification 9)
In the holding part 5 of the embodiment, the inflow part 51 and the outflow part 53 are arranged on the same side with respect to the flow path forming part 52, but the positions of the inflow part 51 and the outflow part 53 are limited to this position. It is not something. For example, a configuration in which the outflow portion 53 is provided at a position opposite to the inflow portion 51 with respect to the flow path forming portion 52 may be employed.

（変形例１０）
前記実施形態の第１フレーム７、第２フレーム８は、板金からプレス加工によって形成されているが、溶融された金属を金型で成型する成型加工によって形成してもよい。この成型加工を用いれば、突起８２Ｐの反対側の面に凹部（図１０参照）を有さずに保持部５を構成することができる。同様に、変形例１〜３の保持部１５，２５，３０５を構成する２つの部材は、板金からプレス加工によって形成されるものであっても、成型加工によって形成されるものであってもよい。 (Modification 10)
The first frame 7 and the second frame 8 of the above embodiment are formed from sheet metal by press working, but may be formed by molding by molding a molten metal with a mold. If this molding process is used, the holding portion 5 can be configured without having a recess (see FIG. 10) on the surface opposite to the protrusion 82P. Similarly, the two members constituting the holding portions 15, 25, and 305 of the first to third modifications may be formed from sheet metal by pressing or may be formed by molding. .

（変形例１１）
前記実施形態の保持部５は、２つの部材（第１フレーム７、第２フレーム８）が組み合わされて構成されているが、金属粉等を用い、３Ｄプリンター等の立体物造形装置によって１つの部材で保持部を構成してもよい。この構成の場合、流路形成部の内周縁を形成する肉厚を前記実施形態における肉厚（第１起立部７１および第２起立部８１の厚み）より薄く形成可能なので、流路を光学有効領域にさらに近づけることが可能となる。また、前記実施形態における端部８５１が不要となるので、さらに小型の保持部が可能となる。同様に、変形例１〜３の保持部１５，２５，３０５が１つの部材で構成される態様であってもよい。 (Modification 11)
The holding unit 5 of the embodiment is configured by combining two members (the first frame 7 and the second frame 8), but using a metal powder or the like, a single three-dimensional object shaping apparatus such as a 3D printer is used. You may comprise a holding | maintenance part with a member. In the case of this configuration, the thickness that forms the inner peripheral edge of the flow path forming portion can be formed thinner than the thickness (thickness of the first upright portion 71 and the second upright portion 81) in the above embodiment, so that the flow path is optically effective. It becomes possible to be closer to the area. In addition, since the end portion 851 in the above embodiment is not necessary, a smaller holding portion is possible. Similarly, the aspect by which holding | maintenance part 15,25,305 of the modifications 1-3 is comprised with one member may be sufficient.

（変形例１２）
前記実施形態の光変調装置３４１（光学素子）は、接着剤を用いて保持部５に保持されているが、この構成に限らない。例えば、光学素子の保持部５とは反対側に配置された押え部材を備え、保持部５とこの押え部材とで光学素子を挟持することによって光学素子を保持する構成であってもよい。 (Modification 12)
The light modulation device 341 (optical element) of the embodiment is held by the holding unit 5 using an adhesive, but is not limited to this configuration. For example, a configuration may be adopted in which a pressing member disposed on the side opposite to the holding unit 5 of the optical element is provided, and the optical element is held by holding the optical element between the holding unit 5 and the pressing member.

（変形例１３）
前記実施形態の液冷装置４は、タンク４２を備えているが、タンク４２を備えない構成も可能である。 (Modification 13)
Although the liquid cooling device 4 of the embodiment includes the tank 42, a configuration without the tank 42 is also possible.

（変形例１４）
前記実施形態の光源装置３１は、放電型の光源３１１を有して構成されているが、放電型に限らず、その他の方式のランプや、発光ダイオードやレーザー等の固体光源等を備える構成であってもよい。
また、前記実施形態の光学ユニット３は、図１に示すように、光源装置３１が光を射出する方向と、投写光学装置３５が投写する方向とが同一方向になるように構成されているが、光源装置３１が光を射出する方向と、投写光学装置３５が投写する方向とが異なる方向となるように構成してもよい。 (Modification 14)
The light source device 31 of the embodiment is configured to include the discharge-type light source 311, but is not limited to the discharge-type light source 311, and is configured to include other types of lamps, solid light sources such as light-emitting diodes and lasers, and the like. There may be.
Further, as shown in FIG. 1, the optical unit 3 of the embodiment is configured such that the direction in which the light source device 31 emits light and the direction in which the projection optical device 35 projects are the same direction. The direction in which the light source device 31 emits light may be different from the direction in which the projection optical device 35 projects.

（変形例１５）
前記実施形態のプロジェクター１は、Ｒ光、Ｇ光、およびＢ光に対応する３つの光変調装置３４１Ｒ，３４１Ｇ，３４１Ｂを備えた、いわゆる３板方式を採用しているが、これに限らず、単板方式を採用してもよく、あるいは、２つまたは４つ以上の光変調装置３４１を備える構成であってもよい。
また、前記実施形態の光変調装置３４１は、透過型の液晶パネル３４０を有して構成されているが、反射型の液晶パネルで構成された態様であってもよい。また、光変調装置としてマイクロミラー型の光変調装置、例えば、ＤＭＤ（Digital Micromirror Device）等を利用したものであってもよい。 (Modification 15)
The projector 1 according to the embodiment employs a so-called three-plate method including three light modulation devices 341R, 341G, and 341B corresponding to R light, G light, and B light, but is not limited thereto. A single plate method may be employed, or a configuration including two or four or more light modulation devices 341 may be employed.
In addition, the light modulation device 341 according to the embodiment is configured to include the transmissive liquid crystal panel 340, but may be configured to include a reflective liquid crystal panel. Further, a micromirror type light modulation device such as a DMD (Digital Micromirror Device) may be used as the light modulation device.

１…プロジェクター、４…液冷装置、５，５Ｒ，５Ｇ，５Ｂ，１５，２５，３０５…保持部、６，１６，２６…流路、７，１７…第１フレーム、８，１８，２８，３８…第２フレーム、３４Ａ…光軸、３５…投写光学装置、５０…光学装置、５１，１５１，２５１…流入部、５２，１５２，２５２…流路形成部、５３…流出部、６１…第１流路部、６２…第２流路部、６３…第３流路部、６４…第４流路部、８２Ｐ，２８２Ｐ…突起、１８２Ｐ，３８２Ｐ…突起（伝熱用突起）、３１１…光源、３４１，３４１Ｒ，３４１Ｇ，３４１Ｂ…光変調装置（光学素子）。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Projector, 4 ... Liquid cooling device, 5, 5R, 5G, 5B, 15, 25, 305 ... Holding part, 6, 16, 26 ... Flow path, 7, 17 ... 1st frame, 8, 18, 28, 38 ... 2nd frame, 34A ... optical axis, 35 ... projection optical device, 50 ... optical device, 51, 151, 251 ... inflow part, 52, 152, 252 ... flow path forming part, 53 ... outflow part, 61 ... first 1 channel part, 62 ... 2nd channel part, 63 ... 3rd channel part, 64 ... 4th channel part, 82P, 282P ... projection, 182P, 382P ... projection (projection for heat transfer), 311 ... light source , 341, 341R, 341G, 341B... Light modulator (optical element).

Claims (8)

入射する光の光軸上に配置された光学素子と、前記光学素子を保持する保持部と、を備えた光学装置であって、
前記保持部は、
当該保持部の外部から供給された液体が流入する流入部と、
前記光学素子の周縁に沿って環状に配設され、内部に前記流入部からの前記液体が流通する流路を有する流路形成部と、
前記流路を流れた前記液体を当該保持部の外部に流出させるための流出部と、
を備え、
前記流入部の内部および前記流路内の少なくともいずれか一方には、突起が設けられていることを特徴とする光学装置。 An optical device comprising: an optical element disposed on an optical axis of incident light; and a holding unit that holds the optical element,
The holding part is
An inflow part into which the liquid supplied from the outside of the holding part flows, and
A flow path forming section that is annularly disposed along the periphery of the optical element and has a flow path through which the liquid from the inflow section flows;
An outflow part for allowing the liquid flowing through the flow path to flow out of the holding unit;
With
A projection is provided in at least one of the inside of the inflow portion and the flow path. 請求項１に記載の光学装置であって、
前記突起は、前記液体が前記流路内を流通する流通方向の大きさと、前記流通方向に交差する方向の大きさとの比が２以下であることを特徴とする光学装置。 The optical device according to claim 1,
The optical device according to claim 1, wherein a ratio of a size in a flow direction in which the liquid flows in the flow path and a size in a direction intersecting the flow direction is 2 or less. 請求項２に記載の光学装置であって、
前記流路は、
互いに対向して配置され、第１方向に延出する第１流路部および第４流路部と、
互いに対向して配置され、前記第１方向に交差する第２方向に延出する第２流路部および第３流路部と、
を有し、
前記第１流路部、前記第２流路部、前記第３流路部、および前記第４流路部は環状に接続され、
前記突起は、前記流路内に設けられていることを特徴とする光学装置。 The optical device according to claim 2,
The flow path is
A first flow path section and a fourth flow path section that are arranged to face each other and extend in the first direction;
A second flow path portion and a third flow path portion, which are arranged to face each other and extend in a second direction intersecting the first direction;
Have
The first flow path part, the second flow path part, the third flow path part, and the fourth flow path part are connected in an annular shape,
The optical device, wherein the protrusion is provided in the flow path. 請求項３に記載の光学装置であって、
前記第２流路部および前記第３流路部は、前記第１流路部および前記第４流路部より長く形成され、
前記突起は、前記第２流路部および前記第３流路部の少なくともいずれか一方に設けられていることを特徴とする光学装置。 The optical device according to claim 3,
The second flow path part and the third flow path part are formed longer than the first flow path part and the fourth flow path part,
The optical device according to claim 1, wherein the protrusion is provided on at least one of the second flow path portion and the third flow path portion. 請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の光学装置であって、
前記保持部は、
前記光軸に沿う方向において互いに対向して配置され、互いが接合されることにより前記流路を形成する第１フレームおよび第２フレームを備え、
前記突起は、前記第１フレームおよび前記第２フレームの一方から突出していることを特徴とする光学装置。 An optical device according to any one of claims 1 to 4, wherein
The holding part is
A first frame and a second frame which are arranged to face each other in a direction along the optical axis and form the flow path by being joined to each other;
The optical device, wherein the protrusion protrudes from one of the first frame and the second frame. 請求項５に記載の光学装置であって、
前記第１フレームおよび前記第２フレームは、熱伝導性材料で形成され、
前記突起は、前記第１フレームおよび前記第２フレームの他方に熱伝導可能に当接または接続された伝熱用突起を有していることを特徴とする光学装置。 The optical device according to claim 5,
The first frame and the second frame are formed of a heat conductive material,
2. The optical apparatus according to claim 1, wherein the protrusion has a heat transfer protrusion that is in contact with or connected to the other of the first frame and the second frame so as to allow heat conduction. 請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載の光学装置であって、
前記光学素子は、入射する光を変調する光変調装置であることを特徴とする光学装置。 The optical device according to any one of claims 1 to 6,
The optical device is an optical modulation device that modulates incident light. 光を射出する光源と、
前記光源から射出された光が入射する請求項１〜請求項７のいずれか一項に記載の光学装置と、
前記光学装置から射出された光に応じた画像を投写する投写光学装置と、
前記光学装置に液体を循環させる液冷装置と、
を備えることを特徴とするプロジェクター。 A light source that emits light;
The optical device according to any one of claims 1 to 7, wherein light emitted from the light source is incident;
A projection optical device that projects an image according to light emitted from the optical device;
A liquid cooling device for circulating a liquid in the optical device;
A projector comprising:
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