JP2018084449A - 電気的接続装置及びプローブ支持体 - Google Patents
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Abstract
Description
<検査装置の構成>
図1は、本発明の第1実施形態に係る電気的接続装置を含む検査装置1を概略的に示す側面図である。なお、説明のため、図面において、上下方向Zと、上下方向Zに直交する左右方向Xと、上下方向Z及び左右方向Xに直交する前後方向Yを規定する。また、上下方向Zは、プローブ20の長手方向とも言い換えられる。
次に、図2〜3を参照して、プローブ支持体18の構成について詳細に説明する。図2は、本発明の第1実施形態に係るプローブ支持体18の一部を拡大した一部拡大断面図である。図3は、本発明の第1実施形態に係るプローブ支持体18において、プローブ20が半導体ウエハ14に押圧された状態を示す一部拡大断面図である。
次に、プローブ20の構成について詳細に説明する。プローブ20は、導電性を有する部材により構成される。プローブ20を構成する部材は、例えば、タングステンであってもよい。
次に、プローブ支持体18の製造方法について説明する。具体的には、プローブ支持体18において、電子部品200を配置した中間ガイド板130を製造する際の製造方法について説明する。当該製造方法は、穴形成工程と、蒸着工程と、成形工程と、配置工程とを含む。
以上のように、本発明の第1実施形態に係るプローブ支持体18は、上方ガイド板110(第1ガイド板)と、下方ガイド板120と、中間ガイド板130(第2ガイド板)と、中間ガイド板130に配置される電子部品200とを備える。
次に、本発明の効果を明確にするために、比較例及び実施例に係るプローブ支持体を用いた実施した比較評価について説明する。具体的に、電源インピーダンス特性評価と、挿入損失特性評価と、反射損失特性評価とについて説明する。なお、以下では、いずれの評価においても、電子部品200として、容量などの仕様が共通のコンデンサを用いている。また、プローブ20も共通のものを用いている。
電源インピーダンス特性評価では、まず、比較例1〜3と実施例1〜2とを準備した。比較例1〜3と実施例1〜2とは、いずれも2つのプローブ20と、2つのプローブ20に接続される電子部品200(コンデンサ)とを備えたものを用いた。以下において、比較例1〜3と実施例1〜2とのそれぞれの構成を簡単に説明する。
挿入損失特性評価では、比較例Aと実施例Bとを準備した。
反射損失特性評価では、比較例Aと実施例Bとを準備した。なお、比較例Aと実施例Bとは、上述した挿入損失特性評価で用いたものと同様であるため、説明を省略する。
以上、上述の実施形態を用いて本発明について詳細に説明したが、当業者にとっては、本発明が本明細書中に説明した実施形態に限定されるものではないということは明らかである。
2…カード状接続装置
14…半導体ウエハ
16…プローブ基板
16c…接続パッド
18…プローブ支持体
20…プローブ
34…スペーサ部材
100…ガイド板
110…上方ガイド板
110a…上方ガイド穴
120…下方ガイド板
120a…下方ガイド穴
130…中間ガイド板
130a…中間ガイド穴
130b…穴壁
200…電子部品
211…穴壁導電膜
212…接続線
Claims (5)
- 第1接触対象と第2接触対象とを電気的に接続するプローブと、前記プローブを前記第1接触対象から前記第2接触対象に向けて案内するプローブ支持体とを備える電気的接続装置であって、
前記プローブ支持体は、
前記プローブを挿通する第1ガイド穴を有する第1ガイド板と、
前記第1ガイド板から第2接触対象側に間隔を設けて配置され、前記プローブを挿通する第2ガイド穴を有する第2ガイド板と、
前記第2ガイド板に配置される電子部品と、を備え、
前記第2ガイド板には、前記第2ガイド穴の穴壁において、前記プローブが前記第2接触対象との接触により押し込まれる際に、前記プローブと摺動しながら前記プローブと電気的に接続する穴壁導電膜が形成されており、
前記電子部品は、前記穴壁導電膜を介して前記プローブと電気的に接続する
ことを特徴とする電気的接続装置。 - 前記プローブは、前記第1ガイド板と前記第2ガイド板との間において湾曲する湾曲部を有する
ことを特徴とする請求項1に記載の電気的接続装置。 - 前記電子部品は、前記第2ガイド板と前記第1ガイド板との間に形成される遮蔽室に配置される
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の電気的接続装置。 - 前記プローブとして、前記電子部品から所定距離の範囲内に配置される第1プローブと第2プローブとを備え、
前記第2ガイド板には、前記穴壁導電膜として、前記第1プローブと摺動しながら前記第1プローブと電気的に接続する第1穴壁導電膜と、前記第2プローブと摺動しながら前記第2プローブと電気的に接続する第2穴壁導電膜とが形成されており、
前記電子部品は、前記第1穴壁導電膜を介して前記第1プローブと電気的に接続するとともに、前記第2穴壁導電膜を介して前記第2プローブと電気的に接続する
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の電気的接続装置。 - 第1接触対象と第2接触対象とを電気的に接続するプローブを前記第1接触対象から前記第2接触対象に向けて案内するプローブ支持体であって、
前記プローブを挿通する第1ガイド穴を有する第1ガイド板と、
前記第1ガイド板から第2接触対象側に間隔を設けて配置され、前記プローブを挿通する第2ガイド穴を有する第2ガイド板と、
前記第2ガイド板に配置される電子部品と、を備え、
前記第2ガイド板には、前記第2ガイド穴の穴壁において、前記プローブが前記第2接触対象との接触により押し込まれる際に、前記プローブと摺動しながら前記プローブと電気的に接続する穴壁導電膜が形成されており、
前記電子部品は、前記穴壁導電膜を介して前記プローブと電気的に接続する
ことを特徴とするプローブ支持体。
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