JP2018074119A - ウエハの搬送保持装置 - Google Patents
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Abstract
Description
11 チャックテーブル
11a 保持テーブル
11b 吸引部
12 搬送機構
13 吸着孔(吸引口)
14 ウエハ吸引用真空ライン(チャックテーブル側)
15 第1のウエハ真空吸着手段
21 搬送パッド(搬送プレート)
21A 外周パッド部
21B 内周パッド部
22 搬送アーム
23 枢軸
23A 筒軸
23a 孔
23B 摺動軸
23b 移動規制部
23C スプリング
24 外周パッド板
25 枠体
26 外周側Vシール
26a リップ部
27 内周パッド板
28 内周側Vシール
28a リップ部
29 吸着孔(吸引口)
30 ウエハ吸引用真空ライン(搬送機構側)
31 第2のウエハ真空吸着手段
32 ダイアフラム(弾性薄膜)
33 真空エリア
34 制御部
35 内周側Vシールで囲暁された領域
O1 搬送パッドの軸心
O2 チャックテーブルの軸心
Claims (5)
- 半導体ウエハを吸引保持するチャックテーブルと、前記半導体ウエハを前記チャックテーブル上に搬送する搬送機構とを備えるウエハの搬送保持装置において、
前記半導体ウエハを吸引保持する内周パッド部と、前記内周パッド部で囲暁された領域の内側に吸引口を設けて形成された搬送機構側のウエハ吸引用真空ラインと、前記内周パッド部及び前記半導体ウエハよりも外周側の領域部分で前記チャックテーブルと接触し、前記内周パッド部と前記チャックテーブルとの間に真空エリアを生成するための外周パッド部と、を有して前記搬送機構に設けられた搬送パッドと、
前記チャックテーブル上に載置された前記半導体ウエハを吸引保持する負圧を前記チャックテーブル上に発生させるためのチャックテーブル側のウエハ吸引用真空ラインと、
を備えることを特徴とするウエハの搬送保持装置。 - 前記真空エリアは、前記チャックテーブル側の前記チャックテーブル側のウエハ吸引用真空ラインと連通している、ことを特徴とする請求項1に記載のウエハの搬送保持装置。
- 前記搬送機構が前記半導体ウエハを前記チャックテーブル上に搬送し終えると、前記チャックテーブル側のウエハ吸引用真空ラインをオフからオンに切り替え操作をする制御部を備える、ことを特徴とする請求項1又は2に記載のウエハの搬送保持装置。
- 前記制御部は、前記チャックテーブル側の前記ウエハ吸引用真空ラインをオフからオンに切り替え操作をするのに連動させて、前記搬送機構側のウエハ吸引用真空ラインをオンからオフに切り替え操作をする、ことを特徴とする請求項3に記載のウエハの搬送保持装置。
- 前記内周パッド部は、前記内周パッド部と前記半導体ウエハとの間をシールするリング状のVシールを備え、前記外周パッド部は、前記外周パッド部と前記チャックテーブルとの間をそれぞれシールするリング状のVシールを備える、ことを特徴とする請求項1、2、3又は4に記載のウエハの搬送保持装置。
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