JP2018069426A - Magnet chuck - Google Patents

Magnet chuck Download PDF

Info

Publication number
JP2018069426A
JP2018069426A JP2016216212A JP2016216212A JP2018069426A JP 2018069426 A JP2018069426 A JP 2018069426A JP 2016216212 A JP2016216212 A JP 2016216212A JP 2016216212 A JP2016216212 A JP 2016216212A JP 2018069426 A JP2018069426 A JP 2018069426A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
support member
magnetic
magnetic pole
plunger
magnet chuck
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2016216212A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6469627B2 (en
Inventor
山本　泰正
Yasumasa Yamamoto
泰正 山本
浩 橋詰
Hiroshi Hashizume
浩 橋詰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kanetec KK
Original Assignee
Kanetec KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kanetec KK filed Critical Kanetec KK
Priority to JP2016216212A priority Critical patent/JP6469627B2/en
Publication of JP2018069426A publication Critical patent/JP2018069426A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6469627B2 publication Critical patent/JP6469627B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Jigs For Machine Tools (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To eliminate malfunction of a plunger resulting from intervention of sawdust or grinding dust between a perforated lid and the plunger in the grinding process of a magnetic body workpiece adsorption-held on an adsorption face, and to surely discharge the sawdust, grinding dust and working liquid.SOLUTION: There is provided a magnet chuck 10 equipped with: a magnetic pole member 20 in which an adsorption face 21 adsorbing a magnetic body workpiece and a separator 26 are formed, and an electromagnetic coil 24 is embedded; plural support members 30 which protrude from and intrude in the adsorption face 21, have a plunger 32 contacting the magnetic body workpiece, and make the protrusion/intrusion side portion of the plunger 32 expose to the support member-arranging holes 28 provided to the magnetic pole member 20; and a groove body 50 which is provided on the surface of the magnetic pole member 20, opens on the side of the magnetic pole member 20 and discharges the sawdust or grinding dust of the magnetic body workpiece and a working liquid.SELECTED DRAWING: Figure 6

Description

本発明はマグネットチャックに関し、より詳細には、特に切削加工や研削加工等に用いて好適なマグネットチャックに関する。   The present invention relates to a magnet chuck, and more particularly to a magnet chuck that is particularly suitable for use in cutting and grinding.

磁気吸着面に磁性体ワークを吸着して切削加工や研削加工等に用いて好適なマグネットチャックが知られている。このようなマグネットチャックとしては、特許文献１に開示されているような構成のものが知られている。   2. Description of the Related Art A magnet chuck suitable for use in cutting or grinding by attracting a magnetic workpiece to a magnetic attracting surface is known. As such a magnet chuck, a configuration as disclosed in Patent Document 1 is known.

公開特許公報 特開２００９−２５５２２１号公報JP Patent Publication No. 2009-255221

図１１、図１２に示すようにマグネットチャックは、永久磁石１４を配設した磁性体からなる台板１２と、永久磁石１４を覆って配設され、内部に電磁コイル２４が埋設された磁極部材２０と、磁極部材２０の吸着面２１に埋設されたセパレータ２６およびサポート部材３０と、を具備している。   As shown in FIGS. 11 and 12, the magnet chuck includes a base plate 12 made of a magnetic material on which a permanent magnet 14 is disposed, and a magnetic pole member that is disposed so as to cover the permanent magnet 14 and in which an electromagnetic coil 24 is embedded. 20, and a separator 26 and a support member 30 embedded in the adsorption surface 21 of the magnetic pole member 20.

そして磁極部材２０の吸着面２１には、サポート部材３０を収容した後、サポート部材３０のプランジャ３２部分に相当する平面位置にプランジャ３２が出入り可能な孔９２が形成された有孔蓋９０が配設されている。また、サポート部材３０は底部に形成された流体用通路連通孔を介して形成された流体路３６にシールされた状態で接続されている。さらに台板１２には有孔蓋９０の孔９２とプランジャ３２との隙間部分から進入した切削屑や研削屑の他加工液を外部に排出するドレイン孔４２が配設されている。   The suction surface 21 of the magnetic pole member 20 is provided with a perforated lid 90 in which a hole 92 into which the plunger 32 can enter and exit is formed at a planar position corresponding to the plunger 32 portion of the support member 30 after the support member 30 is accommodated. It is installed. Further, the support member 30 is connected in a sealed state to a fluid passage 36 formed through a fluid passage communication hole formed in the bottom portion. Further, the base plate 12 is provided with a drain hole 42 for discharging cutting waste and grinding waste entering the gap portion between the hole 92 of the perforated lid 90 and the plunger 32 to the outside.

このような構成のマグネットチャック１０を用いて吸着面２１に図示しない磁性体ワークを吸着保持させて磁性体ワークの切削加工や研削加工を行うと、プランジャ３２と有孔蓋９０の孔９２との隙間部分に細かい切削屑や研削屑等が入り込んでしまうことがあり、このような状態になると有孔蓋９０の孔９２からのプランジャ３２の突出入動作ができなくなってしまうといった不具合が生じる。   When the magnetic workpiece (not shown) is attracted and held on the attracting surface 21 by using the magnet chuck 10 having such a configuration, when the magnetic workpiece is cut or ground, the plunger 32 and the hole 92 of the perforated lid 90 are formed. Fine cutting waste, grinding waste, or the like may enter the gap portion. In such a state, there is a problem that the plunger 32 cannot be protruded from the hole 92 of the perforated lid 90.

そこで本発明は上記課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは次のとおりである。すなわち、吸着面に磁気によって吸着保持した磁性体ワークに研削加工や研削加工をした場合であっても、切削屑や研削屑等が有孔蓋の孔とプランジャとの間に挟まることによるプランジャの動作不良を無くすことを可能にしたマグネットチャックの構成を提供することにある。   Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and the object of the present invention is as follows. In other words, even when grinding or grinding is performed on a magnetic workpiece that is attracted and held magnetically on the attracting surface, the cutting of the plunger due to the cutting waste or grinding waste being sandwiched between the hole of the perforated lid and the plunger. An object of the present invention is to provide a configuration of a magnet chuck that can eliminate malfunctions.

上記課題を解決するため本願の発明者が鋭意研究した結果、以下の構成に想到した。
すなわち、本発明は、磁性体からなる台板と、該台板を覆って設けられ、磁性体ワークを吸着する吸着面を有し、内部に電磁コイルが埋設された磁極部材と、該磁極部材の前記吸着面に設けられたセパレータと、流体圧によって前記吸着面から突出入し、前記磁極部材の前記吸着面から外方に突出した際、前記磁性体ワークの表面に当接するプランジャを有し、前記電磁コイルに囲まれる部位の前記磁極部材に設けられたサポート部材配設穴に、前記プランジャの突出入側部分を露出させた状態で配設された複数のサポート部材と、前記台板を通過し、前記サポート部材に至り、流体圧を前記プランジャに及ぼす流体路と、前記磁極部材の表面に設けられ、前記磁極部材の側面に開口し、前記磁性体ワークの切削屑もしくは研削屑、および加工液を排出する溝体と、を具備することを特徴とするマグネットチャックである。 As a result of intensive studies by the inventors of the present application in order to solve the above-mentioned problems, the following configuration has been conceived.
That is, the present invention provides a base plate made of a magnetic material, a magnetic pole member provided so as to cover the base plate and having a suction surface for attracting a magnetic work, and an electromagnetic coil embedded therein, and the magnetic pole member A separator provided on the attraction surface, and a plunger that protrudes from the attraction surface by fluid pressure and abuts against the surface of the magnetic workpiece when protruding outward from the attraction surface of the magnetic pole member. A plurality of support members arranged in a state in which a protruding entry side portion of the plunger is exposed in a support member arrangement hole provided in the magnetic pole member in a portion surrounded by the electromagnetic coil, and the base plate A fluid path that passes through, reaches the support member and exerts fluid pressure on the plunger, and is provided on a surface of the magnetic pole member, opens on a side surface of the magnetic pole member, and cutting or grinding waste of the magnetic work, and Addition A magnetic chuck, characterized by comprising a groove member for discharging the liquid, a.

これにより、プランジャの突出入側部分を吸着面に露出させた状態でサポート部材を配設しているので、吸着面に磁性体ワークを吸着保持させた状態で磁性体ワークの切削加工や研削加工を施しても、細かい切削屑や研削屑がサポート部材のプランジャの伸縮動作を妨げることがなく、研削屑や切削屑を確実に排出することができる。また、吸着面に磁性体の一部が取り除かれた部分である溝体を設けることにより、溝体にセパレータの一部を構成させることができるため、吸着面におけるセパレータの占有スペースが削減され、単位吸着面面積あたりにおけるサポート部材の配設数を増やすことができる。   As a result, the support member is disposed with the protruding entry side portion of the plunger exposed to the attracting surface, so that the magnetic work is cut or ground while the magnetic work is attracted and held on the attracting surface. Even if it gives, fine cutting waste and grinding waste do not disturb the expansion-contraction operation of the plunger of a support member, and grinding waste and cutting waste can be discharged reliably. In addition, by providing a groove that is a part from which a part of the magnetic material is removed on the attracting surface, it is possible to configure a part of the separator in the groove, thereby reducing the space occupied by the separator on the attracting surface, The number of support members disposed per unit adsorption surface area can be increased.

また、前記溝体は、前記サポート部材配設穴に連通するサポート部材配設穴連通部を有していることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the said groove body has a support member arrangement | positioning hole communication part connected to the said support member arrangement | positioning hole.

これにより、吸着面に磁性体ワークを吸着保持させた状態で磁性体ワークの切削加工や研削加工を施しても、切削屑や研削屑をサポート部材配設穴に滞留させることなく、サポート部材配設穴連通部を介して確実に溝体に排出することができる。   As a result, even if cutting or grinding of the magnetic workpiece is performed with the magnetic workpiece attracted and held on the attracting surface, the support member is disposed without retaining the cutting waste or grinding waste in the support member placement hole. It can be reliably discharged into the groove body via the hole communicating portion.

また、前記サポート部材配設穴連通部は、前記サポート部材配設穴の接線方向に沿って配設されていることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the said support member arrangement | positioning hole communication part is arrange | positioned along the tangent direction of the said support member arrangement | positioning hole.

これにより、サポート部材配設穴に磁性体ワークの切削屑や研削屑が滞留してしまった場合であっても、サポート部材配設穴に圧縮空気等の圧縮流体を吹き付けることにより、切削屑や研削屑はサポート部材配設穴連通部を介して溝体に排出されることになるため、磁性体ワークの切削加工時や磁性体ワークの研削加工時におけるマグネットチャックのメンテナンスが容易である。   As a result, even if the cutting waste or grinding waste of the magnetic workpiece has accumulated in the support member placement hole, by blowing a compressed fluid such as compressed air to the support member placement hole, Since the grinding waste is discharged into the groove body through the support member disposing hole communicating portion, maintenance of the magnet chuck is easy when the magnetic work is cut or when the magnetic work is ground.

また、前記溝体は、前記吸着面の中央部分よりも前記吸着面の外周縁側部分の方がより深く形成されていることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the groove body is formed deeper in the outer peripheral edge side portion of the suction surface than in the central portion of the suction surface.

これにより、溝体内の切削屑や研削屑を効率的に排出することができる。   Thereby, the cutting waste and the grinding waste in the groove body can be efficiently discharged.

また、前記溝体は、前記吸着面からの深さ方向における断面形状が逆Ｔ字型に形成されていることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the cross-sectional shape in the depth direction from the said adsorption | suction surface is formed in the said grooved body in a reverse T shape.

これにより、吸着面の面積減少を抑えつつ、溝体の流路断面積を増やすことができる。また、溝体にクランパの固定を行うことができるため、マグネットチャックの使用用途を広げることができる。   Thereby, the flow-path cross-sectional area of a groove body can be increased, suppressing the area reduction of an adsorption | suction surface. Moreover, since the clamper can be fixed to the groove body, the use application of the magnet chuck can be expanded.

本発明にかかるマグネットチャック１０の構成を採用することにより、サポート部材３０をプランジャ３２の突出入側部分が吸着面２１側に露出した状態にすることができる。したがって、吸着面２１に磁性体ワークを吸着保持させた状態で磁性体ワークに対して切削加工や研削加工を施しても、細かい切削屑や研削屑がサポート部材３０の突出入動作を妨げることがなく、切削屑や研削屑は溝体を介して確実にマグネットチャック１０の外部に排出させることができる。また、吸着面２１に溝体５０を形成することで吸着面２１の磁極部材２０の一部が取り除かれることになるため、溝体５０を吸着面２１におけるセパレータ２６として機能させることができる。このため、吸着面２１におけるセパレータ２６の占有スペースが削減し、吸着面２１の単位面積あたりにおけるサポート部材３０の配設数を増やすことができる。また、加工コストの高いセパレータ２６の配設延長が減るため、マグネットチャック１０の製造コストを低減させることができる点においても貢献する。   By adopting the configuration of the magnet chuck 10 according to the present invention, the support member 30 can be brought into a state in which the protruding entry side portion of the plunger 32 is exposed to the attracting surface 21 side. Therefore, even if cutting or grinding is performed on the magnetic workpiece while the magnetic workpiece is attracted and held on the attracting surface 21, fine cutting waste or grinding waste may hinder the protrusion operation of the support member 30. In addition, cutting waste and grinding waste can be reliably discharged to the outside of the magnet chuck 10 through the groove body. Further, by forming the groove body 50 on the suction surface 21, a part of the magnetic pole member 20 on the suction surface 21 is removed, so that the groove body 50 can function as the separator 26 on the suction surface 21. For this reason, the space occupied by the separator 26 on the suction surface 21 can be reduced, and the number of support members 30 arranged per unit area of the suction surface 21 can be increased. Moreover, since the arrangement | positioning extension of the separator 26 with a high processing cost reduces, it contributes also in the point which can reduce the manufacturing cost of the magnet chuck | zipper 10.

参考実施形態におけるマグネットチャックの平面図である。It is a top view of the magnet chuck in a reference embodiment. 図１中のＩＩ―ＩＩ線における断面図である。It is sectional drawing in the II-II line | wire in FIG. 第１実施形態におけるマグネットチャックの平面図である。It is a top view of the magnet chuck in a 1st embodiment. 第１実施形態におけるマグネットチャックの正面図である。It is a front view of the magnet chuck in a 1st embodiment. 図３中のＶ―Ｖ線における断面図である。It is sectional drawing in the VV line | wire in FIG. 図３中のＶＩ―ＶＩ線における断面図である。It is sectional drawing in the VI-VI line in FIG. 第２実施形態におけるマグネットチャックの平面図である。It is a top view of the magnet chuck in a 2nd embodiment. 第３実施形態におけるマグネットチャックの平面図である。It is a top view of the magnet chuck in a 3rd embodiment. 第４実施形態におけるマグネットチャックの平面図である。It is a top view of the magnet chuck in a 4th embodiment. 第４実施形態におけるマグネットチャックの右側面図である。It is a right view of the magnet chuck in 4th Embodiment. 従来技術におけるマグネットチャックの一例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of the magnet chuck in a prior art. 図１１内のＸＩＩ―ＸＩＩ線における概略断面図である。It is a schematic sectional drawing in the XII-XII line | wire in FIG.

以下、本発明にかかるマグネットチャックの実施形態について図面に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments of a magnet chuck according to the present invention will be described with reference to the drawings.

（参考実施形態）
図１および図２により、このマグネットチャック１０について説明する。図１は、マグネットチャックの平面図、図２は、図１中のＩＩ―ＩＩ線における断面図である。本実施形態におけるマグネットチャック１０は、以下の構成を有している。すなわち、磁性体からなる台板１２上に複数のアルニコ製の永久磁石１４が配置され、各々の永久磁石１４の間にステンレス製の接続ブロック１６が配置されている。この永久磁石１４と接続ブロック１６とは磁性材料からなる組付鉄心１８によって覆われている。なお接続ブロック１６はボルト１９により台板１２に固定されている。このような接続ブロック１６には、アルニコ磁石に代表されるように、低保持力で高磁束密度の特性を有する磁石材を用いることが好ましい。 (Reference embodiment)
The magnet chuck 10 will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is a plan view of the magnet chuck, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line II-II in FIG. The magnet chuck 10 in the present embodiment has the following configuration. That is, a plurality of alnico permanent magnets 14 are arranged on a base plate 12 made of a magnetic material, and a stainless steel connection block 16 is arranged between the permanent magnets 14. The permanent magnet 14 and the connection block 16 are covered with an assembly iron core 18 made of a magnetic material. The connection block 16 is fixed to the base plate 12 with bolts 19. For such a connection block 16, it is preferable to use a magnet material having a low magnetic force and a high magnetic flux density, as represented by an alnico magnet.

そして、組付鉄心１８上に磁性材料からなる磁極部材２０が配置されている。なお、組付鉄心１８は磁極部材２０と一体のものとすることができる。磁極部材２０の表面側が吸着面２１となる。磁極部材２０の組付鉄心１８側の面には長いリング状をなす穴２２が開口され、この長いリング状の穴２２内に電磁コイル２４が埋設されている。そして穴２２内はエポキシ樹脂２５が充填され、電磁コイル２４を封止している。   A magnetic pole member 20 made of a magnetic material is disposed on the assembled iron core 18. The assembled iron core 18 can be integrated with the magnetic pole member 20. The surface side of the magnetic pole member 20 becomes the attracting surface 21. A long ring-shaped hole 22 is opened on the surface of the magnetic pole member 20 on the side of the assembly core 18, and an electromagnetic coil 24 is embedded in the long ring-shaped hole 22. The hole 22 is filled with an epoxy resin 25 to seal the electromagnetic coil 24.

磁極部材２０の吸着面２１には、電磁コイル２４による磁界が及ぼされる吸着エリアを囲むようにして非磁性材料からなるセパレータ２６が設けられている。磁極部材２０の、電磁コイル２４に囲まれる部位に、吸着面２１側が大径部２８ａとなるサポート部材配設穴２８が所要間隔をおいて一列に複数個開口されている。それぞれのサポート部材配設穴２８の小径部２８ｂの内周面にはねじ山が形成されていて、このねじ山にサポート部材３０の外周面に形成されたねじ山を螺着させることでサポート部材３０をサポート部材配設穴２８に配設している。図２からも明らかなようにサポート部材３０は、サポート部材３０の上部を大径部２８ａ（プランジャ３２の突出入側部分）に露出させた状態で配設されている。なお、このようなサポート部材３０の列が吸着面２１に適宜複数列設けられている（図示せず）。   A separator 26 made of a nonmagnetic material is provided on the attracting surface 21 of the magnetic pole member 20 so as to surround the attracting area to which the magnetic field is exerted by the electromagnetic coil 24. A plurality of support member arrangement holes 28 having a large diameter portion 28a on the suction surface 21 side are opened in a line at a required interval in a portion of the magnetic pole member 20 surrounded by the electromagnetic coil 24. A screw thread is formed on the inner peripheral surface of the small-diameter portion 28b of each support member arrangement hole 28, and the support member is formed by screwing the screw thread formed on the outer peripheral surface of the support member 30 to the screw thread. 30 is arranged in the support member arrangement hole 28. As is clear from FIG. 2, the support member 30 is disposed in a state where the upper portion of the support member 30 is exposed to the large diameter portion 28 a (the protruding entry side portion of the plunger 32). Note that a plurality of rows of such support members 30 are appropriately provided on the suction surface 21 (not shown).

サポート部材３０は、油圧、空気圧等の流体圧（以下油圧で説明する）によって突出入し、磁極部材２０の吸着面２１から外方に突出した際、図示しない磁性体ワークの表面に当接するプランジャ３２を有する。サポート部材配設穴２８の大径部２８ａの底部には、磁極部材２０、組付鉄心１８、接続ブロック１６および台板１２を貫通するドレイン孔４２が設けられている。吸着面２１側が開口部になっているサポート部材配設穴２８内に入り込んだ切削屑または研削屑は加工液と共にドレイン孔４２から外部に排出される。なお、図１、図２に示すマグネットチャック１０をいわゆるドライ加工のみに用いる場合においては、ドレイン孔４２の配設を省略した形態を採用することもできる。この場合、サポート部材配設穴２８に切削屑や研削屑が入り込むことになるが、サポート部材３０のプランジャ３２が吸着面２１に対して突出入する動作を阻害するほどの不具合にはならないため問題はない。   The support member 30 protrudes by fluid pressure such as oil pressure or air pressure (hereinafter described as oil pressure), and when it protrudes outward from the attracting surface 21 of the magnetic pole member 20, the plunger contacts the surface of a magnetic work (not shown). 32. A drain hole 42 penetrating the magnetic pole member 20, the assembled iron core 18, the connection block 16, and the base plate 12 is provided at the bottom of the large diameter portion 28 a of the support member arrangement hole 28. Cutting waste or grinding waste that has entered the support member arrangement hole 28 having an opening on the suction surface 21 side is discharged to the outside together with the machining liquid from the drain hole 42. When the magnet chuck 10 shown in FIGS. 1 and 2 is used only for so-called dry processing, a configuration in which the drain hole 42 is omitted may be employed. In this case, although cutting waste and grinding waste enter the support member disposition hole 28, the problem does not occur that the operation of the plunger 32 of the support member 30 protruding into the suction surface 21 is hindered. There is no.

図１および図２に示すマグネットチャック１０を用いて磁性体ワークを吸着面２１に吸着保持させるには次のようになされる。まず、磁性体ワークを磁極部材２０の吸着面２１の上に載置する。次いで、電磁コイル２４に比較的小さい電力を供給し、アルニコ製の永久磁石１４の磁力を増大させ、その磁力を吸着面２１に及ぼさせることで、磁性体ワークを比較的弱い磁力により吸着する。   The magnetic workpiece is attracted and held on the attracting surface 21 using the magnet chuck 10 shown in FIGS. 1 and 2 as follows. First, the magnetic work is placed on the attracting surface 21 of the magnetic pole member 20. Next, relatively small electric power is supplied to the electromagnetic coil 24, the magnetic force of the permanent magnet 14 made of Alnico is increased, and the magnetic force is exerted on the attracting surface 21, thereby attracting the magnetic work with a relatively weak magnetic force.

次いで、図示しない油圧源からの圧油を、台板１２を通過させてサポート部材３０に至り、圧油の流体圧をプランジャ３２に及ぼす流体路３６に供給し、供給された油圧により各プランジャ３２を吸着面２１から突出させ、プランジャ３２の先端を磁性体ワークに当接させ、磁性体ワークをプランジャ３２で支持するようにする。この状態で、電磁コイル２４に十分な大きさの電力を供給し、吸着面２１に強い磁力を発生させ、磁性体ワークを吸着面２１に吸着、固定する。この状態で、磁性体ワークに必要な切削加工、研削加工等を施すようにする。このときに生じた切削屑または研削屑と加工液はドレイン孔４２からマグネットチャック１０の外部に排出することができる。   Next, pressure oil from a hydraulic source (not shown) passes through the base plate 12 to the support member 30 and is supplied to the fluid passage 36 that applies the fluid pressure of the pressure oil to the plunger 32. Each plunger 32 is supplied with the supplied hydraulic pressure. Is protruded from the adsorption surface 21, the tip of the plunger 32 is brought into contact with the magnetic work, and the magnetic work is supported by the plunger 32. In this state, a sufficiently large electric power is supplied to the electromagnetic coil 24 to generate a strong magnetic force on the attracting surface 21, thereby attracting and fixing the magnetic work to the attracting surface 21. In this state, necessary cutting and grinding are performed on the magnetic workpiece. The cutting waste or grinding waste generated at this time and the machining fluid can be discharged from the drain hole 42 to the outside of the magnet chuck 10.

なお、アルニコ製の永久磁石１４は、電磁コイル２４に短時間通電するだけで、必要な磁力を継続的に得ることができ、これにより省エネルギー化を図ることができる。磁性体ワークの加工後、磁性体ワークを解放するには、電磁コイル２４に、吸着時とは逆方向に通電することで、保持力の小さいアルニコ製の永久磁石１４の磁力を低下させればよい。なお、必要に応じて、磁性体ワークに残留する残留磁力を消磁する消磁用コイルを別途設けてもよい（図示せず）。   Note that the Alnico permanent magnet 14 can continuously obtain the necessary magnetic force by simply energizing the electromagnetic coil 24 for a short time, thereby saving energy. To release the magnetic workpiece after processing the magnetic workpiece, the magnetic coil 24 is energized in the direction opposite to that during the adsorption, thereby reducing the magnetic force of the Alnico permanent magnet 14 having a small holding force. Good. If necessary, a degaussing coil for demagnetizing the residual magnetic force remaining on the magnetic work may be separately provided (not shown).

上記のようにして、省エネルギー化を図れるマグネットチャック１０を提供することができた。しかしながら、図１および図２に示す参考実施形態におけるマグネットチャック１０にも、次のような課題が生じた。すなわち、上記のように、ドレイン孔４２は磁極部材２０、組付鉄心１８、接続ブロック１６、および台板１２をそれぞれの板厚方向に貫通しているため、ドレイン孔４２の内部で切削屑や研削屑が詰まってしまうおそれがある。また、ドレイン孔４２がサポート部材３０と電磁コイル２４との間に配設されているためサポート部材と電磁コイル２４との配設間隔を確保しなければならず、吸着面２１へのサポート部材３０の配設間隔に制約が生じる。   As described above, the magnet chuck 10 that can save energy can be provided. However, the magnet chuck 10 in the reference embodiment shown in FIGS. 1 and 2 also has the following problems. That is, as described above, the drain hole 42 penetrates the magnetic pole member 20, the assembled iron core 18, the connection block 16, and the base plate 12 in the respective plate thickness directions. There is a risk of grinding clogging. In addition, since the drain hole 42 is disposed between the support member 30 and the electromagnetic coil 24, it is necessary to secure an interval between the support member and the electromagnetic coil 24, and the support member 30 on the suction surface 21. There is a restriction on the arrangement interval.

そこで、以下の実施形態１では、上記参考実施形態をさらに改良し、ドレイン孔４２への切削屑や研削屑の詰まりを無くし、吸着面２１へのサポート部材３０の配設間隔を狭めることが可能なマグネットチャック１０を提供する。   Therefore, in the following first embodiment, the above-described reference embodiment can be further improved, the clogging of cutting waste and grinding waste into the drain hole 42 can be eliminated, and the arrangement interval of the support member 30 on the suction surface 21 can be reduced. A magnetic chuck 10 is provided.

（第１実施形態）
図３〜図５は、第１実施形態におけるマグネットチャック１０を示す、図３は、その部分平面図、図４は図３におけるＩＶ−ＩＶ線における断面図、図５は図３におけるＶ−Ｖ線における断面図である。以下、図１および図２における参考実施形態と同一の部材は同一の符号を付し、その説明は省略する。 (First embodiment)
3 to 5 show the magnet chuck 10 according to the first embodiment, FIG. 3 is a partial plan view thereof, FIG. 4 is a sectional view taken along line IV-IV in FIG. 3, and FIG. It is sectional drawing in a line. Hereinafter, the same members as those in the reference embodiment in FIGS. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

第１実施形態におけるマグネットチャック１０は、図３および図４に示す符号の構成を具備し、台板１２の上に重ねた磁極部材２０の吸着面２１に、両端部を磁極部材２０の側面に開口させた溝体５０を配設した点にある。このような溝体５０を吸着面２１に配設したことにより、吸着面２１に磁性体ワークを保持させた状態で磁性体ワークに切削加工や研削加工を行ったときに生じる切削屑または研削屑と加工液は吸着面２１に配設された溝体５０に沿ってマグネットチャック１０の外部に排出させることができる。溝体５０は吸着面２１に近傍位置にいわゆる開水路として配設されているから、目視による状態確認をすることができ、たとえ溝体５０に切削屑または研削屑が滞留したとしても取り出しをきわめて容易に行うことができる。   The magnet chuck 10 in the first embodiment has the configuration indicated by the reference numerals shown in FIGS. 3 and 4, with the attracting surface 21 of the magnetic pole member 20 superimposed on the base plate 12 and both ends on the side surfaces of the magnetic pole member 20. The groove 50 that is opened is provided. By disposing such a groove body 50 on the suction surface 21, cutting waste or grinding waste generated when cutting or grinding is performed on the magnetic workpiece while the magnetic workpiece is held on the suction surface 21. Then, the machining liquid can be discharged to the outside of the magnet chuck 10 along the groove 50 disposed on the adsorption surface 21. Since the groove body 50 is arranged as a so-called open channel in the vicinity of the suction surface 21, it is possible to confirm the state by visual observation, and even if cutting waste or grinding waste stays in the groove body 50, the removal is extremely difficult. It can be done easily.

また、吸着面２１に溝体５０を形成することにより磁極部材２０の一部が取り除かれることになるから、溝体５０がセパレータ２６の機能をも発揮することになる。吸着面２１へのセパレータ２６の設置コストは極めて高コストであるため、一部のセパレータ２６であっても配設を省略できることはマグネットチャック１０の製造コストの低減に寄与する。   In addition, since the magnetic pole member 20 is partially removed by forming the groove body 50 on the attracting surface 21, the groove body 50 also exhibits the function of the separator 26. Since the installation cost of the separator 26 on the attracting surface 21 is extremely high, the fact that the arrangement of some of the separators 26 can be omitted contributes to the reduction of the manufacturing cost of the magnet chuck 10.

さらには、図５および図６に示すようにドレイン孔４２の配設が省略可能になり、サポート部材３０と電磁コイル２４との配設間隔を狭くすることができる。これにより吸着面２１に配設することができるサポート部材３０の数を増やすことができるので、より精密に磁性体ワークをプランジャ３２で保持することが可能になる点においても好都合である。   Furthermore, as shown in FIGS. 5 and 6, the arrangement of the drain hole 42 can be omitted, and the arrangement interval between the support member 30 and the electromagnetic coil 24 can be narrowed. As a result, the number of support members 30 that can be disposed on the attracting surface 21 can be increased, which is advantageous in that the magnetic work can be held by the plunger 32 more precisely.

また、溝体５０は、図３および図６に示すように、磁極部材２０の側面に開口している。溝体５０には、サポート部材配設穴２８に連通するサポート部材配設穴連通部としての通路５１が配設され、サポート部材配設穴２８の大径部２８ａと溝体５０が通じている。これによりサポート部材配設穴２８の大径部２８ａ内に入り込んだ切削屑、研削屑、加工液等は、通路５１および溝体５０を通じて磁極部材２０（マグネットチャック１０）の側方に排出されることになる。そして、溝体５０は、吸着面２１の中央部分（溝体５０の延長方向における中央部分）よりも磁極部材２０の外周縁側部分（溝体５０の延長方向における両端部側）の方がより深くなるように形成されていることが好ましい。このような溝体５０によれば、切削屑、研削屑、加工液等の排出をさらに促進させることができ、好都合である。なお、溝体５０は一方の端部側から他方の端部側に徐々に深くなるように形成することもできるし、溝体５０の延設方向において均一深さに形成することもできる。   Further, as shown in FIGS. 3 and 6, the groove body 50 is opened on the side surface of the magnetic pole member 20. The groove body 50 is provided with a passage 51 as a support member arrangement hole communicating portion communicating with the support member arrangement hole 28, and the large diameter portion 28 a of the support member arrangement hole 28 and the groove body 50 communicate with each other. . As a result, cutting waste, grinding waste, machining fluid and the like that have entered the large-diameter portion 28 a of the support member disposition hole 28 are discharged to the side of the magnetic pole member 20 (magnet chuck 10) through the passage 51 and the groove body 50. It will be. The groove 50 has a deeper outer peripheral side portion (both ends in the extending direction of the groove 50) of the magnetic pole member 20 than a central portion of the attracting surface 21 (a central portion in the extending direction of the groove 50). It is preferable to be formed as follows. According to such a groove body 50, discharge of cutting waste, grinding waste, machining fluid, and the like can be further promoted, which is convenient. The groove body 50 can be formed so as to gradually become deeper from one end side to the other end side, or can be formed to have a uniform depth in the extending direction of the groove body 50.

また通路５１は、図３に示すようにサポート部材配設穴２８の接線方向に沿って（通路５１がサポート部材配設穴２８の接線を構成する）形成されていることが好ましい。これにより万が一サポート部材配設穴２８に切削屑、研削屑、加工液等の滞留が生じた場合であっても、圧縮空気をサポート部材配設穴２８に吹き付ければ、通路５１から切削屑、研削屑、加工液等を溝体５０に送り出すことができ、磁性体ワークの切削加工や研削加工時における切削屑、研削屑、加工液等の排出処理に要するメンテナンス頻度を低減させることができる。   Further, as shown in FIG. 3, the passage 51 is preferably formed along the tangential direction of the support member disposition hole 28 (the passage 51 constitutes a tangent of the support member disposition hole 28). As a result, even if cutting waste, grinding waste, working fluid or the like stays in the support member arrangement hole 28, if compressed air is blown to the support member arrangement hole 28, the cutting waste, Grinding debris, machining fluid, and the like can be sent out to the groove body 50, and the maintenance frequency required for discharge processing of cutting debris, grinding debris, machining fluid, etc. during cutting and grinding of the magnetic work can be reduced.

（第２実施形態）
図７は、第２実施形態におけるマグネットチャック１０の平面図である。本実施形態においてはすでに説明した実施形態と同一の部材については、それらと同一の符号を図面中に付すことで、ここでの詳細な説明は省略する。本実施形態は、マグネットチャック１０（吸着面２１）の長手方向において所要間隔をあけて短手方向の端縁に平行な複数本の溝体５０が形成され、２本の溝体５０によりサポート部材３０が挟み込まれた状態になっている。サポート部材３０を挟み込む溝体５０とサポート部材配設穴２８との間には、サポート部材配設穴連通部としての通路５１が形成されている。 (Second Embodiment)
FIG. 7 is a plan view of the magnet chuck 10 according to the second embodiment. In the present embodiment, the same members as those already described in the embodiment are denoted by the same reference numerals in the drawings, and detailed description thereof is omitted here. In the present embodiment, a plurality of groove bodies 50 parallel to the edge in the short direction are formed at predetermined intervals in the longitudinal direction of the magnet chuck 10 (attraction surface 21), and the support member is formed by the two groove bodies 50. 30 is sandwiched. Between the groove body 50 that sandwiches the support member 30 and the support member disposition hole 28, a passage 51 is formed as a support member disposition hole communicating portion.

また、サポート部材３０を挟み込んでいる溝体５０の間には、マグネットチャック１０（吸着面２１）の短手方向において所要間隔をあけて複数配設されているサポート部材３０のうちの両端位置に配設されているサポート部材３０の外側部分にセパレータ２６が配設されている。このような構成を採用することにより、溝体５０による吸着面２１の磁極部材２０の控除により、吸着面２１に形成すべきセパレータ２６の延長を短くすることができる点で好都合である。   Further, between the groove members 50 sandwiching the support member 30, the support members 30 are disposed at both end positions of the support members 30 that are arranged at a predetermined interval in the short direction of the magnet chuck 10 (attraction surface 21). A separator 26 is disposed on the outer portion of the disposed support member 30. Adopting such a configuration is advantageous in that the extension of the separator 26 to be formed on the suction surface 21 can be shortened by subtraction of the magnetic pole member 20 of the suction surface 21 by the groove 50.

（第３実施形態）
図８は、第３実施形態におけるマグネットチャック１０の平面図である。本実施形態においてはすでに説明した実施形態と同一の部材については、それらと同一の符号を図面中に付すことで、ここでの詳細な説明は省略する。本実施形態におけるマグネットチャック１０は、図７に示すセパレータ２６の配設位置を延長させ、吸着面２１を長手方向に通貫する（磁極部材２０の長手方向における端縁に両端が開口する）溝体５０が形成され、吸着面２１にセパレータ２６の配設を省略した構成が特徴的である。これにより第２実施形態よりもさらに磁性体ワークの切削加工や研削加工における切削屑や研削屑と加工液の排出を効率的に行うことができる。また、セパレータ２６の配設が不要であることからマグネットチャック１０の製造コストの低減が促進される点においても好都合である。 (Third embodiment)
FIG. 8 is a plan view of the magnet chuck 10 according to the third embodiment. In the present embodiment, the same members as those already described in the embodiment are denoted by the same reference numerals in the drawings, and detailed description thereof is omitted here. The magnet chuck 10 according to the present embodiment extends a position where the separator 26 shown in FIG. 7 is extended, and penetrates the attracting surface 21 in the longitudinal direction (both ends open at the edge in the longitudinal direction of the magnetic pole member 20). The structure is characterized in that the body 50 is formed and the separator 26 is omitted from the suction surface 21. As a result, it is possible to more efficiently discharge the cutting waste, the grinding waste and the machining fluid in the cutting and grinding of the magnetic work than in the second embodiment. Moreover, since the arrangement of the separator 26 is unnecessary, it is advantageous in that the reduction of the manufacturing cost of the magnet chuck 10 is promoted.

（第４実施形態）
図９は、第４実施形態におけるマグネットチャック１０の平面図である。図１０は、第４実施形態におけるマグネットチャック１０の右側面図である。本実施形態においてはすでに説明した実施形態と同一の部材については、それらと同一の符号を図面中に付すことで、ここでの詳細な説明は省略する。 (Fourth embodiment)
FIG. 9 is a plan view of the magnet chuck 10 according to the fourth embodiment. FIG. 10 is a right side view of the magnet chuck 10 according to the fourth embodiment. In the present embodiment, the same members as those already described in the embodiment are denoted by the same reference numerals in the drawings, and detailed description thereof is omitted here.

本実施形態におけるマグネットチャック１０は、マグネットチャック１０（吸着面２１）の長手方向における端縁に平行で吸着面２１を通貫する（磁極部材２０の短手方向における端縁に両端が開口する）溝体５０によりサポート部材３０を挟み込むようにしている。ここでは、マグネットチャック１０（吸着面２１）の短手方向に平行で長手方向の端縁に両端が開口する溝体５０が配設されていいないため、図９内の矢印Ｘ方向における往復動をする切削加工や研削加工を行う際における切削屑や研削屑と加工液がマグネットチャック１０の往復動方向に直交する溝体５０に入り込むことがないため、切削屑や研削屑と加工液の排出がさらに効率的に行うことができる点で好都合である。   The magnet chuck 10 in the present embodiment penetrates the attracting surface 21 parallel to the edge in the longitudinal direction of the magnet chuck 10 (attracting surface 21) (both ends open at the end in the short direction of the magnetic pole member 20). The support member 30 is sandwiched between the groove bodies 50. Here, since the groove body 50 which is parallel to the short direction of the magnet chuck 10 (attraction surface 21) and is open at both ends at the edge in the longitudinal direction is not provided, the reciprocating motion in the arrow X direction in FIG. When cutting or grinding is performed, cutting waste, grinding waste, and machining fluid do not enter the groove body 50 that is orthogonal to the reciprocating direction of the magnet chuck 10, so that cutting waste, grinding waste, and machining fluid are discharged. It is advantageous in that it can be performed more efficiently.

図９に示すような吸着面２１の構成を採用した場合、吸着面２１へのセパレータ２６の配設を行うか、図１０に示すように、磁極部材２０の側面に凹部５３を配設することで、吸着面２１に溝体５０を形成することによりセパレータ２６の配設が省略可能になる理由と同一の理由によりセパレータ２６の配設を省略することもできる。   When the configuration of the suction surface 21 as shown in FIG. 9 is adopted, the separator 26 is disposed on the suction surface 21 or the concave portion 53 is disposed on the side surface of the magnetic pole member 20 as shown in FIG. Thus, it is possible to omit the arrangement of the separator 26 for the same reason that the arrangement of the separator 26 can be omitted by forming the groove body 50 on the suction surface 21.

以上に説明した実施形態は、いわゆる永電磁式のマグネットチャック１０の構成に基づいて発明内容についての説明を行っているが、本願発明の技術的範囲は永電磁式のマグネットチャック１０に限定されるものではない。参考実施形態を含めたいずれの実施形態においても、いわゆる電磁式のマグネットチャック１０の形態を採用することも可能である。   In the embodiment described above, the contents of the invention are described based on the configuration of the so-called permanent electromagnetic magnet chuck 10, but the technical scope of the present invention is limited to the permanent electromagnetic magnet chuck 10. It is not a thing. In any of the embodiments including the reference embodiment, a so-called electromagnetic magnet chuck 10 may be employed.

以上の実施形態におけるマグネットチャック１０に対するさらに望まれる改良点は、以下のとおりである。具体的には、接続ブロック１６を無くし、アルニコ磁石製の永久磁石１４を、台板１２に設けた収納穴１５内に配設するとともに、収納穴１５間の仕切部１２ａ（台板１２と一体）に流体路３６を貫通して設けた点にある。そして、シール部材４０を、流体路３６における、仕切部１２ａと組付鉄心１８との間をシールする第１のシール部材、および組付鉄心１８と磁極部材２０との間をシールする第２のシール部材の２つのシール部材とした。なお、組付鉄心１８と磁極部材２０とを一体のものとすれば、シール部材を、仕切部１２ａと磁極部材２０との間をシールする１つのシール部材のみとすることもできる。   Further desired improvements to the magnet chuck 10 in the above embodiment are as follows. Specifically, the connection block 16 is eliminated, and the permanent magnet 14 made of alnico magnet is disposed in the storage hole 15 provided in the base plate 12, and the partition portion 12a between the storage holes 15 (integrated with the base plate 12). ) Through the fluid path 36. The sealing member 40 is a first sealing member that seals between the partition portion 12a and the assembled iron core 18 in the fluid path 36, and a second sealing member that seals between the assembled iron core 18 and the magnetic pole member 20. Two sealing members were used. If the assembled iron core 18 and the magnetic pole member 20 are integrated, the sealing member can be only one sealing member that seals between the partition portion 12a and the magnetic pole member 20.

すなわち、本実施の形態では、図２に示す実施の形態における、台板１２と接続ブロック１６との間をシールするシール部材４０を無くしたので、それだけ、油（流体）漏れを少なくでき、また、吸着面２１側から最深部となるシール部材４０を無くすことで、修理も容易となる利点がある。なお、図６において、電磁コイル２４の絶縁性を向上させるために、電磁コイル２４を収納する穴２２内にガラスビーズ４８を配設している。   That is, in this embodiment, since the seal member 40 for sealing between the base plate 12 and the connection block 16 in the embodiment shown in FIG. 2 is eliminated, oil (fluid) leakage can be reduced accordingly, and By eliminating the seal member 40 that is the deepest part from the suction surface 21 side, there is an advantage that repair is facilitated. In FIG. 6, in order to improve the insulation of the electromagnetic coil 24, a glass bead 48 is disposed in the hole 22 that houses the electromagnetic coil 24.

また、サポート部材配設穴２８の大径部２８ａとサポート部材３０との間にはシール部材５２が配設され、このシール部材５２によりサポート部材配設穴２８に切削屑または研削屑および加工液が入り込むことを防止している。そして、溝体５０を吸着面２１からの深さ方向における断面形状を逆Ｔ字型に形成すれば、この溝体５０を、クランパ等に代表される加工具取り付け用の係止溝等としての利用も可能となる。   Further, a seal member 52 is disposed between the large diameter portion 28 a of the support member disposition hole 28 and the support member 30, and the seal member 52 causes the support member disposition hole 28 to have cutting waste or grinding waste and machining fluid. Is prevented from entering. Then, if the groove body 50 is formed in an inverted T-shape in the depth direction from the suction surface 21, the groove body 50 is used as a locking groove for attaching a processing tool represented by a clamper or the like. It can also be used.

そして以上に説明した変形例の他、実施形態において説明した変形例等を適宜組み合わせた形態を採用することも可能である。   In addition to the modifications described above, it is possible to adopt a form in which the modifications described in the embodiments are appropriately combined.

１０ マグネットチャック
１２ 台板，１２ａ 仕切部，１４ 永久磁石，１５ 収納穴，１６ 接続ブロック，
１８ 組付鉄心，１９ ボルト，
２０ 磁極部材，２１ 吸着面，２２ 穴，２４ 電磁コイル，２５ エポキシ樹脂，
２６ セパレータ，２８ サポート部材配設穴，２８ａ 大径部，２８ｂ 小径部，
３０ サポート部材，３２ プランジャ，３６ 流体路，
４０ シール部材，４２ ドレイン孔，４８ ガラスビーズ，
５０ 溝体，５１ 通路（サポート部材配設穴連通部），
５２ シール部材，５３ 凹部，
９０ 有孔蓋，９２ 孔 10 Magnet chuck 12 Base plate, 12a Partition, 14 Permanent magnet, 15 Storage hole, 16 Connection block,
18 assembly iron core, 19 bolt,
20 magnetic pole member, 21 suction surface, 22 holes, 24 electromagnetic coil, 25 epoxy resin,
26 Separator, 28 Support member mounting hole, 28a Large diameter part, 28b Small diameter part,
30 support member, 32 plunger, 36 fluid path,
40 sealing member, 42 drain hole, 48 glass beads,
50 groove body, 51 passage (support member arrangement hole communicating portion),
52 sealing member, 53 recess,
90 perforated lid, 92 holes

Claims (5)

磁性体からなる台板と、
該台板を覆って設けられ、磁性体ワークを吸着する吸着面を有し、内部に電磁コイルが埋設された磁極部材と、
該磁極部材の前記吸着面に設けられたセパレータと、
流体圧によって前記吸着面から突出入し、前記磁極部材の前記吸着面から外方に突出した際、前記磁性体ワークの表面に当接するプランジャを有し、前記電磁コイルに囲まれる部位の前記磁極部材に設けられたサポート部材配設穴に、前記プランジャの突出入側部分を露出させた状態で配設された複数のサポート部材と、
前記台板を通過し、前記サポート部材に至り、流体圧を前記プランジャに及ぼす流体路と、
前記磁極部材の表面に設けられ、前記磁極部材の側面に開口し、前記磁性体ワークの切削屑もしくは研削屑、および加工液を排出する溝体と、を具備することを特徴とするマグネットチャック。 A base plate made of a magnetic material;
A magnetic pole member provided to cover the base plate, having a suction surface for sucking a magnetic work, and having an electromagnetic coil embedded therein;
A separator provided on the adsorption surface of the magnetic pole member;
The magnetic pole at a portion surrounded by the electromagnetic coil has a plunger that comes into contact with the surface of the magnetic workpiece when protruding from the suction surface by fluid pressure and protrudes outward from the suction surface of the magnetic pole member. A plurality of support members disposed in a state where the protruding entry side portion of the plunger is exposed in a support member disposition hole provided in the member;
A fluid path that passes through the base plate, reaches the support member, and exerts fluid pressure on the plunger;
A magnet chuck, comprising: a groove provided on a surface of the magnetic pole member, opening on a side surface of the magnetic pole member, and for discharging cutting waste or grinding waste of the magnetic work and a machining fluid. 前記溝体は、前記サポート部材配設穴に連通するサポート部材配設穴連通部を有していることを特徴とする請求項１記載のマグネットチャック。   The magnet chuck according to claim 1, wherein the groove body has a support member arrangement hole communicating portion communicating with the support member arrangement hole. 前記サポート部材配設穴連通部は、前記サポート部材配設穴の接線方向に沿って配設されていることを特徴とする請求項２記載のマグネットチャック。   The magnet chuck according to claim 2, wherein the support member disposition hole communicating portion is disposed along a tangential direction of the support member disposition hole. 前記溝体は、前記吸着面の中央部分よりも前記吸着面の外周縁側部分の方がより深く形成されていることを特徴とする請求項１〜３のうちのいずれか一項に記載のマグネットチャック。   The magnet according to any one of claims 1 to 3, wherein the groove body is formed deeper at an outer peripheral side portion of the attraction surface than at a central portion of the attraction surface. Chuck. 前記溝体は、前記吸着面からの深さ方向における断面形状が逆Ｔ字型に形成されていることを特徴とする請求項１〜４のうちのいずれか一項に記載のマグネットチャック。   The magnet chuck according to any one of claims 1 to 4, wherein the groove body is formed in an inverted T shape in cross-section in the depth direction from the attraction surface.
JP2016216212A 2016-11-04 2016-11-04 Magnet chuck Active JP6469627B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016216212A JP6469627B2 (en) 2016-11-04 2016-11-04 Magnet chuck

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016216212A JP6469627B2 (en) 2016-11-04 2016-11-04 Magnet chuck

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2018069426A true JP2018069426A (en) 2018-05-10
JP6469627B2 JP6469627B2 (en) 2019-02-13

Family

ID=62111489

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016216212A Active JP6469627B2 (en) 2016-11-04 2016-11-04 Magnet chuck

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6469627B2 (en)

Citations (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01109042A (en) * 1987-10-19 1989-04-26 Maruko Seisakusho:Kk Cutting/grinding work holder
JPH02126734U (en) * 1989-03-23 1990-10-18
JPH0322840U (en) * 1989-07-14 1991-03-11
WO1991004129A1 (en) * 1989-09-12 1991-04-04 Walker-Hagou B.V. Magnetic chuck
JPH0336734U (en) * 1989-08-23 1991-04-10
JPH03270838A (en) * 1990-03-19 1991-12-03 Miyagawa Kogyo Kk Working table of metal working machine
JPH04360741A (en) * 1991-08-27 1992-12-14 Kanetetsuku Kk Magnetic chuck
JPH0531839U (en) * 1991-10-14 1993-04-27 大昭和精機株式会社 Positioning block of non-rotating support member in tool holder
JPH0663249U (en) * 1993-02-09 1994-09-06 豊田工機株式会社 Workpiece fixing jig
JP2000084772A (en) * 1998-09-11 2000-03-28 Hitachi Via Mechanics Ltd Magnet chuck
JP2002059328A (en) * 2000-08-22 2002-02-26 Shinwa Kogyo Kk Magnetic body holding device
JP2006272482A (en) * 2005-03-28 2006-10-12 Matsushita Electric Works Ltd Brittle material machining tool
JP2006310483A (en) * 2005-04-27 2006-11-09 Disco Abrasive Syst Ltd Method for holding wafer
JP2009534209A (en) * 2006-04-24 2009-09-24 ヨング リー Magnetic chuck
JP2009255221A (en) * 2008-04-16 2009-11-05 Kanetec Co Ltd Magnet chuck
WO2011107968A1 (en) * 2010-03-04 2011-09-09 I.O.T. Bvba Device for contactless clamping of an object, which device is provided with a magnetic table and a vacuum clamping table
CN103447940A (en) * 2012-06-02 2013-12-18 瑞士达光学(厦门)有限公司 Substrate positioning and processing method and substrate positioning and processing device

Patent Citations (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01109042A (en) * 1987-10-19 1989-04-26 Maruko Seisakusho:Kk Cutting/grinding work holder
JPH02126734U (en) * 1989-03-23 1990-10-18
JPH0322840U (en) * 1989-07-14 1991-03-11
JPH0336734U (en) * 1989-08-23 1991-04-10
WO1991004129A1 (en) * 1989-09-12 1991-04-04 Walker-Hagou B.V. Magnetic chuck
JPH03270838A (en) * 1990-03-19 1991-12-03 Miyagawa Kogyo Kk Working table of metal working machine
JPH04360741A (en) * 1991-08-27 1992-12-14 Kanetetsuku Kk Magnetic chuck
JPH0531839U (en) * 1991-10-14 1993-04-27 大昭和精機株式会社 Positioning block of non-rotating support member in tool holder
JPH0663249U (en) * 1993-02-09 1994-09-06 豊田工機株式会社 Workpiece fixing jig
JP2000084772A (en) * 1998-09-11 2000-03-28 Hitachi Via Mechanics Ltd Magnet chuck
JP2002059328A (en) * 2000-08-22 2002-02-26 Shinwa Kogyo Kk Magnetic body holding device
JP2006272482A (en) * 2005-03-28 2006-10-12 Matsushita Electric Works Ltd Brittle material machining tool
JP2006310483A (en) * 2005-04-27 2006-11-09 Disco Abrasive Syst Ltd Method for holding wafer
JP2009534209A (en) * 2006-04-24 2009-09-24 ヨング リー Magnetic chuck
JP2009255221A (en) * 2008-04-16 2009-11-05 Kanetec Co Ltd Magnet chuck
WO2011107968A1 (en) * 2010-03-04 2011-09-09 I.O.T. Bvba Device for contactless clamping of an object, which device is provided with a magnetic table and a vacuum clamping table
CN103447940A (en) * 2012-06-02 2013-12-18 瑞士达光学(厦门)有限公司 Substrate positioning and processing method and substrate positioning and processing device

Also Published As

Publication number Publication date
JP6469627B2 (en) 2019-02-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20110002486A (en) Monolithic magnetic apparatus and process for making said monolithic magnetic apparatus
JP5575112B2 (en) Self-tightening magnetic device and control unit for controlling the magnetic device
EP2662184B1 (en) Rotary drum-type magnetic separation device
TWI678257B (en) Magnet chuck
CN113015598A (en) Magnetic clamp device and magnetic force generating mechanism for magnetic clamp device
KR20150048027A (en) Clamping fixture
KR102413543B1 (en) magnet chuck
JP7093984B2 (en) Magnetic force generation mechanism for magnetic clamp device and magnetic clamp device
KR20180055895A (en) Opening / closing valve
JP6469627B2 (en) Magnet chuck
JP6899121B2 (en) Magnetic clamp device
EP3499521B1 (en) Flux-leakage magnetic holding device comprising a flux-leakage magnetic conductive plate
KR102413544B1 (en) magnet chuck
KR20130091244A (en) Baling.assembly jig of linear motor
CN113492331B (en) Magnetic base
US8136817B2 (en) Motor with cutting tool mounting hole
JP3573410B2 (en) Mold clamping device with mold suction device
JP2012094558A (en) Self-holding solenoid
JP6961335B2 (en) Substrate container with magnetic latch assistance
JP2003172470A (en) Solenoid valve
KR20130124680A (en) Electro-permanent magnetic chuck with easy maintenance
CN102720713B (en) A kind of electro-hydraulic proportional valve utilizing electromagnetic attraction reparation to clamp fault
KR20150004186U (en) Packing member for blocking spaces between magnet chuck blocks
JP3764563B2 (en) Electric drive controller
CN117231795A (en) Electromagnetic driving mechanism and electromagnetic valve

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180612

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180808

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20181225

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20190116

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6469627

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250