JP2018060122A - Optical connection component and optical module - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress optical transmission loss of optical transmission including optical path conversion at an inclined end surface of an optical waveguide.SOLUTION: An optical connection component 1 comprises an optical waveguide 10 that has a core end surface 11a being inclined to an optical propagation direction, and a reflection member 20 that has a reflection surface 20a facing apart to a core end surface 11a of the optical waveguide 10. In the optical connection component 1, light projecting from an opposite side of a reflection surface 20a side to a core end surface 11a is reflected on the core end surface 11a for an optical path to be converted, while the light leaking to a reflection surface 20a side is reflected on the reflection surface 20a, and returned to an optical path side after being converted by the core end surface 11a. This suppresses an optical transmission loss of optical transmission including optical path conversion on the core end surface 11a.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、光接続部品及び光モジュールに関する。   The present invention relates to an optical connection component and an optical module.

光導波路を用いて光学部品間の光伝送を行う技術が知られている。このような光伝送では、光学的に接続する光導波路と光学部品との間で、光路を所定の角度変換することが行われる場合がある。例えば、光導波路に４５°の傾斜した端面を形成し、その端面（空気との界面）での光の全反射を利用して、光路を９０°変換する技術が知られている。   A technique for performing optical transmission between optical components using an optical waveguide is known. In such optical transmission, there is a case where a predetermined angle conversion of the optical path is performed between the optical waveguide and the optical component that are optically connected. For example, a technique is known in which an end face inclined at 45 ° is formed in an optical waveguide, and the optical path is converted by 90 ° using total reflection of light at the end face (interface with air).

特開２００６−４７７６４号公報JP 2006-47764 A

光導波路の傾斜した端面を利用する光路変換では、その端面に入射する光が全反射されず、光漏れが生じる可能性がある。このような光漏れは、光導波路の傾斜した端面での光路変換を含む光伝送の、光の伝送損失となり得る。   In the optical path conversion using the inclined end face of the optical waveguide, light incident on the end face is not totally reflected, and light leakage may occur. Such light leakage can be an optical transmission loss of optical transmission including optical path conversion at the inclined end face of the optical waveguide.

１つの態様では、光接続部品は、光の伝播方向に対して傾斜した端面を有する光導波路と、前記端面に離間して対向する反射面を有する反射部材とを含む。
また、１つの態様では、光モジュールは、光の伝播方向に対して傾斜した端面を有する光導波路と、前記端面に離間して対向する反射面を有する反射部材とを含む光接続部品と、前記光接続部品と光学的に接続される光学部品とを備える。 In one aspect, the optical connecting component includes an optical waveguide having an end face inclined with respect to the light propagation direction, and a reflecting member having a reflecting face that is spaced apart from and opposed to the end face.
In one aspect, the optical module includes an optical waveguide including an optical waveguide having an end surface that is inclined with respect to a light propagation direction, and a reflective member having a reflective surface that is spaced from and opposed to the end surface. And an optical component optically connected to the optical connecting component.

１つの側面として、光の伝送損失を抑えることができる。   As one aspect, transmission loss of light can be suppressed.

第１の実施の形態に係る光接続部品の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the optical connection component which concerns on 1st Embodiment. 第１の実施の形態に係る光接続部品による光路変換の説明図である。It is explanatory drawing of the optical path conversion by the optical connection component which concerns on 1st Embodiment. 第１の実施の形態に係る空隙設定方法の一例の説明図である。It is explanatory drawing of an example of the space | gap setting method which concerns on 1st Embodiment. 第２の実施の形態に係る光接続部品の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the optical connection component which concerns on 2nd Embodiment. 第２の実施の形態に係る光接続部品の形成方法の一例を示す図（その１）である。It is FIG. (1) which shows an example of the formation method of the optical connection component which concerns on 2nd Embodiment. 第２の実施の形態に係る光接続部品の形成方法の一例を示す図（その２）である。It is FIG. (2) which shows an example of the formation method of the optical connection component which concerns on 2nd Embodiment. 第２の実施の形態に係る光接続部品の形成方法の一例を示す図（その３）である。It is FIG. (3) which shows an example of the formation method of the optical connection component which concerns on 2nd Embodiment. 第３の実施の形態に係る光接続部品の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the optical connection component which concerns on 3rd Embodiment. 第３の実施の形態に係る光接続部品の形成方法の一例を示す図（その１）である。It is FIG. (1) which shows an example of the formation method of the optical connection component which concerns on 3rd Embodiment. 第３の実施の形態に係る光接続部品の形成方法の一例を示す図（その２）である。It is FIG. (2) which shows an example of the formation method of the optical connection component which concerns on 3rd Embodiment. 第３の実施の形態に係る光接続部品の形成方法の一例を示す図（その３）である。It is FIG. (3) which shows an example of the formation method of the optical connection component which concerns on 3rd Embodiment. 第４の実施の形態に係る光モジュールの説明図である。It is explanatory drawing of the optical module which concerns on 4th Embodiment. 光モジュールの別例の説明図である。It is explanatory drawing of another example of an optical module. 光学部品の位置ずれと伝送損失との関係の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the relationship between the position shift of an optical component, and transmission loss. 第５の実施の形態に係る光接続部品の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the optical connection component which concerns on 5th Embodiment. 第５の実施の形態に係る光接続部品の形成方法の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the formation method of the optical connection component which concerns on 5th Embodiment. 第６の実施の形態に係る光接続部品の第１の構成例を示す図である。It is a figure which shows the 1st structural example of the optical connection component which concerns on 6th Embodiment. 第６の実施の形態に係る光接続部品の第２の構成例を示す図である。It is a figure which shows the 2nd structural example of the optical connection component which concerns on 6th Embodiment. 第７の実施の形態に係る光接続部品の第１の構成例を示す図である。It is a figure which shows the 1st structural example of the optical connection component which concerns on 7th Embodiment. 第７の実施の形態に係る光接続部品の第２の構成例を示す図である。It is a figure which shows the 2nd structural example of the optical connection component which concerns on 7th Embodiment. 光モジュールの適用を模式的に示す図である。It is a figure which shows application of an optical module typically.

まず、第１の実施の形態について説明する。
図１は第１の実施の形態に係る光接続部品の構成例を示す図である。図１（Ａ）には、光接続部品の一例の要部平面模式図を示している。図１（Ｂ）には、図１（Ａ）のＬ１−Ｌ１線の位置に相当する断面模式図を示している。 First, the first embodiment will be described.
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example of an optical connection component according to the first embodiment. FIG. 1A is a schematic plan view of a main part of an example of an optical connection component. FIG. 1B is a schematic cross-sectional view corresponding to the position of the L1-L1 line in FIG.

図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に示す光接続部品１は、光導波路１０、及び光導波路１０に対向して設けられた反射部材２０を含む。光接続部品１の光導波路１０と反射部材２０との間には、空隙３０が設けられる。   The optical connecting component 1 shown in FIGS. 1A and 1B includes an optical waveguide 10 and a reflecting member 20 provided to face the optical waveguide 10. A gap 30 is provided between the optical waveguide 10 of the optical connecting component 1 and the reflecting member 20.

光導波路１０は、コア１１、及びコア１１を包囲するクラッド１２を含む。コア１１の屈折率は、クラッド１２の屈折率よりも高い。光接続部品１を伝送される光は、主として、クラッド１２で包囲されたコア１１内を伝播する。コア１１及びクラッド１２には、例えばエポキシ樹脂やアクリル樹脂等の樹脂が用いられる。このほか、コア１１及びクラッド１２には、石英ガラス等の無機系の材料が用いられてもよい。例えばコア１１及びクラッド１２には、光接続部品１で伝送される光に対して透明性を有する材料が用いられる。光導波路１０は、光の伝播方向に対して、所定の角度、例えば４５°で傾斜した端面（光導波路端面）１０ａを有する。光導波路端面１０ａ内には、光の伝播方向に対して、所定の角度、例えば４５°で傾斜したコア１１の端面（コア端面）１１ａが露出する。光導波路端面１０ａ及びその面内のコア端面１１ａに対向するように、反射部材２０が設けられる。   The optical waveguide 10 includes a core 11 and a clad 12 surrounding the core 11. The refractive index of the core 11 is higher than the refractive index of the cladding 12. The light transmitted through the optical connecting component 1 mainly propagates in the core 11 surrounded by the clad 12. For the core 11 and the clad 12, for example, a resin such as an epoxy resin or an acrylic resin is used. In addition, the core 11 and the clad 12 may be made of an inorganic material such as quartz glass. For example, the core 11 and the clad 12 are made of a material having transparency with respect to the light transmitted by the optical connecting component 1. The optical waveguide 10 has an end face (optical waveguide end face) 10a inclined at a predetermined angle, for example, 45 ° with respect to the light propagation direction. In the optical waveguide end face 10a, an end face (core end face) 11a of the core 11 that is inclined at a predetermined angle, for example, 45 °, with respect to the light propagation direction is exposed. The reflection member 20 is provided so as to face the optical waveguide end face 10a and the core end face 11a in the plane.

反射部材２０は、光導波路端面１０ａ及びコア端面１１ａと同様に、光の伝播方向に対して、所定の角度、例えば４５°で傾斜した反射面２０ａ（ミラー）を有する。反射部材２０と光導波路１０とは、互いの反射面２０ａとコア端面１１ａとが、所定の幅で離間して対向するように、設けられる。反射面２０ａとコア端面１１ａとの間は、空気の層である空隙であってもよいし、クラッド１２の屈折率より低い屈折率を有する媒体であってもよい。ここでは、コア端面１１ａと反射面２０ａとが、空隙３０を介して平行に設けられた場合を例示している。反射面２０ａには、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、金（Ａｕ）等の金属が用いられる。反射部材２０は、例えば、ガラス、金属、樹脂等の基材に形成された傾斜端面に、反射面２０ａとして所定の金属が設けられて、形成される。尚、基材と反射面２０ａの金属との組み合わせは、例えば互いの密着性に基づいて設定される。   Similar to the optical waveguide end face 10a and the core end face 11a, the reflecting member 20 has a reflecting face 20a (mirror) inclined at a predetermined angle, for example, 45 ° with respect to the light propagation direction. The reflecting member 20 and the optical waveguide 10 are provided so that the reflecting surface 20a and the core end surface 11a face each other with a predetermined width. The space between the reflecting surface 20a and the core end surface 11a may be an air gap or a medium having a refractive index lower than that of the clad 12. Here, the case where the core end surface 11 a and the reflection surface 20 a are provided in parallel via the gap 30 is illustrated. A metal such as silver (Ag), copper (Cu), or gold (Au) is used for the reflective surface 20a. The reflecting member 20 is formed, for example, by providing a predetermined metal as a reflecting surface 20a on an inclined end surface formed on a base material such as glass, metal, or resin. In addition, the combination of a base material and the metal of the reflective surface 20a is set based on mutual adhesiveness, for example.

上記のような構成を有する光接続部品１では、伝送される光の光路が、傾斜した光導波路端面１０ａのコア端面１１ａによって変換される。このような光路変換について、次の図２を参照して説明する。   In the optical connecting component 1 having the above-described configuration, the optical path of transmitted light is converted by the core end surface 11a of the inclined optical waveguide end surface 10a. Such optical path conversion will be described with reference to FIG.

図２は第１の実施の形態に係る光接続部品による光路変換の説明図である。図２（Ａ）及び図２（Ｂ）にはそれぞれ、光接続部品の一例の要部断面模式図を示している。
例えば図２（Ａ）に示すように、光接続部品１の、傾斜した光導波路端面１０ａの上方に、光導波路１０と光学的に接続されるように（光導波路１０のコア１１との間で光伝送が行われるように）、光学部品５０が配置される。光学部品５０は、垂直共振器面発光レーザー（Vertical Cavity Surface Emitting Laser；ＶＣＳＥＬ）等の発光素子、レンズ、光ファイバ等、光を出射する各種光学部品である。このような光学部品５０から出射された光が、図２（Ａ）に太矢印で示すように、光接続部品１のコア端面１１ａに、空隙３０側とは反対の側から入射する。尚、図２（Ａ）には一例として、４５°で傾斜したコア端面１１ａに、その法線に対して４５°の角度で光が入射する場合を模式的に図示している。 FIG. 2 is an explanatory diagram of optical path conversion by the optical connecting component according to the first embodiment. FIGS. 2A and 2B are schematic cross-sectional views of the main part of an example of the optical connection component.
For example, as shown in FIG. 2A, the optical connection component 1 is optically connected to the optical waveguide 10 above the inclined optical waveguide end face 10a (between the core 11 of the optical waveguide 10). The optical component 50 is arranged so that optical transmission takes place. The optical component 50 is a variety of optical components that emit light, such as a light emitting element such as a vertical cavity surface emitting laser (VCSEL), a lens, and an optical fiber. The light emitted from such an optical component 50 enters the core end surface 11a of the optical connecting component 1 from the side opposite to the gap 30 side, as indicated by a thick arrow in FIG. FIG. 2A schematically shows a case where light is incident on the core end surface 11a inclined at 45 ° at an angle of 45 ° with respect to the normal line.

光導波路１０のコア１１の屈折率ｎ１は、空隙３０の屈折率ｎ（＝１）よりも大きい。光学部品５０からコア端面１１ａに入射した光は、コア１１と空隙３０との屈折率差により、コア端面１１ａで例えば全反射され、コア１１内を伝播される。このようにして、光学部品５０から出射された光が、光接続部品１により、９０°光路変換される。   The refractive index n1 of the core 11 of the optical waveguide 10 is larger than the refractive index n (= 1) of the air gap 30. The light incident on the core end surface 11 a from the optical component 50 is, for example, totally reflected on the core end surface 11 a due to the refractive index difference between the core 11 and the air gap 30, and propagates through the core 11. In this way, the light emitted from the optical component 50 is subjected to 90 ° optical path conversion by the optical connecting component 1.

また、例えば図２（Ｂ）に示すように、光接続部品１の、他方の光導波路端面１０ｂに対向して、光導波路１０と光学的に接続されるように（光導波路１０のコア１１との間で光伝送が行われるように）、光を出射する各種光学部品５０が配置される。光学部品５０から出射された光は、図２（Ｂ）に太矢印で示すように、光接続部品１の光導波路１０のコア１１内を伝播され、コア端面１１ａに、空隙３０側とは反対の側から入射する。尚、図２（Ｂ）には一例として、４５°で傾斜したコア端面１１ａに、その法線に対して４５°の角度で光が入射する場合を模式的に図示している。   For example, as shown in FIG. 2B, the optical connection component 1 is optically connected to the optical waveguide 10 so as to face the other optical waveguide end face 10b (with the core 11 of the optical waveguide 10). Various optical components 50 that emit light are arranged so that light transmission is performed between them. The light emitted from the optical component 50 is propagated through the core 11 of the optical waveguide 10 of the optical connecting component 1 as shown by a thick arrow in FIG. 2B, and is opposite to the gap 30 side on the core end surface 11a. Incident from the side. FIG. 2B schematically shows a case where light is incident on the core end surface 11a inclined at 45 ° at an angle of 45 ° with respect to the normal line.

光学部品５０から出射されてコア１１内を伝播し、そのコア端面１１ａに入射した光は、コア１１と空隙３０との屈折率差により、コア端面１１ａで例えば全反射され、光接続部品１の上方へと伝送される。このようにして、光学部品５０から出射された光が、光接続部品１により、９０°光路変換される。   The light emitted from the optical component 50 and propagating through the core 11 and entering the core end surface 11a is totally reflected by the core end surface 11a due to the refractive index difference between the core 11 and the gap 30, for example. It is transmitted upward. In this way, the light emitted from the optical component 50 is subjected to 90 ° optical path conversion by the optical connecting component 1.

上記のような光接続部品１による光路変換では、コア端面１１ａに入射する光が全反射されず、光漏れが生じることがある。例えば、光学部品５０の出射口の位置や実装される位置、コア１１での伝播の仕方等、コア１１に対する光学部品５０の位置により、光学部品５０から出射されコア端面１１ａに入射する光が、コア端面１１ａで全反射される条件を満たさなくなることがある。このように、入射する光がコア端面１１ａと空隙３０との間の全反射条件を満たさなくなると、コア端面１１ａでの光漏れが生じ得る。   In the optical path conversion by the optical connecting component 1 as described above, the light incident on the core end surface 11a is not totally reflected, and light leakage may occur. For example, the light emitted from the optical component 50 and incident on the core end surface 11a depending on the position of the optical component 50 with respect to the core 11, such as the position of the emission port of the optical component 50, the position where the optical component 50 is mounted, the way of propagation in the core 11, etc. The condition for total reflection at the core end face 11a may not be satisfied. Thus, if the incident light does not satisfy the total reflection condition between the core end surface 11a and the gap 30, light leakage at the core end surface 11a may occur.

このようなコア端面１１ａでの光漏れに対処しないと、光学部品５０から出射され光導波路１０を通じて伝送される光に損失（伝送損失）が生じ、光伝送（信号伝送）の品質や精度が低下する恐れがある。   If the light leakage at the core end face 11a is not dealt with, light (transmission loss) is emitted from the optical component 50 and transmitted through the optical waveguide 10, and the quality and accuracy of optical transmission (signal transmission) are reduced. There is a fear.

これに対し、光接続部品１では、光導波路１０に対向して反射部材２０が設けられ、互いの傾斜したコア端面１１ａと反射面２０ａとが、空隙３０を介して対向配置される。光接続部品１では、コア端面１１ａに入射した光のうち、コア端面１１ａでの全反射条件を満たさずに空隙３０側に漏れた光は、反射面２０ａで反射され、コア端面１１ａによる変換後の光路側に戻される。これにより、コア端面１１ａで光路変換される光の、コア端面１１ａでの光漏れによる伝送損失が抑えられる。   On the other hand, in the optical connecting component 1, the reflecting member 20 is provided so as to face the optical waveguide 10, and the core end surface 11 a and the reflecting surface 20 a that are inclined with respect to each other are disposed to face each other via the gap 30. In the optical connecting component 1, the light that has entered the core end surface 11 a and does not satisfy the total reflection condition on the core end surface 11 a and leaks to the gap 30 side is reflected by the reflecting surface 20 a and is converted by the core end surface 11 a. Is returned to the optical path side. Thereby, transmission loss due to light leakage at the core end surface 11a of the light whose path is changed at the core end surface 11a can be suppressed.

例えば図２（Ａ）の例では、光学部品５０からコア端面１１ａに入射し、その際に空隙３０側に漏れた光が、反射面２０ａで反射されてコア１１に戻され（点線矢印で図示）、コア端面１１ａで反射された光路変換後の光と共に、コア１１内を伝播する。また、図２（Ｂ）の例では、光学部品５０からコア１１内を伝播してコア端面１１ａに入射し、その際に空隙３０側に漏れた光が、反射面２０ａで反射され、コア端面１１ａによる変換後の光路側に戻される（点線矢印で図示）。このようにして、コア端面１１ａで光路変換される光の、コア端面１１ａでの光漏れによる伝送損失が抑えられる。   For example, in the example of FIG. 2A, light that enters the core end surface 11a from the optical component 50 and leaks to the gap 30 side at that time is reflected by the reflecting surface 20a and returned to the core 11 (illustrated by a dotted arrow). ) Propagates in the core 11 together with the light after the optical path conversion reflected by the core end surface 11a. In the example of FIG. 2B, light that propagates from the optical component 50 through the core 11 and enters the core end surface 11a and leaks to the gap 30 side at that time is reflected by the reflecting surface 20a, and the core end surface It is returned to the optical path side after the conversion by 11a (illustrated by a dotted arrow). In this way, transmission loss due to light leakage at the core end face 11a of the light whose path is changed at the core end face 11a is suppressed.

光接続部品１では、コア端面１１ａに入射する光が全反射条件を満たす場合には、その光をコア端面１１ａで全反射し、それによって光路変換を行う。一方、コア端面１１ａに入射する光が全反射条件を満たさない場合には、空隙３０側に漏れた光を反射面２０ａで反射し、コア端面１１ａによる変換後の光路側に戻す。これにより、コア端面１１ａでの光漏れによる伝送損失が抑えられ、高品質、高精度の光伝送が実現される。   In the optical connecting component 1, when the light incident on the core end surface 11a satisfies the total reflection condition, the light is totally reflected by the core end surface 11a, thereby performing optical path conversion. On the other hand, when the light incident on the core end surface 11a does not satisfy the total reflection condition, the light leaked to the gap 30 side is reflected by the reflection surface 20a and returned to the optical path side after conversion by the core end surface 11a. As a result, transmission loss due to light leakage at the core end face 11a is suppressed, and high-quality and high-precision optical transmission is realized.

上記のような機能を有する光接続部品１の、光導波路１０と反射部材２０との間に介在される空隙３０（その寸法）は、例えば次のようにして設定される。
図３は第１の実施の形態に係る空隙設定方法の一例の説明図である。 The gap 30 (the dimension) interposed between the optical waveguide 10 and the reflecting member 20 of the optical connecting component 1 having the above function is set as follows, for example.
FIG. 3 is an explanatory diagram of an example of a gap setting method according to the first embodiment.

図３には、光接続部品１の外部から光導波路１０のコア１１に入射する光を、コア端面１１ａで光路変換してコア１１内を伝播させる、上記図２（Ａ）のような光伝送、光路変換の形態について例示している。   FIG. 3 shows the optical transmission as shown in FIG. 2A, in which light incident on the core 11 of the optical waveguide 10 from the outside of the optical connecting component 1 is propagated through the core 11 by changing the optical path at the core end surface 11a. The mode of optical path conversion is illustrated.

ここで、コア端面１１ａ（光導波路端面１０ａ）及び反射部材２０の反射面２０ａの傾斜角度は共に４５°とし、コア１１の屈折率をｎ１、クラッド１２の屈折率をｎ２（＜ｎ１）、空隙３０の屈折率をｎ＝１とする。コア端面１１ａの法線と、コア端面１１ａに入射する光（太実線矢印で図示）とのなす角度をθ１、コア端面１１ａの法線と、コア端面１１ａで全反射されずに漏れる光（太点線矢印で図示）とのなす角度をθ２とすると、スネル則より、次式（１）が成立する。   Here, the inclination angles of the core end surface 11a (optical waveguide end surface 10a) and the reflecting surface 20a of the reflecting member 20 are both 45 °, the refractive index of the core 11 is n1, the refractive index of the cladding 12 is n2 (<n1), and the gap The refractive index of 30 is assumed to be n = 1. The angle formed between the normal line of the core end surface 11a and the light incident on the core end surface 11a (shown by a thick solid arrow) is θ1, and the normal line of the core end surface 11a and the light leaking without being totally reflected by the core end surface 11a (thick) Assuming that the angle formed with the dotted line arrow is θ2, the following equation (1) is established according to Snell's law.

ｎ１×ｓｉｎθ１＝ｎ×ｓｉｎθ２・・・（１）
コア端面１１ａから空隙３０側に漏れた光の角度θ２は９０°ではないので、式（１）より、更に次式（２）が成立する。 n1 × sin θ1 = n × sin θ2 (1)
Since the angle θ2 of the light leaking from the core end surface 11a to the gap 30 side is not 90 °, the following equation (2) is further established from the equation (1).

ｎ１×ｓｉｎθ１＝ｓｉｎθ２＜１・・・（２）
コア端面１１ａから空隙３０側に漏れた光が再びコア１１に戻るには、反射部材２０の反射面２０ａまでの光路長をａとし、コア１１の厚さ（光導波路１０又はコア１１の軸線方向Ｄと直交する方向の幅）をＴとすると、次式（３）が成立する。 n1 × sin θ1 = sin θ2 <1 (2)
In order for the light leaked from the core end surface 11a to the gap 30 side to return to the core 11 again, the optical path length to the reflecting surface 20a of the reflecting member 20 is a, and the thickness of the core 11 (the optical waveguide 10 or the axial direction of the core 11) When the width in the direction perpendicular to D is T, the following equation (3) is established.

２×ａ×ｓｉｎθ２＜Ｔ／ｓｉｎ４５°・・・（３）
一方、空隙３０の幅（光導波路１０又はコア１１の軸線方向Ｄの幅）をｇとすると、次式（４）が成立する。 2 × a × sin θ2 <T / sin45 ° (3)
On the other hand, when the width of the gap 30 (the width of the optical waveguide 10 or the core 11 in the axial direction D) is g, the following expression (4) is established.

ａ×ｃｏｓθ２＝ｇ×ｓｉｎ４５°・・・（４）
式（３）及び式（４）から光路長ａを消去すると、次式（５）が得られる。
２×ｔａｎθ２×ｇ×（ｓｉｎ４５°）2＜Ｔ・・・（５）
更に式（２）を用いて式（５）から角度θ２を消去すると、次式（６）が得られる。 a × cos θ2 = g × sin 45 ° (4)
When the optical path length a is eliminated from the equations (3) and (4), the following equation (5) is obtained.
2 × tan θ 2 × g × (sin 45 °) 2 <T (5)
Further, when the angle θ2 is eliminated from the equation (5) using the equation (2), the following equation (6) is obtained.

ｇ＜Ｔ／［２×ｔａｎ｛ｓｉｎ-1（ｎ１×ｓｉｎθ１）｝×（ｓｉｎ４５°）2］・・・（６）
但し、式（６）において、式（２）より、ｎ１×ｓｉｎθ１＜１である。 g <T / [2 × tan {sin −1 (n1 × sin θ1)} × (sin 45 °) 2 ] (6)
However, in Formula (6), it is n1xsin (theta) 1 <1 from Formula (2).

式（６）より、ｓｉｎ４５°を計算すると、次式（６ａ）が得られる。
ｇ＜Ｔ／［２×ｔａｎ｛ｓｉｎ-1（ｎ１×ｓｉｎθ１）｝］・・・（６ａ）
このように傾斜角度４５°のコア端面１１ａ及び反射面２０ａを備える光接続部品１における空隙３０の幅ｇは、コア１１の厚さＴ及び屈折率ｎ１、並びにコア端面１１ａに入射する光の角度θ１を用いて、式（６ａ）のように表すことができる。式（６ａ）のような条件を満たす空隙３０の幅ｇで、コア１１（光導波路１０）と反射面２０ａ（反射部材２０）とが対向して配置される時、コア端面１１ａから空隙３０側に漏れた光を再びコア１１に戻すことが可能になり、光漏れによる伝送損失が抑えられる。 When sin 45 ° is calculated from the equation (6), the following equation (6a) is obtained.
g <T / [2 × tan {sin −1 (n1 × sin θ1)}] (6a)
Thus, the width g of the air gap 30 in the optical connection component 1 including the core end surface 11a and the reflection surface 20a with the inclination angle of 45 ° is the thickness T and the refractive index n1 of the core 11, and the angle of light incident on the core end surface 11a. Using θ1, it can be expressed as in equation (6a). When the core 11 (optical waveguide 10) and the reflecting surface 20a (reflecting member 20) are arranged to face each other with the width g of the gap 30 that satisfies the condition of the expression (6a), the gap 30 side from the core end surface 11a It is possible to return the light leaked to the core 11 again, and transmission loss due to the light leakage can be suppressed.

また、式（６）より、コア端面１１ａ及び反射面２０ａの傾斜角度４５°を、一般角αに置換すると、次式（６ｂ）が得られる。
ｇ＜Ｔ／［２×ｔａｎ｛ｓｉｎ-1（ｎ１×ｓｉｎθ１）｝×（ｓｉｎα）2］・・・（６ｂ）
傾斜角度αのコア端面１１ａ及び反射面２０ａが、式（６ｂ）のような条件を満たす空隙３０の幅ｇで対向して配置される時、コア端面１１ａから空隙３０側に漏れた光を再びコア１１に戻すことが可能になり、光漏れによる伝送損失が抑えられる。傾斜角度αは、例えば４０°〜５０°の範囲、好ましくは４３°〜４７°の範囲とすることができる。 Further, from the equation (6), when the inclination angle 45 ° of the core end surface 11a and the reflecting surface 20a is replaced with the general angle α, the following equation (6b) is obtained.
g <T / [2 × tan {sin −1 (n1 × sin θ1)} × (sin α) 2 ] (6b)
When the core end surface 11a and the reflection surface 20a having the inclination angle α are arranged to face each other with the width g of the gap 30 satisfying the condition of the expression (6b), the light leaked from the core end surface 11a to the gap 30 side again. It becomes possible to return to the core 11, and transmission loss due to light leakage is suppressed. The inclination angle α can be, for example, in the range of 40 ° to 50 °, preferably in the range of 43 ° to 47 °.

尚、ここではコア端面１１ａ及び反射面２０ａの傾斜角度が同一である場合を例にしたが、光接続部品１において、コア端面１１ａ及び反射面２０ａは、必ずしも同一の傾斜角度であることを要しない。コア端面１１ａ及び反射面２０ａの傾斜角度が異なる場合も、上記同様、コア端面１１ａに入射して空隙３０側に漏れた光を再びコア１１に戻すことができるような幅ｇに空隙３０を設定すればよい。   Here, the case where the inclination angles of the core end surface 11a and the reflection surface 20a are the same is taken as an example. However, in the optical connecting component 1, the core end surface 11a and the reflection surface 20a need not necessarily have the same inclination angle. do not do. Even when the inclination angles of the core end surface 11a and the reflection surface 20a are different, the gap 30 is set to a width g so that the light incident on the core end surface 11a and leaking to the gap 30 side can be returned to the core 11 again. do it.

また、ここでは上記図２（Ａ）のような光伝送、光路変換の形態を例にしたが、上記図２（Ｂ）のような形態についても同様に、空隙３０の幅ｇを設定することができる。この場合は、コア１１内を伝播されコア端面１１ａに入射し、その際に空隙３０側に漏れた光を、光路変換後の光が入射する領域、例えば光接続部品１の上方に配置されるＰＤ（Photo Diode）等の受光素子やレンズといった光学部品の所定の受光領域に戻すことができるように、空隙３０の幅ｇが設定される。   In addition, here, the form of optical transmission and optical path conversion as shown in FIG. 2A is taken as an example, but the width g of the gap 30 is similarly set for the form as shown in FIG. 2B. Can do. In this case, the light propagating through the core 11 and entering the core end face 11a and leaking to the gap 30 side at that time is disposed above the region where the light after the optical path conversion is incident, for example, above the optical connection component 1. The width g of the gap 30 is set so that it can be returned to a predetermined light receiving area of an optical component such as a light receiving element such as a PD (Photo Diode) or a lens.

以上説明したように、第１の実施の形態に係る光接続部品１では、光導波路１０の、傾斜したコア端面１１ａに対向して、空隙３０を介して、反射面２０ａが配置される。これにより、コア端面１１ａに入射する光が全反射条件を満たす場合には、全反射により光路が変換され、全反射条件を満たさない場合には、それによって漏れた光が反射面２０ａで反射され、コア端面１１ａによる変換後の光路側に戻される。コア端面１１ａでの光路変換を含む光伝送の、光の伝送損失を抑えることのできる光接続部品１が実現される。   As described above, in the optical connection component 1 according to the first embodiment, the reflecting surface 20a is disposed through the gap 30 so as to face the inclined core end surface 11a of the optical waveguide 10. Thereby, when the light incident on the core end surface 11a satisfies the total reflection condition, the optical path is converted by the total reflection, and when the total reflection condition is not satisfied, the leaked light is reflected by the reflection surface 20a. And returned to the optical path side after the conversion by the core end face 11a. An optical connection component 1 that can suppress light transmission loss of optical transmission including optical path conversion at the core end face 11a is realized.

次に、第２の実施の形態について説明する。
図４は第２の実施の形態に係る光接続部品の構成例を示す図である。図４（Ａ）には、光接続部品の一例の要部斜視模式図を示している。図４（Ｂ）には、図４（Ａ）のＳ１面の位置に相当する断面模式図を示している。 Next, a second embodiment will be described.
FIG. 4 is a diagram illustrating a configuration example of the optical connection component according to the second embodiment. FIG. 4A shows a schematic perspective view of an essential part of an example of the optical connection component. FIG. 4B is a schematic cross-sectional view corresponding to the position of the S1 surface in FIG.

図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示す光接続部品１００Ａは、光導波路１１０、光導波路１１０に対向して設けられた反射部材１２０、及びこれらを上下から挟む一対の基板１４０を含む。光導波路１１０と反射部材１２０との間には、空隙１３０が設けられる。   An optical connecting component 100A shown in FIGS. 4A and 4B includes an optical waveguide 110, a reflecting member 120 provided to face the optical waveguide 110, and a pair of substrates 140 sandwiching these from above and below. A gap 130 is provided between the optical waveguide 110 and the reflecting member 120.

光導波路１１０は、複数本（ここでは一例として３本）のコア１１１群、及びコア１１１群を包囲するクラッド１１２を含む。クラッド１１２には、コア１１１群の下側に設けられるクラッド層１１２ａ、コア１１１群の上側に設けられるクラッド層１１２ｂ、及び各コア１１１の側面を覆うように設けられるクラッド層１１２ｃが含まれる。コア１１１の屈折率は、クラッド１１２の屈折率よりも高く、光接続部品１００Ａを伝送される光は、主として、クラッド１１２で包囲されたコア１１１内を伝播する。コア１１１及びクラッド１１２には、エポキシ樹脂やアクリル樹脂等の樹脂が用いられる。例えばコア１１１及びクラッド１１２には、光接続部品１００Ａを伝送される光に対して透明性を有する材料が用いられる。光導波路１１０は、所定の角度（例えば４５°）で傾斜した光導波路端面１１０ａを有し、この光導波路端面１１０ａ内には、所定の角度で傾斜したコア端面１１１ａが露出する。光導波路端面１１０ａ及びその面内のコア端面１１１ａに対向するように、反射部材１２０が設けられる。   The optical waveguide 110 includes a plurality of cores 111 (here, three as an example) and a clad 112 surrounding the cores 111. The clad 112 includes a clad layer 112a provided below the core 111 group, a clad layer 112b provided above the core 111 group, and a clad layer 112c provided so as to cover the side surface of each core 111. The refractive index of the core 111 is higher than the refractive index of the clad 112, and the light transmitted through the optical connecting component 100A mainly propagates in the core 111 surrounded by the clad 112. Resins such as epoxy resin and acrylic resin are used for the core 111 and the clad 112. For example, the core 111 and the clad 112 are made of a material that is transparent to light transmitted through the optical connecting component 100A. The optical waveguide 110 has an optical waveguide end surface 110a inclined at a predetermined angle (for example, 45 °), and a core end surface 111a inclined at a predetermined angle is exposed in the optical waveguide end surface 110a. The reflection member 120 is provided so as to face the optical waveguide end face 110a and the core end face 111a in the plane.

反射部材１２０は、光導波路端面１１０ａ及びコア端面１１１ａと同様に、所定の角度で傾斜した反射面１２０ａ（ミラー）を有する。反射部材１２０と光導波路１１０とは、互いの反射面１２０ａとコア端面１１１ａとが平行に、所定の幅の空隙１３０を介して対向するように、配置される。空隙１３０は、空気の層である。反射面１２０ａには、銀、銅、金等の金属が用いられる。反射部材１２０は、ガラス、金属、樹脂等の基材１２１に形成された傾斜端面１２１ａに、反射面１２０ａとして所定の金属が設けられ、形成される。尚、基材１２１と反射面１２０ａの金属との組み合わせは、例えば互いの密着性に基づいて設定される。   Similar to the optical waveguide end face 110a and the core end face 111a, the reflecting member 120 has a reflecting face 120a (mirror) inclined at a predetermined angle. The reflecting member 120 and the optical waveguide 110 are disposed such that the reflecting surface 120a and the core end surface 111a face each other with a gap 130 having a predetermined width in parallel. The air gap 130 is a layer of air. A metal such as silver, copper, or gold is used for the reflective surface 120a. The reflecting member 120 is formed by providing a predetermined metal as the reflecting surface 120a on the inclined end surface 121a formed on the base 121 such as glass, metal, or resin. In addition, the combination of the base material 121 and the metal of the reflective surface 120a is set based on mutual adhesiveness, for example.

空隙１３０を介して対向するように配置された光導波路１１０及び反射部材１２０は、一対の基板１４０で挟まれる。基板１４０には、例えばポリイミドフィルム等の樹脂フィルムが用いられる。例えば基板１４０には、光接続部品１００Ａを伝送される光に対して透明性を有する材料が用いられる。空隙１３０を介して対向するように配置された光導波路１１０及び反射部材１２０が一対の基板１４０で挟まれることで、それらによって空隙１３０の上下が閉塞される。   The optical waveguide 110 and the reflection member 120 arranged so as to face each other with the gap 130 interposed therebetween are sandwiched between a pair of substrates 140. For the substrate 140, for example, a resin film such as a polyimide film is used. For example, a material having transparency with respect to light transmitted through the optical connecting component 100A is used for the substrate 140. By sandwiching the optical waveguide 110 and the reflection member 120 disposed so as to face each other through the gap 130 between the pair of substrates 140, the upper and lower sides of the gap 130 are blocked by them.

上記のような構成を有する光接続部品１００Ａによれば、コア端面１１１ａに、コア１１１の外部から入射する光、或いはコア１１１内を伝播して入射する光が、コア端面１１１ａで光路変換される。その際、コア端面１１１ａに入射する光が、全反射条件を満たす場合には、コア端面１１１ａでの全反射によって光路が変換される。コア端面１１１ａに入射する光が、全反射条件を満たさない場合には、コア端面１１１ａから空隙１３０側に光漏れが生じ得る。空隙１３０側に漏れた光は、反射部材１２０の反射面１２０ａで反射され、コア端面１１１ａによる変換後の光路側に戻される。光接続部品１００Ａでは、このようにして光漏れによる伝送損失が抑えられる。   According to the optical connecting component 100A having the above-described configuration, the light incident on the core end surface 111a from the outside of the core 111 or the light propagating through the core 111 is optically converted by the core end surface 111a. . At this time, when the light incident on the core end surface 111a satisfies the total reflection condition, the optical path is converted by the total reflection on the core end surface 111a. When the light incident on the core end surface 111a does not satisfy the total reflection condition, light leakage may occur from the core end surface 111a to the gap 130 side. The light leaked to the gap 130 side is reflected by the reflecting surface 120a of the reflecting member 120 and returned to the optical path side after conversion by the core end surface 111a. In the optical connection component 100A, transmission loss due to light leakage is thus suppressed.

続いて、上記のような光接続部品１００Ａの形成方法の一例について説明する。
図５〜図７は第２の実施の形態に係る光接続部品の形成方法の一例を示す図である。図５（Ａ）には、光導波路準備工程の一例の要部平面模式図を示し、図５（Ｂ）には、図５（Ａ）のＬ２−Ｌ２線の位置に相当する断面模式図を示している。図６（Ａ）には、反射部材配置工程の一例の要部平面模式図を示し、図６（Ｂ）には、図６（Ａ）のＬ３−Ｌ３線の位置に相当する断面模式図を示している。図７（Ａ）には、基板配置工程の一例の要部平面模式図を示し、図７（Ｂ）には、図７（Ａ）のＬ４−Ｌ４線の位置に相当する断面模式図を示している。 Next, an example of a method for forming the optical connection component 100A as described above will be described.
5-7 is a figure which shows an example of the formation method of the optical connection component based on 2nd Embodiment. FIG. 5A shows a schematic plan view of an essential part of an example of the optical waveguide preparation process, and FIG. 5B shows a schematic cross-sectional view corresponding to the position of the line L2-L2 in FIG. Show. FIG. 6A shows a schematic plan view of an essential part of an example of the reflecting member arranging step, and FIG. 6B shows a schematic cross-sectional view corresponding to the position of the line L3-L3 in FIG. Show. FIG. 7A shows a schematic plan view of an essential part of an example of the substrate placement process, and FIG. 7B shows a schematic cross-sectional view corresponding to the position of the line L4-L4 in FIG. 7A. ing.

まず、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示すように、基板１４０上に形成された光導波路構造１１３Ａが準備される。
例えば、基板１４０上に、クラッド層１１２ｂが形成され、そのクラッド層１１２ｂ上に、コア１１１群及びそれらの側面を覆うクラッド層１１２ｃが形成される。そして、クラッド層１１２ｂ上に形成されたコア１１１群及びクラッド層１１２ｃの上に、更にそれらを覆うようにクラッド層１１２ａが形成される。これにより、クラッド層１１２ｂ、クラッド層１１２ｃ及びクラッド層１１２ａ、即ちクラッド１１２で包囲されたコア１１１群を有する光導波路構造１１３Ａが、基板１４０上に形成される。 First, as shown in FIGS. 5A and 5B, an optical waveguide structure 113A formed on a substrate 140 is prepared.
For example, the clad layer 112b is formed on the substrate 140, and the clad layer 112c covering the cores 111 and their side surfaces is formed on the clad layer 112b. Then, a cladding layer 112a is formed on the core 111 group and the cladding layer 112c formed on the cladding layer 112b so as to cover them. Thus, the optical waveguide structure 113A having the clad layer 112b, the clad layer 112c, and the clad layer 112a, that is, the core 111 group surrounded by the clad 112, is formed on the substrate 140.

ここで、基板１４０には、ポリイミドフィルム等の樹脂フィルムが用いられる。コア１１１群、並びにクラッド１１２となるクラッド層１１２ｂ、クラッド層１１２ｃ及びクラッド層１１２ａには、エポキシ樹脂やアクリル樹脂等の樹脂が用いられる。コア１１１群は、例えば屈折率１．５５とされ、厚さ４５μｍで形成される。クラッド１１２は、例えば、屈折率１．５１６とされ、上下層のクラッド層１１２ｂ及びクラッド層１１２ａがそれぞれ厚さ５μｍ、中層のクラッド層１１２ｃが厚さ４５μｍで形成される。   Here, a resin film such as a polyimide film is used for the substrate 140. A resin such as an epoxy resin or an acrylic resin is used for the core 111 group and the clad layer 112b, the clad layer 112c, and the clad layer 112a to be the clad 112. The core 111 group has a refractive index of 1.55, for example, and is formed with a thickness of 45 μm. The clad 112 has a refractive index of 1.516, for example, and the upper and lower clad layers 112b and 112a are each formed with a thickness of 5 μm, and the middle clad layer 112c is formed with a thickness of 45 μm.

基板１４０上に形成された光導波路構造１１３Ａには、図６（Ａ）及び図６（Ｂ）に示すように、コア１１１群及びクラッド１１２を貫通し、且つ側壁が所定の角度で傾斜した溝１１４Ａが形成される。この溝１１４Ａの、所定の角度で傾斜した側壁の側の部位が、光接続部品１００Ａの光導波路１１０となり、所定の角度で傾斜した側壁が、光接続部品１００Ａの光路変換に用いられるコア端面１１１ａを含んだ光導波路端面１１０ａとなる。   In the optical waveguide structure 113A formed on the substrate 140, as shown in FIGS. 6A and 6B, a groove that penetrates the core 111 group and the clad 112 and whose side wall is inclined at a predetermined angle is formed. 114A is formed. A portion of the groove 114A on the side of the side wall inclined at a predetermined angle becomes the optical waveguide 110 of the optical connection component 100A, and the side wall inclined at the predetermined angle is a core end surface 111a used for optical path conversion of the optical connection component 100A. It becomes the optical waveguide end face 110a containing.

溝１１４Ａの形成、即ち所定の角度で傾斜した光導波路端面１１０ａを有する光導波路１１０の形成には、例えばダイシングブレードが用いられる。ダイシングブレードを用いた切削加工により、所定の角度、例えば４５°で傾斜した光導波路端面１１０ａを有する光導波路１１０が形成される。尚、このような傾斜した光導波路端面１１０ａを有する光導波路１１０は、ダイシングブレードを用いる切削加工のほか、レーザーを用いるレーザー加工によって形成されてもよい。   For example, a dicing blade is used to form the groove 114A, that is, to form the optical waveguide 110 having the optical waveguide end face 110a inclined at a predetermined angle. The optical waveguide 110 having the optical waveguide end face 110a inclined at a predetermined angle, for example, 45 ° is formed by cutting using a dicing blade. The optical waveguide 110 having such an inclined optical waveguide end face 110a may be formed by laser processing using a laser in addition to cutting processing using a dicing blade.

基板１４０上の光導波路構造１１３Ａに溝１１４Ａが形成され、傾斜した光導波路端面１１０ａを有する光導波路１１０が形成された後、その溝１１４Ａに、図６（Ａ）及び図６（Ｂ）に示すような反射部材１２０が配置される。   After the groove 114A is formed in the optical waveguide structure 113A on the substrate 140 and the optical waveguide 110 having the inclined optical waveguide end face 110a is formed, the groove 114A is shown in FIGS. 6A and 6B. Such a reflection member 120 is disposed.

反射部材１２０は、ガラス等の基材１２１に設けられた傾斜端面１２１ａに、反射面１２０ａとして例えば銀（反射率９５％）を形成することで準備される。このような反射面１２０ａを有する反射部材１２０が、基板１４０上の光導波路構造１１３Ａに形成された溝１１４Ａに、その側壁の傾斜した光導波路端面１１０ａに反射面１２０ａが対向するように、配置される。対向する光導波路端面１１０ａと反射面１２０ａとの間には、空隙１３０が設けられる。空隙１３０の幅（コア１１１の軸線方向の幅）は、例えば３μｍとされる。   The reflecting member 120 is prepared by forming, for example, silver (reflectance 95%) as the reflecting surface 120a on the inclined end surface 121a provided on the base material 121 such as glass. The reflection member 120 having such a reflection surface 120a is disposed in the groove 114A formed in the optical waveguide structure 113A on the substrate 140 so that the reflection surface 120a faces the inclined optical waveguide end surface 110a of the side wall. The A gap 130 is provided between the opposing optical waveguide end face 110a and the reflecting face 120a. The width of the air gap 130 (the width of the core 111 in the axial direction) is, for example, 3 μm.

尚、ここでは、溝１１４Ａの、空隙１３０が設けられる側とは反対側の側壁に、反射部材１２０の反射面１２０ａとは反対側の端面が当接する構造を例示するが、これらは必ずしも当接することを要しない。形成される溝１１４Ａの幅、溝１１４Ａに配置される反射部材１２０の幅、光導波路端面１１０ａと反射面１２０ａとの間に設けられる空隙１３０の幅によっては、例示のような当接が生じない、換言すれば空隙が生じることも起こり得る。   Here, the structure in which the end surface opposite to the reflecting surface 120a of the reflecting member 120 abuts on the side wall of the groove 114A opposite to the side where the air gap 130 is provided is illustrated, but these do not necessarily abut. I don't need it. Depending on the width of the groove 114A to be formed, the width of the reflecting member 120 disposed in the groove 114A, and the width of the gap 130 provided between the optical waveguide end surface 110a and the reflecting surface 120a, the contact as illustrated does not occur. In other words, voids may occur.

上記のようにして基板１４０上の光導波路構造１１３Ａの溝１１４Ａに反射部材１２０が配置された後、図７（Ａ）及び図７（Ｂ）に示すように、光導波路構造１１３Ａ及び反射部材１２０の上に、もう１枚の基板１４０が配置される。これにより、図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示したような構成を有する光接続部品１００Ａが形成される。尚、図７（Ａ）及び図７（Ｂ）に示すように基板１４０を配置し、それを反転したものが、図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示す光接続部品１００Ａに相当する。   After the reflecting member 120 is disposed in the groove 114A of the optical waveguide structure 113A on the substrate 140 as described above, as shown in FIGS. 7A and 7B, the optical waveguide structure 113A and the reflecting member 120 are disposed. Another substrate 140 is disposed on the substrate. As a result, the optical connection component 100A having the configuration as shown in FIGS. 4A and 4B is formed. In addition, as shown in FIGS. 7A and 7B, the substrate 140 is disposed and inverted, which corresponds to the optical connecting component 100A shown in FIGS. 4A and 4B. .

次に、第３の実施の形態について説明する。
図８は第３の実施の形態に係る光接続部品の構成例を示す図である。図８（Ａ）には、光接続部品の一例の要部斜視模式図を示している。図８（Ｂ）には、図８（Ａ）のＳ２面の位置に相当する断面模式図を示している。 Next, a third embodiment will be described.
FIG. 8 is a diagram illustrating a configuration example of the optical connection component according to the third embodiment. FIG. 8A shows a schematic perspective view of an essential part of an example of the optical connection component. FIG. 8B is a schematic cross-sectional view corresponding to the position of the S2 surface in FIG.

図８（Ａ）及び図８（Ｂ）に示す光接続部品１００Ｂは、反射部材１２０が、光導波路１１０のクラッド１１２の一部であるクラッド層１１２ａ上に設けられた構成を有する点で、上記図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示した光接続部品１００Ａと相違する。   The optical connecting component 100B shown in FIG. 8A and FIG. 8B has the configuration in which the reflecting member 120 is provided on the cladding layer 112a that is a part of the cladding 112 of the optical waveguide 110. This is different from the optical connecting component 100A shown in FIGS. 4 (A) and 4 (B).

光接続部品１００Ｂでは、基板１４０上の下層のクラッド層１１２ａ上に設けられるコア１１１群、並びに中層のクラッド層１１２ｃ及び上層のクラッド層１１２ｂに、傾斜した光導波路端面１１０ａが設けられる。このような傾斜した光導波路端面１１０ａ及びその面内のコア端面１１１ａに対向して反射面１２０ａが位置するように、反射部材１２０が下層のクラッド層１１２ａ上に設けられる。傾斜したコア端面１１１ａと反射面１２０ａとの間には、空隙１３０が設けられる。空隙１３０を介して設けられた光導波路１１０及び反射部材１２０の上に、もう１枚の基板１４０が設けられる。   In the optical connecting component 100B, the inclined optical waveguide end face 110a is provided on the core 111 group provided on the lower clad layer 112a on the substrate 140, and on the intermediate clad layer 112c and the upper clad layer 112b. The reflective member 120 is provided on the lower clad layer 112a so that the reflective surface 120a is positioned to face the inclined optical waveguide end surface 110a and the core end surface 111a in the surface. A gap 130 is provided between the inclined core end surface 111a and the reflecting surface 120a. Another substrate 140 is provided on the optical waveguide 110 and the reflection member 120 provided via the gap 130.

このような構成を有する光接続部品１００Ｂによっても、コア端面１１１ａに、コア１１１の外部から入射する光、或いはコア１１１内を伝播して入射する光が、コア端面１１１ａで光路変換される。その際、コア端面１１１ａに入射する光が、全反射条件を満たす場合には、コア端面１１１ａでの全反射によって光路が変換される。コア端面１１１ａに入射する光が、全反射条件を満たさない場合には、コア端面１１１ａから空隙１３０側に光漏れが生じ得る。空隙１３０側に漏れた光は、反射部材１２０の反射面１２０ａで反射され、コア端面１１１ａによる変換後の光路側に戻される。上記光接続部品１００Ａ同様、光接続部品１００Ｂでも、このようにして光漏れによる伝送損失が抑えられる。   Also with the optical connecting component 100B having such a configuration, the light incident on the core end surface 111a from the outside of the core 111 or the light propagating through the core 111 is optically converted on the core end surface 111a. At this time, when the light incident on the core end surface 111a satisfies the total reflection condition, the optical path is converted by the total reflection on the core end surface 111a. When the light incident on the core end surface 111a does not satisfy the total reflection condition, light leakage may occur from the core end surface 111a to the gap 130 side. The light leaked to the gap 130 side is reflected by the reflecting surface 120a of the reflecting member 120 and returned to the optical path side after conversion by the core end surface 111a. Like the optical connection component 100A, the optical connection component 100B can suppress transmission loss due to light leakage in this way.

続いて、上記のような光接続部品１００Ｂの形成方法の一例について説明する。
図９〜図１１は第３の実施の形態に係る光接続部品の形成方法の一例を示す図である。図９（Ａ）には、コア及びクラッド層準備工程の一例の要部平面模式図を示し、図９（Ｂ）には、図９（Ａ）のＬ５−Ｌ５線の位置に相当する断面模式図を示している。図１０（Ａ）には、反射部材配置工程の一例の要部平面模式図を示し、図１０（Ｂ）には、図１０（Ａ）のＬ６−Ｌ６線の位置に相当する断面模式図を示している。図１１（Ａ）には、基板及びクラッド層配置工程の一例の要部平面模式図を示し、図１１（Ｂ）には、図１１（Ａ）のＬ７−Ｌ７線の位置に相当する断面模式図を示している。 Then, an example of the formation method of the above optical connection components 100B is demonstrated.
9 to 11 are diagrams illustrating an example of a method of forming an optical connection component according to the third embodiment. FIG. 9A is a schematic plan view of an essential part of an example of the core and cladding layer preparation process, and FIG. 9B is a schematic cross-sectional view corresponding to the position of the line L5-L5 in FIG. 9A. The figure is shown. FIG. 10A shows a schematic plan view of an essential part of an example of the reflecting member arrangement step, and FIG. 10B shows a schematic cross-sectional view corresponding to the position of the line L6-L6 in FIG. Show. FIG. 11A is a schematic plan view of an essential part of an example of the substrate and cladding layer arrangement process, and FIG. 11B is a schematic cross-sectional view corresponding to the position of line L7-L7 in FIG. The figure is shown.

まず、図９（Ａ）及び図９（Ｂ）に示すように、基板１４０上に、クラッド層１１２ｂ、コア１１１群及びクラッド層１１２ｃを含む光導波路構造１１３Ｂが準備される。例えば、基板１４０上に、クラッド層１１２ｂが形成され、そのクラッド層１１２ｂ上に、コア１１１群及びそれらの側面を覆うクラッド層１１２ｃが形成される。これにより、上面を除く側面及び下面がクラッド層１１２ｃ及びクラッド層１１２ｂで覆われたコア１１１群を有する光導波路構造１１３Ｂが、基板１４０上に形成される。   First, as shown in FIGS. 9A and 9B, an optical waveguide structure 113B including a cladding layer 112b, a core 111 group, and a cladding layer 112c is prepared on a substrate 140. For example, the clad layer 112b is formed on the substrate 140, and the clad layer 112c covering the cores 111 and their side surfaces is formed on the clad layer 112b. Thus, the optical waveguide structure 113B having the core 111 group in which the side surface and the lower surface except the upper surface are covered with the cladding layer 112c and the cladding layer 112b is formed on the substrate 140.

このように基板１４０上に形成された光導波路構造１１３Ｂに、図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）に示すように、コア１１１群並びにクラッド層１１２ｃ及びクラッド層１１２ｂを貫通し、且つ側壁が所定の角度で傾斜した溝１１４Ｂが形成される。この溝１１４Ｂの、傾斜した側壁の側の部位が、光接続部品１００Ｂの光導波路１１０（そのクラッド層１１２ａを除く部分）となり、傾斜した側壁が、光接続部品１００Ｂの光路変換に用いられるコア端面１１１ａを含んだ光導波路端面１１０ａとなる。溝１１４Ｂの形成、即ち傾斜した光導波路端面１１０ａを有する光導波路１１０の形成は、ダイシングブレードを用いた切削加工やレーザー加工によって行われる。   As shown in FIGS. 10A and 10B, the optical waveguide structure 113B formed on the substrate 140 in this way penetrates the core 111 group, the clad layer 112c, and the clad layer 112b, and the side wall is formed. A groove 114B inclined at a predetermined angle is formed. A portion of the groove 114B on the side of the inclined side wall becomes the optical waveguide 110 of the optical connection component 100B (a portion excluding the clad layer 112a), and the inclined side wall is a core end surface used for optical path conversion of the optical connection component 100B. The optical waveguide end face 110a includes 111a. The formation of the groove 114B, that is, the formation of the optical waveguide 110 having the inclined optical waveguide end face 110a is performed by cutting or laser processing using a dicing blade.

基板１４０上の光導波路構造１１３Ｂに溝１１４Ｂが形成され、傾斜した光導波路端面１１０ａを有する光導波路１１０が形成された後、その溝１１４Ｂに、図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）に示すような反射部材１２０が配置される。反射部材１２０は、ガラス等の基材１２１に設けられた傾斜端面１２１ａに、反射面１２０ａとして例えば銀（反射率９５％）を形成することで準備される。このような反射部材１２０が、光導波路構造１１３Ｂの溝１１４Ｂに、光導波路端面１１０ａと反射面１２０ａとが所定の幅の空隙１３０を介して対向するように、配置される。尚、空隙１３０が設けられる側とは反対側の溝１１４Ｂの側壁と、反射部材１２０の反射面１２０ａとは反対側の端面とは、必ずしも当接することを要しない。   After the groove 114B is formed in the optical waveguide structure 113B on the substrate 140 and the optical waveguide 110 having the inclined optical waveguide end face 110a is formed, the groove 114B is shown in FIGS. 10A and 10B. Such a reflection member 120 is disposed. The reflecting member 120 is prepared by forming, for example, silver (reflectance 95%) as the reflecting surface 120a on the inclined end surface 121a provided on the base material 121 such as glass. Such a reflection member 120 is disposed in the groove 114B of the optical waveguide structure 113B so that the optical waveguide end surface 110a and the reflection surface 120a face each other with a gap 130 having a predetermined width. Note that the side wall of the groove 114B opposite to the side where the gap 130 is provided and the end surface of the reflecting member 120 opposite to the reflecting surface 120a are not necessarily in contact with each other.

基板１４０上の光導波路構造１１３Ｂの溝１１４Ｂに反射部材１２０が配置された後、図１１（Ａ）及び図１１（Ｂ）に示すように、光導波路構造１１３Ｂ及び反射部材１２０の上に、クラッド層１１２ａ、及びもう１枚の基板１４０が配置される。例えば、予め基板１４０上にクラッド層１１２ａを形成したものが、光導波路構造１１３Ｂ及び反射部材１２０の上に配置される。これにより、図８（Ａ）及び図８（Ｂ）に示したような構成を有する光接続部品１００Ｂが形成される。尚、図１１（Ａ）及び図１１（Ｂ）に示すようにクラッド層１１２ａ及び基板１４０を配置し、それを反転したものが、図８（Ａ）及び図８（Ｂ）に示す光接続部品１００Ｂに相当する。   After the reflecting member 120 is disposed in the groove 114B of the optical waveguide structure 113B on the substrate 140, the cladding is formed on the optical waveguide structure 113B and the reflecting member 120 as shown in FIGS. 11 (A) and 11 (B). A layer 112a and another substrate 140 are disposed. For example, a substrate in which the clad layer 112 a is previously formed on the substrate 140 is disposed on the optical waveguide structure 113 </ b> B and the reflection member 120. Thereby, the optical connection component 100B having the configuration as shown in FIGS. 8A and 8B is formed. In addition, as shown in FIGS. 11A and 11B, the clad layer 112a and the substrate 140 are arranged, and the inverted ones are the optical connection components shown in FIGS. 8A and 8B. It corresponds to 100B.

次に、第４の実施の形態について説明する。
図１２は第４の実施の形態に係る光モジュールの説明図である。図１２には、光モジュールの一例の要部斜視模式図を示している。 Next, a fourth embodiment will be described.
FIG. 12 is an explanatory diagram of an optical module according to the fourth embodiment. FIG. 12 is a schematic perspective view of an essential part of an example of the optical module.

図１２には一例として、上記第２の実施の形態で述べた光接続部品１００Ａを用いた光モジュール２００Ａを図示している。光モジュール２００Ａは、光接続部品１００Ａの傾斜した光導波路端面１１０ａの上方に設けられるＶＣＳＥＬ（面型発光素子）１５１、及び反対側の光導波路端面１１０ｂの側方に設けられる光ファイバ１５２（マルチモードファイバ）を含む。ＶＣＳＥＬ１５１と光接続部品１００Ａとの間、及び光ファイバ１５２と光接続部品１００Ａとの間には、例えば図１２に示すように、それぞれレンズ１５３及びレンズ１５４が設けられる。   As an example, FIG. 12 illustrates an optical module 200A using the optical connection component 100A described in the second embodiment. The optical module 200A includes a VCSEL (planar light emitting element) 151 provided above the inclined optical waveguide end face 110a of the optical connection component 100A, and an optical fiber 152 (multimode) provided on the side of the opposite optical waveguide end face 110b. Fiber). As shown in FIG. 12, for example, a lens 153 and a lens 154 are provided between the VCSEL 151 and the optical connecting component 100A and between the optical fiber 152 and the optical connecting component 100A, respectively.

光モジュール２００Ａでは、ＶＣＳＥＬ１５１から出射された光が、レンズ１５３を通り、角度成分を補正され、コリメートされて光導波路端面１１０ａの空隙１３０側とは反対の側に入射する。光導波路端面１１０ａに入射した光は、コア端面１１１ａと空隙１３０との屈折率差から、コア端面１１１ａで光路変換され、クラッド１１２で包囲されたコア１１１内を伝播される。コア１１１内を伝播され、光導波路端面１１０ｂに達した光は、レンズ１５４を通り、角度成分を補正され、光ファイバ１５２に入射する。光導波路１１０の屈折率から算出される開口数ＮＡ（Numerical Aperture）が、光ファイバ１５２の開口数ＮＡに比べて大きくなる場合、光導波路端面１１０ｂ側にもレンズ１５４が設けられる。   In the optical module 200A, the light emitted from the VCSEL 151 passes through the lens 153, the angle component is corrected, collimated, and enters the side opposite to the gap 130 side of the optical waveguide end face 110a. The light incident on the optical waveguide end face 110 a is optically converted by the core end face 111 a due to the refractive index difference between the core end face 111 a and the gap 130, and propagates in the core 111 surrounded by the clad 112. The light propagated through the core 111 and reaches the optical waveguide end face 110 b passes through the lens 154, the angle component is corrected, and enters the optical fiber 152. When the numerical aperture (NA) calculated from the refractive index of the optical waveguide 110 is larger than the numerical aperture NA of the optical fiber 152, the lens 154 is also provided on the optical waveguide end face 110b side.

光モジュール２００Ａでは、例えば、傾斜した光導波路端面１１０ａの入射側に設けられるＶＣＳＥＬ１５１やレンズ１５３の、光導波路１１０に対する位置（実装位置）によって、伝送光がコア端面１１１ａでの全反射条件を満たさなくなることがある。コア端面１１１ａでの全反射条件を満たさなくなると、コア端面１１１ａで光路変換される光の、空隙１３０側への光漏れが生じる可能性がある。光モジュール２００Ａでは、このように全反射条件を満たさなくなり、空隙１３０側に漏れる光を、反射部材１２０の反射面１２０ａで反射し、コア端面１１１ａによる変換後の光路側に戻す。   In the optical module 200A, for example, depending on the position (mounting position) of the VCSEL 151 or the lens 153 provided on the incident side of the inclined optical waveguide end surface 110a with respect to the optical waveguide 110, the transmitted light does not satisfy the total reflection condition on the core end surface 111a. Sometimes. If the total reflection condition at the core end surface 111a is not satisfied, light that is optically path-converted at the core end surface 111a may leak to the gap 130 side. In the optical module 200A, the light that does not satisfy the total reflection condition and leaks to the gap 130 side is reflected by the reflecting surface 120a of the reflecting member 120 and returned to the optical path side after conversion by the core end surface 111a.

このように光モジュール２００Ａでは、コア端面１１１ａに空隙１３０を介して対向させた反射面１２０ａにより、空隙１３０側に漏れる光を反射し、光漏れによる伝送損失を抑えることが可能になる。また、全反射条件を満たさない場合でも、空隙１３０側に漏れる光を反射面１２０ａで反射して伝送損失を抑えることができるため、光導波路１１０に対するＶＣＳＥＬ１５１やレンズ１５３の位置ずれについて、そのトレランスを拡大することも可能になる。   As described above, in the optical module 200A, the light leaking toward the air gap 130 is reflected by the reflecting surface 120a opposed to the core end surface 111a via the air gap 130, and transmission loss due to light leakage can be suppressed. Even if the total reflection condition is not satisfied, the light leaking to the gap 130 side can be reflected by the reflection surface 120a to suppress transmission loss. Therefore, the tolerance for the positional shift of the VCSEL 151 and the lens 153 with respect to the optical waveguide 110 is increased. It can also be expanded.

ここで、光学部品の位置ずれトレランスについて、上記図１２、並びに次の図１３及び図１４を参照して説明する。
図１３は光モジュールの別例の説明図である。図１４は光学部品の位置ずれと伝送損失との関係の一例を示す図である。 Here, the positional deviation tolerance of the optical component will be described with reference to FIG. 12 and the following FIG. 13 and FIG.
FIG. 13 is an explanatory diagram of another example of the optical module. FIG. 14 is a diagram illustrating an example of the relationship between the displacement of the optical component and the transmission loss.

図１４には、上記図１２に示した光モジュール２００ＡのＶＣＳＥＬ１５１について、その基準位置からのＹ方向のずれ［μｍ］と、光接続部品１００Ａを伝送される光の伝送損失［ｄＢ］との関係について評価した結果の一例を示している。   FIG. 14 shows the relationship between the deviation [μm] in the Y direction from the reference position and the transmission loss [dB] of light transmitted through the optical connecting component 100A for the VCSEL 151 of the optical module 200A shown in FIG. An example of the result of evaluation about is shown.

評価において、光接続部品１００Ａの光導波路端面１１０ａ、コア端面１１１ａ及び反射面１２０ａの傾斜角度は４５°とする。レンズ１５３は、その中心を、傾斜した光導波路端面１１０ａの、コア１１１の厚さ方向の中心と一致させ、ＶＣＳＥＬ１５１から出射された光がレンズ１５３でコリメートされる位置となるように、ＶＣＳＥＬ１５１とレンズ１５３の距離を設定する。レンズ１５３を中心（基準位置）として、ＶＣＳＥＬ１５１を±Ｙ方向に移動させ、コア端面１１１ａで光路変換されてコア１１１内を伝播され、レンズ１５４を通って光ファイバ１５２に入力される光を測定し、その測定値から伝送損失を評価する。評価した結果を、図１４に実線Ｐで示す。   In the evaluation, the inclination angle of the optical waveguide end surface 110a, the core end surface 111a, and the reflection surface 120a of the optical connection component 100A is 45 °. The center of the lens 153 coincides with the center of the inclined optical waveguide end face 110a in the thickness direction of the core 111, and the VCSEL 151 and the lens are positioned so that the light emitted from the VCSEL 151 is collimated by the lens 153. A distance of 153 is set. With the lens 153 at the center (reference position), the VCSEL 151 is moved in the ± Y direction, the optical path is changed at the core end surface 111a, propagated through the core 111, and the light input to the optical fiber 152 through the lens 154 is measured. Then, the transmission loss is evaluated from the measured value. The evaluation result is shown by a solid line P in FIG.

また、図１４には比較のため、図１３（Ａ）に示すような光モジュール２００Ｂ、及び図１３（Ｂ）に示すような光モジュール２００Ｃについて、それぞれ同様の評価を行った結果を示す。   For comparison, FIG. 14 shows the results of the same evaluation for the optical module 200B as shown in FIG. 13A and the optical module 200C as shown in FIG. 13B.

図１３（Ａ）に示す光モジュール２００Ｂは、上記光モジュール２００Ａで設けたような空隙１３０を有しないものの一例であって、反射部材１２０に設けた金属の反射面１２０ａを、光導波路端面１１０ａ（及びコア端面１１１ａ）に接触させたものの一例である。光モジュール２００Ｂでは、ＶＣＳＥＬ１５１から出射された光が、レンズ１５３を通って直接金属の反射面１２０ａに入射し、その反射面１２０ａでの反射によって光路変換される。光モジュール２００Ｂでは、このように金属の反射面１２０ａで光路変換されるため、上記のような空隙１３０を設けた時のような光漏れが回避される。但し、反射面１２０ａに用いられる金属の反射率によっては、伝送損失が生じる。   An optical module 200B shown in FIG. 13A is an example of a module that does not have the gap 130 as provided in the optical module 200A, and a metal reflection surface 120a provided on the reflection member 120 is replaced with an optical waveguide end surface 110a ( And the core end surface 111a). In the optical module 200B, the light emitted from the VCSEL 151 is directly incident on the metal reflecting surface 120a through the lens 153, and the optical path is changed by reflection on the reflecting surface 120a. In the optical module 200B, since the optical path is changed by the metal reflecting surface 120a in this way, light leakage as in the case of providing the gap 130 as described above is avoided. However, transmission loss may occur depending on the reflectance of the metal used for the reflecting surface 120a.

図１３（Ｂ）に示す光モジュール２００Ｃは、上記光モジュール２００Ａで設けたような反射部材１２０を有しないものの一例である。光モジュール２００Ｃでは、ＶＣＳＥＬ１５１から出射され、レンズ１５３を通ってコア端面１１１ａに入射した光が、コア端面１１１ａと空隙１３０との屈折率差による全反射によって光路変換される。光モジュール２００Ｃでは、ＶＣＳＥＬ１５１の位置ずれ等により、コア端面１１１ａに入射する光が全反射条件を満たさなくなると、空隙１３０側への光漏れが生じ、それによって伝送損失が生じる。   An optical module 200C illustrated in FIG. 13B is an example of a module that does not include the reflecting member 120 as provided in the optical module 200A. In the optical module 200C, the light emitted from the VCSEL 151 and incident on the core end surface 111a through the lens 153 is subjected to optical path conversion by total reflection due to the refractive index difference between the core end surface 111a and the gap 130. In the optical module 200C, when the light incident on the core end surface 111a does not satisfy the total reflection condition due to the displacement of the VCSEL 151 or the like, light leakage to the gap 130 occurs, thereby causing transmission loss.

図１４には、図１３（Ａ）に示すような光モジュール２００Ｂについて特性を見積もった結果を点線Ｑで示し、図１３（Ｂ）に示すような光モジュール２００Ｃについて特性を見積もった結果を鎖線Ｒで示す。   In FIG. 14, the result of estimating the characteristics of the optical module 200B as shown in FIG. 13A is indicated by a dotted line Q, and the result of estimating the characteristics of the optical module 200C as shown in FIG. It shows with.

図１４より、光モジュール２００Ａ（実線Ｐ）、光モジュール２００Ｂ（点線Ｑ）、光モジュール２００Ｃ（鎖線Ｒ）のいずれも、ＶＣＳＥＬ１５１の基準位置（Ｙ＝０）からのＹ方向のずれが大きくなるほど、伝送損失が大きくなる傾向がある。光モジュール２００Ａでは、最少伝送損失が約１．３ｄＢであり、伝送損失が２．５ｄＢ以下となるＹ方向のずれの範囲は、±約１０．５μｍの範囲となる。光モジュール２００Ｂでは、最少伝送損失が約１．５ｄＢであり、伝送損失が２．５ｄＢ以下となるＹ方向のずれの範囲は、±約１０μｍの範囲となる。光モジュール２００Ｃでは、最少伝送損失が約１．３ｄＢであり、伝送損失が２．５ｄＢ以下となるＹ方向のずれの範囲は、±約９．５μｍの範囲となる。   From FIG. 14, the optical module 200A (solid line P), the optical module 200B (dotted line Q), and the optical module 200C (chain line R) all increase in the Y-direction deviation from the reference position (Y = 0) of the VCSEL 151. Transmission loss tends to increase. In the optical module 200A, the minimum transmission loss is about 1.3 dB, and the range of deviation in the Y direction where the transmission loss is 2.5 dB or less is in the range of about ± 10.5 μm. In the optical module 200B, the minimum transmission loss is about 1.5 dB, and the range of deviation in the Y direction where the transmission loss is 2.5 dB or less is a range of about ± 10 μm. In the optical module 200C, the minimum transmission loss is about 1.3 dB, and the range of deviation in the Y direction where the transmission loss is 2.5 dB or less is within a range of ± about 9.5 μm.

図１４より、光モジュール２００Ａでは、直接金属の反射面１２０ａで光路変換する光モジュール２００Ｂのような、金属の反射面１２０ａによる伝送損失が生じるものに比べて、伝送損失を低減することができる。更に、光モジュール２００Ａでは、光モジュール２００Ｂに比べて、ＶＣＳＥＬ１５１のＹ方向の位置ずれトレランス範囲を拡大することができる。また、光モジュール２００Ａでは、コア端面１１１ａと空隙１３０との屈折率差による全反射だけで光路変換する光モジュール２００Ｃに比べても、ＶＣＳＥＬ１５１のＹ方向の位置ずれトレランス範囲を拡大することができる。   As shown in FIG. 14, in the optical module 200A, the transmission loss can be reduced as compared with the optical module 200B in which the optical path is directly changed by the metal reflection surface 120a, in which the transmission loss is caused by the metal reflection surface 120a. Furthermore, in the optical module 200A, the positional deviation tolerance range in the Y direction of the VCSEL 151 can be expanded as compared with the optical module 200B. Further, in the optical module 200A, the tolerance range of the positional deviation in the Y direction of the VCSEL 151 can be expanded as compared with the optical module 200C in which the optical path is changed only by total reflection due to the refractive index difference between the core end surface 111a and the gap 130.

このように光モジュール２００Ａでは、伝送損失を抑え、且つＶＣＳＥＬ１５１のＹ方向の位置ずれトレランス範囲を拡大することができるという効果が得られる。
次に、第５の実施の形態について説明する。 As described above, in the optical module 200A, it is possible to obtain an effect of suppressing transmission loss and expanding the misalignment tolerance range of the VCSEL 151 in the Y direction.
Next, a fifth embodiment will be described.

図１５は第５の実施の形態に係る光接続部品の構成例を示す図である。図１５（Ａ）には、光接続部品の一例の要部斜視模式図を示している。図１５（Ｂ）には、図１５（Ａ）のＳ３面の位置に相当する断面模式図を示している。   FIG. 15 is a diagram illustrating a configuration example of the optical connection component according to the fifth embodiment. FIG. 15A is a schematic perspective view of an essential part of an example of an optical connection component. FIG. 15B is a schematic cross-sectional view corresponding to the position of the S3 plane in FIG.

図１５（Ａ）及び図１５（Ｂ）に示す光接続部品１００Ｃは、反射部材１２０が、傾斜した光導波路端面１１０ａに当接する部位（当接部）１２２を有する点で、上記図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示した光接続部品１００Ａと相違する。   The optical connecting component 100C shown in FIGS. 15A and 15B has the above-described FIG. 4A in that the reflecting member 120 has a portion (contact portion) 122 that contacts the inclined optical waveguide end surface 110a. ) And the optical connecting component 100A shown in FIG. 4B.

反射部材１２０の当接部１２２は、反射面１２０ａが設けられる基材１２１の傾斜端面１２１ａ側に、傾斜端面１２１ａから突出するように設けられる。当接部１２２は、予め基材１２１と一体で形成されたものでもよいし、予め基材１２１とは別体で形成されたものを基材１２１に接着等の方法で取り付けたものでもよい。当接部１２２は、光導波路端面１１０ａの、コア端面１１１ａの外側のクラッド１１２、この例ではクラッド層１１２ｂに当接する。光接続部品１００Ｃでは、反射部材１２０の当接部１２２が、光導波路端面１１０ａのクラッド層１１２ｂに当接した時に、反射面１２０ａとコア端面１１１ａとの間に所定の幅の空隙１３０が設けられるようになっている。反射面１２０ａとコア端面１１１ａとの間に設ける空隙１３０の幅に基づき、当接部１２２の、傾斜端面１２１ａからの突出量が設定される。   The contact portion 122 of the reflecting member 120 is provided on the inclined end surface 121a side of the base material 121 on which the reflecting surface 120a is provided so as to protrude from the inclined end surface 121a. The contact portion 122 may be formed integrally with the base material 121 in advance, or may be formed by attaching a material separately from the base material 121 to the base material 121 by a method such as adhesion. The contact portion 122 contacts the cladding 112 of the optical waveguide end surface 110a outside the core end surface 111a, in this example, the cladding layer 112b. In the optical connecting component 100C, when the abutting portion 122 of the reflecting member 120 abuts on the cladding layer 112b of the optical waveguide end surface 110a, a gap 130 having a predetermined width is provided between the reflecting surface 120a and the core end surface 111a. It is like that. Based on the width of the gap 130 provided between the reflecting surface 120a and the core end surface 111a, the protruding amount of the contact portion 122 from the inclined end surface 121a is set.

図１６は第５の実施の形態に係る光接続部品の形成方法の一例を示す図である。図１６（Ａ）〜図１６（Ｃ）には、各工程の一例の要部断面模式図を示している。
光接続部品１００Ｃの形成では、上記図５（Ａ）及び図５（Ｂ）で述べたような基板１４０上の光導波路構造１１３Ａに、図１６（Ａ）に示すような溝１１４Ｃが形成される。溝１１４Ｃは、例えば、そこに配置される反射部材１２０よりも、予め大きなサイズとしておくことができる。形成された溝１１４Ｃに、図１６（Ａ）に示すように、傾斜端面１２１ａに反射面１２０ａが設けられ、傾斜端面１２１ａから所定の突出量の当接部１２２が設けられた反射部材１２０が配置される。反射部材１２０は、図１６（Ａ）及び図１６（Ｂ）に示すように、その反射面１２０ａ及び当接部１２２を、傾斜した光導波路端面１１０ａ側に向けて、溝１１４Ｃ内に配置される。 FIG. 16 is a diagram illustrating an example of a method of forming an optical connection component according to the fifth embodiment. FIGS. 16A to 16C are schematic cross-sectional views of the main part of an example of each process.
In the formation of the optical connection component 100C, a groove 114C as shown in FIG. 16A is formed in the optical waveguide structure 113A on the substrate 140 as described in FIGS. 5A and 5B. . For example, the groove 114 </ b> C can be larger in size than the reflecting member 120 disposed therein. As shown in FIG. 16A, the formed groove 114C is provided with a reflecting member 120 provided with a reflecting surface 120a on the inclined end surface 121a and provided with a contact portion 122 having a predetermined protruding amount from the inclined end surface 121a. Is done. As shown in FIGS. 16A and 16B, the reflecting member 120 is disposed in the groove 114C with the reflecting surface 120a and the contact portion 122 facing the inclined optical waveguide end surface 110a. .

溝１１４Ｃに配置された反射部材１２０は、例えば図１６（Ｂ）に示すように、光導波路端面１１０ａ側にスライドされることで、その当接部１２２が光導波路端面１１０ａのクラッド層１１２ｂに当接される。反射部材１２０の当接部１２２が、光導波路端面１１０ａのクラッド層１１２ｂに当接されることで、図１６（Ｃ）に示すように、反射面１２０ａとコア端面１１１ａとの間に、所定の幅の空隙１３０が設けられる。   For example, as shown in FIG. 16B, the reflecting member 120 disposed in the groove 114C is slid toward the optical waveguide end face 110a, so that the contact portion 122 contacts the clad layer 112b of the optical waveguide end face 110a. Touched. As shown in FIG. 16C, the contact portion 122 of the reflection member 120 is in contact with the cladding layer 112b of the optical waveguide end surface 110a, so that a predetermined amount is provided between the reflection surface 120a and the core end surface 111a. A gap 130 of width is provided.

当接部１２２が光導波路端面１１０ａのクラッド層１１２ｂに当接された後、光導波路構造１１３Ａ及び反射部材１２０の上に、もう１枚の基板１４０が設けられる。これにより、図１５（Ａ）及び図１５（Ｂ）に示したような構成を有する光接続部品１００Ｃが形成される。尚、図１６（Ｃ）に示すように基板１４０を配置し、それを反転したものが、図１５（Ａ）及び図１５（Ｂ）に示す光接続部品１００Ｃに相当する。   After the contact portion 122 is in contact with the cladding layer 112b of the optical waveguide end face 110a, another substrate 140 is provided on the optical waveguide structure 113A and the reflection member 120. Thereby, the optical connection component 100C having the configuration as shown in FIGS. 15A and 15B is formed. Note that the substrate 140 arranged as shown in FIG. 16C and inverted is equivalent to the optical connecting component 100C shown in FIGS. 15A and 15B.

光接続部品１００Ｃでは、その形成において、反射部材１２０を配置する際に、それに設けた当接部１２２をクラッド層１１２ｂに当接させることで、所定の幅の空隙１３０を精度良く設けることができる。   In the optical connection component 100 </ b> C, when the reflecting member 120 is arranged, the contact portion 122 provided on the reflection member 120 is brought into contact with the cladding layer 112 b, whereby the gap 130 having a predetermined width can be provided with high accuracy. .

尚、図１５（Ａ）及び図１５（Ｂ）には、反射部材１２０に、クラッド層１１２ｂに全体的に当接される当接部１２２を設ける例を示したが、クラッド層１１２ｂに部分的に当接される当接部１２２を設けてもよい。   15A and 15B show an example in which the reflection member 120 is provided with the contact portion 122 that is in contact with the clad layer 112b as a whole. You may provide the contact part 122 contact | abutted to.

また、当接部１２２が当接される部位は、クラッド層１１２ｂに限定されない。当接部１２２は、クラッド層１１２ａ又はクラッド層１１２ｃに、全体的若しくは部分的に当接されるように、設けられてもよい。このほか、当接部１２２は、クラッド層１１２ａ、クラッド層１１２ｂ及びクラッド層１１２ｃのうちの２層又は３層全てに、全体的若しくは部分的に当接されるように、設けられてもよい。当接部１２２は、コア端面１１１ａ外であれば、クラッド１１２のいずれの部位に当接されてもよい。   Further, the portion with which the contact portion 122 contacts is not limited to the clad layer 112b. The abutting portion 122 may be provided so as to abut completely or partially on the cladding layer 112a or the cladding layer 112c. In addition, the abutting portion 122 may be provided so as to abut completely or partially on two or all of the clad layer 112a, the clad layer 112b, and the clad layer 112c. The contact part 122 may be in contact with any part of the clad 112 as long as it is outside the core end surface 111a.

また、上記のような当接部１２２を設ける手法は、上記図８（Ａ）及び図８（Ｂ）に示した光接続部品１００Ｂでも採用することができる。即ち、上記光接続部品１００Ｂにおいて、その反射部材１２０として、クラッド層１１２ｂ又はクラッド層１１２ｃに、全体的若しくは部分的に当接される当接部を設けたものを採用する。これにより、所定の幅の空隙１３０を精度良く設けることが可能になる。   Further, the method of providing the contact portion 122 as described above can also be adopted in the optical connection component 100B shown in FIGS. 8A and 8B. In other words, in the optical connection component 100B, the reflection member 120 is provided with a contact portion that contacts the cladding layer 112b or the cladding layer 112c in whole or in part. As a result, the gap 130 having a predetermined width can be provided with high accuracy.

次に、第６の実施の形態について説明する。
図１７は第６の実施の形態に係る光接続部品の第１の構成例を示す図である。図１７（Ａ）には、光接続部品の一例の要部断面模式図を示している。図１７（Ｂ）には、図１７（Ａ）に示す光接続部品での光路変換の説明図を示している。 Next, a sixth embodiment will be described.
FIG. 17 is a diagram illustrating a first configuration example of the optical connection component according to the sixth embodiment. FIG. 17A shows a schematic cross-sectional view of the relevant part of an example of the optical connection component. FIG. 17B shows an explanatory diagram of the optical path conversion in the optical connection component shown in FIG.

図１７（Ａ）に示す光接続部品１００Ｄは、反射部材１２０が、断面視で凹状に湾曲した反射面１２０ａを有する点で、上記図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示した光接続部品１００Ａと相違する。   The optical connection component 100D shown in FIG. 17A has the optical connection shown in FIGS. 4A and 4B in that the reflective member 120 has a reflective surface 120a that is curved in a concave shape in cross-sectional view. It is different from the component 100A.

反射部材１２０は、その基材１２１に、傾斜端面１２１ａとして、凹状に湾曲した端面を有し、そのような凹状に湾曲した傾斜端面１２１ａに、反射面１２０ａが設けられる。湾曲した反射面１２０ａと、それに対向するコア端面１１１ａとの間に、空隙１３０が設けられる。   The reflecting member 120 has an end surface curved in a concave shape as an inclined end surface 121a on the base material 121, and the reflecting surface 120a is provided on the inclined end surface 121a curved in such a concave shape. A gap 130 is provided between the curved reflecting surface 120a and the core end surface 111a facing the reflecting surface 120a.

光接続部品１００Ｄでは、例えば図１７（Ｂ）に示すように、光導波路１１０の上方から、コア端面１１１ａの、空隙１３０側とは反対の側に入射した光が、コア端面１１１ａで光路変換され、コア１１１内を伝播する（太実線矢印で図示）。その際、コア端面１１１ａに入射する光が、全反射条件を満たさない場合には、空隙１３０側に光が漏れることがある（太点線矢印で図示）。空隙１３０側に漏れた光が、反射面１２０ａで反射され、変換後の光路側のコア１１１に戻されることで、伝送損失が抑えられる。   In the optical connecting component 100D, for example, as shown in FIG. 17B, the light incident on the side of the core end surface 111a opposite to the gap 130 side from the upper side of the optical waveguide 110 is optically converted by the core end surface 111a. And propagates in the core 111 (shown by a thick solid arrow). At this time, when the light incident on the core end surface 111a does not satisfy the total reflection condition, the light may leak to the gap 130 side (illustrated by a thick dotted line arrow). The light leaked to the gap 130 side is reflected by the reflecting surface 120a and returned to the converted core 111 on the optical path side, thereby suppressing transmission loss.

ここで、光接続部品１００Ｄでは、反射面１２０ａが凹状に湾曲していることで、その凹状の反射面１２０ａによる集光効果により、反射面１２０ａで反射された光が、コア１１１内に戻され易くなる、即ちコア１１１に再結合され易くなる。これにより、漏れ光による伝送損失を効果的に抑えることが可能になる。   Here, in the optical connecting component 100D, since the reflecting surface 120a is curved in a concave shape, the light reflected by the reflecting surface 120a is returned into the core 111 by the light collecting effect by the concave reflecting surface 120a. It becomes easy to be re-coupled to the core 111. This makes it possible to effectively suppress transmission loss due to leaked light.

このような凹状の反射面１２０ａによる集光効果は、反射面１２０ａのうち、より下側のクラッド層１１２ａに近い部位に入射する漏れ光ほど、有効に作用することが期待される。例えば、凹状ではない、傾斜したフラットな反射面１２０ａの場合には、下側のクラッド層１１２ａに近い部位に入射した漏れ光は、反射面１２０ａで反射されても、反射角度上、コア１１１に再結合されない可能性もある。これに対し、凹状の反射面１２０ａでは、下側のクラッド層１１２ａに近い部位に入射した漏れ光が、反射面１２０ａで反射される際、反射角度上、コア１１１に向かって反射され易くなることが期待される。   Such a light collecting effect by the concave reflecting surface 120a is expected to work more effectively as leakage light enters a portion of the reflecting surface 120a that is closer to the lower cladding layer 112a. For example, in the case of an inclined flat reflecting surface 120a that is not concave, leakage light incident on a portion close to the lower cladding layer 112a is reflected on the core 111 due to the reflection angle even if it is reflected by the reflecting surface 120a. There is a possibility that they will not be recombined. On the other hand, in the concave reflection surface 120a, leakage light incident on a portion close to the lower clad layer 112a is easily reflected toward the core 111 due to a reflection angle when reflected by the reflection surface 120a. There is expected.

また、図１８は第６の実施の形態に係る光接続部品の第２の構成例を示す図である。図１８には、光接続部品の一例の要部断面模式図を示している。
図１８に示す光接続部品１００Ｅは、反射部材１２０が、断面視で凹状に湾曲した反射面１２０ａを有し、且つ傾斜した光導波路端面１１０ａに当接する当接部１２２を有する点で、上記図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示した光接続部品１００Ａと相違する。 FIG. 18 is a diagram illustrating a second configuration example of the optical connection component according to the sixth embodiment. FIG. 18 shows a schematic cross-sectional view of the relevant part of an example of the optical connection component.
The optical connecting component 100E shown in FIG. 18 has the above-described view in that the reflecting member 120 has a reflecting surface 120a that is curved in a concave shape in a sectional view and a contact portion 122 that contacts the inclined optical waveguide end surface 110a. This is different from the optical connecting component 100A shown in FIGS. 4 (A) and 4 (B).

このような光接続部品１００Ｅによっても、上記光接続部品１００Ｄ（図１７）と同様に、コア端面１１１ａに入射して空隙１３０側に漏れ、反射面１２０ａで反射された光が、凹状の反射面１２０ａによる集光効果により、コア１１１に再結合され易くなる。これにより、漏れ光による伝送損失を効果的に抑えることが可能になる。   Also with such an optical connecting component 100E, similarly to the optical connecting component 100D (FIG. 17), the light incident on the core end surface 111a and leaking to the gap 130 side and reflected by the reflecting surface 120a is reflected into the concave reflecting surface. Due to the light condensing effect of 120a, it is easy to be recombined with the core 111. This makes it possible to effectively suppress transmission loss due to leaked light.

更に、光接続部品１００Ｅでは、反射部材１２０を、その当接部１２２が光導波路端面１１０ａ（コア１１１外のクラッド１１２の部位）に当接するように配置することで、所定の幅の空隙１３０を精度良く設けることが可能になる。   Further, in the optical connecting component 100E, the reflecting member 120 is disposed so that the contact portion 122 contacts the optical waveguide end face 110a (the portion of the clad 112 outside the core 111), so that the gap 130 having a predetermined width is formed. It can be provided with high accuracy.

尚、光接続部品１００Ｄ（図１７）及び光接続部品１００Ｅ（図１８）において、凹状に湾曲した反射面１２０ａは、コア１１１群の各々に対応して半球状に設けたり、コア１１１群に跨って断面円弧状に設けたりすることができる。   In the optical connecting component 100D (FIG. 17) and the optical connecting component 100E (FIG. 18), the reflecting surface 120a curved in a concave shape is provided in a hemispherical shape corresponding to each of the core 111 groups, or straddles the core 111 groups. Can be provided in a circular arc shape.

次に、第７の実施の形態について説明する。
図１９は第７の実施の形態に係る光接続部品の第１の構成例を示す図である。図１９には、光接続部品の一例の要部斜視分解模式図を示している。 Next, a seventh embodiment will be described.
FIG. 19 is a diagram illustrating a first configuration example of the optical connection component according to the seventh embodiment. FIG. 19 shows a perspective exploded schematic view of an example of an optical connection component.

図１９に示す光接続部品１００Ｆは、反射部材１２０に、光接続部品１００Ｆの上方に配置する光学部品を位置合わせするためのマーク１２３が設けられている点で、上記図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示した光接続部品１００Ａと相違する。   The optical connecting component 100F shown in FIG. 19 is provided with the mark 123 for aligning the optical component arranged above the optical connecting component 100F on the reflecting member 120, as shown in FIG. This is different from the optical connection component 100A shown in FIG.

光接続部品１００Ｆの上方には、このようなマーク１２３が位置合わせの基準として用いられ、フリップチップボンダやマウンタ等の部品実装装置による、ＶＣＳＥＬやレンズ等の光学部品の配置が行われる。光学部品を配置する際のマーク１２３の検出は、カメラ等の撮像装置で取得される画像を利用した画像認識による検出技術、照射光の反射又は透過を利用した検出技術等を用いて行われる。用いる検出技術に応じ、マーク１２３を凹部で形成したり金属膜で形成したりする等、マーク１２３の形態が設定される。マーク１２３の位置は、傾斜した光導波路端面１１０ａに対して配置すべき光学部品の位置、その位置ずれトレランスの範囲、光導波路端面１１０ａと反射面１２０ａとの間に設ける空隙１３０の幅等に基づいて設定される。   Above the optical connection component 100F, such a mark 123 is used as a reference for alignment, and an optical component such as a VCSEL or a lens is arranged by a component mounting apparatus such as a flip chip bonder or a mounter. The mark 123 when the optical component is arranged is detected using a detection technique based on image recognition using an image acquired by an imaging device such as a camera, a detection technique using reflection or transmission of irradiation light, and the like. Depending on the detection technique to be used, the form of the mark 123 is set such that the mark 123 is formed of a concave portion or a metal film. The position of the mark 123 is based on the position of the optical component to be arranged with respect to the inclined optical waveguide end surface 110a, the range of the positional deviation tolerance, the width of the gap 130 provided between the optical waveguide end surface 110a and the reflecting surface 120a, and the like. Is set.

光接続部品１００Ｆのように、光学部品を配置する際に検出可能なマーク１２３を反射部材１２０に設けておくことで、コア端面１１１ａに対して光学部品を精度良く配置することが可能になる。これにより、光学部品からコア端面１１１ａに、全反射条件を満たすように効果的に光を入射することが可能になり、コア端面１１１ａでの光漏れを抑えて光路を変換し、伝送損失を抑えることが可能になる。また、光接続部品１００Ｆでは、コア端面１１１ａで光漏れが生じたとしても、反射面１２０ａによる反射により、漏れ光を変換後の光路側に戻すことが可能である。   By providing the reflecting member 120 with a mark 123 that can be detected when an optical component is placed, like the optical connection component 100F, the optical component can be placed with high accuracy with respect to the core end surface 111a. As a result, light can be effectively incident on the core end surface 111a from the optical component so as to satisfy the total reflection condition, light leakage at the core end surface 111a is suppressed, the optical path is converted, and transmission loss is suppressed. It becomes possible. Further, in the optical connection component 100F, even if light leakage occurs on the core end surface 111a, the leakage light can be returned to the converted optical path side by reflection by the reflection surface 120a.

図２０は第７の実施の形態に係る光接続部品の第２の構成例を示す図である。図２０には、光接続部品の一例の要部斜視分解模式図を示している。
図２０に示す光接続部品１００Ｇは、光導波路１１０のクラッド１１２、ここでは一例としてクラッド層１１２ｃに、光学部品を位置合わせするためのマーク１２３が設けられている点で、上記図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示した光接続部品１００Ａと相違する。 FIG. 20 is a diagram illustrating a second configuration example of the optical connection component according to the seventh embodiment. FIG. 20 shows a perspective exploded schematic view of an example of an optical connection component.
The optical connection component 100G shown in FIG. 20 is provided with the mark 123 for aligning the optical component on the clad 112 of the optical waveguide 110, here, as an example, the clad layer 112c. And, it is different from the optical connection component 100A shown in FIG.

このような光接続部品１００Ｇによっても、上記光接続部品１００Ｆ（図１９）と同様に、コア端面１１１ａに対して光学部品を精度良く配置することが可能になる。これにより、コア端面１１１ａでの光漏れを抑えて光路を変換し、伝送損失を抑えることが可能になる。また、光接続部品１００Ｇでも、コア端面１１１ａでの漏れ光は、反射面１２０ａによる反射により、変換後の光路側に戻すことが可能である。   Also with such an optical connecting component 100G, it is possible to accurately arrange the optical component with respect to the core end surface 111a, similarly to the optical connecting component 100F (FIG. 19). As a result, light leakage at the core end surface 111a can be suppressed, the optical path can be converted, and transmission loss can be suppressed. Further, also in the optical connecting component 100G, the leakage light at the core end surface 111a can be returned to the converted optical path side by reflection by the reflection surface 120a.

光接続部品１００Ｇにおいて、マーク１２３は、クラッド層１１２ｃに限らず、クラッド層１１２ａ又はクラッド層１１２ｂに設けることもできる。
また、この第７の実施の形態で述べたようなマーク１２３は、上記の光接続部品１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｄ，１００Ｅにおける反射部材１２０やクラッド１１２にも、同様に採用することができる。 In the optical connection component 100G, the mark 123 is not limited to the clad layer 112c but can be provided on the clad layer 112a or the clad layer 112b.
In addition, the mark 123 as described in the seventh embodiment can be similarly used for the reflection member 120 and the clad 112 in the optical connection components 100B, 100C, 100D, and 100E.

尚、以上の説明では、主に、樹脂を用いたコア及びクラッドを含む光導波路を例示したが、上記手法は、無機系の材料を用いた光導波路、例えば光ファイバにも、同様に採用することができる。例えば光ファイバに傾斜したコア端面を設け、そのコア端面に、空隙を介して金属等の反射面を対向させて配置する。このような構成によっても、光ファイバのコア端面での光路変換時に空隙側に漏れる光によって生じる伝送損失を抑えることができる。   In the above description, an optical waveguide including a core and a clad using a resin is mainly exemplified. However, the above method is similarly applied to an optical waveguide using an inorganic material, for example, an optical fiber. be able to. For example, an inclined core end surface is provided in the optical fiber, and a metal or other reflective surface is disposed opposite to the core end surface via a gap. Even with such a configuration, it is possible to suppress transmission loss caused by light leaking to the gap side at the time of optical path conversion at the core end face of the optical fiber.

また、以上説明したような光接続部品を用いた光モジュールは、光通信ネットワーク、光インターコネクションの分野における、機器間、機器内、装置間、装置内、部品間、部品内の光接続に利用することができる。光接続部品を用いた光モジュールを搭載する、ＡＯＣ（Active Optical Cable）や回路基板といった部品、そのような部品を用いた装置、更にそのような部品や装置を用いたコンピュータ（サーバ、スーパーコンピュータ、パーソナルコンピュータ等）といった機器等、各種部品、装置、機器が実現される。   In addition, optical modules using optical connection components as described above are used for optical connections between devices, within devices, between devices, within devices, between components, and within components in the fields of optical communication networks and optical interconnections. can do. Components such as AOC (Active Optical Cable) and circuit boards on which optical modules using optical connection components are mounted, devices using such components, and computers using such components and devices (servers, supercomputers, Various parts, devices, and devices such as devices such as personal computers are realized.

図２１は光モジュールの適用を模式的に示す図である。
図２１に示すように、光接続部品、一例として上記第２の実施の形態で述べたような光接続部品１００Ａを用いた光モジュール２００が、前述のような各種部品、装置又は機器３００に実装又は内蔵されて搭載される。 FIG. 21 is a diagram schematically showing application of the optical module.
As shown in FIG. 21, the optical module 200 using the optical connection component, for example, the optical connection component 100A as described in the second embodiment is mounted on the various components, apparatus, or device 300 as described above. Or it is installed and installed.

光モジュール２００では、光接続部品１００Ａのコア端面１１１ａに、光学部品１５０ａ又は光学部品１５０ｂから入射する光が全反射条件を満たす場合には、全反射により光路が変換される。全反射条件を満たさない場合には、それによって空隙１３０側に漏れた光が反射面１２０ａで反射され、コア端面１１１ａによる変換後の光路側に戻される。これにより、コア端面１１１ａでの光路変換を含む光伝送の、光の伝送損失が抑えられる。部品、装置又は機器３００に、このような光モジュール２００が搭載されることで、伝送損失を抑え、品質や精度に優れた光伝送が実現される。   In the optical module 200, when light incident from the optical component 150a or the optical component 150b on the core end surface 111a of the optical connecting component 100A satisfies the total reflection condition, the optical path is converted by total reflection. When the total reflection condition is not satisfied, the light leaked to the gap 130 side is reflected by the reflection surface 120a and returned to the optical path side after conversion by the core end surface 111a. Thereby, the optical transmission loss of the optical transmission including the optical path conversion at the core end surface 111a is suppressed. By mounting such an optical module 200 on a component, apparatus, or device 300, transmission loss is suppressed, and optical transmission with excellent quality and accuracy is realized.

１，１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｄ，１００Ｅ，１００Ｆ，１００Ｇ 光接続部品
１０，１１０ 光導波路
１０ａ，１０ｂ，１１０ａ，１１０ｂ 光導波路端面
１１，１１１ コア
１１ａ，１１１ａ コア端面
１２，１１２ クラッド
２０，１２０ 反射部材
２０ａ，１２０ａ 反射面
３０，１３０ 空隙
５０，１５０ａ，１５０ｂ 光学部品
１１２ａ，１１２ｂ，１１２ｃ クラッド層
１１３Ａ，１１３Ｂ 光導波路構造
１１４Ａ，１１４Ｂ，１１４Ｃ 溝
１２１ 基材
１２１ａ 傾斜端面
１２２ 当接部
１２３ マーク
１４０ 基板
１５１ ＶＣＳＥＬ
１５２ 光ファイバ
１５３，１５４ レンズ
２００，２００Ａ，２００Ｂ，２００Ｃ 光モジュール
３００ 部品、装置又は機器 1,100A, 100B, 100C, 100D, 100E, 100F, 100G Optical connection parts 10, 110 Optical waveguide 10a, 10b, 110a, 110b Optical waveguide end face 11, 111 Core 11a, 111a Core end face 12, 112 Cladding 20, 120 Reflection Member 20a, 120a Reflective surface 30, 130 Air gap 50, 150a, 150b Optical component 112a, 112b, 112c Clad layer 113A, 113B Optical waveguide structure 114A, 114B, 114C Groove 121 Base 121a Inclined end surface 122 Contact portion 123 Mark 140 Substrate 151 VCSEL
152 Optical fiber 153, 154 Lens 200, 200A, 200B, 200C Optical module 300 Parts, apparatus or equipment

１つの態様では、光接続部品は、コアとクラッドとを有し、前記コア内を伝播する光の伝播方向に対して傾斜した端面を有する光導波路と、前記端面に離間して対向する反射面を有する反射部材とを含み、前記端面に入射する光は、前記端面の両側に存在する相異なる媒体の屈折率の差による前記端面での反射光及び前記反射面での反射光により光路変換される。
また、１つの態様では、光モジュールは、コアとクラッドとを有し、前記コア内を伝播する光の伝播方向に対して傾斜した端面を有する光導波路と、前記端面に離間して対向する反射面を有する反射部材とを含み、前記端面に入射する光は、前記端面の両側に存在する相異なる媒体の屈折率の差による前記端面での反射光及び前記反射面での反射光により光路変換される光接続部品と、前記光接続部品と光学的に接続される光学部品とを備える。 In one aspect, the optical connecting component includes a core and a clad , an optical waveguide having an end surface inclined with respect to a propagation direction of light propagating in the core, and a reflecting surface that is spaced apart from and opposed to the end surface look including a reflecting member having a light incident on the end face, the optical path conversion by the light reflected by the reflection light and the reflecting surface at the end face due to the difference in refractive index of different media existing on both sides of the end face Is done .
In one aspect, the optical module includes a core and a clad, and an optical waveguide having an end face inclined with respect to a propagation direction of light propagating in the core, and a reflection facing the end face at a distance. look including a reflection member having a surface, light incident on the end face, the optical path by the reflection light of the reflected light and the reflecting surface at the end face due to the difference in refractive index of different media existing on both sides of the end face An optical connection component to be converted; and an optical component optically connected to the optical connection component.

Claims (10)

光の伝播方向に対して傾斜した端面を有する光導波路と、
前記端面に離間して対向する反射面を有する反射部材と
を含むことを特徴とする光接続部品。 An optical waveguide having an end face inclined with respect to the light propagation direction;
And a reflecting member having a reflecting surface spaced apart from and facing the end surface. 前記端面は、前記反射面側とは反対の側から入射する光を反射して光路を変換し、
前記反射面は、前記端面に入射して前記反射面側に漏れた光を、前記端面による変換後の光路側に反射することを特徴とする請求項１に記載の光接続部品。 The end surface reflects light incident from the side opposite to the reflecting surface side to change the optical path,
The optical connection component according to claim 1, wherein the reflection surface reflects light incident on the end surface and leaking to the reflection surface side to an optical path side after conversion by the end surface. 前記端面と前記反射面との間に、前記光導波路のクラッドの屈折率よりも低い屈折率の媒体を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の光接続部品。   3. The optical connecting component according to claim 1, wherein a medium having a refractive index lower than a refractive index of a clad of the optical waveguide is provided between the end face and the reflecting face. 前記端面と前記反射面との間は、空隙であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の光接続部品。   The optical connection component according to claim 1, wherein a gap is provided between the end surface and the reflection surface. 前記反射面に金属が用いられることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の光接続部品。   The optical connection component according to claim 1, wherein a metal is used for the reflection surface. 前記端面と前記反射面とが平行であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の光接続部品。   The optical connection component according to claim 1, wherein the end surface and the reflection surface are parallel to each other. 前記反射面は、前記空隙側が凹状に湾曲することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の光接続部品。   The optical connection component according to claim 1, wherein the reflective surface is curved in a concave shape on the gap side. 前記反射部材は、前記光導波路のコア外に当接する部位を有することを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の光接続部品。   The optical connection component according to claim 1, wherein the reflection member has a portion that contacts the outside of the core of the optical waveguide. 前記反射部材、又は前記光導波路のクラッドに、前記光導波路と光学的に接続される光学部品の位置を規定するマークが設けられることを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の光接続部品。   9. The light according to claim 1, wherein a mark for defining a position of an optical component optically connected to the optical waveguide is provided on the reflecting member or the cladding of the optical waveguide. Connecting parts. 光の伝播方向に対して傾斜した端面を有する光導波路と、前記端面に離間して対向する反射面を有する反射部材とを含む光接続部品と、
前記光導波路と光学的に接続される光学部品と
を備えることを特徴とする光モジュール。 An optical connecting part including an optical waveguide having an end face inclined with respect to the propagation direction of light, and a reflecting member having a reflecting surface spaced apart from and facing the end face;
An optical module comprising: an optical component optically connected to the optical waveguide.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN114205990B (en) * 2020-09-17 2024-03-22 深南电路股份有限公司 Circuit board and preparation method thereof

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