JP2018043895A5 - - Google Patents

Description

２．二酸化ルテニウム粉末
本実施形態の二酸化ルテニウム粉末は、棒状の形状を有し、長軸方向に対して垂直な断面の最小径（短径ａ）が１００ｎｍ以下であり、長軸方向における最大径（長径ｂ）と、断面における最小径（短径ａ）との比（長径ｂ／短径ａ）が２以上である（図３参照）。上記のような形状を有する二酸化ルテニウムを厚膜抵抗体の導電粒子として用いた場合、従来の球状の二酸化ルテニウムを用いた厚膜抵抗体と比較して、電流雑音を低減することができる。これは、厚膜抵抗体に使用する導電粉末の形状を球状ではなく、棒状にすることにより、導電粉末同士の接触点が減り、厚膜抵抗体の電流雑音が低減されると考えられる。なお、長径ｂ／短径ａは、特に限定されないが、例えば、２５以下である。 2. Ruthenium dioxide powder The ruthenium dioxide powder of the present embodiment has a rod-like shape, the minimum diameter (minor axis a) of the cross section perpendicular to the major axis direction is 100 nm or less, and the maximum diameter (major axis) in the major axis direction The ratio (major axis b / minor axis a) between b) and the minimum diameter (minor axis a) in the cross section is 2 or more (see FIG. 3). When ruthenium dioxide having the above shape is used as the conductive particles of the thick film resistor, current noise can be reduced as compared with a thick film resistor using conventional spherical ruthenium dioxide. This is considered to be because the contact point between the conductive powders is reduced by reducing the shape of the conductive powder used for the thick film resistor to a rod shape instead of a spherical shape, and the current noise of the thick film resistor is reduced. The major axis b / minor axis a is not particularly limited, but is, for example, 25 or less.

［厚膜抵抗体の作製と評価］
以下、実施例７〜９及び比較例４〜６は、実施例１又は比較例１で製造した二酸化ルテニウム粉末を使用して厚膜抵抗体を作製し、その抵抗値と電流雑音を評価した。表２に、それぞれの実施例及び比較例の厚膜抵抗体ペーストの組成と厚膜抵抗体作製時の膜厚を示す。また、図５に測定した抵抗値と電流雑音の結果をまとめて示す。 [Production and evaluation of thick film resistors]
Hereinafter, in Examples 7 to 9 and Comparative Examples 4 to 6, a thick film resistor was produced using the ruthenium dioxide powder produced in Example 1 or Comparative Example 1, and the resistance value and current noise were evaluated. Table 2 shows the film thickness of the composition and thick film resistor during production of their respective examples and comparative examples of thick film resistor paste. FIG. 5 collectively shows the measured resistance values and current noise results.