JP2018016408A - 二重容器の破損検出装置及び破損検出方法、基板処理装置 - Google Patents
二重容器の破損検出装置及び破損検出方法、基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018016408A JP2018016408A JP2016150859A JP2016150859A JP2018016408A JP 2018016408 A JP2018016408 A JP 2018016408A JP 2016150859 A JP2016150859 A JP 2016150859A JP 2016150859 A JP2016150859 A JP 2016150859A JP 2018016408 A JP2018016408 A JP 2018016408A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- container
- pressure value
- double
- breakage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 76
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 38
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 11
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 claims description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 63
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 38
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 32
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 19
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 13
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 12
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000012993 chemical processing Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
Abstract
Description
本発明の第1の実施形態に係る二重管ヒーター(二重容器)の破損検出装置を図1乃至図4を参照して説明する。
次に、本発明の第2の実施形態に係る二重管ヒーターの破損検出装置について、破損検出装置の制御部による制御手順を示すフローチャートである図5を参照して説明する。第1の実施形態と相違する部分を中心に説明し、共通部分についての説明を適宜省略する。また、共通する構成部分の名称、符号は第1の実施形態と同一のものを使用する。
なお、警報Aの発生(S36)、警報Bの発生(S38)、及び警報A、Bの発生(S40)の行った後は破損検出を終了するが、これに限定するものではない。例えば、警報Aの発生(S36)の後、破損検出の工程(S31〜S35等)を繰り返し行ってもよい。このような処理手順は、制御部31が予め設定されたプログラムにより制御することができる。なお、圧力Px、Pyの計測において、所定値以上又は所定値以下であるか否かの判断では、所定値の範囲を破損検出の精度等の関係から適切な数値に設定する。
次に、図6を参照して第3の実施形態について説明する。図6は二重管ヒーターの破損検出装置の気体流路の経路を示す概略図である。本実施形態に係る破損検出装置は、第1の実施形態の破損検出装置に真空ポンプを追加した構成となっている。具体的には、第1の実施形態の加圧気体供給部25aを真空ポンプ30に換えたものである。真空ポンプの使用により排気による所定の圧力値設定を可能としたものである。第1の実施形態と相違する部分を中心に説明し、共通部分についての説明を適宜省略する。また、共通する構成部分の名称、符号は第1の実施形態と同一のものを使用する。
11、11a 破損検出装置
12 内管
13 外管
16 電熱線
17,17a 処理液
18 処理槽
20 キャップ
21a 外管気体導入部
21b 内管気体導入部
25a、25b、25c、25d 配管
26a、26b 加圧気体供給部
27a、27b 圧力センサ
28a、28b、28c、28d 電磁開閉弁
30 冷却部
31 制御部
32 記憶部
33 電磁開閉弁駆動回路
35 警報発生部
51 基板処理装置
Claims (15)
- 密閉された内容器と該内容器を収容する密閉された外容器とから成る二重容器の破損を検出する二重容器の破損検出装置であって、
前記外容器の内部の圧力を計測する第1の圧力計測部と、
前記外容器の内部を第1の圧力値に調整する第1の圧力調整部と、
前記内容器の内部の圧力を計測する第2の圧力計測部と、
前記内容器の内部を第1の圧力値と異なる第2の圧力値に調整する第2の圧力調整部と、
を有する二重容器の破損検出装置。 - 第1の圧力計測部及び第2の圧力計測部により計測された圧力値を取得する圧力値取得手段と、
該圧力値取得手段により取得された前記圧力値に基づいた所定の判定をする圧力値判定手段と、を有し、
該圧力値判定手段は、第1の圧力計測部により計測された圧力値及び第2の圧力計測部により計測された圧力値のいずれか一方に所定値以上の変動があったときに前記内容器が破損と判定する請求項1に記載の二重容器の破損検出装置。 - 第2の圧力値が第1の圧力値よりも高い圧力値に調整された時に、
前記圧力値判定手段は、第1の圧力計測部により計測された圧力値が所定値以上の上昇又は第2の計測部により計測された圧力値が所定値以上の低下があったときに前記内容器が破損と判定する請求項2に記載の二重容器の破損検出装置。 - 前記圧力値判定手段は、第2の圧力計測部により計測された圧力値が所定値以上の低下があったときに前記外容器が破損と判定する請求項3に記載の二重容器の破損検出装置。
- 前記圧力値判定手段は、第1の圧力計測部により計測された圧力値が所定値以上の低下及び第2の計測部により計測された圧力値が所定値以上の低下があったときに前記内容器及び外容器の双方が破損と判定する請求項3又は4に記載の二重容器の破損検出装置。
- 前記圧力値判定手段による判定結果に応じて所定の警報を警報発生部により発生させる警報発生制御手段と、を有する請求項2乃至5のいずれかに記載の二重容器の破損検出装置。
- 前記外容器と第1の圧力調整部との間の第1の配管を開閉する第1の開閉部と、
前記内容器と第2の圧力調整部との間の第2の配管を開閉する第2の開閉部と、
第1の開閉部と第2の開閉部開閉を制御する開閉制御部と、を有し、
前記開閉制御部は、第1の圧力調整部により前記外容器の内部が第1の圧力値に調整された後に、第1の開閉部により第1の配管を閉じ、第2の圧力調整部により前記内容器の内部が第2の圧力値に調整された後に、第2の開閉部により第2の配管を閉じる請求項1乃至6のいずれかに記載の二重容器の破損検出装置。 - 前記二重容器は、前記内容器が管状の内管と、前記外容器が管状の外管とから成る二重管である請求項1乃至4のいずれかに記載の二重容器の破損検出装置。
- 密閉された内容器と該内容器を収容する密閉された外容器とから成る二重容器の破損を検出する二重容器の破損検出装置であって、
前記外容器の内部の圧力を計測する第1の圧力計測部と、
前記外容器の内部を第1の圧力値に設定する第1の圧力設定部と、
前記内容器の内部の圧力を計測する第2の圧力計測部と、
前記内容器の内部を第1の圧力値と異なる第2の圧力値に設定する第2の圧力設定部と、
を有する二重容器の破損検出装置。 - 密閉された内容器と該内容器を収容する密閉された外容器とから成る二重容器の破損を検出する二重容器の破損検出方法であって、
前記外容器の内部の圧力を第1の圧力値に、前記内容器の内部の圧力を第1の圧力値と異なる第2の圧力値に調整する圧力調整ステップと、
前記外容器の内部の圧力と、前記内容器の内部の圧力とを計測する圧力計測ステップとを有する二重容器の破損検出方法。 - 前記圧力計測ステップにより計測された圧力値を取得する圧力値取得ステップと、
該圧力値取得ステップにより取得された前記圧力値に基づいた所定の判定をする圧力値判定ステップと、を有し、
該圧力値判定ステップは、取得した外容器の内部の圧力値及び内容器の内部の圧力値のいずれか一方に所定値以上の変動があったときに前記内容器が破損と判定する請求項10に記載の二重容器の破損検出方法。 - 第2の圧力値が第1の圧力値よりも高い圧力値に調整された時に、
前記圧力値判定ステップは、取得した外容器の内部の圧力値が所定値以上の上昇又は内容器の内部の圧力値が所定値以上の低下があったときに前記内容器が破損と判定する請求項11に記載の二重容器の破損検出方法。 - 前記圧力値判定ステップは、取得した外容器の内部の圧力値が所定値以上の低下があったときに前記外容器が破損と判定する請求項12に記載の二重容器の破損検出方法。
- 前記圧力値判定ステップは、取得した外容器の内部の圧力値が所定値以上の低下及び内容器の内部の圧力値が所定値以上の低下があったときに前記内容器及び外容器の双方が破損と判定する請求項12又は13に記載の二重容器の破損検出方法。
- 請求項1乃至9のいずれかに記載の二重容器の破損検出装置を備えた基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016150859A JP6734724B2 (ja) | 2016-07-29 | 2016-07-29 | 二重容器の破損検出装置及び破損検出方法、基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016150859A JP6734724B2 (ja) | 2016-07-29 | 2016-07-29 | 二重容器の破損検出装置及び破損検出方法、基板処理装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018016408A true JP2018016408A (ja) | 2018-02-01 |
JP2018016408A5 JP2018016408A5 (ja) | 2019-09-05 |
JP6734724B2 JP6734724B2 (ja) | 2020-08-05 |
Family
ID=61075779
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016150859A Active JP6734724B2 (ja) | 2016-07-29 | 2016-07-29 | 二重容器の破損検出装置及び破損検出方法、基板処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6734724B2 (ja) |
-
2016
- 2016-07-29 JP JP2016150859A patent/JP6734724B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6734724B2 (ja) | 2020-08-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI500876B (zh) | 氣體減壓供應裝置、具備其之壓缸櫃、閥箱及基板處理裝置,以及氣體減壓供應方法 | |
JP6839624B2 (ja) | 被処理体の処理装置、及び、処理装置の検査方法 | |
JP2009054094A (ja) | 流量検定システム及び流量検定方法 | |
JP2011089620A (ja) | ガス充填装置 | |
KR102523119B1 (ko) | 가스 공급계를 검사하는 방법 | |
WO2018181105A1 (ja) | ヒータ管の気体リーク検出装置及びヒータ管の気体リーク検出方法 | |
WO2017010075A1 (ja) | 液化水素用二重管の寿命判定方法及び寿命判定装置 | |
RU2007143635A (ru) | Устройство для центровки и зажима трубчатых изделий, содержащее средства регулирования расхода газа для контроля за содержанием кислорода | |
JP2018016408A (ja) | 二重容器の破損検出装置及び破損検出方法、基板処理装置 | |
US10274972B2 (en) | Method of inspecting gas supply system | |
JP2016205831A (ja) | 流体漏洩検知システム及び流体処理装置 | |
TWI701428B (zh) | 測漏裝置及測漏方法 | |
JP2018016408A5 (ja) | ||
JP2012002507A (ja) | 管の欠陥検査装置および検査方法 | |
JP2018125466A (ja) | オゾンガス加温機構、基板処理装置及び基板処理方法 | |
JP6642958B2 (ja) | 熱交換システムおよび熱交換器の洗浄方法 | |
US20070181147A1 (en) | Processing-fluid flow measuring method | |
JP5733265B2 (ja) | ガス充填装置、ガスタンク検査装置及びガスタンク検査方法 | |
JP2013187323A (ja) | 評価装置及びコンピュータプログラム | |
JP2009168612A (ja) | 水素量測定装置 | |
KR101401495B1 (ko) | 특수 가스 누설 확인을 위한 고진공 시스템 | |
JP6685247B2 (ja) | ガス監視装置付き油入変圧器 | |
WO2017061334A1 (ja) | 気相成長装置および異常検出方法 | |
JP4186763B2 (ja) | プロセスチューブのリーク検査方法 | |
JP2009242891A (ja) | 真空装置、そのリーク判定方法およびコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190726 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190726 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200619 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200707 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200710 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6734724 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |