JP2017223466A - 粒径測定システムおよび粒径測定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
請求項2に係る発明は、請求項1に記載の粒径測定システムについて、前記比例定数kは、前記被検体の微粒子について、予め設定されることを特徴とする。
本発明の実施の形態について述べる前に、本発明の概要について説明する。
(S(θ))2 ={(2πr/λ)×(1+Cosθ/2)×(J1(2πr/λ)Sinθ)/Sinθ} … 式(1)
なお、J1は1次のベッセル関数である。
2個の回折光リングR1、R2は同一微粒子から生じているので、上記式によって得られた微粒子半径は、両者で一致していなければならないが、もし両者が一致していない場合には、微粒子粒径の正しい測定が行われていないことを意味する。
r=√(k/i) …式(4)
を導き出し、本発明に係る粒径測定システムS1および粒径測定方法を完成するに至った。
図1および図2を参照して、実施の形態に係る粒径測定システムS1の構成例について説明する。
r=√(k/i)
により微粒子300の半径rを算出すると共に、この半径rに基いて粒径を2rと算出するようになっている。
比例定数kは、図10〜図16に示す粒径測定システムS100を用いて決定される。
一番内側の回折円の場合、粒子半径rは、r=(5.136/2π)λ×(1/Sinθ)の関係にあることが分かっている。したがって、光源(例えば、半導体レーザ)2の波長は予め分かっているので、上述のようにして回折角(θ)を求めることにより、粒子半径rを算出することができる。
図13(a)は、微粒子(水微粒子)が無い状態の画像D1(図示せず)と微粒子(水微粒子)が有る状態の画像D2(図示せず)の差分を示す画像D3、図13(b)はそのRGBの分布を示すグラフである。即ち、水微粒子を含む回折像(画像D2)から水微粒子がない回折像(画像D1)を減算したイベント相関技術を採用した画像が図14(a)に示す画像D3である。
なお、図15における1Radius:6.49μmは、円L50が半径6.5μmに相当することを示し、2Radius:6.55μmは内側から2番目は回折円から計算される半径を示す。また、Average Intensity:24.70は円L50上の光の強度が24.70(任意単位)であることを示す。
r=(5.136/2π)λ×(1/Sinθ1) で求めることができる。
r=(8.417/2π)λ×(1/Sinθ2) で求めることができる。
なお、噴霧手段500による微粒子供給量を変更した場合、レーザL1の光出力強度を変更した場合、カメラCの光に対する感度を変更した場合、微粒子の噴霧位置からレンズまでの距離を変更した場合等には、再度、粒径測定システムS100による測定を実施して、比例定数kを求めなおす必要がある。
特に、本実施の形態に係る粒径測定システムS1によれば、演算量を比較的少なく抑えることができるので演算処理が速く進められる。このため微粒子粒径の毎秒あたり算出回数・表示回数をデジタルカメラCによる撮影画像のフレームレート30fpsに追随させることができる。
したがって、粒径測定システムS100のように、外部のパーソナルコンピュータ(PC)210等を用いることなく、デジタルカメラCが備えるマイクロコンピュータ(CPU等)によって、必要十分な速度で粒子半径rを演算することが可能となる。
図9のフローチャートを参照して、本実施の形態に係る粒径測定システムS1で実施される粒子測定処理の処理手順について説明する。
C…デジタルカメラ
2…光源(レーザ光源)
4…撮影手段
5…画像処理手段
6…粒径算出手段
11…モニタ
51…画像相関解析手段
52…全回折光強度計測手段
500…噴霧手段
A1、300…微粒子
L1、L2…コヒーレント光(レーザ光)
Claims (4)
- 被検体の微粒子の粒径を測定する粒径測定システムであって、
コヒーレント光を出射する光源と、
微粒子を導入する前の前記コヒーレント光および導入された微粒子により前記コヒーレント光に生じた回折・散乱光を直接的に撮影する撮影手段と、
前記撮影手段で撮影された前記コヒーレント光および回折・散乱光パターンの画像データを画像処理する画像処理手段と、
前記画像処理手段による画像処理結果に基いて前記微粒子の粒径を算出する粒径算出手段と
を備え、
前記画像処理手段は、
前記微粒子が無い場合と、有る場合の2以上の前記画像データの相関状態を解析する画像相関解析手段と、
全回折光の強度を積算して全回折光強度の総量を計測する全回折光強度計測手段と、
を有し、
前記粒径算出手段は、
導入される前記微粒子の供給量が一定の条件において、全回折光強度の総量をi、微粒子半径をr、比例定数をkとした場合に、次式
r=√(k/i)
により前記微粒子の半径を算出すると共に、この半径に基いて粒径を算出することを特徴とする粒径測定システム。 - 前記比例定数kは、前記被検体の微粒子について、予め設定されることを特徴とする請求項1に記載の粒径測定システム。
- 前記光源は半導体レーザで構成され、前記撮影手段はデジタルカメラが備える撮像素子で構成されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の粒径測定システム。
- 被検体の微粒子の粒径を測定する粒径測定方法であって、
微粒子を導入する前のコヒーレント光および自然導入された微粒子によりコヒーレント光に生じた回折・散乱光を直接的に撮影する撮影過程と、
撮影された前記コヒーレント光および回折・散乱光パターンの画像データを画像処理する画像処理過程と、
画像処理結果に基いて前記微粒子の粒径を算出する粒径算出過程と、
を有し、
前記画像処理過程は、
前記微粒子が無い場合と、有る場合の2以上の前記画像データの相関状態を解析する画像相関解析過程と、
全回折光の強度を積算して全回折光強度の総量を計測する全回折光強度計測過程と、
を有し、
前記粒径算出過程は、
導入される前記微粒子の供給量が一定の条件において、全回折光強度の総量をi、微粒子半径をr、比例定数をkとした場合に、次式
r=√(k/i)
により前記微粒子の半径を算出する処理を行うことを特徴とする粒径測定方法。
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Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4329053A (en) * | 1975-02-26 | 1982-05-11 | Nasa | Frequency-scanning particle size spectrometer |
JPH08178825A (ja) * | 1994-12-27 | 1996-07-12 | Shimadzu Corp | 粒度分布測定装置 |
JPH10145940A (ja) * | 1996-11-06 | 1998-05-29 | Chino Corp | データ伝送装置用箱体 |
JP2010101165A (ja) * | 2010-02-08 | 2010-05-06 | Inax Corp | 型紙及び便器施工方法 |
JP2013167588A (ja) * | 2012-02-16 | 2013-08-29 | Horiba Ltd | 粒子分析装置 |
JP2015045633A (ja) * | 2013-07-29 | 2015-03-12 | 学校法人 東洋大学 | 粒径測定装置および粒径測定方法 |
JP2016205891A (ja) * | 2015-04-17 | 2016-12-08 | 学校法人 東洋大学 | 粒径測定システムおよび粒径測定方法 |
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4329053A (en) * | 1975-02-26 | 1982-05-11 | Nasa | Frequency-scanning particle size spectrometer |
JPH08178825A (ja) * | 1994-12-27 | 1996-07-12 | Shimadzu Corp | 粒度分布測定装置 |
JPH10145940A (ja) * | 1996-11-06 | 1998-05-29 | Chino Corp | データ伝送装置用箱体 |
JP2010101165A (ja) * | 2010-02-08 | 2010-05-06 | Inax Corp | 型紙及び便器施工方法 |
JP2013167588A (ja) * | 2012-02-16 | 2013-08-29 | Horiba Ltd | 粒子分析装置 |
JP2015045633A (ja) * | 2013-07-29 | 2015-03-12 | 学校法人 東洋大学 | 粒径測定装置および粒径測定方法 |
JP2016205891A (ja) * | 2015-04-17 | 2016-12-08 | 学校法人 東洋大学 | 粒径測定システムおよび粒径測定方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111678846A (zh) * | 2020-06-12 | 2020-09-18 | 中国人民解放军战略支援部队航天工程大学 | 基于米氏散射理论和夫琅禾费衍射理论二维喷雾场测量方法 |
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