JP2017217612A - Ink jet printer - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ink jet printer in which all the ink can circulate, which can move an ink jet head, and prevents the ink from being unstably discharged even when the ink jet head is moved.SOLUTION: A first pump 34 is provided on a first ink path 31 connecting a first discharge port 30t of a first tank 30 and a second injection port 32s of a second tank 32. A second pump 36 is provided on a second ink path 35 connecting an outlet 21b of an ink jet head 20 and a first injection port 32s of the first tank 30. The second discharge port 32t of the second tank 32 is connected to an inlet 21a of the ink jet head 20 directly or via a pipe. The second tank 32 is moved together with the ink jet head 20 with the relative position with the ink jet head 20 fixed.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、インクジェット印刷装置に関し、詳しくは、インクを循環させるインクジェット印刷装置に関する。   The present invention relates to an inkjet printing apparatus, and more particularly to an inkjet printing apparatus that circulates ink.

従来、インクジェットヘッドに供給するインクを循環させるように構成したインクジェット印刷装置が提案されている。   Conventionally, an ink jet printing apparatus configured to circulate ink supplied to an ink jet head has been proposed.

例えば、図16は、インクジェット印刷装置のインク循環機構の説明図である。図16に示すように、供給ポンプ135によって、着脱自在に構成されたインクタンク130から第1のタンク140に、インクが供給される。第1のタンク140のインクが、第1のポンプ162、第2のタンク150、インクジェットヘッド114、第2のポンプ161を経て、第1のタンク140に戻るように、インク経路が構成されている。第1のタンク140内のインクの液面の位置は、2組のセンサ142の上部フロートBHと下部フロートBLの位置によって検出される。第2のタンク150内のインクの液面の位置は、2組のフロート式のセンサ152の上部フロートSHと下部フロートSLの位置によって検出される。第1のタンク140と第2のタンク150には、大気連通口141,151が設けられている。インクジェットヘッド114は、筺体の内部に固定されており、筺体の内部を搬送され移動しているシート上にプリント処理を行う(例えば、特許文献1参照)。   For example, FIG. 16 is an explanatory diagram of an ink circulation mechanism of the ink jet printing apparatus. As shown in FIG. 16, the ink is supplied from the ink tank 130 detachably configured to the first tank 140 by the supply pump 135. The ink path is configured so that the ink in the first tank 140 returns to the first tank 140 via the first pump 162, the second tank 150, the inkjet head 114, and the second pump 161. . The position of the ink level in the first tank 140 is detected by the positions of the upper float BH and the lower float BL of the two sets of sensors 142. The position of the ink level in the second tank 150 is detected by the positions of the upper float SH and the lower float SL of the two sets of float type sensors 152. The first tank 140 and the second tank 150 are provided with air communication ports 141 and 151. The inkjet head 114 is fixed inside the housing, and performs a printing process on a sheet that is conveyed and moved inside the housing (see, for example, Patent Document 1).

特開2011−240628号公報JP 2011-240628 A

しかしながら、図16の構成には、次のような課題がある。   However, the configuration of FIG. 16 has the following problems.

第1の課題は、インクタンクと第1のタンクとの間でインクを循環することができないことである。インクの経路に滞留部が存在するので、粒子を含む顔料系インクを用いた場合、インクの粒子が沈降するという問題が発生する。   The first problem is that ink cannot be circulated between the ink tank and the first tank. Since there is a stagnant portion in the ink path, there is a problem that the ink particles settle when a pigment-based ink containing particles is used.

第2の課題は、インクジェットヘッドを動かさないため、印刷タクトが遅くなってしまうことである。インクジェットヘッドが動く分も、印刷ステージを動かさないといけなくなるので、印刷タクトが遅くなる。   The second problem is that the printing tact is delayed because the inkjet head is not moved. Since the ink jet head moves, the printing stage must be moved, so the printing tact time is delayed.

第3の課題は、インクジェットヘッドを動かすとインクの吐出が不安定になることである。インクジェットヘッドを動かす場合、第2のタンクは動かさず、インクジェットヘッドと第2のタンクの間を柔らかい配管でつなぐことが想定される。インクジェットヘッドを動かすと、インクジェットヘッドと第2のタンクとの間の配管が変形し、内部のインクに圧力がかかり、インクの吐出が不安定になる。第3の課題は、インクジェットヘッドを動かすように構成しようとして新たに発見された課題であり、課題自体が新しい。   The third problem is that ink ejection becomes unstable when the ink jet head is moved. When the inkjet head is moved, it is assumed that the second tank is not moved and the inkjet head and the second tank are connected by a soft pipe. When the inkjet head is moved, piping between the inkjet head and the second tank is deformed, pressure is applied to the ink inside, and ink ejection becomes unstable. The third problem is a problem that was newly discovered by trying to configure the inkjet head to move, and the problem itself is new.

第4の課題は、第2のタンクとインクジェットヘッドを一緒に動かすことが困難であることである。すなわち、第3の課題を解決するため、第2のタンクとインクジェットヘッドを一緒に動かそうとすると、第2のタンク内のインクが揺れて波打ち、インクの液面が水平な状態から乱れる場合がある。液面が乱れている状態ではセンサの検出値が変動し、この誤った検出値を基にインク循環の制御がされると、インクの吐出が不安定になる。また、第2のタンクは、インクジェットヘッドがいずれの位置にいる場合であっても、インクジェットヘッドのノズルからインクが垂れたりノズルに気体が流入したりすることのない位置に設けなければならない。この制約のため、第2のタンクとインクジェットヘッドを一緒に動かすことは困難になる。第4の課題は、第2のタンクとインクジェットヘッドを一緒に動かすように構成しようとして新たに発見された課題であり、課題自体が新しい。   The fourth problem is that it is difficult to move the second tank and the inkjet head together. That is, in order to solve the third problem, when the second tank and the ink jet head are moved together, the ink in the second tank may be shaken and waved, and the ink level may be disturbed from a horizontal state. is there. In a state where the liquid level is disturbed, the detection value of the sensor fluctuates, and if ink circulation is controlled based on this erroneous detection value, ink ejection becomes unstable. Further, the second tank must be provided at a position where ink does not drip from the nozzle of the inkjet head or gas does not flow into the nozzle, regardless of the position of the inkjet head. This restriction makes it difficult to move the second tank and the inkjet head together. The fourth problem is a problem newly discovered by trying to configure the second tank and the inkjet head to move together, and the problem itself is new.

第5の課題は、インクの供給や回収にポンプを使用した場合に、ポンプの脈動がインクジェットヘッドに伝わり、インクの吐出に悪影響が出ることである。第5の課題は、新たに発見された課題であり、課題自体が新しい。   A fifth problem is that when a pump is used for supplying and collecting ink, the pulsation of the pump is transmitted to the ink jet head, which adversely affects ink ejection. The fifth problem is a newly discovered problem, and the problem itself is new.

本発明は、かかる実情に鑑み、少なくとも第1乃至第3の課題を解決するため、すべてのインクが循環し、インクジェットヘッドを動かすことができ、インクジェットヘッドを動かしてもインクの吐出が不安定になりにくいインクジェット印刷装置を提供しようとするものである。   In order to solve at least the first to third problems, the present invention can solve at least the first to third problems, and can circulate all the ink and move the ink-jet head. Ink ejection becomes unstable even when the ink-jet head is moved. An object of the present invention is to provide an inkjet printing apparatus that is difficult to be formed.

本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成したインクジェット印刷装置
を提供する。
In order to solve the above problems, the present invention provides an ink jet printing apparatus configured as follows.

インクジェット印刷装置は、(a)インクの入口及び出口を有し、印刷ステージと独立して移動するインクジェットヘッドと、(b)第1の注入口及び第1の排出口を有する第1のタンクと、(c)柱状のタンクであって、軸方向一端が重力方向上側になり軸方向他端が重力方向下側になるように配置され、前記軸方向一端側に第2の注入口を有し、前記軸方向他端側に、前記インクジェットヘッドの前記入口に直接又は配管を介して接続された第2の排出口を有し、前記インクジェットヘッドとの相対位置を固定されて前記インクジェットヘッドと一緒に移動する第2のタンクと、(d)前記第2のタンク内の前記インクの液面を検出する液面センサと、(e)前記第1のタンクの前記第1の排出口と、前記第2のタンクの前記第2の注入口とを繋げる第1のインク経路と、(f)前記第1のインク経路に設けられ、前記インクを前記第1のタンクから前記第2のタンクに向けて流動させる第1のポンプと、(g)前記インクジェットヘッドの前記出口と前記第1のタンクの前記第1の注入口とを繋げる第2のインク経路と、(h)前記第2のインク経路に設けられ、前記インクを前記インクジェットヘッドから前記第1のタンクに向けて流動させる第2のポンプと、を備える。   The inkjet printing apparatus includes (a) an inkjet head having an ink inlet and outlet and moving independently of the printing stage; and (b) a first tank having a first inlet and a first outlet. (C) A columnar tank, which is arranged such that one end in the axial direction is on the upper side in the gravitational direction and the other end in the axial direction is on the lower side in the gravitational direction, and has a second inlet on the one end side in the axial direction A second discharge port connected to the inlet of the inkjet head directly or via a pipe on the other end side in the axial direction, and the relative position with the inkjet head is fixed together with the inkjet head (D) a liquid level sensor that detects the liquid level of the ink in the second tank, (e) the first discharge port of the first tank, and Said second injection of a second tank (F) a first pump that is provided in the first ink path and flows the ink from the first tank toward the second tank; and (g) ) A second ink path connecting the outlet of the inkjet head and the first inlet of the first tank; and (h) provided in the second ink path, and the ink is removed from the inkjet head. And a second pump for flowing toward the first tank.

上記構成において、インクを、第1のタンク、第1のポンプ、第2のタンク、インクジェットヘッド、第2のポンプの順番に、循環させることができる。   In the above configuration, the ink can be circulated in the order of the first tank, the first pump, the second tank, the inkjet head, and the second pump.

上記構成によれば、すべてのインクが循環し、インクの経路に滞留部が存在しないように構成し、インク内の粒子の沈降を防ぐことができ、第1の課題が解消する。インクジェットヘッドは印刷ステージと独立して移動するため、インクジェットヘッドが固定され、印刷ステージだけが移動する場合に比べ、印刷タクトを速くすることができ、第2の課題が解消する。インクジェットヘッドと第2のタンクとは一緒に移動するので、第2のタンクの第2の排出口とインクジェットヘッドの入口とを繋ぐ配管の変形を防ぐことによって、又は、この配管自体をなくすことによって、インクジェットヘッドを動かしてもインクの吐出が不安定になりにくくすることができ、第3の課題が低減する。   According to the above configuration, all the ink circulates so that no staying portion exists in the ink path, so that the sedimentation of particles in the ink can be prevented, and the first problem is solved. Since the inkjet head moves independently of the printing stage, the printing tact can be made faster than when the inkjet head is fixed and only the printing stage moves, and the second problem is solved. Since the inkjet head and the second tank move together, by preventing deformation of the piping connecting the second discharge port of the second tank and the inlet of the inkjet head, or by eliminating this piping itself Even if the ink-jet head is moved, it is possible to make it difficult for ink ejection to become unstable, and the third problem is reduced.

好ましくは、インクジェット印刷装置は、(i)前記第2のタンク内において前記インクの前記液面に接している気体の圧力を検出する気圧センサと、(j)前記気体の前記圧力を調整する気圧調整部と、をさらに備える。   Preferably, the inkjet printing apparatus includes: (i) an atmospheric pressure sensor that detects a pressure of a gas that is in contact with the liquid surface of the ink in the second tank; and (j) an atmospheric pressure that adjusts the pressure of the gas. And an adjustment unit.

この場合、気圧センサと気圧調整部とを用いて、第2のタンク内の気体の圧力を、第2のタンク内のインクの液面とインクジェットヘッドとの高低差に応じて調整し、インクジェットヘッド内のインクの圧力を最適化できるため、第2のタンクの設置位置をより自由に設定することができる。その結果、第2のタンクとインクジェットヘッドを一緒に動かすことが容易になり、第4の課題が解消する。   In this case, the pressure of the gas in the second tank is adjusted according to the height difference between the liquid level of the ink in the second tank and the inkjet head using the atmospheric pressure sensor and the atmospheric pressure adjustment unit, and the inkjet head Since the pressure of the ink inside can be optimized, the installation position of the second tank can be set more freely. As a result, it becomes easy to move the second tank and the inkjet head together, and the fourth problem is solved.

好ましくは、前記液面センサが静電容量式のセンサである。   Preferably, the liquid level sensor is a capacitance type sensor.

この場合、インクジェットヘッドの移動に伴って第2のタンク内のインクの液面が揺れたり波打ったりしたとき、フロート式のセンサに比べ、液面センサの検出値の乱れを生じにくい。その結果、第2のタンクとインクジェットヘッドを一緒に動かすことが容易になり、第4の課題が解消する。   In this case, when the ink level in the second tank is shaken or waved with the movement of the ink jet head, the detection value of the level sensor is less likely to be disturbed than the float type sensor. As a result, it becomes easy to move the second tank and the inkjet head together, and the fourth problem is solved.

好ましくは、前記第2のインク経路のうち、前記インクジェットヘッドの前記出口と前記第2のポンプとの間に、前記インクの脈動を減衰する減衰部が設けられている。   Preferably, an attenuation portion that attenuates the pulsation of the ink is provided between the outlet of the inkjet head and the second pump in the second ink path.

この場合、第2のポンプによりインクジェットヘッドに伝わる脈動を低減できる。その結果、インクの供給や回収にポンプを使用した場合に、ポンプの脈動がインクジェットヘッドに伝わり、インクの吐出に悪影響が出る第5の課題が低減する。   In this case, the pulsation transmitted to the inkjet head by the second pump can be reduced. As a result, when a pump is used for ink supply and recovery, the pulsation of the pump is transmitted to the inkjet head, and the fifth problem that adversely affects ink ejection is reduced.

好ましくは、前記第2の注入口が、前記第2のタンク内の前記インクから離れるように構成されている。   Preferably, the second inlet is configured to be separated from the ink in the second tank.

この場合、第1のポンプによりインクジェットヘッドに伝わる脈動を低減することができる。その結果、インクの供給や回収にポンプを使用した場合に、ポンプの脈動がインクジェットヘッドに伝わり、インクの吐出に悪影響が出る第5の課題が低減する。   In this case, the pulsation transmitted to the inkjet head by the first pump can be reduced. As a result, when a pump is used for ink supply and recovery, the pulsation of the pump is transmitted to the inkjet head, and the fifth problem that adversely affects ink ejection is reduced.

好ましくは、インクジェット印刷装置は、(k)前記液面センサの出力に基づき、前記第1のポンプの流量を制御する制御部を、さらに備える。   Preferably, the inkjet printing apparatus further includes (k) a control unit that controls the flow rate of the first pump based on the output of the liquid level sensor.

この場合、第2のタンク内のインクの液面の位置が一定になるように、第1のポンプの流量を制御することによって、第2のタンク内のインクの液面の位置変化し、流量が変化することによって発生する脈動を、インクジェットヘッドにより伝えにくくすることができる。その結果、インクの供給や回収にポンプを使用した場合に、ポンプの脈動がインクジェットヘッドに伝わり、インクの吐出に悪影響が出る第5の課題が低減する。   In this case, the position of the ink liquid level in the second tank is changed by controlling the flow rate of the first pump so that the position of the ink liquid level in the second tank is constant. It is possible to make it difficult for the ink jet head to transmit the pulsation generated by the change of. As a result, when a pump is used for ink supply and recovery, the pulsation of the pump is transmitted to the inkjet head, and the fifth problem that adversely affects ink ejection is reduced.

具体的な一態様において、前記制御部は、(i)前記第2のタンク内の前記インクの前記液面が所定位置に達し又は前記所定位置を超えていることを前記液面センサが検出したとき、前記第1のポンプの流量が前記第2のポンプの流量と等しくなるように、前記第1のポンプの流量を制御する第1の手順と、(ii)前記第2のタンク内の前記インクの前記液面が前記所定位置に達し又は前記所定位置を超えていることを、前記液面センサが継続して第1の所定時間以上検出したとき、前記第1のポンプの流量がゼロになるように、前記第1のポンプの流量を制御する第2の手順と、(iii)前記第2のタンク内の前記インクの前記液面が前記所定位置に達していないことを、前記液面センサが継続して第2の所定時間以上検出したとき、前記第1のポンプの流量が前記第2のポンプの流量より多くなるように、前記第1のポンプの流量を制御する第3の手順と、を実行する。   In a specific aspect, the control unit detects (i) the liquid level sensor that the liquid level of the ink in the second tank reaches or exceeds the predetermined position. A first procedure for controlling the flow rate of the first pump so that the flow rate of the first pump is equal to the flow rate of the second pump, and (ii) the first tank in the second tank When the liquid level sensor continuously detects that the ink level reaches or exceeds the predetermined position for a first predetermined time or more, the flow rate of the first pump becomes zero. A second procedure for controlling the flow rate of the first pump, and (iii) the liquid level of the ink in the second tank has not reached the predetermined position. When the sensor continuously detects a second predetermined time or more, the first As the flow rate of the pump is greater than the flow rate of the second pump, it executes a third procedure for controlling the flow rate of the first pump.

また、本発明は、以下のように構成した印刷物を形成する方法を提供する。   The present invention also provides a method for forming a printed matter configured as follows.

印刷物を形成する方法は、(a)インクの入口及び出口を有し、印刷ステージと独立して移動するインクジェットヘッドと、(b)第1の注入口及び第1の排出口を有する第1のタンクと、(c)柱状のタンクであって、軸方向一端が重力方向上側になり軸方向他端が重力方向下側になるように配置され、前記軸方向一端側に第2の注入口を有し、前記軸方向他端側に、前記インクジェットヘッドの前記入口に直接又は配管を介して接続された第2の排出口を有し、前記インクジェットヘッドとの相対位置を固定されて前記インクジェットヘッドと一緒に移動する第2のタンクと、(d)前記第2のタンク内の前記インクの液面を検出する液面センサと、(e)前記第1のタンクの前記第1の排出口と、前記第2のタンクの前記第2の注入口とを繋げる第1のインク経路と、(f)前記第1のインク経路に設けられ、前記インクを前記第1のタンクから前記第2のタンクに向けて流動させる第1のポンプと、(g)前記インクジェットヘッドの前記出口と前記第1のタンクの前記第1の注入口とを繋げる第2のインク経路と、(h)前記第2のインク経路に設けられ、前記インクを前記インクジェットヘッドから前記第1のタンクに向けて流動させる第2のポンプと、を備えたインクジェット印刷装置を用いて、印刷物を形成する。印刷物を形成する方法は、(i)前記第1のタンク、前記第1のポンプ、前記第2のタンク、前記インクジェットヘッド、前記第2のポンプの順番に、前記インクを循環させる第1の工程と、(ii)前記第1の工程中に、前記印刷ステージ上で、前記インクジェットヘッドを移動させながら、前記インクジェットヘッドから前記インクを吐出することにより、前記印刷物を形成する第2の工程と、を備える。前記第1の工程において、前記第2のポンプの流量を一定にしながら、前記液面センサの出力に基づき、前記第1のポンプの流量を制御する。   A method for forming a printed matter includes: (a) an ink jet head having an ink inlet and outlet and moving independently of the printing stage; and (b) a first inlet having a first inlet and a first outlet. A tank, and (c) a columnar tank, which is arranged such that one end in the axial direction is on the upper side in the gravitational direction and the other end in the axial direction is on the lower side in the gravitational direction. And having a second discharge port connected to the inlet of the inkjet head directly or via a pipe on the other axial end side, the relative position with the inkjet head being fixed, and the inkjet head A second tank that moves together with the first tank, (d) a liquid level sensor that detects a liquid level of the ink in the second tank, and (e) the first discharge port of the first tank; The second inlet of the second tank (F) a first pump that is provided in the first ink path and flows the ink from the first tank toward the second tank; and (g). A second ink path connecting the outlet of the inkjet head and the first inlet of the first tank; (h) provided in the second ink path; A printed matter is formed by using an ink jet printing apparatus including a second pump that flows toward the first tank. A method of forming a printed material includes: (i) a first step of circulating the ink in the order of the first tank, the first pump, the second tank, the inkjet head, and the second pump. And (ii) a second step of forming the printed matter by discharging the ink from the inkjet head while moving the inkjet head on the printing stage during the first step; Is provided. In the first step, the flow rate of the first pump is controlled based on the output of the liquid level sensor while keeping the flow rate of the second pump constant.

上記方法によれば、インク内の粒子の沈降を防ぐことができ、第1の課題が解消する。印刷タクトを速くすることができ、第2の課題が解消する。インクジェットヘッドを動かしてもインクの吐出が不安定になりにくくすることができ、第3の課題が低減する。第2のタンク内のインクの液面の位置を一定にするための流量変化による脈動を、インクジェットヘッドに伝えにくくすることができ、第5の課題が低減する。   According to the above method, the sedimentation of particles in the ink can be prevented, and the first problem is solved. The printing tact can be made faster and the second problem is solved. Even if the inkjet head is moved, it is possible to make it difficult for ink ejection to become unstable, and the third problem is reduced. The pulsation due to the flow rate change for keeping the position of the ink liquid level in the second tank constant can be made difficult to be transmitted to the ink jet head, and the fifth problem is reduced.

好ましくは、前記印刷物は、電子部品の一部又は全部である。   Preferably, the printed matter is a part or all of an electronic component.

この場合、インクジェット印刷装置を用いて電子部品を製造することができる。   In this case, an electronic component can be manufactured using an inkjet printing apparatus.

また、本発明は、上述した印刷物を形成する方法により、電子部品を製造する電子部品の製造方法を提供する。   Moreover, this invention provides the manufacturing method of the electronic component which manufactures an electronic component by the method of forming the printed matter mentioned above.

電子部品の製造方法は、上述した印刷物を形成する方法の前記第2の工程において、前記インクとして、絶縁材料を含む第1のインクと、電極材料を含む第2のインクとを用い、前記絶縁材料を含む層と、前記電極材料を含む層とを有する未焼成の前記印刷物を形成する。電子部品の製造方法は、未焼成の前記印刷物の前記絶縁材料と前記電極材料とを一緒に焼成する第3の工程を備える。   In the second step of the method for forming a printed matter described above, the electronic component manufacturing method uses the first ink containing an insulating material and the second ink containing an electrode material as the ink. The unprinted printed matter having a layer containing a material and a layer containing the electrode material is formed. The method for manufacturing an electronic component includes a third step of firing together the insulating material and the electrode material of the unprinted printed material.

上記方法によれば、インクジェット印刷装置を用いて、電子部品の全部又は一部を形成することができる。   According to the above method, all or part of the electronic component can be formed using the ink jet printing apparatus.

さらに、本発明は、上述した印刷物を形成する方法により、電子部品を製造する電子部品の製造方法を提供する。   Furthermore, this invention provides the manufacturing method of the electronic component which manufactures an electronic component by the method of forming the printed matter mentioned above.

電子部品の製造方法は、上述した印刷物を形成する方法の前記第2の工程において、電極材料を含む前記インクを用いて、絶縁材料を含む未焼成のシートに、前記印刷物を形成する。電子部品の製造方法は、(iii)前記印刷物が形成された未焼成の前記シートを含む未焼成の積層体を形成する第3の工程と、(iv)未焼成の前記積層体の前記電極材料と前記絶縁材料とを一緒に焼成する第4の工程と、を備える。   In the electronic component manufacturing method, in the second step of the method for forming a printed matter described above, the printed matter is formed on an unfired sheet containing an insulating material using the ink containing an electrode material. The electronic component manufacturing method includes (iii) a third step of forming an unfired laminate including the unfired sheet on which the printed matter is formed, and (iv) the electrode material of the unfired laminate. And a fourth step of firing the insulating material together.

上記方法によれば、インクジェット印刷装置を用いて、電子部品の全部又は一部を形成することができる。   According to the above method, all or part of the electronic component can be formed using the ink jet printing apparatus.

本発明によれば、すべてのインクが循環し、インクジェットヘッドを動かすことができ、インクジェットヘッドを動かしてもインクの吐出が不安定になりにくい。   According to the present invention, all the ink circulates and the ink jet head can be moved, and even if the ink jet head is moved, the ejection of the ink is unlikely to become unstable.

図1はインクジェット印刷装置の全体構成図である。(実施例1)FIG. 1 is an overall configuration diagram of an inkjet printing apparatus. Example 1 図2は印刷ステージ及びインクジェットヘッドの説明図である。(実施例1)FIG. 2 is an explanatory diagram of a printing stage and an inkjet head. Example 1 図3はインクジェットヘッドの断面図である。(実施例1)FIG. 3 is a cross-sectional view of the inkjet head. Example 1 図4は第1のタンクの説明図である。(実施例1)FIG. 4 is an explanatory diagram of the first tank. Example 1 図5は第2のタンク及びインクジェットヘッドの説明図である。(実施例1)FIG. 5 is an explanatory diagram of the second tank and the inkjet head. Example 1 図6は第2のタンク及びインクジェットヘッドのイメージ図である。(実施例1)FIG. 6 is an image diagram of the second tank and the inkjet head. Example 1 図7は第2のタンクの圧力調整構成の説明図である。(実施例2)FIG. 7 is an explanatory diagram of the pressure adjustment configuration of the second tank. (Example 2) 図8は静電容量式の液面センサの模式図である。(実施例3)FIG. 8 is a schematic diagram of a capacitive liquid level sensor. (Example 3) 図9は減衰部の模式図である。(実施例4)FIG. 9 is a schematic diagram of an attenuation unit. Example 4 図10は配管抵抗式の減衰部の模式図である。(実施例4)FIG. 10 is a schematic diagram of a pipe resistance type attenuation section. Example 4 図11は第2のタンクの説明図である。(実施例5)FIG. 11 is an explanatory diagram of the second tank. (Example 5) 図12は制御部の動作のフローチャートである。(実施例6)FIG. 12 is a flowchart of the operation of the control unit. (Example 6) 図13はインクジェット印刷装置の全体構成図である。(実施例1)FIG. 13 is an overall configuration diagram of the ink jet printing apparatus. Example 1 図14は電子部品の製造工程を示す断面図である。(実施例1)FIG. 14 is a cross-sectional view showing the manufacturing process of the electronic component. Example 1 図15は電子部品の製造工程を示す断面図である。(実施例1)FIG. 15 is a cross-sectional view showing the manufacturing process of the electronic component. Example 1 図16はインク循環機構の説明図である。(従来例)FIG. 16 is an explanatory diagram of the ink circulation mechanism. (Conventional example)

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

<実施例1> 実施例1のインクジェット印刷装置10について、図1〜図6を参照しながら説明する。   <Example 1> The inkjet printing apparatus 10 of Example 1 is demonstrated, referring FIGS.

図1は、インクジェット印刷装置10の全体構成図である。図1に示すように、インクジェット印刷装置10には、ワーク2を載せる印刷ステージ12と、インクを吐出するインクジェットヘッド20とが、不図示の基台に対して移動可能に配置され、間隔を設けて互いに対向している。印刷ステージ12は駆動装置14によって駆動され、インクジェットヘッド20は駆動装置16によって駆動される。印刷ステージ12とインクジェットヘッド20とは、互いに異なる方向に独立して移動することが可能である。制御装置18は、駆動装置14,16の動作と、インクジェットヘッド20のインクの吐出とを制御する。   FIG. 1 is an overall configuration diagram of an inkjet printing apparatus 10. As shown in FIG. 1, in an inkjet printing apparatus 10, a printing stage 12 on which a workpiece 2 is placed and an inkjet head 20 that ejects ink are arranged so as to be movable with respect to a base (not shown) and spaced apart. Facing each other. The printing stage 12 is driven by a driving device 14, and the inkjet head 20 is driven by a driving device 16. The printing stage 12 and the inkjet head 20 can move independently in different directions. The control device 18 controls the operation of the driving devices 14 and 16 and the ejection of ink from the inkjet head 20.

インクジェット印刷装置10は、矢印4xで示す方向にインクが循環するように構成されている。すなわち、第1のタンク30の第1の排出口30tと第2のタンク32の第2の注入口32sとを繋げる第1のインク経路31に、インクを第1のタンク30から第2のタンク32に向けて流動させる第1のポンプ34が設けられている。インクジェットヘッド20の出口21bと第1のタンク30の第1の注入口30sとを繋げる第2のインク経路35に、インクをインクジェットヘッド20から第1のタンク30に向けて流動させる第2のポンプ36が設けられている。第2のタンク32の第2の排出口32tが、第3のインク経路33を介して、又は直接、インクジェットヘッド20の入口21aに繋がれている。   The inkjet printing apparatus 10 is configured so that ink circulates in the direction indicated by the arrow 4x. That is, ink is transferred from the first tank 30 to the second tank in the first ink path 31 that connects the first discharge port 30t of the first tank 30 and the second injection port 32s of the second tank 32. A first pump 34 is provided to flow toward 32. A second pump that causes ink to flow from the inkjet head 20 toward the first tank 30 in a second ink path 35 that connects the outlet 21b of the inkjet head 20 and the first inlet 30s of the first tank 30. 36 is provided. The second discharge port 32t of the second tank 32 is connected to the inlet 21a of the inkjet head 20 via the third ink path 33 or directly.

鎖線で囲まれたインクジェットヘッド20と第2のタンク32と液面センサ32aとは、相対位置一定で動く。すなわち、第2のタンク32及び液面センサ32aは、インクジェットヘッド20との相対位置を固定されてインクジェットヘッド20と一緒に動く。第2のタンク32は移動するため、第1のタンク30よりも小さくすることが好ましい。第1のタンク30はメインタンクであり、第2のタンク32はサブタンクである。   The inkjet head 20, the second tank 32, and the liquid level sensor 32a surrounded by the chain line move at a constant relative position. In other words, the second tank 32 and the liquid level sensor 32 a move together with the inkjet head 20 with their relative positions to the inkjet head 20 being fixed. Since the second tank 32 moves, it is preferable to make it smaller than the first tank 30. The first tank 30 is a main tank, and the second tank 32 is a sub tank.

制御部38は、第2のタンク32内のインクの液面を検出する液面センサ32aの検出値に基づき、第1のポンプ34と第2のポンプ36の流量を制御する。   The control unit 38 controls the flow rates of the first pump 34 and the second pump 36 based on the detection value of the liquid level sensor 32 a that detects the liquid level of the ink in the second tank 32.

図2は、印刷ステージ12及びインクジェットヘッド20の構成を示す説明図である。図2に示すように、印刷ステージ12は、矢印8で示すX方向に移動し、インクジェットヘッド20は、矢印9で示すY方向に移動する。印刷ステージ12とインクジェットヘッド20とが相対移動する間に、インクジェットヘッド20からインク7を吐出させて、印刷ステージ12に載せたワーク2に印刷する。   FIG. 2 is an explanatory diagram showing the configuration of the printing stage 12 and the inkjet head 20. As shown in FIG. 2, the printing stage 12 moves in the X direction indicated by the arrow 8, and the inkjet head 20 moves in the Y direction indicated by the arrow 9. While the printing stage 12 and the inkjet head 20 are relatively moved, the ink 7 is ejected from the inkjet head 20 and printing is performed on the work 2 placed on the printing stage 12.

図2では、インクジェットヘッド20に、インク7を吐出するノズルが1つだけ形成されている場合を図示しているが、インクジェットヘッド20には、複数のノズルを1列に、又は複数列に形成することが好ましい。ノズル列の方向は、X方向でも、Y方向でも、XY平面上の任意の方向でも構わない。   FIG. 2 illustrates a case where only one nozzle for ejecting ink 7 is formed in the inkjet head 20, but a plurality of nozzles are formed in one row or multiple rows in the inkjet head 20. It is preferable to do. The direction of the nozzle row may be the X direction, the Y direction, or any direction on the XY plane.

なお、インクジェットヘッド20は、複数個を備えてもよい。インクの種類が異なるインクジェットヘッド20を組み合わせてもよい。一つのインクジェットヘッドから種類の異なるインクが吐出するように構成してもよい。この場合、インクの種類ごとにインクジェットヘッド内に独立した流路を形成し、別々のインク経路と接続される。   Note that a plurality of inkjet heads 20 may be provided. You may combine the inkjet head 20 from which the kind of ink differs. You may comprise so that different types of ink may be discharged from one inkjet head. In this case, an independent flow path is formed in the ink jet head for each type of ink and is connected to a separate ink path.

ワーク2は、インクジェットヘッド20の移動方向と交差(好ましくは、直交)する方向に送られる長尺のシート状でもよい。この場合、印刷ステージ12の代わりに、ベルトやロール等を用いてワークを搬送してもよい。曲げることが容易なワークの場合、ロールにワークを沿わせ、ワークの搬送経路を曲げてもよい。   The workpiece 2 may be in the form of a long sheet that is fed in a direction that intersects (preferably orthogonally) the moving direction of the inkjet head 20. In this case, the work may be conveyed using a belt, a roll, or the like instead of the printing stage 12. In the case of a work that can be easily bent, the work path may be bent along the roll.

例えば、インクジェットヘッド20は、最高移動速度が100mm/s以上、かつ200mm/s以下で往復移動し、2s以上、かつ3s以下で1往復する。   For example, the inkjet head 20 reciprocates when the maximum moving speed is 100 mm / s or more and 200 mm / s or less, and reciprocates once when it is 2 s or more and 3 s or less.

ワーク2とインクジェットヘッド20の両方が移動している間に印刷すると、静止しているインクジェットヘッド20に対してワーク2が移動している間に印刷する場合よりも、印刷タクトを速くすることができる。   When printing is performed while both the workpiece 2 and the inkjet head 20 are moving, the printing tact time can be made faster than when printing is performed while the workpiece 2 is moving with respect to the stationary inkjet head 20. it can.

図3は、インクジェットヘッド20の構成を概念的に示す断面図である。図3に示すように、インクジェットヘッド20は、互いに結合されたマニホールド22とアクチュエータユニット24との間に、フィルタ23xで区画されたプレフィルタチャンバ23a及びポストフィルタチャンバ23bを有する。マニホールド22の両端部にインクポート21a,21bが設けられている。一方のインクポート21aはインクの入口であり、プレフィルタチャンバ23aの一方の端部に連通する孔が形成されている。他方のインクポート21bはインクの出口であり、プレフィルタチャンバ23aの他方の端部に連通する孔が形成されている。   FIG. 3 is a cross-sectional view conceptually showing the configuration of the inkjet head 20. As shown in FIG. 3, the inkjet head 20 includes a pre-filter chamber 23a and a post-filter chamber 23b defined by a filter 23x between a manifold 22 and an actuator unit 24 that are coupled to each other. Ink ports 21 a and 21 b are provided at both ends of the manifold 22. One ink port 21a is an ink inlet, and is formed with a hole communicating with one end of the pre-filter chamber 23a. The other ink port 21b is an ink outlet and has a hole communicating with the other end of the pre-filter chamber 23a.

インクポート21aからプレフィルタチャンバ23aに入ったインクの全部又は大部分は、プレフィルタチャンバ23aを流れてインクポート21bから出る。例えば、プレフィルタチャンバ23aの流路断面(図3において紙面垂直方向の断面)の面積は、20mm以上、かつ30mm以下であり、プレフィルタチャンバ23aの容量は、2mL以上、かつ3mL以下である。 All or most of the ink that has entered the prefilter chamber 23a from the ink port 21a flows through the prefilter chamber 23a and exits from the ink port 21b. For example, the area of the cross section of the flow path of the prefilter chamber 23a (the cross section in the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 3) is 20 mm 2 or more and 30 mm 2 or less, and the volume of the prefilter chamber 23a is 2 mL or more and 3 mL or less. is there.

アクチュエータユニット24には、一端がポストフィルタチャンバ23bに連通する複数のアクチュエータチャンバ25が形成され、アクチュエータチャンバ25の他端は、ノズルプレート26で覆われている。ノズルプレート26には、各アクチュエータチャンバ25に対向する位置に、ノズルプレート26を貫通する不図示のノズルが形成されている。   A plurality of actuator chambers 25 having one end communicating with the post filter chamber 23 b are formed in the actuator unit 24, and the other end of the actuator chamber 25 is covered with a nozzle plate 26. In the nozzle plate 26, nozzles (not shown) penetrating the nozzle plate 26 are formed at positions facing the actuator chambers 25.

アクチュエータユニット24に設けられた圧電素子や加熱手段によって、アクチュエータチャンバ25内のインクが押し出され、ノズルプレート26のノズルからインク7が吐出する。例えば、1ノズルの1回あたりのインクの吐出量、すなわち、ノズルから吐出される1滴のインク7の量は、数〜数百pL(ピコリットル)である。   The ink in the actuator chamber 25 is pushed out by the piezoelectric element or heating means provided in the actuator unit 24, and the ink 7 is ejected from the nozzles of the nozzle plate 26. For example, the ejection amount of ink per nozzle, that is, the amount of one drop of ink 7 ejected from the nozzle is several to several hundreds pL (picoliter).

ノズルの数は、数十本から千数百本程度が好ましい。ノズル間のピッチは、広くても1mm程度までである。ノズルの配列は1列であっても複数列であっても良く、すべてが連続して配列されている必要はない。   The number of nozzles is preferably about several tens to several hundreds. The pitch between the nozzles is at most about 1 mm. The arrangement of the nozzles may be one or a plurality of rows, and it is not necessary that all the nozzles are continuously arranged.

図4は、第1のタンク30の構成を概念的に示す説明図である。図4(a)に示すように、第1のタンク30は、円筒形の密閉可能な金属のタンク本体30aの上部から2本のパイプをタンクに差し込み、第1の注入口30s及び第1の排出口30tを形成している。タンク本体30aの材質は、ステンレスであることが好ましい。タンク本体30aには、例えば、内径180mm、高さ200mm、容量5リットルのものを用いる。   FIG. 4 is an explanatory diagram conceptually showing the configuration of the first tank 30. As shown in FIG. 4 (a), the first tank 30 has two pipes inserted into the tank from the upper part of a cylindrical metal body 30a that can be sealed, and the first inlet 30s and the first tank 30a. A discharge port 30t is formed. The material of the tank body 30a is preferably stainless steel. For example, a tank body 30a having an inner diameter of 180 mm, a height of 200 mm, and a capacity of 5 liters is used.

図4(b)に示すように、タンク本体30bの上部から、第1の注入口30sを形成するパイプを差し込み、タンク本体30bの下部に第1の排出口30tを設けてもよい。   As shown in FIG. 4B, a pipe forming the first inlet 30s may be inserted from the upper part of the tank body 30b, and the first outlet 30t may be provided at the lower part of the tank body 30b.

図4(a)及び図4(b)に示すように、第1のタンク30のタンク本体30a,30bの上部には、インク4が減った分の気体を外部から吸い込むチェックバルブ30cが設置されている。チェックバルブ30cの先端には、タンク本体30a,30b内のクリーン度を保つために、エアフィルタ30fが取り付けられているのがよい。   As shown in FIG. 4A and FIG. 4B, a check valve 30c is installed on the upper part of the tank main bodies 30a and 30b of the first tank 30 to suck in the gas corresponding to the reduced amount of the ink 4 from the outside. ing. An air filter 30f is preferably attached to the tip of the check valve 30c in order to maintain the cleanliness in the tank main bodies 30a and 30b.

第1のタンク30に、タンク本体30a,30b内のインク4を撹拌するための撹拌翼などを用いた撹拌装置30mを取り付けてもよい。タンク本体30a,30bの内側の汚れを防止する目的や、少量のインクを循環させる目的で、タンク本体30a,30bの内部に別の内容器を入れてもよい。   The first tank 30 may be provided with a stirring device 30m using a stirring blade for stirring the ink 4 in the tank main bodies 30a and 30b. For the purpose of preventing dirt inside the tank bodies 30a and 30b and for the purpose of circulating a small amount of ink, another inner container may be placed inside the tank bodies 30a and 30b.

図5は、第2のタンク32及びインクジェットヘッド20の構成を概念的に示す説明図である。図5に示すように、第2のタンク32は、柱状、好ましくは円筒形のタンクであって、軸方向一端が重力方向上側になり軸方向他端が重力方向下側になるように配置され、軸方向一端に第2の注入口32sを有し、軸方向他端に第2の排出口32tを有している。第2のタンク32は、第2のタンク32の軸方向が重力方向と平行になるように配置されることが好ましいが、重力方向に対して斜めに配置されてもよい。   FIG. 5 is an explanatory diagram conceptually showing the configuration of the second tank 32 and the inkjet head 20. As shown in FIG. 5, the second tank 32 is a columnar tank, preferably a cylindrical tank, and is arranged so that one end in the axial direction is on the upper side in the gravitational direction and the other end in the axial direction is on the lower side in the gravitational direction. The second injection port 32s is provided at one axial end, and the second discharge port 32t is provided at the other axial end. The second tank 32 is preferably arranged so that the axial direction of the second tank 32 is parallel to the gravitational direction, but may be arranged obliquely with respect to the gravitational direction.

第2のタンク32は、インク4の液面5の想定位置から第2の排出口32tに向かって、第2のタンク32の内部空間の水平断面が、同じ形状・寸法か、狭くなる形状であれば、インク4が滞留する部分がないため、望ましい。ただし、第2のタンク32に収容されるインクの全体量に対して十分に少ない量のインクが滞留する部分があったとしても問題ない。   The second tank 32 has a shape in which the horizontal section of the internal space of the second tank 32 is the same shape / size or narrows from the assumed position of the liquid level 5 of the ink 4 toward the second discharge port 32t. If there is, there is no portion where the ink 4 stays, which is desirable. However, there is no problem even if there is a portion where a sufficiently small amount of ink stays with respect to the total amount of ink stored in the second tank 32.

第2のタンク32の材質は、インクの成分に耐性のあることが好ましい。例えば、第2のタンク32には、内径25mm、全長100mm、内容量20mL(ミリリットル)のポリプロピレン製のタンクを用いる。   The material of the second tank 32 is preferably resistant to ink components. For example, a polypropylene tank having an inner diameter of 25 mm, an overall length of 100 mm, and an internal volume of 20 mL (milliliter) is used for the second tank 32.

第2のタンク32には、第2のタンク32の内部のインク4の液面5を検出する液面センサ32aが設けられている。第2のタンク32の第2の排出口32tと、インクジェットヘッド20の入口21a(図3参照)との間は、配管33pで接続されている。配管33pは、第3のインク経路33(図1参照)である。   The second tank 32 is provided with a liquid level sensor 32 a that detects the liquid level 5 of the ink 4 inside the second tank 32. The second discharge port 32t of the second tank 32 and the inlet 21a (see FIG. 3) of the inkjet head 20 are connected by a pipe 33p. The pipe 33p is the third ink path 33 (see FIG. 1).

本実施例では、インクジェットヘッド20と第2のタンク32の相対位置を固定して、軟質の配管33pを用いて最短距離で接続することによって、配管33pが動かないように固定している。   In the present embodiment, the relative position between the inkjet head 20 and the second tank 32 is fixed, and the pipe 33p is fixed so as not to move by connecting it at the shortest distance using the soft pipe 33p.

図6は、第2のタンク32及びインクジェットヘッド20のイメージ図である。図6に示すように、インクジェットヘッド20が固定されたベース部材27に、サポート部材28が結合されている。サポート部材28には、第2のタンク32が固定されている。ベース部材27は、駆動装置14(図1参照)によって駆動され移動し、同時に、第2のタンク32は、インクジェットヘッド20との相対位置を固定されてインクジェットヘッド20と一緒に動く。   FIG. 6 is an image diagram of the second tank 32 and the inkjet head 20. As shown in FIG. 6, a support member 28 is coupled to a base member 27 to which the inkjet head 20 is fixed. A second tank 32 is fixed to the support member 28. The base member 27 is driven and moved by the driving device 14 (see FIG. 1), and at the same time, the second tank 32 moves together with the inkjet head 20 while the relative position with the inkjet head 20 is fixed.

配管33pは、インク4の成分に耐性があれば材質は問わない。配管33pが軟質の場合には、配管33pは、インクジェットヘッド20と第2のタンク32が一体となって動く際に変形しないように固定されている必要がある。配管33pが変形しないように、硬質の樹脂や金属の配管を用いてもよい。   The pipe 33p may be made of any material as long as it has resistance to the components of the ink 4. When the pipe 33p is soft, the pipe 33p needs to be fixed so as not to be deformed when the inkjet head 20 and the second tank 32 move together. Hard resin or metal piping may be used so that the piping 33p is not deformed.

第2のタンク32〜配管33p〜インクジェットヘッド20の間にインクの流れが澱む部分がなければ、第2のタンク32はインクジェットヘッド20と一体化されていてもよい。第2のタンク32の第2の排出口32tとインクジェットヘッドの入口21aとが直接接続されてもよい。   The second tank 32 may be integrated with the inkjet head 20 as long as there is no portion in which the ink flow stagnates between the second tank 32, the pipe 33 p, and the inkjet head 20. The second discharge port 32t of the second tank 32 and the inlet 21a of the inkjet head may be directly connected.

図1に示した第1のポンプ34、第2のポンプ36として、本実施例ではチューブポンプを用いる。チューブポンプの駆動源としてはステッピングモータを用いる。ポンプの流量は、例えば20mL/min以上であり、インクジェットヘッド20のノズルから気体を吸い込まないように、インクの種類・インクの吐出量に合わせて設定する。ポンプは、例えば1s以内に所定の設定流量に追従できる応答性を有するものを用いる。上記の性能を満たしていれば、ポンプの種類は回転ポンプ、往復ポンプなど種類は問わない。また、ポンプの動力源として上記の性能を満たしていれば、電動モータ、圧縮空気など、ポンプの駆動源の種類は問わない。   In this embodiment, tube pumps are used as the first pump 34 and the second pump 36 shown in FIG. A stepping motor is used as a drive source of the tube pump. The flow rate of the pump is, for example, 20 mL / min or more, and is set in accordance with the type of ink and the amount of ink discharged so that no gas is sucked from the nozzles of the inkjet head 20. For example, a pump having a response that can follow a predetermined set flow rate within 1 s is used. As long as the above performance is satisfied, the type of pump is not limited, such as a rotary pump or a reciprocating pump. Further, any type of pump drive source such as an electric motor or compressed air may be used as long as the above performance is satisfied as a power source of the pump.

第1のポンプ34、第2のポンプ36を駆動してインクの循環を行う。インクの循環を行う際に、制御部38は、第2のタンク32に設けた液面センサ32aの検出値をフィードバックしながら、第1のポンプ34と第2のポンプ36の流量に差をつけるように制御することで、インクを吐出している間、第2のタンク32内のインクの液面高さを一定範囲内に保ち、インクジェットヘッド20内のインクにかかる圧力を一定範囲内に保つ。本実施例では、第2のタンク32内のインク4の液面5の高さを、例えば設定値±3mmの範囲で維持する。   The first pump 34 and the second pump 36 are driven to circulate ink. When the ink is circulated, the controller 38 makes a difference between the flow rates of the first pump 34 and the second pump 36 while feeding back the detection value of the liquid level sensor 32 a provided in the second tank 32. By controlling in this way, the liquid level height of the ink in the second tank 32 is kept within a certain range and the pressure applied to the ink in the inkjet head 20 is kept within a certain range while discharging the ink. . In the present embodiment, the height of the liquid level 5 of the ink 4 in the second tank 32 is maintained within a range of, for example, a set value ± 3 mm.

図1に示した第1のインク経路31や第2のインク経路35は、インクの成分に耐性のあるチューブを用いて構成する。例えば、内径が2mm以上、かつ6mm以下のチューブを用いる。   The first ink path 31 and the second ink path 35 shown in FIG. 1 are configured using tubes that are resistant to ink components. For example, a tube having an inner diameter of 2 mm or more and 6 mm or less is used.

以上のように、実施例1のインクジェット印刷装置10は、すべてのインクが循環し、インクの経路に滞留部が存在しないように構成し、インク内の粒子の沈降を防ぐことができ、第1の課題が解消する。インクジェットヘッド20は印刷ステージ12と独立して移動するため、インクジェットヘッド20が固定され、印刷ステージ12だけが移動する場合に比べ、印刷タクトを速くすることができ、第2の課題が解消する。インクジェットヘッド20と第2のタンク30とは一緒に移動するので、第2のタンク32の第2の排出口32tとインクジェットヘッド20の入口21aとを繋ぐ配管33pの変形を防ぐことによって、又は、この配管33p自体をなくすことによって、インクジェットヘッド20を動かしてもインクの吐出が不安定になりにくくすることができ、第3の課題が低減する。   As described above, the ink jet printing apparatus 10 according to the first embodiment is configured such that all the ink circulates and no stagnant portion is present in the ink path, and can prevent sedimentation of particles in the ink. The problem is solved. Since the inkjet head 20 moves independently of the printing stage 12, the printing tact can be made faster than the case where the inkjet head 20 is fixed and only the printing stage 12 moves, and the second problem is solved. Since the inkjet head 20 and the second tank 30 move together, by preventing deformation of the pipe 33p that connects the second discharge port 32t of the second tank 32 and the inlet 21a of the inkjet head 20, or By eliminating the pipe 33p itself, even if the inkjet head 20 is moved, it is possible to make ink ejection less likely to become unstable, and the third problem is reduced.

<実施例2> 実施例2のインクジェット印刷装置について、図7を参照しながら説明する。実施例2のインクジェット印刷装置は、第2のタンク32内の気体3の圧力を調整する圧力調整機構を備えている。他の構成は実施例1と同じである。以下、実施例2以降において、実施例1と同じ構成には同じ符号を用い、実施例1との相違点を中心に説明する。   <Example 2> The inkjet printing apparatus of Example 2 will be described with reference to FIG. The ink jet printing apparatus according to the second embodiment includes a pressure adjustment mechanism that adjusts the pressure of the gas 3 in the second tank 32. Other configurations are the same as those of the first embodiment. Hereinafter, in the second and subsequent embodiments, the same reference numerals are used for the same components as those in the first embodiment, and differences from the first embodiment will be mainly described.

図7は、第2のタンク32の圧力調整機構33の説明図である。図7に示すように、気密に構成された第2のタンク32の内部空間に、気圧センサ32bと気圧調整部32cの調整部32nとが、配管32uを介して接続されている。気圧センサ32bは、第2のタンク32内においてインク4の液面5に接している気体3の圧力を検出する。   FIG. 7 is an explanatory diagram of the pressure adjustment mechanism 33 of the second tank 32. As shown in FIG. 7, the atmospheric pressure sensor 32b and the adjustment unit 32n of the atmospheric pressure adjustment unit 32c are connected to the internal space of the second tank 32 configured to be airtight via a pipe 32u. The atmospheric pressure sensor 32 b detects the pressure of the gas 3 in contact with the liquid surface 5 of the ink 4 in the second tank 32.

気圧調整部32cの制御部32mは、矢印32xで示すように気圧センサ32bからフィードバックされた気体3の圧力の測定値と、矢印32yで示すように上位システム11から指示された圧力目標値とが入力され、両者を比較して、矢印32zで示すように調整部32nに制御信号を出力する。調整部32nは、制御信号に応じて、圧力源32pと第2のタンク32とを接続し、第2のタンク32内の気体3の圧力を調整する。   The control unit 32m of the atmospheric pressure adjustment unit 32c has a measured value of the pressure of the gas 3 fed back from the atmospheric pressure sensor 32b as indicated by an arrow 32x and a target pressure value indicated by the host system 11 as indicated by an arrow 32y. The two are compared, and a control signal is output to the adjusting unit 32n as indicated by an arrow 32z. The adjusting unit 32n connects the pressure source 32p and the second tank 32 according to the control signal, and adjusts the pressure of the gas 3 in the second tank 32.

気圧センサ32bは、第2のタンク32内の気体3の圧力(ゲージ圧)が検出できればよく、歪ゲージ式、半導体ピエゾ抵抗式、静電容量式、シリコンレゾナント式など、検出の原理を問わない。   The atmospheric pressure sensor 32b only needs to be able to detect the pressure (gauge pressure) of the gas 3 in the second tank 32, regardless of the detection principle such as a strain gauge type, a semiconductor piezoresistive type, a capacitance type, or a silicon resonant type. .

第2のタンク32内の気体3の圧力は、例えばゲージ圧で−1kPa以下、かつ−5kPa以上の負圧状態に維持される。第2のタンク32内の気体3の圧力は、インクの比重や、インクジェットヘッド20のノズルプレート26の高さから第2のタンク32の液面までの高さ(水頭差)によって決まる。   The pressure of the gas 3 in the second tank 32 is maintained in a negative pressure state of, for example, a gauge pressure of −1 kPa or less and −5 kPa or more. The pressure of the gas 3 in the second tank 32 is determined by the specific gravity of the ink and the height from the height of the nozzle plate 26 of the inkjet head 20 to the liquid level of the second tank 32 (water head difference).

負圧の圧力源32pの他に、圧縮気体による正圧の圧力源を設け、調整部32nで流路を切替えることで、第2のタンク32に正圧の圧力源を接続し、第2のタンク32とインクジェットヘッド20のインクを排出する機能を備えるように構成してもよい。   In addition to the negative pressure source 32p, a positive pressure source by compressed gas is provided, and the flow path is switched by the adjustment unit 32n, whereby the positive pressure source is connected to the second tank 32, and the second You may comprise so that the function to discharge the ink of the tank 32 and the inkjet head 20 may be provided.

気圧調整部32cによって第2のタンク32内の気体3の圧力を調整し、インク4にかかる圧力を制御することによって、インクの吐出の安定性を向上させ、インクジェットヘッドのノズルからのインクの垂れや気体の吸い込みを防止することができる。   By adjusting the pressure of the gas 3 in the second tank 32 by the atmospheric pressure adjustment unit 32c and controlling the pressure applied to the ink 4, the ink ejection stability is improved, and the ink dripping from the nozzles of the inkjet head And inhalation of gas can be prevented.

第2のタンク32内の気体3の圧力を、第2のタンク32とインクジェットヘッドとの高低差に応じて調整し、インクジェットヘッド内のインクの圧力を最適化できるため、第2のタンク32の設置位置をより自由に設定することができる。その結果、第2のタンク32とインクジェットヘッドを一緒に動かすことが容易になり、第4の課題が解消する。   The pressure of the gas 3 in the second tank 32 can be adjusted according to the height difference between the second tank 32 and the inkjet head, and the pressure of the ink in the inkjet head can be optimized. The installation position can be set more freely. As a result, it becomes easy to move the second tank 32 and the inkjet head together, and the fourth problem is solved.

<実施例3> 実施例3のインクジェット印刷装置について、図8を参照しながら説明する。実施例3のインクジェット印刷装置は、第2のタンク32に設ける液面センサが、静電容量式の液面センサ50である。他の構成は、実施例1又2と同じである。   <Example 3> An ink jet printing apparatus according to Example 3 will be described with reference to FIG. In the ink jet printing apparatus according to the third embodiment, the liquid level sensor provided in the second tank 32 is a capacitance type liquid level sensor 50. Other configurations are the same as those in the first and second embodiments.

図8は、静電容量式の液面センサ50の模式図である。図8(a)に示すように、液面センサ50は、検出電極52と参照電極54とが、第2のタンク32の外側に互いに対向するように取り付けられ、検出電極52と参照電極54の間に、容量Cの平板コンデンサが構成される。   FIG. 8 is a schematic diagram of a capacitive liquid level sensor 50. As shown in FIG. 8A, the liquid level sensor 50 is attached so that the detection electrode 52 and the reference electrode 54 face each other outside the second tank 32, and the detection electrode 52 and the reference electrode 54. A flat plate capacitor having a capacitance C is formed between them.

比誘電率εのインク4を第2のタンク32に入れた際に、図8(b)に示すように、液面センサ50は、電極56間に気体3が配置された静電容量Caの平板コンデンサと、電極58間にインク4が配置された静電容量Cbの平板コンデンサとが並列に接続された等価回路と考えることができる。静電容量式の液面センサ50は、検出電極52と参照電極54が互いに対向する領域にインク4が無いときの平板コンデンサの容量Cと、検出電極52と参照電極54が互いに対向する領域にインク4が入ったときのCaとCbの合成容量とを比較することによって、液面5の高さを検出する。   When the ink 4 having the relative dielectric constant ε is placed in the second tank 32, the liquid level sensor 50 has the capacitance Ca in which the gas 3 is disposed between the electrodes 56, as shown in FIG. It can be considered as an equivalent circuit in which a plate capacitor and a plate capacitor of electrostatic capacity Cb in which the ink 4 is arranged between the electrodes 58 are connected in parallel. The capacitance type liquid level sensor 50 includes a capacitance C of the plate capacitor when the ink 4 is not present in a region where the detection electrode 52 and the reference electrode 54 face each other, and a region where the detection electrode 52 and the reference electrode 54 face each other. The height of the liquid surface 5 is detected by comparing the combined capacity of Ca and Cb when the ink 4 enters.

静電容量式の液面センサ50では、検出電極52と参照電極54とが互いに対向する領域内に存在する比誘電率εのインク4の量に対応付して、インク4の液面5の高さを検出する。この検出原理から、検出電極52と参照電極54とが互いに対向する領域内にインク4の液面5があれば、液面5が揺れたり波打ったりしても、検出電極52と参照電極54とが互いに対向する領域内に存在するインク4自体の量が変化しない場合には、検出する合成容量、つまり液面高さの検出値は変化しない。   In the capacitance-type liquid level sensor 50, the detection electrode 52 and the reference electrode 54 correspond to the amount of the ink 4 having a relative dielectric constant ε existing in a region where the detection electrode 52 and the reference electrode 54 face each other. Detect height. From this detection principle, if the liquid level 5 of the ink 4 is in a region where the detection electrode 52 and the reference electrode 54 face each other, the detection electrode 52 and the reference electrode 54 can be obtained even if the liquid level 5 fluctuates or waves. When the amount of the ink 4 itself existing in the area where the two face each other does not change, the detected composite volume, that is, the detected value of the liquid level does not change.

第2のタンクとインクジェットヘッドを一緒に動かすと、第2のタンク内のインクの液面が揺れたり波打ったりすることがある。フロート式のセンサは、液面の揺れによって検出値が変動しやすい。そのため、インク循環の制御が不安定になりやすい。   When the second tank and the ink jet head are moved together, the liquid level of the ink in the second tank may shake or wave. In the float type sensor, the detection value tends to fluctuate due to the fluctuation of the liquid level. Therefore, the control of ink circulation tends to be unstable.

これに対し、静電容量式の液面センサ50は、第2のタンク内のインクの液面が揺れたり波打ったりしたときに、フロート式のセンサに比べ、検出値の乱れを生じにくいため、インク循環の制御が不安定になりにくい。その結果、第2のタンクとインクジェットヘッドを一緒に動かすことが容易になり、第4の課題が解消する。   On the other hand, the capacitance type liquid level sensor 50 is less likely to cause a disturbance in the detected value when the liquid level of the ink in the second tank is shaken or waved, compared to the float type sensor. Ink circulation control is less likely to become unstable. As a result, it becomes easy to move the second tank and the inkjet head together, and the fourth problem is solved.

<実施例4> 実施例4のインクジェット印刷装置について、図9及び図10を参照しながら説明する。実施例4のインクジェット印刷装置は、減衰部が追加されている。他の構成は、実施例1、2又は3と同じである。   <Example 4> The inkjet printing apparatus of Example 4 is demonstrated referring FIG.9 and FIG.10. In the ink jet printing apparatus of the fourth embodiment, an attenuation unit is added. Other configurations are the same as those in the first, second, or third embodiment.

図9は、減衰部の構成を示す模式図である。減衰部として一般的に、図9(a)に示すエアチャンバ60や、図9(b)に示すアキュームレータ62が使われる。これらの装置60,62は、液体61の入口60aから出口60bまでの流路の途中に、液体61が貯まる部分が接続されている。実施例4の減衰部として、これらの装置60,62を用いてもよい。   FIG. 9 is a schematic diagram illustrating the configuration of the attenuation unit. In general, an air chamber 60 shown in FIG. 9A or an accumulator 62 shown in FIG. In these devices 60 and 62, a portion where the liquid 61 is stored is connected in the middle of the flow path from the inlet 60 a to the outlet 60 b of the liquid 61. These devices 60 and 62 may be used as the attenuation unit of the fourth embodiment.

しかし、図9(a)に示したエアチャンバ60は、液体61に接する気体63が、液体61に溶けて少なくなるため、エアチャンバ60内に気体63を定期的に補充することが必要である。   However, in the air chamber 60 shown in FIG. 9A, the gas 63 in contact with the liquid 61 is dissolved in the liquid 61 and decreases, so it is necessary to periodically replenish the gas 63 in the air chamber 60. .

図9(b)に示したアキュームレータ62は、液体61と気体63がゴム膜62xで仕切られているため、気体63が液体61に溶けることはない。しかし、ゴム膜62xが液体61により劣化する。   In the accumulator 62 shown in FIG. 9B, since the liquid 61 and the gas 63 are partitioned by the rubber film 62x, the gas 63 is not dissolved in the liquid 61. However, the rubber film 62x is deteriorated by the liquid 61.

これに対し、配管抵抗により脈動を減衰する配管抵抗式の減衰装置は、メンテナンスが不要であり、劣化しにくいため、実施例4の減衰部として、より好ましい。   On the other hand, a pipe resistance type attenuation device that attenuates pulsation by pipe resistance requires no maintenance and is less likely to deteriorate.

図10は、配管抵抗式の減衰部64の構成を示す模式図である。図10に示すように、減衰部64は、液体の入口64aと出口64bとの間をつなぐ配管66が、ケース65に収納されている。ケース65内の配管66は、ジグザグに折り返され、あるいは、らせん状や渦巻き状に巻かれており、配管抵抗が大きくなるように構成されている。   FIG. 10 is a schematic diagram showing the configuration of the piping resistance type attenuation section 64. As shown in FIG. 10, in the attenuation portion 64, a pipe 66 that connects between the liquid inlet 64 a and the outlet 64 b is housed in a case 65. The pipe 66 in the case 65 is zigzag-folded or wound in a spiral shape or a spiral shape so that the pipe resistance is increased.

液体が入口64aから出口64bまで流れる間に、配管66の折り返し部や巻かれた屈曲部を通過するときの配管抵抗によって、配管66を流れる流体を介して伝搬する脈動を減衰することができる。   While the liquid flows from the inlet 64a to the outlet 64b, the pulsation propagating through the fluid flowing through the pipe 66 can be attenuated by the pipe resistance when passing through the folded portion or the bent portion of the pipe 66.

配管66に、インクジェット印刷装置の配管と同じ素材のもの、すなわちインクの成分に耐性のある素材のものを使用すると、インクの成分による劣化が発生しない。配管66は軟質、硬質など、どのようなものでもかまわないが、軟質の配管を使うと配管の厚さが薄い場合にはアキュームレータのゴム膜のような効果も期待できる可能性がある。   If the piping 66 is made of the same material as the piping of the inkjet printing apparatus, that is, a material resistant to the ink components, the ink component does not deteriorate. The pipe 66 may be any material such as soft or hard, but if a soft pipe is used, an effect similar to that of an accumulator rubber film may be expected if the pipe is thin.

図9又は図10の減衰部は、第2のインク経路35のうち第2のポンプ36とインクジェットヘッド20の出口21bとの間や第3のインク経路33に(図1参照)、設ける。これにより、第2のポンプによりインクジェットヘッドに伝わる脈動を低減できる。その結果、インクの供給や回収にポンプを使用した場合に、ポンプの脈動がインクジェットヘッドに伝わり、インクの吐出に悪影響が出る第5の課題が低減する。   9 or 10 is provided between the second pump 36 and the outlet 21b of the inkjet head 20 in the second ink path 35 or in the third ink path 33 (see FIG. 1). Thereby, the pulsation transmitted to the inkjet head by the second pump can be reduced. As a result, when a pump is used for ink supply and recovery, the pulsation of the pump is transmitted to the inkjet head, and the fifth problem that adversely affects ink ejection is reduced.

<実施例5> 実施例5のインクジェット印刷装置について、図11を参照しながら説明する。実施例5では、第2の注入口が、第2のタンク内のインクから離れるように構成する。その他の構成は、実施例1、2、3又は4と同じである。   Example 5 An ink jet printing apparatus of Example 5 will be described with reference to FIG. In the fifth embodiment, the second inlet is configured to be separated from the ink in the second tank. Other configurations are the same as those in the first, second, third, or fourth embodiment.

図11は、第2のタンク32の構成を概念的に示す説明図である。図11に示すように、第2の注入口32sが、第2のタンク32内のインク4の液面5から離れ、第2のタンク32の第2の注入口32sが、第2のタンク32内のインク4に接していないように構成されている。   FIG. 11 is an explanatory diagram conceptually showing the configuration of the second tank 32. As shown in FIG. 11, the second inlet 32 s is separated from the liquid surface 5 of the ink 4 in the second tank 32, and the second inlet 32 s of the second tank 32 is the second tank 32. It is configured not to contact the ink 4 inside.

そのため、第1のポンプから第2のタンク32の第2の注入口32sまで送られたインクと、第2のタンク32内のインク4とが一度切り離され、第1のポンプ34の脈動による圧力変動が、第2のタンク32内のインク4に直接伝わることがなくなる。   Therefore, the ink sent from the first pump to the second inlet 32 s of the second tank 32 and the ink 4 in the second tank 32 are once separated, and the pressure due to the pulsation of the first pump 34 The fluctuation is not directly transmitted to the ink 4 in the second tank 32.

さらに、第2のタンク32を気密に構成する。これにより、第2のタンク32内の気体3が、図9(a)のエアチャンバ60の気体63と同様の効果を発揮することにより、インクジェットヘッド内のインクに伝わる脈動を減衰することができる。   Further, the second tank 32 is configured to be airtight. As a result, the gas 3 in the second tank 32 exhibits the same effect as the gas 63 in the air chamber 60 of FIG. 9A, so that the pulsation transmitted to the ink in the inkjet head can be attenuated. .

第2のタンク32を気密に構成すると、図9(a)のエアチャンバ60と同様に、気体を定期的に補充する必要がある。   When the second tank 32 is configured to be airtight, it is necessary to periodically replenish the gas as in the air chamber 60 of FIG.

そこで、実施例3と同様に、第2のタンク32の上部に配管32uを設け、第2のタンク32内の気体3の圧力を調整する圧力調整機構33(図7参照)を設ける。この配管32uから第2のタンク32内の気体3の圧力(負圧)を一定に保つのに必要な気体が供給されるので、気体を定期的に補充する必要がなくなる。   Therefore, as in the third embodiment, a pipe 32u is provided above the second tank 32, and a pressure adjusting mechanism 33 (see FIG. 7) for adjusting the pressure of the gas 3 in the second tank 32 is provided. Since the gas required to keep the pressure (negative pressure) of the gas 3 in the second tank 32 constant is supplied from the pipe 32u, it is not necessary to replenish the gas periodically.

本実施例では、例えば、容量20mLの第2のタンク32を用い、インク10mL、気体10mLの割合になるようにする。   In the present embodiment, for example, the second tank 32 having a capacity of 20 mL is used so that the ratio of ink 10 mL and gas 10 mL is obtained.

以上のように構成すると、第1のポンプによりインクジェットヘッドに伝わる脈動を低減することができる。その結果、インクの供給や回収にポンプを使用した場合に、ポンプの脈動がインクジェットヘッドに伝わり、インクの吐出に悪影響が出る第5の課題が低減する。   If comprised as mentioned above, the pulsation transmitted to an inkjet head with a 1st pump can be reduced. As a result, when a pump is used for ink supply and recovery, the pulsation of the pump is transmitted to the inkjet head, and the fifth problem that adversely affects ink ejection is reduced.

<実施例6> 実施例1、2、3、4又は5のインクジェット印刷装置において、制御部が、第2のポンプの流量を一定にしながら、液面センサの出力に基づき、第1のポンプの流量を制御する実施例6について、図12を参照しながら説明する。   <Embodiment 6> In the ink jet printing apparatus of Embodiment 1, 2, 3, 4 or 5, the controller controls the first pump based on the output of the liquid level sensor while keeping the flow rate of the second pump constant. Example 6 for controlling the flow rate will be described with reference to FIG.

図12は、制御部の動作を示すフローチャートである。図12に示すように、制御部は、まず、第2のポンプを起動する。このとき、第2のポンプの流量Q2が一定になるように、第2のポンプの出力を設定する(S10)。   FIG. 12 is a flowchart showing the operation of the control unit. As shown in FIG. 12, the control unit first activates the second pump. At this time, the output of the second pump is set so that the flow rate Q2 of the second pump becomes constant (S10).

次いで、タイマーをリセットした後(S12)、液面センサがONであるか否かを判定する(S14)。液面センサは、第2のタンク内のインクの液面が所定位置に達し、又は所定位置を超えているときに、ONになる。   Next, after resetting the timer (S12), it is determined whether or not the liquid level sensor is ON (S14). The liquid level sensor is turned on when the ink level in the second tank reaches a predetermined position or exceeds a predetermined position.

液面センサがONであれば(S14でY)、第1のポンプの流量Q1が第2のポンプの流量Q2と同じになるように、第1のポンプの出力を設定し(S16)、タイマーが第1の所定時間T1に達するまで(S18で<)、ステップS14に戻り、液面センサのONが継続するかを監視する(S14)。   If the liquid level sensor is ON (Y in S14), the output of the first pump is set so that the flow rate Q1 of the first pump becomes the same as the flow rate Q2 of the second pump (S16), and the timer Until the first predetermined time T1 is reached (<in S18), the process returns to step S14 to monitor whether the liquid level sensor continues to be turned on (S14).

すなわち、第2のタンク内のインクの液面が所定位置に達し又は所定位置を超えていることを液面センサが検出したとき(S14でY)、第1のポンプの流量Q1が第2のポンプの流量Q2と等しくなるように、第1のポンプの流量を制御する(S16)。これは、制御部が実行する第1の手順である。   That is, when the liquid level sensor detects that the ink level in the second tank has reached or exceeds the predetermined position (Y in S14), the flow rate Q1 of the first pump is the second level. The flow rate of the first pump is controlled to be equal to the flow rate Q2 of the pump (S16). This is the first procedure executed by the control unit.

タイマーが第1の所定時間T1を経過すると(S18で≧)、第1のポンプの流量Q1がゼロになるように、第1のポンプの流量を制御し(S20)、ステップS12に戻る。   When the timer passes the first predetermined time T1 (≧ in S18), the flow rate of the first pump is controlled so that the flow rate Q1 of the first pump becomes zero (S20), and the process returns to step S12.

すなわち、第2のタンク内のインクの液面が所定位置に達し又は所定位置を超えていることを、液面センサが継続して第1の所定時間T1以上検出したとき(S18で≧)、第1のポンプの流量Q1がゼロになるように、第1のポンプの流量を制御する(S20)。これは、制御部が実行する第2の手順である。   That is, when the liquid level sensor continuously detects that the ink level in the second tank has reached or exceeds the predetermined position for a first predetermined time T1 or more (≧ in S18), The flow rate of the first pump is controlled so that the flow rate Q1 of the first pump becomes zero (S20). This is a second procedure executed by the control unit.

ステップS14において、液面センサがONでないと判定すれば(S14でN)、タイマーをリセットした後(S22)、液面センサがONであるか否かを判定し(S23)、タイマーが第2の所定時間T2に達するまで(S24で<)、液面センサのONが継続するかを監視する(S23)。監視中に液面センサがONになれば(S23でY)、ステップS12に戻る。タイマーが第2の所定時間T2を経過すると(S24で≧)、第1のポンプの流量Q1が第2のポンプの流量Q2より増えるように、第1のポンプの出力を設定する(S26)。   If it is determined in step S14 that the liquid level sensor is not ON (N in S14), after resetting the timer (S22), it is determined whether or not the liquid level sensor is ON (S23), and the timer is Until the predetermined time T2 is reached (<in S24), it is monitored whether the liquid level sensor continues to be turned on (S23). If the liquid level sensor is turned on during monitoring (Y in S23), the process returns to step S12. When the timer passes the second predetermined time T2 (≧ in S24), the output of the first pump is set so that the flow rate Q1 of the first pump is larger than the flow rate Q2 of the second pump (S26).

すなわち、第2のタンク内のインクの液面が所定位置に達していないことを、液面センサが継続して第2の所定時間T2以上検出したとき(S24で≧)、第1のポンプの流量が第2のポンプの流量より多くなるように、第1のポンプの流量を制御する(S26)。これは、制御部が実行する第3の手順である。   That is, when the liquid level sensor continuously detects that the ink level in the second tank has not reached the predetermined position for the second predetermined time T2 or longer (≧ in S24), the first pump The flow rate of the first pump is controlled so that the flow rate is higher than the flow rate of the second pump (S26). This is a third procedure executed by the control unit.

次いで、タイマーをリセットし(S28)、タイマーが第3の所定時間T3に達するまで(S32で<、)、液面センサがONでない状態が継続するかを監視する(S30)。監視中に液面センサがONになれば(S30でY)、ステップS12に戻る。タイマーが第3の所定時間T3に達したときには(S32でY)、漏液警告表示を発する(S34)。例えば、インクジェット印刷装置に設けた警告灯を点灯あるいは点滅し、上位システムに警告信号を送信する。   Next, the timer is reset (S28), and it is monitored whether or not the liquid level sensor is not ON (S30) until the timer reaches the third predetermined time T3 (<, in S32). If the liquid level sensor is turned on during monitoring (Y in S30), the process returns to step S12. When the timer reaches the third predetermined time T3 (Y in S32), a leakage warning display is issued (S34). For example, a warning lamp provided in the ink jet printing apparatus is turned on or blinked, and a warning signal is transmitted to the host system.

上記のように制御することによって、第2のタンク内の液面は、液面センサのON/OFFが切り替わる所定位置に対して上下に変動する幅を所定範囲内に制限することができる。すなわち、第2のタンクからインクが溢れたり、第2のタンクが空になりインクジェットヘッドに気体が混入したりすることを防ぐことができる。   By controlling as described above, the liquid level in the second tank can be limited within a predetermined range of a width that fluctuates up and down with respect to a predetermined position where the liquid level sensor is switched ON / OFF. That is, it is possible to prevent the ink from overflowing from the second tank or the second tank from becoming empty and causing gas to enter the inkjet head.

液面高さを制限する場合、一般には、上限用と下限用の合計2個の液面センサを用いるところを、1個の液面センサだけを用いて、インクの液面高さの変動を所定範囲内に制限することができる。   When the liquid level height is limited, generally, a total of two liquid level sensors for the upper limit and the lower limit are used, but only one liquid level sensor is used to change the liquid level height of the ink. It can be limited within a predetermined range.

以上のように、第2のタンク内のインクの液面の位置が一定になるように、第1のポンプの流量を制御することによって、第2のポンプの流量を制御する必要がなくなり、第2のポンプの流量が変化することによって発生する脈動が、インクジェットヘッドに伝わる機会を削減することができる。その結果、インクの供給や回収にポンプを使用した場合に、ポンプの脈動がインクジェットヘッドに伝わり、インクの吐出に悪影響が出る第5の課題が低減する。   As described above, it is not necessary to control the flow rate of the second pump by controlling the flow rate of the first pump so that the position of the ink liquid level in the second tank is constant. The chance that the pulsation generated by the change in the flow rate of the pump 2 is transmitted to the inkjet head can be reduced. As a result, when a pump is used for ink supply and recovery, the pulsation of the pump is transmitted to the inkjet head, and the fifth problem that adversely affects ink ejection is reduced.

<実施例7> 実施例7のインクジェット印刷装置10aについて、図13を参照しながら説明する。実施例7は、実施例1に、実施例2〜6を組み合わせた構成である。   <Example 7> The inkjet printing apparatus 10a of Example 7 is demonstrated, referring FIG. The seventh embodiment has a configuration in which the first to sixth embodiments are combined with the first embodiment.

図13は、インクジェット印刷装置10aの全体構成図である。図13に示すように、第2のタンク32は、実施例2と同様に、第2のタンク32内の気体の圧力を調整するための気圧センサ32b及び気圧調整部32cが追加され、実施例5と同様に、第2の注入口は第2のタンク内のインクから離れるように構成されている。第2のタンク32には、実施例3と同様に、静電容量式の液面センサ50が設けられている。第1のインク経路35には、実施例4と同様に、減衰部35xが設けられている。   FIG. 13 is an overall configuration diagram of the inkjet printing apparatus 10a. As shown in FIG. 13, in the second tank 32, as in the second embodiment, an atmospheric pressure sensor 32b and an atmospheric pressure adjusting unit 32c for adjusting the pressure of the gas in the second tank 32 are added. Similar to 5, the second inlet is configured to be separated from the ink in the second tank. Similar to the third embodiment, the second tank 32 is provided with a capacitance type liquid level sensor 50. As in the fourth embodiment, the first ink path 35 is provided with an attenuation portion 35x.

さらに、第3のインク経路33にも、減衰部33xが設けられている。この減衰部33xは、実施例4の減衰部と同様のものである。   Further, the third ink path 33 is also provided with an attenuation portion 33x. The attenuation unit 33x is the same as the attenuation unit of the fourth embodiment.

制御部38は、実施例6と同様に、第2のポンプの流量を一定にしながら、第1のポンプ34の流量を制御する。   Similarly to the sixth embodiment, the control unit 38 controls the flow rate of the first pump 34 while keeping the flow rate of the second pump constant.

実施例7のインクジェット印刷装置は、実施例1〜5の構成要素を組み合わせることで、インクの澱む部分の無い流路と、インクジェットヘッド20を動かしながらの印刷とを実現できる。また、実施例1〜6の構成要素を組み合わせることで、ポンプによりインクを循環させても、インクジェットヘッド20に伝わるポンプによる脈動を低減できる。   The ink jet printing apparatus of the seventh embodiment can realize the flow path without the ink stagnant portion and the printing while moving the ink jet head 20 by combining the components of the first to fifth embodiments. Further, by combining the constituent elements of the first to sixth embodiments, the pulsation caused by the pump transmitted to the inkjet head 20 can be reduced even if the ink is circulated by the pump.

<実施例8> 実施例8の電子部品の製造法について、図14及び図15を参照しながら説明する。実施例8では、実施例1〜7と同様に構成された1台又は2台以上のインクジェット印刷装置を用いて、電子部品の全部又は一部を形成する。実施例1に、実施例2〜6の2つ以上の特徴部分を組み合わせたインクジェット印刷装置を用いても構わない。   <Example 8> The manufacturing method of the electronic component of Example 8 is demonstrated referring FIG.14 and FIG.15. In Example 8, all or part of the electronic component is formed using one or two or more inkjet printing apparatuses configured in the same manner as in Examples 1-7. You may use the inkjet printing apparatus which combined the 2 or more characteristic part of Examples 2-6 with Example 1. FIG.

図14及び図15は、電子部品80の製造工程を模式的に示す断面図である。インクジェット印刷装置を用いて図15(g)に示す未焼成の積層体70を作製し、作製した未焼成の積層体70を焼成することによって、図15(h)に示す電子部品80を得る。以下、電子部品80がセラミック電子部品である場合を例に挙げて、詳しく説明する。   14 and 15 are cross-sectional views schematically showing the manufacturing process of the electronic component 80. An unfired laminate 70 shown in FIG. 15G is manufactured using an inkjet printing apparatus, and the produced unfired laminate 70 is fired to obtain an electronic component 80 shown in FIG. Hereinafter, the case where the electronic component 80 is a ceramic electronic component will be described in detail as an example.

(1)まず、図14(a)に示すように、インクジェット印刷装置の絶縁材料用インクジェットヘッド70aと基材78が載置された印刷ステージとを相対移動させながら、絶縁材料用インクジェットヘッド70aから絶縁材料インク70xを吐出させ、基材78上に1層目の絶縁材料パターン72aを形成する。   (1) First, as shown in FIG. 14A, the ink jet head 70a for insulating material is moved from the ink jet head 70a for insulating material while relatively moving the ink jet head 70a for insulating material and the printing stage on which the substrate 78 is placed. Insulating material ink 70 x is ejected to form a first insulating material pattern 72 a on the substrate 78.

(2)次いで、図14(b)に示すように、インクジェット印刷装置の外部電極用インクジェットヘッド70bと基材78が載置された印刷ステージとを相対移動させながら、外部電極用インクジェットヘッド70bから外部電極用インク70yを吐出させて、絶縁材料パターン72aの両端部に隣接する基材78上の領域(絶縁材料パターン72aが形成されていない領域)に、絶縁材料パターン72aの両端部に接するように、1層目の一対の外部電極パターン74aを形成する。   (2) Next, as shown in FIG. 14B, the external electrode inkjet head 70b is moved relative to the external electrode inkjet head 70b of the inkjet printing apparatus and the printing stage on which the substrate 78 is placed. The external electrode ink 70y is ejected so that both end portions of the insulating material pattern 72a are in contact with regions on the base material 78 adjacent to both end portions of the insulating material pattern 72a (regions where the insulating material pattern 72a is not formed). Then, a pair of external electrode patterns 74a in the first layer is formed.

(3)次いで、図14c(c)に示すように、インクジェット印刷装置の絶縁材料用インクジェットヘッド70aと基材78が載置された印刷ステージとを相対移動させながら、絶縁材料用インクジェットヘッド70aから絶縁材料インク70xを吐出させて、1層目の絶縁材料パターン72aに重なる2層目の絶縁材料パターン72bを形成する。   (3) Next, as shown in FIG. 14C (c), the ink jet head 70a for insulating material is moved from the ink jet head 70a for insulating material while relatively moving the ink jet head 70a for insulating material and the printing stage on which the substrate 78 is placed. The insulating material ink 70x is ejected to form a second insulating material pattern 72b that overlaps the first insulating material pattern 72a.

(4)次いで、図14(d)に示すように、インクジェット印刷装置の外部電極用インクジェットヘッド70bと印刷ステージ上の基材78とを相対移動させながら、外部電極用インクジェットヘッド70bから外部電極用インク70yを吐出させて、1層目の外部電極パターン74aの上に、2層目の絶縁材料パターン72bの両端部に接するように、2層目の外部電極パターン74bを形成する。   (4) Next, as shown in FIG. 14D, the external electrode inkjet head 70b and the substrate 78 on the printing stage are moved relative to each other while the external electrode inkjet head 70b of the inkjet printing apparatus is relatively moved. The ink 70y is discharged, and the second-layer external electrode pattern 74b is formed on the first-layer external electrode pattern 74a so as to be in contact with both ends of the second-layer insulating material pattern 72b.

(5)次いで、図15(e)に示すように、インクジェット印刷装置の内部電極用インクジェットヘッド70cと基材78が載置された印刷ステージとを相対移動させながら、内部電極用インクジェットヘッド70cから内部電極用インク70zを吐出させて、2層目の絶縁材料パターン72bの所定の領域に、2層目の外部電極パターン74bの一方(図において左側)に接続され、2層目の外部電極パターン74bの他方(図において右側)から離れるように、1層目の内部電極パターン76aを形成する。1層目の内部電極パターン76aは、絶縁材料パターン72a,72bや外部電極パターン74a,74bの厚みよりも薄く形成する。また、内部電極パターン76aは、絶縁材料パターン72a,72bの幅方向(図15(e)における紙面垂直方向)の両端縁よりも内側に形成する。   (5) Next, as shown in FIG. 15E, the internal electrode inkjet head 70c is moved relative to the internal electrode inkjet head 70c of the inkjet printing apparatus and the printing stage on which the substrate 78 is placed. The internal electrode ink 70z is ejected, and is connected to one of the second-layer external electrode patterns 74b (left side in the drawing) in a predetermined region of the second-layer insulating material pattern 72b. A first-layer internal electrode pattern 76a is formed so as to be away from the other 74b (right side in the figure). The first-layer internal electrode pattern 76a is formed thinner than the insulating material patterns 72a and 72b and the external electrode patterns 74a and 74b. Further, the internal electrode pattern 76a is formed inside the both end edges in the width direction of the insulating material patterns 72a and 72b (the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 15E).

(6)次いで、図15(f)に示すように、インクジェット印刷装置の絶縁材料用インクジェットヘッド70aと基材78が載置された印刷ステージとを相対移動させながら、絶縁材料用インクジェットヘッド70aから絶縁材料インク70xを吐出させて、2層目の絶縁材料パターン72bに重なり、内部電極パターン76aを覆うように、3層目の絶縁材料パターン72cを形成する。   (6) Next, as shown in FIG. 15 (f), while relatively moving the inkjet head for insulating material 70 a of the inkjet printing apparatus and the printing stage on which the base material 78 is placed, the inkjet head for insulating material 70 a The insulating material ink 70x is ejected to form the third layer insulating material pattern 72c so as to overlap the second layer insulating material pattern 72b and cover the internal electrode pattern 76a.

(7)以下、同様に、3層目の外部電極パターン74c、3層目の外部電極パターン74cの他方(図15において左側)に接続する内部電極パターン76b、4層目の絶縁材料パターン72d、4層目の外部電極パターン74d、5層目の絶縁材料パターン72e、5層目の外部電極パターン74eを順に形成して、図15(g)に示す未焼成の積層体70を得る。   (7) Hereinafter, similarly, the third-layer external electrode pattern 74c, the internal electrode pattern 76b connected to the other of the third-layer external electrode pattern 74c (left side in FIG. 15), the fourth-layer insulating material pattern 72d, A fourth external electrode pattern 74d, a fifth insulating material pattern 72e, and a fifth external electrode pattern 74e are formed in this order to obtain an unfired laminate 70 shown in FIG.

(8)次いで、積層体70を基材78から分離し、未焼成の積層体70全体を同時に焼成する。   (8) Next, the laminate 70 is separated from the base material 78, and the entire unfired laminate 70 is fired simultaneously.

焼成後、図15(h)に示す電子部品80が得られる。図15(h)に示すように、電子部品80は積層セラミックコンデンサであり、積層構造体であるセラミック素体82の両端に一対の外部電極84a,84bが形成され、セラミック素体82の内部には、一方の外部電極84aに接続された内部電極86aと、他方の外部電極84bに接続された内部電極86bとが、間隔を設けて形成されている。   After firing, an electronic component 80 shown in FIG. 15 (h) is obtained. As shown in FIG. 15 (h), the electronic component 80 is a multilayer ceramic capacitor, and a pair of external electrodes 84 a and 84 b are formed at both ends of a ceramic body 82 that is a multilayer structure, and inside the ceramic body 82. The internal electrode 86a connected to one external electrode 84a and the internal electrode 86b connected to the other external electrode 84b are formed with a gap therebetween.

上記(2)〜(6)の工程を必要回数繰り返すことにより、意図する積層数の積層セラミックコンデンサを得ることができる。   By repeating the steps (2) to (6) as many times as necessary, a multilayer ceramic capacitor having the intended number of layers can be obtained.

なお、パターンを形成する順序を変更しても構わない。たとえば、1層目と2層目の絶縁材料パターン72a,72bを形成し、次いで、1層目と2層目の外部電極パターン74a,74bを形成しても構わない。また、形成したパターンを乾燥させた後に、その上に次のパターンを形成してもよい。   Note that the order in which the patterns are formed may be changed. For example, the first and second insulating material patterns 72a and 72b may be formed, and then the first and second external electrode patterns 74a and 74b may be formed. Further, after the formed pattern is dried, the next pattern may be formed thereon.

内部電極用インク70zは、(a)顔料体積濃度が、70%以上、かつ95%以下の金属顔料インクが好ましく、(b)固形分濃度が、9vol%以上、かつ20.5vol%以下が好ましく、(c)内部電極の電極材料として、Ni、Fe、Al、Ag、W、Pd、Au、Cu、Cなどの少なくとも一つを含むものや、これらを主成分とする合金が好ましく、(d)金属顔料の平均粒径を200nmから300nmとするのが好ましい。内部電極パターン76a〜76bの各層の成形厚は、1μm以上、かつ25μm以下が好ましい。   The internal electrode ink 70z is preferably (a) a metal pigment ink having a pigment volume concentration of 70% or more and 95% or less, and (b) a solid content concentration of 9 vol% or more and 20.5 vol% or less. (C) As an electrode material of the internal electrode, those containing at least one of Ni, Fe, Al, Ag, W, Pd, Au, Cu, C and the like, and alloys containing these as main components are preferable. ) The average particle size of the metal pigment is preferably 200 nm to 300 nm. The molding thickness of each layer of the internal electrode patterns 76a to 76b is preferably 1 μm or more and 25 μm or less.

絶縁材料インク70xは、(a)顔料体積濃度(Pigment Volume Concentration)が、60%以上、かつ95%以下が好ましく、(b)固形分濃度が、10vol%以上、かつ27vol%以下が好ましく、(c)顔料は、CaTi,ZrO、SrZrO、BaTiO、BaTi,CaO、BaTi,ZrOのうち少なくとも一つを主成分とするものが好ましく、(d)平均粒径を120nmから400nm程度とするのが好ましい。絶縁材料パターン72a〜72eの各層の成形厚は、1μm以上、かつ25μm以下が好ましい。なお、製造する電子部品の種類によっては、絶縁材料インク70xに含まれる絶縁材料として、例えば、フェライトなどの磁性体材料、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)などの圧電体材料を用いることできる。 The insulating material ink 70x has (a) a pigment volume concentration of 60% or more and 95% or less, and (b) a solid content concentration of 10 vol% or more and 27 vol% or less. c) The pigment is preferably composed mainly of at least one of CaTi, ZrO 3 , SrZrO 3 , BaTiO 3 , BaTi, CaO 3 , BaTi, ZrO 3 , and (d) an average particle diameter of about 120 nm to 400 nm. Is preferable. The molding thickness of each layer of the insulating material patterns 72a to 72e is preferably 1 μm or more and 25 μm or less. Depending on the type of electronic component to be manufactured, for example, a magnetic material such as ferrite or a piezoelectric material such as lead zirconate titanate (PZT) can be used as the insulating material included in the insulating material ink 70x.

外部電極用インク70yは、内部電極用インク70zと同じものが好ましいが、内部電極用インク70zと異なるものでも構わない。外部電極パターン74a〜74eの各層の成形厚は、1μm以上、かつ25μm以下が好ましい。   The external electrode ink 70y is preferably the same as the internal electrode ink 70z, but may be different from the internal electrode ink 70z. The molding thickness of each layer of the external electrode patterns 74a to 74e is preferably 1 μm or more and 25 μm or less.

上記(8)において未焼成の積層体70を焼成する際には、例えば、280℃で有機成分を除去する脱脂を行い、次いで、セラミック素体82と内部電極86aを焼結させるために約1300℃で焼成する。脱脂時間は、例えば、13.5時間である。   In firing the unfired laminate 70 in (8) above, for example, degreasing is performed to remove organic components at 280 ° C., and then about 1300 is used to sinter the ceramic body 82 and the internal electrode 86a. Bake at ℃. The degreasing time is, for example, 13.5 hours.

内部電極用インク70zに含まれる内部電極材料の粒径をより小さくすると、ナノサイズ効果で融点が下がってしまう。内部電極材料の融点が下がってしまうと、ボールアップにより被覆率が下がる等の問題が発生し、内部電極材料をセラミック材料と一緒に焼成することが難しくなる。セラミック材料と一緒に焼成する場合、内部電極材料の粒径は、ある程度大きくせざるを得ないため、内部電極用インク内で内部電極材料の粒子の沈降が発生し易くなる。このような場合に、本発明のようなインク沈降抑制策が必要となる。   If the particle diameter of the internal electrode material contained in the internal electrode ink 70z is made smaller, the melting point is lowered due to the nanosize effect. If the melting point of the internal electrode material decreases, problems such as a decrease in the coverage due to ball-up occur, making it difficult to fire the internal electrode material together with the ceramic material. In the case of firing together with the ceramic material, the particle size of the internal electrode material must be increased to some extent, so that the particles of the internal electrode material are likely to settle in the internal electrode ink. In such a case, a measure for suppressing ink settling as in the present invention is required.

なお、外部電極パターンがなく、絶縁材料パターンと内部電極パターンとを有する未焼成の積層体を作製し、未焼成の積層体の絶縁材料と内部電極材料とを一緒に焼成しても、電子部品を製造することができる。この場合、外部電極は、焼成前の積層体に形成しても、焼成後の積層体に形成しても構わない。   Even if an unfired laminate having an insulating material pattern and an internal electrode pattern without an external electrode pattern is produced, and the insulation material and internal electrode material of the unfired laminate are fired together, the electronic component Can be manufactured. In this case, the external electrode may be formed on the laminate before firing or may be formed on the laminate after firing.

上記のように、絶縁材料を含む第1のインクと、電極材料を含む第2のインクとを用いて、セラミック材料を含む層と電極材料を含む層とを有する未焼成の印刷物を形成し、次いで、未焼成の印刷物のセラミック材料と電極材料とを一緒に焼成することによって、種々の電子部品を製造することができる。   As described above, an unfired printed matter having a layer containing a ceramic material and a layer containing an electrode material is formed using a first ink containing an insulating material and a second ink containing an electrode material, Subsequently, various electronic components can be manufactured by baking together the ceramic material and electrode material of an unprinted printed matter.

例えば、セラミック材料を含む層の間に電極材料を含む層が挟まれた印刷物によって、積層タイプの電子部品(コンデンサ、コイル、圧電素子、サーミスタ、多層基板など)を製造することができる。また、セラミック材料を含む層の表面に電極材料を含む層が配置された印刷物によって、積層タイプ以外の電子部品(コンデンサ、コイル、圧電素子、サーミスタ、単層基板など)を製造することができる。これらの電子部品の非導電層を形成するため、誘電体、磁性体、ピエゾ、サーミスタ材料などの少なくとも1つを含むインクを用いる。また、内部電極や外部電極の導電層を形成するため、Ni、Ag、Pd、Au、Cuやこれらを主成分とする合金などの少なくとも1つを含むインクを用いる。インクの粘度は、1000s−1で40mPa・s以下の低粘度が好ましく、特に10mPa・s以上、かつ25mPa・s以下の粘度が好ましい。 For example, a multilayer electronic component (a capacitor, a coil, a piezoelectric element, a thermistor, a multilayer substrate, or the like) can be manufactured by a printed material in which a layer containing an electrode material is sandwiched between layers containing a ceramic material. In addition, electronic components other than the laminated type (capacitor, coil, piezoelectric element, thermistor, single-layer substrate, etc.) can be manufactured by a printed matter in which a layer containing an electrode material is disposed on the surface of a layer containing a ceramic material. In order to form a non-conductive layer of these electronic components, an ink containing at least one of a dielectric material, a magnetic material, a piezoelectric material, a thermistor material, and the like is used. In addition, in order to form the conductive layer of the internal electrode or the external electrode, an ink containing at least one of Ni, Ag, Pd, Au, Cu, an alloy containing these as a main component, or the like is used. The viscosity of the ink is preferably a low viscosity of 1000 s −1 and 40 mPa · s or less, and particularly preferably a viscosity of 10 mPa · s or more and 25 mPa · s or less.

実施例8は、インクジェット印刷装置を用いて、電子部品の全部又は一部を形成することができる。また、実施例1と同様に、インク内の粒子の沈降を防ぐことができ、印刷タクトを速くすることができ、インクジェットヘッドを動かしてもインクの吐出が不安定になりにくくすることができ、第2のタンク内のインクの液面の位置を一定にするための流量変化による脈動を、インクジェットヘッドに伝えにくくすることができる。そのため、特に絶縁材料と一緒に焼成する電極材料のような沈降しやすい粒子を含むインクを用いても、品質バラツキの小さい電子部品を安定して短期間に製造することができる。   In Example 8, all or part of the electronic components can be formed using an inkjet printing apparatus. Further, as in Example 1, it is possible to prevent sedimentation of particles in the ink, to increase the printing tact time, and to make it difficult for ink ejection to become unstable even when the inkjet head is moved. It is possible to make it difficult to transmit the pulsation caused by the flow rate change to make the position of the ink liquid level in the second tank constant to the inkjet head. For this reason, electronic components with small variations in quality can be stably produced in a short period of time even when using ink containing particles that easily settle, such as an electrode material that is baked together with an insulating material.

<実施例9> 実施例9の電子部品の製造方法について説明する。実施例9では、実施例1〜7と同様に構成されたインクジェット印刷装置を用いて、電子部品の一部を形成する。実施例1に、実施例2〜6の2つ以上の特徴部分を組み合わせたインクジェット印刷装置を用いても構わない。以下では、セラミック電子部品を製造する場合を例に挙げて説明する。   <Example 9> The manufacturing method of the electronic component of Example 9 is demonstrated. In Example 9, a part of the electronic component is formed using the inkjet printing apparatus configured in the same manner as in Examples 1-7. You may use the inkjet printing apparatus which combined the 2 or more characteristic part of Examples 2-6 with Example 1. FIG. Hereinafter, a case where a ceramic electronic component is manufactured will be described as an example.

まず、絶縁材料としてセラミックグリーンシートを準備する。詳しくは、成膜装置を使用してセラミックシートを作製し、乾燥装置で乾燥させて、セラミックグリーンシートを得る。   First, a ceramic green sheet is prepared as an insulating material. Specifically, a ceramic sheet is produced using a film forming apparatus, and dried with a drying apparatus to obtain a ceramic green sheet.

成膜装置は、セラミックスラリーを支持体に塗布することにより、セラミックシートを作製する。セラミックスラリーは、セラミック粉末に樹脂成分を添加し、有機溶媒(水系溶媒でも良い)で分散したものである。支持体には、長尺または短冊状の樹脂フィルム、金属ロール、金属ドラム、金属ベルト、もしくは、金属板等を用いることができる。成膜装置として、例えば、ダイコータ、ドクターブレード、ロールコータ、インクジェット型コータを適宜使用する。   The film forming apparatus produces a ceramic sheet by applying ceramic slurry to a support. The ceramic slurry is obtained by adding a resin component to ceramic powder and dispersing it with an organic solvent (or an aqueous solvent). A long or strip-shaped resin film, a metal roll, a metal drum, a metal belt, a metal plate, or the like can be used for the support. As the film forming apparatus, for example, a die coater, a doctor blade, a roll coater, or an ink jet type coater is appropriately used.

乾燥装置は、熱風、支持体の加熱、または、真空乾燥等の手法でセラミックシートを乾燥させる。セラミックシートを適度に乾燥させて、セラミックグリーンシートを得る。溶媒の性質に適した手法であれば、どのような手法で乾燥させても良い。セラミックグリーンシートは、支持体から剥離させて扱う場合もあれば、支持体に支持されたまま扱う場合もある。   The drying device dries the ceramic sheet by a technique such as hot air, heating of the support, or vacuum drying. The ceramic sheet is appropriately dried to obtain a ceramic green sheet. Any technique suitable for the nature of the solvent may be used for drying. The ceramic green sheet may be handled after being separated from the support, or may be handled while being supported by the support.

次いで、実施例1〜7のインクジェット印刷装置を用いて、セラミックグリーンシート(すなわち、セラミック材料を含む未焼成の絶縁材料シート)に、印刷物として内部電極パターンを印刷する。すなわち、インクジェット印刷装置の印刷ステージにセラミックグリーンシートを載せ、インクジェットヘッドと印刷ステージとを相対的に移動させながら、インクジェットヘッドから、内部電極を形成するための電極材料を含むインクを吐出させ、インクをセラミックグリーンシートに付着させる。   Next, the internal electrode pattern is printed as a printed matter on the ceramic green sheet (that is, the unfired insulating material sheet containing the ceramic material) using the inkjet printing apparatuses of Examples 1 to 7. That is, a ceramic green sheet is placed on a printing stage of an ink jet printing apparatus, and ink containing an electrode material for forming an internal electrode is ejected from the ink jet head while moving the ink jet head and the printing stage relatively. Is attached to the ceramic green sheet.

次いで、内部電極パターンが形成されたセラミックグリーンシート(すなわち、印刷物が形成された前記未焼成のシート)が積層された未焼成の積層体を作製する。詳しくは、内部電極パターンが形成されたセラミックグリーンシートを積層、圧着する。この工程では、一般的な積層機の他に、特開2005‐217278号公報や特開2011−258928号公報に記載の装置を使用すれば良い。なお、支持体は、未焼成の積層体が完成するまでの間の適宜なタイミングで、セラミックグリーンシートから剥離する。   Next, an unfired laminated body in which ceramic green sheets on which internal electrode patterns are formed (that is, the unfired sheet on which printed matter is formed) is laminated is produced. Specifically, the ceramic green sheets on which the internal electrode patterns are formed are stacked and pressure bonded. In this process, in addition to a general laminating machine, an apparatus described in JP-A-2005-217278 or JP-A-2011-258928 may be used. The support is peeled from the ceramic green sheet at an appropriate timing until the unfired laminate is completed.

次いで、作製された未焼成の積層体を加圧プレスの後、所望のサイズにカットする。   Next, the produced unfired laminate is cut into a desired size after pressing.

次いで、圧着されカットされた未焼成の積層体の電極材料とセラミック材料とを一緒に焼成する。   Next, the electrode material and the ceramic material of the unfired laminated body that has been crimped and cut are fired together.

次いで、焼成後の積層体に外部電極を形成し、必要に応じて外部電極のメッキを施すると、セラミック電子部品が完成する。   Next, external electrodes are formed on the fired laminate, and plating of the external electrodes is performed as necessary, thereby completing a ceramic electronic component.

以上のように、インクジェット印刷装置を利用し、電極材料を含むインクを用いて、絶縁材料を含む未焼成のシートに、印刷物を形成し、次いで、印刷物が形成された未焼成のシートを含む未焼成の積層体を形成し、次いで、未焼成の積層体の電極材料とセラミック材料とを一緒に焼成することによって、種々の電子部品を製造することができる。   As described above, using an ink jet printing apparatus, an ink including an electrode material is used to form a printed material on an unfired sheet including an insulating material, and then an unfired sheet including the unfired sheet on which the printed material is formed is formed. Various electronic components can be produced by forming a fired laminate and then firing the unfired laminate electrode material and ceramic material together.

例えば、セラミック材料を含む層の間に電極材料を含む層が挟まれた印刷物によって、積層タイプの電子部品(コンデンサ、コイル、圧電素子、サーミスタ、多層基板など)を製造することができる。また、セラミック材料を含む層の表面に電極材料を含む層が配置された印刷物によって、積層タイプ以外の電子部品(コンデンサ、コイル、圧電素子、サーミスタ、単層基板など)を製造することができる。これらの電子部品の非導電層を形成するため、誘電体、磁性体、ピエゾ、サーミスタ材料などの少なくとも1つを含む未焼成のシートを用いる。また、内部電極や外部電極の導電層を形成するため、Ni、Ag、Pd、Au、Cuやこれらを主成分とする合金などの少なくとも1つを含むインクを用いる。インクの粘度は、1000s−1で40mPa・s以下の低粘度が好ましく、特に10mPa・s以上、かつ25mPa・s以下の粘度が好ましい。 For example, a multilayer electronic component (a capacitor, a coil, a piezoelectric element, a thermistor, a multilayer substrate, or the like) can be manufactured by a printed material in which a layer containing an electrode material is sandwiched between layers containing a ceramic material. In addition, electronic components other than the laminated type (capacitor, coil, piezoelectric element, thermistor, single-layer substrate, etc.) can be manufactured by a printed matter in which a layer containing an electrode material is disposed on the surface of a layer containing a ceramic material. In order to form a non-conductive layer of these electronic components, an unfired sheet containing at least one of a dielectric material, a magnetic material, a piezoelectric material, a thermistor material, and the like is used. In addition, in order to form the conductive layer of the internal electrode or the external electrode, an ink containing at least one of Ni, Ag, Pd, Au, Cu, an alloy containing these as a main component, or the like is used. The viscosity of the ink is preferably a low viscosity of 1000 s −1 and 40 mPa · s or less, and particularly preferably a viscosity of 10 mPa · s or more and 25 mPa · s or less.

実施例9は、インクジェット印刷装置を用いて、電子部品の一部を形成することができる。また、実施例1と同様に、インク内の粒子の沈降を防ぐことができ、印刷タクトを速くすることができ、インクジェットヘッドを動かしてもインクの吐出が不安定になりにくくすることができ、第2のタンク内のインクの液面の位置を一定にするための流量変化による脈動を、インクジェットヘッドに伝えにくくすることができる。   In Example 9, a part of an electronic component can be formed using an inkjet printing apparatus. Further, as in Example 1, it is possible to prevent sedimentation of particles in the ink, to increase the printing tact time, and to make it difficult for ink ejection to become unstable even when the inkjet head is moved. It is possible to make it difficult to transmit the pulsation due to the change in flow rate for making the position of the liquid level of the ink in the second tank constant to the inkjet head.

<まとめ> 以上に説明したように、すべてのインクが循環し、インクジェットヘッドを動かすことができ、インクジェットヘッドを動かしてもインクの吐出が不安定になりにくいインクジェット印刷装置を提供することができる。   <Summary> As described above, it is possible to provide an ink jet printing apparatus in which all the ink is circulated and the ink jet head can be moved, and even when the ink jet head is moved, the ejection of ink is less likely to become unstable.

なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、種々変更を加えて実施することが可能である。   The present invention is not limited to the above embodiment, and can be implemented with various modifications.

例えば、実施例1に、実施例2〜7の2つ以上の特徴部分を組み合わせても構わない。   For example, the first embodiment may be combined with two or more characteristic portions of the second to seventh embodiments.

3 気体
4 インク
5 液面
10,10a インクジェット印刷装置
12 印刷ステージ
20 インクジェットヘッド
21a インクポート(入口)
21b インクポート(出口)
30 第1のタンク
30s 第1の注入口
30t 第1の排出口
31 第1のインク経路
32 第2のタンク
32 気圧センサ
32a 液面センサ
32b 気圧センサ
32c 気圧調整部
32s 第2の注入口
32t 第2の排出口
33 第3のインク経路
33p 配管
33x 減衰部
34 第1のポンプ
35 第2のインク経路
35x 減衰部
36 第2のポンプ
38 制御部
50 液面センサ
60 エアチャンバ(減衰部)
62 アキュームレータ(減衰部)
64 減衰部
70 未焼成の積層体
80 電子部品(セラミック電子部品)
3 Gas 4 Ink 5 Liquid level 10, 10a Inkjet printing device 12 Printing stage 20 Inkjet head 21a Ink port (inlet)
21b Ink port (exit)
30 First tank 30s First inlet 30t First outlet 31 First ink path 32 Second tank 32 Atmospheric pressure sensor 32a Liquid level sensor 32b Atmospheric pressure sensor 32c Atmospheric pressure adjusting unit 32s Second inlet 32t First 2 discharge port 33 third ink path 33p piping 33x attenuation part 34 first pump 35 second ink path 35x attenuation part 36 second pump 38 control part 50 liquid level sensor 60 air chamber (attenuation part)
62 Accumulator (attenuator)
64 Attenuating part 70 Unfired laminate 80 Electronic component (ceramic electronic component)

Claims (11)

インクの入口及び出口を有し、印刷ステージと独立して移動するインクジェットヘッドと、
第1の注入口及び第1の排出口を有する第1のタンクと、
柱状のタンクであって、軸方向一端が重力方向上側になり軸方向他端が重力方向下側になるように配置され、前記軸方向一端側に第2の注入口を有し、前記軸方向他端側に、前記インクジェットヘッドの前記入口に直接又は配管を介して接続された第2の排出口を有し、前記インクジェットヘッドとの相対位置を固定されて前記インクジェットヘッドと一緒に移動する第2のタンクと、
前記第2のタンク内の前記インクの液面を検出する液面センサと、
前記第1のタンクの前記第1の排出口と、前記第2のタンクの前記第2の注入口とを繋げる第1のインク経路と、
前記第1のインク経路に設けられ、前記インクを前記第1のタンクから前記第2のタンクに向けて流動させる第1のポンプと、
前記インクジェットヘッドの前記出口と前記第1のタンクの前記第1の注入口とを繋げる第2のインク経路と、
前記第2のインク経路に設けられ、前記インクを前記インクジェットヘッドから前記第1のタンクに向けて流動させる第2のポンプと、
を備えたことを特徴とするインクジェット印刷装置。
An inkjet head having an ink inlet and outlet and moving independently of the printing stage;
A first tank having a first inlet and a first outlet;
A columnar tank, arranged so that one end in the axial direction is on the upper side in the gravitational direction and the other end in the axial direction is on the lower side in the gravitational direction, and has a second inlet on the one end side in the axial direction; A second discharge port connected to the inlet of the inkjet head directly or via a pipe is provided on the other end side, and the second discharge port is fixed relative to the inkjet head and moves together with the inkjet head. Two tanks,
A liquid level sensor for detecting the liquid level of the ink in the second tank;
A first ink path connecting the first outlet of the first tank and the second inlet of the second tank;
A first pump provided in the first ink path and configured to flow the ink from the first tank toward the second tank;
A second ink path connecting the outlet of the inkjet head and the first inlet of the first tank;
A second pump provided in the second ink path and configured to flow the ink from the inkjet head toward the first tank;
An ink jet printing apparatus comprising:
前記第2のタンク内において前記インクの前記液面に接している気体の圧力を検出する気圧センサと、
前記気体の前記圧力を調整する気圧調整部と、
をさらに備えたことを特徴とする、請求項1に記載のインクジェット印刷装置。
An atmospheric pressure sensor for detecting a pressure of a gas in contact with the liquid surface of the ink in the second tank;
An atmospheric pressure adjusting unit for adjusting the pressure of the gas;
The inkjet printing apparatus according to claim 1, further comprising:
前記液面センサが静電容量式のセンサであることを特徴とする、請求項1又は2に記載のインクジェット印刷装置。   The ink jet printing apparatus according to claim 1, wherein the liquid level sensor is a capacitance type sensor. 前記第2のインク経路のうち、前記インクジェットヘッドの前記出口と前記第2のポンプとの間に、減衰部が設けられたことを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか一つに記載のインクジェット印刷装置。   4. The attenuation unit according to claim 1, wherein an attenuation portion is provided between the outlet of the inkjet head and the second pump in the second ink path. 5. Inkjet printing device. 前記第2の注入口が、前記第2のタンク内の前記インクから離れるように構成されたことを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか一つに記載のインクジェット印刷装置。   5. The inkjet printing apparatus according to claim 1, wherein the second inlet is configured to be separated from the ink in the second tank. 前記液面センサの出力に基づき、前記第1のポンプの流量を制御する制御部を、さらに備えたことを特徴とする、請求項1乃至5のいずれか一つに記載のインクジェット印刷装置。   The ink jet printing apparatus according to claim 1, further comprising a control unit that controls a flow rate of the first pump based on an output of the liquid level sensor. 前記制御部は、
前記第2のタンク内の前記インクの前記液面が所定位置に達し又は前記所定位置を超えていることを前記液面センサが検出したとき、前記第1のポンプの流量が前記第2のポンプの流量と等しくなるように、前記第1のポンプの流量を制御する第1の手順と、
前記第2のタンク内の前記インクの前記液面が前記所定位置に達し又は前記所定位置を超えていることを、前記液面センサが継続して第1の所定時間以上検出したとき、前記第1のポンプの流量がゼロになるように、前記第1のポンプの流量を制御する第2の手順と、
前記第2のタンク内の前記インクの前記液面が前記所定位置に達していないことを、前記液面センサが継続して第2の所定時間以上検出したとき、前記第1のポンプの流量が前記第2のポンプの流量より多くなるように、前記第1のポンプの流量を制御する第3の手順と、
を実行することを特徴とする、請求項6に記載のインクジェット印刷装置。
The controller is
When the liquid level sensor detects that the liquid level of the ink in the second tank reaches a predetermined position or exceeds the predetermined position, the flow rate of the first pump is the second pump. A first procedure for controlling the flow rate of the first pump to be equal to the flow rate of
When the liquid level sensor continuously detects that the liquid level of the ink in the second tank reaches the predetermined position or exceeds the predetermined position for a first predetermined time or longer, A second procedure for controlling the flow rate of the first pump so that the flow rate of the pump of 1 becomes zero;
When the liquid level sensor continuously detects that the liquid level of the ink in the second tank has not reached the predetermined position for a second predetermined time or longer, the flow rate of the first pump is A third procedure for controlling the flow rate of the first pump so as to be greater than the flow rate of the second pump;
The inkjet printing apparatus according to claim 6, wherein:
インクの入口及び出口を有し、印刷ステージと独立して移動するインクジェットヘッドと、
第1の注入口及び第1の排出口を有する第1のタンクと、
柱状のタンクであって、軸方向一端が重力方向上側になり軸方向他端が重力方向下側になるように配置され、前記軸方向一端側に第2の注入口を有し、前記軸方向他端側に、前記インクジェットヘッドの前記入口に直接又は配管を介して接続された第2の排出口を有し、前記インクジェットヘッドとの相対位置を固定されて前記インクジェットヘッドと一緒に移動する第2のタンクと、
前記第2のタンク内の前記インクの液面を検出する液面センサと、
前記第1のタンクの前記第1の排出口と、前記第2のタンクの前記第2の注入口とを繋げる第1のインク経路と、
前記第1のインク経路に設けられ、前記インクを前記第1のタンクから前記第2のタンクに向けて流動させる第1のポンプと、
前記インクジェットヘッドの前記出口と前記第1のタンクの前記第1の注入口とを繋げる第2のインク経路と、
前記第2のインク経路に設けられ、前記インクを前記インクジェットヘッドから前記第1のタンクに向けて流動させる第2のポンプと、
を備えたインクジェット印刷装置を用いて、印刷物を形成する方法であって、
前記第1のタンク、前記第1のポンプ、前記第2のタンク、前記インクジェットヘッド、前記第2のポンプの順番に、前記インクを循環させ、前記印刷ステージ上で、前記インクジェットヘッドを移動させながら、前記インクジェットヘッドから前記インクを吐出することにより、前記印刷物を形成する工程、
を備え、
前記第2のポンプの流量を一定にしながら、前記液面センサの出力に基づき、前記第1のポンプの流量を制御することを特徴とする、印刷物を形成する方法。
An inkjet head having an ink inlet and outlet and moving independently of the printing stage;
A first tank having a first inlet and a first outlet;
A columnar tank, arranged so that one end in the axial direction is on the upper side in the gravitational direction and the other end in the axial direction is on the lower side in the gravitational direction, and has a second inlet on the one end side in the axial direction; A second discharge port connected to the inlet of the inkjet head directly or via a pipe is provided on the other end side, and the second discharge port is fixed relative to the inkjet head and moves together with the inkjet head. Two tanks,
A liquid level sensor for detecting the liquid level of the ink in the second tank;
A first ink path connecting the first outlet of the first tank and the second inlet of the second tank;
A first pump provided in the first ink path and configured to flow the ink from the first tank toward the second tank;
A second ink path connecting the outlet of the inkjet head and the first inlet of the first tank;
A second pump provided in the second ink path and configured to flow the ink from the inkjet head toward the first tank;
A method for forming a printed matter using an inkjet printing apparatus comprising:
The ink is circulated in the order of the first tank, the first pump, the second tank, the inkjet head, and the second pump, and the inkjet head is moved on the printing stage. A step of forming the printed matter by discharging the ink from the inkjet head;
With
A method of forming a printed matter, wherein the flow rate of the first pump is controlled based on the output of the liquid level sensor while keeping the flow rate of the second pump constant.
前記印刷物は、電子部品の一部又は全部であることを特徴とする、請求項8に記載の印刷物を形成する方法。   The method for forming a printed material according to claim 8, wherein the printed material is a part or all of an electronic component. 請求項8又は9に記載の印刷物を形成する方法により、電子部品を製造する電子部品の製造方法であって、
前記第2の工程において、前記インクとして、絶縁材料を含む第1のインクと、電極材料を含む第2のインクとを用い、前記絶縁材料を含む層と、前記電極材料を含む層とを有する未焼成の前記印刷物を形成し、
未焼成の前記印刷物の前記絶縁材料と前記電極材料とを一緒に焼成する第3の工程を備えたことを特徴とする、電子部品の製造方法。
An electronic component manufacturing method for manufacturing an electronic component by the method of forming a printed matter according to claim 8 or 9,
In the second step, a first ink containing an insulating material and a second ink containing an electrode material are used as the ink, and a layer containing the insulating material and a layer containing the electrode material are included. Forming the unfired printed matter,
A method for manufacturing an electronic component, comprising: a third step of firing together the insulating material and the electrode material of the unfired printed matter.
請求項8又は9に記載の印刷物を形成する方法により、電子部品を製造する電子部品の製造方法であって、
前記第2の工程において、電極材料を含む前記インクを用いて、絶縁材料を含む未焼成のシートに、前記印刷物を形成し、
前記印刷物が形成された未焼成の前記シートを含む未焼成の積層体を形成する第3の工程と、
未焼成の前記積層体の前記電極材料と前記絶縁材料とを一緒に焼成する第4の工程と、
を備えたことを特徴とする、電子部品の製造方法。
An electronic component manufacturing method for manufacturing an electronic component by the method of forming a printed matter according to claim 8 or 9,
In the second step, the printed matter is formed on an unfired sheet containing an insulating material using the ink containing the electrode material,
A third step of forming an unfired laminate including the unfired sheet on which the printed matter is formed;
A fourth step of firing together the electrode material of the unfired laminate and the insulating material;
A method for producing an electronic component, comprising:
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