JP2017198521A - Alignment measurement device - Google Patents

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光司 石橋
Koji Ishibashi
光司 石橋
俊介 水見
Shunsuke Mizumi
俊介 水見
寿一 小寺
Toshikazu Kodera
寿一 小寺
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an alignment measurement device capable of accurately and easily measuring a distance between a stationary body and a center axis of a rotor of a turbine, and improving the work efficiency of an alignment work.SOLUTION: An alignment measurement device includes: a measurement part 13 including a positioning sensor 12 running in an axial direction inside a vehicle cabin of a turbine and having a light receiving surface of a laser beam 11 along a center axis and a camera 16 for imaging a stationary body 5 and a non-contact displacement meter 14 for measuring a distance between the center axis and the stationary body 5; a rotary mechanism 20 for rotating the measurement part 13 around in a direction vertical to the light receiving surface; a first movable mechanism 21 for moving the measurement part 13 and the positioning sensor 12 in the vertical direction and the second movable mechanism 22 for moving the measurement part 13 and the positioning sensor 12 in a width direction; and a control device 24. The measurement part 13 has a rotational axis passing the center of the light receiving surface. The control part 24 moves the positioning sensor 12 and the measurement part 13 in such a manner that the center of the light receiving surface and the position of the laser beam are coincident with each other. The camera 16 images at least either before or after the measurement by the non-contact displacement meter 14.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、タービンの静止体の位置を計測するアライメント計測装置に関する。   The present invention relates to an alignment measuring apparatus that measures the position of a stationary body of a turbine.

タービンは、ロータ等の回転体と、ダイアフラム、ブレードリング、及びパッキンリング等の静止体と、回転体と静止体を格納する車室(ケーシング)とを備える。静止体には、車室に設置されるものもある。タービンの組立作業を正確かつスムーズに実施するためには、正しい位置に調整されたロータ等の回転体を基準にして、静止体の位置を計測して調整するアライメント作業を行う必要がある。従来のアライメント作業の例には、ロータの回転軸と同じ位置にピアノ線を配置し、特殊なマイクロメータ等を用いて静止体とピアノ線との距離を測定して静止体の位置の補正量を算出する方法がある。   The turbine includes a rotating body such as a rotor, a stationary body such as a diaphragm, a blade ring, and a packing ring, and a casing (casing) that stores the rotating body and the stationary body. Some stationary bodies are installed in the passenger compartment. In order to perform the assembly operation of the turbine accurately and smoothly, it is necessary to perform an alignment operation for measuring and adjusting the position of the stationary body on the basis of the rotating body such as the rotor adjusted to the correct position. In an example of conventional alignment work, a piano wire is placed at the same position as the rotation axis of the rotor, and the distance between the stationary body and the piano wire is measured using a special micrometer, etc. There is a method to calculate.

このアライメント作業は、上半車室が無いTops−Offの状態にて行う。しかし、運転状態のタービンでは、上半車室と下半車室とが組立てられたTops−Onの状態であり、上下の半車室が互いにボルトで締結されているので、車室の形状がTops−Offの状態から変化している。このため、アライメント作業を正確に行うには、Tops−Onの状態でロータの回転軸と静止体との距離が設計値になるように、静止体の位置を調整する必要がある。   This alignment operation is performed in a Tops-Off state where there is no upper half compartment. However, the turbine in the operating state is a Tops-On state in which the upper half casing and the lower half casing are assembled, and the upper and lower half casings are fastened to each other with bolts. It has changed from the Tops-Off state. For this reason, in order to perform the alignment work accurately, it is necessary to adjust the position of the stationary body so that the distance between the rotating shaft of the rotor and the stationary body becomes a design value in the Tops-On state.

Tops−Onの状態でロータの内径を計測する方法には、マンドレル計測法がある。マンドレル計測法は、ダミーロータの軸方向の計測位置の各所に変位計を取付け、ダミーロータを回転させることにより車室の組立過程における各部の周方向位置のクリアランスの相対変化を一括計測する方法である。   As a method of measuring the inner diameter of the rotor in the Tops-On state, there is a mandrel measurement method. The mandrel measurement method is a method of collectively measuring relative changes in the clearances in the circumferential positions of the respective parts in the assembly process of the passenger compartment by attaching displacement gauges at various positions in the axial measurement position of the dummy rotor and rotating the dummy rotor.

特許文献1には、Tops−Onの状態でロータの内径を計測する他の方法として、タービンの中心軸に円筒レールを設置し、円筒レール内を走行可能な測定ロボットが発するレーザー光により、中心軸と静止体との距離を測定する装置が記載されている。円筒レールの外周には、スリット状のレーザー通過口が測定位置に応じて設けられている。静止体の測定点には、測定ロボットが発するレーザー光を反射するためのミラーが設けられている。   In Patent Document 1, as another method of measuring the inner diameter of the rotor in the Tops-On state, a cylindrical rail is installed on the central axis of the turbine, and a laser beam emitted from a measuring robot capable of traveling in the cylindrical rail is used to center the rotor. An apparatus for measuring the distance between a shaft and a stationary body is described. On the outer periphery of the cylindrical rail, a slit-shaped laser passage opening is provided according to the measurement position. At the measurement point of the stationary body, a mirror for reflecting the laser beam emitted from the measurement robot is provided.

特許文献2には、レーザー光を用いた静止体の位置の別の計測方法として、タービンの回転中心に沿って発射するレーザー光の一部を90度の角度で反射させて静止体に照射し、回転中心から静止体表面までの距離を演算する計測装置が記載されている。計測装置の計測部は、2本の脚部によって支持され、この脚部は、計測対象の静止部に固定される。   In Patent Document 2, as another method for measuring the position of a stationary body using laser light, a part of the laser light emitted along the rotation center of the turbine is reflected at an angle of 90 degrees to irradiate the stationary body. A measuring device that calculates the distance from the center of rotation to the surface of a stationary body is described. The measuring unit of the measuring device is supported by two legs, and the legs are fixed to the stationary part to be measured.

特開平5−256628号公報JP-A-5-256628 特開2013−61297号公報JP 2013-61297 A

特許文献1に記載の装置では、軸方向の測定位置がレーザー通過口のある位置に限定され、軸方向の所望の位置で中心軸と静止体との距離を測定できるとは限らない。また、特許文献1に記載の装置では、レーザー光を反射するミラーを、軸方向の測定位置ごとに設置するか測定ロボットの移動に合わせて移動させる必要があるため、狭い車室内での測定に支障をきたす可能性がある。   In the apparatus described in Patent Document 1, the measurement position in the axial direction is limited to the position where the laser passage is located, and the distance between the central axis and the stationary body cannot always be measured at a desired position in the axial direction. Further, in the apparatus described in Patent Document 1, it is necessary to install a mirror that reflects laser light for each measurement position in the axial direction or to move in accordance with the movement of the measurement robot. It may cause trouble.

特許文献2に記載の装置では、計測対象の静止部に計測部を支持する脚部を固定して計測を行うため、軸方向の複数の位置で中心軸と静止体との距離を計測するためには、計測の都度、計測部の移動と脚部の固定が必要である。このため、特許文献2に記載の装置では、軸方向の所望の位置で中心軸と静止体との距離を測定するには時間と労力がかかり、作業効率が低下する可能性がある。   In the apparatus described in Patent Document 2, in order to perform measurement by fixing a leg portion that supports the measurement unit to the stationary unit to be measured, the distance between the central axis and the stationary body is measured at a plurality of positions in the axial direction. For each measurement, it is necessary to move the measuring unit and fix the leg. For this reason, in the apparatus described in Patent Document 2, it takes time and labor to measure the distance between the central axis and the stationary body at a desired position in the axial direction, which may reduce work efficiency.

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、タービンのロータの中心軸(回転軸)と静止体との距離を所望の位置にて高精度で容易に計測でき、アライメント作業の作業効率を向上できるアライメント計測装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and the distance between the center axis (rotary axis) of the turbine rotor and the stationary body can be easily measured at a desired position with high accuracy, and the work efficiency of the alignment work. An object of the present invention is to provide an alignment measuring apparatus capable of improving the above.

本発明によるアライメント計測装置は、タービンの車室内にロータの中心軸の方向である軸方向に沿って設けられたガイドレール上を走行し、前記ガイドレール上を回転する車輪と、前記中心軸に沿って放射されたレーザー光を受光する受光面を備える位置決めセンサと、計測光を前記タービンの静止体に照射して前記中心軸と前記静止体との距離を計測する非接触変位計と、前記静止体の前記計測光が照射される位置を含む範囲を撮影するカメラとを備える計測部と、前記計測部を、前記位置決めセンサの前記受光面に垂直な方向を回転軸の方向として回転させる回転機構と、前記計測部と前記位置決めセンサとをともに、鉛直方向に移動させる第1の移動機構と、前記計測部と前記位置決めセンサとをともに、前記位置決めセンサの前記受光面に垂直な方向と前記鉛直方向とに垂直な方向である幅方向に移動させる第2の移動機構と、制御装置とを備える。前記計測部は、前記回転軸が前記位置決めセンサの前記受光面の中心を通るような位置に設置される。前記制御装置は、前記位置決めセンサの前記受光面において前記受光面の中心の位置と前記レーザー光の位置とが一致するように、前記第1の移動機構と前記第2の移動機構との少なくとも一方を駆動して前記位置決めセンサと前記計測部とを移動させる。前記カメラは、前記非接触変位計による前記距離の計測の前と後の少なくとも一方で、前記静止体の前記範囲を撮影する。   An alignment measuring apparatus according to the present invention travels on a guide rail provided along an axial direction that is a direction of a central axis of a rotor in a turbine casing, and rotates on the guide rail, and the central axis includes A positioning sensor having a light receiving surface for receiving the laser light emitted along, a non-contact displacement meter that irradiates a stationary body of the turbine with measurement light and measures a distance between the central axis and the stationary body, and A rotation unit that rotates a measurement unit including a camera that captures a range including a position irradiated with the measurement light of a stationary body, and a rotation axis that is perpendicular to the light receiving surface of the positioning sensor. A mechanism, a first moving mechanism that moves the measurement unit and the positioning sensor in the vertical direction, and the measurement unit and the positioning sensor are both Comprising a second moving mechanism for moving in the width direction is perpendicular to said vertical direction and the direction perpendicular to the optical surface, and a control unit. The measurement unit is installed at a position where the rotation shaft passes through the center of the light receiving surface of the positioning sensor. The control device includes at least one of the first moving mechanism and the second moving mechanism such that a position of a center of the light receiving surface and a position of the laser light coincide with each other on the light receiving surface of the positioning sensor. To move the positioning sensor and the measuring unit. The camera photographs the range of the stationary body at least one of before and after the measurement of the distance by the non-contact displacement meter.

本発明によれば、タービンのロータの中心軸(回転軸)と静止体との距離を所望の位置にて高精度で容易に計測でき、アライメント作業の作業効率を向上できるアライメント計測装置を提供することができる。   According to the present invention, there is provided an alignment measuring apparatus capable of easily measuring a distance between a center axis (rotating shaft) of a rotor of a turbine and a stationary body at a desired position with high accuracy and improving work efficiency of alignment work. be able to.

本発明の第1の実施形態例によるアライメント計測装置を、蒸気タービンに適用した場合の全体構成を表す鳥瞰図である。It is a bird's-eye view showing the whole structure at the time of applying the alignment measuring device by the 1st example of an embodiment of the present invention to a steam turbine. 車室内に設置したガイドレールと、ガイドレール上を移動可能なアライメント計測装置を示す上面図である。It is a top view which shows the alignment measuring apparatus which can move on the guide rail installed in the vehicle interior, and a guide rail. アライメント計測装置の主要な構成を示す上面図である。It is a top view which shows the main structures of an alignment measuring device. 図3の矢印A−Aに沿って見たアライメント計測装置の正面図である。It is the front view of the alignment measuring device seen along arrow AA of FIG. 図4の矢印B−Bに沿って見たアライメント計測装置の底面図である。It is the bottom view of the alignment measuring device seen along arrow BB of FIG. 本発明の第2の実施形態例によるアライメント計測装置の正面図である。It is a front view of the alignment measuring apparatus by the 2nd Example of this invention. 本発明の第3の実施形態例によるアライメント計測装置の正面図である。It is a front view of the alignment measuring apparatus by the 3rd Example of this invention. 本発明の第4の実施形態例によるアライメント計測装置の正面図である。It is a front view of the alignment measuring device by the example of 4th Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施形態例による別のアライメント計測装置の正面図である。It is a front view of another alignment measuring device by the 4th example of an embodiment of the present invention. 本発明の第5の実施形態例によるアライメント計測装置の上面図である。It is a top view of the alignment measurement apparatus by the 5th example of an embodiment of the present invention. 図9の矢印C−Cに沿って見たアライメント計測装置の正面図である。It is the front view of the alignment measuring device seen along the arrow CC of FIG.

本発明によるアライメント計測装置は、タービンの静止体(例えば、車室内に設置されたダイアフラム、ブレードリング、パッキンリング)の位置、すなわち、タービンのロータの中心軸(回転軸)と静止体との距離を、ロータの軸方向の任意の位置で高精度かつ簡便に計測でき、アライメント作業の作業効率を向上できる。下半車室に上半車室が設置されたTops−Onの状態でも、計測の際に車室内に作業者が入る必要はない。   The alignment measuring apparatus according to the present invention is a position of a stationary body of a turbine (for example, a diaphragm, a blade ring, and a packing ring installed in a passenger compartment), that is, a distance between a central axis (rotating axis) of a turbine rotor and the stationary body. Can be measured accurately and easily at an arbitrary position in the axial direction of the rotor, and the work efficiency of the alignment work can be improved. Even in the Tops-On state in which the upper half passenger compartment is installed in the lower half passenger compartment, it is not necessary for an operator to enter the passenger compartment during measurement.

本発明によるアライメント計測装置は、タービンの車室内にロータの中心軸の方向に沿って設けられたガイドレール上を走行する。本発明によるアライメント計測装置は、ロータの中心軸と静止体との距離を計測する計測部と、ロータの中心軸に沿って照射されたレーザー光を受けて計測部の位置を調整するための位置決めセンサと、計測部の位置を移動と回転により調整するステージと、静止体の計測位置(静止体の、計測部が既に計測した又はこれから計測する部分の位置)を撮影するためのカメラを備える。レーザー光は、レーザー光源により、中心軸に沿って放射される。本発明によるアライメント計測装置は、ガイドレール上をロータの中心軸の方向に移動可能であり、ロータの中心軸と静止体との距離を所望の位置で容易に計測できる。特に中心軸の方向では、計測位置に制限がなく、任意の位置で計測できる。   The alignment measuring apparatus according to the present invention travels on a guide rail provided along the direction of the central axis of the rotor in the turbine cabin. An alignment measuring apparatus according to the present invention includes a measuring unit that measures the distance between the central axis of the rotor and a stationary body, and a positioning that adjusts the position of the measuring unit by receiving laser light emitted along the central axis of the rotor. A sensor, a stage for adjusting the position of the measurement unit by movement and rotation, and a camera for photographing the measurement position of the stationary body (the position of the stationary body that has already been measured by the measurement unit or will be measured in the future). Laser light is emitted along a central axis by a laser light source. The alignment measuring apparatus according to the present invention can move on the guide rail in the direction of the central axis of the rotor, and can easily measure the distance between the central axis of the rotor and the stationary body at a desired position. Especially in the direction of the central axis, the measurement position is not limited, and measurement can be performed at an arbitrary position.

タービンの車室は、上半車室が無いTops−Offの状態と、上半車室と下半車室とが組立てられたTops−Onの状態と、上下の半車室が互いにボルトで締結されている状態とで、形状が変化する。このため、車室の状態が異なると、静止体の位置が異なることがあり、計測装置の位置が同じでも、静止体の計測したい部分の位置(所望計測位置)と静止体の計測位置とが互いに異なることがある。本発明によるアライメント計測装置は、静止体の計測位置を撮影するカメラを備えるので、車室の状態が異なっても、計測位置の画像を用いて、計測部が計測する静止体の部分の位置を所望計測位置に一致させることができる。このため、常に静止体の同じ位置に対してロータの中心軸と静止体との距離を計測することが可能であり、再現性が高く正確な計測結果を効率良く得ることができる。   The turbine casing has a Tops-Off state where there is no upper half casing, a Tops-On state where the upper half casing and the lower half casing are assembled, and the upper and lower half casings are fastened with bolts to each other. The shape changes depending on the state of being applied. For this reason, the position of the stationary body may differ depending on the state of the passenger compartment, and even if the position of the measuring device is the same, the position of the part to be measured (desired measurement position) and the measurement position of the stationary body are different. May be different from each other. Since the alignment measurement apparatus according to the present invention includes a camera that captures the measurement position of the stationary object, the position of the stationary object measured by the measurement unit is measured using the image of the measurement position even if the state of the passenger compartment is different. The desired measurement position can be matched. For this reason, it is possible to always measure the distance between the central axis of the rotor and the stationary body with respect to the same position of the stationary body, and it is possible to efficiently obtain an accurate measurement result with high reproducibility.

以下、本発明の実施形態例によるアライメント計測装置を、図面を用いて説明する。以下の説明では、本発明によるアライメント計測装置を蒸気タービンに適用した例を説明するが、本発明によるアライメント計測装置は、ガスタービンにも適用できる。なお、本明細書で用いる図面において、同一の要素には同一の符号を付け、これらの要素については繰り返しの説明を省略する場合がある。   Hereinafter, an alignment measuring apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description, an example in which the alignment measurement device according to the present invention is applied to a steam turbine will be described. However, the alignment measurement device according to the present invention can also be applied to a gas turbine. Note that in the drawings used in this specification, the same elements are denoted by the same reference numerals, and repeated description of these elements may be omitted.

以下の説明において、「軸方向」とはロータの中心軸(回転軸)の方向であり、「上下方向」とは鉛直方向であり、アライメント計測装置を単に「計測装置」とも称する。   In the following description, the “axial direction” is the direction of the central axis (rotating axis) of the rotor, the “vertical direction” is the vertical direction, and the alignment measuring device is also simply referred to as “measuring device”.

<第1実施形態例>
図1は、本発明の第1の実施形態例によるアライメント計測装置を蒸気タービンに適用した場合の全体構成を表す鳥瞰図である。図1には、一般的な高中圧タービンの下半車室を示している。蒸気タービンは、外部車室1、内部車室2、第1軸受3、第2軸受4、位置の調整(アライメント)が必要な静止体5を備える。第1軸受3と第2軸受4は、ロータ(図示せず)の軸受である。静止体5は、車室(外部車室1と内部車室2との少なくとも一方)に設置され、例えば、ダイアフラム、パッキンリング、及びブレードリングである。
<First embodiment>
FIG. 1 is a bird's-eye view showing the overall configuration when the alignment measuring apparatus according to the first embodiment of the present invention is applied to a steam turbine. FIG. 1 shows a lower half casing of a general high and medium pressure turbine. The steam turbine includes an outer casing 1, an inner casing 2, a first bearing 3, a second bearing 4, and a stationary body 5 that requires position adjustment (alignment). The first bearing 3 and the second bearing 4 are rotor (not shown) bearings. The stationary body 5 is installed in a vehicle compartment (at least one of the external vehicle compartment 1 and the internal vehicle compartment 2), and is, for example, a diaphragm, a packing ring, and a blade ring.

アライメント作業では、ロータの中心軸を基準として静止体5の位置を調整する。このために、ロータを設置せずとも中心軸を模擬できる仮想中心軸6を車室内に設置する。仮想中心軸6は、レーザー光などの直進性のある光線を使用して設置する。光線の光源は、車室の組立時に車室の形状変化の影響を受けない軸受などに設置するのが望ましい。具体的には、第1軸受3に設置された支持部材を用いて、レーザー発光器7をロータの中心軸の位置に設置し、第2軸受4に設置された支持部材を用いて、レーザー受光器8をロータの中心軸の位置に設置し、レーザー発光器7が発光しレーザー受光器8が受光するレーザー光を仮想中心軸6とする。   In the alignment operation, the position of the stationary body 5 is adjusted with reference to the central axis of the rotor. For this purpose, a virtual central axis 6 that can simulate the central axis without installing a rotor is installed in the vehicle interior. The virtual central axis 6 is installed by using a light beam having straightness such as laser light. It is desirable that the light source of the light beam be installed on a bearing or the like that is not affected by changes in the shape of the passenger compartment when the passenger compartment is assembled. Specifically, the laser emitter 7 is installed at the position of the central axis of the rotor using the support member installed on the first bearing 3, and the laser beam is received using the support member installed on the second bearing 4. The instrument 8 is installed at the position of the central axis of the rotor, and the laser light emitted from the laser emitter 7 and received by the laser receiver 8 is defined as the virtual central axis 6.

車室内には、軸方向に沿って、1対のガイドレール9が設置される。本実施形態例によるアライメント計測装置10は、ガイドレール9上を軸方向に自在に移動可能である。   A pair of guide rails 9 are installed in the vehicle compartment along the axial direction. The alignment measuring apparatus 10 according to the present embodiment can move freely on the guide rail 9 in the axial direction.

図2は、図1に示したタービンの下半車室を上面から見た概略図であり、車室内に設置されたガイドレール9と、ガイドレール9上を移動可能なアライメント計測装置10を示す図である。図2を用いて、ロータの中心軸すなわち仮想中心軸6と静止体5との距離を計測するアライメント計測装置10について説明する。   FIG. 2 is a schematic view of the lower half casing of the turbine shown in FIG. 1 as viewed from above, and shows a guide rail 9 installed in the passenger compartment and an alignment measuring apparatus 10 movable on the guide rail 9. FIG. An alignment measuring apparatus 10 that measures the distance between the central axis of the rotor, that is, the virtual central axis 6 and the stationary body 5 will be described with reference to FIG.

ガイドレール9は、内部車室2の内部のロータが設置される空間の下部を通るように、軸方向に沿って設置される。ガイドレール9は、水平かつロータの中心軸と平行になるように設置するのが望ましく、アライメント作業で必要となる中心軸と内部車室2の最下部との距離の計測を阻害しないように、内部車室2の最下部でない位置に設置するのが望ましい。ガイドレール9は、計測対象でない物体に固定するのが望ましく、例えば、外部車室1の外部に設けた支持部材、内部車室2の内部に設けた支持部材、又は内部車室2の内部にある静止体5であって計測対象でないものに固定する。   The guide rail 9 is installed along the axial direction so as to pass through the lower part of the space in which the rotor inside the internal compartment 2 is installed. The guide rail 9 is preferably installed so as to be horizontal and parallel to the central axis of the rotor, so as not to hinder the measurement of the distance between the central axis and the lowermost part of the inner casing 2 required for the alignment work. It is desirable to install it at a position other than the lowermost part of the internal casing 2. The guide rail 9 is preferably fixed to an object that is not a measurement object. For example, a support member provided outside the external compartment 1, a support member provided inside the internal compartment 2, or inside the internal compartment 2 It is fixed to a certain stationary body 5 that is not a measurement target.

アライメント計測装置10は、駆動装置を備え、ガイドレール9上を軸方向に走行し、静止体5の所望計測位置50を計測するための位置51に移動することができる。図2では、静止体5の所望計測位置50と、所望計測位置50を計測するための計測装置10の位置51との関係を、破線で示している。計測装置10は、軸方向に移動可能であるので、仮想中心軸6と静止体5との距離を、軸方向の任意の位置で計測できる。   The alignment measuring device 10 includes a driving device, travels on the guide rail 9 in the axial direction, and can move to a position 51 for measuring a desired measurement position 50 of the stationary body 5. In FIG. 2, the relationship between the desired measurement position 50 of the stationary body 5 and the position 51 of the measurement apparatus 10 for measuring the desired measurement position 50 is indicated by a broken line. Since the measuring device 10 is movable in the axial direction, the distance between the virtual central axis 6 and the stationary body 5 can be measured at an arbitrary position in the axial direction.

計測装置10は、位置決めセンサ12と計測部13を備える。位置決めセンサ12は、レーザー発光器7が発光したレーザー光11を受光する受光面を備え、計測装置10の位置を検知するためのセンサである。計測部13は、位置決めセンサ12の受光面に垂直な方向を回転軸の方向として回転可能である。計測部13の回転方向を「周方向」と呼ぶ。計測装置10は、位置決めセンサ12からの情報を基に、計測部13の回転軸の位置がレーザー光11の位置(すなわち、仮想中心軸6の位置)と一致するように、計測部13の位置を調整する。位置決めセンサ12には既存のものを用いることができる。計測部13の構成については後述する。   The measuring device 10 includes a positioning sensor 12 and a measuring unit 13. The positioning sensor 12 includes a light receiving surface that receives the laser light 11 emitted from the laser emitter 7 and is a sensor for detecting the position of the measuring device 10. The measuring unit 13 can rotate with the direction perpendicular to the light receiving surface of the positioning sensor 12 as the direction of the rotation axis. The rotation direction of the measurement unit 13 is referred to as “circumferential direction”. Based on the information from the positioning sensor 12, the measurement device 10 determines the position of the measurement unit 13 such that the position of the rotation axis of the measurement unit 13 matches the position of the laser beam 11 (that is, the position of the virtual central axis 6). Adjust. An existing sensor can be used as the positioning sensor 12. The configuration of the measurement unit 13 will be described later.

図3と図4を用いて、アライメント計測装置10の詳細な構造を説明する。図3は、計測装置10の主要な構成を示す上面図であり、図4は、図3の矢印A−Aに沿って見た(すなわち、軸方向から見た)計測装置10の正面図である。   A detailed structure of the alignment measuring apparatus 10 will be described with reference to FIGS. 3 and 4. FIG. 3 is a top view showing the main configuration of the measuring apparatus 10, and FIG. 4 is a front view of the measuring apparatus 10 as viewed along the arrow AA in FIG. 3 (that is, viewed from the axial direction). is there.

計測装置10は、主要な構成要素として、位置決めセンサ12、計測部13、回転ステージ20、Zステージ21、Xステージ22、計測装置10を軸方向に移動させる車輪23、及び計測装置10を制御する制御装置24を備える。回転ステージ20は、計測部13を周方向(位置決めセンサ12の受光面に垂直な方向を回転軸とする方向)に回転させる回転機構である。Zステージ21は、計測部13と位置決めセンサ12と回転ステージ20を上下方向(鉛直方向)に移動させる移動機構である。Xステージ22は、計測部13と位置決めセンサ12と回転ステージ20を幅方向に移動させる移動機構である。「幅方向」とは、位置決めセンサ12の受光面に垂直な方向と鉛直方向とに垂直な方向であり、計測装置10の走行方向(ガイドレール9の設置方向)に対する左右方向である。車輪23は、軸受26により、計測装置10に回転可能に固定される。   The measurement apparatus 10 controls the positioning sensor 12, the measurement unit 13, the rotary stage 20, the Z stage 21, the X stage 22, the wheel 23 that moves the measurement apparatus 10 in the axial direction, and the measurement apparatus 10 as main components. A control device 24 is provided. The rotation stage 20 is a rotation mechanism that rotates the measurement unit 13 in the circumferential direction (a direction in which a direction perpendicular to the light receiving surface of the positioning sensor 12 is a rotation axis). The Z stage 21 is a moving mechanism that moves the measurement unit 13, the positioning sensor 12, and the rotary stage 20 in the vertical direction (vertical direction). The X stage 22 is a moving mechanism that moves the measurement unit 13, the positioning sensor 12, and the rotary stage 20 in the width direction. The “width direction” is a direction perpendicular to the light receiving surface of the positioning sensor 12 and a direction perpendicular to the vertical direction, and is a left-right direction with respect to the traveling direction of the measuring device 10 (the installation direction of the guide rail 9). The wheel 23 is rotatably fixed to the measuring device 10 by a bearing 26.

計測部13は、回転ステージ20により周方向に360度回転可能であり、この回転の軸が位置決めセンサ12の受光面の中心を通るような位置に設置されている。また、計測部13の回転の軸は、位置決めセンサ12の受光面に垂直となるように設置されている。   The measuring unit 13 can be rotated 360 degrees in the circumferential direction by the rotary stage 20, and is installed at a position where the axis of rotation passes through the center of the light receiving surface of the positioning sensor 12. Further, the rotation axis of the measuring unit 13 is installed so as to be perpendicular to the light receiving surface of the positioning sensor 12.

位置決めセンサ12は、レーザー光11を受光面で受けることができるように設置され、受光面でのレーザー光11の位置と受光面の中心位置との上下方向と幅方向の距離を求め、これらの距離を制御装置24に送る。位置決めセンサ12は、Zステージ21とXステージ22により、計測部13とともに移動する。   The positioning sensor 12 is installed so that the laser beam 11 can be received by the light receiving surface, and obtains the distances in the vertical direction and the width direction between the position of the laser beam 11 on the light receiving surface and the center position of the light receiving surface. The distance is sent to the control device 24. The positioning sensor 12 is moved together with the measuring unit 13 by the Z stage 21 and the X stage 22.

制御装置24は、位置決めセンサ12からこれらの距離を取得し、位置決めセンサ12の受光面においてレーザー光11の位置と受光面の中心位置とが一致するように(すなわち、取得した距離がいずれもゼロとなるように)、Zステージ21とXステージ22との少なくとも一方を駆動して位置決めセンサ12と計測部13をともに移動させる。これにより、計測部13の回転軸は、仮想中心軸6と一致する。このようにして、計測装置10は、計測部13の回転軸と仮想中心軸6とを自動的に一致させることができる。   The control device 24 acquires these distances from the positioning sensor 12 so that the position of the laser beam 11 and the center position of the light receiving surface coincide with each other on the light receiving surface of the positioning sensor 12 (that is, the acquired distances are all zero). In other words, at least one of the Z stage 21 and the X stage 22 is driven to move the positioning sensor 12 and the measurement unit 13 together. Thereby, the rotation axis of the measurement unit 13 coincides with the virtual center axis 6. In this way, the measurement apparatus 10 can automatically match the rotation axis of the measurement unit 13 and the virtual central axis 6.

計測部13は、レーザー光などを計測光15として用いる非接触変位計14を備える。非接触変位計14は、計測光15を静止体5に照射して仮想中心軸6(すなわち、ロータの中心軸)と静止体5との距離を計測する。非接触変位計14は、計測部13の周方向の回転の軸が仮想中心軸6の位置にあると仮定して、計測部13の周方向の回転の軸と静止体5との距離を計測し、この距離を仮想中心軸6と静止体5との距離とする。なお、非接触変位計14には、既存のものを用いることができ、例えばレーザー変位計などを用いることができる。   The measurement unit 13 includes a non-contact displacement meter 14 that uses laser light or the like as measurement light 15. The non-contact displacement meter 14 irradiates the stationary body 5 with the measurement light 15 and measures the distance between the virtual central axis 6 (that is, the central axis of the rotor) and the stationary body 5. The non-contact displacement meter 14 measures the distance between the rotation axis in the circumferential direction of the measurement unit 13 and the stationary body 5 on the assumption that the rotation axis in the circumferential direction of the measurement unit 13 is at the position of the virtual central axis 6. This distance is the distance between the virtual central axis 6 and the stationary body 5. As the non-contact displacement meter 14, an existing one can be used, for example, a laser displacement meter can be used.

計測部13は、周方向に360度回転可能であるので、仮想中心軸6と静止体5との距離を、周方向の任意の位置で計測できる。但し、非接触変位計14からの計測光15がガイドレール9と干渉する僅かな区間では、仮想中心軸6と静止体5との距離が計測不能である。しかし、タービンでのアライメントの基本となる、車室内部の最頂部と最下部での、及び下半車室の幅方向の両端部にある水平面付近での静止体5と仮想中心軸6との距離は、ガイドレール9に遮られることなく計測可能である。   Since the measurement unit 13 can rotate 360 degrees in the circumferential direction, the distance between the virtual central axis 6 and the stationary body 5 can be measured at an arbitrary position in the circumferential direction. However, the distance between the virtual central axis 6 and the stationary body 5 cannot be measured in a slight section where the measurement light 15 from the non-contact displacement meter 14 interferes with the guide rail 9. However, the stationary body 5 and the imaginary central axis 6 near the horizontal plane at the top and bottom of the interior of the vehicle interior and at both ends in the width direction of the lower half of the interior of the vehicle interior, the basis of alignment in the turbine. The distance can be measured without being blocked by the guide rail 9.

上述したように、計測装置10は、計測部13の回転軸と仮想中心軸6とを自動的に一致させることができるので、仮想中心軸6と静止体5との距離を精度よく計測できる。更に、計測部13の回転軸が仮想中心軸6と厳密に一致するような位置にガイドレール9を設置しなくても、計測装置10は、計測部13の回転軸と仮想中心軸6とを自動的に一致させることができるので、ガイドレール9を設置する作業効率を向上できる。   As described above, the measurement apparatus 10 can automatically match the rotation axis of the measurement unit 13 and the virtual center axis 6, and thus can accurately measure the distance between the virtual center axis 6 and the stationary body 5. Furthermore, the measuring apparatus 10 can connect the rotation axis of the measurement unit 13 and the virtual center axis 6 without installing the guide rail 9 at a position where the rotation axis of the measurement unit 13 exactly matches the virtual center axis 6. Since it can match automatically, the work efficiency which installs the guide rail 9 can be improved.

計測部13は、更に、静止体5の、計測光15が照射される位置を含む範囲を撮影するカメラ16を備える。カメラ16は、非接触変位計14からの計測光15が所望計測位置に照射されているかを確認するために用いられる。カメラ16の撮影視界17は、計測光15が照射される位置(すなわち、静止体5の計測位置)を含む静止体5の広範囲である。カメラ16は、この撮影視界17内の画像を撮影することが可能であり、非接触変位計14による距離の計測の前と後の少なくとも一方で、画像を撮影する。   The measurement unit 13 further includes a camera 16 that captures a range of the stationary body 5 including a position where the measurement light 15 is irradiated. The camera 16 is used for confirming whether the measurement light 15 from the non-contact displacement meter 14 is applied to a desired measurement position. The shooting field 17 of the camera 16 is a wide range of the stationary body 5 including a position where the measurement light 15 is irradiated (that is, a measurement position of the stationary body 5). The camera 16 can shoot an image in the field of view 17 and shoots an image at least one of before and after the distance measurement by the non-contact displacement meter 14.

計測部13がカメラ16を備えることにより、下半車室に上半車室を設置したTops−Onの状態でも車室内部の計測状況を車室外部から確認でき、所望計測位置を計測しているかなどの確認の他、ボルト締結後の上半車室と下半車室との隙間の有無など、従来の計測装置では得られなかった情報も取得可能である。このため、本実施例による計測装置10は、特に、作業者が入り込む車室内部空間が狭い高圧タービンなどでの計測に有効である。   By providing the camera 16 with the measurement unit 13, the measurement state in the vehicle interior can be confirmed from the outside of the vehicle compartment even in the Tops-On state in which the upper vehicle compartment is installed in the lower vehicle compartment, and the desired measurement position is measured. In addition to confirming whether or not there is a gap between the upper and lower passenger compartments after tightening the bolts, it is also possible to acquire information that could not be obtained with a conventional measuring device. For this reason, the measuring apparatus 10 according to the present embodiment is particularly effective for measurement in a high-pressure turbine or the like in which a vehicle interior space where an operator enters is narrow.

更に、計測部13がカメラ16を備えることにより、上半車室が下半車室に設置されていないTops−Offの状態での計測位置と、上半車室が下半車室に設置されているTops−Onの状態での計測位置と、上下の半車室が互いにボルトで締結されている状態での計測位置とを、同一の位置(すなわち、所望計測位置)にすることができる。カメラ16は、これらの状態での静止体5の計測位置の画像を、仮想中心軸6と静止体5との距離を計測する前と後の少なくとも一方で撮影する。作業者または制御装置24は、カメラ16が撮影した計測位置の画像を比較し、制御装置24は、これらの各状態において計測位置が所望計測位置になるように計測部13を移動させたり回転させたりする。これにより、車室の状態が異なっても、常に所望計測位置で、ロータの中心軸(仮想中心軸6)と静止体との距離を計測することができ、アライメントの精度を大幅に向上させることができる。   Furthermore, since the measurement unit 13 includes the camera 16, the measurement position in the Tops-Off state where the upper half compartment is not installed in the lower half compartment and the upper half compartment are installed in the lower half compartment. The measurement position in the Tops-On state and the measurement position in the state where the upper and lower half casings are fastened with bolts can be made the same position (that is, the desired measurement position). The camera 16 captures an image of the measurement position of the stationary body 5 in these states at least one before and after measuring the distance between the virtual central axis 6 and the stationary body 5. The operator or the control device 24 compares the measurement position images captured by the camera 16, and the control device 24 moves or rotates the measurement unit 13 so that the measurement position becomes the desired measurement position in each of these states. Or As a result, the distance between the central axis of the rotor (virtual central axis 6) and the stationary body can always be measured at the desired measurement position even when the state of the passenger compartment is different, and the alignment accuracy can be greatly improved. Can do.

図5は、図4の矢印B−Bに沿って見たアライメント計測装置10の底面図である。計測装置10は、底面に、計測装置10を軸方向に移動させるための走行部を備える。走行部は、ガイドレール9上を回転する車輪23、車輪23を回転可能に固定する軸受26、車輪23を回転させる駆動装置27、計測装置10の電気部品に電源を供給する電源部25を備える。   FIG. 5 is a bottom view of the alignment measuring apparatus 10 as viewed along the arrow BB in FIG. The measuring device 10 includes a traveling unit for moving the measuring device 10 in the axial direction on the bottom surface. The traveling unit includes a wheel 23 that rotates on the guide rail 9, a bearing 26 that rotatably fixes the wheel 23, a drive device 27 that rotates the wheel 23, and a power supply unit 25 that supplies power to the electrical components of the measuring device 10. .

電源部25は、駆動装置27、計測部13、回転ステージ20、Zステージ21、Xステージ22、及びカメラ16などに電源を供給する。電源部25は、計測装置10の底面に設置せずに計測装置10の上面に設置してもよく、計測装置10に設置せずに計測装置10の外部に設置しケーブルを介して計測装置10に電源を供給するようにしてもよい。   The power supply unit 25 supplies power to the driving device 27, the measurement unit 13, the rotary stage 20, the Z stage 21, the X stage 22, the camera 16, and the like. The power supply unit 25 may be installed on the upper surface of the measuring device 10 without being installed on the bottom surface of the measuring device 10, or installed outside the measuring device 10 without being installed on the measuring device 10 and via the cable. You may make it supply a power supply to.

車輪23は、計測装置10の幅方向の一方に少なくとも2輪、他方に少なくとも2輪設置され、計測装置10に対して着脱可能な軸受26に取付けられている。車輪23の少なくとも1つは、軸受26を兼ねた駆動装置27に直結されている。駆動装置27は、制御装置24からの指令により、車輪23を回転させて、計測装置10を軸方向に移動させる。制御装置24は、作業者の指示を受けて又はプログラム等で予め設定された動作に従って、駆動装置27を制御する。なお、車輪23には、ガイドレール9上を滑らずに回転できるように、ガイドレール9との接触面にゴムやウレタン等を用いた加工が施されている。   The wheel 23 is installed on at least two wheels on one side in the width direction of the measuring device 10 and at least two wheels on the other side, and is attached to a bearing 26 that can be attached to and detached from the measuring device 10. At least one of the wheels 23 is directly connected to a drive device 27 that also serves as a bearing 26. The driving device 27 rotates the wheel 23 in accordance with a command from the control device 24 to move the measuring device 10 in the axial direction. The control device 24 controls the drive device 27 according to an instruction from an operator or according to an operation preset by a program or the like. In addition, the process which used rubber | gum, urethane, etc. is given to the contact surface with the guide rail 9 so that the wheel 23 can rotate without sliding on the guide rail 9. FIG.

<第2実施形態例>
図6は、本発明の第2の実施形態例によるアライメント計測装置の正面図である。本実施形態例によるアライメント計測装置10は、専用のガイドレール9が不要であるとともに、ガイドレール9が特定の形状である必要がない。例えば、図6に示すように、ガイドレール9には、丸パイプ9A、L鋼9B、I鋼9C、H鋼9Dなどを用いることができ、様々な形状のレールを使用することができる。
<Second Embodiment>
FIG. 6 is a front view of an alignment measuring apparatus according to the second embodiment of the present invention. The alignment measuring apparatus 10 according to the present embodiment does not require the dedicated guide rail 9 and does not require the guide rail 9 to have a specific shape. For example, as shown in FIG. 6, a round pipe 9A, L steel 9B, I steel 9C, H steel 9D, etc. can be used for the guide rail 9, and rails of various shapes can be used.

このため、本実施形態例によるアライメント計測装置10は、第1の実施形態例で述べた各効果に加えて、次の効果が得られる。   For this reason, the alignment measuring apparatus 10 according to the present embodiment can obtain the following effects in addition to the effects described in the first embodiment.

本実施形態例によるアライメント計測装置10は、ガイドレール9の形状を自由に選べるので、タービン組立を行う現地で入手しやすい材料を組み合わせてガイドレール9に使用することが可能である。また、ガイドレール9の設置にあたり、ガイドレール9の剛性が低い材質を使用して撓みが生じても、この撓みが計測部13の上下方向の位置を調整するZステージ21の可動距離の範囲内であれば、計測装置10は、計測部13の回転軸と仮想中心軸6とを自動的に一致させることができるので、静止体5の位置を精度よく計測できる。更に、ガイドレール9の設置にあたり、作業者がガイドレール9の位置を厳密に調整する必要がないので、計測装置10を用いると作業効率の向上が可能である。   Since the alignment measuring apparatus 10 according to the present embodiment can freely select the shape of the guide rail 9, it can be used for the guide rail 9 by combining materials that are easily available at the site where the turbine is assembled. Further, when the guide rail 9 is installed, even if the guide rail 9 is bent using a material having low rigidity, the bending is within the range of the movable distance of the Z stage 21 that adjusts the vertical position of the measuring unit 13. If so, the measurement apparatus 10 can automatically match the rotation axis of the measurement unit 13 and the virtual central axis 6, and thus can accurately measure the position of the stationary body 5. Further, when the guide rail 9 is installed, it is not necessary for the operator to adjust the position of the guide rail 9 strictly. Therefore, using the measuring device 10 can improve the work efficiency.

<第3実施形態例>
図7は、本発明の第3の実施形態例によるアライメント計測装置の、軸方向から見た正面図である。本実施形態例によるアライメント計測装置10は、上下方向の位置が互いに異なる2本のガイドレール9上を走行する。
<Third Embodiment>
FIG. 7 is a front view of the alignment measuring apparatus according to the third embodiment of the present invention viewed from the axial direction. The alignment measuring apparatus 10 according to the present embodiment travels on two guide rails 9 having different vertical positions.

本実施形態例によるアライメント計測装置10は、第1の実施形態例と同様の構成を備えるが、車輪23、23Aを固定する軸受26と計測装置10の底面との間に延長部材28を備える点が、第1の実施形態例による計測装置10と異なる。   The alignment measurement apparatus 10 according to the present embodiment has the same configuration as that of the first embodiment, but includes an extension member 28 between the bearing 26 that fixes the wheels 23 and 23A and the bottom surface of the measurement apparatus 10. However, it is different from the measuring apparatus 10 according to the first embodiment.

更に、第1の実施形態例では、車輪23は、上下方向に沿って上方から計測装置10を見たときに計測装置10の幅方向外側(計測装置10から幅方向に外れた位置)に位置するが、本実施形態例では、幅方向の少なくとも一方の車輪23Aは、上下方向に沿って上方から計測装置10を見たときに計測装置10の幅方向内側(計測装置10に隠れる位置)に位置する。軸受26は、計測装置10に対して着脱可能であり、計測装置10に対して着脱することにより水平面内での向きを変えることができる。車輪23、23Aは、軸受26の水平面内での向きを変えることで、幅方向の位置を変えることができる。例えば、軸受26を、上下方向を回転軸の方向として180度回転させて向きを変えることで、車輪23、23Aの幅方向の位置を、計測装置10の外側から内側(又は、内側から外側)へと変えることができる。   Furthermore, in the first embodiment, the wheel 23 is positioned on the outer side in the width direction of the measuring device 10 (position deviated from the measuring device 10 in the width direction) when the measuring device 10 is viewed from above along the vertical direction. However, in this embodiment, at least one wheel 23A in the width direction is located on the inner side in the width direction of the measurement device 10 (a position hidden by the measurement device 10) when the measurement device 10 is viewed from above along the vertical direction. To position. The bearing 26 can be attached to and detached from the measuring device 10, and the orientation in the horizontal plane can be changed by attaching and detaching to the measuring device 10. The wheels 23 and 23A can change the position in the width direction by changing the orientation of the bearing 26 in the horizontal plane. For example, the bearing 26 is rotated 180 degrees with the vertical direction as the direction of the rotation axis to change the direction, so that the positions in the width direction of the wheels 23 and 23A are changed from the outside of the measuring device 10 to the inside (or from the inside to the outside). Can be changed.

延長部材28は、上下方向に延伸する部材であり、計測装置10の底面と軸受26とを接続する。延長部材28の上下方向の長さは、ガイドレール9の設置位置と仮想中心軸6との上下方向の距離に応じて、任意に定めることができる。延長部材28は、計測装置10の底面に、ガイドレール9の設置位置に応じた位置に設けることができる。   The extension member 28 is a member extending in the vertical direction, and connects the bottom surface of the measuring device 10 and the bearing 26. The vertical length of the extension member 28 can be arbitrarily determined according to the vertical distance between the installation position of the guide rail 9 and the virtual center axis 6. The extension member 28 can be provided on the bottom surface of the measuring device 10 at a position corresponding to the installation position of the guide rail 9.

本実施形態例による計測装置10は、延長部材28により、車輪23、23Aを計測装置10の底面より下方で上下方向の任意の位置に設置可能であり、ガイドレール9と計測部13(すなわち、ガイドレール9と位置決めセンサ12)との上下方向の距離を調整できる。また、車輪23、23Aの幅方向の位置は、ガイドレール9の設置位置に合わせて変えることができる。   The measuring device 10 according to the present embodiment can install the wheels 23 and 23A at any position in the vertical direction below the bottom surface of the measuring device 10 by the extension member 28, and the guide rail 9 and the measuring unit 13 (that is, The distance in the vertical direction between the guide rail 9 and the positioning sensor 12) can be adjusted. Further, the positions in the width direction of the wheels 23, 23 </ b> A can be changed according to the installation position of the guide rail 9.

上記の構成により、本実施形態例によるアライメント計測装置10は、第1の実施形態例で述べた各効果に加えて、次の効果が得られる。   With the above configuration, the alignment measuring apparatus 10 according to the present embodiment can obtain the following effects in addition to the effects described in the first embodiment.

静止体5の内径が大きい、又はガイドレール9の設置場所に制約があるなどのために、仮想中心軸6とガイドレール9との上下方向の距離が大きい場合には、第1の実施形態例による計測装置10では、計測部13が仮想中心軸6よりも下方に位置し、計測部13の回転軸と仮想中心軸6とが一致せず、静止体5の位置を計測できないことがある。本実施形態例による計測装置10では、延長部材28を備えるので、このような場合であっても、計測部13の回転軸と仮想中心軸6とが一致可能なように計測部13の上下方向の位置を調整できるので、静止体5の位置を計測できる。車輪23、23Aの幅方向の位置は、ガイドレール9の設置位置に合わせて変えることができるので、ガイドレール9の設置位置がどこであっても(例えば、ガイドレール9の設置位置が、上下方向に沿って計測装置10を見たときに計測装置10の幅方向内側であっても)、本実施形態例による計測装置10は、静止体5の位置を計測できる。   In the case where the vertical distance between the virtual central axis 6 and the guide rail 9 is large because the inner diameter of the stationary body 5 is large or the installation location of the guide rail 9 is limited, the first embodiment example In the measurement apparatus 10 according to the above, the measurement unit 13 is located below the virtual center axis 6, the rotation axis of the measurement unit 13 and the virtual center axis 6 do not match, and the position of the stationary body 5 may not be measured. Since the measuring apparatus 10 according to the present embodiment includes the extension member 28, even in such a case, the vertical direction of the measuring unit 13 so that the rotation axis of the measuring unit 13 and the virtual central axis 6 can coincide with each other. The position of the stationary body 5 can be measured. Since the position in the width direction of the wheels 23 and 23A can be changed in accordance with the installation position of the guide rail 9, the installation position of the guide rail 9 is anywhere (for example, the installation position of the guide rail 9 is the vertical direction). The measuring device 10 according to the present embodiment can measure the position of the stationary body 5 (even when the measuring device 10 is viewed along the width direction of the measuring device 10 along the width direction).

また、本実施形態例による計測装置10は、延長部材28を備えることにより、計測部13の上下方向の位置を調整するZステージ21の可動範囲を必要最小限に抑えることが可能であり、計測装置10の小型化と軽量化も可能である。   In addition, the measurement apparatus 10 according to the present embodiment includes the extension member 28, and thus the movable range of the Z stage 21 for adjusting the vertical position of the measurement unit 13 can be suppressed to the minimum necessary. The device 10 can be reduced in size and weight.

<第4実施形態例>
図8Aと図8Bは、本発明の第4の実施形態例によるアライメント計測装置の、軸方向から見た正面図である。以下では、本実施形態例による計測装置10の、第1の実施形態例と異なる点を説明する。
<Example of Fourth Embodiment>
8A and 8B are front views of the alignment measuring apparatus according to the fourth embodiment of the present invention viewed from the axial direction. Below, the difference from the first exemplary embodiment of the measuring apparatus 10 according to the present exemplary embodiment will be described.

図8Aに示した計測装置10は、幅方向の距離(間隔)が大きい2本のガイドレール9上を走行する。図8Aのようにガイドレール9の幅方向の距離が大きいと、第1の実施形態例による計測装置10は、ガイドレール9上を走行できない。図8Aに示した計測装置10は、車輪23Bと軸受26との距離が第1の実施形態例での距離よりも大きいので、ガイドレール9上を走行できる。   The measuring apparatus 10 illustrated in FIG. 8A travels on two guide rails 9 having a large distance (interval) in the width direction. If the distance in the width direction of the guide rail 9 is large as shown in FIG. 8A, the measuring device 10 according to the first embodiment cannot travel on the guide rail 9. The measuring apparatus 10 shown in FIG. 8A can travel on the guide rail 9 because the distance between the wheel 23B and the bearing 26 is larger than the distance in the first embodiment.

図8Aに示した計測装置10は、幅方向の一方の車輪23Bの軸の長さが、他方の車輪23の軸の長さよりも長く、一方の車輪23Bと軸受26との幅方向の距離も、他方の車輪23と軸受26との幅方向の距離よりも大きい。このように、計測装置10は、幅方向の一方の車輪23の軸の長さと他方の車輪23Bの軸の長さ、すなわち、一方の車輪23と軸受26との幅方向の距離と他方の車輪23Bと軸受26との幅方向の距離とが互いに異なってもよい。車輪23、23Bの軸の長さ、すなわち、車輪23、23Bと軸受26との幅方向の距離は、ガイドレール9の幅方向の設置位置に応じて定めることができる。   In the measuring apparatus 10 shown in FIG. 8A, the length of the shaft of one wheel 23B in the width direction is longer than the length of the shaft of the other wheel 23, and the distance in the width direction between one wheel 23B and the bearing 26 is also the same. The distance between the other wheel 23 and the bearing 26 in the width direction is larger. As described above, the measuring device 10 includes the length of the shaft of one wheel 23 in the width direction and the length of the shaft of the other wheel 23B, that is, the distance in the width direction between the one wheel 23 and the bearing 26 and the other wheel. The distance in the width direction between 23B and the bearing 26 may be different from each other. The shaft length of the wheels 23, 23 B, that is, the distance in the width direction between the wheels 23, 23 B and the bearing 26 can be determined according to the installation position in the width direction of the guide rail 9.

図8Bに示した計測装置10は、太さが互いに異なるガイドレール9、9E上を走行する。ガイドレール9Eは、図8Aに示したガイドレール9よりも太い。図8Bに示した計測装置10は、車輪23C、23Dの形状が図8Aの計測装置10と異なる。車輪23Cは、ガイドレール9に接し、車輪23Dは、ガイドレール9Eに接する。   The measuring apparatus 10 shown in FIG. 8B travels on guide rails 9 and 9E having different thicknesses. The guide rail 9E is thicker than the guide rail 9 shown in FIG. 8A. The measuring device 10 shown in FIG. 8B is different from the measuring device 10 in FIG. 8A in the shapes of the wheels 23C and 23D. The wheel 23C is in contact with the guide rail 9, and the wheel 23D is in contact with the guide rail 9E.

幅方向の一方の車輪23Cは、図8Aに示した車輪23、23Bよりも、外径が大きい。車輪23Cの外径を大きくすることで、仮想中心軸6とガイドレール9との上下方向の距離が大きい場合でも、計測部13の回転軸と仮想中心軸6とが一致可能なように計測部13の上下方向の位置を調整することができ、静止体5の位置を計測できる。車輪23Cの外径を大きくすれば、第3実施形態例による計測装置10が備える延長部材28を使用しなくてもよい。幅方向の他方の車輪23Dは、太いガイドレール9E上を走行しやすいように、図8Aに示した車輪23、23Bよりも、幅(幅方向の長さ)が大きい。   One wheel 23C in the width direction has a larger outer diameter than the wheels 23 and 23B shown in FIG. 8A. By increasing the outer diameter of the wheel 23 </ b> C, the measurement unit 13 can rotate so that the rotation axis of the measurement unit 13 can coincide with the virtual center axis 6 even when the vertical distance between the virtual center axis 6 and the guide rail 9 is large. The vertical position of 13 can be adjusted, and the position of the stationary body 5 can be measured. If the outer diameter of the wheel 23C is increased, the extension member 28 provided in the measuring device 10 according to the third embodiment may not be used. The other wheel 23D in the width direction has a larger width (length in the width direction) than the wheels 23 and 23B shown in FIG. 8A so as to easily travel on the thick guide rail 9E.

このように、車輪23C、23Dの外径は、ガイドレール9、9Eの上下方向の設置位置に応じて定めることができ、車輪23C、23Dの幅は、ガイドレール9、9Eの太さに応じて定めることができる。   Thus, the outer diameters of the wheels 23C and 23D can be determined according to the vertical installation positions of the guide rails 9 and 9E, and the widths of the wheels 23C and 23D are determined according to the thickness of the guide rails 9 and 9E. Can be determined.

上記の構成により、本実施形態例によるアライメント計測装置10は、第1の実施形態例で述べた各効果に加えて、次の効果が得られる。   With the above configuration, the alignment measuring apparatus 10 according to the present embodiment can obtain the following effects in addition to the effects described in the first embodiment.

静止体5の内径が大きい、又はガイドレール9の設置場所に制約があるなどのために、仮想中心軸6とガイドレール9との距離が大きい場合には、第1の実施形態例による計測装置10では、計測部13が仮想中心軸6よりも下方に位置し、計測部13の回転軸と仮想中心軸6とが一致せず、静止体5の位置を計測できない。また、ガイドレール9の間隔が大きい場合やガイドレール9が太い場合では、第1の実施形態例による計測装置10は、ガイドレール9上を走行して静止体5の位置を精度よく計測するのが困難である。本実施形態例による計測装置10では、ガイドレール9の設置位置や太さに応じて車輪23の軸受26との距離、外径、及び幅のうち少なくとも1つを変えることで、計測部13の回転軸と仮想中心軸6とが一致可能なように計測部13の上下方向の位置を調整でき、静止体5の位置を計測できる。   When the distance between the virtual central axis 6 and the guide rail 9 is large due to the large inner diameter of the stationary body 5 or the restriction of the installation location of the guide rail 9, the measuring device according to the first embodiment example 10, the measurement unit 13 is positioned below the virtual center axis 6, the rotation axis of the measurement unit 13 and the virtual center axis 6 do not match, and the position of the stationary body 5 cannot be measured. When the distance between the guide rails 9 is large or the guide rails 9 are thick, the measuring device 10 according to the first embodiment travels on the guide rails 9 and accurately measures the position of the stationary body 5. Is difficult. In the measurement apparatus 10 according to the present embodiment, the measurement unit 13 can be changed by changing at least one of the distance, the outer diameter, and the width of the wheel 23 from the bearing 26 according to the installation position and thickness of the guide rail 9. The position of the measurement unit 13 in the vertical direction can be adjusted so that the rotation axis and the virtual center axis 6 can coincide with each other, and the position of the stationary body 5 can be measured.

また、本実施形態例による計測装置10は、第3の実施形態例と同様に、計測部13の上下方向の位置を調整するZステージ21の可動範囲を必要最小限に抑えることが可能であり、計測装置10の小型化と軽量化も可能である。   In addition, the measuring apparatus 10 according to the present embodiment example can suppress the movable range of the Z stage 21 that adjusts the vertical position of the measuring unit 13 to the minimum necessary, similarly to the third embodiment example. In addition, the measuring device 10 can be reduced in size and weight.

<第5実施形態例>
図9と図10は、本発明の第5の実施形態例によるアライメント計測装置の構成図であり、図9は、図3と同様の上面図であり、図10は、図9の矢印C−Cに沿って見た(すなわち、軸方向から見た)計測装置10の正面図である。本実施形態例による計測装置10は、Zステージ21が回転ステージ20Zを備え、Xステージ22が回転ステージ20Xを備え、回転ステージ20が傾斜センサ30を備える点が第1の実施形態例と異なる。その他の構成は、第1の実施形態例と同様である。以下では、第1の実施形態例と異なる点を説明する。
<Fifth Embodiment>
9 and 10 are configuration diagrams of an alignment measurement apparatus according to a fifth embodiment of the present invention. FIG. 9 is a top view similar to FIG. 3, and FIG. 10 is an arrow C-- in FIG. It is the front view of the measuring device 10 seen along C (that is, seen from the axial direction). The measurement apparatus 10 according to the present embodiment is different from the first embodiment in that the Z stage 21 includes a rotation stage 20Z, the X stage 22 includes a rotation stage 20X, and the rotation stage 20 includes an inclination sensor 30. Other configurations are the same as those of the first embodiment. In the following, differences from the first embodiment will be described.

回転ステージ20Zは、幅方向(図9と図10の左右方向)を回転軸の方向として、計測部13と位置決めセンサ12と回転ステージ20を回転させる回転機構である。計測部13と位置決めセンサ12は、回転ステージ20Zにより、鉛直面内を旋回する。   The rotation stage 20Z is a rotation mechanism that rotates the measurement unit 13, the positioning sensor 12, and the rotation stage 20 with the width direction (the left-right direction in FIGS. 9 and 10) as the direction of the rotation axis. The measuring unit 13 and the positioning sensor 12 are turned in the vertical plane by the rotary stage 20Z.

回転ステージ20Xは、上下方向を回転軸の方向として、計測部13と位置決めセンサ12と回転ステージ20とZステージ21を回転させる回転機構である。計測部13と位置決めセンサ12は、回転ステージ20Xにより、水平面内を旋回する。   The rotation stage 20X is a rotation mechanism that rotates the measurement unit 13, the positioning sensor 12, the rotation stage 20, and the Z stage 21 with the vertical direction as the direction of the rotation axis. The measuring unit 13 and the positioning sensor 12 are rotated in a horizontal plane by the rotary stage 20X.

傾斜センサ30は、回転ステージ20上に設置され、計測部13の水平面に対する傾斜角を検出し、検出した傾斜角を制御装置24に送る。傾斜センサ30には、既存のものを用いることができる。   The tilt sensor 30 is installed on the rotary stage 20, detects the tilt angle with respect to the horizontal plane of the measuring unit 13, and sends the detected tilt angle to the control device 24. An existing sensor can be used for the tilt sensor 30.

制御装置24は、傾斜センサ30から計測部13の水平方向に対する傾斜角を受信し、計測部13が水平になるように(すなわち、受信した傾斜角がゼロとなるように)、回転ステージ20Zを駆動して計測部13を鉛直面内で回転させる。計測装置10は、このような回転ステージ20Zによる傾斜角の微調整により、計測部13を水平に保持できるとともに、位置決めセンサ12の受光面が水平面に対して垂直になるようにすることができる。   The control device 24 receives the tilt angle of the measuring unit 13 with respect to the horizontal direction from the tilt sensor 30, and moves the rotary stage 20Z so that the measuring unit 13 becomes horizontal (that is, the received tilt angle becomes zero). Driven to rotate the measurement unit 13 in the vertical plane. The measurement apparatus 10 can hold the measurement unit 13 horizontally by fine adjustment of the tilt angle by the rotary stage 20Z, and can make the light receiving surface of the positioning sensor 12 perpendicular to the horizontal plane.

更に、制御装置24は、回転ステージ20Xを駆動して計測部13を水平面内で回転させ、位置決めセンサ12の受光面が水平面内でレーザー光11を垂直に受けるようにする。制御装置24は、計測部13を水平面内で回転させたときの位置決めセンサ12の受光面が受けるレーザー光11の強度変化により、位置決めセンサ12の受光面が水平面内でレーザー光11に対して垂直であるかを判断することができる。   Further, the control device 24 drives the rotary stage 20X to rotate the measuring unit 13 in the horizontal plane so that the light receiving surface of the positioning sensor 12 receives the laser beam 11 vertically in the horizontal plane. The control device 24 causes the light receiving surface of the positioning sensor 12 to be perpendicular to the laser light 11 in the horizontal plane due to a change in the intensity of the laser light 11 received by the light receiving surface of the positioning sensor 12 when the measuring unit 13 is rotated in the horizontal plane. Can be determined.

以上説明したように、制御装置24は、回転ステージ20Zと回転ステージ20Xのうち少なくとも1つを駆動することで、位置決めセンサ12の受光面がレーザー光11を垂直に受けるようにすることができる。   As described above, the control device 24 can cause the light receiving surface of the positioning sensor 12 to receive the laser beam 11 vertically by driving at least one of the rotary stage 20Z and the rotary stage 20X.

上記の構成により、本実施形態例によるアライメント計測装置10は、第1の実施形態例で述べた各効果に加えて、次の効果が得られる。   With the above configuration, the alignment measuring apparatus 10 according to the present embodiment can obtain the following effects in addition to the effects described in the first embodiment.

ガイドレール9が軸方向と非平行に設置されている場合でも、位置決めセンサ12の受光面がレーザー光11を垂直に受けることができるので、位置決めセンサ12は、計測装置10の位置を高精度で検知することができる。また、ガイドレール9を軸方向と厳密に平行に設置する必要がないので、ガイドレール9を設置する作業効率を向上できる。   Even when the guide rail 9 is installed non-parallel to the axial direction, the light receiving surface of the positioning sensor 12 can receive the laser beam 11 vertically, so that the positioning sensor 12 can accurately determine the position of the measuring device 10. Can be detected. Moreover, since it is not necessary to install the guide rail 9 exactly in parallel with the axial direction, the work efficiency of installing the guide rail 9 can be improved.

なお、上記の第1〜第5の実施形態例において、制御装置24は、Wi−Fiなどの無線通信機能を備えることができる。制御装置24が無線通信機能を備えると、計測装置10は、ケーブルレスで制御可能であり、様々な計測データやカメラ16が撮影した画像などの情報を外部に送信することができる。計測装置10が送信した情報は、コンピューター、タブレット端末、及びスマートホンなどの装置で受信することができる。   In the first to fifth embodiments described above, the control device 24 can have a wireless communication function such as Wi-Fi. When the control device 24 has a wireless communication function, the measurement device 10 can be controlled without a cable, and can transmit various measurement data and information such as images taken by the camera 16 to the outside. The information transmitted by the measuring device 10 can be received by devices such as a computer, a tablet terminal, and a smart phone.

なお、本発明は、上記の実施形態例に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。例えば、上記の実施形態例は、本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、本発明は、必ずしも説明した全ての構成を備える態様に限定されるものではない。また、ある実施形態例の構成の一部を他の実施形態例の構成に置き換えることが可能である。また、ある実施形態例の構成に他の実施形態例の構成を加えることも可能である。また、各実施形態例の構成の一部について、削除したり、他の構成を追加・置換したりすることが可能である。   In addition, this invention is not limited to said embodiment example, Various deformation | transformation are possible. For example, the above-described exemplary embodiments have been described in detail for easy understanding of the present invention, and the present invention is not necessarily limited to an aspect including all the configurations described. In addition, a part of the configuration of an embodiment can be replaced with the configuration of another embodiment. In addition, the configuration of another embodiment can be added to the configuration of a certain embodiment. In addition, a part of the configuration of each exemplary embodiment can be deleted, or another configuration can be added or replaced.

1…外部車室、2…内部車室、3…第1軸受、4…第2軸受、5…静止体、6…仮想中心軸、7…レーザー発光器、8…レーザー受光器、9、9E…ガイドレール、9A…丸パイプ、9B…L鋼、9C…I鋼、9D…H鋼、10…アライメント計測装置、11…レーザー光、12…位置決めセンサ、13…計測部、14…非接触変位計、15…計測光、16…カメラ、17…撮影視界、20…回転ステージ、20X…回転ステージ、20Z…回転ステージ、21…Zステージ、22…Xステージ、23、23A、23B、23C、23D…車輪、24…制御装置、25…電源部、26…軸受、27…駆動装置、28…延長部材、30…傾斜センサ、50…静止体の計測したい位置、51…所望計測位置を計測するための計測装置の位置。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... External compartment, 2 ... Internal compartment, 3 ... 1st bearing, 4 ... 2nd bearing, 5 ... Stationary body, 6 ... Virtual central axis, 7 ... Laser emitter, 8 ... Laser receiver, 9, 9E Guide rail, 9A ... Round pipe, 9B ... L steel, 9C ... I steel, 9D ... H steel, 10 ... Alignment measuring device, 11 ... Laser beam, 12 ... Positioning sensor, 13 ... Measuring unit, 14 ... Non-contact displacement 15 ... Measurement light, 16 ... Camera, 17 ... Field of view, 20 ... Rotary stage, 20X ... Rotary stage, 20Z ... Rotary stage, 21 ... Z stage, 22 ... X stage, 23, 23A, 23B, 23C, 23D ... wheel, 24 ... control device, 25 ... power source, 26 ... bearing, 27 ... drive device, 28 ... extension member, 30 ... tilt sensor, 50 ... position to be measured of stationary body, 51 ... to measure desired measurement position Position of the measuring device.

Claims (7)

タービンの車室内にロータの中心軸の方向である軸方向に沿って設けられたガイドレール上を走行し、
前記ガイドレール上を回転する車輪と、
前記中心軸に沿って放射されたレーザー光を受光する受光面を備える位置決めセンサと、
計測光を前記タービンの静止体に照射して前記中心軸と前記静止体との距離を計測する非接触変位計と、前記静止体の前記計測光が照射される位置を含む範囲を撮影するカメラとを備える計測部と、
前記計測部を、前記位置決めセンサの前記受光面に垂直な方向を回転軸の方向として回転させる回転機構と、
前記計測部と前記位置決めセンサとをともに、鉛直方向に移動させる第1の移動機構と、
前記計測部と前記位置決めセンサとをともに、前記位置決めセンサの前記受光面に垂直な方向と前記鉛直方向とに垂直な方向である幅方向に移動させる第2の移動機構と、
制御装置と、を備え、
前記計測部は、前記回転軸が前記位置決めセンサの前記受光面の中心を通るような位置に設置され、
前記制御装置は、前記位置決めセンサの前記受光面において前記受光面の中心の位置と前記レーザー光の位置とが一致するように、前記第1の移動機構と前記第2の移動機構との少なくとも一方を駆動して前記位置決めセンサと前記計測部とを移動させ、
前記カメラは、前記非接触変位計による前記距離の計測の前と後の少なくとも一方で、前記静止体の前記範囲を撮影する、
ことを特徴とするアライメント計測装置。
Run on a guide rail provided along the axial direction that is the direction of the central axis of the rotor in the turbine cabin,
Wheels rotating on the guide rail;
A positioning sensor comprising a light receiving surface for receiving laser light emitted along the central axis;
A non-contact displacement meter that irradiates the stationary body of the turbine with measurement light to measure the distance between the central axis and the stationary body, and a camera that captures a range including a position of the stationary body irradiated with the measurement light A measurement unit comprising:
A rotation mechanism that rotates the measurement unit with a direction perpendicular to the light receiving surface of the positioning sensor as a direction of a rotation axis;
A first moving mechanism that moves the measuring unit and the positioning sensor together in a vertical direction;
A second moving mechanism for moving both the measurement unit and the positioning sensor in a direction perpendicular to the light receiving surface of the positioning sensor and a width direction perpendicular to the vertical direction;
A control device,
The measuring unit is installed at a position where the rotation axis passes through the center of the light receiving surface of the positioning sensor,
The control device includes at least one of the first moving mechanism and the second moving mechanism such that a position of a center of the light receiving surface and a position of the laser light coincide with each other on the light receiving surface of the positioning sensor. To move the positioning sensor and the measuring unit,
The camera captures the range of the stationary body at least one of before and after the measurement of the distance by the non-contact displacement meter;
An alignment measurement apparatus characterized by that.
前記第1の移動機構は、前記幅方向を回転軸の方向として、前記計測部と前記位置決めセンサと前記回転機構とを回転させる鉛直面内回転機構を備え、
前記第2の移動機構は、前記鉛直方向を回転軸の方向として、前記計測部と前記位置決めセンサと前記回転機構と前記第1の移動機構とを回転させる水平面内回転機構を備え、
前記計測部を回転させる前記回転機構は、前記計測部の水平面に対する傾斜角を検出する傾斜センサを備える、請求項1に記載のアライメント計測装置。
The first movement mechanism includes a vertical in-plane rotation mechanism that rotates the measurement unit, the positioning sensor, and the rotation mechanism with the width direction as the direction of the rotation axis.
The second movement mechanism includes a horizontal plane rotation mechanism that rotates the measurement unit, the positioning sensor, the rotation mechanism, and the first movement mechanism with the vertical direction as the direction of the rotation axis.
The alignment measurement apparatus according to claim 1, wherein the rotation mechanism that rotates the measurement unit includes an inclination sensor that detects an inclination angle of the measurement unit with respect to a horizontal plane.
前記車輪を前記アライメント計測装置に回転可能に固定する軸受を更に備え、
前記アライメント計測装置の底面と前記軸受との間に、鉛直方向に延伸する延長部材を備える、請求項1又は2に記載のアライメント計測装置。
A bearing for rotatably fixing the wheel to the alignment measuring device;
The alignment measurement apparatus according to claim 1, further comprising an extending member extending in a vertical direction between a bottom surface of the alignment measurement apparatus and the bearing.
前記車輪を前記アライメント計測装置に回転可能に固定する軸受を更に備え、
前記軸受は、水平面内での向きを変えられるように前記アライメント計測装置に対して着脱可能であり、
前記車輪は、前記軸受の向きにより前記幅方向の位置が異なる、請求項1又は2に記載のアライメント計測装置。
A bearing for rotatably fixing the wheel to the alignment measuring device;
The bearing is detachable from the alignment measuring device so that the orientation in a horizontal plane can be changed.
The alignment measuring apparatus according to claim 1, wherein the wheel has a position in the width direction that varies depending on a direction of the bearing.
前記車輪は、前記ガイドレールの鉛直方向の位置に応じて外径が定められる、請求項1又は2に記載のアライメント計測装置。   The alignment measuring apparatus according to claim 1, wherein an outer diameter of the wheel is determined according to a position in a vertical direction of the guide rail. 前記車輪は、前記ガイドレールの太さに応じて幅が定められる、請求項1又は2に記載のアライメント計測装置。   The alignment measuring device according to claim 1, wherein a width of the wheel is determined according to a thickness of the guide rail. 前記車輪を前記アライメント計測装置に回転可能に固定する軸受を更に備え、
前記車輪と前記軸受との前記幅方向の距離は、前記ガイドレールの前記幅方向の位置に応じて定められる、請求項1又は2に記載のアライメント計測装置。
A bearing for rotatably fixing the wheel to the alignment measuring device;
The alignment measuring device according to claim 1, wherein a distance in the width direction between the wheel and the bearing is determined according to a position in the width direction of the guide rail.
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