JP2017191801A - Electronic device manufacturing apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、可撓性を有する基材上に機能性を有する材料を積層して機能層を形成することにより電子デバイスを製造する電子デバイス製造装置に関する。 The present invention relates to an electronic device manufacturing apparatus that manufactures an electronic device by laminating functional materials on a flexible substrate to form a functional layer.
基材上にゲート層(G層)やゲート・インシュレータ層(GI層)やソース&ドレイン層(SD層)等の機能層を積層した薄膜トランジスタ(TFT)等のフレキシブルな電子デバイスは、例えば、下記特許文献1に記載されているように、ブランケット上にインキ層を設け、凸部パターンを有する凸版を当該ブランケットに接触させて、当該ブランケット上のインキ層のうち凸部パターンと接触した部分のインキを除去して当該ブランケット上にインキパターンを形成した後、非インキパターン部に撥インキパターンを備えた基材に上記ブランケット上の上記インキパターンを接触させて転写して、当該撥インキパターンを当該インキパターンから差し引いたパターンを基材上に形成する印刷法により製造することが一般的である。
A flexible electronic device such as a thin film transistor (TFT) in which functional layers such as a gate layer (G layer), a gate insulator layer (GI layer), and a source and drain layer (SD layer) are stacked on a substrate is, for example, As described in
そして特許文献2には、解像度の高い反転印刷法を用いて、TFT等の基材上へ導電材による電極パターンを形成するにあたり、導電材を基材の特定の箇所へ精度良く形成する方法が開示されている。
ここで、TFTを印刷法で製造するためには同一の基材上へG層、GI層、SD層、半導体をそれぞれ高精度に重ねて印刷しなければならない。しかしながら、特許文献2の方法では各機能層を基材上へ高精度で印刷することはできるが、他の層を重ねて形成する場合には、基材をそれぞれの装置へ移動させ、精密な位置合わせ等の準備作業を行わなければならず、製造工数が増えることに加え、作業者の負担が増大するという問題があった。
Here, in order to manufacture a TFT by a printing method, the G layer, the GI layer, the SD layer, and the semiconductor must be printed with high accuracy on the same base material. However, in the method of
このようなことから本発明は、TFT等を印刷で製造する際に必要となる各工程において、都度位置合わせ等の調整を行う必要がなく、少ない製造工数且つ高精度でTFT等の電子デバイスを製造することができる電子デバイス製造装置を提供することを目的とする。 For this reason, the present invention eliminates the need for adjustment such as alignment in each process required when manufacturing TFTs and the like by printing, and enables electronic devices such as TFTs to be manufactured with a small number of manufacturing steps and high accuracy. An object of the present invention is to provide an electronic device manufacturing apparatus that can be manufactured.
前述した課題を解決するための、本発明に係る電子デバイス製造装置は、
可撓性を有する基材に機能性を有する材料を積層して機能層を形成することにより電子デバイスを製造する電子デバイス製造装置であって、
基材を保持して搬送し搬送されている基材に機能性を有する材料からなる機能性インキを印刷する印刷装置が周囲に配置されている圧胴と、
基材を保持して搬送する検査胴、前記検査胴で搬送されている基材の胴に対する曲がり量を検知する曲がり量検知手段、及び、曲がり量補正手段を具備し前記検査胴及び前記圧胴の間に配設されている渡胴を有する基材供給手段と、
前記曲がり量検知手段によって取得した基材の曲がり量に基づいて前記曲がり量補正手段を制御する制御手段と
を備えたことを特徴とする。
In order to solve the above-described problem, an electronic device manufacturing apparatus according to the present invention includes:
An electronic device manufacturing apparatus for manufacturing an electronic device by laminating a functional material on a flexible substrate to form a functional layer,
An impression cylinder in which a printing device that prints functional ink made of a material having functionality on a substrate that is conveyed while holding the substrate is disposed;
An inspection cylinder that holds and conveys a base material, a bending amount detection means that detects a bending amount of the base material that is conveyed by the inspection cylinder, and a bending amount correction means, and the inspection cylinder and the impression cylinder A substrate supply means having a transfer cylinder disposed between
Control means for controlling the bending amount correcting means based on the bending amount of the base material acquired by the bending amount detecting means.
また、本発明に係る電子デバイス製造装置は、
前記検査胴で搬送されている基材の前記曲がり量検知手段の搬送方向上流側で基材の浮きを抑制する押さえ手段を備えている
ことを特徴とする。
An electronic device manufacturing apparatus according to the present invention is
A pressing means for suppressing the floating of the base material is provided on the upstream side in the transport direction of the bending amount detection means of the base material transported by the inspection cylinder.
また、本発明に係る電子デバイス製造装置は、
前記渡胴が軸方向一端側に当該渡胴を保持する偏心軸受を備え、
前記曲がり量補正手段が前記偏心軸受と当該偏心軸受を回動させる偏心軸受回動手段とからなり、
前記制御手段が、前記曲がり量検知手段によって取得した基材の曲がり量に基づいて前記偏心軸受回動手段を制御して前記偏心軸受の回転量を調整する
ことを特徴とする。
An electronic device manufacturing apparatus according to the present invention is
The transfer cylinder includes an eccentric bearing that holds the transfer cylinder on one axial end side,
The bending amount correcting means comprises the eccentric bearing and an eccentric bearing rotating means for rotating the eccentric bearing,
The control means controls the eccentric bearing rotating means based on the bending amount of the base material obtained by the bending amount detecting means to adjust the rotation amount of the eccentric bearing.
本発明に係る電子デバイス製造装置によれば、TFT等を印刷法で製造する際に必要となる各工程において、都度の位置合わせを容易に行い、少ない製造工数かつ高精度で電子デバイスを製造することができる。 According to the electronic device manufacturing apparatus according to the present invention, in each process required when manufacturing a TFT or the like by a printing method, alignment is easily performed each time, and an electronic device is manufactured with a small number of manufacturing steps and high accuracy. be able to.
本発明に係る電子デバイス製造装置の実施形態を図面に基づいて説明するが、本発明は図面に基づいて説明する以下の実施形態のみに限定されるものではない。 Although an embodiment of an electronic device manufacturing apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings, the present invention is not limited to only the following embodiments described with reference to the drawings.
〈主な実施形態〉
本発明に係る電子デバイス製造装置で薄膜トランジスタ(TFT)を製造する場合の主な実施形態を図1〜4及び図5A〜5Kに基づいて以下に説明する。本実施形態は、焼成の必要があるPE基板のように、機能層等が形成された可撓性を有する基材であるシートを一度電子デバイス製造装置から排出した後で当該シートを再度当該電子デバイス製造装置に供給して更に機能層等を形成する、いわゆる二度刷りを行う際に、都度の位置合わせを容易に行い、少ない製造工数かつ高精度で電子デバイスを製造することができるようにするものである。
<Main embodiment>
A main embodiment in the case of manufacturing a thin film transistor (TFT) with the electronic device manufacturing apparatus according to the present invention will be described below based on FIGS. 1 to 4 and FIGS. In the present embodiment, a sheet which is a flexible base material on which a functional layer or the like is formed, such as a PE substrate that needs to be fired, is once discharged from the electronic device manufacturing apparatus, and then the sheet is again transferred to the electronic device. When performing so-called double printing, which is supplied to the device manufacturing equipment to form further functional layers, etc., it is possible to easily align each time and manufacture an electronic device with a small number of manufacturing steps and high accuracy. To do.
図1において、110は圧胴、120Aは供給胴(渡胴)、120Bは検査胴、120Cは渡胴、130は版胴(転写胴)、140はコータ胴、150は排出胴、191はインクジェット装置、192は絶縁インキ供給装置、301はアライメントカメラである。 In FIG. 1, 110 is an impression cylinder, 120A is a supply cylinder (transfer cylinder), 120B is an inspection cylinder, 120C is a transfer cylinder, 130 is a plate cylinder (transfer cylinder), 140 is a coater cylinder, 150 is a discharge cylinder, and 191 is an inkjet. An apparatus, 192 is an insulating ink supply apparatus, and 301 is an alignment camera.
前記圧胴110は、回転可能に支持されると共に、シートを保持する保持面である有効面を外面の周方向へ六つ具備できる径サイズ(六倍径)をなしているものの、三つの有効面110a〜110cだけを周方向で等間隔で具備するいわゆるスケルトン型をなしている。
Although the
そして、前記圧胴110は、各有効面110a〜110cにおいて、シートの搬送方向前方側(先端側)を着脱可能に把持するくわえ爪装置111A〜111Cと、シートの搬送方向後方側(末端側)を着脱可能に吸引保持する吸引ヘッド112A〜112C(例えば、前記特許文献2等参照)とをそれぞれ有している。前記吸引ヘッド112A〜112Cは、それぞれバルブ218A〜218Cを介して吸引ポンプ217に接続している(図2参照)。
The
前記供給胴120Aは、基材供給手段を構成する胴であり、前記圧胴110に対接するように回転可能に支持され、有効面を外面の周方向へ二つ具備できる径サイズ(二倍径)をなしているものの、一つの有効面120Aaだけを具備すると共に、当該有効面120Aaにおいて、シートの搬送方向前方側(先端側)を着脱可能に把持するくわえ爪装置121Aを有しており、回転する前記圧胴110の前記有効面110a〜110cに対して一つおきにシートを供給して保持させることができるようになっている。
The
また、図2に示すように、前記供給胴120Aの軸方向一端側には偏心軸受122が設けられ、当該偏心軸受122は、駆動レバー311,ギアボックス312,サーボモータ313等からなる曲がり量補正装置310によって回転量を調整されるように構成されている。すなわち、前記偏心軸受122には駆動レバー311の一端が取り付けられている。当該駆動レバー311の他端にはギアボックス312を介してサーボモータ313が連結されており、サーボモータ313の作動により前記駆動レバー311が長手方向に沿って進退移動することで、前記偏心軸受122を回転させることができるようになっている。
As shown in FIG. 2, an
なお、図2中、226は、前記駆動レバー311にその進退方向に沿って取り付けられたリニアスケール226aを、メインフレーム(図示せず)に取り付けられたセンサ226bで読み取ることにより、前記偏心軸受122の回転量を検知する回転量検出器である。
In FIG. 2,
前記検査胴120Bは、前記供給胴120Aと共に基材供給手段を構成する胴であり、前記供給胴120Aに対接するように回転可能に支持され、有効面を外面の周方向へ二つ具備できる径サイズ(二倍径)をなしているものの、一つの有効面120Baだけを具備すると共に、当該有効面120Baにおいて、シートの搬送方向前方側(先端側)を着脱可能に把持するくわえ爪装置121Bを有しており、回転する前記供給胴120Aの前記有効面120Aaに対してシートを供給して保持させることができるようになっている。
The
アライメントカメラ301は、前記検査胴120Bによって搬送されるシートS(S1,S2,S3,S4,…)に印刷されたアライメントマークm(図4参照)を撮像する撮像装置である。
The
図4に示すように、アライメントマークmは例えばシートSの軸方向両側部であって回転方向(シートの搬送方向)下流側に一箇所ずつ付されている。本実施形態では、これらのアライメントマークmを撮像するため、二台のアライメントカメラ301を前記検査胴120Bの軸方向両側にそれぞれ対向配置している。前記各アライメントカメラ301によって撮像したアライメントマークmの画像の情報は、画像処理装置302(図3参照)に入力される。なお、図4中、LはシートS上に形成された機能層である。
また、前記検査胴120Bのアライメントカメラ301よりも回転方向(シートの搬送方向)上流側には、シートの浮きを抑制する押さえロール123が設けられている。
As shown in FIG. 4, the alignment mark m is attached to each side of the sheet S, for example, on both sides in the axial direction and downstream in the rotation direction (sheet conveyance direction). In the present embodiment, in order to image these alignment marks m, two
In addition, a
前記渡胴120Cは、前記供給胴120A,前記検査胴120Bと共に基材供給手段を構成する胴であり、前記検査胴120Bに対接するように回転可能に支持され、有効面を外面の周方向へ二つ具備できる径サイズ(二倍径)をなしているものの、一つの有効面120Caだけを具備すると共に、当該有効面120Caにおいて、シートの搬送方向前方側(先端側)を着脱可能に把持するくわえ爪装置121Cを有しており、回転する前記検査胴120Bの前記有効面120Baに対してシートを供給して保持させることができるようになっている。
The
基材排出手段である前記排出胴150は、前記圧胴110と前記供給胴120Aとの対接位置、すなわち、当該圧胴110の、当該供給胴120Aからのシートを保持する保持位置よりも当該圧胴110の回転方向(シートの搬送方向)下流側で当該圧胴110に対接するように回転可能に支持され、有効面を外面の周方向へ二つ具備できる径サイズ(二倍径)をなしているものの、一つの有効面150aだけを具備すると共に、当該有効面150aにおいて、シートの搬送方向前方側(先端側)を着脱可能に把持するくわえ爪装置151を有している。
The
前記版胴130は、前記圧胴110と前記供給胴120Aとの対接位置、すなわち、当該圧胴110の、当該供給胴120Aからのシートを保持する保持位置よりも当該圧胴110の回転方向(シートの搬送方向)下流側と、当該圧胴110と前記排出胴150との対接位置、すなわち、当該圧胴110の、当該排出胴150へシートを離脱させる離脱位置よりも当該圧胴110の回転方向(シートの搬送方向)上流側との間に回転可能に配設され、当該圧胴110に対接する作動位置と当該圧胴110から離反した退避位置との間を直線的にスライド移動できるようにガイドレール(図示省略)を介して支持されている。
The
そして、前記版胴130は、第一の機能層であるゲート層(G層)に対応するパターンを形成された第一の版面であるG層用の版面Pgと、第三の機能層であるソース&ドレイン層(SD層)に対応するパターンを形成された第二の版面であるSD層用の版面Psdとを周方向へ並べるように形成した二倍サイズの版Pを保持する保持面である有効面130aを外面に具備する径サイズ(二倍径)をなすと共に、当該版Pの一端側(先端側)と他端側(末端側)とを着脱可能に保持する版保持装置131を有している。
The
第一の機能性インキ供給手段である前記インクジェット装置191は、前記退避位置に位置する前記版胴130の前記版Pの前記版面Pg,Psdに対して、G層及びSD層をなす材料からなる第一の機能性インキである導電インキを噴射して供給することができるようになっている。
The
前記コータ胴140は、前記圧胴110と前記版胴130との対接位置よりも当該圧胴110の回転方向(シートの搬送方向)下流側と、当該圧胴110と前記排出胴150との対接位置、すなわち、当該圧胴110の、当該排出胴150へシートを離脱させる離脱位置よりも当該圧胴110の回転方向(シートの搬送方向)上流側との間に回転可能に配設され、シートのサイズに対応するサイズのシリコン樹脂製のブランケットBを外周に巻き付けられると共に(一倍径)、当該圧胴110に対接する作動位置と当該圧胴110から離反した退避位置との間を直線的にスライド移動できるようにガイドレール(図示省略)を介して支持されている。
The
第二の機能性インキ供給手段である前記絶縁インキ供給装置192は、前記退避位置に位置する前記コータ胴140の前記ブランケットB上に、第二の機能層であるゲート・インシュレータ層(GI層)をなす材料からなる第二の機能性インキである絶縁インキを送出して供給することができるようになっている。
The insulating
そして、図3に示すように、前記圧胴110を回転駆動させるモータ201と、前記供給胴120Aを回転駆動させるモータ202Aと、前記検査胴120Bを回転駆動させるモータ202Bと、前記渡胴120Cを回転駆動させるモータ202Cと、前記版胴130を回転駆動させるモータ203と、前記コータ胴140を回転駆動させるモータ204と、前記排出胴150を回転駆動させるモータ205とは、制御手段である制御装置200の出力部にそれぞれ電気的に接続している。
また、前記制御装置200の出力部は、前記インクジェット装置191及び前記絶縁インキ供給装置192へ電気的に接続している。また、前記制御装置200の出力部は、前記サーボモータ206が電気的に接続している。
As shown in FIG. 3, a
The output unit of the
また、前記制御装置200の出力部は、前記圧胴110の前記くわえ爪装置111A〜111Cと前記供給胴120Aの前記くわえ爪装置121Aとの対向の際、当該圧胴110の当該くわえ爪装置111A〜111Cの開閉を切り換えるように、当該くわえ爪装置111A〜111Cを開閉させるカムフォロア用のカムの軌道を切り換えるアクチュエータ211と、当該供給胴120Aの当該くわえ爪装置121Aの開閉を切り換えるように、当該くわえ爪装置121を開閉させるカムフォロア用のカムの軌道を切り換えるアクチュエータ212Aとに対して、それぞれ電気的に接続している(カム軌道切換機構に関しては、前記特許文献3に記載の「印刷胴」及び「給紙側渡胴」のカム軌道切換機構(特に図5)参照)。
In addition, the output unit of the
また、前記制御装置200の出力部は、前記検査胴120Bの前記くわえ爪装置121Bの開閉を切り換えるように、当該くわえ爪装置121Bを開閉させるカムフォロア用のカムの軌道を切り換えるアクチュエータ212Bと、前記渡胴120Cの前記くわえ爪装置121Cの開閉を切り換えるように、当該くわえ爪装置121Cを開閉させるカムフォロア用のカムの軌道を切り換えるアクチュエータ212Cとに対して、それぞれ電気的に接続している。
The output unit of the
また、前記制御装置200の出力部は、前記圧胴110の前記くわえ爪装置111A〜111Cと前記排出胴150の前記くわえ爪装置151との対向の際、当該くわえ爪装置111A〜111Cの開閉を切り換えるように、当該くわえ爪装置111A〜111Cを開閉させるカムフォロア用のカムの軌道を切り換えるアクチュエータ213と、当該くわえ爪装置151の開閉を切り換えるように、当該くわえ爪装置151を開閉させるカムフォロア用のカムの軌道を切り換えるアクチュエータ214とに対して、それぞれ電気的に接続している(カム軌道切換機構に関しては、前記特許文献3に記載の「第2の排紙側渡胴」及び「紙取胴」のカム軌道切換機構(特に図4)参照)。
Further, the output unit of the
また、前記制御装置200の出力部は、前記吸引ポンプ217と前記バルブ218A〜218Cとに対して、それぞれ電気的に接続すると共に、前記版胴130を前記ガイドレールに沿ってスライド移動させるアクチュエータ215と、前記コータ胴140を前記ガイドレールに沿ってスライド移動させるアクチュエータ216とに対して、それぞれ電気的に接続している。
The output unit of the
他方、前記制御装置200の入力部には、前記圧胴110の回転位相を検出するロータリエンコーダ221と、前記供給胴120Aの回転位相を検出するロータリエンコーダ222Aと、前記検査胴120Bの回転位相を検出するロータリエンコーダ222Bと、前記渡胴120Cの回転位相を検出するロータリエンコーダ222Cと、前記版胴130の回転位相を検出するロータリエンコーダ223と、前記コータ胴140の回転位相を検出するロータリエンコーダ224と、前記排出胴150の回転位相を検出するロータリエンコーダ225とがそれぞれ電気的に接続されている。
また、前記制御装置200の入力部には、前記偏心軸受122の回転量を検出する回転量検出器226と、前記アライメントカメラ301によって撮像した画像に基づいてシートの曲がり量を検出する画像処理装置302とがそれぞれ電気的に接続されている。
On the other hand, the
Further, an input unit of the
つまり、前記制御装置200は、前記ロータリエンコーダ221〜225、前記回転量検出器226及び前記画像処理装置302からの情報に基づいて、前記モータ201〜205の回転作動、前記サーボモータ206の回転作動、前記インクジェット装置191及び前記絶縁インキ供給装置192の作動、前記アクチュエータ211〜216の伸縮作動、前記バルブ218A〜218Cの開閉作動等をそれぞれ制御することができるようになっている(詳細は後述する)。
That is, the
なお、本実施形態においては、前記版胴130等により印刷装置を構成し、前記供給胴120A,前記検査胴120B,前記渡胴120C等により基材供給手段を構成し、前記アライメントカメラ301,前記画像処理装置302等により曲がり量検知手段を構成し、前記偏心軸受122,曲がり量補正装置310(前記駆動レバー311,前記ギアボックス312,前記サーボモータ313)等により曲がり量補正手段を構成し、前記押さえロール123等により押さえ手段を構成している。
In the present embodiment, the
このような本実施形態に係る電子デバイス製造装置によるTFTの製造方法を図5A〜5Kに基づいて次に説明する。 Next, a method for manufacturing a TFT by the electronic device manufacturing apparatus according to the present embodiment will be described with reference to FIGS.
当初、前記版胴130及び前記コータ胴140は、前記圧胴110から離反する前記退避位置に位置すると共に、前記バルブ218A〜218Cは、前記閉鎖状態となっている。そして、前記制御装置200を作動させると、当該制御装置200は、前記吸引ポンプ217を作動させると共に、前記胴110,120A,120B,120C,130,140,150を所定の周期で回転させるように、前記ロータリエンコーダ221,222A,222B,222C,223,224,225からの情報に基づいて、前記モータ201,202A,202B,202C,203,204,205の作動を制御する。
Initially, the
そして、前記渡胴120Cの前記くわえ爪装置121Cに一枚目のシートS1の先端側をくわえさせて当該渡胴120Cの前記有効面120Ca上にシートS1を保持させて搬送させると、前記制御装置200は、前記ロータリエンコーダ222B,222Cからの情報に基づいて、当該渡胴120Cの当該くわえ爪装置121Cが前記検査胴120Bの前記くわえ爪装置121Bと対向するときに、当該渡胴120Cの当該くわえ爪装置121Cから当該検査胴120Bの当該くわえ爪装置121BへシートS1の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ212B,212Cの作動を制御する。これにより、シートS1は、前記渡胴120Cの前記有効面120Caから前記検査胴120Bの前記有効面120Ba上に供給されて保持される。
When the
そして、シートS1が前記検査胴120Bに保持されているときに、前記アライメントカメラ301によりシートS1に付されたアライメントマークmを撮像し、画像処理装置302によりシートS1の曲がり量(左右のアライメントマークmの相対位置関係から得られる基準位置からのひねり方向のずれ、あるいは基準位置に対する角度のずれ)を検出する。このとき前記アライメントカメラ301で撮像される位置に臨むシートS1は、前記押さえロール123を通過する際に浮きやしわなどが伸ばされ、且つ当該押さえロール123により前記アライメントカメラ301で撮像される位置に対し回転方向(シートの搬送方向)上流側を押さえられた状態で、前記アライメントカメラ301によりアライメントマークmを撮像される。
Then, when the sheet S1 is held on the
続いて、前記制御装置200は、前記ロータリエンコーダ222A,222Bからの情報に基づいて、前記検査胴120Bの当該くわえ爪装置121Bが前記供給胴120Aの前記くわえ爪装置121Aと対向するときに、当該検査胴120Bの当該くわえ爪装置121Bから当該供給胴120Aの当該くわえ爪装置121AへシートS1の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ212A,212Bの作動を制御する(図5A参照)。これにより、シートS1は、前記検査胴120Bの前記有効面120Baから前記供給胴120Aの前記有効面120Aa上に供給されて保持される。
Subsequently, based on information from the
さらに、シートS1が前記供給胴120Aによって搬送されている間に、前記制御装置200は、画像処理装置302により検出したシートS1の曲がり量及び前記回転量検出器226により検出した前記偏心軸受122の回転量に基づいてサーボモータ206の作動を制御し、前記圧胴110に対して前記供給胴120Aのひねりを調整してコッキングを行い、曲がり量を修正する。
Further, while the sheet S1 is being conveyed by the
さらに、前記制御装置200は、前記ロータリエンコーダ221,222Aからの情報に基づいて、当該供給胴120Aの当該くわえ爪装置121Aが前記圧胴110の前記くわえ爪装置111Aと対向するときに、当該供給胴120Aの当該くわえ爪装置121Aから当該圧胴110の当該くわえ爪装置111AへシートS1の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ211,212Aの作動を制御する(図5B参照)と共に、当該圧胴110の前記吸引ヘッド112Aが当該供給胴120Aの当該有効面120Aaと対向するときに、当該圧胴110の当該くわえ爪装置111Aに先端側をくわえられたシートS1の末端側を当該吸引ヘッド112Aに吸引保持させるように、前記バルブ218Aを開放制御する。これにより、シートS1は、前記供給胴120Aの前記有効面120Aaから前記圧胴110の前記有効面110a上に曲がり量を修正された状態で供給されて密着保持される。すなわち、図4(a)に示すように曲がりを有した状態で前記検査胴120Bに保持されていたシートS1が、図4(b)に示すように曲がり量を修正された状態で前記圧胴110に保持されることとなる。
Further, the
また、これと併せて、前記制御装置200は、前記版胴130の前記版Pの前記版面Pgに導電インキIcを供給するように、前記ロータリエンコーダ221,223からの情報に基づいて、前記インクジェット装置191を作動制御する。また、前記制御装置200は、シートS1が前記供給胴120Aから前記圧胴110にくわえ替えされた後、前記回転量検出器226により検出した前記偏心軸受122の回転量に基づいてサーボモータ206の作動を制御して前記偏心軸受122を基準の位置に戻す制御を行う。
At the same time, the
続いて、前記制御装置200は、前記版胴130の前記版Pの前記版面Pgに供給された導電インキIcを前記圧胴110の前記有効面110a上のシートS1に転写させるように、前記ロータリエンコーダ221,223からの情報に基づいて、前記アクチュエータ215の作動を制御して、当該版胴130を前記作動位置に移動させる。これにより、シートS1上には、G層が形成される(図5C参照)。
Subsequently, the
このとき、前記供給胴120Aは、前記くわえ爪装置121がシートをくわえることなく空の状態で前記圧胴110の前記くわえ爪装置111Bと対向するため、前記制御装置200は、前記ロータリエンコーダ221,222からの情報に基づいて、当該胴110,120でシートを受け渡すことなく当該くわえ爪装置121,111Bを干渉させないように前記アクチュエータ211,212の作動を制御すると共に、前記バルブ218Aの閉鎖状態をそのまま維持するように当該バルブ218Aの作動を制御する。
At this time, the
そして、前記版胴130が、前記圧胴110の前記有効面110a上のシートS1に導電インキIcを転写し終えると、前記制御装置200は、前記ロータリエンコーダ221,223からの情報に基づいて、当該版胴130を前記退避位置に移動させるように前記アクチュエータ215の作動を制御する。
Then, when the
また、これと併せて、前記制御装置200は、前記コータ胴140の前記ブランケットBに絶縁インキIiを供給するように、前記ロータリエンコーダ221,224からの情報に基づいて、前記絶縁インキ供給装置192を作動制御する。
At the same time, the
続いて、前記制御装置200は、前記コータ胴140の前記ブランケットBに供給された絶縁インキIiを前記圧胴110の前記有効面110a上のシートS1に転写させるように、前記ロータリエンコーダ221,224からの情報に基づいて、前記アクチュエータ216の作動を制御して、当該コータ胴140を前記作動位置に移動させる。これにより、シートS1のG層上には、GI層が形成される(図5D参照)。
Subsequently, the
そして、前記コータ胴140が、前記圧胴110の前記有効面110a上のシートS1に絶縁インキIiを転写し終えると、前記制御装置200は、前記ロータリエンコーダ221,224からの情報に基づいて、当該コータ胴140を前記退避位置に移動させるように前記アクチュエータ216の作動を制御する。
Then, when the
前記圧胴110の前記有効面110a上でG層及びGI層を形成されたシートS1の先端側をくわえる前記くわえ爪装置111Aが前記排出胴150の前記くわえ爪装置151と対向するまでに、図5Aに示し上述した一枚目のシートS1と同様に、前記渡胴120Cの前記くわえ爪装置121Cに二枚目のシートS2の先端側をくわえさせて当該渡胴120Cの前記有効面120Ca上にシートS2を保持させて搬送させると、前記制御装置200は、前記ロータリエンコーダ222B,222Cからの情報に基づいて、当該渡胴120Cの当該くわえ爪装置121Cが前記検査胴120Bの前記くわえ爪装置121Bと対向するときに、当該渡胴120Cの当該くわえ爪装置121Cから当該検査胴120Bの当該くわえ爪装置121BへシートS2の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ212B,212Cの作動を制御する。これにより、シートS2は、前記渡胴120Cの前記有効面120Caから前記検査胴120Bの前記有効面120Ba上に供給されて保持される。
Until the
そして、シートS2が前記検査胴120Bに保持されているときに、前記アライメントカメラ301によりシートS2に付されたアライメントマークmを撮像し、画像処理装置302によりシートS2の曲がり量を検出する。このとき前記アライメントカメラ301で撮像される位置に臨むシートS2は、前記押さえロール123を通過する際に浮きやしわなどが伸ばされ、且つ当該押さえロール123により前記アライメントカメラ301で撮像される位置に対し回転方向(シートの搬送方向)上流側を押さえられた状態で、前記アライメントカメラ301によりアライメントマークmを撮像される。
Then, when the sheet S2 is held on the
続いて、前記制御装置200は、前記ロータリエンコーダ222A,222Bからの情報に基づいて、前記検査胴120Bの当該くわえ爪装置121Bが前記供給胴120Aの前記くわえ爪装置121Aと対向するときに、当該検査胴120Bの当該くわえ爪装置121Bから当該供給胴120Aの当該くわえ爪装置121AへシートS2の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ212A,212Bの作動を制御する(図5E参照)。これにより、シートS2は、前記検査胴120Bの前記有効面120Baから前記供給胴120Aの前記有効面120Aa上に供給されて保持される。
Subsequently, based on information from the
さらに、シートS2が前記供給胴120Aによって搬送されている間に、前記制御装置200は、画像処理装置302により検出したシートS2の曲がり量及び前記回転量検出器226により検出した前記偏心軸受122の回転量に基づいてサーボモータ206の作動を制御し、前記圧胴110に対して前記供給胴120Aのひねりを調整するコッキングを行い、曲がり量を修正する。
Further, while the sheet S2 is being conveyed by the
そして前記圧胴110の前記有効面110a上でG層及びGI層を形成されたシートS1の先端側をくわえる前記くわえ爪装置111Aが前記排出胴150の前記くわえ爪装置151と対向するとき、前記制御装置200は、前記ロータリエンコーダ221,225からの情報に基づいて、当該排出胴150の当該くわえ爪装置151を当該圧胴110の当該くわえ爪装置111Aに干渉させることなく当該圧胴110の当該くわえ爪装置111Aから当該排出胴150の当該くわえ爪装置151へシートS1の先端側をくわえ替えさせずに当該圧胴110の前記有効面110a上にシートS1を保持したまま通過させるように、前記アクチュエータ211,214の作動を制御すると共に、前記バルブ218Aの開放状態をそのまま維持するように当該バルブ218Aの作動を制御する。
When the holding
またこのとき、前記供給胴120Aは、前記くわえ爪装置121Aが次のシートS2の先端側をくわえて前記有効面120Aaに保持した状態でシートS2を搬送してくることから、前記制御装置200は、前記ロータリエンコーダ221,222Aからの情報に基づいて、当該供給胴120Aの当該くわえ爪装置121Aが前記圧胴110の前記くわえ爪装置111Cと対向するときに、当該供給胴120Aの当該くわえ爪装置121Aから当該圧胴110の当該くわえ爪装置111CへシートS2の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ211,212Aの作動を制御する(図5E参照)と共に、当該圧胴110の前記吸着ヘッド112Cが当該供給胴120Aの当該有効面120Aaと対向するときに、当該圧胴110の当該くわえ爪装置111Cに先端側をくわえられたシートS2の末端側を当該吸引ヘッド112Cに吸引保持させるように、前記バルブ218Cを開放制御する。これにより、シートS2は、前記供給胴120Aの前記有効面120Aaから前記圧胴110の前記有効面110c上に曲がり量を修正された状態で供給されて密着保持される。
At this time, the
また、これと併せて、前記制御装置200は、前記版胴130の前記版Pの前記版面Pgに導電インキIcを供給するように、前記ロータリエンコーダ221,223からの情報に基づいて、前記インクジェット装置191を作動制御する。また、前記制御装置200は、シートS2が前記供給胴120Aから前記圧胴110にくわえ替えされた後、前記回転量検出器226により検出した前記偏心軸受122の回転量に基づいてサーボモータ206の作動を制御して前記偏心軸受122を基準の位置に戻す制御を行う。
At the same time, the
続いて、前記制御装置200は、前記版胴130の前記版Pの前記版面Pgに供給された導電インキIcを前記圧胴110の前記有効面110c上のシートS2に転写させるように、前記ロータリエンコーダ221,223からの情報に基づいて、前記アクチュエータ215の作動を制御して、当該版胴130を前記作動位置に移動させる。これにより、シートS2上には、G層が形成される(図5F参照)。
Subsequently, the
また、これと併せて、前記制御装置200は、前記コータ胴140の前記ブランケットBに絶縁インキIiを供給するように、前記ロータリエンコーダ221,224からの情報に基づいて、前記絶縁インキ供給装置192を作動制御する。
At the same time, the
このとき、前記圧胴110の前記有効面110aにシートS1を保持させている前記くわえ爪装置111Aが、シートを保持していない前記供給胴120Aの前記くわえ爪装置121Aと対向するため、前記制御装置200は、前記ロータリエンコーダ221,222Aからの情報に基づいて、当該胴110,120Aでシートを受け渡すことなく当該くわえ爪装置121A,111Aを干渉させないように前記アクチュエータ211,212Aの作動を制御すると共に、前記バルブ218Aの開放状態をそのまま維持するように当該バルブ218Aの作動を制御する。
At this time, the holding
そして、前記版胴130が、前記圧胴110の前記有効面110c上のシートS2に導電インキIcを転写し終えると、前記制御装置200は、前記ロータリエンコーダ221,223からの情報に基づいて、当該版胴130を前記退避位置に移動させるように前記アクチュエータ215の作動を制御すると共に、前記版胴130の前記版Pの前記版面Psdに導電インキIcを供給するように、前記インクジェット装置191を作動制御する(図5G参照)。
Then, when the
続いて、前記制御装置200は、前記コータ胴140の前記ブランケットBに供給された絶縁インキIiを前記圧胴110の前記有効面110c上のシートS2に転写させるように、前記ロータリエンコーダ221,224からの情報に基づいて、前記アクチュエータ216の作動を制御して、当該コータ胴140を前記作動位置に移動させる。これにより、シートS2のG層上には、GI層が形成される。
Subsequently, the
そして、前記コータ胴140が、前記圧胴110の前記有効面110c上のシートS2に絶縁インキIiを転写し終えると、前記制御装置200は、前記ロータリエンコーダ221,224からの情報に基づいて、当該コータ胴140を前記退避位置に移動させるように前記アクチュエータ216の作動を制御する(図5H参照)。
Then, when the
また、これと併せて、前記制御装置200は、前記版胴130の前記版Pの前記版面Psdに供給された導電インキIcを前記圧胴110の前記有効面110a上のシートS1に転写させるように、前記ロータリエンコーダ221,223からの情報に基づいて、前記アクチュエータ215の作動を制御して、当該版胴130を前記作動位置に移動させる。これにより、シートS1のGI層上には、SD層が形成される。
At the same time, the
そして、前記版胴130が、前記圧胴110の前記有効面110a上のシートS1に導電インキIcを転写し終えると、前記制御装置200は、前記ロータリエンコーダ221,223からの情報に基づいて、当該版胴130を前記退避位置に移動させるように前記アクチュエータ215の作動を制御する(図5I参照)。
Then, when the
前記圧胴110の前記有効面110a上でG層及びGI層を形成されたシートS2の先端側をくわえる前記くわえ爪装置111Aが前記排出胴150の前記くわえ爪装置151と対向するまでに、図5Aに示し上述した一枚目のシートS1と同様に、前記渡胴120Cの前記くわえ爪装置121Cに三枚目のシートS3の先端側をくわえさせて当該渡胴120Cの前記有効面120Ca上にシートS3を保持させて搬送させると、前記制御装置200は、前記ロータリエンコーダ222B,222Cからの情報に基づいて、当該渡胴120Cの当該くわえ爪装置121Cが前記検査胴120Bの前記くわえ爪装置121Bと対向するときに、当該渡胴120Cの当該くわえ爪装置121Cから当該検査胴120Bの当該くわえ爪装置121BへシートS3の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ212B,212Cの作動を制御する。これにより、シートS3は、前記渡胴120Cの前記有効面120Caから前記検査胴120Bの前記有効面120Ba上に供給されて保持される。
Until the
そして、シートS3が前記検査胴120Bに保持されているときに、前記アライメントカメラ301によりシートS3に付されたアライメントマークmを撮像し、画像処理装置302によりシートS3の曲がり量を検出する。このとき前記アライメントカメラ301で撮像される位置に臨むシートS3は、前記押さえロール123を通過する際に浮きやしわなどが伸ばされ、且つ当該押さえロール123により前記アライメントカメラ301で撮像される位置に対し回転方向(シートの搬送方向)上流側を押さえられた状態で、前記アライメントカメラ301によりアライメントマークmを撮像される。
Then, when the sheet S3 is held on the
続いて、前記制御装置200は、前記検査胴120Bの当該くわえ爪装置121Bが前記供給胴120Aの前記くわえ爪装置121Aと対向するときに、当該検査胴120Bの当該くわえ爪装置121Bから当該供給胴120Aの当該くわえ爪装置121AへシートS2の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ212A,212Bの作動を制御する(図5I参照)。これにより、シートS3は、前記検査胴120Bの前記有効面120Baから前記供給胴120Aの前記有効面120Aa上に供給されて保持される。
Subsequently, when the
さらに、シートS3が前記供給胴120Aによって搬送されている間に、前記制御装置200は、画像処理装置302により検出したシートS3の曲がり量及び前記回転量検出器226により検出した前記偏心軸受122の回転量に基づいてサーボモータ206の作動を制御し、前記圧胴110に対して前記供給胴120Aのひねりを調整するコッキングを行い、曲がり量を修正する。
Further, while the sheet S3 is being conveyed by the
このとき、前記圧胴110の前記有効面110c上でG層及びGI層を形成されたシートS2の先端側をくわえる前記くわえ爪装置111Cが前記排出胴150の前記くわえ爪装置151と対向するため、前記制御装置200は、前述したシートS1の場合と同様に、前記ロータリエンコーダ221,225からの情報に基づいて、当該排出胴150の当該くわえ爪装置151を当該圧胴110の当該くわえ爪装置111Cに干渉させることなく当該圧胴110の当該くわえ爪装置111Cから当該排出胴150の当該くわえ爪装置151へシートS2の先端側をくわえ替えさせずに当該圧胴110の前記有効面110c上にシートS2を保持したまま通過させるように、前記アクチュエータ211,214の作動を制御すると共に、前記バルブ218Cの開放状態をそのまま維持する。
At this time, the holding
くわえて、前記供給胴120Aは、前記くわえ爪装置121Aが更に次のシートS3の先端側をくわえて前記有効面120Aaに保持した状態でシートS3を搬送してくることから、前記制御装置200は、前記ロータリエンコーダ221,222Aからの情報に基づいて、当該供給胴120Aの当該くわえ爪装置121Aが前記圧胴110の前記くわえ爪装置111Bと対向するときに、当該供給胴120Aの当該くわえ爪装置121Aから当該圧胴110の当該くわえ爪装置111BへシートS3の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ211,212Aの作動を制御すると共に、当該圧胴110の前記吸着ヘッド112Bが当該供給胴120Aの当該有効面120Aaと対向するときに、当該圧胴110の当該くわえ爪装置111Bに先端側をくわえられたシートS3の末端側を当該吸引ヘッド112Bに吸引保持させるように、前記バルブ218Bを開放制御する。これにより、シートS3は、前記供給胴120Aの前記有効面120Aaから前記圧胴110の前記有効面110b上に曲がり量を修正された状態で供給されて密着保持される。前記制御装置200は、シートS3が前記供給胴120Aから前記圧胴110にくわえ替えされた後、前記偏心軸受122を基準の位置に戻す。
In addition, the
他方、前記圧胴110の前記有効面110a上でG層,GI層,SD層をそれぞれ形成されたシートS1は、前記コータ胴140から絶縁インキIiを転写されることなくそのまま通過する。
On the other hand, the sheet S1 on which the G layer, the GI layer, and the SD layer are formed on the
そして、前記圧胴110の前記有効面110a上に保持されたシートS1の先端側をくわえる前記くわえ爪装置111Aが前記排出胴150の前記くわえ爪装置151と対向すると、前記制御装置200は、前記ロータリエンコーダ221,225からの情報に基づいて、当該圧胴110の当該くわえ爪装置111Aから当該排出胴150の当該くわえ爪装置151へシートS1の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ211,214の作動を制御すると共に(図5J参照)、当該圧胴110の前記吸引ヘッド112Aが当該排出胴150の当該有効面150aと対向するときに吸引を停止するように、前記バルブ218Aを閉鎖制御する。これにより、G層、GI層、SD層をそれぞれ形成されたシートS1は、前記圧胴110の前記有効面110aから離脱され、前記排出胴150を介して系外へ排出される。
When the
このとき、前記圧胴110の前記有効面110cにシートS2を保持させている前記くわえ爪装置111Cが、シートを保持していない前記供給胴120Aの前記くわえ爪装置121Aと対向するため、前記制御装置200は、前記ロータリエンコーダ221,222Aからの情報に基づいて、シートS1の場合と同様に、当該胴110,120Aでシートを受け渡すことなく当該くわえ爪装置121A,111Cを干渉させないように前記アクチュエータ211,212Aの作動を制御すると共に、前記バルブ218Cの開放状態をそのまま維持するように当該バルブ218Cの作動を制御する。
At this time, the holding
また、前記圧胴110の前記有効面110bに保持されたシートS3は、前記有効面110a,110cに保持されたシートS1,S2の場合と同様にして、前記版胴130の前記版Pの前記版面Pgから導電インキIcが転写される。
Further, the sheet S3 held on the
そして、前記圧胴110の前記有効面110bに保持されたシートS3は、前記有効面110a,110cに保持されたシートS1,S2の場合と同様にして、前記コータ胴140の前記ブランケットBから絶縁インキIiが転写されることにより、G層上にGI層が形成され、前記圧胴110の前記有効面110cに保持されたシートS2は、前記有効面110aに保持されたシートS1の場合と同様にして、前記版胴130の前記版Pの前記版面Psdから導電インキIcが転写されることにより、GI層上にSD層が形成される(図5K参照)。
The sheet S3 held on the
前記圧胴110の前記有効面110a上でG層及びGI層を形成されたシートS3の先端側をくわえる前記くわえ爪装置111Aが前記排出胴150の前記くわえ爪装置151と対向するまでに、図5Aに示し上述した一枚目のシートS1と同様に、前記渡胴120Cの前記くわえ爪装置121Cに四枚目のシートS4の先端側をくわえさせて当該渡胴120Cの前記有効面120Ca上にシートS4を保持させて搬送させると、前記制御装置200は、前記ロータリエンコーダ222B,222Cからの情報に基づいて、当該渡胴120Cの当該くわえ爪装置121Cが前記検査胴120Bの前記くわえ爪装置121Bと対向するときに、当該渡胴120Cの当該くわえ爪装置121Cから当該検査胴120Bの当該くわえ爪装置121BへシートS4の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ212B,212Cの作動を制御する。これにより、シートS4は、前記渡胴120Cの前記有効面120Caから前記検査胴120Bの前記有効面120Ba上に供給されて保持される。
Until the
そして、シートS4が前記検査胴120Bに保持されているときに、前記アライメントカメラ301によりシートS4に付されたアライメントマークmを撮像し、画像処理装置302によりシートS4の曲がり量を検出する。このとき前記アライメントカメラ301で撮像される位置に臨むシートS4は、前記押さえロール123を通過する際に浮きやしわなどが伸ばされ、且つ当該押さえロール123により前記アライメントカメラ301で撮像される位置に対し回転方向(シートの搬送方向)上流側を押さえられた状態で、前記アライメントカメラ301によりアライメントマークmを撮像される。
Then, when the sheet S4 is held on the
続いて、前記制御装置200は、前記検査胴120Bの当該くわえ爪装置121Bが前記供給胴120Aの前記くわえ爪装置121Aと対向するときに、当該検査胴120Bの当該くわえ爪装置121Bから当該供給胴120Aの当該くわえ爪装置121AへシートS4の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ212A,212Bの作動を制御する(図5K参照)。これにより、シートS4は、前記検査胴120Bの前記有効面120Baから前記供給胴120Aの前記有効面120Aa上に供給されて保持される。
Subsequently, when the
さらに、シートS4が前記供給胴120Aによって搬送されている間に、前記制御装置200は、画像処理装置302により検出したシートS4の曲がり量及び前記回転量検出器226により検出した前記偏心軸受122の回転量に基づいてサーボモータ206の作動を制御し、前記圧胴110に対して前記供給胴120Aのひねりを調整するコッキングを行い、曲がり量を修正する。
Further, while the sheet S4 is being conveyed by the
続いて、前記供給胴120Aは、前記くわえ爪装置121が更に次のシートS4の先端側をくわえて前記有効面120Aaに保持した状態でシートS4を搬送してくることから、前記制御装置200は、前記ロータリエンコーダ221,222Aからの情報に基づいて、当該供給胴120Aの当該くわえ爪装置121Aが前記圧胴110の前記くわえ爪装置111Aと対向するときに、当該供給胴120Aの当該くわえ爪装置121Aから当該圧胴110の当該くわえ爪装置111AへシートS4の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ211,212Aの作動を制御すると共に、当該圧胴110の前記吸引ヘッド112Aが当該供給胴120Aの当該有効面120Aaと対向するときに、当該圧胴110の当該くわえ爪装置111Aに先端側をくわえられたシートS4の末端側を当該吸引ヘッド112Aに吸引保持させるように、前記バルブ218Aを開放制御する。これにより、シートS4は、前記供給胴120Aの前記有効面120Aaから前記圧胴110の前記有効面110a上に曲がり量を修正された状態で供給されて密着保持される。前記制御装置200は、シートS4が前記供給胴120Aから前記圧胴110にくわえ替えされた後、前記偏心軸受122を基準の位置に戻す。
Subsequently, the
以下、上述した作動を繰り返すことにより、シートにG層,GI層,SD層を順次積層したTFTを連続して製造することができる。 Hereinafter, by repeating the above-described operation, a TFT in which a G layer, a GI layer, and an SD layer are sequentially laminated on a sheet can be continuously manufactured.
つまり、本実施形態に係る電子デバイス製造装置では、一度機能層等が形成され排出されたシートを再度供給する二度刷りを行う場合に、シートを前記渡胴120Cへ供給する際に生じるシートの曲がりを検知して、検知したシートの曲がり量を修正するように前記供給胴120Aのコッキングを行うものである。このように構成される本実施形態に係る電子デバイス製造装置によれば、二度刷りを行う際の都度の高精度な位置合わせを容易に行うことが可能となる。
In other words, in the electronic device manufacturing apparatus according to the present embodiment, when performing printing twice to supply the sheet once the functional layer or the like is formed and discharged, the sheet generated when the sheet is supplied to the
また、本実施形態に係る電子デバイス製造装置では、前記検査胴120Bの前記アライメントカメラ301よりも回転方向(シートの搬送方向)上流側に押さえロール123を設け、シートが前記検査胴120Bに保持され前記アライメントカメラ301によりアライメントマークmを撮像する際、前記アライメントカメラ301で撮像される位置に臨むシートが、前記押さえロール123を通過する際に浮きやしわなどが伸ばされるとともに、前記アライメントカメラ301で撮像される位置の回転方向(シートの搬送方向)上流側では前記押さえロール123により押さえられた状態となるので、シートS1を安定させた状態で前記アライメントカメラ301によりアライメントマークmを撮像することができ、これによりアライメントマークmの位置を正確に検出することが可能となり、二度刷りを行う際の都度の位置合わせを高精度に行うことができる。
In the electronic device manufacturing apparatus according to the present embodiment, a
また、本実施形態に係る電子デバイス製造装置では、前記版胴130を回転可能且つ軸方向へ移動可能に支持すると共に前記圧胴110に対して直線的に対接離反移動可能に支持する支持手段を当該圧胴110に対して対接離反移動させる駆動手段を設け、当該版胴130を回転させる駆動手段を当該版胴130と一体的に移動できるように上記支持手段に設けるだけでなく、当該版胴130を軸方向へ移動させる駆動手段も当該版胴130と一体的に移動できるように上記支持手段に設けるようにしたことから、前記版胴130の前記版Pやシートや機能層等の厚さが大きくても、前記圧胴130と前記版胴130及び前記コータ胴140との間の長さ(間隔)を必要十分に調整することが容易にできる。
Further, in the electronic device manufacturing apparatus according to the present embodiment, the
また、二つの前記版面Pg,Psdを有する前記版Pを一つの前記版胴130に装着したことから、一つの前記インクジェット装置191で二つの前記版面Pg,Psdに導電インキIcを供給することができるので、非常に高価な当該インクジェット装置191の設置数を削減することができ、低コスト化及び省スペース化を図ることができる。
Further, since the plate P having the two plate surfaces Pg and Psd is mounted on one
また、三つの前記有効面110a〜110cを有する前記圧胴110に対して、前記供給胴120Aが一つおきにシートを供給して保持させることから、当該供給胴120Aから次々に供給するシートに対して各層を順次形成することが効率よくでき、TFTを同時に複数製造することが省スペースで非常に効率よくできる。
Further, since the
〈他の実施形態〉
なお、前述した実施形態においては、前記偏心軸受122の回転量を検知する構成として前記駆動レバー311にリニアスケール226aを取り付けて当該リニアスケール226aをセンサ226bで読み取る回転量検出器226を適用した場合について説明したが、本発明はこれに限らず、前記偏心軸受122の回転量を検知することができる他のセンサを設けてもよい。
<Other embodiments>
In the above-described embodiment, when the
また、前述した実施形態においては、前記検査胴120Bの基板浮き防止構成として押さえロール123を適用した場合について説明したが、本発明はこれに限らず、負圧による吸着構成またはシリコンゴム等による粘着構成としてもよい。
In the above-described embodiment, the case where the
また、前述した実施形態においては、撮像手段として、二台のアライメントカメラ301を前記検査胴120Bの軸方向両側に対向配置する場合について説明したが、他の実施形態として、一台のラインカメラによって二箇所のアライメントマークmを一度に撮像することも可能である。
In the above-described embodiment, the case where two
また、前述した実施形態においては、前記版胴130の前記版Pの前記版面Pg,Psdに前記インクジェット装置191により導電インキIcを供給するようにしたが、他の実施形態として、例えば、インキ壺から移しローラ等を介してインキを版胴に供給するインキ装置や、インキ皿からインキを版胴に直接供給するインキ装置や、インキ皿からファニシャローラやインキ出しローラやインキ着けローラ等を介してインキを版胴に間接的に供給するインキ装置等を適用することも可能である。
In the above-described embodiment, the conductive ink Ic is supplied to the plate surfaces Pg and Psd of the plate P of the
また、前述した実施形態においては、前記圧胴110の前記有効面110a〜110cに保持されたシートに対して、前記版胴130の前記版Pの前記版面Pg,Psdに供給された導電インキIcを直接的に転写するようにしたが、他の実施形態として、例えば、前記圧胴110及び前記版胴130に対して対接離反移動できるように当該圧胴110と当該版胴130との間にブランケット胴を回転可能に配設することにより、当該版胴130の前記版Pの前記版面Pg,Psdに供給された導電インキIcを当該ブランケット胴に一旦転写してから上記圧胴110の前記有効面110a〜110cに保持されたシートに転写するオフセット方式とすることも可能である。
In the above-described embodiment, the conductive ink Ic supplied to the plate surfaces Pg and Psd of the plate P of the
また、前述した実施形態においては、二つの前記版面Pg,Psdを形成した二倍サイズの前記版Pを保持する前記有効面130aを具備する径サイズ(二倍径)の前記版胴130を適用した場合について説明したが、本発明はこれに限らず、必要に応じて、例えば、三つの版面を形成した三倍サイズの版を保持する有効面を具備する径サイズ(三倍径)の版胴を適用することも可能である。
In the embodiment described above, the
また、前述した実施形態においては、前記吸引ポンプ217に接続した前記吸引ヘッド112A〜112Cを前記圧胴110の前記有効面110a〜110cに設けることにより、シートの搬送方向後方側(末端側)を当該有効面110a〜110cに着脱可能に吸引保持するようにしたが、他の実施形態として、例えば、上記吸引ヘッド112A〜112C等に代えて、前記圧胴110の前記有効面110a〜110c上にシリコンゴム等からなるラバーシートを取り付けておくことにより、シートの搬送方向後方側(末端側)を当該有効面110a〜110cに対して着脱可能に密着保持できるようにしても、前述した実施形態と同様な作用効果を得ることができる。
In the embodiment described above, the suction heads 112 </ b> A to 112 </ b> C connected to the
また、前述した実施形態においては、三つの前記有効面110a〜110cを有する前記圧胴110を適用した場合について説明したが、本発明はこれに限らず、三つ以上の奇数個(例えば、五つや七つ)の有効面(保持面)を有する圧胴であれば、前述した実施形態の場合と同様にして適用可能である。しかしながら、前述した実施形態のように、三つの前記有効面110a〜110cを有する前記圧胴110であれば、最も省スペース化を図ることができるので、非常に好ましい。
In the above-described embodiment, the case where the
また、前述した実施形態においては、印刷装置として前記版胴(転写胴)130を適用する例を示したが、印刷装置としては転写胴に限らず、例えばインク滴をシートに吐出するインクジェットヘッド等を適用することも可能である。 In the above-described embodiment, an example in which the plate cylinder (transfer cylinder) 130 is applied as a printing apparatus has been described. However, the printing apparatus is not limited to a transfer cylinder, and for example, an inkjet head that discharges ink droplets onto a sheet or the like. It is also possible to apply.
また、前述した実施形態においては、TFTを製造する場合について説明したが、本発明はこれに限らず、可塑性を有する基材上に機能性を有する材料を積層して機能層を形成することにより電子デバイスを製造する場合であれば、前述した実施形態の場合と同様にして適用することができる。 In the embodiment described above, the case of manufacturing a TFT has been described. However, the present invention is not limited to this, and a functional layer is formed by stacking a functional material on a plastic substrate. If it is a case where an electronic device is manufactured, it can apply like the case of the embodiment mentioned above.
また、前述した実施形態においては、シートは前記供給胴120から前記圧胴110へ搬送されるが、他の実施形態として、供給胴と圧胴の間に搬送胴が構成されていてもよい。
In the embodiment described above, the sheet is conveyed from the
また、前述した実施形態においては、TFTを製造する場合について説明したが、本発明はこれに限らず、可撓性を有するシート上に機能性を有する材料を積層して機能層を形成することにより電子デバイスを製造する場合であれば、前述した実施形態の場合と同様にして適用することができる。 In the embodiment described above, the case of manufacturing a TFT has been described. However, the present invention is not limited to this, and a functional layer is formed by stacking a functional material on a flexible sheet. In the case of manufacturing an electronic device by the method, it can be applied in the same manner as in the above-described embodiment.
本発明に係る電子デバイス製造装置は、二度刷りを行う際であっても、基材に各層を形成する都度の高精度な位置合わせを容易に行うことができるので、産業上、極めて有益に利用することができる。 Since the electronic device manufacturing apparatus according to the present invention can easily perform high-precision alignment each time each layer is formed on the base material even when printing twice, it is extremely useful industrially. Can be used.
110 圧胴
110a〜110c 有効面
111A〜111C くわえ爪装置
112A〜112C 吸引ヘッド
120A 供給胴(渡胴)
120B 検査胴
120C 渡胴
120Aa,120Ba,120Ca 有効面
121A,121B,121C くわえ爪装置
122 偏心軸受
123 押さえロール
130 版胴
130a 有効面
131 版保持装置
140 コータ胴
150 排出胴
150a 有効面
151 くわえ爪装置
191,193 インクジェット装置
192 絶縁インキ供給装置
200 制御装置
201〜205 モータ
211〜216 アクチュエータ
217 吸引ポンプ
218A〜218C バルブ
221〜225 ロータリエンコーダ
226 回転量検出器
226a リニアスケール
226b センサ
301 アライメントカメラ
302 画像処理装置
310 曲がり補正装置
311 駆動レバー
312 ギアボックス
313 サーボモータ
P 版
Pg,Psd 版面
Ic 導電インキ
Ii 絶縁インキ
S1〜S4 シート
m アライメントマーク
110
Claims (3)
基材を保持して搬送し搬送されている基材に機能性を有する材料からなる機能性インキを印刷する印刷装置が周囲に配置されている圧胴と、
基材を保持して搬送する検査胴、前記検査胴で搬送されている基材の胴に対する曲がり量を検知する曲がり量検知手段、及び、曲がり量補正手段を具備し前記検査胴及び前記圧胴の間に配設されている渡胴を有する基材供給手段と、
前記曲がり量検知手段によって取得した基材の曲がり量に基づいて前記曲がり量補正手段を制御する制御手段と
を備えたことを特徴とする電子デバイス製造装置。 An electronic device manufacturing apparatus for manufacturing an electronic device by laminating a functional material on a flexible substrate to form a functional layer,
An impression cylinder in which a printing device that prints functional ink made of a material having functionality on a substrate that is conveyed while holding the substrate is disposed;
An inspection cylinder that holds and conveys a base material, a bending amount detection means that detects a bending amount of the base material that is conveyed by the inspection cylinder, and a bending amount correction means, and the inspection cylinder and the impression cylinder A substrate supply means having a transfer cylinder disposed between
An electronic device manufacturing apparatus, comprising: a control unit that controls the bending amount correction unit based on a bending amount of the base material acquired by the bending amount detection unit.
前記検査胴で搬送されている基材の前記曲がり量検知手段の搬送方向上流側で基材の浮きを抑制する押さえ手段を備えている
ことを特徴とする電子デバイス製造装置。 The electronic device manufacturing apparatus according to claim 1,
An electronic device manufacturing apparatus comprising: a pressing unit that suppresses the floating of the base material on the upstream side in the transport direction of the bending amount detection unit of the base material transported by the inspection cylinder.
前記渡胴が軸方向一端側に当該渡胴を保持する偏心軸受を備え、
前記曲がり量補正手段が前記偏心軸受と当該偏心軸受を回動させる偏心軸受回動手段とからなり、
前記制御手段が、前記曲がり量検知手段によって取得した基材の曲がり量に基づいて前記偏心軸受回動手段を制御して前記偏心軸受の回転量を調整する
ことを特徴とする電子デバイス製造装置。 The electronic device manufacturing apparatus according to claim 1 or 2,
The transfer cylinder includes an eccentric bearing that holds the transfer cylinder on one axial end side,
The bending amount correcting means comprises the eccentric bearing and an eccentric bearing rotating means for rotating the eccentric bearing,
The electronic device manufacturing apparatus, wherein the control means controls the eccentric bearing rotation means based on the bending amount of the base material acquired by the bending amount detection means to adjust the rotation amount of the eccentric bearing.
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CN115036824A (en) * | 2022-07-08 | 2022-09-09 | 承德石油高等专科学校 | Electric automatization block terminal with heat dissipation function |
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